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KR101787526B1 - Laser apparatus and method for generating laser by using the laser apparatus - Google Patents

Laser apparatus and method for generating laser by using the laser apparatus Download PDF

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KR101787526B1 KR1020160022835A KR20160022835A KR101787526B1 KR 101787526 B1 KR101787526 B1 KR 101787526B1 KR 1020160022835 A KR1020160022835 A KR 1020160022835A KR 20160022835 A KR20160022835 A KR 20160022835A KR 101787526 B1 KR101787526 B1 KR 101787526B1
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주식회사 이오테크닉스
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Abstract

예시적인 실시예들에 따르면, 레이저 장치 및 레이저 발생방법이 제공된다. 실시예에 따른 레이저 장치는 레이저 변조 신호로부터 트리거 신호를 발생시킨다. 그리고, 레이저 장치는 트리거 신호로부터 광 펌핑 장치를 동기화 하여 이득 매질에 펌핑 광을 방출한다.According to exemplary embodiments, a laser apparatus and a laser generating method are provided. A laser device according to an embodiment generates a trigger signal from a laser modulated signal. The laser device then synchronizes the optical pumping device from the trigger signal to emit pumping light to the gain medium.

Description

레이저 장치 및 레이저 발생 방법{Laser apparatus and method for generating laser by using the laser apparatus}Technical Field [0001] The present invention relates to a laser apparatus and a laser generating method,

레이저 장치 및 레이저 장치를 이용한 레이저 발생 방법에 관한 것으로, 레이저 장치의 이득 매질이 손상 되지 않게 이득 매질에 펌핑 광을 공급함으로써 레이저 광을 발생시키는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a laser generating method using a laser device and a laser device, and a technique for generating laser light by supplying pumping light to a gain medium so that a gain medium of the laser device is not damaged.

일반적으로 레이저 가공 공정이라 함은 가공 대상물의 표면에 레이저 광을 주사하여 가공 대상물 표면의 형상이나 물리적 성질 등을 가공하는 공정을 말한다.. 이러한 가공 대상물에는 여러가지 예가 있을 수 있으며 그 형상은 2 D 평면 형상일 수 있다. 레이저 가공공정의 예로는 가공 대상물의 표면 상에 패턴을 형성하는 패터닝, 가공 대상물의 물성을 변형시키는 공정, 레이저를 이용해 가공 대상물을 가열하고 가공 대상물의 형상을 변형하는 공정, 레이저 광을 이용하여 가공 대상물을 절단하는 공정 등이 있을 수 있다.Generally, the laser machining process refers to a process of processing the shape and physical properties of the surface of a workpiece by scanning a laser beam on the surface of the workpiece. There are various examples of such a workpiece, Lt; / RTI > Examples of the laser processing step include patterning for forming a pattern on a surface of a workpiece, processing for deforming the physical properties of the workpiece, heating the workpiece using a laser and deforming the shape of the workpiece, A step of cutting the object, and the like.

레이저(LASER) 장치는 빛의 유도 방출(Stimulated emission)현상을 이용하여 레이저 광을 생성하도록 만들어진 기계 장치이다. 레이저는 주 공진기를 이용해 빛이 유도 방출 되도록 하여 빔이 결 맞음성(coherence: 가 간섭성)을 지니고 방출되도록 한다. 레이저의 단색 성, 결 맞음 성 특징들로 인해, 레이저 장치는 제조 공정을 포함한 산업 전반에 걸쳐 효과적으로 이용되고 있으며, 이 밖에도 외과 수술시에 피부를 정밀하게 절개하거나, 신체 조직의 일부를 선택적으로 절제하는 역할을 하는 의료용 기기로도 많이 사용되고 있다.A laser (LASER) device is a mechanical device designed to generate laser light using a stimulated emission phenomenon of light. The laser uses a main resonator to induce light to be emitted, allowing the beam to emit coherence. Due to the monochromaticity of the laser and its adaptation characteristics, the laser device is being used effectively throughout the industry, including the manufacturing process. In addition, the skin can be precisely cut during surgical operation, It is also widely used as a medical device that plays a role of

레이저 장치는 전술한 주 공진기 만으로도 레이저 광을 발생 시킬 수 있으나, 강도가 강한 레이저 광을 방출하기 위해서 이득 매질(Gain medium)을 이용하여 레이저 광의 에너지를 증폭시킨다. 레이저 장치는 광 펌핑 작용을 통해 이득 매질로 여기 에너지를 주입한다. 그러면 이득 매질 내부의 전자들이 광 펌핑 작용에 의해 여기되어 레이저 광을 생성한다.The laser device can generate laser light using only the main resonator described above, but amplifies the energy of the laser light by using a gain medium to emit laser light having high intensity. The laser device injects excitation energy into the gain medium through an optical pumping action. Then, the electrons in the gain medium are excited by the optical pumping action to generate laser light.

그런데, 이득 매질 내부에 광 펌핑을 하는 과정에서 이득 매질에 발열 현상이 일어날 수 있다. 그리고, 이득 매질 내부에 허용치보다 많은 에너지가 주입되게 되면 이득 매질이 타서 손상되는 문제가 발생한다.However, in the process of optical pumping inside the gain medium, a heating phenomenon may occur in the gain medium. And, if more energy is injected into the gain medium than the allowable value, the gain medium is damaged and damaged.

이득 매질을 이용해 레이저 광을 발생시키는 과정에서 이득 매질이 고온으로 인해 손상되는 것을 방지한다.Thereby preventing the gain medium from being damaged due to the high temperature in the process of generating laser light by using the gain medium.

일 측면에 있어서,In one aspect,

레이저 변조 신호를 발생시키는 레이저 변조 신호 발생기;A laser modulation signal generator for generating a laser modulation signal;

상기 레이저 변조 신호를 수신하여, 제1 트리거 신호를 발생 시키는 제1 트리거 신호 발생기;A first trigger signal generator for receiving the laser modulated signal and generating a first trigger signal;

상기 레이저 변조 신호를 수신하여, 제2 트리거 신호를 발생 시키는 제2 트리거 신호 발생기;A second trigger signal generator for receiving the laser modulated signal and generating a second trigger signal;

상기 제1 트리거 신호에 의해 동기화 되어 시드 레이저 광을 이득 매질에방출하는 시드 레이저 발생장치; 및A seed laser generator synchronized by the first trigger signal to emit the seed laser light into the gain medium; And

상기 제2 트리거 신호에 의해 동기화 되어 펌핑 광을 상기 이득 매질에 방출하는 광 펌핑 장치;를 포함하는 레이저 장치가 제공된다.And a light pumping device synchronized by the second trigger signal to emit pumping light into the gain medium.

상기 광 펌핑 장치는 레이저 다이오드를 포함할 수 있다.The optical pumping device may comprise a laser diode.

상기 광 펌핑 장치는 상기 레이저 다이오드에 전류를 공급하는 전류 공급부를 더 포함하며, 상기 전류 공급부는 상기 제2 트리거 신호에 의해 동기화 되어 전류 레벨을 변경할 수 있다.The optical pumping device may further include a current supply unit for supplying current to the laser diode, and the current supply unit may be synchronized by the second trigger signal to change the current level.

상기 제2 트리거 신호 발생기는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 소정의 지연 시간이 지난 후, 상기 제2 트리거 신호를 발생 시킬 수 있다.The second trigger signal generator may receive the laser modulated signal and generate the second trigger signal after a predetermined delay time.

상기 제1 트리거 신호 발생기는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 제1 지연 시간이 지난 후, 상기 제1 트리거 신호를 발생 시키며, 상기 제2 트리거 신호 발생기는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 제2 지연 시간이 지난 후, 상기 제2 트리거 신호를 발생 시키며,Wherein the first trigger signal generator receives the laser modulated signal and generates the first trigger signal after a first delay time and the second trigger signal generator receives the laser modulated signal and a second delay time After this, the second trigger signal is generated,

상기 제2 지연 시간은 상기 제1 지연 시간보다 클 수 있다.The second delay time may be greater than the first delay time.

상기 광 펌핑 장치는, 상기 펌핑 광을 임 펄스 광으로 방출할 수 있다.The optical pumping device may emit the pumping light as impulse light.

