KR100739573B1 - Manufacturing Method Of Plasma Display Panel - Google Patents
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Abstract
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것으로서, 이 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법은 서로 대향 배치되는 제1 기판 및 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판의 사이 공간에서 방전셀을 구획하는 격벽들과, 상기 방전셀 내에 형성되는 형광체층, 상기 제1 기판에서 일방향을 따라 형성되는 어드레스 전극들, 상기 제2 기판에서 상기 어드레스 전극과 교차하는 방향을 따라 형성되며 상기 각 방전셀에서 적어도 한 쌍이 대응되어 형성되는 표시 전극들, 상기 제2 기판에서 표시 전극들을 덮으며 형성되고, 유전체를 포함하는 유전층 및 상기 제2 기판에서 상기 유전층을 덮으며 형성되는 보호막을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법으로서, Bi2O3, B2O3 및 ZnO를 포함하는 유전체 조성물을 상기 표시 전극에 도포하고, 상기 유전체 조성물이 도포된 표시 전극을 소성하여 유전층을 형성하고, 상기 유전층을 화학적 에칭 공법으로 패터닝하여 상기 각 방전셀에 대응되는 적어도 한 쌍이 대응되어 형성되는 표시 전극들 사이에 홈을 형성하여 유전층을 형성하는 공정을 포함한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel, wherein the method for manufacturing a plasma display panel divides a discharge cell in a space between a first substrate and a second substrate disposed to face each other, and a space between the first substrate and the second substrate. Barrier ribs, a phosphor layer formed in the discharge cell, address electrodes formed along one direction on the first substrate, and a direction intersecting with the address electrodes on the second substrate, and formed at least in each of the discharge cells. Fabrication of a plasma display panel comprising a pair of display electrodes corresponding to each other, a display layer covering the display electrodes on the second substrate, a dielectric layer including a dielectric layer, and a passivation layer covering the dielectric layer on the second substrate. As a method, a dielectric composition comprising Bi 2 O 3 , B 2 O 3 and ZnO is applied to the display electrode, The dielectric layer is formed by baking the display electrode coated with the dielectric composition to form a dielectric layer, and patterning the dielectric layer by a chemical etching method to form grooves between display electrodes in which at least one pair corresponding to each discharge cell is formed. Forming process.
본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법은 Pb를 포함하지 않는 Bi 계열 유전체를 사용하여 환경 오염 문제를 야기하지 않으면서, 가시광 투과율이 높고, 화학적 에칭 공법으로 원하는 패턴을 균일하게 얻을 수 있고, 또한 보호막과의 계면도 균일하게 형성할 수 있다.The manufacturing method of the plasma display panel of the present invention uses a Bi series dielectric that does not contain Pb, and has a high visible light transmittance and uniformly obtains a desired pattern by a chemical etching method without causing environmental pollution problems. The interface of can also be formed uniformly.
PDP,홈,유전층,무연PDP, Home, Dielectric Floor, Lead Free
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 부분 분해 사시도.1 is a partially exploded perspective view showing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 부분 평면도.2 is a partial plan view showing a plasma display panel according to an embodiment of the present invention;
도 3은 도 1의 I-I 선을 따라 잘라서 본 부분 단면도.3 is a partial cross-sectional view taken along the line I-I of FIG.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 부분 평면도.4 is a partial plan view showing a plasma display panel according to another embodiment of the present invention;
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 부분 평면도.5 is a partial plan view of a plasma display panel according to another embodiment of the present invention;
도 6a 및 도 6b는 종래 샌드 블라스트 및 감광성 유전체를 사용하여 형성된 유전체 패턴을 나타낸 사진.6A and 6B are photographs showing a dielectric pattern formed using a conventional sand blast and photosensitive dielectric.
도 7a 및 7b는 본 발명의 실시예 1에 따라 형성된 보호막 형성전 형성된 패턴을 나타낸 표면 및 단면 사진.7A and 7B are surface and cross-sectional photographs showing a pattern formed before forming a protective film formed according to Example 1 of the present invention.
도 8a 및 8b는 비교예 1에 따라 형성된 보호막 형성전 형성된 패턴을 나타낸 표면 및 단면 사진.8A and 8B are surface and cross-sectional photographs showing a pattern formed before forming a protective film according to Comparative Example 1. FIG.
도 9는 본 발명의 실시예 1에 따라 형성된 유전체 패턴을 나타낸 단면 사진.9 is a cross-sectional photograph showing a dielectric pattern formed in accordance with Example 1 of the present invention.
도 10은 비교예 1에 따라 형성된 유전체 패턴을 나타낸 단면 사진.10 is a cross-sectional photograph showing a dielectric pattern formed according to Comparative Example 1. FIG.
도 11은 비교예 2에 따라 형성된 유전체 패턴을 나타낸 단면 사진.11 is a cross-sectional photograph showing a dielectric pattern formed according to Comparative Example 2.
도 12는 본 발명의 실시예 1, 비교예 1 및 참고예 1 내지 2에 따라 형성된 유전층의 가시광 투과율을 측정하여 나타낸 그래프.12 is a graph showing the visible light transmittance of the dielectric layers formed according to Example 1, Comparative Example 1 and Reference Examples 1 to 2 of the present invention.
도 13은 참고예 3에 형성된 보호막 형성전 형성된 패턴을 나타낸 표면 사진.13 is a surface photograph showing a pattern formed before forming a protective film formed in Reference Example 3. FIG.
도 14는 참고예 4에 형성된 보호막 형성전 형성된 패턴을 나타낸 표면 사진.14 is a surface photograph showing a pattern formed before forming a protective film formed in Reference Example 4. FIG.
[산업상 이용 분야][Industrial use]
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 우수한 방전 효율을 나타내는 디스플레이 패널을 간단한 공정으로 제조할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel, and more particularly, to a method for manufacturing a plasma display panel that can produce a display panel exhibiting excellent discharge efficiency in a simple process.
