KR101355530B1 - Top light apparatus of probe system for flat panel display - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 66
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 37
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 17
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000012356 Product development Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
- G01J1/20—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle
- G01J1/28—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using variation of intensity or distance of source
- G01J1/30—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using variation of intensity or distance of source using electric radiation detectors
- G01J1/32—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using variation of intensity or distance of source using electric radiation detectors adapted for automatic variation of the measured or reference value
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/07—Non contact-making probes
- G01R1/071—Non contact-making probes containing electro-optic elements
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- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
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Abstract
본 발명은 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치에 관한 것으로, 프로브 시스템에서의 OLED 광에 대한 영향 측정 시 보다 정확한 측정을 위해 유기EL의 광원과 동일한 빛의 양과 파장을 갖는 광원을 상측에서 제공할 수 있도록 한 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
이를 위해, 본 발명의 일실시예에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치는, 평판디스플레이용 프로브 시스템의 스테이지 상측에 X축 및 Y축으로 이동 가능하게 설치되어 글라스에 형성된 전극 및 패드에 선택적으로 접촉하면서 트랜지스터의 특성을 측정하는 프로브핀이 구비된 프로브 헤드 각각에는 현미경과 교체 설치 가능하도록 소정 광원을 제공하는 탑라이트 모듈이 설치되되, 상기 탑라이트 모듈은, 일정 파장대의 광원을 제공하는 라이트 소스와, 상기 라이트 소스로부터 일정 길이로 연장 형성되어 라이트 소스로부터의 발산된 광을 유도하는 광가이드 및, 관형상의 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 배치되어 그 상단에 연결된 광가이드로부터의 광이 균질화 된 후 하단 측으로 조사되도록 하는 광 균질화 수단을 포함하여 구성된다.The present invention relates to a top light device of a probe system for a flat panel display, and provides a light source having the same amount of light and wavelength as the light source of the organic EL from the upper side for more accurate measurement when measuring the influence on the OLED light in the probe system. It is an object of the present invention to provide a top light device of a probe system for a flat panel display.
To this end, the top light apparatus of the probe system for a flat panel display according to an embodiment of the present invention is installed on the stage above the stage of the flat panel probe system so as to be movable in the X-axis and the Y-axis and is selective to electrodes and pads formed on glass. Each of the probe heads having probe pins measuring the characteristics of the transistor while contacting with each other is provided with a top light module for providing a predetermined light source so as to be interchangeable with a microscope. A light guide extending from the light source to a predetermined length to induce light emitted from the light source, and a plurality of lenses are disposed in the tubular housing so that the light from the light guide connected to the top is homogenized. Configuration including a light homogenization means to be irradiated to the lower side after The.
Description
본 발명은 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 FDP(Flat Panel Display) 제품제조 시 프로브 시스템의 스테이지 상면에 고정된 글라스의 회로패턴에 전기적 신호를 가하여 회로의 상태를 측정하는 검사공정에서, 보다 정확한 측정을 위해 유기EL의 광원과 동일한 빛의 양과 파장을 갖는 광을 상측에서 제공할 수 있도록 한 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display)의 제조에 있어서는 하부 기판의 제조공정과, 상부 기판의 제조공정, 그리고 하부 기판과 상부 기판의 합착공정 등의 공정이 진행되게 된다. Generally, in the manufacture of a flat panel display, processes such as a manufacturing process of a lower substrate, a manufacturing process of an upper substrate, and a laminating process of a lower substrate and an upper substrate are performed.
이에 대해 보다 상세히 설명하면, 하부 기판을 제조하기 위한 글라스 원판 상에 다수의 셀들을 형성하고, 이 셀에 다수의 수평 라인과 수직 라인들을 매트릭스 형태로 서로 교차하도록 형성하며, 수평 라인과 수직 라인의 교차부마다 투명한 화소 전극을 포함하는 화소 셀들을 형성한다. In more detail, a plurality of cells are formed on a glass substrate for manufacturing a lower substrate, a plurality of horizontal lines and vertical lines are formed to intersect with each other in a matrix form, and a plurality of horizontal lines and vertical lines And pixel cells including a pixel electrode transparent at each intersection are formed.
그리고, 상기 화소 셀들에는 수평 라인과 수직 라인 및 화소 전극에 접속되는 박막 트랜지스터를 형성한다. In the pixel cells, thin film transistors connected to horizontal lines, vertical lines, and pixel electrodes are formed.
또, 상기 글라스 원판에 형성된 다수의 셀들은 검사공정을 거친 후 스크라이빙 공정에 의해 절단이 되며, 이렇게 글라스 원판에서 절단된 다수의 셀, 즉 하부 기판 각각은 상부 기판의 제조공정에서 완성된 상부 기판과 합착되고, 화소 셀들을 구동하기 위한 구동회로 및 여러 가지 요소들이 조립됨으로써 하나의 평판디스플레이가 완성되게 된다. In addition, a plurality of cells formed on the glass base plate are subjected to an inspection process and then cut by a scribing process. Thus, a plurality of cells cut off from the glass base plate, that is, each of the lower substrates, A flat plate display is completed by being assembled with the substrate, assembling the driving circuit for driving the pixel cells and various elements.
이때, 상술한 바와 같은 평판디스플레이의 제조공정 중, 상기 글라스 원판에 형성된 다수의 셀에 대한 검사공정에서는 특정 구조의 프로브 시스템을 이용하여 글라스 상의 트랜지스터에 프로브 핀을 접촉하여 상기 트랜지스터의 전기적 특성을 측정하게 된다. At this time, in the process of inspecting a plurality of cells formed on the glass plate during the manufacturing process of the flat panel display as described above, the probe pin is brought into contact with the transistor on the glass by using a probe system having a specific structure, .
