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KR100843983B1 - Etchers Cassettes - Google Patents

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KR100843983B1
KR100843983B1 KR1020060054873A KR20060054873A KR100843983B1 KR 100843983 B1 KR100843983 B1 KR 100843983B1 KR 1020060054873 A KR1020060054873 A KR 1020060054873A KR 20060054873 A KR20060054873 A KR 20060054873A KR 100843983 B1 KR100843983 B1 KR 100843983B1
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노승민
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Abstract

본 발명의 목적은 식각 공정시 글라스의 유동에 의한 충격을 완화시켜 글라스의 손상을 막을 수 있는 식각기용 카세트를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a cassette for an etcher that can prevent the damage of the glass by mitigating the impact of the glass during the etching process.

또한, 본 발명의 목적은 식각 공정에 사용되는 식각액이 카세트에 유착되는 것을 막아 유착된 식각액에 의해 글라스가 오염되는 문제점을 방지할 수 있는 식각기용 카세트를 제공하는 것이다.In addition, an object of the present invention is to provide an etching cassette which can prevent the etching of the etching liquid used in the etching process to the cassette to prevent the contamination of the glass by the adhered etching liquid.

이를 위해 본 발명은 전후면 플레이트; 상기 전후면 플레이트를 연결하는 적어도 한쌍의 측면 프레임; 그리고, 상기 측면 프레임에 일정 간격을 가지고 형성되어 삽입된 글라스를 고정하며, 상기 글라스와 접촉하는 양측면에 경사면이 형성되는 다수개의 고정돌기를 포함하여 이루어지는 식각기용 카세트를 제공한다.To this end, the present invention is a front and rear plate; At least one pair of side frames connecting the front and rear plates; In addition, the side frame is fixed to the inserted glass formed at a predetermined interval, and provides a cassette for etching comprising a plurality of fixing projections are formed in the inclined surface on both sides in contact with the glass.

또한, 본 발명은 하단면이 일측으로 경사지게 형성되는 다수개의 개방부를 구비하며, 각부의 상단면이 일측으로 경사지게 형성되는 전후면 플레이트; 상기 전후면 플레이트를 연결하며 상단면이 일측으로 경사지게 형성되는 적어도 한쌍의 측면 프레임; 그리고, 상기 측면 프레임에 일정 간격을 가지고 형성되어 삽입된 글라스를 고정하며, 상면에 일정 각도의 경사면이 형성되는 다수개의 고정돌기를 포함하여 이루어지는 식각기용 카세트를 제공한다.In addition, the present invention is provided with a plurality of openings in which the bottom surface is formed to be inclined to one side, the front and rear plate is formed to be inclined to one side of the top surface; At least one pair of side frames connecting the front and rear plates and having an upper surface inclined toward one side; In addition, the side frame is fixed to the inserted glass formed at a predetermined interval, and provides an etching cassette comprising a plurality of fixing projections are formed on the upper surface of the inclined surface at a predetermined angle.

액정표시장치, 식각기, 카세트  LCD, Etcher, Cassette

Description

식각기용 카세트{Cassette for Etching Apparatus}Cassette for etching {Cassette for Etching Apparatus}

도 1은 종래기술에 따른 카세트(glass cassette)의 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view of a glass cassette according to the prior art.

도 2는 본 발명에 따른 식각기용 카세트의 정면도이다.2 is a front view of the cassette for an etcher according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 식각기용 카세트의 평면도이다. 3 is a plan view of a cassette for an etcher according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 식각기용 카세트의 좌우 측면도이다.4 is a left and right side view of the cassette for an etcher according to the present invention.

도 5는 식각 공정시 글라스와 고정돌기의 경사면이 면접촉하는 상태를 나타내는 도면이다. 5 is a view showing a state in which the inclined surface of the glass and the fixing projections in surface contact during the etching process.

도 6은 본 발명에 따른 고정돌기의 개략적인 구조를 나타내는 사시도이다.6 is a perspective view showing a schematic structure of a fixing protrusion according to the present invention.

