[go: up one dir, main page]

KR101575830B1 - Test socket - Google Patents

Test socket Download PDF

Info

Publication number
KR101575830B1
KR101575830B1 KR1020140109051A KR20140109051A KR101575830B1 KR 101575830 B1 KR101575830 B1 KR 101575830B1 KR 1020140109051 A KR1020140109051 A KR 1020140109051A KR 20140109051 A KR20140109051 A KR 20140109051A KR 101575830 B1 KR101575830 B1 KR 101575830B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
elastic
sheet body
conductive
conductive particles
inspected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
KR1020140109051A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
정영배
Original Assignee
주식회사 아이에스시
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 아이에스시 filed Critical 주식회사 아이에스시
Priority to KR1020140109051A priority Critical patent/KR101575830B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101575830B1 publication Critical patent/KR101575830B1/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
    • G01R1/07328—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support for testing printed circuit boards
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R11/00—Electromechanical arrangements for measuring time integral of electric power or current, e.g. of consumption
    • G01R11/02—Constructional details
    • G01R11/04—Housings; Supporting racks; Arrangements of terminals

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

본 발명은 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서, 절연성 탄성물질로 이루어지는 시트본체와, 상기 시트본체 내부에 적어도 일부가 삽입되어 있으며 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 연장되는 도전체를 포함하는 이방성 시트체; 및 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있으며, 상기 시트본체의 상면 및 하면 중 적어도 어느 한 면에 일체화되어 배치되는 탄성도전부를 포함하되, 상기 도전체는, 상기 시트본체 내부에 배치되며 두께방향으로 가해지는 외력을 탄성적으로 흡수할 수 있는 금속소재의 탄성부와, 상기 탄성부의 단부에 배치되고 상기 탄성부로부터 상측 또는 하측으로 연장되며 적어도 일부가 상기 이방성 시트체로부터 돌출되어 상기 탄성도전부에 삽입되어 상기 탄성도전부와 전기적으로 접속되는 금속소재의 접속부를 포함하는 검사용 소켓에 대한 것이다.More particularly, the present invention relates to a test socket for electrically connecting terminals and pads between a terminal of a device to be tested and a pad of an inspecting device, An anisotropic sheet body comprising at least a sheet body and at least a part of which is inserted into the sheet body and extends in a thickness direction at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected; And a plurality of elastic particles arranged in positions corresponding to the terminals of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles dispersed in the insulating elastic material and integrally disposed on at least one of the upper surface and the lower surface of the sheet body, , The conductor includes: an elastic part of a metal material disposed inside the seat body and capable of elastically absorbing an external force applied in a thickness direction; and an elastic part disposed at an end of the elastic part and extending upward or downward from the elastic part And at least a part of which protrudes from the anisotropic sheet body and is inserted into the elasticity conductive portion to be electrically connected to the elasticity conductive portion.

Description

검사용 소켓{Test socket}Test socket

본 발명은 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 빈번한 검사과정에서도 전기적 특성을 유지하면서 수명의 감소를 효과적으로 방지할 수 있는 검사용 소켓에 대한 것이다.The present invention relates to a test socket, and more particularly, to a test socket that can effectively prevent a reduction in life span while maintaining electrical characteristics even during a frequent inspection process.

일반적으로 피검사 디바이스의 전기적 특성 검사를 위해서는 피검사 디바이스와 검사장치와의 전기적 연결이 안정적으로 이루어져야 한다. 통상 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 위한 장치로서 검사용 소켓이 사용된다.Generally, in order to inspect the electrical characteristics of a device to be inspected, the electrical connection between the device to be inspected and the inspection device must be stable. Normally, a test socket is used as a device for connecting the inspected device with the inspected device.

이러한 검사용 소켓의 역할은 피검사 디바이스의 단자와 테스트장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하게 하는 것이다. 이를 위하여 검사용 소켓의 내부에 사용되는 접촉수단으로 이방 도전성 시트 또는 포고핀이 사용된다. 이러한 이방 도전성 시트는 탄력성이 있는 실리콘 고무에 도전성 입자를 포함한 도전부를 피검사 디바이스의 단자와 접속시키는 것이며, 포고핀은 내부에 스프링이 마련되어 있어서 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 원활하게 하고, 연결시 발생할 수 있는 기계적인 충격을 완충할 수 있는 구조로서, 이방 도전성 시트 및 포고핀이 대부분의 검사용 소켓에 사용되고 있다. The role of such a test socket is to connect the terminals of the device under test and the pads of the test device to each other so that electrical signals can be exchanged in both directions. For this purpose, an anisotropic conductive sheet or a pogo pin is used as the contact means used inside the inspection socket. The anisotropic conductive sheet is configured to connect a conductive portion including conductive particles to a flexible silicone rubber with a terminal of the device to be inspected. The pogo pin is provided with a spring therein to smooth connection between the device to be inspected and the inspecting device, An anisotropic conductive sheet and a pogo pin are used in most inspection sockets as a structure capable of buffering mechanical impact that may occur during connection.

