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KR100685847B1 - Full color organic light emitting display device and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR100685847B1
KR100685847B1 KR1020050123220A KR20050123220A KR100685847B1 KR 100685847 B1 KR100685847 B1 KR 100685847B1 KR 1020050123220 A KR1020050123220 A KR 1020050123220A KR 20050123220 A KR20050123220 A KR 20050123220A KR 100685847 B1 KR100685847 B1 KR 100685847B1
Authority
KR
South Korea
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layer
light emitting
hole injection
pixels
injection layer
Prior art date
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Active
Application number
KR1020050123220A
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Korean (ko)
Inventor
이승현
유병욱
성연주
Original Assignee
삼성에스디아이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Abstract

본 발명은 유기전계 발광표시장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 R, G, B 화소 영역을 구비하는 기판;과 상기 기판 상의 R, G, B 화소 영역 상에 형성된 하부전극;과 상기 하부전극 상에 형성된 정공주입층 및 R, G, B 화소의 발광층을 포함하는 유기막; 및 상기 유기막 상에 형성된 상부전극;을 포함하며, 상기 B 화소의 발광층은 공통층으로 R, G 화소의 발광층을 포함한 기판 전면에 형성하고, 상기 R 화소 영역에는 하부전극 상에 보조 정공주입층을 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device, and more particularly, to a substrate having R, G, and B pixel regions; a lower electrode formed on R, G, and B pixel regions on the substrate; An organic film including a hole injection layer formed in the light emitting layer and light emitting layers of R, G, and B pixels; And an upper electrode formed on the organic layer, wherein the light emitting layer of the B pixel is formed on the entire surface of the substrate including the light emitting layers of the R and G pixels as a common layer, and the auxiliary hole injection layer is formed on the lower electrode in the R pixel area. The present invention relates to a full color organic light emitting display device and a method of manufacturing the same.

Description

풀칼라 유기전계 발광표시장치 및 그의 제조 방법{Full Color Organic Electroluminescent Device and Method for Manufacturing the same}Full Color Organic Electroluminescent Device and Method for Manufacturing the same

도 1은 종래의 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 구조를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a structure of a conventional full color organic light emitting display device.

도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of a full color organic light emitting display device according to Embodiment 1 of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시예 2에 따른 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a full color organic light emitting display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시예 3에 따른 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a full color organic light emitting display device according to Embodiment 3 of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100, 200. 기판 111, 113, 115, 211, 213, 215. 하부전극100, 200. Substrate 111, 113, 115, 211, 213, 215. Lower electrode

120, 224. 정공주입층 222a, 222b. 보조 정공주입층120, 224. Hole injection layer 222a, 222b. Auxiliary hole injection layer

222c. 보조 정공수송층 130, 230. 정공수송층 222c. Auxiliary hole transport layer 130, 230. Hole transport layer

141, 241. R 화소의 발광층 143, 243. G 화소의 발광층141, 241. Light emitting layer of R pixel 143, 243. Light emitting layer of G pixel

145, 245. B 화소의 발광층 220. 유기막145, 245. Light emitting layer of B pixel 220. Organic film

160, 250. 전자수송층 170, 260. 상부전극160, 250. Electron transport layer 170, 260. Upper electrode

Ⅰ. R 화소 영역 Ⅱ. G 화소 영역I. R pixel region II. G pixel area

Ⅲ. B 화소 영역III. B pixel area

본 발명은 평판표시장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 R, G, B 화소의 광 경로를 만족시키기 위하여 보조 정공주입층을 형성하고 다층의 유기막을 레이저 열전사법이나 미세패턴 마스크(fine metal mask)를 이용하여 패터닝함으로써, R, G, B 화소별로 두께를 최적화시키며 B 화소의 발광층을 공통층으로 사용하여 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 전면발광 풀칼라 유기전계 발광표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display, and more particularly, an auxiliary hole injection layer is formed to satisfy an optical path of R, G, and B pixels, and a multilayer organic film is formed by laser thermal transfer or fine metal mask. A light emitting full color organic light emitting display device and a method for manufacturing the same, which are capable of optimizing the thickness for each R, G, and B pixel and improving the characteristics of the device by using the light emitting layer of the B pixel as a common layer. will be.

일반적으로, 유기전계 발광표시장치는 기판 상에 형성된 하부전극 및 상부전극과, 상기 하부전극과 상부전극 사이에 형성된 다층의 유기막을 구비한다. 상기 유기막은 각 층의 기능에 따라 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 정공억제층, 전자수송층 및 전자주입층으로부터 선택된다. 이러한 구조를 갖는 표시장치는 상부전극과 하부전극이 투명 또는 불투명전극으로 형성됨에 따라 상기 유기막으로부터 기판 방향 또는 기판과 반대 방향의 일 측면으로 광이 방출되거나 또는 기판 방향과 기판의 반대 방향의 양 측면으로 방출되는 구조를 갖는다.In general, an organic light emitting display device includes a lower electrode and an upper electrode formed on a substrate, and a multilayer organic film formed between the lower electrode and the upper electrode. The organic film is selected from a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, a hole suppression layer, an electron transport layer and an electron injection layer according to the function of each layer. In the display device having such a structure, since the upper electrode and the lower electrode are formed as transparent or opaque electrodes, light is emitted from the organic layer toward one side of the substrate or in a direction opposite to the substrate, or the amount of the opposite direction of the substrate and the substrate. It has a structure that is released laterally.

도 1은 B 화소의 발광층을 공통층으로 사용하는 종래의 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 구조를 나타낸 단면도이다. 도 1을 참조하면, 기판(100) 상에 각 화소에 따라 하부전극(111,113,115)으로 애노드 전극이 패터닝되어 형성되고, 정공주입층(120)과 정공수송층(130)이 상기 기판(100) 전면에 형성된다. R, G 영역에 형성된 하부전극(111,113)에 대응하여 유기물인 R, G 화소의 발광층(141,143)이 패터닝되어 형성되고, B 화소의 발광층(150)은 공통층으로 R, G 화소의 발광층(141,143)을 포함한 정공주입층(120)과 정공수송층(1130)이 상부에 형성되며, 상기 B 화소의 발광층(150)은 정공억제층의 역할도 한다. 또한, 상기 발광층 상부에는 전자수송층(160)이 형성되며, 상기 전자수송층(160) 상에 상부전극(170)으로 캐소드 전극이 형성된다.  1 is a cross-sectional view illustrating a structure of a conventional full color organic light emitting display device using a light emitting layer of a B pixel as a common layer. Referring to FIG. 1, an anode electrode is formed on the substrate 100 by lower electrodes 111, 113, and 115 according to each pixel, and a hole injection layer 120 and a hole transport layer 130 are formed on the entire surface of the substrate 100. Is formed. The light emitting layers 141 and 143 of the R and G pixels, which are organic materials, are patterned to correspond to the lower electrodes 111 and 113 formed in the R and G regions, and the light emitting layers 150 of the B pixel are the common layers. A hole injection layer 120 and a hole transport layer 1130 including a) is formed on the upper portion, the light emitting layer 150 of the B pixel also serves as a hole suppression layer. In addition, an electron transport layer 160 is formed on the emission layer, and a cathode electrode is formed on the electron transport layer 160 as an upper electrode 170.

상기 R, G, B 화소의 발광층(EML)(141,143,150)은 각각의 R, G, B 칼라에 적합한 두께로 R, G, B 화소 영역에 형성된 하부전극(111,113,115) 상부에 형성되며, 유기막인 정공주입층(HIL)(120)과 정공수송층(HTL)(130) 그리고 전자수송층(ETL)(160)은 공통층으로 기판 전면에 형성된다. The light emitting layers (EMLs) 141, 143, and 150 of the R, G, and B pixels are formed on the lower electrodes 111, 113, and 115 formed in the R, G, and B pixel areas to have a thickness suitable for each of the R, G, and B colors. The hole injection layer (HIL) 120, the hole transport layer (HTL) 130, and the electron transport layer (ETL) 160 are formed on the entire surface of the substrate as a common layer.

