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KR101058185B1 - Chamfering machine for flat panel display and processing method - Google Patents

Chamfering machine for flat panel display and processing method Download PDF

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KR101058185B1
KR101058185B1 KR1020080049827A KR20080049827A KR101058185B1 KR 101058185 B1 KR101058185 B1 KR 101058185B1 KR 1020080049827 A KR1020080049827 A KR 1020080049827A KR 20080049827 A KR20080049827 A KR 20080049827A KR 101058185 B1 KR101058185 B1 KR 101058185B1
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KR
South Korea
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chamfering
substrate
wheel
unit
corners
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배순석
류인석
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주식회사 에스에프에이
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    • B24B9/00Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
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Abstract

평면디스플레이용 면취기 및 그 면취 가공방법이 개시된다. 본 발명의 평면디스플레이용 면취기는, 기판 로딩유닛(loading unit)과 기판 언로딩유닛(unloading unit) 사이에 마련되어 기판의 코너 및 변에 대한 면취 가공을 진행하는 면취 가공유닛을 포함하며, 면취 가공유닛은, 상면으로 기판이 안착 지지되는 적어도 하나의 스테이지; 및 기판의 제1 변 에지에 대한 면취 가공을 진행하는 제1 면취 가공용 휠과, 제1 면취 가공용 휠에 대해 상호 이격배치되고 기판의 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공을 진행하는 제2 면취 가공용 휠을 구비한 그라인더를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 면취 가공 작업 시 소요되는 택트 타임(tact time)을 종래보다 더 감소시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.

Figure R1020080049827

Disclosed are a chamfering machine for a flat panel display and a chamfering processing method thereof. The chamfering device for a flat panel display of the present invention includes a chamfering processing unit provided between a substrate loading unit and a substrate unloading unit to chamfer the corners and sides of the substrate. At least one stage, the substrate is seated and supported on the upper surface; And a first chamfering wheel for chamfering the edge of the first side of the substrate, and a second chamfering machine for chamfering the corners of both sides of the first surface of the substrate and mutually spaced from the first chamfering wheel. It characterized in that it comprises a grinder having a wheel. According to the present invention, it is possible to further reduce the tact time required for the chamfering operation than in the prior art, thereby improving productivity.

Figure R1020080049827

Description

평면디스플레이용 면취기 및 그 면취 가공방법{GRINDING APPARATUS AND METHOD FOR GLASS}Chamfering machine for flat panel display and its chamfering method {GRINDING APPARATUS AND METHOD FOR GLASS}

본 발명은, 평면디스플레이용 면취기 및 그 면취 가공방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 면취 가공 작업 시 소요되는 택트 타임(tact time)을 종래보다 더 감소시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 평면디스플레이용 면취기 및 그 면취 가공방법에 관한 것이다.The present invention relates to a flat display chamfering machine and a chamfering processing method thereof, and more particularly, a flat surface that can further reduce the tact time required during the chamfering operation compared to the prior art to improve productivity Chamfering for display and chamfering processing method thereof.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, the flat panel display (FPD) has begun to emerge as the electronic display industry is rapidly developing among the semiconductor industry.

평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 기판(PDP, Plasma Display Panel), 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.A flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a cathode ray tube (CRT), which has been mainly used as a display for a TV or a computer monitor, and includes a liquid crystal display (LCD, liquid). crystal displays, plasma display panels (PDPs), organic light emitting diodes (OLEDs), and the like.

이하, LCD, PDP 및 OLED 등을 포함하는 평면디스플레이(FPD)를 기판이라 하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a flat panel display (FPD) including an LCD, a PDP, an OLED, and the like will be described as a substrate.

기판은 보통, 직사각형의 형태를 가지며 글라스(glass) 재질로 제작된다. 따라서 기판의 4군데 코너(모서리)에 대한 코너 가공(Corner Cut), 그리고 기판의 단변 및 장변의 에지에 대한 단변 에지 가공(Edge Cut) 및 장변 에지 가공(Edge Cut), 즉 기판의 코너 및 변에 대한 모따기 식의 면취 가공을 해야만 글라스 자체의 날카로움이 제거되어 공정간 이송 및 조작이 수월해지게 되고 안전사고를 미연에 예방할 수 있는데, 이러한 면취 가공을 위해 면취기가 사용된다.The substrate is usually rectangular in shape and made of glass. Thus, corner cuts on four corners (edges) of the substrate and edge cuts and edge cuts on the short and long edges of the substrate, i.e. the corners and sides of the substrate Only the chamfering process of the chamfering process can remove the sharpness of the glass itself, thus facilitating the transfer and operation between processes and preventing safety accidents. Chamfering machine is used for this chamfering process.

종래의 면취기 중에는 하나의 면취 가공용 휠(wheel)을 통해 기판에 대한 4군데 코너, 단변 에지 및 장변 에지를 모두 가공한 예가 있다. 하지만, 이처럼 하나의 면취 가공용 휠을 이용하여 4군데 코너, 단변 에지 및 장변 에지를 모두 가공하는 경우에는 연속 작업이 이루어질 수 없기 때문에 택트 타임(tact time)이 많이 소요되는 문제점이 있었다.In the conventional chamfering machine, there is an example in which all four corners, short edges, and long sides of the substrate are processed through one chamfering wheel. However, when machining all four corners, short edges and long edges by using one chamfering wheel as described above, there was a problem in that it takes a lot of tact time because continuous operation cannot be performed.

이에, 이러한 문제점을 고려하여, 기판에 대한 4군데 코너, 단변 에지 및 장변 에지를 연속적으로 가공할 수 있는 면취기가 개시된 바 있다.In view of this problem, a chamfering machine capable of continuously processing four corners, short edges, and long edges of a substrate has been disclosed.

도 1은 종래의 면취기에 대한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a conventional chamfering machine.

이 도면에 도시된 바와 같이, 종래의 면취기는, 기판(G)에 대한 면취 가공이 진행되는 면취 가공유닛(20)을 사이에 두고 양측에 배치되는 기판 로딩유닛(10)과, 기판 언로딩유닛(40)을 구비한다.As shown in this figure, the conventional chamfering machine, the substrate loading unit 10 and the substrate unloading unit which are disposed on both sides with the chamfering processing unit 20 in which the chamfering processing on the substrate (G) proceeds, 40.

면취 가공유닛(20)은, 기판(G)이 안착되되, 기판 로딩유닛(10)과 기판 언로딩유닛(40)을 연결하는 가상의 작업라인을 따라 직렬로 배치되는 제1 스테이지(21) 및 제2 스테이지(22)와, 제1 스테이지(21) 및 제2 스테이지(22)에 안착된 기판(G) 에 대한 얼라인(align)을 위한 제1 얼라인 카메라(25a) 및 제2 얼라인 카메라(25b)와, 제1 면취 가공용 휠(26a) 및 제2 면취 가공용 휠(26b)을 구비한다.Chamfering processing unit 20, the substrate (G) is seated, the first stage 21 is disposed in series along a virtual work line connecting the substrate loading unit 10 and the substrate unloading unit 40 and First alignment camera 25a and second alignment for aligning the second stage 22 and the substrate G seated on the first stage 21 and the second stage 22. The camera 25b, the 1st chamfering wheel 26a, and the 2nd chamfering wheel 26b are provided.

제1 얼라인 카메라(25a)와 제1 면취 가공용 휠(26a)은 기판(G)이 진행되는 방향을 따라 기판(G)의 전면 양측의 코너 가공, 단변 에지 가공, 그리고 후면 양측의 코너 가공을 담당하고, 제2 얼라인 카메라(25b)와 제2 면취 가공용 휠(26b)은 기판(G)의 장변 에지 가공을 담당한다.The first alignment camera 25a and the first chamfering wheel 26a perform corner processing on both sides of the front surface of the substrate G, short edge processing, and corner processing on both sides of the rear surface in the direction in which the substrate G travels. The 2nd alignment camera 25b and the 2nd chamfering wheel 26b are in charge of the long side edge process of the board | substrate G. As shown in FIG.

이러한 구성에 의해, 면취 가공 대상의 기판(G)이 기판 로딩유닛(10)으로부터 제1 스테이지(21)로 안착되면, 우선 제1 얼라인 카메라(25a)에 의해 촬영된 영상 정보에 기초하여 제1 스테이지(21)에 의하여 기판(G)이 정위치로 얼라인된다. 이후, 제1 스테이지(21)가 제1 면취 가공용 휠(26a)을 향해 이동하든지 아니면 제1 스테이지(21)에 대해 제1 면취 가공용 휠(26a)이 이동하는 동작에 기초하여, 기판(G)의 진행 방향에 대해 기판(G)의 전면 양측 코너, 단변 에지, 그리고 후면 양측의 코너가 각각 순차적으로 가공된다.With this configuration, when the substrate G to be chamfered is seated from the substrate loading unit 10 to the first stage 21, firstly, based on the image information photographed by the first alignment camera 25a, The substrate G is aligned to the right position by the first stage 21. Subsequently, the substrate G is based on an operation in which the first stage 21 moves toward the first chamfering wheel 26a or the first chamfering wheel 26a moves with respect to the first stage 21. The corners on both sides of the front side, the short side edges, and the corners on the rear side of the substrate G are sequentially processed with respect to the traveling direction of.

그런 다음, 별도의 픽업 로봇(pick up robot, 미도시)이 제1 스테이지(21) 상의 기판(G)을 픽업하여 실질적으로 90도 회전시킨 후 제2 스테이지(22) 상으로 옮긴다. 이후, 다시 제2 스테이지(22) 상에서 기판(G)의 정위치 얼라인 작업이 진행된 다음, 제2 면취 가공용 휠(26b)에 의해 기판(G)의 장변 에지가 가공되며, 최종적으로 면취 가공이 완료된 기판(G)은 기판 언로딩유닛(40)으로 취출된다.Then, a separate pick up robot (not shown) picks up the substrate G on the first stage 21, rotates it substantially 90 degrees, and moves it onto the second stage 22. Thereafter, after the alignment of the substrate G is performed on the second stage 22 again, the long side edge of the substrate G is processed by the second chamfering wheel 26b. The completed substrate G is taken out to the substrate unloading unit 40.

이러한 종래의 면취기는, 제2 스테이지(22) 상에서 기판(G)의 장변 에지를 가공할 때에 제1 스테이지(21)에서는 기판(G)의 전면 양측 코너, 단변 에지, 그리 고 후면 양측 코너를 가공할 수 있기 때문에, 하나의 면취 가공용 휠(미도시)을 구비한 면취기(미도시)에 비해서는 택트 타임을 감소시킬 수 있다. 다시 말해, 면취 가공유닛(20) 상에서 제1 스테이지(21) 및 제2 스테이지(22)가 직렬 배치되도록 구현함으로써 면취 가공 작업을 인라인화할 수 있어 택트 타임을 감소시킬 수 있게 되는 것이다.Such conventional chamfering machine processes the front side both corners, the short side edges, and the rear both side corners of the substrate G in the first stage 21 when processing the long side edge of the substrate G on the second stage 22. As a result, the tact time can be reduced compared to a chamfer (not shown) provided with one chamfering wheel (not shown). In other words, by implementing the first stage 21 and the second stage 22 in series on the chamfering processing unit 20, it is possible to inline the chamfering operation to reduce the tact time.

그런데, 이러한 종래의 면취기에 있어서는, 제1 스테이지(21)에서 제2 스테이지(22)로 기판(G)을 이송시키는 경우 반드시 픽업 로봇을 사용해야 하기 때문에 제2 스테이지(22) 상에서 기판(G)에 대한 얼라인 작업을 재차 진행해야 하며, 이러한 픽업 로봇에 의한 이송 시간 및 제2 스테이지(22) 상에서 기판(G)에 대한 얼라인 작업 소요 시간으로 인하여 택트 타임을 감소시키기에 다소 비효율적이라는 문제점이 있다.By the way, in the conventional chamfering machine, when transferring the substrate (G) from the first stage 21 to the second stage 22, a pickup robot must be used to the substrate (G) on the second stage (22) There is a problem in that the alignment operation for the substrate has to be performed again, and it is rather inefficient to reduce the tact time due to the transfer time by the pick-up robot and the alignment operation time for the substrate G on the second stage 22. .

