[go: up one dir, main page]

KR100944959B1 - Wavelength conversion laser system - Google Patents

Wavelength conversion laser system Download PDF

Info

Publication number
KR100944959B1
KR100944959B1 KR1020080005324A KR20080005324A KR100944959B1 KR 100944959 B1 KR100944959 B1 KR 100944959B1 KR 1020080005324 A KR1020080005324 A KR 1020080005324A KR 20080005324 A KR20080005324 A KR 20080005324A KR 100944959 B1 KR100944959 B1 KR 100944959B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical
wavelength
light
light emitting
laser system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
KR1020080005324A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20090079397A (en
Inventor
이용탁
Original Assignee
주식회사 와이텔포토닉스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 와이텔포토닉스 filed Critical 주식회사 와이텔포토닉스
Priority to KR1020080005324A priority Critical patent/KR100944959B1/en
Publication of KR20090079397A publication Critical patent/KR20090079397A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100944959B1 publication Critical patent/KR100944959B1/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/101Lasers provided with means to change the location from which, or the direction in which, laser radiation is emitted
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/28Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29304Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating
    • G02B6/29305Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating as bulk element, i.e. free space arrangement external to a light guide
    • G02B6/2931Diffractive element operating in reflection
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/28Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29304Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating
    • G02B6/29305Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating as bulk element, i.e. free space arrangement external to a light guide
    • G02B6/29313Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by diffraction, e.g. grating as bulk element, i.e. free space arrangement external to a light guide characterised by means for controlling the position or direction of light incident to or leaving the diffractive element, e.g. for varying the wavelength response

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

본 발명은 파장변환 레이저 시스템에 관한 것으로, 반도체 광증폭기와, 광증폭기로 부터 방출된 광을 집광하는 광집광기와, 광 집광기를 거친 광의 각 파장성분을 다른 방향으로 유도하는 회절 격자판과, 광-VLSI 프로세서를 구비하는 파장변환 레이저 시스템을 제공한다. The present invention relates to a wavelength conversion laser system, comprising: a semiconductor optical amplifier, an optical condenser for condensing light emitted from the optical amplifier, a diffraction grating plate for guiding each wavelength component of light passing through the optical concentrator in a different direction, A wavelength converting laser system having a VLSI processor is provided.

반도체 광증폭기, 광-VLSI, opto-VLSI Semiconductor Optical Amplifiers, Optical-VLSI, Opto-VLSI

Description

파장변환 레이저 시스템 {Tunable Laser System}Wavelength Laser System {Tunable Laser System}

본 발명은 파장 변환 레이저 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 광-VLSI (Very Large Scale Integration) 프로세서를 이용한 파장변환 레이저 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a wavelength conversion laser system, and more particularly, to a wavelength conversion laser system using an optical-VLSI (Very Large Scale Integration) processor.

파장변환 레이저의 소스는 WDM(wavelength division modulation)에 근거한 광 커뮤니케이션 네트워크를 구축하기 위한 주요 구성요소이다. 이는 파장변환 가능한 레이저 소스가 파장 선택에서의 최대 유연성 및 파장 자원으로써 보다 효율적인 유용성을 갖기 때문이다.The source of the wavelength conversion laser is a major component for building an optical communication network based on wavelength division modulation (WDM). This is because wavelength convertible laser sources have greater flexibility in wavelength selection and more efficient utility as wavelength resources.

파장변환 레이저는 파장 선택성을 갖기 때문에 WDM(wavelength division modulation) 기반 광통신 등에 널리 이용되어져 왔다. 기존 파장변환 레이저로는 고체(Solid-state) 레이저, 화학염료(chemical dye) 레이저 등이 이용되어 왔으나 펌프 파워의 변동에 따른 노이즈의 변화가 매우 크고 복잡한 펌핑 시스템이 요구되기 때문에 실제 환경에 적용하기는 어렵다.Wavelength conversion lasers have been widely used in wavelength division modulation (WDM) based optical communications because of their wavelength selectivity. Conventional wavelength conversion lasers have been used for solid-state lasers and chemical dye lasers.However, noise changes due to fluctuations in pump power are very large and complex pumping systems are required. Is difficult.

따라서, 파장변환 레이저 시스템의 설계에 있어서 넓은 방출 대역(broad emission band)을 가능하게 하는 레이저 미디어(laser media)를 찾기 위해 많은 노력을 하고 있는데, 실제로, CW(Continous Wave) 파장 변환 가능한 고체상태 및 화학 염료 레이저는 어느 정도의 실질적인 필요 조건을 충족시키기 위해 개발되었다.Therefore, in the design of a wavelength conversion laser system, a lot of efforts have been made to find laser media that enable a broad emission band. In fact, CW (Continous Wave) wavelength convertible solid state and Chemical dye lasers have been developed to meet some practical requirements.

그러나, 이들 시스템의 결점은 펌프력(pump power) 또는 염료 제트(dye jet)의 변동에 의한 고유의 큰 노이즈와 복잡한 펌프 시스템을 필요로 한다는 것인데, 이는 시스템의 부피를 키우며 환경적 영향에 대한 감응(susceptibility)을 초래하는 문제점이 있었다.However, a drawback of these systems is that they require complex noise pumps and inherent loud noises caused by variations in pump power or dye jets, which increases the volume of the system and responds to environmental impacts. There was a problem causing (susceptibility).

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 반도체 광증폭기, SLD, 광 VLSI 프로세서 등을 이용하는 매우 단순한 구성으로 파장변환이 가능할 뿐 아니라 구조가 간단하며 저가격 제작이 가능한 파장 변환 레이저 시스템을 제공하는 것이다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to convert a wavelength into a very simple configuration using a semiconductor optical amplifier, an SLD, an optical VLSI processor, etc. It is to provide a conversion laser system.