[종래 기술][Prior art]
일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel, PDP)은 기체 방전에 의해 형성된 플라즈마로부터 방사되는 진공자외선(vacuum ultraviolet, VUV)이 형광체층을 여기시킴으로써 발생되는 가시광을 이용하여 영상을 구현하는 디스플레이 소자이다. 이러한 플라즈마 디스플레이 패널은 고해상도의 대화면 구성이 가능하여 차세대 박형 표시 장치로 각광받고 있다.In general, a plasma display panel (PDP) is a display device that realizes an image by using visible light generated by vacuum ultraviolet (VUV) radiation emitted from a plasma formed by gas discharge to excite a phosphor layer. The plasma display panel has a high resolution and large screen configuration, and has been spotlighted as a next generation thin display device.
플라즈마 디스플레이 패널의 일반적인 구조는 3 전극 면방전형 구조이다. 3 전극 면방전형 구조는 두 개의 전극으로 구성되는 표시 전극이 형성되는 전면기판과 상기 기판으로부터 소정의 거리로 떨어져서 어드레스 전극이 형성되는 배면 기판을 포함하고, 이때 표시 전극은 유전층으로 덮히는 구성을 갖는다. 그리고, 상기 전면 기판과 상기 배면 기판 사이의 공간은 격벽에 의해 다수의 방전셀로 구획되고, 방전셀 내부에는 방전 가스가 주입되고 배면 기판 측으로 형광체 층이 형성된다.The general structure of the plasma display panel is a three-electrode surface discharge type structure. The three-electrode surface discharge structure includes a front substrate on which a display electrode composed of two electrodes is formed, and a back substrate on which an address electrode is formed at a predetermined distance from the substrate, wherein the display electrode is covered with a dielectric layer. . The space between the front substrate and the rear substrate is partitioned into a plurality of discharge cells by partition walls, discharge gas is injected into the discharge cells, and a phosphor layer is formed on the rear substrate side.
이와 같이 구성되는 플라즈마 디스플레이 패널의 외부에는 수백만개 이상의 단위 방전셀들이 매트릭스(matrix) 형태로 배열되어 있다. 매트릭스 형태로 배열된 AC 플라즈마 디스플레이 패널의 방전셀들을 동시 구동하기 위해서는 기억특성을 이용한 구동을 하게 된다.More than millions of unit discharge cells are arranged in a matrix form outside the plasma display panel. In order to simultaneously drive the discharge cells of the AC plasma display panel arranged in a matrix form, driving using the memory characteristic is performed.
그런데, 플라즈마 디스플레이 패널은 입력 전력으로부터 최종 가시광을 얻기까지 여러 단계를 거치게 되고, 이 각각의 과정에서 에너지 변환효율이 좋지 않고, 표시 전극을 덮고 있는 유전층으로 인해 표시 전극 사이에서 일어나는 방전의 경로가 길어져서 소비 전력이 높은 문제가 있다. However, the plasma display panel goes through several steps from the input power to the final visible light, and in each of these processes, the energy conversion efficiency is not good, and the discharge path between the display electrodes is long due to the dielectric layer covering the display electrodes. There is a problem of high power consumption.
본 발명의 목적은 향상된 발광 휘도를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a plasma display panel having improved light emission luminance.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 서로 대향 배치되는 제1 기판 및 제2 기판과, 상기 제1 기판과 제2 기판의 사이 공간에서 방전셀을 구획하는 격벽들과, 상기 방전셀 내에 형성되는 형광체층, 상기 제1 기판에서 일방향을 따라 형성되는 어드레스 전극들, 상기 제2 기판에서 상기 어드레스 전극과 교차하는 방향을 따라 형성되며 상기 각 방전셀에서 적어도 한 쌍이 대응되어 형성되는 표시 전극들, 상기 제2 기판에서 표시 전극들을 덮으며 형성되고, 유전체를 포함하는 유전층 및 상기 제2 기판에서 상기 유전층을 덮으며 형성되는 보호막을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법으로서, Bi2O3, B2O3 및 ZnO를 포함하는 유전체 조성물을 상기 표시 전극에 도포하고, 상기 유전체 조성물이 도포된 표시 전극을 소성하여 유전층을 형성하고, 상기 유전층을 화학적 에칭 공법으로 패터닝하여 상기 각 방전셀에 대응되는 적어도 한 쌍이 대응되어 형성되는 표시 전극들 사이에 홈을 형성하여 유전층을 형성하는 공정을 포함하는 것인 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is the first substrate and the second substrate disposed opposite to each other, partition walls for partitioning the discharge cell in the space between the first substrate and the second substrate and formed in the discharge cell A phosphor layer, address electrodes formed along one direction on the first substrate, display electrodes formed along a direction crossing the address electrodes on the second substrate, and at least one pair corresponding to each of the discharge cells; A method of manufacturing a plasma display panel including a dielectric layer covering a display electrode on a second substrate, a dielectric layer including a dielectric, and a passivation layer covering the dielectric layer on the second substrate, the method comprising: Bi 2 O 3 , B 2 O A dielectric composition comprising 3 and ZnO is applied to the display electrode, and the display electrode coated with the dielectric composition is fired to form a dielectric layer. And forming a dielectric layer by patterning the dielectric layer by a chemical etching method to form grooves between display electrodes in which at least one pair corresponding to each of the discharge cells is formed, thereby forming a dielectric layer. do.
상기 유전층은 Bi 계열유전체, 바람직하게는 Bi2O3, B2O3및 ZnO를 포함한다. 상기 홈은 상기 각 방전셀에 대응되는 적어도 한 쌍이 대응되어 형성되는 표시 전극들 사이에서 상기 제2 기판의 일부를 노출시키는 개구일 수도 있고, 상기 표시 전극들 사이에서 상기 제2 기판의 일부가 노출되지는 않으나, 표시 전극들 사이가 유전층의 두께가, 다른 부분보다 얇은, 즉 단차가 형성되어 있는 구조를 모두 포함한다.The dielectric layer comprises a Bi series dielectric, preferably Bi 2 O 3 , B 2 O 3 and ZnO. The groove may be an opening exposing a portion of the second substrate between display electrodes formed by corresponding at least one pair corresponding to each of the discharge cells, and exposing a portion of the second substrate between the display electrodes. However, the thickness of the dielectric layer between the display electrodes includes a structure in which the thickness of the dielectric layer is thinner than other portions, that is, a step is formed.
