KR101497922B1

KR101497922B1 - Gas Leak Detector

Info

Publication number: KR101497922B1
Application number: KR20140156333A
Authority: KR
Inventors: 윤중호
Original assignee: 윤중호
Priority date: 2014-11-11
Filing date: 2014-11-11
Publication date: 2015-03-03
Anticipated expiration: 2034-11-11

Abstract

본 발명의 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치에 따르면, 공압밸브의 파손으로 누출되는 가스를 포집하고, 포집하는 가스가 토출되는 토출구가 형성된 일측면에 내입홈이 내입형성된 포집부; 일단이 상기 내입홈에 삽입결합되어, 상기 포집부의 토출구로 배출되는 배출가스를 외부로 배기시키는 배기라인; 상기 배기라인의 타단에 결합되어, 상기 배기라인으로 배기되는 배출공기에 포함된 가스를 검출하는 검출부;를 포함하고, 상기 포집부는, 상기 토출구와 연통되어 타측면으로 연장된 연장부와, 상기 연장부의 끝단이 상기 공압밸브의 파손으로 가스가 누출되는 배출공에 삽입결합되어 상기 가스를 포집하는 포집구가 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 효과는, 반도체라인에 설치된 공압밸브에 포집부를 설치할 때, 토출구와 연통되어 타측면으로 연장된 연장부의 끝단을 공압밸브의 파손으로 가스가 누출되는 배출공에 삽입결합시킴으로써, 반도체 라인을 중지시키지 않아 반도체 라인작업에 영향을 주지 않을 뿐만 아니라, 반도체 라인 중지에 따른 생산량 감소, 그에 따른 손해비용 등이 발생하지 않도록 할 수 있는 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 제공할 수 있다.According to the gas leakage detecting device using the collecting part of the present invention having a longer length, the collecting part collects the gas leaked due to breakage of the pneumatic valve and has an inner groove formed in one side where a discharge port through which the collecting gas is discharged is formed; An exhaust line inserted into the inner groove at one end to exhaust the exhaust gas discharged to the discharge port of the trapping unit to the outside; And a detection unit coupled to the other end of the exhaust line and detecting a gas contained in the exhaust air exhausted to the exhaust line, wherein the trapping unit includes an extension portion extending to the other side in communication with the discharge port, And a collecting port for collecting the gas is inserted into the discharge hole where the gas leaks due to breakage of the pneumatic valve.
The effect of the present invention is that when the collecting part is installed in the pneumatic valve provided in the semiconductor line, the end of the extension part communicating with the discharge port and extending to the other side is inserted into the discharge hole where the gas leaks by breakage of the pneumatic valve, It is possible to provide a gas leakage detecting apparatus using a collecting section of a long length which does not affect the operation of the semiconductor line and does not cause a reduction in the production amount due to the stoppage of the semiconductor line, .

Description

TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a gas leak detecting apparatus using a collecting section having a longer length,

본 발명은 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공압밸브에서 에어 또는 가스가 누출되는 배출공의 위치에 상관없이, 연질의 포집부를 늘이거나 구부려 포집구의 위치를 배출공에 용이하게 위치이동시킬 수 있는 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a gas leakage detecting device using an elongated collecting part, and more particularly to a gas leakage detecting device using an elongated collecting part, and more particularly, And more particularly to a gas leakage detecting device using a collecting part whose length is extended so that it can be easily moved to a discharge hole.

일반적으로, 반도체 제조장비는 웨이퍼를 다양한 환경과 공정 하에서 처리하고 가공하게 되는데, 이들 장비는 웨이퍼를 사진, 확산, 식각, 화학기상증착, 금속증착 등의 여러 공정을 반복적으로 수행하여 반도체 칩으로 제조하게 되며, 각 공정은 각종 유독가스 및 용액 하에서 실시하게 된다.In general, semiconductor manufacturing equipment processes and processes wafers under various environments and processes, such as photolithography, diffusion, etching, chemical vapor deposition, metal deposition, and the like, Each process is carried out under various toxic gases and solutions.

따라서, 반도체를 제조하는 각 장비들은 다양하고 열악한 환경에 노출되어 있으며, 각종 유독가스로 인해 장비가 부식되거나 변형되어 장비의 수명이 짧아지는 문제점이 있었다. 그에 따라 장비의 교체주기가 잦아져 유지관리비용이 증가할 뿐만 아니라 장비의 공정이 중단되어 제품생산이 딜레이되는 단점이 있었다.Therefore, each of the devices for manufacturing semiconductors is exposed to various and harsh environments, and the equipment is corroded or deformed due to various toxic gases, which shortens the service life of the equipment. As a result, there is a disadvantage that the replacement cycle of the equipment becomes frequent, the maintenance cost increases, and the production of the product is delayed due to the interruption of the process of the equipment.

여기서, 밸브는 공압밸브를 사용하며, 공압밸브에는 펌프(Diaphragm Valve) 또는 뉴메틱밸브(Pneumatic Valve) 등이 있다.Here, the valve uses a pneumatic valve, and the pneumatic valve includes a pump (Diaphragm Valve) or a pneumatic valve.

펌프나 뉴메틱밸브는, 가스유입관, 가스배출관이 양쪽에 각각 연결되고, 에어공급부로부터 공급되는 고압공기의 공압을 이용하여 가스유입관에서 가스배출관으로 흐르는 가스의 흐름을 제어한다. The pump or pneumatic valve controls the flow of the gas flowing from the gas inlet pipe to the gas outlet pipe by using the air inlet of the high pressure air supplied from the air supply unit and the gas inlet pipe and the gas outlet pipe respectively.

펌프나, 뉴메틱밸브는 가스유입관에서 유입되는 가스의 유입부에 위치한 다이어프램(diaphragm)에 공압 또는 공압에 의한 압력을 가함에 따라, 다이어프램이 유입부가 개폐되는 구조를 갖는다.The pump or the pneumatic valve has a structure in which the diaphragm opens and closes the inlet portion by applying a pressure of pneumatic or pneumatic pressure to the diaphragm located at the inlet portion of the gas introduced from the gas inlet pipe.

그리고, 펌프나, 뉴메틱밸브에 주입되는 고압공기는 외부로 배출된다. Then, the high-pressure air injected into the pump or the pneumatic valve is discharged to the outside.

이때, 다이어프램은 지속적인 밸브 작동에 의해 피로현상으로 깨지게 되면 가스유입관에서 유입되는 유독가스가 깨진 다이어프램을 통해 밸브의 보닛너트에 형성된 배출공으로 배출되면서 외부로 누출되는 문제점이 발생하였다.At this time, when the diaphragm is broken by the fatigue phenomenon by the continuous valve operation, the toxic gas introduced from the gas inflow pipe is discharged to the discharge hole formed in the bonnet nut of the valve through the broken diaphragm and leaked to the outside.

이러한 종래의 단점들을 해결하기 위하여 반도체 제조장비 내에 유독가스를 공급하는 다수개의 밸브가 설치된 부분을 가스박스로 분리시키는 동시에 밸브에서 누출될 수 있는 유독가스를 배기시키기 위한 배기구가 설치되었다. 그리고, 배기구에는 유독가스를 검출하기 위한 유독가스검출기가 설치된다.In order to solve these conventional disadvantages, an exhaust port for exhausting poisonous gas that can leak from a valve is provided, while a portion where a plurality of valves for supplying toxic gas are installed in the semiconductor manufacturing equipment is separated into a gas box. A toxic gas detector for detecting a toxic gas is installed in the exhaust port.