그러나, 상기한 종래의 방법에 의한 풀칼라 유기전계 발광표시장치는 유기막인 정공주입층(120)과 정공수송층(130)을 기판 전면에 형성하며, R, G, 화소의 발광층(141,143)을 각각 미세패턴 마스크(fine metal mask)나 레이저 열전사법을 이용하여 기판(100)으로부터 동일 높이에 패터닝하여 형성하고, 상기 R, G 화소의 발광층(141,143)을 포함한 상부에 B 화소의 발광층(150)을 공통층으로 하여 형성하며, 상기 발광층 상부에 전자수송층(160)을 기판(100) 전면에 형성하였는데, 상기 한 바와 같은 방식으로 풀칼라 유기전계 발광표시장치를 제조하게 되면, 각 적색(R) 광의 파장이 녹색(G), 청색(B) 광과 다른 광 파장 특성 차이에 의해 간섭 현상 등이 발생하여 색좌표와 효율특성이 저하되는 문제점이 있었다.However, the full-color organic light emitting display device according to the conventional method forms a hole injection layer 120 and a hole transport layer 130, which are organic layers, on the entire surface of the substrate, and the light emitting layers 141 and 143 of R, G, and pixels are formed. The light emitting layer 150 of the B pixel is formed by patterning the same height from the substrate 100 using a fine metal mask or a laser thermal transfer method, and including the light emitting layers 141 and 143 of the R and G pixels, respectively. Is formed as a common layer, and the electron transport layer 160 is formed on the entire surface of the substrate 100 on the light emitting layer. When the full color organic light emitting display device is manufactured in the same manner as described above, each red (R) There is a problem that the color coordinate and efficiency characteristics are deteriorated due to interference phenomenon caused by the difference in the wavelength of light from the green (G), blue (B) light and other optical wavelength characteristics.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 발광층 하부에 공통층으로 형성되는 유기막층인 정공주입층, 정공수송층 또는 이들의 2중층에 R 화소 영역의 발광층 하부에만 보조 정공주입층을 형성하고 상기 유기막층을 미세패턴 마스크(fine metal mask)나 레이저 열전사법을 이용하여 형성함으로써, 적색(R) 광의 파장이 녹색(G), 청색(B) 광과 다른 광 파장 특성 차이에 의해 간섭 현상에 따른 효율 특성이 저하되는 문제점을 제거하고 공정을 단순화하고 색좌표가 향상되며 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 전면발광 풀칼라 유기전계 발광표시장치 및 그의 제조방법을 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above problems of the prior art, the auxiliary hole injection layer only in the lower portion of the light emitting layer of the R pixel region in the hole injection layer, the hole transport layer or a double layer of the organic layer formed as a common layer below the light emitting layer And the organic layer is formed using a fine metal mask or a laser thermal transfer method, whereby wavelengths of red (R) light interfere with green (G) and blue (B) light due to differences in optical wavelength characteristics. The present invention provides a front-emitting full-color organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, which eliminate the problem of deteriorating efficiency characteristics due to the phenomenon, simplify the process, improve color coordinates, and improve device characteristics.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 풀칼라 유기전계 발광표시장치는,In order to achieve the above object, the full-color organic light emitting display device according to the present invention,

R, G, B 화소 영역을 구비하는 기판;A substrate having R, G, and B pixel regions;

상기 기판 상의 R, G, B 화소 영역 상에 형성된 하부전극; A lower electrode formed on the R, G, and B pixel areas on the substrate;

상기 하부전극 상에 형성된 정공주입층 및 R, G, B 화소의 발광층을 포함하 는 유기막; 및An organic layer including a hole injection layer formed on the lower electrode and a light emitting layer of R, G, and B pixels; And

상기 유기막 상에 형성된 상부전극;을 포함하며, An upper electrode formed on the organic layer;

상기 B 화소의 발광층은 공통층으로 R, G 화소의 발광층을 포함한 기판 전면에 형성하고, 상기 R 화소 영역에는 하부전극 상에 보조 정공주입층을 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치에 의해서 달성된다.The light emitting layer of the B pixel is formed on the entire surface of the substrate including the light emitting layers of the R and G pixels as a common layer, and an auxiliary hole injection layer is formed on the lower electrode in the R pixel area. Is achieved by

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법은,In addition, the manufacturing method of the full color organic light emitting display device according to the present invention for achieving the above object,

R, G, B 화소 영역을 구비하는 기판을 제공하는 단계;Providing a substrate having R, G, B pixel regions;

상기 기판 상의 R, G, B 화소 영역 상에 하부전극을 형성하는 단계; Forming a lower electrode on the R, G, and B pixel areas on the substrate;

상기 R 화소 영역의 하부전극 상에 보조 정공주입층을 형성하고, 상기 보조 정공주입층을 포함한 하부전극 상에 정공주입층을 형성하며, 상기 정공주입층 상에 R, G 화소의 발광층을 패터닝하여 형성하고, 상기 R, G 화소의 발광층을 포함한 기판 전면에 B 화소의 발광층을 공통층으로 하여 이루어진 유기막을 형성하는 단계; 및An auxiliary hole injection layer is formed on the lower electrode of the R pixel region, a hole injection layer is formed on the lower electrode including the auxiliary hole injection layer, and light emitting layers of R and G pixels are patterned on the hole injection layer; Forming an organic film including a light emitting layer of B pixels as a common layer on an entire surface of the substrate including light emitting layers of the R and G pixels; And

상기 유기막 상에 상부전극을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법에 의해서도 달성된다.A method of manufacturing a full-color organic light emitting display device, the method comprising: forming an upper electrode on the organic layer.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예는 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위한 예로서 제공되어 지는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 설명되어 지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments are to be provided as an example to sufficiently convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the present invention is not limited to the embodiments described below and may be embodied in other forms. In the drawings, lengths, thicknesses, and the like of layers and regions may be exaggerated for convenience.

(실시예 1)(Example 1)

도 2는 본 발명의 실시예 1에 따른 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 단면도로서, 박막의 유기막을 구비하는 전면발광 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view of a full color organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention, which is a cross-sectional view of a top-emitting full color organic light emitting display device having an organic thin film.

도 2를 참조하면, 먼저 하부전극(211,213,215)으로서 R, G, B 화소 영역(Ⅰ,Ⅱ,Ⅲ)을 구비하고, 애노드 전극이 각각 분리 형성되어 있는 기판(200)을 형성한다. Referring to FIG. 2, first, a substrate 200 having R, G, and B pixel regions I, II, and III as lower electrodes 211, 213, and 215, and having anode electrodes separated therefrom is formed.

상기 기판(200)은 기계적 강도, 열적 안정성, 투명성, 표면 평활성, 취급 용이성 및 방수성이 우수한 유리나 합성 수지 또는 스테인레스 스틸 등의 재질로 이루어진다.The substrate 200 is made of a material such as glass, synthetic resin, or stainless steel, which has excellent mechanical strength, thermal stability, transparency, surface smoothness, ease of handling, and waterproofness.