상기 임펄스 광의 펄스 폭은 기 설정된 상기 시드 레이저 광의 증폭 비율에 의존할 수 있다.The pulse width of the impulse light may depend on a predetermined amplification rate of the seed laser light.

상기 광 펌핑 장치는, 상기 시드 레이저 광의 강도가 최대가 되는 시드 레이저 광이 발생되기 직전부터 상기 시드 레이저 광의 강도가 최대가 되는 시간 구간 중 어느 한 시점에 상기 임 펄스 광의 방출이 종료되도록 할 수 있다.The optical pumping device may cause the emission of the impulse light to be terminated at any point in time during which the intensity of the seed laser light is maximized and immediately before the seed laser light is generated at the maximum intensity of the seed laser light .

다른 측면에 있어서,In another aspect,

레이저 변조 신호를 발생시키는 단계;Generating a laser modulated signal;

상기 레이저 변조 신호로부터 제1 트리거 신호를 발생 시키는 단계;Generating a first trigger signal from the laser modulated signal;

상기 레이저 변조 신호로부터 제2 트리거 신호를 발생 시키는 단계;Generating a second trigger signal from the laser modulated signal;

상기 제1 트리거 신호에 의해 동기화 되어 시드 레이저 광을 이득 매질에 방출하는 단계;Synchronizing with the first trigger signal to emit the seed laser light into the gain medium;

상기 제2 트리거 신호에 의해 동기화 되어 펌핑 광을 상기 이득 매질에 방출하는 단계;를 포함하는 레이저 발생 방법이 제공된다.And synchronizing by the second trigger signal to emit pumping light into the gain medium.

상기 펌핑 광을 상기 이득 매질에 방출하는 단계는,The step of emitting the pumping light to the gain medium comprises:

상기 제2 트리거 신호에 의해 레이저 다이오드에 공급하는 전류 레벨을 변경할 수 있다.The current level supplied to the laser diode by the second trigger signal can be changed.

상기 제2 트리거 신호를 발생 시키는 단계는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 소정의 지연 시간이 지난 후, 상기 제2 트리거 신호를 발생 시킬 수 있다.The generating of the second trigger signal may generate the second trigger signal after receiving the laser modulated signal and after a predetermined delay time.

상기 제1 트리거 신호를 발생 시키는 단계는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 제1 지연 시간이 지난 후, 상기 제1 트리거 신호를 발생 시키며, 상기 제2 트리거 신호를 발생 시키는 단계는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 제2 지연 시간이 지난 후, 상기 제2 트리거 신호를 발생 시키며,Wherein generating the first trigger signal comprises receiving the laser modulated signal and generating the first trigger signal after a first delay time and generating the second trigger signal comprises receiving the laser modulated signal And after the second delay time, generating the second trigger signal,

상기 제2 지연 시간은 상기 제1 지연 시간보다 클 수 있다.The second delay time may be greater than the first delay time.

상기 펌핑 광을 이득 매질에 방출하는 단계는, 상기 펌핑 광을 임펄스 광으로 방출할 수 있다.The step of emitting the pumping light to the gain medium may emit the pumping light as impulse light.

상기 임펄스 광의 펄스 폭은 기 설정된 시드 레이저 광의 증폭 비율에 의존할 수 있다.The pulse width of the impulse light may depend on the amplification rate of the predetermined seed laser light.

상기 펌핑 광을 이득 매질에 방출하는 단계는, 상기 시드 레이저 광의 강도가 최대가 되는 시드 레이저 광이 발생되기 직전부터 상기 시드 레이저 광의 강도가 최대가 되는 시간 구간 중 어느 한 시점에 상기 임 펄스 광의 방출이 종되도록 할 수 있다.Wherein the step of emitting the pumping light to the gain medium comprises the step of emitting the impulse light at a point in time during which the intensity of the seed laser light becomes maximum from immediately before the seed laser light is generated to the intensity of the seed laser light, Can be made to be a species.

예시적인 실시예들에 따르면, 광 펌핑 장치가 트리거 신호에 의해 동기화 되어 펌핑 광을 이득 매질에 방출할 수 있다. 이를 통해, 이득 매질에 과도한 에너지가 저장되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 광 펌핑 장치의 전력 소비를 줄일 수 있다.According to exemplary embodiments, the optical pumping device may be synchronized by a trigger signal to emit pumping light into the gain medium. This prevents excessive energy from being stored in the gain medium. In addition, the power consumption of the optical pumping device can be reduced.

도 1은 비교 예에 따른 레이저 장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 비교예에 따른 레이저 장치에서 시드 레이저 광이 비 주기적으로 발생된 경우, 이득 매질 내부의 에너지 량 변화를 나타낸 도면이다.
도 3은 예시적인 실시예에 따른 레이저 장치를 나타낸 도면이다.
도 4는 레이저 변조 신호와 제1 트리거 신호 및 제2 트리거 신호를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 레이저 변조 신호와 제1 트리거 신호 및 제2 트리거 신호를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 6 및 도7은 레이저 변조 신호와 시드 레이저 광의 출력 파워 및 펌핑 광의 출력 파워를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 8은 도 6에서 나타낸 바와 같이 시드 레이저 광과 펌핑 광이 방출 됨에 따라 이득 매질에 저장된 에너지 량 변화와 출력 레이저의 광 파워 변화를 나타낸 그래프이다.
도 9는 시드 레이저 광이 비 주기적으로 방출되는 경우를 나타낸 도면이다.
도 10은 도 3 내지 도 9를 참조하여 설명한 레이저 장치를 이용한 레이저 발생방법을 나타낸 흐름도이다.
1 is a view showing a laser device according to a comparative example.
FIG. 2 is a graph showing a change in the amount of energy in the gain medium when the seed laser beam is generated non-periodically in the laser device according to the comparative example.
3 is a diagram illustrating a laser device according to an exemplary embodiment.
4 is a diagram exemplarily showing a laser modulation signal, a first trigger signal, and a second trigger signal.
5 is a diagram exemplarily showing a laser modulation signal, a first trigger signal, and a second trigger signal.
Figs. 6 and 7 are diagrams showing exemplary output powers of the laser modulation signal and the seed laser light and output powers of pumping light.
FIG. 8 is a graph showing changes in energy amount stored in the gain medium and optical power variation of the output laser as seed laser light and pumping light are emitted as shown in FIG.
9 is a diagram showing a case where seed laser light is emitted non-periodically.
FIG. 10 is a flowchart showing a laser generating method using the laser device described with reference to FIGS. 3 to 9. FIG.

이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다. 한편, 이하에 설명되는 실시예는 단지 예시적인 것에 불과하며, 이러한 실시예들로부터 다양한 변형이 가능하다. In the following drawings, like reference numerals refer to like elements, and the size of each element in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation. On the other hand, the embodiments described below are merely illustrative, and various modifications are possible from these embodiments.

제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by terms. Terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. Also, when an element is referred to as "comprising ", it means that it can include other elements as well, without departing from the other elements unless specifically stated otherwise.

또한, 명세서에 기재된 “...부”, “모듈” 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미한다.Also, the terms " part, " " module, " and the like, which are described in the specification, refer to a unit that processes at least one function or operation.

도 1은 비교 예에 따른 레이저 장치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a laser device according to a comparative example.

도 1을 참조하면, 비교 예에 따른 레이저 장치는 시드 레이저(Seed laser)를 발생시키는 시드 레이저 발생장치(10)를 포함할 수 있다. 시드 레이저 발생장치(10)는 레이저 광 펄스를 발생시킬 수 있다. 시드 레이저 발생장치(10)는 광 섬유(22)를 통해 레이저 광 펄스를 이득 매질(20)로 전달할 수 있다. Referring to FIG. 1, the laser device according to the comparative example may include a seed laser generator 10 for generating a seed laser. The seed laser generator 10 can generate laser light pulses. The seed laser generator 10 may transmit a laser light pulse through the optical fiber 22 to the gain medium 20.