이때, 상기 글라스 상에 형성된 트랜지스터의 전기적 특성을 측정할 시에는 일반적인 온도 및 Photo Current의 영향을 받지 않도록 하기 위해 Dark Box 내에서 측정하게 되며, 양산되는 제품의 보다 정확한 동작특성 조건을 얻기 위해 실제 동작조건과 유사한 상태에서의 측정이 요구되고 있다. When measuring the electrical characteristics of the transistor formed on the glass, the measurement is made in the dark box so as not to be influenced by general temperature and photo current. In order to obtain a more accurate operating characteristic condition of the mass-produced product, Measurement in a condition similar to the condition is required.
이에, 종래에는 국내 등록특허 제10-0768912호 및 국내 등록특허 제10-1001670호 등에 게재된 기술을 통해 글라스 상에 형성된 트랜지스터의 전기적 특성을 비교적 정확하게 측정할 수 있었다. Thus, in the related art, the electrical characteristics of the transistor formed on the glass may be relatively accurately measured through the technology disclosed in Korean Patent No. 10-0768912 and Korean Patent No. 10-1001670.
한편, 트랜지스터가 장착된 TFT 엘시디의 경우, 글라스 상에 형성된 트랜지스터는 배면으로부터의 광원(back light) 및 상측으로부터의 광원(top light) 모두에 대하여 영향을 받게 되는데, 상기 배면으로부터의 광원은 상술한 종래기술을 통해 해결이 가능하며, 상측으로부터의 광원(예컨대, 햇빛, 실내조명 등)은 일반적인 TFT 엘시디의 경우 그 구조상 편광필름, 컬러필터, 액정을 투과해야만 트랜지스터에 영향을 미칠 수 있음에 따라 상술한 구조를 투과하는 과정에서 대부분의 광원이 차단되어 매우 제한적인 영향만을 미치게 된다.On the other hand, in the case of a TFT LCD equipped with a transistor, the transistor formed on the glass is affected by both the back light from the back and the top light from the top, and the light source from the back is described above. It can be solved through the prior art, the light source from the upper side (for example, sunlight, indoor lighting, etc.) in the case of the general TFT LCD in the structure must be transmitted through the polarizing film, the color filter, the liquid crystal can affect the transistor as described above In passing through a structure, most light sources are blocked, which has only a very limited effect.
한편, 유기EL 디스플레이의 글라스는 상기 TFT 엘시디와 비교하여 매우 복잡한 트랜지스터 구조를 가지게 되는데, 상기 유기EL 디스플레이를 구동하기 위한 트랜지스터의 글라스는 전통적으로 LTPS 공정을 이용하는 방법이 선호되고 있는 실정이다.On the other hand, the glass of the organic EL display has a very complicated transistor structure as compared with the above-mentioned TFT LCD. Traditionally, a method of using the LTPS process has been preferred for the transistor glass for driving the organic EL display.
그러나, 상기 LTPS 공정은 비정질(Amorphous)의 유리를 레이저 등을 이용하여 다결정 Polycrystaline 구조로 변환시키는 과정을 필요로 하게 되며, 이러한 과정은 전통적인 Amorphous 공정에 비해 전체 영역이 전기적으로 균일한 대형 패널을 만들어 내기가 어려운 문제점이 발생하게 된다.However, the LTPS process requires a process of converting an amorphous glass into a polycrystalline polycrystalline structure by using a laser, and this process makes a large panel electrically uniform in the entire area compared with a conventional amorphous process It is difficult to bet.
이러한 문제점을 해소하기 위한 방법으로 최근 각광받는 재료로 Oxide(산화물)를 들 수 있으며, 상기 Oxide 산화물을 이용한 FPD 공정은 기존의 Amorphous 공정을 크게 바꾸지 않으면서도, 전기적으로 상기 LTPS 공정의 글라스 성능에는 미치지 못하지만 전통의 Amorphous 공정의 성능보다는 우수한 OLED 디스플레이 제작에 필요한 정도의 전기적 성능을 보장하는 글라스의 제조가 가능하다.As a method for solving such a problem, an oxide (oxide) has recently been widely used. The FPD process using the oxide oxide does not affect the glass performance of the LTPS process electrically without significantly changing the existing amorphous process. However, it is possible to manufacture glass that guarantees the electrical performance required to produce OLED displays superior to those of traditional amorphous processes.
이때, 상기 Oxide를 이용한 FPD 제조 공정을 안정화 시키기 위하여 여러가지 기술적 어려움이 있는데, 첫째는 지속적으로 안정적인 전기적 특성을 가져야 하는데 이 부분이 물질적 특성상 유지되기가 어려움 점과, 둘째는 Oxide 자체가 빛에 매우 민감한 전기적 특성을 가진다는 점이다.In this case, there are various technical difficulties to stabilize the FPD manufacturing process using the oxide. First, it is required to have stable electrical characteristics continuously, which is difficult to maintain due to its material property. Second, the oxide itself is very sensitive to light It has electrical characteristics.
유기EL의 경우, LCD 디스플레이의 배면에 위치한 백라이트의 광원을 사용하지 않고 글라스의 상면에서 유기물질을 배치하여 발광시키는 구조로서, 유기물이 발광하게 되면 글라스 상의 부품들은 의도하지 않은 유기물의 배면광의 영향을 받게 된다.In the case of organic EL, a structure for emitting light by disposing an organic material on the upper surface of a glass without using a backlight source located on the backside of the LCD display. When the organic material emits light, the glass parts are affected by unintended organic backlight .
