KR100457619B1 - Plasma display panel and the fabrication method thereof - Google Patents
Plasma display panel and the fabrication method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- KR100457619B1 KR100457619B1 KR10-2000-0006247A KR20000006247A KR100457619B1 KR 100457619 B1 KR100457619 B1 KR 100457619B1 KR 20000006247 A KR20000006247 A KR 20000006247A KR 100457619 B1 KR100457619 B1 KR 100457619B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- front substrate
- dielectric layer
- electrodes
- electrode
- bus electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61F—FILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
- A61F9/00—Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting in contact-lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
- A61F9/04—Eye-masks ; Devices to be worn on the face, not intended for looking through; Eye-pads for sunbathing
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A41—WEARING APPAREL
- A41D—OUTERWEAR; PROTECTIVE GARMENTS; ACCESSORIES
- A41D13/00—Professional, industrial or sporting protective garments, e.g. surgeons' gowns or garments protecting against blows or punches
- A41D13/05—Professional, industrial or sporting protective garments, e.g. surgeons' gowns or garments protecting against blows or punches protecting only a particular body part
- A41D13/11—Protective face masks, e.g. for surgical use, or for use in foul atmospheres
- A41D13/1184—Protective face masks, e.g. for surgical use, or for use in foul atmospheres with protection for the eyes, e.g. using shield or visor
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61H—PHYSICAL THERAPY APPARATUS, e.g. DEVICES FOR LOCATING OR STIMULATING REFLEX POINTS IN THE BODY; ARTIFICIAL RESPIRATION; MASSAGE; BATHING DEVICES FOR SPECIAL THERAPEUTIC OR HYGIENIC PURPOSES OR SPECIFIC PARTS OF THE BODY
- A61H39/00—Devices for locating or stimulating specific reflex points of the body for physical therapy, e.g. acupuncture
- A61H39/04—Devices for pressing such points, e.g. Shiatsu or Acupressure
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61F—FILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
- A61F13/00—Bandages or dressings; Absorbent pads
- A61F2013/00361—Plasters
- A61F2013/00365—Plasters use
- A61F2013/00497—Plasters use eye patch
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physical Education & Sports Medicine (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Rehabilitation Therapy (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Public Health (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Vascular Medicine (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Ophthalmology & Optometry (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Pain & Pain Management (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은 버스 전극이 형성될 소정 패턴의 홈부가 복수개 형성된 전면 기판과, 상기 홈부내에 매립되어 형성되는 버스 전극과, 성가 전면 기판의 아랫면에서 상기 버스 전극과 통전가능하게 형성되는 공통 및 주사 전극과, 상기 공통 및 주사 전극을 매립하는 상부 유전체층과, 상기 상부 유전체층의 아랫면에 도포되는 보호막층과, 상기 전면 기판과 대향되게 설치되고 상기 전극들과 직교하는 형태인 어드레스 전극이 형성된 배면 기판과, 상기 어드레스 전극을 매립하는 하부 유전체층과, 상기 하부 유전체층 상에서 어드레스 전극사이에 설치되는 격벽과, 상기 격벽 내측에 형성되는 적,녹,청색의 형광체층을 포함한다.A plasma display panel and a method of manufacturing the same are disclosed. The present invention provides a front substrate having a plurality of grooves having a predetermined pattern in which a bus electrode is to be formed, a bus electrode embedded in the groove, and a common and scan electrode formed on the lower surface of the annoying front substrate so as to conduct electricity with the bus electrode. A back substrate including an upper dielectric layer filling the common and scan electrodes, a protective film layer applied to a lower surface of the upper dielectric layer, and an address electrode disposed to face the front substrate and orthogonal to the electrodes; And a lower dielectric layer filling the address electrode, a partition wall disposed between the address electrodes on the lower dielectric layer, and a red, green, and blue phosphor layer formed inside the partition wall.
Description
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전면 기판상에 형성되는 전극의 구조가 개선된 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a plasma display panel having an improved structure of an electrode formed on a front substrate and a method of manufacturing the same.
통상적으로 플라즈마 디스플레이 패널은 복수개의 전극이 코팅된 두 회로 기판상에 방전 가스를 주입하여 봉입하고, 방전 전압을 가하다음, 이 방전 전압으로 인하여 두 전극 사이에 기체가 발광하게 되면 적절한 펄스 전압을 가하여 두 전극이 교차하는 지점을 어드레싱하여 소망하는 숫자, 문자 또는 그래픽을 구현하는 표시 장치를 말한다.In general, the plasma display panel injects and discharges a discharge gas on two circuit boards coated with a plurality of electrodes, applies a discharge voltage, and then applies an appropriate pulse voltage when a gas emits light between the electrodes due to the discharge voltage. A display device that implements a desired number, letter, or graphic by addressing a point where two electrodes intersect.