비교예에 따른 레이저 장치는 이득 매질(20)에 에너지를 공급하는 광 펌핑 장치(30)를 포함할 수 있다. 광 펌핑 장치(30)는 이득 매질(20)에 광을 조사함으로써, 이득 매질(20)에 저장된 에너지량을 높여줄 수 있다. 이득 매질(20)은 시드 레이저 장치(10)로부터 전달 받은 시드 레이저 광을 증폭 시킬 수 있다. 이득 매질(20)은 시드 레이저 광 신호(S1)를 증폭함으로써, 시드 레이저 광 신호(S1)와 모양이 같은 출력 광 신호(S2)를 방출할 수 있다. The laser device according to the comparative example may include an optical pumping device 30 for supplying energy to the gain medium 20. [ The optical pumping device 30 can increase the amount of energy stored in the gain medium 20 by irradiating the gain medium 20 with light. The gain medium 20 can amplify the seed laser beam transmitted from the seed laser device 10. The gain medium 20 can emit an output optical signal S2 having the same shape as the seed laser light signal S1 by amplifying the seed laser light signal S1.

비교예에 따르면, 광 펌핑 장치(30)는 일정한 세기의 펌핑 광을 지속적으로 이득 매질(20)에 방출할 수 있다. 따라서, 광 펌핑 장치(30)가 이득 매질(20)에 펌핑 광을 방출하는 시간이 늘어남에 따라 이득 매질(20)에 저장된 에너지 량이 늘어날 수 있다. 이득 매질(20)은 시드 레이저 광이 이득 매질(20)에 조사되면, 이득 매질(20)에 저장된 에너지를 이용하여 시드 레이저 광을 증폭하여 출력 레이저 광으로 방출할 수 있다. According to the comparative example, the optical pumping device 30 can continuously emit pumping light of a constant intensity into the gain medium 20. [ Therefore, the amount of energy stored in the gain medium 20 can be increased as the time for the optical pumping device 30 to emit pumping light into the gain medium 20 increases. When the seed laser light is irradiated on the gain medium 20, the gain medium 20 can amplify the seed laser light using the energy stored in the gain medium 20 and emit the amplified seed laser light as the output laser light.

이득 매질(20)이 출력 레이저 광을 방출하면, 이득 매질(20)에 저장된 에너지가 외부로 방출될 수 있다. 따라서, 시드 레이저 광이 주기적인 펄스 모양으로 이득 매질(20)에 조사되는 경우, 이득 매질(20)에 저장된 에너지 량도 주기적으로 증가와 감소를 반복할 수 있다. 하지만, 시드 레이저 광이 비주기 적으로 이득 매질(20)에 조사되면, 시드 레이저 광의 조사 시간 간격이 긴 구간에서 이득 매질(20)에 과도한 에너지가 공급될 수 있다.When the gain medium 20 emits output laser light, the energy stored in the gain medium 20 can be emitted to the outside. Therefore, when the seed laser light is irradiated to the gain medium 20 in a periodic pulse shape, the amount of energy stored in the gain medium 20 can be repeatedly increased and decreased periodically. However, when the seed laser light is irradiated to the gain medium 20 non-periodically, excessive energy can be supplied to the gain medium 20 in a section where the irradiation time interval of the seed laser light is long.

도 2는 비교예에 따른 레이저 장치에서 시드 레이저 광이 비 주기적으로 발생된 경우, 이득 매질(20) 내부의 에너지 량 변화를 나타낸 도면이다.FIG. 2 is a graph showing a change in the amount of energy in the gain medium 20 when the seed laser beam is generated aperiodically in the laser device according to the comparative example.

도 2에서 (a) 그래프는 시드 레이저 발생장치(10)에서 방출되는 시드 레이저 광의 출력파워의 시간에 따른 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (b) 그래프는 광 펌핑 장치(30)에 의해 이득 매질(20)로 방출되는 펌핑 광의 출력파워의 시간에 따른 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (c) 그래프는 이득 매질(20)에 저장된 에너지 량의 시간에 따른 변화를 나타낸 그래프이다.2 (a) is a graph showing a change with time of the output power of the seed laser beam emitted from the seed laser generator 10. The graph (b) is a graph showing a change with time of the output power of the pumping light emitted to the gain medium 20 by the optical pumping device 30. The graph (c) is a graph showing a change with time of the amount of energy stored in the gain medium 20.

도 2를 참조하면, 광 펌핑 장치(30)가 일정한 세기의 펌핑 광을 이득 매질(20)에 방출할 수 있다. 이 경우, 이득 매질(20)에서 방출되는 출력 레이저 광의 출력파워는 펌핑 광의 세기를 조절함으로써 조절 할 수 있다. (c) 그래프를 참조하면, 펌핑 광이 이득 매질(20)에 조사됨에 따라 이득 매질(20)에 저장된 에너지 량이 증가할 수 있다. 그리고, 시드 레이저 광이 이득 매질(20)에 입사하면, 이득 매질(20)로부터 출력 레이저 광이 방출 되면서 이득 매질(20)에 저장된 에너지 량이 급격하게 감소할 수 있다. Referring to FIG. 2, the optical pumping device 30 can emit pumping light of a certain intensity into the gain medium 20. In this case, the output power of the output laser light emitted from the gain medium 20 can be adjusted by adjusting the intensity of the pumping light. (c) Referring to the graph, the amount of energy stored in the gain medium 20 may increase as the pumping light is irradiated to the gain medium 20. When the seed laser light is incident on the gain medium 20, the amount of energy stored in the gain medium 20 can be drastically reduced as the output laser light is emitted from the gain medium 20.

시드 레이저 광이 주기적으로 이득 매질(20)에 입사하는 동안은 이득 매질(20)에 저장된 에너지 량 또한 증가와 감소가 주기적으로 일어날 수 있다. 따라서, 이득 매질(20)에 저장된 에너지 량이 일정 량 이상 증가하지 않을 수 있다. 그런데, 시드 레이저 광이 비 주기적으로 이득 매질(20)에 입사하는 구간에서는, 시드 레이저 광이 입사하지 않는 시간 동안 이득 매질(20)에 저장된 에너지 량이 지속 적으로 증가할 수 있다. 그리고, 시드 레이저 광이 방출되지 않는 시간이 길어지게 되면, 이득 매질(20)에 저장된 에너지 량이 과도하게 높아질 수 있다.While the seed laser light periodically enters the gain medium 20, the amount of energy stored in the gain medium 20 may also increase and decrease periodically. Therefore, the amount of energy stored in the gain medium 20 may not increase by more than a certain amount. However, the amount of energy stored in the gain medium 20 may continuously increase during the period in which the seed laser light does not enter in the period where the seed laser light enters the gain medium 20 non-periodically. If the time during which the seed laser beam is not emitted is prolonged, the amount of energy stored in the gain medium 20 may become excessively high.

이득 매질(20)에 저장된 에너지 량이 과도하게 높아지면, 이득 매질(20)이 과열에 의한 손상을 입을 수 있다. 예를 들어, 이득 매질(20)에 저장된 에너지 량이 허용 치 보다 높아지면 이득 매질(20) 내줍에서 유도 브리유앵 산란(stimulated Brillouin scattering) 현상이 일어날 수 있다. 즉, 이득 매질(20) 내부에서 입사광과 산란광이 비 선형적으로 결합하면서, 증폭되어 이득 매질(20)의 고온 현상을 초래할 수 있다. If the amount of energy stored in the gain medium 20 becomes excessively high, the gain medium 20 may be damaged by overheating. For example, if the amount of energy stored in the gain medium 20 is higher than the allowable value, a stimulated Brillouin scattering phenomenon may occur in the gain medium 20. That is, the incident light and the scattered light are non-linearly combined in the gain medium 20 and amplified, resulting in a high temperature phenomenon of the gain medium 20. [

도 3은 예시적인 실시예에 따른 레이저 장치(100)를 나타낸 도면이다.3 is a diagram illustrating a laser device 100 according to an exemplary embodiment.

도 3을 참조하면, 예시적인 실시예에 따른 레이저 장치(100)는 레이저 변조 신호를 발생시키는 레이저 변조 신호 발생기(110)와, 레이저 변조 신호를 수신하여, 제1 트리거 신호를 발생 시키는 제1 트리거 신호 발생기(122)와, 레이저 변조 신호를 수신하여, 제2 트리거 신호를 발생 시키는 제2 트리거 신호 발생기(132), 제1 트리거 신호에 의해 동기화 되어 시드 레이저 광을 이득 매질에 방출하는 시드 레이저 발생 장치(124) 및 제2 트리거 신호에 의해 동기화 되어 펌핑 광을 상기 이득 매질에 방출하는 광 펌핑 장치(134)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, a laser device 100 according to an exemplary embodiment includes a laser modulation signal generator 110 for generating a laser modulation signal, a first trigger (not shown) for receiving a laser modulation signal and generating a first trigger signal, A second trigger signal generator 132 for receiving the laser modulated signal and generating a second trigger signal, a seed laser for synchronizing with the first trigger signal to emit the seed laser light into the gain medium, And an optical pumping device 134 that is synchronized by the device 124 and a second trigger signal to emit pumping light into the gain medium.