특히, 최근 각광받고 있는 유기EL 디스플레이의 트랜지스터 제작용 산화물의 경우, 물질의 특성상 빛에 매우 민감하게 반응하고 특히 짧은 파장의 빛에 대해 민감하게 반응하므로, 이에 대한 조사와 제조 공정상의 관리가 매우 중요하다. In particular, in the case of an oxide for transistor fabrication of an organic EL display, which is in the spotlight recently, it is very sensitive to light and particularly sensitive to light having a short wavelength due to the characteristics of the material, so investigation and management of the manufacturing process are very important. Do.
즉, 종래의 백라이트 기반의 TFT 엘시디의 경우, 유리 기판내 소자의 Photo current에 가장 큰 영향을 미치는 광원은 백라이트이며, 이는 글라스의 바닥면에서 조광되므로 주로 소자의 배면 측에 영향을 주게 되지만, 상기 OLED의 경우에는 대부분 글라스의 상면에 유기EL 발광물질을 도포하는 방식으로 유기 물질의 배면광이 소자의 Photo current에 큰 영향을 주게 되며, 또한 산화물 디바이스의 경우 유기물질의 배면광은 Photo current 뿐만 아니라, 산화물로 이루어진 디바이스의 수명에도 많은 영향을 끼치게 되므로, 글라스의 상면에서 정확한 빛의 양과 파장(스펙트럼)을 조사할 수 있는 탑라이트 광원장치가 필요한 문제점이 발생하게 되었다. That is, in the case of the conventional backlight-based TFT LCD, the light source which has the greatest influence on the photo current of the device in the glass substrate is the backlight, which is mainly illuminated on the bottom surface of the glass, and thus mainly affects the back side of the device. In the case of OLED, the organic EL light emitting material is applied to the upper surface of the glass, and the back light of the organic material has a great influence on the photo current of the device. In the case of the oxide device, the back light of the organic material is not only the photo current. In addition, since the lifetime of the device made of oxide is greatly influenced, a problem arises in that a top light source device capable of irradiating an accurate amount of light and wavelength (spectrum) on the upper surface of the glass is required.
따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 프로브 시스템에서의 OLED 광에 대한 영향 측정 시 보다 정확한 측정을 위해 유기EL의 광원과 동일한 빛의 양과 파장을 갖는 광원을 상측에서 제공할 수 있도록 한 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치를 제공하고자 하는 것이다.Accordingly, the present invention has been made to improve the above-mentioned conventional problems, and its object is to provide the same amount and wavelength of light as the light source of organic EL for more accurate measurement when measuring the influence on OLED light in a probe system. It is an object of the present invention to provide a top light device of a probe system for a flat panel display that can provide a light source having an upper side.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치는, 평판디스플레이용 프로브 시스템의 스테이지 상측에 X축 및 Y축으로 이동 가능하게 설치되어 글라스에 형성된 전극 및 패드에 선택적으로 접촉하면서 트랜지스터의 특성을 측정하는 프로브핀이 구비된 프로브 헤드 각각에는 현미경과 교체 설치 가능하도록 소정 광원을 제공하는 탑라이트 모듈이 설치되되, 상기 탑라이트 모듈은, 일정 파장대의 광원을 제공하는 라이트 소스와, 상기 라이트 소스로부터 일정 길이로 연장 형성되어 라이트 소스로부터의 발산된 광을 유도하는 광가이드 및, 관형상의 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 배치되어 그 상단에 연결된 광가이드로부터의 광이 균질화 된 후 하단 측으로 조사되도록 하는 광 균질화 수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다. Toplight device of a flat panel display probe system according to an embodiment of the present invention for achieving the above object, is installed on the glass in the X-axis and Y-axis above the stage of the flat panel display probe system Each of the probe heads having a probe pin for selectively measuring the characteristics of the transistor while selectively contacting the formed electrode and the pad is provided with a top light module for providing a predetermined light source to be replaced with a microscope. A light source providing a light source of the light source, an optical guide extending from the light source to a predetermined length to induce light emitted from the light source, and a plurality of lenses disposed in the tubular housing and connected to the upper end of the light guide; Light from which light from the surface is homogenized and then irradiated to the lower side Characterized in that configured to include a nitride means.
또, 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치는, 평판디스플레이용 프로브 시스템의 스테이지 상측에 X축 및 Y축으로 이동 가능하게 설치되어 글라스에 형성된 전극 및 패드에 선택적으로 접촉하면서 트랜지스터의 특성을 측정하는 프로브핀이 구비된 각 프로브 헤드의 현미경 일측에는 소정 광원을 제공하는 탑라이트 모듈이 고정 설치되되, 상기 탑라이트 모듈은, 일정 파장대의 광원을 제공하는 라이트 소스와, 상기 라이트 소스로부터 일정 길이로 연장 형성되어 라이트 소스로부터의 광을 유도하는 광가이드 및, 관형상의 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 배치되어 그 일단에 연결된 광가이드로부터의 광이 균질화 된 후 타단 측으로 조사되도록 이루어지되, 타단이 현미경의 경통과 직각을 이루며 빔 스플리터 측으로 광을 조사하도록 설치되어 구성된 것을 특징으로 한다. In addition, the top light apparatus of the flat panel display probe system according to another embodiment of the present invention is installed on the stage above the stage of the flat panel display probe system so as to be movable in the X-axis and the Y-axis, and selectively mounted on electrodes and pads formed in glass. A top light module for providing a predetermined light source is fixedly installed on one side of a microscope of each probe head provided with probe pins for measuring the characteristics of the transistor while contacting. The top light module includes: a light source for providing a light source having a predetermined wavelength band; The light guide extends from the light source to a predetermined length to induce light from the light source, and a plurality of lenses are disposed in the tubular housing so that the light from the light guide connected to one end is homogenized and irradiated to the other end side. Beam splitter with the other end perpendicular to the microscope barrel It is characterized in that it is installed and configured to irradiate light to the side.