그러나, 배기구의 음압에 의해 외부공기가 가스박스의 내부로 대량 유입되기 때문에 밸브에서 유독가스가 누출되면 가스박스 내부로 유입된 외부공기와 혼합되고, 누출된 유독가스의 농도가 낮아져 유독가스검출기가 작동을 하지 않는 문제점이 있었다. 즉, 유독가스검출기를 배기구에 설치함에도 불구하고, 외부공기의 유입으로 낮아지는 유독가스의 농도 때문에 유독가스의 누출을 용이하게 검출하지 못하여 유독가스 누출의 조기발견을 할 수 없으며 반도체 공정에 이상을 초래하는 단점이 있었다.However, since the external air is introduced into the gas box due to the negative pressure of the exhaust port, if the toxic gas leaks out from the valve, it is mixed with the outside air introduced into the gas box, the concentration of the leaked toxic gas becomes low, There was a problem that it did not work. In other words, despite the fact that the toxic gas detector is installed in the exhaust port, the leakage of toxic gas can not be detected easily because of the concentration of toxic gas which is lowered due to the inflow of outside air, so that the toxic gas leak can not be detected early, .

또한, 유독가스검출기가 유독가스를 검출하면서 사용자가 유독가스 누출을 인지함에도 불구하고, 하나의 반도체 장비에 다수개가 설치된 밸브를 일일이 분해하여 밸브의 다이어프램 손상유무를 확인해야만 했었다. 그에 따라 손상된 밸브를 찾아내는데 시간이 오래 걸릴 뿐만 아니라, 작업의 진행이 중단되어 생산량이 감소하는 문제점이 있었다.In addition, even though the toxic gas detector detects toxic gas and the user perceives toxic gas leakage, it has been necessary to disassemble a plurality of valves installed in one semiconductor equipment to check whether the diaphragm is damaged. Accordingly, it takes a long time to find the damaged valve, and the operation is stopped and the production amount is reduced.

더불어, 종래의 가스박스 내에는 유독가스 외에 산소, 질소, 아르곤가스 등의 흐름을 제어하는 밸브가 다수개 설치되어 있기 때문에 가스박스의 배기구에 설치된 유독가스검출기는 특정 유독가스만을 검출할 수 있기 때문에, 산소, 질소, 아르곤가스 등과 같은 가스의 누출과 유독가스를 누출을 동시에 검출하기 어렵고 검출되지 않는 유독가스나 그외의 가스로 인하여 반도체 공정에 이상을 초래하는 문제점이 있었다.In addition, since a plurality of valves for controlling the flow of oxygen, nitrogen, argon gas, etc. in addition to the toxic gas are provided in the conventional gas box, the toxic gas detector installed in the exhaust port of the gas box can detect only a specific toxic gas There is a problem that it is difficult to simultaneously detect leakage of gas such as oxygen, nitrogen, argon gas, and leaking, and toxic gas or other gas which is not detected, resulting in abnormalities in semiconductor processing.

또한, 반도체의 라인에서 펌프나, 뉴메틱밸브는 일정간격으로 이격되어 설치되기도 하나, 특정구역에서는 촘촘히 배열되도록 설치된다.In the semiconductor line, pumps and pneumatic valves may be spaced apart at regular intervals, but they are arranged to be closely arranged in specific areas.

이때, 촘촘히 배열 설치된 뉴메틱밸브의 경우, 다이어프램이 지속적인 밸브 작동에 의해 피로현상으로 깨지게 되어 외부로 가스가 누출되도록 형성된 배출공이 인접한 뉴메틱밸브를 마주하고 있으면 가스를 포집하기 위한 구조를 설치하기 어려울 뿐만 아니라, 배출공의 위치가 일정하지 않도록 설치되는 뉴메틱밸브에 모두 적용시킬 수 있는 가스포집 구조의 개발이 요구된다.
In this case, in the case of the pneumatic valve arranged closely, the diaphragm is broken by the continuous valve operation, and the exhaust hole formed to leak the gas to the outside is difficult to install the structure for collecting the gas if the adjacent pneumatic valve faces the adjacent valve In addition, it is required to develop a gas trapping structure which can be applied to a pneumatic valve installed so that the position of the discharge hole is not constant.

일본 공개특허공보 특개2011-107034호Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2011-107034 대한민국 실용신안공개공보 제2008-0004184호Korean Utility Model Publication No. 2008-0004184 대한민국 등록특허공보 제1326766호Korean Registered Patent No. 1326766 대한민국 등록특허공보 제0857235호Korean Patent Publication No. 0857235

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 반도체라인에 설치된 공압밸브에 포집부를 설치할 때, 토출구와 연통되어 타측면으로 연장된 연장부의 끝단을 공압밸브의 파손으로 가스가 누출되는 배출공에 삽입결합시킴으로써, 반도체 라인을 중지시키지 않아 반도체 라인작업에 영향을 주지 않을 뿐만 아니라, 반도체 라인 중지에 따른 생산량 감소, 그에 따른 손해비용 등이 발생하지 않도록 할 수 있는 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 제공하기 위함이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention, which has been devised to solve the above-mentioned problems, to provide a pneumatic valve that is installed in a semiconductor line and which, when a collecting part is installed, The length of the long-term collecting can be reduced so that the semiconductor line is not stopped and the semiconductor line operation is not affected, And a gas leakage detecting device using the same.

또한, 본 발명의 목적은, 공압밸브가 촘촘히 배열 설치되는 경우, 공압밸브에서 에어 또는 가스가 누출되는 배출공의 위치에 상관없이, 연질의 포집부를 늘이거나 구부려 포집구의 위치를 배출공에 용이하게 위치이동시킬 수 있으며, 고정부재의 코일마다 벌어지는 틈에 삽입되는 포집부를 공압밸브의 외주면에 용이하게 밀착고정시킬 수 있는 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 제공하기 위함이다.Further, it is an object of the present invention to provide a pneumatic control valve which can expand or flex the soft collecting portion to easily position the collecting port in the discharge hole regardless of the position of the discharge hole where air or gas leaks from the pneumatic valve when the pneumatic valves are closely arranged The present invention is intended to provide a gas leakage detection device using a trapping portion which can be moved in position and whose length can be easily fixed to the outer circumferential surface of a pneumatic valve easily by inserting a trapping portion inserted in a gap between coils of a fixing member.

