KR100763078B1 - How to erase NAND flash memory - Google Patents
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Abstract
본 발명은 낸드 플래시 메모리의 소거 방법에 관한 것으로, 다수의 워드 라인과, 상기 다수의 워드 라인에 대응되어 동작을 위한 프리차지 전압을 제공하기 위한 공통 워드라인과, 상기 워드 라인과 공통 워드라인을 각각 연결하는 다수의 블록 선택 스위치를 포함하는 낸드 플래시 메모리의 소거 방법에 있어서, 상기 다수의 블록 선택 스위치를 동작시키기 위한 제어신호로서 소거를 위한 벌크전압보다 오프셋 전압만큼 큰 제 1 전압을 인가하는 단계; 소거를 위한 제 1 워드라인과 연결되는 제 1 공통 워드 라인에 0V를 인가하고, 상기 제 1 워드라인과 인접한 제 2 워드라인과 연결되는 제 2 공통 워드라인에 상기 벌크 전압보다 높은 선택전압보다 오프셋 전압만큼 큰 제 2 전압을 인가하는 단계; 설정된 시간 이후에, 상기 블록 선택 스위치를 동작시키는 제어신호에 인가되는 제 1 전압을 벌크 전압으로 변경하고, 상기 제 1 워드라인과 인접하지 않은 제 3워드라인과 연결되는 제 3 공통 워드라인에 상기 선택 전압을 인가하는 단계; 및 상기 메모리 셀 어레이의 기판에 셀 소거를 위한 소거전압을 인가하는 단계를 포함한다.The present invention relates to a method of erasing a NAND flash memory, and includes a plurality of word lines, a common word line for providing a precharge voltage corresponding to the plurality of word lines, and a precharge voltage for operation. A method of erasing a NAND flash memory including a plurality of block selection switches connected to each other, the method comprising: applying a first voltage greater than an offset voltage than a bulk voltage for erasing as a control signal for operating the plurality of block selection switches ; 0V is applied to the first common word line connected to the first word line for erasing, and offset from the selection voltage higher than the bulk voltage to the second common word line connected to the second word line adjacent to the first word line. Applying a second voltage as large as the voltage; After a predetermined time, the first voltage applied to the control signal for operating the block select switch is changed to a bulk voltage, and the third common word line connected to the third word line not adjacent to the first word line is applied to the bulk voltage. Applying a selection voltage; And applying an erase voltage for cell erase to the substrate of the memory cell array.
Description
도 1은 종래의 낸드 플래시 메모리의 소거 동작을 설명하기 위한 개념도이다.1 is a conceptual diagram illustrating an erase operation of a conventional NAND flash memory.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 낸드 플래시 메모리의 소거 동작을 설명하기 위한 개념도이다.2 is a conceptual diagram illustrating an erase operation of a NAND flash memory according to an embodiment of the present invention.
도 3은 도 2의 소거 동작 시 인가되는 전압을 설명하기 위한 파형도이다.3 is a waveform diagram illustrating a voltage applied in the erase operation of FIG. 2.
* 도면의 주요부분에 대한 부호 설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 내지 50 및 110 내지 150 : 워드 라인10 to 50 and 110 to 150 word lines
본 발명은 낸드 플래시 메모리(NAND Flash Memory)의 소거 방법에 관한 것으로, 특히 부분소거(Partial erase) 시에 소거를 위해 선택되는 워드라인(Word Line)과 인접한 선택되지 않은 워드라인의 셀이 소거되거나 간섭(Disturbance)되는 것을 방지할 수 있는 낸드 플래시 메모리의 소거 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of erasing a NAND flash memory, and in particular, a cell of an unselected word line adjacent to a word line selected for erasing in a partial erase is erased or The present invention relates to a method of erasing a NAND flash memory capable of preventing interference.