도 7은 본 발명의 전후면 플레이트에 형성되는 개방부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.Figure 7 is a perspective view schematically showing the opening formed in the front and rear plate of the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100: 카세트 110, 120: 전후면 플레이트100: cassette 110, 120: front and back plate

130: 측면 프레임 131: 고정돌기130: side frame 131: fixing protrusion

140: 하부 프레임 150: 개방부140: lower frame 150: opening

본 발명은 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display Device)용 글라스를 식각하기 위한 식각기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 식각기의 식각 배스(etching bath), 린스 배스(rinse bath) 또는 건조 배스 내부에 위치하여 다수의 글라스가 수납되는 카세트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an etcher for etching a glass for a liquid crystal display device (LCD), and more particularly, to an inside of an etching bath, a rinse bath, or a dry bath of an etcher. The present invention relates to a cassette in which a plurality of glasses are accommodated.

액정표시장치용 글라스를 식각(에칭: etching)하기 위한 식각기는 본 출원인이 이미 개발하여 특허받은 기술이다.(대한민국 특허 제10-218724호: 1996. 10. 30출원) 상기 특허는 불화수소(HF) 용액을 이용하여 글라스를 식각하기 위하여 HF 식각 배스, 린스(QDR: Quick Dump Rinse) 배스, 및 건조 배스로 이루어지는 식각기에 관한 것으로, 식각 배스의 하부에 질소기체 버블(bubble)을 균일하게 생성할 수 있는 다공성의 버블판이 설치된다. 또한, 각 배스 내에는 다수의 글라스가 삽입되어 지지되는 카세트가 구비된다. 즉, 다수의 글라스를 카세트에 수직방향으로 일정한 간격을 유지하면서 삽입하고, 글라스가 삽입된 카세트를 각 배스에 삽입시켜 소정의 식각 공정을 행하게 된다.An etching machine for etching (etching) the glass for a liquid crystal display device is a technology already developed and patented by the present applicant. (Korean Patent No. 10-218724: filed on October 30, 1996) The patent is hydrogen fluoride (HF). ) Etcher consisting of HF etching bath, rinse (QDR: Quick Dump Rinse) bath, and dry bath to etch the glass using a solution, uniformly generating a nitrogen gas bubble at the bottom of the etching bath A porous bubble plate can be installed. In addition, a cassette in which a plurality of glasses are inserted and supported is provided in each bath. That is, a plurality of glasses are inserted into the cassette while maintaining a constant interval in the vertical direction, and the cassette into which the glass is inserted is inserted into each bath to perform a predetermined etching process.

도 1은 종래기술에 따른 카세트(glass cassette)의 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view of a glass cassette according to the prior art.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 카세트(10)는 상부에서 하부쪽으로 다수의 글라스(미도시)를 한 장씩 삽입하여 고정할 수 있도록 측부에 최소한 한 쌍의 측부 지지대(11)가 조립된다. 도 1에는 상부에 한 쌍의 측부 지지대(11)가 조립된 카세트(10)가 도시되어 있지만 하부쪽으로 한 쌍 이상의 측부 지지대(11)가 더 조립된다. 또한, 카세트(10)에 삽입된 글라스는 하부에 설치된 복수개의 하부 지지대(12)에 의하여 그 하중이 지지된다.As shown in FIG. 1, the conventional cassette 10 has at least one pair of side supports 11 assembled on the side to insert and fix a plurality of glasses (not shown) one by one from top to bottom. 1 shows a cassette 10 in which a pair of side supports 11 are assembled at the top, but more than one pair of side supports 11 are further assembled at the bottom. In addition, the load of the glass inserted into the cassette 10 is supported by a plurality of lower supporters 12 installed at the lower portion thereof.

