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KR100362438B1 - Organic electro luminescent display and manufacturing method of the same - Google Patents

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KR100362438B1
KR100362438B1 KR1020000051681A KR20000051681A KR100362438B1 KR 100362438 B1 KR100362438 B1 KR 100362438B1 KR 1020000051681 A KR1020000051681 A KR 1020000051681A KR 20000051681 A KR20000051681 A KR 20000051681A KR 100362438 B1 KR100362438 B1 KR 100362438B1
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transparent substrate
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Abstract

정공 수송층을 부분 식각하여 고정세 화면을 구현하면서 정공 수송층과 양극인 투명 전극을 동시에 식각하여 제조 과정을 단순화한 유기 전계 발광소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서,The present invention relates to an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same, which simplify the manufacturing process by simultaneously etching the hole transporting layer and the transparent electrode as the anode while realizing a high definition screen by partially etching the hole transporting layer.

유기 전계 발광소자는 투명 기판 위에 스트라이프 패턴으로 형성되는 투명 전극 및 정공 수송층과, 투명 기판의 전면에 적층되는 유기 발광층 및 전자 수송층과, 전자 수송층 위에서 투명 전극과 수직한 스트라이프 패턴으로 형성되는 금속 전극으로 이루어진다. 또한 유기 전계 발광소자의 제조 방법은, 투명 기판의 전면에 에너지 흡수층과 투명 전극막을 형성하는 단계와, 투명 전극막의 표면에 정공 수송층 고분자막을 형성하는 단계와, 투명 기판을 레이저 식각 장치에 세팅하고 정공 수송층 고분자막의 표면을 향해 레이저 빔을 주사하여 투명 전극막과 정공 수송층 고분자막을 부분 식각하는 단계와, 투명 기판의 전면에 유기 발광층과 전자 수송층을 형성하는 단계와, 전자 수송층 위에 금속 전극을 소정의 패턴으로 열증착하는 단계를 포함한다.The organic EL device includes a transparent electrode and a hole transport layer formed in a stripe pattern on a transparent substrate, an organic light emitting layer and an electron transport layer stacked on a front surface of the transparent substrate, and a metal electrode formed in a stripe pattern perpendicular to the transparent electrode on the electron transport layer. Is done. In addition, a method of manufacturing an organic light emitting device may include forming an energy absorbing layer and a transparent electrode film on a front surface of a transparent substrate, forming a hole transporting layer polymer film on a surface of the transparent electrode film, and setting the transparent substrate on a laser etching apparatus to form a hole. Partially etching the transparent electrode film and the hole transport layer polymer film by scanning a laser beam toward the surface of the transport layer polymer film, forming an organic light emitting layer and an electron transport layer on the front surface of the transparent substrate, and forming a metal electrode on the electron transport layer using a predetermined pattern And thermally depositing the same.

Description

유기 전계 발광소자 및 그의 제조 방법 {Organic electro luminescent display and manufacturing method of the same}Organic electroluminescent device and method of manufacturing the same {Organic electro luminescent display and manufacturing method of the same}

본 발명은 유기 전계 발광소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정공 수송층을 부분 식각하여 고정세 화면을 구현하면서 정공 수송층과 양극인 투명 전극을 동시에 식각하여 제조 과정을 효과적으로 단순화한 유기 전계 발광소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an organic electroluminescent device which effectively simplifies a manufacturing process by simultaneously etching a hole transport layer and a transparent electrode as an anode while realizing a high definition screen by partially etching the hole transport layer. It relates to a manufacturing method.

일반적으로 유기 전계 발광소자는 전자 주입 전극(음극)과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기 전계 발광층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 표시소자로서, 무기 전계 발광소자나 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)에 비해 수 볼트(V) 정도의 낮은 전압으로 구동하며, 고 휘도와 고 콘트라스트(contrast) 구현이 용이한 장점을 갖는다.In general, an organic electroluminescent device is a display device that emits light when an electron and a hole are paired and then disappear when electrons are injected into an organic electroluminescent layer formed between an electron injection electrode (cathode) and a hole injection electrode (anode). Compared to a light emitting device or a plasma display panel (PDP), it is driven at a voltage of about several volts (V), and has the advantages of high brightness and high contrast.

