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KR100742377B1 - Organic light emitting display device and manufacturing method - Google Patents

Organic light emitting display device and manufacturing method Download PDF

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KR100742377B1
KR100742377B1 KR1020050099887A KR20050099887A KR100742377B1 KR 100742377 B1 KR100742377 B1 KR 100742377B1 KR 1020050099887 A KR1020050099887 A KR 1020050099887A KR 20050099887 A KR20050099887 A KR 20050099887A KR 100742377 B1 KR100742377 B1 KR 100742377B1
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light emitting
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organic
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Abstract

본 발명은 소자를 구비하는 기판, 상기 기판 상에 형성되는 하부전극, 상기 하부전극 상부에 형성되는 적어도 유기 발광층을 포함하는 유기막 및 상기 유기막 상부에 위치하며 광취출부를 구비하는 상부전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention includes a substrate having a device, a lower electrode formed on the substrate, an organic film including at least an organic light emitting layer formed on the lower electrode, and an upper electrode disposed on the organic film and having a light extraction unit. An organic light emitting display device and a method of manufacturing the same are provided.

광취출부, 반사전극, 전면발광, 거울기능 Light extraction part, reflective electrode, front light emission, mirror function

Description

유기전계발광표시장치 및 그 제조방법{Organic electro luminescence device and fabricating method of the same}Organic electroluminescent display device and manufacturing method therefor {Organic electro luminescence device and fabricating method of the same}

도 1은 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치의 단위화소에 대한 평면도이다. 1 is a plan view of a unit pixel of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2a 내지 도 2h는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 제조하는 공정을 순서적으로 보여주는 단면도들이다.2A through 2H are cross-sectional views sequentially illustrating a process of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치에서 광취출부의 두께가 0Å 일 때의 단면도이다.3A and 3B are cross-sectional views when a thickness of a light extraction unit is 0 占 in an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 다른 실시예로서, 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>           <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1. 스캔라인 2. 데이터라인1. Scan Line 2. Data Line

3. 공통전원라인 5. 스위칭 박막트랜지스터3. Common Power Line 5. Switching Thin Film Transistor

6. 구동 박막트랜지스터 7. 캐패시터6. Driving thin film transistor 7. Capacitor

8. 하부전극 9. 화소부 8. Lower electrode 9. Pixel part

200, 400. 기판 210, 410. 버퍼층200, 400. Substrate 210, 410. Buffer layer

220, 420. 게이트절연막 230, 430. 반도체층220, 420. Gate insulating films 230, 430. Semiconductor layer

232, 432. 소오스영역 234, 434. 채널영역232, 432. Source area 234, 434. Channel area

236, 436. 드레인영역 238, 438. 게이트전극236, 436. Drain regions 238, 438. Gate electrodes

240, 440. 층간절연막 250, 450. 평탄화막 240, 440. Interlayer insulating film 250, 450. Flattening film

252, 452. 소오스전극 254, 454. 드레인전극252, 452. Source electrode 254, 454. Drain electrode

256, 258, 458. 콘택홀 265, 465. 비아홀256, 258, 458. Contact holes 265, 465. Via holes

270, 470. 제1 반사막 500. 제2 반사막270, 470. First reflective film 500. Second reflective film

272, 472. 하부전극 280, 480. 화소정의막패턴272, 472. Lower electrodes 280, 480. Pixel defining layer pattern

290, 490. 유기막 300, 500, 505. 상부전극290, 490. Organic films 300, 500, 505. Upper electrode

302. 패시베이션막 Ⅰ, Ⅱ. 광취출부302. Passivation films I and II. Light extraction

본 발명은 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상부전극을 광취출부를 포함하는 반사전극으로 형성함으로써, 거울 기능을 갖는 전면발광 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a top emitting organic light emitting display device having a mirror function and a method of manufacturing the same, by forming an upper electrode as a reflective electrode including a light extraction unit.

일반적으로, 유기전계발광표시장치는 전자(electron) 주입 전극(cathode)과 정공(hole) 주입 전극(anode)으로부터 각각 전자(electron)와 정공(hole)을 발광층 내부로 주입시켜, 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 결합한 엑시톤(exciton) 이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발광하는 발광표시장치이다. In general, an organic light emitting display device injects electrons and holes from an electron injection electrode and a hole injection electrode into an emission layer, respectively, A light emitting display device that emits light when an exciton in which electrons and holes are combined falls from an excited state to a ground state.

일반적인 유기전계발광표시장치의 구조는 기판과 상기 기판 상에 하부전극이 위치하고, 상기 하부전극 상에 발광층(emission layer; EML)을 포함한 유기막이 위치하며, 상기 유기막 상에 상부전극이 위치한다. 상기 유기막은 상기 하부전극과 발광층 사이에 정공주입층(HIL), 정공수송층(HTL)을, 상기 발광층(EML)과 상기 상부전극 사이에 전자수송층(electron transfer layer; ETL), 전자주입층(electron injection layer; EIL)을 더 포함할 수도 있다.In general, an organic light emitting display device has a substrate and a lower electrode on the substrate, an organic layer including an emission layer (EML) on the lower electrode, and an upper electrode on the organic layer. The organic layer may include a hole injection layer (HIL) and a hole transport layer (HTL) between the lower electrode and the light emitting layer, and an electron transfer layer (ETL) and an electron injection layer between the light emitting layer (EML) and the upper electrode. It may further include an injection layer (EIL).