이러한 플라즈마 디스플레이 패널은 방전 셀에 인가하는 구동 전압의 형식, 예컨대 방전 형식에 따라 직류형과 교류형으로 분류하고, 전극들의 구성 형태에 따라 대향 방전형 및 면 방전형으로 구분할 수 있다.The plasma display panel may be classified into a direct current type and an alternating current type according to a type of a driving voltage applied to a discharge cell, for example, a discharge type, and may be classified into a counter discharge type and a surface discharge type according to the configuration of the electrodes.
직류형 플라즈마 디스플레이 패널은 모든 전극들이 방전 공간에 노출되는 구조로서, 대응 전극들 사이에 전하의 이동이 직접적으로 이루어진다. 반면에, 교류형 플라즈마 디스플레이 패널은 적어도 한 전극이 유전체층에 매립되고, 대응하는 전극들 사이에 직접적인 전하의 이동이 이루어지지 않은 대신에, 유전체층 표면에 방전에 의하여 생성된 이온과 전자가 부착하여 벽전압(wall voltage)을 형성하고, 유지 전압(sustaing voltage)에 의하여 방전 유지가 가능하다.The DC plasma display panel has a structure in which all electrodes are exposed to a discharge space, and charges are directly transferred between corresponding electrodes. On the other hand, in the AC plasma display panel, at least one electrode is embedded in the dielectric layer, and instead of direct charge transfer between the corresponding electrodes, the ions and electrons generated by the discharge adhere to the surface of the dielectric layer to form a wall. A wall voltage is formed and discharge can be maintained by a sustaining voltage.
한편, 대향 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 단위 화소마다 어드레스 전극과 주사 전극이 대향하여 마련되고, 두 전극간에 어드레싱 방전 및 유지 방전이 일어나는 방식이다. 반면에, 면 방전형 플라즈마 디스플레이 패널은 각 단위화소마다 어드레스 전극과 그에 해당되는 공통 전극과 주사 전극이 마련되어 어드레싱 방전과 유지 방전이 발생하게 되는 방식이다.On the other hand, in the opposite discharge type plasma display panel, an address electrode and a scan electrode are provided to face each unit pixel, and addressing discharge and sustain discharge are generated between the two electrodes. On the other hand, in the surface discharge plasma display panel, an address electrode, a common electrode, and a scan electrode corresponding to each unit pixel are provided to generate addressing discharge and sustain discharge.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널(10)은 전면 기판(11)과, 상기 전면 기판(11)과 대향되게 배치되는 배면 기판(12)이 마련된다.As shown in FIG. 1, the conventional plasma display panel 10 includes a front substrate 11 and a rear substrate 12 disposed to face the front substrate 11.
상기 전면 기판(11)의 아랫면에는 스트립 형태의 공통 및 주사 전극(13)(14)이 교대로 형성되어 있고, 상기 공통 및 주사 전극(13)(14)의 아랫면 일 가장자리를 따라서는 전극들(13)(14)의 라인 저항을 줄이기 위하여 상기 전극들(13)(14)보다 폭을 좁게하여 형성되는 금속재로 된 버스 전극(15)이 설치된다.Strips of the common and scan electrodes 13 and 14 are alternately formed on the lower surface of the front substrate 11, and electrodes along one edge of the lower surface of the common and scan electrodes 13 and 14 are alternately formed. In order to reduce the line resistance of the 13 and 14, a bus electrode 15 made of a metal material formed by narrowing the width of the electrodes 13 and 14 is provided.
상기 전면 기판(11)의 아랫면에는 상기 전극들(13)(14)(15)을 매립하기 위하여 상부 유전체층(16)이 도포되고, 상기 상부 유전체층(16)의 아랫면에는 이를 보호하기 위하여 산화마그네슘(MgO)으로 된 보호막층(17)이 형성된다.An upper dielectric layer 16 is applied to the bottom surface of the front substrate 11 to bury the electrodes 13, 14 and 15, and a magnesium oxide (magnesium oxide) is applied to the bottom surface of the upper dielectric layer 16 to protect it. A protective film layer 17 made of MgO is formed.