본 발명의 제1 측면은 반도체 광증폭기; 상기 광증폭기로 부터 방출된 광을 집광하는 광집광기; 상기 광 집광기를 거친 광의 각 파장성분을 다른 방향으로 유도하는 회절 격자판; 및 상기 유도된 각 파장성분의 광을 특정 파장만 다시 반도체 광증폭기로 되돌려 주기 위한 것으로, 데이터 디코더와 어드레스 디코더를 통해 전류를 인가하여 원하는 홀로그램 패턴을 형성하는 광-VLSI 프로세서를 구비하는 파장변환 시스템을 제공한다.A first aspect of the invention is a semiconductor optical amplifier; An optical condenser for condensing light emitted from the optical amplifier; A diffraction grating plate for guiding each wavelength component of light passing through the light condenser in a different direction; And an optical-VLSI processor for returning light of each of the wavelength components only to a specific wavelength back to a semiconductor optical amplifier, and applying a current through a data decoder and an address decoder to form a desired hologram pattern. To provide.

바람직하게는, 상기 광 집광기로 되돌아 온 상기 특정 파장의 광은 상기 반도체 광증폭기를 거쳐 증폭되어 외부로 방출되기 위한 출력 포트를 더 구비한다.Preferably, the light having the specific wavelength returned to the light collector further includes an output port for amplifying through the semiconductor optical amplifier and emitted to the outside.

본 발명의 제2 측면은 발광 다이오드; 상기 발광다이오드로 부터 방출된 광을 집광하는 광집광기; 상기 광 집광기를 거친 광의 각 파장성분을 다른 방향으로 유도하는 회절 격자판; 상기 유도된 각 파장성분의 광을 특정 파장만 다시 상기 발 광다이오드로 되돌려 주기 위한 것으로, 데이터 디코더와 어드레스 디코더를 통해 전류를 인가하여 원하는 홀로그램 패턴을 형성하는 광-VLSI 프로세서; 및 상기 발광다이오드와 상기 광집광기 사이에 구비되며, 상기 광-VLSI 프로세서에서 되돌아오는 광을 분리하는 광커플러를 구비하는 파장변환 레이저 시스템을 제공한다.A second aspect of the invention is a light emitting diode; A photocondenser for condensing light emitted from the light emitting diodes; A diffraction grating plate for guiding each wavelength component of light passing through the light condenser in a different direction; An optical-VLSI processor for returning light of each of the wavelength components only to a specific wavelength back to the light emitting diode, and applying a current through a data decoder and an address decoder to form a desired hologram pattern; And an optical coupler disposed between the light emitting diode and the photocondenser and separating the light returned from the photo-VLSI processor.

바람직하게는, 상기 광커플러는 입력 포트는 1개이고, 상기 입력 포트는 상기 광집광기에 연결되고, 출력 포트는 2개이며, 상기 출력포트 1개에는 발광 다이오드가 연결되고, 다른 한 개는 실제 출력부가 된다.Preferably, the optocoupler has one input port, the input port is connected to the photocondenser, two output ports, one output port is connected to a light emitting diode, and the other is the actual output Is added.

바람직하게는, 상기 출력포트 1개에는 서로 다른 파장 영역을 갖는 발광다이오드가 복수개 연결된다.Preferably, a plurality of light emitting diodes having different wavelength ranges are connected to one output port.

한편, 발광다이오드는 SLD(Super luminescent diode)인 것이 바람직하다.On the other hand, the light emitting diode is preferably SLD (Super luminescent diode).

본 발명에 의하면, 반도체 광증폭기, 광 VLSI 프로세서를 이용하는 매우 단순한 구성으로 파장변환이 가능하기 때문에 저가형, 소형 제작이 가능하며 광 VLSI 프로세서를 통해 특정 파장의 빛 만 방출되게 함으로써 매우 정교한 파장변환이 가능하게 된다.According to the present invention, since the wavelength conversion is possible with a very simple configuration using a semiconductor optical amplifier and an optical VLSI processor, it is possible to manufacture a low-cost, small size, and very precise wavelength conversion by allowing only a specific wavelength of light to be emitted through the optical VLSI processor. Done.

본 발명에 의하면, 파장 가변을 실현하기 위해서, 반도체 광증폭기에 의해 생성된 광폭 ASE 스펙트럼의 임의의 좁은 웨이브 밴드는 SOA의 활성 공진구조와 결합하게 되는데, 이는 광-VLSI 프로세서 상에 실린 최적화된 위상 홀로그램을 사용 하는 증폭(amplification)을 위한 것이다.According to the present invention, in order to realize wavelength variability, any narrow waveband of the wide ASE spectrum generated by the semiconductor optical amplifier is combined with the active resonant structure of the SOA, which is an optimized phase loaded on the optical-VLSI processor. For amplification using holograms.

또한, 본 발명은 광 VLSI 프로세서의 위상 홀로그램을 변화시킴으로써, 예컨데 10nm의 파장가변 범위에 의한 안정된 레이저 성능은 달성될 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention changes the phase hologram of the optical VLSI processor, for example, the stable laser performance by the wavelength variable range of 10nm has the effect that can be achieved.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시의 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the technical idea of the present invention. do. The present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, only the embodiments of the present invention to make the disclosure of the present invention complete and complete the scope of the invention to those skilled in the art. It is provided to inform you.

(반도체 광증폭기와 광-VLSI를 이용한 파장변환 시스템)(Wavelength conversion system using semiconductor optical amplifier and optical-VLSI)

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 파장변환 시스템의 개략적인 구성도이다. 1 is a schematic configuration diagram of a wavelength conversion system according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 파장변환 레이저 시스템(10)은 광 스펙트럼 분석기(110), 반도체 광증폭기(120), 광 집광기(collimator; 140), 회절격자 판(150), 및 광-VLSI 프로세서(160)를 구비한다.Referring to FIG. 1, the wavelength conversion laser system 10 includes an optical spectrum analyzer 110, a semiconductor optical amplifier 120, an optical collimator 140, a diffraction grating plate 150, and an optical-VLSI processor 160. ).