이러한 원리로 인해 종래의 액정 박막 표시 소자와는 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소자의 부피와 무게를 줄일 수 있는 장점이 있다. Due to this principle, unlike the conventional liquid crystal thin film display device, since a separate light source is not required, the volume and weight of the device can be reduced.

상기 유기전계발광표시장치를 구동하는 방식은 수동 매트릭스 방식(passive matrix type)과 능동 매트릭스 방식(active matrix type)으로 나눌 수 있다. The method of driving the organic light emitting display device may be classified into a passive matrix type and an active matrix type.

상기 수동 매트릭스 방식 유기전계발광표시장치는 그 구성이 단순하여 제조 방법 또한 단순하나 높은 소비 전력과 표시 소자의 대면적화에 어려움이 있으며, 배선의 수가 증가하면 할수록 개구율이 저하되는 단점이 있다. The passive matrix type organic light emitting display device has a simple structure and a simple manufacturing method. However, the passive matrix type organic light emitting display device has a high power consumption and a large area of the display device, and the opening ratio decreases as the number of wires increases.

따라서, 소형의 표시 소자에 적용할 경우에는 수동 매트릭스 방식 유기전계발광표시장치를 사용하는 반면, 대면적의 표시 소자에 적용할 경우에는 능동 매트릭스 방식 유기전계발광표시장치를 사용한다. Therefore, the passive matrix type organic light emitting display device is used for a small display device, while the active matrix type organic light emitting display device is used for a large area display device.

또한, 유기전계발광표시장치는 유기발광층으로부터 발생된 광이 방출되는 방향에 따라 배면발광구조와 전면발광구조로 나눌 수 있는데, 배면발광구조는 소자가 형성된 기판쪽으로 광이 방출되는 것으로서 상부전극을 반사전극으로 형성하고 하 부전극을 투명전극으로 형성한다. 여기서, 유기전계발광표시장치가 박막트랜지스터가 형성되는 능동 매트릭스 방식을 채택할 경우에 박막트랜지스터가 형성된 부분은 광이 투과하지 못하게 되므로 빛이 나올 수 있는 면적이 줄어들 수 있다. 이와 달리, 전면발광구조는 상부전극을 반투과 금속 전극으로 형성하고 하부전극을 반사막을 포함하는 투명전극으로 형성함으로써 광이 기판쪽과 반대되는 방향으로 방출되므로 빛이 투과하는 면적이 배면발광구조보다 넓어진다. In addition, the organic light emitting display device may be divided into a bottom light emitting structure and a top light emitting structure according to the direction in which light generated from the organic light emitting layer is emitted. The back light emitting structure reflects the upper electrode as light is emitted toward the substrate on which the device is formed. The electrode is formed and the lower electrode is formed as a transparent electrode. Here, when the organic light emitting display device adopts an active matrix method in which a thin film transistor is formed, a portion where the thin film transistor is formed may not transmit light, thereby reducing the area where light can be emitted. In contrast, in the front light emitting structure, the light is emitted in a direction opposite to the substrate by forming the upper electrode as a semi-transmissive metal electrode and the lower electrode as a transparent electrode including a reflective film. Widens

일반적으로 전면발광 유기전계발광표시장치는 광의 공진효과를 이용하므로 상부전극의 두께를 가능한 파장대에 일치하게 형성하는 것이 중요하며 발광층과 상부전극 사이에 구비되는 정공 주입층 및 정공 수송층의 두께를 파장대에 일치하게 형성하는 것 또한 중요하다. 상기 정공 주입층은 양극인 하부전극으로부터 정공의 주입을 용이하게 한다. 그리고, 상기 정공 수송층은 정공을 쉽게 운반하며 전자를 발광영역에 속박하여 엑시톤의 형성 확률을 증가시키며 정공이동도가 높은 것이 특징이다. In general, the front-emitting organic light emitting display device uses the resonance effect of light, so it is important to form the thickness of the upper electrode in the wavelength range as much as possible, and the thickness of the hole injection layer and the hole transport layer provided between the emission layer and the upper electrode in the wavelength band. Forming consistently is also important. The hole injection layer facilitates injection of holes from the lower electrode as the anode. The hole transport layer easily transports holes, binds electrons to a light emitting region, increases the probability of forming excitons, and has high hole mobility.