한편, 상기 전면 기판(11)과 대향되게 설치되는 배면 기판(12)의 윗면에는 상기 공통 및 주사 전극(13)(14)과 직교하는 형태로 된 어드레스 전극(18)이 형성되어 있다. 상기 어드레스 전극(18)은 하부 유전체층(19)에 의하여 매립되어 있고, 상기 하부 유전체층(19)의 윗면에는 소정 간격 이격되게 격벽(100)이 형성되어 있다.상기 격벽(100)의 내측으로는 적,녹,청색의 형광체층(110)이 도포되어 있다.On the other hand, an address electrode 18 having a shape perpendicular to the common and scan electrodes 13 and 14 is formed on an upper surface of the rear substrate 12 provided to face the front substrate 11. The address electrode 18 is buried by a lower dielectric layer 19, and a partition wall 100 is formed on an upper surface of the lower dielectric layer 19 to be spaced apart by a predetermined interval. The phosphor layer 110 of green, blue color is applied.
상기와 같은 구조를 가지는 종래의 플라즈마 디스플레이 패널(10)은 상기 주사 전극(14)과 어드레스 전극(18) 사이에 트리거 전압이 인가되면 예비 방전이 일어나 벽전하가 충전된다. 이 상태에서, 상기 공통 및 주사 전극(13)(14) 사이에 전압이 인가되면 유지 방전이 일어나 플라즈마가 생성된다. 이로부터 자외선이 방사되어 상기 형광체층(110)을 여기시켜 소망하는 화상을 구현하게 된다.In the conventional plasma display panel 10 having the above structure, when a trigger voltage is applied between the scan electrode 14 and the address electrode 18, preliminary discharge occurs to charge the wall charge. In this state, when a voltage is applied between the common and scan electrodes 13 and 14, sustain discharge occurs to generate plasma. From this, ultraviolet rays are radiated to excite the phosphor layer 110 to implement a desired image.
그런데, 종래의 플라즈마 디스플레이 패널(10)은 상기 전면 기판(11)의 아랫면에 복수개의 공통 및 주사 전극(13)(14)을 패턴화시키고, 이 전극들(13)(14) 아랫면의 일측 가장자리를 따라서 버스 전극(15)을 형성시키게 된다.However, the conventional plasma display panel 10 patterns a plurality of common and scan electrodes 13 and 14 on the bottom surface of the front substrate 11, and one edge of the bottom surface of the electrodes 13 and 14. The bus electrode 15 is thus formed.
이러한 전극들(13)(14)(15)의 형성 과정을 살펴보면, 기판(11) 상에 투명 도전막으로 된 상기 공통 및 주사 전극(13)(14)을 스퍼터링법이나 이온 플레이팅법으로 0.1 마이크로미터 정도의 두께를 가지도록 형성시키고, 상기 전극들(13)(14)의 아랫면에 2 내지 4 마이크로미터 정도의 두께를 가지는 버스 전극(15)을 형성시켜야 하므로 고도의 정밀성이 필요하므로 제조 공정이 상당히 까다로운 편이다.Looking at the formation process of the electrodes 13, 14, 15, the common and scan electrodes 13, 14 made of a transparent conductive film on the substrate 11 are 0.1 micron by sputtering or ion plating. It is formed to have a thickness of about a meter, and the bus electrode 15 having a thickness of about 2 to 4 micrometers should be formed on the lower surfaces of the electrodes 13 and 14, so a high precision is required, so that the manufacturing process It's quite tricky.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서 전면 기판상에 형성되는 버스 전극의 구조를 개선하여 제조 공정이 단순화된 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a plasma display panel and a method of manufacturing the same, by improving the structure of a bus electrode formed on a front substrate, thereby simplifying the manufacturing process.
도 1은 종래의 플라즈마 디스플레이 패널의 일부를 절제하여 도시한 분리 사시도,1 is an exploded perspective view illustrating a portion of a conventional plasma display panel cut out;
도 2는 본 발명의 일 예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 일부를 절제하여 도시한 분리 사시도,2 is an exploded perspective view illustrating a portion of a plasma display panel according to an embodiment of the present invention;
도 3a 내지 도3f는 도 2의 전면 기판상에 기능층을 형성시킨 이후의 상태를 도시한 것으로서,3A to 3F illustrate a state after forming a functional layer on the front substrate of FIG. 2.