또한, 본 발명의 목적은, 포트솔레노이드 밸브에 연결된 다수개의 배기라인 중 어느 하나의 배기라인에서 배출되는 가스만 연결라인을 통해 검출부로 배출될 수 있도록 포트솔레노이드 밸브에 연결된 다수개의 배기라인의 배출여부를 포트솔레노이드 밸브로 제어함으로써, 각각의 공압밸브에서 누출되는 가스가 타 공압밸브에서 누출되는 가스와 혼합되지 않도록 하여 안정성 향상과 장비의 손상을 예방할 수 있는 동시에, 검출부가 가스를 검출하면 포트솔레노이드 밸브가 제어되어 가스가 검출되는 공압밸브를 자동으로 신속하게 찾아 실시간 모니터링 및 장비의 작동을 신속하게 진행시킬 수 있는 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 제공하기 위함이다.It is also an object of the present invention to provide an exhaust emission control apparatus for an internal combustion engine that is capable of exhausting a plurality of exhaust lines connected to a port solenoid valve so that only gas discharged from an exhaust line of a plurality of exhaust lines connected to a port solenoid valve can be discharged to a detection unit via a connection line Is controlled by the port solenoid valve so that the gas leaked from each pneumatic valve is not mixed with the gas leaked from the other pneumatic valve, thereby improving the stability and preventing damage to the equipment. When the detection unit detects gas, The present invention provides a gas leakage detecting device using a trapping part which is capable of quickly and automatically detecting a pneumatic valve in which gas is detected, and real time monitoring and operation of the equipment can be rapidly advanced.

또한, 본 발명의 목적은, 검출부에서 가스가 검출되면, 컨트롤러가 포트솔레노이드 밸브를 제어함에 따라 파손된 공압밸브를 파악하고, 파악된 공압밸브의 고유정보가 디스플레이부에 디스플레이됨으로써, 관리자가 파손된 공압밸브를 파악하기 용이할 뿐만 아니라, 파악한 공압밸브에 대한 관리를 신속하게 진행하여 장비의 작업율을 향상시킬 수 있는 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 제공하기 위함이다.
It is also an object of the present invention to provide a pneumatic control system for a pneumatic control system in which when a gas is detected in a detection unit, the controller controls the port solenoid valve to grasp a broken pneumatic valve, The present invention is intended to provide a gas leakage detecting device using a trapping portion which is easy to grasp a pneumatic valve and which is capable of rapidly managing the pneumatic valve and improving the operation rate of the pneumatic valve.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치에 따르면, 공압밸브의 파손으로 누출되는 가스를 포집하고, 포집하는 가스가 토출되는 토출구가 형성된 일측면에 내입홈이 내입형성된 포집부; 일단이 상기 내입홈에 삽입결합되어, 상기 포집부의 토출구로 배출되는 배출가스를 외부로 배기시키는 배기라인; 상기 배기라인의 타단에 결합되어, 상기 배기라인으로 배기되는 배출공기에 포함된 가스를 검출하는 검출부;를 포함하고, 상기 포집부는, 상기 토출구와 연통되어 타측면으로 연장된 연장부와, 상기 연장부의 끝단이 상기 공압밸브의 파손으로 가스가 누출되는 배출공에 삽입결합되어 상기 가스를 포집하는 포집구가 형성된 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a gas leakage detecting apparatus using a collecting section having an elongated collecting section for collecting a gas leaked due to breakage of a pneumatic valve, A collecting part in which an inner groove is internally formed; An exhaust line inserted into the inner groove at one end to exhaust the exhaust gas discharged to the discharge port of the trapping unit to the outside; And a detection unit coupled to the other end of the exhaust line and detecting a gas contained in the exhaust air exhausted to the exhaust line, wherein the trapping unit includes an extension portion extending to the other side in communication with the discharge port, And a collecting port for collecting the gas is inserted into the discharge hole where the gas leaks due to breakage of the pneumatic valve.

또한, 상기 포집구의 입구가 상기 공압밸브의 배출공에 삽입가능하게 돌출되어 상기 배출공의 내부에 삽입되는 바늘부;를 포함한다.The inlet port of the collecting port is inserted into the discharge hole of the pneumatic valve so as to be insertable into the discharge hole, and inserted into the discharge hole.

또한, 상기 공압밸브는, 가스가 누출되는 배출공이 다수개 형성되고, 상기 포집부는, 상기 배출공마다 삽입결합되는 포집구가 다수개 형성되어, 상기 공압밸브의 파손으로 누출되는 가스를 포집하는 것을 특징으로 한다.The pneumatic valve is provided with a plurality of exhaust holes through which gas is leaked. The collecting portion includes a plurality of collecting holes inserted and coupled with the exhaust holes to collect gas leaked by breakage of the pneumatic valve .

또한, 상기 공압밸브의 외주면을 감싸며 양단이 결합되고, 코일마다 벌어지는 틈에 삽입되는 상기 포집부를 상기 공압밸브로 밀착고정시키는 고정부재;를 더 포함한다.And a fixing member which surrounds the outer circumferential surface of the pneumatic valve and has both ends coupled to each other and fixes the collecting part inserted in the gap per coil tightly with the pneumatic valve.

또한, 다수개로 이루어진 공압밸브에 각각 구비되어 가스를 포집하는 포집부마다 결합되는 배기라인의 중간부에 구비되며, 컨트롤러의 제어에 의해 각각의 배기라인으로 배기되는 누출가스를 각각 배출시키거나 일체로 배출시키는 포트솔레노이드 밸브; 및 상기 검출부에서 누출가스가 검출되면, 다수개의 배기라인의 배출여부를 상기 솔레노이드 밸브를 통해 제어하는 컨트롤러;를 더 포함한다.In addition, a plurality of pneumatic valves provided in the intermediate portion of the exhaust line, which are provided for each trapping portion for trapping the gas, respectively, are provided with exhaust gas exhausted to the respective exhaust lines under the control of the controller, A port solenoid valve for discharging; And a controller for controlling, through the solenoid valve, whether or not a plurality of exhaust lines are exhausted when a leak gas is detected in the detection unit.

또한, 상기 컨트롤러는, 상기 검출부에서 검출되는 누출가스의 종류와, 누출가스의 검출량을 포함하는 데이터를 실시간으로 관리서버로 송신하고, 상기 관리서버는, 상기 컨트롤러로부터 데이터를 수신하여 그래프로 출력하여 관리자에게 제공하는 것을 특징으로 한다.The controller transmits data including the type of the leaked gas detected by the detecting unit and the detected amount of the leaked gas to the management server in real time, and the management server receives the data from the controller and outputs the data on a graph To the administrator.

또한, 상기 검출부에서 가스가 검출되어, 상기 컨트롤러가 상기 포트솔레노이드 밸브를 제어함에 따라 파손된 공압밸브를 파악하면, 파악된 공압밸브의 고유정보를 디스플레이하는 디스플레이부;를 더 포함하고, 상기 고유정보는, 다수개의 공압밸브 마다 각각 기 설정된 것을 특징으로 한다.
And a display unit for displaying the peculiar information of the pneumatic valve when the gas is detected by the detection unit and the controller detects the broken pneumatic valve by controlling the port solenoid valve, Is set in advance for each of a plurality of pneumatic valves.

이상 살펴본 바와 같은 본 발명의 효과는, 반도체라인에 설치된 공압밸브에 포집부를 설치할 때, 토출구와 연통되어 타측면으로 연장된 연장부의 끝단을 공압밸브의 파손으로 가스가 누출되는 배출공에 삽입결합시킴으로써, 반도체 라인을 중지시키지 않아 반도체 라인작업에 영향을 주지 않을 뿐만 아니라, 반도체 라인 중지에 따른 생산량 감소, 그에 따른 손해비용 등이 발생하지 않도록 할 수 있는 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, when the collecting part is installed in the pneumatic valve installed in the semiconductor line, the end of the extension part communicating with the discharge port and extending to the other side is inserted into the discharge hole where the gas leaks by breakage of the pneumatic valve , A gas leakage detecting device using a collecting part of a long length which does not affect the operation of the semiconductor line because the semiconductor line is not stopped, and the production amount due to the stop of the semiconductor line is not reduced, .