그러나 고해상도를 구현하기 위한 전면발광 유기전계발광표시장치의 경우 반투과 캐소드 적용으로 인한 공진 효과로 인하여 측면에서 관찰시 시야각이 문제된다. 또한, 전면발광 유기전계발광소자는 기본적으로 LCD와는 다른 구조로 인하여 반사형의 거울 기능을 구현하는데 문제가 있었다.However, in the case of the front-emitting organic light emitting display device for high resolution, the viewing angle is a problem when viewed from the side due to the resonance effect due to the application of the transflective cathode. In addition, the front-emitting organic light emitting device has a problem in implementing a reflective mirror function due to the structure different from the LCD basically.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서 유기전계발 광표시장치의 화소부 중앙의 소정 영역에 광취출부를 형성하고 상기 광취출부 외측에 캐소드 전극을 형성함으로써, 전면발광 유기전계발광표시장치에서 문제되는 시야각 문제를 해결하고 얇은 반투과 캐소드 전극으로 야기되는 전압 강하(IR DROP) 및 표시장치의 수명 문제를 개선할 수 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and by forming a light extracting portion in a predetermined area in the center of the pixel portion of the organic light emitting display device and forming a cathode electrode outside the light extracting portion, the front light emitting organic light emitting display The problem of viewing angles in display devices can be solved, and voltage drop (IR DROP) caused by thin transflective cathode electrodes and the lifespan of display devices can be improved.

또한, 본 발명은 전원의 OFF시 화소부 영역이 거울로 사용될 수 있게 함으로써, 제품의 상품성을 향상시키고 사용자의 편의를 도모할 수 있는 전면발광 유기전계발광표시장치를 구현하는데 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to implement a front-emitting organic light emitting display device that can be used as a mirror when the power supply is turned off, thereby improving the merchandise and convenience of the user.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 전면발광 유기전계발광표시장치는,In order to achieve the above object, the top-emitting organic light emitting display device according to the present invention,

소자를 구비하는 기판;A substrate having an element;

상기 기판 상에 형성되는 하부전극;A lower electrode formed on the substrate;

상기 하부전극 상부에 형성되는 적어도 유기 발광층을 포함하는 유기막; 및An organic layer including at least an organic emission layer formed on the lower electrode; And

상기 유기막 상부에 위치하며 광취출부를 구비하는 상부전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치와,And an upper electrode disposed on the organic layer and having a light extraction unit.

상기 상부전극의 두께는 800Å 내지 3000Å으로 형성되는 것과,The thickness of the upper electrode is formed to 800 Å to 3000 Å,

상기 광취출부에 있는 상부전극의 두께는 800Å 이하로 형성되는 것과,The thickness of the upper electrode in the light extraction portion is formed to be less than 800Å,

상기 광취출부에 있는 상부전극의 두께가 0Å 일 때 상기 유기막과 상부전극의 상부에 패시베이션막을 더 포함하는 것과, When the thickness of the upper electrode in the light extraction unit is 0Å and further comprising a passivation film on top of the organic film and the upper electrode,

상기 상부전극의 광취출부는 화소부의 중심부로부터의 직경이 전체 화소부의 3/10 내지 2/5로 형성되는 것을 특징으로 한다.The light extraction portion of the upper electrode is characterized in that the diameter from the center of the pixel portion is formed from 3/10 to 2/5 of the entire pixel portion.

또한, 본 발명에 따른 전면발광 유기전계발광표시장치는,In addition, the top-emitting organic light emitting display device according to the present invention,

소자를 구비하는 기판;A substrate having an element;

상기 기판 상에 형성되는 하부전극;A lower electrode formed on the substrate;

상기 하부전극 상부에 형성되고 적어도 유기 발광층을 포함하는 유기막; 및An organic layer formed on the lower electrode and including at least an organic emission layer; And

상기 유기막 상부에 위치하고 광취출부를 구비하며 상기 광취출부 이외의 영역에 반사막을 포함하는 상부전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치와,And an upper electrode disposed on the organic layer, the upper electrode including a light extraction unit and a reflective film in a region other than the light extraction unit.

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상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 전면발광 유기전계발광표시장치의 제조방법은,In order to achieve the above object, a method of manufacturing a top-emitting organic light emitting display device according to the present invention,

소자를 구비하는 기판을 제공하고;Providing a substrate having an element;

상기 기판 상에 하부전극을 형성하며;Forming a lower electrode on the substrate;

상기 하부전극 상부에 적어도 유기 발광층을 포함하는 유기막을 형성하고;Forming an organic layer including at least an organic emission layer on the lower electrode;

상기 유기막 상부에 위치하며 광취출부를 구비하는 상부전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법과,And an upper electrode disposed on the organic layer, the upper electrode having a light extracting unit, and a manufacturing method of the organic light emitting display device comprising:

상기 상부전극의 두께는 800Å 내지 3000Å으로 형성하는 것과,The thickness of the upper electrode is formed to 800 ~ 3000Å,

상기 광취출부에 있는 상부전극의 두께는 800Å 이하로 형성하는 것과,The thickness of the upper electrode in the light extraction portion is formed to 800Å or less,

상기 광취출부에 있는 상부전극의 두께가 0Å 일 때 상기 유기막과 상부전극의 상부에 패시베이션막을 더 포함하는 것과, When the thickness of the upper electrode in the light extraction unit is 0Å and further comprising a passivation film on top of the organic film and the upper electrode,