바람직하게, 상기 라이트 소스는, 소정 광원을 발산하는 램프와, 모터를 매개로 회전되는 원판형상의 몸체에 상이한 파장대의 밴드패스 필터가 다수 개 배열되며 상기 모터 구동에 따라 회전되면서 특정 파장대의 밴드패스 필터가 선택적으로 상기 램프와 대응되도록 하는 회전부재와, 관형상의 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 배치되어 상기 밴드패스 필터를 통과한 광이 일단으로 입사되어 균질화된 후 타단에 연결된 광가이드 측으로 조사되도록 하는 광 균질화 수단과, 상기 광 균질화 수단의 타단에 구비되어 광량을 검출하는 피드백 센서 및, 상기 피드백 센서의 센싱 값을 기초로 그 값에 따라 광량을 제어하는 컨트롤러를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다. Preferably, the light source includes a lamp that emits a predetermined light source, and a plurality of band pass filters having different wavelength bands are arranged on a disc-shaped body rotated through a motor and rotated according to driving of the motor. A rotating member for selectively matching the filter with the lamp and a plurality of lenses are disposed in the tubular housing such that light passing through the bandpass filter is incident to one end, homogenized, and irradiated to the light guide side connected to the other end. And a feedback sensor provided at the other end of the optical homogenization means and detecting a quantity of light, and a controller for controlling the quantity of light based on the sensing value of the feedback sensor.
또한, 상기 램프의 상측에는 광원으로부터 발생되는 고온의 열을 차단하는 열차단 필터가 구비됨과 아울러, 상기 광 균질화 수단의 하단 측에는 소정 밴드패스 필터를 통과한 광의 분산을 방지하기 위한 확산방지렌즈가 설치되어 구성됨이 바람직하다. In addition, a heat shield filter for blocking high temperature heat generated from the light source is provided on the upper side of the lamp, and a diffusion barrier lens is installed on the lower side of the light homogenization means to prevent dispersion of light passing through a predetermined band pass filter. Is preferably configured.
바람직하게, 상기 라이트 소스는, 모터를 매개로 회전되는 원판형상의 몸체에 다양한 종류의 LED 램프가 다수 개 배열되며 상기 모터 구동에 따라 회전되는 회전부재와, 관형상의 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 배치되어 특정 LED 램프로부터의 광원이 일단으로 입사되어 균질화된 후 타단에 연결된 광가이드 측으로 조사되도록 하는 광 균질화 수단과, 상기 광 균질화 수단의 타단에 구비되어 광량을 검출하는 피드백 센서 및, 상기 피드백 센서의 센싱 값을 기초로 그 값에 따라 광량을 제어하는 컨트롤러를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다. Preferably, the light source includes a plurality of LED lamps arranged in a disk-shaped body rotated through a motor and a rotating member rotated according to the motor driving, and a plurality of lenses disposed in the tubular housing. And a light homogenization means for irradiating a light source from a specific LED lamp to one end and homogenizing and irradiating to the light guide side connected to the other end, a feedback sensor provided at the other end of the light homogenization means, and detecting the amount of light. And a controller for controlling the amount of light according to the value based on the sensing value.
상기에서 설명한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 프로브 시스템에서의 OLED 광에 대한 영향 측정 시 보다 정확한 측정을 위해 유기EL의 광원과 동일한 빛의 양과 파장을 갖는 광원을 상측에서 조사가 가능하도록 함으로서, FPD 제품의 신소재 적용에 따라 기존의 방식으로는 불명확하였던 측정 방식을 개선할 수 있는 효과가 있게 되며, 이를 통해 제품 개발 또는 생산 시의 불량 원인 분석이 가능해짐은 물론, 제품의 안정성을 확보할 수 있는 효과도 있게 되는 것이다.According to the present invention made as described above, the FPD by allowing the light source having the same amount of light and the same wavelength as the light source of the organic EL for the more accurate measurement when measuring the effect on the OLED light in the probe system, it is possible to FPD According to the application of new materials to the product, it is possible to improve the measuring method which was not known by the existing method. This enables not only the analysis of the cause of defects during product development or production, but also the stability of the product. It will also work.
도 1은 본 발명에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치가 적용된 프로브 시스템의 개략적인 구성을 나타내는 도면,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치의 구성을 나타내는 도면,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치의 구성을 나타내는 도면,
도 4는 본 발명에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치에 적용되는 라이트 소스의 제 1실시예의 구성을 나타내는 도면,
도 5는 본 발명에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치에 적용되는 라이트 소스의 제 2실시예의 구성을 나타내는 도면이다. 1 is a view showing a schematic configuration of a probe system to which a top light device of a probe system for a flat panel display according to the present invention is applied;
2 is a view showing the configuration of a top light device of the probe system for a flat panel display according to an embodiment of the present invention;
3 is a view showing the configuration of a top light apparatus of a probe system for a flat panel display according to another embodiment of the present invention;
4 is a view showing the configuration of a first embodiment of a light source applied to the top light device of the probe system for a flat panel display according to the present invention;
5 is a view showing the configuration of a second embodiment of the light source applied to the top light apparatus of the flat panel display probe system according to the present invention.