이러한 검사용 소켓의 일례가 도 1에 도시되어 있다. 검사용 소켓(20)은 BGA(Ball Grid Array) 반도체소자(2)의 볼리드(ball lead, 4)가 접촉되는 영역에 형성된 도전성 실리콘부(8)와 상기 도전성 실리콘부(8)를 지지할 수 있도록 반도체소자(2)의 단자(4)가 접촉되지 않는 영역에 형성되어 절연층 역할을 하는 절연 실리콘부(6)로 구성된다. 이때 도전성 실리콘부(8)는 실리콘 고무 내에 서로 일정간격 이격된 도전성 입자들(8a)로 구성되어 있게 된다. 이러한 검사용 소켓(20)은 다수의 패드(10)가 마련되는 검사장치(9)에 장착되어 사용된다. 구체적으로는 검사장치(9)의 패드(10)에 각 도전성 실리콘부(8)가 접촉된 상태에서 검사용 소켓(20)이 상기 검사장치(9)에 탑재되어 사용된다. An example of such a test socket is shown in Fig. The inspection socket 20 has a conductive silicon part 8 formed in a region where a ball lead 4 of a ball grid array (BGA) semiconductor device 2 is in contact with the conductive silicon part 8, And an insulating silicon part 6 formed in a region where the terminal 4 of the semiconductor element 2 does not contact to serve as an insulating layer. At this time, the conductive silicon part 8 is composed of the conductive particles 8a spaced apart from each other by a certain distance in the silicon rubber. The inspection socket (20) is used by being mounted on the inspection apparatus (9) provided with a plurality of pads (10). More specifically, the inspection socket 9 is mounted on the inspection device 9 in a state where each conductive silicon part 8 is in contact with the pad 10 of the inspection device 9.

검사용 소켓의 검사를 위하여 반도체 소자가 하강하여 상기 반도체 소자의 볼리드가 상기 도전성 실리콘부에 접촉한 후에, 상기 반도체 소자가 추가적으로 하강하게 되면 상기 도전성 실리콘부는 두께방향으로 압축되면서 전기적 도통상태를 이루게 된다. 이때 검사장치로부터 소정의 전기적 신호가 인가되면 상기 전기적 신호를 도전성 실리콘부를 거쳐서 반도체소자(2)측으로 전달되면서 소정의 전기적 검사가 수행된다.When the semiconductor element is further lowered after the semiconductor element is lowered and the ball lead of the semiconductor element is brought into contact with the conductive silicon portion for inspecting the inspection socket, the conductive silicon portion is compressed in the thickness direction, do. At this time, if a predetermined electrical signal is applied from the inspection apparatus, the electrical signal is transmitted to the semiconductor element 2 via the conductive silicon portion, and a predetermined electrical inspection is performed.

그러나 검사용 소켓은 수많은 반도체 소자와의 접촉과정에서 압축과 팽창을 반복하게 되는데, 이 과정에서 균일하게 이격되어 있던 도전성 실리콘부 내부의 도전성 입자들이 도 3에 도시된 바와 같이 불규칙한 간격을 가지도록 변화되는 일이 있다. 이는 연질의 실리콘 고무가 압축과 팽창을 반복하면서 재료적인 특성이 변화되거나 내부균열이 발생하는 데 기인하는 것이며, 이외에도 온도변화에 따라서도 실리콘 고무의 특성이 변화되어 도전성 입자의 간격을 불규칙하게 변화시킨다.However, the test socket repeatedly compresses and expands during the contact with a large number of semiconductor elements. In this process, the conductive particles inside the conductive silicon part, which are uniformly spaced apart from each other, are changed to have irregular intervals There is something to be done. This is due to the fact that the soft silicone rubber is repeatedly compressed and expanded to change the material properties or cause internal cracks. In addition, the characteristics of the silicone rubber are changed according to the temperature change, thereby irregularly changing the intervals of the conductive particles .

이와 같이 도전성 입자들 사이의 간격이 불규칙하게 변화됨에 따라서 전도성능이 저하됨은 물론 검사용 소켓의 전체적인 수명이 감소되는 문제점이 있게 된다.As the distance between the conductive particles varies irregularly, the conductive performance deteriorates and the overall service life of the test socket decreases.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 빈번한 검사과정에서도 전기적 특성을 유지하면서 수명의 감소를 효과적으로 방지할 수 있는 검사용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a socket for inspection which is capable of effectively preventing a decrease in life span while maintaining electrical characteristics even during a frequent inspection process.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서, In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a test socket for electrically connecting terminals and pads to each other, the socket being disposed between a terminal of an apparatus to be tested and a pad of the testing apparatus,

절연성 탄성물질로 이루어지는 시트본체와, 상기 시트본체 내부에 적어도 일부가 삽입되어 있으며 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 연장되는 도전체를 포함하는 이방성 시트체; 및An anisotropic sheet body including a sheet body made of an insulating elastic material and at least a portion of which is inserted into the sheet body and extends in a thickness direction at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected; And

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있으며, 상기 시트본체의 상면 및 하면 중 적어도 어느 한 면에 일체화되어 배치되는 탄성도전부를 포함하되,And a plurality of elastic particles arranged in positions corresponding to the terminals of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles dispersed in the insulating elastic material and integrally disposed on at least one of upper and lower surfaces of the seat body,

상기 도전체는,The conductor

상기 시트본체 내부에 배치되며 두께방향으로 가해지는 외력을 탄성적으로 흡수할 수 있는 금속소재의 탄성부와,An elastic portion of a metal material disposed inside the seat body and capable of elastically absorbing an external force applied in the thickness direction,

상기 탄성부의 단부에 배치되고 상기 탄성부로부터 상측 또는 하측으로 연장되며 적어도 일부가 상기 이방성 시트체로부터 돌출되어 상기 탄성도전부에 삽입되어 상기 탄성도전부와 전기적으로 접속되는 금속소재의 접속부를 포함한다.And a connection part of a metal material which is disposed at an end of the elastic part and extends upward or downward from the elastic part, at least a part of which protrudes from the anisotropic sheet body and is inserted into the elasticity part and is electrically connected to the elasticity part .