상기 상부전극의 광취출부는 화소부의 중심부로부터의 직경이 전체 화소부의 3/10 내지 2/5로 형성하는 것을 특징으로 한다.The light extraction portion of the upper electrode is characterized in that the diameter from the center of the pixel portion is formed from 3/10 to 2/5 of the entire pixel portion.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 전면발광 유기전계발광표시장치의 제조방법은,In addition, in order to achieve the above object, a method of manufacturing a top-emitting organic light emitting display device according to the present invention,

소자를 구비한 기판을 제공하고;Providing a substrate having an element;

상기 기판 상에 하부전극을 형성하며;Forming a lower electrode on the substrate;

상기 하부전극 상부에 적어도 유기 발광층을 포함하는 유기막을 형성하고;Forming an organic layer including at least an organic emission layer on the lower electrode;

상기 유기막 상부에 위치하고 광취출부를 구비하며 반사막을 포함하는 상부전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법과,And an upper electrode disposed on the organic layer, the upper electrode including a light extracting unit, and including a reflecting layer, wherein the organic light emitting display device comprises:

상기 광취출부는 개구되어 있는 것을 특징으로 한다. The light extraction portion is characterized in that the opening.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부하는 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms.

(실시예 1)(Example 1)

본 발명은 실시예로 능동 매트릭스 방식에 대하여 설명을 하지만, 반드시 이 에 한정할 것이 아니라 수동 매트릭스 방식에도 적용될 수 있다.Although the present invention describes an active matrix method as an embodiment, the present invention is not necessarily limited thereto and may be applied to a passive matrix method.

도 1은 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치의 단위 화소에 대한 평면도이다.1 is a plan view of a unit pixel of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 일방향으로 배열된 스캔라인(1), 상기 스캔라인(1)과 서로 절연되면서 교차하는 데이터라인(2) 및 상기 스캔라인(1)과 서로 절연되면서 교차하고 상기 데이터라인(2)에 평행하게 공통전원라인(3)이 위치한다. 상기 스캔라인(1), 상기 데이터라인(2) 및 공통전원라인(3)에 의해 다수의 단위 화소, 예를 들면, 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 중의 어느 하나를 나타내는 단위 화소로 정의된다. Referring to FIG. 1, a scan line 1 arranged in one direction, a data line 2 intersecting while insulated from the scan line 1, and an intersecting line and insulated from the scan line 1, the data line ( The common power supply line 3 is located parallel to 2). The scan line 1, the data line 2, and the common power supply line 3 represent one of a plurality of unit pixels, for example, one of red (R), green (G), and blue (B). It is defined as a unit pixel.

이로써, 상기 단위 화소에는 상기 스캔라인(1)에 인가된 신호에 따라 상기 데이터라인(2)에 인가된 데이터 신호를, 예를 들면, 데이터 전압과 상기 공통전원라인(3)에 인가된 전압차에 따른 전하를 축적하는 캐패시터(7) 및 상기 캐패시터(7)에 축적된 전하에 의한 신호를 상기 스위칭 박막트랜지스터(5)를 통해 구동 박막트랜지스터(6)로 입력한다. 이어서 데이터 신호를 입력받은 상기 구동 박막트랜지스터(6)는 하부전극(8), 상부전극 및 두 전극 사이에 유기막을 구비한 상기 화소부(9)에 전기적 신호를 보내 광을 방출하게 한다.Accordingly, the unit pixel includes a data signal applied to the data line 2 according to a signal applied to the scan line 1, for example, a data voltage and a voltage difference applied to the common power supply line 3. The capacitor 7 which accumulates the charge and the signal generated by the charge accumulated in the capacitor 7 are input to the driving thin film transistor 6 through the switching thin film transistor 5. Subsequently, the driving thin film transistor 6 receiving the data signal sends an electrical signal to the pixel portion 9 having the organic layer between the lower electrode 8, the upper electrode, and the two electrodes to emit light.

도 2a 내지 도 2h는 본 발명에 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치를 제조하는 공정을 순서적으로 보여주는 단면도들로서, 도 1의 단위 화소를 A-A'에 대해 절단한 단면도들이다.2A through 2H are cross-sectional views sequentially illustrating a process of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 2A through 2H are cross-sectional views taken along the line AA of FIG. 1.

도 2a를 참조하면, 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치는 유리나 합성 수 지, 스테인레스 스틸 등의 재질로 이루어진 기판(200) 상에 소정의 두께로 선택적으로 버퍼층(210)을 형성한다. 이때, 상기 버퍼층(210)은 후속 공정으로 형성되는 비정질 실리콘의 결정화 공정시 상기 기판(200) 내의 불순물이 확산되는 것을 방지한다.Referring to FIG. 2A, the organic light emitting display device according to the present invention selectively forms a buffer layer 210 to a predetermined thickness on a substrate 200 made of glass, synthetic resin, stainless steel, or the like. In this case, the buffer layer 210 prevents the diffusion of impurities in the substrate 200 during the crystallization process of amorphous silicon formed in a subsequent process.