도 3a는 전면 기판이 마련된 이후의 상태를 도시한 단면도,3A is a cross-sectional view showing a state after a front substrate is provided;
도 3b는 도 3a의 전면 기판상에 홈부가 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도,3B is a cross-sectional view illustrating a state after a groove is formed on the front substrate of FIG. 3A;
도 3c는 도 3b의 홈부에 버스 전극이 매립된 이후의 상태를 도시한 단면도,3C is a cross-sectional view illustrating a state after a bus electrode is embedded in the groove part of FIG. 3B;
도 3d는 도 3a의 전면 기판의 아랫면에 복수개의 전극이 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도,3D is a cross-sectional view illustrating a state after a plurality of electrodes are formed on a bottom surface of the front substrate of FIG. 3A;
도 3e는 도 3d의 전극을 상부 유전체층이 매립한 이후의 상태를 도시한 단면도,3E is a cross-sectional view illustrating a state after an upper dielectric layer is embedded in the electrode of FIG. 3D;
도 3f는 도 3e의 상부 유전체층의 아랫면에 보호막층이 형성된 이후의 상태를 도시한 단면도.3F is a cross-sectional view illustrating a state after a protective film layer is formed on a bottom surface of the upper dielectric layer of FIG. 3E.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명><Brief description of symbols for the main parts of the drawings>
10,20...플라즈마 디스플레이 패널10,20 ... plasma display panel
11,21...전면 기판 12,22...배면 기판11,21 ... front substrate 12,22 ... back substrate
13,23...공통 전극 14,24...주사 전극13,23 ... common electrode 14,24 ... scan electrode
15,25...버스 전극 16,26,46...상부 유전체층15,25 ... bus electrode 16,26,46 ... top dielectric layer
17,27...보호막층 18,28...어드레스 전극17,27 ... Protective layer 18,28 ... Address electrode
19,29...하부 유전체층 21a...홈부Lower dielectric layer 21a ... groove
100,200...격벽 110,210...형광체층100,200 ... bulk 110,210 ... phosphor layer
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은,In order to achieve the above object, the plasma display panel according to an aspect of the present invention,
버스 전극이 형성될 소정 패턴의 홈부가 복수개 형성된 전면 기판;A front substrate on which a plurality of grooves of a predetermined pattern on which a bus electrode is to be formed are formed;
상기 홈부내에 매립되는 금속재로 된 버스 전극;A bus electrode made of metal embedded in the groove portion;
상기 전면 기판의 아랫면에서 상기 버스 전극과 통전가능하게 교대로 형성되는 복수개의 공통 및 주사 전극;A plurality of common and scan electrodes formed alternately on the lower surface of the front substrate so as to be energized with the bus electrodes;
상기 전면 기판의 아랫면에 형성되어 상기 공통 및 주사 전극을 매립하는 상부 유전체층;An upper dielectric layer formed on a lower surface of the front substrate to fill the common and scan electrodes;
상기 상부 유전체층의 아랫면에 도포되는 보호막층;A passivation layer applied to a lower surface of the upper dielectric layer;
상기 전면 기판과 대향되게 설치되고, 상기 전극들과 직교하는 형태로 어드레스 전극이 형성된 배면 기판;A rear substrate provided to face the front substrate and having an address electrode formed in a form orthogonal to the electrodes;
상기 배면 기판의 윗면에 형성되어 상기 어드레스 전극을 매립하는 하부 유전체층;A lower dielectric layer formed on an upper surface of the rear substrate to fill the address electrode;
상기 하부 유전체층 상에서 어드레스 전극 사이에 설치되어 방전 공간을 구획하는 격벽; 및Barrier ribs disposed between the address electrodes on the lower dielectric layer to partition discharge spaces; And
상기 격벽 내측에 형성되는 적,녹,청색의 형광체층;을 포함하는 것을 특징으로 한다.And red, green, and blue phosphor layers formed inside the partition wall.
본 발명의 다른 측면에 의하면,According to another aspect of the present invention,
전면 기판을 마련하는 단계;Providing a front substrate;
상기 전면 기판상에 버스 전극이 형성될 패턴을 가진 홈부를 형성하는 단계;Forming a groove having a pattern on which a bus electrode is to be formed on the front substrate;
상기 홈부내에 버스 전극용 원소재를 충진하고, 소성하여 버스 전극을 완성하는 단계;Filling a bus electrode raw material into the groove and firing to complete a bus electrode;
상기 전면 기판상에서 상기 버스 전극이 일 가장자리에 위치하도록 공통 및 주사 전극을 교대로 형성시키는 단계;Alternately forming a common and a scan electrode on the front substrate such that the bus electrode is located at one edge;
상기 전극들을 매립하는 상부 유전체층을 형성하는 단계; 및Forming an upper dielectric layer to bury the electrodes; And
상기 상부 유전체층상에 보호막층을 형성하는 단계;를 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 제공한다.Forming a protective film layer on the upper dielectric layer provides a method of manufacturing a plasma display panel comprising a.
