KR101058185B1 - Chamfering machine for flat panel display and processing method - Google Patents
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Abstract
평면디스플레이용 면취기 및 그 면취 가공방법이 개시된다. 본 발명의 평면디스플레이용 면취기는, 기판 로딩유닛(loading unit)과 기판 언로딩유닛(unloading unit) 사이에 마련되어 기판의 코너 및 변에 대한 면취 가공을 진행하는 면취 가공유닛을 포함하며, 면취 가공유닛은, 상면으로 기판이 안착 지지되는 적어도 하나의 스테이지; 및 기판의 제1 변 에지에 대한 면취 가공을 진행하는 제1 면취 가공용 휠과, 제1 면취 가공용 휠에 대해 상호 이격배치되고 기판의 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공을 진행하는 제2 면취 가공용 휠을 구비한 그라인더를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 면취 가공 작업 시 소요되는 택트 타임(tact time)을 종래보다 더 감소시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.
Disclosed are a chamfering machine for a flat panel display and a chamfering processing method thereof. The chamfering device for a flat panel display of the present invention includes a chamfering processing unit provided between a substrate loading unit and a substrate unloading unit to chamfer the corners and sides of the substrate. At least one stage, the substrate is seated and supported on the upper surface; And a first chamfering wheel for chamfering the edge of the first side of the substrate, and a second chamfering machine for chamfering the corners of both sides of the first surface of the substrate and mutually spaced from the first chamfering wheel. It characterized in that it comprises a grinder having a wheel. According to the present invention, it is possible to further reduce the tact time required for the chamfering operation than in the prior art, thereby improving productivity.
Description
본 발명은, 평면디스플레이용 면취기 및 그 면취 가공방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 면취 가공 작업 시 소요되는 택트 타임(tact time)을 종래보다 더 감소시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 평면디스플레이용 면취기 및 그 면취 가공방법에 관한 것이다.The present invention relates to a flat display chamfering machine and a chamfering processing method thereof, and more particularly, a flat surface that can further reduce the tact time required during the chamfering operation compared to the prior art to improve productivity Chamfering for display and chamfering processing method thereof.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, the flat panel display (FPD) has begun to emerge as the electronic display industry is rapidly developing among the semiconductor industry.
평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 기판(PDP, Plasma Display Panel), 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.A flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a cathode ray tube (CRT), which has been mainly used as a display for a TV or a computer monitor, and includes a liquid crystal display (LCD, liquid). crystal displays, plasma display panels (PDPs), organic light emitting diodes (OLEDs), and the like.
이하, LCD, PDP 및 OLED 등을 포함하는 평면디스플레이(FPD)를 기판이라 하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a flat panel display (FPD) including an LCD, a PDP, an OLED, and the like will be described as a substrate.
기판은 보통, 직사각형의 형태를 가지며 글라스(glass) 재질로 제작된다. 따라서 기판의 4군데 코너(모서리)에 대한 코너 가공(Corner Cut), 그리고 기판의 단변 및 장변의 에지에 대한 단변 에지 가공(Edge Cut) 및 장변 에지 가공(Edge Cut), 즉 기판의 코너 및 변에 대한 모따기 식의 면취 가공을 해야만 글라스 자체의 날카로움이 제거되어 공정간 이송 및 조작이 수월해지게 되고 안전사고를 미연에 예방할 수 있는데, 이러한 면취 가공을 위해 면취기가 사용된다.The substrate is usually rectangular in shape and made of glass. Thus, corner cuts on four corners (edges) of the substrate and edge cuts and edge cuts on the short and long edges of the substrate, i.e. the corners and sides of the substrate Only the chamfering process of the chamfering process can remove the sharpness of the glass itself, thus facilitating the transfer and operation between processes and preventing safety accidents. Chamfering machine is used for this chamfering process.
종래의 면취기 중에는 하나의 면취 가공용 휠(wheel)을 통해 기판에 대한 4군데 코너, 단변 에지 및 장변 에지를 모두 가공한 예가 있다. 하지만, 이처럼 하나의 면취 가공용 휠을 이용하여 4군데 코너, 단변 에지 및 장변 에지를 모두 가공하는 경우에는 연속 작업이 이루어질 수 없기 때문에 택트 타임(tact time)이 많이 소요되는 문제점이 있었다.In the conventional chamfering machine, there is an example in which all four corners, short edges, and long sides of the substrate are processed through one chamfering wheel. However, when machining all four corners, short edges and long edges by using one chamfering wheel as described above, there was a problem in that it takes a lot of tact time because continuous operation cannot be performed.
이에, 이러한 문제점을 고려하여, 기판에 대한 4군데 코너, 단변 에지 및 장변 에지를 연속적으로 가공할 수 있는 면취기가 개시된 바 있다.In view of this problem, a chamfering machine capable of continuously processing four corners, short edges, and long edges of a substrate has been disclosed.
도 1은 종래의 면취기에 대한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a conventional chamfering machine.
이 도면에 도시된 바와 같이, 종래의 면취기는, 기판(G)에 대한 면취 가공이 진행되는 면취 가공유닛(20)을 사이에 두고 양측에 배치되는 기판 로딩유닛(10)과, 기판 언로딩유닛(40)을 구비한다.As shown in this figure, the conventional chamfering machine, the
면취 가공유닛(20)은, 기판(G)이 안착되되, 기판 로딩유닛(10)과 기판 언로딩유닛(40)을 연결하는 가상의 작업라인을 따라 직렬로 배치되는 제1 스테이지(21) 및 제2 스테이지(22)와, 제1 스테이지(21) 및 제2 스테이지(22)에 안착된 기판(G) 에 대한 얼라인(align)을 위한 제1 얼라인 카메라(25a) 및 제2 얼라인 카메라(25b)와, 제1 면취 가공용 휠(26a) 및 제2 면취 가공용 휠(26b)을 구비한다.
제1 얼라인 카메라(25a)와 제1 면취 가공용 휠(26a)은 기판(G)이 진행되는 방향을 따라 기판(G)의 전면 양측의 코너 가공, 단변 에지 가공, 그리고 후면 양측의 코너 가공을 담당하고, 제2 얼라인 카메라(25b)와 제2 면취 가공용 휠(26b)은 기판(G)의 장변 에지 가공을 담당한다.The
이러한 구성에 의해, 면취 가공 대상의 기판(G)이 기판 로딩유닛(10)으로부터 제1 스테이지(21)로 안착되면, 우선 제1 얼라인 카메라(25a)에 의해 촬영된 영상 정보에 기초하여 제1 스테이지(21)에 의하여 기판(G)이 정위치로 얼라인된다. 이후, 제1 스테이지(21)가 제1 면취 가공용 휠(26a)을 향해 이동하든지 아니면 제1 스테이지(21)에 대해 제1 면취 가공용 휠(26a)이 이동하는 동작에 기초하여, 기판(G)의 진행 방향에 대해 기판(G)의 전면 양측 코너, 단변 에지, 그리고 후면 양측의 코너가 각각 순차적으로 가공된다.With this configuration, when the substrate G to be chamfered is seated from the
그런 다음, 별도의 픽업 로봇(pick up robot, 미도시)이 제1 스테이지(21) 상의 기판(G)을 픽업하여 실질적으로 90도 회전시킨 후 제2 스테이지(22) 상으로 옮긴다. 이후, 다시 제2 스테이지(22) 상에서 기판(G)의 정위치 얼라인 작업이 진행된 다음, 제2 면취 가공용 휠(26b)에 의해 기판(G)의 장변 에지가 가공되며, 최종적으로 면취 가공이 완료된 기판(G)은 기판 언로딩유닛(40)으로 취출된다.Then, a separate pick up robot (not shown) picks up the substrate G on the
이러한 종래의 면취기는, 제2 스테이지(22) 상에서 기판(G)의 장변 에지를 가공할 때에 제1 스테이지(21)에서는 기판(G)의 전면 양측 코너, 단변 에지, 그리 고 후면 양측 코너를 가공할 수 있기 때문에, 하나의 면취 가공용 휠(미도시)을 구비한 면취기(미도시)에 비해서는 택트 타임을 감소시킬 수 있다. 다시 말해, 면취 가공유닛(20) 상에서 제1 스테이지(21) 및 제2 스테이지(22)가 직렬 배치되도록 구현함으로써 면취 가공 작업을 인라인화할 수 있어 택트 타임을 감소시킬 수 있게 되는 것이다.Such conventional chamfering machine processes the front side both corners, the short side edges, and the rear both side corners of the substrate G in the
그런데, 이러한 종래의 면취기에 있어서는, 제1 스테이지(21)에서 제2 스테이지(22)로 기판(G)을 이송시키는 경우 반드시 픽업 로봇을 사용해야 하기 때문에 제2 스테이지(22) 상에서 기판(G)에 대한 얼라인 작업을 재차 진행해야 하며, 이러한 픽업 로봇에 의한 이송 시간 및 제2 스테이지(22) 상에서 기판(G)에 대한 얼라인 작업 소요 시간으로 인하여 택트 타임을 감소시키기에 다소 비효율적이라는 문제점이 있다.By the way, in the conventional chamfering machine, when transferring the substrate (G) from the
또한 이러한 종래의 면취기에 있어서는, 제1 스테이지(21) 및 제2 스테이지(22), 그리고 제1 면취 가공용 휠(26a) 및 제2 면취 가공용 휠(26b)이 상호간 직렬 배치구조를 가지고 있기 때문에 어느 하나에 고장이 발생되면 전체 장비가 가동될 수 없는 문제점이 있어 생산성을 저하시키는 요인이 되고 있다.In the conventional chamfering machine, since the
이에, 본 출원인은 아직 공개되지는 않았지만, 기판 로딩유닛과 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인에 교차하는 방향으로 상호 이격되게 복수의 스테이지를 배치함으로써, 기판(G)에 대한 면취 가공 시 종래에 비해 택트 타임을 줄일 수 있으며, 나아가 복수의 스테이지(미도시) 및 복수의 면취 가공용 휠(미도시) 중 어느 하나에 고장이 발생되는 경우 전체 장비가 가동될 수 없는 종래의 면취기의 문제점을 개선하여 생산성을 향상시킬 수 있는 평면디스플레이용 면취기를 대한민국특허청에 출원한 바 있다.Accordingly, the present applicant has not been disclosed yet, but by arranging a plurality of stages spaced apart from each other in a direction crossing the virtual work line connecting the substrate loading unit and the substrate unloading unit, when the chamfering process for the substrate (G) Tact time can be reduced compared to the prior art, and furthermore, the problem of the conventional chamfer that the entire equipment can not be operated in the event of failure of any one of a plurality of stages (not shown) and a plurality of chamfering wheels (not shown) Has been filed with the Korean Patent Office for the flat surface chamfering device that can improve the productivity by improving the.