이러한 카세트(10)의 측부 지지대(11)에는 다수의 글라스를 지지할 수 있도록 다수개의 고정돌기(11a)가 일정간격으로 형성된다. 즉, 고정돌기 (11a)사이에 한 장의 글라스가 수직방향으로 삽입되어 고정된다. 이와 같이, 글라스가 카세트(10)의 고정돌기(11a) 사이에 삽입되어 고정되면 카세트(10)를 각 배스에 삽입시켜 소정의 식각 공정을 진행하게 된다.The side support 11 of the cassette 10 is formed with a plurality of fixing projections (11a) at regular intervals to support a plurality of glasses. That is, a piece of glass is inserted and fixed in the vertical direction between the fixing protrusions 11a. As such, when the glass is inserted and fixed between the fixing protrusions 11a of the cassette 10, the cassette 10 is inserted into each bath to perform a predetermined etching process.

하지만, 이러한 종래기술에 따른 카세트는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the cassette according to the prior art had the following problems.

먼저, 식각 공정시 식각 배스내의 HF 및 버블의 유동에 의해 카세트(10)에 수납된 글라스가 동시에 유동하게 되며 이에 따라 글라스의 양측면과 상기 고정돌기(11a)의 끝단이 상호 선접촉/점접촉 하게 되어 글라스의 측면이 손상되는 문제점이 있었다. First, during the etching process, the glass housed in the cassette 10 is simultaneously flown by the flow of HF and bubbles in the etching bath so that both sides of the glass and the ends of the fixing protrusion 11a are in line contact / point contact with each other. There was a problem that the side of the glass is damaged.

그리고, 카세트가 식각/린스 공정을 마치고 다음 공정으로 이송될 때, 상기 카세트(10)의 각부 상단면에는 공정내에서 사용된 액체가 유착되어 수납된 글라스를 오염시킬 우려가 있었다. 또한, 상기 유착된 액체가 이송과정에서 식각기 내부의 각 배스 외부에 누적될 경우 액체에 포함된 불순물(슬러지)에 의해 분진의 발생을 초래하는 문제가 있었다. 아울러 HF와 같은 유동성 물질이 각 배스 외부로 유출될 경우 작업자에게 위험을 초래할 수 있는 문제점이 있었다.In addition, when the cassette is etched and rinsed and then transferred to the next process, the upper surface of each portion of the cassette 10 may adhere to the liquid used in the process to contaminate the stored glass. In addition, when the coalesced liquid accumulates on the outside of each bath inside the etcher in the transfer process, there is a problem that dust is generated by impurities (sludge) included in the liquid. In addition, there is a problem that can cause a risk to workers when the flowable material, such as HF flows out of each bath.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 식각 공정시 글라스의 유동에 의한 충격을 완화시켜 글라스의 손상을 막을 수 있는 액정표시장치용 카세트를 제공하는 것이다.The present invention has been proposed to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a cassette for a liquid crystal display device, which can prevent the damage of the glass by mitigating the impact caused by the flow of the glass during the etching process.

또한, 본 발명의 목적은 식각 공정에 사용되는 액체가 카세트에 유착되는 것을 막아 유착된 액체에 의해 글라스가 오염되는 문제점을 방지할 수 있는 액정표시장치용 카세트를 제공하는 것이다.It is also an object of the present invention to provide a liquid crystal display cassette which can prevent the liquid used in the etching process from adhering to the cassette, thereby preventing the glass from being contaminated by the adhering liquid.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은 전후면 플레이트; 상기 전후면 플레이트를 연결하는 적어도 한쌍의 측면 프레임; 그리고, 상기 측면 프레임에 일정 간격을 가지고 형성되어 삽입된 글라스를 고정하며, 상기 글라스와 접촉하는 양측면에 경사면이 형성되는 다수개의 고정돌기를 포함하여 이루어지는 식각기용 카세트를 제공한다.The present invention to achieve the above object is a front and rear plate; At least one pair of side frames connecting the front and rear plates; In addition, the side frame is fixed to the inserted glass formed at a predetermined interval, and provides a cassette for etching comprising a plurality of fixing projections are formed in the inclined surface on both sides in contact with the glass.