이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention configured as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치가 적용된 프로브 시스템의 개략적인 구성을 나타내는 도면, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치의 구성을 나타내는 도면, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치의 구성을 나타내는 도면, 도 4는 본 발명에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치에 적용되는 라이트 소스의 제 1실시예의 구성을 나타내는 도면, 도 5는 본 발명에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치에 적용되는 라이트 소스의 제 2실시예의 구성을 나타내는 도면이다.1 is a view showing a schematic configuration of a probe system to which a top light device of a flat panel display probe system according to the present invention is applied, and FIG. 2 is a configuration of a top light device of a flat panel display probe system according to an embodiment of the present invention. 3 is a view showing the configuration of a top light device of a flat panel display probe system according to another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a light applied to the top light device of a flat panel display probe system according to the present invention. 5 is a diagram showing the configuration of the second embodiment of the light source applied to the top light apparatus of the probe system for a flat panel display according to the present invention.
먼저, 본 발명에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치는 FPD 글라스의 검사를 수행하는 프로브 시스템에서의 OLED 광에 대한 영향을 측정할 시에 유기EL의 광원과 동일한 빛의 양과 파장을 갖는 광원을 상측에서 제공하여 보다 정확한 측정이 이루어질 수 있도록 구현된다.First, the top light device of the probe system for a flat panel display according to the present invention is a light source having the same amount of light and wavelength as the light source of the organic EL when measuring the influence on the OLED light in the probe system for performing the inspection of the FPD glass It is implemented to provide more accurate measurement by providing from the upper side.
주지된 바와 같이, 평판디스플레이용 프로브 시스템은 수평 및 수직라인의 교차부에 트랜지스터가 형성되어 구성되는 FPD 글라스의 검사를 수행하기 위한 것으로서, 소정 지지부재(도시안됨)를 매개로 일정 높이를 갖는 지점에 고정 설치되는 플레이트 상에 글라스(1)의 안치를 위한 스테이지(100)가 형성되고, 그 상측에는 글라스(1)에 형성된 전극 및 패드 등에 선택적으로 접촉하면서 트랜지스터의 특성을 측정하는 프로브핀(310)이 구비된 프로브 헤드(300)가 다수 개 설치되며, 상기 각각의 프로브 헤드(300)는 리니어 모터(200)를 매개로 X축 및 Y축으로 이송 가능하게 구성된다.As is well known, the probe system for a flat panel display is for performing an inspection of an FPD glass constituted by transistors formed at intersections of horizontal and vertical lines. The probe system is provided with a support member (not shown) And a
여기에서, 본 발명에 따라 상기 트랜지스터의 특성 측정을 위한 프로브핀(310)이 구비된 각각의 프로브 헤드(300)에는 유기EL의 광원과 동일한 빛의 양과 파장을 갖는 광원을 상측에서 제공하기 위한 탑라이트 모듈이 일체로 형성되어 구성된다.Here, according to the present invention, each
도 2에 도시된 본 발명의 일실시예에 따라, 상기 탑라이트 모듈은 상기 프로브 헤드(300) 설치되는 프로빙용 현미경과 기구적으로 교체 설치되도록 구성된다.According to one embodiment of the present invention shown in Figure 2, the top light module is configured to be mechanically replaced with the probing microscope installed in the
상기 탑라이트 모듈은 특정 파장대의 광원을 제공하는 라이트 소스(10)가 구비되고, 상기 라이트 소스(10)는 발산된 광을 유도하는 일정 길이의 광가이드(40)를 매개로 광 균질화 수단(50) 측으로 광을 제공하도록 구성된다.The top light module is provided with a
상기 광 균질화 수단(50)은 대략 관형상을 갖는 하우징 내에 광의 균질화를 수행하기 위한 다수 개의 렌즈(52)가 조합 배열되어 구성되되, 그 상단에는 상기 광가이드(40)가 연결되어 상기 광가이드(40)를 통해 전달되는 상기 라이트 소스(10)로부터의 광이 다수의 렌즈(52)를 매개로 균질화 된 후 하단 측으로 조사되도록 구성된다. The optical homogenization means 50 is composed of a plurality of
이때, 상기 광 균질화 수단(50)의 하우징 하단을 통해 조사되는 광의 조사영역은 대략 50밀리미터[mm] X 50밀리미터[mm] 정도의 범위가 된다. At this time, the irradiation area of light irradiated through the lower end of the housing of the light homogenization means 50 is in the range of approximately 50 millimeters [mm] X 50 millimeters [mm].
참조부호 62는 Power Meter Head, 참조부호 60은 Power Meter를 나타내며, 상기 Power Meter(60)는 상기 라이트 소스(10) 측과 연결되어, 측정된 소정 데이터 값을 라이트 소스(10) 측으로 제공하게 된다.
그리고, 도 3에 도시된 본 발명의 다른 실시예에 따라, 탑라이트 모듈은 각 프로브 헤드(300)에 설치되는 현미경(400) 일측에 고정 설치되어 구성된다. And, according to another embodiment of the present invention shown in Figure 3, the top light module is fixed to one side of the
상기 탑라이트 모듈은 특정 파장대의 광원을 제공하는 라이트 소스(10)가 구비되고, 상기 라이트 소스(10)는 발광된 광을 유도하는 일정 길이의 광가이드(40)를 매개로 광 균질화 수단(50) 측으로 광을 제공하도록 구성된다. The top light module is provided with a
상기 광 균질화 수단(50)은 대략 관형상을 갖는 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 조합 배열되어 광의 균질화를 수행하도록 이루어지되, 그 일단에는 상기 광가이드(40)가 연결되어 상기 광가이드(40)를 통해 전달되는 상기 라이트 소스(10)로부터의 광이 다수의 렌즈를 매개로 균질화 된 후 타단 측으로 조사되도록 구성된다. The optical homogenization means 50 is composed of a plurality of lenses are arranged in a housing having a substantially tubular shape to perform the homogenization of light, one end of which is connected to the
이때, 상기 광 균질화 수단(50)의 타단은 현미경(500)의 경통(430)과 직각을 이루며 45°의 기울기를 갖도록 설치된 현미경의 빔 스플리터(440) 측으로 광을 조사하도록 설치되며, 이에 상기 빔 스플리터(440) 측으로 조사된 광은 현미경 하단의 렌즈부(450)를 거쳐 프로브 핀(310) 측으로 조사되게 된다. At this time, the other end of the light homogenization means 50 is installed to irradiate light to the
이때, 상기 렌즈부(450)를 거쳐 조사되는 광의 범위는 대략 수 밀리미터[mm] 정도의 값을 갖는다. At this time, the range of light irradiated through the
한편, 본 발명의 일실시예 및 다른 실시예에 따른 탑라이트 모듈에 구비되는 라이트 소스의 구성은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다. On the other hand, the configuration of the light source provided in the top light module according to an embodiment of the present invention and another embodiment may be configured as shown in Figs.
