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KR101079723B1 - Anti-reflective and superhydrophilic film structure and its manufacturing method - Google Patents

Anti-reflective and superhydrophilic film structure and its manufacturing method Download PDF

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KR101079723B1
KR101079723B1 KR1020100107658A KR20100107658A KR101079723B1 KR 101079723 B1 KR101079723 B1 KR 101079723B1 KR 1020100107658 A KR1020100107658 A KR 1020100107658A KR 20100107658 A KR20100107658 A KR 20100107658A KR 101079723 B1 KR101079723 B1 KR 101079723B1
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KR
South Korea
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rare earth
film structure
earth hydroxide
substrate
coated
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Inventor
변송호
김홍두
Original Assignee
경희대학교 산학협력단
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Abstract

PURPOSE: An anti-reflective and ultra hydrophilic film structure and a manufacturing method thereof are provided to be applied to various fields like a display, a window, a solar cell by being easily and simply manufactured. CONSTITUTION: A rare earth hydroxide nano rod is deposited and annealed on a substrate. A film structure, in which a rare earth hydroxide nano rod layer is coated on the substrate, is obtained. A silica nano particle is deposited and annealed on an obtained film structure. Rare earth hydroxide is a hydration lanthanum.

Description

반사방지 및 초친수성 필름 구조체 및 그의 제조방법 {Antireflective and Superhydrophilic Film Structure and Process of Preparing the Same}Anti-reflective and superhydrophilic film structure and manufacturing method thereof {Antireflective and Superhydrophilic Film Structure and Process of Preparing the Same}

본 발명은 반사방지 및 초친수성 필름 구조체 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층이 코팅된 반사방지 및 초친수성 필름 구조체 및 그를 간단하고 용이하게 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an antireflective and superhydrophilic film structure and a method of manufacturing the same. More specifically, the present invention relates to an antireflective and superhydrophilic film structure coated with a rare earth hydroxide nanorod layer and a silica nanoparticle layer on a substrate and a method for producing the same simply and easily.

반사방지(antireflective) 코팅은 코팅된 디스플레이 및 창과 태양전지용 커버 유리와 같은 광학 및 광전자 분야에서 많은 관심을 받아왔다. 이러한 목적을 위하여, 무기, 고분자 및 무기/고분자 혼성 물질로 이루어진 다양한 필름이 개발되어 왔으나, 낮은 굴절률의 박막 필름을 두께, 조도(roughness) 및 기계적 강도를 정밀하게 조절하면서 제조하는 것은 여전히 많은 문제점을 가지고 있다.Antireflective coatings have received a great deal of attention in the fields of optics and optoelectronics such as coated displays and windows and solar cover glass. For this purpose, various films made of inorganic, polymer, and inorganic / polymer hybrid materials have been developed, but manufacturing a low refractive index thin film with precise control of thickness, roughness and mechanical strength still presents many problems. Have.

반사는 n f = (n s n 0)1/2 (n f, n sn 0는 각각 반사방지 필름, 기판 및 투과 매질의 굴절율임)이고, 코팅 두께가 반사되는 빛의 상쇄 간섭을 위해 빛 파장의 1/4일 때 크게 억제될 수 있다. 따라서, n s = 1.52인 유리 기판의 경우, 반사방지 필름의 n f는 0의 반사율을 달성하기 위해 1.23이어야 한다. 그러나, 충분히 낮은 굴절률을 갖는 재료가 없기 때문에, 통상적으로 반사방지 코팅은 반대로 하전된 나노입자를 이용하거나 고분자전해질(polyelectrolyte)을 함께 이용한 다층 박막 필름에 의해 수행되어 왔다. 다소 복잡한 코팅 공정이 요구되는 다층 필름과 비교하여, 단일층 반사방지 코팅은 훨씬 더 간단하게 수행될 수 있지만, 좁은 파장 밴드에서 최소 반사를 나타내는 제한된 기능성을 가진다. 가시광 밴드를 포함하는 광대역 반사방지 표면을 제공하기 위한 방법의 하나로서, 나노입자를 이용한 나노다공성 구조를 형성시킴으로써 필름의 귤절률을 효과적으로 낮추는 방법이 도입되었다. 그러나, 오직 제한된 무기 재료만이 이러한 방법에 대해 시도되었다.Reflection is n f = ( n s n 0 ) 1/2 ( n f , n s and n 0 are the refractive indices of the antireflective film, substrate and transmission medium, respectively) It can be greatly suppressed when it is 1/4 of the light wavelength. Thus, for a glass substrate with n s = 1.52, n f of the antireflective film should be 1.23 to achieve zero reflectivity. However, since there are no materials with sufficiently low refractive indices, antireflective coatings have typically been performed with multilayer thin film films using either reversely charged nanoparticles or with polyelectrolytes. Compared to multilayer films where a more complex coating process is required, single layer antireflective coatings may be much simpler to perform, but have limited functionality that exhibits minimal reflection in narrow wavelength bands. As one of the methods for providing a broadband antireflection surface including a visible light band, a method of effectively lowering the film's regulation rate by forming a nanoporous structure using nanoparticles has been introduced. However, only limited inorganic materials have been tried for this method.