이러한 유기 전계 발광소자의 공지된 구성은 도 7에서 도시한 바와 같이, 투명 기판(1) 위에 양극인 투명 전극(3)이 스트라이프 패턴으로 형성되고, 투명 전극(3) 위에 정공 수송층(hole transporting layer ; HTL)(5)과 유기 발광층(7) 및 전자 수송층(electron transporting layer ; ETL)(9)이 적층되며, 전자 수송층(9) 위에 음극인 금속 전극(11)이 투명 전극(3)과 수직으로 교차 형성된 구성으로 이루어진다.A known configuration of such an organic electroluminescent device is, as shown in FIG. 7, a transparent electrode 3 as an anode is formed on a transparent substrate 1 in a stripe pattern, and a hole transporting layer on the transparent electrode 3. HTL) 5, an organic light emitting layer 7, and an electron transporting layer (ETL) 9 are stacked, and a metal electrode 11, which is a cathode on the electron transporting layer 9, is perpendicular to the transparent electrode 3. Consists of a cross-shaped configuration.

상기 정공 수송층(5)은 정공 주입층(hole injecting layer ; HIL) 또는 정공 주입층과 정공 수송층을 연속적으로 형성한 층일 수 있으며, 상기 전자 수송층(9)은 전자 주입층(electron injecting layer ; EIL) 또는 전자 주입층과 전자 수송층을 연속적으로 형성한 층일 수 있다. 그리고 상기 투명 전극(3)은 정공 수송층(5)을 통하여 유기 발광층(7)에 정공을 주입시켜 주는 기능을 하며, 금속 전극(11)은 전자 수송층(9)을 통하여 유기 발광층(7)에 전자를 주입시켜 주는 기능을 한다.The hole transport layer 5 may be a hole injecting layer (HIL) or a layer in which a hole injecting layer and a hole transport layer are continuously formed, and the electron transport layer 9 is an electron injecting layer (EIL). Or a layer in which an electron injection layer and an electron transport layer are formed continuously. The transparent electrode 3 functions to inject holes into the organic light emitting layer 7 through the hole transport layer 5, and the metal electrode 11 electrons to the organic light emitting layer 7 through the electron transport layer 9. Injects the function.

상기한 구성에 의해 각 투명 전극(3) 라인과 금속 전극(11) 라인에 소정의 전압 파형을 인가하면, 유기 발광층(7)에서 전자와 정공이 재결합하면서 투명 전극(3)과 금속 전극(11)이 교차하는 각 픽셀별로 발광이 이루어져 소정의 화면을 구현하게 된다.According to the above configuration, when a predetermined voltage waveform is applied to each of the transparent electrode 3 line and the metal electrode 11 line, electrons and holes are recombined in the organic light emitting layer 7 while the transparent electrode 3 and the metal electrode 11 are recombined. Each pixel intersect) and emit light to implement a predetermined screen.

그러나 종래 기술에 의한 유기 전계 발광소자는 투명 전극(3)과 유기 발광층(7)을 연결하는 정공 수송층(5)이 면타입이기 때문에, 투명 전극(3)과 금속 전극(11)이 교차하는 픽셀 영역 뿐만 아니라 각 픽셀 사이의 영역 모두에 정공 수송층(5)이 위치하게 된다. 이로서 단순 매트릭스 방식의 듀티(duty) 구동시, 정공 수송층(5)을 통해 각 투명 전극(3) 라인에 인가된 전류가 인접 라인으로 누설되어 크로스토크(cross-talk) 현상이 발생하는 등, 화면 품질을 저하시키게 된다.However, in the organic EL device according to the related art, since the hole transport layer 5 connecting the transparent electrode 3 and the organic light emitting layer 7 is a plane type, the pixel in which the transparent electrode 3 and the metal electrode 11 intersect each other. The hole transport layer 5 is positioned not only in the region but also in the region between each pixel. As a result, when a simple matrix type duty is driven, a current applied to each transparent electrode 3 line through the hole transport layer 5 leaks to an adjacent line, causing crosstalk. It will degrade the quality.

따라서 정공 수송층(5)에 의한 누설 전류를 차단하기 위해, 지금까지는 각 투명 전극(3) 라인의 간격을 확대 형성하고, 보다 얇은 두께로 정공 수송층(5)을 형성하며, 정공 수송층(5)을 고저항 재료로 제작하는 방법 등을 주로 사용하였다.Therefore, in order to block the leakage current by the hole transport layer 5, the distance of each transparent electrode 3 line is enlarged so far, the hole transport layer 5 is formed in a thinner thickness, and the hole transport layer 5 is The method of manufacturing with a high resistance material was mainly used.

그러나 상기한 방법을 적용하면 다음의 문제들이 발생하는데, 즉 정공 수송층(5)의 박막화로 인하여 발광소자의 안정성이 저하되고, 안정되고 균일한 막 형성이 어려워지므로 고정밀도의 제조 과정이 요구된다. 그리고 고저항 재료의 사용으로 인하여 투명 전극(3)에서 유기 발광층(7)으로 향하는 정공의 흐름을 방해하여 유기 발광층(7)에서의 발광 효율이 저하되는 단점이 있다.However, applying the above-described method causes the following problems, namely, the thin film of the hole transport layer 5 causes the stability of the light emitting device to be lowered, and the formation of a stable and uniform film is difficult. In addition, due to the use of a high resistance material, the flow of holes from the transparent electrode 3 to the organic light emitting layer 7 is disturbed, and thus the luminous efficiency of the organic light emitting layer 7 is lowered.