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 도전체의 탄성부는, 일정한 폭을 가지면서 상하방향으로 연장되되 지그재그 형태를 가질 수 있다.The elastic portion of the conductor may have a predetermined width and may extend in the up and down direction and have a zigzag shape.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 접속부는 상기 탄성부보다 큰 폭을 가질 수 있다.The connecting portion may have a greater width than the elastic portion.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 접속부는 두께방향으로 잘랐을 때의 단면이 원형일 수 있다.The connecting portion may have a circular cross-section when cut in the thickness direction.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 접속부는 상단이 탄성도전부의 도전성 입자들과 접촉할 수 있다.The connection portion may be in contact with the conductive particles of the entire upper surface of the elastic layer.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 각각의 도전체는 절연성을 가지며 상기 시트본체보다 경질의 소재로 이루어지는 격벽에 의하여 구분될 수 있다.Each of the conductors is insulating and can be divided by a partition wall made of a hard material than the sheet body.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 시트본체에는 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배열되는 복합도전부가 마련될 수 있다.The sheet body may be provided with a composite conductive portion in which a plurality of conductive particles are arranged in the thickness direction at positions corresponding to the terminals of the device to be inspected.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 복합도전부는, 상기 도전체의 적어도 일부를 둘러쌀 수 있다.The composite conductive portion may surround at least a part of the conductor.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 탄성도전부의 도전성 입자는, 상기 복합도전부의 도전성 입자보다 단위면적당 고밀도로 배치될 수 있다.The conductive particles before the elasticity may be arranged at a higher density per unit area than the conductive particles of the composite conductive portion.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 탄성도전부의 도전성 입자의 평균입경은, 상기 복합도전부의 도전성 입자의 평균입경보다 작을 수 있다.The average particle diameter of the conductive particles before the elasticity may be smaller than the average particle diameter of the conductive particles of the composite.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a test socket for electrically connecting terminals and pads to each other, the socket being disposed between a terminal of an apparatus to be tested and a pad of the testing apparatus,

절연성 탄성물질로 이루어지는 시트본체와, 상기 시트본체 내부에 적어도 일부가 삽입되어 있으며 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 연장되는 도전체를 포함하는 이방성 시트체; 및An anisotropic sheet body including a sheet body made of an insulating elastic material and at least a portion of which is inserted into the sheet body and extends in a thickness direction at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected; And

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 탄력성을 가지면서 두께방향으로 도전성을 나타내고 상기 시트본체의 상면 및 하면 중 적어도 어느 한 면에 배치되는 탄성도전부를 포함하되,And an elasticity disposed at each of positions corresponding to the terminals of the device to be inspected and exhibiting elasticity in a thickness direction and disposed on at least one of an upper surface and a lower surface of the seat body,

상기 도전체는,The conductor

상기 시트본체 내부에 배치되며 지그재그 형태로 상하방향으로 연장되는 탄성부와,An elastic part disposed in the seat body and extending in a zigzag shape in the vertical direction,

상기 탄성부에 일체로 배치되고 상기 탄성부로부터 상측 또는 하측으로 연장되며 적어도 일부가 상기 이방성 시트체로부터 돌출되어 상기 탄성도전부에 전기적으로 접속되어 있는 접속부를 포함한다.And a connection portion which is integrally disposed in the elastic portion and extends upward or downward from the elastic portion, at least a part of which protrudes from the anisotropic sheet body and is electrically connected to the elasticity portion.

상기 검사용 소켓에서,In the inspection socket,

상기 접속부는 상기 탄성부보다 단위면적당 단면적이 클 수 있다.The connecting portion may have a larger cross-sectional area per unit area than the elastic portion.

본 발명에 따른 검사용 소켓은, 피검사 디바이스에 의하여 압축 및 팽창되는 도전체가 단일의 금속소재로 이루어져 있어서 빈번한 사용에 의하여 전기적 특성이 저하되는 일이 적다.In the inspection socket according to the present invention, since the conductor to be compressed and expanded by the device to be inspected is made of a single metal material, electrical properties are less likely to deteriorate due to frequent use.

또한, 본 발명에 따른 검사용 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 접촉되는 위치에는 절연성 탄성물질로 이루어지는 탄성도전부가 배치되어 있어 단자의 파손을 방지할 수 있다는 장점이 있다.In addition, the inspection socket according to the present invention has an advantage that an elastic conductive part made of an insulating elastic material is disposed at a position to be in contact with a terminal of the device to be inspected, thereby preventing breakage of the terminal.

도 1은 종래기술에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 작동도를 나타내는 도면.
도 3은 도 1의 검사용 소켓을 장기간 사용하였을 때의 모습을 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 5는 도 4의 작동도.
도 6은 도 4의 도전체의 사시도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 8은 도 7의 작동도.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 도전체의 사시도.1 shows a socket for inspection according to the prior art;
Fig. 2 is an operational diagram of Fig. 1; Fig.
3 is a view showing a state in which the test socket of Fig. 1 is used for a long period of time; Fig.
4 is a view showing a test socket according to an embodiment of the present invention;
5 is an operational view of Fig.
Figure 6 is a perspective view of the conductor of Figure 4;
7 is a view showing a socket for inspection according to another embodiment of the present invention.
8 is an operational view of Fig.
9 is a perspective view of a conductor according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은 피검사 디바이스(190)의 단자(191)와 검사장치(180)의 패드(181) 사이에 배치되어 상기 단자(191)와 패드(181)를 서로 전기적으로 접속시키는 것으로서, 이방성 시트체(110)와 탄성도전부(150)를 포함하여 구성된다.The inspection socket 100 according to the present invention is disposed between the terminal 191 of the device under test 190 and the pad 181 of the inspection device 180 so that the terminal 191 and the pad 181 are electrically And includes an anisotropic sheet member 110 and an elastic conductive member 150. [