이하 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
일반적으로 플라즈마 디스플레이 패널에서 효율 향상을 위하여 시그먼트 전극(Segmented electrode)을 사용하는 경우, 대향하는 두 버스 전극(주사 전극 및 유지 전극) 사이 갭(gap)의 에지(edge)에 전계가 집중하여 전기장이 강하게 된다. 따라서 이 에지 영역에 이온 등이 집중하게 되어 보호층 등의 식각 우려가 있어 수명 특성이 나빠질 수 있다.In general, when a segmented electrode is used to improve efficiency in a plasma display panel, an electric field is concentrated at an edge of a gap between two opposing bus electrodes (scan electrode and sustain electrode). This becomes strong. As a result, ions and the like concentrate in this edge region, which may cause etching of the protective layer and the like, resulting in poor lifetime characteristics.
이를 해결하기 위하여, 표시 전극 사이의 유전층에 홈을 형성하여 방전 경로를 짧아지게 하여 플라즈마 디스플레이 패널을 저전압으로 구동할 수 있으며, 또한 표시 전극의 에지쪽의 유전층을 두껍게 함으로써 전계 집중 현상을 방지하여 수명 특성을 개선하고자하는 연구가 진행되고 있다.To solve this problem, a groove is formed in the dielectric layers between the display electrodes to shorten the discharge path, thereby driving the plasma display panel at a low voltage, and by thickening the dielectric layer on the edge side of the display electrodes, the electric field concentration phenomenon is prevented and the lifetime is maintained. Research is underway to improve the characteristics.
본 발명은 상기 홈을 화학적인 에칭 공법으로 형성하는 방법에 관한 것이다. 이러한 화학적인 에칭 방법으로 유전체 유전체 패턴을 형성하기 위해서는 원하는 크기의 패턴을 형성하고, 패턴의 경사면을 적절하게 조절하기 위해 유전체 조성에 따라 에칭액 종류 및 에칭액의 농도, 에칭 시간, 에칭액 분사 압력 등을 적절하게 선택하여 유전체 식각 속도를 조정하여야 원하는 크기의 패턴을 형성할 수 있다. 본 발명에서는 이러한 화학적인 에칭 공법의 조건을 조절하여 최적의 패턴을 제조할 수 있었다.The present invention relates to a method of forming the groove by a chemical etching method. In order to form the dielectric dielectric pattern by the chemical etching method, a pattern having a desired size is formed, and in order to appropriately adjust the inclined surface of the pattern, the type of etchant, the concentration of the etchant, the etching time, the etching solution injection pressure, and the like are appropriate. The dielectric etch rate must be adjusted to form a pattern having a desired size. In the present invention, the optimum pattern can be manufactured by adjusting the conditions of the chemical etching method.
또한, 종래 유전체로 주로 사용되던 Pb를 사용하는 경우 환경 오염 문제가 있어, 최근 Pb를 포함하지 않는 무연(lead-free) 유전체를 사용하기 위한 연구가 진행되고 있으며, 본 발명에서는 이러한 무연 유전체로 Bi 계열 유전체를 사용하였다.In addition, when using Pb, which is mainly used as a conventional dielectric, there is a problem of environmental pollution. Recently, research is being conducted to use a lead-free dielectric that does not include Pb. In the present invention, Bi is used as such a lead-free dielectric. A series dielectric was used.
즉, 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법 중에서, 유전층을 형성하는 방법에 관한 발명이다. That is, the present invention relates to a method of forming a dielectric layer in a method of manufacturing a plasma display panel.
본 발명의 유전층 형성 방법은 먼저, Bi 계열 유전체, 바람직하게는 Bi2O3, B2O3 및 ZnO를 포함하는 유전체 조성물을 상기 표시 전극이 형성된 제2 기판에 도포한다.In the dielectric layer forming method of the present invention, first, a Bi-based dielectric, preferably a dielectric composition including Bi 2 O 3 , B 2 O 3, and ZnO, is applied to a second substrate on which the display electrode is formed.
본 발명에서 바람직한 유전체 조성물은 Bi2O3를 25 내지 45 중량%로 포함하고, B2O3를 15 내지 35 중량%로 포함하고, ZnO를 10 내지 30 중량%로 포함하는 것이며, Bi2O3를 30 내지 40 중량%로 포함하고, B2O3를 20 내지 30 중량%로 포함하고, ZnO를 15 내지 25 중량%로 포함하는 것이 가장 바람직하다. 유전체 조성물에서 나머지 성분은 비히클일 수 있다.Preferred dielectric compositions in the present invention are 25 to 45% by weight of Bi 2 O 3 , 15 to 35% by weight of B 2 O 3 , 10 to 30% by weight of ZnO, Bi 2 O containing 3 to 30 to 40% by weight, and comprises a B 2 O 3 from 20 to 30 wt%, and most preferably containing ZnO by 15 to 25% by weight. The remaining components in the dielectric composition may be a vehicle.
상기 유전체 조성물에서 ZnO의 함량이 가장 중요하며, 이 ZnO의 함량이 30 중량%를 초과하는 경우에는 에칭 특성이 떨어지고, 필름레지스트(DFR) 박리시 사용되는 NaOH와 같은 알칼리액에 의해 반응을 나타내어, 유전체 표면 얼룩 및 표면 거칠기를 유발할 수 있으므로 30 중량% 미만으로 포함시키는 것이 바람직하다. In the dielectric composition, the content of ZnO is most important. When the content of ZnO exceeds 30% by weight, the etching property is deteriorated, and the reaction is caused by an alkali liquid such as NaOH used during film resist (DFR) peeling. It is desirable to include less than 30% by weight as this may cause dielectric surface staining and surface roughness.
이외에 SiO2, TiO2 또는 Al2O3가 추가로 소량 포함될 수도 있으나, 이러한 산화물은 산에 의해 용해도가 떨어지므로 전체 100 중량부에 대하여 3 중량부 이하로 포함되는 것이 바람직하다.In addition, SiO 2 , TiO 2 or Al 2 O 3 may be additionally included in a small amount. However, since the solubility of the oxide is lowered by acid, it is preferable to include 3 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the total.