또한, 본 발명은 하단면이 일측으로 경사지게 형성되는 다수개의 개방부를 구비하며, 각부의 상단면이 일측으로 경사지게 형성되는 전후면 플레이트; 상기 전후면 플레이트를 연결하며 상단면이 일측으로 경사지게 형성되는 적어도 한쌍의 측면 프레임; 그리고, 상기 측면 프레임에 일정 간격을 가지고 형성되어 삽입된 글라스를 고정하며, 상면에 일정 각도의 경사면이 형성되는 다수개의 고정돌기를 포함하여 이루어지는 식각기용 카세트를 제공한다.In addition, the present invention is provided with a plurality of openings in which the bottom surface is formed to be inclined to one side, the front and rear plate is formed to be inclined to one side of the top surface; At least one pair of side frames connecting the front and rear plates and having an upper surface inclined toward one side; In addition, the side frame is fixed to the inserted glass formed at a predetermined interval, and provides an etching cassette comprising a plurality of fixing projections are formed on the upper surface of the inclined surface at a predetermined angle.

이하, 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다.Hereinafter, embodiments of the present invention in which the above object can be specifically realized are described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 식각기용 카세트의 정면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 식각기용 카세트의 평면도이다. 그리고, 도 4는 본 발명에 따른 식각기용 카세트의 좌우 측면도이다.2 is a front view of the cassette for an etcher according to the present invention, Figure 3 is a plan view of the cassette for an etcher according to the present invention. And, Figure 4 is a left and right side view of the cassette for the etcher according to the present invention.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 식각기용 카세트(100)는 크게 전후면 플레이트(110, 120)와, 상기 전후면 플레이트(110, 120)를 연결하는 측면 프레임(130)과, 상기 측면 프레임(130)에 형성되는 고정돌기(131)를 포함하여 이루어진다.As shown in Figures 2 to 4, the etching cassette cassette 100 according to the present invention is largely the front and rear plates 110 and 120, and the side frame 130 connecting the front and rear plates 110 and 120. And a fixing protrusion 131 formed on the side frame 130.

상기 측면 프레임(130)은 양단에 구비되는 체결부(132)를 통해 전후면 플레이트(110, 120)에 나사 결합된다. 상기 고정돌기(131)는 측면 프레임(130)에 일정간격을 가지고 형성되어 삽입된 글라스를 지지한다. 즉, 글라스가 수직방향으로 상기 고정돌기(131) 사이로 삽입되면 고정돌기(131)는 글라스의 양측면을 지지하여 삽입된 글라스가 일정 간격을 유지하도록 한다. The side frame 130 is screwed to the front and rear plates 110 and 120 through fastening portions 132 provided at both ends. The fixing protrusion 131 is formed at a predetermined interval on the side frame 130 to support the inserted glass. That is, when glass is inserted between the fixing protrusions 131 in the vertical direction, the fixing protrusions 131 support both sides of the glass so that the inserted glass maintains a predetermined interval.

그리고, 카세트(100)에는 상기 전후면 플레이트(110, 120)의 하부를 연결하는 하부 프레임(140)이 설치된다. 상기 하부 프레임(140)은 양단이 전후면 플레이(110, 120)에 나사 결합되어 삽입된 글라스의 하중을 지탱하는 역할을 한다. 따라서, 카세트(100)에 수납되는 글라스는 고정돌기(131)와 하부 프레임(140)에 의해 양측면 및 하면이 안정적으로 지지된다. The cassette 100 is provided with a lower frame 140 connecting lower portions of the front and rear plates 110 and 120. The lower frame 140 has both ends screwed to the front and rear views 110 and 120 to support the load of the inserted glass. Therefore, the glass accommodated in the cassette 100 is stably supported by both side and bottom surfaces by the fixing protrusion 131 and the lower frame 140.