또한 이러한 종래의 면취기에 있어서는, 제1 스테이지(21) 및 제2 스테이지(22), 그리고 제1 면취 가공용 휠(26a) 및 제2 면취 가공용 휠(26b)이 상호간 직렬 배치구조를 가지고 있기 때문에 어느 하나에 고장이 발생되면 전체 장비가 가동될 수 없는 문제점이 있어 생산성을 저하시키는 요인이 되고 있다.In the conventional chamfering machine, since the first stage 21 and the second stage 22 and the first chamfering wheel 26a and the second chamfering wheel 26b have mutually arranged arrangement structures, If a failure occurs in one, there is a problem that the entire equipment can not be operated is a factor that reduces the productivity.

이에, 본 출원인은 아직 공개되지는 않았지만, 기판 로딩유닛과 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인에 교차하는 방향으로 상호 이격되게 복수의 스테이지를 배치함으로써, 기판(G)에 대한 면취 가공 시 종래에 비해 택트 타임을 줄일 수 있으며, 나아가 복수의 스테이지(미도시) 및 복수의 면취 가공용 휠(미도시) 중 어느 하나에 고장이 발생되는 경우 전체 장비가 가동될 수 없는 종래의 면취기의 문제점을 개선하여 생산성을 향상시킬 수 있는 평면디스플레이용 면취기를 대한민국특허청에 출원한 바 있다.Accordingly, the present applicant has not been disclosed yet, but by arranging a plurality of stages spaced apart from each other in a direction crossing the virtual work line connecting the substrate loading unit and the substrate unloading unit, when the chamfering process for the substrate (G) Tact time can be reduced compared to the prior art, and furthermore, the problem of the conventional chamfer that the entire equipment can not be operated in the event of failure of any one of a plurality of stages (not shown) and a plurality of chamfering wheels (not shown) Has been filed with the Korean Patent Office for the flat surface chamfering device that can improve the productivity by improving the.

그런데, 지난번 출원된 기술의 경우에는, 도 1에 도시된 종래기술에 비해 그 택트 타임을 현저히 줄일 수 있기는 하지만, 기판의 4군데 모서리에 대한 코너 가공, 단변 에지 가공 및 장변 에지 가공을 위해 면취 가공용 휠이 동작되는 과정에서 불가피하게 기판이 대기해야 하는 시간이 존재한다.By the way, in the case of the technique filed last time, the tact time can be significantly reduced compared to the conventional technique shown in Fig. 1, but chamfered for corner processing, short side edge processing and long side edge processing for four corners of the substrate. There is an unavoidable time for the substrate to wait in the course of operating the machining wheel.

즉, 기판에 대한 면취 가공은, 기판의 전면 양측의 코너 가공, 기판의 단변 에지 가공, 기판의 후면 양측의 코너 가공, 기판 회전 후 기판의 장변 에지 가공의 순서로 진행되는데, 코너 가공에서 에지 가공으로 전환될 때 또는 그 역으로 전환될 때 면취 가공용 휠이 정렬되어야 하는 시간동안 기판이 대기해야 하는 시간이 존재함에 따라 그러한 대기 시간을 줄임으로써 택트 타임을 더 줄일 필요가 있는 실정이다.In other words, the chamfering process for the substrate proceeds in the order of corner processing on both sides of the front surface of the substrate, short edge processing of the substrate, corner processing on both sides of the rear surface of the substrate, and long side edge processing of the substrate after the rotation of the substrate. There is a need to further reduce the tact time by reducing such waiting time as there is a time during which the substrate has to wait for the time that the chamfering wheel is to be aligned when switching to and vice versa.

본 발명의 목적은, 면취 가공 작업 시 소요되는 택트 타임(tact time)을 종래보다 더 감소시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 평면디스플레이용 면취기 및 그 면취 가공방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a flat display chamfering machine and a chamfering processing method that can reduce the tact time required during the chamfering operation can improve the productivity.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판 로딩유닛(loading unit)과 기판 언로딩유닛(unloading unit) 사이에 마련되어 상기 기판의 코너 및 변에 대한 면취 가공 을 진행하는 면취 가공유닛을 포함하며, 상기 면취 가공유닛은, 상면으로 기판이 안착 지지되는 적어도 하나의 스테이지; 및 상기 기판의 제1 변 에지에 대한 면취 가공을 진행하는 제1 면취 가공용 휠과, 상기 제1 면취 가공용 휠에 대해 상호 이격배치되고 상기 기판의 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공을 진행하는 제2 면취 가공용 휠을 구비한 그라인더를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기에 의해 달성된다.The object includes, according to the present invention, a chamfering processing unit provided between a substrate loading unit and a substrate unloading unit to chamfer the corners and sides of the substrate. The processing unit includes at least one stage on which a substrate is seated and supported by an upper surface thereof; And a first chamfering wheel for chamfering the edge of the first side of the substrate and a first chamfering wheel and a first chamfering process for chamfering the corners on both sides of the first surface of the substrate. It is achieved by a chamfering machine for a flat display comprising a grinder having a wheel for chamfering.

여기서, 상기 제1 면취 가공용 휠과 상기 제2 면취 가공용 휠은 상기 기판 로딩유닛과 상기 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인을 따라 상호 이격배치될 수 있다.Here, the first chamfering wheel and the second chamfering wheel may be spaced apart from each other along a virtual work line connecting the substrate loading unit and the substrate unloading unit.

상기 제1 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 변 에지에 대한 면취 가공 시 상기 제2 면취 가공용 휠이 상기 기판의 제1 면 양측 코너의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 상기 제2 면취 가공용 휠을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.The second chamfering wheel is moved so that the second chamfering wheel moves to a working position for chamfering of corners on both sides of the first surface of the substrate when chamfering the first edge of the edge by the first chamfering wheel. The control unit may further include a control unit.

상기 제1 면취 가공용 휠은 상기 기판의 제2 면 양측 코너에 대한 면취 가공을 진행하고, 상기 제2 면취 가공용 휠은 상기 기판의 제2 변 에지에 대한 면취 가공을 진행할 수 있으며, 상기 제어부는, 상기 제1 면취 가공용 휠에 의한 상기 제2 면 양측 코너에 대한 면취 가공 시 상기 제2 면취 가공용 휠이 상기 제2 변 에지의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 상기 제2 면취 가공용 휠을 제어할 수 있다.The first chamfering wheel may be chamfered to the corners on both sides of the second surface of the substrate, and the second chamfering wheel may be chamfered to the edges of the second sides of the substrate. The second chamfering wheel may be controlled to move the second chamfering wheel to a working position for chamfering of the second side edge when chamfering the corners of both sides of the second surface by the first chamfering wheel. Can be.

상기 기판의 제1 변 및 제2 변은 상기 기판의 양측 단변 및 양측 장변이고, 상기 기판의 제1 면 및 제2 면은 상기 기판의 전면 양측 코너 및 후면 양측 코너일 수 있으며, 상기 2개의 제1 면취 가공용 휠과 상기 2개의 제2 면취 가공용 휠 각각은, Z축을 따라 외주면의 일 영역이 상호 중첩되게 배치되어 상기 기판의 전면 양측 코너, 상기 기판의 후면 양측 코너, 상기 기판의 단변 에지 및 상기 기판의 장변 에지를 모두 가공하는 다수의 멀티 휠(multi wheel)에 의해 마련될 수 있다.The first and second sides of the substrate may be both short sides and both long sides of the substrate, and the first and second sides of the substrate may be front and side corners and rear and rear corners of the substrate, respectively. Each of the first chamfering wheel and the two second chamfering wheels is disposed such that one region of the outer circumferential surface overlaps each other along the Z-axis so that both front corners of the front surface of the substrate, rear corners of the rear surface of the substrate, short edges of the substrate, and the It may be provided by a plurality of multi wheels for processing all the long edges of the substrate.

상기 제어부는, 상기 제1 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 변 에지에 대한 면취 가공 시 상기 제2 면취 가공용 휠이 상기 기판의 제1 면 양측 코너의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 제어할 수 있다.The control unit may control the second chamfering wheel to move to a work position for chamfering of corners on both sides of the first surface of the substrate when chamfering the first side edge by the first chamfering wheel. have.

상기 제어부는, 상기 제2 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공 시 상기 제1 면취 가공용 휠이 상기 제1 변 에지의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 제어할 수 있다.The controller may control the first chamfering wheel to move to a work position for chamfering the first side edges when chamfering the corners of both sides of the first surface by the second chamfering wheel.

상기 그라인더는 상기 스테이지에 안착된 상기 기판의 얼라인(align) 작업을 위한 얼라인 카메라를 더 포함할 수 있으며, 상기 적어도 하나의 스테이지는, 상기 기판 로딩유닛과 상기 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인인 X축에 가로로 배치되는 가상의 Y축을 따라 마련되는 두 개의 제1 및 제2 스테이지일 수 있으며, 상기 그라인더는 상기 제1 및 제2 스테이지 각각에 공유되는 공유 그라인더일 수 있으며, 상기 얼라인 카메라, 상기 제1 면취 가공용 휠, 그리고 상기 제2 면취 가공용 휠은 상기 스테이지 하나에 대해 2개씩 마련될 수 있다.The grinder may further include an alignment camera for aligning the substrate mounted on the stage, and the at least one stage may be configured to connect the substrate loading unit and the substrate unloading unit. May be two first and second stages disposed along a virtual Y axis arranged horizontally on an X axis, which is a work line of the work line, and the grinder may be a shared grinder shared by each of the first and second stages. The alignment camera, the first chamfering wheel, and the second chamfering wheel may be provided two by one for the stage.

상기 그라인더는, 상기 2개의 얼라인 카메라가 상기 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 상기 2개의 얼라인 카메라를 이동 가능하게 지지하는 카 메라 이동지지부; 상기 2개의 제1 면취 가공용 휠이 상기 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 상기 2개의 제1 면취 가공용 휠을 이동 가능하게 지지하는 제1 휠 이동지지부; 및 상기 2개의 제2 면취 가공용 휠이 상기 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 상기 2개의 제2 면취 가공용 휠을 이동 가능하게 지지하는 제2 휠 이동지지부를 더 포함할 수 있다.The grinder may include: a camera moving support unit movably supporting the two alignment cameras such that the two alignment cameras can be moved individually or collectively along the Y axis; A first wheel movement support part for movably supporting the two first chamfering wheels so that the two first chamfering wheels can be moved individually or collectively along the Y axis; And a second wheel moving support part for movably supporting the two second chamfering wheels so that the two second chamfering wheels can be moved individually or collectively along the Y axis.

상기 그라인더는, 상기 제1 휠 이동지지부에 결합되어 상기 2개의 제1 면취 가공용 휠을 Z축으로 승하강시키는 제1 휠 승하강부; 및 상기 제2 휠 이동지지부에 결합되어 상기 2개의 제2 면취 가공용 휠을 Z축으로 승하강시키는 제2 휠 승하강부를 더 포함할 수 있다.The grinder may include: a first wheel elevating unit coupled to the first wheel moving support and configured to elevate the two first chamfering wheels on a Z axis; And a second wheel elevating unit coupled to the second wheel moving support unit for elevating the two second chamfering wheels on the Z axis.

상기 스테이지는, 상기 기판을 흡착하여 회전시키는 적어도 하나의 턴테이블; 및 상기 턴테이블의 외곽에 배치되어 상기 턴테이블과 함께 상기 기판을 흡착하여 지지하며, 상기 기판 사이즈에 대응할 수 있도록 상기 턴테이블에 대해 접근 및 이격 가능한 다수의 가변테이블을 포함할 수 있다.The stage includes: at least one turntable for sucking and rotating the substrate; And a plurality of variable tables disposed at an outer side of the turntable to adsorb and support the substrate together with the turntable, and accessible and spaced apart from the turntable so as to correspond to the substrate size.