낸드 플래시 메모리에서 부분소거를 수행할 때, 선택된 워드 라인에는 0V가 인가되어 P웰과의 전위차에 의해 FN(Fowler-Nordheim) 터널링(tunneling)을 발생하 도록 하고, 선택되지 않은 워드 라인은 플로팅(Floating)시켜 P웰(Well)의 고전압에 의해 셀프 부스팅(Self boosting)되어 FN 터널링이 발생하기 위한 전압차가 생기지 않아 소거가 되지 않는다.When performing partial erasure on NAND flash memory, 0V is applied to the selected word line to cause Fowler-Nordheim (FN) tunneling due to the potential difference with the P well, and the unselected word line is floating. By self boosting by high voltage of P well, there is no voltage difference for FN tunneling to occur and it is not erased.
도 1은 종래의 낸드 플래시 메모리의 소거 동작을 설명하기 위한 개념도이다.1 is a conceptual diagram illustrating an erase operation of a conventional NAND flash memory.
도 1은 낸드 플래시 메모리를 간략화 하여 도시한 것으로, 도 1을 참조하면, P웰(P-well) 상에 형성된 메모리 셀 어레이는 다수의 셀이 직렬 접속된 각 셀 스트링의 공통 드레인 단자에 각각 접속되는 다수의 비트라인(BL1~BLn)이 구성되고 또한, 상기 비트라인(BL1~BLn)과 교차하며 메모리 셀을 각각 선택하기 위한 제 1 내지 제 5 워드라인(10~50)이 각각 구성된다.1 is a simplified view of a NAND flash memory. Referring to FIG. 1, a memory cell array formed on a P-well may be connected to a common drain terminal of each cell string in which a plurality of cells are connected in series. A plurality of bit lines BL1 to BLn are formed, and first to
상기의 낸드 플래시 메모리에서 예를 들어 제 3 워드라인(30)에 접속된 셀을 부분소거 하고자 하는 경우, 제 3 워드 라인(30)에 0V를 인가하고, 그 밖에 워드라인(10,20,40, 및 50)에는 을 인가한다. 이때 은 블록 선택 제어신호에 인가되는 보다 높은 전압이다. In the NAND flash memory, for example, to partially erase a cell connected to the
이 보다 높은 전압이기 때문에, 블록 선택 스위치의 트랜지스터는 워드라인을 -만큼 차지시키고 턴 오프되어 플로팅 시킨다. this Because of the higher voltage, the transistor of the block select switch - Charge and turn off to float.
그리고 기판의 P웰(P-well)에 높은 전압을 인가한다. 상기 P웰의 높은 전압으로 인해 제 3 워드라인(30)에 연결된 메모리 셀은 전압차에 의해 FN 터널링이 발생하여 소거가 된다.Then, a high voltage is applied to the P-well of the substrate. Due to the high voltage of the P well, the memory cell connected to the
그리고 선택되지 않은 다른 워드 라인(10,20,40,50)들은 셀프 부스팅(self boosting) 효과에 의해 자체적으로 전압이 상승되고, 이로 인해 P웰과 FN 터널링이 발생할 만큼의 전압차가 발생되지 않아 소거가 되지 않는다.The other
상기한 소거 방법을 이용하는 경우, 0V가 인가되는 제 3 워드라인(30)과, 제 3 워드 라인에 인접한 제 2 및 제 4 워드라인(20, 40)간에 커플링 효과가 존재하여, 이로 인해 제 2 및 제 4 워드라인(20, 40)에 접속된 셀들이 충분히 셀프 부스팅을 하지 못하여 FN 터널링을 방지할 만큼의 전압으로 상승하지 못하는 경우가 발생한다.When the above erase method is used, a coupling effect exists between the
이러한 경우, 부스팅이 충분치 않아 전압 상승이 모자라게 되면, P웰과 FN 터널링이 발생할 정도의 전압차가 발생하여 소거가 되는 문제가 발생할 수 있다. 상기한 문제 해결을 위해 선택되지 않은 제 1, 제 2, 제 4 및 제 5 워드 라인(10, 20, 40, 50)에 더 높은 레벨의 전위를 인가하는 경우는 소거를 위한 제 3 워드라인(30)과 인접하지 않은 다른 제 1 및 제 5 워드라인(10, 50)이 오버 부스팅되어 간섭을 받게 되는 문제가 발생할 수 있다.In this case, when the boosting is insufficient and the voltage rise is insufficient, a voltage difference enough to cause the P well and the FN tunneling may occur, which may cause erasure. When a higher level potential is applied to the first, second, fourth and
