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KR100763078B1 - How to erase NAND flash memory - Google Patents

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KR100763078B1
KR100763078B1 KR1020060084769A KR20060084769A KR100763078B1 KR 100763078 B1 KR100763078 B1 KR 100763078B1 KR 1020060084769 A KR1020060084769 A KR 1020060084769A KR 20060084769 A KR20060084769 A KR 20060084769A KR 100763078 B1 KR100763078 B1 KR 100763078B1
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South Korea
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erasing
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박원선
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주식회사 하이닉스반도체
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Abstract

본 발명은 낸드 플래시 메모리의 소거 방법에 관한 것으로, 다수의 워드 라인과, 상기 다수의 워드 라인에 대응되어 동작을 위한 프리차지 전압을 제공하기 위한 공통 워드라인과, 상기 워드 라인과 공통 워드라인을 각각 연결하는 다수의 블록 선택 스위치를 포함하는 낸드 플래시 메모리의 소거 방법에 있어서, 상기 다수의 블록 선택 스위치를 동작시키기 위한 제어신호로서 소거를 위한 벌크전압보다 오프셋 전압만큼 큰 제 1 전압을 인가하는 단계; 소거를 위한 제 1 워드라인과 연결되는 제 1 공통 워드 라인에 0V를 인가하고, 상기 제 1 워드라인과 인접한 제 2 워드라인과 연결되는 제 2 공통 워드라인에 상기 벌크 전압보다 높은 선택전압보다 오프셋 전압만큼 큰 제 2 전압을 인가하는 단계; 설정된 시간 이후에, 상기 블록 선택 스위치를 동작시키는 제어신호에 인가되는 제 1 전압을 벌크 전압으로 변경하고, 상기 제 1 워드라인과 인접하지 않은 제 3워드라인과 연결되는 제 3 공통 워드라인에 상기 선택 전압을 인가하는 단계; 및 상기 메모리 셀 어레이의 기판에 셀 소거를 위한 소거전압을 인가하는 단계를 포함한다.The present invention relates to a method of erasing a NAND flash memory, and includes a plurality of word lines, a common word line for providing a precharge voltage corresponding to the plurality of word lines, and a precharge voltage for operation. A method of erasing a NAND flash memory including a plurality of block selection switches connected to each other, the method comprising: applying a first voltage greater than an offset voltage than a bulk voltage for erasing as a control signal for operating the plurality of block selection switches ; 0V is applied to the first common word line connected to the first word line for erasing, and offset from the selection voltage higher than the bulk voltage to the second common word line connected to the second word line adjacent to the first word line. Applying a second voltage as large as the voltage; After a predetermined time, the first voltage applied to the control signal for operating the block select switch is changed to a bulk voltage, and the third common word line connected to the third word line not adjacent to the first word line is applied to the bulk voltage. Applying a selection voltage; And applying an erase voltage for cell erase to the substrate of the memory cell array.

Description

낸드 플래시 메모리의 소거 방법{Method of erasing for nand flash memory}Method of erasing NAND flash memory {Method of erasing for nand flash memory}

도 1은 종래의 낸드 플래시 메모리의 소거 동작을 설명하기 위한 개념도이다.1 is a conceptual diagram illustrating an erase operation of a conventional NAND flash memory.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 낸드 플래시 메모리의 소거 동작을 설명하기 위한 개념도이다.2 is a conceptual diagram illustrating an erase operation of a NAND flash memory according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 소거 동작 시 인가되는 전압을 설명하기 위한 파형도이다.3 is a waveform diagram illustrating a voltage applied in the erase operation of FIG. 2.