상기 가변테이블은 상면이 원 형상을 갖는 상기 턴테이블의 외곽에서 상호간 대칭되게 4개 마련될 수 있으며, 상기 가변테이블의 측면에는 상기 가변테이블이 상기 턴테이블에 접근될 때 상기 턴테이블에 충돌되는 것을 저지시키는 절개부가 형성될 수 있으며, 상기 턴테이블과 상기 가변테이블의 표면에는 상기 기판의 진공 흡착을 위한 다수의 진공홀과, 상기 다수의 진공홀의 주변에 마련되며 상기 턴테이블과 상기 가변테이블의 표면으로부터 하방으로 일정 깊이 함몰된 상태에서 일정한 형상의 라인을 이루어 상기 기판에 대한 진공 흡착 면적을 배가시키는 진공 흡착 라인홈이 형성될 수 있다.Four variable tables may be provided symmetrically with each other at an outer surface of the turntable having a circular shape, and a side of the variable table may have an incision that prevents the variable table from colliding with the turntable when approaching the turntable. The turntable and the variable table may have a plurality of vacuum holes for vacuum adsorption of the substrate, and a plurality of vacuum holes provided around the plurality of vacuum holes, and may have a predetermined depth downward from the surfaces of the turntable and the variable table. A vacuum suction line groove may be formed by forming a line having a predetermined shape in the recessed state to double the vacuum suction area of the substrate.

상기 기판 로딩유닛과 상기 면취 가공유닛 사이 영역, 그리고 상기 면취 가공유닛과 상기 기판 언로딩유닛 사이 영역에 각각 마련되어 X축, Y축 및 Z축으로 이동하면서 상기 기판을 이송하는 트랜스퍼를 더 포함할 수 있으며, 상기 트랜스퍼는, 상기 기판의 양측면에 접촉된 상태에서 상기 기판의 하면을 부분적으로 떠받쳐 상기 기판을 파지하는 다수의 기본파지유닛; 및 상기 기본파지유닛의 주변에 마련되며, 상기 기판의 이송 과정 중에 상기 기판이 상기 기본파지유닛으로부터 이탈되는 것을 저지하는 안전파지유닛을 포함할 수 있다.The substrate loading unit and the chamfering processing unit, and the chamfering processing unit and the substrate unloading unit, respectively provided in the region of the X-axis, Y-axis and Z-axis transfer to transfer the substrate may be further included. The transfer device includes: a plurality of basic gripping units holding the substrate by partially supporting a lower surface of the substrate in contact with both side surfaces of the substrate; And a safety gripping unit provided around the basic gripping unit to prevent the substrate from being separated from the basic gripping unit during the transfer of the substrate.

상기 다수의 기본파지유닛은 상호간 접근 및 이격 가능하도록 상기 기판의 양측면에 2개씩 4개 마련될 수 있으며, 상기 안전파지유닛은 상기 기판이 이송되는 방향에 대해 상기 기판의 일측 전면과 하면을 지지할 수 있도록 해당 위치에서 회동 가능하게 마련될 수 있다.The plurality of basic gripping units may be provided in two on each side of the substrate so as to be accessible and spaced apart from each other, the safety gripping unit is to support the front and bottom of one side of the substrate in the direction in which the substrate is transported. It can be provided so that it can be rotated at the position.

상기 기판 언로딩유닛에 마련되어 면취 가공이 완료된 기판에 대한 면취량을 측정하는 면취량 측정유닛을 더 포함할 수 있다.It may further include a chamfering measurement unit provided in the substrate unloading unit for measuring the chamfering amount for the substrate chamfering is completed.

상기 제2 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공 시 상기 제1 면취 가공용 휠이 상기 제1 변 에지의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 상기 제1 면취 가공용 휠을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.Controlling the first chamfering wheel to move the first chamfering wheel to a working position for chamfering of the first side edge when chamfering the corners of both sides of the first surface by the second chamfering wheel; The control unit may further include.

한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 제1 면취 가공용 휠에 의해 기판의 제1 변 에지가 면취 가공되는 단계; 및 상기 제1 면취 가공용 휠에 대해 상호 이격배치된 제2 면취 가공용 휠에 의해 상기 기판의 제1 면 양측 코너가 면취 가공되는 단 계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취 가공방법에 의해서도 달성된다.On the other hand, the above object, according to the present invention, the step of the first side edge of the substrate is chamfered by the first chamfering wheel; And a step of chamfering the corners of both sides of the first surface of the substrate by the second chamfering wheels spaced apart from each other with respect to the first chamfering wheels. do.

여기서, 상기 제1 면취 가공용 휠에 의해 상기 기판의 제2 면 양측 코너가 면취 가공되는 단계를 더 포함할 수 있다.Here, the method may further include chamfering the corners on both sides of the second surface of the substrate by the first chamfering wheel.

상기 기판이 회전되는 단계; 및 상기 제2 면취 가공용 휠에 의해 상기 기판의 제2 변 에지가 면취 가공되는 단계를 더 포함할 수 있다.Rotating the substrate; And chamfering the second side edge of the substrate by the second chamfering wheel.

상기 제1 변 및 상기 제2 변은 상기 기판의 양측 단변 및 양측 장변이고, 상기 제1 면 및 상기 제2 면은 상기 기판의 전면 양측 코너 및 후면 양측 코너일 수 있다.The first side and the second side may be both short sides and both long sides of the substrate, and the first and second surfaces may be front corners and rear corners of the substrate.

상기 제1 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 변 에지에 대한 면취 가공 시 상기 제2 면취 가공용 휠이 상기 기판의 제1 면 양측 코너의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하는 단계를 더 포함할 수 있다.The second chamfering wheel may be moved to a work position for chamfering of corners on both sides of the first surface of the substrate when chamfering the first side edge by the first chamfering wheel. .

상기 제2 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공 시 상기 제1 면취 가공용 휠이 상기 제1 변 에지의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하는 단계를 더 포함할 수 있다.The first chamfering wheel may be moved to a work position for chamfering the first edge of the first chamfered edge when the chamfering process is performed on both side corners of the first surface by the second chamfering wheel.

본 발명에 따르면, 면취 가공 작업 시 소요되는 택트 타임(tact time)을 종래보다 더 감소시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, it is possible to further reduce the tact time required during the chamfering operation than in the prior art can improve the productivity.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by explaining preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 2는 면취 가공되는 부분을 설명하기 위한 기판의 사시도이다.2 is a perspective view of a substrate for explaining a portion to be chamfered.

도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 기판이라 함은 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) 기판을 의미하지만, 본 발명의 권리범위가 이제 제한되는 것은 아니므로 플라즈마 디스플레이 기판(PDP, Plasma Display Panel), 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes), 태양전지(SOLAR CELL) 등의 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)에도 적용될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위해 TFT-LCD 기판을 그 예로 하여 설명하기로 한다.Prior to the description with reference to the drawings, the substrate to be described below means a TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display) substrate, but since the scope of the present invention is not limited to the plasma display substrate (PDP, Plasma) It can also be applied to flat panel displays (FPDs) such as display panels, organic light emitting diodes (EL), and solar cells. However, hereinafter, the TFT-LCD substrate will be described as an example for convenience of description.

참고로, TFT-LCD 기판(G1)은, 액정을 사이에 두고 상판과 하판이 합착된 상태의 두 겹으로 제작되며, 하판의 상면에는 상판이 중첩되지 않은 구간이 존재하는 것이 보통이다. 하지만, 도 2에서는 도시 및 설명의 편의를 위해 TFT-LCD 기판(G1)을 대략 사각 판 형태로 개략적으로 도시하고 있다.For reference, the TFT-LCD substrate G1 is made of two layers in which a top plate and a bottom plate are bonded together with a liquid crystal interposed therebetween, and a section in which the top plate does not overlap is usually present on the top surface of the bottom plate. However, in FIG. 2, the TFT-LCD substrate G1 is schematically illustrated in an approximately rectangular plate shape for convenience of illustration and description.

이 도면을 참조할 때, 본 실시예의 면취기를 통해 기판(G1)은 4군데 코너, 즉 전면 양측 코너(확대 A 참조) 및 후면 양측 코너(확대 B 참조), 그리고 양측 단변 에지(확대 C 참조) 및 양측 장변 에지(확대 D 참조)가 면취 가공된다.Referring to this figure, through the chamfering of the present embodiment, the substrate G1 has four corners, namely, both front corners (see enlarged A) and rear both corners (see enlarged B), and both short side edges (see enlarged C). And both long side edges (see enlarged D) are chamfered.

자세히 후술하겠지만, 본 실시예에서 면취 가공방법은, 기판(G1)의 단변 에 지 가공, 기판(G1)의 전면 양측 코너 가공, 기판(G1)의 후면 양측 코너 가공, 그리고 기판(G1)의 장변 에지 가공의 순서를 따른다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로, 택트 타임(tact time)을 감소시킬 수만 있다면 면취 가공의 순서는 해당 제조사의 공정 상황에 맞게 충분히 변경될 수 있다.As will be described later in detail, the chamfering method in the present embodiment, the short edge edge processing of the substrate G1, the front side corner processing of the front surface of the substrate G1, the both sides corner processing of the rear surface of the substrate G1, and the long side of the substrate G1 Follow the order of edge machining. However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the order of chamfering may be sufficiently changed according to the manufacturing process of the manufacturer as long as it can reduce the tact time.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취기에 대한 개략적인 평면도이고, 도 4 및 도 5는 각각 도 3의 부분 확대 사시도이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취 가공방법의 플로차트이고, 도 7의 (a) 내지 (f)는 평면디스플레이용 면취 가공방법을 단계적으로 도시한 구성도이다.3 is a schematic plan view of a chamfering device for a flat display according to an embodiment of the present invention, FIGS. 4 and 5 are partially enlarged perspective views of FIG. 3, and FIG. 6 is a planar display according to an embodiment of the present invention. It is a flowchart of the chamfering processing method, and FIG. 7 (a)-(f) are the block diagrams which showed the chamfering processing method for a flat display step by step.

이들 도면을 참조하되 주로 도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취기는, 면취 가공 대상의 기판(G1)이 로딩(loading)되는 기판 로딩유닛(210)과, 기판(G1)에 대한 면취 가공이 진행되는 면취 가공유닛(220)과, 면취 가공이 완료된 기판(G2)이 언로딩(unloading)되는 기판 언로딩유닛(240)을 구비한다.3 to 5, the planar display chamfering device according to an embodiment of the present invention includes a substrate loading unit 210 on which a substrate G1 of a chamfering processing object is loaded. , A chamfering processing unit 220 in which chamfering is performed on the substrate G1, and a substrate unloading unit 240 in which the chamfering processing is completed, and the substrate G2 is unloaded.

기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240) 모두는, 기판(G1,G2)을 이송시키는 역할을 하므로 도시된 바와 같이, 롤러 타입(roller type)으로 적용될 수 있다. 즉, 기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)은, 다수의 회전축(211,241) 각각에 기판(G1,G2)을 회전 가능하게 지지하는 다수의 롤러(212,242)가 결합된 구조를 가질 수 있다.Since both the substrate loading unit 210 and the substrate unloading unit 240 serve to transfer the substrates G1 and G2, the substrate loading unit 210 and the substrate unloading unit 240 may be applied as a roller type. That is, the substrate loading unit 210 and the substrate unloading unit 240 may have a structure in which a plurality of rollers 212 and 242 rotatably supporting the substrates G1 and G2 are respectively coupled to the plurality of rotation shafts 211 and 241. Can be.

하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)은, 통상의 컨베이어 타입(conveyor type)이나 스 테이지 타입(stage type)으로 대체되어도 무방하다. 이처럼 기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)이 컨베이어 타입이나 스테이지 타입으로 적용되는 경우에는 기판(G1,G2)을 업(up)시키기 위한 공기부상모듈(미도시)이 함께 적용되는 것이 유리할 것이다.However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the substrate loading unit 210 and the substrate unloading unit 240 may be replaced with a conventional conveyor type or a stage type. Do. As such, when the substrate loading unit 210 and the substrate unloading unit 240 are applied as a conveyor type or a stage type, an air floating module (not shown) for applying up the substrates G1 and G2 is applied together. Would be advantageous.

다수의 롤러(212,242)는 기판(G1,G2)에 스크래치가 발생되지 않도록 유연한 재질로 제작되는 것이 바람직하다. 그리고 다수의 회전축(211,241)은 그 회전 속도의 제어가 용이하도록 단일의 모터에 의해 일괄적으로 함께 회전될 수 있지만, 반드시 그러한 것은 아니므로 개별모터에 의해 다수의 회전축(211,241) 각각이 개별적으로 회전되도록 할 수도 있다.The plurality of rollers 212 and 242 is preferably made of a flexible material so that scratches do not occur on the substrates G1 and G2. The plurality of rotating shafts 211 and 241 may be rotated together by a single motor to facilitate the control of the rotational speed. However, the plurality of rotating shafts 211 and 241 each rotate by the individual motor separately. You can also

기판 로딩유닛(210)에는 진입되는 기판(G1)에 대해 얼라인(align) 작업을 진행하는 얼라인부(215)가 마련되어 있다. 얼라인부(215)는 상호간 접근 및 이격되는 동작에 의해 기판(G1)의 양측면을 가압함으로써 기판(G1)을 바르게 정렬시키는 역할을 한다.The substrate loading unit 210 is provided with an alignment unit 215 for performing an alignment operation on the substrate G1 to be entered. The alignment unit 215 serves to align the substrate G1 correctly by pressing both sides of the substrate G1 by an operation of approaching and separating each other.