그런데, 지난번 출원된 기술의 경우에는, 도 1에 도시된 종래기술에 비해 그 택트 타임을 현저히 줄일 수 있기는 하지만, 기판의 4군데 모서리에 대한 코너 가공, 단변 에지 가공 및 장변 에지 가공을 위해 면취 가공용 휠이 동작되는 과정에서 불가피하게 기판이 대기해야 하는 시간이 존재한다.By the way, in the case of the technique filed last time, the tact time can be significantly reduced compared to the conventional technique shown in Fig. 1, but chamfered for corner processing, short side edge processing and long side edge processing for four corners of the substrate. There is an unavoidable time for the substrate to wait in the course of operating the machining wheel.
즉, 기판에 대한 면취 가공은, 기판의 전면 양측의 코너 가공, 기판의 단변 에지 가공, 기판의 후면 양측의 코너 가공, 기판 회전 후 기판의 장변 에지 가공의 순서로 진행되는데, 코너 가공에서 에지 가공으로 전환될 때 또는 그 역으로 전환될 때 면취 가공용 휠이 정렬되어야 하는 시간동안 기판이 대기해야 하는 시간이 존재함에 따라 그러한 대기 시간을 줄임으로써 택트 타임을 더 줄일 필요가 있는 실정이다.In other words, the chamfering process for the substrate proceeds in the order of corner processing on both sides of the front surface of the substrate, short edge processing of the substrate, corner processing on both sides of the rear surface of the substrate, and long side edge processing of the substrate after the rotation of the substrate. There is a need to further reduce the tact time by reducing such waiting time as there is a time during which the substrate has to wait for the time that the chamfering wheel is to be aligned when switching to and vice versa.
본 발명의 목적은, 면취 가공 작업 시 소요되는 택트 타임(tact time)을 종래보다 더 감소시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 평면디스플레이용 면취기 및 그 면취 가공방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a flat display chamfering machine and a chamfering processing method that can reduce the tact time required during the chamfering operation can improve the productivity.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판 로딩유닛(loading unit)과 기판 언로딩유닛(unloading unit) 사이에 마련되어 상기 기판의 코너 및 변에 대한 면취 가공 을 진행하는 면취 가공유닛을 포함하며, 상기 면취 가공유닛은, 상면으로 기판이 안착 지지되는 적어도 하나의 스테이지; 및 상기 기판의 제1 변 에지에 대한 면취 가공을 진행하는 제1 면취 가공용 휠과, 상기 제1 면취 가공용 휠에 대해 상호 이격배치되고 상기 기판의 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공을 진행하는 제2 면취 가공용 휠을 구비한 그라인더를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기에 의해 달성된다.The object includes, according to the present invention, a chamfering processing unit provided between a substrate loading unit and a substrate unloading unit to chamfer the corners and sides of the substrate. The processing unit includes at least one stage on which a substrate is seated and supported by an upper surface thereof; And a first chamfering wheel for chamfering the edge of the first side of the substrate and a first chamfering wheel and a first chamfering process for chamfering the corners on both sides of the first surface of the substrate. It is achieved by a chamfering machine for a flat display comprising a grinder having a wheel for chamfering.
여기서, 상기 제1 면취 가공용 휠과 상기 제2 면취 가공용 휠은 상기 기판 로딩유닛과 상기 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인을 따라 상호 이격배치될 수 있다.Here, the first chamfering wheel and the second chamfering wheel may be spaced apart from each other along a virtual work line connecting the substrate loading unit and the substrate unloading unit.
상기 제1 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 변 에지에 대한 면취 가공 시 상기 제2 면취 가공용 휠이 상기 기판의 제1 면 양측 코너의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 상기 제2 면취 가공용 휠을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.The second chamfering wheel is moved so that the second chamfering wheel moves to a working position for chamfering of corners on both sides of the first surface of the substrate when chamfering the first edge of the edge by the first chamfering wheel. The control unit may further include a control unit.
상기 제1 면취 가공용 휠은 상기 기판의 제2 면 양측 코너에 대한 면취 가공을 진행하고, 상기 제2 면취 가공용 휠은 상기 기판의 제2 변 에지에 대한 면취 가공을 진행할 수 있으며, 상기 제어부는, 상기 제1 면취 가공용 휠에 의한 상기 제2 면 양측 코너에 대한 면취 가공 시 상기 제2 면취 가공용 휠이 상기 제2 변 에지의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 상기 제2 면취 가공용 휠을 제어할 수 있다.The first chamfering wheel may be chamfered to the corners on both sides of the second surface of the substrate, and the second chamfering wheel may be chamfered to the edges of the second sides of the substrate. The second chamfering wheel may be controlled to move the second chamfering wheel to a working position for chamfering of the second side edge when chamfering the corners of both sides of the second surface by the first chamfering wheel. Can be.
상기 기판의 제1 변 및 제2 변은 상기 기판의 양측 단변 및 양측 장변이고, 상기 기판의 제1 면 및 제2 면은 상기 기판의 전면 양측 코너 및 후면 양측 코너일 수 있으며, 상기 2개의 제1 면취 가공용 휠과 상기 2개의 제2 면취 가공용 휠 각각은, Z축을 따라 외주면의 일 영역이 상호 중첩되게 배치되어 상기 기판의 전면 양측 코너, 상기 기판의 후면 양측 코너, 상기 기판의 단변 에지 및 상기 기판의 장변 에지를 모두 가공하는 다수의 멀티 휠(multi wheel)에 의해 마련될 수 있다.The first and second sides of the substrate may be both short sides and both long sides of the substrate, and the first and second sides of the substrate may be front and side corners and rear and rear corners of the substrate, respectively. Each of the first chamfering wheel and the two second chamfering wheels is disposed such that one region of the outer circumferential surface overlaps each other along the Z-axis so that both front corners of the front surface of the substrate, rear corners of the rear surface of the substrate, short edges of the substrate, and the It may be provided by a plurality of multi wheels for processing all the long edges of the substrate.