다음, 상기 기판(200) 상에 하부전극(211,213,215)을 형성한다. 상기 하부전극(211,213,215)은 투명 전극 또는 반사 전극일 수 있는데, 상기 하부전극(211,213,215)이 애노드 전극인 경우 상기 기판(200)과 하부전극(211,213,215) 사이에는 적어도 하나 이상의 박막 트랜지스터가 더욱 구비될 수 있다. 상기 하부전극(211,213,215)이 투명전극인 경우, 상기 하부전극(211,213,215)은 ITO(Indium Tin Oxide)막, IZO(Indium Zinc Oxide)막, TO(Tin Oxide)막 또는 ZnO(Zinc Oxide)막 일 수 있다. 상기 하부전극(211,213,215)이 반사전극인 경우 상기 하부전극(211,213,215)은 은(Ag)막, 알루미늄(Al)막, 니켈(Ni)막, 백금(Pt)막, 팔라듐(Pd) 막 또는 이들의 합금막 또는 이들의 합금막 상에 ITO, IZO, TO 또는 ZnO의 투과형 산화막이 적층된 구조일 수 있다. 상기 은(Ag)막, 알루미늄(Al)막 또는 이들의 합금막 등은 후속 공정에서 형성되는 적어도 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245)을 포함하는 유기막(220)에서 나오는 빛을 상기 기판(200)과 반대 방향으로 반사시키기 위하여 형성한다.Next, lower electrodes 211, 213, and 215 are formed on the substrate 200. The lower electrodes 211, 213, and 215 may be transparent or reflective electrodes. When the lower electrodes 211, 213, and 215 are anode electrodes, at least one thin film transistor may be further provided between the substrate 200 and the lower electrodes 211, 213, and 215. have. When the lower electrodes 211, 213, 215 are transparent electrodes, the lower electrodes 211, 213, 215 may be an indium tin oxide (ITO) film, an indium zinc oxide (IZO) film, a tin oxide (TO) film, or a zinc oxide (ZnO) film. have. When the lower electrodes 211, 213, 215 are reflective electrodes, the lower electrodes 211, 213, 215 may be silver (Ag) films, aluminum (Al) films, nickel (Ni) films, platinum (Pt) films, palladium (Pd) films, or the like. It may have a structure in which a transmissive oxide film of ITO, IZO, TO or ZnO is laminated on an alloy film or an alloy film thereof. The silver (Ag) film, the aluminum (Al) film, or an alloy film thereof may emit light from the organic film 220 including light emitting layers 241, 243, and 245 of at least R, G, and B pixels formed in a subsequent process. It is formed to reflect in the opposite direction to (200).

상기 하부전극(211,213,215)을 형성하는 것은 스퍼터링(sputtering)법 및 증발(evaporation)법과 같은 기상증착(vapor phase deposition)법, 이온 빔 증착(ion beam deopsition)법, 전자 빔 증착(electron beam deposition)법 또는 레이저 어블레이션(laser ablation)법을 사용하여 수행할 수 있다.The lower electrodes 211, 213, and 215 may be formed by vapor phase deposition, ion beam deopsition, or electron beam deposition, such as sputtering and evaporation. Alternatively, the laser ablation may be performed using a laser ablation method.

이어서, 상기 하부전극(211,213,215)들이 형성된 기판(200) 상에 상기 하부전극(211,213,215)의 표면 일부를 노출시키는 개구부를 갖는 화소정의막(도시하지 않음)을 형성한다. Subsequently, a pixel definition layer (not shown) having an opening exposing a part of the surface of the lower electrodes 211, 213, 215 is formed on the substrate 200 on which the lower electrodes 211, 213, 215 are formed.

상기 화소정의막은 폴리이마이드(polyimide), 벤조사이클로부틴계 수지(benzocyclobutene series resin), 페놀계 수지(phenol resin) 및 아크릴레이트(acrylate)로 이루어진 군에서 선택되는 1종의 물질로 형성할 수 있다. 상기와 같은 박막은 노광 및 현상 공정으로 실시되는 사진 공정에 의해 패터닝하여 형성한다.The pixel definition layer may be formed of one material selected from the group consisting of polyimide, benzocyclobutene series resin, phenol resin, and acrylate. The thin film as described above is formed by patterning by a photolithography process performed by an exposure and development process.

다음, 상기 하부전극(211,213,215) 상에 유기막(220)을 형성한다. 본 발명에 따른 실시예 1에서는 상기 유기막(220)이 정공주입층(224), 정공수송층(230) 또는 이들의 2중층과 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245), 전자수송층(250)이 순차적으 로 적층되어 있고 상기 R 화소 영역(Ⅰ)의 하부전극(211) 상에는 R 화소의 발광층(241)에서 요구되는 최적화된 광 경로를 만족시키기 위하여 보조 정공주입층(222a)을 구비하는 구조를 예시하고 있지만, 반드시 이에 한하지 않고, 상기 유기막(220)을 이룰 수 있는 여러 층들은 그 일부를 생략하여 형성하거나 복수층으로 형성하는 등 필요에 따라 다양한 적층구조를 형성할 수도 있다. 상기와 같이 보조 정공주입층(222a)를 형성함으로써, 하부전극(211,213,215)과 R 화소의 발광층(241) 및 G, B 화소의 발광층(243,245)과의 거리인 d1과 d2가 서로 다르게 형성될 수 있어 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 광의 파장 특성 차이에 따른 최적의 공진 조건을 구비할 수 있다. Next, the organic layer 220 is formed on the lower electrodes 211, 213, and 215. In Example 1 according to the present invention, the organic layer 220 includes a hole injection layer 224, a hole transport layer 230, or a double layer thereof, and light emitting layers 241, 243, 245 of the R, G, and B pixels, and an electron transport layer 250. Are sequentially stacked and provided on the lower electrode 211 of the R pixel region I with an auxiliary hole injection layer 222a to satisfy the optimized optical path required by the light emitting layer 241 of the R pixel. For example, the present invention is not limited thereto, and various layers capable of forming the organic layer 220 may be formed by omitting a part of the organic layer 220 or may be formed in a plurality of layers. By forming the auxiliary hole injection layer 222a as described above, the distances d1 and d2, which are the distance between the lower electrodes 211, 213 and 215, the light emitting layers 241 of the R pixels, and the light emitting layers 243 and 245 of the G and B pixels, may be different from each other. Therefore, an optimal resonance condition according to the wavelength characteristic difference of the red (R), green (G), and blue (B) light may be provided.

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 하부전극(211,213,215) 상에 보조 정공주입층(222a)과 정공주입층(224)을 형성한다. 상기 정공주입층(224)은 상기 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245)으로의 정공의 주입을 용이하게 하는 층으로서, CuPc(cupper phthalocyanine), TNATA, TCTA, TDAPB, TDATA와 같은 저분자재료 또는 PANI(polyaniline), PEDOT(poly(3,4)-ethylenedioxythiophene)와 같은 고분자재료를 사용하여 형성할 수 있다. 또한, 상기 보조 정공주입층(222a)은 R 화소 영역(Ⅰ)의 하부전극(211) 상에 상기 정공주입층(224)과 동일한 물질로 형성하는데, 상기 보조 정공주입층(222a)은 R 화소의 발광층(241)으로부터 발생하는 파장인 레드(R) 광의 최적화된 광 경로를 만족시키기 위하여 150 내지 250Å 두께로 형성한다. First, as shown in FIG. 2, the auxiliary hole injection layer 222a and the hole injection layer 224 are formed on the lower electrodes 211, 213, and 215. The hole injection layer 224 is a layer for facilitating the injection of holes into the light emitting layers 241, 243 and 245 of the R, G, and B pixels. It can be formed using a polymer material such as PANI (polyaniline), PEDOT (poly (3,4) -ethylenedioxythiophene). In addition, the auxiliary hole injection layer 222a is formed of the same material as the hole injection layer 224 on the lower electrode 211 of the R pixel region I. The auxiliary hole injection layer 222a is formed of an R pixel. In order to satisfy the optimized optical path of the red (R) light, which is a wavelength generated from the light emitting layer 241, the thickness of 150 to 250 내지.