상기 Bi 계열 유전체는 유전층에 요구되는 유전율, 열팽창 계수 및 열적 특 성(유리 전이 온도, 연화 온도 등), 버스 전극과의 반응에 의한 황변 현상 등을 제어할 수 있고, 에칭에 의한 패턴성을 확보할 수 있어 바람직하다. The Bi-based dielectric can control the dielectric constant, thermal expansion coefficient and thermal characteristics (glass transition temperature, softening temperature, etc.) required for the dielectric layer, yellowing phenomenon due to reaction with the bus electrode, and secure the patternability by etching. It is preferable because it can be done.
또한 상기 Bi 계열 유전체는 Pb를 포함하지 않으므로 Pb로 인한 환경 오염 문제를 야기하지 않고, 가시 광선의 투과율이 종래 Pb 계열 유전체보다 우수하므로 바람직하다. In addition, since the Bi-based dielectric material does not include Pb, the Bi-based dielectric material does not cause environmental pollution due to Pb, and the visible light transmittance is superior to that of the conventional Pb-based dielectric material.
상기 유전체 조성물은 이 유전체 조성물을 도포 및 부착시키기 위하여 비히클을 포함한다. 상기 비히클을 제조할 때 바인더로는 에틸셀룰로스, 메틸 셀릴로스 또는 하이드록시프로필 셀룰로스 등을 사용할 수 있으며, 용제로는 터피놀이나 부틸카비톨 혹은 부틸카비톨아세테이트 등을 한가지 혹은 두가지 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 특히, 본 발명의 Bi계 유전체 비히클로는 에틸셀룰로스, 터피네올(terpineol), 부틸카비톨아세테이트를 5 내지 10 : 15 내지 25 : 45 내지 55 중량비로 포함하는 것이 바람직하다.The dielectric composition includes a vehicle for applying and attaching the dielectric composition. Ethyl cellulose, methyl cellulose or hydroxypropyl cellulose may be used as a binder when preparing the vehicle, and as the solvent, one or two or more of terpineol, butyl carbitol or butyl carbitol acetate may be used. Can be. In particular, the Bi-based dielectric vehicle of the present invention preferably contains ethylcellulose, terpineol, and butyl carbitol acetate in a weight ratio of 5 to 10:15 to 25:45 to 55.
상기 Bi 계열 유전체와 상기 비히클의 혼합 비율은 60 내지 80 : 40 내지 20 중량%가 바람직하다. 이러한 혼합 비율을 벗어나는 경우 점도가 크게 증가되거나, 점도 안정성이 떨어져 인쇄 특성이 크게 저하되므로 바람직하지 않다.The mixing ratio of the Bi-based dielectric and the vehicle is preferably 60 to 80: 40 to 20% by weight. If it is out of this mixing ratio, it is not preferable because the viscosity is greatly increased or the viscosity stability is poor and the printing characteristics are greatly reduced.
상기 유전체 조성물이 도포된 제2 기판을 소성하여 유전층을 형성한다. 이 소성 공정은 550 내지 600℃에서 20분 내지 40분 동안 실시하는 것이 바람직하다. 이러한 소성조건에서 벗어나는 경우 투과율 저하 및 내부 기포 발생으로 인한 내전압이 저하되는 문제가 발생되어 바람직하지 않다.The second substrate coated with the dielectric composition is fired to form a dielectric layer. This firing process is preferably carried out for 20 to 40 minutes at 550 to 600 ℃. Deviation from such firing conditions is not preferable because of the problem that the withstand voltage is lowered due to a decrease in transmittance and generation of internal bubbles.
이어서, 상기 유전층을 화학적인 에칭 공법으로 패터닝하여 상기 표시 전극들 사이에 홈을 형성시켜 본 발명의 유전층을 형성한다. 상기 화학적인 에칭 공법은 Bi계 유전체를 잘 용해할 수 있는, 즉 식각 능력이 우수한 질산, 염산 또는 황산 등의 산을 사용하는 일반적이며, 특히 설비 부식 문제 및 약품 취급 위험도 등을 고려하여 화학적인 에칭액으로 질산을 사용하는 것이 바람직하다. Subsequently, the dielectric layer is patterned by a chemical etching method to form grooves between the display electrodes to form the dielectric layer of the present invention. The chemical etching method generally uses an acid such as nitric acid, hydrochloric acid, or sulfuric acid that can dissolve Bi-based dielectrics well, that is, has excellent etching ability, and especially chemical etching solution in consideration of equipment corrosion problems and chemical handling risks. It is preferable to use nitric acid.
상기 에칭 공법은 0.15 내지 0.30 중량% 농도의 산 에칭액을 사용하여 약 8 내지 12분간 실시하는 것이 바람직하다. 이 에칭 공법을 상기 농도를 벗어나는 에칭액을 사용하거나 상기 시간을 벗어나게 실시하는 경우 원하는 패턴을 얻기 어려워 바람직하지 않다. The etching method is preferably performed for about 8 to 12 minutes using an acid etching solution of 0.15 to 0.30% by weight. When the etching method uses an etching solution that is out of the above concentration or is carried out outside of the above time, a desired pattern is difficult to obtain, which is not preferable.
본 발명에 있어서, 상기 홈이란 상기 각 방전셀에 대응되는 적어도 한 쌍이 대응되어 형성되는 표시 전극들 사이에서 상기 제2 기판의 일부를 노출시키는 개구일 수도 있고, 상기 표시 전극들 사이에서 상기 제2 기판의 일부가 노출되지는 않으나, 표시 전극들 사이가 유전층의 두께가, 다른 부분보다 얇은, 즉 단차가 형성되어 있는 구조를 모두 포함한다.In the present invention, the groove may be an opening exposing a part of the second substrate between display electrodes formed by corresponding at least one pair corresponding to each of the discharge cells, and the second opening between the display electrodes. A part of the substrate is not exposed, but the display electrodes include all of the structures in which the thickness of the dielectric layer is thinner than other parts, that is, a step is formed.
이러한 화학적인 에칭 공법은 조성물을 도포하고 소성한 뒤 원하는 패턴을 형성하므로 소성에 의한 패턴 변형이 없고, 샌드 블라스트(sand blast)나 감광성 유전체를 이용하는 경우, 패턴을 형성한 후, 소성 공정을 거치므로, 소성 후 패턴 무너짐으로 인해 경사면이 심하고, 패턴의 균일도를 확보할 수 없는데 반하여(도 6a 및 도 6b 참조) 유전체 패턴의 균일도 확보와 패턴 경사면을 최소화할 수 있는 장점이 있는 방법이다.Since the chemical etching method forms a desired pattern after coating and firing the composition, there is no pattern deformation by firing, and when sand blast or a photosensitive dielectric is used, the pattern is formed and then fired. After the firing, the inclined plane is severe due to the collapse of the pattern, and the uniformity of the pattern cannot be secured (see FIGS. 6A and 6B).
