KR100806589B1

KR100806589B1 - Transparent substrate sensing device and method

Info

Publication number: KR100806589B1
Application number: KR1020010087681A
Authority: KR
Inventors: 서풍부
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2001-12-29
Filing date: 2001-12-29
Publication date: 2008-02-28
Anticipated expiration: 2021-12-29
Also published as: KR20030057608A

Abstract

본 발명은 투명기판의 감지장치 및 방법에 관한 것으로, 발광부와 수광부가 일측에 위치하고, 타측에는 흡수판을 구비한 감지장치를 제공하고, 일측과 타측 사이에 투명기판이 위치하게 하여 감지하도록 한다.The present invention relates to a sensing device and a method for a transparent substrate, and provides a sensing device having a light emitting part and a light receiving part on one side, and an absorbing plate on the other side, so that the transparent substrate is located between one side and the other side. .

투명기판이 없는 경우, 발광부에서 나온 빛이 흡수판에 거의 흡수되어 수광부에는 빛이 감지되지 않도록 하고, 투명기판이 있는 경우에는 발광부에서 나온 빛이 투명기판에 (난)반사되어 수광부에서 광량이 일정치 이상 되어 감지하게 된다.In the absence of a transparent substrate, the light emitted from the light emitting unit is almost absorbed by the absorber plate so that the light is not sensed by the light receiving unit. This is over a certain value and will be detected.

이런 설정방법을 사용하면, 기판이 있는 경우와 없는 경우와의 광량의 기준점이 크게 차이가 나게 되므로 감지오류가 거의 발생되지 않는 효과가 있다.
Using this setting method, the reference point of the amount of light between the presence and absence of the substrate is greatly different, so that there is almost no detection error.

Description

Apparatus and method for sensing a transparent substrate}

도 1은 종래의 투명기판 감지장치에서 기판이 없는 경우를 나타낸 개략도 1 is a schematic view showing a case where no substrate in the conventional transparent substrate sensing device

도 2는 종래의 투명기판 감지장치에서 기판이 있는 경우를 나타낸 개략도 Figure 2 is a schematic diagram showing a case where the substrate in the conventional transparent substrate sensing device

도 3a 내지 도 3c는 각각 종래의 장치에서 나타나는 광량의 변화를 나타낸 것으로 도 3a는 정상적으로 기판이 없는 경우, 도 3b는 정상적으로 기판이 있는 경우, 도 3c는 비정상적인 환경으로 인하여 기판이 없음에도 있는 것으로 판정하는 경우를 나타낸다.3A to 3C show changes in the amount of light shown in the conventional apparatus, respectively. FIG. 3A shows that there is no substrate normally, FIG. 3B shows that the substrate normally exists, and FIG. 3C determines that there is no substrate due to an abnormal environment. The case is shown.

도 4는 본 발명에 따른 투명기판 감지장치에서 기판이 없는 경우를 나타낸 개략도Figure 4 is a schematic diagram showing a case where no substrate in the transparent substrate detecting apparatus according to the present invention

도 5는 본 발명에 따른 투명기판 감지장치에서 기판이 있는 경우를 나타낸 개략도Figure 5 is a schematic diagram showing a case where the substrate in the transparent substrate detecting apparatus according to the present invention

도 6a와 도 6b는 각각 도 4와 도 5에 따른 광량의 변화를 나타낸 그래프6A and 6B are graphs showing changes in the amount of light according to FIGS. 4 and 5, respectively.

(도면의 부호에 대한 간단한 설명)(Short description of the signs in the drawings)

10: 발광부 20: 수광부10: light emitting unit 20: light receiving unit

130: 흡수판 40: 투명기판130: absorber plate 40: transparent substrate

본 발명은 기판의 존재유무를 파악하여 후속공정을 진행하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히 유리와 같은 투명기판의 존재유무를 감지하는 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a device for carrying out a subsequent process by determining the presence of a substrate, and more particularly, to a device and a method for detecting the presence of a transparent substrate such as glass.