또한, 본 발명의 효과는, 공압밸브가 촘촘히 배열 설치되는 경우, 공압밸브에서 에어 또는 가스가 누출되는 배출공의 위치에 상관없이, 연질의 포집부를 늘이거나 구부려 포집구의 위치를 배출공에 용이하게 위치이동시킬 수 있으며, 고정부재의 코일마다 벌어지는 틈에 삽입되는 포집부를 공압밸브의 외주면에 용이하게 밀착고정시킬 수 있는 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 제공할 수 있다.Further, the effect of the present invention is that, when the pneumatic valves are closely arranged, regardless of the position of the discharge hole where air or gas leaks from the pneumatic valve, the soft collecting portion is extended or bent to facilitate the position of the collecting hole in the discharge hole It is possible to provide a gas leakage detecting device using a collecting portion which can be moved in position and whose length can be easily fixed to the outer peripheral surface of the pneumatic valve easily by inserting a collecting portion inserted in a gap between coils of the fixing member.

또한, 본 발명의 효과는, 포트솔레노이드 밸브에 연결된 다수개의 배기라인 중 어느 하나의 배기라인에서 배출되는 가스만 연결라인을 통해 검출부로 배출될 수 있도록 포트솔레노이드 밸브에 연결된 다수개의 배기라인의 배출여부를 포트솔레노이드 밸브로 제어함으로써, 각각의 공압밸브에서 누출되는 가스가 타 공압밸브에서 누출되는 가스와 혼합되지 않도록 하여 안정성 향상과 장비의 손상을 예방할 수 있는 동시에, 검출부가 가스를 검출하면 포트솔레노이드 밸브가 제어되어 가스가 검출되는 공압밸브를 자동으로 신속하게 찾아 실시간 모니터링 및 장비의 작동을 신속하게 진행시킬 수 있는 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 제공할 수 있다.Further, the effect of the present invention can be achieved by discharging a plurality of exhaust lines connected to the port solenoid valve so that only the gas exhausted from any of the exhaust lines connected to the port solenoid valve can be exhausted to the detection unit through the connection line Is controlled by the port solenoid valve so that the gas leaked from each pneumatic valve is not mixed with the gas leaked from the other pneumatic valve, thereby improving the stability and preventing damage to the equipment. When the detection unit detects gas, A gas leak detecting apparatus using the trapping unit having a longer length that can promptly and automatically monitor the pneumatic valve in which the gas is detected and promptly perform the real time monitoring and operation of the apparatus.

또한, 본 발명의 효과는, 검출부에서 가스가 검출되면, 컨트롤러가 포트솔레노이드 밸브를 제어함에 따라 파손된 공압밸브를 파악하고, 파악된 공압밸브의 고유정보가 디스플레이부에 디스플레이됨으로써, 관리자가 파손된 공압밸브를 파악하기 용이할 뿐만 아니라, 파악한 공압밸브에 대한 관리를 신속하게 진행하여 장비의 작업율을 향상시킬 수 있는 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 제공할 수 있다.
Further, the effect of the present invention is that when the gas is detected in the detection unit, the controller recognizes the broken-down pneumatic valve by controlling the port solenoid valve, and the unique information of the detected pneumatic valve is displayed on the display unit, It is possible to provide a gas leakage detecting device using a trapping portion which is easy to grasp the pneumatic valve and can be rapidly managed for the pneumatic valve so that the operation rate of the equipment can be improved.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치의 포집부를 나타낸 분해 사시도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치의 포집부가 공압밸브에 설치되는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치가 공압밸브에 설치된 상태는 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치의 공압밸브에 설치되되 다이어프램이 파손되어 작동되는 상태를 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 나타낸 구성도이다.FIG. 1 is a perspective view illustrating a gas leakage detecting device using a collecting part having a long length according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view showing a trapping portion of a gas leakage detecting device using a long-length trapping portion according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 3 and FIG. 4 are perspective views showing a state where a collecting part of a gas leakage detecting device using a long collecting part is installed in a pneumatic valve according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a state in which a gas leakage detecting device using a collecting part having a longer length according to a preferred embodiment of the present invention is installed on a pneumatic valve.
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a state in which the diaphragm is broken and operated by being installed in a pneumatic valve of a gas leakage detecting device using a long collecting part according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a view showing a configuration of a gas leakage detecting device using a long collecting part according to a preferred embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for explaining a gas leakage detecting device using a collecting part having a length extended according to embodiments of the present invention.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 나타낸 사시도이다. 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치의 포집부를 나타낸 분해 사시도이다. 도 3 및 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치의 포집부가 공압밸브에 설치되는 상태를 나타낸 사시도이다. 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치가 공압밸브에 설치된 상태는 나타낸 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view illustrating a gas leakage detecting device using a collecting part having a long length according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 2 is an exploded perspective view showing a trapping portion of a gas leakage detecting device using a long-length trapping portion according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 3 and FIG. 4 are perspective views showing a state where a collecting part of a gas leakage detecting device using a long collecting part is installed in a pneumatic valve according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a state in which a gas leakage detecting device using a collecting part having a longer length according to a preferred embodiment of the present invention is installed on a pneumatic valve.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치는, 포집부(10), 배기라인(30) 및 검출부(40)를 포함한다.1 to 5, the apparatus for detecting gas leakage using a collecting part of an extended length according to the present invention includes a collecting part 10, an exhaust line 30 and a detecting part 40.

포집부(10)는, 공압밸브(1)의 파손으로 누출되는 가스를 포집한다.The collecting section 10 collects the gas leaked due to the breakage of the pneumatic valve 1.

또한, 포집부(10)는, 공압밸브(1)의 파손으로 가스가 누출되는 배출공(4)에 부착되어 가스를 포집하는 포집구(12)가 형성된다.The collecting section 10 is provided with a collecting port 12 attached to the discharge hole 4 through which the gas leaks due to breakage of the pneumatic valve 1 to collect the gas.

그리고, 포집부(10)는, 포집구(12)로 포집된 가스가 토출되는 토출구(11)가 형성된다.The collecting section 10 is formed with a discharge port 11 through which the collected gas is collected by the collecting port 12.

즉, 포집부(10)의 일측면에는 토출구(11)가 형성되고, 타측면에는 포집구(12)가 형성된다.That is, a discharge port 11 is formed on one side of the collecting section 10, and a collecting port 12 is formed on the other side.

이때, 포집부(10)의 일측면에는 후술할 배기라인(30)이 삽입결합되는 내입홈(16)이 내입형성된다.At this time, on one side of the collecting part 10, an inner groove 16 into which an exhaust line 30 to be described later is inserted is inserted and formed.

그리고, 포집부(10)의 타측면에는, 토출구(11)와 연통되어 연장된 연장부(13)가 형성된다. 또한, 연장부(13)의 끝단이 공압밸브(1)의 파손으로 가스가 누출되는 배출공(4)에 삽입결합된다.An extension portion 13 extending in communication with the discharge port 11 is formed on the other side surface of the collecting portion 10. Further, the end of the extension portion 13 is inserted into the discharge hole 4 through which the gas leaks due to breakage of the air pressure valve 1.

