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KR102044137B1 - Organic electro luminescent device and method of fabricating the same - Google Patents

Organic electro luminescent device and method of fabricating the same Download PDF

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KR102044137B1
KR102044137B1 KR1020130075526A KR20130075526A KR102044137B1 KR 102044137 B1 KR102044137 B1 KR 102044137B1 KR 1020130075526 A KR1020130075526 A KR 1020130075526A KR 20130075526 A KR20130075526 A KR 20130075526A KR 102044137 B1 KR102044137 B1 KR 102044137B1
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light emitting
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bank
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이경하
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Abstract

본 발명은, 다수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 형성된 제 1 전극과; 상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 제 1 높이를 가지며 각 화소영역을 둘러싸는 형태로 형성된 뱅크와; 상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 상부로 상기 표시영역 전면에 끊김없이 제 1 두께를 가지며 형성되며 상기 뱅크에 대응하는 부분이 돌출된 구성을 이루는 제 2 전극과; 제 2 두께를 가지며, 상기 뱅크와 제 2 전극 사이 또는 상기 제 2 전극 위로 제 2 두께를 가지며 상기 뱅크로 인해 돌출된 부분에 대응하여 선택적으로 형성된 보조배선을 포함하는 유기전계 발광소자 및 이의 제조 방법을 제공한다.The present invention provides a display device comprising: a first substrate on which a display area having a plurality of pixel areas is defined; A first electrode formed on each of the pixel areas on the first substrate; A bank overlapping an edge of each of the first electrodes and having a first height in the display area and surrounding each pixel area; An organic emission layer formed on each of the first electrodes surrounded by the banks; A second electrode formed on the organic light emitting layer, the first electrode having a first thickness on the entire display area, and configured to protrude from a portion corresponding to the bank; An organic light emitting device having a second thickness and comprising an auxiliary line selectively formed corresponding to a portion protruding by the bank and having a second thickness between the bank and the second electrode or over the second electrode, and a method of manufacturing the same. To provide.

Description

유기전계 발광소자 및 이의 제조 방법{Organic electro luminescent device and method of fabricating the same}Organic electroluminescent device and method of manufacturing the same {Organic electro luminescent device and method of fabricating the same}

본 발명은 유기전계 발광소자(organic electro luminescent device)에 관한 것이며, 특히 상부발광 방식의 구조에서 저저항 특성을 유지하면서도 캐소드 전극의 투과율을 향상시킬 수 있는 유기전계 발광소자 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same, which can improve the transmittance of a cathode electrode while maintaining low resistance in a top emitting structure. .

평판 디스플레이(FPD; Flat Panel Display)중 하나인 유기전계 발광소자는 높은 휘도와 낮은 동작 전압 특성을 갖는다. 또한 스스로 빛을 내는 자체발광형이기 때문에 명암대비(contrast ratio)가 크고, 초박형 디스플레이의 구현이 가능하며, 응답시간이 수 마이크로초(㎲) 정도로 동화상 구현이 쉽고, 시야각의 제한이 없으며 저온에서도 안정적이고, 직류 5 내지 15V의 낮은 전압으로 구동하므로 구동회로의 제작 및 설계가 용이하다.Organic light emitting diodes, which are one of flat panel displays (FPDs), have high luminance and low operating voltage characteristics. In addition, the self-luminous self-illuminating type provides high contrast ratio, enables ultra-thin display, easy response time with several microsecond response time, no restriction on viewing angle, and stable at low temperatures. Since it is driven at a low voltage of 5 to 15V DC, it is easy to manufacture and design a driving circuit.

또한, 상기 유기전계 발광소자의 제조공정은 증착(deposition) 및 인캡슐레이션(encapsulation) 장비가 전부라고 할 수 있기 때문에 제조 공정이 매우 단순하다. In addition, the manufacturing process of the organic light emitting device is very simple because the deposition (deposition) and encapsulation (encapsulation) equipment is all.

따라서, 전술한 바와 같은 장점을 갖는 유기전계 발광소자는 최근에는 TV, 모니터, 핸드폰 등 다양한 IT기기에 이용되고 있다. Therefore, the organic light emitting device having the above-described advantages has been recently used in various IT devices such as TVs, monitors, and mobile phones.

이하, 유기전계 발광 소자의 기본적인 구조에 대해서 조금 더 상세히 설명한다. Hereinafter, the basic structure of the organic EL device will be described in more detail.

유기전계 발광소자는 크게 어레이 소자와 유기전계 발광 다이오드로 이루지고 있다. 상기 어레이 소자는 게이트 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 유기전계 발광 다이오드와 연결된 구동 박막트랜지스터로 이루어지며, 상기 유기전계 발광 다이오드는 상기 구동 박막트랜지스터와 연결된 제 1 전극과 유기 발광층 및 제 2 전극으로 이루어지고 있다.The organic light emitting device is largely composed of an array device and an organic light emitting diode. The array element includes a switching thin film transistor connected to a gate and a data line, and a driving thin film transistor connected to the organic light emitting diode. The organic light emitting diode includes a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode connected to the driving thin film transistor. It consists of electrodes.

이러한 구성을 갖는 유기전계 발광소자는 상기 유기 발광층으로부터 발생된 빛은 상기 제 1 전극 또는 제 2 전극을 향해 출사됨으로써 화상을 표시하게 된다. 이러한 유기전계 발광소자는 개구율 등을 고려할 때, 통상 상기 제 2 전극을 향해 출사되는 빛을 이용하여 화상을 표시하는 상부 발광 방식으로 제조되고 있다.In the organic light emitting device having such a configuration, light generated from the organic light emitting layer is emitted toward the first electrode or the second electrode to display an image. Such an organic light emitting device is manufactured by a top emission method of displaying an image by using light emitted toward the second electrode in consideration of an aperture ratio and the like.

하지만, 유기전계 발광소자 제조 특성 상, 유기 발광층 상부에 위치하는 제 2 전극은 상기 유기 발광층의 손상 방지를 위해 일반적인 금속물질의 증착법인 스퍼터링법에 의해 형성될 수 없으며, 따라서 유기 발광층에 거의 손상을 주지 않는 진공 열 증착에 의해 형성되고 있는 실정이다.However, due to the manufacturing characteristics of the organic light emitting device, the second electrode located above the organic light emitting layer cannot be formed by sputtering, which is a deposition method of a general metal material, to prevent damage to the organic light emitting layer, and thus almost no damage to the organic light emitting layer. It is the situation formed by vacuum heat vapor deposition which is not known.

한편, 상기 제 1 전극은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 이루어지고 있으며, 제 2 전극은 캐소드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 낮은 금속물질로서 이루어지고 있다. Meanwhile, the first electrode is made of indium tin oxide (ITO), a transparent conductive material having a high work function value to serve as an anode electrode, and the second electrode has a low work function value to serve as a cathode electrode. It is made of metal material.

그러나, 캐소드 전극의 역할을 하는 상기 제 2 전극을 이루는 일함수 값이 낮은 금속물질은 불투명한 특성을 가지므로, 이러한 불투명한 금속을 일반적인 전극의 두께를 갖도록 즉, 1000Å 내지 4000Å의 두께로 형성하면 빛이 투과할 수 없다. However, since the metal material having a low work function value constituting the second electrode serving as a cathode electrode has an opaque property, when the opaque metal is formed to have a general electrode thickness, that is, a thickness of 1000 kPa to 4000 kPa Light cannot penetrate.

따라서, 낮은 일함수 값을 가지며 불투명한 금속물질로 이루어진 제 2 전극은 투명성을 확보하기 위해 불투명한 금속물질로 이루어지는 하부층을 10Å 내지 200Å정도의 두께를 갖도록 형성하고 있다. Therefore, in order to secure transparency, the second electrode having a low work function value and an opaque metal material is formed to have a thickness of about 10 kPa to about 200 kPa.

이 경우, 상기 제 2 전극의 빛 투과도는 15% 이상이 되므로 일반적인 표시장치의 휘도 수준이 되고 있다. In this case, since the light transmittance of the second electrode is 15% or more, the luminance level of the general display device is increased.

하지만, 상기 제 2 전극을 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖도록 형성하면, 그 면저항이 20Ω/□ 내지 1000Ω/□이 되며, 이 경우 상기 제 2 전극 자체의 면 저항이 높아 위치별 전압 강하 값이 차이가 커 최종적으로는 휘도 불균일 현상이 발생됨으로서 유기전계 발광소자의 표시품질을 저하시키는 문제가 발생되고 있다.However, when the second electrode is formed to have a thickness of about 10 k? To 200 k ?, the sheet resistance is 20 k? /? To 1000 k? / ?, and in this case, the sheet resistance of the second electrode itself is high, so that the voltage drop value for each position is different. As a result, a luminance non-uniformity phenomenon finally occurs, causing a problem of degrading display quality of the organic light emitting diode.

또한, 상기 제 2 전극의 높은 면적항에 의해 유기전계 발광소자 자체의 구동전압이 상대적으로 커지게 되므로 단위 시간당 소비전력이 증가되며 됨으로써 특히, 개인용 휴대 IT기기에 적용 시 빠른 배터리 소비를 야기시키는 문제가 발생되고 있는 실정이다.
In addition, since the driving voltage of the organic light emitting device itself is relatively increased due to the high area term of the second electrode, power consumption increases per unit time, thereby causing a rapid battery consumption when applied to a personal portable IT device. Is occurring.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 상부 발광 방식의 유기전계 발광 소자에 있어 유기 발광층 상부에 형성되어 캐소드 전극의 역할을 하는 제 2 전극의 저항을 낮추며 동시에 투과율을 향상시킬 수 있는 유기전계 발광소자 및 이의 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
The present invention has been made to solve the above problems, in the organic light emitting device of the top emission method is formed on the organic light emitting layer above the organic light emitting layer to lower the resistance of the second electrode acting as a cathode electrode and at the same time improve the transmittance An object of the present invention is to provide an electroluminescent device and a method of manufacturing the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자는, 다수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 형성된 제 1 전극과; 상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 제 1 높이를 가지며 각 화소영역을 둘러싸는 형태로 형성된 뱅크와; 상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 형성된 유기 발광층과; 상기 유기 발광층 상부로 상기 표시영역 전면에 끊김없이 제 1 두께를 가지며 형성되며 상기 뱅크에 대응하는 부분이 돌출된 구성을 이루는 제 2 전극과; 제 2 두께를 가지며, 상기 뱅크와 제 2 전극 사이 또는 상기 제 2 전극 위로 상기 뱅크로 인해 돌출된 부분에 대응하여 선택적으로 형성된 보조배선을 포함한다. An organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention for achieving the above object comprises: a first substrate on which a display area having a plurality of pixel areas is defined; A first electrode formed on each of the pixel areas on the first substrate; A bank overlapping an edge of each of the first electrodes and having a first height in the display area and surrounding each pixel area; An organic emission layer formed on each of the first electrodes surrounded by the banks; A second electrode formed on the organic light emitting layer, the first electrode having a first thickness on the entire display area, and configured to protrude from a portion corresponding to the bank; And an auxiliary line having a second thickness and selectively formed corresponding to a portion protruded by the bank between the bank and the second electrode or over the second electrode.

이때, 상기 제 1 전극은 반사성을 갖는 금속물질로 이루어진 하부층과 투명 도전성 물질로 이루어진 상부층의 이중층 구조를 이루는 것이 특징이다.In this case, the first electrode is characterized by forming a double layer structure of a lower layer made of a reflective metal material and an upper layer made of a transparent conductive material.

그리고 상기 제 2 전극은 상기 제 1 전극보다 작은 일함수 값을 갖는 금속물질인 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어진 것이 특징이며, 상기 보조배선은 저 저항 특성을 갖는 도전성 물질인 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나의 물질로 이루어진 것이 특징이다.The second electrode may be a metal material having a work function value smaller than that of the first electrode, such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), or aluminum magnesium alloy ( AlMg), one or two or more of the materials, and the auxiliary wiring is a conductive material having a low resistance characteristics of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), gold (Au), silver ( Ag) is characterized in that it is made of any one material.