다음으로 도 2b에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 버퍼층(210)의 상부에 소정의 두께로 비정질 실리콘(도시안됨)을 증착한 후, 상기 비정질 실리콘층을 결정화하고 사진 식각공정으로 패터닝하여 반도체층(230)을 형성하며, 상기 기판(200) 상의 전체 표면 상부에 게이트 절연막(220)을 증착한다. 이때, 상기 게이트 절연막(220)은 실리콘산화막(SiO2), 실리콘질화막(SiNx) 또는 그 적층구조를 사용하여 형성할 수 있다.Next, as shown in FIG. 2B, after depositing amorphous silicon (not shown) on the buffer layer 210 to a predetermined thickness, the amorphous silicon layer is crystallized and patterned by a photolithography process to form a semiconductor layer ( 230 is formed, and a gate insulating film 220 is deposited on the entire surface of the substrate 200. In this case, the gate insulating film 220 may be formed using a silicon oxide film (SiO 2 ), a silicon nitride film (SiN x ), or a stacked structure thereof.

계속해서, 상기 게이트절연막(220) 상부에 알루미늄(Al) 또는 알루미늄- 네오디뮴(Al-Nd)과 같은 알루미늄 합금의 단일층이나, 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo) 합금 위에 알루미늄 합금이 적층된 다중 층으로 게이트전극용 금속층(도시안됨)을 형성하고, 사진식각공정으로 상기 게이트전극용 금속층을 식각하여 상기 반도체층(230)과 대응되는 소정 부분에 게이트전극(238)을 형성한다. 이어서, 상기 게이트 전극(238)을 마스크로 사용하여 도전형의 불순물을 소정 도핑하여 소오스 영역(232)과 드레인 영역(236)을 형성한다. 상기 소오스 영역(232)과 드레인 영역(236)의 사이에 위치한 불순물이 도핑되지 않은 영역은 채널 영역(234)으로 작용한다. 그러나, 상기 도핑 공정은 게이트전극(238)을 형성하기 전에 포토레지스트를 형성 하여 진행할 수도 있다.Subsequently, a single layer of an aluminum alloy, such as aluminum (Al) or aluminum-neodymium (Al-Nd), or a plurality of aluminum alloys stacked on a chromium (Cr) or molybdenum (Mo) alloy on the gate insulating layer 220. The gate electrode metal layer (not shown) is formed as a layer, and the gate electrode metal layer is etched by a photolithography process to form the gate electrode 238 at a predetermined portion corresponding to the semiconductor layer 230. Subsequently, the source region 232 and the drain region 236 are formed using the gate electrode 238 as a mask by doping a conductive impurity. An impurity doped region between the source region 232 and the drain region 236 serves as the channel region 234. However, the doping process may be performed by forming a photoresist before forming the gate electrode 238.

다음으로, 도 2c에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 기판(200) 상에 무기 절연막을 증착하여 소정 두께의 층간 절연막(240)을 형성하고, 상기 층간 절연막(240) 및 게이트 절연막(220)을 사진 식각하여 소오스 영역(232)과 드레인 영역(236)의 일부를 노출시키는 콘택홀(256,258)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 2C, an inorganic insulating film is deposited on the substrate 200 to form an interlayer insulating film 240 having a predetermined thickness, and the interlayer insulating film 240 and the gate insulating film 220 are photographed. Etching is performed to form contact holes 256 and 258 exposing portions of the source region 232 and the drain region 236.

이어서, 도 2d에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 콘택홀(256,258)을 포함한 층간 절연막(240) 상부에 도전 물질을 증착한 후, 상기 도전 물질을 패터닝하여 콘택홀(256)을 통해 소오스 영역(232)에 연결되는 소오스 전극(252)과 콘택홀(258)을 통해 드레인 영역(236)에 연결되는 드레인 전극(254)을 형성한다. 이때, 상기 도전 물질로는 몰리텅스텐(MoW) 또는 알루미늄-네오디뮴(Al-Nd) 등이 사용될 수 있다.Subsequently, as illustrated in FIG. 2D, after depositing a conductive material on the interlayer insulating layer 240 including the contact holes 256 and 258, the conductive material is patterned to form a source region 232 through the contact hole 256. ) And a drain electrode 254 connected to the drain region 236 through the source electrode 252 and the contact hole 258. In this case, molybdenum (MoW) or aluminum-neodymium (Al-Nd) may be used as the conductive material.

다음으로, 도 2e에 도시되어 있는 바와 같이 전체표면 상부에 평탄화막(250)을 형성하는데, 상기 평탄화막(250)은 아크릴 등의 유기절연막이나 실리콘 산화물 등의 무기 절연막이 사용될 수 있으며, 소오스/드레인 전극(252,254)이 형성된 기판(200) 상부 전체 표면에 형성된다. Next, as shown in FIG. 2E, the planarization film 250 is formed on the entire surface. The planarization film 250 may include an organic insulating film such as acrylic or an inorganic insulating film such as silicon oxide. Drain electrodes 252 and 254 are formed on the entire upper surface of the substrate 200 on which the drain electrodes 252 and 254 are formed.