상기 제어부는, 상기 제1 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 변 에지에 대한 면취 가공 시 상기 제2 면취 가공용 휠이 상기 기판의 제1 면 양측 코너의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 제어할 수 있다.The control unit may control the second chamfering wheel to move to a work position for chamfering of corners on both sides of the first surface of the substrate when chamfering the first side edge by the first chamfering wheel. have.
상기 제어부는, 상기 제2 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공 시 상기 제1 면취 가공용 휠이 상기 제1 변 에지의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 제어할 수 있다.The controller may control the first chamfering wheel to move to a work position for chamfering the first side edges when chamfering the corners of both sides of the first surface by the second chamfering wheel.
상기 그라인더는 상기 스테이지에 안착된 상기 기판의 얼라인(align) 작업을 위한 얼라인 카메라를 더 포함할 수 있으며, 상기 적어도 하나의 스테이지는, 상기 기판 로딩유닛과 상기 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인인 X축에 가로로 배치되는 가상의 Y축을 따라 마련되는 두 개의 제1 및 제2 스테이지일 수 있으며, 상기 그라인더는 상기 제1 및 제2 스테이지 각각에 공유되는 공유 그라인더일 수 있으며, 상기 얼라인 카메라, 상기 제1 면취 가공용 휠, 그리고 상기 제2 면취 가공용 휠은 상기 스테이지 하나에 대해 2개씩 마련될 수 있다.The grinder may further include an alignment camera for aligning the substrate mounted on the stage, and the at least one stage may be configured to connect the substrate loading unit and the substrate unloading unit. May be two first and second stages disposed along a virtual Y axis arranged horizontally on an X axis, which is a work line of the work line, and the grinder may be a shared grinder shared by each of the first and second stages. The alignment camera, the first chamfering wheel, and the second chamfering wheel may be provided two by one for the stage.
상기 그라인더는, 상기 2개의 얼라인 카메라가 상기 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 상기 2개의 얼라인 카메라를 이동 가능하게 지지하는 카 메라 이동지지부; 상기 2개의 제1 면취 가공용 휠이 상기 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 상기 2개의 제1 면취 가공용 휠을 이동 가능하게 지지하는 제1 휠 이동지지부; 및 상기 2개의 제2 면취 가공용 휠이 상기 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 상기 2개의 제2 면취 가공용 휠을 이동 가능하게 지지하는 제2 휠 이동지지부를 더 포함할 수 있다.The grinder may include: a camera moving support unit movably supporting the two alignment cameras such that the two alignment cameras can be moved individually or collectively along the Y axis; A first wheel movement support part for movably supporting the two first chamfering wheels so that the two first chamfering wheels can be moved individually or collectively along the Y axis; And a second wheel moving support part for movably supporting the two second chamfering wheels so that the two second chamfering wheels can be moved individually or collectively along the Y axis.
상기 그라인더는, 상기 제1 휠 이동지지부에 결합되어 상기 2개의 제1 면취 가공용 휠을 Z축으로 승하강시키는 제1 휠 승하강부; 및 상기 제2 휠 이동지지부에 결합되어 상기 2개의 제2 면취 가공용 휠을 Z축으로 승하강시키는 제2 휠 승하강부를 더 포함할 수 있다.The grinder may include: a first wheel elevating unit coupled to the first wheel moving support and configured to elevate the two first chamfering wheels on a Z axis; And a second wheel elevating unit coupled to the second wheel moving support unit for elevating the two second chamfering wheels on the Z axis.
상기 스테이지는, 상기 기판을 흡착하여 회전시키는 적어도 하나의 턴테이블; 및 상기 턴테이블의 외곽에 배치되어 상기 턴테이블과 함께 상기 기판을 흡착하여 지지하며, 상기 기판 사이즈에 대응할 수 있도록 상기 턴테이블에 대해 접근 및 이격 가능한 다수의 가변테이블을 포함할 수 있다.The stage includes: at least one turntable for sucking and rotating the substrate; And a plurality of variable tables disposed at an outer side of the turntable to adsorb and support the substrate together with the turntable, and accessible and spaced apart from the turntable so as to correspond to the substrate size.
상기 가변테이블은 상면이 원 형상을 갖는 상기 턴테이블의 외곽에서 상호간 대칭되게 4개 마련될 수 있으며, 상기 가변테이블의 측면에는 상기 가변테이블이 상기 턴테이블에 접근될 때 상기 턴테이블에 충돌되는 것을 저지시키는 절개부가 형성될 수 있으며, 상기 턴테이블과 상기 가변테이블의 표면에는 상기 기판의 진공 흡착을 위한 다수의 진공홀과, 상기 다수의 진공홀의 주변에 마련되며 상기 턴테이블과 상기 가변테이블의 표면으로부터 하방으로 일정 깊이 함몰된 상태에서 일정한 형상의 라인을 이루어 상기 기판에 대한 진공 흡착 면적을 배가시키는 진공 흡착 라인홈이 형성될 수 있다.Four variable tables may be provided symmetrically with each other at an outer surface of the turntable having a circular shape, and a side of the variable table may have an incision that prevents the variable table from colliding with the turntable when approaching the turntable. The turntable and the variable table may have a plurality of vacuum holes for vacuum adsorption of the substrate, and a plurality of vacuum holes provided around the plurality of vacuum holes, and may have a predetermined depth downward from the surfaces of the turntable and the variable table. A vacuum suction line groove may be formed by forming a line having a predetermined shape in the recessed state to double the vacuum suction area of the substrate.
상기 기판 로딩유닛과 상기 면취 가공유닛 사이 영역, 그리고 상기 면취 가공유닛과 상기 기판 언로딩유닛 사이 영역에 각각 마련되어 X축, Y축 및 Z축으로 이동하면서 상기 기판을 이송하는 트랜스퍼를 더 포함할 수 있으며, 상기 트랜스퍼는, 상기 기판의 양측면에 접촉된 상태에서 상기 기판의 하면을 부분적으로 떠받쳐 상기 기판을 파지하는 다수의 기본파지유닛; 및 상기 기본파지유닛의 주변에 마련되며, 상기 기판의 이송 과정 중에 상기 기판이 상기 기본파지유닛으로부터 이탈되는 것을 저지하는 안전파지유닛을 포함할 수 있다.The substrate loading unit and the chamfering processing unit, and the chamfering processing unit and the substrate unloading unit, respectively provided in the region of the X-axis, Y-axis and Z-axis transfer to transfer the substrate may be further included. The transfer device includes: a plurality of basic gripping units holding the substrate by partially supporting a lower surface of the substrate in contact with both side surfaces of the substrate; And a safety gripping unit provided around the basic gripping unit to prevent the substrate from being separated from the basic gripping unit during the transfer of the substrate.
상기 다수의 기본파지유닛은 상호간 접근 및 이격 가능하도록 상기 기판의 양측면에 2개씩 4개 마련될 수 있으며, 상기 안전파지유닛은 상기 기판이 이송되는 방향에 대해 상기 기판의 일측 전면과 하면을 지지할 수 있도록 해당 위치에서 회동 가능하게 마련될 수 있다.The plurality of basic gripping units may be provided in two on each side of the substrate so as to be accessible and spaced apart from each other, the safety gripping unit is to support the front and bottom of one side of the substrate in the direction in which the substrate is transported. It can be provided so that it can be rotated at the position.
상기 기판 언로딩유닛에 마련되어 면취 가공이 완료된 기판에 대한 면취량을 측정하는 면취량 측정유닛을 더 포함할 수 있다.It may further include a chamfering measurement unit provided in the substrate unloading unit for measuring the chamfering amount for the substrate chamfering is completed.
상기 제2 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공 시 상기 제1 면취 가공용 휠이 상기 제1 변 에지의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 상기 제1 면취 가공용 휠을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.Controlling the first chamfering wheel to move the first chamfering wheel to a working position for chamfering of the first side edge when chamfering the corners of both sides of the first surface by the second chamfering wheel; The control unit may further include.
한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 제1 면취 가공용 휠에 의해 기판의 제1 변 에지가 면취 가공되는 단계; 및 상기 제1 면취 가공용 휠에 대해 상호 이격배치된 제2 면취 가공용 휠에 의해 상기 기판의 제1 면 양측 코너가 면취 가공되는 단 계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취 가공방법에 의해서도 달성된다.On the other hand, the above object, according to the present invention, the step of the first side edge of the substrate is chamfered by the first chamfering wheel; And a step of chamfering the corners of both sides of the first surface of the substrate by the second chamfering wheels spaced apart from each other with respect to the first chamfering wheels. do.