다음으로, 상기 정공주입층(224) 상에 정공수송층(230)을 형성한다. 상기 정공수송층(230)은 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245)으로의 정공 수송을 용이하게 하는 층으로, NPD(N,N'-dinaphthyl-N,N'-diphenyl benzidine), TPD(N,N'-Bis-(3-methylphenyl)-N,N'-bis-(phenyl)-benzidine), s-TAD, MTDATA(4,4',4"-Tris(N-3-methylphenyl-N-phenyl-amino)-triphenylamine)와 같은 저분자재료 또는 PVK와 같은 고분자재료를 사용하여 형성할 수 있다. Next, a hole transport layer 230 is formed on the hole injection layer 224. The hole transport layer 230 is a layer that facilitates hole transport of the R, G, and B pixels to the light emitting layers 241, 243, and 245, NPD (N, N'-dinaphthyl-N, N'-diphenyl benzidine), and TPD (N). , N'-Bis- (3-methylphenyl) -N, N'-bis- (phenyl) -benzidine), s-TAD, MTDATA (4,4 ', 4 "-Tris (N-3-methylphenyl-N- It may be formed using a low molecular material such as phenyl-amino) -triphenylamine) or a polymer material such as PVK.

상기 보조 정공주입층(222a), 정공주입층(224) 및 정공수송층(230)은 진공증착법, 스핀코팅법 및 잉크-젯(ink-jet)법으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 방법을 이용하여 형성할 수 있고, 또한, 미세패턴 마스크(fine metal mask)나 레이저 열전사법을 이용하여 형성할 수 있다. The auxiliary hole injection layer 222a, the hole injection layer 224 and the hole transport layer 230 using any one method selected from the group consisting of vacuum deposition, spin coating and ink-jet (ink-jet) method It can be formed and can also be formed using a fine metal mask or a laser thermal transfer method.

이어서, 상기 정공수송층(230) 상에 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245)을 형성한다. 상기 R 및 G 화소의 발광층(241,243)은 인광발광층으로 이루어지고 상기 B 화소의 발광층(245)은 형광발광층으로 이루어져서 정공억제층으로 작용하는데, R 및 G 화소의 발광층(241,243)을 패터닝하여 형성하고, B 화소의 발광층(245)을 공통층으로 하여 형성한다. 즉, 전사층으로 R 화소의 발광층(241)을 위한 유기 발광층만을 구비한 열전사소자(도시하지 않음)를 이용한 레이저 열전사법을 통해 R 화소 영역(Ⅰ)의 하부전극(211)에 대응하여 R 화소의 발광층(241)을 패터닝한다. 이어서, 전사층으로 G 화소의 발광층(243)을 위한 유기 발광층만을 구비한 열전사소자(도시하지 않음)를 이용한 레이저 열전사법을 통해 G 화소 영역(Ⅱ)의 하부전극(213)에 대응하여 G 화소의 발광층(243)을 패터닝하고, 상기 R, G 화소의 발광층(241,243)을 포함한 상부에 B 화소의 발광층(245)를 형성한다. 상기 발광층이 형광발광층인 경우, 상기 발광층은 호스트 물질로 Alq3(8-trishydroxyquinoline aluminum), 디스티릴아릴렌(distyrylarylene; DSA), 디스티릴아릴렌 유도체, 디스티릴벤젠(distyrylbenzene; DSB), 디스티릴벤젠 유도체, DPVBi(4,4'-bis(2,2'-diphenyl vinyl) -1,1'-biphenyl), DPVBi 유도체, 스파이로-DPVBi 및 스파이로-6P(spiro-sexyphenyl)로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 물질을 포함할 수 있다. 더 나아가서, 상기 발광층은 스티릴아민(styrylamine)계, 페릴렌(pherylene)계 및 DSBP(distyrylbiphenyl)계로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 도펀트 물질을 더욱 포함할 수 있다.Subsequently, light emitting layers 241, 243, and 245 of R, G, and B pixels are formed on the hole transport layer 230. The light emitting layers 241 and 243 of the R and G pixels are formed of phosphorescent light emitting layers, and the light emitting layer 245 of the B pixel is formed of a fluorescent light emitting layer to act as a hole suppression layer, and is formed by patterning the light emitting layers 241 and 243 of the R and G pixels. And the light emitting layer 245 of B pixel is formed as a common layer. That is, R is corresponding to the lower electrode 211 of the R pixel region I through a laser thermal transfer method using a thermal transfer device (not shown) having only an organic light emitting layer for the light emitting layer 241 of the R pixel as a transfer layer. The light emitting layer 241 of the pixel is patterned. Subsequently, a laser thermal transfer method using a thermal transfer element (not shown) having only an organic light emitting layer for the light emitting layer 243 of the G pixel as a transfer layer corresponds to the lower electrode 213 of the G pixel region (II). The light emitting layer 243 of the pixel is patterned, and the light emitting layer 245 of the B pixel is formed on the top including the light emitting layers 241 and 243 of the R and G pixels. When the light emitting layer is a fluorescent light emitting layer, the light emitting layer is Alq3 (8-trishydroxyquinoline aluminum), distyrylarylene (DSA), distyrylarylene derivative, distyrylbenzene (DSB), distyrylbenzene as a host material Selected from the group consisting of derivatives, DPVBi (4,4'-bis (2,2'-diphenyl vinyl) -1,1'-biphenyl), DPVBi derivatives, spiro-DPVBi and spiro-6P (spiro-sexyphenyl) It may include one material. Furthermore, the light emitting layer may further include one dopant material selected from the group consisting of styrylamine, perylene, and DSBP (distyrylbiphenyl).

이와는 달리, 상기 발광층이 인광발광층인 경우, 상기 발광층은 호스트 물질로서 아릴아민계, 카바졸계 및 스피로계로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 물질을 포함할 수 있다. 바람직하게는 상기 호스트 물질은 CBP(4,4 -N,N dicarbazole- biphenyl), CBP 유도체, mCP(N,N -dicarbazolyl-3,5-benzene), mCP 유도체 및 스피로계 유도체로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 물질이다. 이에 더하여, 상기 발광층은 도펀트 물질로서 Ir, Pt, Tb, 및 Eu로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 중심 금속을 갖는 인광유기금속착체를 포함할 수 있다. 더욱, 상기 인광유기금속착제는 PQIr, PQIr(acac), PQ2Ir(acac), PIQIr(acac) 및 PtOEP로 이루어진 군에서 선택되는 하나일 수 있다.Alternatively, when the light emitting layer is a phosphorescent light emitting layer, the light emitting layer may include one material selected from the group consisting of arylamine-based, carbazole-based and spiro-based as a host material. Preferably, the host material is selected from the group consisting of CBP (4,4-N, N dicarbazole-biphenyl), CBP derivative, mCP (N, N-dicarbazolyl-3,5-benzene), mCP derivative and spiro derivative Being one substance. In addition, the light emitting layer may include a phosphorescent organic metal complex having one central metal selected from the group consisting of Ir, Pt, Tb, and Eu as a dopant material. Further, the phosphorescent organic metal complex may be one selected from the group consisting of PQIr, PQIr (acac), PQ 2 Ir (acac), PIQIr (acac) and PtOEP.

다음, 상기 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245) 상에 전자수송층(electron transport layer, ETL)(250)을 형성한다. 상기 전자수송층(250)은 상기 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245)으로의 전자의 수송을 용이하게 하는 층으로 예를 들어, PBD, TAZ, spiro-PBD와 같은 고분자재료 또는 Alq3, BAlq, SAlq와 같은 저분자재료를 사용하여 형성할 수 있다.Next, an electron transport layer (ETL) 250 is formed on the emission layers 241, 243, and 245 of the R, G, and B pixels. The electron transport layer 250 is a layer that facilitates the transport of electrons to the light emitting layers 241, 243, 245 of the R, G, B pixels, for example, a polymer material such as PBD, TAZ, spiro-PBD or Alq3, BAlq, It can be formed using a low molecular weight material such as SAlq.