먼저, 상기 라이트 소스(10)의 제 1실시예에 따라, 상기 라이트 소스(10)는 소정 광원을 제공하는 할로겐 램프나 제논램프 등으로 구성되는 램프(12)와, 상기 램프(12)의 상측에 구비되는 회전부재(14)와, 라이트 소스 측 광 균질화 수단(20), 피드백 센서(22) 및, 라이트 소스의 광원 제어를 위한 컨트롤러(30) 등을 포함하여 구성된다. First, according to the first embodiment of the
상기 회전부재(14)는 원판형상의 몸체 가장자리 부분을 따라 상이한 파장대를 갖는 다수 개의 밴드패스 필터(18)가 배열되며 구성되며, 몸체 중앙에는 회전력을 인가하는 모터(16)가 장착되어, 상기 모터(16) 구동에 따라 그 몸체가 회전되면서 특정 파장대의 밴드패스 필터(18)가 선택적으로 상기 램프(12)와 대응될 수 있도록 구성된다. The rotating
상기 광 균질화 수단(20)은 대략 관형상을 갖는 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 배치되어 상기 밴드패스 필터(18)를 통과한 광이 일단으로 입사되어 균질화된 후 타단에 연결된 광가이드(40) 측으로 조사되도록 이루어지며, 상기 광 균질화 수단(20)의 타단에는 광량의 검출을 위한 피드백 센서(22)가 추가로 설치되어 구성된다. The optical homogenization means 20 has a plurality of lenses arranged in a housing having a substantially tubular shape, and the light passing through the
상기 Power Meter(60) 및 피드백 센서(22) 등은 상기 컨트롤러(30)와 연결되어 해당 측정값을 상기 컨트롤러(30) 측으로 제공하게 되며, 이에 상기 컨트롤러(30)는 입력된 정보를 기초로 상기 램프(12) 및 모터(16) 등을 제어하여 측정 환경에 맞는 특정 파장대의 광원이 상기 라이트 소스(10)로부터 제공될 수 있도록 하게 된다. The
참조부호 24는 상기 램프(12)의 상측에 구비되어 해당 광원으로부터 발생되는 고온의 열이 밴드패스 필터(18) 측으로 전달되는 것을 차단하는 열차단 렌즈를 나타내며, 참조부호 26은 상기 광 균질화 수단(20)의 하단 측에 구비되어 상기 밴드패스 필터(18)를 통과한 광이 분산되는 것을 방지하는 확산방지렌즈를 나타낸다.
그리고, 상기 라이트 소스(10)의 제 2실시예에 따라, 상기 라이트 소스(10)는 다수 개의 LED 램프(28)가 설치된 회전부재(14)와 라이트 소스 측 광 균질화 수단(20)과 피드백 센서(20) 및 컨트롤러(30) 등을 포함하여 구성된다. In addition, according to the second embodiment of the
상기 회전부재(14)는 중앙에 회전력을 인가하는 모터(16)가 장착되어 구성되며, 그 가장자리 부분을 따라서는 다양한 종류의 LED 램프(28)가 광원을 제공하도록 이루어진다. The rotating
상기 회전부재(14)에 설치되는 LED 램프(28)는 UV, BLUE, GREEN, YELLOW, RED, WHITE 등의 LED가 포함될 수 있다. The
또, 상기 균질화 수단(20)은 관형상의 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 배치되어 상기 회전부재(14)에 설치된 특정 LED 램프(28)로부터의 광원이 일단으로 입사되어 균질화된 후 타단에 연결된 광가이드(40) 측으로 조사되도록 구성되며, 타단에는 광량의 검출을 위한 피드백 센서(22) 구비되어 구성된다. In addition, the homogenizing means 20 has a plurality of lenses disposed in the tubular housing, the light guide from a
마찬가지로, 상기 컨트롤러(30)는 입력된 센싱값을 기초로 상기 라이트 소스(10)로부터 발산되는 광의 파장 및 광량을 제어하도록 구성된다.
Similarly, the
이어, 상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 작용에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.Next, the operation of the present invention as described above will be described in detail as follows.