더불어, 연장부(13)의 끝단에 가스를 포집하는 포집구(12)가 형성되고, 연장부(13)는 중공형태로 형성되어, 포집구(12)와 토출구(11)가 서로 연통된다.A collecting port 12 for collecting the gas is formed at the end of the extending portion 13 and the extending portion 13 is formed in a hollow shape so that the collecting port 12 and the discharging port 11 are communicated with each other.

또한, 연장부(13)의 끝단부가 절곡형성되고, 연장부(13)의 끝단부는 배출공(4)의 길이방향과 일직선상태가 된다. 이는, 연장부(13)의 끝단부를 배출공(4)에 용이하게 삽입결합하고, 안정적으로 고정시키기 위함이다.The end portion of the extension portion 13 is bent and formed so that the end portion of the extension portion 13 is in a straight line with the longitudinal direction of the discharge hole 4. [ This is to allow the end portion of the extension portion 13 to be easily inserted into the discharge hole 4 and stably fixed.

또한, 공압밸브(1)는 가스가 누출되는 배출공(4)이 다수개 형성된다.In addition, the pneumatic valve 1 has a plurality of exhaust holes 4 through which gas is leaked.

이때, 포집부(10)는 배출공(4)마다 삽입결합되는 포집구(12)가 다수개 연장부(13)의 중간부에 형성될 수 있다.At this time, the collecting part 10 may be formed at the middle part of the plurality of the collecting part 12 to be inserted and bonded to each discharge hole 4.

또한, 포집부(10)는 연질의 재질로 이루어져 길이가 신축 및 휘어짐이 가능하여 공압밸브(1)에 설치하기 용이하다.The collecting part 10 is made of a soft material and can be stretched and warped to be easily installed on the pneumatic valve 1. [

한편, 본 발명에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치는, 바늘부(14)를 더 포함한다.Meanwhile, the gas leakage detecting device using the collecting part with a longer length according to the present invention further includes a needle part 14. [

바늘부(14)는, 포집구(12)의 입구가 공압밸브(1)의 배출공(4)에 삽입가능하게 돌출되어 배출공(4)의 내부에 삽입된다.The inlet 14 of the needle part 14 is inserted into the discharge hole 4 so as to be insertable into the discharge hole 4 of the pneumatic valve 1.

이는, 연질의 재질로 이루어진 포집부(10)의 연장부(13) 끝단을 배출공(4)에 삽입시킬 때, 용이하게 삽입하기 위함이다. 또한, 바늘부(14)의 직경사이즈를 변경함에 따라 크기가 다른 배출공(4)에 포집부(10)를 적용가능하다.This is for easy insertion when the end of the extension part 13 of the collecting part 10 made of a soft material is inserted into the discharge hole 4. Further, the size of the diameter of the needle part 14 is changed, so that the collecting part 10 can be applied to the discharge hole 4 having a different size.

본 발명에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치는, 고정부재(20)를 더 포함한다.The apparatus for detecting gas leakage using a collecting section of elongated length according to the present invention further comprises a fixing member (20).

고정부재(20)는, 공압밸브(1)의 외주면을 감싸며 양단이 결합되고, 코일(21)마다 벌어지는 틈(22)에 삽입되는 포집부(10)를 공압밸브(1)로 밀착고정시킨다.The stationary member 20 tightly holds the collecting part 10 which is inserted into the gap 22 which is wrapped around the outer circumferential surface of the pneumatic valve 1 and is connected at both ends thereof.

또한, 바늘부(14)의 외측 직경은 배출공(4)의 내측 직경과 동일하게 형성되어, 바늘부(14)가 배출공(4)에 억지끼움되는 것이 바람직하다.It is preferable that the outer diameter of the needle portion 14 is formed to be equal to the inner diameter of the discharge hole 4 so that the needle portion 14 can be constrained to the discharge hole 4.

더불어, 바늘부(14)는, 외측면이 연성의 재질을 갖도록 이루어져, 배출공(4)에 삽입될 때, 바늘부(14)의 외측면과 배출공(4)의 내측면 사이가 밀폐되는 것이 바람직하나 이에 한정하지 않는다.
In addition, the needle portion 14 is formed so that its outer surface is made of a soft material. When the needle portion 14 is inserted into the discharge hole 4, the outer surface of the needle portion 14 is sealed between the inner surface of the discharge hole 4 But is not limited thereto.

여기서, 공압밸브(1)는 가스유입관(2), 가스배출관(3)이 양쪽에 각각 연결되고, 에어공급부(5)로부터 공급되는 고압공기의 공압을 이용하여 가스유입관(2)에서 가스배출관(3)으로 흐르는 가스의 흐름을 제어하는 밸브이다. 바람직하게는, 가스유입관(2)의 유입부를 다이어프램(9)으로 개폐하되, 그 개폐 유무는 고압공기의 공압에 의해 이루어진다.Here, the pneumatic valve 1 is connected to both of the gas inlet pipe 2 and the gas discharge pipe 3, and the gas inlet pipe 2 is connected to the gas inlet pipe 2 by using the air pressure of the high- Is a valve for controlling the flow of gas flowing to the discharge pipe (3). Preferably, the inlet portion of the gas inlet pipe 2 is opened and closed by the diaphragm 9, and the opening and closing of the inlet portion is performed by pneumatic pressure of high-pressure air.

예를 들어, 공압밸브(1)는, 다이어프램 밸브(Diaphragm Valve) 또는 뉴메틱밸브(Pneumatic Valve) 등으로 이루어질 수 있다.For example, the pneumatic valve 1 may be a diaphragm valve or a pneumatic valve.

즉, 공압밸브(1)는 가스유입관(2)에서 가스배출관(3)으로 이동되는 가스가 통과되도록 가스유입관(2)과 가스배출관(3) 사이에 설치되고, 가스가 통과하는 통로를 고압공기의 공압으로 다이어프램(9)을 이용해 개폐하는 것이다. 또한, 고압공기가 가해지면 상하이동하며 다이어프램(9)을 가압하는 마개(8)가 구비된다.That is, the pneumatic valve 1 is installed between the gas inlet pipe 2 and the gas outlet pipe 3 so as to allow the gas to be transferred from the gas inlet pipe 2 to the gas outlet pipe 3 to pass therethrough, And the diaphragm 9 is used as the pneumatic pressure of the high-pressure air. Further, a cap 8 for moving the diaphragm 9 up and down when high-pressure air is applied is provided.

또한 공압밸브(1)에서 사용되는 에어는 cleandryair(CDA) 나 General N₂(GN₂)이며, General N₂ 를 사용할 때, 공압밸브(1)의 실린더(15) 파손이 이루어지면 General N₂ 가 누출되고 그 누출된 General N₂ 를 케이스(10)가 포집함에 따라 케이스 안의 산소 농도가 낮아지고, 이에 검출부(40)가 산소를 검출할 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 공압밸브(1)의 다이어프램(9)과 실린더(15)의 파손을 통해 누출되는 가스를 검출부(40)로 검출하고, 공압밸브(1)의 어느부위 파손인지도 검출할 수 있다.In addition, an air is cleandryair (CDA) or the General N ₂ (GN ₂₎ used in the pneumatic valve (1), when using the General N _2, a cylinder 15, breakage of the pneumatic valve (1) is made, General N ₂ is As the leaked and leaked General N ₂ is collected by the case 10, the oxygen concentration in the case is lowered, so that the detection unit 40 can detect oxygen. Accordingly, the present invention can detect the gas leaked through the breakage of the diaphragm 9 and the cylinder 15 of the pneumatic valve 1 by the detecting unit 40, and detect the breakage of any part of the pneumatic valve 1 have.