또한, 상기 홈부를 형성시키는 단계에서는,In the forming of the groove portion,
상기 홈부는 샌드 블라스트법으로 형성시키는 것을 특징으로 한다.The groove portion is formed by a sand blasting method.
또한, 상기 홈부를 형성시키는 단계에서는,In the forming of the groove portion,
상기 홈부는 포토리소그래피법으로 형성시키는 것을 특징으로 한다.The groove portion is formed by photolithography.
게다가, 상기 버스 전극을 완성하는 단계에서는,In addition, in the step of completing the bus electrode,
상기 전면 기판의 표면상으로 버스 전극이 노출되지 않도록 연마하여 평활하게 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.And smoothing the surface of the front substrate so that the bus electrodes are not exposed.
이하에서 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 일 예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, a plasma display panel according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(20)을 도시한 것이다.2 illustrates a plasma display panel 20 according to an embodiment of the present invention.
도면을 참조하면, 상기 플라즈마 디스플레이 패널(20)에는 전면 기판(21)이 마련된다. 상기 전면 기판(21)의 아랫면에는 소정 간격 이격되게 홈부(21a)가 형성되고, 이 홈부(21a)는 도전성의 버스 전극(25)이 스트립 형태로 형성된다.Referring to the drawing, the plasma display panel 20 is provided with a front substrate 21. Grooves 21a are formed on the lower surface of the front substrate 21 at predetermined intervals, and the grooves 21a are formed with a conductive bus electrode 25 in a strip form.
상기 전면 기판(21)의 아랫면에는 상기 버스 전극(25)이 일측 가장자리에 위치하도록 스트립 형태의 공통 전극(23)과, 주사 전극(24)으로 된 한 쌍의 방전 셀이 교대로 복수개 형성되어 있다.On the lower surface of the front substrate 21, a plurality of pairs of discharge cells composed of a strip-shaped common electrode 23 and a scan electrode 24 are alternately formed such that the bus electrode 25 is positioned at one edge thereof. .
그리고, 상기 전면 기판(21)의 아랫면에는 상기 공통 및 주사 전극(23)(24)을 매립하도록 상부 유전체층(26)이 형성되어 있다. 상기 상부 유전체층(26)의 아랫면에는 산화마그네슘으로 된 보호막층(27)이 형성되어 있다.An upper dielectric layer 26 is formed on the bottom surface of the front substrate 21 to fill the common and scan electrodes 23 and 24. On the lower surface of the upper dielectric layer 26, a protective film layer 27 made of magnesium oxide is formed.
한편, 상기 전면 기판(21)과 대향되게 설치되는 배면 기판(22)의 윗면에는 상기 공통 및 주사 전극(23)(24)과 직교하는 형태로 된 어드레스 전극(28)이 스트립 형태로 형성된다. 상기 어드레스 전극(28)은 하부 유전체층(29)에 의하여 매립되어 있다. 상기 하부 유전체층(29)의 윗면에는 방전 공간을 한정하고, 크로스 토크를 방지하도록 격벽(200)이 상호 이격되게 형성되고, 이 방전 공간에는 아르곤 가스와 같은 불활성 기체가 주입되어 있다. 그리고, 상기 격벽(200)의 내측으로는 적,녹,청색의 형광체층(210)이 도포되어 있다.On the other hand, on the upper surface of the rear substrate 22 which is installed to face the front substrate 21, an address electrode 28 in a form orthogonal to the common and scan electrodes 23 and 24 is formed in a strip form. The address electrode 28 is buried by the lower dielectric layer 29. The upper surface of the lower dielectric layer 29 defines a discharge space, and the partition walls 200 are formed to be spaced apart from each other to prevent cross talk, and an inert gas such as argon gas is injected into the discharge space. In addition, red, green, and blue phosphor layers 210 are coated inside the partition wall 200.
도 3a 내지 도 3f는 상기 전면 기판(21)상에 상기 언급한 기능층을 형성시키는 과정을 단계별로 도시한 것이다.3A to 3F illustrate step by step processes of forming the above-mentioned functional layer on the front substrate 21.