* 도면의 주요부분에 대한 부호 설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 내지 50 및 110 내지 150 : 워드 라인10 to 50 and 110 to 150 word lines

본 발명은 낸드 플래시 메모리(NAND Flash Memory)의 소거 방법에 관한 것으로, 특히 부분소거(Partial erase) 시에 소거를 위해 선택되는 워드라인(Word Line)과 인접한 선택되지 않은 워드라인의 셀이 소거되거나 간섭(Disturbance)되는 것을 방지할 수 있는 낸드 플래시 메모리의 소거 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of erasing a NAND flash memory, and in particular, a cell of an unselected word line adjacent to a word line selected for erasing in a partial erase is erased or The present invention relates to a method of erasing a NAND flash memory capable of preventing interference.

낸드 플래시 메모리에서 부분소거를 수행할 때, 선택된 워드 라인에는 0V가 인가되어 P웰과의 전위차에 의해 FN(Fowler-Nordheim) 터널링(tunneling)을 발생하 도록 하고, 선택되지 않은 워드 라인은 플로팅(Floating)시켜 P웰(Well)의 고전압에 의해 셀프 부스팅(Self boosting)되어 FN 터널링이 발생하기 위한 전압차가 생기지 않아 소거가 되지 않는다.When performing partial erasure on NAND flash memory, 0V is applied to the selected word line to cause Fowler-Nordheim (FN) tunneling due to the potential difference with the P well, and the unselected word line is floating. By self boosting by high voltage of P well, there is no voltage difference for FN tunneling to occur and it is not erased.

도 1은 종래의 낸드 플래시 메모리의 소거 동작을 설명하기 위한 개념도이다.1 is a conceptual diagram illustrating an erase operation of a conventional NAND flash memory.

도 1은 낸드 플래시 메모리를 간략화 하여 도시한 것으로, 도 1을 참조하면, P웰(P-well) 상에 형성된 메모리 셀 어레이는 다수의 셀이 직렬 접속된 각 셀 스트링의 공통 드레인 단자에 각각 접속되는 다수의 비트라인(BL1~BLn)이 구성되고 또한, 상기 비트라인(BL1~BLn)과 교차하며 메모리 셀을 각각 선택하기 위한 제 1 내지 제 5 워드라인(10~50)이 각각 구성된다.1 is a simplified view of a NAND flash memory. Referring to FIG. 1, a memory cell array formed on a P-well may be connected to a common drain terminal of each cell string in which a plurality of cells are connected in series. A plurality of bit lines BL1 to BLn are formed, and first to fifth word lines 10 to 50 are respectively formed to cross the bit lines BL1 to BLn and select memory cells, respectively.

상기의 낸드 플래시 메모리에서 예를 들어 제 3 워드라인(30)에 접속된 셀을 부분소거 하고자 하는 경우, 제 3 워드 라인(30)에 0V를 인가하고, 그 밖에 워드라인(10,20,40, 및 50)에는

Figure 112006063861082-pat00001
을 인가한다. 이때
Figure 112006063861082-pat00002
은 블록 선택 제어신호에 인가되는
Figure 112006063861082-pat00003
보다 높은 전압이다. In the NAND flash memory, for example, to partially erase a cell connected to the third word line 30, 0V is applied to the third word line 30, and the word lines 10, 20, and 40 are otherwise. And 50) are
Figure 112006063861082-pat00001
Is applied. At this time
Figure 112006063861082-pat00002
Is applied to the block selection control signal.
Figure 112006063861082-pat00003
Higher voltage.

Figure 112006063861082-pat00004
Figure 112006063861082-pat00005
보다 높은 전압이기 때문에, 블록 선택 스위치의 트랜지스터는 워드라인을
Figure 112006063861082-pat00006
-
Figure 112006063861082-pat00007
만큼 차지시키고 턴 오프되어 플로팅 시킨다.
Figure 112006063861082-pat00004
this
Figure 112006063861082-pat00005
Because of the higher voltage, the transistor of the block select switch
Figure 112006063861082-pat00006
-
Figure 112006063861082-pat00007
Charge and turn off to float.