그러나 종래 Pb 계열 유전체로 일반적으로 사용되는 PbO-B2O3-SiO2의 경우 유전율, 열팽창 계수 및 버스 전극과의 반응성을 제어하기 위해 SiO2 성분을 적정 수준 이상으로 포함하여야 하나, 이 경우 질산과 같은 화학적 에칭액으로는 식각이 어려워 화학적 에칭으로 원하는 패턴을 형성하기 어려워 실제 유전층 적용에는 적용할 수 없었으나, 본 발명에서는 Bi 계열 유전체를 사용함에 따라 화학적 에칭 공법을 실시할 수 있다.However, in the case of PbO-B 2 O 3 -SiO 2 , which is generally used as a Pb-based dielectric, the SiO 2 component should be included at an appropriate level or higher in order to control the dielectric constant, thermal expansion coefficient, and reactivity with the bus electrode. Although it is difficult to form a desired pattern by chemical etching with a chemical etching solution such as this, it was not applicable to an actual dielectric layer application, but in the present invention, a chemical etching method may be performed by using a Bi-based dielectric.
또한 이와 같이 화학적 에칭이 용이함에 따라 Bi 계열 유전체로 형성되는 유전층과 이를 보호하기 위해 형성되는 MgO와 같은 보호막 사이의 계면이 균일하게 형성될 수 있다. 결과적으로 MgO의 2차 전자 방출 효과를 위치별로 균일하게 확보할 수 있으므로 방전 균일도 및 안정성을 확보하는 데 유리하게 된다. In addition, as the chemical etching is easy, an interface between a dielectric layer formed of a Bi-based dielectric and a protective film such as MgO formed to protect the same may be uniformly formed. As a result, since the secondary electron emission effect of MgO can be secured uniformly for each position, it is advantageous to secure the discharge uniformity and stability.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 부분 분해 사시도이다.1 is a partially exploded perspective view illustrating a plasma display panel according to a first embodiment of the present invention.
도 1을 참고하면, 본 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 임의의 크기를 갖는 제1 기판(10)(이하 '배면 기판'이라 함)과 제2 기판(20)(이하 '전면 기판'이라 함)이 서로 소정의 간격을 두고 실질적으로 평행하게 배치되고, 배면 기판(10)과 전면 기판(20)의 사이 공간에는 다수의 방전셀(18)들이 격벽(16)에 의해 구획된다. Referring to FIG. 1, the plasma display panel according to the present embodiment includes a first substrate 10 (hereinafter referred to as a “back substrate”) and a second substrate 20 (hereinafter referred to as a “front substrate”) having an arbitrary size. ) Are disposed substantially parallel to each other at predetermined intervals, and a plurality of
배면 기판(10)의 전면 기판(20) 대향면에는 일방향(도면의 y축 방향)을 따라 복수의 어드레스 전극(12)들이 형성되고, 이 어드레스 전극(12)들을 덮으면서 배면 기판(10)의 전면에 유전층(14)이 형성된다. 어드레스 전극(12)들은 이웃한 것들과 소정의 간격을 두고 나란히 위치한다. A plurality of
유전층(14) 위에는 다수의 방전셀(18)을 구획하는 격벽(16)이 형성된다. 격벽(16)은 어드레스 전극(12)과 나란한 방향(도면의 y축 방향)을 따라 형성되는 제1 격벽부재(16a)와, 제1 격벽부재(16a)와 교차하는 방향(도면의 x축 방향)을 따라 형성되는 제2 격벽부재(16b)를 포함한다. 이러한 격벽 구조는 상기 설명한 구조에 한정되는 것이 아니며, 어드레스 전극과 나란한 격벽부재로만 이루어지는 스트라이프형 격벽 구조 등의 다양한 형상의 격벽 구조가 본 발명에 적용될 수 있고, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다. A
방전셀(18) 내에서 배면 기판(20) 측으로 형광층(19)이 형성되고 방전 가스(일례로 Xe와 Ne의 혼합가스)가 주입되어 소정의 방전 및 발광이 일어나게 된다. 이 때, 형광층(19)은 방전에 의해 생성된 가시광이 전면 기판(20) 쪽으로 진행할 수 있도록 반사형 형광체로 이루어질 수 있다. In the
전면 기판(20)의 배면 기판(10) 대향면에는 어드레스 전극(12)과 교차하는 방향(도면의 x축 방향)을 따라 주사 전극(21)과 유지 전극(22)을 포함하는 표시 전극(21, 22)들이 형성된다. 표시 전극(21, 22)은 어드레스 전극(12)과 교차하는 방향(도면의 x축 방향)을 따라 길게 이어지는 버스 전극(21b, 22b)과, 버스 전극(21b, 22b)으로부터 각 방전셀(18)의 중심을 향해 연장되는 투명 전극(21a, 22a)을 포함한다.On the opposite side of the
상기 버스 전극(21b, 22b)은 일례로 각 방전셀(18)에 한 쌍이 대응될 수 있으며, 이 때 투명 전극(21a, 22a)은 각 방전셀(18)에서 한 쌍이 서로 마주보며 형성된다.For example, a pair of
투명 전극(21a, 22a)은 방전셀(18) 내부에서 플라즈마 방전을 일으키는 역할을 하는 것으로 개구율 확보를 위해 투명 재료인 인듐-주석 산화물(indium tin oxide, ITO) 등으로 이루어질 수 있고, 버스 전극(21b, 22b)은 투명전극(21a, 22a)의 높은 저항을 보상하여 통전성을 확보하기 위한 것으로 불투명의 금속 재료로 이루어질 수 있다. The