우선, 투명한 유리로 된 기판(21), 예컨대 소다라임 글래스(sodalime glass)로 된 기판(21)을 마련한다.(도 3a) 상기 기판(21)은 온도의 대한 변형이 최소한 상태에서 유지되는 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.First, a substrate 21 made of transparent glass, for example, a substrate 21 made of soda lime glass is provided. (FIG. 3A) The substrate 21 is a material in which deformation of temperature is kept at a minimum. It is preferable that it consists of.
기판(21)이 마련된 다음에는 상기 기판(21) 상에 추후 기술될 버스 전극(25)이 형성될 홈부(21a)를 형성한다.(도 3b) 상기 홈부(21a)를 형성시키기 위해서는 여러 가지 방법이 있을 수 있다.After the substrate 21 is provided, the groove 21a on which the bus electrode 25 to be described later is formed is formed on the substrate 21. (FIG. 3B) Various methods are used to form the groove 21a. This can be.
포토리소그래피 공정으로 상기 기판(21)상에 홈부(21a)를 형성시킬 수 있다. 즉, 상기 기판(21a) 상에 포토 레지스트를 도포하고, 상기 버스 전극(25)의 패턴이 형성된 포토 마스크를 상기 기판(21)상에 정렬시키고 노광, 현상 및 식각하여 홈부(21a)를 형성시킨다. 이 홈부(21a)의 깊이는 버스 전극(25)의 높이와 동일하도록 조절해야 하고, 바람직하게는 2 내지 4 마이크로미터정도가 적당하다.The groove 21a may be formed on the substrate 21 by a photolithography process. That is, the photoresist is applied onto the substrate 21a, and the photomask on which the pattern of the bus electrode 25 is formed is aligned on the substrate 21, and the groove 21a is formed by exposing, developing and etching. . The depth of the groove portion 21a should be adjusted to be equal to the height of the bus electrode 25, preferably about 2 to 4 micrometers.
포토리소그래피 공정이외에는 샌드 블라스트법(sand blast method)이 있다. 즉, 상기 기판(21) 상에 버스 전극(25)의 패턴이 형성될 마스크를 위치시키고, 상기 기판(21)의 전면에 고압으로 연마제를 분사하게 되면, 그 압력으로 상기 기판(21)에는 버스 전극(25)의 패턴이 형성될 부분에 소정 깊이의 홈부(21a)가 형성된다. 이 홈부(21a)는 상기 언급한 바와 같이 2 내지 4 마이크로미터 정도이다.Besides the photolithography process, there is a sand blast method. That is, when a mask on which the pattern of the bus electrode 25 is to be formed is placed on the substrate 21, and the abrasive is sprayed at high pressure on the entire surface of the substrate 21, the bus is applied to the substrate 21 at the pressure. The groove portion 21a having a predetermined depth is formed in the portion where the pattern of the electrode 25 is to be formed. This groove portion 21a is on the order of 2 to 4 micrometers as mentioned above.
이어서, 상기 홈부(21a) 내에는 도전성의 버스 전극(25)의 원소재, 바람직하게는 은 페이스트가 충진된다(도 3c). 그리고, 이 버스 전극(25)의 원소재를 건조를 시키고, 소정 온도에서 소성을 시킨다. 소성이 완료되면, 상기 버스 전극(25)의 원소재가 상기 기판(21)의 윗면으로 돌출하지 않도록 소정의 연마 공정을 통하여 버스 전극(25)을 완성한다.Subsequently, the groove 21a is filled with a conductive material, preferably a silver paste, of the conductive bus electrode 25 (FIG. 3C). And the raw material of this bus electrode 25 is dried, and it bakes at predetermined temperature. When the baking is completed, the bus electrode 25 is completed through a predetermined polishing process so that the raw material of the bus electrode 25 does not protrude to the upper surface of the substrate 21.
다음으로, 상기 전면 기판(21) 상에 공통 및 주사 전극(23)(24)을 형성한다.(도 3d) 즉, 상기 기판(21) 상에 상기 전극들(23)(24)의 원소재인 투명 도전막, 바람직하게는 ITO막을 도포하고, 이를 패턴화한 포토 마스크를 위치시키고, 노광, 현상 및 식각하여 전극들(23)(24)을 형성시킨다.Next, common and scan electrodes 23 and 24 are formed on the front substrate 21. FIG. 3D. That is, raw materials of the electrodes 23 and 24 on the substrate 21 are formed. A phosphor transparent conductive film, preferably an ITO film, is applied, and the patterned photo mask is placed, exposed, developed and etched to form electrodes 23 and 24.