반도체 광증폭기(120)에서 방출되고 증폭된 광대역증폭자발 방출된(broad amplified spontaneous emission) 광은 광 집광기(140)에 입사한다. 광 집광기(140)를 거쳐 집광된 광은 회절격자 판(150)을 통해 광이 광-VLSI 프로세서(160)에 인가된다.Broad amplified spontaneous emission light emitted and amplified by the semiconductor optical amplifier 120 is incident on the light condenser 140. The light collected through the light condenser 140 is applied to the light-VLSI processor 160 through the diffraction grating plate 150.

회절격자 판(150)은 집광된 빛의 각 파장성분을 광-VLSI 프로세서(160)의 각기 다른 방향으로 보내는 역할을 한다. 광-VLSI 프로세서(160)는 원하는 회절격자 패턴을 형성하여 특정 파장의 빛만을 다시 광 집광기(140)를 통할 수 있도록 유도한다. 광-VLSI 프로세서(160)는 상세히 후술한다.The diffraction grating plate 150 serves to send each wavelength component of the collected light in different directions of the photo-VLSI processor 160. The photo-VLSI processor 160 forms a desired diffraction grating pattern to direct only light of a particular wavelength back through the light condenser 140. Optical-VLSI processor 160 is described in detail below.

한편, 광 집광기(140)를 통과한 특정 파장은 광은 반도체 광증폭기(120)를 거쳐 증폭되어 외부로 방출된다. 따라서, 원하는 파장의 빛 만이 방출되게 함으로써 파장변환이 가능하게 된다. 이 때, 광 스펙트럼 분석기(110, OSA; Optical spectrum analyzer)는 외부로 방출되는 광을 분석하는 역할을 수행한다.On the other hand, the specific wavelength passing through the light condenser 140 is amplified through the semiconductor optical amplifier 120 is emitted to the outside. Therefore, wavelength conversion is possible by allowing only light of a desired wavelength to be emitted. At this time, the optical spectrum analyzer 110 (OSA; Optical spectrum analyzer) serves to analyze the light emitted to the outside.

광-VLSI 프로세서(160)는 유도된 각 파장성분의 광을 특정 파장만 다시 반도체 광증폭기로 되돌려 주기 위한 것이다. 특정 파장을 회송하는 기능은 데이터 디코더와 어드레스 디코더를 통해 전류를 인가하여 원하는 홀로그램 패턴을 형성함으로써 가능해진다. The optical-VLSI processor 160 is for returning the light of each wavelength component induced only to a specific wavelength back to the semiconductor optical amplifier. The function of returning a specific wavelength is made possible by applying a current through the data decoder and the address decoder to form the desired hologram pattern.

한편 편광 제어기(130)는 선택적으로 부가될 수 있으며 시스템에 필요한 편광을 조절하는 역할을 한다. Meanwhile, the polarization controller 130 may be selectively added and adjusts the polarization required for the system.

도 2는 도 1의 광-VLSI 프로세서(160)의 상세 도면이다.2 is a detailed view of the optical-VLSI processor 160 of FIG. 1.

도 2를 참조하면, 실리콘 기판 위에 알루미늄 거울, 궈터 웨이브 플레이트, 액정물질(LC material), ITO(Indium Tin Oxide), 글래스가 순차적으로 적층되어 있으며 데이터 디코더와 어드레스 디코더를 통해 전류를 인가하여 원하는 홀로그램 패턴을 형성할 수 있도록 한다.Referring to FIG. 2, an aluminum mirror, a gotter wave plate, a liquid crystal material (LC material), an indium tin oxide (ITO), and a glass are sequentially stacked on a silicon substrate, and a desired hologram is applied by applying current through a data decoder and an address decoder. Allows you to form patterns.

이렇게 구성된 광-VLSI 프로세서(160)에 빛이 인가되면 광-VLSI 프로세서(160)에 형성되어진 홀로그램 패턴에 의해 빛이 회절되며 빛의 각도는 θ=λ/(qxd) 에 의해 결정된다. 여기서 λ는 입사된 빛의 파장, q는 단위 간격당 픽셀의 개수, d는 픽셀 직경을 의미한다.When light is applied to the optical-VLSI processor 160 configured as described above, the light is diffracted by the hologram pattern formed in the optical-VLSI processor 160 and the angle of the light is determined by θ = λ / (qxd). Where λ is the wavelength of incident light, q is the number of pixels per unit interval, and d is the pixel diameter.

좀 더 상세히 설명하면, 광-VLSI 프로세서(160)는 광학 빔의 방향을 조정 및/또는 광학 빔을 형상화 할 수 있는 디지털 홀로그래픽 회절 격자 (digital holographic diffraction gratings)를 생성한다. 각각의 픽셀은 디지털 값을 저장하기 위한 소정의 메모리소자에 할당되며, 또한, 특정 입력 전압 값을 선택하거나, 선택된 전압 값을 알루미늄 거울(mirror plate)에 적용하기 위한 멀티플렉서에 할당된다.In more detail, the optical-VLSI processor 160 generates digital holographic diffraction gratings capable of adjusting the direction of the optical beam and / or shaping the optical beam. Each pixel is assigned to a predetermined memory element for storing digital values, and also to a multiplexer for selecting a particular input voltage value or for applying the selected voltage value to an aluminum mirror plate.

광-VLSI 프로세서(160)는 퍼스널 컴퓨터(170) 등에 의해 연결되어 전자적으로 제어되며 소프트웨어적으로 구성되고 편광에 독립적이며(polarization independent), 복수의 광학 빔을 동시에 제어할 수 있을 뿐만 아니라 VLSI칩을 대량으로 생산할 수 있기 때문에 비용 면에서 저렴하다. 또한, 매우 신뢰성이 높은데 이는 빔 스티어링(steering)이 기계적으로 가동되는 부품이 없이 제공되기 때문이다. 이러한 점에 있어서 광-VLSI 기술은, 재구성 가능한 광 네트워크를 위한 기술로써 주목받고 있다.The optical-VLSI processor 160 is electronically controlled, software-configured, polarization independent, connected by a personal computer 170 and the like, and can simultaneously control a plurality of optical beams, as well as a VLSI chip. It is inexpensive because it can be produced in large quantities. It is also very reliable because the beam steering is provided without mechanically moving parts. In this regard, optical-VLSI technology has attracted attention as a technology for reconfigurable optical networks.