여기서, 상기 제1 면취 가공용 휠에 의해 상기 기판의 제2 면 양측 코너가 면취 가공되는 단계를 더 포함할 수 있다.Here, the method may further include chamfering the corners on both sides of the second surface of the substrate by the first chamfering wheel.
상기 기판이 회전되는 단계; 및 상기 제2 면취 가공용 휠에 의해 상기 기판의 제2 변 에지가 면취 가공되는 단계를 더 포함할 수 있다.Rotating the substrate; And chamfering the second side edge of the substrate by the second chamfering wheel.
상기 제1 변 및 상기 제2 변은 상기 기판의 양측 단변 및 양측 장변이고, 상기 제1 면 및 상기 제2 면은 상기 기판의 전면 양측 코너 및 후면 양측 코너일 수 있다.The first side and the second side may be both short sides and both long sides of the substrate, and the first and second surfaces may be front corners and rear corners of the substrate.
상기 제1 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 변 에지에 대한 면취 가공 시 상기 제2 면취 가공용 휠이 상기 기판의 제1 면 양측 코너의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하는 단계를 더 포함할 수 있다.The second chamfering wheel may be moved to a work position for chamfering of corners on both sides of the first surface of the substrate when chamfering the first side edge by the first chamfering wheel. .
상기 제2 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공 시 상기 제1 면취 가공용 휠이 상기 제1 변 에지의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하는 단계를 더 포함할 수 있다.The first chamfering wheel may be moved to a work position for chamfering the first edge of the first chamfered edge when the chamfering process is performed on both side corners of the first surface by the second chamfering wheel.
본 발명에 따르면, 면취 가공 작업 시 소요되는 택트 타임(tact time)을 종래보다 더 감소시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, it is possible to further reduce the tact time required during the chamfering operation than in the prior art can improve the productivity.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by explaining preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.
도 2는 면취 가공되는 부분을 설명하기 위한 기판의 사시도이다.2 is a perspective view of a substrate for explaining a portion to be chamfered.
도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 기판이라 함은 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) 기판을 의미하지만, 본 발명의 권리범위가 이제 제한되는 것은 아니므로 플라즈마 디스플레이 기판(PDP, Plasma Display Panel), 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes), 태양전지(SOLAR CELL) 등의 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)에도 적용될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위해 TFT-LCD 기판을 그 예로 하여 설명하기로 한다.Prior to the description with reference to the drawings, the substrate to be described below means a TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) substrate, but since the scope of the present invention is not limited to the plasma display substrate (PDP, Plasma) It can also be applied to flat panel displays (FPDs) such as display panels, organic light emitting diodes (EL), and solar cells. However, hereinafter, the TFT-LCD substrate will be described as an example for convenience of description.
참고로, TFT-LCD 기판(G1)은, 액정을 사이에 두고 상판과 하판이 합착된 상태의 두 겹으로 제작되며, 하판의 상면에는 상판이 중첩되지 않은 구간이 존재하는 것이 보통이다. 하지만, 도 2에서는 도시 및 설명의 편의를 위해 TFT-LCD 기판(G1)을 대략 사각 판 형태로 개략적으로 도시하고 있다.For reference, the TFT-LCD substrate G1 is made of two layers in which a top plate and a bottom plate are bonded together with a liquid crystal interposed therebetween, and a section in which the top plate does not overlap is usually present on the top surface of the bottom plate. However, in FIG. 2, the TFT-LCD substrate G1 is schematically illustrated in an approximately rectangular plate shape for convenience of illustration and description.
이 도면을 참조할 때, 본 실시예의 면취기를 통해 기판(G1)은 4군데 코너, 즉 전면 양측 코너(확대 A 참조) 및 후면 양측 코너(확대 B 참조), 그리고 양측 단변 에지(확대 C 참조) 및 양측 장변 에지(확대 D 참조)가 면취 가공된다.Referring to this figure, through the chamfering of the present embodiment, the substrate G1 has four corners, namely, both front corners (see enlarged A) and rear both corners (see enlarged B), and both short side edges (see enlarged C). And both long side edges (see enlarged D) are chamfered.
자세히 후술하겠지만, 본 실시예에서 면취 가공방법은, 기판(G1)의 단변 에 지 가공, 기판(G1)의 전면 양측 코너 가공, 기판(G1)의 후면 양측 코너 가공, 그리고 기판(G1)의 장변 에지 가공의 순서를 따른다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로, 택트 타임(tact time)을 감소시킬 수만 있다면 면취 가공의 순서는 해당 제조사의 공정 상황에 맞게 충분히 변경될 수 있다.As will be described later in detail, the chamfering method in the present embodiment, the short edge edge processing of the substrate G1, the front side corner processing of the front surface of the substrate G1, the both sides corner processing of the rear surface of the substrate G1, and the long side of the substrate G1 Follow the order of edge machining. However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the order of chamfering may be sufficiently changed according to the manufacturing process of the manufacturer as long as it can reduce the tact time.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취기에 대한 개략적인 평면도이고, 도 4 및 도 5는 각각 도 3의 부분 확대 사시도이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취 가공방법의 플로차트이고, 도 7의 (a) 내지 (f)는 평면디스플레이용 면취 가공방법을 단계적으로 도시한 구성도이다.3 is a schematic plan view of a chamfering device for a flat display according to an embodiment of the present invention, FIGS. 4 and 5 are partially enlarged perspective views of FIG. 3, and FIG. 6 is a planar display according to an embodiment of the present invention. It is a flowchart of the chamfering processing method, and FIG. 7 (a)-(f) are the block diagrams which showed the chamfering processing method for a flat display step by step.
이들 도면을 참조하되 주로 도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취기는, 면취 가공 대상의 기판(G1)이 로딩(loading)되는 기판 로딩유닛(210)과, 기판(G1)에 대한 면취 가공이 진행되는 면취 가공유닛(220)과, 면취 가공이 완료된 기판(G2)이 언로딩(unloading)되는 기판 언로딩유닛(240)을 구비한다.3 to 5, the planar display chamfering device according to an embodiment of the present invention includes a
기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240) 모두는, 기판(G1,G2)을 이송시키는 역할을 하므로 도시된 바와 같이, 롤러 타입(roller type)으로 적용될 수 있다. 즉, 기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)은, 다수의 회전축(211,241) 각각에 기판(G1,G2)을 회전 가능하게 지지하는 다수의 롤러(212,242)가 결합된 구조를 가질 수 있다.Since both the