이어서, 본 발명의 도면에는 도시하지 않았지만 상기 전자수송층(250) 상에는 전자주입층(electron injecting layer, HTL)을 형성할 수 있다. 상기 전자주입층은 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245)으로의 전자의 주입을 용이하게 하는 층으로 예를 들어, Alq3(tris(8-quinolinolato)aluminum), LiF(Lithium Fluoride), 갈륨 혼합물(Ga complex), PBD를 사용하여 형성할 수 있다. Subsequently, although not shown in the drawings, an electron injecting layer (HTL) may be formed on the electron transport layer 250. The electron injection layer facilitates the injection of electrons into the light emitting layers 241, 243 and 245 of R, G, and B pixels. For example, Alq3 (tris (8-quinolinolato) aluminum), LiF (Lithium Fluoride), and gallium mixture (Ga complex), can be formed using PBD.

한편, 상기 전자수송층(250)과 상기 전자주입층을 형성하는 것은 진공증착법, 스핀코팅법, 잉크젯 프린트법 또는 레이저 열전사법 등을 사용하여 수행할 수 있다.The electron transport layer 250 and the electron injection layer may be formed using a vacuum deposition method, a spin coating method, an inkjet printing method, or a laser thermal transfer method.

이로써, 보조 정공주입층(222a), 정공주입층(224), 정공수송층(230), R, G, B 화소의 발광층(241,243,245), 전자수송층(250) 및 전자주입층으로 구성된 유기막(220)을 형성한다. Accordingly, the organic layer 220 including the auxiliary hole injection layer 222a, the hole injection layer 224, the hole transport layer 230, the light emitting layers 241, 243 and 245 of the R, G, and B pixels, the electron transport layer 250, and the electron injection layer. ).

이어서, 상기 유기막(220) 상에 상부전극(260)을 형성한다. 상기 상부전극(260)은 상기 하부전극(211,213,215) 상부에 형성하며, 상기 상부전극(260)은 캐소드 전극으로 작용한다. 상기 상부전극(260)을 전면발광구조에서 투명 전극으로 형성할 때에는 일함수가 낮은 도전성의 금속으로 Mg, Ca, Al, Ag 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 물질로 형성하여 빛을 투과할 수 있을 정도의 얇은 두께로 형성한다.Subsequently, an upper electrode 260 is formed on the organic layer 220. The upper electrode 260 is formed on the lower electrodes 211, 213, and 215, and the upper electrode 260 serves as a cathode electrode. When the upper electrode 260 is formed as a transparent electrode in the front light emitting structure, a conductive metal having a low work function is formed of one material selected from the group consisting of Mg, Ca, Al, Ag, and alloys thereof to emit light. It is formed to a thickness thin enough to transmit.

이로써, 하부전극(211,213,215), 상기 하부전극(211,213,215) 상에 위치하는 상부전극(260) 및 상기 하부전극(211,213,215)과 상부전극(260) 사이에 형성되고 적어도 R, G 화소의 발광층(241,243)과 공통층으로 형성된 B 화소의 발광층(245)으로 이루어진 유기막(220)으로 구성된 전면발광 유기전계 발광표시장치를 형성한다.As a result, the lower electrodes 211, 213, 215, the upper electrode 260 positioned on the lower electrodes 211, 213, 215, and the lower electrodes 211, 213, 215, and the upper electrode 260 are formed, and at least R, G pixels emitting layers 241, 243. And a top emission organic light emitting display device including an organic layer 220 including a light emitting layer 245 of a B pixel formed of a common layer.

(실시예 2)(Example 2)

본 발명의 실시예 2에 따른 풀칼라 유기전계 발광표시장치는 도 3에 도시된 바와 같이, 보조 정공주입층의 위치만 상이하고, 이외 정공주입층, R, G, B 화소의 발광층 등의 유기막은 실시예 1과 동일하게 형성한다.In the full-color organic light emitting display device according to Embodiment 2 of the present invention, as shown in FIG. The film is formed in the same manner as in Example 1.

상기 하부전극(211,213,215) 상에 정공주입층(224)을 공통층으로 형성한다. 이어서, 상기 R 화소 영역(Ⅰ)의 정공주입층(224) 상부에 보조 정공주입층(222b)을 형성한다. 상기 보조 정공주입층(222b)은 정공주입층(224)과 동일한 물질로 형성하는데, 상기 R 화소의 발광층(241)으로부터 발생하는 파장인 레드(R) 광의 최적화된 광 경로를 만족시키기 위하여 150 내지 250Å 두께로 형성한다. 다음, 상기 보조 정공주입층(222b)을 포함한 정공주입층(224) 상부에 정공수송층(230)을 공통층으로 형성한다.The hole injection layer 224 is formed as a common layer on the lower electrodes 211, 213, and 215. Subsequently, an auxiliary hole injection layer 222b is formed on the hole injection layer 224 of the R pixel region I. The auxiliary hole injection layer 222b is formed of the same material as the hole injection layer 224, in order to satisfy an optimized optical path of red (R) light, which is a wavelength generated from the light emitting layer 241 of the R pixel. It is formed to a thickness of 250Å. Next, a hole transport layer 230 is formed as a common layer on the hole injection layer 224 including the auxiliary hole injection layer 222b.

이어서, 상기 정공수송층(230) 상에 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245)을 형성한다. 상기 R 및 G 화소의 발광층(241,243)은 인광발광층으로 이루어지고 상기 B 화소의 발광층(245)은 형광발광층으로 이루어져서 정공억제층으로 작용하는데, R 및 G 화소의 발광층(241,243)을 패터닝하여 형성하고, B 화소의 발광층(245)을 공통층으로 하여 형성한다.Subsequently, light emitting layers 241, 243, and 245 of R, G, and B pixels are formed on the hole transport layer 230. The light emitting layers 241 and 243 of the R and G pixels are formed of phosphorescent light emitting layers, and the light emitting layer 245 of the B pixel is formed of a fluorescent light emitting layer to act as a hole suppression layer, and is formed by patterning the light emitting layers 241 and 243 of the R and G pixels. And the light emitting layer 245 of B pixel is formed as a common layer.

다음, 상기 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245) 상에 전자수송층(electron transport layer, ETL)(250)을 형성하고, 상기 전자수송층(250) 상에 상부전극(260)으로 캐소드 전극을 형성하여 전면발광 풀칼라 유기전계 발광표시장치를 형성한다.Next, an electron transport layer (ETL) 250 is formed on the light emitting layers 241, 243, and 245 of the R, G, and B pixels, and a cathode electrode is formed as an upper electrode 260 on the electron transport layer 250. To form a full emission full color organic light emitting display device.

(실시예 3)(Example 3)

본 발명의 실시예 3에 따른 풀칼라 유기전계 발광표시장치는 도 4에 도시된 바와 같이, 보조 정공수송층의 위치만 상이하게 형성하고, 이외 정공주입층, R, G, B 화소의 발광층 등의 유기막은 실시예 1과 동일하게 형성한다.In the full-color organic light emitting display device according to Embodiment 3 of the present invention, as shown in FIG. 4, only the positions of the auxiliary hole transport layers are different from each other, and other hole injection layers, light emitting layers of R, G, and B pixels, and the like. An organic film is formed similarly to Example 1.