레이저 변조 신호 발생기(110)는 소정의 펄스 신호를 레이저 변조 신호로써 발생시킬 수 있다. 레이저 변조 신호는 주기적 또는 비 주기적으로 발생될 수 있다. 레이저 변조 신호 발생기(110)의 레이저 변조 신호는 레이저 장치(100)가 레이저 광을 출력하도록 하는 신호일 수 있다. The laser modulation signal generator 110 may generate a predetermined pulse signal as a laser modulation signal. The laser modulation signal can be generated periodically or aperiodically. The laser modulation signal of the laser modulation signal generator 110 may be a signal that causes the laser device 100 to output laser light.

제1 트리거 신호 발생기(122)는 레이저 변조 신호 발생기로부터 레이저 변조 신호를 수신할 수 있다. 제1 트리거 신호 발생기(122) 는 레이저 변조 신호를 수신하면, 제1 트리거 신호를 발생시킬 수 있다. 제1 트리거 신호는 발생기(122)는 제1 트리거 신호를 시드 레이저 발생 장치(124)에 전송할 수 있다. 시드 레이저 발생 장치(124)는 제1 트리거 신호에 의해 동기화 될 수 있다. 시드 레이저 발생 장치(124)가 동기화 된다는 것은 시드 레이저 발생 장치(124)의 동작 상태가 변경된다는 것을 의미하며, 시드 레이저 발생 장치(124)는 제1 트리거 신호에 의해 동기화 되면, 동작 상태가 변경되어 시드 레이저 광을 외부로 방출할 수 있다.The first trigger signal generator 122 may receive the laser modulated signal from the laser modulated signal generator. When the first trigger signal generator 122 receives the laser modulation signal, it can generate the first trigger signal. The first trigger signal may cause the generator 122 to send a first trigger signal to the seed laser generator 124. [ The seed laser generating device 124 can be synchronized by the first trigger signal. Synchronization of the seed laser generating device 124 means that the operation state of the seed laser generating device 124 is changed and when the seed laser generating device 124 is synchronized by the first trigger signal, The seed laser light can be emitted to the outside.

제2 트리거 신호 발생기(132)는 레이저 변조 신호 발생기로부터 레이저 변조 신호를 수신할 수 있다. 제2 트리거 신호 발생기(132)는 레이저 변조 신호를 수신하면, 제2 트리거 신호를 발생시킬 수 있다. 제2 트리거 신호는 발생기(132)는 제2 트리거 신호를 광 펌핑 장치(134)에 전송할 수 있다. 광 펌핑 장치(134)는 제2 트리거 신호에 의해 동기화 될 수 있다. 광 펌핑 장치(134)가 동기화 된다는 것은 광 펌핑 장치(134)의 동작 상태가 변경된다는 것을 의미한다. The second trigger signal generator 132 may receive the laser modulated signal from the laser modulated signal generator. When the second trigger signal generator 132 receives the laser modulation signal, it can generate the second trigger signal. The second trigger signal may cause the generator 132 to send a second trigger signal to the optical pumping device 134. The optical pumping device 134 may be synchronized by the second trigger signal. The fact that the optical pumping device 134 is synchronized means that the operational state of the optical pumping device 134 is changed.

예를 들어, 광 펌핑 장치(134)는 레이저 다이오드(134b) 및 레이저 다이오드(134b)에 전류를 공급하는 전류 공급부(134a)를 포함할 수 있다. 광 펌핑 장치(134)의 전류 공급부(134a)는 제2 트리거 신호에 의해 동기화 되어 레이저 다이오드(134b)에 공급하는 전류 레벨을 변경할 수 있다. 전류 공급부(134a)가 레이저 다이오드(134b)에 공급하는 전류 레벨을 변경함에 따라 레이저 다이오드(134b)가 이득 매질(138)에 방출하는 광 에너지가 달라질 수 있다.For example, the optical pumping device 134 may include a laser diode 134b and a current supply 134a that supplies current to the laser diode 134b. The current supply 134a of the optical pumping device 134 can change the current level that is synchronized by the second trigger signal and supplies it to the laser diode 134b. The light energy emitted by the laser diode 134b to the gain medium 138 may be changed by changing the current level supplied to the laser diode 134b by the current supply unit 134a.

시드 레이저 장치(124)는 제1 트리거 신호에 의해 동기화 되어 이득 매질(138)에 시드 레이저 광을 방출할 수 있다. 시드 레이저 장치(124)는 내부에 주 공진기를 포함할 수 있다. 시드 레이저 장치(124)는 주 공진기에 의해 광을 유도 방출 시킴으로써, 결맞음 성이 맞는 레이저 광을 시드 레이저 광으로 방출할 수 있다. 시드 레이저 장치(124)에서 방출되는 시드 레이저 광의 강도는 펄스 모양을 가질 수 있다. 시드 레이저 광은 주기적, 또는 비 주기적으로 방출될 수 있다. The seed laser device 124 may be synchronized by the first trigger signal to emit the seed laser light to the gain medium 138. [ The seed laser device 124 may include a main resonator therein. The seed laser device 124 can emit the coherent laser light as the seed laser light by inducing and emitting light by the main resonator. The intensity of the seed laser light emitted from the seed laser device 124 may have a pulse shape. The seed laser light can be emitted periodically or aperiodically.

이득 매질(138)은 예시적으로 이터븀(Yb), 네오디뮴(Nd), 어븀(Er), 툴륨(Tm) 등과 같은 희토류 원소들로부터 얻은 활성 이온(active ion)들을 포함할 수 있다. 또한 이득 매질(138)은 예시적으로 크롬(Cr), 티타늄(Ti) 등과 같은 전이금속 원소들로부터 얻은 활성 이온(active ion)들을 포함할 수도 있다.Gain medium 138 may illustratively include active ions obtained from rare earth elements such as ytterbium (Yb), neodymium (Nd), erbium (Er), thulium (Tm) The gain medium 138 may also include active ions, which are illustratively obtained from transition metal elements such as chromium (Cr), titanium (Ti), and the like.

이터븀(Yb), 네오디뮴(Nd), 어븀(Er), 툴륨(Tm) 등과 같은 희토류 원소들로부터 얻은 활성 이온(active ion)이나 크롬(Cr), 티타늄(Ti) 등과 같은 전이금속 원소들로부터 얻은 활성 이온(active ion)에 의해 이득 매질(138)은 도핑 상태에 있을 수 있다. 이득 매질(138)은 광 펌핑 장치(134)로부터 공급 받은 에너지를 이용해 시드 레이저 광을 증폭하여 출력 레이저 광으로 방출할 수 있다.The transition metal elements such as active ions or chromium (Cr), titanium (Ti), etc., obtained from rare earth elements such as ytterbium (Yb), neodymium (Nd), erbium (Er), thulium The gain medium 138 may be in a doped state due to the obtained active ion. The gain medium 138 may amplify the seed laser light using the energy supplied from the optical pumping device 134 and emit the amplified seed laser light as the output laser light.