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 낸드 플래시 메모리의 부분 소거시에 선택되지 않은 셀들이 커플링 효과에 의해 소거되거나, 간섭받지 않도록 하는 낸드 플래시 메모리의 소거 방법을 제공하는데 있다.Accordingly, an aspect of the present invention is to provide a method of erasing a NAND flash memory such that cells which are not selected during partial erasing of the NAND flash memory are not erased or interfered by a coupling effect.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일면에 따른 낸드 플래시 메 모리의 소거 방법은,According to an aspect of the present invention for achieving the above technical problem, a method of erasing a NAND flash memory,
다수의 워드 라인과, 상기 다수의 워드 라인에 대응되어 동작을 위한 프리차지 전압을 제공하기 위한 공통 워드라인과, 상기 워드 라인과 공통 워드라인을 각각 연결하는 다수의 블록 선택 스위치를 포함하는 낸드 플래시 메모리의 소거 방법에 있어서, 상기 다수의 블록 선택 스위치를 동작시키기 위한 제어신호로서 소거를 위한 벌크전압보다 오프셋 전압만큼 큰 제 1 전압을 인가하는 단계; 소거를 위한 제 1 워드라인과 연결되는 제 1 공통 워드 라인에 0V를 인가하고, 상기 제 1 워드라인과 인접한 제 2 워드라인과 연결되는 제 2 공통 워드라인에 상기 벌크 전압보다 높은 선택전압보다 오프셋 전압만큼 큰 제 2 전압을 인가하는 단계; 설정된 시간 이후에, 상기 블록 선택 스위치를 동작시키는 제어신호에 인가되는 제 1 전압을 벌크 전압으로 변경하고, 상기 제 1 워드라인과 인접하지 않은 제 3워드라인과 연결되는 제 3 공통 워드라인에 상기 선택 전압을 인가하는 단계; 및 상기 메모리 셀 어레이의 기판에 셀 소거를 위한 소거전압을 인가하는 단계를 포함한다.NAND flash including a plurality of word lines, a common word line corresponding to the plurality of word lines to provide a precharge voltage for operation, and a plurality of block selection switches connecting the word lines and the common word lines, respectively. CLAIMS 1. A method of erasing a memory, the method comprising: applying a first voltage greater than an offset voltage than a bulk voltage for erasing as a control signal for operating the plurality of block selection switches; 0V is applied to the first common word line connected to the first word line for erasing, and offset from the selection voltage higher than the bulk voltage to the second common word line connected to the second word line adjacent to the first word line. Applying a second voltage as large as the voltage; After a predetermined time, the first voltage applied to the control signal for operating the block select switch is changed to a bulk voltage, and the third common word line connected to the third word line not adjacent to the first word line is applied to the bulk voltage. Applying a selection voltage; And applying an erase voltage for cell erase to the substrate of the memory cell array.
그리고 상기 오프셋 전압은 상기 메모리 셀이 정상적인 부스팅 동작을 하여 갖는 전압과, 인접한 제 2 워드라인과 제 1 워드라인간의 커플링효과에 의해 메모리 셀이 부스팅 동작을 하여 갖는 전압과의 차인 것을 특징으로 한다.The offset voltage is a difference between a voltage of the memory cell performing a normal boosting operation and a voltage of the memory cell performing a boosting operation due to a coupling effect between an adjacent second word line and a first word line. .
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공 되는 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. It is provided to inform you.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 낸드 플래시 메모리의 소거 동작을 설명하기 위한 개념도이다.2 is a conceptual diagram illustrating an erase operation of a NAND flash memory according to an embodiment of the present invention.