도 2는 광-VLSI 프로세서의 바람직한 구조를 보여준다. 여기서, ITO(Indium-Tin Oxide)층은 투명전극으로써 사용되며, 알루미늄 미러는 반사 전극으로써 사용된다. 액정과 VLSI의 배면 사이에 얇은 QWP(quarter-wave plate)를 삽입하는 것은 편광에 민감하지 않는(polarization-insensitive) 광-VLSI 프로세서를 구현할 수 있기 때문이다. ITO층은 일반적으로 접지가 되며, 전압은 액정물질 아래의 VLSI회로에 의해 반사 전극으로 인가되는데, 이는 광학 빔 스티어링을 위한 단계적인 브레이즈 격자(brazed grating)를 생성하기 위한 것이다.2 shows a preferred structure of an optical-VLSI processor. In this case, an indium-tin oxide (ITO) layer is used as a transparent electrode, and an aluminum mirror is used as a reflective electrode. Inserting a thin quarter-wave plate (QWP) between the liquid crystal and the backside of the VLSI can result in a polarization-insensitive optical-VLSI processor. The ITO layer is generally grounded, and voltage is applied to the reflective electrode by the VLSI circuit under the liquid crystal material, to create a staged brazed grating for optical beam steering.

한편, 도 3a 내지 도 3c는 픽셀 사이즈가 d인 광-VLSI 프로세서의 스티어링 성능을 보여주는데, 이는 위상(phase) 홀로그램(도 3b)에 따른 브레이즈 격자에 의해 구동된다. 도 3a는 도 2의 광-VLSI 프로세서에 의한 브레이즈 격자 분석을 위해 픽셀 수에 대한 위상 레벨, 도 3b는 대응되는 다양한 픽셀 블럭의 블레이즈 홀로그램을 스티어링을 설명하기 위한 도면이고 도 3c는 광-VLSI 프로세서를 이용한 빔 스티어링의 원리를 설명하기 위한 도면이다.Meanwhile, FIGS. 3A-3C show the steering performance of an optical-VLSI processor of pixel size d, which is driven by the braze grating according to the phase hologram (FIG. 3B). Figure 3a is a phase level for the number of pixels for braze grating analysis by the optical-VLSI processor of Figure 2, Figure 3b is a view for explaining the steering of the blaze hologram of the various pixel blocks corresponding to Figure 3c is an optical-VLSI processor A diagram for explaining the principle of the beam steering using.

만약, 브레이즈 격자의 피치가 q×d일 경우,(이때, q는 피치당 픽셀의 수를 말함) 광학 빔은, 도면 3c에 나타낸 것처럼, 빛의 파장(λ)에 비례하며 q×d에 반비례하는 각도인 θ에 의해 스티어링 된다. If the pitch of the braze grating is q × d (where q refers to the number of pixels per pitch), the optical beam is proportional to the wavelength of light λ and inversely proportional to q × d, as shown in FIG. Is steered by the angle θ.

임의 피치의 브레이즈 격자는 예를 들어 MATLAB 또는 LabView 소프트웨어를 이용하여 생성할 수 있는데, 이는 각 픽셀에 적용된 전압을 변화시킴으로써, 픽셀의 한 블록을 적절한 위상 레벨들로 디지털적으로 구동하는 것에 의한다. 또한, 입사된 광학 빔은 임의의 방향을 따라 동적 방출된다.An arbitrary pitch braze grating can be generated, for example using MATLAB or LabView software, by varying the voltage applied to each pixel, thereby digitally driving one block of pixels to the appropriate phase levels. Also, the incident optical beam is emitted dynamically along any direction.

(실험예)Experimental Example

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 실제 실험의 구성을 나타내며, 도 5은 상기 실험 구성의 사진을 보여주는 사진이다.Figure 4 shows the configuration of the actual experiment according to the first embodiment of the present invention, Figure 5 is a photograph showing a picture of the experimental configuration.

도 4의 파장변환 레이저 시스템은 반도체 광증폭기, 광집광기(collimator), 회절격자 판, 및 광-VLSI 프로세서를 구비하는 것으로 확인할 수 있다.It can be seen that the wavelength conversion laser system of FIG. 4 includes a semiconductor optical amplifier, a collimator, a diffraction grating plate, and an optical-VLSI processor.

실험에 사용된 반도체 광증폭기는 Qphotonics에 의해 제조된 off-the-self 반도체 광증폭기이다. 반도체 광증폭기는 뉴포드 모듈러 콘트롤러 모델 8000(Newport modular controllar model 8000)에 의해 구동되고 구동전류는 400mA이다. The semiconductor optical amplifier used in the experiment was an off-the-self semiconductor optical amplifier manufactured by Qphotonics. The semiconductor optical amplifier is driven by the Newport modular controllar model 8000 and the drive current is 400mA.

도 6은 반도체 광증폭기에 의해 생성된 광대역 ASE의 스펙트럼을 도시한 그래프이다. 광대역 ASE는 직경 1mm의 섬유 광집광기(collimator)를 사용하여 집광되며, 집광된 빔은 1200 lines/mm 회절격자판으로 발진된다. 여기서 회절격자판은 서로 다른 방향을 따라 집광된 빔의 파장 요소들을 확산하며, 광-VLSI 프로세서의 활성창 상에 파장 요소들을 맵핑한다.6 is a graph illustrating the spectrum of a wideband ASE generated by a semiconductor optical amplifier. The broadband ASE is collected using a fiber collimator with a diameter of 1 mm, and the collected beam is oscillated with a 1200 lines / mm diffraction grating. The diffraction grating plate diffuses the wavelength components of the focused beam along different directions and maps the wavelength components onto the active window of the photo-VLSI processor.