특히 가장 중요하게는 각 투명 전극(3) 라인의 간격을 확대시켜야 하므로, 다수개 픽셀간 간격이 확대되어 고정세 화면을 구현할 수 없으며, 고해상도 구현에 불리해지는 문제가 발생한다.In particular, since the distance between the lines of each transparent electrode 3 must be increased, the distance between the plurality of pixels is enlarged, and thus a high-definition screen cannot be realized, and disadvantages occur in high resolution.

이로서 정공 수송층(5)을 식각하는 방법을 생각할 수 있으나, 유기 전계 발광소자의 제작 가운데 가장 어려운 공정이 픽셀레이션(pixellation) 또는 패터닝(patterning) 작업으로, 주로 ITO로 제작되는 투명 전극(3)은 반도체 제조공정에 사용되는 포토리소그래피(photolithography) 공정으로 패턴화되며, 금속 전극(11)은 정공 수송층(5)과 유기 발광층(7) 및 전자 수송층(9)이 물이나 솔벤트에 노출될 경우 그 특성이 열화하기 때문에 포토리소그래피 공정을 사용하기 어려워, 주로 마스크를 이용한 열증착으로 패턴화된다.As a result, a method of etching the hole transport layer 5 can be considered, but the most difficult process of fabricating an organic light emitting device is pixelation or patterning, and the transparent electrode 3 mainly made of ITO Patterned by a photolithography process used in a semiconductor manufacturing process, the metal electrode 11 is characterized in that when the hole transport layer 5, the organic light emitting layer 7 and the electron transport layer 9 is exposed to water or solvent Because of this deterioration, it is difficult to use a photolithography process and is mainly patterned by thermal deposition using a mask.

이와 같이 투명 전극(3)과 금속 전극(11)이 포토리소그래피나 열증착과 같은 복잡한 과정으로 패터닝되기 때문에, 상기 정공 수송층(5)을 별도로 식각할 경우 투명 전극(3)과 금속 전극(11)의 패터닝 작업 이외에 별도의 정공 수송층(5) 패터닝 공정을 추가해야 하므로 전체 유기 전계 발광소자의 제조 과정이 상당히 복잡해져 현실적으로 적용이 불가능한 한계를 갖는다.Since the transparent electrode 3 and the metal electrode 11 are patterned by a complex process such as photolithography or thermal deposition, the transparent electrode 3 and the metal electrode 11 when the hole transport layer 5 is separately etched. In addition to the patterning operation of the additional hole transport layer (5) to be added to the patterning process, the manufacturing process of the entire organic electroluminescent device is considerably complicated and has a practically impossible application.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 고안된 것으로서, 본 발명의 목적은 정공 수송층을 부분 식각하여 각 투명 전극 라인간 누설 전류를 차단함으로써 고정세 패턴 설계를 가능하게 하여 고정세 화면을 구현할 수 있는 유기 전계 발광소자를 제공하는데 있다.Therefore, the present invention is designed to solve the above problems, an object of the present invention is to partially etch the hole transport layer to block the leakage current between each transparent electrode line to enable a high-definition pattern design to implement a high-definition screen An organic electroluminescent device is provided.

본 발명의 다른 목적은 정공 수송층과 양극인 투명 전극을 동시에 식각하여 발광소자의 제조 과정, 특히 투명 전극과 정공 수송층의 패터닝 작업을 효과적으로 단순화할 수 있는 유기 전계 발광소자의 제조 방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing an organic electroluminescent device which can effectively simplify the manufacturing process of the light emitting device, in particular, the patterning operation of the transparent electrode and the hole transport layer by etching the hole transport layer and the transparent electrode as the anode.

도 1은 본 발명에 의한 유기 전계 발광소자의 일부 분해 사시도.1 is a partially exploded perspective view of an organic electroluminescent device according to the present invention.

도 2는 본 발명에 의한 유기 전계 발광소자의 단면도.2 is a cross-sectional view of an organic EL device according to the present invention.

도 3은 투명 기판의 부분 확대도.3 is a partially enlarged view of a transparent substrate.

도 4는 투명 기판의 다른 실시예를 도시한 부분 확대도.4 is a partially enlarged view showing another embodiment of the transparent substrate.

도 5∼도 6은 본 발명에 의한 유기 전계 발광소자의 제조 과정을 도시한 개략도.5 to 6 are schematic diagrams showing a manufacturing process of an organic EL device according to the present invention.