상기 이방성 시트체(110)는, 피검사 디바이스(190)의 단자(191)로부터 가해지는 가압력을 흡수하면서 두께방향으로만 전기를 도통시키는 것으로서 시트본체(120), 도전체(130) 및 격벽(140)으로 이루어진다.The anisotropic sheet member 110 is a member which conducts electricity only in the thickness direction while absorbing the pressing force applied from the terminal 191 of the device under test 190. The sheet body 120, 140).

상기 시트본체(120)는, 소정의 두께를 가지는 직사각형 판형태로 이루어진다. 이러한 시트본체(120)는 탄력성이 있는 절연성 탄성물질로 이루어진다. 시트본체(120)를 구성하는 절연성 탄성물질로는, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 절연성 탄성물질을 얻기 위해서 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 여러가지 것을 사용할 수 있고, 그 구체예로서는, 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블록 공중합체 등의 블록 공중합체 고무 및 이들 수소 첨가물, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다. The seat body 120 is formed in the shape of a rectangular plate having a predetermined thickness. The seat body 120 is made of a resilient insulating elastic material. As the insulating elastic material constituting the sheet main body 120, a polymer material having a crosslinked structure is preferable. As the curable polymeric substance-forming material that can be used to obtain such an insulating elastic material, various materials can be used. Specific examples thereof include polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile- Butadiene-diene block copolymer, and styrene-isoprene block copolymer, and hydrogenated products thereof, chloroprene rubber, urethane rubber, poly Ester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, and ethylene-propylene-diene copolymer rubber.

이상에 있어서, 얻어지는 이방성 시트체에 내후성이 요구되는 경우에는, 공액 디엔계 고무 이외의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 특히 성형 가공성 및 전기 특성 측면에서, 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다. In the above, when weather resistance is required for the resultant anisotropic sheet body, it is preferable to use a material other than the conjugated diene rubber, and in particular, from the viewpoints of moldability and electrical properties, it is preferable to use silicone rubber.

이러한 시트본체(120)는, 각 도전체(130)가 피검사 디바이스(190)의 단자(191)와 대응되는 위치를 유지하게 하는 기능을 수행한다. 또한 시트본체(120)는 도전체(130)의 탄성부(131)와 함께 피검사 디바이스(190)의 단자(191)로부터 가해지는 가압력을 흡수하는 기능도 동시에 수행할 수 있다. 즉, 시트본체(120)는 도전체를 지지하는 기능과 탄성부(131)의 탄성흡수능력을 보조하는 기능을 동시에 수행하게 되는 것이다.The seat body 120 functions to hold each conductor 130 at a position corresponding to the terminal 191 of the device 190 to be inspected. The sheet body 120 can also perform the function of absorbing the pressing force applied from the terminal 191 of the device under test 190 together with the elastic portion 131 of the conductor 130. [ That is, the seat body 120 simultaneously performs the function of supporting the conductor and the function of assisting the elastic absorbing ability of the elastic portion 131.

상기 도전체(130)는 시트본체(120) 내부에 적어도 일부가 삽입되어 있으며 상기 피검사 디바이스(190)의 단자(191)와 대응되는 위치마다 두께방향으로 연장되는 것이다. 이러한 도전체(130)는 전체적으로 전도성이 우수한 금속소재가 사용될 수 있다. 구체적으로 도전체(130)는 탄성부(131)와, 접속부(132)를 포함한다. The conductor 130 is at least partially inserted into the sheet body 120 and extends in the thickness direction at positions corresponding to the terminals 191 of the device under test 190. As the conductor 130, a metal material having excellent conductivity may be used as a whole. Specifically, the conductor 130 includes an elastic portion 131 and a connection portion 132.

상기 탄성부(131)는 상기 시트본체(120) 내부에 배치되며 두께방향으로 가해지는 외력을 탄성적으로 흡수할 수 있는 것으로서, 일정한 폭을 가지면서 상하방향으로 연장되되 전체적으로 지그재그 형태를 가진다. 이러한 탄성부(131)는 피검사 디바이스(190)의 단자(191)로부터 가해지는 가압력을 흡수하기 위하여 압축과 팽창이 될 수 있다.The elastic part 131 is disposed inside the seat body 120 and elastically absorbs an external force applied in the thickness direction, and has a constant width and extends in the up and down direction, and has a zigzag shape as a whole. The elastic portion 131 may be compressed and expanded to absorb a pressing force applied from the terminal 191 of the device 190 to be inspected.

상기 접속부(132)는 상기 탄성부(131)의 양 단부에 배치되고 상기 탄성부(131)로부터 상측 및 하측으로 연장되며 적어도 일부가 상기 이방성 시트체(110)로부터 돌출되어 상기 탄성도전부(150)에 삽입되어 상기 탄성도전부(150)와 전기적으로 접속되는 것이다. The connection part 132 is disposed at both ends of the elastic part 131 and extends upward and downward from the elastic part 131 and at least a part protrudes from the anisotropic sheet body 110, And is electrically connected to the elastic conductive part 150.