이러한 기판 로딩유닛(210)에는 기판 언로딩유닛(240)과는 달리 기판(G1)이 진입되는 방향을 따라 다수의 진입감지센서(214)가 더 마련되어 있다. 다수의 진입감지센서(214)는 기판(G1)의 진입 위치에 기초하여 회전축(211)의 속도를 줄이거나 정지시키기 위한 감지 신호를 발생시킨다.Unlike the substrate unloading unit 240, the substrate loading unit 210 further includes a plurality of entrance detection sensors 214 along the direction in which the substrate G1 enters. The plurality of entrance detection sensors 214 generates a detection signal for reducing or stopping the speed of the rotation shaft 211 based on the entry position of the substrate G1.

기판 언로딩유닛(240)에는 면취량 측정유닛(250)이 더 마련되어 있다. 면취량 측정유닛(250)은 면취 가공유닛(220)을 통해 면취 가공이 완료된 기판(G2)에 대한 면취량을 측정하는 역할을 한다.The substrate unloading unit 240 is further provided with a chamfering measurement unit 250. Chamfering measurement unit 250 serves to measure the chamfering for the substrate (G2) is completed chamfering processing through the chamfering processing unit 220.

면취량 측정유닛(250)에 의해 면취량이 측정된 기판(G2)에 대하여, 만약 잘못 면취된 경우이거나 면취량이 기준치 미만인 경우라면 해당 기판은 파기되거나 혹은 면취 가공용 휠(225,227) 쪽으로 피드백되어 면취량이 보정되어 가공이 진행될 수 있다. 본 실시예에서는 면취량 측정유닛(250)이 기판 언로딩유닛(240)에 마련되어 있지만 경우에 따라 면취량 측정유닛(250)은 면취 가공유닛(220)에 마련될 수도 있다.With respect to the substrate G2 whose chamfering amount is measured by the chamfering measuring unit 250, if the chamfering is erroneously or if the chamfering amount is less than the reference value, the substrate is destroyed or The chamfering amount is fed back toward the chamfering wheels 225 and 227 so that the machining may proceed. In the present exemplary embodiment, the chamfering measurement unit 250 is provided in the substrate unloading unit 240, but in some cases, the chamfering measurement unit 250 may be provided in the chamfering processing unit 220.

기판 로딩유닛(210)과 기판 언로딩유닛(240)에는, 다수의 롤러(212,242)에 대하여 기판(G1,G2)을 소정 높이 업(up)시키는 다수의 리프트 핀(213,243)이 다수의 롤러(212,242) 사이사이에 더 마련되어 있다.In the substrate loading unit 210 and the substrate unloading unit 240, a plurality of lift pins 213 and 243 for raising a predetermined height up the substrates G1 and G2 with respect to the plurality of rollers 212 and 242 are provided with a plurality of rollers ( It is further provided between 212 and 242.

이러한 리프트 핀(213,243)들은, 기판 로딩유닛(210)과 면취 가공유닛(220) 사이 영역, 그리고 면취 가공유닛(220)과 기판 언로딩유닛(240) 사이 영역에 마련되어 해당 위치에서 기판(G1,G2)을 이송시키는 트랜스퍼(280a,280b)의 동작에 연동하여 동작된다. 즉, 리프트 핀(213,243)들은 트랜스퍼(280a,280b)가 기판 로딩유닛(210)에서 면취 가공유닛(220)으로, 혹은 면취 가공유닛(220)에서 기판 언로딩유닛(240)으로 기판(G1,G2)을 이송시킬 때 업(up)되는 동작을 보인다.The lift pins 213 and 243 are provided in an area between the substrate loading unit 210 and the chamfering processing unit 220, and an area between the chamfering processing unit 220 and the substrate unloading unit 240. G2) is operated in conjunction with the operation of the transfer (280a, 280b) for feeding. That is, the lift pins 213 and 243 may have transfers 280a and 280b from the substrate loading unit 210 to the chamfering processing unit 220 or from the chamfering processing unit 220 to the substrate unloading unit 240. When the G2) is transferred, the operation is up.

면취 가공유닛(220)의 설명에 앞서, 트랜스퍼(280a,280b)에 대해 먼저 설명하도록 한다.Prior to the description of the chamfering processing unit 220, the transfer (280a, 280b) will be described first.

전술한 바와 같이, 트랜스퍼(280a,280b)는 기판 로딩유닛(210)과 면취 가공유닛(220) 사이 영역, 그리고 면취 가공유닛(220)과 기판 언로딩유닛(240) 사이 영역에 마련되어 기판 로딩유닛(210) 상의 기판(G1)을 제1 및 제2 스테이 지(260a,260b)로, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 상의 기판(G2)을 기판 언로딩유닛(240)으로 이송시키는 역할을 한다.As described above, the transfers 280a and 280b are provided in the region between the substrate loading unit 210 and the chamfering processing unit 220 and the region between the chamfering processing unit 220 and the substrate unloading unit 240. The substrate G1 on the 210 is transferred to the first and second stages 260a and 260b and the substrate G2 on the first and second stages 260a and 260b to the substrate unloading unit 240. Play a role.

본 실시예에서, 기판 로딩유닛(210)과 면취 가공유닛(220) 사이 영역, 그리고 면취 가공유닛(220)과 기판 언로딩유닛(240) 사이 영역에 마련되어 있는 트랜스퍼(280a,280b)의 구조 및 동작은 모두 동일하다. 이에, 도시 및 설명의 편의를 위해 트랜스퍼(280a,280b)의 세부 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 한다.In this embodiment, the structure of the transfer (280a, 280b) provided in the region between the substrate loading unit 210 and the chamfering processing unit 220, and the region between the chamfering processing unit 220 and the substrate unloading unit 240 and The operations are all the same. Accordingly, for the convenience of illustration and description, the same reference numerals are given to detailed configurations of the transfers 280a and 280b.

트랜스퍼(280a,280b)는, 기판(G1,G2)의 양측면에 접촉된 상태에서 기판(G1,G2)의 하면을 부분적으로 떠받쳐 기판(G1,G2)을 파지하는 다수의 기본파지유닛(281)과, 기본파지유닛(281)의 주변에 마련되며 기판(G1,G2)의 이송 과정 중에 기판(G1,G2)이 기본파지유닛(281)으로부터 이탈되는 것을 저지하는 안전파지유닛(285)을 구비한다.The transfer members 280a and 280b partially support the lower surfaces of the substrates G1 and G2 while being in contact with both sides of the substrates G1 and G2 to hold the substrates G1 and G2. And a safety gripping unit 285 provided around the basic gripping unit 281 and preventing the substrates G1 and G2 from being separated from the basic gripping unit 281 during the transfer process of the substrates G1 and G2. Equipped.

본 실시예에서 기본파지유닛(281)은 기판(G1,G2)의 양측면에 2개씩 4개 마련되고, 안전파지유닛(285)은 기판(G1,G2)이 이송되는 방향에 대해 기판(G1,G2)의 일측 전면과 하면을 지지할 수 있도록 해당 위치에서 회동 가능하게 1개 마련된다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니다.In the present exemplary embodiment, four basic gripping units 281 are provided on both sides of the substrates G1 and G2, and the safety gripping units 285 are provided with the substrates G1 and G2 in the direction in which the substrates G1 and G2 are transferred. One side of the G2) is rotatably provided at the position to support the front and lower surfaces. However, the scope of the present invention is not limited thereto.

그리고 다양한 사이즈(size)의 기판을 모두 파지할 수 있도록, 특히 기본파지유닛(281)은 상호간 접근 및 이격 가능하도록 마련되는데, 이 외에도 트랜스퍼(280a,280b) 자체는 기판 로딩유닛(210) 상의 기판(G1)을 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)로, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 상의 기판(G2)을 기판 언로딩유 닛(240)으로 이송시키기 위해 X축, Y축 및 Z축으로 이동 가능하게 마련된다. 이를 위해, 트랜스퍼(280a,280b)는 X축 구동부(291), Y축 구동부(293) 및 Z축 구동부(294)를 더 구비한다. X축 구동부(291), Y축 구동부(293) 및 Z축 구동부(294)는 리니어 모터나 실린더, 혹은 모터 및 볼스크루 조합 등의 구조에 의해 구현될 수 있는데, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.In addition, in order to hold all substrates of various sizes, the basic gripping units 281 are provided to be accessible and spaced apart from each other. In addition, the transfers 280a and 280b themselves are substrates on the substrate loading unit 210. X-axis, Y to transfer G1 to the first and second stages 260a and 260b and the substrate G2 on the first and second stages 260a and 260b to the substrate unloading unit 240. It is provided so that a movement to an axis and a Z axis is possible. To this end, the transfers 280a and 280b further include an X-axis driver 291, a Y-axis driver 293, and a Z-axis driver 294. The X-axis driver 291, the Y-axis driver 293, and the Z-axis driver 294 may be implemented by a structure such as a linear motor, a cylinder, or a combination of a motor and a ball screw, but a detailed description thereof will be omitted. do.

한편, 면취 가공유닛(220)은, 실질적으로 기판 로딩유닛(10)으로부터 제공된 기판(G1)의 4군데 코너, 기판(G1)의 단변 에지 및 기판(G1)의 장변 에지에 대한 면취 가공을 진행하는 부분이다(도 2 참조).On the other hand, the chamfering processing unit 220 substantially chamfers the four corners of the substrate G1 provided from the substrate loading unit 10, the short side edges of the substrate G1, and the long side edges of the substrate G1. (See FIG. 2).

앞서도 기술한 바와 같이, 본 실시예의 경우에는 기판(G1)의 양측 단변 에지 가공, 기판(G1)의 전면 양측 코너 가공, 기판(G1)의 후면 양측 코너 가공, 그리고 기판(G1)의 양측 장변 에지 가공의 순서로 면취 가공이 진행되므로 이의 순서를 토대로 설명하기로 한다.As described above, in the present embodiment, both side short edge edge processing of the substrate G1, both sides corner processing of the front surface of the substrate G1, both sides corner processing of the rear surface of the substrate G1, and both side long edges of the substrate G1. Since the chamfering process proceeds in the order of processing will be described based on the order thereof.

앞서도 기술한 바와 같이, 면취 가공방법 중에는, 코너 가공에서 에지 가공으로 전환되거나 또는 그 역으로 전환되는 상황이 존재하는데, 이 경우에 종래와 같이 면취 가공용 휠(미도시)이 정렬되어야 하는 등의 이유로 기판(G1)이 면취 가공을 연속적으로 진행하지 못하고 잠시나마 대기해야 한다면 그만큼 택트 타임이 증가할 수밖에 없다. 이에, 본 실시예에서는 비록 짧은 시간일지언정 면취 가공이 연속적으로 진행되지 못하고 기판(G1)이 대기해야 하는 시간적인 로스(loss) 발생을 근본적으로 차단함으로써 종래보다 택트 타임을 더 줄이고 생산성을 향상시킬 수 있도록 하고 있는 것이다.As described above, in the chamfering processing method, there is a situation in which the corner processing is switched from edge processing to vice versa or vice versa, in which case the chamfering wheel (not shown) must be aligned as in the prior art. If the board | substrate G1 does not continue to chamfer continuously and needs to wait for a while, the tact time will inevitably increase by that much. Thus, in the present embodiment, even though a short time, the chamfering processing is not continuously progressed, and by fundamentally blocking the time loss generation that the substrate G1 has to wait, the tact time can be further reduced and the productivity can be improved. I'm doing it.