그리고 상기 제 1 높이는 1 내지 10㎛ 이며, 상기 제 1 두께는 10 내지 200Å이며, 상기 제 2 두께는 1000 내지 4000Å인 것이 특징이다.The first height is 1 to 10 µm, the first thickness is 10 to 200 µs, and the second thickness is 1000 to 4000 µs.

또한, 상기 보조배선은 상기 표시영역 외측의 비표시영역까지 연장 형성되어 신호전압 인가를 위한 Vss배선과 연결된 구성을 이루는 것이 특징이다. In addition, the auxiliary line extends to the non-display area outside the display area to form a configuration connected to the Vss wire for applying the signal voltage.

한편, 상기 제 1 전극 하부로, 상기 제 1 기판 상에는 서로 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선 또는 데이터 배선이 형성된 동일한 층에 이들 배선과 나란하게 이격하며 형성된 전원배선과; 상기 각 화소영역에 구비되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원배선 및 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와; 상기 표시영역 전면에 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 덮으며 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키며 형성된 보호층을 포함하며, 상기 제 1 전극은 상기 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하며 형성된 것이 특징이다.On the other hand, a gate and a data line below the first electrode and on the first substrate to define the pixel area crossing each other; A power supply wiring formed on the same layer on which the gate wiring or data wiring is formed and spaced apart from the wiring; A switching thin film transistor provided in each pixel area and connected to the gate line and the data line, and a driving thin film transistor connected to the power line and the switching thin film transistor; A protective layer formed over the display area to cover the switching and driving thin film transistor and to expose a drain electrode of the driving thin film transistor, wherein the first electrode is disposed in the pixel area over the protective layer. It is formed in contact with the drain electrode.

그리고 상기 제 1 기판에 대응하여 이와 마주하는 제 2 기판이 구비되거나, 또는 상기 보조배선 및 상기 제 2 전극과 접촉하며 상기 표시영역 전면을 덮는 형태로 상기 제 2 기판의 역할을 하는 인캡슐레이션막이 구비된 것이 특징이다.In addition, a second substrate facing the first substrate may be provided, or an encapsulation film serving as the second substrate may be in contact with the auxiliary wiring and the second electrode and cover the entire surface of the display area. It is characterized by the provision.

본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법은, 다수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 제 1 높이를 가지며 상기 각 화소영역을 둘러싸는 형태의 뱅크를 형성하는 단계와; 상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층 상부로 제 1 두께를 가지며 상기 표시영역 전면에 끊김없이 형성되며 상기 뱅크에 대응하는 부분이 돌출된 구성을 이루는 제 2 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 2 전극 위로 제 2 두께를 가지며 상기 뱅크로 인해 돌출된 부분에 대응하여 선택적으로 보조배선을 형성하는 단계를 포함한다. According to one or more exemplary embodiments, a method of manufacturing an organic light emitting display device includes: forming a first electrode for each pixel region on a first substrate on which a display region having a plurality of pixel regions is defined; Forming a bank in the display area, the bank overlapping an edge of the first electrode and having a first height and surrounding the pixel area; Forming an organic emission layer on each of the first electrodes surrounded by the banks; Forming a second electrode having a first thickness on the organic light emitting layer, the second electrode being formed on the entire surface of the display area without any break, and having a portion protruding from the bank; And selectively forming an auxiliary line in correspondence with a portion having a second thickness over the second electrode and protruding from the bank.

이때, 상기 제 2 전극 위로 제 2 두께를 가지며 상기 뱅크로 인해 돌출된 부분에 대응하여 선택적으로 보조배선을 형성하는 단계는, 스테이지와 그 표면에 블랭킷이 구비된 인쇄롤과 상기 인쇄롤에 도전성 잉크를 공급하는 잉크 공급 슬릿으로 구성된 롤 코팅 장치의 상기 스테이지 상에 상기 제 2 전극이 형성된 기판을 안착시키는 단계와; 상기 블랭킷 전면에 액체 상태의 도전성 잉크를 코팅하여 도전성 잉크층을 형성하는 단계와; 상기 스테이지를 일 방향으로 진행시킴과 동시에 상기 블랭킷을 상기 스테이지의 진행속도에 맞추어 일 방향으로 회전시켜 상기 도전성 잉크층과 상기 제 2 전극의 돌출된 부분과 접촉하도록 함으로서 상기 도전성 잉크층을 상기 제 2 기판의 돌출된 부분으로 전사시키는 단계와; 상기 제 2 전극 위로 전사된 도전성 잉크 패턴을 열 처리하여 경화시킴으로서 상기 보조배선을 형성하는 단계를 포함한다. At this time, the step of selectively forming the auxiliary wiring corresponding to the portion protruding by the bank and having a second thickness over the second electrode, the printing roll having a blanket on the stage and its surface and the conductive ink on the printing roll Mounting a substrate on which the second electrode is formed on the stage of the roll coating apparatus configured to supply ink; Coating a conductive ink in a liquid state on the entire surface of the blanket to form a conductive ink layer; While advancing the stage in one direction, the blanket is rotated in one direction according to the advancing speed of the stage so that the conductive ink layer is brought into contact with the protruding portions of the second electrode and the second electrode. Transferring to a protruding portion of the substrate; And forming the auxiliary line by heat treating and curing the conductive ink pattern transferred onto the second electrode.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법은, 다수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 제 1 높이를 가지며 상기 각 화소영역을 둘러싸는 형태의 뱅크를 형성하는 단계와; 상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 발광층 상부로 제 1 두께를 가지며 상기 표시영역 전면에 끊김없이 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 유기 발광층을 형성하기 전에 상기 뱅크에 대해서만 선택적으로 이의 상부로 제 2 두께를 갖는 보조배선을 형성하는 단계를 더 진행하는 것이 특징이다.According to still another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting display device, including: forming a first electrode for each pixel region on a first substrate on which a display region having a plurality of pixel regions is defined; Forming a bank in the display area, the bank overlapping an edge of the first electrode and having a first height and surrounding the pixel area; Forming an organic emission layer on each of the first electrodes surrounded by the banks; Forming a second electrode on the organic light emitting layer, the second electrode having a first thickness over the organic light emitting layer, and having a second thickness on top of the bank selectively only before forming the organic light emitting layer. It is characterized by further proceeding to form the wiring.

그리고 상기 뱅크에 대해서만 선택적으로 이의 상부로 제 2 두께를 갖는 보조배선을 형성하는 단계는, 스테이지와 그 표면에 블랭킷이 구비된 인쇄롤과 상기 인쇄롤에 도전성 잉크를 공급하는 잉크 공급 슬릿으로 구성된 롤 코팅 장치의 상기 스테이지 상에 상기 뱅크가 형성된 기판을 안착시키는 단계와; 상기 블랭킷 전면에 액체 상태의 도전성 잉크를 코팅하여 도전성 잉크층을 형성하는 단계와; 상기 스테이지를 일 방향으로 진행시킴과 동시에 상기 블랭킷을 상기 스테이지의 진행속도에 맞추어 일 방향으로 회전시켜 상기 도전성 잉크층과 상기 뱅크의 상면이 접촉하도록 함으로서 상기 도전성 잉크층을 상기 제 2 기판의 상기 뱅크 상면으로 전사시키는 단계와; 상기 뱅크의 상면으로 전사된 도전성 잉크 패턴을 열 처리하여 경화시킴으로서 상기 보조배선을 형성하는 단계를 포함한다. And selectively forming the auxiliary wiring having a second thickness thereon only for the bank, the roll comprising a stage, a printing roll having a blanket on the surface thereof, and an ink supply slit for supplying conductive ink to the printing roll. Mounting a substrate on which said bank is formed on said stage of a coating apparatus; Coating a conductive ink in a liquid state on the entire surface of the blanket to form a conductive ink layer; The conductive ink layer is brought into contact with the upper surface of the bank by contacting the conductive ink layer with the upper surface of the bank by advancing the stage in one direction and rotating the blanket in one direction at a traveling speed of the stage. Transferring to an upper surface; And forming the auxiliary line by heat treating and curing the conductive ink pattern transferred to the upper surface of the bank.

한편, 상기 도전성 잉크는 도전성 물질인 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나의 물질로 이루어진 수 내지 수십 나노미터의 크기를 갖는 다수의 입자와 솔벤트로 이루어진 것이 특징이며, 상기 제 1 높이는 1 내지 10㎛ 이며, 상기 제 1 두께는 10 내지 200Å이며, 상기 제 2 두께는 1000 내지 4000Å인 것이 특징이다.On the other hand, the conductive ink has a size of several to several tens of nanometers made of any one of a conductive material of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), gold (Au), silver (Ag). It is characterized by consisting of a plurality of particles and the solvent, the first height is 1 to 10㎛, the first thickness is 10 to 200Å, the second thickness is characterized in that 1000 to 4000Å.

그리고 상기 제 1 전극을 형성하기 이전에, 상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선 또는 데이터 배선이 형성된 동일한 층에 형성된 전원배선과, 상기 각 화소영역에 구비되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원배선 및 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와, 상기 표시영역 전면에 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 덮으며 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀을 갖는 보호층을 형성하는 단계를 더욱 진행하며, 상기 제 1 전극은 상기 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하도록 형성하는 것이 특징이다.
And before forming the first electrode, the gate and data lines defining the pixel area crossing each other on the first substrate, the power lines formed on the same layer on which the gate lines or data lines are formed, A switching thin film transistor provided in the pixel area, connected to the gate wiring and data wiring, a driving thin film transistor connected to the power supply wiring and the switching thin film transistor, and covering the switching and driving thin film transistor on the entire display area. Further, forming a protective layer having a drain contact hole exposing the drain electrode of the transistor, wherein the first electrode is a drain electrode of the driving thin film transistor through the drain contact hole in each pixel region over the protective layer It is characterized by forming in contact with .

본 발명에 따른 유기전계 발광 소자는, 상부발광 방식 유기전계 발광 소자는 상대적으로 낮은 일함수 값을 갖는 저 금속물질로 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 가지며 형성되는 캐소드 전극을 형성함으로서 투명성을 확보하며, 나아가 표시영역 전면에 대응하여 상기 캐소드 전극 상부로 뱅크와 중첩하여 형성됨으로서 표시영역 전면에서 격자형태를 갖는 저저항 특성을 갖는 금속물질로 이루어진 보조배선이 구비됨으로서 상기 캐소드 전극 자체의 저항 특성을 저감시켜 위치 별 전압 강하를 억제시키는 동시에 전압 강하에 따른 휘도 불균일을 억제하여 표시품질을 향상시키는 효과가 있다.
In the organic light emitting device according to the present invention, the top light emitting organic light emitting device is a low metal material having a relatively low work function value to ensure transparency by forming a cathode electrode having a thickness of about 10 ~ 200Å, Furthermore, since the auxiliary wiring formed of a metal material having a low resistance characteristic having a lattice shape on the front of the display area is formed by overlapping a bank on the cathode electrode corresponding to the entire surface of the display area, the resistance characteristic of the cathode electrode itself is reduced. In addition, it is possible to suppress the voltage drop per position and to suppress the luminance unevenness due to the voltage drop, thereby improving the display quality.