이때, 상기 공통 및 주사 전극(23)(24)이 형성되는 위치는 상기 버스 전극(25)이 도면에 도시된 바와 같이 상기 전극들(23)(24)의 일 가장자리를 따라서 위치하는 것이 패널(20)의 개구율을 향상시킴과 동시에 전극들(23)(24)의 라인 저항을 줄일 수 있다. 이에 따라, 상기 공통 및 주사 전극(23)(24)은 버스 전극(25)과 상호 통전되는 것이 가능하다.In this case, the common and scan electrodes 23 and 24 are formed on the panel at which the bus electrode 25 is located along one edge of the electrodes 23 and 24 as shown in the drawing. The line resistance of the electrodes 23 and 24 can be reduced while improving the aperture ratio of the 20. Accordingly, the common and scan electrodes 23 and 24 can be energized with the bus electrode 25.
다음으로, 상기 공통 및 주사 전극(23)(24)을 매립하도록 상기 전면 기판(21) 상에는 상부 유전체층(26)이 도포된다.(도 3e)Next, an upper dielectric layer 26 is applied on the front substrate 21 to fill the common and scan electrodes 23 and 24 (FIG. 3E).
상부 유전체층(26)의 도포가 완료된 다음에는, 이를 보호하기 위하여 산화마그네슘으로 된 보호막층(27)을 상기 상부 유전체층(26)의 상면에 형성시킨다.(도 3f)After application of the upper dielectric layer 26 is completed, a protective film layer 27 made of magnesium oxide is formed on the upper surface of the upper dielectric layer 26 to protect it (Fig. 3F).
이에 따라, 전면 기판상에 기능층을 형성시키는 것이 완료된다.Thus, the formation of the functional layer on the front substrate is completed.
하부 기판상에 기능층을 형성시키는 과정을 도 2를 참고하여 간략하게 설명하면, 투명한 유리로 된 기판(22)을 마련하고, 상기 기판(22) 상에 상기 공통 및주사 전극(23)(24)과 교차하는 방향으로 어드레스 전극(28)을 형성한다. 이어서, 상기 어드레스 전극(28)을 매립하는 하부 유전체층(29)을 도포하고, 상기 하부 유전체층(29) 상에 격벽(200)을 상기 어드레스 전극(28) 사이에 형성한다. 다음으로, 상기 격벽(200) 사이에 적,녹,청색의 형광체층(210)을 각각 도포하여 완성한다.A process of forming a functional layer on the lower substrate will be briefly described with reference to FIG. 2. A substrate 22 made of transparent glass is prepared, and the common and scan electrodes 23 and 24 are formed on the substrate 22. ), The address electrode 28 is formed in the direction crossing the. Subsequently, a lower dielectric layer 29 filling the address electrode 28 is coated, and a partition wall 200 is formed between the address electrodes 28 on the lower dielectric layer 29. Next, the red, green, and blue phosphor layers 210 are respectively applied between the partition walls 200 to be completed.
이렇게 완성된 전면 기판(21)과 배면 기판(22)은 봉착 및 진공 배기 공정을 거친 다음에, 상기 패널(20) 내에 자외선 방사 강도가 높은 Xe를 주입하게 된다. 이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(20)이 완성된다.The front substrate 21 and the rear substrate 22 thus completed are sealed and evacuated, and then Xe having high ultraviolet radiation intensity is injected into the panel 20. Accordingly, the plasma display panel 20 according to the exemplary embodiment of the present invention is completed.
상기와 같은 구조를 가지는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널(20)은 주사 전극(24)과 어드레스 전극(28) 사이에 전압이 인가되어 예비 방전이 일어나 벽전하가 충전된다. 이 벽전하가 충전된 방전 공간에서 공통 전극(23)과 주사 전극(24) 사이에 전압이 인가되어 유지 방전이 일어나 플라즈마가 생성된다. 이로부터 자외선이 방사되어 적,녹,청색의 형광체층(210)을 여기시켜 화상을 구현하게 된다.In the plasma display panel 20 according to the present invention having the above structure, a voltage is applied between the scan electrode 24 and the address electrode 28 so that preliminary discharge occurs to charge the wall charge. In the discharge space filled with the wall charges, a voltage is applied between the common electrode 23 and the scan electrode 24 to generate sustain discharge, thereby generating plasma. From this, ultraviolet rays are radiated to excite the red, green, and blue phosphor layers 210 to realize an image.