상기 접속부(132)는 상기 탄성부(131)보다 큰 폭을 가지는 것으로서, 두께방향으로 잘랐을 때의 단면이 원형인 것이다. 이러한 접속부(132)는 자기력에 반응하기 위하여 상기 탄성부(131)보다 단위면적당 단면적이 큰 것이 바람직하다. 이러한 접속부(132)의 상단 및 하단은 상기 이방성 시트체(110)로부터 돌출되어 탄성도전부(150)의 도전성 입자(151)들과 접촉하고 있게 된다. The connecting portion 132 has a larger width than the elastic portion 131 and has a circular cross section when cut in the thickness direction. It is preferable that the connecting portion 132 has a larger cross-sectional area per unit area than the elastic portion 131 in order to respond to a magnetic force. The upper and lower ends of the connection part 132 protrude from the anisotropic sheet body 110 and are in contact with the conductive particles 151 of the elastic conductive part 150.

상기 격벽(140)은 상기 도전체(130)와 대응되는 위치마다 관통공(141)이 형성된 절연성 평판으로서, 상기 시트본체(120)보다 경질의 소재로 이루어진다. 이러한 격벽(140)에 의하여 각각의 도전체(130)는 서로 일정간격 이격상태를 유지하게 된다. 즉, 격벽(140)은 도전체(130)의 탄성부(131)가 압축되는 과정에서 인접한 도전체(130)와 접촉하지 않도록 도전체(130) 사이에 배치되어 절연성을 유지하기 위한 구성이다.The partition wall 140 is an insulating flat plate having through holes 141 formed at positions corresponding to the conductors 130. The partition plate 140 is made of a material harder than the sheet body 120. Each of the conductors 130 is spaced apart from each other by the barrier ribs 140. That is, the barrier ribs 140 are disposed between the conductors 130 so as not to be in contact with the adjacent conductors 130 in the process of compressing the elastic portions 131 of the conductors 130 to maintain insulation.

상기 탄성도전부(150)는, 상기 피검사 디바이스(190)의 단자(191)와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자(151)가 분포되어 있으며, 상기 시트본체(120)의 상면 및 하면 중 적어도 어느 한 면에 일체화되어 배치되는 것이다. 이러한 탄성도전부(150)를 구성하는 절연성 탄성물질은 시트본체(120)와 동일한 소재 내지 유사한 소재가 사용될 수 있다.The elastic conductive member 150 is disposed at a position corresponding to the terminal 191 of the device under test 190 and has a plurality of conductive particles 151 distributed in the insulating elastic material. And at least one of the upper surface and the lower surface. The insulating elastic material constituting the elastic conductive part 150 may be made of the same material as that of the seat body 120 or a similar material.

또한, 상기 도전성 입자(151)는 자성을 나타내는 소재가 주로 이용된다. 이러한 도전성 입자(151)의 구체예로서는, 철, 코발트, 니켈 등의 자성을 갖는 금속의 입자 또는 이들의 합금의 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하여, 상기 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 실시한 것, 또는 비자성 금속 입자 또는 유리 비드 등의 무기 물질 입자 또는 중합체 입자를 코어 입자로 하여, 상기 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성 금속의 도금을 실시한 것 등을 들 수 있다. As the conductive particles 151, a material showing magnetism is mainly used. As specific examples of such conductive particles 151, particles of metal having magnetic properties such as iron, cobalt, and nickel, or alloys thereof, or particles containing these metals, or these particles as core particles, The surface of which is coated with a metal having a good conductivity such as gold, silver, palladium, or rhodium, or inorganic particles or polymer particles such as non-magnetic metal particles or glass beads as core particles, , Plated with a conductive magnetic metal such as cobalt, and the like.

이 중에서는, 니켈 입자를 코어 입자로 하여, 그 표면에 도전성이 양호한 금의 도금을 실시한 것을 이용하는 것이 바람직하다. Among them, it is preferable to use the nickel particles as the core particles and the surface of which is plated with gold having good conductivity.

코어 입자의 표면에 도전성 금속을 피복하는 수단으로서는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 화학 도금 또는 전해 도금법, 스퍼터링법, 증착법 등이 이용되고 있다. The means for coating the surface of the core particle with the conductive metal is not particularly limited, but for example, chemical plating or electrolytic plating, sputtering, vapor deposition, or the like is used.

도전성 입자(151)로서, 코어 입자의 표면에 도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 경우에는, 양호한 도전성이 얻어지는 점에서, 입자 표면에서의 도전성 금속의 피복률(코어 입자의 표면적에 대한 도전성 금속의 피복 면적의 비율)이 40％ 이상인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 45％ 이상, 특히 바람직하게는 47 내지 95％이다. When the conductive particles 151 coated with a conductive metal on the surface of the core particles are used, the coating ratio of the conductive metal on the surface of the particles (the coating ratio of the conductive metal to the surface area of the core particles Area ratio) is preferably 40% or more, more preferably 45% or more, particularly preferably 47 to 95%.

또한, 도전성 금속의 피복량은, 코어 입자의 0.5 내지 50 질량％인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2 내지 30 질량％, 더욱 바람직하게는 3 내지 25 질량％, 특히 바람직하게는 4 내지 20 질량％이다. 피복되는 도전성 금속이 금인 경우에는, 그 피복량은 코어 입자의 0.5 내지 30 질량％인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2 내지 20 질량％, 더욱 바람직하게는 3 내지 15 질량％이다. The covering amount of the conductive metal is preferably from 0.5 to 50 mass%, more preferably from 2 to 30 mass%, still more preferably from 3 to 25 mass%, particularly preferably from 4 to 20 mass% %to be. When the conductive metal to be coated is gold, the covering amount is preferably 0.5 to 30 mass%, more preferably 2 to 20 mass%, and still more preferably 3 to 15 mass% of the core particles.