이를 위해, 본 실시예의 면취 가공유닛(220)은, 상면으로 기판(G1)이 안착 지지되는 2개의 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)와, X축을 따라 상호 이격되게 배치되는 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 구비한 그라인더(221)를 포함한다.To this end, the chamfering processing unit 220 of the present embodiment, the first and second stages 260a and 260b on which the substrate G1 is seated and supported on the upper surface, and the first and second spaced apart along the X axis. And a grinder 221 having second chamfering wheels 225 and 227.

본 실시예에서 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 Y축을 따라 2개 마련된다. 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 면취 가공 작업을 각각 병렬적으로 진행하기 때문에 그만큼 택트 타임이 감소되어 생산성이 향상될 수 있다.In the present embodiment, two first and second stages 260a and 260b are provided along the Y axis. Since the first and second stages 260a and 260b respectively proceed in the chamfering operation in parallel, the tact time can be reduced, thereby improving productivity.

하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 하나의 스테이만이 구비될 수도 있고, 혹은 3개 이상의 스테이지가 구비될 수도 있다. 다만, 3개 이상의 스테이지가 구비되는 경우, 이들이 Y축을 따라 병렬 배치구조를 갖는다면 그것으로 충분하다.However, since the scope of the present invention is not limited thereto, only one stay may be provided, or three or more stages may be provided. However, when three or more stages are provided, it is sufficient if they have a parallel arrangement along the Y axis.

앞서 기술한 트랜스퍼(280a,280b)와 마찬가지로, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 역시 그 위치만이 상이할 뿐 구조 및 동작은 모두 동일하다. 이에, 도시 및 설명의 편의를 위해 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)의 세부 구성에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하도록 한다.Like the transfers 280a and 280b described above, the first and second stages 260a and 260b have the same structure and operation, but only in their positions. Accordingly, for the convenience of illustration and description, the same reference numerals are given to detailed configurations of the first and second stages 260a and 260b.

제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 대해 간략하게 살펴보면, 본 실시예의 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 다양한 사이즈(size)의 기판에 혼용으로 적용될 수 있는 구조를 가지고 있다.Briefly referring to the first and second stages 260a and 260b, the first and second stages 260a and 260b of the present exemplary embodiment may have a structure that may be mixedly applied to substrates of various sizes.

즉, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 각각은, 기판(G1)을 흡착하여 회전시키는 하나의 턴테이블(261)과, 턴테이블(261)의 외곽에 배치되어 턴테이블(261)과 함께 기판(G1)을 흡착하여 지지하며 다양한 사이즈의 기판 모두에 대응할 수 있도록 턴테이블(261)에 대해 접근 및 이격 가능한 4개의 가변테이블(263)을 구비한다.That is, each of the first and second stages 260a and 260b is disposed at an outer side of the turntable 261 and one turntable 261 for attracting and rotating the substrate G1 and the substrate together with the turntable 261. Four variable tables 263 are provided to adsorb and support G1 and to be accessible and spaced apart from the turntable 261 so as to correspond to all substrates of various sizes.

상면이 대략 사각 형상을 가지며 중앙에 1개 마련되는 턴테이블(261)에 대해, 가변테이블(263)은 턴테이블(261)의 외곽에서 상호간 대칭되게 4개가 마련된다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 턴테이블(261)의 상면 형상은 다각 형상 외에도 원형이나 타원형이 될 수도 있고, 가변테이블(263)은 턴테이블(261)의 외곽에서 상호간 대칭되게 2개 마련될 수도 있다.With respect to the turntable 261 having an approximately square shape and having one at the center, four variable tables 263 are provided symmetrically with respect to the outside of the turntable 261. However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the top surface shape of the turntable 261 may be circular or elliptical in addition to the polygonal shape, and the variable table 263 may be symmetrical to each other at the outside of the turntable 261. May be arranged.

만약, 면취 가공 대상의 기판 사이즈가 클 경우에는 턴테이블(261)과 가변테이블(263)의 전체 흡착 면적이 넓어질 수 있도록 턴테이블(261)에 대해 4개의 가변테이블(263)이 이격되어야 하고, 면취 가공 대상의 기판 사이즈가 작다면 턴테이블(261)에 대해 4개의 가변테이블(263)이 접근되어야 한다. 이 때, 4개의 가변테이블(263)이 턴테이블(261)에 대해 접근될 때, 4개의 가변테이블(263)의 측면이 턴테이블(261)에 충돌되면 아니 되기 때문에 가변테이블(263)들의 측면에는 절개부(264)가 형성되어 있다. 절개부(264)는 아크(arc) 형상을 가질 수 있는데, 반드시 그러한 것은 아니다.If the substrate size of the chamfering target is large, four variable tables 263 should be spaced apart from the turntable 261 so that the entire adsorption area of the turntable 261 and the variable table 263 can be widened. If the substrate size to be processed is small, four variable tables 263 should be approached to the turntable 261. At this time, when the four variable tables 263 are approached with respect to the turntable 261, the sides of the four variable tables 263 should not be collided with the turntable 261, so the sides of the variable tables 263 are cut out. The part 264 is formed. The cutout 264 may have an arc shape, but is not necessarily so.

그리고 턴테이블(261)과 가변테이블(263)의 표면에는 기판(G1)의 진공 흡착을 위한 다수의 진공홀(미도시)이 형성되어 있다. 이러한 진공홀은, 턴테이블(261)과 가변테이블(263)의 표면으로부터 하방으로 일정 깊이 함몰된 상태에서 일정한 형상의 라인을 이루어 기판(G1)에 대한 진공 흡착 면적을 배가시키는 진공 흡착 라인홈(미도시)에 하나씩 형성되어 있다. 본 실시예에서 턴테이블(261)에 형성된 진공 흡착 라인홈(미도시)은 예컨대 피자(pizza) 형상으로, 가변테이블(263)에 형성 된 진공 흡착 라인홈(미도시)은 한글 'ㄱ'자 형상으로 형성될 수 있는데, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니다.In addition, a plurality of vacuum holes (not shown) are formed on the surfaces of the turntable 261 and the variable table 263 for vacuum suction of the substrate G1. The vacuum hole is a vacuum suction line groove (not shown) that doubles the vacuum suction area of the substrate G1 by forming a line having a predetermined shape in a state of being recessed downward from the surfaces of the turntable 261 and the variable table 263. It is formed one by one. In this embodiment, the vacuum adsorption line groove (not shown) formed in the turntable 261 is, for example, a pizza (pizza) shape, and the vacuum adsorption line groove (not shown) formed in the variable table 263 has a Korean letter 'A' shape. It may be formed as, but the scope of the present invention is not limited thereto.

한편, 그라인더(221)는, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 흡착 지지된 기판(G1)에 대해 실질적인 면취 가공을 진행하는 부분이다.On the other hand, the grinder 221 is a part which performs substantial chamfering process with respect to the board | substrate G1 adsorbed and supported by the 1st and 2nd stage 260a, 260b.

본 실시예의 경우, Y축을 따라 2개의 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)가 마련되어 있으므로, 장비의 간소화를 위해 그라인더(221)는 공유 그라인더로서 적용된다. 이처럼 그라인더(221)가 공유 그라인더로 적용됨으로써, 그라인더(221)에 마련된 2개씩의 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)은 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 쪽으로 선택적으로 이동되면서 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)와 함께 기판(G1)에 대한 면취 가공 작업을 진행하게 된다.In the present embodiment, since two first and second stages 260a and 260b are provided along the Y axis, the grinder 221 is applied as a shared grinder to simplify the equipment. As the grinder 221 is applied as a shared grinder, the two alignment cameras 223, the first chamfering wheel 225, and the second chamfering wheel 227 provided in the grinder 221 are first and first. While selectively moving toward the second stage 260a and 260b, the chamfering operation of the substrate G1 is performed along with the first and second stages 260a and 260b.

하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 그라인더(221)가 반드시 공유 그라인더일 필요는 없다. 즉, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b) 마다 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 각각 대응되는 2개씩의 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)이 전용으로 갖춰지도록 구성하여도 좋다.However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the grinder 221 does not necessarily need to be a shared grinder. That is, the two alignment cameras 223, the first chamfering wheels 225, and the second ones corresponding to the first and second stages 260a and 260b for each of the first and second stages 260a and 260b, respectively. The chamfering wheel 227 may be configured to be provided exclusively.

그라인더(221)는, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 안착된 기판(G1)의 얼라인(align) 작업을 위한 얼라인 카메라(223)와, 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)에 안착된 기판(G1)에 대한 면취 가공을 진행하되 X축을 따라 상호 이격되게 배치되는 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 구비한다.The grinder 221 includes an alignment camera 223 for aligning the substrate G1 seated on the first and second stages 260a and 260b, and a first and second stage 260a, The first and second chamfering wheels 225 and 227 are disposed to be chamfered with respect to the substrate G1 seated on the 260b, and are spaced apart from each other along the X axis.

얼라인 카메라(223)는 기판(G1)의 어느 한 변에 형성된 2개의 얼라인 마크(align mark)를 촬영하기 위해 2개 마련된다. 즉, 적어도 2개의 얼라인 마크를 촬영해야만 기판(G1)에 대한 얼라인 작업이 가능하고, 그에 기초하여 제1 면취 가공용 휠(225), 그리고 제2 면취 가공용 휠(227)의 간격들이 결정될 수 있기 때문에 본 실시예에서는 2개의 얼라인 카메라(223)가 마련된다.Two alignment cameras 223 are provided to photograph two alignment marks formed on one side of the substrate G1. That is, alignment of the substrate G1 is possible only by photographing at least two alignment marks, and intervals of the first chamfering wheel 225 and the second chamfering wheel 227 may be determined based on the alignment work on the substrate G1. In this embodiment, two alignment cameras 223 are provided.

제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 양측 단변 에지에 대한 면취 가공 및 기판(G1)의 후면 코너 가공을 진행하고, 제2 면취 가공용 휠(227)은 기판(G1)의 전면 코너 가공 및 기판(G1)의 양측 장변 에지에 대한 면취 가공을 진행하기 때문에 얼라인 카메라(223)와 마찬가지로 2개씩 마련된다.The first chamfering wheel 225 performs chamfering on both side short edges of the substrate G1 and the rear corner processing of the substrate G1, and the second chamfering wheel 227 has a front corner of the substrate G1. Since the process and the chamfering process with respect to the long side edge of both sides of the board | substrate G1 are performed, it arrange | positions two by the same as the aligning camera 223. As shown in FIG.

제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)의 구조에 대해 살펴보면, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)은 Z축을 따라 외주면의 일 영역이 상호 중첩되게 배치되어 기판(G1)의 4군데 코너, 기판(G1)의 단변 에지 및 기판(G1)의 장변 에지를 모두 가공하는 다수의 제1 내지 제4 멀티 휠(225a~225d, 227a~227d, multi wheel)로 적용된다. 다시 말해, 제1 면취 가공용 휠(225)은 4개의 제1 내지 제4 멀티 휠(225a~225d)의 조합에 의해, 그리고 제2 면취 가공용 휠(227)은 4개의 제1 내지 제4 멀티 휠(227a~227d)의 조합에 의해 마련된다. 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)은 각각 휠 회전용 하우징(231,232)에 의해 회전 가능하게 결합되어 있다. 휠 회전용 하우징(231,232)은 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 지지하는 역할 외에도 모터 등을 이용하여 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)을 회전시키는 역할을 겸한다.Looking at the structure of the first and second chamfering wheels (225, 227), as shown in Figure 5, the first and second chamfering wheels (225,227) are arranged so that one region of the outer peripheral surface overlap each other along the Z axis With a plurality of first to fourth multi-wheels 225a to 225d, 227a to 227d, multi wheels for processing all four corners of the substrate G1, the short side edge of the substrate G1, and the long side edge of the substrate G1. Apply. In other words, the first chamfering wheel 225 is formed by a combination of four first to fourth multi wheels 225a to 225d, and the second chamfering wheel 227 is four first to fourth multi wheels. It is provided by the combination of (227a-227d). The first and second chamfering wheels 225 and 227 are rotatably coupled by the wheel rotating housings 231 and 232, respectively. The wheel rotating housings 231 and 232 serve to rotate the first and second chamfering wheels 225 and 227 using a motor, etc. in addition to supporting the first and second chamfering wheels 225 and 227.