그리고 기판의 P웰(P-well)에 높은 전압을 인가한다. 상기 P웰의 높은 전압으로 인해 제 3 워드라인(30)에 연결된 메모리 셀은 전압차에 의해 FN 터널링이 발생하여 소거가 된다.Then, a high voltage is applied to the P-well of the substrate. Due to the high voltage of the P well, the memory cell connected to the third word line 30 is erased due to the FN tunneling caused by the voltage difference.

그리고 선택되지 않은 다른 워드 라인(10,20,40,50)들은 셀프 부스팅(self boosting) 효과에 의해 자체적으로 전압이 상승되고, 이로 인해 P웰과 FN 터널링이 발생할 만큼의 전압차가 발생되지 않아 소거가 되지 않는다.The other unselected word lines 10, 20, 40, and 50 are self-boosting, and the voltage rises by itself, thereby eliminating voltage difference enough to cause P well and FN tunneling. Does not become.

상기한 소거 방법을 이용하는 경우, 0V가 인가되는 제 3 워드라인(30)과, 제 3 워드 라인에 인접한 제 2 및 제 4 워드라인(20, 40)간에 커플링 효과가 존재하여, 이로 인해 제 2 및 제 4 워드라인(20, 40)에 접속된 셀들이 충분히 셀프 부스팅을 하지 못하여 FN 터널링을 방지할 만큼의 전압으로 상승하지 못하는 경우가 발생한다.When the above erase method is used, a coupling effect exists between the third word line 30 to which 0V is applied and the second and fourth word lines 20 and 40 adjacent to the third word line. Cells connected to the second and fourth word lines 20 and 40 do not self-boost sufficiently to rise to a voltage sufficient to prevent FN tunneling.

이러한 경우, 부스팅이 충분치 않아 전압 상승이 모자라게 되면, P웰과 FN 터널링이 발생할 정도의 전압차가 발생하여 소거가 되는 문제가 발생할 수 있다. 상기한 문제 해결을 위해 선택되지 않은 제 1, 제 2, 제 4 및 제 5 워드 라인(10, 20, 40, 50)에 더 높은 레벨의 전위를 인가하는 경우는 소거를 위한 제 3 워드라인(30)과 인접하지 않은 다른 제 1 및 제 5 워드라인(10, 50)이 오버 부스팅되어 간섭을 받게 되는 문제가 발생할 수 있다.In this case, when the boosting is insufficient and the voltage rise is insufficient, a voltage difference enough to cause the P well and the FN tunneling may occur, which may cause erasure. When a higher level potential is applied to the first, second, fourth and fifth word lines 10, 20, 40, and 50 that are not selected to solve the above problem, the third word line for erasing ( Other first and fifth word lines 10 and 50 that are not adjacent to 30 may be over-boosted to cause interference.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 낸드 플래시 메모리의 부분 소거시에 선택되지 않은 셀들이 커플링 효과에 의해 소거되거나, 간섭받지 않도록 하는 낸드 플래시 메모리의 소거 방법을 제공하는데 있다.Accordingly, an aspect of the present invention is to provide a method of erasing a NAND flash memory such that cells which are not selected during partial erasing of the NAND flash memory are not erased or interfered by a coupling effect.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일면에 따른 낸드 플래시 메 모리의 소거 방법은,According to an aspect of the present invention for achieving the above technical problem, a method of erasing a NAND flash memory,