최근에 반도체와 디스플레이장치산업에 있어서, 유리기판 또는 석영기판과 같이 투명한 기판이 공정에 많이 사용되고 있다. 이러한 투명한 기판은 보통 로봇이나 반송장치에 의해 수행되는 공정장비쪽으로 이동된다. 그런데 이러한 투명기판의 존재유무에 따라 후속공정진행이 결정되므로, 기판이 제 위치에 안착되었는지를 파악하는 감지장치는 필수적이다.Recently, in the semiconductor and display device industries, transparent substrates such as glass substrates or quartz substrates have been used in many processes. These transparent substrates are usually moved towards process equipment performed by robots or conveying devices. However, since the subsequent process is determined according to the presence or absence of such a transparent substrate, a sensing device for determining whether the substrate is seated in place is essential.

예를 들어, 액정표시장치(liquid crystal display)에서 건식식각(dry etching)을 위해 이송챔버(transfer chamber)로 기판이 이송된 후 기판을 에칭하게 되는 바, 이 경우 이송챔버내에 기판이 정위치에 도달했는지를 감지하는 센서가 필요하게 된다.For example, the substrate is etched after the substrate is transferred to a transfer chamber for dry etching in a liquid crystal display. In this case, the substrate is positioned in the transfer chamber. You will need a sensor to detect if it has arrived.

이러한 센서 즉, 감지장치는 도 1에 그 원리가 도시되어 있는 바, 발광부(10)와 수광부(20)를 갖춘 센서(100)와 저면의 반사판(30)으로 구성된다. 센서(100)와 반사판(30)사이에 투명기판이 위치하게 된다. 투명기판이 제 위치에 없는 경우에는 센서의 발광부(10)에서 나온 빛이 반사판(30)에 반사되어 거의 모든 빛이 그대로 수광부(20)로 들어간다. 이때 발광부(10)에서 나온 광량의 일정한도 이상이 수광부(20)로 들어오면 정상적으로 기판이 없는 것으로 감지되는 것이다. The sensor, i.e., the sensing device, is illustrated in FIG. The transparent substrate is positioned between the sensor 100 and the reflecting plate 30. When the transparent substrate is not in place, the light emitted from the light emitting unit 10 of the sensor is reflected by the reflecting plate 30 so that almost all the light enters the light receiving unit 20 as it is. At this time, when a certain degree or more of the light amount emitted from the light emitting unit 10 enters the light receiving unit 20, it is detected that there is no substrate normally.

한편, 투명기판이 있는 경우에는 도 2에 도시된 바와 같이, 센서 발광부(10)에서 나온 빛이 기판(40)을 통과하면서 난 반사가 일어나 수광부(20)로 들어가는 광량은 떨어지면서 설정치 이하로 감지되어 기판(40)이 있는 것을 정상적으로 감지한다.On the other hand, if there is a transparent substrate, as shown in Figure 2, the light emitted from the sensor light emitting unit 10 passes through the substrate 40, the reflection occurs and the amount of light entering the light receiving unit 20 falls below the set value. It is detected that the substrate 40 is normally detected.

그런데, 수광부(20)에서 감지되는 광량이 일정치 이하로 감지되어 기판(40)이 없음에도 기판(40)이 있는 것으로 감지되는 경우가 발생된다. 이는 이송챔버(transfer chamber)의 분위기나, 발광부(10)로 들어오는 광의 경로인 광케이블(15)에서 광손실이 일어나는 경우와, 기판(40)이 없음에도 불구하고 수광부(20)에서 인식되는 광량이 설정치 이하로 떨어지게 되어 기판이 있는 것으로 인식하게 되는 문제점이 있다.However, when the amount of light detected by the light receiving unit 20 is sensed below a predetermined value, the case where the substrate 40 is detected even though there is no substrate 40 occurs. This is because the light loss occurs in the atmosphere of the transfer chamber or in the optical cable 15, which is the path of the light entering the light emitting unit 10, and the amount of light recognized by the light receiving unit 20 despite the absence of the substrate 40. There is a problem in that it falls below this set value and recognizes that there is a substrate.