또한, 상기 고정돌기(131)의 양측면에는 끝단을 향해 일정 각도로 기울어진 경사면(131a)이 형성된다. 상기 경사면(131a)은 식각 공정시 글라스와 면접촉하는 부분으로 종래와 같이 고정돌기(131a)의 끝단과 글라스가 선접촉/점접촉하여 발생하는 글라스의 손상을 방지한다. In addition, the inclined surfaces 131a are inclined at an angle toward the ends on both side surfaces of the fixing protrusion 131. The inclined surface 131a is a part which is in surface contact with the glass during the etching process, and prevents damage to the glass caused by line contact / point contact between the end of the fixing protrusion 131a and the glass as in the related art.

도 5는 식각 공정시 글라스와 고정돌기의 경사면이 면접촉하는 상태를 나타내는 도면이다.5 is a view showing a state in which the inclined surface of the glass and the fixing projections in surface contact during the etching process.

좀더 상세히 설명하면, 종래 고정돌기(11a)(도 1참조)는 사각 막대 형상을 가지기 때문에 고정돌기(11a) 사이에 삽입된 글라스가 유동하게 되면 글라스의 측면은 고정돌기(11a)의 끝단과 선접촉 또는 점접촉하여 파손되거나 손상될 우려가 높다. 하지만, 도 5에 도시된 바와 같이, 고정돌기(131)의 양측면에 경사면(131a)이 형성되면 식각 공정시 글라스(200)가 유동하더라도 글라스(200)는 고정돌기(131)의 경사면(131a)과 면접촉하게 되어 파손이 방지된다.More specifically, the conventional fixing protrusion 11a (see FIG. 1) has a rectangular bar shape, so that the glass inserted between the fixing protrusions 11a flows to the end of the fixing protrusion 11a and the line. High risk of breakage or damage due to contact or point contact. However, as shown in FIG. 5, when the inclined surfaces 131a are formed on both sides of the fixing protrusion 131, the glass 200 is inclined surface 131a of the fixing protrusion 131 even though the glass 200 flows during the etching process. It comes into surface contact with it to prevent breakage.

그리고, 상술한 고정돌기(131)가 형성되는 측면 프레임(130)은 글라스의 안정적인 지지를 위해 적어도 한쌍 이상이 설치된다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이 5쌍의 측면 프레임(130)이 설치될 경우 삽입된 글라스는 상부에서 하부까지 각 10개의 고정돌기(131)에 의해 지지되고 이에 따라 글라스를 카세트(100) 내부에 보다 안정적으로 수납할 수 있게 된다.In addition, at least one pair of side frames 130 in which the fixing protrusion 131 is formed is installed for stable support of the glass. That is, as shown in FIG. 4, when five pairs of side frames 130 are installed, the inserted glass is supported by each of the ten fixing protrusions 131 from the top to the bottom thereof, and thus the glass is inserted into the cassette 100. It can be stored more stably.

이러한 본 발명에 의한 카세트(100)는 테프론 계열의 PFA, PTFE, PVDF 또는 PVC수지 재질로 제작됨이 바람직하다.The cassette 100 according to the present invention is preferably made of PFA, PTFE, PVDF or PVC resin material.

한편, 상기 전후면 플레이트(110, 120)의 각부 상단면(111, 121)은 식각 공정시 사용되는 식각액의 유착을 방지하기 위해 볼록 구조로 형성된다. On the other hand, the upper and rear surfaces 111 and 121 of the front and rear plates 110 and 120 are formed in a convex structure to prevent adhesion of the etchant used in the etching process.