도 1은 일반적인 유기전계 발광소자의 한 화소에 대한 회로도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예의 일 변형예에 따른 유기전계 발광소자에 있어서 구동 박막트랜지스터에 대한 단면도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예의 또 다른 변형예에 따른 유기전계 발광소자에 있어서 구동 박막트랜지스터에 대한 단면도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자는 이의 평면 구성을 개략적으로 나타낸 평면도.
도 6은 비교예로서 보조전극 없는 종래의 유기전계 발광소자의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도.
도 7a 내지 도 7h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 도면.
도 8은 본 발명의 제 1 및 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자를 제조하는데 이용되는 롤 코팅장치를 개략적으로 도시한 도면.
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도.
도 10a 내지 도 10e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 단면도.
1 is a circuit diagram of one pixel of a general organic light emitting diode.
2 is a cross-sectional view of a portion of a display area of an organic light emitting diode according to a first exemplary embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view of a driving thin film transistor in an organic light emitting diode according to a modification of the first exemplary embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of a driving thin film transistor in an organic light emitting diode according to still another modification of the first exemplary embodiment of the present invention;
5 is a plan view schematically showing a planar configuration of an organic light emitting device according to a first embodiment of the present invention.
6 is a plan view schematically showing the configuration of a conventional organic light emitting device without an auxiliary electrode as a comparative example.
7A to 7H are process steps for manufacturing an organic light emitting diode according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 8 schematically illustrates a roll coating apparatus used to manufacture organic electroluminescent devices according to first and second embodiments of the present invention. FIG.
9 is a cross-sectional view of a part of a display area of an organic light emitting diode according to a second exemplary embodiment of the present invention.
10A through 10E are cross-sectional views illustrating manufacturing steps of an organic light emitting diode according to a second exemplary embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

우선, 유기전계 발광소자의 기본적인 구조 및 동작특성에 대해서 도면을 참조하여 상세히 설명한다. First, the basic structure and operation characteristics of the organic light emitting device will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 일반적인 유기전계 발광소자의 한 화소에 대한 회로도이다. 1 is a circuit diagram of one pixel of a general organic light emitting diode.

도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자에 있어 게이트 배선과 데이터 배선으로 둘러싸인 영역으로 정의되는 각 화소는 상기 게이트 배선과 데이터 배선 및 전원배선과, 스위칭(switching) 박막트랜지스터(STr) 및 구동(driving) 박막트랜지스터(DTr), 스토리지 커패시터(StgC) 그리고 유기전계 발광 다이오드(E)를 포함하여 구성되고 있다. As illustrated, each pixel defined as an area surrounded by gate wiring and data wiring in the organic light emitting diode includes the gate wiring, the data wiring, the power wiring, the switching thin film transistor STr, and the driving. A thin film transistor DTr, a storage capacitor StgC, and an organic light emitting diode E are included.

조금 더 상세히 유기전계 발광소자의 구성에 대해 설명하면, 제 1 방향으로 게이트 배선(GL)이 형성되어 있고, 이러한 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 형성되어 상기 각 화소영역(P)을 정의하며 데이터 배선(DL)이 형성되어 있으며, 상기 데이터 배선(DL)과 이격하며 전원전압을 인가하기 위한 전원배선(PL)이 형성되어 있다. The structure of the organic light emitting diode will be described in more detail. The gate line GL is formed in a first direction, and is formed in a second direction crossing the first direction to define each pixel area P. FIG. The data line DL is formed, and the power line PL is spaced apart from the data line DL to apply a power voltage.

또한, 각 화소 내부에 있어 상기 데이터 배선(DL)과 게이트 배선(GL)이 교차하는 부분에는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 형성되어 있으며, 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)와 전기적으로 연결된 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있다. In addition, a switching thin film transistor STr is formed at a portion where the data line DL and the gate line GL intersect within each pixel, and a driving thin film transistor STr electrically connected to the switching thin film transistor STr. DTr) is formed.

이때, 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 일측 단자인 제 1 전극은 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극과 연결되고, 타측 단자인 제 2 전극은 전원배선(PL)과 연결되고 있으며, 이에 의해 상기 전원배선(PL)은 전원전압을 상기 유기전계발광 다이오드(E)로 전달하게 된다. In this case, the first electrode, which is one terminal of the organic light emitting diode E, is connected to the drain electrode of the driving thin film transistor DTr, and the second electrode, which is the other terminal, is connected to the power line PL. As a result, the power line PL transfers a power supply voltage to the organic light emitting diode E.

또한, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극과 소스 전극 사이에는 스토리지 커패시터(StgC)가 형성되고 있다. In addition, a storage capacitor StgC is formed between the gate electrode and the source electrode of the driving thin film transistor DTr.

따라서, 상기 게이트 배선(GL)을 통해 신호가 인가되면 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 온(on) 되고, 상기 데이터 배선(DL)의 신호가 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전극에 전달되어 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 되므로 유기전계발광 다이오드(E)를 통해 빛이 출력된다. Therefore, when a signal is applied through the gate line GL, the switching thin film transistor STr is turned on, and the signal of the data line DL is transferred to the gate electrode of the driving thin film transistor DTr. Since the driving thin film transistor DTr is turned on, light is output through the organic light emitting diode E.

이때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)가 온(on) 상태가 되면, 상기 전원배선(PL)으로부터 유기전계발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨이 정해지며 이로 인해 상기 유기전계발광 다이오드(E)는 그레이 스케일(gray scale)을 구현할 수 있게 된다.At this time, when the driving thin film transistor DTr is in an on state, the level of the current flowing from the power supply line PL to the organic light emitting diode E is determined, and thus, the organic light emitting diode E It is possible to implement gray scale.

또한, 상기 스토리지 커패시터(StgC)는 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 되었을 때, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 게이트 전압을 일정하게 유지시키는 역할을 함으로써 상기 스위칭 박막트랜지스터(STr)가 오프(off) 상태가 되더라도 다음 프레임(frame)까지 상기 유기전계발광 다이오드(E)에 흐르는 전류의 레벨을 일정하게 유지할 수 있게 된다.
In addition, the storage capacitor StgC serves to maintain a constant gate voltage of the driving thin film transistor DTr when the switching thin film transistor STr is turned off, so that the switching thin film transistor STr is turned off. Even in the off state, the level of the current flowing through the organic light emitting diode E can be kept constant until the next frame.

이후에는 이러한 구동에 의해 화상을 표시하는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 구성에 대해 설명한다. Hereinafter, the configuration of the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention for displaying an image by such driving will be described.

도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위해 각 화소영역 내에 스위칭 박막트랜지스터가 형성될 영역을 스위칭 영역, 구동 박막트랜지스터가 형성될 영역을 구동영역이라 정의하였으며, 구동 박막트랜지스터는 각 화소영역별로 형성되지만, 도면에 있어서는 하나의 화소영역에 대해서만 나타내었다. 2 is a cross-sectional view of a part of a display area of an organic light emitting diode according to a first exemplary embodiment of the present invention. In this case, for convenience of description, a region in which the switching thin film transistor is to be formed in each pixel region is defined as a switching region and a region in which the driving thin film transistor is to be formed as a driving region, and the driving thin film transistor is formed for each pixel region. Only one pixel area is shown.

도시한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기전계 발광 다이오드(E)가 구비되며 표시영역(AA)에 있어 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 제 2 전극(158) 위로 각 화소영역(P)에 경계를 따라 격자형태를 이루며 저 저항 특성을 갖는 금속물질로 이루어진 보조배선(168)이 형성된 제 1 기판(110)과, 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 보호 및 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(170)으로 구성되고 있다. 이때, 상기 제 2 기판(170)은 무기절연막 또는(및) 유기절연막 등으로 대체되거나 또는 필름이 부착됨으로써 생략될 수 있다. As illustrated, the organic light emitting diode 101 according to the first exemplary embodiment of the present invention includes a driving and switching thin film transistor DTr (not shown) and an organic light emitting diode E and are disposed in the display area AA. The first substrate having the auxiliary wiring 168 formed of a metal material having a low resistance characteristic in a lattice shape along a boundary on each pixel region P above the second electrode 158 of the organic light emitting diode E And a second substrate 170 for encapsulation and protection of the organic light emitting diode E. In this case, the second substrate 170 may be replaced with an inorganic insulating film and / or an organic insulating film, or may be omitted by attaching a film.

우선, 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기전계 발광 다이오드(E)가 구비된 제 1 기판(110)의 구성에 대해 설명한다.First, the configuration of the first substrate 110 including the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) and the organic light emitting diode E will be described.

상기 제 1 기판(110) 상에는 각 화소영역(P) 내에 순수 폴리실리콘으로 이루어지며 그 중앙부는 채널이 형성되는 제 1 영역(113a), 그리고 상기 제 1 영역(113a) 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 제 2 영역(113b)으로 구성된 반도체층(113)이 형성되어 있다. The first substrate 110 is formed of pure polysilicon in each pixel region P, and a central portion of the first substrate 113a is doped with a high concentration of impurities on both sides of the first region 113a and the first region 113a. The semiconductor layer 113 including the second region 113b is formed.

상기 반도체층(113)과 상기 제 1 기판(110) 사이에는 전면에 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)으로 이루어진 버퍼층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. A buffer layer (not shown) made of an inorganic insulating material, for example, silicon oxide (SiO 2 ) or silicon nitride (SiNx) may be further formed between the semiconductor layer 113 and the first substrate 110.

상기 버퍼층(미도시)은 상기 반도체층(113)의 결정화시 상기 제 1 기판(110) 내부로부터 나오는 알카리 이온의 방출에 의한 상기 반도체층(113)의 특성 저하를 방지하기 위함이다. The buffer layer (not shown) is to prevent deterioration of the characteristics of the semiconductor layer 113 due to the release of alkali ions from the inside of the first substrate 110 when the semiconductor layer 113 is crystallized.

또한, 상기 반도체층(113)을 덮으며 전면에 게이트 절연막(116)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(116) 위로는 상기 반도체층(113)의 제 1 영역(113a)에 대응하여 게이트 전극(120)이 형성되어 있다. In addition, a gate insulating layer 116 is formed on the entire surface of the semiconductor layer 113, and the gate electrode 116 is formed on the gate insulating layer 116 to correspond to the first region 113a of the semiconductor layer 113. 120 is formed.

그리고 상기 게이트 절연막(116) 위로는 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 게이트 전극(미도시)과 연결되며 일 방향으로 연장하며 게이트 배선(미도시)이 형성되어 있다. 이때, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)를 이루는 게이트 전극(120, 미도시)과 게이트 배선(미도시)은 저저항 특성을 갖는 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 몰리브덴(Mo), 몰리브덴합금(MoTi) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어져 단일층 또는 다중층 구조를 이룬다.The gate insulating layer 116 is connected to a gate electrode (not shown) of the switching thin film transistor (not shown) and extends in one direction to form a gate wiring (not shown). In this case, the gate electrode 120 and the gate wiring (not shown) constituting the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) may be formed of a metal material having low resistance, for example, aluminum (Al), aluminum alloy ( AlNd), copper (Cu), copper alloy, molybdenum (Mo), molybdenum alloy (MoTi) of any one or two or more of the materials to form a single layer or multilayer structure.

또한, 상기 게이트 전극(120, 미도시)과 게이트 배선(미도시) 위로 전면에 층간절연막(123)이 형성되어 있다. 이때, 상기 층간절연막(123)과 그 하부의 게이트 절연막(116)은 상기 제 1 영역(113a) 양측면에 위치한 상기 제 2 영역(113b) 각각을 노출시키는 반도체층 콘택홀(125)이 형성되어 있다. In addition, an interlayer insulating layer 123 is formed on the entire surface of the gate electrode 120 and the gate line (not shown). In this case, the interlayer insulating layer 123 and the gate insulating layer 116 thereunder are formed with a semiconductor layer contact hole 125 exposing each of the second regions 113b located on both sides of the first region 113a. .

다음, 상기 반도체층 콘택홀(125)을 포함하는 층간절연막(123) 상부에는 상기 게이트 배선(미도시)과 교차하여 각 화소영역(P)을 정의하는 데이터 배선(130)이 형성되고 있다. Next, a data line 130 is formed on the interlayer insulating layer 123 including the semiconductor layer contact hole 125 to define each pixel region P by crossing the gate line (not shown).