이를 그래프를 이용해서 도 3a 내지 도 3c에 나타내고 있는 바, 도 3a의 "a"만큼의 광량이 들어와서 설정치 "s" 보다 높으면, 기판이 없는 것으로 감지되고, 도 3b의 경우 수광부의 광량이 설정치 "s" 보다 낮으면 기판이 있는 것을 정상적으로 감지하지만, 발광부에서 나온 광량이 일정치 보다 작거나 주위 환경으로 수광량이 떨어지는 경우, 기판이 없는 경우에도 불구하고, 도 3c와 같이 기판이 있는 것으로 감지되는 것이다.3A to 3C by using the graph, when the amount of light as much as "a" of FIG. 3A comes in and is higher than the set value "s", it is detected that there is no substrate, and in the case of FIG. If it is lower than "s", it is normally detected that there is a substrate, but if the amount of light emitted from the light emitting unit is smaller than a predetermined value or the amount of received light is dropped into the surrounding environment, even though there is no substrate, the substrate is detected as shown in FIG. 3C. Will be.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 투명기판의 존재유무를 정확히 판정할 수 있는 개선된 감지 장치를 제공하는 것이다. The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, an object of the present invention is to provide an improved sensing device that can accurately determine the presence or absence of a transparent substrate.

본 발명의 기타 장점이나 목적은 추후 설명하는 실시예를 통해 이해할 수 있을 것이다.
Other advantages or objects of the present invention will be understood through the embodiments described later.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 발광부와 수광부가 일측에 위치하고, 타측에는 흡수판을 구비한 감지장치를 제공하고, 일측과 타측 사이에 투명기판이 위치하게 하여 감지하도록 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a sensing device having a light emitting part and a light receiving part at one side, and an absorbing plate at the other side, and having a transparent substrate positioned between the one side and the other side.

즉, 투명기판이 없는 경우, 발광부에서 나온 빛이 흡수판에 거의 흡수되어 수광부에는 빛이 감지되지 않도록 하고, 투명기판이 있는 경우에는 발광부에서 나온 빛이 투명기판에 (난)반사되어 수광부에서 광량이 일정치 이상 되어 감지하게 된다.That is, when there is no transparent substrate, the light emitted from the light emitting part is almost absorbed by the absorber plate so that the light is not sensed by the light receiving part. When there is a transparent substrate, the light emitted from the light emitting part is (reflected) on the transparent substrate, The amount of light in the sensor detects a certain value.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 종래와 동일, 유사한 부분에 대하여는 동일, 유사한 참조부호를 부여하였다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The same and similar reference numerals are given to the same and similar parts as before.

도 4는 본 발명에 따른 감지장치를 개략 도시하고 있으며, 도시한 바와 같이, 광케이블(15)과 연결된 발광부(10)와 상기 발광부(10)에서 발광된 빛이 반사되는 위치에 자리한 수광부(20)와, 상기 발광부(10)의 빛이 입사되는 흡수판(130)으로 이루어져 있다. 이 흡수판(130)의 모양은 본 발명의 핵심이 아님은 물론이다.FIG. 4 schematically illustrates a sensing device according to the present invention. As shown in FIG. 4, the light emitting unit 10 connected to the optical cable 15 and the light receiving unit positioned at the position where the light emitted from the light emitting unit 10 is reflected ( 20 and an absorbing plate 130 through which the light of the light emitting part 10 is incident. Of course, the shape of the absorber plate 130 is not the core of the present invention.

먼저 기판이 없는 경우에, 발광부(10)의 빛이 흡수판(130)에 흡수되므로, 수광부(20)에서 감지되는 광량은 극히 적으므로 거의 "0"에 가까운 경우 기판이 없는 것으로 인식하게 된다.First, when there is no substrate, since the light of the light emitting unit 10 is absorbed by the absorbing plate 130, since the amount of light detected by the light receiving unit 20 is very small, it is recognized that there is no substrate when near to "0". .

한편, 도 5와 같이, 발광부(10)와 흡수판(130) 사이에 투명기판(40)이 위치하게 되면, 발광부(10)에서 나온 빛이 투명기판(40)에서 반사되므로, 수광부(20)에서는 일정량의 광량이 감지된다.On the other hand, as shown in FIG. 5, when the transparent substrate 40 is positioned between the light emitting unit 10 and the absorbing plate 130, the light emitted from the light emitting unit 10 is reflected by the transparent substrate 40. In 20), a certain amount of light is detected.