하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)은, 통상의 컨베이어 타입(conveyor type)이나 스 테이지 타입(stage type)으로 대체되어도 무방하다. 이처럼 기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)이 컨베이어 타입이나 스테이지 타입으로 적용되는 경우에는 기판(G1,G2)을 업(up)시키기 위한 공기부상모듈(미도시)이 함께 적용되는 것이 유리할 것이다.However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the
다수의 롤러(212,242)는 기판(G1,G2)에 스크래치가 발생되지 않도록 유연한 재질로 제작되는 것이 바람직하다. 그리고 다수의 회전축(211,241)은 그 회전 속도의 제어가 용이하도록 단일의 모터에 의해 일괄적으로 함께 회전될 수 있지만, 반드시 그러한 것은 아니므로 개별모터에 의해 다수의 회전축(211,241) 각각이 개별적으로 회전되도록 할 수도 있다.The plurality of
기판 로딩유닛(210)에는 진입되는 기판(G1)에 대해 얼라인(align) 작업을 진행하는 얼라인부(215)가 마련되어 있다. 얼라인부(215)는 상호간 접근 및 이격되는 동작에 의해 기판(G1)의 양측면을 가압함으로써 기판(G1)을 바르게 정렬시키는 역할을 한다.The
이러한 기판 로딩유닛(210)에는 기판 언로딩유닛(240)과는 달리 기판(G1)이 진입되는 방향을 따라 다수의 진입감지센서(214)가 더 마련되어 있다. 다수의 진입감지센서(214)는 기판(G1)의 진입 위치에 기초하여 회전축(211)의 속도를 줄이거나 정지시키기 위한 감지 신호를 발생시킨다.Unlike the
기판 언로딩유닛(240)에는 면취량 측정유닛(250)이 더 마련되어 있다. 면취량 측정유닛(250)은 면취 가공유닛(220)을 통해 면취 가공이 완료된 기판(G2)에 대한 면취량을 측정하는 역할을 한다.The
면취량 측정유닛(250)에 의해 면취량이 측정된 기판(G2)에 대하여, 만약 잘못 면취된 경우이거나 면취량이 기준치 미만인 경우라면 해당 기판은 파기되거나 혹은 면취 가공용 휠(225,227) 쪽으로 피드백되어 면취량이 보정되어 가공이 진행될 수 있다. 본 실시예에서는 면취량 측정유닛(250)이 기판 언로딩유닛(240)에 마련되어 있지만 경우에 따라 면취량 측정유닛(250)은 면취 가공유닛(220)에 마련될 수도 있다.With respect to the substrate G2 whose chamfering amount is measured by the
기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)에는, 다수의 롤러(212,242)에 대하여 기판(G1,G2)을 소정 높이 업(up)시키는 다수의 리프트 핀(213,243)이 다수의 롤러(212,242) 사이사이에 더 마련되어 있다.In the
이러한 리프트 핀(213,243)들은, 기판 로딩유닛(210)과 면취 가공유닛(220) 사이 영역, 그리고 면취 가공유닛(220)과 기판 언로딩유닛(240) 사이 영역에 마련되어 해당 위치에서 기판(G1,G2)을 이송시키는 트랜스퍼(280a,280b)의 동작에 연동하여 동작된다. 즉, 리프트 핀(213,243)들은 트랜스퍼(280a,280b)가 기판 로딩유닛(210)에서 면취 가공유닛(220)으로, 혹은 면취 가공유닛(220)에서 기판 언로딩유닛(240)으로 기판(G1,G2)을 이송시킬 때 업(up)되는 동작을 보인다.The lift pins 213 and 243 are provided in an area between the
면취 가공유닛(220)의 설명에 앞서, 트랜스퍼(280a,280b)에 대해 먼저 설명하도록 한다.Prior to the description of the
전술한 바와 같이, 트랜스퍼(280a,280b)는 기판 로딩유닛(210)과 면취 가공유닛(220) 사이 영역, 그리고 면취 가공유닛(220)과 기판 언로딩유닛(240) 사이 영역에 마련되어 기판 로딩유닛(210) 상의 기판(G1)을 제1 및 제2 스테이 지(260a,260b)로, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 상의 기판(G2)을 기판 언로딩유닛(240)으로 이송시키는 역할을 한다.As described above, the
본 실시예에서, 기판 로딩유닛(210)과 면취 가공유닛(220) 사이 영역, 그리고 면취 가공유닛(220)과 기판 언로딩유닛(240) 사이 영역에 마련되어 있는 트랜스퍼(280a,280b)의 구조 및 동작은 모두 동일하다. 이에, 도시 및 설명의 편의를 위해 트랜스퍼(280a,280b)의 세부 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 한다.In this embodiment, the structure of the transfer (280a, 280b) provided in the region between the
트랜스퍼(280a,280b)는, 기판(G1,G2)의 양측면에 접촉된 상태에서 기판(G1,G2)의 하면을 부분적으로 떠받쳐 기판(G1,G2)을 파지하는 다수의 기본파지유닛(281)과, 기본파지유닛(281)의 주변에 마련되며 기판(G1,G2)의 이송 과정 중에 기판(G1,G2)이 기본파지유닛(281)으로부터 이탈되는 것을 저지하는 안전파지유닛(285)을 구비한다.The
본 실시예에서 기본파지유닛(281)은 기판(G1,G2)의 양측면에 2개씩 4개 마련되고, 안전파지유닛(285)은 기판(G1,G2)이 이송되는 방향에 대해 기판(G1,G2)의 일측 전면과 하면을 지지할 수 있도록 해당 위치에서 회동 가능하게 1개 마련된다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니다.In the present exemplary embodiment, four basic
그리고 다양한 사이즈(size)의 기판을 모두 파지할 수 있도록, 특히 기본파지유닛(281)은 상호간 접근 및 이격 가능하도록 마련되는데, 이 외에도 트랜스퍼(280a,280b) 자체는 기판 로딩유닛(210) 상의 기판(G1)을 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)로, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 상의 기판(G2)을 기판 언로딩유 닛(240)으로 이송시키기 위해 X축, Y축 및 Z축으로 이동 가능하게 마련된다. 이를 위해, 트랜스퍼(280a,280b)는 X축 구동부(291), Y축 구동부(293) 및 Z축 구동부(294)를 더 구비한다. X축 구동부(291), Y축 구동부(293) 및 Z축 구동부(294)는 리니어 모터나 실린더, 혹은 모터 및 볼스크루 조합 등의 구조에 의해 구현될 수 있는데, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.In addition, in order to hold all substrates of various sizes, the basic
한편, 면취 가공유닛(220)은, 실질적으로 기판 로딩유닛(10)으로부터 제공된 기판(G1)의 4군데 코너, 기판(G1)의 단변 에지 및 기판(G1)의 장변 에지에 대한 면취 가공을 진행하는 부분이다(도 2 참조).On the other hand, the
앞서도 기술한 바와 같이, 본 실시예의 경우에는 기판(G1)의 양측 단변 에지 가공, 기판(G1)의 전면 양측 코너 가공, 기판(G1)의 후면 양측 코너 가공, 그리고 기판(G1)의 양측 장변 에지 가공의 순서로 면취 가공이 진행되므로 이의 순서를 토대로 설명하기로 한다.As described above, in the present embodiment, both side short edge edge processing of the substrate G1, both sides corner processing of the front surface of the substrate G1, both sides corner processing of the rear surface of the substrate G1, and both side long edges of the substrate G1. Since the chamfering process proceeds in the order of processing will be described based on the order thereof.
앞서도 기술한 바와 같이, 면취 가공방법 중에는, 코너 가공에서 에지 가공으로 전환되거나 또는 그 역으로 전환되는 상황이 존재하는데, 이 경우에 종래와 같이 면취 가공용 휠(미도시)이 정렬되어야 하는 등의 이유로 기판(G1)이 면취 가공을 연속적으로 진행하지 못하고 잠시나마 대기해야 한다면 그만큼 택트 타임이 증가할 수밖에 없다. 이에, 본 실시예에서는 비록 짧은 시간일지언정 면취 가공이 연속적으로 진행되지 못하고 기판(G1)이 대기해야 하는 시간적인 로스(loss) 발생을 근본적으로 차단함으로써 종래보다 택트 타임을 더 줄이고 생산성을 향상시킬 수 있도록 하고 있는 것이다.As described above, in the chamfering processing method, there is a situation in which the corner processing is switched from edge processing to vice versa or vice versa, in which case the chamfering wheel (not shown) must be aligned as in the prior art. If the board | substrate G1 does not continue to chamfer continuously and needs to wait for a while, the tact time will inevitably increase by that much. Thus, in the present embodiment, even though a short time, the chamfering processing is not continuously progressed, and by fundamentally blocking the time loss generation that the substrate G1 has to wait, the tact time can be further reduced and the productivity can be improved. I'm doing it.
이를 위해, 본 실시예의 면취 가공유닛(220)은, 상면으로 기판(G1)이 안착 지지되는 2개의 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)와, X축을 따라 상호 이격되게 배치되는 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 구비한 그라인더(221)를 포함한다.To this end, the
본 실시예에서 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 Y축을 따라 2개 마련된다. 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 면취 가공 작업을 각각 병렬적으로 진행하기 때문에 그만큼 택트 타임이 감소되어 생산성이 향상될 수 있다.In the present embodiment, two first and
하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 하나의 스테이만이 구비될 수도 있고, 혹은 3개 이상의 스테이지가 구비될 수도 있다. 다만, 3개 이상의 스테이지가 구비되는 경우, 이들이 Y축을 따라 병렬 배치구조를 갖는다면 그것으로 충분하다.However, since the scope of the present invention is not limited thereto, only one stay may be provided, or three or more stages may be provided. However, when three or more stages are provided, it is sufficient if they have a parallel arrangement along the Y axis.