또한, 상기 층간절연막(123) 위로 각 구동영역(DA) 및 스위칭 영역(미도시)에는 각각 서로 이격하며 상기 반도체층 콘택홀(125)을 통해 노출된 제 2 영역(113b)과 각각 접촉하며 소스 및 드레인 전극(133, 136)이 형성되어 있다. In addition, the driving area DA and the switching area (not shown) may be spaced apart from each other on the interlayer insulating layer 123 and contact the second area 113b exposed through the semiconductor layer contact hole 125. And drain electrodes 133 and 136 are formed.

이때, 상기 소스 및 드레인 전극(133, 136)과, 이들 전극(133, 136)과 접촉하는 제 2 영역(113b)을 포함하는 반도체층(113)과, 상기 반도체층(113) 상부에 형성된 게이트 절연막(116) 및 게이트 전극(120)은 각각 구동 박막트랜지스터(DTr) 및 스위칭 박막트랜지스터(미도시)를 이룬다. In this case, the semiconductor layer 113 including the source and drain electrodes 133 and 136, the second region 113b in contact with the electrodes 133 and 136, and a gate formed on the semiconductor layer 113. The insulating layer 116 and the gate electrode 120 form a driving thin film transistor DTr and a switching thin film transistor (not shown), respectively.

상기 데이터 배선(130)과 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(133, 136) 또한 저저항 특성을 갖는 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 몰리브덴(Mo), 몰리브덴합금(MoTi) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어져 단일층 또는 다중층 구조를 이룬다.The source and drain electrodes 133 and 136 spaced apart from the data line 130 are also metal materials having low resistance characteristics, such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), copper alloy, and molybdenum. (Mo), molybdenum alloy (MoTi) of any one or two or more materials to form a single layer or multi-layer structure.

한편, 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)와 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(130)과 전기적으로 연결되고 있으며, 상기 데이터 배선(130)은 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 소스 전극(미도시)과 연결되며, 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)는 상기 전원배선(미도시)과 유기전계 발광 다이오드(E)와 연결되고 있다. The switching thin film transistor (not shown) is electrically connected to the driving thin film transistor DTr, the gate line (not shown), and the data line 130, and the data line 130 is the switching thin film transistor ( The driving thin film transistor DTr is connected to the power line (not shown) and the organic light emitting diode E.

본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)에 있어서는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr) 및 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 폴리실리콘의 반도체층(113)을 가지며 탑 게이트 타입(Top gate type)으로 구성된 것을 일례로 보이고 있지만, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)는 도 3(본 발명의 제 1 실시예의 일 변형예에 따른 유기전계 발광소자에 있어서 구동 박막트랜지스터에 대한 단면도) 및 4(본 발명의 제 1 실시예의 또 다른 변형예에 따른 유기전계 발광소자에 있어서 구동 박막트랜지스터에 대한 단면도)에 각각 도시한 바와같이, 비정질 실리콘의 반도체층(도 3의 220) 또는 산화물 반도체 물질로 이루어진 반도체층(320)을 갖는 보텀 게이트 타입(Bottom gate type)으로 구성될 수도 있다. In the organic light emitting diode 101 according to the first embodiment of the present invention, the driving thin film transistor DTr and the switching thin film transistor (not shown) have a semiconductor layer 113 of polysilicon and have a top gate type (Top gate). type), the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) is shown in FIG. 3 (sectional view of the driving thin film transistor in the organic light emitting device according to the modification of the first embodiment of the present invention). ) And 4 (cross-sectional view of a driving thin film transistor in an organic light emitting device according to still another modification of the first embodiment of the present invention), the semiconductor layer of amorphous silicon (220 in Fig. 3) or oxide The bottom gate type may have a semiconductor layer 320 made of a semiconductor material.

상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터가 보텀 게이트 타입으로 구성되는 경우, 도 3에 도시한 바와같이, 게이트 전극(215)과, 게이트 절연막(218)과, 순수 비정질 실리콘의 액티브층(220a)과 서로 이격하며 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층(220b)으로 이루어진 반도체층(220)과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(233, 236)의 적층구조를 갖거나, 또는 도 4에 도시한 바와같이, 게이트 전극(315)과, 게이트 절연막(318)과, 산화물 반도체층(320)과, 에치스토퍼(322)와, 상기 에치스토퍼(322) 상에서 서로 이격하며 각각 상기 산화물 반도체층(320)과 접촉하는 소스 및 드레인 전극(333, 336)의 적층구조를 갖는다.When the driving and switching thin film transistor is configured as a bottom gate type, as shown in FIG. 3, the driving and switching thin film transistors are spaced apart from the gate electrode 215, the gate insulating layer 218, and the active layer 220a of pure amorphous silicon. The semiconductor layer 220 formed of the ohmic contact layer 220b of impurity amorphous silicon and the source and drain electrodes 233 and 236 spaced apart from each other, or have a stacked structure as shown in FIG. 315, the gate insulating layer 318, the oxide semiconductor layer 320, the etch stopper 322, and the source and drain spaced apart from each other on the etch stopper 322 and in contact with the oxide semiconductor layer 320, respectively. The electrodes 333 and 336 have a stacked structure.

이러한 보텀 게이트 타입의 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)가 형성된 제 1 기판(도 3의 210, 도 4의 310)의 경우, 상기 게이트 배선(미도시)은 상기 게이트 전극(도 3의 215, 도 4의 315)이 형성된 동일한 층에 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 게이트 전극(미도시)과 연결되도록 형성되며, 상기 데이터 배선(미도시)은 상기 스위칭 박막트랜지스터(미도시)의 소스 전극(미도시)이 형성된 동일한 층에 상기 소스 전극(미도시)과 연결되도록 형성된 구성을 이루게 된다.In the case of the first substrate (210 in FIG. 3 and 310 in FIG. 4) in which the bottom gate type driving and switching thin film transistor DTr (not shown) is formed, the gate wiring (not shown) is connected to the gate electrode (see FIG. 3). 215 and 315 of FIG. 4 are formed to be connected to a gate electrode (not shown) of the switching thin film transistor (not shown), and the data line (not shown) of the switching thin film transistor (not shown). It is configured to be connected to the source electrode (not shown) on the same layer on which a source electrode (not shown) is formed.

한편, 도 2를 참조하면, 비록 도면에 나타나지 않았지만, 상기 게이트 배선(미도시)이 형성된 동일한 층 또는 상기 데이터 배선(130)이 형성된 동일한 층에는 전원배선(미도시)이 형성되고 있으며, 이러한 전원배선(미도시)은 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 일 전극과 연결되고 있다. Meanwhile, referring to FIG. 2, although not shown in the drawing, a power supply wiring (not shown) is formed on the same layer on which the gate wiring (not shown) is formed or on the same layer on which the data wiring 130 is formed. A wiring (not shown) is connected to one electrode of the driving thin film transistor DTr.

또한, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시) 위로는 상기 제 1 기판(110) 전면에 보호층(140)이 형성되어 있다. 이때, 상기 보호층(140)에는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)이 형성되어 있다. In addition, a passivation layer 140 is formed on the entire surface of the first substrate 110 above the driving and switching thin film transistor DTr (not shown). In this case, a drain contact hole 143 exposing the drain electrode 136 of the driving TFT DTr is formed in the passivation layer 140.

상기 드레인 콘택홀(143)을 구비한 보호층(140) 위로는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 상기 드레인 콘택홀(143)을 통해 접촉되며, 각 화소영역(P) 별로 제 1 전극(147)이 형성되어 있다. The drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr and the drain contact hole 143 are in contact with each other over the passivation layer 140 having the drain contact hole 143. The first electrode 147 is formed.

이러한 제 1 전극(147)은 이중층 구조로서 상부층(147b)은 애노드 전극의 역할을 하며, 하부층(147a)은 반사판의 역할을 하도록 형성된다. The first electrode 147 has a double layer structure, and the upper layer 147b serves as an anode electrode, and the lower layer 147a is formed to serve as a reflector.

즉, 상기 제 1 전극(147)의 상부층(147b)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명 도전성 물질 예를들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로 이루어지고 있으며, 상기 제 1 전극(147)의 하부층(147a)은 반사효율이 우수한 금속물질 예를들면 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)으로 이루어짐으로써 상기 제 1 전극(147) 상부에 형성되는 유기 발광층(155)으로부터 발광된 빛을 상부로 반사시켜 재활용함으로서 발광효율을 향상시키는 역할을 하게 된다.That is, the upper layer 147b of the first electrode 147 is a transparent conductive material having a relatively large work function value such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) to serve as an anode electrode. The lower layer 147a of the first electrode 147 is formed of a metal material having excellent reflection efficiency, for example, aluminum (Al) or silver (Ag), to be formed on the first electrode 147. By reflecting the light emitted from the organic light emitting layer 155 to the upper portion and recycling it, it serves to improve the luminous efficiency.

본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 상부발광 방식이 되고 있으며, 유기 발광층(155)으로부터 발광된 빛 중 상기 제 1 기판(110) 쪽으로 출사되는 빛은 실질적으로 사용자가 느끼지 못하며, 사라지게 되므로 이러한 빛을 재활용함으로서 휘도 특성을 향상시키고 나아가 제조공정 단순화를 구현할 수 있도록 상기 제 1 전극(147)을 반사 능력이 우수한 금속물질로 이루어진 하부층(147a)을 포함하여 이중층 구조를 갖도록 형성한 것이다.The organic light emitting diode 101 according to the first exemplary embodiment of the present invention has a top light emitting method, and the light emitted from the organic light emitting layer 155 toward the first substrate 110 is substantially a user. The first electrode 147 has a double layer structure including a lower layer 147a made of a metallic material having high reflectivity so that the light can be felt and disappeared, so that the light can be recycled to improve luminance characteristics and further simplify the manufacturing process. It is formed.

다음, 상기 이중층 구조를 갖는 제 1 전극(147) 위로 각 화소영역(P)의 경계에는 각 화소영역(P)을 둘러싸는 형태로 상기 제 1 전극(147)의 테두리와 중첩하도록 상기 제 1 전극(150)의 중앙부를 노출시키며 1 내지 10㎛ 정도의 높이를 갖는 뱅크(150)가 형성되어 있다. Next, the first electrode 147 is formed on the boundary of each pixel region P on the first electrode 147 having the double layer structure so as to overlap the edge of the first electrode 147 in the form of enclosing each pixel region P. A bank 150 having a height of about 1 to 10 μm is formed while exposing the central portion of the 150.

이때, 상기 뱅크(150)는 일반적인 투명한 유기절연물질 예를들면 폴리이미드(poly imide), 포토아크릴(Photo acryl), 벤조사이클로뷰텐(BCB) 중 어느 하나로 이루어질 수도 있으며, 또는 블랙을 나타내는 물질 예를들면 블랙수지로 이루어질 수도 있다. In this case, the bank 150 may be made of a general transparent organic insulating material, for example, polyimide, photo acryl, benzocyclobutene (BCB), or a material representing black. For example, it may be made of black resin.

또한, 상기 뱅크(150)로 둘러싸인 각 화소영역(P)에 있어 상기 제 1 전극(147) 위로는 적, 녹, 청색 중 어느 하나의 색을 발광하는 것을 특징으로 하는 유기 발광층(155)이 형성되고 있다. In addition, in the pixel area P surrounded by the bank 150, the organic light emitting layer 155 is formed on the first electrode 147 to emit one of red, green, and blue colors. It is becoming.

이때, 상기 유기 발광층(155)은 전술한 적, 녹, 청색을 발광하는 발광 물질 이외에 화이트를 발광하는 물질로 이루어진 것을 더욱 포함하여 적, 녹, 청 및 화이트를 발광하는 구성을 이룰 수도 있다. In this case, the organic light emitting layer 155 may further include a material emitting white light in addition to the above-described light emitting materials emitting red, green, and blue, and may also be configured to emit red, green, blue, and white light.