그리고, 공압밸브(1)에 결합된 에어공급라인(6)은 에어공급부(5)로부터 공급되는 고압공기를 공압밸브(1)로 가이드한다.The air supply line 6 coupled to the pneumatic valve 1 guides the high pressure air supplied from the air supply part 5 to the pneumatic valve 1. [

이러한 공압밸브(1)는 반도체 장비에 다수개가 설치되고, 각각의 공압밸브(1)의 에어 또는 가스가 누출되는 배출공(4)마다 상술한 포집부(10)가 부착된다.A plurality of such pneumatic valves 1 are installed in the semiconductor equipment and the collecting part 10 described above is attached to each of the exhaust holes 4 through which the air or gas of each pneumatic valve 1 leaks.

이는, 공압밸브(1)를 통과하는 가스가 공압밸브(1)의 파손에 의해 누출될 경우, 그 누출되는 가스가 외부로 누출되어 다른 공압밸브(1)에서 누출되는 가스와 혼합되지 않도록 가스를 개별적으로 포집하기 위한 것이다.This is because when the gas passing through the pneumatic valve 1 is leaked due to the breakage of the pneumatic valve 1, the gas is prevented from leaking out and mixing with the gas leaked from the other pneumatic valve 1 It is for collecting individually.

또한, 공압밸브(1)는, 가스가 누출되는 배출공(4)이 상하에 형성된다. 이때, 배출공(4)은, 다이어프램(9)이 설치되는 보닛너트(14)에 다이어프램(9)이 파손되었을 때 공압밸브(1)의 외부로 누출될 수 있도록 형성된 배출공(4)과 공압밸브(1)의 내부에 구비된 실린더(15)의 파손에 의해 다이어프램(9) 개폐를 제어하는 고압공기가 외부로 누출될 수 있도록 형성된 에어배출공(4)을 포함하고, 배출공(4)은 배출공(4)과 에어배출공(4) 중 어느 하나 이상을 가리킨다.Further, in the pneumatic valve 1, a discharge hole 4 through which gas is leaked is formed on the upper and lower sides. At this time, the discharge hole 4 is formed with a discharge hole 4 formed so as to leak to the outside of the pneumatic valve 1 when the diaphragm 9 is broken in the bonnet nut 14 on which the diaphragm 9 is installed, Pressure air for controlling the opening and closing of the diaphragm 9 due to breakage of the cylinder 15 provided inside the valve 1. The air discharge hole 4 is formed in the discharge hole 4, Refers to one or more of the discharge hole (4) and the air discharge hole (4).

배기라인(30)은 일단이 포집부(10)의 토출구(11)에 결합되어 포집부(10)의 토출구(11)로 배출되는 배출가스를 외부로 배기시킨다.The exhaust line 30 is connected to the discharge port 11 of the collecting part 10 at one end and discharges exhaust gas discharged to the discharge port 11 of the collecting part 10 to the outside.

검출부(40)는, 배기라인(30)의 타단에 결합되어, 배기라인(30)으로 배기되는 배출공기에 포함된 가스를 검출한다.The detecting unit 40 is coupled to the other end of the exhaust line 30 and detects gas contained in the exhaust air exhausted to the exhaust line 30. [

여기서, 본 발명에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치는, 포트솔레노이드 밸브(50), 컨트롤러(70) 및 디스플레이부(72)를 더 포함한다.Here, the gas leakage detection device using the trapping portion having a longer length according to the present invention further includes a port solenoid valve 50, a controller 70, and a display portion 72.

포트솔레노이드 밸브(50)는, 다수개로 이루어진 공압밸브(1)에 각각 구비되어 가스를 포집하는 포집부(10)마다 결합되는 배기라인(30)의 끝단에 구비되며, 컨트롤러(70)의 제어에 의해 각각의 배기라인(30)으로 배기되는 누출가스를 각각 배출시키거나 일체로 배출시킨다.The port solenoid valve 50 is provided at the end of the exhaust line 30 which is provided for each of the collecting units 10 for collecting gas and is provided in each of a plurality of the pneumatic valves 1, The exhaust gas exhausted to the respective exhaust lines 30 is discharged or integrally discharged.

여기서, 포트솔레노이드 밸브(50)와 검출부(40) 사이는, 하나의 연결라인(80)으로 형성된다. 다시말해, 연결라인(80)은 포트솔레노이드 밸브(50)와 검출부(40)를 연결하며, 포트솔레노이드 밸브(50)에서 배출되는 가스가 검출부(40)로 이동되도록 가이드한다.Here, between the port solenoid valve 50 and the detection unit 40, one connection line 80 is formed. In other words, the connection line 80 connects the port solenoid valve 50 and the detection unit 40, and guides the gas discharged from the port solenoid valve 50 to the detection unit 40.

즉, 포트솔레노이드 밸브(50)는, 다수개의 배기라인(30)으로 배기되는 가스가 유입되고, 그 가스들을 하나의 연결라인(80)으로 배출시킨다. 여기서, 후술할 검출부(40)가 가스를 검출하면, 컨트롤러(70)에 의해 다수개의 배기라인(30) 중 어느 하나의 배기라인(30)에서만 가스가 유입 및 연결라인(80)으로 배출되도록 제어된다. 이렇게, 각각의 배기라인(30)에서 배기되는 가스만 연결라인(80)으로 배출시킴에 따라 검출부(40)가 어느 배기라인(30)에서 가스가 배출된 것이지 순차적이며 정확하게 확인할 수 있다.That is, the port solenoid valve 50 introduces the gas exhausted to the plurality of exhaust lines 30 and discharges the gases to one connection line 80. When the detection unit 40 detects gas, the controller 70 controls the exhaust gas to flow into only one of the exhaust lines 30 of the plurality of exhaust lines 30 to be introduced into the connection line 80 do. In this way, only the gas exhausted from each exhaust line 30 is discharged to the connection line 80, so that the detection unit 40 can confirm sequentially and exactly which exhaust line 30 the gas is exhausted from.

한편, 포트솔레노이드 밸브(50)의 작동관계 및 제어는 이미 공지된 사항이므로 상세한 작동관계 및 제어설명은 생략한다.On the other hand, since the operation and control of the port solenoid valve 50 are already known, detailed operation and control descriptions will be omitted.