다수의 워드 라인과, 상기 다수의 워드 라인에 대응되어 동작을 위한 프리차지 전압을 제공하기 위한 공통 워드라인과, 상기 워드 라인과 공통 워드라인을 각각 연결하는 다수의 블록 선택 스위치를 포함하는 낸드 플래시 메모리의 소거 방법에 있어서, 상기 다수의 블록 선택 스위치를 동작시키기 위한 제어신호로서 소거를 위한 벌크전압보다 오프셋 전압만큼 큰 제 1 전압을 인가하는 단계; 소거를 위한 제 1 워드라인과 연결되는 제 1 공통 워드 라인에 0V를 인가하고, 상기 제 1 워드라인과 인접한 제 2 워드라인과 연결되는 제 2 공통 워드라인에 상기 벌크 전압보다 높은 선택전압보다 오프셋 전압만큼 큰 제 2 전압을 인가하는 단계; 설정된 시간 이후에, 상기 블록 선택 스위치를 동작시키는 제어신호에 인가되는 제 1 전압을 벌크 전압으로 변경하고, 상기 제 1 워드라인과 인접하지 않은 제 3워드라인과 연결되는 제 3 공통 워드라인에 상기 선택 전압을 인가하는 단계; 및 상기 메모리 셀 어레이의 기판에 셀 소거를 위한 소거전압을 인가하는 단계를 포함한다.NAND flash including a plurality of word lines, a common word line corresponding to the plurality of word lines to provide a precharge voltage for operation, and a plurality of block selection switches connecting the word lines and the common word lines, respectively. CLAIMS 1. A method of erasing a memory, the method comprising: applying a first voltage greater than an offset voltage than a bulk voltage for erasing as a control signal for operating the plurality of block selection switches; 0V is applied to the first common word line connected to the first word line for erasing, and offset from the selection voltage higher than the bulk voltage to the second common word line connected to the second word line adjacent to the first word line. Applying a second voltage as large as the voltage; After a predetermined time, the first voltage applied to the control signal for operating the block select switch is changed to a bulk voltage, and the third common word line connected to the third word line not adjacent to the first word line is applied to the bulk voltage. Applying a selection voltage; And applying an erase voltage for cell erase to the substrate of the memory cell array.

그리고 상기 오프셋 전압은 상기 메모리 셀이 정상적인 부스팅 동작을 하여 갖는 전압과, 인접한 제 2 워드라인과 제 1 워드라인간의 커플링효과에 의해 메모리 셀이 부스팅 동작을 하여 갖는 전압과의 차인 것을 특징으로 한다.The offset voltage is a difference between a voltage of the memory cell performing a normal boosting operation and a voltage of the memory cell performing a boosting operation due to a coupling effect between an adjacent second word line and a first word line. .

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공 되는 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. It is provided to inform you.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 낸드 플래시 메모리의 소거 동작을 설명하기 위한 개념도이다.2 is a conceptual diagram illustrating an erase operation of a NAND flash memory according to an embodiment of the present invention.

도 2는 낸드 플래시 메모리를 간략화하여 도시한 것으로 도 2를 참조하면, P웰(P-well) 상에 형성된 메모리 셀 어레이는 다수의 셀이 직렬 접속된 셀 스트링의 공통 드레인 단자에 각각 접속되는 다수의 비트라인(BL1~BLn)이 구성되고 또한, 상기 비트라인(BL1~BLn)과 교차하며 메모리 셀을 각각 선택하기 위한 제 1 내지 제 5 워드라인(110~150)이 구성된다.2 is a simplified view of a NAND flash memory. Referring to FIG. 2, a memory cell array formed on a P-well includes a plurality of cells each connected to a common drain terminal of a cell string in which a plurality of cells are connected in series. The bit lines BL1 to BLn are formed, and the first to fifth word lines 110 to 150 are selected to cross the bit lines BL1 to BLn and select memory cells, respectively.

각각의 워드라인(110~150)의 노드 1 내지 노드 5와 글로벌 워드라인(GWL; Global Word Line) 및 블록 선택 제어신호(BLKWL)에 의해 동작되는 블록선택 스위치가 각각 접속된다.Node 1 to node 5 of each word line 110 to 150 and a block select switch operated by a global word line (GWL) and a block select control signal BLKWL are connected to each other.