광 펌핑 장치(134)는 제2 트리거 신호에 의해 동기화 되어 이득 매질(138)에 펌핑 광을 방출할 수 있다. 광 펌핑 장치(134)가 이득 매질(138)에 공급하는 에너지 량은 펌핑 광을 조사하는 시간에 의해 결정될 수 있다. 광 펌핑 장치(134)는 제2 트리거 신호를 감지할 때 마다 단일 펄스 형태로 펌핑 광을 이득 매질(138)에 방출할 수 있다. 즉, 광 펌핑 장치(134)는 제2 트리거 신호를 감지할 때마다 임 펄스(impulse) 광을 이득 매질(138)에 방출할 수 있다. 광 펌핑 장치(134)가 임 펄스 광을 방출하는 시간 간격은 제2 트리거 신호가 발생되는 시간 간격에 의존할 수 있다. 또한, 광 펌핑 장치(134)가 방출하는 임 펄스 광의 펄스 폭은 기 설정된 출력 레이저 광의 출력파워에 의존할 수 있다. 예를 들어, 시드 레이저 광과 출력 레이저 광 사이의 증폭 비율이 큰 경우, 임 펄스 광의 펄스 폭은 상대적으로 클 수 있다. 반면, 시드 레이저 광과 출력 레이저 광 사이의 증폭 비율이 작은 경우, 임 펄스 광의 펄스 폭은 상대적으로 작을 수 있다.The optical pumping device 134 may be synchronized by a second trigger signal to emit pumping light to the gain medium 138. The amount of energy that the optical pumping device 134 supplies to the gain medium 138 can be determined by the time it irradiates the pumping light. The optical pumping device 134 may emit pumping light into the gain medium 138 in a single pulse form each time it senses a second trigger signal. That is, the optical pumping device 134 may emit impulse light into the gain medium 138 every time it senses the second trigger signal. The time interval at which the optical pumping device 134 emits the impulse light may depend on the time interval during which the second trigger signal is generated. In addition, the pulse width of the impulse light emitted by the optical pumping device 134 may depend on the output power of the predetermined output laser light. For example, when the amplification ratio between the seed laser light and the output laser light is large, the pulse width of the impulse light can be relatively large. On the other hand, when the amplification ratio between the seed laser light and the output laser light is small, the pulse width of the impulse light can be relatively small.

도 4는 레이저 변조 신호와 제1 트리거 신호 및 제2 트리거 신호를 예시적으로 나타낸 도면이다.4 is a diagram exemplarily showing a laser modulation signal, a first trigger signal, and a second trigger signal.

도 4에서 (a) 그래프는 레이저 변조 신호 발생기(110)에서 발생되는 레이저 변조 신호의 시간에 따른 강도 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (b) 그래프는 제1 트리거 신호의 시간에 따른 강도 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (c) 그래프는 제2 트리거 신호의 시간에 따른 강도 변화를 나타낸 그래프이다. 4 (a) is a graph showing a change in intensity of a laser modulation signal generated in the laser modulation signal generator 110 with time. The graph (b) is a graph showing a change in intensity with time of the first trigger signal. The graph (c) is a graph showing the intensity change with time of the second trigger signal.

도 4를 참조하면, 레이저 변조 신호가 발생되면 그에 대응하여 제1 및 제2 트리거 신호가 발생될 수 있다. 제1 및 제2 트리거 신호는 전기적 펄스 신호 일 수 있다. 제1 및 제2 트리거 신호 발생기(122, 132)는 레이저 변조 신호로부터 트리거를 추출하여 각각 제1 및 제2 트리거 신호를 발생시킬 수 있다. 제1 및 제2 트리거 신호의 펄스 폭은 레이저 변조 신호의 펄스 폭 보다 좁을 수 있다.Referring to FIG. 4, when a laser modulation signal is generated, corresponding first and second trigger signals may be generated. The first and second trigger signals may be electrical pulse signals. The first and second trigger signal generators 122 and 132 may extract triggers from the laser modulated signals to generate first and second trigger signals, respectively. The pulse widths of the first and second trigger signals may be narrower than the pulse width of the laser modulation signal.

제1 트리거 신호 발생기(122)는 레이저 변조 신호를 감지한 후, 소정의 지연 시간(d)이 경과한 후, 제1 트리거 신호를 발생시킬 수 있다. 반면, 제2 트리거 신호 발생기(132)는 레이저 변조 신호를 감지하는 즉시 제2 트리거 신호를 발생시킬 수 있다. 따라서, 제1 트리거 신호가 제2 트리거 신호보다 지연되어 발생될 수 있다.The first trigger signal generator 122 may generate the first trigger signal after a predetermined delay time d elapses after sensing the laser modulation signal. On the other hand, the second trigger signal generator 132 may generate the second trigger signal immediately upon detecting the laser modulated signal. Therefore, the first trigger signal can be generated with a delay than the second trigger signal.

제1 트리거 신호가 제2 트리거 신호보다 지연되어 발생되면, 시드 레이저 광이 펌핑 레이저 광보다 지연되어 방출될 수 있다. 시드 레이저 광이 펌핑 레이저 광보다 지연되게 방출하면, 시드 레이저 광이 방출되기 전에 펌핑 광에 의해 이득 매질(138)에 에너지가 저장되어 있을 수 있다. 이득 매질(138)은 시드 레이저 광이 방출되기 전까지 펌핑 광에 의해 저장된 에너지를 이용하여 시드 레이저 광을 증폭할 수 있다. 시드 레이저 광이 증폭되는 비율은 이득 매질(138)에 저장된 에너지 량에 의존할 수 있다. 또한, 이득 매질(138)에 저장된 에너지 량은 시드 레이저 광이 이득 매질(138)에 입사되기 전까지 펌핑 광이 이득 매질(138)에 방출된 시간에 의존할 수 있다. 그리고, 시드 레이저 광 증폭을 위해 요구되는 펌핑 광 조사 시간에 의존할 수 있다. 따라서, 제1 트리거 신호 발생기(122)가 레이저 변조 신호를 감지하고 제1 트리거 신호가 발생시키기 까지의 지연시간은 시드 레이저 광 증폭을 위해 요구되는 펌핑 광 조사 시간에 의존할 수 있다. 또한, 제 제1 트리거 신호 발생기(122)가 레이저 변조 신호를 감지하고 제1 트리거 신호가 발생시키기 까지의 지연시간은 펌핑 광의 펄스 폭에 따라 변경될 수도 있다.If the first trigger signal is generated in a delayed manner than the second trigger signal, the seed laser light can be emitted later than the pumping laser light. If the seed laser light is emitted later than the pumping laser light, energy may be stored in the gain medium 138 by the pumping light before the seed laser light is emitted. The gain medium 138 can amplify the seed laser light using the energy stored by the pump light until the seed laser light is emitted. The rate at which the seed laser light is amplified may depend on the amount of energy stored in the gain medium 138. The amount of energy stored in the gain medium 138 may also depend on the time that the pumping light is emitted to the gain medium 138 before the seed laser light is incident on the gain medium 138. And it may depend on the pumping light irradiation time required for the seed laser light amplification. Therefore, the delay time until the first trigger signal generator 122 detects the laser modulation signal and the first trigger signal is generated may depend on the pumping light irradiation time required for the seed laser light amplification. Further, the delay time until the first trigger signal generator 122 detects the laser modulation signal and the first trigger signal is generated may be changed according to the pulse width of the pumping light.

도 5는 레이저 변조 신호와 제1 트리거 신호 및 제2 트리거 신호를 예시적으로 나타낸 도면이다.5 is a diagram exemplarily showing a laser modulation signal, a first trigger signal, and a second trigger signal.

도 5에서 (a) 그래프는 레이저 변조 신호 발생기(110)에서 발생되는 레이저 변조 신호의 시간에 따른 강도 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (b) 그래프는 제1 트리거 신호의 시간에 따른 강도 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (c) 그래프는 제2 트리거 신호의 시간에 따른 강도 변화를 나타낸 그래프이다. 5 (a) is a graph showing a change in intensity of a laser modulation signal generated in the laser modulation signal generator 110 with time. The graph (b) is a graph showing a change in intensity with time of the first trigger signal. The graph (c) is a graph showing the intensity change with time of the second trigger signal.

도 5를 참조하면, 레이저 변조 신호가 발생되면 그에 대응하여 제1 및 제2 트리거 신호가 발생될 수 있다. 제1 및 제2 트리거 신호는 전기적 펄스 신호 일 수 있다.Referring to FIG. 5, when a laser modulation signal is generated, corresponding first and second trigger signals may be generated. The first and second trigger signals may be electrical pulse signals.

제1 트리거 신호 발생기(122)는 레이저 변조 신호를 감지한 후, 제1 지연 시간(d1)이 경과한 후, 제1 트리거 신호를 발생시킬 수 있다. 반면, 제2 트리거 신호 발생기(132)는 레이저 변조 신호를 감지한 후, 제2 지연 시간(d2)이 경과한 후, 제2 트리거 신호를 발생시킬 수 있다. 제1 지연 시간(d1)은 제2 지연 시간(d2)보다 클 수 있다. 따라서, 제1 트리거 신호가 제2 트리거 신호보다 지연되어 발생될 수 있다.The first trigger signal generator 122 may generate the first trigger signal after the first delay time d1 elapses after sensing the laser modulation signal. On the other hand, the second trigger signal generator 132 may generate the second trigger signal after the second delay time d2 elapses after sensing the laser modulation signal. The first delay time d1 may be greater than the second delay time d2. Therefore, the first trigger signal can be generated with a delay than the second trigger signal.