이번 실험에 사용된 광-VLSI 프로세서는 픽셀 사이즈가 1㎛인 1차원 1ㅧ4096 픽셀 및 256 위상 레벨을 가지며, 각 픽셀 사이에는 0.8㎛의 대드(dead) 공간(spacing)을 가진다.The optical-VLSI processor used in this experiment has one-dimensional 1 ㅧ 4096 pixels and 256 phase levels with a pixel size of 1 μm, with a dead spacing of 0.8 μm between each pixel.

LabView 소프트웨어는 최적화된 디지털 홀로그램을 생성하기 위해서 사용되었고, 최적화된 디지털 홀로그램은 임의의 방향을 따라 입사된 파장 요소를 독립적 으로 스티어링한다.LabView software was used to generate optimized digital holograms that independently steer the incident wavelength component along any direction.

제안된 파장변환 가능한 레이저 구조의 원리를 증명하기 위해서, 3개의 시나리오로써 조사를 실시하였다. 광-VLSI 프로세서는 디지털 위상 홀로그램을 로드하는데, 디지털 위상 홀로그램은 감쇠를 최소화하여 콜리메이터(collimator)에 각각 1524.8 nm, 1527.1 nm 및 1532.5 nm 등인 파장을 되돌려 결합시킨다.In order to prove the principle of the proposed wavelength convertible laser structure, three scenarios were investigated. The optical-VLSI processor loads the digital phase hologram, which minimizes the attenuation and couples the collimator back to wavelengths of 1524.8 nm, 1527.1 nm and 1532.5 nm, respectively.

도 7a, 7b, 및 7c는 특정 파장을 선택하기 위한 디지털 위상 홀로그램을 나타내고, 각각의 선택된 파장에 대해서 측정된 반도체 광증폭기 출력 스펙트럼들이다. 7A, 7B, and 7C show digital phase holograms for selecting specific wavelengths and are semiconductor optical amplifier output spectra measured for each selected wavelength.

도 7a, 7b, 및 7c는 광-VLSI 프로세서의 특성을 사용하고 있는 레이저 파장변환의 개념을 증명하는 것으로, 특정 파장을 스티어링 하고 특정 파장을 광증폭기 활성 공진구조와 되돌려 결합할 수 있음을 보여준다. 도 7a, 7b, 및 7c를 참조하면, 출력 파장들 이외에 1529nm에 20 dB이하의 출력이 발생되고 있음을 확인할 수 있는데, 이는 반도체 광증폭기 캐비티(cavity)에 의해서 증폭된 저전력 영차(zeroth order) 회절 빔에 기인한다.7A, 7B, and 7C demonstrate the concept of laser wavelength conversion using the characteristics of an optical-VLSI processor, showing that it is possible to steer a specific wavelength and combine that wavelength with an optical amplifier active resonant structure. Referring to FIGS. 7A, 7B, and 7C, it can be seen that an output of 20 dB or less is generated at 1529 nm in addition to the output wavelengths, which is a low power zeroth order diffraction amplified by a semiconductor optical amplifier cavity. Due to the beam.

도 8은 홀로그램 최적화를 통하여 단일 파장 선택을 실현하기 위해 측정된 출력 스펙트럼을 나타낸다. 10nm의 파장변환 범위는 사용되어진 광-VLSI 프로세서에서 얻을 수 있는 것이며, 이는 대략 7.3mm 사이즈의 활성창을 갖는다.8 shows the measured output spectrum to realize single wavelength selection through hologram optimization. The wavelength conversion range of 10 nm is obtained from the optical-VLSI processor used, which has an active window of approximately 7.3 mm size.

도 6은 반도체 광증폭기의 ASE 스펙트럼에서 측정된 3-dB 밴드폭이 약 40nm임이 중요하다는 것을 나타낸다. 파장변환 범위의 확장성은 반도체 광증폭기의 광대역 스펙트럼, 활성창의 사이즈 및 격자판의 피치 등에 의존한다는 사실을 주목해 야 한다. 따라서, 사이즈가 20nm인 활성창과 600 lines/mm인 브레이즈 격자판을 갖는 광-VLSI 프로세서를 사용함으로써, 40 nm의 파장변환 범위는 달성될 수 있다.6 shows that it is important that the 3-dB bandwidth measured in the ASE spectrum of the semiconductor optical amplifier is about 40 nm. It should be noted that the scalability of the wavelength conversion range depends on the broadband spectrum of the semiconductor optical amplifier, the size of the active window and the pitch of the grating. Thus, by using an optical-VLSI processor having an active window of size 20 nm and a braze grating of 600 lines / mm, a wavelength conversion range of 40 nm can be achieved.

파장 변환을 실현하기 위해서, 반도체 광증폭기에 의해 생성된 광폭 ASE 스펙트럼의 임의의 좁은 웨이브 밴드는 반도체 광증폭기의 활성 공진구조와 결합하게 되는데, 이는 광-VLSI 프로세서 상에 실린 최적화된 위상 홀로그램을 사용하는 증폭(amplification)을 위한 것이다.To realize wavelength conversion, any narrow waveband of the wideband ASE spectrum generated by the semiconductor optical amplifier is combined with the active resonant structure of the semiconductor optical amplifier, which uses an optimized phase hologram mounted on the optical-VLSI processor. Is for amplification.

본 발명은 광-VLSI 프로세서의 위상 홀로그램을 변화시킴으로써, 예컨데 10nm의 파장가변 범위에 의한 안정된 레이저 성능은 달성될 수 있음을 확인하였다.The present invention has shown that by varying the phase hologram of an optical-VLSI processor, stable laser performance can be achieved, for example with a wavelength tunable range of 10 nm.