상기한 메모리 셀 어레이에서 예를들어 제 3 워드 라인(130)에 접속된 셀들을 소거하고자 하면, 우선 제 3 워드라인(130)에 연결되는 글로벌 워드라인(selected GWL)에 0V가 인가되고, 상기 제 3워드 라인(130)과 인접한 제 2 및 제 4 워드 라인에 연결되는 글로벌 워드라인(adjacent unselect GWL)에는

Figure 112006063861082-pat00008
+
Figure 112006063861082-pat00009
가 인가된다. 이때
Figure 112006063861082-pat00010
은 블록 선택 제어신호에 인가되는
Figure 112006063861082-pat00011
보다 큰 전압이며,
Figure 112006063861082-pat00012
은 커플링 효과에 의해 부스팅 되지 못하는 전압이다.In the memory cell array, for example, when the cells connected to the third word line 130 are to be erased, 0V is first applied to the global word line selected GWL connected to the third word line 130. A global word line (adjacent unselect GWL) connected to the second and fourth word lines adjacent to the third word line 130 is included in the global word line.
Figure 112006063861082-pat00008
+
Figure 112006063861082-pat00009
Is applied. At this time
Figure 112006063861082-pat00010
Is applied to the block selection control signal.
Figure 112006063861082-pat00011
Is a greater voltage,
Figure 112006063861082-pat00012
Is the voltage that cannot be boosted by the coupling effect.

그리고 블록 선택 제어신호(BLKWL)에

Figure 112006063861082-pat00013
+
Figure 112006063861082-pat00014
가 인가되면, 블록 선택 스위치가 턴 온 되고, 각각의 GWL은 노드 2 내지 노드 4와 연결된다. 그리고 노드 2 및 노드 4는 GWL의 전압레벨에 따라 프리차지 된다. 이때 상기
Figure 112006063861082-pat00015
Figure 112006063861082-pat00016
보다 큰 전압 레벨을 갖는다. 상기
Figure 112006063861082-pat00017
은 메모리 셀이 정상적으로 부스팅 되었을 경우의 전압과, 커플링 효과에 의한 영향을 받아 부스팅 되었을 경우의 전압간의 차를 나타낸다.And block selection control signal BLKWL.
Figure 112006063861082-pat00013
+
Figure 112006063861082-pat00014
Is applied, the block select switch is turned on, and each GWL is connected to nodes 2-4. Nodes 2 and 4 are then precharged according to the voltage level of GWL. At this time
Figure 112006063861082-pat00015
silver
Figure 112006063861082-pat00016
Has a higher voltage level. remind
Figure 112006063861082-pat00017
Denotes the difference between the voltage when the memory cell is normally boosted and the voltage when the memory cell is boosted under the influence of the coupling effect.

상기 제 2 및 제 4 워드 라인(120, 140)의 노드 2 및 노드 4는

Figure 112006063861082-pat00018
+
Figure 112006063861082-pat00019
-
Figure 112006063861082-pat00020
까지 프리차지가 되고, 이후에 블록 선택 스위치가 턴 오프되어 플로팅 된다. 이와 같이 동작하는 이유는 블록 선택 스위치인 트랜지스터의 특성에 의한 것으로, 앞서 말한 바와 같이
Figure 112006063861082-pat00021
Figure 112006063861082-pat00022
보다 큰 전압을 갖게 되므로, 노드 2 및 노드 4가
Figure 112006063861082-pat00023
+
Figure 112006063861082-pat00024
-
Figure 112006063861082-pat00025
까지 프리차지 되는 동안은 블록 선택 스위치가 턴 온 상태로 유지되었다가, 노드 2 및 노드 4가
Figure 112006063861082-pat00026
+
Figure 112006063861082-pat00027
-
Figure 112006063861082-pat00028
로 프리차지 되면 블록 선택 스위치가 턴오프 되는 것이다. 그리고 노드 2 및 노드 4가
Figure 112006063861082-pat00029
+
Figure 112006063861082-pat00030
-
Figure 112006063861082-pat00031
로 프리차지 되기까지의 시간을
Figure 112006063861082-pat00032
라 한다.Nodes 2 and 4 of the second and fourth word lines 120 and 140 may be
Figure 112006063861082-pat00018
+
Figure 112006063861082-pat00019
-
Figure 112006063861082-pat00020
Precharge until the block select switch is turned off and floated. The reason for this operation is due to the characteristics of the transistor which is a block select switch.
Figure 112006063861082-pat00021
this
Figure 112006063861082-pat00022
Have a higher voltage, so node 2 and node 4
Figure 112006063861082-pat00023
+
Figure 112006063861082-pat00024
-
Figure 112006063861082-pat00025
The block select switch remains on while precharged until Node 2 and Node 4
Figure 112006063861082-pat00026
+
Figure 112006063861082-pat00027
-
Figure 112006063861082-pat00028
When precharged to, the block select switch is turned off. And node 2 and node 4
Figure 112006063861082-pat00029
+
Figure 112006063861082-pat00030
-
Figure 112006063861082-pat00031
Time to precharge with
Figure 112006063861082-pat00032
It is called.