좀더 상세히 설명하면, 식각 공정시 식각 배스내에 구비되는 식각액은 순환하며 카세트(100)에 수납된 글라스의 표면을 식각한다. 따라서, 전후면 플레이트(110, 120)의 각부 상단면(111, 121)이 평면을 이룰 경우 식각액이 전후면 플레이트(110, 120)의 각부 상단면(111, 121)에 유착될 우려가 높다. 하지만, 전후면 플레이트(110, 120)의 각부 상단면(111, 121)이 볼록 구조로 형성되면 식각액이 볼 록 구조를 따라 쉽게 흘러내릴 수 있어 식각액의 유착에 따른 종래의 문제점을 방지할 수 있다. In more detail, during the etching process, the etching solution provided in the etching bath circulates and etches the surface of the glass accommodated in the cassette 100. Therefore, when the upper end surfaces 111 and 121 of the front and rear plates 110 and 120 form a flat surface, the etchant is likely to adhere to the upper end surfaces 111 and 121 of the front and rear plates 110 and 120. However, when the upper and rear surfaces 111 and 121 of the front and rear plates 110 and 120 are formed in a convex structure, the etchant can easily flow along the convex structure, thereby preventing a conventional problem due to the adhesion of the etchant. .

또한, 식각 공정에 사용되는 식각액의 유착을 방지하기 위해 고정돌기(131)의 상면에도 일정 각도의 경사면이 형성됨이 바람직하다. 도 6은 본 발명에 따른 고정돌기의 개략적인 구조를 나타내는 사시도이다.In addition, in order to prevent adhesion of the etchant used in the etching process, it is preferable that an inclined surface of a predetermined angle is formed on the upper surface of the fixing protrusion 131. 6 is a perspective view showing a schematic structure of a fixing protrusion according to the present invention.

도 6에 도시된 바와 같이, 고정돌기(131)는 측면뿐만 아니라 상면에도 경사면(131b)을 구비한다. 상기 측면에 형성된 경사면(131a)은 상술한 바와 같이 글라스의 파손을 방지하기 위한 것인 반면, 상면에 형성된 경사면(131b)은 식각액의 유착을 방지하기 위한 것이다. 즉, 고정돌기(131)의 상면에 경사면(131b)이 형성되면 식각 공정에 사용되는 식각액이 고이지 않고 흘러내리기 때문에 고정돌기(131)의 상면에 식각액이 유착되는 것을 방지할 수 있다.As shown in FIG. 6, the fixing protrusion 131 includes an inclined surface 131b on the upper surface as well as the side surface. The inclined surface 131a formed on the side surface is for preventing breakage of the glass as described above, while the inclined surface 131b formed on the upper surface is for preventing adhesion of the etchant. That is, when the inclined surface 131b is formed on the upper surface of the fixing protrusion 131, since the etching liquid used in the etching process flows down without accumulation, the etching liquid may be prevented from adhering to the upper surface of the fixing protrusion 131.

한편, 상기 전후면 플레이트(110, 120)에는 다수개의 개방부(150)가 형성된다. 도 7은 본 발명의 전후면 플레이트에 형성되는 개방부를 개략적으로 나타내는 사시도이다.Meanwhile, a plurality of openings 150 are formed in the front and rear plates 110 and 120. Figure 7 is a perspective view schematically showing the opening formed in the front and rear plate of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 상기 전후면 플레이트(110, 120)에 형성되는 개방부(150)는 하단면(151)이 볼록 구조로 형성됨이 바람직하다. 이와 같이 개방부(150)의 하단면(151)이 볼록 구조를 가지면 상술한 전후면 플레이트(110, 120) 등의 상단면(111, 121) 및 고정돌기(131)의 상면 구조와 같이 식각 공정에 사용되는 식각액의 유착을 방지할 수 있다.As shown in FIG. 7, the opening 150 formed in the front and rear plates 110 and 120 may have a bottom surface 151 formed in a convex structure. As described above, when the lower surface 151 of the opening 150 has a convex structure, an etching process is performed as in the upper surface 111 and 121 of the front and rear plates 110 and 120 and the upper surface of the fixing protrusion 131. The adhesion of the etchant used in the can be prevented.