본 발명의 일실시예에 따른 탑라이트 장치가 적용된 프로브 시스템을 통해 소정 글라스(OLED용 유리기판)(1)의 회로패턴에 대한 전기적 특성 측정이 수행되는데 있어서는, 제 1실시예에 따른 라이트 소스(10) 측에 구비된 컨트롤러(30)의 제어에 따라 램프(12)가 동작되면서 소정 광원을 발산하게 되며, 상기 램프(12)로부터의 광원은 상기 컨트롤러(30)가 지정한 소정 밴드패스 필터(18)를 통과한 후 라이트 소스(10) 측에 구비된 광 균질화 수단(20)을 거쳐 특정 파장대의 광으로 제공되게 된다. In the electrical property measurement of the circuit pattern of the predetermined glass (glass substrate for OLED) 1 through the probe system to which the top light apparatus according to the present invention is applied, the light source according to the first embodiment The
또, 제 2실시예에 따른 라이트 소스(10)에서는 회전부재(14)에 구비된 다양한 종류의 LED 램프(28) 중에서 컨트롤러(30)의 제어에 따른 특정 LED 램프(28)로부터의 광원이 상기 광 균질화 수단(20) 측으로 입사되게 된다. In addition, in the
그리고, 상기 라이트 소스(10)로부터 제공되는 광원의 파장 및 광량은 상기 피드백 센서(22)에서 검출되어 컨트롤러(30) 측으로 피드백됨과 아울러 상기 광가이드(40)를 통과한 후 상기 프로브 헤드(300) 측에 다수 개의 렌즈(52) 조합을 매개로 구성된 광 균일화 수단(50)을 통과하면서 균질화된 상태로 상기 스테이지(100) 상면에 설치된 글라스(1) 측으로 조사되게 된다. The wavelength and the light amount of the light source provided from the
이때, 상기 글라스(1) 상면 측으로 조사되는 광은 Power Meter Head(62)에서 검출된 후 Power Meter(60)을 거쳐 상기 라이트 소스(10)의 컨트롤러(30) 측으로 피드백 되어 파장 및 광량이 제어될 수 있게 되며, 이에 상기 라이트 소스(10)로부터 제공되는 광원은 일정한 파장대 및 광량을 유지할 수 있게 된다. At this time, the light irradiated to the upper surface side of the
이에, 상기 스테이지(100) 상에 안착된 소정 글라스(1)의 검사 시에는 상기 탑라이트 모듈을 매개로 실제 생산제품의 광원과 동일한 스펙트럼 특성을 갖는 환경이 제공될 수 있게 된다. Accordingly, when inspecting the
본 발명의 다른 실시예에 따른 탑라이트 모듈이 적용된 프로브 시스템에서는 상기 라이트 소스(10)로부터 제공되는 광이 상기 광가이드(40)를 통과한 후 상기 프로브 헤드(300) 측에 다수 개의 렌즈(52) 조합을 매개로 구성된 광 균일화 수단(50)을 통과하여 균질화된 상태에서, 상기 프로브 헤드(300)의 현미경(400) 경통(430) 하단 측에 구비된 빔 스플리터(440)를 통해 그 방향이 하측방향으로 90° 전환된 후 현미경 렌즈부(450)를 거쳐 글라스(1) 측에 조사됨에 따라 실제 생산제품의 광원과 동일한 스펙트럼 특성을 갖는 환경으로 제공될 수 있게 되는 것이다.In the probe system to which the top light module is applied according to another embodiment of the present invention, after the light provided from the
도 3에서, "A" 영역은 테스터(500)를 이용한 측정 시 균질화된 광이 조사되는 영역을 나타내며, "B" 영역은 현미경 카메라(410)를 통해 촬영된 후 모니터(420)에 디스플레이 되는 영역을 나타낸다.In FIG. 3, area "A" represents an area to which the homogenized light is irradiated when measured by the
따라서, 본 발명에 따른 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치를 통해서는 RGB OLED 및 WOLED, 또는 산화물 기반의 글라스(1) 제조 시, 실 제품과 동일 또는 유사한 스펙트럼을 갖는 광을 상측으로부터의 제공할 수가 있게 되며, 이를 통해 정확한 전기적 특성 측정이 구현될 수 있게 된다.Therefore, through the top light apparatus of the probe system for flat panel display according to the present invention, when manufacturing RGB OLED and WOLED, or oxide-based
한편, 본 발명에서 기재된 내용과 다른 변형된 실시예들이 돌출 된다고 하더라도 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명에 첨부된 청구범위 내에 속하게 됨은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the scope of the appended claims.
1: 글라스, 10: 라이트 소스,
12:도광판, 14: 회전부재,
16: 모터, 18: 밴드패스 필터,
20: 라이트 소스 측 광 균질화 수단, 22: 피드백 센서,
24: 열차단 렌즈, 26: 확산방지렌즈,
28: LED 램프, 30: 컨트롤러,
40: 광가이드, 50: 광 균질화 수단,
52: 렌즈, 60: Power Meter,
62: Power Meter Head, 100: 스테이지,
200: 리니어 모터, 300: 프로브 헤드,
310: 프로브 핀, 400: 현미경,
430: 경통, 440: 빔 스플리터,
450: 렌즈부.1: glass, 10: light source,
12: light guide plate, 14: rotating member,
16: motor, 18: bandpass filter,
20: light source side light homogenization means, 22: feedback sensor,
24: thermal barrier lens, 26: diffusion barrier lens,
28: LED lamp, 30: controller,
40: light guide, 50: light homogenization means,
52: lens, 60: power meter,
62: Power Meter Head, 100: Stage,
200: linear motor, 300: probe head,
310: probe pin, 400: microscope,
430: barrel, 440: beam splitter,
450: lens unit.
Claims (5)
상기 탑라이트 모듈은,
일정 파장대의 광원을 제공하는 라이트 소스와,
상기 라이트 소스로부터 일정 길이로 연장 형성되어 라이트 소스로부터의 발산된 광을 유도하는 광가이드 및,
관형상의 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 배치되어 그 상단에 연결된 광가이드로부터의 광이 균질화 된 후 하단 측으로 조사되도록 하는 광 균질화 수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치.Microscope and replacement are installed on each probe head equipped with probe pins that can be moved on the X-axis and Y-axis at the upper side of the probe system for flat panel display, and are equipped with probe pins for measuring the characteristics of transistors while selectively contacting electrodes and pads formed on the glass. Toplight module is provided to provide a predetermined light source,
The top light module,
A light source providing a light source of a predetermined wavelength band,
An optical guide extending from the light source to a predetermined length and inducing light emitted from the light source;
And a plurality of lenses arranged in the tubular housing, the light homogenizing means for irradiating the light from the light guide connected to the upper end to the lower side and homogeneizing the light guide device of the probe system for a flat panel display.