상기 하부전극(211,213,215) 상에 정공주입층(224)과 정공수송층(230)을 공통층으로 형성한다. 상기 R 화소 영역(Ⅰ)의 정공수송층(230) 상부에 보조 정공수송층(222c)을 형성한다. 상기 보조 정공수송층(222c)은 정공수송층(230)과 동일한 물질로 형성하는데, 상기 R 화소의 발광층(241)으로부터 발생하는 파장인 레드(R) 광의 최적화된 광 경로를 만족시키기 위하여 150 내지 250Å 두께로 형성한다. The hole injection layer 224 and the hole transport layer 230 are formed as common layers on the lower electrodes 211, 213, and 215. An auxiliary hole transport layer 222c is formed on the hole transport layer 230 of the R pixel region I. The auxiliary hole transport layer 222c is formed of the same material as that of the hole transport layer 230. The auxiliary hole transport layer 222c has a thickness of 150 to 250 mW to satisfy an optimized optical path of red (R) light, which is a wavelength generated from the light emitting layer 241 of the R pixel. To form.

이어서, 상기 보조 정공수송층(222c)를 포함한 정공수송층(230) 상에 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245)을 형성한다. 상기 R 및 G 화소의 발광층(241,243)은 인광발광층으로 이루어지고 상기 B 화소의 발광층(245)은 형광발광층으로 이루어져서 정공억제층으로 작용하는데, R 및 G 화소의 발광층(241,243)을 패터닝하여 형성하고, B 화소의 발광층(245)을 공통층으로 하여 형성한다.Subsequently, light emitting layers 241, 243, and 245 of R, G, and B pixels are formed on the hole transport layer 230 including the auxiliary hole transport layer 222c. The light emitting layers 241 and 243 of the R and G pixels are formed of phosphorescent light emitting layers, and the light emitting layer 245 of the B pixel is formed of a fluorescent light emitting layer to act as a hole suppression layer, and is formed by patterning the light emitting layers 241 and 243 of the R and G pixels. And the light emitting layer 245 of B pixel is formed as a common layer.

다음, 상기 R, G, B 화소의 발광층(241,243,245) 상에 전자수송층(electron transport layer, ETL)(250)을 형성하고, 상기 전자수송층(250) 상에 상부전극(260)으로 캐소드 전극을 형성하여 전면발광 풀칼라 유기전계 발광표시장치를 형성한다.Next, an electron transport layer (ETL) 250 is formed on the light emitting layers 241, 243, and 245 of the R, G, and B pixels, and a cathode electrode is formed as an upper electrode 260 on the electron transport layer 250. To form a full emission full color organic light emitting display device.

이하, 본 발명의 이해를 돕기 위해 바람직한 실험예(example)를 제시한다. 다만, 하기의 실험예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 것일 뿐, 본 발명이 하기의 실험예에 의해 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, preferred examples are provided to aid the understanding of the present invention. However, the following experimental examples are only for helping understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the following experimental examples.

<실험예 1>Experimental Example 1

하부전극으로 애노드 전극을 코닝(Corning)사의 15Ω/cm2 (1200Å) ITO 유리 기판을 50mm * 50mm * 0.7mm의 크기로 잘라서 이소프로필 알코올과 순수(pure water) 속에서 각각 5분 동안 초음파 세정한 후, 30분 동안 자외선을 조사하고 오존(O3)에 노출시켜 세정하며 진공증착장치에 유리기판을 장착하였다. The lower electrode was cut by Corning's 15Ω / cm 2 (1200Å) ITO glass substrate into 50mm * 50mm * 0.7mm and ultrasonically cleaned in isopropyl alcohol and pure water for 5 minutes. Thereafter, ultraviolet rays were irradiated for 30 minutes, exposed to ozone (O 3 ), washed, and a glass substrate was mounted on the vacuum deposition apparatus.

상기 유리기판 상부에 우선 정공주입층으로서 공지의 물질인 IDE 406을 진공 증착하였다. G 화소 영역에는 50Å, R 화소 영역에는 하부전극 상에 보조 정공주입층을 200Å으로 형성하고 정공주입층을 50Å으로 하여 총 250Å의 두께로 형성하였으며, 또한 B 화소 영역에는 50Å의 두께로 정공주입층을 형성하였다. 이어서, 정공수송층을 형성하는 물질로 IDE 320을 사용하여 상기 R, G, B 화소 영역 상에 150Å 두께로 진공 증착하여 정공수송층을 형성하였다. 정공수송층을 형성한 후, 상기 정공수송층 상부에 G 화소 영역에는 공지의 녹색 호스트인 TMM004 300Å과 도펀트 인 CD33을 13%로 하여 G 화소의 발광층을 형성하였고, R 화소 영역에는 TMM004 300Å과 도펀트인 TER004를 20%로 하여 형성하였다. 이어서, 상기 R, G 화소의 발광층을 포함한 상부에 공지의 청색 형광 호스트인 BH215 100Å과 BD052를 2%로 하여 R, G, B 화소의 발광층을 형성하였다. 이어서, 상기 R, G, B 화소의 발광층 상에 전자수송층을 형성한다. 상기 전자수송층은 공지의 물질인 Alq3를 사용하여 200Å의 두께로 형성하였다. 다음, 상기 전자수송층 상부에 전자주입층으로 할로겐화 알칼리금속인 LiF를 5Å의 두께로 증착한다.First, IDE 406, a known material, was vacuum deposited on the glass substrate as a hole injection layer. In the G pixel region, the auxiliary hole injection layer was formed to be 200 μs on the lower electrode in the R pixel area, and the hole injection layer was formed to have a total thickness of 250 μs. The hole injection layer was formed to have a thickness of 50 μs in the B pixel area. Formed. Subsequently, the hole transport layer was formed by vacuum deposition to a thickness of 150 Å on the R, G, and B pixel areas using an IDE 320 as a material for forming the hole transport layer. After the hole transport layer was formed, a light emitting layer of G pixel was formed in the G pixel region with the known green host TMM004 300Å and the dopant CD33 13% in the G pixel region, and TMM004 300Å and the dopant TER004 in the R pixel region. It was formed at 20%. Subsequently, a light emitting layer of R, G, and B pixels was formed on the upper side including the light emitting layers of the R and G pixels by using 2% of BH215 100 Hz and BD052 as known blue fluorescent hosts. Subsequently, an electron transport layer is formed on the light emitting layer of the R, G, and B pixels. The electron transport layer was formed to a thickness of 200 kPa using Alq3 which is a known material. Next, LiF, which is an alkali metal halide, is deposited to a thickness of 5 kV as an electron injection layer on the electron transport layer.

상부전극으로 Al과 Ag를 사용하여 각각 10Å과 100Å의 두께로 진공증착하여 캐소드 전극을 형성함으로써 유기전계 발광표시장치를 제조하였다. An organic light emitting display device was manufactured by forming a cathode electrode by vacuum deposition to a thickness of 10Å and 100Å using Al and Ag as upper electrodes, respectively.

<실험예 2>Experimental Example 2

하부전극으로 애노드 전극을 코닝(Corning)사의 15Ω/cm2 (1200Å) ITO 유리 기판을 50mm * 50mm * 0.7mm의 크기로 잘라서 이소프로필 알코올과 순수(pure water) 속에서 각각 5분 동안 초음파 세정한 후, 30분 동안 자외선을 조사하고 오존(O3)에 노출시켜 세정하며 진공증착장치에 유리기판을 장착하였다. The lower electrode was cut by Corning's 15Ω / cm 2 (1200Å) ITO glass substrate into 50mm * 50mm * 0.7mm and ultrasonically cleaned in isopropyl alcohol and pure water for 5 minutes. Thereafter, ultraviolet rays were irradiated for 30 minutes, exposed to ozone (O 3 ), washed, and a glass substrate was mounted on the vacuum deposition apparatus.