즉, 검출부(40)는, 가스의 누출을 모니터링하기 위한 것으로, 유독가스의 흐름을 제어하는 공압밸브(1)로부터 누출되는 유독가스를 검출하는 유독가스검출부(41) 또는 산소, 질소, 아르곤가스의 흐름을 제어하는 공압밸브(1)에서 누출되는 가스를 검출하는 산소센서(42) 중 어느 하나 이상을 포함하고, 바람직하게는 유독가스검출부(41)와 산소센서(42)를 포함한다.That is, the detection unit 40 is for monitoring gas leakage, and includes a toxic gas detecting unit 41 for detecting a toxic gas leaking from a pneumatic valve 1 for controlling the flow of toxic gas, And an oxygen sensor 42 for detecting the gas leaking from the pneumatic valve 1 for controlling the flow of the gas. The gas sensor 41 preferably includes a toxic gas detector 41 and an oxygen sensor 42.

여기서, 유독가스검출부(41)는 Toxic Gas Detector을 사용하고, 산소센서(42)는 O₂ Sensor를 사용한다.Here, the toxic gas detecting unit 41 uses a Toxic Gas Detector, and the oxygen sensor 42 uses an O ₂ sensor.

산소센서(42)는 산소, 질소, 아르곤가스를 산소의 농도를 대기중의 공기속에 포함된 산소의 농도 약 20.9% 이상이거나 이하일 때를 통해 가스를 검출한다.The oxygen sensor 42 detects the gas through the oxygen, nitrogen, and argon gas when the concentration of oxygen is equal to or higher than about 20.9% of the concentration of oxygen contained in the atmospheric air.

예를 들어, 공압밸브(1)에서 산소가스가 누출되고 있으면, 검출하는 산소의 농도가 대기중의 공기속에 포함된 산소의 농도(20.9%)이상임을 산소센서(42)가 감지하게 된다. 이로 인해 산소가스의 흐름을 제어하는 공압밸브(1)의 파손을 알 수 있다.For example, if oxygen gas is leaking from the pneumatic valve 1, the oxygen sensor 42 detects that the concentration of oxygen to be detected is at least 20.9% of the concentration of oxygen contained in air. As a result, the breakage of the pneumatic valve 1 controlling the flow of the oxygen gas can be recognized.

또한, 공압밸브(1)에서 질소 또는 아르곤가스가 누출되고 있으면, 산소센서(42)가 검출하는 산소의 농도가 대기중의 공기속에 포함된 산소의 농도(20.9%)이하임을 산소센서(42)가 감지하게 된다. 이로 인해 질소 또는 아르곤가스의 흐름을 제어하는 공압밸브(1)의 파손을 알 수 있다.The oxygen sensor 42 detects that the concentration of oxygen detected by the oxygen sensor 42 is equal to or lower than the concentration (20.9%) of oxygen contained in the air in the air if nitrogen or argon gas leaks from the pneumatic valve 1, . As a result, breakage of the pneumatic valve 1 controlling the flow of nitrogen or argon gas can be detected.

따라서, 본 발명의 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치는 케이스(10)와 덮개부(20)가 각각의 공압밸브(1)에 설치되고, 공압밸브(1)의 파손되어 누출되는 가스를 포집하여 배기라인(30), 포트솔레노이드 밸브(50) 및 연결라인(80)을 통해 검출부(40)로 배기시킴으로써, 다수의 공압밸브(1) 중 어느 공압밸브(1)에서 가스가 누출되는지의 유무를 용이하게 파악할 뿐만 아니라 누출가스의 종류를 용이하게 파악하고, 그 종류에 해당하는 공압밸브(1)만 체크할 수 있어 가스의 누출이 이루어지는 공압밸브(1)를 신속하게 찾아낼 수 있다.Therefore, in the gas leakage detecting device using the collecting part of the present invention, the case 10 and the lid part 20 are provided in the respective pneumatic valves 1, and the gas leaked from the pneumatic valve 1 And exhausts the exhaust gas to the detecting unit 40 through the exhaust line 30, the port solenoid valve 50 and the connecting line 80 so that the gas is leaked from any one of the plurality of pneumatic valves 1 The type of the leak gas can be easily grasped and only the pneumatic valve 1 corresponding to the type can be checked and the pneumatic valve 1 in which the gas is leaked can be quickly detected .

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치의 공압밸브에 설치되되 다이어프램이 파손되어 작동되는 상태를 나타낸 단면도이다. 도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치를 나타낸 구성도이다.FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a state in which the diaphragm is broken and operated by being installed in a pneumatic valve of a gas leakage detecting device using a long collecting part according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 7 is a view showing a configuration of a gas leakage detecting device using a long collecting part according to a preferred embodiment of the present invention.

한편, 도 6 및 도 7을 참조하면, 검출부(40)는, 연결라인(80)으로 배기되는 배출공기에 포함된 가스가 검출 즉, 유독가스검출부(41) 또는 산소센서(42)에서 가스가 검출되면, 알람을 발생시키는 알람부(43)를 포함한다.6 and 7, the detection unit 40 detects the gas contained in the exhaust air exhausted to the connection line 80, that is, the gas is detected from the toxic gas detection unit 41 or the oxygen sensor 42 And an alarm unit 43 for generating an alarm when detected.

또한, 알람부(43)은, 유독가스검출부(41)를 통해 유독가스가 검출되면 알람을 발생시키는 제1알람부(44)와, 상기 산소센서(42)를 통해 가스가 검출되면 알람을 발생시키는 제2알람부(45)를 포함한다.The alarm unit 43 includes a first alarm unit 44 for generating an alarm when toxic gas is detected through the toxic gas detection unit 41 and an alarm unit 44 for detecting an alarm when the gas is detected through the oxygen sensor 42 And a second alarm unit 45 for outputting an alarm signal.

이에 따라, 사용자는 알람부(43)의 알람을 통해 공장설비의 작동을 중지시킬 수 있다.Accordingly, the user can stop the operation of the factory equipment through the alarm of the alarm unit 43. [

컨트롤러(70)는 검출부(40)에서 가스가 검출되면, 포트솔레노이드 밸브(50)에 연결된 다구개의 배기라인(30) 중 어느 하나의 배기라인(30)에서 배출되는 가스만 연결라인(80)을 통해 검출부(40)로 배출될 수 있도록 포트솔레노이드 밸브(50)에 연결된 다수개의 배기라인(30)의 배출여부를 각각 제어한다.The controller 70 detects only the gas discharged from any one of the exhaust lines 30 of the multiple exhaust lines 30 connected to the port solenoid valve 50 when the gas is detected by the detecting unit 40, And controls the discharge of a plurality of exhaust lines 30 connected to the port solenoid valve 50 so that the exhaust line 30 can be discharged to the detection unit 40. [

즉, 상술한 바와 같이, 컨트롤러(70)는 포트솔레노이드 밸브(50)를 자동으로 제어할 수 있기 때문에, 사용자가 일일이 배기라인(30)의 배기여부를 제어하지 않아도 신속하게 어느 배기라인(30)을 통해 가스가 검출되었느지를 알아낼 수 있다. 이에 따라, 반도체 장비의 작동을 신속하게 재진행시킬 수 있으며, 장비의 유지비용을 절약할 수 있다.That is, as described above, the controller 70 can automatically control the port solenoid valve 50, so that even if the user does not individually control whether or not the exhaust line 30 is exhausted, It is possible to find out whether the gas has been detected. Accordingly, the operation of the semiconductor equipment can be rapidly resumed, and the maintenance cost of the equipment can be saved.