그리고 상기 제 2 및 제 4 워드 라인(120, 140)의 노드 2 및 노드 4가 플로팅 되면, 블록 선택 제어신호(BLKWL)에 인가되는 전압 레벨을

Figure 112006063861082-pat00033
로 낮추고, 또한 제 3 워드 라인(130)과는 인접하지 않은 제 1 및 제 5 워드 라인(110, 150)에 연결되는 GWL(non-adjacent unselected GWL)는
Figure 112006063861082-pat00034
이 인가된다.When the nodes 2 and 4 of the second and fourth word lines 120 and 140 are floated, the voltage level applied to the block selection control signal BLKWL is adjusted.
Figure 112006063861082-pat00033
Lower, and also connected to the first and fifth word lines 110 and 150 that are not adjacent to the third word line 130, the non-adjacent unselected GWL (GWL)
Figure 112006063861082-pat00034
Is applied.

상기 제 1 및 제 5 워드라인(110, 150)의 노드 1 및 노드 5는

Figure 112006063861082-pat00035
-
Figure 112006063861082-pat00036
로 프리차지되고 이후에 블록 선택 스위치가 턴 오프되어 플로팅 된다. 이와 같이 되는 이유는 앞서 노드 2 및 노드 4가
Figure 112006063861082-pat00037
+
Figure 112006063861082-pat00038
-
Figure 112006063861082-pat00039
로 프리차지된 후 플로팅 되는 이유를 설명한 것과 동일한 이유로 블록 선택 스위치를 이루고 있는 트랜지스터의 특성에 의한 것이다.Nodes 1 and 5 of the first and fifth word lines 110 and 150 are
Figure 112006063861082-pat00035
-
Figure 112006063861082-pat00036
Is precharged and then the block select switch is turned off and floated. The reason for this is that Node 2 and Node 4
Figure 112006063861082-pat00037
+
Figure 112006063861082-pat00038
-
Figure 112006063861082-pat00039
This is due to the characteristics of the transistors forming the block select switch for the same reason as described above for being precharged and then floated.

앞서 설명한 과정에 의해 제 3 워드 라인(130)에는 0V가 인가되고, 인접한 제 2 및 제 4 워드라인(120, 140)에는

Figure 112006063861082-pat00040
+
Figure 112006063861082-pat00041
-
Figure 112006063861082-pat00042
가 프리차지된 후 플로팅 되며, 인접하지 않은 제 1 및 제 5 워드라인(110, 150)에는
Figure 112006063861082-pat00043
-
Figure 112006063861082-pat00044
가 프리차지된 후 플로팅 되는 상태가 된다.0V is applied to the third word line 130 and the second and fourth word lines 120 and 140 are adjacent to each other.
Figure 112006063861082-pat00040
+
Figure 112006063861082-pat00041
-
Figure 112006063861082-pat00042
Is precharged and then floated, and the non-adjacent first and fifth word lines 110 and 150
Figure 112006063861082-pat00043
-
Figure 112006063861082-pat00044
Is pre-charged and then floated.