도 7은 종래 기술에 의한 유기 전계 발광소자의 단면도.7 is a cross-sectional view of an organic EL device according to the prior art.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,The present invention to achieve the above object,

에너지 흡수층을 사이로 투명 기판 위에 스트라이프 패턴으로 형성되는 투명 전극과, 투명 기판 위에 투명 전극과 동일한 스트라이프 패턴으로 형성되는 정공 수송층, 정공 수송층을 덮도록 투명 기판 전면에 형성되는 유기 발광층 및 전자 수송층을 구비하는 유기 전계 발광층과, 유기 전계 발광층 위에서 투명 전극과 수직한 스트라이프 패턴으로 형성되는 금속 전극을 포함하는 유기 전계 발광소자를 제공한다.A transparent electrode formed in a stripe pattern on the transparent substrate between the energy absorbing layer, a hole transport layer formed in the same stripe pattern as the transparent electrode on the transparent substrate, an organic light emitting layer formed on the entire surface of the transparent substrate so as to cover the hole transport layer, and an electron transport layer An organic electroluminescent device comprising an organic electroluminescent layer and a metal electrode formed in a stripe pattern perpendicular to the transparent electrode on the organic electroluminescent layer.

또한 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,In addition, the present invention to achieve the above object,

투명 기판의 전면에 에너지 흡수층과 투명 전극막을 형성하는 단계와,Forming an energy absorbing layer and a transparent electrode film on the front surface of the transparent substrate,

상기 투명 전극막의 표면에 정공 수송층 고분자막을 형성하는 단계와,Forming a hole transport layer polymer film on a surface of the transparent electrode film;

상기 투명 기판을 레이저 식각 장치에 세팅하고, 정공 수송층 고분자막의 표면을 향해 레이저 빔을 주사하여 투명 전극막과 정공 수송층 고분자막을 부분 식각하는 단계와,Setting the transparent substrate in a laser etching apparatus, and partially etching the transparent electrode film and the hole transport layer polymer film by scanning a laser beam toward the surface of the hole transport layer polymer film;

상기 투명 기판의 전면에 유기 발광층과 전자 수송층을 형성하는 단계와,Forming an organic light emitting layer and an electron transporting layer on the entire surface of the transparent substrate;

상기 전자 수송층 위에 금속 전극을 소정의 패턴으로 열증착하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법을 제공한다.It provides a method of manufacturing an organic electroluminescent device comprising the step of thermally depositing a metal electrode on the electron transport layer in a predetermined pattern.

이와 같이 본 발명은 정공 수송층을 부분 식각하여 각 투명 전극 라인간 누설 전류를 차단함에 따라 고정세 화면을 구현할 수 있으며, 투명 전극과 정공 수송층을 동시에 식각하는 방법을 제공하여 발광소자의 제조 과정을 효과적으로 단순화할 수 있는 장점을 갖는다.As described above, the present invention can implement a high definition screen by partially etching the hole transport layer to block leakage current between each transparent electrode line, and provide a method of simultaneously etching the transparent electrode and the hole transport layer to effectively manufacture the light emitting device. It has the advantage of being simplified.

이하, 첨부한 도면을 참고하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 실시예에 의한 유기 전계 발광소자의 분해 사시도이고, 도 2는 결합 상태에서의 단면도로서, 유기 전계 발광소자는 투명 기판(2) 위에 스트라이프 패턴으로 형성되는 투명 전극(4)과, 투명 전극(4) 위에 적층되는 유기 전계 발광층(6)과, 유기 전계 발광층(6) 위에서 투명 전극(4)과 수직한 스트라이프 패턴으로 형성되는 금속 전극(8)과, 이들 다층막을 감싸며 투명 기판(2)에 일체로 부착되는 배면 기판(10)을 포함한다.1 is an exploded perspective view of an organic EL device according to the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view in a bonded state. The organic EL device includes a transparent electrode 4 formed in a stripe pattern on the transparent substrate 2; An organic electroluminescent layer 6 stacked on the transparent electrode 4, a metal electrode 8 formed in a stripe pattern perpendicular to the transparent electrode 4 on the organic electroluminescent layer 6, and a transparent substrate surrounding the multilayer film ( And a back substrate 10 integrally attached to 2).

상기 유기 전계 발광층(6)은 투명 전극(4)에서부터 순차적으로 적층된 정공 수송층(12)과 유기 발광층(14) 및 전자 수송층(16)으로 구성되며, 상기 투명 전극(4)과 마주하는 정공 수송층(12)이 부분 식각된 형상으로 이루어지고, 특히 투명 전극(4)과의 동시 식각 작업에 의해 투명 전극(4)과 동일한 스트라이프 형상으로 이루어진다.The organic electroluminescent layer 6 includes a hole transport layer 12, an organic emission layer 14, and an electron transport layer 16 sequentially stacked from the transparent electrode 4, and the hole transport layer facing the transparent electrode 4. (12) is formed in a partially etched shape, and in particular, in the same stripe shape as the transparent electrode 4 by simultaneous etching with the transparent electrode 4.