이러한 구성에서, 기판(G1)의 단변 에지에 대한 면취 가공은 제1 면취 가공용 휠(225)의 제1 및 제3 멀티 휠(225a,225c)과, 제2 및 제4 멀티 휠(225b,225d) 사이 영역에서 진행되고, 기판(G1)의 후면 코너 가공은 제1 면취 가공용 휠(225)의 제3 및 제4 멀티 휠(225c,225d)의 경사 표면 영역에서 진행된다. 그리고 기판(G1)의 전면 코너 가공은 제2 면취 가공용 휠(227)의 제3 및 제4 멀티 휠(227c,227d)의 경사 표면 영역에서 진행되고, 기판(G1)의 장변 에지에 대한 면취 가공은 제2 면취 가공용 휠(227)의 제1 및 제3 멀티 휠(227a,227c)과, 제2 및 제4 멀티 휠(227b,227d) 사이 영역에서 진행된다.In this configuration, the chamfering of the short side edge of the substrate G1 is performed by the first and third multi wheels 225a and 225c of the first chamfering wheel 225 and the second and fourth multi wheels 225b and 225d. ), And the rear corner processing of the substrate G1 is performed in the inclined surface regions of the third and fourth multi-wheels 225c and 225d of the first chamfering wheel 225. And the front corner processing of the board | substrate G1 progresses in the inclined surface area | region of the 3rd and 4th multi-wheels 227c and 227d of the 2nd chamfering wheel 227, and chamfers with respect to the long side edge of the board | substrate G1. Is performed in the region between the first and third multi wheels 227a and 227c of the second chamfering wheel 227 and the second and fourth multi wheels 227b and 227d.

한편, 본 실시예의 그라인더(221)는 공유 그라인더이므로, 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)은 제1 스테이지(260a)와 함께 제1 스테이지(260a) 상의 기판에 대한 면취 가공 작업도 진행해야 하고, 제2 스테이지(260b)와 함께 제2 스테이지(260b) 상의 기판에 대한 면취 가공 작업도 진행해야 한다.On the other hand, since the grinder 221 of the present embodiment is a shared grinder, the alignment camera 223, the first chamfering wheel 225, and the second chamfering wheel 227 are together with the first stage 260a and the first stage. The chamfering work with respect to the board | substrate on 260a should also be progressed, and the chamfering work with respect to the board | substrate on the 2nd stage 260b must also progress with the 2nd stage 260b.

따라서 얼라인 카메라(223), 제1 면취 가공용 휠(225) 및 제2 면취 가공용 휠(227)은 Y축을 따라 이동이 가능해야 한다. 이를 위해, 카메라 이동지지부(224), 제1 휠 이동지지부(226) 및 제2 휠 이동지지부(228)가 구비된다.Accordingly, the alignment camera 223, the first chamfering wheel 225, and the second chamfering wheel 227 should be movable along the Y axis. To this end, a camera movement support 224, a first wheel movement support 226, and a second wheel movement support 228 are provided.

카메라 이동지지부(224)는 2개의 얼라인 카메라(223)가 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 2개의 얼라인 카메라(223)를 이동 가능하게 지지하고, 제1 휠 이동지지부(226)는 2개의 제1 면취 가공용 휠(225)이 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 2개의 제1 면취 가공용 휠(225)을 이동 가능하게 지지하며, 제2 휠 이동지지부(228)는 2개의 제2 면취 가공용 휠(227)이 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 2개의 제2 면취 가공용 휠(227)을 이동 가능하게 지지한다.The camera movement supporter 224 supports the two alignment cameras 223 to be movable so that the two alignment cameras 223 can move individually or collectively along the Y axis, and the first wheel movement supporter 226 Two first chamfering wheels 225 are movably supported so that the two first chamfering wheels 225 can be moved individually or collectively along the Y axis, and the second wheel moving support 228 is made of two The two second chamfering wheels 227 are movably supported so that the two chamfering wheels 227 can move individually or collectively along the Y axis.

본 실시예에서 카메라 이동지지부(224), 제1 휠 이동지지부(226) 및 제2 휠 이동지지부(228)는 리니어 모터로 구현될 수 있지만 반드시 그러한 것은 아니다. 뿐만 아니라 도면에 보면 카메라 이동지지부(224), 제1 휠 이동지지부(226) 및 제2 휠 이동지지부(228)가 각기 개별적으로 도시되어 있지만, 이들은 한 몸체로 상호 연결될 수도 있는 것이다.In this embodiment, the camera movement support 224, the first wheel movement support 226 and the second wheel movement support 228 may be implemented as a linear motor, but is not necessarily so. In addition, although the camera movement support 224, the first wheel movement support 226, and the second wheel movement support 228 are shown separately in the drawings, they may be interconnected in one body.

2개의 얼라인 카메라(223)는 카메라 이동지지부(224)에 의해 Y축으로 이동되면 그것으로 충분하다. 하지만, 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)은 제1 및 제2 휠 이동지지부(226,228)에 의해 Y축으로 이동될 뿐만 아니라 기판(G1)의 4군데 코너 가공, 그리고 단변 및 장변 에지 가공을 위해 Z축으로도 승하강이 가능해야 한다.The two alignment cameras 223 are sufficient if they are moved to the Y axis by the camera moving support 224. However, the first and second chamfering wheels 225 and 227 are not only moved in the Y axis by the first and second wheel moving supports 226 and 228, but also four corners of the substrate G1 and short and long edges. In order to move up and down on the Z axis, it must be possible.

이를 위해, 본 실시예의 그라인더(221)에는 제1 휠 이동지지부(226)에 결합되어 2개의 제1 면취 가공용 휠(225)을 Z축으로 승하강시키는 제1 휠 승하강부(226a)와, 제2 휠 이동지지부(228)에 결합되어 2개의 제2 면취 가공용 휠(227)을 Z축으로 승하강시키는 제2 휠 승하강부(228a)가 더 마련된다. 제1 휠 승하강부(226a)와 제2 휠 승하강부(228a)는 실린더로 적용될 수 있지만, 이 역시 리니어 모터나 혹은 모터와 볼스크루 조합에 의해 적용될 수도 있다.To this end, the grinder 221 of the present embodiment is coupled to the first wheel moving support 226, the first wheel lifting portion 226a for raising and lowering the two first chamfering wheels 225 on the Z axis, and A second wheel elevating portion 228a is further provided to be coupled to the two wheel moving support 228 to elevate the two second chamfering wheels 227 to the Z axis. The first wheel lifting unit 226a and the second wheel lifting unit 228a may be applied as a cylinder, but this may also be applied by a linear motor or a motor and ball screw combination.

한편, 본 실시예의 경우, 면취 가공유닛(220)을 통해 기판(G1)의 4군데 코너 가공, 기판(G1)의 단변 에지 가공 및 기판(G1)의 장변 에지 가공 작업이 진행될 때, 기판(G1)의 4군데 코너 가공, 기판(G1)의 단변 에지 가공 및 기판(G1)의 장변 에지 가공 작업이 실질적으로 대기 시간 없이 연속적으로 진행될 수 있도록, 그라인더(221)의 동작을 제어하는 제어부(미도시)를 더 구비한다.On the other hand, in the present embodiment, when the four corner processing of the substrate G1, the short side edge processing of the substrate G1 and the long side edge processing of the substrate G1 through the chamfering processing unit 220, the substrate G1 A control unit (not shown) for controlling the operation of the grinder 221 so that the four corner processing of the (), the short edge processing of the substrate G1 and the long edge processing of the substrate G1 can proceed continuously without waiting time. ) Is further provided.

다시 말해, 제어부는, 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227) 중 어느 하나가 기판(G1)의 에지 가공 작업을 할 때 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227) 중 다른 하나가 기판(G1)의 양측 코너 가공 작업을 위한 작업 위치로, 또는 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227) 중 어느 하나가 기판(G1)의 양측 코너 가공 작업을 할 때 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227) 중 다른 하나가 기판(G1)의 에지 가공 작업을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기할 수 있도록, 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)의 X축, Y축 및 Z축 동작을 제어하게 되는데, 이러한 일련의 제어 동작에 대해서는 아래의 면취 가공방법에 포함시켜 함께 설명하도록 한다.In other words, when one of the first and second chamfering wheels 225 and 227 performs the edge machining operation of the substrate G1, the controller controls the other of the first and second chamfering wheels 225 and 227 to the substrate G1. The first and second chamfering wheels 225, 227 to the working position for the two-side corner machining operation or when one of the first and second chamfering wheels 225, 227 performs the both-side corner machining of the substrate G1. Control the X-axis, Y-axis and Z-axis motions of the first and second chamfering wheels 225 and 227 so that the other one of them may move in advance to the working position for the edge machining operation of the substrate G1. This series of control operations will be described together with the chamfering processing method below.

이러한 구성을 갖는 면취기를 이용하여 기판(G1)에 대해 면취 가공을 진행하는 일련의 방법에 대해 도 6 및 도 7을 참조하여 설명한다.A series of methods for chamfering the substrate G1 using a chamfer having such a configuration will be described with reference to FIGS. 6 and 7.

우선, 면취 가공 대상의 기판(G1)이 기판 로딩유닛(210) 상의 롤러(212)를 통해 이송된다. 롤러(212)의 회전에 의해 이송되는 기판(G1)은 진입감지센서(214)의 신호에 기초하여 회전축(211)의 동작이 정지됨에 따라 작업 위치에 정지된다. 이어, 얼라인부(215)가 기판(G1)의 양측면을 가압하여 기판(G1)을 얼라인시키고 나면, 리프트 핀(213)들이 기판(G1)을 업(up)시킨다.First, the substrate G1 to be chamfered is transferred through the roller 212 on the substrate loading unit 210. The substrate G1 transferred by the rotation of the roller 212 is stopped at the working position as the operation of the rotation shaft 211 is stopped based on the signal of the entry sensor 214. Subsequently, after the alignment unit 215 presses both sides of the substrate G1 to align the substrate G1, the lift pins 213 up the substrate G1.

기판(G1)이 업(up)되면, 트랜스퍼(280a)가 X축, Y축 및 Z축을 따라 움직이면 서 기본파지유닛(281) 및 안전파지유닛(285)으로 기판(G1)을 파지하여 기판(G1)을 제1 스테이지(260a)의 상면으로 옮긴다. 제1 스테이지(260a)의 상면으로 올려진 기판(G1)은 제1 스테이지(260a)를 이루는 턴테이블(261) 및 가변테이블(263)의 표면에 형성된 진공홀을 통해 진공 흡인력이 제공됨에 따라 턴테이블(261) 및 가변테이블(263)의 표면에서 흡착 지지된다.When the substrate G1 is up, the transfer 280a moves along the X, Y, and Z axes, and the substrate G1 is held by the basic holding unit 281 and the safety holding unit 285 to hold the substrate ( G1) is moved to the upper surface of the first stage 260a. The substrate G1 raised onto the upper surface of the first stage 260a is provided with a vacuum suction force through a vacuum hole formed in the surfaces of the turntable 261 and the variable table 263 constituting the first stage 260a. 261 and on the surface of the variable table 263.

이와 같이 기판(G1)이 제1 스테이지(260a)의 상면에서 흡착 지지되고 나면, 제1 스테이지(260a)는 X축 방향으로 이동한다. X축 방향으로 이동한 기판은 도 7의 (a)와 같이 얼라인 카메라(223)에 의해 얼라인 마크가 촬상되면서 얼라인 작업이 진행된다(S11). 얼라인 작업이 진행되는 동안 제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 양측 단변 에지 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기한다. 이 경우, 제2 면취 가공용 휠(227)은 제2 스테이지(260b) 쪽에서 다른 기판에 대한 면취 가공 작업을 하고 있는 것으로 보고, 도 7의 (a)에서는 점선 처리하고 있다.After the substrate G1 is adsorbed and supported on the upper surface of the first stage 260a, the first stage 260a moves in the X-axis direction. The alignment operation is performed on the substrate moved in the X-axis direction while the alignment mark is captured by the alignment camera 223 as shown in FIG. 7A (S11). While the alignment operation is in progress, the first chamfering wheel 225 moves in advance to a work position for processing both side short edges of the substrate G1 and waits. In this case, the second chamfering wheel 227 is considered to be chamfering to another substrate on the second stage 260b side, and the dotted line is processed in FIG.