이어서, 도 2f에 도시된 바와 같이 상기 평탄화막(250)을 사진 식각하여 상기 평탄화막(250)에 소오스 전극(252) 또는 드레인 전극(254) 중의 어느 하나, 예를 들어 드레인 전극(254)의 일부분을 노출시키는 비아홀(265)을 형성한다. 이는 후속 공정에서 형성될 하부 전극(도 2g의 272)과 드레인 전극(254)을 연결하기 위함이다.Subsequently, as shown in FIG. 2F, the planarization layer 250 is photo-etched to remove any of the source electrode 252 or the drain electrode 254 from the planarization layer 250, for example, the drain electrode 254. A via hole 265 is formed to expose a portion. This is for connecting the lower electrode 272 and the drain electrode 254 to be formed in a subsequent process.

그 다음, 도 2g에 도시되어 있는 바와 같이 비아홀(265)을 포함한 상면이 평 탄한 평탄화막(250) 상에 도전성 물질을 증착하여 비아홀(265)을 통하여 상기 소오스/드레인 전극(252,254) 중 어느 하나, 예를 들면 드레인 전극(254)에 접속되는 하부 전극(272)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 2G, any one of the source / drain electrodes 252 and 254 may be deposited through the via hole 265 by depositing a conductive material on the planarization film 250 having a flat top surface including the via hole 265. For example, the lower electrode 272 connected to the drain electrode 254 is formed.

상기 기판(200) 상에는 제1 반사막(270)이 포함된 하부전극(272)이 형성되는데, 상기 제1 반사막(270)은 후속 공정에서 형성되는 유기막(290)에서 나오는 빛을 기판(200)과 반대 방향으로 반사시키기 위하여 형성한다. 여기서, 상기 하부전극(272)은 애노드 전극으로 작용한다. The lower electrode 272 including the first reflective film 270 is formed on the substrate 200, and the first reflective film 270 emits light emitted from the organic film 290 formed in a subsequent process. To reflect in the opposite direction. Here, the lower electrode 272 serves as an anode electrode.

이때, 상기 제1 반사막(270)의 물질로는 은(Ag), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 티타늄(Ti) 및 탈륨(Ta)의 단일 금속 및 이들의 합금 등이 사용되고 있으며, 상기 하부전극(272)의 투명 전극의 구성 물질로는 일함수가 높은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등이 사용될 수 있고, 반사 효율 및 일함수 등을 고려하여 알루미늄(Al) 또는 이의 합금과 ITO가 가장 폭 넓게 사용되고 있다.In this case, the material of the first reflective film 270 is a single metal of silver (Ag), aluminum (Al), chromium (Cr), molybdenum (Mo), tungsten (W), titanium (Ti), and thallium (Ta). And alloys thereof. Indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) having a high work function may be used as a constituent material of the transparent electrode of the lower electrode 272. In consideration of its function, aluminum (Al) or its alloys and ITO are most widely used.

이어서, 전체 표면 상부에 화소정의막(도시안됨)을 형성한다. 이때, 상기 화소정의막은 폴리이마이드(polyimide), 벤조사이클로부틴계 수지(benzocyclobutene series resin), 페놀계 수지(phenol resin) 및 아크릴레이트(acrylate)로 이루어진 군에서 선택되는 1종의 물질로 형성할 수 있다. 상기와 같은 박막은 노광 및 현상 공정으로 실시되는 사진 공정에 의해 패터닝이 가능하다.Subsequently, a pixel definition layer (not shown) is formed over the entire surface. In this case, the pixel definition layer may be formed of one material selected from the group consisting of polyimide, benzocyclobutene series resin, phenol resin, and acrylate. have. The thin film as described above can be patterned by a photolithography process performed by an exposure and development process.

그 다음, 도 2h에 도시된 바와 같이 사진 공정으로 상기 화소정의막을 패터닝하여 발광영역을 노출시키는 화소정의막패턴(280)을 형성한 후, 상기 화소정의막 패턴(280)에 의해 노출되는 하부 전극(272)의 표면에 적어도 유기발광층을 포함하는 유기막(290)을 상기 하부전극(272) 상부에 형성한다.Next, as illustrated in FIG. 2H, the pixel definition layer is patterned by a photolithography process to form a pixel definition layer pattern 280 that exposes a light emitting area, and then a lower electrode exposed by the pixel definition layer pattern 280. An organic film 290 including at least an organic light emitting layer on a surface of 272 is formed on the lower electrode 272.

다음, 기판(200) 상의 상기 유기막(290) 상부에 상부전극(300)을 형성한다. 상기 상부전극(300)은 불투명 반사타입으로 두껍게 형성하는데, 상기 상부전극(300)은 중앙에 광취출부(Ⅰ)가 형성되어 있고 상기 광취출부(Ⅰ) 외측에 상부전극(300)이 위치하게 된다. Next, an upper electrode 300 is formed on the organic layer 290 on the substrate 200. The upper electrode 300 is opaque reflection type thick, the upper electrode 300 has a light extraction portion (I) is formed in the center and the upper electrode 300 is located outside the light extraction portion (I) Done.