도 1에 나타낸 것처럼, 본 실시예에 따른 파장변환 레이저 시스템은 파장 변환 가능한 광학 필터로써의 광-VLSI 프로세서 및 이득 매질(gain medium)로써의 반도체 광증폭기를 사용하는 것에 근거한다.As shown in Fig. 1, the wavelength conversion laser system according to the present embodiment is based on the use of an optical-VLSI processor as a wavelength convertible optical filter and a semiconductor optical amplifier as a gain medium.

최적의 디지털 홀로그램은 임의의 방향을 따라 입사 파장 요소들을 독립적으로 스티어링(stirring)하기 위해 생성된다. 특정 파장은 빔 스티어링을 통해서 감쇠를 최소화하며 섬유 광 집광기와 결합될 수 있다. 반면, 그외 모든 다른 파장들은 경로를 이탈하게 되어 감쇠하게 된다.An optimal digital hologram is generated for independently steering the incident wavelength components along any direction. Certain wavelengths can be combined with the fiber light concentrator to minimize attenuation through beam steering. On the other hand, all other wavelengths are off the path and attenuate.

상기 결합된 파장은 반도체 광증폭기 내부로 주입되며, 증폭되어 높은 진폭의 출력 광학 신호를 생성하게 된다. 파장 변환은 광-VLSI 프로세서 상으로 업로드된 위상 홀로그램을 변화시키는 것에 의해 달성된다.The combined wavelength is injected into the semiconductor optical amplifier and amplified to produce a high amplitude output optical signal. Wavelength conversion is achieved by varying the phase hologram uploaded onto the optical-VLSI processor.

(SLD와 광-VLSI를 이용한 파장가변 레이저 시스템)(Wavelength-variable laser system using SLD and photo-VLSI)

도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 파장변환 레이저 시스템의 개략적인 구성도이다. 9 is a schematic structural diagram of a wavelength conversion laser system according to a second embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 파장변환 레이저 시스템(20)은 발광다이오드(220), 광커플러(235), 광집광기(collimator; 240), 회절격자 판(250), 및 광-VLSI 프로세서(260)을 구비한다.Referring to FIG. 9, the wavelength conversion laser system 20 may include a light emitting diode 220, an optocoupler 235, a collimator 240, a diffraction grating plate 250, and an optical-VLSI processor 260. Equipped.

제1 실시예와의 차이점을 위주로 설명하면, 제2 실시예에서는 반도체 광증폭기(120)를 대신하여 발광다이오드를 이용하고, 광 커플러(235)가 사용된다는 점이다. 발광다이오드는 바람직하게는, SLD(super luminescent Diode; 220)를 이용한다. SLD(220)는 레이저 다이오드의 높은 휘도와 LED의 낮은 코히러런스(coherence:可干涉性)를 가진 발광소자이다.The difference from the first embodiment will be mainly described. In the second embodiment, a light emitting diode is used instead of the semiconductor optical amplifier 120, and an optical coupler 235 is used. The light emitting diode preferably uses a super luminescent diode (SLD) 220. The SLD 220 is a light emitting device having high luminance of a laser diode and low coherence of an LED.

본 실시예에 의하면, 광커플러(235)는 발광다이오드(220)와 광 집광기(240) 사이에 구비되며, 광-VLSI 프로세서(260)에서 되돌아 오는 광을 분리한다. 광커플러(235)는 바람직하게는 2 by 1 커플러를 이용하고, 입력포트로 광을 넣으면, 5:95 또는 50:50 등 원하는 비율로 빛이 나뉘어져 통과하게 된다. 본 실시예에 의한 구성에서는 2개의 출력 포트 중 하나를 통해 광을 입력시킨다. 즉, output1에서 광을 넣으면, 광은 output2로는 들어가지 못하고 input으로 대부분이 입사된다. 이후 광-VLSI 프로세서(260)를 거쳐서 되돌아온 빛은 output1에 일부 들어가고 output2에 일부 들어가게 된다. 이때 구성을 output2로 많이 들어가도록 구성하면(예를 들어, output2에 95, output1에 5정도) 대부분의 빛이 output2로 나간다.According to the present embodiment, the optocoupler 235 is provided between the light emitting diodes 220 and the light concentrator 240 and separates the light returned from the photo-VLSI processor 260. The optocoupler 235 preferably uses a 2 by 1 coupler, and when light is input into the input port, light is divided and passed at a desired ratio such as 5:95 or 50:50. In the configuration according to the present embodiment, light is input through one of two output ports. That is, when light is input at output 1, the light does not enter output 2 but is mostly incident on the input. The light returned through the optical-VLSI processor 260 then enters part of output1 and part of output2. If you configure the configuration to go a lot to output2 (for example, 95 for output2, 5 for output1), most of the light goes to output2.

따라서, 도 9를 참조하면, 광 커플러(235)의 입력 포트가 하나이고, 이 입력포트는 광 집광기(240)에 접속되고, 출력 포트는 2개로 구성되어 있으므로 그 중 하나만 발광다이오드(220)에 연결되어 있다.Accordingly, referring to FIG. 9, since there is one input port of the optical coupler 235, and this input port is connected to the optical condenser 240, and the output port is composed of two, only one of them is connected to the light emitting diode 220. It is connected.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 파장변환 레이저 시스템의 다른 변형의 개략적인 구성도이다. 도 10을 참고하면, 발광다이오드(220)는 복수개의 발광다이오드가 광 커플러(235)의 입력에 묶여있는 구조이다.10 is a schematic structural diagram of another modification of the wavelength conversion laser system according to the second embodiment of the present invention. Referring to FIG. 10, the light emitting diode 220 has a structure in which a plurality of light emitting diodes are tied to an input of the optical coupler 235.

이 경우는 광 커플러(235)의 입력 포트는 1개이고, 이 입력포트에는 광 집광기(240)가 연결되고, 출력 포트는 복수개로 구성되어 각각의 출력포트는 복수개의 발광다이오드이며, 복수개의 발광다이오드는 적어도 2개는 서로 다른 파장 영역을 갖도록 구성할 수 있다.In this case, the input coupler of the optical coupler 235 is one, the optical concentrator 240 is connected to the input port, the output port is composed of a plurality of each output port is a plurality of light emitting diodes, a plurality of light emitting diodes At least two may be configured to have different wavelength ranges.