유지 전극(22)은 어드레스 전극(12)과 함께 어드레스 구간에서 소정의 전압을 인가받아 어드레스 방전에 관여하고, 주사 전극(21)은 유지 전극(22)과 함께 유지 구간에서 소정의 전압을 인가받아 유지방전에 관여한다. 그러나 각 전극들은 인가되는 신호 전압에 따라 그 역할을 달리할 수 있으므로 이에 한정될 필요는 없다.The sustain
상기 표시 전극(21, 22)을 전체적으로 덮으면서 전면기판(20)에 유전층(24)이 형성된다. 유전층(24)에는 배면 기판(10)에 대향하는 면에서 전면 기판(20)의 일부를 노출시키는 개구(開口, opening)(24a)가 형성되며, 대향하는 표시 전극 에지쪽에서의 두께가 방전 공간 중앙부에서의 두께보다 두꺼운 것이 바람직하다.The
이러한 유전층(28)의 홈(24a)은 표시 전극(21, 22) 사이에서 이들의 길이 방향(도면의 X축 방향)을 따라 길게 이어지면서 형성되는 것도 가능하고, 또는 주사 전극(21)과 유지 전극(22) 사이에서 각 방전셀(18)마다 별개로 형성되는 것도 가능하다.The
주사 전극(21)과 유지 전극(22) 사이에서 일어나는 유지 방전은 유전층(24)의 홈(24a) 부근에서는 실질적으로 대향방전(D)으로 유도되어 방전개시작용을 하고, 상기 홈(24a)의 외곽으로부터 방전셀(18) 가장자리까지의 유전층(24) 부분은 면방전(S)으로 유도되면서 방전이 확산된다.The sustain discharge occurring between the
본 발명에서의 유전층의 홈(24a)은 표시 전극(21, 22) 사이에서 형성되는 방전의 경로(D)를 짧게 한다. 즉, 표시 전극(21, 22) 사이에서의 방전 경로는 표시 전극(21, 22) 사이의 유전층의 홈(24a)을 통하여 형성될 수 있으므로, 방전 경로(D)가 직선화되어 경로가 짧게 형성된다. 본 실시예에서는 방전의 경로(D)를 짧게 함으로써 표시 전극(21, 22) 사이에서 발생하는 방전 전압을 저감시킬 수 있다.The
또한, 본 발명에 따른 유전층은 대향하는 전극 에지쪽에서의 두께가 방전 공간 중앙부에서의 두께보다 두껍게 되어 표시 전극이 대향하는 갭의 에지에 전계가 집중하는 현상을 방지할 수 있으며, 이로 인해 수명 특성을 개선할 수 있다.In addition, in the dielectric layer according to the present invention, the thickness at the opposite electrode edge is thicker than the thickness at the center of the discharge space, thereby preventing the electric field from concentrating on the edge of the gap at which the display electrodes face each other. It can be improved.
본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 또한 상기 유전층(24)을 덮으며 보호막(26)이 전면 기판(20)에 형성된다. 또한 보호막(26)에는 유전층(24)의 홈(24a)에 대응하는 위치에 홈(26a)이 형성된다. 보호막(26)은 플라즈마 방전시 전리된 이온의 충돌로부터 유전층(24)을 보호하며, 높은 이차 전자 방출 계수를 가짐으로써 방전 효율을 높이는 역할을 한다.The plasma display panel of the present invention also covers the
상기 보호막은 일반적으로 보호막을 구성하는 MgO를 포함한다. The protective film generally contains MgO constituting the protective film.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 부분 평면도이고, 도 3은 도 1의 Ⅰ-Ⅰ 선을 따라 잘라서 본 부분 단면도이다.FIG. 2 is a partial plan view of a plasma display panel according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a partial cross-sectional view taken along the line II of FIG. 1.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 유전층의 홈(24a)은 상기 서로 마주보는 투명 전극(21a, 22a) 사이에서 각 방전셀(18)의 중앙부에 대응되어 형성될 수 있다. As shown in FIGS. 2 and 3, the
상기 유전층(24)의 홈(24a)은 표시 전극(21, 22) 사이에서 형성되는 방전의 경로(D)를 짧게 한다. 즉, 표시 전극(21, 22) 사이에서의 방전 경로는 표시 전극(21, 22) 사이의 유전층(24)의 홈(24a)을 통하여 형성될 수 있으므로, 방전 경로(D)가 직선화되어 경로가 짧게 형성된다. 본 실시예에서는 방전의 경로(D)를 짧게 함으로써 표시전극(21, 22) 사이에서 발생하는 방전 전압을 저감시킬 수 있고, 또한 Pb를 포함하지 않는 Bi 계열 유전체를 사용하므로 환경 오염 문제를 야기하지 않고, 가시광 투과율이 우수하며, 화학적 에칭으로 원하는 패턴을 균일하게 형성할 수 있다.The
이하에서는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에 대하여 상세하게 설명한다. 제2 실시예는 제1 실시예와 기본적인 구성이 동일하며 표시 전극의 구조가 제1 실시예와 다른 플라즈마 디스플레이 패널이다. 제1 실시예와 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용한다.Hereinafter, a plasma display panel according to a second exemplary embodiment of the present invention will be described in detail. The second embodiment has the same basic configuration as that of the first embodiment, and the display electrode has a structure different from that of the first embodiment. The same reference numerals are used for the same components as those in the first embodiment.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 부분 평면도이다.4 is a partial plan view showing a plasma display panel according to a second embodiment of the present invention.