도면에 있어서는 일례로 적, 녹, 청색을 발광하는 유기 발광층(155)이 형성된 것을 도시하였다.In the drawing, for example, the organic light emitting layer 155 emitting red, green, and blue light is illustrated.

상기 유기 발광층(155) 상부에는 표시영역 전면에는 캐소드 전극의 역할을 하며 투명성을 유지하는 것을 특징으로 하는 제 2 전극(158)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1, 2 전극(147, 158)과 그 사이에 형성된 유기 발광층(155)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루게 된다.A second electrode 158 is formed on the organic light emitting layer 155 to serve as a cathode on the entire display area and to maintain transparency. In this case, the first and second electrodes 147 and 158 and the organic light emitting layer 155 formed therebetween form an organic light emitting diode (E).

한편, 도면에 나타나지 않았지만, 상기 제 1 전극(147)과 유기 발광층(155) 사이 및 상기 유기 발광층(155)과 제 2 전극(158) 사이에는 각각 상기 유기 발광층(155)의 발광 효율 향상을 위해 다층 구조의 제 1 발광보상층(미도시)과 제 2 발광보상층(미도시)이 더욱 형성될 수도 있다. Although not shown in the drawings, the light emitting efficiency of the organic light emitting layer 155 may be improved between the first electrode 147 and the organic light emitting layer 155 and between the organic light emitting layer 155 and the second electrode 158, respectively. The first emission compensation layer (not shown) and the second emission compensation layer (not shown) having a multilayer structure may be further formed.

이때, 다층의 상기 제 1 발광보상층(미도시)은 상기 제 1 전극(147)으로부터 순차 적층되며 정공주입층(hole injection layer)과 정공수송층(hole transporting layer)으로 이루어질 수 있으며, 상기 제 2 발광보상층(미도시)은 상기 유기 발광층(155)으로부터 전자수송층(electron transporting layer)과 전자주입층(electron injection layer)으로 이루어질 수 있다. In this case, the multilayer first emission compensation layer (not shown) may be sequentially stacked from the first electrode 147, and may include a hole injection layer and a hole transporting layer. A light emitting compensation layer (not shown) may be formed of an electron transporting layer and an electron injection layer from the organic light emitting layer 155.

한편, 상기 유기 발광층(155) 상부에 형성된 상기 제 2 전극(158)은 캐소드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지고 있다.On the other hand, the second electrode 158 formed on the organic light emitting layer 155 is a metal material having a relatively low work function value, such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag) to act as a cathode electrode ), Magnesium (Mg), gold (Au), aluminum magnesium alloy (AlMg), or any one or two or more materials.

이때, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)가 상부발광 방식으로 구동되는 특성 상 상기 제 2 전극(158)은 빛의 투과가 원활하게 이루어져 투광성이 유지되는 두께인 10Å 내지 200Å 정도가 되는 것이 특징이다. In this case, the second electrode 158 has a thickness of 10 Å to a light transmittance that is smoothly transmitted by the organic light emitting device 101 according to the first exemplary embodiment of the present invention, which is driven in an upper light emitting method. It is characterized by being about 200Å.

한편, 캐소드 전극의 역할을 하는 상기 제 2 전극(158)은 상부발광 방식의 유기전계 발광소자(101) 특성 상 투광성 유지를 위해 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖도록 형성되는 경우, 일반적인 전극으로서의 역할을 하기 위한 충분한 두께가 되지 않으므로 면저항이 증가하여 위치별로 전압 강하량이 틀려 최종적으로는 유기 발광층(155)으로부터의 발광된 빛의 휘도 특성을 다르게 함으로서 위치별 휘도 불균일 현상이 초래된다.On the other hand, when the second electrode 158 serving as a cathode electrode is formed to have a thickness of about 10 to 200 Å to maintain light transmittance due to the characteristics of the organic light emitting device 101 of the top light emitting method, serves as a general electrode Since the sheet resistance is not sufficient to increase the thickness, the voltage drop amount is different for each position, and finally, the luminance non-uniformity for each position is caused by changing the luminance characteristics of the light emitted from the organic light emitting layer 155.

즉, 상기 제 2 전극(158)은 표시영역 전면에 형성되며 상기 제 2 전극(158)으로의 신호전압은 표시영역 외측의 비표시영역에 구비된 배선을 통해 이루어지게 되므로 신호전압이 최초 인가되는 부분을 기준으로 거리차에 의해 전압 강하량의 차이가 발생되며, 특히 표시영역의 자장자리 부분과 중앙부에서의 전압 강하량이 큰 차이를 갖게 됨으로서 휘도 불균일 현상이 발생된다.That is, the second electrode 158 is formed on the front of the display area, and the signal voltage to the second electrode 158 is made through the wiring provided in the non-display area outside the display area. The difference in the voltage drop occurs due to the distance difference with respect to the portion, and in particular, the luminance drop occurs because the voltage drop in the magnetic field and the center portion of the display area has a large difference.

따라서 이러한 휘도 불균일 현상 억제를 위해 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)에 있어 가장 특징적인 구성 중 하나로서 상기 제 2 전극(158) 위로 저 저항 특성을 갖는 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어지며 충분한 두께를 가져 내부 저항에 의해 전압 강하가 작은 보조배선(168)이 상기 표시영역 전면에 대해 격자형태로 형성되고 있는 것이 특징이다. Accordingly, as one of the most characteristic features of the organic light emitting device 101 according to the first embodiment of the present invention to suppress the luminance non-uniformity phenomenon, a metal material having a low resistance characteristic over the second electrode 158 is used. For example, the auxiliary wiring is made of any one or two or more of aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), gold (Au), copper (Cu) and has a sufficient thickness so that the voltage drop is small due to internal resistance. 168 is formed in a lattice form over the entire display area.

나아가 상기 보조배선(168)은 격자형태를 이루면서도 각 화소영역(P)의 경계에 대응하여 형성된 뱅크(150)와 중첩하도록 형성되고 있는 것이 또 다른 특징이다.In addition, the auxiliary line 168 is formed in a lattice shape and overlaps the bank 150 formed corresponding to the boundary of each pixel area P.

이때, 이러한 보조배선(168)은 뱅크(150) 하부에 위치하는 게이트 배선(미도시) 또는(및) 데이터 배선(130)의 폭과 같거나 또는 이 보다 더 큰 폭을 가지며, 그 두께는 상기 게이트 배선(미도시) 또는 데이터 배선(130)과 동일한 수준 즉 1000Å 내지 4000Å가 되고 있다.In this case, the auxiliary line 168 has a width equal to or greater than the width of the gate line (and / or) and / or the data line 130 under the bank 150, and the thickness thereof is equal to or greater than the width of the auxiliary line 168. It is at the same level as that of the gate wiring (not shown) or the data wiring 130, that is, 1000 kV to 4000 kV.

이렇게 보조배선(168)이 각 화소영역(P)을 정의하는 게이트 배선(미도시) 또는 데이터 배선(130)과 유사한 폭 및 두께 수준이 되는 경우 그 자체에 의한 표시영역 전면에서 위치별 전압 강하량이 매우 미약한 수준이 되며, 따라서 이러한 보조배선(168)을 통해 신호전압이 인가되는 경우 이와 접촉하는 제 2 전극(158)에 있어서도 위치별 전압 강하가 거의 발생되지 않으므로 신호전압 크기 차이에 의해 휘도 불균일 현상을 억제시킬 수 있다. As such, when the auxiliary line 168 has a width and thickness level similar to those of the gate line (not shown) or the data line 130 defining each pixel area P, the voltage drop amount of each position in front of the display area by itself is increased. When the signal voltage is applied through the auxiliary wiring 168, the voltage drop for each position is hardly generated even in the second electrode 158 contacting with the auxiliary wiring 168. The phenomenon can be suppressed.

이러한 구조를 갖는 상기 보조배선(168)은 마스크 공정을 진행하여 패터닝됨으로서 형성되는 것이 아니라 롤 프린팅 장치를 통해 타영역 대비 큰 단차를 가지며 형성된 뱅크(150)에 대응하여 선택적으로 프린팅 되어 형성되는 것이 특징이며, 이러한 보조배선(168)의 형성은 추후 제조 방법을 통해 상세히 설명한다.The auxiliary wiring 168 having such a structure is not formed by patterning through a mask process, but is selectively printed corresponding to the formed bank 150 with a large step compared to other regions through a roll printing apparatus. The formation of the auxiliary line 168 will be described in detail later through a manufacturing method.

한편, 상기 제 1 기판(110) 상에 순차 형성된 상기 제 1 전극과 유기 발광층(155)과 제 2 전극(158)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이룬다.Meanwhile, the first electrode, the organic emission layer 155, and the second electrode 158 sequentially formed on the first substrate 110 form an organic light emitting diode (E).

한편, 전술한 구성을 갖는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)의 제 1 기판(110)에 대응하여 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(170)이 구비되고 있다. On the other hand, a second substrate 170 for encapsulation is provided corresponding to the first substrate 110 of the organic light emitting device 101 according to the first embodiment of the present invention having the above-described configuration.

상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)은 그 가장자리를 따라 실란트 또는 프릿(frit)으로 이루어진 접착제(미도시)가 구비되고 있으며, 이러한 접착제(미도시)에 의해 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)이 합착되어 패널상태를 유지하고 있다. The first substrate 110 and the second substrate 170 are provided with an adhesive (not shown) made of sealant or frit along the edge thereof, and the first substrate (not shown) is provided with the adhesive (not shown). 110 and the second substrate 170 are bonded to each other to maintain the panel state.

이때, 서로 이격하는 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170) 사이에는 진공의 상태를 갖거나 또는 불활성 기체로 채워짐으로써 불활성 가스 분위기를 가질 수 있다. In this case, the first substrate 110 and the second substrate 170 spaced apart from each other may have a vacuum state or may be filled with an inert gas to have an inert gas atmosphere.

한편, 상기 인캡슐레이션을 위한 상기 제 2 기판(170)은 유연한 특성을 갖는 플라스틱으로 이루어질 수도 있으며, 또는 유리기판으로 이루어질 수도 있다. On the other hand, the second substrate 170 for the encapsulation may be made of a plastic having a flexible characteristic, or may be made of a glass substrate.

한편, 전술한 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 제 1 기판(110)과 마주하여 이격하는 형태로 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(170)이 구비된 것을 일례로 나타내고 있지만, 변형예로서 상기 제 2 기판(170)은 점착층을 포함하는 필름 형태로 상기 제 1 기판(110)의 최상층에 구비된 상기 제 2 전극(158)과 접촉하도록 구성될 수도 있다. On the other hand, the organic light emitting device 101 according to the first embodiment described above is shown as an example that is provided with a second substrate 170 for encapsulation in a form facing away from the first substrate 110. As a modification, the second substrate 170 may be configured to contact the second electrode 158 provided on the uppermost layer of the first substrate 110 in the form of a film including an adhesive layer.

또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 또 다른 변형예로서 상기 제 2 전극(158) 상부로 유기절연막(미도시) 또는 무기절연막(미도시)이 더욱 구비되어 캡핑막이 형성될 수 있으며, 상기 유기절연막(미도시) 또는 무기절연막(162)은 그 자체로 인캡슐레이션 막(미도시)으로 이용될 수도 있으며, 이 경우 상기 제 2 기판(170)은 생략될 수도 있다. In addition, as another modification according to the first embodiment of the present invention, an organic insulating film (not shown) or an inorganic insulating film (not shown) may be further provided on the second electrode 158 to form a capping film. The organic insulating film (not shown) or the inorganic insulating film 162 may be used as an encapsulation film (not shown) by itself, and in this case, the second substrate 170 may be omitted.