앞서 기술한 트랜스퍼(280a,280b)와 마찬가지로, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 역시 그 위치만이 상이할 뿐 구조 및 동작은 모두 동일하다. 이에, 도시 및 설명의 편의를 위해 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)의 세부 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 한다.Like the
제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 대해 간략하게 살펴보면, 본 실시예의 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 다양한 사이즈(size)의 기판에 혼용으로 적용될 수 있는 구조를 가지고 있다.Briefly referring to the first and
즉, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 각각은, 기판(G1)을 흡착하여 회전시키는 하나의 턴테이블(261)과, 턴테이블(261)의 외곽에 배치되어 턴테이블(261)과 함께 기판(G1)을 흡착하여 지지하며 다양한 사이즈의 기판 모두에 대응할 수 있도록 턴테이블(261)에 대해 접근 및 이격 가능한 4개의 가변테이블(263)을 구비한다.That is, each of the first and
상면이 대략 사각 형상을 가지며 중앙에 1개 마련되는 턴테이블(261)에 대해, 가변테이블(263)은 턴테이블(261)의 외곽에서 상호간 대칭되게 4개가 마련된다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 턴테이블(261)의 상면 형상은 다각 형상 외에도 원형이나 타원형이 될 수도 있고, 가변테이블(263)은 턴테이블(261)의 외곽에서 상호간 대칭되게 2개 마련될 수도 있다.With respect to the
만약, 면취 가공 대상의 기판 사이즈가 클 경우에는 턴테이블(261)과 가변테이블(263)의 전체 흡착 면적이 넓어질 수 있도록 턴테이블(261)에 대해 4개의 가변테이블(263)이 이격되어야 하고, 면취 가공 대상의 기판 사이즈가 작다면 턴테이블(261)에 대해 4개의 가변테이블(263)이 접근되어야 한다. 이 때, 4개의 가변테이블(263)이 턴테이블(261)에 대해 접근될 때, 4개의 가변테이블(263)의 측면이 턴테이블(261)에 충돌되면 아니 되기 때문에 가변테이블(263)들의 측면에는 절개부(264)가 형성되어 있다. 절개부(264)는 아크(arc) 형상을 가질 수 있는데, 반드시 그러한 것은 아니다.If the substrate size of the chamfering target is large, four variable tables 263 should be spaced apart from the
그리고 턴테이블(261)과 가변테이블(263)의 표면에는 기판(G1)의 진공 흡착을 위한 다수의 진공홀(미도시)이 형성되어 있다. 이러한 진공홀은, 턴테이블(261)과 가변테이블(263)의 표면으로부터 하방으로 일정 깊이 함몰된 상태에서 일정한 형상의 라인을 이루어 기판(G1)에 대한 진공 흡착 면적을 배가시키는 진공 흡착 라인홈(미도시)에 하나씩 형성되어 있다. 본 실시예에서 턴테이블(261)에 형성된 진공 흡착 라인홈(미도시)은 예컨대 피자(pizza) 형상으로, 가변테이블(263)에 형성 된 진공 흡착 라인홈(미도시)은 한글 'ㄱ'자 형상으로 형성될 수 있는데, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니다.In addition, a plurality of vacuum holes (not shown) are formed on the surfaces of the
한편, 그라인더(221)는, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 흡착 지지된 기판(G1)에 대해 실질적인 면취 가공을 진행하는 부분이다.On the other hand, the
본 실시예의 경우, Y축을 따라 2개의 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)가 마련되어 있으므로, 장비의 간소화를 위해 그라인더(221)는 공유 그라인더로서 적용된다. 이처럼 그라인더(221)가 공유 그라인더로 적용됨으로써, 그라인더(221)에 마련된 2개씩의 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)은 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 쪽으로 선택적으로 이동되면서 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)와 함께 기판(G1)에 대한 면취 가공 작업을 진행하게 된다.In the present embodiment, since two first and
하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 그라인더(221)가 반드시 공유 그라인더일 필요는 없다. 즉, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 마다 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 각각 대응되는 2개씩의 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)이 전용으로 갖춰지도록 구성하여도 좋다.However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the
그라인더(221)는, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 안착된 기판(G1)의 얼라인(align) 작업을 위한 얼라인 카메라(223)와, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 안착된 기판(G1)에 대한 면취 가공을 진행하되 X축을 따라 상호 이격되게 배치되는 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 구비한다.The
얼라인 카메라(223)는 기판(G1)의 어느 한 변에 형성된 2개의 얼라인 마크(align mark)를 촬영하기 위해 2개 마련된다. 즉, 적어도 2개의 얼라인 마크를 촬영해야만 기판(G1)에 대한 얼라인 작업이 가능하고, 그에 기초하여 제1 면취 가공용 휠(225), 그리고 제2 면취 가공용 휠(227)의 간격들이 결정될 수 있기 때문에 본 실시예에서는 2개의 얼라인 카메라(223)가 마련된다.Two
제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 양측 단변 에지에 대한 면취 가공 및 기판(G1)의 후면 코너 가공을 진행하고, 제2 면취 가공용 휠(227)은 기판(G1)의 전면 코너 가공 및 기판(G1)의 양측 장변 에지에 대한 면취 가공을 진행하기 때문에 얼라인 카메라(223)와 마찬가지로 2개씩 마련된다.The
제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)의 구조에 대해 살펴보면, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)은 Z축을 따라 외주면의 일 영역이 상호 중첩되게 배치되어 기판(G1)의 4군데 코너, 기판(G1)의 단변 에지 및 기판(G1)의 장변 에지를 모두 가공하는 다수의 제1 내지 제4 멀티 휠(225a~225d, 227a~227d, multi wheel)로 적용된다. 다시 말해, 제1 면취 가공용 휠(225)은 4개의 제1 내지 제4 멀티 휠(225a~225d)의 조합에 의해, 그리고 제2 면취 가공용 휠(227)은 4개의 제1 내지 제4 멀티 휠(227a~227d)의 조합에 의해 마련된다. 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)은 각각 휠 회전용 하우징(231,232)에 의해 회전 가능하게 결합되어 있다. 휠 회전용 하우징(231,232)은 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 지지하는 역할 외에도 모터 등을 이용하여 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 회전시키는 역할을 겸한다.Looking at the structure of the first and second chamfering wheels (225, 227), as shown in Figure 5, the first and second chamfering wheels (225,227) are arranged so that one region of the outer peripheral surface overlap each other along the Z axis With a plurality of first to fourth multi-wheels 225a to 225d, 227a to 227d, multi wheels for processing all four corners of the substrate G1, the short side edge of the substrate G1, and the long side edge of the substrate G1. Apply. In other words, the
이러한 구성에서, 기판(G1)의 단변 에지에 대한 면취 가공은 제1 면취 가공용 휠(225)의 제1 및 제3 멀티 휠(225a,225c)과, 제2 및 제4 멀티 휠(225b,225d) 사이 영역에서 진행되고, 기판(G1)의 후면 코너 가공은 제1 면취 가공용 휠(225)의 제3 및 제4 멀티 휠(225c,225d)의 경사 표면 영역에서 진행된다. 그리고 기판(G1)의 전면 코너 가공은 제2 면취 가공용 휠(227)의 제3 및 제4 멀티 휠(227c,227d)의 경사 표면 영역에서 진행되고, 기판(G1)의 장변 에지에 대한 면취 가공은 제2 면취 가공용 휠(227)의 제1 및 제3 멀티 휠(227a,227c)과, 제2 및 제4 멀티 휠(227b,227d) 사이 영역에서 진행된다.In this configuration, the chamfering of the short side edge of the substrate G1 is performed by the first and third
한편, 본 실시예의 그라인더(221)는 공유 그라인더이므로, 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)은 제1 스테이지(260a)와 함께 제1 스테이지(260a) 상의 기판에 대한 면취 가공 작업도 진행해야 하고, 제2 스테이지(260b)와 함께 제2 스테이지(260b) 상의 기판에 대한 면취 가공 작업도 진행해야 한다.On the other hand, since the
따라서 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)은 Y축을 따라 이동이 가능해야 한다. 이를 위해, 카메라 이동지지부(224), 제1 휠 이동지지부(226) 및 제2 휠 이동지지부(228)가 구비된다.Accordingly, the
카메라 이동지지부(224)는 2개의 얼라인 카메라(223)가 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 2개의 얼라인 카메라(223)를 이동 가능하게 지지하고, 제1 휠 이동지지부(226)는 2개의 제1 면취 가공용 휠(225)이 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 2개의 제1 면취 가공용 휠(225)을 이동 가능하게 지지하며, 제2 휠 이동지지부(228)는 2개의 제2 면취 가공용 휠(227)이 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 2개의 제2 면취 가공용 휠(227)을 이동 가능하게 지지한다.The
본 실시예에서 카메라 이동지지부(224), 제1 휠 이동지지부(226) 및 제2 휠 이동지지부(228)는 리니어 모터로 구현될 수 있지만 반드시 그러한 것은 아니다. 뿐만 아니라 도면에 보면 카메라 이동지지부(224), 제1 휠 이동지지부(226) 및 제2 휠 이동지지부(228)가 각기 개별적으로 도시되어 있지만, 이들은 한 몸체로 상호 연결될 수도 있는 것이다.In this embodiment, the