이상의 설명에서와 같이, 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널과 이의 제조 방법은 전면 기판상에 홈부를 형성하고, 이 홈부에 버스 전극을 설치함으로써, 버스 전극과 통전하는 공통 및 주사 전극을 매립하는 상부 유전체층의 두께를 버스 전극의 높이만큼 줄일 수가 있다. 또한, 버스 전극이 형성된 전면 기판상에 박막의 투명 도전막을 도포하여 공통 및 주사 전극을 형성시키게 됨으로써 접촉 면적이 보다 확실하게 되어 라인 저항을 최소화시킬 수가 있다.As described above, the plasma display panel and the method of manufacturing the same of the present invention provide a groove portion on a front substrate, and by providing a bus electrode in the groove portion, the upper dielectric layer filling the common and scan electrodes that are energized with the bus electrode. The thickness can be reduced by the height of the bus electrode. In addition, by applying a thin transparent conductive film on the front substrate on which the bus electrode is formed to form a common and a scan electrode, the contact area becomes more secure and line resistance can be minimized.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. . Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2000-0006247A KR100457619B1 (en) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | Plasma display panel and the fabrication method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2000-0006247A KR100457619B1 (en) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | Plasma display panel and the fabrication method thereof |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20010083321A KR20010083321A (en) | 2001-09-01 |
| KR100457619B1 true KR100457619B1 (en) | 2004-11-17 |
Family
ID=19645339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR10-2000-0006247A Expired - Fee Related KR100457619B1 (en) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | Plasma display panel and the fabrication method thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100457619B1 (en) |
-
2000
- 2000-02-10 KR KR10-2000-0006247A patent/KR100457619B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20010083321A (en) | 2001-09-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20050105750A (en) | Plasma display panel and the fabrication methode thereof | |
| KR100858810B1 (en) | Plasma Display Panel And Method Of Manufacturing The Same | |
| KR100457619B1 (en) | Plasma display panel and the fabrication method thereof | |
| US7157855B2 (en) | Plasma display panel | |
| KR100416090B1 (en) | Plasma display panel and the fabrication method thereof | |
| KR100696635B1 (en) | Plasma Display Panel And Method Of Manufacturing The Same | |
| KR100477604B1 (en) | Plasma display panel and method for fabrication the same | |
| JPH10241576A (en) | Color plasma display panel | |
| KR100467686B1 (en) | Fabrication method for plasma display panel | |
| KR100412089B1 (en) | Plasma display panel and the fabrication method thereof | |
| JP4179345B2 (en) | Method for manufacturing plasma display panel | |
| KR100718995B1 (en) | Method of manufacturing plasma display panel and plasma display panel including partition wall | |
| KR100670285B1 (en) | Plasma Display Panel And Method Of Manufacturing The Same | |
| US20090021165A1 (en) | Plasma display panel and method of manufacturing the same | |
| KR19980067852A (en) | Bulkhead of Plasma Display Panel and Manufacturing Method | |
| KR100262411B1 (en) | Micro Bridge Plasma Display Panel and Manufacturing Method Thereof | |
| KR100445031B1 (en) | Plasma dispaly panel and the fabrication method thereof | |
| KR100692028B1 (en) | Manufacturing Method of Plasma Display Panel | |
| KR20050102290A (en) | Plasma display panel and the fabrication methode thereof | |
| KR20000004376A (en) | Front substrate of plasma display panel and manufacturing method thereof | |
| JP2004363010A (en) | Plasma display panel | |
| KR20060062699A (en) | Plasma display panel | |
| KR20000056503A (en) | Menufacture methode of PDP | |
| KR20050114065A (en) | Plasma display panel and the fabrication method therof | |
| KR20060072818A (en) | Manufacturing Method of Plasma Display Panel |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109 |
|
| PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301 St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301 |
|
| PG1501 | Laying open of application |
St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501 |
|
| A201 | Request for examination | ||
| PA0201 | Request for examination |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201 |
|
| R17-X000 | Change to representative recorded |
St.27 status event code: A-3-3-R10-R17-oth-X000 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000 |
|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| PE0701 | Decision of registration |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701 |
|
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701 |
|
| PR1002 | Payment of registration fee |
St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002 Fee payment year number: 1 |
|
| PG1601 | Publication of registration |
St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 4 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20081029 Year of fee payment: 5 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 5 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee | ||
| PC1903 | Unpaid annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903 Not in force date: 20091109 Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
|
| L14-X000 | Surrender of ip right requested |
St.27 status event code: A-4-5-L10-L14-rvc-X000 |
|
| PC1903 | Unpaid annual fee |
St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903 Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE Not in force date: 20091109 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
|
| P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |