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KR101341211B1 - Apparatus for supporting glass for flat panel display in drying process, method for drying glass using the apparatus and method for manufacturing flat panel display using the method - Google Patents

Apparatus for supporting glass for flat panel display in drying process, method for drying glass using the apparatus and method for manufacturing flat panel display using the method Download PDF

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KR101341211B1
KR101341211B1 KR1020060139008A KR20060139008A KR101341211B1 KR 101341211 B1 KR101341211 B1 KR 101341211B1 KR 1020060139008 A KR1020060139008 A KR 1020060139008A KR 20060139008 A KR20060139008 A KR 20060139008A KR 101341211 B1 KR101341211 B1 KR 101341211B1
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KR
South Korea
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glass substrate
support
fork arm
flat panel
panel display
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박규우
황현석
권순복
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 평판표시장치 제조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시장치의 재료인 유리기판을 배치(batch) 방식으로 건조하는 공정에 있어서 유리기판을 지지하는 지지장치 및 이 지지장치를 이용한 유리기판 건조방법, 그리고 이 유리기판 건조방법을 이용한 평판표시장치 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat panel display device, and more particularly, to a glass substrate using a support device for supporting a glass substrate in a process of drying a glass substrate, which is a material of the flat panel display device, in a batch method. And a method for manufacturing a flat panel display device using the glass substrate drying method.

본 발명에 따른 평판표시장치용 유리기판의 지지장치는, 평판표시장치의 재료인 유리기판을 수평하게 지지하기 위하여 서로 평행하게 배열된 복수의 지지봉과, 상기 복수의 지지봉의 일단에 고정된 고정바를 포함하고, 상기 복수의 지지봉은 상기 고정바에 접한 일단보다 상기 고정바와 먼 타단의 높이가 높도록 경사지게 배치된 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, a glass substrate support device includes a plurality of support bars arranged in parallel with each other and a fixed bar fixed to one end of the plurality of support bars in order to horizontally support a glass substrate, which is a material of the flat panel display device. It includes, the plurality of support rods are characterized in that the inclined arrangement so that the height of the other end far from the fixed bar than one end in contact with the fixed bar.

평판표시장치, PDP, 유리기판, 건조, RTP. Flat panel display, PDP, glass substrate, drying, RTP.

Description

건조 공정 중 평판표시장치 유리기판의 지지장치, 이를 이용한 유리기판의 건조 방법 및 건조 방법을 이용한 평판표시장치의 제조방법{APPARATUS FOR SUPPORTING GLASS FOR FLAT PANEL DISPLAY IN DRYING PROCESS, METHOD FOR DRYING GLASS USING THE APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY USING THE METHOD}Flat panel display device during the drying process, glass substrate support device, method for manufacturing glass substrate using the same method and manufacturing method of flat panel display device using the drying method {APPARATUS FOR SUPPORTING GLASS FOR FLAT PANEL DISPLAY IN DRYING PROCESS AND METHOD FOR MANUFACTURING FLAT PANEL DISPLAY USING THE METHOD}

도 1은 본 발명에 따른 유리기판 지지장치의 일 실시예의 사시도,1 is a perspective view of one embodiment of a glass substrate support device according to the present invention;

도 2는 도 1의 A-A 선에서 바라본 단면도,2 is a cross-sectional view taken from the line A-A of FIG.

도 3은 도 1의 실시예가 유리기판을 지지하고 있는 상태를 도시한 단면도,3 is a cross-sectional view showing a state in which the embodiment of FIG. 1 supports a glass substrate;

도 4은 본 발명에 따른 유리기판 건조 방법의 일 실시예의 순서도,4 is a flow chart of one embodiment of a glass substrate drying method according to the present invention;

도 5a는 도 4의 실시예에서 포크암이 건조로에 삽입된 상태를 도시한 횡단면도,Figure 5a is a cross-sectional view showing a state in which the fork arm is inserted into the drying furnace in the embodiment of Figure 4,

도 5b는 도 5a에 대응한 종단면도,5B is a longitudinal cross-sectional view corresponding to FIG. 5A;

도 6는 본 발명에 따른 평판표시장치 제조 방법의 일 실시예의 순서도이다.6 is a flowchart of an embodiment of a method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

51, 52: 유리기판 100: 포크암51, 52: glass substrate 100: fork arm

110: 고정바 120: 지지봉110: fixed bar 120: support rod

200: 건조로 210: 지지핀200: drying furnace 210: support pin

220: 열원 230: 도어220: heat source 230: door

240: 보조도어240: auxiliary door

본 발명은 평판표시장치 제조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시장치의 재료인 유리기판을 배치 방식으로 건조하는 공정에 있어서 유리기판을 지지하는 지지장치 및 이 지지장치를 이용한 유리기판 건조방법, 그리고 이 유리기판 건조방법을 이용한 평판표시장치 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to the manufacture of a flat panel display device, and more particularly, a support device for supporting a glass substrate in a process of drying the glass substrate, which is a material of the flat panel display device, and a glass substrate drying method using the support device, And it relates to a flat panel display device manufacturing method using this glass substrate drying method.

최근들어 영상 표시를 위해 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel: PDP), 유기 다이오드(Organic Light Emitting Diodes: OLED) 등과 같이 다양한 형태의 평판표시장치들이 널리 사용되고 있다.Recently, various types of flat panel display devices such as liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), organic light emitting diodes (OLEDs), and the like are widely used for displaying images. .

형태는 다를 지라도 대부분의 평판표시장치는 유리기판을 재료로 하며, 제조과정 중 유리기판 상에 패턴을 형성하는 공정이 포함되어 있다는 점에 공통점이 있다.Although the shape is different, most flat panel display devices have a glass substrate as a material, and have a common point in that a manufacturing process includes forming a pattern on the glass substrate.

예컨대, 플라즈마 표시장치는 한 쌍의 유리기판을 평행하게 배치하고, 각각의 유리기판에 전극을 형성하며, 그 사이에 불활성 기체를 봉입하여 제조된다. 각 유리기판의 전극은 평행하게 배열된 복수의 띠 형상으로 형성되는데, 한 쌍의 유리기판은 각 전극이 서로 교차하도록 배치되므로, 일측 유리기판의 어느 한 전극에 전원을 인가하고, 타측 유리기판의 어느 한 전극에 전원을 인가하면, 두 전극이 가장 근접한 지점, 즉 교차점에서 방전이 일어나며, 형광물을 통해 이 방전에 의한 에너지를을 가시광선으로 변환시킨다. 이와 같이 각 교차점이 발광원이 되는데, 방전에 의해 발생하는 에너지의 전달을 일정 영역 내에서 차단하면, 그 일정 영역이 표시장치에서 하나의 화소로 기능할 수 있다. 이를 특히 셀(cell)이라고 칭하며, 유리기판에는 각 셀을 구획하기 위한 벽체(barrier) 또는 리브(rib)가 형성되어 있다.For example, a plasma display device is manufactured by arranging a pair of glass substrates in parallel, forming electrodes on each glass substrate, and encapsulating an inert gas therebetween. The electrodes of each glass substrate are formed in a plurality of strips arranged in parallel. Since the pair of glass substrates are arranged so that the electrodes cross each other, a power is applied to one electrode of one glass substrate, When power is applied to either electrode, a discharge occurs at a point closest to each other, that is, at an intersection point, and the energy of the discharge is converted into visible light through the fluorescent material. In this way, each intersection becomes a light emitting source. When the transfer of energy generated by the discharge is blocked within a predetermined region, the predetermined region may function as one pixel in the display device. This is particularly called a cell, and a glass substrate is formed with a barrier or rib for partitioning each cell.

이와 같은 벽체 또는 리브를 형성하기 위한 방법들 중의 하나로서, 유리기판 상에 페이스트를 인쇄하는 방법이 있는 바, 페이스트의 인쇄가 종료된 뒤에는 이를 건조시켜 정착시켜야만 다음 공정을 진행할 수 있다. 이때 페이스트를 안정적으로 정착시키고, 공정시간을 줄이기 위해 급속 열처리(Rapid Thermal Process: RTP)가 수행된다.As one of methods for forming such a wall or rib, there is a method of printing a paste on a glass substrate. After the printing of the paste is finished, the paste may be dried and fixed to proceed to the next process. At this time, in order to stably fix the paste and reduce the process time, a rapid thermal process (RTP) is performed.

급속 열처리란, 외부의 열원으로부터 페이스트이 인쇄된 유리기판을 가열함으로써, 단시간 내에 페이스트의 수분을 제거하는 것으로, 크게 두 가지 방식이 사용되고 있다.Rapid heat treatment removes the moisture of the paste in a short time by heating the glass substrate on which the paste is printed from an external heat source, and two methods are widely used.

그 중 하나는 유리기판을 컨베이어 벨트 등에 지지한 채로 연속적으로 이송하면서 가열하는 인라인 방식(In-Line Type)이며, 다른 하나는 밀폐된 챔버(Chamber)를 구비한 건조로에 유리기판을 한 장씩 투입하여 가열하는 배치 방식(Batch Type)이다.One of them is the in-line type, which is heated while continuously transporting the glass substrate while supporting it on the conveyor belt. The other is by inserting one glass substrate into the drying furnace with closed chamber. Batch type to heat.

배치 방식은 유리기판이 정지해 있는 상태에서 가열되므로 움직이는 상태에 서 건조되는 인라인 방식에 비해 페이스트이 보다 안정적으로 정착된다. 또한 유리기판이 외부와 밀폐된 챔버 내에서 가열되므로 건조속도가 빠르고 에너지 소모도 인라인 방식에 비해 적다.As the batch method is heated while the glass substrate is stationary, the paste is more stably settled than the inline method which is dried while moving. In addition, the glass substrate is heated inside and in a closed chamber, so the drying speed is faster and the energy consumption is lower than that of the in-line method.

이에 반해 배치 방식은 유리기판을 한 장씩 건조로에 투입하여 건조시킨 후 꺼내는 과정을 반복하여야 하므로, 인라인 방식에 비해 공정시간이 길어진다는 문제점이 있다.On the other hand, the batch method has a problem in that the process time is longer than that of the in-line method because the glass substrates have to be repeatedly put out after drying by putting them into the drying furnace.

한편으로, 평판표시장치의 대형화에 따라 그 재료인 유리기판의 크기도 점차 커지고 있는 반면, 박형화의 요구에 따라 유리기판의 두께도 얇아지고 있다. 이는 유리기판의 구조적 강도를 떨어뜨리는 결과가 되며, 건조로 내부로 유리기판을 투입하는 과정에서 유리기판의 자세가 불안정한 경우에는 유리기판이 파손될 가능성이 높아진다는 문제점이 있다. 따라서 건조로 내부로 유리기판을 투입하기 위한 지지장치는 유리기판의 자세를 최대한 수평하게 유지할 필요가 있다.On the other hand, as the size of the flat panel display increases, the size of the glass substrate, which is its material, is gradually increasing, while the thickness of the glass substrate is also thinned in accordance with the demand for thinning. This results in a drop in the structural strength of the glass substrate, and there is a problem in that the glass substrate is more likely to be broken when the glass substrate is unstable in the process of introducing the glass substrate into the drying furnace. Therefore, the support device for injecting the glass substrate into the drying furnace needs to keep the position of the glass substrate as horizontal as possible.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 평판표시장치의 제조 과정에 있어서 배치 방식으로 유리기판을 건조할 때 유리기판을 안정적으로 지지하며, 공정시간을 단축할 수 있는 유리기판 지지장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the problems described above, the glass substrate to stably support the glass substrate when the glass substrate is dried in a batch method in the manufacturing process of the flat panel display device, and to shorten the process time It is an object to provide a support device.

본 발명의 다른 목적은 유리기판 지지장치를 이용하여 건조시간이 단축된 유리기판 건조 방법을 제공하는 데에 있다.Another object of the present invention is to provide a method for drying a glass substrate by using a glass substrate support device.

본 발명의 또다른 목적은 유리기판 건조 방법을 이용하여 제조 시간이 단축 된 평판표시장치 제조 방법을 제공하는 데에 있다.Another object of the present invention is to provide a flat panel display manufacturing method using a glass substrate drying method is reduced manufacturing time.

본 발명의 그 밖의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관된 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 분명해질 것이다.Other objects, specific advantages and novel features of the invention will become more apparent from the following detailed description and preferred embodiments in conjunction with the accompanying drawings.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 평판표시장치용 유리기판의 지지장치는, 평판표시장치의 재료인 유리기판을 수평하게 지지하기 위하여 서로 평행하게 배열된 복수의 지지봉과, 상기 복수의 지지봉의 일단에 고정된 고정바를 포함하고, 상기 복수의 지지봉은 상기 고정바에 접한 일단보다 상기 고정바와 먼 타단의 높이가 높도록 경사지게 배치된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a support apparatus for a glass substrate for a flat panel display device according to the present invention includes a plurality of support rods arranged in parallel to each other to horizontally support a glass substrate, which is a material of the flat panel display device, and the plurality of support rods. It includes a fixed bar fixed to one end of the, the plurality of support rods are characterized in that disposed inclined so that the height of the other end far from the fixed bar than one end in contact with the fixed bar.

본 발명에 따른 평판표시장치용 유리기판의 지지장치에 있어서, 상기 지지봉의 길이는 상기 유리기판의 크기의 2배 이상인 것이 바람직하다.In the apparatus for supporting a glass substrate for a flat panel display device according to the present invention, the length of the supporting rod is preferably at least two times the size of the glass substrate.

본 발명에 따른 평판표시장치용 유리기판의 건조 방법은, 복수의 지지봉이 평행하게 배열되어 형성된 포크암에 평판표시장치의 재료인 유리기판 한 장을 수평하게 로드하는 단계와, 상기 한 장의 유리기판이 로드된 포크암을 수평이동시키는 단계와, 상기 포크암에 다른 한 장의 유리기판을 더 로드하는 단계와, 바닥면에 지지핀이 돌출형성된 건조로 내부로 상기 포크암을 삽입하는 단계와, 상기 포크암에 로드된 두 장의 유리기판을 상기 지지핀으로 옮겨서 로드하는 단계와, 상기 포크암을 상기 건조로 외부로 인출하는 단계와, 상기 건조로 내부를 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of drying a glass substrate for a flat panel display device, comprising: horizontally loading a glass substrate, which is a material of a flat panel display device, onto a fork arm formed by arranging a plurality of support bars in parallel; Horizontally moving the loaded fork arm; loading another glass substrate on the fork arm; inserting the fork arm into the furnace by drying a support pin protruding from the bottom surface; Moving the two glass substrates loaded on the fork arm to the support pins, loading the fork arm to the outside of the drying furnace, and heating the inside of the drying furnace.

본 발명에 따른 평판표시장치용 유리기판의 건조 방법에 있어서, 상기 한 장 의 유리기판이 로드된 포크암을 수평이동시키는 단계는, 상기 지지봉의 길이방향을 따라 수평이동시키는 것이 바람직하다. In the method of drying a glass substrate for a flat panel display device according to the present invention, the horizontal movement of the fork arm loaded with one glass substrate is preferably horizontally moved along the longitudinal direction of the supporting rod.

또한 본 발명에 따른 평판표시장치용 유리기판의 건조 방법에 있어서, 상기 포크암에 로드된 두 장의 유리기판을 상기 지지핀으로 옮겨서 로드하는 단계는, 상기 지지봉을 상기 지지핀 이하의 높이로 하강시키거나, 상기 지지핀을 상기 지지봉 이상의 높이로 상승시키는 것이 바람직하다.In addition, in the method of drying the glass substrate for a flat panel display device according to the present invention, the step of transferring the two glass substrates loaded on the fork arm to the support pins, lowering the support rods to a height below the support pins. Or, it is preferable to raise the support pin to a height higher than the support rod.

그리고 본 발명에 따른 평판표시장치용 유리기판의 건조 방법에 있어서, 상기 지지봉은 일단이 타단보다 높도록 경사지게 배치된 것이 바람직하다.In the method for drying a glass substrate for a flat panel display device according to the present invention, it is preferable that the support bar is disposed to be inclined so that one end is higher than the other end.

또한 본 발명에 따른 평판표시장치용 유리기판의 건조 방법에 있어서, 상기 건조로는 광원을 열원으로 사용하는 것이 바람직하다.In the method for drying a glass substrate for a flat panel display device according to the present invention, it is preferable to use a light source as a heat source in the drying furnace.

한편 본 발명에 따른 평판표시장치 제조 방법은, 복수의 유리기판에 각각 페이스트를 인쇄하는 단계와, 상기 복수의 유리기판을 일렬로 이송하는 단계와, 복수의 지지봉이 평행하게 배열되어 형성된 포크암에 상기 복수의 유리기판 중 어느 한 장을 수평하게 로드하는 단계와, 상기 한 장의 유리기판이 로드된 포크암을 수평이동시키는 단계와, 상기 포크암에 다음 차례로 이송된 다른 한 장의 유리기판을 더 로드하는 단계와, 바닥면에 지지핀이 돌출형성된 건조로 내부로 상기 포크암을 삽입하는 단계와, 상기 포크암에 로드된 두 장의 유리기판을 상기 지지핀으로 옮겨서 로드하는 단계와, 상기 포크암을 상기 건조로 외부로 인출하는 단계와, 상기 건조로 내부를 가열하는 단계와, 상기 가열이 완료된 건조로에 상기 포크암을 삽입하는 단계와, 상기 지지핀에 로드된 두 장의 유리기판을 상기 포크암으로 옮겨서 로드하 는 단계와, 상기 포크암을 상기 건조로로부터 인출하는 단계와, 상기 포크암에 로드된 두 장의 유리기판 중 어느 하나를 언로드하는 단계와, 상기 포크암을 수평방향으로 이동시키는 단계와, 상기 포크암에 로드된 나머지 한 장의 유리기판을 언로드하는 단계와, 상기 언로드된 두 장의 유리기판을 일렬로 이송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Meanwhile, the method of manufacturing a flat panel display according to the present invention includes printing pastes on a plurality of glass substrates, transferring the plurality of glass substrates in a row, and forming a plurality of supporting rods in parallel with each other. Horizontally loading any one of the plurality of glass substrates, horizontally moving the fork arm loaded with the one glass substrate, and further loading the other glass substrate transferred next to the fork arm And inserting the fork arm into the furnace by drying the support pin protruding from the bottom surface, transferring the two glass substrates loaded on the fork arm to the support pin, and loading the fork arm. Drawing out the drying furnace to the outside, heating the inside of the drying furnace, inserting the fork arm into the drying furnace where the heating is completed, and Transferring the two glass substrates loaded on the zip pin to the fork arm, loading the fork arm from the drying furnace, unloading any one of the two glass substrates loaded on the fork arm; Moving the fork arm in a horizontal direction; unloading the remaining glass substrate loaded on the fork arm; and transferring the unloaded two glass substrates in a row. .

이하에서는 첨부의 도면을 참조로 본 발명에 따른 유리기판 지지장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the glass substrate support apparatus according to the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 유리기판 지지장치의 일 실시예의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A 선에서 바라본 단면도이며, 도 3은 도 1의 실시예가 유리기판을 지지하고 있는 상태를 도시한 단면도이다.1 is a perspective view of an embodiment of a glass substrate support apparatus according to the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view seen from the line AA of Figure 1, Figure 3 is a cross-sectional view showing a state in which the embodiment of Figure 1 supports the glass substrate. to be.

고정바(110)는 지지봉(120)을 지지하기 위한 것으로, 도시하지는 않았으나 통상적인 구동수단에 연결되어 지지장치가 구동되도록 되어 있다.Fixing bar 110 is for supporting the support rod 120, although not shown is connected to the conventional drive means is to drive the support device.

지지봉(120)은 고정바(110)에 일단이 고정되어 있으며, 타단이 대략적으로 수평하게 연장된다. 또한 지지봉(120)은 유리기판(51, 52)을 수평하게 지지하기 위한 것으로, 복수 개가 마련되며, 서로 평행하도록 배열되어 있다. 지지봉(120)은 도 2에 도시된 바와 같이, 수평면에 대해 일단이 타단보다 낮은 위치에 위치하도록 소정의 각도를 갖고 경사지게 배치된다. 즉, 각 지지봉(120)은 고정바(110)에 접한 단부에 비해 고정바(110)와 먼 쪽의 단부가 더 높도록 배치되는데, 지지봉(120)이 반드시 직선형상일 필요는 없으며 완만한 곡선을 그리도록 배치될 수도 있으므로, 초기 경사각 내지 곡률을 갖고 있는 것이다. 지지봉(120)이 가지는 초기 경사각 내지 곡률은, 도 3에 도시한 바와 같이, 유리기판(51, 52)이 지지봉(120) 위에 놓여졌을 때, 유리기판(51, 52)의 무게에 의해 지지봉(120)의 고정바(110)로부터 먼 쪽의 단부가 하방으로 처지더라도, 유리기판(51, 52)이 최대한 수평적인 자세를 취할 수 있도록 하기 위한 것이다. 따라서 지지봉(120)의 초기 경사각 내지 곡률은 유리기판(51, 52)의 무게분포 및 지지봉(120)의 길이, 형상 또는 재질에 따라 외팔보(cantilever)로 모델링하여 공학적인 계산에 의해 구할 수 있다.One end of the support rod 120 is fixed to the fixing bar 110, and the other end thereof extends substantially horizontally. In addition, the supporting rods 120 are for supporting the glass substrates 51 and 52 horizontally, and a plurality of supporting rods 120 are provided and arranged in parallel with each other. As shown in FIG. 2, the support bar 120 is disposed to be inclined at a predetermined angle so that one end is positioned at a position lower than the other end with respect to the horizontal plane. That is, each support rod 120 is disposed so that the end of the side farther from the fixed bar 110 compared to the end in contact with the fixed bar 110, the support rod 120 does not necessarily have to be a straight shape and smooth curve Since it may be arranged to draw, it has an initial tilt angle or curvature. The initial inclination angle to the curvature of the support rod 120, as shown in Figure 3, when the glass substrate 51, 52 is placed on the support rod 120, by the weight of the glass substrate (51, 52) Even if the end farther from the fixing bar 110 of the 120 sags downward, the glass substrates 51 and 52 are to be as horizontal as possible. Therefore, the initial inclination angle to the curvature of the support rod 120 can be obtained by engineering calculations by modeling cantilever according to the weight distribution of the glass substrates 51 and 52 and the length, shape or material of the support rod 120.

이와 같은 구성의 유리기판 지지장치는, 도 3과 같이 유리기판(51, 52)이 지지봉(120)에 수평하게 놓여진 상태에서 별도의 구동수단의 작동에 의해 고정바(110)가 이동되면서 지지된 유리기판(51, 52)을 필요한 장소로 이동시킬 수 있다. 이때 지지봉(120)은 초기 경사각내지 곡률을 갖고 있으므로, 유리기판(51, 52)이 올려지더라도 유리기판(51, 52)을 수평한 자세로 유지할 수 있다. 따라서 지지봉(120)의 초기 경사각 내지 곡률을 조정하면, 한번에 복수의 유리기판(51, 52)을 수평하게 지지하는 것이 가능하다. 그러므로 지지봉(120)은 한 장의 유리기판의 가로 또는 세로 크기의 2배 이상의 길이를 갖는 것이 바람직하다. 이 경우, 예컨대 2장의 유리기판(51, 52)을 지지봉(120)에 올려놓는다면, 2장의 유리기판(51, 52)은 지지봉(120)의 길이방향을 따라 배열된다.The glass substrate support device having such a configuration is supported while the fixing bar 110 is moved by the operation of a separate driving means in a state where the glass substrates 51 and 52 are horizontally placed on the support rod 120 as shown in FIG. 3. The glass substrates 51 and 52 can be moved to a required place. At this time, since the support rod 120 has an initial inclination angle to curvature, the glass substrates 51 and 52 may be maintained in a horizontal position even when the glass substrates 51 and 52 are raised. Therefore, by adjusting the initial inclination angle to the curvature of the support rod 120, it is possible to horizontally support the plurality of glass substrates (51, 52) at a time. Therefore, the support rod 120 preferably has a length of at least twice the horizontal or vertical size of a single glass substrate. In this case, for example, if two glass substrates 51 and 52 are placed on the support rod 120, the two glass substrates 51 and 52 are arranged along the longitudinal direction of the support rod 120.

이하에서는 본 발명에 따른 유리기판 건조 방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the glass substrate drying method according to the present invention will be described in detail.

도 4은 본 발명에 따른 유리기판 건조 방법의 일 실시예의 순서도이고, 도 5a는 도 4의 실시예에서 포크암이 건조로에 삽입된 상태를 도시한 횡단면도이며, 도 5b는 도 5a에 대응한 종단면도이다.Figure 4 is a flow chart of an embodiment of a glass substrate drying method according to the present invention, Figure 5a is a cross-sectional view showing a state in which the fork arm is inserted into the drying furnace in the embodiment of Figure 4, Figure 5b is a longitudinal section corresponding to Figure 5a It is also.

포크암에 평판표시장치의 재료인 유리기판(51) 한 장을 수평하게 로드한다(S110). 포크암은 복수의 지지봉이 평행하게 배열되어 구성된 것으로, 유리기판은 지지봉 위에 올려짐으로써 포크암에 로드된다. 도 5a 및 도 5b에 도시한 바와 같이 포크암(100)은 앞서 설명한 본 발명에 따른 유리기판 지지장치로 구성될 수 있다. 따라서 포크암(100)의 지지봉(120)은 일단이 타단보다 높도록 경사지게 배치된 것이 바람직하다.One glass substrate 51, which is a material of the flat panel display, is horizontally loaded on the fork arm (S110). The fork arm is formed by arranging a plurality of supporting rods in parallel, and the glass substrate is loaded on the supporting rod and loaded on the fork arm. As shown in FIGS. 5A and 5B, the fork arm 100 may be configured as a glass substrate support apparatus according to the present invention described above. Therefore, the support rod 120 of the fork arm 100 is preferably disposed inclined so that one end is higher than the other end.

다음으로 한 장의 유리기판(51)이 로드된 포크암(100)을 수평방향으로 이동시킨다(S120). 이 때의 이동방향은 지지봉(120)의 길이방향을 따르는 것이 바람직하다.Next, the fork arm 100 in which one glass substrate 51 is loaded is moved in a horizontal direction (S120). At this time, the moving direction is preferably along the longitudinal direction of the support rod (120).

이동된 포크암(100)에 다른 한 장의 유리기판(52)을 더 로드하면(S130) 지지봉(120)의 길이방향을 따라 두 장의 유리기판(51, 52)이 모두 포크암(100)에 로드된 상태가 된다.When another glass substrate 52 is further loaded on the moved fork arm 100 (S130), the two glass substrates 51 and 52 are both loaded on the fork arm 100 along the longitudinal direction of the support rod 120. It becomes a state.

이 포크암(100)을 건조로(200) 내부로 삽입한다(S140). 건조로(200)는 내부 공간이 구비된 챔버의 형태이며, 이 내부 공간의 바닥면으로부터 복수의 지지핀(210)이 돌출형성되어 있다. 포크암(100)은 서로 평행하게 배열된 복수의 지지봉(120)을 포함하고 있는 바, 건조로(200)의 지지핀(210)은 각각 장방형의 판재의 형상으로서, 한 쌍의 지지봉들 사이의 공간에 대응하는 위치에 복수 개가 평행하게 배열된 것이 바람직하다. 즉, 각 지지핀(210)은 장방형 판재의 측면이 건조로(200) 내부의 바닥면에 접하도록 배치되어 있다. 이 상태에서 포크암(100)을 하강시키더라도, 포크암(100)의 각 지지봉(120)들이 인접한 한 쌍의 지지핀(210) 사이로 진입하므로, 지지봉(120)과 지지핀(210)이 상호 접촉되지 않는다. 한편, 건조로(200)는 외부와 격리된 내부 공간을 가지는 것이 급속 건조나 에너지 효율 면에서 유리하다. 따라서 건조로(200)는 그 측면에 도어(230)를 구비하는 것이 바람직하며, 도어(230)가 구비되어 있는 건조로(200)에 포크암(100)을 삽입하는 경우 도어(230)를 먼저 개방하여야 함은 당연하다.The fork arm 100 is inserted into the drying furnace 200 (S140). The drying furnace 200 is in the form of a chamber having an internal space, and a plurality of support pins 210 protrude from the bottom surface of the internal space. The fork arm 100 includes a plurality of support rods 120 arranged in parallel with each other, and the support pins 210 of the drying furnace 200 each have a rectangular plate shape and are formed between a pair of support rods. It is preferable that a plurality is arranged in parallel at a position corresponding to the space. That is, each support pin 210 is disposed so that the side surface of the rectangular plate material is in contact with the bottom surface of the drying furnace (200). Even if the fork arm 100 is lowered in this state, since each of the support rods 120 of the fork arm 100 enters between a pair of adjacent support pins 210, the support rods 120 and the support pins 210 mutually No contact On the other hand, the drying furnace 200 is advantageous in terms of rapid drying or energy efficiency having an internal space isolated from the outside. Therefore, the drying furnace 200 preferably has a door 230 on its side, and when the fork arm 100 is inserted into the drying furnace 200 in which the door 230 is provided, the door 230 first. It must be opened.

포크암(100)에 로드된 두 장의 유리기판(51, 52)을 지지핀(210)으로 옮겨서 로드한다(S150). 유리기판들(51, 52)을 옮겨서 로드하는 것은 두가지 방식으로 이루어진다. 첫째는 포크암(100)을 하강시키는 것이다. 포크암(100)의 지지봉(120)을 지지핀(210)보다 낮은 위치까지 하강시키면, 지지봉(120)에 얹혀져 있던 유리기판들(51, 52)은 지지핀(210)에 의해 지지되므로, 유리기판들(51, 52)을 지지핀(210)으로 옮겨서 로드할 수 있다. 반대로 포크암(100)은 움직이지 않고 지지핀(210)을 상승시키되, 지지핀(210)이 지지봉(120)보다 높은 위치에 이르기까지 상승시키면, 역시 유리기판들(51, 52)이 지지핀(210)으로 옮겨져 로드된다.Two glass substrates 51 and 52 loaded on the fork arm 100 are transferred to the support pins 210 and loaded (S150). Moving and loading the glass substrates 51 and 52 takes place in two ways. The first is to lower the fork arm (100). When the support rod 120 of the fork arm 100 is lowered to a position lower than the support pins 210, the glass substrates 51 and 52 that are mounted on the support rods 120 are supported by the support pins 210. The substrates 51 and 52 may be transferred to the support pins 210 and loaded. On the contrary, the fork arm 100 raises the support pin 210 without moving, but when the support pin 210 is raised to a position higher than the support bar 120, the glass substrates 51 and 52 are also supported pins. It is moved to 210 and loaded.

유리기판들(51, 52)이 지지핀(210)으로 옮겨져 로드되면, 포크암(100)을 건조로(200) 외부로 인출한다(S160). 유리기판들(51, 52)이 지지핀(210)에 의해 지지되어 건조로(200) 내부에 남겨진 상태이며, 포크암(100)은 유리기판들(51, 52)과 접촉하지 않는 상태이므로, 포크암(100)을 수평방향으로 이동시키기만 하면 건조로(200) 외부로 용이하게 인출할 수 있다.When the glass substrates 51 and 52 are transferred to the support pins 210 and loaded, the fork arm 100 is drawn out of the drying furnace 200 (S160). Since the glass substrates 51 and 52 are supported by the support pins 210 and remain inside the drying furnace 200, the fork arm 100 does not come into contact with the glass substrates 51 and 52. Just by moving the fork arm 100 in the horizontal direction it can be easily taken out of the drying furnace (200).

포크암(100)이 인출되면 건조로(200) 내부를 가열한다(S170). 가열을 위한 열원(220)은 건조로(200) 내부의 임의의 위치에 설치될 수 있으나, 지지핀(210) 사이의 바닥면에 배치되는 것이 바람직하다. 또한 열원(220)은 전기 히터로 구성할 수도 있으나, 할로겐 램프와 같이 광원으로 구성하는 것이 더 바람직하다. 전기 히터에 의한 가열은 건조로(200) 내부의 대류를 유발하므로 유리기판(51, 52)에 형성된 페이스트가 불균일하게 건조될 수 있으며, 불균일한 건조는 최종적인 제품의 불량을 초래할 수 있다. 반면, 광원을 열원으로 사용하는 경우 복사에 의해 열전달이 이루어지므로 급속가열과 균일가열이 가능해진다. 한편, 앞서 설명한 바와 같이, 건조로(200)에 도어(230)가 구비되어 있는 경우에는, 포크암(100)을 인출한 후에 이 도어(230)를 닫는 것이 바람직하다. 도 5a에 도시된 바와 같이 보조도어(240)를 포함하여 한 쌍의 도어(230, 240)가 마주보도록 구비되는 것이 바람직하다. 건조로(200)의 보조도어(240)측 외부에는 포크암을 추가로 구비하여, 유리기판(51, 52)을 건조로(200)로 삽입하는 포크암(100)과, 인출하는 포크암이 서로 마주보도록 배치하는 것이 바람직하다. 이와 같이 건조로(200)에 한 쌍의 도어(230, 240)가 마주보도록 구비되고, 포크암 또한 한 쌍이 구비되어 서로 마주보도록 배치되어 있으면, 일측 포크암으로부터 건조로를 거쳐 타측 포크암으로 유리기판을 이송할 수 있다. 이 경우 생산 현장에서 대량생산을 위해 인라인 시스템이 적용되어 있는 다른 공정과 조화시키는 것을 용이하게 한다.When the fork arm 100 is drawn out, the drying furnace 200 is heated (S170). The heat source 220 for heating may be installed at any position inside the drying furnace 200, but is preferably disposed on the bottom surface between the support pins 210. In addition, the heat source 220 may be configured as an electric heater, but more preferably configured as a light source such as a halogen lamp. Since the heating by the electric heater causes convection inside the drying furnace 200, the paste formed on the glass substrates 51 and 52 may be unevenly dried, and the uneven drying may cause the final product to be defective. On the other hand, when a light source is used as a heat source, heat is transferred by radiation, so rapid heating and uniform heating are possible. On the other hand, as described above, when the door 230 is provided in the drying furnace 200, it is preferable to close the door 230 after the fork arm 100 is taken out. As shown in FIG. 5A, a pair of doors 230 and 240 including the auxiliary door 240 may be provided to face each other. The fork arm 100 is further provided on the outside of the auxiliary door 240 side of the drying furnace 200 to insert the glass substrates 51 and 52 into the drying furnace 200 and the fork arm to be withdrawn. It is preferable to arrange so as to face each other. As described above, if the pair of doors 230 and 240 are provided in the drying furnace 200 to face each other, and the pair of fork arms are provided to face each other, the glass substrate is transferred from one fork arm to the other fork arm via the drying furnace. Can be transferred. This makes it easy to harmonize with other processes where in-line systems are applied for mass production at the production site.

이하에서는 본 발명에 따른 평판표시장치 제조 방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention will be described in detail.

도 6는 본 발명에 따른 평판표시장치 제조 방법의 일 실시예의 순서도이다.6 is a flowchart of an embodiment of a method of manufacturing a flat panel display device according to the present invention.

평판표시장치의 재료가 되는 복수의 유리기판에 각각 페이스트를 인쇄하여 소정의 패턴을 형성한다(S200). 이 패턴은 평판표시장치의 픽셀을 형성하기 위한 것으로, 평판표시장치의 종류에 따라 달라질 수 있다.A paste is printed on a plurality of glass substrates, which are materials of the flat panel display, to form a predetermined pattern (S200). This pattern is for forming pixels of the flat panel display, and may vary depending on the type of flat panel display.

페이스트가 인쇄된 복수의 유리기판을 일렬로 이송한다(S201). 유리기판은 컨베이어 벨트와 같은 이송수단에 의해 이송되며, 특히 인라인 처리가 일반화된 제조 현장에서 일렬로 이송된다.The plurality of glass substrates on which the paste is printed are transferred in a line (S201). Glass substrates are conveyed by conveying means such as conveyor belts, in particular in line at manufacturing sites where inline processing is common.