상기한 구조에 의해 각 투명 전극(4) 라인과 금속 전극(8) 라인에 소정의 전압 파형을 인가하면, 투명 전극(4)과 금속 전극(8)에서 각각 주입된 정공과 전자가 유기 발광층(14)에서 쌍을 이룬 후 소멸하면서 발광하여, 각 픽셀별로 소정 휘도의 빛을 방출하게 된다.According to the above structure, when a predetermined voltage waveform is applied to each of the transparent electrode 4 and the metal electrode 8 lines, holes and electrons injected from the transparent electrode 4 and the metal electrode 8 are respectively emitted from the organic light emitting layer ( The light is emitted while being extinguished in pairs in 14) and emits light having a predetermined luminance for each pixel.

이러한 단순 매트릭스 방식의 듀티(duty) 구동에서, 상기 정공 수송층(12)이 투명 전극(4)과 동일하게 각각의 라인 패턴으로 분리 식각됨에 따라 본 실시예에 의한 유기 전계 발광소자는 다음과 같이 고정세 화면을 구현할 수 있으며, 화면 품질을 향상시키고, 발광소자의 안정성을 향상시키는 등의 장점을 갖는다.In this simple matrix type duty driving, as the hole transport layer 12 is separately etched in the same line pattern as the transparent electrode 4, the organic EL device according to the present embodiment is fixed as follows. Three screens can be realized, and the screen quality can be improved and the stability of the light emitting device can be improved.

즉, 정공 수송층(12)이 각각의 라인으로 분리 식각됨에 따라 각 투명전극(4)의 라인 간격을 조밀하게 배치하여도 각 투명 전극(4) 라인간 누설 전류를 차단할 수 있으므로, 다수개 픽셀을 조밀하게 분포시켜 고정세 화면을 용이하게 실현할 수 있다.That is, as the hole transport layer 12 is separately etched into each line, even if the line spacing of each transparent electrode 4 is densely arranged, the leakage current between the lines of each transparent electrode 4 can be blocked. It is possible to easily realize a high definition screen by densely distributing it.

부가적으로, 누설 전류에 의한 크로스토크 현상을 방지할 수 있으므로 화면 품질을 향상시키고, 정공 수송층(12)을 저저항 재료로 제작할 수 있어 재료 선택이 용이해지며, 박막 적층이 요구되지 않으므로 박막 형성에 따른 공정상의 어려움을 해소하는 동시에 발광소자의 안정성을 향상시킬 수 있는 것이다.In addition, it is possible to prevent crosstalk due to leakage current, thereby improving the screen quality, and the hole transport layer 12 can be made of a low resistance material to facilitate material selection, and thin film deposition is not required. It is possible to improve the stability of the light emitting device at the same time to solve the process difficulties.

이와 같이 본 실시예가 제공하는 정공 수송층(12)이 라인 형상으로 부분 식각되어 위와 같은 장점을 지니는데, 이 때 상기 정공 수송층(12)은 투명 전극(4)과 동시 식각되어 패터닝 과정을 효과적으로 단순화시키는바, 본 실시예는 이를 위한 식각 방법으로 레이저 식각 방법을 제공한다.As described above, the hole transport layer 12 provided in the present embodiment is partially etched in a line shape, and the hole transport layer 12 is etched simultaneously with the transparent electrode 4 to effectively simplify the patterning process. Bar, the present embodiment provides a laser etching method as an etching method for this.

상기 레이저 식각 방법은 특정 파장의 레이저 빔을 주사하여 순간적인 에너지에 의해 물질을 증발시키는 방법으로, 효과적인 식각을 위하여 투명 전극(4)은 도 3에서 도시한 바와 같이 그 저면으로 에너지 흡수층(18)을 구비하며, 보다 상세하게 에너지 흡수층(18)은 은(Ag)과 같은 금속층으로서 레이저의 특정 파장을 흡수하는 역할을 한다.The laser etching method is a method of scanning a laser beam of a specific wavelength to evaporate a material by instantaneous energy. For efficient etching, the transparent electrode 4 has an energy absorbing layer 18 at its bottom as shown in FIG. In more detail, the energy absorbing layer 18 serves to absorb a specific wavelength of the laser as a metal layer such as silver (Ag).