상기한 상태에서 P웰에 고전압이 인가되면, 제 3 워드라인(130)의 셀들은 P웰과의 전압차에 의해 소거가 이루어진다.When a high voltage is applied to the P well in the above state, the cells of the third word line 130 are erased by the voltage difference with the P well.

또한 인접한 제 2 및 제 4 워드라인(130)은 커플링에 의해 충분히 부스팅 되지 않는다 하여도, 커플링으로 인해 발생되는 전위차

Figure 112006063861082-pat00045
가 미리 차지되어 있으므로, P웰과 소거가 일어나지 않는 전위차가 된다.In addition, even if the adjacent second and fourth word lines 130 are not sufficiently boosted by the coupling, the potential difference caused by the coupling may occur.
Figure 112006063861082-pat00045
Since is occupied in advance, there is a potential difference between the P well and no erasure.

또한 인접하지 않은 제 1 및 제 5 워드라인(130)은 종래의 소거과정에서와 같이 부스팅에 의한 소거방지가 된다.In addition, non-adjacent first and fifth word lines 130 are protected from being erased by boosting as in the conventional erasing process.

따라서 소거를 원하는 워드라인만을 선택적으로 소거할 수 있으며, 다른 워드라인에 영향을 주지 않고 부분소거를 하는 것이 가능하다.Therefore, only the word line desired to be erased can be selectively erased, and partial erasing can be performed without affecting other word lines.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 낸드 플래시 메모리의 소거 방법에서 인가되는 전압은 다음과 같다.The voltage applied in the erase method of the NAND flash memory according to the embodiment of the present invention as described above is as follows.

도 3은 도 2의 소거 동작 시 인가되는 전압을 설명하기 위한 파형도이다.3 is a waveform diagram illustrating a voltage applied in the erase operation of FIG. 2.

도 3에 나타난 바와 같이, 본 발명의 실시 예에서는 부분 소거를 위하여 먼저 블록 선택 제어신호(BLKWL)에

Figure 112006063861082-pat00046
+
Figure 112006063861082-pat00047
만큼의 전압이
Figure 112006063861082-pat00048
시간동안 인가되고, 인접한 선택되지 않은 워드 라인의 GWL에
Figure 112006063861082-pat00049
+
Figure 112006063861082-pat00050
을 인가됨으로써, 인접한 선택되지 않은 워드라인에
Figure 112006063861082-pat00051
+
Figure 112006063861082-pat00052
-
Figure 112006063861082-pat00053
의 전압이 프리차지되도록 한다.As shown in FIG. 3, in the exemplary embodiment of the present invention, the block selection control signal BLKWL is first applied for partial erasure.
Figure 112006063861082-pat00046
+
Figure 112006063861082-pat00047
As much voltage
Figure 112006063861082-pat00048
Applied for a period of time, to the GWL of an adjacent unselected word line.
Figure 112006063861082-pat00049
+
Figure 112006063861082-pat00050
Is applied to adjacent unselected word lines.
Figure 112006063861082-pat00051
+
Figure 112006063861082-pat00052
-
Figure 112006063861082-pat00053
Allow the voltage to be precharged.

그리고 다시 블록 선택 제어신호(BLKWL)의 전압레벨이

Figure 112006063861082-pat00054
로 낮추어 인가되고, 인접하지 않고 선택되지 않은 워드라인의 GWL에
Figure 112006063861082-pat00055
가 인가되어, 인접하지 않고 선택되지 않은 워드라인이
Figure 112006063861082-pat00056
-
Figure 112006063861082-pat00057
로 프리차지되도록 한다.Then again, the voltage level of the block selection control signal BLKWL
Figure 112006063861082-pat00054
To the GWL of a wordline that is applied and is not contiguous and not selected.
Figure 112006063861082-pat00055
Is applied so that nonadjacent and unselected word lines
Figure 112006063861082-pat00056
-
Figure 112006063861082-pat00057
To be precharged.