2개의 얼라인 카메라(223)는 카메라 이동지지부(224)에 의해 Y축으로 이동되면 그것으로 충분하다. 하지만, 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)은 제1 및 제2 휠 이동지지부(226,228)에 의해 Y축으로 이동될 뿐만 아니라 기판(G1)의 4군데 코너 가공, 그리고 단변 및 장변 에지 가공을 위해 Z축으로도 승하강이 가능해야 한다.The two
이를 위해, 본 실시예의 그라인더(221)에는 제1 휠 이동지지부(226)에 결합되어 2개의 제1 면취 가공용 휠(225)을 Z축으로 승하강시키는 제1 휠 승하강부(226a)와, 제2 휠 이동지지부(228)에 결합되어 2개의 제2 면취 가공용 휠(227)을 Z축으로 승하강시키는 제2 휠 승하강부(228a)가 더 마련된다. 제1 휠 승하강부(226a)와 제2 휠 승하강부(228a)는 실린더로 적용될 수 있지만, 이 역시 리니어 모터나 혹은 모터와 볼스크루 조합에 의해 적용될 수도 있다.To this end, the
한편, 본 실시예의 경우, 면취 가공유닛(220)을 통해 기판(G1)의 4군데 코너 가공, 기판(G1)의 단변 에지 가공 및 기판(G1)의 장변 에지 가공 작업이 진행될 때, 기판(G1)의 4군데 코너 가공, 기판(G1)의 단변 에지 가공 및 기판(G1)의 장변 에지 가공 작업이 실질적으로 대기 시간 없이 연속적으로 진행될 수 있도록, 그라인더(221)의 동작을 제어하는 제어부(미도시)를 더 구비한다.On the other hand, in the present embodiment, when the four corner processing of the substrate G1, the short side edge processing of the substrate G1 and the long side edge processing of the substrate G1 through the
다시 말해, 제어부는, 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227) 중 어느 하나가 기판(G1)의 에지 가공 작업을 할 때 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227) 중 다른 하나가 기판(G1)의 양측 코너 가공 작업을 위한 작업 위치로, 또는 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227) 중 어느 하나가 기판(G1)의 양측 코너 가공 작업을 할 때 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227) 중 다른 하나가 기판(G1)의 에지 가공 작업을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기할 수 있도록, 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)의 X축, Y축 및 Z축 동작을 제어하게 되는데, 이러한 일련의 제어 동작에 대해서는 아래의 면취 가공방법에 포함시켜 함께 설명하도록 한다.In other words, when one of the first and
이러한 구성을 갖는 면취기를 이용하여 기판(G1)에 대해 면취 가공을 진행하는 일련의 방법에 대해 도 6 및 도 7을 참조하여 설명한다.A series of methods for chamfering the substrate G1 using a chamfer having such a configuration will be described with reference to FIGS. 6 and 7.
우선, 면취 가공 대상의 기판(G1)이 기판 로딩유닛(210) 상의 롤러(212)를 통해 이송된다. 롤러(212)의 회전에 의해 이송되는 기판(G1)은 진입감지센서(214)의 신호에 기초하여 회전축(211)의 동작이 정지됨에 따라 작업 위치에 정지된다. 이어, 얼라인부(215)가 기판(G1)의 양측면을 가압하여 기판(G1)을 얼라인시키고 나면, 리프트 핀(213)들이 기판(G1)을 업(up)시킨다.First, the substrate G1 to be chamfered is transferred through the
기판(G1)이 업(up)되면, 트랜스퍼(280a)가 X축, Y축 및 Z축을 따라 움직이면 서 기본파지유닛(281) 및 안전파지유닛(285)으로 기판(G1)을 파지하여 기판(G1)을 제1 스테이지(260a)의 상면으로 옮긴다. 제1 스테이지(260a)의 상면으로 올려진 기판(G1)은 제1 스테이지(260a)를 이루는 턴테이블(261) 및 가변테이블(263)의 표면에 형성된 진공홀을 통해 진공 흡인력이 제공됨에 따라 턴테이블(261) 및 가변테이블(263)의 표면에서 흡착 지지된다.When the substrate G1 is up, the
이와 같이 기판(G1)이 제1 스테이지(260a)의 상면에서 흡착 지지되고 나면, 제1 스테이지(260a)는 X축 방향으로 이동한다. X축 방향으로 이동한 기판은 도 7의 (a)와 같이 얼라인 카메라(223)에 의해 얼라인 마크가 촬상되면서 얼라인 작업이 진행된다(S11). 얼라인 작업이 진행되는 동안 제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 양측 단변 에지 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기한다. 이 경우, 제2 면취 가공용 휠(227)은 제2 스테이지(260b) 쪽에서 다른 기판에 대한 면취 가공 작업을 하고 있는 것으로 보고, 도 7의 (a)에서는 점선 처리하고 있다.After the substrate G1 is adsorbed and supported on the upper surface of the
얼라인 작업이 완료되면, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(260a)는 기판(G1)을 제1 면취 가공용 휠(225) 쪽으로 전진시킨다. 이 때, 제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 양측 단변 에지 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하고 있는 상태이므로, 기판(G1)은 멈추지 않고 제1 스테이지(260a)에 의해 계속 전진하여 제1 면취 가공용 휠(225)을 이루는 제1 및 제3 멀티 휠(225a,225c), 그리고 제2 및 제4 멀티 휠(225b,225d) 사이 영역을 지나게 되고, 이로써 기판(G1)의 양측 단변 에지에 대한 면취 가공이 완료된다(S12).When the alignment operation is completed, as shown in FIG. 7B, the
이처럼 제1 면취 가공용 휠(225)에 의해 기판(G1)의 양측 단변 에지에 대한 면취 가공이 진행되는 동안에, 제2 면취 가공용 휠(227)은 제1 스테이지(260a)의 이동 경로 상으로 이동하게 되는데, 이 경우 제2 면취 가공용 휠(227)은 기판(G1)의 전면 양측 코너 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하게 된다.As described above, while the chamfering processing of both short side edges of the substrate G1 is performed by the
따라서 제1 면취 가공용 휠(225)을 지나 양측 단변 에지 가공이 완료된 기판(G1)은, 멈추지 않고 제1 스테이지(260a)에 의해 계속 전진하여 도 7의 (c)와 같이 작업 위치에 미리 대기하고 있던 제2 면취 가공용 휠(227)의 제3 및 제4 멀티 휠(227c,227d)에 접촉됨으로써 그 전면 양측 코너에 대해 면취 가공이 진행된다(S13).Therefore, the board | substrate G1 on which the both short side edge processing was completed past the
이처럼 기판(G1)의 전면 양측 코너에 대해 면취 가공이 진행되는 동안에, 제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 후면 양측 코너 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하게 된다.As described above, while the chamfering process is performed on both front corners of the substrate G1, the
전면 양측 코너에 대해 면취 가공이 완료된 기판(G1)은, 멈추지 않고 제1 스테이지(260a)에 의해 반대로 후진하여 도 7의 (d)와 같이 작업 위치에 미리 대기하고 있던 제1 면취 가공용 휠(225)의 제3 및 제4 멀티 휠(225c,225d)에 접촉됨으로써 그 후면 양측 코너에 대해 면취 가공이 진행된다(S14).The board | substrate G1 with which chamfering process was completed with respect to the front both sides corners does not stop, but reverses by the
다음, 기판(G1)의 양측 장변 에지에 대한 면취 가공을 위해, 도 7의 (e)와 같이 제1 스테이지(260a) 상에서 기판(G1)이 회전된다(S15). 기판(G1)의 회전은 제1 스테이지(260a)를 이루는 턴테이블(261)에 의해 수행된다. 이 경우, 제1 면취 가공용 휠(225)은 제2 스테이지(260b) 쪽에서 다른 기판에 대한 면취 가공 작업을 하고 있는 것으로 보고, 도 7의 (e) 및 (f)에서는 점선 처리하고 있다.Next, in order to chamfer the long side edges of both sides of the substrate G1, the substrate G1 is rotated on the
이처럼 양측 장변 에지에 대한 면취 가공을 위해 기판(G1)이 회전되는 동안에, 제2 면취 가공용 휠(227)은 기판(G1)의 양측 장변 에지 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하게 된다.As described above, while the substrate G1 is rotated for chamfering on both long side edges, the
그런 다음, 회전이 완료된 기판(G1)은, 그 즉시 제1 스테이지(260a)에 의해 전진하여 도 7의 (f)와 같이 제2 면취 가공용 휠(227)을 이루는 제1 및 제3 멀티 휠(227a,227c), 그리고 제2 및 제4 멀티 휠(227b,227d) 사이 영역을 지나게 되고, 이로써 기판(G1)의 양측 장변 에지에 대한 면취 가공이 완료된다(S16).Subsequently, the substrate G1, which has been rotated, is immediately moved by the
이와 같이, 기판(G1)의 양측 단변 에지 가공, 기판(G1)의 전면 코너 가공, 기판(G1)의 후면 코너 가공, 그리고 기판(G1)의 양측 장변 가공 작업 중 어느 한 작업이 진행되기 전에, X축을 따라 상호 이격되게 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)이 미리 작업 위치에 이동하여 대기하고 있기 때문에 종래와 같이 불가피하게 기판(G1)이 멈추어 대기하는 시간을 줄일 수 있다. 즉, 본 실시예에 따르면, 기판(G1)을 지지한 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 종래와 같이 일정시간 멈출 필요 없이 인라인(In-Line)화된 작업라인을 따라 연속해서 이동하면서 기판(G1)에 대한 면취 가공 작업이 진행되도록 할 수 있기 때문에 종래보다 택트 타임을 더 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있게 되는 것이다.As described above, before any one of the short side edge machining of the substrate G1, the front corner machining of the substrate G1, the back corner machining of the substrate G1, and the long side machining operation of the both sides of the substrate G1, Since the first and
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취 가공방법의 플로차트이다.8 is a flowchart of a chamfering processing method for a flat panel display according to another embodiment of the present invention.