다른 실시예로서 상기 투명 기판(2)은 통상의 글래스 기판 대신, 도 4에서 도시한 바와 같이 다수의 기능막과 에너지 흡수층을 구비한 플라스틱 필름(20)으로 이루어질 수 있다.In another embodiment, the transparent substrate 2 may be formed of a plastic film 20 having a plurality of functional layers and an energy absorbing layer, as shown in FIG. 4, instead of a conventional glass substrate.

상기 플라스틱 필름(20)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 또는 폴리에테르술폰(PES) 등의 물질로 이루어지는 베이스층(22)과, 화학 약품의 침범을 막아 다층막들의 화학적 변화를 방지하는 솔벤트 베리어(24)와, 내구성 향상을 위한 오버 코트(26)와, 습기와 산소 등의 침범을 방지하여 내투습 및 내통기성을 향상시키는 가스 베리어(28)를 포함하며, 투명 전극(4)이 형성될 가장 윗 표면으로 은(Ag)과 같은 금속층의 에너지 흡수층(18)을 구비한다.The plastic film 20 includes a base layer 22 made of a material such as polyethylene terephthalate (PET) or polyether sulfone (PES), and a solvent barrier 24 to prevent chemical changes of multilayer films by preventing invasion of chemicals. And an overcoat 26 for improving durability, and a gas barrier 28 for preventing moisture and oxygen invasion to improve moisture permeability and breathability, and the top surface on which the transparent electrode 4 is to be formed. An energy absorbing layer 18 of a metal layer such as silver (Ag) is provided.

이와 같이 글래스 기판 표면에 에너지 흡수층(18)을 별도로 형성하거나, 에너지 흡수층(18)이 구비된 플라스틱 필름(20)을 이용하는 것으로 레이저 식각에 필요한 기본 준비를 완료하며, 이하 투명 기판(2)으로서 글래스 기판을 사용하는 경우를 대표로 하여 본 실시예에 의한 유기 전계 발광소자의 제조 방법을 구체적으로 살펴본다.As such, the energy absorbing layer 18 may be separately formed on the surface of the glass substrate, or the plastic film 20 having the energy absorbing layer 18 may be used to complete basic preparation for laser etching. Hereinafter, the glass may be used as the transparent substrate 2. The manufacturing method of the organic EL device according to the present embodiment will be described in detail with the case of using a substrate.

유기 전계 발광소자를 제작하기 위하여, 먼저 도 5에서 도시한 바와 같이 투명 기판(2)의 전면으로 은을 증착하거나 은 페이스트를 스크린 인쇄하여 에너지 흡수층(18)을 형성하고, 그 표면으로 ITO(Indium Tin Oxide)를 코팅하여 투명 전극막(4)을 형성한 다음, 그 표면으로 정공 수송층 고분자막(12)을 스핀 코팅한 다음 건조시킨다.In order to fabricate the organic EL device, as shown in FIG. 5, silver is deposited on the entire surface of the transparent substrate 2 or screen-printed silver paste to form an energy absorbing layer 18. Tin Oxide) is coated to form a transparent electrode film 4, and then spin-coated the hole transport layer polymer film 12 onto the surface and then dried.

그리고 이들 다층막이 형성된 투명 기판(2)을 도시하지 않은 레이저 식각 장치에 세팅하는데, 상기 레이저 식각 장치는 투명 기판(2)에 대하여 위치 및 각도 조절이 가능한 레이저 빔 발생기(30)와, 레이저 빔 발생기(30)가 미리 설정된 패턴으로 레이저 빔을 주사할 수 있도록 레이저 빔 발생기(30)의 이동을 제어하는 제어부(32)를 포함한다.And the transparent substrate 2 in which these multilayer films were formed is set to the laser etching apparatus which is not shown in figure, The laser etching apparatus which has a laser beam generator 30 which can adjust a position and an angle with respect to the transparent substrate 2, and a laser beam generator And a controller 32 for controlling the movement of the laser beam generator 30 so that the 30 can scan the laser beam in a predetermined pattern.

이로서 상기 레이저 빔 발생기(30)에서 정공 수송층 고분자막(12)의 표면을 향해 레이저 빔을 주사하면, 레이저에 노출된 영역에서는 투명 전극막(4) 저면에 도포된 에너지 흡수층(18)에 의해 레이저의 에너지를 흡수하여, 순간적인 열에너지 상승으로 투명 전극막(4)과 그 위의 정공 수송층 고분자막(12)이 증발되면서 식각이 이루어진다.As a result, when the laser beam is scanned by the laser beam generator 30 toward the surface of the hole transport layer polymer film 12, in the region exposed to the laser, the laser beam generator 30 is applied by the energy absorbing layer 18 coated on the bottom of the transparent electrode film 4. The energy is absorbed, and the etching is performed by evaporating the transparent electrode film 4 and the hole transport layer polymer film 12 thereon due to the instantaneous thermal energy rise.

