KR101438157B1 - 기판 검사방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 검사방법을 설명하기 위한 개념도들이다.
도 4는 도 1의 솔더 조인트의 불량 여부를 검사하는 단계에서 솔더 조인트가 불량이지만 양으로 검사 결과가 나타나는 일 예를 도시한 개념도이다.
도 5는 도 1의 솔더 조인트의 불량 여부를 검사하는 단계에서 솔더 조인트가 양이지만 불량으로 검사 결과가 나타나는 일 예를 도시한 개념도이다.
22 : 터미널 30a, 30b, 30c : 솔더 조인트
110 : 광 제공부 120 : 이미지 획득부
Claims (12)
- 기판 상에 탑재된 부품의 솔더 조인트(solder joint)를 포함하는 검사영역에 제1 컬러(color)를 갖는 제1 광, 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 갖는 제2 광 및 상기 제1 및 제2 컬러들과 다른 제3 컬러를 갖는 제3 광을 상기 기판에 대하여 각각 제1 경사각, 상기 제1 경사각보다 작은 제2 경사각 및 상기 제2 경사각보다 작은 제3 경사각으로 조사하는 단계;
상기 검사영역에 조사된 상기 제1 광, 상기 제2 광 및 상기 제3 광에 의한 상기 검사영역의 컬러 이미지를 획득하는 단계;
상기 컬러 이미지에 나타난 컬러의 분포를 이용하여 상기 솔더 조인트의 불량 여부를 검사하는 단계; 및
기 측정된 상기 솔더 조인트의 높이 정보를 이용하여 상기 검사 결과를 검증하되, 상기 솔더 조인트의 불량 여부를 검사하는 단계에서 상기 솔더 조인트가 양으로 판단된 경우라도 상기 솔더 조인트의 높이가 기 설정된 기준높이보다 작으면 불량으로 판단하고, 상기 솔더 조인트의 불량 여부를 검사하는 단계에서 상기 솔더 조인트가 불량으로 판단된 경우라도 상기 솔더 조인트의 높이가 기 설정된 기준높이보다 크면 양으로 판단하는 단계를 포함하고,
동일한 종류의 인쇄회로기판들을 검사하는 경우,
표본 추출된 인쇄회로기판에 솔더 조인트가 불량이지만 양으로 검사 결과가 나타나는 빈도수 및 표본 추출된 인쇄회로기판에 솔더 조인트가 양이지만 불량으로 검사 결과가 나타나는 빈도수를 체크하여 어느 한 경우가 다른 경우보다 기준비율 이상으로 많이 나타나는 경우,
상기 검사 결과를 검증하는 단계는 양으로 판단된 경우 및 불량으로 판단된 경우 중 어느 하나의 경우에 대해서만 선택적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 제1항에 있어서, 상기 컬러 이미지에 나타난 컬러의 분포를 이용하여 상기 솔더 조인트의 불량 여부를 검사하는 단계는,
상기 검사영역의 컬러 이미지를 형성하는 픽셀(pixel)들 중에서 상기 제3 컬러에 대응하는 픽셀 수를 산출하는 단계;
상기 검사영역의 컬러 이미지를 형성하는 전체 픽셀 수에 대한 상기 제3 컬러에 대응하는 픽셀 수의 비율을 산출하는 단계; 및
상기 비율이 기 설정된 기준비율을 초과하는 경우 양(good)으로 판단하고, 초과하지 않는 경우 불량(no good)으로 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 삭제
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- 제1항에 있어서,
상기 제1 광, 상기 제2 광 및 상기 제3 광은 각각 적색광(R), 녹색광(G) 및 청색광(B)인 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 제1항에 있어서, 상기 솔더 조인트의 높이 정보를 획득하는 단계를 더 포함하고,
상기 솔더 조인트의 높이 정보를 획득하는 단계는,
상기 기판에 격자패턴광을 N번 조사하여 상기 검사영역에 대한 측정데이터를 획득하는 단계(N은 2이상의 자연수); 및
획득된 상기 측정데이터에 버킷 알고리즘(bucket algorithm)을 적용하여 상기 솔더 조인트의 높이 정보를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 삭제
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Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120127241A KR101438157B1 (ko) | 2012-11-12 | 2012-11-12 | 기판 검사방법 |
| US14/073,230 US8902418B2 (en) | 2012-11-12 | 2013-11-06 | Board inspection method |
| CN201310553217.0A CN103808270A (zh) | 2012-11-12 | 2013-11-08 | 基板检查方法 |
| JP2013232893A JP6008823B2 (ja) | 2012-11-12 | 2013-11-11 | 基板検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020120127241A KR101438157B1 (ko) | 2012-11-12 | 2012-11-12 | 기판 검사방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20140060667A KR20140060667A (ko) | 2014-05-21 |
| KR101438157B1 true KR101438157B1 (ko) | 2014-09-05 |
Family
ID=50681432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020120127241A Active KR101438157B1 (ko) | 2012-11-12 | 2012-11-12 | 기판 검사방법 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8902418B2 (ko) |
| JP (1) | JP6008823B2 (ko) |
| KR (1) | KR101438157B1 (ko) |
| CN (1) | CN103808270A (ko) |
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- 2013-11-11 JP JP2013232893A patent/JP6008823B2/ja active Active
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|---|---|
| JP2014095707A (ja) | 2014-05-22 |
| US20140132953A1 (en) | 2014-05-15 |
| CN103808270A (zh) | 2014-05-21 |
| KR20140060667A (ko) | 2014-05-21 |
| JP6008823B2 (ja) | 2016-10-19 |
| US8902418B2 (en) | 2014-12-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20121112 |
|
| PA0201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20140128 Patent event code: PE09021S01D |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20140829 |
|
| PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20140829 Patent event code: PR07011E01D |
|
| PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20140829 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
| PG1601 | Publication of registration | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170621 Year of fee payment: 4 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20170621 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20200609 Start annual number: 7 End annual number: 7 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20230704 Start annual number: 10 End annual number: 10 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20250703 Start annual number: 12 End annual number: 12 |