상기 유리기판 상부에 우선 정공주입층으로서 공지의 물질인 IDE 406을 진공 증착하였다. G 화소 영역에는 50Å, R 화소 영역에는 보조 정공주입층을 200Å으로 하고 정공주입층을 50Å으로 하여 총 250Å의 두께로 형성하였으며, 또한 B 화소 영역에는 50Å의 두께로 형성하였다. 이어서, 정공수송층을 형성하는 물질로 IDE 320을 사용하여 상기 R, G, B 화소 영역 상에 150Å 두께로 진공 증착하여 정공수 송층을 형성하였다. 정공수송층을 형성한 후, 상기 정공수송층 상부에 G 화소 영역에는 공지의 녹색 호스트인 TMM004 300Å과 도펀트인 CD33을 13%로 하여 G 화소의 발광층을 형성하였고, R 화소 영역에는 TMM004 300Å과 도펀트인 TER004를 20%로 하여 형성하였다. 이어서, 상기 R과, G 화소의 발광층을 포함한 상부에 공지의 청색 형광 호스트인 BH215 100Å과 BD052를 2%로 하여 R, G, B 화소의 발광층을 형성하였다. 이어서, 상기 R, G, B 화소의 발광층 상에 전자수송층을 형성한다. 상기 전자수송층은 공지의 물질인 Alq3를 사용하여 200Å의 두께로 형성하였다. 다음, 상기 전자수송층 상부에 전자주입층으로 할로겐화 알칼리금속인 LiF를 5Å의 두께로 증착한다.First, IDE 406, a known material, was vacuum deposited on the glass substrate as a hole injection layer. A total hole thickness of 250 μs was formed in the G pixel area, 50 μs in the R pixel area, and 200 μs in the auxiliary hole injection layer and 50 μs in the hole injection layer. Subsequently, the hole transport layer was formed by vacuum deposition to a thickness of 150 B on the R, G, and B pixel areas using an IDE 320 as a material for forming the hole transport layer. After the hole transport layer was formed, a light emitting layer of G pixel was formed on the G pixel region with the known green host TMM004 300Å and the dopant CD33 13% in the G pixel region, and TMM004 300Å and the dopant TER004 in the R pixel region. It was formed at 20%. Subsequently, the light emitting layer of R, G, and B pixels was formed on the upper side including R and the light emitting layer of the G pixel with 2% of BH215 100 'and BD052 as known blue fluorescent hosts. Subsequently, an electron transport layer is formed on the light emitting layer of the R, G, and B pixels. The electron transport layer was formed to a thickness of 200 kPa using Alq3 which is a known material. Next, LiF, which is an alkali metal halide, is deposited to a thickness of 5 kV as an electron injection layer on the electron transport layer.

상부전극으로 Al과 Ag를 사용하여 각각 10Å과 200Å의 두께로 진공증착하고 캐소드 전극을 형성함으로써 유기전계 발광표시장치를 제조하였다. An organic light emitting display device was fabricated by using an Al and Ag as the upper electrode, vacuum evaporation to a thickness of 10 Å and 200 각각, respectively, and forming a cathode electrode.

<비교예 1>Comparative Example 1

상기 실험예 1, 2와 달리 보조 정공주입층을 형성하지 않고 상기와 동일한 실험을 수행하여 유기전계발광표시장치를 제조하였다. Unlike Experimental Examples 1 and 2, an organic light emitting display device was manufactured by performing the same experiment as described above without forming an auxiliary hole injection layer.

상기 실험예 1은 G 화소 영역에서 발광 효율이 56cd/A을 나타냈으며 CIE 색좌표는 x=0.34, y=0.63이고, R 화소 영역에서는 발광 효율이 11cd/A를 나타냈으며 CIE 색좌표는 x=0.68, y=0.32이며, B 화소에서는 발광 효율이 2.3cd/A를 나타냈으며 CIE 색좌표는 x=0.14, y=0.11을 나타냈고, 색재현율은 75.5%를 나타냈다. In Experimental Example 1, the light emission efficiency was 56 cd / A in the G pixel region, the CIE color coordinates were x = 0.34 and y = 0.63, and the light emission efficiency was 11 cd / A in the R pixel region, and the xIE color coordinate was x = 0.68, y = 0.32, the luminous efficiency was 2.3 cd / A in the B pixel, the CIE color coordinates were x = 0.14, y = 0.11, and the color reproducibility was 75.5%.

상기 실험예 2는 G 화소에서 발광 효율이 66cd/A을 나타냈으며 CIE 색좌표는 x=0.26, y=0.69이고, R 화소에서는 발광 효율이 10cd/A를 나타냈으며 CIE 색좌표는 x=0.66, y=0.34이며, B 화소에서는 발광 효율이 1.2cd/A를 나타냈으며 CIE 색좌표는 x=0.15, y=0.07을 나타냈고, 색재현율은 90.5%를 나타냈다. In Experimental Example 2, the luminous efficiency was 66 cd / A in the G pixel, the CIE color coordinates were x = 0.26, y = 0.69, the luminous efficiency was 10 cd / A in the R pixel, and the xIE color coordinates were x = 0.66, y =. 0.34, the luminous efficiency was 1.2 cd / A, the CIE color coordinates were x = 0.15, y = 0.07, and the color reproducibility was 90.5%.

상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, R, G, B 화소 영역에 형성되어 있는 정공주입층이나 정공수송층에 보조 정공주입층 또는 보조 정공수송층을 미세패턴 마스크(fine metal mask)나 레이저 열전사법을 이용하여 서로 다른 두께로 형성하고, B 화소의 발광층을 기판 전면에 공통층으로 형성함으로써, 적색(R) 광의 파장이 녹색(G), 청색(B) 광과 다른 광 파장 특성 차이에 의해 간섭 현상에 따른 효율 특성이 저하되는 문제점을 제거하고 공정을 단순화하고 색좌표가 향되며 소자의 특성을 향상시킬 수 있는 전면발광 풀칼라 유기전계 발광표시장치를 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, an auxiliary hole injection layer or an auxiliary hole transport layer is formed in the hole injection layer or the hole transport layer formed in the R, G, and B pixel regions by using a fine metal mask or a laser thermal transfer method. And the light emitting layer of the B pixel is formed as a common layer on the entire surface of the substrate so that the wavelength of the red (R) light is different from that of the green (G) and blue (B) light. Accordingly, a full emission organic light emitting display device capable of eliminating the problem of deteriorating efficiency characteristics, simplifying a process, improving color coordinates, and improving device characteristics can be obtained.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

Claims (21)