반사방지성 외에, 표면 다공성 및 조도는 고체 표면의 습윤성과 밀접한 관계가 있다. 예를 들어, 친수성은 친수성 물질에 대한 조도가 증가함에 따라 증가된다. 자기 세정 및 생체적합성 분야에서 이용될 수 있는 가능성으로 인해, 초소수성 표면의 독특한 발수성(water-repellent property) 및 초친수성 표면의 방담성(antifogging property)은 많은 관심을 끌어 왔다. 그러나, 초소수성 또는 초친수성을 달성하는데 필요한 높은 조도는 진행되는 빛의 광범위한 산란을 유발하여 반사방지성과 상충된다. 따라서, 초친수성과 반사방지성을 동시에 가지는 필름은 제조하기 어렵다.In addition to antireflection, surface porosity and roughness are closely related to the wettability of the solid surface. For example, hydrophilicity increases with increasing illuminance for hydrophilic materials. Due to the potential for use in the field of self cleaning and biocompatibility, the unique water-repellent properties of superhydrophobic surfaces and the antifogging properties of superhydrophilic surfaces have attracted much attention. However, the high illuminance required to achieve superhydrophobicity or superhydrophilicity leads to extensive scattering of the light that proceeds and conflict with antireflection. Therefore, it is difficult to manufacture a film having both superhydrophilicity and antireflection.

본 발명자들은 초친수성과 반사방지성을 동시에 가지는 필름을 개발하기 위해 예의 연구 검토한 결과, 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층을 코팅하여 초친수성과 반사방지성을 동시에 달성할 수 있음을 발견하고 본 발명을 완성하게 되었다.The present inventors have diligently researched to develop a film having both superhydrophilicity and antireflection. As a result, the present invention can achieve superhydrophilicity and antireflection simultaneously by coating a rare earth hydroxide nanorod layer and a silica nanoparticle layer on a substrate. It was found that the present invention was completed.

따라서 본 발명의 목적은 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층이 코팅된 반사방지 및 초친수성 필름 구조체를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an antireflective and superhydrophilic film structure coated with a rare earth hydroxide nanorod layer and a silica nanoparticle layer on a substrate.

또한 본 발명의 다른 목적은 상기 필름 구조체를 간단하고 용이하게 제조하는 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method for producing the film structure simply and easily.

본 발명은 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층이 코팅된 반사방지 및 초친수성 필름 구조체에 관한 것이다.The present invention relates to an antireflective and superhydrophilic film structure coated with a rare earth hydroxide nanorod layer and a silica nanoparticle layer on a substrate.

상기 희토류 수산화물로는 수산화이트륨, 수산화란타늄, 수산화세륨, 수산화 가돌륨, 수산화유로퓸 등이 사용될 수 있으며, 수산화란타늄이 가장 바람직하다.As the rare earth hydroxide, yttrium hydroxide, lanthanum hydroxide, cerium hydroxide, gadolium hydroxide, europium hydroxide, and the like may be used, and lanthanum hydroxide is most preferred.

상기 기판으로는 유리, 석영, 실리콘, 실리카, 운모, ITO, 고분자 등이 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.Glass, quartz, silicon, silica, mica, ITO, a polymer, etc. may be used as the substrate, but is not limited thereto.

상기 필름 구조체에서 기판 상에 코팅된 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층으로 구성된 필름은 반사방지 용도를 위해 가시광선 파장의 1/4, 즉 약 100 내지 200 nm의 두께를 가져 반사된 빛의 소멸 간섭을 증가시키는 것이 바람직하다.In the film structure, the film composed of the rare earth hydroxide nanorod layer and the silica nanoparticle layer coated on the substrate has a thickness of 1/4 of the visible wavelength, that is, about 100 to 200 nm, for the anti-reflective application. It is desirable to increase evanescent interference.

또한, 상기 희토류 수산화물 나노막대는 직경이 약 20 내지 30 nm이고, 평균 길이가 약 100 내지 250 nm인 것이 바람직하며, 상기 실리카 나노입자의 직경은 7 내지 20 nm인 것이 바람직하다.In addition, the rare earth hydroxide nanorods preferably have a diameter of about 20 to 30 nm, an average length of about 100 to 250 nm, and the diameter of the silica nanoparticles is preferably 7 to 20 nm.

본 발명에 따른 필름 구조체는 희토류 수산화물 나노막대가 기판 상에 불규칙하게 자기 적층(self-stacking)되어 표면에 광학 파장 보다 더 작은 다수의 동공(pore)이 형성되어 있으며, 이는 반사방지용 필름의 유효 굴절률을 감소시키는 역할을 한다.In the film structure according to the present invention, a rare earth hydroxide nanorod is irregularly self-stacked on a substrate to form a plurality of pores smaller than an optical wavelength on the surface, which is an effective refractive index of an antireflection film. It serves to reduce.

또한 본 발명에 따른 필름 구조체는 상기한 희토류 수산화물 층의 거친 다공성 표면에 상기 실리카 나노입자 층이 증착되어 초친수성을 나타낸다.
In addition, the film structure according to the present invention exhibits superhydrophilicity by depositing the silica nanoparticle layer on the rough porous surface of the rare earth hydroxide layer.

다른 한편으로, 본 발명은 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층이 코팅된 필름 구조체의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 제조방법은 On the other hand, the present invention relates to a method of manufacturing a film structure coated with a rare earth hydroxide nanorod layer and a silica nanoparticle layer on a substrate, the production method of the present invention

(i) 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대를 증착시키고 어닐링시켜 상기 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대 층이 코팅된 필름 구조체를 수득하는 단계; 및(i) depositing and annealing the rare earth hydroxide nanorods on the substrate to obtain a film structure coated with the rare earth hydroxide nanorods layer on the substrate; And

(ii) 단계 (i)에서 수득한 필름 구조체 상에 실리카 나노입자를 증착시키고 어닐링시키는 단계를 포함한다.(ii) depositing and annealing the silica nanoparticles on the film structure obtained in step (i).

상기 희토류 수산화물로는 수산화이트륨, 수산화란타늄, 수산화세륨, 수산화 가돌륨, 수산화유로퓸 등이 사용될 수 있으며, 수산화란타늄이 가장 바람직하다.As the rare earth hydroxide, yttrium hydroxide, lanthanum hydroxide, cerium hydroxide, gadolium hydroxide, europium hydroxide, and the like may be used, and lanthanum hydroxide is most preferred.

상기 기판으로는 유리, 석영, 실리콘, 실리카, 운모, ITO, 고분자 등이 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.Glass, quartz, silicon, silica, mica, ITO, a polymer, etc. may be used as the substrate, but is not limited thereto.

상기 단계 (i)에서는, 기판을 희토류 산화염화물(REOCl)을 가수분해하여 생성되는 희토류 수산화물 나노막대의 수성 현탁액에 침지시켜 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대를 증착시킨 다음 어닐링시켜 희토류 수산화물 나노막대 층이 코팅된 필름 구조체를 수득한다.In the step (i), the substrate is immersed in an aqueous suspension of the rare earth hydroxide nanorods produced by hydrolysis of rare earth oxychloride (REOCl) to deposit the rare earth hydroxide nanorods on the substrate and then annealed to form the rare earth hydroxide nanorod layer. Obtain a coated film structure.

희토류 산화염화물을 가수분해하여 생성되는 희토류 수산화물 나노막대의 수성 현탁액은 희토류 수산화물 나노막대가 잘 분산되어 있어, 기판을 희토류 수산화물 나노막대의 수성 현탁액에 침지시킬 경우, 희토류 수산화물 나노막대가 기판 상에 무작위로 자기 적층(self-stacking)되어 표면이 다공성이고 거친 희토류 수산화물 나노막대 필름이 형성된다. 상기 필름은 가시광선 영역에서 반사 손실을 현저히 감소시켜 반사방지 특성을 나타낸다.The aqueous suspension of the rare earth hydroxide nanorods produced by hydrolysis of rare earth oxidized chlorides is well dispersed in the rare earth hydroxide nanorods, so that when the substrate is immersed in the aqueous suspension of the rare earth hydroxide nanorods, the rare earth hydroxide nanorods are randomized on the substrate. Self-stacking to form a porous, coarse rare earth hydroxide nanorod film. The film exhibits antireflection properties by significantly reducing reflection loss in the visible region.

상기한 침지 공정을 반복하여 표면에 형성되는 동공(pore)의 크기를 광학 파장 보다 훨씬 더 작게 유지하면서 필름의 두께를 증가시킬 수도 있다.The above immersion process may be repeated to increase the thickness of the film while keeping the size of the pores formed on the surface much smaller than the optical wavelength.

상기 어닐링 온도는 250 내지 300℃가 바람직하며, 어닐링 온도가 300 ℃를 초과할 경우에는 희토류 수산화물 나노막대의 구조적 및 형태적 붕괴가 일어나 필름 밀집도(compactness)가 증가하고 투과율이 상당히 감소된다.The annealing temperature is preferably 250 to 300 ° C., and when the annealing temperature exceeds 300 ° C., the structural and morphological collapse of the rare earth hydroxide nanorods occurs, resulting in an increase in film compactness and a significant decrease in transmittance.

상기 희토류 산화염화물(REOCl)은 공지된 방법에 따라 희토류 산화물(RE2O3)을 염화수소(HCl)와 반응시켜 용이하게 제조할 수 있다.The rare earth oxidized chloride (REOCl) may be easily prepared by reacting the rare earth oxide (RE 2 O 3 ) with hydrogen chloride (HCl) according to a known method.

희토류 수산화물 나노막대는 직경이 약 20 내지 30 nm이고, 평균 길이가 약 100 내지 250 nm인 것이 바람직하다.The rare earth hydroxide nanorods preferably have a diameter of about 20 to 30 nm and an average length of about 100 to 250 nm.

상기 단계 (ii)에서는, 단계 (i)에서 수득한 필름 구조체를 다시 실리카 나노입자의 현탁액에 침지시켜 상기 희토류 수산화물 나노막대 층 상에 실리카 나노입자를 증착시킨 다음 어닐링시켜 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층이 코팅된 필름 구조체를 수득한다.In step (ii), the film structure obtained in step (i) is again immersed in a suspension of silica nanoparticles to deposit silica nanoparticles on the rare earth hydroxide nanorod layer and then annealed to form a rare earth hydroxide nanorod on the substrate. A film structure coated with a layer and a silica nanoparticle layer is obtained.

상기 실리카 나노입자의 현탁액으로는 실리카 나노입자의 수성 현탁액, 이소프로판올 현탁액 등을 사용할 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.As the suspension of the silica nanoparticles, an aqueous suspension of the silica nanoparticles, an isopropanol suspension, and the like may be used, but is not limited thereto.

단계 (i)에서 수득한 필름 구조체를 실리카 나노입자의 현탁액에 침지시킬 경우, 실리카 나노입자가 희토류 수산화물 나노막대 층의 매우 다공성이고 거친 표면에 증착되어 필름 두께의 유의적인 변화 없이 실리카 나노입자 층이 형성되며, 생성된 필름은 반사방지성을 유지하면서 초친수성과 방담성을 나타낸다.When the film structure obtained in step (i) is immersed in the suspension of silica nanoparticles, the silica nanoparticles are deposited on the highly porous and rough surface of the rare earth hydroxide nanorod layer, so that the silica nanoparticle layer is formed without significant change in film thickness. Formed, the resulting film exhibits superhydrophilicity and antifogging properties while maintaining antireflection.

상기한 침지 공정을 수 회 반복할 수 있으며, 어닐링 온도는 250 내지 300℃가 바람직하다.The immersion process can be repeated several times, the annealing temperature is preferably 250 to 300 ℃.

상기 실리카 나노입자의 직경은 7 내지 20 nm인 것이 바람직하다.The diameter of the silica nanoparticles is preferably 7 to 20 nm.

본 발명에 따른 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층이 코팅된 필름 구조체는 반사방지성과 초친수성 및 방담성을 가져 디스플레이, 창, 태양전지 등 다양한 분야에서 사용될 수 있다.The film structure coated with the rare earth hydroxide nanorod layer and the silica nanoparticle layer on the substrate according to the present invention may be used in various fields such as display, window, solar cell, etc., having antireflection, superhydrophilicity, and anti-fogging property.

아울러, 본 발명의 제조방법에 따르면 상기 필름 구조체를 공기 중에서 간단하고 용이하게 제조할 수 있으며, 대면적 또는 곡선 표면 등 다양한 기판에 적용될 수 있다.In addition, according to the manufacturing method of the present invention, the film structure can be easily and easily manufactured in air, and can be applied to various substrates such as large areas or curved surfaces.

도 1은 LaOCl(a), La(OH)3 분말(b) 및 La(OH)3 나노막대로 1 내지 4회 코팅된 유리 슬라이드(c-f) 각각의 XRD 패턴이다.
도 2는 La(OH)3 나노막대로 1 내지 4회 코팅된 유리 슬라이드(a-d) 각각의 표면 및 단면 주사전자현미경(scanning electron microscopy: SEM) 이미지이다.
도 3은 La(OH)3 나노막대로 1 내지 4회 코팅된 유리 슬라이드(1-4) 각각의 투과율(a) 및 반사율(b) 스펙트럼이다.
도 4는 La(OH)3 나노막대로 1 내지 4회 코팅된 유리 슬라이드(1-4) 각각을 태양광 하에서 촬영한 사진이다.
도 5는 La(OH)3 나노막대로 코팅된 유리 슬라이드를 300 ℃(b) 및 500 ℃(c)에서 열처리한 후의 투과율 스펙트럼(a)과 표면 및 단면 SEM 이미지(b-c)이다.
도 6은 La(OH)3 나노막대로 코팅된 유리 기판 및 La(OH)3/SiO2로 코팅된 유리 기판의 표면 및 단면 SEM 이미지와 수적(water droplet)의 형태를 나타낸 도이다.
도 7은 La(OH)3 나노막대로 코팅된 유리 기판(a) 및 La(OH)3/SiO2로 코팅된 유리 기판(b)의 투과율 스펙트럼이다.
도 8은 La(OH)3/SiO2로 코팅된 유리 기판(우측)과 비코팅된 유리 기판(좌측)의 방담 효과를 비교한 사진이다.
1 is an XRD pattern of each of a glass slide (cf) coated 1 to 4 times with LaOCl (a), La (OH) 3 powder (b) and La (OH) 3 nanorods.
FIG. 2 is a scanning electron microscopy (SEM) image of the surface and cross-section of each of the glass slides (ad) coated 1 to 4 times with La (OH) 3 nanorods.
3 is a transmission (a) and reflectance (b) spectrum of each of the glass slides 1-4 coated 1 to 4 times with La (OH) 3 nanorods.
4 is a photograph of each of the glass slides 1-4 coated 1 to 4 times with La (OH) 3 nanorods under sunlight.
5 is a transmission spectrum (a) and surface and cross-sectional SEM images (bc) after heat treatment of glass slides coated with La (OH) 3 nanorods at 300 ° C. and 500 ° C.
FIG. 6 is a view showing the surface and cross-sectional SEM images of a glass substrate coated with La (OH) 3 nanorods and a glass substrate coated with La (OH) 3 / SiO 2 and the shape of water droplets.
7 is a transmission spectrum of a glass substrate (a) coated with La (OH) 3 nanorods and a glass substrate (b) coated with La (OH) 3 / SiO 2 .
8 is a photograph comparing the antifogging effect of a glass substrate (right) coated with La (OH) 3 / SiO 2 and an uncoated glass substrate (left).

이하, 실시예에 의해 본 발명을 보다 구체적으로 설명하고자 한다. 이들 실시예는 오직 본 발명을 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 범위가 이들 실시예에 국한되지 않는다는 것은 당업자에게 있어서 자명하다.
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. These examples are only for illustrating the present invention, it is apparent to those skilled in the art that the scope of the present invention is not limited to these examples.

실시예 1: La(OH)Example 1 La (OH) 33 나노막대의 제조 Preparation of Nano Rods

La2O3를 농축 HCl 용액에 가하고 균일하게 교반하여 투명한 용액을 형성시킨 후, 용액을 증발시키고 생성된 분말을 550 ℃에서 24 시간 동안 간헐적으로 분쇄하면서 가열하여 LaOCl 분말을 수득하였다. LaOCl (0.5 g)을 증류수 (100 ml)에 가하고 12 시간 동안 질소 기체 하에 환류시켰다. 그런 다음, 2000 rpm에서 10 분 동안 원심분리하여 침전된 입자를 제거하고 La(OH)3 나노막대를 함유한 상등 현탁액을 제조하였다.
La 2 O 3 was added to the concentrated HCl solution and uniformly stirred to form a clear solution, after which the solution was evaporated and the resulting powder was heated with intermittent grinding at 550 ° C. for 24 hours to give LaOCl powder. LaOCl (0.5 g) was added to distilled water (100 ml) and refluxed under nitrogen gas for 12 hours. Then, centrifugation at 2000 rpm for 10 minutes to remove the precipitated particles to prepare a super suspension containing La (OH) 3 nanorods.

실시예 2: La(OH)Example 2: La (OH) 33 나노막대로 코팅된 유리 기판의 제조 Fabrication of Glass Substrates Coated with Nanorods

유리 슬라이드를 H2O2/H2SO4 (1:3 부피비) 용액으로 30 분 동안 세정하고 물로 세척하였다. 유리 기판을 실시예 1에서 수득한 La(OH)3 나노막대를 함유한 수성 현탁액에 침지시키고 폐쇄된 플라스크에서 10 시간 동안 상온에서 유지한 다음, 다량의 물로 세척하고 100 ℃에서 1 시간 동안 건조하여 La(OH)3 필름의 1차 코팅을 수행하였다. 필름 두께를 증가시키기 위해, 동일한 과정을 2 내지 4회 반복하였다. 침지 시간은 2차 증착 공정부터 2 시간이었다. 그런 다음, La(OH)3 나노막대로 코팅된 유리 기판을 300 ℃에서 5 시간 동안 가열하여 기계적 성질을 개선하였다.The glass slides were washed with H 2 O 2 / H 2 SO 4 (1: 3 volume ratio) solution for 30 minutes and washed with water. The glass substrate was immersed in an aqueous suspension containing La (OH) 3 nanorods obtained in Example 1, kept at room temperature for 10 hours in a closed flask, washed with plenty of water and dried at 100 ° C. for 1 hour. Primary coating of La (OH) 3 film was performed. To increase the film thickness, the same procedure was repeated 2-4 times. Immersion time was 2 hours from the secondary deposition process. The glass substrate coated with La (OH) 3 nanorod was then heated at 300 ° C. for 5 hours to improve mechanical properties.

한편, 유리 기판 몇 개를 400 - 500 ℃에서 5 시간 동안 가열하여 투명 필름의 열안정성을 조사하였다.On the other hand, several glass substrates were heated at 400-500 degreeC for 5 hours, and the thermal stability of the transparent film was investigated.

LaOCl(a), La(OH)3 분말(b) 및 La(OH)3 나노막대로 1 내지 4회 코팅된 유리 슬라이드(c-f) 각각의 X-선 회절(X-ray diffraction: XRD) 패턴을 도 1에 나타내었다. 도 1에서 La(OH)3 분말과 비교하여, La(OH)3 나노막대로 코팅된 유리 슬라이드의 XRD 패턴은 (100), (110), (200) 및 (300) 반사에 해당하는 특징적인 회절 피크만을 나타내었으며, 이는 나노막대가 (hk0) 면에 우선적으로 배향됨을 제시한다. 증착 회수에 따른 상대적인 회절 강도의 증가는 필름 두께의 증가 때문이다.X-ray diffraction (XRD) patterns of each of the glass slides (cf) coated 1 to 4 times with LaOCl (a), La (OH) 3 powder (b) and La (OH) 3 nanorods 1 is shown. Compared to La (OH) 3 powder in FIG. 1, the XRD patterns of glass slides coated with La (OH) 3 nanorods are characteristic for (100), (110), (200) and (300) reflections. Only diffraction peaks are shown, suggesting that the nanorods are preferentially oriented in the ( hk 0) plane. The relative increase in diffraction intensity with the number of depositions is due to the increase in film thickness.

또한, La(OH)3 나노막대로 1 내지 4회 코팅된 유리 슬라이드(a-d) 각각의 표면 및 단면 주사전자현미경(scanning electron microscopy: SEM) 이미지를 도 2에 나타내었다(단면 이미지에 대한 스케일바 = 100 nm). 도 2에서 높은 종횡비(aspect ratio)의 La(OH)3 나노막대가 증착 회수에 상관없이 기판 표면에 응집되지 않음을 확인할 수 있다. La(OH)3 나노막대의 크기는 매우 규칙적이고, 직경이 약 20 내지 30 nm이며, 평균 길이가 약 200 nm이다. 가시광선 파장과 유사하거나 더 큰 크기의 입자가 없어서 가시광선 산란을 피할 수 있다. 필름의 단면 SEM 이미지에서 볼 수 있는 것처럼, 필름의 평균 두께는 1회 코팅시 약 120 nm이고, 코팅 공정이 2회, 3회 및 4회 반복된 경우 각각 약 150, 180 및 200 nm로 증가하였다.In addition, the surface and cross-sectional scanning electron microscopy (SEM) images of each of the glass slides (ad) coated 1 to 4 times with La (OH) 3 nanorods are shown in FIG. 2 (scale bar for cross-sectional images). = 100 nm). It can be seen from FIG. 2 that the high aspect ratio La (OH) 3 nanorods do not aggregate on the substrate surface regardless of the number of depositions. The size of the La (OH) 3 nanorods is very regular, about 20-30 nm in diameter, and about 200 nm in average length. Visible light scattering can be avoided by the absence of particles of a size similar to or larger than the visible wavelength. As can be seen in the cross-sectional SEM image of the film, the average thickness of the film was about 120 nm for one coating and increased to about 150, 180 and 200 nm for two, three and four repeated coating processes, respectively. .

La(OH)3 나노막대로 코팅된 표면의 조도(roughness)의 제곱평균제곱근(root mean square: RMS)을 원자력 현미경으로 측정하였다. 필름 두께가 약 120 nm에서 200 nm로 증가함에 따라, 제조된 필름의 조도의 제곱평균제곱근은 약 24 nm에서 55 nm로 선형으로 증가하였으며, 이는 높은 광학 투명도를 제공할만큼 충분히 작다. 표면 조도의 증가는 증착 회수에 따라 증가되는 기판 상의 불규칙한 적층 정도와 관련된다.The root mean square (RMS) of the roughness of the surface coated with La (OH) 3 nanorods was measured by atomic force microscopy. As the film thickness increased from about 120 nm to 200 nm, the root mean square of the roughness of the produced film increased linearly from about 24 nm to 55 nm, which was small enough to provide high optical transparency. The increase in surface roughness is related to the degree of irregular lamination on the substrate which increases with the number of depositions.

코팅되지 않은 유리 슬라이드와 비교하여, La(OH)3 나노막대로 1 내지 4회 코팅된 유리 슬라이드(1-4) 각각의 투과율(a) 및 반사율(b) 스펙트럼을 도 3에 나타내었다. 도 3에서 보듯이 코팅된 유리 슬라이드는 가시광선 영역 전체에 걸쳐 현저히 감소된 반사 손실을 나타내었다. 또한 La(OH)3 나노막대로 코팅된 유리 기판은 약 450 nm에서 97-98%의 투과율을 나타내었다. 아울러 높은 투과율 뿐만 아니라 매우 낮은 수준의 반사율이 특정 가시광선 파장에서 달성되었다. 약 1-1.8%의 최소 반사율은 유리 기판 상에 반사방지 코팅의 조건을 만족시킨다. 반사의 최대 억제 파장은 증착 수 (즉, 필름 두께)를 변화시킴으로써 500 내지 750 nm로 조절될 수 있다.In comparison to the uncoated glass slide, the transmittance (a) and reflectance (b) spectra of each of the glass slides 1-4 coated 1 to 4 times with La (OH) 3 nanorods are shown in FIG. 3. As shown in FIG. 3, the coated glass slide exhibited significantly reduced reflection loss throughout the visible region. Glass substrates coated with La (OH) 3 nanorods also exhibited transmittances of 97-98% at about 450 nm. In addition to very high levels of transmission, very low levels of reflectance have been achieved at certain visible wavelengths. A minimum reflectance of about 1-1.8% satisfies the conditions of the antireflective coating on the glass substrate. The maximum suppression wavelength of reflection can be adjusted to 500-750 nm by varying the number of depositions (ie, film thickness).

La(OH)3 나노막대로 1 내지 4회 코팅된 유리 슬라이드(1-4) 각각을 태양광 하에서 촬영한 사진을 도 4에 나타내었다. 유리 기판의 좌측은 코팅되지 않은 부분이다. 도 4 에서, La(OH)3 나노막대로 코팅된 유리 부분 뒤의 흰색 글자의 가독성은 비처리된 유리 부분 뒤 보다 상당히 우수하므로 반사 억제가 됨을 확인할 수 있다. 많은 반사방지 표면이 특정 조명 조건에서 색 지각에 문제가 있는 경향이 있는 반면, 4회 증착된 필름은 통상적으로 사용되는 광원 중 하나인 일광 또는 형광 램프 하에서 푸른 빛을 나타내었다.A photograph taken of the glass slides 1-4 coated 1 to 4 times with La (OH) 3 nanorods under sunlight is shown in FIG. 4. The left side of the glass substrate is an uncoated portion. In FIG. 4, the readability of the white letters behind the glass portion coated with the La (OH) 3 nanorod is considerably better than that after the untreated glass portion, and thus it is confirmed that the reflection is suppressed. While many antireflective surfaces tend to suffer from color perception under certain lighting conditions, the four deposited films exhibited blue light under daylight or fluorescent lamps, one of the commonly used light sources.

La(OH)3 나노막대로 코팅된 유리 슬라이드를 300 ℃(b) 및 500 ℃(c)에서 열처리한 후의 투과율 스펙트럼(a)과 표면 및 단면 SEM 이미지(b-c)를 각각 도 5에 나타내었다(스케일바 = 100 nm). 도 5에서 보듯이, 필름을 300 ℃에서 열처리한 후에 나노막대의 형태 및 필름 두께에 있어서 유의적인 변화가 관찰되지 않았으며, 투과율 및 최대 투과 파장에서도 뚜렷한 차이점이 없었다. 반면, 500 ℃에서 처리한 경우 La(OH)3 나노막대의 구조적 및 형태적 붕괴가 일어나 필름 밀집도(compactness)가 증가하고 투과율이 상당히 감소하였다.
The transmittance spectra (a) and surface and cross-sectional SEM images (bc) after heat treatment of the glass slides coated with La (OH) 3 nanorods at 300 ° C. (b) and 500 ° C. (c) are shown in FIG. 5, respectively ( Scale bar = 100 nm). As shown in FIG. 5, no significant change was observed in the shape and film thickness of the nanorods after the film was heat treated at 300 ° C., and there was no significant difference in transmittance and maximum transmission wavelength. On the other hand, treatment at 500 ° C. resulted in structural and morphological collapse of the La (OH) 3 nanorods, resulting in increased film compactness and significantly reduced transmittance.

실시예 3: La(OH)Example 3: La (OH) 33 나노막대 및 SiO Nanorods and SiO 22 나노입자로 코팅된 유리 기판의 제조 Preparation of Glass Substrates Coated with Nanoparticles

실시예 2에서 수득한 La(OH)3 나노막대로 코팅된 유리 기판을 1.0 중량%의 SiO2 나노입자를 함유한 이소프로판올 현탁액에 20 초 동안 침지시킨 후 탈이온수로 신속하게 세척하여 SiO2 나노입자를 흡착시켰다. 침지 공정을 2회 반복하고 100 ℃에서 1 시간 동안 건조시켰다. La(OH)3 나노막대 및 SiO2 나노입자(La(OH)3/SiO2) 필름으로 코팅된 유리 슬라이드를 300 ℃에서 5 시간 동안 가열하여 기계적 성질을 증강시켰다.The glass substrate coated with the La (OH) 3 nanorod obtained in Example 2 was immersed in an isopropanol suspension containing 1.0 wt.% SiO 2 nanoparticles for 20 seconds and then rapidly washed with deionized water to make SiO 2 nanoparticles. Was adsorbed. The dipping process was repeated twice and dried at 100 ° C. for 1 hour. Glass slides coated with La (OH) 3 nanorods and SiO 2 nanoparticles (La (OH) 3 / SiO 2 ) films were heated at 300 ° C. for 5 hours to enhance mechanical properties.

실시예 2에서 수득한 La(OH)3 나노막대로 코팅된 유리 기판 및 상기 La(OH)3/SiO2로 코팅된 유리 기판의 표면 및 단면 SEM 이미지와 수적(water droplet)의 형태를 도 6에 나타내었다. La(OH)3 필름과 비교하여, SiO2 나노입자로 코팅 후에 두께에 있어서 유의적인 변화가 없었으며, 이는 La(OH)3 나노막대 층이 실리카 층을 위해 매우 다공성이고 거친 표면을 제공함을 나타낸다.Surface and cross-sectional SEM images of the glass substrate coated with La (OH) 3 nanorods obtained in Example 2 and the glass substrate coated with La (OH) 3 / SiO 2 and the shape of water droplets are shown in FIG. 6. Shown in Compared to La (OH) 3 film, there was no significant change in thickness after coating with SiO 2 nanoparticles, indicating that the La (OH) 3 nanorod layer provides a very porous and rough surface for the silica layer. .

제조된 필름의 습윤성은 수적 접촉각(water droplet contact angle: WCA) 및 표면 상에서 퍼지는 물의 속도에 의해 나타낸다. La(OH)3 필름의 WCA는 증착 회수에 따라 약 23°에서 약 59°로 증가하였으며, 그러한 접촉각은 유리 자체의 것과 많이 다르지 않다. 반면, WCA가 27.2°인 La(OH)3 나노막대 층을 SiO2 나노입자로코팅한 경우, La(OH)3/SiO2 필름의 WCA는 표면에 적가한 후 0.5 초 내에 약 0°가 되었다. 평면 SiO2 표면의 WCA가 약 20°인 것을 고려한다면, 이러한 변화는 전형적인 초친수성 때문임이 분명하다. 그러한 초친수성은 광이 없어도 유지되었다.The wettability of the produced films is indicated by the water droplet contact angle (WCA) and the rate of water spreading on the surface. The WCA of the La (OH) 3 film increased from about 23 ° to about 59 ° with the number of depositions, and such contact angle is not much different from that of the glass itself. On the other hand, when the La (OH) 3 nanorod layer having a WCA of 27.2 ° was coated with SiO 2 nanoparticles, the WCA of the La (OH) 3 / SiO 2 film became about 0 ° within 0.5 seconds after dropwise addition to the surface. . Considering that the WCA of the planar SiO 2 surface is about 20 °, it is clear that this change is due to typical superhydrophilicity. Such superhydrophilicity was maintained without light.

La(OH)3 나노막대로 코팅된 유리 기판(a) 및 La(OH)3/SiO2로 코팅된 유리 기판(b)의 투과율 스펙트럼을 도 7에 나타내었다. 도 7에서 SiO2 나노입자로 표면 개질한 후에 투과율 및 최대 투과 파장에서 유의적인 변화가 관찰되지 않았다.The transmittance spectra of the glass substrate (a) coated with La (OH) 3 nanorods and the glass substrate (b) coated with La (OH) 3 / SiO 2 are shown in FIG. 7. No significant change in transmittance and maximum transmission wavelength was observed after surface modification with SiO 2 nanoparticles in FIG. 7.

또한 La(OH)3 나노막대 필름에 실리카 나노입자를 코팅하면 필름의 기계적 내구성 및 접착력이 증가되었다.In addition, the coating of silica nanoparticles on La (OH) 3 nanorod film increased the mechanical durability and adhesion of the film.

La(OH)3/SiO2로 부분적으로 코팅된 유리 슬라이드를 -5 ℃ 이하에서 3 시간 동안 냉각시킨 후에 습윤 환경(약 50%의 상대 습도)에 노출시킨 다음 촬영한 La(OH)3/SiO2로 코팅된 유리 기판(우측) 및 비코팅된 유리 기판(좌측)의 사진을 도 8에 나타내었다. 도 8에서 보듯이, 유리 슬라이드의 비처리 부분은 즉시 김이 서려 빛을 산란하는 반면, La(OH)3/SiO2로 코팅된 부분은 투명하게 유지되었으며, 이는 방담 효과를 입증한다.Glass slides partially coated with La (OH) 3 / SiO 2 were cooled to 3 ° C. or below at −5 ° C. and then exposed to a humid environment (about 50% relative humidity) and then photographed La (OH) 3 / SiO Photographs of the glass substrate (right) coated with 2 and the uncoated glass substrate (left) are shown in FIG. 8. As shown in FIG. 8, the untreated portion of the glass slide immediately steamed and scattered light, while the portion coated with La (OH) 3 / SiO 2 remained transparent, demonstrating the anti-fogging effect.