또한, 컨트롤러(70)는 검출부(40)에서 검출되는 가스의 종류와, 가스의 검출량을 포함하는 데이터를 실시간으로 관리서버(90)로 송신한다.The controller 70 transmits to the management server 90 real time data including the type of gas detected by the detecting unit 40 and the detected amount of gas.

그리고, 관리서버(90)는, 컨트롤러(70)로부터 데이터를 수신하여 그래프로 출력한다.Then, the management server 90 receives the data from the controller 70 and outputs it as a graph.

즉, 관리자는 출력되는 그래프를 통해 가스의 종류, 검출량을 한눈에 용이하게 파악함에 따라 가스의 누출여부를 예측할 수 있어, 상술한 알람부(43)의 알람이 울리지 않거나, 울리기 전에라도 가스의 누출에 따른 사전준비 및 사전에 유지관리를 할 수 있다.That is, the manager easily grasps the type of gas and the detected amount at a glance through the output graph, so that it is possible to predict whether or not the gas is leaking. Thus, even if the alarm of the alarm part 43 does not sound, And maintenance can be performed in advance.

한편, 본 발명에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치는, 디스플레이부(72)를 더 포함한다. Meanwhile, the gas leakage detecting apparatus using the collecting unit having a longer length according to the present invention further includes a display unit 72.

디스플레이부(72)는 검출부(40)에서 가스가 검출되어 컨트롤러(70)가 포트솔레노이드 밸브(50)를 제어함에 따라 파손된 공압밸브(1)를 파악하면, 파악된 공압밸브(1)의 고유정보를 디스플레이한다.When the gas is detected by the detection unit 40 and the controller 70 controls the port solenoid valve 50 to grasp the broken pneumatic valve 1, the display unit 72 displays the pneumatic valve 1 Information is displayed.

예를 들어, 포트솔레노이드 밸브(50)에서 첫번째부터 마지막까지 배기라인(30)을 제어하는 순번과 대응되게 배기라인(30)이 연결된 케이스(10) 또는 공압밸브(1)에 표시하고, 컨트롤러(70)가 포트솔레노이드 밸브(50)를 제어하는 동안 가스가 검출부(40)에서 검출될 때 해당하는 배기라인(30)의 제어 순번을 디스플레이부(72)에 표시하면, 사용자는 디스플레이부(72)에 표시된 순번과 매칭되는 공압밸브(1) 즉, 파손된 공압밸브(1)를 신속하게 찾을 수 있다.For example, on the case 10 or the pneumatic valve 1 to which the exhaust line 30 is connected so as to correspond to the order of controlling the exhaust line 30 from the first to the last in the port solenoid valve 50, When the gas is detected by the detecting unit 40 while the control unit 70 controls the port solenoid valve 50, the control unit displays the control sequence number of the corresponding exhaust line 30 on the display unit 72, It is possible to quickly find the pneumatic valve 1, that is, the broken pneumatic valve 1, which matches the sequence number shown in Fig.

또한, 디스플레이부(72)에는, 공압밸브(1)의 고유정보 외에, 검출된 가스의 종류와 검출된 가스량도 표시할 수 있다.In addition to the unique information of the pneumatic valve 1, the display unit 72 can also display the type of detected gas and the detected gas amount.

한편, 본 발명에 따른 길이가 연장된 포집부를 이용한 가스 누출 검출장치는, 펌프(60)를 더 포함한다.Meanwhile, the gas leakage detecting apparatus using the collecting section having a longer length according to the present invention further includes a pump 60.

펌프(60)는, 연결라인(80)으로 배기되는 배출공기를 검출부(40)로 이동시키도록 연결라인(80)의 끝단에 설치된다.The pump 60 is installed at the end of the connecting line 80 so as to move the exhaust air exhausted to the connecting line 80 to the detecting unit 40.

펌프(60)은, 케이스(10)의 내부에 포집되는 가스를 빠르게 검출부(40)로 이동시켜 검출부(40)가 가스의 누출을 빠르게 검출하도록 하기 위한 것이다.The pump 60 is for rapidly moving the gas trapped in the case 10 to the detecting portion 40 so that the detecting portion 40 can quickly detect the gas leak.

또한, 펌프(60)는 검출부(40)와 일체로 형성될 수도 있으며, 분리되어 형성될 수도 있다.In addition, the pump 60 may be integrally formed with the detection unit 40 or may be separately formed.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the foregoing detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalents thereof are included in the scope of the present invention Should be interpreted.

1: 공압밸브 2: 가스유입관
3: 가스배출관 4: 배출공
5: 에어공급부 6: 에어공급라인
7: 보닛너트 8: 마개
9: 다이어프램 10: 포집부
11: 토출구 12: 포집구
13: 연장부 14: 바늘부
15: 실린더 16: 내입홈
20: 고정부재
21: 코일 22: 틈
30: 배기라인 40: 검출부
41: 유독가스검출기 42: 산소센서
43: 알람부 44: 제1알람부
45: 제2알람부 50: 포트솔레노이드 밸브
60: 펌프 70: 컨트롤러
72: 디스플레이부 80: 연결라인
90: 관리서버1: Pneumatic valve 2: Gas inlet pipe
3: gas discharge pipe 4: discharge hole
5: air supply unit 6: air supply line
7: Bonnet nut 8: Plug
9: diaphragm 10: collection part
11: Discharge port 12: Collection port
13: extension part 14: needle part
15: cylinder 16: inner groove
20: Fixing member
21: coil 22:
30: exhaust line 40: detector
41: toxic gas detector 42: oxygen sensor
43: alarm part 44: first alarm part
45: second alarm unit 50: port solenoid valve
60: Pump 70: Controller
72: display unit 80: connection line
90: management server

Claims

A collecting part for collecting gas leaked due to the breakage of the pneumatic valve and having an inner groove formed in one side surface on which a discharge port through which the collecting gas is discharged is formed;
An exhaust line inserted into the inner groove at one end to exhaust the exhaust gas discharged to the discharge port of the trapping unit to the outside;
A detection unit coupled to the other end of the exhaust line and detecting gas contained in the exhaust air exhausted to the exhaust line; And
And a fixing member which surrounds the outer circumferential surface of the pneumatic valve and has both ends coupled to each other and fixes the collecting part inserted in a gap per coil tightly with the pneumatic valve,
Wherein the collecting portion includes an extension portion communicating with the discharge port and extending to the other side of the discharge port and an end of the extension portion being inserted into a discharge hole through which the gas leaks due to breakage of the pneumatic valve to collect the gas The gas leakage detection device comprising:

The method according to claim 1,
And a needle portion inserted into the discharge hole so that an entrance of the collecting mouth is inserted into the discharge hole of the pneumatic valve and is inserted into the discharge hole.

The method according to claim 1,
The pneumatic valve includes a plurality of exhaust holes through which gas is leaked,
The collecting unit collects,
And a plurality of collecting holes inserted and coupled to the discharge holes are formed to collect gas leaked by breakage of the pneumatic valve.

delete

The method according to claim 1,
A plurality of exhaust valves arranged in a middle portion of an exhaust line provided in each of the plurality of collecting units for collecting the gas and configured to discharge exhaust gases exhausted to the respective exhaust lines under the control of the controller, Port solenoid valve; And
And a controller for controlling whether or not a plurality of exhaust lines are discharged through the solenoid valve when the detection unit detects leakage gas.