도 4를 참조하면, 표시 전극(31, 32)은 어드레스 전극(12)과 교차하는 방향(도면의 x축 방향)을 따라 길게 이어지는 버스 전극(31b, 32b)과, 버스 전극(31b, 32b)으로부터 연장되는 투명 전극(31a, 32a)을 포함한다. 투명 전극(31a, 32a)은 방전셀(18) 내부에서 플라즈마 방전을 일으키는 역할을 하는 것으로 개구율 확보를 위해 투명 재료인 인듐-주석 산화물(indium tin oxide: ITO) 등으로 이루어지며, 버스 전극(31b, 32b)은 이러한 투명 전극(31a, 32a)의 높은 저항을 보상하여 통전성을 확보하기 위한 것으로 불투명의 금속 재료로 이루어질 수 있다. 이때, 버스 전극(31b, 32b)은 각 방전셀(18)에 한 쌍이 대응되어 형성될 수 있으며, 투명 전극(31a, 32a)은 각 방전셀(18)에서 한 쌍이 서로 마주보며 형성된다.Referring to FIG. 4, the
본 실시예에서 투명 전극(31a, 32a)은 버스 전극(31b, 32b)으로부터 버스 전극(31b, 32b)과 교차하는 방향(도면의 y축 방향)으로 연장되는 제1 부분(31a1, 32a1)과, 제1 부분(31a1, 32a1)에 연결되며 각 방전셀(18)의 중앙부에서 서로 마주보며 형성되는 제2 부분(31a2, 32a2)을 포함한다. 본 실시예에서는 방전에 기여하는 정도가 적은 부분의 투명 전극(31a, 32a)의 면적을 줄임으로써 투명 전극(31a, 32a)에 흐르는 전류를 줄일 수 있다.In the present embodiment, the
그리고, 마주보는 투명 전극의 제2 부분(31a2, 32a2) 사이에서 유전층에 홈이 형성될 수 있다.In addition, a groove may be formed in the dielectric layer between the second portions 31a2 and 32a2 of the opposing transparent electrode.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 부분 평면도로서, 유전층(28)이 서로 마주 보는 투명 전극(21a, 22a) 사이에서 각 방절셀(18)의 중앙부에 단차가 있는 형성된 구조이다. 즉, 투명 전극(21a, 22a)들 사이의 유전층의 두께가 다른 부분의 유전층의 두께보다 얇은 표시 중앙부의 유전층(24)이 전면 기판(20)쪽으로 파진 단차가 형성된 구조이나, 전면 기판(20)이 완전 노출되지는 않는 구조를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널을 나타낸다. FIG. 5 is a partial plan view of a plasma display panel according to a third exemplary embodiment of the present invention, in which a step is provided at the center of each of the
이외의 구조는 제1 실시예와 동일하므로 본 명세서에서 자세한 설명은 생략하기로 한다.Since the other structure is the same as the first embodiment, detailed description thereof will be omitted.
본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 표시 전극 사이의 유전층을 식각할 때대향하는 전극 에지쪽의 유전층을 두껍게 하여 전계 집중 형상을 방지하여 수명 특성을 개선할 수 있다. 또한 유전층을 Pb를 포함하지 않는 Bi 계열 유전체로 형성하며, 환경 오염 문제를 야기하지 않으면서, 화학적 에칭 공법으로 원하는 패턴을 균일하게 형성할 수 있다.In the plasma display panel of the present invention, when the dielectric layers between the display electrodes are etched, the dielectric layers on the opposite electrode edges are thickened to prevent the electric field concentration shape, thereby improving the life characteristics. In addition, the dielectric layer may be formed of a Bi-based dielectric material that does not include Pb, and a desired pattern may be uniformly formed by a chemical etching method without causing environmental pollution problems.
이하 본 발명의 바람직한 실시예 및 비교예를 기재한다. 그러나 하기한 실시예는 본 발명의 바람직한 일 실시예일 뿐 본 발명이 하기한 실시예에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, preferred examples and comparative examples of the present invention are described. However, the following examples are only one preferred embodiment of the present invention and the present invention is not limited to the following examples.
(실시예 1)(Example 1)
소다석회 유리로 제조된 전면 기판 위에 인듐 틴 옥사이드 도전체 재료를 이용하여 주사 전극 및 유지 전극을 포함하는 표시 전극을 통상의 방법으로 스트라이프 상으로 형성하였다. 이어서, 35 중량%의 Bi2O3, 25 중량%의 B2O3, 20 중량%의 ZnO를 포함하고, 나머지 함량의 비히클을 포함하는 유전체 페이스트를 상기 표시 전극이 형성된 상부 기판의 전면에 걸쳐 코팅하고, 570℃에서 20분간 소성하여 유 전층을 형성하였다.A display electrode including a scan electrode and a sustain electrode was formed in a stripe shape on a front substrate made of soda lime glass by using an indium tin oxide conductor material. Subsequently, a dielectric paste comprising 35 wt% Bi 2 O 3 , 25 wt% B 2 O 3 , 20 wt% ZnO and the remaining amount of the vehicle was deposited over the entire surface of the upper substrate on which the display electrode was formed. The coated layer was calcined at 570 ° C. for 20 minutes to form a dielectric layer.
상기 비히클은 에틸셀룰로오스, 터피네올 및 부틸카비톨아세테이트를 10 : 20 : 50 중량비로 포함하는 것을 사용하였다.The vehicle was used to include ethyl cellulose, terpineol and butyl carbitol acetate in a 10: 20: 50 weight ratio.
이어서, 0.25% 중량 농도의 질산 에칭액을 이용하여 10분간 에칭(패터닝)하여 상기 주사 전극과 유지 전극 사이에 해당되는 부분의 전면 기판이 노출되도록 홈을 형성하였다. 이후 상기 유전층에 MgO 보호막을 형성하였다. Subsequently, a groove was formed by etching (patterning) for 10 minutes using a 0.25% weight concentration of nitric acid etching solution so as to expose the front substrate of the portion corresponding to the scan electrode and the sustain electrode. Thereafter, an MgO protective film was formed on the dielectric layer.
(비교예 1)(Comparative Example 1)
70 중량%의 PbO, 5 중량%의 B2O3 및 25 중량%의 SiO2를 포함하는 유전체 페이스트를 사용한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 실시하였다.The same process as in Example 1 was used except that a dielectric paste containing 70 wt% PbO, 5 wt% B 2 O 3, and 25 wt% SiO 2 was used.
(비교예 2)(Comparative Example 2)
질산 에칭액 대신 샌드 블라스트법으로 패터닝한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 실시하였다.It carried out similarly to Example 1 except having patterned by the sand blasting method instead of nitric acid etching liquid.