얼라인 작업이 완료되면, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(260a)는 기판(G1)을 제1 면취 가공용 휠(225) 쪽으로 전진시킨다. 이 때, 제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 양측 단변 에지 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하고 있는 상태이므로, 기판(G1)은 멈추지 않고 제1 스테이지(260a)에 의해 계속 전진하여 제1 면취 가공용 휠(225)을 이루는 제1 및 제3 멀티 휠(225a,225c), 그리고 제2 및 제4 멀티 휠(225b,225d) 사이 영역을 지나게 되고, 이로써 기판(G1)의 양측 단변 에지에 대한 면취 가공이 완료된다(S12).When the alignment operation is completed, as shown in FIG. 7B, the first stage 260a advances the substrate G1 toward the first chamfering wheel 225. At this time, since the first chamfering wheel 225 is moved to the working position for both short side edge processing of the substrate G1 in advance and is waiting, the substrate G1 is not stopped by the first stage 260a. Continue to advance through the area between the first and third multi-wheels 225a and 225c and the second and fourth multi-wheels 225b and 225d to form the first chamfering wheel 225, thereby providing a substrate G1. Chamfering processing for both short-side edges of is completed (S12).

이처럼 제1 면취 가공용 휠(225)에 의해 기판(G1)의 양측 단변 에지에 대한 면취 가공이 진행되는 동안에, 제2 면취 가공용 휠(227)은 제1 스테이지(260a)의 이동 경로 상으로 이동하게 되는데, 이 경우 제2 면취 가공용 휠(227)은 기판(G1)의 전면 양측 코너 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하게 된다.As described above, while the chamfering processing of both short side edges of the substrate G1 is performed by the first chamfering wheel 225, the second chamfering wheel 227 moves on the movement path of the first stage 260a. In this case, the second chamfering wheel 227 is moved in advance to the working position for the front side corner processing of the substrate G1 to stand by.

따라서 제1 면취 가공용 휠(225)을 지나 양측 단변 에지 가공이 완료된 기판(G1)은, 멈추지 않고 제1 스테이지(260a)에 의해 계속 전진하여 도 7의 (c)와 같이 작업 위치에 미리 대기하고 있던 제2 면취 가공용 휠(227)의 제3 및 제4 멀티 휠(227c,227d)에 접촉됨으로써 그 전면 양측 코너에 대해 면취 가공이 진행된다(S13).Therefore, the board | substrate G1 on which the both short side edge processing was completed past the 1st chamfering wheel 225 is continued continuously by the 1st stage 260a without stopping, and waits in advance in a working position as shown in FIG.7 (c). By contacting the 3rd and 4th multi-wheels 227c and 227d of the 2nd chamfering wheel 227 which existed, chamfering process advances with respect to the front both sides corner (S13).

이처럼 기판(G1)의 전면 양측 코너에 대해 면취 가공이 진행되는 동안에, 제1 면취 가공용 휠(225)은 기판(G1)의 후면 양측 코너 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하게 된다.As described above, while the chamfering process is performed on both front corners of the substrate G1, the first chamfering wheel 225 moves in advance to a work position for processing both corners of the rear surface of the substrate G1.

전면 양측 코너에 대해 면취 가공이 완료된 기판(G1)은, 멈추지 않고 제1 스테이지(260a)에 의해 반대로 후진하여 도 7의 (d)와 같이 작업 위치에 미리 대기하고 있던 제1 면취 가공용 휠(225)의 제3 및 제4 멀티 휠(225c,225d)에 접촉됨으로써 그 후면 양측 코너에 대해 면취 가공이 진행된다(S14).The board | substrate G1 with which chamfering process was completed with respect to the front both sides corners does not stop, but reverses by the 1st stage 260a, and the 1st chamfering wheel 225 previously waited at the working position as shown in FIG.7 (d). By contacting the third and fourth multi-wheels 225c and 225d, the chamfering process is performed on both rear corners of the rear surface (S14).

다음, 기판(G1)의 양측 장변 에지에 대한 면취 가공을 위해, 도 7의 (e)와 같이 제1 스테이지(260a) 상에서 기판(G1)이 회전된다(S15). 기판(G1)의 회전은 제1 스테이지(260a)를 이루는 턴테이블(261)에 의해 수행된다. 이 경우, 제1 면취 가공용 휠(225)은 제2 스테이지(260b) 쪽에서 다른 기판에 대한 면취 가공 작업을 하고 있는 것으로 보고, 도 7의 (e) 및 (f)에서는 점선 처리하고 있다.Next, in order to chamfer the long side edges of both sides of the substrate G1, the substrate G1 is rotated on the first stage 260a as shown in FIG. 7E (S15). The rotation of the substrate G1 is performed by the turntable 261 forming the first stage 260a. In this case, it is assumed that the first chamfering wheel 225 is chamfering the other substrate on the second stage 260b side, and the dotted lines are processed in FIGS. 7E and 7F.

이처럼 양측 장변 에지에 대한 면취 가공을 위해 기판(G1)이 회전되는 동안에, 제2 면취 가공용 휠(227)은 기판(G1)의 양측 장변 에지 가공을 위한 작업 위치로 미리 이동하여 대기하게 된다.As described above, while the substrate G1 is rotated for chamfering on both long side edges, the second chamfering wheel 227 moves to a working position for both long side edges of the substrate G1 and waits in advance.

그런 다음, 회전이 완료된 기판(G1)은, 그 즉시 제1 스테이지(260a)에 의해 전진하여 도 7의 (f)와 같이 제2 면취 가공용 휠(227)을 이루는 제1 및 제3 멀티 휠(227a,227c), 그리고 제2 및 제4 멀티 휠(227b,227d) 사이 영역을 지나게 되고, 이로써 기판(G1)의 양측 장변 에지에 대한 면취 가공이 완료된다(S16).Subsequently, the substrate G1, which has been rotated, is immediately moved by the first stage 260a to form the second chamfering wheel 227 as shown in FIG. 7 (f). 227a and 227c and the area between the second and fourth multi-wheels 227b and 227d are passed, thereby completing the chamfering of the long side edges of both sides of the substrate G1 (S16).

이와 같이, 기판(G1)의 양측 단변 에지 가공, 기판(G1)의 전면 코너 가공, 기판(G1)의 후면 코너 가공, 그리고 기판(G1)의 양측 장변 가공 작업 중 어느 한 작업이 진행되기 전에, X축을 따라 상호 이격되게 제1 및 제2 면취 가공용 휠(225,227)이 미리 작업 위치에 이동하여 대기하고 있기 때문에 종래와 같이 불가피하게 기판(G1)이 멈추어 대기하는 시간을 줄일 수 있다. 즉, 본 실시예에 따르면, 기판(G1)을 지지한 제1 및 제2 스테이지(260a,260b)는 종래와 같이 일정시간 멈출 필요 없이 인라인(In-Line)화된 작업라인을 따라 연속해서 이동하면서 기판(G1)에 대한 면취 가공 작업이 진행되도록 할 수 있기 때문에 종래보다 택트 타임을 더 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있게 되는 것이다.As described above, before any one of the short side edge machining of the substrate G1, the front corner machining of the substrate G1, the back corner machining of the substrate G1, and the long side machining operation of the both sides of the substrate G1, Since the first and second chamfering wheels 225 and 227 are moved to a work position in advance and wait to be spaced apart from each other along the X axis, the substrate G1 stops and waits inevitably as in the related art. That is, according to the present exemplary embodiment, the first and second stages 260a and 260b supporting the substrate G1 are continuously moved along the inlined work line without stopping for a predetermined time as in the prior art. Since the chamfering operation for the substrate G1 can be performed, productivity can be improved by further reducing the tact time than before.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취 가공방법의 플로차트이다.8 is a flowchart of a chamfering processing method for a flat panel display according to another embodiment of the present invention.

면취 가공방법은 전술한 실시예와 달리, 도 8을 순서를 따를 수도 있다. 즉, 얼라인 작업이 진행되고 나면(S21), 우선 제1 면취 가공용 휠(225)에 의해 기 판(G1)의 전면 양측 코너에 대한 면취 가공이 진행되고(S22), 이어 제2 면취 가공용 휠(227)에 의해 기판(G1)의 양측 단변에 대한 면취 가공(S23), 그리고 제1 면취 가공용 휠(225)에 의해 기판(G1)의 후면 양측 코너에 대한 면취 가공이 진행되며(S24), 기판(G1)이 회전되고 나면(S25), 최종적으로 기판(G1)의 양측 장변에 대한 면취 가공이 진행되는(S26) 순서를 따를 수도 있는 것이다.Chamfering processing method, unlike the above-described embodiment, may follow the order shown in FIG. That is, after the aligning operation is performed (S21), first the chamfering processing for the front side both corners of the substrate G1 by the first chamfering wheel 225 (S22), and then the second chamfering wheel Chamfering (S23) for both short sides of the substrate G1 by 227, and chamfering for both sides corners of the rear surface of the substrate G1 by the first chamfering wheel 225 (S24), After the substrate G1 is rotated (S25), the chamfering process for both long sides of the substrate G1 may be finally performed (S26).

전술한 실시예에서는 기판의 단변을 먼저 가공하고 장변을 가공하는 것으로 설명하였지만, 장변을 먼저 가공한 후 기판을 회전시켜 단변을 가공하는 형태가 되어도 무방하다.In the above embodiment, the short side of the substrate is first processed and the long side is processed, but the long side may be processed first, and the substrate may be rotated to form the short side.

전술한 실시예에서는 제1 및 제2 면취 가공용 휠이 기판 로딩유닛과 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인을 따라 상호 이격배치되고 있으나, 제1 및 제2 면취 가공용 휠은 기판 로딩유닛과 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인에 교차하는 방향으로 상호 이격배치될 수도 있다.In the above-described embodiment, the first and second chamfering wheels are spaced apart from each other along a virtual work line connecting the substrate loading unit and the substrate unloading unit. The substrate unloading unit may be spaced apart from each other in a direction crossing the virtual work line.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.

도 1은 종래의 면취기에 대한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a conventional chamfering machine.

도 2는 면취 가공되는 부분을 설명하기 위한 기판의 사시도이다.2 is a perspective view of a substrate for explaining a portion to be chamfered.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취기에 대한 개략적인 평면도이다.3 is a schematic plan view of a chamfering device for a flat panel display according to an embodiment of the present invention.

도 4 및 도 5는 각각 도 3의 부분 확대 사시도이다.4 and 5 are partially enlarged perspective views of FIG. 3, respectively.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취 가공방법의 플로차트이다.6 is a flowchart of a chamfering processing method for a flat panel display according to an embodiment of the present invention.

도 7의 (a) 내지 (f)는 평면디스플레이용 면취 가공방법을 단계적으로 도시 한 구성도이다.7 (a) to 7 (f) are configuration diagrams showing step by step chamfering processing for flat panel displays.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평면디스플레이용 면취 가공방법의 플로차트이다.8 is a flowchart of a chamfering processing method for a flat panel display according to another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

210 : 기판 로딩유닛 220 : 면취 가공유닛210: substrate loading unit 220: chamfering processing unit

221 : 그라인더 223 : 얼라인 카메라221: Grinder 223: Align Camera

225 : 제1 면취 가공용 휠 227 : 제2 면취 가공용 휠225: first chamfering wheel 227: second chamfering wheel

240 : 기판 언로딩유닛 250 : 면취량 측정유닛240: substrate unloading unit 250: chamfering measurement unit

260a,260b : 스테이지 280a,280b : 트랜스퍼260a, 260b: stage 280a, 280b: transfer

Claims (20)