R, G, B 화소 영역을 구비하는 기판;A substrate having R, G, and B pixel regions; 상기 기판 상의 R, G, B 화소 영역 상에 형성된 하부전극; A lower electrode formed on the R, G, and B pixel areas on the substrate; 상기 하부전극 상에 형성된 정공주입층 및 R, G, B 화소의 발광층을 포함하는 유기막; 및An organic layer including a hole injection layer formed on the lower electrode and a light emitting layer of R, G, and B pixels; And 상기 유기막 상에 형성된 상부전극;을 포함하며, An upper electrode formed on the organic layer; 상기 B 화소의 발광층은 공통층으로 R, G 화소의 발광층을 포함한 기판 전면에 형성하고, 상기 R 화소 영역에는 하부전극 상에 보조 정공주입층을 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치.The light emitting layer of the B pixel is formed on the entire surface of the substrate including the light emitting layers of the R and G pixels as a common layer, and an auxiliary hole injection layer is formed on the lower electrode in the R pixel area. . 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보조 정공주입층은 정공주입층과 동일한 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치.The auxiliary hole injection layer is a full color organic light emitting display device, characterized in that formed of the same material as the hole injection layer. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보조 정공주입층은 150 내지 250Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치.The auxiliary hole injection layer is a full color organic light emitting display device, characterized in that formed to a thickness of 150 to 250Å. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정공주입층과 보조 정공주입층은 CuPc, TNATA, TCTA, TDAPB, TDATA, PANI 및 PEDOT로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치.And the hole injection layer and the auxiliary hole injection layer are formed using any one selected from the group consisting of CuPc, TNATA, TCTA, TDAPB, TDATA, PANI, and PEDOT. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 보조 정공주입층은 R 화소 영역의 정공주입층 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치.The auxiliary hole injection layer is a full color organic light emitting display device, characterized in that located on the hole injection layer of the R pixel region. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정공 주입층과 R, G, B 화소의 발광층 사이에는 정공수송층을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치.And a hole transport layer between the hole injection layer and the light emitting layer of the R, G, and B pixels. R, G, B 화소 영역을 구비하는 기판;A substrate having R, G, and B pixel regions; 상기 기판 상의 R, G, B 화소 영역 상에 형성된 하부전극; A lower electrode formed on the R, G, and B pixel areas on the substrate; 상기 하부전극 상에 형성된 정공수송층 및 R, G, B 화소의 발광층을 포함하는 유기막; 및An organic layer including a hole transport layer formed on the lower electrode and a light emitting layer of R, G, and B pixels; And 상기 유기막 상에 형성된 상부전극;을 포함하며, An upper electrode formed on the organic layer; 상기 B 화소의 발광층은 공통층으로 R, G 화소의 발광층을 포함한 기판 전면에 형성하고, 상기 R 화소 영역에는 정공수송층 상에 보조 정공수송층을 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치.The light emitting layer of the pixel B is a common layer and is formed on the entire surface of the substrate including the light emitting layers of the R and G pixels, and an auxiliary hole transport layer is formed on the hole transport layer in the R pixel area. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 보조 정공수송층은 정공수송층과 동일한 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치.And the auxiliary hole transport layer is formed of the same material as the hole transport layer. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 보조 정공수송층은 150 내지 250Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치.The auxiliary hole transport layer is a full color organic light emitting display device, characterized in that formed to a thickness of 150 to 250Å. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 보조 정공수송층과 정공수송층은 NPD, TPD, s-TAD, MTDATA 및 PVK로 이 루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치.And the auxiliary hole transporting layer and the hole transporting layer are formed using any one selected from the group consisting of NPD, TPD, s-TAD, MTDATA, and PVK. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 하부전극과 정공수송층 사이에는 정공주입층을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치.A full color organic light emitting display device further comprising a hole injection layer between the lower electrode and the hole transport layer. R, G, B 화소 영역을 구비하는 기판을 제공하는 단계;Providing a substrate having R, G, B pixel regions; 상기 기판 상의 R, G, B 화소 영역 상에 하부전극을 형성하는 단계; Forming a lower electrode on the R, G, and B pixel areas on the substrate; 상기 R 화소 영역의 하부전극 상에 보조 정공주입층을 형성하고, 상기 보조 정공주입층을 포함한 하부전극 상에 정공주입층을 형성하며, 상기 정공주입층 상에 R, G 화소의 발광층을 패터닝하여 형성하고, 상기 R, G 화소의 발광층을 포함한 기판 전면에 B 화소의 발광층을 공통층으로 하여 이루어진 유기막을 형성하는 단계; 및An auxiliary hole injection layer is formed on the lower electrode of the R pixel region, a hole injection layer is formed on the lower electrode including the auxiliary hole injection layer, and light emitting layers of R and G pixels are patterned on the hole injection layer; Forming an organic film including a light emitting layer of B pixels as a common layer on an entire surface of the substrate including light emitting layers of the R and G pixels; And 상기 유기막 상에 상부전극을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법.Forming an upper electrode on the organic layer; and manufacturing a full color organic light emitting display device. 제 12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 보조 정공주입층은 CuPc, TNATA, TCTA, TDAPB, TDATA, PANI 및 PEDOT로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법.The auxiliary hole injection layer is formed using any one selected from the group consisting of CuPc, TNATA, TCTA, TDAPB, TDATA, PANI, and PEDOT. 제 12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 보조 정공주입층은 150 내지 250Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법.The auxiliary hole injection layer is a manufacturing method of a full color organic light emitting display device, characterized in that formed in a thickness of 150 to 250Å. 제 12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 보조 정공주입층을 형성하는 것은 미세패턴 마스크 또는 레이저 열전사법에 의해 패터닝하여 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법. And forming the auxiliary hole injection layer by patterning by using a fine pattern mask or a laser thermal transfer method. 제 12항에 있어서,The method of claim 12, 상기 정공 주입층과 R, G, B 화소의 발광층 사이에는 정공수송층을 더욱 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법.And forming a hole transport layer between the hole injection layer and the light emitting layer of the R, G, and B pixels. R, G, B 화소 영역을 구비하는 기판을 제공하는 단계;Providing a substrate having R, G, B pixel regions; 상기 기판 상의 R, G, B 화소 영역 상에 하부전극을 형성하는 단계; Forming a lower electrode on the R, G, and B pixel areas on the substrate; 상기 하부전극 상에 정공수송층을 형성하고, 상기 R 화소 영역의 정공수송층 상에 보조 정공수송층을 형성하며, 상기 보조 정공수송층을 포함한 정공수송층 상에 R, G 화소의 발광층을 패터닝하여 형성하고, 상기 R, G 화소의 발광층을 포함한 기판 전면에 B 화소의 발광층을 공통층으로 하여 이루어진 유기막을 형성하는 단계; 및Forming a hole transport layer on the lower electrode, forming an auxiliary hole transport layer on the hole transport layer of the R pixel region, and forming a light emitting layer of R and G pixels on the hole transport layer including the auxiliary hole transport layer; Forming an organic film including a light emitting layer of B pixels as a common layer on the entire surface of the substrate including light emitting layers of R and G pixels; And 상기 유기막 상에 상부전극을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법.Forming an upper electrode on the organic layer; and manufacturing a full color organic light emitting display device. 제 17항에 있어서,The method of claim 17, 상기 보조 정공수송층은 NPD, TPD, s-TAD, MTDATA 및 PVK로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법. Wherein the auxiliary hole transport layer is formed using any one selected from the group consisting of NPD, TPD, s-TAD, MTDATA, and PVK. 제 17항에 있어서,The method of claim 17, 상기 보조 정공수송층은 150 내지 250Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법.The auxiliary hole transport layer is a manufacturing method of a full color organic light emitting display device, characterized in that formed in a thickness of 150 to 250Å. 제 17항에 있어서,The method of claim 17, 상기 보조 정공수송층을 형성하는 것은 미세패턴 마스크 또는 레이저 열전사법에 의해 패터닝하여 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법. And forming the auxiliary hole transport layer by patterning by using a fine pattern mask or a laser thermal transfer method. 제 17항에 있어서,The method of claim 17, 상기 하부전극과 정공수송층 사이에는 정공주입층을 더욱 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기전계 발광표시장치의 제조방법.And forming a hole injection layer between the lower electrode and the hole transport layer.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20140111839A (en) * 2013-03-12 2014-09-22 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode display
KR20190120139A (en) * 2019-10-16 2019-10-23 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode display
CN112928151A (en) * 2021-04-19 2021-06-08 安徽熙泰智能科技有限公司 Silicon-based real RGB display device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8358060B2 (en) 2008-12-19 2013-01-22 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting device and method for manufacturing the same
KR20140111839A (en) * 2013-03-12 2014-09-22 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode display
KR102035251B1 (en) 2013-03-12 2019-10-23 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode display
KR20190120139A (en) * 2019-10-16 2019-10-23 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode display
KR102065108B1 (en) 2019-10-16 2020-01-13 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting diode display
CN112928151A (en) * 2021-04-19 2021-06-08 安徽熙泰智能科技有限公司 Silicon-based real RGB display device

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