이러한 도전성 입자(151)는 상기 이방성 시트체(110)로부터 돌출되어 있는 도전체(130)의 접속부(132)를 둘러싸면서 상기 접속부(132)와 전기적으로 접속되어 있게 된다.These conductive particles 151 are electrically connected to the connection portion 132 while surrounding the connection portion 132 of the conductor 130 protruded from the anisotropic sheet body 110.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 다음과 같은 작용효과를 가진다.The test socket 100 according to an embodiment of the present invention has the following operational effects.

먼저, 도 7에 도시된 바와 같이 검사를 위하여 각각의 탄성도전부(150)가 검사장치(180)의 패드(181)와 접촉한 상태에서 검사용 소켓(100)이 검사장치(180)에 탑재되어 있다. 이때 피검사 디바이스(190)는 서서히 하강하면서 도 8에 도시된 바와 같이 검사용 소켓(100)을 두께방향으로 가압하게 된다. 이때, 탄성도전부(150)와 도전체(130)의 탄성부(131)는 압축되면서 상기 피검사 디바이스(190)에 의한 가압력을 흡수하게 된다. 검사장치(180)로부터 소정의 전기적 신호가 인가되면 상기 신호를 검사용 소켓(100)을 통하여 피검사 디바이스(190)의 단자(191)로 전달된다. 7, the inspection socket 180 is mounted on the inspection apparatus 180 in a state in which the respective elasticity sensors 150 are in contact with the pads 181 of the inspection apparatus 180, . At this time, the inspected device 190 is gradually lowered to press the inspecting socket 100 in the thickness direction as shown in FIG. At this time, the elastic part 130 of the conductive part 150 and the elastic part 131 of the conductive part 130 are compressed and absorb the pressing force of the device 190 to be inspected. When a predetermined electrical signal is applied from the inspecting device 180, the signal is transmitted to the terminal 191 of the device under test 190 through the inspecting socket 100.

이러한 본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은 빈번한 피검사 디바이스(190)의 검사과정에서 압축과 팽창을 반복해도 도전체(130)의 전기적 성능이 저하되는 일이 거의 없다.The inspection socket 100 according to the present invention hardly deteriorates the electrical performance of the conductor 130 even if repeated compression and expansion are repeated in the inspection process of the inspected device 190.

특히, 피검사 디바이스(190)의 압축과 팽창을 주로 담담하는 도전체(130)가 단일의 금속소재로 이루어져 있기 때문에 도전성이 저하되는 일이 없게 된다. 한편, 도전체(130)의 상단에는 피검사 디바이스(190)의 단자(191)의 파손을 방지하기 위한 탄성도전부(150)가 마련되어 있어 도전체(130)와 단자(191)의 직접 접촉하는 일이 없게 된다. In particular, since the conductor 130, which primarily compresses and expands the inspected device 190, is made of a single metal material, the conductivity is not lowered. An elastic conductive member 150 is provided on the upper end of the conductive member 130 to prevent damage to the terminal 191 of the device 190 to be inspected. The conductive member 130 is in direct contact with the conductive member 130 and the terminal 191 There will be no work.

또한, 온도변화가 있는 경우에도 도전체(130)의 성능에 있어서는 거의 변화가 없기 때문에 전기적 특성의 개선이 예상되는 장점이 있다. In addition, even when there is a change in temperature, there is an advantage that the electrical property is expected to be improved because there is almost no change in the performance of the conductor 130.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓은 도 7 내지 8에 도시된 바와 같이 변형되는 것도 가능하다.The inspection socket according to an embodiment of the present invention may be modified as shown in FIGS.

도 7 내지 도 8에 도시된 실시예에서 상기 시트본체(220)에는 상기 피검사 디바이스(190)의 단자(191)와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자(261)가 두께방향으로 배열되는 복합도전부(260)가 마련될 수 있다. 이때, 상기 복합도전부(260)는, 상기 도전체(230)의 적어도 일부를 둘러싸고 있게 된다. 또한 탄성도전부(250)의 도전성 입자(251)는, 상기 복합도전부(260)의 도전성 입자(261)보다 단위면적당 고밀도로 배치될 수 있으며, 상기 탄성도전부(250)의 도전성 입자(251)의 평균입경은, 상기 복합도전부(260)의 도전성 입자(261)의 평균입경보다 작을 수 있다.7 to 8, a plurality of conductive particles 261 are arranged in the thickness direction at positions corresponding to the terminals 191 of the device 190 to be inspected in the sheet body 220, A front portion 260 may be provided. At this time, the composite conductor 260 surrounds at least a part of the conductor 230. The conductive particles 251 of the elastic conductive member 250 may be arranged at a higher density per unit area than the conductive particles 261 of the composite conductive member 260. The conductive particles 251 of the elastic conductive member 250 May be smaller than the average particle diameter of the conductive particles 261 of the composite conductive part 260. [

탄성도전부에서 도전성 입자가 복합도전부의 도전성 입자보다 고밀도로 배치되어 있게 됨에 따라서 전기적 전도성이 우수한 장점이 있다. 이와 함께 복합도전부가 도전체와 함께 사용됨에 따라서 도전체의 전기전도성을 보조할 수 있는 장점이 있게 된다. 이에 따라서 압축변형 개선되고 Current량 증가가 예상되며, 온도 변화에 따른 전기적 특성 개선 예상된다.There is an advantage in that the electrical conductivity is excellent as the conductive particles are arranged at a higher density than the conductive particles of all the composite conductors in the entire elasticity. In addition, since the composite conductive part is used together with the conductive body, there is an advantage that the electric conductivity of the conductive body can be assisted. As a result, the compressive strain is improved, the current amount is expected to increase, and the electrical characteristics are expected to improve with the temperature change.