이 때 상기 레이저 빔 발생기(30)는 제어부(32)와 연결된 도시하지 않은 로봇 가이드에 의해 직선 이동하거나, 레이저 식각 장치에 세팅된 투명 기판(2)이 로봇 가이드에 의해 직선 이동하여 도시한 바와 같이 투명 전극막(4)과 정공 수송층 고분자막(12)이 스트라이프 패턴으로 식각되도록 한다.At this time, the laser beam generator 30 is linearly moved by a robot guide (not shown) connected to the control unit 32, or the transparent substrate 2 set in the laser etching apparatus is linearly moved by the robot guide as illustrated. The transparent electrode film 4 and the hole transport layer polymer film 12 are etched in a stripe pattern.

한편 레이저 빔 발생기(30)의 단부 근처에는 도 6에서 도시한 바와 같이, 증발에 의한 투명 전극막(4)과 정공 수송층 고분자막(12)의 잔류물(12a)을 흡입할 수 있도록 진공 흡입기(34)를 설치하는 것이 바람직하다.Meanwhile, as shown in FIG. 6, near the end of the laser beam generator 30, the vacuum inhaler 34 can suck the residue 12a of the transparent electrode film 4 and the hole transport layer polymer film 12 by evaporation. ) Is preferable.

상기와 같이 레이저 식각에 의해 패턴화된 투명 전극(4)과 정공 수송층(12)은 그 미세 구조를 살펴볼 때, 식각된 모서리 부분으로 레이저 빔 형상에 따라 미세한 원형 또는 타원형의 식각 자국이 남아있으며, 식각 영역의 상부 모서리 부분에 잔류물(debris, 12a)이 미세하게 파생되었음을 알 수 있다.The transparent electrode 4 and the hole transport layer 12 patterned by the laser etching as described above, when looking at the microstructure, the etched edges of the fine circular or elliptical remains according to the laser beam shape to the etched corners, It can be seen that the debris 12a is finely derived from the upper edge portion of the etching region.

이와 같이 정공 수송층(12)을 투명 전극(4)과 함께 부분 식각함에 따라, 정공 수송층(12)이 투명 전극(4)과 같이 개별 라인으로 분리되어 투명 전극(4) 사이의 누설 전류를 방지할 수 있으므로, 각 투명 전극(4) 라인의 간격을 조밀하게 하여 고정세 화면을 용이하게 실현할 수 있다.As the hole transport layer 12 is partially etched together with the transparent electrode 4 in this manner, the hole transport layer 12 may be separated into individual lines like the transparent electrode 4 to prevent leakage current between the transparent electrodes 4. Therefore, the high-definition screen can be easily realized by making the space | interval of each transparent electrode 4 line dense.

다음으로 도 2에서 도시한 바와 같이, 패턴화된 정공 수송층(12) 위로 공지의 열증착 과정을 거쳐 유기 발광층(14)과 전자 수송층(16)을 적층하며, 전자 수송층(16) 위로 마스크를 이용한 열증착 과정으로 스트라이프 패턴의 금속 전극(8)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 2, the organic light emitting layer 14 and the electron transporting layer 16 are laminated on the patterned hole transporting layer 12 by a known thermal deposition process, and a mask is used on the electron transporting layer 16. The thermal evaporation process forms a stripe pattern metal electrode 8.

마지막으로 금속 전극(8) 위에 보호막을 코팅하거나, 금속 캔 등의 배면 기판(10)을 투명 기판(2)에 일체로 실링하여 내부의 다층막을 보호하며, 배면 기판(10)에 형성된 가스주입구(10a)를 통해 아르곤(Ar) 가스를 주입한 다음 커버(36)를 몰딩하는 것으로 유기 전계 발광소자의 제작을 완성한다.Finally, a protective film is coated on the metal electrode 8 or the back substrate 10 such as a metal can is integrally sealed to the transparent substrate 2 to protect the internal multilayer film, and the gas injection hole formed in the back substrate 10 ( Injecting argon (Ar) gas through 10a) and then molding the cover 36 to complete the fabrication of the organic EL device.

여기서 상기 투명 기판(2)으로서 상기한 글래스 기판 대신, 에너지 흡수층(18)이 내장된 플라스틱 필름(20)을 사용할 수 있음은 앞에서 설명한 바와 같다.As described above, instead of the glass substrate, the plastic film 20 having the energy absorbing layer 18 may be used as the transparent substrate 2.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the range of.