시드 레이저 광이 증폭되는 비율은 이득 매질(138)에 저장된 에너지 량에 의존할 수 있다. 또한, 이득 매질(138)에 저장된 에너지 량은 시드 레이저 광이 이득 매질(138)에 입사되기 전까지 펌핑 광이 이득 매질(138)에 방출된 시간에 의존할 수 있다. 따라서, 제1 지연 시간(d1)과 제2 지연 시간(d2) 사이의 차이는 시드 레이저 광 증폭을 위해 요구되는 펌핑 광 조사 시간에 의존할 수 있다. 또한, 제1 지연 시간(d1)과 제2 지연 시간(d2) 사이의 차이는 펌핑 광의 펄스 폭에 따라 변경될 수도 있다.The rate at which the seed laser light is amplified may depend on the amount of energy stored in the gain medium 138. The amount of energy stored in the gain medium 138 may also depend on the time that the pumping light is emitted to the gain medium 138 before the seed laser light is incident on the gain medium 138. Therefore, the difference between the first delay time d1 and the second delay time d2 may depend on the pumping light irradiation time required for the seed laser light amplification. Further, the difference between the first delay time d1 and the second delay time d2 may be changed according to the pulse width of the pumping light.

도 6 및 도 7은 레이저 변조 신호와 시드 레이저 광의 출력 파워 및 펌핑 광의 출력 파워를 예시적으로 나타낸 도면이다.Figs. 6 and 7 are diagrams showing exemplary output powers of the laser modulation signal and the seed laser light and output powers of pumping light.

도 6 및 도 7에서 (a) 그래프는 레이저 변조 신호 발생기(110)에서 발생되는 레이저 변조 신호의 시간에 따른 강도 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (b) 그래프는 시드 레이저 광 발생기에서 방출되는 시드 레이저 광의 시간에 따른 출력 파워 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (c) 그래프는 광 펌핑 장치(134)에서 방출되는 펌핑 광의 시간에 따른 출력 파워 변화를 나타낸 그래프이다. 6 and 7 are graphs showing changes in intensity of the laser modulation signal generated in the laser modulation signal generator 110 with time. The graph (b) is a graph showing an output power change with time of the seed laser light emitted from the seed laser light generator. The graph (c) is a graph showing an output power change with time of the pumping light emitted from the optical pumping device 134.

도 6을 참조하면, 시드 레이저 광이 펌핑 광보다 좀 더 지연되어 방출될 수 있다. 또한, 펌핑 광과 시드 레이저 광은 레이저 변조 신호가 발생될 때 마다 임 펄스 형태로 방출될 수 있다. 펌핑 광은 시드 레이저 광의 강도가 최대가 되는 시점에서 방출이 종료될 수 있다. 다른 예로, 도 7을 참조하면, 펌핑 광은 시드 레이저 광이 발생되기 직전에 방출이 종료될 수 있다.Referring to FIG. 6, the seed laser light can be emitted more delayed than the pumping light. In addition, the pumping light and the seed laser light may be emitted in an impulse form every time a laser modulation signal is generated. The pumping light can be terminated at the point when the intensity of the seed laser light becomes maximum. As another example, referring to FIG. 7, the pumping light may be terminated immediately before the seed laser light is generated.

즉, 펌핑 광은 시드 레이저 광이 방출되기 전부터 시드레이저 광의 강도가 최대가 되는 시간 구간 중 어느 한 시점까지만 방출될 수 있다. 일 예로 시드 레이저 광의 강도가 최대가 되는 시점 또는 시드 레이저 광이 방출되기 직전에 펌핑 광의 방출이 종료될 수 있다. 펌핑 광이 전술한 시간 구간 까지만 방출되면, 펌핑 광의 에너지가 모두 시드 레이저 광을 증폭하는 데 사용될 수 있다. 따라서, 시드 레이저 광이 증폭되어 출력된 후, 불 필요한 에너지가 이득 매질(138)에 남아있는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이득 매질(138)에 공급하는 에너지 소모량 또한 줄일 수 있다. That is, the pumping light can be emitted only up to a point in time during which the intensity of the seed laser light is maximized before the seed laser light is emitted. For example, the emission of the pumping light may be terminated at the time when the intensity of the seed laser light becomes maximum or immediately before the seed laser light is emitted. If the pumping light is emitted only up to the time interval described above, the energy of the pumping light can all be used to amplify the seed laser light. Therefore, it is possible to prevent unnecessary energy from remaining in the gain medium 138 after the seed laser light is amplified and output. Also, the amount of energy consumed to be supplied to the gain medium 138 can be reduced.

펌핑 광이 방출이 종료되는 시점과 시드 레이저 광의 방출이 시작 또는 최대가 되는 시점은, 펌핑 광의 펄스 폭 및 제1 트리거 신호와 제2 트리거 신호가 발생되는 시간차를 조절함으로써 같아질 수 있다. 펌핑 광이 시드 레이저 광의 방출이 시작 또는 최대가 되는 시점까지만 방출되도록 하면, 이득 매질(138)에 저장되는 에너지가 시드 레이저 광을 증폭하는데 사용되는 비율을 높일 수 있다. 또한, 펌핑 광을 방출하는데 필요한 전력을 작게 할 수 있다.The time point at which the emission of the pumping light is terminated and the point at which the emission of the seed laser light starts or becomes maximum can be equalized by adjusting the pulse width of the pumping light and the time difference in which the first trigger signal and the second trigger signal are generated. The amount of energy stored in the gain medium 138 can be used to amplify the seed laser light when pumping light is emitted only to the point where the emission of the seed laser light starts or becomes maximum. In addition, the power required to emit pumping light can be reduced.

도 8은 도 6에서 나타낸 바와 같이 시드 레이저 광과 펌핑 광이 방출 됨에 따라 이득 매질에 저장된 에너지 량 변화와 출력 레이저의 광 파워 변화를 나타낸 그래프이다.FIG. 8 is a graph showing changes in energy amount stored in the gain medium and optical power variation of the output laser as seed laser light and pumping light are emitted as shown in FIG.

도 8에서 (a) 그래프는 시드 레이저 광의 시간에 따른 출력 파워 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (b) 그래프는 펌핑 광의 시간에 따른 출력 파워 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (c) 그래프는 이득 매질(138)에 저장된 에너지 량의 시간에 따른 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (d) 그래프는 출력 레이저 광의 시간에 따른 출력 파워 변화를 나타낸 그래프이다.In FIG. 8, (a) is a graph showing an output power change with time of the seed laser beam. The graph (b) is a graph showing the change in output power with time of the pumping light. The graph (c) is a graph showing a change with time of the amount of energy stored in the gain medium 138. (D) is a graph showing the output power variation of the output laser light with time.

도 8을 참조하면, 펌핑 광이 방출되는 동안 이득 매질(138)에 저장된 에너지 량이 증가할 수 있다. 그리고, 시드 레이저 광이 방출되면, 이득 매질(138)에서 출력 레이저 광이 방출되면서 이득 매질에 저장된 에너지 량이 줄어들 수 있다. 시드 레이저 광과 펌핑 광이 함께 동기화 되어 방출되기 때문에 이득 매질에 저장된 에너지 량이 허용 치를 초과하지 않을 수 있다. 또한, 시드 레이저 광이 방출되기 전에 펌핑 광이 방출되기 때문에 시드 레이저 광이 방출되었을 때, 이득 매질(138)에 증폭을 위한 에너지가 저장되어 있을 수 있다. 또한, 시드 레이저 광이 방출된 후, 펌핑 광이 방출되지 않기 때문에 이득 매질(138)에 불 필요한 에너지가 축적되는 것을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 8, the amount of energy stored in the gain medium 138 may increase while the pumping light is emitted. When the seed laser light is emitted, the amount of energy stored in the gain medium can be reduced as the output laser light is emitted from the gain medium 138. The amount of energy stored in the gain medium may not exceed the allowable value since the seed laser light and the pumping light are emitted synchronously together. Further, since the pumping light is emitted before the seed laser light is emitted, energy for amplification may be stored in the gain medium 138 when the seed laser light is emitted. In addition, since the pumping light is not emitted after the seed laser beam is emitted, unnecessary energy can be prevented from accumulating in the gain medium 138.