즉, 식각/린스 공정이 종료되어 카세트(100)가 다음 공정으로 이송될 때 개 방부(150)의 하단면(151)이 수평면을 이루면 식각 공정에 사용된 식각액이 모두 제거되지 않고 개방부(150)의 하단면(151)에 유착될 가능성이 높다. 하지만, 상기 개방부(150)의 하단면(151)이 볼록 구조로 형성되면 식각 공정에 사용된 식각액이 자연스럽게 흘러내려 식각액이 개방부(150) 하단면(151)에 유착되는 것을 방지할 수 있다.That is, when the etch / rinse process is completed and the lower surface 151 of the open portion 150 forms a horizontal plane when the cassette 100 is transferred to the next process, all of the etchant used in the etching process is not removed and the opening portion 150 is removed. Is likely to adhere to the bottom surface 151. However, when the bottom surface 151 of the opening portion 150 is formed in a convex structure, the etchant used in the etching process flows naturally, thereby preventing the etching solution from being adhered to the bottom surface 151 of the opening portion 150. .

이와 같이 본 발명은 전후면 플레이트의 상단면(111, 121)과, 개방부(150)의 하단면(151)을 볼록 구조로 형성하여 식각 공정에 사용되는 식각액이 카세트(100)에 유착되는 것을 방지한다. 즉, 상기 볼록 구조는 식각액이 카세트(100)에 유착되지 않고 쉽게 흘러내리도록 한다.As described above, the present invention forms the upper and lower surfaces 111 and 121 of the front and rear plates and the lower surface 151 of the opening 150 in a convex structure so that the etchant used in the etching process is adhered to the cassette 100. prevent. That is, the convex structure allows the etchant to flow down easily without being adhered to the cassette 100.

따라서, 상기 전후면 플레이트의 상단면(111, 121) 구조 등은 볼록 구조 이외에도 다양한 변형이 가능하다. 즉, 전후면 플레이트의 각부 상단면(111, 121)과, 개방부(150)의 하단면(151)을 일측으로만 하향 경사지게 형성시켜 식각액이 카세트(100)에 쉽게 유착되지 못하게 할 수 있다.Accordingly, the top and rear surfaces 111 and 121 of the front and rear plates may be modified in addition to the convex structure. That is, the upper and lower surfaces 111 and 121 of the front and rear plates and the lower surface 151 of the opening 150 may be inclined downward only to one side so that the etchant may not be easily adhered to the cassette 100.

또한, 상기 볼록 구조 또는 경사면이 형성되는 각 부의 위치는 모두 식각액이 유착되기 용이한 부분으로 이러한 점을 고려하면 식각액이 흘러내리지 않고 유착될 염려가 있는 측면 프레임(130) 및 하부 프레임(140)의 각부 상단면, 그리고 측면 프레임(130)을 전후면 플레이트(110, 120)에 결합시키는 체결부(132)의 상면 등도 모두 볼록 구조로 형성하거나 일측으로 경사지게 형성함이 바람직하다.In addition, the position of each of the portions in which the convex structure or the inclined surface is formed is a portion where the etchant is easily coalesced. In consideration of this point, the side frame 130 and the lower frame 140 may be coalesced without the etchant flowing down. The upper surface of each portion, and the upper surface of the fastening portion 132 for coupling the side frame 130 to the front and rear plates 110 and 120 are also preferably formed in a convex structure or inclined to one side.

이러한 본 발명에 따른 식각기용 카세트는 다음과 같은 효과를 가진다.  The etching cassette according to the present invention has the following effects.

먼저, 본 발명은 고정돌기의 양측면에 경사면을 형성시켜 식각 공정시 유동하는 글라스가 고정돌기의 경사면과 면접촉하도록 함으로써 글라스의 파손 및 손상을 방지할 수 있다.First, the present invention can prevent the breakage and damage of the glass by forming the inclined surface on both sides of the fixing projections so that the glass flowing during the etching process is in contact with the inclined surface of the fixing projection.