이와 같이 본 발명은 정공 수송층을 부분 식각하여 각 투명 전극 라인간 누설 전류를 차단함에 따라 투명 전극 라인의 간격을 조밀하게 배치하여 고정세 화면을 용이하게 실현할 수 있으며, 크로스토크 현상을 방지하여 화면 품질을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, the hole transport layer is partially etched to block leakage currents between the transparent electrode lines, so that the gaps between the transparent electrode lines are densely arranged to easily realize a high definition screen, and prevent crosstalk. Can improve.

또한 본 발명은 레이저 식각 방법을 이용하여 상기 정공 수송층을 투명 전극과 동시에 식각함으로써 별도의 정공 수송층 식각에 의한 공정상의 어려움을 해소하고, 포토리소그래피와 같은 습식 방식에 비해 패터닝 작업을 효과적으로 단순화할 수 있으므로 양산에 적합한 장점을 갖는다.In addition, the present invention eliminates the process difficulties due to separate hole transport layer etching by etching the hole transport layer simultaneously with the transparent electrode using a laser etching method, and can effectively simplify the patterning operation compared to the wet method such as photolithography It has a merit suitable for mass production.

Claims (11)

(정정) 에너지 흡수층을 사이로 투명 기판 위에 스트라이프 패턴으로 형성되는 투명 전극과;(Correction) a transparent electrode formed in a stripe pattern on the transparent substrate with an energy absorbing layer therebetween; 상기 투명 기판 위에 투명 전극과 동일한 스트라이프 패턴으로 형성되는 정공 수송층과, 정공 수송층을 덮도록 투명 기판 전면에 형성되는 유기 발광층 및 전자 수송층을 구비하는 유기 전계 발광층과;An organic electroluminescent layer including a hole transport layer formed on the transparent substrate in the same stripe pattern as the transparent electrode, an organic light emitting layer and an electron transport layer formed on the entire surface of the transparent substrate so as to cover the hole transport layer; 상기 유기 전계 발광층 위에서 투명 전극과 수직한 스트라이프 패턴으로 형성되는 금속 전극을 포함하는 유기 전계 발광소자.An organic electroluminescent device comprising a metal electrode formed in a stripe pattern perpendicular to the transparent electrode on the organic electroluminescent layer. (삭제)(delete) (삭제)(delete) (삭제)(delete) (정정) 제 1항에 있어서,(Correction) The method of claim 1, 상기 에너지 흡수층이 은(Ag)을 포함한 금속층으로 이루어지는 유기 전계 발광소자.The organic electroluminescent device of which the energy absorbing layer is made of a metal layer containing silver (Ag). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 투명 기판이 에너지 흡수층을 내장한 플라스틱 필름으로 이루어지는 유기 전계 발광소자.The organic electroluminescent device of which the transparent substrate is made of a plastic film containing an energy absorbing layer. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 에너지 흡수층이 은(Ag)을 포함한 금속층으로 이루어지는 유기 전계 발광소자.The organic electroluminescent device of which the energy absorbing layer is made of a metal layer containing silver (Ag). 투명 기판의 전면에 에너지 흡수층과 투명 전극막을 형성하는 단계와;Forming an energy absorbing layer and a transparent electrode film on the entire surface of the transparent substrate; 상기 투명 전극막의 표면에 정공 수송층 고분자막을 형성하는 단계와;Forming a hole transport layer polymer film on a surface of the transparent electrode film; 상기 투명 기판을 레이저 식각 장치에 세팅하고, 정공 수송층 고분자막의 표면을 향해 레이저 빔을 주사하여 투명 전극막과 정공 수송층 고분자막을 부분 식각하는 단계와;Setting the transparent substrate in a laser etching apparatus, and partially etching the transparent electrode film and the hole transport layer polymer film by scanning a laser beam toward the surface of the hole transport layer polymer film; 상기 투명 기판의 전면에 유기 발광층과 전자 수송층을 형성하는 단계와;Forming an organic light emitting layer and an electron transporting layer on the entire surface of the transparent substrate; 상기 전자 수송층 위에 금속 전극을 소정의 패턴으로 열증착하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.And depositing a metal electrode on the electron transport layer in a predetermined pattern. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 부분 식각 단계가 투명 전극막과 정공 수송층 고분자막을 스트라이프 형상으로 부분 식각하는 것으로 이루어지는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.The method of manufacturing the organic electroluminescent device, wherein the partial etching comprises partially etching the transparent electrode film and the hole transport layer polymer film in a stripe shape. (삭제)(delete) 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 레이저 식각과 병행하여 증발에 의한 투명 전극과 정공 수송층 고분자막의 잔류물을 진공 흡입기를 통해 제거하는 유기 전계 발광소자의 제조 방법.And a process of removing the residues of the transparent electrode and the hole transport layer polymer film by evaporation in parallel with the laser etching through a vacuum inhaler.
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