Claims (18)

기판 상에 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층이 코팅된 반사방지 및 초친수성 필름 구조체.An antireflective and superhydrophilic film structure coated with a rare earth hydroxide nanorod layer and a silica nanoparticle layer on a substrate. 제1항에 있어서, 희토류 수산화물이 수산화란타늄인 것을 특징으로 하는 필름 구조체.The film structure according to claim 1, wherein the rare earth hydroxide is lanthanum hydroxide. 제1항에 있어서, 기판이 유리, 석영, 실리콘, 실리카, 운모, ITO 또는 고분자인 것을 특징으로 하는 필름 구조체.The film structure of claim 1, wherein the substrate is glass, quartz, silicon, silica, mica, ITO, or a polymer. 제1항에 있어서, 코팅된 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층으로 구성된 필름이 100 내지 200 nm의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 필름 구조체.The film structure according to claim 1, wherein the film composed of the coated rare earth hydroxide nanorod layer and the silica nanoparticle layer has a thickness of 100 to 200 nm. 제1항에 있어서, 희토류 수산화물 나노막대의 직경이 20 내지 30 nm이고, 평균 길이가 100 내지 250 nm인 것을 특징으로 하는 필름 구조체.The film structure according to claim 1, wherein the rare earth hydroxide nanorods have a diameter of 20 to 30 nm and an average length of 100 to 250 nm. 제1항에 있어서, 실리카 나노입자의 직경이 7 내지 20 nm인 것을 특징으로 하는 필름 구조체.The film structure according to claim 1, wherein the silica nanoparticles have a diameter of 7 to 20 nm. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 희토류 수산화물 나노막대 층의 거친 다공성 표면에 실리카 나노입자 층이 증착되어 있는 것을 특징으로 하는 필름 구조체.The film structure according to any one of claims 1 to 6, wherein a silica nanoparticle layer is deposited on the rough porous surface of the rare earth hydroxide nanorod layer. 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층이 코팅된 필름 구조체의 제조방법으로서,
(i) 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대를 증착시키고 어닐링시켜 상기 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대 층이 코팅된 필름 구조체를 수득하는 단계; 및
(ii) 단계 (i)에서 수득한 필름 구조체 상에 실리카 나노입자를 증착시키고 어닐링시키는 단계를 포함하는 제조방법.
A method of manufacturing a film structure coated with a rare earth hydroxide nanorod layer and a silica nanoparticle layer on a substrate,
(i) depositing and annealing the rare earth hydroxide nanorods on the substrate to obtain a film structure coated with the rare earth hydroxide nanorods layer on the substrate; And
(ii) depositing and annealing silica nanoparticles on the film structure obtained in step (i).
제8항에 있어서, 희토류 수산화물이 수산화란타늄인 것을 특징으로 하는 제조방법.9. A process according to claim 8, wherein the rare earth hydroxide is lanthanum hydroxide. 제8항에 있어서, 기판이 유리, 석영, 실리콘, 실리카, 운모, ITO 또는 고분자인 것을 특징으로 하는 제조방법.The method of claim 8, wherein the substrate is glass, quartz, silicon, silica, mica, ITO or a polymer. 제8항에 있어서, 단계 (i)에서 기판을 희토류 산화염화물(REOCl)을 가수분해하여 생성되는 희토류 수산화물 나노막대의 수성 현탁액에 침지시켜 기판 상에 희토류 수산화물 나노막대를 증착시킨 다음 어닐링시켜, 희토류 수산화물 나노막대 층이 코팅된 필름 구조체를 수득하는 것을 특징으로 하는 제조방법.10. The rare earth of claim 8, wherein in step (i) the substrate is immersed in an aqueous suspension of rare earth hydroxide nanorods produced by hydrolysis of rare earth oxychloride (REOCl) to deposit rare earth hydroxide nanorods on the substrate and then annealed to provide a rare earth. A method for producing a film structure coated with a hydroxide nanorod layer. 제11항에 있어서, 침지 공정을 반복하여 필름의 두께를 증가시키는 것을 특징으로 하는 제조방법.The method according to claim 11, wherein the thickness of the film is increased by repeating the dipping process. 제8항에 있어서, 단계 (i)에서 어닐링 온도가 250 내지 300℃인 것을 특징으로 하는 제조방법.The method according to claim 8, wherein the annealing temperature in step (i) is 250 to 300 ° C. 제8항에 있어서, 희토류 수산화물 나노막대의 직경이 20 내지 30 nm이고, 평균 길이가 100 내지 250 nm인 것을 특징으로 하는 제조방법.The method according to claim 8, wherein the rare earth hydroxide nanorods have a diameter of 20 to 30 nm and an average length of 100 to 250 nm. 제8항에 있어서, 단계 (ii)에서 단계 (i)에서 수득한 필름 구조체를 실리카 나노입자의 현탁액에 침지시켜 희토류 수산화물 나노막대 층 상에 실리카 나노입자를 증착시킨 다음 어닐링시켜, 희토류 수산화물 나노막대 층과 실리카 나노입자 층이 코팅된 필름 구조체를 수득하는 것을 특징으로 하는 제조방법.The rare earth hydroxide nanorod according to claim 8, wherein the film structure obtained in step (ii) in step (ii) is immersed in a suspension of silica nanoparticles to deposit silica nanoparticles on the rare earth hydroxide nanorod layer and then annealed. A method for producing a film structure coated with a layer and a silica nanoparticle layer. 제15항에 있어서, 실리카 나노입자의 현탁액이 실리카 나노입자의 수성 현탁액 또는 이소프로판올 현탁액인 것을 특징으로 하는 제조방법.The method of claim 15, wherein the suspension of silica nanoparticles is an aqueous suspension of isopropanol or isopropanol suspension. 제8항에 있어서, 단계 (ii)에서 어닐링 온도가 250 내지 300℃인 것을 특징으로 하는 제조방법.The method according to claim 8, wherein the annealing temperature in step (ii) is 250 to 300 ° C. 제8항에 있어서, 실리카 나노입자의 직경이 7 내지 20 nm인 것을 특징으로 하는 제조방법.The method according to claim 8, wherein the silica nanoparticles have a diameter of 7 to 20 nm.
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