이러한 구조에 의하면 파장 대역을 보다 넓게 구성할 수 있게 되는 효과가 있으므로 파장변환 레이저 시스템에는 더욱 효과적일 수 있다.This structure can be more effective in the wavelength conversion laser system because there is an effect that can be configured to a wider wavelength band.

본 실시예에 의하면, 입력부와 출력부를 분리할 수 있으며, 구조가 간소해지고, 광원의 착탈이 용이해지는 효과가 있다.According to this embodiment, the input unit and the output unit can be separated, the structure is simplified, and the attachment and detachment of the light source can be easily performed.

광증폭기를 이용하는 경우 입력부와 출력부가 같은데, 도면상으로는 별 차이 없는 것처럼 느낄 수도 있으나, 실제 이 구성을 시스템으로 꾸미게 되면 입력부와 출력부가 분리된 경우가 더욱 시스템을 간소화 할 수 있게 된다. 또한, 입출력부가 나뉘어 있기 때문에 광원이 착탈이 가능하도록 구성하여, 원하는 파장의 발광다이오드(예컨대 SLD)를 장착하도록 구성할 수 있다.In the case of using an optical amplifier, the input unit and the output unit may be the same, but it may feel as if there is no difference in the drawing. However, if the actual configuration of this configuration is a system, the input unit and the output unit can be further simplified. In addition, since the input / output unit is divided, the light source can be detachable, and the light emitting diode (eg, SLD) having a desired wavelength can be mounted.

또한, 여러 개의 SLD를 동시에 장착한 경우 보다 넓은 파장에 대한 파장 가변이 가능하다는 장점이 있다. 광-VLSI를 이용하는 경우 얼마나 넓은 파장 가변 범위를 갖느냐 하는 것은 SLD 또는 광증폭기의 스펙트럼 분포에 기인하는데(도 6참조), 파장이 다른 SLD 여러 개를 동시에 장착하는 경우 보다 넒은 파장에 대해 파장 선택성을 가질 수 있게 된다.In addition, when multiple SLDs are mounted at the same time, there is an advantage that the wavelength can be varied for a wider wavelength. When using optical-VLSI, how wide the range of wavelength variation is due to the spectral distribution of the SLD or optical amplifier (see FIG. 6). I can have it.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 파장변환 시스템의 개략적인 구성도이다. 1 is a schematic configuration diagram of a wavelength conversion system according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 광-VLSI 프로세서(160)의 상세 도면이다.2 is a detailed view of the optical-VLSI processor 160 of FIG. 1.

도 3a는 도 2의 광-VLSI 프로세서에 의한 브레이즈 격자 분석을 위해 픽셀 수에 대한 위상 레벨, 도 3b는 대응되는 다양한 픽셀 블럭의 블레이즈 홀로그램을 스티어링을 설명하기 위한 도면이고 도 3c는 광-VLSI 프로세서를 이용한 빔 스티어링의 원리를 설명하기 위한 도면이다.Figure 3a is a phase level for the number of pixels for braze grating analysis by the optical-VLSI processor of Figure 2, Figure 3b is a view for explaining the steering of the blaze hologram of the various pixel blocks corresponding to Figure 3c is an optical-VLSI processor A diagram for explaining the principle of the beam steering using.

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 실제 실험의 구성을 나타내며, 도 5은 상기 실험 구성의 사진을 보여주는 사진이다.Figure 4 shows the configuration of the actual experiment according to the first embodiment of the present invention, Figure 5 is a photograph showing a picture of the experimental configuration.

도 6은 반도체 광증폭기에 의해 생성된 광대역 ASE의 스펙트럼을 도시한 그래프이다. 6 is a graph illustrating the spectrum of a wideband ASE generated by a semiconductor optical amplifier.

도 7a, 7b, 및 7c는 특정 파장을 선택하기 위한 디지털 위상 홀로그램을 나타내는 도면들이다.7A, 7B, and 7C are diagrams illustrating digital phase holograms for selecting specific wavelengths.

도 8은 홀로그램 최적화를 통하여 단일 파장 선택을 실현하기 위해 측정된 출력 스펙트럼을 나타낸다.8 shows the measured output spectrum to realize single wavelength selection through hologram optimization.

도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 파장변환 레이저 시스템의 개략적인 구성도이다.9 is a schematic structural diagram of a wavelength conversion laser system according to a second embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 파장변환 레이저 시스템의 다른 변형의 개략적인 구성도이다.10 is a schematic structural diagram of another modification of the wavelength conversion laser system according to the second embodiment of the present invention.

Claims (6)