상기 탑라이트 모듈은,
일정 파장대의 광원을 제공하는 라이트 소스와,
상기 라이트 소스로부터 일정 길이로 연장 형성되어 라이트 소스로부터의 광을 유도하는 광가이드 및,
관형상의 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 배치되어 그 일단에 연결된 광가이드로부터의 광이 균질화 된 후 타단 측으로 조사되도록 이루어지되, 타단이 현미경의 경통과 직각을 이루며 빔 스플리터 측으로 광을 조사하도록 설치되어 구성된 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치.One side of the microscope of each probe head having probe pins installed on the stage of the flat panel display system so as to be movable in the X and Y axes and measuring the characteristics of the transistors while selectively contacting the electrodes and pads formed in the glass The top light module that provides the light source is fixedly installed,
The top light module,
A light source providing a light source of a predetermined wavelength band,
An optical guide extending from the light source to a predetermined length to induce light from the light source;
A plurality of lenses are disposed in the tubular housing so that the light from the light guide connected to one end is homogenized and irradiated to the other end, and the other end is installed to irradiate light to the beam splitter side at right angles to the barrel of the microscope. Toplight device of the probe system for a flat panel display, characterized in that.
상기 라이트 소스는,
소정 광원을 발산하는 램프와,
모터를 매개로 회전되는 원판형상의 몸체에 상이한 파장대의 밴드패스 필터가 다수 개 배열되며 상기 모터 구동에 따라 회전되면서 특정 파장대의 밴드패스 필터가 선택적으로 상기 램프와 대응되도록 하는 회전부재와,
관형상의 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 배치되어 상기 밴드패스 필터를 통과한 광이 일단으로 입사되어 균질화된 후 타단에 연결된 광가이드 측으로 조사되도록 하는 광 균질화 수단과,
상기 광 균질화 수단의 타단에 구비되어 광량을 검출하는 피드백 센서 및,
상기 피드백 센서의 센싱 값을 기초로 그 값에 따라 광량을 제어하는 컨트롤러를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
The light source is,
A lamp that emits a predetermined light source,
A plurality of bandpass filters having different wavelength bands are arranged in a disc-shaped body rotated through a motor, and rotated according to the driving of the motor, such that the bandpass filters of a specific wavelength band selectively correspond to the lamps;
Optical homogenization means for arranging a plurality of lenses in the tubular housing so that the light passing through the band pass filter is incident to one end and homogenized and then irradiated to the light guide side connected to the other end;
A feedback sensor provided at the other end of the optical homogenization means and detecting the amount of light;
And a controller for controlling the amount of light according to the value based on the sensing value of the feedback sensor.
상기 램프의 상측에는 광원으로부터 발생되는 열을 차단하는 열차단 필터가 구비됨과 아울러, 상기 광 균질화 수단의 하단 측에는 소정 밴드패스 필터를 통과한 광의 분산을 방지하기 위한 확산방지렌즈가 설치되어 구성된 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치.The method of claim 3, wherein
A heat shield filter is provided on the upper side of the lamp to block heat generated from the light source, and a diffusion barrier lens is installed on the lower side of the light homogenization means to prevent dispersion of light passing through a predetermined band pass filter. Toplight device of a probe system for flat panel display.
상기 라이트 소스는,
모터를 매개로 회전되는 원판형상의 몸체에 다양한 종류의 LED 램프가 다수 개 배열되며 상기 모터 구동에 따라 회전되는 회전부재와,
관형상의 하우징 내에 다수 개의 렌즈가 배치되어 특정 LED 램프로부터의 광원이 일단으로 입사되어 균질화된 후 타단에 연결된 광가이드 측으로 조사되도록 하는 광 균질화 수단과,
상기 광 균질화 수단의 타단에 구비되어 광량을 검출하는 피드백 센서 및,
상기 피드백 센서의 센싱 값을 기초로 그 값에 따라 광량을 제어하는 컨트롤러를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 평판디스플레이용 프로브 시스템의 탑라이트 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
The light source is,
A plurality of LED lamps of various kinds are arranged in a disc-shaped body rotated by a motor, and a rotating member rotated according to the driving of the motor;
Optical homogenization means for arranging a plurality of lenses in the tubular housing such that a light source from a specific LED lamp is incident on one end and homogenized and then irradiated to the light guide side connected to the other end;
A feedback sensor provided at the other end of the optical homogenization means and detecting the amount of light;
And a controller for controlling the amount of light according to the value based on the sensing value of the feedback sensor.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| Country | Link |
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| KR (1) | KR101355530B1 (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05273139A (en) * | 1991-09-10 | 1993-10-22 | Photon Dynamics Inc | Liquid crystal display board inspection method |
| JP2007208253A (en) | 2006-01-09 | 2007-08-16 | Samsung Electronics Co Ltd | Image sensor test method and apparatus |
| KR20090037922A (en) * | 2006-07-07 | 2009-04-16 | 티아이알 테크놀로지 엘피 | Apparatus and Method for Characterization of Light Sources |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20121210 |
|
| PA0201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
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|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| PE0701 | Decision of registration |
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| GRNT | Written decision to grant | ||
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|
| PR1001 | Payment of annual fee |
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| PR1001 | Payment of annual fee |
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