상기 광취출부(Ⅰ)는 발광면적을 높이기 위하여 바람직하게는 직경이 화소부(도 1에 도시된 9) 발광영역을 형성하는 발광층의 중심부에서 원형으로 형성하는 것이 바람직하며, 유기전계발광표시장치의 개구율을 확보하기 위해서는 화소부(9) 면적의 적어도 30% 이상으로 하고, 또한, 거울로 기능할 수 있게 하기 위하여 40% 이하의 크기로 형성한다. 즉, 화소부(9) 직경의 3/10 내지 2/5 크기로 형성된다.In order to increase the light emitting area, the light extracting part I is preferably formed in a circular shape at the center of the light emitting layer which forms a light emitting area having a pixel portion (9 shown in FIG. 1), and an organic light emitting display device. In order to ensure the aperture ratio of the pixel portion 9, at least 30% or more of the area of the pixel portion 9, and 40% or less in order to be able to function as a mirror. That is, the size of the pixel portion 9 is 3/10 to 2/5 of the diameter.

상기 상부전극(300)의 두께는 800Å 이하로 형성하면 전원의 OFF 시 외부의 광이 투과하여 거울 기능을 갖기 어려우며, 3000Å 이상으로 형성할 때에는 증착시간이 지연되며, 재료 소비의 문제 및 상기 광취출부(Ⅰ)의 형성을 위한 식각 시 지연시간의 문제 등을 야기하는 바, 바람직하게는 상기 상부 전극(300)의 두께는 800Å 내지 3000Å 이하로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 상부 전극(300)은 반사 전극으로 형성하되 일함수가 낮은 도전성의 금속으로 Mg, Ca, Al, Ag 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 물질로 형성한다.If the thickness of the upper electrode 300 is 800 Å or less, it is difficult to have a mirror function due to transmission of external light when the power is turned off, and when it is formed at 3,000 Å or more, the deposition time is delayed, the problem of material consumption and the light extraction Bars may cause problems such as delay time during etching for forming part (I). Preferably, the thickness of the upper electrode 300 is preferably 800 Å to 3000 Å or less. In addition, the upper electrode 300 is formed of a reflective electrode, but a conductive metal having a low work function, and formed of one material selected from the group consisting of Mg, Ca, Al, Ag, and alloys thereof.

상기 광취출부(Ⅰ)에 있는 상부전극(300)은 유기발광층을 포함하는 유기막(290)에서 발생되는 빛이 통과되도록 하기 위하여 800Å 이하의 두께로 형성하는데, 상기 광취출부(Ⅰ)에 있는 상부전극(300)의 두께가 800Å 이상이면 유기막(290)에서 발생된 빛이 투과되기 어려우므로 상기 광취출부(Ⅰ)의 두께는 800Å 이하로 형성한다.The upper electrode 300 of the light extraction unit I is formed to a thickness of 800 Å or less in order to allow the light generated from the organic layer 290 including the organic light emitting layer to pass therethrough. When the thickness of the upper electrode 300 is 800 kPa or more, since light generated in the organic layer 290 is difficult to transmit, the thickness of the light extracting portion I is formed to 800 kPa or less.

이어서, 상기 광취출부(Ⅰ)를 포함한 상부전극(300) 상에 패시베이션막(302)을 형성할 수 있다.Subsequently, a passivation film 302 may be formed on the upper electrode 300 including the light extracting portion (I).

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계발광표시장치에서 광취출부(Ⅰ)에 있는 상부전극의 두께가 0Å일 때의 단면도이다.3A and 3B are cross-sectional views when the thickness of the upper electrode of the light extraction unit I is 0 에서 in the organic light emitting display device according to the exemplary embodiment of the present invention.

도 3a를 참조하면, 상기 광취출부(Ⅰ)에 있는 상부전극의 두께를 0Å으로 형성한 때, 즉 상기 광취출부(Ⅰ)가 개구되어 있는 경우에는 상기 광취출부(Ⅰ) 하부에 형성되어 있는 유기막(290)을 보호하기 위하여 도 2b에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 광취출부(Ⅰ)를 포함한 상부전극(300) 상에 패시베이션막(302)을 형성한다.Referring to FIG. 3A, when the thickness of the upper electrode in the light extraction unit I is formed to be 0Å, that is, when the light extraction unit I is opened, the upper electrode is formed below the light extraction unit I. As shown in FIG. 2B, a passivation film 302 is formed on the upper electrode 300 including the light extracting portion I to protect the organic film 290.

(실시예 2)(Example 2)

도 4는 본 발명의 다른 실시예로서, 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 실시예 2는 실시예 1의 상부전극(도 2h의 300)의 구조만 상이하고 상기 상부전극(300)을 제외한 유기막(290)까지 형성하는 공정은 실시예 1의 도 2a 내지 도 2g의 공정과 동일하게 적용될 수 있는 바, 이하에서는 상부전극(505)의 구조에 대하여만 설명한다. Example 2 according to the present invention is different from the structure of the upper electrode (300 of FIG. 2H) of the first embodiment, and the process of forming up to the organic film 290 except for the upper electrode 300 is shown in FIGS. Bars may be applied in the same manner as in FIG. 2G. Hereinafter, only the structure of the upper electrode 505 will be described.