도 9는 시드 레이저 광이 비 주기적으로 방출되는 경우를 나타낸 도면이다.9 is a diagram showing a case where seed laser light is emitted non-periodically.

도 9에서 (a) 그래프는 시드 레이저 광의 시간에 따른 출력 파워 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (b) 그래프는 펌핑 광의 시간에 따른 출력 파워 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (c) 그래프는 이득 매질(138)에 저장된 에너지 량의 시간에 따른 변화를 나타낸 그래프이다. 또한, (d) 그래프는 출력 레이저 광의 시간에 따른 출력 파워 변화를 나타낸 그래프이다.9 (a) is a graph showing the change in output power of the seed laser light with time. The graph (b) is a graph showing the change in output power with time of the pumping light. The graph (c) is a graph showing a change with time of the amount of energy stored in the gain medium 138. (D) is a graph showing the output power variation of the output laser light with time.

도 9을 참조하면, 시드 레이저 광이 방출되지 않는 구간에서 펌핑 광 또한 방출되지 않을 수 있다. 도 2의 경우, 펌핑 광이 일정하게 방출되는 경우, 시드 레이저 광이 비 주기적으로 방출되게 되면 이득 매질(138)에 저장된 에너지가 과다해져 이득 매질(138)이 손상될 수 있다. 하지만, 도 8의 경우, 펌핑 광 또한 제2 트리거 신호에 의해 동기화 되어 방출되기 때문에, 시드 레이저 광이 방출되지 않는 시간 구간에서 펌핑 광이 방출되지 않을 수 있다. 또한, 시드 레이저 광의 증폭 비율은 펌핑 광의 펄스 폭에 의해 결정될 수 있다. 따라서, 이득 매질(138)에 저장된 에너지 량이 과다해지는 것을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 9, pumping light may also not be emitted in an interval in which seed laser light is not emitted. In the case of FIG. 2, when the pumping light is uniformly emitted, the energy stored in the gain medium 138 becomes excessive when the seed laser light is emitted non-periodically, and the gain medium 138 may be damaged. However, in the case of FIG. 8, since the pumping light is also emitted synchronously by the second trigger signal, the pumping light may not be emitted in a time period during which the seed laser light is not emitted. Further, the amplification ratio of the seed laser light can be determined by the pulse width of the pumping light. Therefore, it is possible to prevent the amount of energy stored in the gain medium 138 from becoming excessive.

도 10는 도 3 내지 도 9를 참조하여 설명한 레이저 장치(100)를 이용한 레이저 발생방법을 나타낸 흐름도이다.10 is a flowchart showing a laser generating method using the laser device 100 described with reference to Figs. 3 to 9. Fig.

도 10의 실시예를 설명함에 있어서, 도 3 내지 도 9와 중복되는 내용은 생략한다.In the following description of the embodiment of FIG. 10, the overlapping description with FIGS. 3 to 9 will be omitted.

도 10을 참조하면, 예시적인 실시예에 따른 레이저 발생방법은, 레이저 변조 신호를 발생시키는 단계(1110), 레이저 변조 신호로부터 제1 트리거 신호를 발생 시키는 단계(1120), 레이저 변조 신호로부터 제2 트리거 신호를 발생 시키는 단계(1130), 제1 트리거 신호에 의해 동기화 되어 시드 레이저 광을 이득 매질(138)에 방출하는 단계(1140) 및 제2 트리거 신호에 의해 동기화 되어 펌핑 광을 상기 이득 매질(138)에 방출하는 단계(1150)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 10, a method of generating a laser according to an exemplary embodiment includes generating 1110 a laser modulated signal, generating 1114 a first trigger signal from the laser modulated signal, (1140) synchronized by the first trigger signal to release the seed laser light into the gain medium (138), and generating a pumping light synchronized by the second trigger signal to generate the pumping light in the gain medium 138). ≪ / RTI >

1110 단계에서, 레이저 변조 신호 발생기(110)는 레이저 변조 신호를 발생시킬 수 있다. 레이저 변조 신호는 소정의 펄스 신호로 주기적 또는 비 주기적으로 발생될 수 있다.In step 1110, the laser modulation signal generator 110 may generate a laser modulation signal. The laser modulated signal may be generated periodically or aperiodically with a predetermined pulse signal.

1120 단계에서, 제1 트리거 신호 발생기(122)는 레이저 변조 신호를 수신하고, 제1 트리거 신호를 발생시킬 수 있다. 제1 트리거 신호는 시드 레이저 발생 장치(124)를 동기화 할 수 있다.In step 1120, the first trigger signal generator 122 may receive the laser modulated signal and generate a first trigger signal. The first trigger signal can synchronize the seed laser generator 124.

1130 단계에서, 제2 트리거 신호 발생기(132)는 레이저 변조 신호를 수신하고, 제2 트리거 신호를 발생시킬 수 있다. 제2 트리거 신호는 광 펌핑 장치(134)를 동기화 할 수 있다.In step 1130, the second trigger signal generator 132 may receive the laser modulated signal and generate a second trigger signal. The second trigger signal can synchronize the optical pumping device 134.

제1 트리거 신호와 제2 트리거 신호는 각각 레이저 변조 신호가 발생된 후, 서로 다른 지연 시간이 경과한 후에 발생될 수 있다. 예를 들어, 제1 트리거 신호는 제2 트리거 신호보다 지연되어 발생될 수 있다. 그리고, 시드 레이저 광은 펌핑 광보다 지연되어 방출될 수 있다.The first trigger signal and the second trigger signal may be generated after a different delay time has elapsed after the laser modulation signal is generated, respectively. For example, the first trigger signal may be generated more delayed than the second trigger signal. And, the seed laser light can be emitted later than the pumping light.

1140 단계에서, 시드 레이저 광 발생 장치(124)는 이득 매질(138)에 시드 레이저 광을 방출할 수 있다. 또한, 1150 단계에서, 광 펌핑 장치(134)는 이득 매질(138)에 펌핑 광을 방출할 수 있다. 시드 레이저 광과 펌핑 광이 방출되는 시점은 각각 제1 및 제2 트리거 신호의 발생 시점에 의해 결정될 수 있다.In step 1140, the seed laser light generator 124 may emit seed laser light into the gain medium 138. Additionally, in step 1150, the optical pumping device 134 may emit pumping light into the gain medium 138. The timing at which the seed laser light and the pumping light are emitted may be determined by the generation timing of the first and second trigger signals, respectively.

광 펌핑 장치(134)는 제2 트리거 신호를 수신할 때 마다 임 펄스 광으로 펌핑 광을 이득 매질(138)에 방출할 수 있다. 임 펄스 광의 펄스 폭은 기 설정된 시드 레이저 광의 증폭 비율에 의존할 수 있다. 또한, 1140 단계에서, 광 펌핑 장치(134)는 시드 레이저 광의 강도가 최대일 때, 임 펄스 광으로 방출되는 펌핑 광의 방출을 종료할 수 있다. 전술한 바와 같이, 펌핑 광의 방출을 조절함으로써, 펌핑 광의 전력 소모를 줄이고, 이득 매질(138)에 저장되는 에너지를 효율적으로 관리할 수 있다.The optical pumping device 134 may emit pumping light into the gain medium 138 with impinging light whenever it receives the second trigger signal. The pulse width of the impulse light may depend on the amplification rate of the predetermined seed laser light. Further, in step 1140, the optical pumping device 134 may terminate the emission of the pumping light emitted in the impulse light when the intensity of the seed laser light is at its maximum. As described above, by regulating the emission of the pumping light, power consumption of the pumping light can be reduced, and energy stored in the gain medium 138 can be efficiently managed.