이후에 P웰에 소거를 위한 고전압이 인가되면, 선택된 워드 라인은 소거가 이루어지고, 나머지 워드라인은 소거가 이루어지지 않는다.Subsequently, when a high voltage for erasing is applied to the P well, the selected word line is erased, and the remaining word lines are not erased.

상기에서 설명한 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시 예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시 예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명은 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention described above has been described in detail in a preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, the present invention will be understood by those skilled in the art that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 낸드 플래시 메모리의 소거 방법은 워드 단위로 부분 소거 동작을 할 때, 선택된 워드라인가 인접한 선택되지 않 은 워드 라인이 커플링 효과에 의해 잘못 소거되는 문제를 해결하고, 인접하지 않은 선택되지 않은 워드 라인이 오버 부스팅 되지 않도록 하여 효과적인 부분 소거가 가능하게 한다.As described above, the method of erasing a NAND flash memory according to the present invention solves a problem in which an unselected word line adjacent to a selected word line is incorrectly erased due to a coupling effect when performing a partial erase operation in units of words. Therefore, non-adjacent non-selected word lines are not over-boosted to enable effective partial erase.

Claims (2)

다수의 워드 라인과, 상기 다수의 워드 라인에 대응되어 동작을 위한 프리차지 전압을 제공하기 위한 공통 워드라인과, 상기 워드 라인과 공통 워드라인을 각각 연결하는 다수의 블록 선택 스위치를 포함하는 낸드 플래시 메모리의 소거 방법에 있어서,NAND flash including a plurality of word lines, a common word line corresponding to the plurality of word lines to provide a precharge voltage for operation, and a plurality of block selection switches connecting the word lines and the common word lines, respectively. In the memory erasing method, 상기 다수의 블록 선택 스위치를 동작시키기 위한 제어신호로서 소거를 위한 벌크전압보다 오프셋 전압만큼 큰 제 1 전압을 인가하는 단계;Applying a first voltage greater than an offset voltage than a bulk voltage for erasing as a control signal for operating the plurality of block selection switches; 소거를 위한 제 1 워드라인과 연결되는 제 1 공통 워드 라인에 0V를 인가하고, 상기 제 1 워드라인과 인접한 제 2 워드라인과 연결되는 제 2 공통 워드라인에 상기 벌크 전압보다 높은 선택전압보다 오프셋 전압만큼 큰 제 2 전압을 인가하는 단계;0V is applied to the first common word line connected to the first word line for erasing, and offset from the selection voltage higher than the bulk voltage to the second common word line connected to the second word line adjacent to the first word line. Applying a second voltage as large as the voltage; 설정된 시간 이후에, 상기 블록 선택 스위치를 동작시키는 제어신호에 인가되는 제 1 전압을 벌크 전압으로 변경하고, 상기 제 1 워드라인과 인접하지 않은 제 3워드라인과 연결되는 제 3 공통 워드라인에 상기 선택 전압을 인가하는 단계; 및After a predetermined time, the first voltage applied to the control signal for operating the block select switch is changed to a bulk voltage, and the third common word line connected to the third word line not adjacent to the first word line is applied to the bulk voltage. Applying a selection voltage; And 상기 메모리 셀 어레이의 기판에 셀 소거를 위한 소거전압을 인가하는 단계Applying an erase voltage for cell erase to a substrate of the memory cell array; 를 포함하는 낸드 플래시 메모리의 소거 방법.Erasing method of the NAND flash memory comprising a. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 오프셋 전압은 상기 메모리 셀이 정상적인 부스팅 동작을 하여 갖는 전압과, 인접한 제 2 워드라인과 제 1 워드라인간의 커플링효과에 의해 메모리 셀이 부스팅 동작을 하여 갖는 전압과의 차인 것을 특징으로 하는 낸드 플래시 메모리의 소거 방법.The offset voltage is a NAND difference between a voltage of the memory cell performing a normal boosting operation and a voltage of the memory cell performing a boosting operation due to a coupling effect between an adjacent second word line and a first word line. How to erase flash memory.
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