도 4를 참조하면, 상부전극(505)은 유기막(490) 상에 형성되는데, 상기 상부전극(505)은 화소부(도 1에 도시된 9)의 일측에 형성되며 광이 취출될 수 있도록 하기 위하여 개구되어 있는 광취출부(Ⅱ)가 형성되어 있다. 상기 상부전극(505)은 제2 반사막(500)을 포함하는데, 상기 제2 반사막(500)의 중심부분은 개구되어 있고 유기막(490)에서 발생된 빛이 기판(400) 상부 쪽으로 취출될 수 있도록 하기 위하여 광취출부(Ⅱ)가 위치한다. 상기 제2 반사막(500)은 외부의 빛을 반사하기 위하여 두껍게 형성하며, Al, Ag 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택된 1종의 물질로 형성한다.Referring to FIG. 4, an upper electrode 505 is formed on the organic layer 490, and the upper electrode 505 is formed on one side of the pixel portion (9 shown in FIG. 1) so that light can be extracted. In order to do this, the light extraction section II is opened. The upper electrode 505 includes a second reflective film 500. The central portion of the second reflective film 500 is open and light generated from the organic film 490 may be extracted toward the upper portion of the substrate 400. In order to ensure that the light extraction unit (II) is located. The second reflective film 500 is formed thick to reflect external light, and is formed of one material selected from the group consisting of Al, Ag, and alloys thereof.

상기 제2 반사막(500)과 광취출부(Ⅱ)를 포함한 상부에는 상부전극(505)이 형성되는데, 상기 상부전극(505)은 캐소드 전극으로 작용하며 반투과 금속으로 유기막(490)에서 발생된 빛이 기판(400) 상부 쪽으로 취출될 수 있도록 하기 위하여 50 내지 100Å의 얇은 두께로 형성한다. 상기 반투과 금속은 Ag, MgAg 등의 물질로 형성한다.An upper electrode 505 is formed on the upper portion including the second reflective film 500 and the light extracting part II. The upper electrode 505 acts as a cathode and is generated in the organic film 490 as a semi-transmissive metal. In order to allow the light to be extracted toward the upper portion of the substrate 400, a thin thickness of 50 to 100 Å is formed. The transflective metal is formed of a material such as Ag or MgAg.

상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 전면발광 유기전계발광표시장치의 화소부 중앙의 소정 영역에 개구부를 형성하고 상기 개구부 외측에 캐소드 전극을 형성함으로써, 전면발광 유기전계발광표시장치에서 문제되는 시야각 문제를 해결하고 얇은 반투과 캐소드 전극으로 야기되는 전압 강하(IR DROP) 및 표시장치의 수명 문제를 개선할 수 있다.As described above, according to the present invention, an opening angle is formed in a predetermined area in the center of the pixel portion of the top emission organic light emitting display and a cathode is formed outside the opening, thereby causing a viewing angle problem in the top emission organic light emitting display. And the voltage drop (IR DROP) caused by the thin transflective cathode electrode and the lifetime of the display device can be improved.

또한, 하부 전극과 상부 전극이 반사 전극으로 형성되어 있어, 전원의 OFF시 화소부 영역이 거울로 사용될 수 있게 되어 제품의 상품성이 향상되고 사용자의 편 의를 도모할 수 있다.In addition, since the lower electrode and the upper electrode are formed as a reflective electrode, the pixel portion region can be used as a mirror when the power is turned off, thereby improving the merchandise and the user's convenience.

Claims (7)

소자를 구비하는 기판;A substrate having an element; 상기 기판 상에 형성되는 하부전극;A lower electrode formed on the substrate; 상기 하부전극 상부에 형성되는 적어도 유기 발광층을 포함하는 유기막; 및An organic layer including at least an organic emission layer formed on the lower electrode; And 상기 유기막 상부에 위치하며 광취출부를 구비하는 상부전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.And an upper electrode disposed on the organic layer and having a light extraction unit. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 상부전극의 두께는 800Å 내지 3000Å으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.The upper electrode has an organic light emitting display device, characterized in that formed in the thickness of 800 ~ 3000Å. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광취출부에 있는 상부전극의 두께는 800Å 이하로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.An organic light emitting display device, characterized in that the thickness of the upper electrode in the light extraction portion is formed to be 800 Å or less. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광취출부에 있는 상부전극의 두께가 0Å 일 때 상기 유기막과 상부전극의 상부에 패시베이션막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.And a passivation layer on the organic layer and the upper electrode when the thickness of the upper electrode in the light extraction unit is 0 Å. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 상부전극의 광취출부는 화소부의 중심부로부터의 직경이 전체 화소부의 3/10 내지 2/5로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.And the light extracting portion of the upper electrode is 3/10 to 2/5 in diameter from the center of the pixel portion. 소자를 구비하는 기판;A substrate having an element; 상기 기판 상에 형성되는 하부전극;A lower electrode formed on the substrate; 상기 하부전극 상부에 형성되고 적어도 유기 발광층을 포함하는 유기막; 및An organic layer formed on the lower electrode and including at least an organic emission layer; And 상기 유기막 상부에 위치하고 광취출부를 구비하며 상기 광취출부 이외의 영역에 반사막을 포함하는 상부전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.And an upper electrode disposed on the organic layer, the upper electrode including a light extraction unit and a reflective film in a region other than the light extraction unit. 삭제delete
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