도 2는 낸드 플래시 메모리를 간략화하여 도시한 것으로 도 2를 참조하면, P웰(P-well) 상에 형성된 메모리 셀 어레이는 다수의 셀이 직렬 접속된 셀 스트링의 공통 드레인 단자에 각각 접속되는 다수의 비트라인(BL1~BLn)이 구성되고 또한, 상기 비트라인(BL1~BLn)과 교차하며 메모리 셀을 각각 선택하기 위한 제 1 내지 제 5 워드라인(110~150)이 구성된다.2 is a simplified view of a NAND flash memory. Referring to FIG. 2, a memory cell array formed on a P-well includes a plurality of cells each connected to a common drain terminal of a cell string in which a plurality of cells are connected in series. The bit lines BL1 to BLn are formed, and the first to
각각의 워드라인(110~150)의 노드 1 내지 노드 5와 글로벌 워드라인(GWL; Global Word Line) 및 블록 선택 제어신호(BLKWL)에 의해 동작되는 블록선택 스위치가 각각 접속된다.
상기한 메모리 셀 어레이에서 예를들어 제 3 워드 라인(130)에 접속된 셀들을 소거하고자 하면, 우선 제 3 워드라인(130)에 연결되는 글로벌 워드라인(selected GWL)에 0V가 인가되고, 상기 제 3워드 라인(130)과 인접한 제 2 및 제 4 워드 라인에 연결되는 글로벌 워드라인(adjacent unselect GWL)에는 +가 인가된다. 이때 은 블록 선택 제어신호에 인가되는 보다 큰 전압이며, 은 커플링 효과에 의해 부스팅 되지 못하는 전압이다.In the memory cell array, for example, when the cells connected to the
그리고 블록 선택 제어신호(BLKWL)에 +가 인가되면, 블록 선택 스위치가 턴 온 되고, 각각의 GWL은 노드 2 내지 노드 4와 연결된다. 그리고 노드 2 및 노드 4는 GWL의 전압레벨에 따라 프리차지 된다. 이때 상기 은 보다 큰 전압 레벨을 갖는다. 상기 은 메모리 셀이 정상적으로 부스팅 되었을 경우의 전압과, 커플링 효과에 의한 영향을 받아 부스팅 되었을 경우의 전압간의 차를 나타낸다.And block selection control signal BLKWL. + Is applied, the block select switch is turned on, and each GWL is connected to nodes 2-4.
상기 제 2 및 제 4 워드 라인(120, 140)의 노드 2 및 노드 4는 +- 까지 프리차지가 되고, 이후에 블록 선택 스위치가 턴 오프되어 플로팅 된다. 이와 같이 동작하는 이유는 블록 선택 스위치인 트랜지스터의 특성에 의한 것으로, 앞서 말한 바와 같이 이 보다 큰 전압을 갖게 되므로, 노드 2 및 노드 4가 +- 까지 프리차지 되는 동안은 블록 선택 스위치가 턴 온 상태로 유지되었다가, 노드 2 및 노드 4가 +- 로 프리차지 되면 블록 선택 스위치가 턴오프 되는 것이다. 그리고 노드 2 및 노드 4가 +- 로 프리차지 되기까지의 시간을 라 한다.
그리고 상기 제 2 및 제 4 워드 라인(120, 140)의 노드 2 및 노드 4가 플로팅 되면, 블록 선택 제어신호(BLKWL)에 인가되는 전압 레벨을 로 낮추고, 또한 제 3 워드 라인(130)과는 인접하지 않은 제 1 및 제 5 워드 라인(110, 150)에 연결되는 GWL(non-adjacent unselected GWL)는 이 인가된다.When the
상기 제 1 및 제 5 워드라인(110, 150)의 노드 1 및 노드 5는 -로 프리차지되고 이후에 블록 선택 스위치가 턴 오프되어 플로팅 된다. 이와 같이 되는 이유는 앞서 노드 2 및 노드 4가 +-로 프리차지된 후 플로팅 되는 이유를 설명한 것과 동일한 이유로 블록 선택 스위치를 이루고 있는 트랜지스터의 특성에 의한 것이다.