이상에서 도 1 내지 도 10을 참조하여, 비교예 및 예시적인 실시예에 따른 레이저 장치와 레이저 장치를 이용한 레이저 발생방법에 관하여 설명하였다. 실시예 들에 따르면, 광 펌핑 장치(134)가 트리거 신호에 의해 동기화 되어 펌핑 광을 이득 매질(138)에 방출할 수 있다. 이를 통해, 이득 매질(138)에 과도한 에너지가 저장되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 광 펌핑 장치(134)의 전력 소비를 줄일 수 있다.Hereinabove, with reference to Figs. 1 to 10, the laser device and the laser generating method using the laser device according to the comparative example and the exemplary embodiment have been described. According to embodiments, the optical pumping device 134 may be synchronized by a trigger signal to emit pumping light into the gain medium 138. [ This can prevent excess energy from being stored in the gain medium 138. Also, the power consumption of the optical pumping device 134 can be reduced.

이상의 설명에서 많은 사항들이 구체적으로 기재되어 있으나, 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 때문에 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정해질 것이 아니고 특허 청구범위에 기재된 기술적 사상에 의해 정해져야 한다.While a number of embodiments have been described in detail above, they should be construed as examples of preferred embodiments rather than limiting the scope of the invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the described embodiments but should be determined by the technical idea described in the claims.

110 : 레이저 변조 신호 발생기
122 : 제1 트리거 신호 발생기
132 : 제2 트리거 신호 발생기
124 : 시드 레이저 발생 장치
134 : 광 펌핑 장치
138 : 이득 매질
134a : 레이저 다이오드
134b : 전류 공급부
110: laser modulation signal generator
122: first trigger signal generator
132: second trigger signal generator
124: Seed laser generator
134: Optical pumping device
138: gain medium
134a: Laser diode
134b:

Claims (15)

레이저 변조 신호를 발생시키는 레이저 변조 신호 발생기;
상기 레이저 변조 신호를 수신하여, 제1 트리거 신호를 발생 시키는 제1 트리거 신호 발생기;
상기 레이저 변조 신호를 수신하여, 제2 트리거 신호를 발생 시키는 제2 트리거 신호 발생기;
상기 제1 트리거 신호에 의해 동기화 되어 시드 레이저 광을 이득 매질에방출하는 시드 레이저 발생장치; 및
상기 제2 트리거 신호에 의해 동기화 되어 펌핑 광을 상기 이득 매질에 방출하는 광 펌핑 장치;를 포함하고,
상기 광 펌핑 장치는 상기 펌핑 광을 임펄스 광으로 방출하며,
상기 임펄스 광의 펄스 폭은 기 설정된 상기 시드 레이저 광의 증폭 비율에 의존하는 레이저 장치.
A laser modulation signal generator for generating a laser modulation signal;
A first trigger signal generator for receiving the laser modulated signal and generating a first trigger signal;
A second trigger signal generator for receiving the laser modulated signal and generating a second trigger signal;
A seed laser generator synchronized by the first trigger signal to emit the seed laser light into the gain medium; And
And an optical pumping device synchronized by the second trigger signal to emit pumping light into the gain medium,
The optical pumping device emits the pumping light as impulse light,
Wherein the pulse width of the impulse light depends on an amplification rate of the seed laser light set in advance.
제 1 항에 있어서,
상기 광 펌핑 장치는 레이저 다이오드를 포함하는 레이저 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the optical pumping device comprises a laser diode.
제 2 항에 있어서,
상기 광 펌핑 장치는 상기 레이저 다이오드에 전류를 공급하는 전류 공급부를 더 포함하며, 상기 전류 공급부는 상기 제2 트리거 신호에 의해 동기화 되어 전류 레벨을 변경하는 레이저 장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the optical pumping device further comprises a current supplying part for supplying current to the laser diode, and the current supplying part is synchronized by the second trigger signal to change the current level.
제 1 항에 있어서,
상기 제2 트리거 신호 발생기는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 소정의 지연 시간이 지난 후, 상기 제2 트리거 신호를 발생 시키는 레이저 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the second trigger signal generator receives the laser modulated signal and generates the second trigger signal after a predetermined delay time.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 트리거 신호 발생기는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 제1 지연 시간이 지난 후, 상기 제1 트리거 신호를 발생 시키며, 상기 제2 트리거 신호 발생기는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 제2 지연 시간이 지난 후, 상기 제2 트리거 신호를 발생 시키며,
상기 제2 지연 시간은 상기 제1 지연 시간보다 큰 레이저 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the first trigger signal generator receives the laser modulated signal and generates the first trigger signal after a first delay time and the second trigger signal generator receives the laser modulated signal and a second delay time After this, the second trigger signal is generated,
Wherein the second delay time is larger than the first delay time.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 광 펌핑 장치는, 상기 시드 레이저 광이 발생되기 직전부터 상기 시드 레이저 광의 강도가 최대가 되는 시간 구간 중 어느 한 시점에 상기 임펄스 광의 방출이 종료되도록 하는 레이저 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the optical pumping device is configured to terminate the emission of the impulse light at any point in time during which the intensity of the seed laser light becomes maximum from immediately before the generation of the seed laser light.
레이저 변조 신호를 발생시키는 단계;
상기 레이저 변조 신호로부터 제1 트리거 신호를 발생 시키는 단계;
상기 레이저 변조 신호로부터 제2 트리거 신호를 발생 시키는 단계;
상기 제1 트리거 신호에 의해 동기화 되어 시드 레이저 광을 이득 매질에 방출하는 단계;
상기 제2 트리거 신호에 의해 동기화 되어 펌핑 광을 상기 이득 매질에 방출하는 단계;를 포함하고,
상기 펌핑 광을 상기 이득 매질에 방출하는 단계는, 상기 펌핑 광을 임펄스 광으로 방출하며,
상기 임펄스 광의 펄스 폭은 기 설정된 상기 시드 레이저 광의 증폭 비율에 의존하는 레이저 발생 방법.
Generating a laser modulated signal;
Generating a first trigger signal from the laser modulated signal;
Generating a second trigger signal from the laser modulated signal;
Synchronizing with the first trigger signal to emit the seed laser light into the gain medium;
And synchronizing by the second trigger signal to emit pumping light into the gain medium,
The step of emitting the pumping light to the gain medium may include emitting the pumping light as impulse light,
Wherein a pulse width of the impulse light is dependent on a predetermined amplification rate of the seed laser light.
제 9 항에 있어서,
상기 펌핑 광을 상기 이득 매질에 방출하는 단계는,
상기 제2 트리거 신호에 의해 레이저 다이오드에 공급하는 전류 레벨을 변경하는 레이저 발생 방법.
10. The method of claim 9,
The step of emitting the pumping light to the gain medium comprises:
And changes the current level supplied to the laser diode by the second trigger signal.
제 9 항에 있어서,
상기 제2 트리거 신호를 발생 시키는 단계는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 소정의 지연 시간이 지난 후, 상기 제2 트리거 신호를 발생 시키는 레이저 발생 방법.
10. The method of claim 9,
Wherein generating the second trigger signal comprises receiving the laser modulated signal and generating the second trigger signal after a predetermined delay time.
제 9 항에 있어서,
상기 제1 트리거 신호를 발생 시키는 단계는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 제1 지연 시간이 지난 후, 상기 제1 트리거 신호를 발생 시키며, 상기 제2 트리거 신호를 발생 시키는 단계는 상기 레이저 변조 신호를 수신하고 제2 지연 시간이 지난 후, 상기 제2 트리거 신호를 발생 시키며,
상기 제2 지연 시간은 상기 제1 지연 시간보다 큰 레이저 발생 방법.
10. The method of claim 9,
Wherein generating the first trigger signal comprises receiving the laser modulated signal and generating the first trigger signal after a first delay time and generating the second trigger signal comprises receiving the laser modulated signal And after the second delay time, generating the second trigger signal,
Wherein the second delay time is greater than the first delay time.
삭제delete 삭제delete 제 9 항에 있어서,
상기 펌핑 광을 이득 매질에 방출하는 단계는, 시드 레이저 광이 발생되기 직전부터 상기 시드 레이저 광의 강도가 최대가 되는 시간 구간 중 어느 한 시점에 상기 임 펄스 광의 방출이 종료되도록 하는 레이저 발생 방법.
10. The method of claim 9,
Wherein the step of emitting the pumping light to the gain medium causes the emission of the impulse light to be terminated at any point in time during which the intensity of the seed laser light becomes maximum from immediately before the seed laser light is generated.
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