포크암에 평판표시장치의 재료인 유리기판(51) 한 장을 수평하게 로드한(S202) 다음, 포크암(100)을 수평방향으로 이동시키고(S203), 이동된 포크암(100)에 다른 한 장의 유리기판(52)을 더 로드한다(S204). 그리고, 이 포크암(100)을 건조로(200) 내부로 삽입하고(S205), 포크암(100)에 로드된 두 장의 유리기판(51, 52)을 지지핀(210)으로 옮겨서 로드한(S206) 다음, 포크암(100)을 건조로(200) 외부로 인출하고(S207), 건조로(200) 내부를 가열하여(S208) 유리기판(51, 52)에 인쇄된 페이스트를 건조시킨다. 이상과 같이 포크암(100)에 유리기판(51, 52)을 로드하는 단계(S202) 내지 건조로(200) 내부를 가열하는 단계(S208)는, 앞서 설명한 본 발명에 따른 유리기판 건조방법의 일 실시예와 공통되므로 상세한 설명은 생략한다.A glass substrate 51, which is a material of the flat panel display device, is loaded horizontally on the fork arm (S202), and then the fork arm 100 is moved in the horizontal direction (S203), and the other fork arm 100 is moved. One glass substrate 52 is further loaded (S204). Then, the fork arm 100 is inserted into the drying furnace 200 (S205), and the two glass substrates 51 and 52 loaded on the fork arm 100 are transferred to the support pins 210 to load ( Next, the fork arm 100 is taken out to the outside of the drying furnace 200 (S207), and the inside of the drying furnace 200 is heated (S208) to dry the paste printed on the glass substrates 51 and 52. Loading the glass substrates 51 and 52 on the fork arm 100 as described above (S202) to heat the interior of the drying furnace 200 (S208) of the glass substrate drying method according to the present invention described above Since it is common to one embodiment, a detailed description thereof will be omitted.

건조로(200)의 가열로 인해 건조완료된 유리기판(51, 52)을 인출하기 위해 건조로(200)에 포크암(100)을 다시 삽입한다(S209). 이때의 포크암(100)은 유리기판(51, 52)을 건조로(200)에 삽입할 때 유리기판(51, 52)을 지지하고 있던 포크암(100)일 수도 있으나, 건조로(200)의 반대편에 포크암이 추가로 구비된 경우에는, 이 포크암을 보조도어(230)를 통해 건조로(200)로 삽입하는 것이 바람직하다.The fork arm 100 is reinserted into the drying furnace 200 in order to take out the glass substrates 51 and 52 which have been dried due to the heating of the drying furnace 200 (S209). At this time, the fork arm 100 may be a fork arm 100 supporting the glass substrates 51 and 52 when the glass substrates 51 and 52 are inserted into the drying furnace 200, but the drying furnace 200 may be used. When the fork arm is further provided on the opposite side of the fork arm, the fork arm is preferably inserted into the drying furnace 200 through the auxiliary door 230.

건조로에 삽입된 포크암에 유리기판(51, 52)을 로드한다(S210). 유리기판(51, 52)을 포크암으로 로드하는 것은, 유리기판(51, 52)을 포크암으로부터 지지핀(210)으로 옮겨 로드하는 과정을 반대로 수행하면 된다. 즉, 포크암을 유리기판(51, 52)의 하방에 삽입한 뒤, 포크암을 지지핀(210)보다 높은 위치로 상승시키거나, 지지핀(210)을 포크암보다 낮은 위치로 하강시키면, 유리기판(51, 52)이 지지핀(210)으로부터 포크암으로 옮겨져 로드된다.The glass substrates 51 and 52 are loaded into the fork arms inserted into the drying furnace (S210). Loading the glass substrates 51 and 52 into the fork arm may be performed by reversing the process of moving the glass substrates 51 and 52 from the fork arm to the support pin 210. That is, when the fork arm is inserted below the glass substrates 51 and 52 and the fork arm is raised to a position higher than the support pin 210, or the support pin 210 is lowered to a position lower than the fork arm, The glass substrates 51 and 52 are transferred to the fork arms from the support pins 210 and are loaded.

유리기판(51, 52)이 로드된 포크암을 건조로(200) 외부로 인출한다(S211).The fork arms loaded with the glass substrates 51 and 52 are withdrawn to the outside of the drying furnace 200 (S211).

인출된 포크암에서 한 장의 유리기판을 언로드한다(S212). 그런 다음 포크암을 수평방향으로 이동시키고(S213), 포크암 위에 남아있던 나머지 한 장의 유리기판을 언로드한다(S214). 이와 같이 순차로 언로드된 두 장의 유리기판(51, 52)은 컨베이어 벨트와 같은 이송수단에 의해 일렬로 이송한다(S215). 이송된 유리기판(51, 52)은 다른 공정을 위해 제공된다.The glass substrate is unloaded from the drawn fork arm (S212). Then move the fork arm in the horizontal direction (S213), and unload the remaining glass substrate remaining on the fork arm (S214). In this way, the two glass substrates 51 and 52 which are sequentially unloaded are transferred in a line by a transfer means such as a conveyor belt (S215). The transferred glass substrates 51 and 52 are provided for other processes.

이와 같이 유리기판(51, 52)을 일렬로 이송함으로써, 평판표시장치 제조 공정에 일반적으로 적용되어 있는 인라인 방식과 조화를 이룰 수 있다. By transporting the glass substrates 51 and 52 in this manner, the glass substrates 51 and 52 can be harmonized with the inline method generally applied to the flat panel display manufacturing process.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 일 실시예는, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.One embodiment of the invention described above and shown in the drawings should not be construed as limiting the technical idea of the present invention. The scope of protection of the present invention is limited only by the matters described in the claims, and those skilled in the art will be able to modify the technical idea of the present invention in various forms. Accordingly, such improvements and modifications will fall within the scope of the present invention as long as they are obvious to those skilled in the art.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 유리기판 지지장치는, 지지봉이 경사지게 배치되어 유리기판의 하중에도 불구하고 수평인 자세를 유지할 수 있다. As described above, in the glass substrate support apparatus according to the present invention, the support rod is inclined to maintain a horizontal posture despite the load of the glass substrate.