앞서 설명한 과정에 의해 제 3 워드 라인(130)에는 0V가 인가되고, 인접한 제 2 및 제 4 워드라인(120, 140)에는 +-가 프리차지된 후 플로팅 되며, 인접하지 않은 제 1 및 제 5 워드라인(110, 150)에는 -가 프리차지된 후 플로팅 되는 상태가 된다.0V is applied to the
상기한 상태에서 P웰에 고전압이 인가되면, 제 3 워드라인(130)의 셀들은 P웰과의 전압차에 의해 소거가 이루어진다.When a high voltage is applied to the P well in the above state, the cells of the
또한 인접한 제 2 및 제 4 워드라인(130)은 커플링에 의해 충분히 부스팅 되지 않는다 하여도, 커플링으로 인해 발생되는 전위차 가 미리 차지되어 있으므로, P웰과 소거가 일어나지 않는 전위차가 된다.In addition, even if the adjacent second and
또한 인접하지 않은 제 1 및 제 5 워드라인(130)은 종래의 소거과정에서와 같이 부스팅에 의한 소거방지가 된다.In addition, non-adjacent first and
따라서 소거를 원하는 워드라인만을 선택적으로 소거할 수 있으며, 다른 워드라인에 영향을 주지 않고 부분소거를 하는 것이 가능하다.Therefore, only the word line desired to be erased can be selectively erased, and partial erasing can be performed without affecting other word lines.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 낸드 플래시 메모리의 소거 방법에서 인가되는 전압은 다음과 같다.The voltage applied in the erase method of the NAND flash memory according to the embodiment of the present invention as described above is as follows.
도 3은 도 2의 소거 동작 시 인가되는 전압을 설명하기 위한 파형도이다.3 is a waveform diagram illustrating a voltage applied in the erase operation of FIG. 2.
도 3에 나타난 바와 같이, 본 발명의 실시 예에서는 부분 소거를 위하여 먼저 블록 선택 제어신호(BLKWL)에 +만큼의 전압이 시간동안 인가되고, 인접한 선택되지 않은 워드 라인의 GWL에 +을 인가됨으로써, 인접한 선택되지 않은 워드라인에 +- 의 전압이 프리차지되도록 한다.As shown in FIG. 3, in the exemplary embodiment of the present invention, the block selection control signal BLKWL is first applied for partial erasure. + As much voltage Applied for a period of time, to the GWL of an adjacent unselected word line. + Is applied to adjacent unselected word lines. + - Allow the voltage to be precharged.
그리고 다시 블록 선택 제어신호(BLKWL)의 전압레벨이 로 낮추어 인가되고, 인접하지 않고 선택되지 않은 워드라인의 GWL에 가 인가되어, 인접하지 않고 선택되지 않은 워드라인이 - 로 프리차지되도록 한다.Then again, the voltage level of the block selection control signal BLKWL To the GWL of a wordline that is applied and is not contiguous and not selected. Is applied so that nonadjacent and unselected word lines - To be precharged.
이후에 P웰에 소거를 위한 고전압이 인가되면, 선택된 워드 라인은 소거가 이루어지고, 나머지 워드라인은 소거가 이루어지지 않는다.Subsequently, when a high voltage for erasing is applied to the P well, the selected word line is erased, and the remaining word lines are not erased.
상기에서 설명한 본 발명의 기술적 사상은 바람직한 실시 예에서 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시 예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명은 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention described above has been described in detail in a preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, the present invention will be understood by those skilled in the art that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 낸드 플래시 메모리의 소거 방법은 워드 단위로 부분 소거 동작을 할 때, 선택된 워드라인가 인접한 선택되지 않 은 워드 라인이 커플링 효과에 의해 잘못 소거되는 문제를 해결하고, 인접하지 않은 선택되지 않은 워드 라인이 오버 부스팅 되지 않도록 하여 효과적인 부분 소거가 가능하게 한다.As described above, the method of erasing a NAND flash memory according to the present invention solves a problem in which an unselected word line adjacent to a selected word line is incorrectly erased due to a coupling effect when performing a partial erase operation in units of words. Therefore, non-adjacent non-selected word lines are not over-boosted to enable effective partial erase.
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