기판 로딩유닛(loading unit)과 기판 언로딩유닛(unloading unit) 사이에 마련되어 상기 기판의 코너 및 변에 대한 면취 가공을 진행하는 면취 가공유닛을 포함하며,A chamfering processing unit provided between a substrate loading unit and a substrate unloading unit to chamfer the corners and sides of the substrate, 상기 면취 가공유닛은,The chamfering processing unit, 상면으로 기판이 안착 지지되는 적어도 하나의 스테이지; 및At least one stage on which the substrate is seated and supported by an upper surface; And 상기 기판의 제1 변 에지에 대한 면취 가공을 진행하는 제1 면취 가공용 휠과, 상기 제1 면취 가공용 휠에 대해 상호 이격배치되고 상기 기판의 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공을 진행하는 제2 면취 가공용 휠을 구비한 그라인더를 포함하며,A first chamfering wheel for chamfering the first side edge of the substrate and a second chamfering process with respect to the first chamfering wheel, and a second chamfering process for both corners of the first surface of the substrate; It includes a grinder having a wheel for chamfering, 상기 제1 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 변 에지에 대한 면취 가공 시 상기 제2 면취 가공용 휠이 상기 기판의 제1 면 양측 코너의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 상기 제2 면취 가공용 휠을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.The second chamfering wheel is moved so that the second chamfering wheel moves to a working position for chamfering of corners on both sides of the first surface of the substrate when chamfering the first edge of the edge by the first chamfering wheel. Chamfering device for a flat panel display comprising a control unit for controlling. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 면취 가공용 휠과 상기 제2 면취 가공용 휠은 상기 기판 로딩유닛과 상기 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인을 따라 상호 이격배치되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.And the first chamfering wheel and the second chamfering wheel are spaced apart from each other along a virtual work line connecting the substrate loading unit and the substrate unloading unit. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 면취 가공용 휠은 상기 기판의 제2 면 양측 코너에 대한 면취 가공을 진행하고, 상기 제2 면취 가공용 휠은 상기 기판의 제2 변 에지에 대한 면취 가공을 진행하며,The first chamfering wheel performs a chamfering process for both corners of the second surface of the substrate, the second chamfering wheel performs a chamfering process for the edge of the second side of the substrate, 상기 제어부는, 상기 제1 면취 가공용 휠에 의한 상기 제2 면 양측 코너에 대한 면취 가공 시 상기 제2 면취 가공용 휠이 상기 제2 변 에지의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 상기 제2 면취 가공용 휠을 제어하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.The control unit may be used for the second chamfering processing so that the second chamfering wheel moves to a working position for chamfering of the second side edge when chamfering the corners of both sides of the second surface by the first chamfering wheel. Chamfering device for flat panel display, characterized in that for controlling the wheel. 제4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 기판의 제1 변 및 제2 변은 상기 기판의 양측 단변 및 양측 장변이고, 상기 기판의 제1 면 및 제2 면은 상기 기판의 전면 양측 코너 및 후면 양측 코너이며,The first side and the second side of the substrate are both short sides and both long sides of the substrate, and the first and second sides of the substrate are both front corners and rear corners of the substrate, 상기 제1 면취 가공용 휠과 상기 제2 면취 가공용 휠 각각은, Z축을 따라 외주면의 일 영역이 상호 중첩되게 배치되어 상기 기판의 전면 양측 코너, 상기 기판의 후면 양측 코너, 상기 기판의 단변 에지 및 상기 기판의 장변 에지를 모두 가공하는 다수의 멀티 휠(multi wheel)에 의해 마련되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.Each of the first chamfering wheel and the second chamfering wheel is disposed such that an area of an outer circumferential surface thereof overlaps each other along a Z axis such that both front corners of the front surface of the substrate, both rear corners of the rear surface of the substrate, short edges of the substrate, and the Chamfering device for a flat panel display, characterized in that provided by a plurality of multi wheels for processing all the long edges of the substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 그라인더는 상기 스테이지에 안착된 상기 기판의 얼라인(align) 작업을 위한 얼라인 카메라를 더 포함하며,The grinder further includes an alignment camera for aligning the substrate seated on the stage, 상기 적어도 하나의 스테이지는, 상기 기판 로딩유닛과 상기 기판 언로딩유닛을 연결하는 가상의 작업라인인 X축에 가로로 배치되는 가상의 Y축을 따라 마련되는 두 개의 제1 및 제2 스테이지이며,The at least one stage is two first and second stages provided along a virtual Y axis arranged horizontally on an X axis, which is a virtual work line connecting the substrate loading unit and the substrate unloading unit, 상기 그라인더는 상기 제1 및 제2 스테이지 각각에 공유되는 공유 그라인더이며,The grinder is a shared grinder shared between each of the first and second stages, 상기 얼라인 카메라, 상기 제1 면취 가공용 휠, 그리고 상기 제2 면취 가공용 휠은 상기 스테이지 하나에 대해 2개씩 마련되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.The aligning camera, the first chamfering wheel, and the second chamfering wheel are provided for each of the two stages, flat display chamfering device. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 그라인더는,The grinder, 상기 2개의 얼라인 카메라가 상기 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 상기 2개의 얼라인 카메라를 이동 가능하게 지지하는 카메라 이동지지부;A camera movement support unit movably supporting the two alignment cameras such that the two alignment cameras can be individually or collectively moved along the Y axis; 상기 2개의 제1 면취 가공용 휠이 상기 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 상기 2개의 제1 면취 가공용 휠을 이동 가능하게 지지하는 제1 휠 이동 지지부; 및A first wheel movement support for movably supporting the two first chamfering wheels such that the two first chamfering wheels can be moved individually or collectively along the Y axis; And 상기 2개의 제2 면취 가공용 휠이 상기 Y축을 따라 개별 혹은 집단으로 이동 가능하도록 상기 2개의 제2 면취 가공용 휠을 이동 가능하게 지지하는 제2 휠 이동지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.And a second wheel moving support for movably supporting the two second chamfering wheels so that the two second chamfering wheels can be moved individually or collectively along the Y axis. Chamfering machine. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 그라인더는,The grinder, 상기 제1 휠 이동지지부에 결합되어 상기 2개의 제1 면취 가공용 휠을 Z축으로 승하강시키는 제1 휠 승하강부; 및A first wheel elevating unit coupled to the first wheel moving support unit for elevating the two first chamfering wheels on a Z axis; And 상기 제2 휠 이동지지부에 결합되어 상기 2개의 제2 면취 가공용 휠을 Z축으로 승하강시키는 제2 휠 승하강부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.And a second wheel elevating unit coupled to the second wheel moving support unit to raise and lower the two second chamfering wheels on the Z axis. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스테이지는,The stage, 상기 기판을 흡착하여 회전시키는 적어도 하나의 턴테이블; 및At least one turntable for sucking and rotating the substrate; And 상기 턴테이블의 외곽에 배치되어 상기 턴테이블과 함께 상기 기판을 흡착하여 지지하며, 상기 기판 사이즈에 대응할 수 있도록 상기 턴테이블에 대해 접근 및 이격 가능한 다수의 가변테이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.And a plurality of variable tables disposed at an outer side of the turntable to adsorb and support the substrate together with the turntable and to be accessible and spaced apart from the turntable so as to correspond to the substrate size. . 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 가변테이블은 상면이 원 형상을 갖는 상기 턴테이블의 외곽에서 상호간 대칭되게 4개 마련되며,The variable table is provided with four symmetrical mutually at the outer side of the turntable having a circular top surface, 상기 가변테이블의 측면에는 상기 가변테이블이 상기 턴테이블에 접근될 때 상기 턴테이블에 충돌되는 것을 저지시키는 절개부가 형성되며,A side portion of the variable table is formed with a cutout that prevents the variable table from colliding with the turntable when approaching the turntable. 상기 턴테이블과 상기 가변테이블의 표면에는 상기 기판의 진공 흡착을 위한 다수의 진공홀과, 상기 다수의 진공홀의 주변에 마련되고 상기 턴테이블과 상기 가변테이블의 표면으로부터 하방으로 함몰되어 상기 기판에 대한 진공 흡착 면적을 배가시키는 진공 흡착 라인홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.On the surfaces of the turntable and the variable table, a plurality of vacuum holes for vacuum suction of the substrate, and a plurality of vacuum holes are provided around the plurality of vacuum holes, and are recessed downward from the surfaces of the turntable and the variable table to vacuum suction to the substrate. Chamfering device for flat panel display, characterized in that the vacuum suction line groove is formed to double the area. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 로딩유닛과 상기 면취 가공유닛 사이 영역, 그리고 상기 면취 가공유닛과 상기 기판 언로딩유닛 사이 영역에 각각 마련되어 X축, Y축 및 Z축으로 이동하면서 상기 기판을 이송하는 트랜스퍼를 더 포함하며,Further provided in the area between the substrate loading unit and the chamfering processing unit, and the area between the chamfering processing unit and the substrate unloading unit, the transfer to transfer the substrate while moving in the X-axis, Y-axis and Z-axis, 상기 트랜스퍼는,The transfer, 상기 기판의 양측면에 접촉된 상태에서 상기 기판의 하면을 부분적으로 떠받쳐 상기 기판을 파지하는 다수의 기본파지유닛; 및A plurality of basic gripping units holding the substrate by partially supporting the bottom surface of the substrate in contact with both side surfaces of the substrate; And 상기 기본파지유닛의 주변에 마련되며, 상기 기판의 이송 과정 중에 상기 기 판이 상기 기본파지유닛으로부터 이탈되는 것을 저지하는 안전파지유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.And a safety gripping unit provided around the basic gripping unit and preventing the substrate from being separated from the basic gripping unit during the transfer process of the substrate. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 다수의 기본파지유닛은 상호간 접근 및 이격 가능하도록 상기 기판의 양측면에 2개씩 4개 마련되며,The plurality of basic gripping units are provided on each of the two on both sides of the substrate so as to be accessible and spaced apart from each other, 상기 안전파지유닛은 상기 기판이 이송되는 방향에 대해 상기 기판의 일측 전면과 하면을 지지할 수 있도록 해당 위치에서 회동 가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.The safety gripping unit is a flat display chamfering device, characterized in that it is provided to be rotatable in the position to support the front side and the lower surface of the substrate with respect to the transfer direction. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 언로딩유닛에 마련되어 면취 가공이 완료된 기판에 대한 면취량을 측정하는 면취량 측정유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.Chamfering flat surface display unit further comprises a chamfering measurement unit for measuring the chamfering amount of the substrate provided in the substrate unloading unit is completed chamfering. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공 시 상기 제1 면취 가공용 휠이 상기 제1 변 에지의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하도록 상기 제1 면취 가공용 휠을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취기.Controlling the first chamfering wheel to move the first chamfering wheel to a working position for chamfering of the first side edge when chamfering the corners of both sides of the first surface by the second chamfering wheel; Chamfering device for a flat panel display further comprising a control unit. 제1 면취 가공용 휠에 의해 기판의 제1 변 에지가 면취 가공되는 단계;Chamfering the first side edge of the substrate by the first chamfering wheel; 상기 제1 면취 가공용 휠에 대해 상호 이격배치된 제2 면취 가공용 휠에 의해 상기 기판의 제1 면 양측 코너가 면취 가공되는 단계; 및Chamfering the corners of both sides of the first surface of the substrate by the second chamfering wheels spaced apart from each other with respect to the first chamfering wheel; And 상기 제1 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 변 에지에 대한 면취 가공 시 상기 제2 면취 가공용 휠이 상기 기판의 제1 면 양측 코너의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취 가공방법.And moving the second chamfering wheel to a working position for chamfering of corners on both sides of the first surface of the substrate when chamfering the first edge of the edge by the first chamfering wheel. Chamfering processing method for flat panel display. 제15항에 있어서,The method of claim 15, 상기 제1 면취 가공용 휠에 의해 상기 기판의 제2 면 양측 코너가 면취 가공되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취 가공방법.Chamfering processing method for a flat display further comprising the step of chamfering the corners on both sides of the second surface of the substrate by the first chamfering wheel. 제16항에 있어서,The method of claim 16, 상기 기판이 회전되는 단계; 및Rotating the substrate; And 상기 제2 면취 가공용 휠에 의해 상기 기판의 제2 변 에지가 면취 가공되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취 가공방법.And chamfering the second side edge of the substrate by the second chamfering wheel. 제17항에 있어서,The method of claim 17, 상기 제1 변 및 상기 제2 변은 상기 기판의 양측 단변 및 양측 장변이고, 상기 제1 면 및 상기 제2 면은 상기 기판의 전면 양측 코너 및 후면 양측 코너인 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취 가공방법.The first side and the second side are both short sides and both long sides of the substrate, and the first and second surfaces are chamfered for flat display, characterized in that the front both sides corner and the rear both sides corner of the substrate. Way. 삭제delete 제15항에 있어서,The method of claim 15, 상기 제2 면취 가공용 휠에 의한 상기 제1 면 양측 코너에 대한 면취 가공 시 상기 제1 면취 가공용 휠이 상기 제1 변 에지의 면취 가공을 위한 작업 위치로 이동하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 면취 가공방법.And when the first chamfering wheel moves to a working position for chamfering of the first side edge when chamfering the corners of both sides of the first surface by the second chamfering wheel. Chamfering method for flat panel display.
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