한편, 이러한 구성을 갖는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)는 이의 평면 구성을 개략적으로 나타낸 평면도인 도 5를 참조하면, 표시영역(AA) 외측의 비표시영역(NA) 중 상기 표시영역(AA)을 사이에 두고 서로 마주하는 제 1 및 제 2 비표시영역(NA1, NA2)에 각각 구비된 Vss 배선(Vss)과 상기 보조배선(168)이 연결된 구성을 가지며, 구동회로부를 포함하는 인쇄회로기판(190)으로부터 인가된 신호전압은 상기 Vss 배선(Vss)을 통해 이와 연결된 상기 보조배선(168)을 매개 수단으로 하여 상기 표시영역 전면에 형성된 제 2 전극(158)으로 인가된다.Meanwhile, referring to FIG. 5, which is a plan view schematically showing the planar configuration of the organic light emitting device 101 according to the first embodiment of the present invention having the above configuration, the non-display area NA outside the display area AA. ) Has a configuration in which the Vss wiring Vss and the auxiliary wiring 168 provided in the first and second non-display areas NA1 and NA2 facing each other with the display area AA therebetween are connected to each other. The signal voltage applied from the printed circuit board 190 including the driving circuit unit is connected to the second electrode 158 formed on the entire surface of the display area via the auxiliary wiring 168 connected thereto through the Vss wiring Vss. Is applied.

이때, 상기 Vss 배선(Vss)으로 인가된 신호전압은 표시영역(AA) 전면에 형성된 제 2 전극(158)으로 상기 제 2 전극(158) 자체를 이용하여 전달되지 않고, 단위 면적당 내부 저항값이 낮아 거의 전압 강하가 발생되지 않는 상기 보조배선(168)을 통해 상기 제 2 전극(158)으로 전달되므로 제 2 전극(158)이 대면적을 갖는다 하더라도 그 위치별 전압 강하량이 달라 신호 전압의 크기가 달라짐에 기인하는 유기전계 발광소자(101)의 위치별 휘도 불균일 현상을 억제할 수 있음을 알 수 있다.In this case, the signal voltage applied to the Vss wiring Vss is not transmitted to the second electrode 158 formed on the front surface of the display area AA by using the second electrode 158 itself, and the internal resistance value per unit area is increased. Since the voltage is transmitted to the second electrode 158 through the auxiliary wiring 168 where almost no voltage drop occurs, even though the second electrode 158 has a large area, the amount of voltage drop for each position is different. It can be seen that the luminance non-uniformity of each position of the organic light emitting device 101 due to the change can be suppressed.

즉, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)의 경우 신호전압은 보조배선(168)을 통해 제 2 전극(158)을 전달되므로 상기 보조배선(168)을 통해서 이동되는 신호전압은 낮은 내부 저항에 의해 거의 그 크기가 변하지 않는다.That is, in the case of the organic light emitting device 101 according to the first embodiment of the present invention, the signal voltage is transmitted through the auxiliary line 168, so that the signal voltage is transferred through the auxiliary line 168. The voltage is hardly changed in size by low internal resistance.

따라서 이러한 보조배선(168)을 통해 제 2 전극(158) 중 표시영역(AA)의 가장자리 부분이나, 표시영역(AA)의 중앙부에 위치하는 부분에는 거의 유사한 크기를 갖는 신호접압이 인가될 수 있다. Accordingly, a signal contact voltage having a substantially similar magnitude may be applied to the edge portion of the display area AA or the portion of the second electrode 158 positioned at the center portion of the display area AA through the auxiliary line 168. .

그리고 이러한 신호전압은 제 2 전극(158)을 통해 이동하는 실질적인 거리는 제 2 전극(158)의 위치별 차이 없이 서로 이웃하는 보조배선(168) 간의 이격간격인 화소영역(P)의 폭이 되므로 제 2 전극(158) 자체의 면저항이 큼에 기인하는 전압 강하는 거의 발생되지 않음으로 제 2 전극(158)의 위치별 휘도 불균일 현상은 원천적으로 억제될 수 있는 것이다. In addition, since the signal voltage travels through the second electrode 158, the actual distance is the width of the pixel region P, which is a spaced interval between the auxiliary wirings 168 adjacent to each other, without a difference in position of the second electrode 158. Since the voltage drop due to the large sheet resistance of the second electrode 158 itself is hardly generated, the luminance unevenness by position of the second electrode 158 can be fundamentally suppressed.

한편, 비교예로서 도 6(비교예로서 보조전극 없는 종래의 유기전계 발광소자(101)의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도)을 참조하면, 보조배선(도 5의 168) 없이 투명성 유지를 위해 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖는 제 2 전극(58)이 구비된 유기전계 발광소자(1)의 경우, 구동회로부를 포함하는 인쇄회로기판(90)으로부터 인가된 신호전압은 상기 Vss 배선(Vss)을 통해 이와 연결된 직접 접촉하며 연결된 제 2 전극(58)으로 인가된다.Meanwhile, referring to FIG. 6 (a plan view schematically showing a structure of a conventional organic light emitting device 101 without an auxiliary electrode as a comparative example) as a comparative example, 10 Å to 10 를 to maintain transparency without the auxiliary wiring (168 of FIG. 5). In the case of the organic light emitting device 1 having the second electrode 58 having a thickness of about 200 mA, the signal voltage applied from the printed circuit board 90 including the driving circuit part is connected through the Vss wiring Vss. It is applied to the second electrode 58 connected in direct contact therewith.

이 경우, 상기 제 2 전극(58)은 투명성 유지를 위해 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질로 10Å 내지 200Å 정도의 두께를 갖도록 형성되었으므로 면저항이 상대적으로 매우 크다. In this case, the second electrode 58 is formed of a metal material having a relatively low work function value to maintain transparency, and thus has a thickness of about 10 kPa to about 200 kPa.

따라서 Vss 배선(Vss)과 인접하는 제 2 전극(58) 부분(제 2 전극(58)의 가장자리 부분)과 Vss 배선(Vss)으로부터 가장 먼 곳에 위치하는 제 2 전극(58) 부분(제 2 전극(58)의 중앙부) 간에는 상기 제 2 전극(58) 자체의 큰 면저항 특성에 의해 신호전압의 이동 거리에 비례하여 의해 전압강하가 발생된다.Therefore, the second electrode 58 portion (the edge portion of the second electrode 58) adjacent to the Vss wiring Vss and the second electrode 58 portion (the second electrode) located farthest from the Vss wiring Vss. Between the centers of 58, the voltage drop is generated in proportion to the moving distance of the signal voltage due to the large sheet resistance characteristic of the second electrode 58 itself.

즉, 상기 제 2 전극(58)을 이용하여 신호전압이 이동하는 거리는 위치별로 실질적으로 최대 표시영역 폭의 1/2 정도의 차이를 갖게 되므로 제 2 전극(58)의 위치별 전압 강하량은 큰 차이를 갖게 된다.That is, since the distance at which the signal voltage moves by using the second electrode 58 has a difference of about 1/2 of the maximum display area width for each position, the voltage drop amount for each position of the second electrode 58 is significantly different. Will have

따라서 이러한 구성을 갖는 비교예에 따른 유기전계 발광소자(1)는 위치별 전압 강하량 차이에 의해 특히 Vss 배선(Vss)과 인접하는 표시영역(AA)의 가장자리부분과 상대적으로 먼 거리에 위치하는 표시영역(AA)의 중앙부 간에는 휘도 불균일이 심하게 발생됨을 알 수 있다.
Therefore, the organic light emitting device 1 according to the comparative example having such a configuration is particularly located at a relatively long distance from the edge of the display area AA adjacent to the Vss wiring Vss due to the difference in the voltage drop amount for each position. It can be seen that the luminance unevenness is severely generated between the central portions of the region AA.

이후에는 전술한 구성을 갖는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)의 제조 방법에 대해 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing the organic light emitting diode 101 according to the first embodiment of the present invention having the above-described configuration will be described.

도 7a 내지 도 7h는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 도면이다. 이때, 본 발명의 제 1 실시예 및 이의 변형예들에 따른 유기전계 발광소자(101)에 있어 구동 및 스위칭 박막트랜지스터를 포함하여 유기전계 발광다이오드의 제 1 전극을 형성하는 단계까지의 제조 방법은 일반적인 유기전계 발광소자의 제조 방법과 동일하므로 이들 구성요소를 형성하는 방법에 대해서는 상세한 설명을 생략하며, 이후 뱅크를 형성하는 단계를 포함하여 상기 유기전계 발광 다이오드 형성한 이후의 단계부터 상세히 설명하도록 한다. 7A to 7H are process steps of manufacturing an organic light emitting diode according to a first embodiment of the present invention. In this case, in the organic light emitting diode 101 according to the first embodiment of the present invention and its modifications, the manufacturing method up to the step of forming the first electrode of the organic light emitting diode including a driving and switching thin film transistor is Since the method of forming these components is the same as the manufacturing method of a general organic light emitting device, a detailed description thereof will be omitted, and then the steps after forming the organic light emitting diode will be described in detail, including forming a bank. .

우선, 도 7a에 도시한 바와같이, 투명한 절연기판(101) 예를들면 유리 또는 플렉서블한 특성을 갖는 플라스틱 재질의 기판 상에 서로 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 게이트 배선(미도시) 및 데이터 배선(130)과, 전원배선(미도시)을 형성하고, 각 화소영역(P) 내에 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr)를 형성한다. First, as shown in FIG. 7A, a gate wiring (not shown) defining a pixel region P by crossing each other on a transparent insulating substrate 101, for example, a glass or a plastic substrate having flexible characteristics, and The data line 130 and the power line (not shown) are formed, and switching and driving thin film transistors (DTr) are formed in each pixel area P. FIG.

이때, 이러한 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)는 본 발명의 제 1 실시예에서와 같이 탑 게이트 구조를 이루는 경우, 순수 폴리실리콘의 제 1 영역(113a)과 이의 양측에 불순물이 도핑된 폴리실리콘의 제 2 영역(113b)으로 이루어진 폴리실리콘의 반도체층(113)과, 게이트 절연막(116)과, 상기 제 1 영역(113a)과 중첩하여 형성된 게이트 전극(120)과, 상기 제 2 영역(113b)을 노출시키는 반도체층 콘택홀(125)을 갖는 층간절연막(123)과, 상기 반도체층 콘택홀(125)을 통해 각각 상기 소스 및 드레인 영역(113b)과 접촉하며 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(133, 136)의 적층 구조를 갖도록 형성하다.In this case, when the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) has a top gate structure as in the first embodiment of the present invention, impurities are doped in the first region 113a of pure polysilicon and both sides thereof. The polysilicon semiconductor layer 113 comprising the second region 113b of the polysilicon, the gate insulating layer 116, the gate electrode 120 formed to overlap the first region 113a, and the second region. An interlayer insulating film 123 having a semiconductor layer contact hole 125 exposing the 113b and a source and a drain in contact with the source and drain regions 113b and spaced apart from each other through the semiconductor layer contact hole 125, respectively. It is formed to have a stacked structure of electrodes 133 and 136.

또한, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)가 변형예와 같이 보텀 게이트 구조를 이루는 경우는, 도 3에 도시한 바와같이, 게이트 전극(215)과, 게이트 절연막(218)과, 순수 비정질 실리콘의 액티브층(220a)과 서로 이격하며 불순물 비정질 실리콘의 오믹콘택층(220b)으로 이루어진 반도체층(220)과, 서로 이격하는 소스 및 드레인 전극(233, 236)의 적층구조를 갖도록 형성하거나, 또는 도 4에 도시한 바와같이, 게이트 전극(315)과, 게이트 절연막(318)과, 산화물 반도체층(320)과, 에치스토퍼(322)와, 상기 에치스토퍼(322) 상에서 서로 이격하며 각각 상기 산화물 반도체층(320)과 접촉하는 소스 및 드레인 전극(333, 336)의 적층구조를 갖도록 형성한다. In addition, when the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) has a bottom gate structure as in the modified example, as shown in FIG. 3, the gate electrode 215, the gate insulating film 218, and pure water It is formed to have a stacked structure of the semiconductor layer 220 made of an ohmic contact layer 220b of impurity amorphous silicon and spaced apart from the active layer 220a of amorphous silicon, and the source and drain electrodes 233 and 236 spaced apart from each other. 4 or the gate electrode 315, the gate insulating film 318, the oxide semiconductor layer 320, the etch stopper 322, and the etch stopper 322 are spaced apart from each other. It is formed to have a stacked structure of source and drain electrodes 333 and 336 in contact with the oxide semiconductor layer 320.