이를 도 6a와 도 6b에서 그래프로 도시하고 있는 바, 도 6a는 기판이 없는 경우에 광량이 거의 "0"임을 알 수 있다. 따라서 설정치(s)를 아주 낮게, 바람직하게는 "0"의 값보다 조금 크게 잡는 것이 좋다. 6A and 6B, which are shown graphically, it can be seen from FIG. 6A that the amount of light is almost "0" when there is no substrate. Therefore, it is better to set the set value s very low, preferably slightly larger than the value of "0".

그런데 기판이 있는 경우에는 도 6b에 나타낸 바와 같이, 광량이 설정치(s) 이상으로 나타나게 되는 것이다. By the way, when there is a substrate, as shown in Fig. 6B, the amount of light appears to be above the set value s.

이상에서 알 수 있는 바와 같이, 발광부(10)의 광량이 조금 적어지더라도, 발광부에서 발광되는 광량과 수광부(20)에서 감지되는 광량 사이에는 큰 마진(margin)을 가지게 되고, 기판의 유무에 따라 수광부(20)에서 감지되는 광량은 현저한 차이를 보이므로, 감지에러는 발생하지 않게 된다.As can be seen from above, even if the light amount of the light emitting unit 10 decreases slightly, there is a large margin between the light amount emitted from the light emitting unit and the light amount detected by the light receiving unit 20, and the presence or absence of the substrate As the amount of light detected by the light receiving unit 20 shows a remarkable difference, a detection error does not occur.

이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하였으나, 이는 예시이며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않고 다양한 변화와 변형이 가능할 것이나, 이러한 다 양한 변화와 변형이 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않는다는 것은 첨부된 청구범위를 통해 이해할 수 있을 것이다.Although the preferred embodiments according to the present invention have been described above, these are merely examples, and various changes and modifications may be made without departing from the spirit of the present invention, but the various changes and modifications do not depart from the scope of the present invention. It will be understood from the claims.

예를 들어, 본 발명에서 적용가능한 투명기판이 반드시 유리기판에 한정되는 것은 아니며, 흡수판의 모양 및 재질에 한정되는 것도 아니다. 아울러 액정표시장치의 제조공정 뿐 만 아니라 다양한 분야에서도 적용 가능하다.
For example, the transparent substrate applicable in the present invention is not necessarily limited to the glass substrate, and is not limited to the shape and material of the absorbing plate. In addition to the manufacturing process of the liquid crystal display device can be applied to various fields.

이상에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 투명기판 감지장치로 인하여, 기판유무에 따른 결과치 광량의 차이가 종래의 반사판을 사용할때와 비교하여 커지게 되어 감지오류의 발생이 줄어들게 된다. As can be seen from above, due to the transparent substrate sensing apparatus according to the present invention, the difference in the resultant light amount according to the presence or absence of the substrate is increased compared to when using a conventional reflector plate, thereby reducing the occurrence of a detection error.

이에 따라 기판의 반송작업이 안정화되므로 기판의 파손피해을 방지할 수 있음은 물론이고, 기판 반송이 잘못된 경우, 중간에 수정할 수 있어 수율향상에 기여하게 된다.Accordingly, the transfer operation of the substrate is stabilized, thereby preventing damage to the substrate, and in the case of incorrect transfer of the substrate, it can be corrected in the middle, thereby contributing to yield improvement.

Claims

A light emitting unit for emitting light;

A light receiving unit positioned at a position where the light emitted from the light emitting unit is reflected;

Absorbing plate that the light of the light emitting portion

And a transparent substrate sensing device such that a transparent substrate is positioned between the absorbing plate and the light emitting unit.

The method of claim 1,

The transparent substrate is a transparent substrate sensing device that is a glass substrate for a liquid crystal display device

The method of claim 2,

The light emitting unit and the light receiving unit are transparent substrate sensing devices located in a transport chamber of a dry etching device for a liquid crystal display device.

A transparent substrate sensing device comprising a light emitting part and a light receiving part positioned on one side thereof based on a position on which a substrate is placed, and an absorbing plate located on the other side of the light emitting part and the light receiving part,

Emitting light to a position where the substrate is to be placed through the light emitting unit;

Checking an amount of light reflected from the light-emitting portion at the position where the substrate is to be placed and received by the light receiving portion;

Determining that the substrate exists if the amount of received light is greater than or equal to a set value, and determining that the substrate does not exist if the amount of received light is less than a predetermined value.

Transparent substrate detection method comprising a