그리고, 본 발명은 식각 공정에 사용되는 식각액이 유착되기 쉬운 부위를 볼록 구조로 형성하거나 경사지게 형성시켜 카세트에 액체가 유착되는 것을 최대한 감소시킨다. 따라서, 카세트의 이송시 불순물을 포함하는 식각액이 식각기 내부에 적층되는 양을 감소시켜 식각기 내부에서 생성되는 분진량을 줄여 식각기 내부의 청정도를 유지할 수 있다.In addition, the present invention forms a convex structure or an inclined portion of the etching liquid used in the etching process to reduce the adhesion of the liquid to the cassette. Therefore, when the cassette is transported, the amount of the etchant including impurities is deposited inside the etcher to reduce the amount of dust generated inside the etcher, thereby maintaining the cleanliness inside the etcher.

또한, 식각액으로 사용되는 HF와 같은 유독성 물질이 식각 배스 외부로 유출되는 것을 방지하여 작업자의 안전을 보장할 수 있으며, 카세트가 식각 배스에서 린스 배스로 이송되는 과정에서 카세트에 유착된 식각액이 린스 배스로 이동하여 린스 배스의 DI(deionized water: 초순수)를 오염시키는 것을 최소화할 수 있다 In addition, it is possible to ensure the safety of the operator by preventing the toxic substances such as HF used as an etchant to flow out of the etching bath, and the etching liquid adhered to the cassette in the process of transferring the cassette from the etching bath to the rinse bath rinse bath To minimize contamination of the rinse bath DI (deionized water)

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (9)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 하단면이 볼록 구조로 형성되는 다수개의 개방부를 구비하는 전후면 플레이트;A front and rear plate having a plurality of openings, the bottom surface of which is formed in a convex structure; 상기 전후면 플레이트를 연결하는 적어도 한쌍의 측면 프레임; 그리고, At least one pair of side frames connecting the front and rear plates; And, 상기 측면 프레임에 일정 간격을 가지고 형성되어 삽입된 글라스를 고정하는 다수개의 고정돌기를 포함하여 이루어지는 식각기용 카세트. Etching cassettes comprising a plurality of fixing projections for fixing the inserted glass is formed at a predetermined interval on the side frame. 하단면이 일측으로 경사지게 형성되는 다수개의 개방부를 구비하며, 각부의 상단면이 일측으로 경사지게 형성되는 전후면 플레이트; A front and rear surface plate having a plurality of openings in which the bottom surface is formed to be inclined to one side, and the top surface of each portion to be inclined to one side; 상기 전후면 플레이트를 연결하며 상단면이 일측으로 경사지게 형성되는 적어도 한쌍의 측면 프레임; 그리고, At least one pair of side frames connecting the front and rear plates and having an upper surface inclined toward one side; And, 상기 측면 프레임에 일정 간격을 가지고 형성되어 삽입된 글라스를 고정하는 다수개의 고정돌기를 포함하여 이루어지는 식각기용 카세트. Etching cassettes comprising a plurality of fixing projections for fixing the inserted glass is formed at a predetermined interval on the side frame. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 고정돌기의 상면에는 식각 공정시 사용되는 식각액이 유착되는 것을 방지하기 위한 일정 각도의 경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 식각기용 카세트. The cassette according to claim 4 or 5, wherein an inclined surface having a predetermined angle is formed on an upper surface of the fixing protrusion to prevent adhesion of the etching liquid used in the etching process. 제 4항 또는 제5항에 있어서, 상기 카세트의 재질은 테프론 계열의 PFA, PTFE, PVDF 또는 PVC수지임을 특징으로 하는 식각기용 카세트.The cassette according to claim 4 or 5, wherein the cassette is made of Teflon-based PFA, PTFE, PVDF or PVC resin. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 고정돌기는 글라스와 접촉하는 양측면에 경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 식각기용 카세트.The cassette according to claim 4 or 5, wherein the fixing protrusion has inclined surfaces formed on both side surfaces in contact with the glass. 제4항에 있어서, 상기 전후면 플레이트 또는 측면 프레임의 각부 상단면은 볼록 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 식각기용 카세트.The cassette according to claim 4, wherein an upper end surface of each of the front and rear plates or the side frame is formed in a convex structure.
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