다음, 다시 도 7a를 참조하면, 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터(미도시, DTr) 위로 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)을 갖는 보호층(140)을 형성한다.Next, referring again to FIG. 7A, a protective layer 140 having a drain contact hole 143 exposing the drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr over the switching and driving thin film transistor DTr. ).

이후, 상기 보호층(140) 위로 상기 각 화소영역(P)별로 판 형태를 가지며 반사 능률이 우수한 금속물질 예를들념 알루미늄(Al) 또는 은(Ag)으로 이루어진 하부층(147a)과 일함수 값이 비교적 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 이루어진 상부층(147b)의 이중층 구조를 갖는 제 1 전극(147)을 형성한다.Subsequently, the lower layer 147a and the work function value formed of a metal material having excellent reflection efficiency, for example, aluminum (Al) or silver (Ag), having a plate shape for each pixel area P on the protective layer 140. A first electrode 147 having a double layer structure of an upper layer 147b made of indium tin oxide (ITO), which is a relatively high transparent conductive material, is formed.

다음, 도 7b에 도시한 바와같이, 상기 제 1 전극(147) 위로 유기물질 바람직하게는 감광성 특성과 더불어 소수성 특성을 갖는 고분자 물질 예를들면 불소(F)가 함유된 폴리이미드(poly imide), 스티렌(styrene), 메틸마사크릴레이트(methyl mathacrylate), 폴리테트라플로우틸렌(polytetrafluoroethylene) 중 어느 하나 또는 둘 이상이 혼합된 물질을 코팅하여 수 ㎛ 더욱 정확히는 1 내지 10㎛ 정도의 두께를 갖는 유기 물질층(미도시)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 7B, a polyimide containing an organic material, such as fluorine (F), having a hydrophobic property in addition to an organic material, preferably a photosensitive property, is formed on the first electrode 147. Organic material layer having a thickness of several μm, more precisely 1 to 10 μm by coating a material in which one or two or more of styrene, methyl mathacrylate, and polytetrafluoroethylene are mixed (Not shown) is formed.

이때 상기 유기 물질층(미도시)이 감광성 특성을 갖게 됨으로서 이 자체를 노광하여 패터닝이 가능하므로 패터닝을 위해 별도의 포토레지스트층의 도포와 식각 공정을 생략할 수 있는 장점을 갖는다. In this case, since the organic material layer (not shown) has photosensitive characteristics, the organic material layer (not shown) may be exposed and patterned so that the application and etching of a separate photoresist layer may be omitted for patterning.

이후, 상기 유기 물질층(미도시)에 대해 노광 마스크를 이용한 노광, 상기 유기 물질층의 현상을 포함하는 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로서 각 화소영역(P)의 경계 즉 상기 게이트 배선(미도시)과 데이터 배선(130)과 중첩하며 상기 각 화소영역(P)에 구비된 제 1 전극(147)의 가자자리 부분의 소정폭과 중첩하도록 뱅크(150)를 형성한다.Thereafter, the organic material layer (not shown) is patterned by performing exposure using an exposure mask and a mask process including development of the organic material layer to pattern the boundary of each pixel region P, that is, the gate wiring (not shown). And the bank 150 are formed so as to overlap the data line 130 and overlap the predetermined width of the portion of the first electrode 147 provided in the pixel area P.

이러한 뱅크(150)는 상기 보호층(140)으로부터 1 내지 10㎛ 정도의 높이를 가지며, 표시영역 전면에 격자형태를 가져 각 화소영역(P)에 있어서는 제 1 전극(147)의 중앙부를 노출시키는 형태를 이루는 것이 특징이다.The bank 150 has a height of about 1 μm to about 10 μm from the passivation layer 140, and has a lattice shape in front of the display area to expose the central portion of the first electrode 147 in each pixel area P. FIG. It is characteristic to form.

다음, 도 7c에 도시한 바와같이, 표시영역에 있어 격자형태를 갖는 상기 뱅크(150)가 형성된 상기 제 1 기판(110)에 대응하여 잉크젯 장치(195) 또는 노즐 코팅장치(미도시)를 이용하여 액상의 유기 발광 물질을 상기 뱅크(150)로 둘러싸인 영역에 대응하여 분사 또는 드롭핑 함으로서 상기 각 화소영역(P) 내의 상기 제 1 전극(150) 상부에 유기 발광 물질층(미도시)을 형성한다.  Next, as shown in FIG. 7C, an inkjet apparatus 195 or a nozzle coating apparatus (not shown) is used in correspondence with the first substrate 110 on which the bank 150 having a lattice form in the display area is formed. By spraying or dropping a liquid organic light emitting material corresponding to an area surrounded by the bank 150 to form an organic light emitting material layer (not shown) on the first electrode 150 in each pixel area P. do.

이때, 상기 뱅크(150)가 소수성 특성을 갖는 유기물질로 이루어지게 됨으로서, 액상의 유기 발광 물질을 분사 또는 드롭핑 하는 단계에서 상기 액상의 유기 발광 물질은 각 화소영역(P) 내에 분사 또는 드롭핑되면 상기 잉크젯 장치(195) 또는 노즐 코팅 장치(미도시)의 자체 오차에 의해 분사 또는 드롭핑 위치가 치우쳐 상기 뱅크(150) 상에 드롭핑 된다 하더라도 상기 뱅크(150)는 소수성 특성을 가지므로 상기 뱅크(150) 상에 드롭핑 된 유기 발광 물질은 상기 뱅크(150)로부터 상기 뱅크(150)로 둘러싸인 각 화소영역(P) 내부로 흘러가게 되므로 분사 및 드롭핑에 의한 불량을 억제할 수 있다. In this case, the bank 150 is made of an organic material having hydrophobic characteristics, so that the liquid organic light emitting material is sprayed or dropped in each pixel region P in the step of spraying or dropping a liquid organic light emitting material. If the injection or dropping position is biased due to the error of the inkjet apparatus 195 or the nozzle coating apparatus (not shown), the bank 150 has a hydrophobic characteristic. The organic light emitting material dropped on the banks 150 flows from the banks 150 into the pixel regions P surrounded by the banks 150, thereby preventing defects due to spraying and dropping.

또한, 상기 각 화소영역(P) 내에 분사되는 액상의 유기 발광 물질의 분사량이 조금 많더라도 소수성 특성 상 유기 발광 물질을 밀어내는 경향을 가지므로 각 화소영역(P)에서 흘러 넘침을 방지할 수 있는 장점을 갖게 된다. In addition, even if the injection amount of the liquid organic light emitting material injected into each pixel area P is a little, the hydrophobic property has a tendency to push the organic light emitting material, so that the overflow can be prevented from flowing in each pixel area P. You have an advantage.

이러한 상태에서 상기 유기 발광 물질층(미도시)에 대해 건조 및 경화공정을 진행하여 솔벤트를 제거함으로서 각 화소영역(P) 내에 경화된 상태의 유기 발광층(155)을 형성할 수 있다. In this state, the organic light emitting layer 155 may be formed in the pixel region P by removing the solvent by drying and curing the organic light emitting material layer (not shown).

한편, 도면에 있어서는 상기 제 1 전극(150) 위로 단일층 구조를 갖는 유기 발광층(155)만이 형성된 것을 일례로 보이고 있지만, 상기 유기 발광층(155)이 다중층으로 이루어질 수도 있다. Meanwhile, in the drawing, only the organic emission layer 155 having a single layer structure is formed on the first electrode 150 as an example. However, the organic emission layer 155 may be formed of multiple layers.

즉, 이 경우, 상기 다중층 구조를 갖는 유기 발광층(155)은 상기 단일층의 유기 발광층(155)을 형성한 동일한 방법을 진행함으로서 상기 유기 발광층(155)의 하부 또는 상부에 보조층으로 정공주입층(hole injection layer)(미도시), 정공수송층(hole transporting layer)(미도시), 전자수송층(electron transporting layer)(미도시) 및 전자주입층(electron injection layer)(미도시) 중 어느 하나 이상을 선택적으로 더욱 형성함으로서 구성할 수 있다. That is, in this case, the organic light emitting layer 155 having the multilayer structure proceeds to the same method of forming the organic light emitting layer 155 of the single layer to inject holes into the auxiliary layer below or on the organic light emitting layer 155. Any one of a hole injection layer (not shown), a hole transporting layer (not shown), an electron transporting layer (not shown), and an electron injection layer (not shown) It can be configured by selectively forming the above.

다음, 도 7d에 도시한 바와같이, 상기 유기 발광층(155) 위로 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상을 혼합하여 진공의 분위기에서 열증착을 진행함으로서 표시영역 전면에 10 내지 200Å 정도의 두께를 갖는 제 2 전극(158)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 7D, a metal material having a relatively low work function value, for example, aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), and gold, is formed on the organic light emitting layer 155. One or two or more of (Au) and aluminum magnesium alloy (AlMg) are mixed to thermally deposit in a vacuum atmosphere, thereby forming a second electrode 158 having a thickness of about 10 to about 200 kHz over the entire display area.

이러한 열 증착에 의해 형성되는 제 2 전극(158)의 경우 상기 유기 발광층(155)을 포함하여 상기 뱅크(150)의 상면 및 측면까지 표시영역 전면에 끊김없이 연결된 상태로 형성되는 것이 특징이다. In the case of the second electrode 158 formed by the thermal evaporation, the organic light emitting layer 155 is formed to be seamlessly connected to the entire surface of the display area up to the upper surface and the side surface of the bank 150.

이때, 각 화소영역(P) 내에 순차 적층된 상기 제 1 전극(150)과 유기 발광층(155)과 제 2 전극(158)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이룬다.In this case, the first electrode 150, the organic emission layer 155, and the second electrode 158 sequentially stacked in each pixel area P form an organic light emitting diode E.

다음, 도 7e와 도 8(본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자를 제조하는데 이용되는 롤 코팅장치를 개략적으로 도시한 도면)에 도시된 바와같이, 기판이 안착되는 스테이지(410)와, 블랭킷(415)으로 덮인 인쇄롤(420)과, 상기 인쇄롤(420) 상의 블랭킷(415)에 액상의 도전성 잉크를 공급하여 코팅하는 잉크 공급 슬릿(430)을 포함하여 구성된 롤 코팅 장치(401)의 상기 스테이지(410) 상에 상기 표시영역 전면에 제 2 전극(158)이 형성된 제 1 기판(110)을 안착시킨다. Next, as illustrated in FIGS. 7E and 8 (a schematic view of a roll coating apparatus used to manufacture an organic EL device according to a first embodiment of the present invention), a stage 410 on which a substrate is seated And a printing roll 420 covered with the blanket 415, and an ink supply slit 430 for supplying and coating a liquid conductive ink to the blanket 415 on the printing roll 420. The first substrate 110 having the second electrode 158 formed on the entire surface of the display area is seated on the stage 410 of the 401.

이후, 상기 잉크 공급 슬릿(425)을 통해 상기 인쇄롤(420)의 최외각에 구성된 블랭킷(415)에 저저항 도전성 물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어진 수 내지 수십 나노미터 수준의 크기를 갖는 미세입자와 솔벤트가 섞여 액상을 이루는 저저항 도전성 잉크를 적정량 드롭하며 상기 인쇄롤(420)을 일 방향으로 회전시킴으로써 상기 블랭킷(415) 전면에 저저항 도전성 잉크를 일정 두께로 코팅하여 도전성 잉크층(430)을 형성한다.Thereafter, a low-resistance conductive material such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), silver (Ag), into the blanket 415 formed at the outermost portion of the printing roll 420 through the ink supply slit 425. The printing roll 420 while dropping an appropriate amount of low-resistance conductive ink in which a liquid is mixed by mixing fine particles having a size of several to several tens of nanometers made of one or more materials of gold (Au) and copper (Cu) and a solvent. ) By rotating in one direction to form a conductive ink layer 430 by coating a low-resistance conductive ink with a predetermined thickness on the entire surface of the blanket (415).