면취 가공방법은 전술한 실시예와 달리, 도 8을 순서를 따를 수도 있다. 즉, 얼라인 작업이 진행되고 나면(S21), 우선 제1 면취 가공용 휠(225)에 의해 기 판(G1)의 전면 양측 코너에 대한 면취 가공이 진행되고(S22), 이어 제2 면취 가공용 휠(227)에 의해 기판(G1)의 양측 단변에 대한 면취 가공(S23), 그리고 제1 면취 가공용 휠(225)에 의해 기판(G1)의 후면 양측 코너에 대한 면취 가공이 진행되며(S24), 기판(G1)이 회전되고 나면(S25), 최종적으로 기판(G1)의 양측 장변에 대한 면취 가공이 진행되는(S26) 순서를 따를 수도 있는 것이다.Chamfering processing method, unlike the above-described embodiment, may follow the order shown in FIG. That is, after the aligning operation is performed (S21), first the chamfering processing for the front side both corners of the substrate G1 by the first chamfering wheel 225 (S22), and then the second chamfering wheel Chamfering (S23) for both short sides of the substrate G1 by 227, and chamfering for both sides corners of the rear surface of the substrate G1 by the first chamfering wheel 225 (S24), After the substrate G1 is rotated (S25), the chamfering process for both long sides of the substrate G1 may be finally performed (S26).
전술한 실시예에서는 기판의 단변을 먼저 가공하고 장변을 가공하는 것으로 설명하였지만, 장변을 먼저 가공한 후 기판을 회전시켜 단변을 가공하는 형태가 되어도 무방하다.In the above embodiment, the short side of the substrate is first processed and the long side is processed, but the long side may be processed first, and the substrate may be rotated to form the short side.
전술한 실시예에서는 제1 및 제2 면취 가공용 휠이 기판 로딩유닛과 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인을 따라 상호 이격배치되고 있으나, 제1 및 제2 면취 가공용 휠은 기판 로딩유닛과 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인에 교차하는 방향으로 상호 이격배치될 수도 있다.In the above-described embodiment, the first and second chamfering wheels are spaced apart from each other along a virtual work line connecting the substrate loading unit and the substrate unloading unit. The substrate unloading unit may be spaced apart from each other in a direction crossing the virtual work line.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.
도 1은 종래의 면취기에 대한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a conventional chamfering machine.
도 2는 면취 가공되는 부분을 설명하기 위한 기판의 사시도이다.2 is a perspective view of a substrate for explaining a portion to be chamfered.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취기에 대한 개략적인 평면도이다.3 is a schematic plan view of a chamfering device for a flat panel display according to an embodiment of the present invention.
도 4 및 도 5는 각각 도 3의 부분 확대 사시도이다.4 and 5 are partially enlarged perspective views of FIG. 3, respectively.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취 가공방법의 플로차트이다.6 is a flowchart of a chamfering processing method for a flat panel display according to an embodiment of the present invention.
도 7의 (a) 내지 (f)는 평면디스플레이용 면취 가공방법을 단계적으로 도시 한 구성도이다.7 (a) to 7 (f) are configuration diagrams showing step by step chamfering processing for flat panel displays.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취 가공방법의 플로차트이다.8 is a flowchart of a chamfering processing method for a flat panel display according to another embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
210 : 기판 로딩유닛 220 : 면취 가공유닛210: substrate loading unit 220: chamfering processing unit
221 : 그라인더 223 : 얼라인 카메라221: Grinder 223: Align Camera
225 : 제1 면취 가공용 휠 227 : 제2 면취 가공용 휠225: first chamfering wheel 227: second chamfering wheel
240 : 기판 언로딩유닛 250 : 면취량 측정유닛240: substrate unloading unit 250: chamfering measurement unit
260a,260b : 스테이지 280a,280b : 트랜스퍼260a, 260b:
Claims (20)
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020080049827A KR101058185B1 (en) | 2008-05-28 | 2008-05-28 | Chamfering machine for flat panel display and processing method |
| JP2008250855A JP5015107B2 (en) | 2008-05-28 | 2008-09-29 | Chamfering machine for flat display and its chamfering method |
| TW97138257A TWI388399B (en) | 2008-05-28 | 2008-10-03 | Grinding apparatus and method for glass |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020080049827A KR101058185B1 (en) | 2008-05-28 | 2008-05-28 | Chamfering machine for flat panel display and processing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20090123655A KR20090123655A (en) | 2009-12-02 |
| KR101058185B1 true KR101058185B1 (en) | 2011-08-22 |
Family
ID=41405609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020080049827A Expired - Fee Related KR101058185B1 (en) | 2008-05-28 | 2008-05-28 | Chamfering machine for flat panel display and processing method |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101590622A (en) | 2009-12-02 |
| KR20090123655A (en) | 2009-12-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| PA0109 | Patent application |
St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109 |
|
| PA0201 | Request for examination |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201 |
|
| D13-X000 | Search requested |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D13-srh-X000 |
|
| D14-X000 | Search report completed |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D14-srh-X000 |
|
| PG1501 | Laying open of application |
St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501 |
|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902 |
|
| E13-X000 | Pre-grant limitation requested |
St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000 |
|
| P11-X000 | Amendment of application requested |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000 |
|
| P13-X000 | Application amended |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000 |
|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902 |
|
| P11-X000 | Amendment of application requested |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000 |
|
| P13-X000 | Application amended |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000 |
|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| PE0701 | Decision of registration |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701 |
|
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701 |
|
| PR1002 | Payment of registration fee |
St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002 Fee payment year number: 1 |
|
| PG1601 | Publication of registration |
St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
|
| PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301 St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 4 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150715 Year of fee payment: 5 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 5 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160719 Year of fee payment: 6 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 6 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |
|
| P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee | ||
| PC1903 | Unpaid annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903 Not in force date: 20170813 Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE |
|
| PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301 St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301 |
|
| PC1903 | Unpaid annual fee |
St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903 Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE Not in force date: 20170813 |
|
| R18-X000 | Changes to party contact information recorded |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R18-oth-X000 |