또한, 본 발명의 검사용 소켓에서 도전체의 형상은 도 5에 한정되는 것은 아니며 도 9와 같이 변형되는 것도 가능하다.In addition, the shape of the conductor in the inspection socket of the present invention is not limited to that shown in Fig. 5, but may be modified as shown in Fig.

예를 들어 도 5에서는 접속부(132)가 원형단면을 가지는 것을 예상하였으나, 도 9에 도시된 바와 같이 접속부(332)가 사각단면(도 9(a)) 내지 일단이 뾰족한 산형태를 가지는 사각단면(도 9(b))등 다양한 형상을 가질 수 있음은 물론이다.For example, in FIG. 5, it is assumed that the connection portion 132 has a circular cross section. However, as shown in FIG. 9, the connection portion 332 may have a rectangular cross section (FIG. (Fig. 9 (b)).

이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명의 검사용 소켓을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been described with reference to the exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

100...검사용 소켓 110...이방성 시트
120...시트본체 130...도전체
131...탄성부 132...접속부
140...격벽 141...관통공
150...탄성도전부 151...도전성 입자
160...복합도전부 161...도전성 입자100 ... test socket 110 ... anisotropic sheet
120 ... seat body 130 ... conductor
131 ... elastic portion 132 ... connection portion
140 ... barrier ribs 141 ... through holes
150 ... all elasticity 151 ... conductive particles
160 ... All of the complexity 161 ... Conductive particles

Claims (12)

피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
절연성 탄성물질로 이루어지는 시트본체와, 상기 시트본체 내부에 적어도 일부가 삽입되어 있으며 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 연장되는 도전체를 포함하는 이방성 시트체; 및
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되며 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있으며, 상기 시트본체의 상면 및 하면 중 적어도 어느 한 면에 일체화되어 배치되는 탄성도전부를 포함하되,
상기 도전체는,
상기 시트본체 내부에 배치되며 두께방향으로 가해지는 외력을 탄성적으로 흡수할 수 있는 금속소재의 탄성부와,
상기 탄성부의 단부에 배치되고 상기 탄성부로부터 상측 또는 하측으로 연장되며 적어도 일부가 상기 이방성 시트체로부터 돌출되어 상기 탄성도전부에 삽입되어 상기 탄성도전부와 전기적으로 접속되는 금속소재의 접속부를 포함하되,
상기 접속부는 상단이 탄성도전부의 도전성 입자들과 접촉하고 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.A test socket for electrically connecting terminals and pads between terminals of a device to be tested and pads of an inspection apparatus,
An anisotropic sheet body including a sheet body made of an insulating elastic material and at least a portion of which is inserted into the sheet body and extends in a thickness direction at a position corresponding to a terminal of the device to be inspected; And
And a plurality of elastic particles arranged in positions corresponding to the terminals of the device to be inspected and having a plurality of conductive particles dispersed in the insulating elastic material and integrally disposed on at least one of upper and lower surfaces of the seat body,
The conductor
An elastic portion of a metal material disposed inside the seat body and capable of elastically absorbing an external force applied in the thickness direction,
And a connection part of a metal material which is disposed at an end of the elastic part and extends upward or downward from the elastic part, at least a part of which protrudes from the anisotropic sheet body and is inserted into the elastic part so as to be electrically connected to the elastic part ,
Wherein the connecting portion is in contact with the conductive particles of the entirety of the elasticity at an upper end thereof. 제1항에 있어서,
상기 도전체의 탄성부는, 일정한 폭을 가지면서 상하방향으로 연장되되 지그재그 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein the elastic portion of the conductor has a predetermined width and extends in a vertical direction and has a zigzag shape. 제1항에 있어서,
상기 접속부는 상기 탄성부보다 큰 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein the connecting portion has a greater width than the elastic portion. 제3항에 있어서,
상기 접속부는 두께방향으로 잘랐을 때의 단면이 원형인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method of claim 3,
Wherein the connecting portion has a circular cross-section when cut in the thickness direction. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 각각의 도전체는 절연성을 가지며 상기 시트본체보다 경질의 소재로 이루어지는 격벽에 의하여 구분되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein each of the conductors has an insulating property and is divided by a partition made of a hard material than the sheet body. 제1항에 있어서,
상기 시트본체에는 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배열되는 복합도전부가 마련되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein the sheet body is provided with a composite conductive portion in which a plurality of conductive particles are arranged in a thickness direction for each position corresponding to a terminal of the device to be inspected. 제7항에 있어서,
상기 복합도전부는, 상기 도전체의 적어도 일부를 둘러싸고 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.8. The method of claim 7,
Wherein the composite conductive portion surrounds at least a part of the conductor. 제7항에 있어서,
상기 탄성도전부의 도전성 입자는, 상기 복합도전부의 도전성 입자보다 단위면적당 고밀도로 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.8. The method of claim 7,
Wherein all of the conductive particles having elasticity are disposed at a higher density per unit area than the conductive particles of the composite conductive member. 제7항에 있어서,
상기 탄성도전부의 도전성 입자의 평균입경은, 상기 복합도전부의 도전성 입자의 평균입경보다 작은 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.8. The method of claim 7,
Wherein the average particle diameter of the conductive particles before the elasticity is smaller than the average particle diameter of the conductive particles of the composite surface. 삭제delete 삭제delete
KR1020140109051A 2014-08-21 2014-08-21 Test socket Active KR101575830B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140109051A KR101575830B1 (en) 2014-08-21 2014-08-21 Test socket