보호막을 형성하기 전의 상기 실시예 1에 따라 패터닝한 패턴 형상의 표면 및 단면을 도 7a 및 도 7b에 각각 나타내었으며, 비교예 1에 따라 패터닝한 패턴 형상의 표면 및 단면을 도 8a 및 도 8b에 나타내었다. 도 7a 및 7b에 나타낸 것과 같이 실시예 1에 따라 형성된 패턴은 유전체가 깨끗하게 제거되어 전면 기판 바닥까지 깨끗하게 패턴이 형성되어 있고 또한 상부 패턴과 하부 패턴의 차이가 적어 패턴 주변부에 검은색 띠 부분이 상당히 줄어들었음을 알 수 있다. 이에 반하여 도 8a에 나타낸 비교예 1에 따라 형성된 패턴은 상부 패턴과 하부 패턴의 차이가 큼을 알 수 있고, 이는 비교예 1의 패턴의 단면을 나타낸 도 8b에서 보면 더욱 명확하게 알 수 있다.The surface and cross section of the pattern shape patterned according to Example 1 before forming the protective film are shown in FIGS. 7A and 7B, respectively. The surface and cross section of the pattern shape patterned according to Comparative Example 1 are shown in FIGS. 8A and 8B. Indicated. As shown in FIGS. 7A and 7B, the pattern formed in accordance with Example 1 has a clean strip of dielectric and a clean pattern formed up to the bottom of the front substrate. It can be seen that the decrease. On the contrary, it can be seen that the pattern formed according to Comparative Example 1 shown in FIG. 8A has a large difference between the upper pattern and the lower pattern, which is more clearly seen in FIG. 8B showing a cross section of the pattern of Comparative Example 1. FIG.
아울러, 보호막을 형성한 후의 상기 실시예 1에 따라 형성된 패턴의 단면을 도 9a 및 도 9b에, 비교예 1에 따라 형성된 패턴의 단면은 도 10a 및 도 10b에, 또한 비교예 2에 따라 형성된 패턴의 단면을 도 11a 및 도 11b에 각각 나타내었다. 도 9a-9b, 도 10a-10b 및 도 11a-11b에 나타낸 사진에서도 실시예 1의 유전체 패턴과 보호막 사이의 계면이 균일함을 알 수 있으나, 비교예 1 및 2의 경우에는 그 계면이 불균일하거나(도 10a 및 10b) 심지어는 서로 혼합되어 혼재되어 있음(도 11a 및 도 11b)을 알 수 있다. In addition, the cross section of the pattern formed according to Example 1 after the protective film is formed in FIGS. 9A and 9B, and the cross section of the pattern formed according to Comparative Example 1 is a pattern formed in FIGS. 10A and 10B and also according to Comparative Example 2 The cross section of is shown in FIG. 11A and FIG. 11B, respectively. 9A-9B, 10A-10B, and 11A-11B also show that the interface between the dielectric pattern and the protective film of Example 1 is uniform, but in Comparative Examples 1 and 2, the interface is uneven. (FIGS. 10A and 10B) It can even be seen that they are mixed and mixed with each other (FIGS. 11A and 11B).
또한, 실시예 1 및 비교예 1에 따라 형성된 유전층의 가시광 투과율을 측정하여 도 12에 나타내었으며, 또한 실시예 1과 비교예 1에서 사용한 동일한 유전체를 사용하고, 패턴은 형성하지 않은 경우를 참고예 1 및 2로 하여 가시광 투과율 측정 결과를 도 12에 함께 나타내었다.In addition, the visible light transmittance of the dielectric layers formed according to Example 1 and Comparative Example 1 was measured and shown in FIG. 12. Also, the same dielectric material used in Example 1 and Comparative Example 1 was used, and the pattern was not formed. The visible light transmittance measurement results were set together with 1 and 2 together in FIG. 12.
도 12에서 알 수 있듯이, 패턴 유무와 상관없이 실시예 1의 Bi 계열 유전체의 가시광 투과율은 비교예 1의 Pb 계열 유전체에 비하여 우수하며, 특히 패턴이 형성되지 않은 경우(17% 차이)에 비하여 패턴이 형성된 경우에는 25%나 가시광 투과율이 향상됨을 알 수 있다.As can be seen in Figure 12, the visible light transmittance of the Bi-based dielectric of Example 1 with or without a pattern is superior to the Pb-based dielectric of Comparative Example 1, in particular, when the pattern is not formed (17% difference) In this case, it can be seen that the visible light transmittance is improved by 25%.
(참고예 3)(Reference Example 3)
에칭 공법을 7분간 실시한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 실시하였다.It carried out similarly to Example 1 except having performed the etching method for 7 minutes.
(참고예 4)(Reference Example 4)
0.10 중량% 농도의 질산 에칭액을 사용하여 10분간 에칭한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일하게 실시하였다.It carried out similarly to Example 1 except having etched for 10 minutes using the nitric acid etching liquid of 0.10 weight% concentration.
보호막을 형성하기 전의 상기 참고예 3 및 참고예 4에 따라 형성된 패턴의 표면을 도 13 및 도 14에 각각 나타내었다. 도 13 및 도 14에 나타낸 것과 같이, 에칭액의 농도와 시간이 적절하지 않을 경우, 상하부 패턴 단차가 심하거나(검은색 띠 형성, 도 13), 바닥면까지 에칭이 안되는(도 14) 문제가 있었다. 이에 비하여, 도 7a에 나타낸 것과 같이, 실시예 1에 따라 형성된 패턴의 표면은 유전체가 깨끗하게 제거되어 전면 기판 바닥까지 깨끗하게 패턴이 형성되어 있음을 알 수 있다. 13 and 14 show the surfaces of patterns formed according to Reference Examples 3 and 4 before forming the protective film, respectively. As shown in Figs. 13 and 14, when the concentration and time of the etching solution are not appropriate, there is a problem that the upper and lower pattern steps are severe (black band formation, Fig. 13) or the etching cannot be performed to the bottom surface (Fig. 14). . In contrast, as shown in FIG. 7A, it can be seen that the surface of the pattern formed according to Example 1 is cleanly removed from the dielectric and thus the pattern is formed to the bottom of the front substrate.
본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널은 Pb를 포함하지 않는 Bi 계열 유전체를 사용하여 환경 오염 문제를 야기하지 않으면서, 가시광 투과율이 높고, 화학적 에칭 공법으로 원하는 패턴을 균일하게 얻을 수 있고, 또한 보호막과의 계면도 균일하게 형성할 수 있다.The plasma display panel of the present invention uses a Bi-based dielectric material that does not contain Pb, has high visible light transmittance, uniformly obtains a desired pattern by a chemical etching method, and does not cause environmental pollution problems, and also has an interface with a protective film. It can form uniformly.
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