반도체 광증폭기;Semiconductor optical amplifiers; 상기 광증폭기로 부터 방출된 광을 집광하는 광집광기;An optical condenser for condensing light emitted from the optical amplifier; 상기 광 집광기를 거친 광의 각 파장성분을 다른 방향으로 유도하는 회절 격자판; 및A diffraction grating plate for guiding each wavelength component of light passing through the light condenser in a different direction; And 상기 유도된 각 파장성분의 광을 특정 파장만 다시 반도체 광증폭기로 되돌려 주기 위한 것으로, 데이터 디코더와 어드레스 디코더를 통해 전류를 인가하여 원하는 홀로그램 패턴을 형성하는 광-VLSI 프로세서를 구비하는 파장변환 레이저 시스템.A wavelength conversion laser system comprising an optical-VLSI processor for returning the light of each of the wavelength components to a semiconductor optical amplifier only by a specific wavelength and applying a current through a data decoder and an address decoder to form a desired hologram pattern. . 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 광 집광기로 되돌아 온 상기 특정 파장의 광은 상기 반도체 광증폭기를 거쳐 증폭되어 외부로 방출되기 위한 출력 포트를 더 구비하는 파장변환 레이저 시스템.And the light having the specific wavelength returned to the optical condenser is further amplified through the semiconductor optical amplifier and output to the outside. 발광 다이오드;Light emitting diodes; 상기 발광다이오드로 부터 방출된 광을 집광하는 광집광기;A photocondenser for condensing light emitted from the light emitting diodes; 상기 광 집광기를 거친 광의 각 파장성분을 다른 방향으로 유도하는 회절 격자판; A diffraction grating plate for guiding each wavelength component of light passing through the light condenser in a different direction; 상기 유도된 각 파장성분의 광을 특정 파장만 다시 상기 발광다이오드로 되돌려 주기 위한 것으로, 데이터 디코더와 어드레스 디코더를 통해 전류를 인가하여 원하는 홀로그램 패턴을 형성하는 광-VLSI 프로세서; 및An optical-VLSI processor for returning light of each of the wavelength components only to a specific wavelength back to the light emitting diode, and applying a current through a data decoder and an address decoder to form a desired hologram pattern; And 상기 발광다이오드와 상기 광집광기 사이에 구비되며, 상기 광-VLSI 프로세서에서 되돌아 오는 광을 분리하는 광커플러를 구비하는 파장변환 레이저 시스템. And a photocoupler disposed between the light emitting diode and the photocondenser and separating the light returned from the photo-VLSI processor. 제3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 광커플러는 입력 포트는 1개이고, 상기 입력 포트는 상기 광집광기에 연결되고,The optical coupler has one input port, and the input port is connected to the optical condenser, 출력 포트는 2개이며, 상기 출력포트 1개에는 상기 발광 다이오드가 연결되고, 다른 한 개는 실제 출력부가 되는 파장변환 레이저 시스템.2 output ports, the output port is connected to the light emitting diode, the other is a wavelength conversion laser system. 제3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 발광 다이오드는 서로 다른 파장 영역을 갖는 발광다이오드가 복수개 연결된 구조인 파장변환 레이저 시스템.The light emitting diode is a wavelength conversion laser system having a structure in which a plurality of light emitting diodes having different wavelength ranges are connected. 제3 항에 있어서, 상기 발광다이오드는 SLD(Super luminescent diode)인 파 장변환 레이저 시스템.The wavelength conversion laser system of claim 3, wherein the light emitting diode is a super luminescent diode (SLD).
KR1020080005324A 2008-01-17 2008-01-17 Wavelength conversion laser system Active KR100944959B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080005324A KR100944959B1 (en) 2008-01-17 2008-01-17 Wavelength conversion laser system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080005324A KR100944959B1 (en) 2008-01-17 2008-01-17 Wavelength conversion laser system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090079397A KR20090079397A (en) 2009-07-22
KR100944959B1 true KR100944959B1 (en) 2010-03-02

Family

ID=41290595

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080005324A Active KR100944959B1 (en) 2008-01-17 2008-01-17 Wavelength conversion laser system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100944959B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102301547B (en) * 2009-01-28 2013-12-11 Ytel光子学株式会社 Wavelength conversion laser system
KR101031087B1 (en) 2009-07-23 2011-04-25 주식회사 와이텔포토닉스 Wavelength conversion laser system

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010041764A (en) * 1998-03-11 2001-05-25 오노 시게오 Ultraviolet laser apparatus and exposure apparatus comprising the ultraviolet laser apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010041764A (en) * 1998-03-11 2001-05-25 오노 시게오 Ultraviolet laser apparatus and exposure apparatus comprising the ultraviolet laser apparatus

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
논문 1(2005)
논문 2(2004)

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090079397A (en) 2009-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110174661B (en) An optical phased array two-dimensional laser radar scanning chip based on polarization multiplexing
CN110620326A (en) Light redirecting device and optical system including the same
US9419405B2 (en) Unidirectional ring lasers
JP3361305B2 (en) Light source
US6400864B1 (en) Broad band semiconductor optical amplifier module having optical amplifiers for amplifying demutiplexed signals of different wavelengths and optical communication system using it
JP2020523819A (en) Integrated WDM optical transceiver
CN111290055A (en) A metasurface spatial light modulator, beam direction control method and related products
US20200227883A1 (en) Combined laser architecture using wavelength multiplexed seed source
JP2010219227A (en) Wavelength variable laser, and method of manufacturing the same
KR100944959B1 (en) Wavelength conversion laser system
Fan et al. Laser beam combining for power and brightness scaling
JP4137868B2 (en) Optical transmission module and wavelength division multiplexing light source using the same
CN100502174C (en) Pumping system for laser light source and laser light source comprising such pumping system
KR101031087B1 (en) Wavelength conversion laser system
JP2000151014A (en) Optical function element and optical communication device
CN103370112A (en) Laser light source output device and laser output system
US20120127549A1 (en) Wavelength conversion laser system
JPS622478B2 (en)
JP2002318374A (en) Multi-wavelength batch optical modulator
CN117980772A (en) Distance measuring device and distance measuring system
US20130342894A1 (en) Wavelength Conversion Laser System
CN114361924B (en) Multi-wavelength ring laser chip
KR100579512B1 (en) Wavelength converters generate their own wavelength tunable laser light sources
WO2006011262A1 (en) Optical signal amplifying three-terminal device
CN119689428A (en) Two-dimensional beam coverage system

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20080117

PA0201 Request for examination
PG1501 Laying open of application
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20091008

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20100209

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20100223

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20100223

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130124

Year of fee payment: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20130124

Start annual number: 4

End annual number: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140121

Year of fee payment: 5

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20140121

Start annual number: 5

End annual number: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150128

Year of fee payment: 6

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20150128

Start annual number: 6

End annual number: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160122

Year of fee payment: 7

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20160122

Start annual number: 7

End annual number: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170202

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20170202

Start annual number: 8

End annual number: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180126

Year of fee payment: 9

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20180126

Start annual number: 9

End annual number: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190124

Year of fee payment: 10

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20190124

Start annual number: 10

End annual number: 10

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20210222

Start annual number: 12

End annual number: 12