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140109051A KR101575830B1 (en) 2014-08-21 2014-08-21 Test socket

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101575830B1 true KR101575830B1 (en) 2015-12-08

Family

ID=54873076

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140109051A Active KR101575830B1 (en) 2014-08-21 2014-08-21 Test socket

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101575830B1 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017155155A1 (en) * 2016-03-07 2017-09-14 주식회사 이노글로벌 Bidirectional conductive socket for testing semiconductor device, bidirectional conductive module for testing semiconductor device, and manufacturing method therefor
KR102030586B1 (en) * 2018-06-20 2019-10-10 주식회사 아이에스시 Test connector, manufacturing method of the test connector, and testing method of device-under-test using the test connector
KR20230005593A (en) * 2021-07-01 2023-01-10 주식회사 아이에스시 Testor socket
KR20230012152A (en) * 2021-07-15 2023-01-26 주식회사 아이에스시 Testor socket
WO2023191410A1 (en) * 2022-03-30 2023-10-05 (주)포인트엔지니어링 Electro-conductive contact pin and inspection device including same

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006266869A (en) 2005-03-24 2006-10-05 Enplas Corp Contact pin and socket for electrical component
KR101138963B1 (en) 2010-01-21 2012-04-25 주식회사 아이에스시테크놀러지 Test socket and the fabrication method therefor
KR101266123B1 (en) * 2012-03-16 2013-05-27 주식회사 아이에스시 Test rubber socket with spring member

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006266869A (en) 2005-03-24 2006-10-05 Enplas Corp Contact pin and socket for electrical component
KR101138963B1 (en) 2010-01-21 2012-04-25 주식회사 아이에스시테크놀러지 Test socket and the fabrication method therefor
KR101266123B1 (en) * 2012-03-16 2013-05-27 주식회사 아이에스시 Test rubber socket with spring member

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017155155A1 (en) * 2016-03-07 2017-09-14 주식회사 이노글로벌 Bidirectional conductive socket for testing semiconductor device, bidirectional conductive module for testing semiconductor device, and manufacturing method therefor
KR102030586B1 (en) * 2018-06-20 2019-10-10 주식회사 아이에스시 Test connector, manufacturing method of the test connector, and testing method of device-under-test using the test connector
WO2019245244A1 (en) * 2018-06-20 2019-12-26 주식회사 아이에스시 Test connector, method for manufacturing test connector, and method for testing device-under-test by using test connector
KR20230005593A (en) * 2021-07-01 2023-01-10 주식회사 아이에스시 Testor socket
KR102571582B1 (en) * 2021-07-01 2023-08-28 주식회사 아이에스시 Testor socket
KR20230012152A (en) * 2021-07-15 2023-01-26 주식회사 아이에스시 Testor socket
KR102582796B1 (en) 2021-07-15 2023-09-26 주식회사 아이에스시 Testor socket
WO2023191410A1 (en) * 2022-03-30 2023-10-05 (주)포인트엔지니어링 Electro-conductive contact pin and inspection device including same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101706331B1 (en) Test socket
KR102002694B1 (en) Conductive contact and anisotropic conductive sheet with the same
KR101575830B1 (en) Test socket
KR101573450B1 (en) Test socket
KR101781161B1 (en) Test Socket
KR101606866B1 (en) Test connector
KR101366171B1 (en) Test socket with high density conduction section
KR101739536B1 (en) Test socket and conductive particle
CN105527472B (en) Test bench
TWI787868B (en) Conductive particle and testing socket comprising the same
KR101353481B1 (en) Test socket with high density conduction section
KR101976701B1 (en) anisotropic conductive sheet
KR102133675B1 (en) Test socket
KR101059961B1 (en) Conductive connector
KR101246301B1 (en) Socket for electrical test with micro-line
KR101614472B1 (en) Test connector
KR101624689B1 (en) Electrical connecting connector
KR102153221B1 (en) Anisotropic conductive sheet
KR102173427B1 (en) Anisotropic conductive sheet
KR101511033B1 (en) Contactor for testing semiconductor device
KR20190125842A (en) Anisotropic conductive sheet
TWI542086B (en) Anisotropic conductive connector, manufacturing and device thereof
KR20170017951A (en) anisotropic conductive sheet
KR102004501B1 (en) Anisotropic conductive sheet
KR100972662B1 (en) Test socket with pressing member

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20140821

PA0201 Request for examination
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20150807

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20151201

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20151202

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20151203

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181126

Year of fee payment: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20181126

Start annual number: 4

End annual number: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191127

Year of fee payment: 5

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20191127

Start annual number: 5

End annual number: 5

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20201126

Start annual number: 6

End annual number: 6

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20211129

Start annual number: 7

End annual number: 7

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20221128

Start annual number: 8

End annual number: 8

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20231127

Start annual number: 9

End annual number: 9

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20241127

Start annual number: 10

End annual number: 10