또한 본 발명에 따른 유리기판 건조방법은 한번에 복수의 유리기판을 건조할 수 있으므로, 건조에 소요되는 시간을 단축시켜준다. 이에 더하여 건조로의 열원으로써 광원을 사용함으로써 급속 가열 및 균일 가열이 가능하므로 건조 시간 단축의 효과가 배가됨과 동시에 최종 완제품에서 불량률을 감소시킬 수 있다.In addition, the glass substrate drying method according to the present invention can dry a plurality of glass substrates at a time, thereby reducing the time required for drying. In addition, by using a light source as a heat source of the drying furnace, rapid heating and uniform heating are possible, thereby reducing the drying time and reducing the defective rate in the final finished product.

그리고 본 발명에 따른 평판표시장치 제조 방법은 건조시간 단축을 통해 평판표시장치의 제조 공정에 소요되는 전체 시간을 단축시킬 수 있다.In addition, the manufacturing method of the flat panel display device according to the present invention can shorten the overall time required for the manufacturing process of the flat panel display device by reducing the drying time.

Claims (11)

내부를 밀폐시키는 도어를 포함하는 배치 방식의 건조로에 구비되는 유리기판의 지지장치에 있어서,In the supporting apparatus of the glass substrate provided in the drying furnace of the batch system including a door for sealing the inside, 상기 도어의 개방시 상기 건조로 내부에 인입, 인출되며, 서로 평행하게 배열된 복수의 지지봉과, 상기 복수의 지지봉의 일단을 고정시키며, 구동수단과 연결되어 상기 복수의 지지봉을 상기 건조로 내부에 인입, 인출시키는 고정바를 포함하는 포크암이 구비되고,When the door is opened, a plurality of support rods are drawn in and drawn out in the drying furnace, and one end of the plurality of support rods is arranged in parallel with each other, and connected to a driving means to connect the plurality of support rods to the inside of the drying furnace. It is provided with a fork arm including a fixed bar for entering and withdrawing, 상기 복수의 지지봉은 평판표시장치의 재료인 유리기판을 수평하게 지지하기 위하여 상기 고정바에 고정된 일단보다 상기 고정바와 먼 타단의 높이가 높도록 경사지게 배치된 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 유리기판의 지지장치.The plurality of support rods are arranged to be inclined so that the height of the other end far from the fixed bar is higher than one end fixed to the fixed bar in order to horizontally support the glass substrate which is a material of the flat panel display device. Support device. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지봉의 길이는 상기 유리기판의 크기의 2배 이상인 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 유리기판의 지지장치.The length of the support bar is a glass substrate support device for a flat panel display device, characterized in that more than twice the size of the glass substrate. 내부를 밀폐시키는 도어를 포함하는 배치 방식의 건조로에 적용되는 유리기판의 건조방법에 있어서,In the drying method of the glass substrate applied to the drying furnace of the batch method including a door for sealing the inside, 평행하게 배열된 복수의 지지봉을 포함하는 포크암에 평판표시장치의 재료인 유리기판 한 장을 수평하게 로드하는 단계와,Horizontally loading a sheet of glass substrate, which is a material of a flat panel display, onto a fork arm including a plurality of support rods arranged in parallel; 상기 한 장의 유리기판이 로드된 포크암을 수평 이동시키는 단계와,Horizontally moving the fork arm loaded with the glass substrate, 상기 포크암에 다른 한 장의 유리기판을 더 로드하는 단계와,Loading another glass substrate on the fork arm; 상기 도어의 개방시 상기 복수의 지지봉 사이의 위치에 대응되도록 돌출형성된 지지핀을 포함하는 상기 건조로 내부로 상기 포크암을 삽입하는 단계와,Inserting the fork arm into the drying furnace including a support pin protruding to correspond to a position between the plurality of support rods when the door is opened; 상기 포크암에 로드된 두 장의 유리기판을 상기 지지핀으로 옮겨서 로드하는 단계와,Transferring the two glass substrates loaded on the fork arm to the support pins to load the glass substrates; 상기 포크암을 상기 건조로 외부로 인출하는 단계와,Drawing out the fork arm to the outside in the drying furnace; 상기 건조로 내부를 가열하는 단계를 포함하며,And heating the interior of the drying furnace, 상기 지지봉은 평판표시장치의 재료인 유리기판을 수평하게 지지하기 위하여 일단이 타단보다 높도록 경사지게 배치된 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 유리기판의 건조방법.And the support bar is inclined so that one end thereof is higher than the other end so as to horizontally support the glass substrate which is a material of the flat panel display device. 제3항에 있어서, 상기 한 장의 유리기판이 로드된 포크암을 수평이동시키는 단계는,The method of claim 3, wherein the horizontal movement of the fork arm loaded with the glass substrate comprises: 상기 지지봉의 길이방향을 따라 수평이동시키는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 유리기판의 건조방법.Drying method of a glass substrate for a flat panel display device characterized in that the horizontal movement in the longitudinal direction of the support bar. 제3항에 있어서, 상기 포크암에 로드된 두 장의 유리기판을 상기 지지핀으로 옮겨서 로드하는 단계는,The method of claim 3, wherein the transferring of the two glass substrates loaded on the fork arm by the support pins comprises: 상기 지지봉을 상기 지지핀 이하의 높이로 하강시키는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 유리기판의 건조방법.And the support bar is lowered to a height equal to or less than the support pin. 제3항에 있어서, 상기 포크암에 로드된 두 장의 유리기판을 상기 지지핀으로 옮겨서 로드하는 단계는,The method of claim 3, wherein the transferring of the two glass substrates loaded on the fork arm by the support pins comprises: 상기 지지핀을 상기 지지봉 이상의 높이로 상승시키는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 유리기판의 건조방법.And the support pin is raised to a height higher than or equal to the support bar. 삭제delete 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 3 to 6, 상기 건조로는 광원을 열원으로 사용하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 유리기판의 건조방법.The drying method of the glass substrate for a flat panel display device characterized in that the drying furnace uses a light source as a heat source. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 건조로의 도어가 형성된 대항면에 보조도어가 더 구비되고,An auxiliary door is further provided on an opposite surface on which the door of the drying furnace is formed. 상기 보조도어의 개방시 인입, 인출되는 포크암이 한 개 더 구비된 것을 특징으로 하는 평판표시장치용 유리기판의 지지장치.A support device for a glass substrate for a flat panel display device, characterized in that the fork arm is further provided to be pulled in and drawn out when the auxiliary door is opened. 삭제delete
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