이때, 상기 전도성 잉크는 그 표면 에너지가 인쇄롤(420)에 구비된 블랭킷(415)의 표면 에너지 보다는 크고, 상기 제 1 기판(110)에 구비되는 제 2 전극(158)의 표면 에너지 보다는 작은 범위를 갖는 것이 바람직하다. In this case, the conductive ink has a surface energy that is greater than the surface energy of the blanket 415 provided in the printing roll 420 and smaller than the surface energy of the second electrode 158 provided in the first substrate 110. It is preferred to have

상기 블랭킷(415)은 일례로 PDMS(polydimethylsiloxane)로 이루어지며, 이 경우 상기 블랭킷(415)의 표면에너지는 통상 PDMS로 이루어진 재질 특성 상 20mJ/㎡ 보다 작은 값을 가지며, 상기 제 1 기판(110)에 형성된 제 2 전극(158)은 금속물질이 되고 있으므로 금속재질로 이루어진 특성 상 그 표면에너지는 통상 50mJ/㎡보다는 큰 값을 가지므로, 상기 도전성 잉크는 그 표면 에너지가 20mJ/㎡ 내지 50mJ/㎡의 범위를 갖는 것이 바람직하다. The blanket 415 is made of, for example, polydimethylsiloxane (PDMS). In this case, the surface energy of the blanket 415 has a value smaller than 20 mJ / m 2 due to a material characteristic of the PDMS, and the first substrate 110. Since the second electrode 158 formed in the metal material is made of a metal material, the surface energy of the metal material is usually greater than 50 mJ / m 2, so that the conductive ink has a surface energy of 20 mJ / m 2 to 50 mJ / m 2. It is preferable to have the range of.

상기 저저항 도전성 잉크의 표면 에너지가 상기 블랭킷(415)의 표면에너지 보다 작게 되거나, 또는 상기 제 2 전극(158)의 표면에너지보다 크게 되면 상기 전도성 잉크층(430)의 전사 특성이 현격히 줄어들게 되어 상기 블랭킷(415)에서 제 1 기판(110) 상의 제 2 전극(158)의 표면으로 전사가 원활하게 이루어지지 않게 되는 문제가 발생될 수 있으며, 이러한 문제를 발생을 원천적으로 억제하고자 상기 전도성 잉크는 20mJ/㎡ 내지 50mJ/㎡ 정도의 표면 에너지를 갖도록 한 것이다.When the surface energy of the low-resistance conductive ink is smaller than the surface energy of the blanket 415 or greater than the surface energy of the second electrode 158, the transfer characteristics of the conductive ink layer 430 are significantly reduced. There may be a problem that the transfer is not smooth from the blanket 415 to the surface of the second electrode 158 on the first substrate 110, the conductive ink is 20mJ to suppress such a problem inherently It is to have a surface energy of about / m 2 to 50 mJ / m 2.

다음, 도 7f에 도시한 바와 같이, 상기 블랭킷(415) 전면에 도전성 잉크층(430)이 형성된 상기 인쇄롤(420)을 상기 제 1 기판(110)의 일 끝단과 접촉한 상태에서 일 방향으로 상기 제 1 기판(110)이 안착된 상기 스테이지(410)를 이동하는 동시에 상기 인쇄롤(420)을 상기 스테이지(410)의 이동속도에 맞게 회전시킴으로써 상기 블랭킷(415) 상의 도전성 잉크층(430) 중 상기 제 1 기판(110) 상에 구비되는 뱅크(150)와 중첩 형성된 제 2 전극(158)과 접촉이 이루어지는 부분만이 상기 제 1 기판(110) 상으로 전사되도록 한다.Next, as shown in FIG. 7F, the printing roll 420 having the conductive ink layer 430 formed on the entire surface of the blanket 415 is in contact with one end of the first substrate 110 in one direction. The conductive ink layer 430 on the blanket 415 by moving the stage 410 on which the first substrate 110 is mounted and simultaneously rotating the printing roll 420 at a moving speed of the stage 410. Only the portion where the contact with the second electrode 158 formed to overlap the bank 150 provided on the first substrate 110 is transferred to the first substrate 110.

즉, 상기 전도성 잉크층(430)은 상기 블랭킷(415) 및 제 2 전극(158)간의 표면 에너지 차이에 의해 상기 제 2 전극(158)과의 접착력이 상대적으로 크게 되므로 상기 블랭킷(415)의 표면으로부터 떨어져 나와 상기 제 1 기판(110)의 제 2 전극(158)의 표면으로 전사될 수 있는 것이다.That is, the conductive ink layer 430 has a relatively large adhesive force with the second electrode 158 due to the difference in the surface energy between the blanket 415 and the second electrode 158, the surface of the blanket 415 It can be transferred away from the surface of the second electrode 158 of the first substrate 110.

상기 제 1 기판(110) 상에 형성된 제 2 전극(158)은 그 하부에 구성된 뱅크(150)에 의해 상기 뱅크(150)와 중첩하는 부분은 타 영역 대비 돌출됨으로서 볼록부를 이루게 되며, 상기 유기 발광층(155)과 중첩하는 부분은 오목부를 이루는 것이 특징이다.The portion of the second electrode 158 formed on the first substrate 110 overlaps the bank 150 by the bank 150 formed at a lower portion thereof, so that the second electrode 158 protrudes from other regions, thereby forming a convex portion. The portion overlapping with 155 forms a concave portion.

따라서 상기 제 2 전극(158)의 이러한 구조적 특징에 의해 상기 블랭킷(415) 표면에 형성된 전도성 잉크층(430)은 상기 제 1 기판(110)에 형성된 제 2 전극(158) 중 선택적으로 상기 뱅크(150)와 중첩되는 부분에 대해서만 접촉이 이루어져 이 부분에 대해서만 전사되어 전도성 잉크 패턴(165)을 이루게 되며, 이렇게 제 1 기판(110)상의 제 2 전극(158) 상부로 전사된 전도성 잉크 패턴(165)은 상기 뱅크(150)가 형성된 부분에 대해서만 이와 중첩하며 동일한 평면 형태로 형성됨으로 표시영역에 있어 격자형태를 이루게 된다.Accordingly, due to this structural feature of the second electrode 158, the conductive ink layer 430 formed on the surface of the blanket 415 may be selectively formed from the second electrode 158 formed on the first substrate 110. The contact is made only with respect to the portion overlapping with the 150, and is transferred only to the portion to form the conductive ink pattern 165. Thus, the conductive ink pattern 165 transferred to the upper portion of the second electrode 158 on the first substrate 110 is formed. ) Overlaps only the portion where the bank 150 is formed and is formed in the same planar shape to form a grid in the display area.

이렇게 제 1 기판(110) 상에 전사됨으로써 격자형태로 이루어진 전도성 잉크 패턴(165)은 상기 뱅크(150)와 동일한 폭을 가짐으로서 이와 중첩하는 게이트 배선(미도시) 및(또는) 데이터 배선(130)의 폭보다 큰 폭을 갖는 것이 특징이다.As such, the conductive ink pattern 165 having the same width as that of the bank 150 by being transferred onto the first substrate 110 has the same width as that of the bank 150 and overlaps the gate wiring (not shown) and / or data wiring 130. It is characterized by having a width larger than the width of).

다음, 도 7g에 도시한 바와 같이, 상기 도전성 잉크 패턴(도 7f의 165)이 형성된 상기 제 1 기판(110)을 경화수단 예를들면 퍼나스 또는 오븐을 이용하여 열처리 하여 상기 도전성 잉크 패턴 (도 7f의 165)내에 솔벤트를 제거함으로서 저저항 금속물질 만으로 이루어져 저저항 특성을 갖는 격자형태의 보조배선(168)을 이루도록 함으로서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제 1 기판(110)을 완성한다.Next, as shown in FIG. 7G, the first substrate 110 on which the conductive ink pattern 165 of FIG. 7F is formed is heat-treated using a hardening means such as a furnace or an oven to form the conductive ink pattern (FIG. By removing the solvent in 165 of 7f, the first substrate 110 according to the first embodiment of the present invention is completed by forming the auxiliary wiring 168 having a lattice shape having only low resistance metal material by using only a low resistance metal material.

이때 상기 보조배선(168)은 그 두께가 게이트 배선(미도시) 또는 데이터 배선(130)과 유사한 수준인 1000 내지 4000Å 정도의 두께를 갖도록 함으로써 단위 면적당 내부 저항이 작아 저저항 배선 특성이 발현되도록 하여 신호전압 인가 시 내부 저항에 의한 전압 강하가 거의 발생되지 않도록 하는 것이 바람직하다.At this time, the auxiliary wiring 168 has a thickness of about 1000 to 4000 kPa, which is similar to that of the gate wiring (not shown) or the data wiring 130, so that the internal resistance per unit area is small, so that low resistance wiring characteristics are expressed. When the signal voltage is applied, it is preferable that the voltage drop due to the internal resistance hardly occurs.

실질적으로 이러한 두께를 갖는 보조배선(168) 또한 내부저항에 의해 신호전압 인가 시 전압강하가 발생하지만 그 전압강하의 발생 정도가 20 내지 200Å 정도의 두께를 갖는 제 2 전극(158)보다는 수 배 내지 수 십배 정도로 현저히 작은 수준이 되어 상기 보조배선(168)을 통해 인가되는 신호전압의 강하는 무시할 정도가 되므로 상기 보조배선(168)을 통해서는 전압강하가 거의 발생되지 않는다고 언급한 것이다.Subsidiary wiring 168 having such a thickness also has a voltage drop when the signal voltage is applied by the internal resistance, but the voltage drop is several times higher than that of the second electrode 158 having a thickness of about 20 to 200 kV. It is mentioned that the voltage drop is rarely generated through the auxiliary line 168 because the voltage of the signal voltage applied through the auxiliary line 168 becomes negligibly small, which is a few orders of magnitude lower.

한편, 전술한 롤 코팅 장치를 통해 뱅크(150)와 중첩하는 형태로 보조배선(168)을 형성하는 경우, 별도의 패터닝을 위한 마스크 공정 즉, 포토레지스트의 도포, 노광 마스크를 이용한 노광, 노광된 포토레지스트의 현상, 식각 및 포토레지스트의 스트립 등의 공정을 진행하지 않아도 되므로 공정 단순화의 효과를 구현하는 장점을 갖는다.On the other hand, in the case of forming the auxiliary wiring 168 in the form overlapping with the bank 150 through the above-described roll coating apparatus, a mask process for separate patterning, that is, the application of photoresist, exposure using an exposure mask, exposed Since the development of the photoresist, the etching and the process of the strip of the photoresist do not need to proceed, there is an advantage of implementing the effect of the process simplification.

다음, 도 7h에 도시한 바와 같이, 상기 제 1 기판(110)과 대응하여 상기 유기발광 다이오드(E)의 인캡슐레이션을 위해 투명한 절연재질로 이루어진 제 2 기판(170)을 대향하여 위치시키고, 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)의 사이에는 투명하며 접착 특성을 갖는 프릿(Frit), 유기절연물질, 고분자 물질 중 어느 하나로 이루어진 페이스 씰(미도시)을 상기 제 1 기판(110)의 전면에 코팅한 상태에서 상기 제 1 기판(110)과 제 2 기판(170)을 합착하거나, 또는 진공 혹은 불활성 가스 분위기에서 상기 제 1 기판(110)의 가장자리를 따라 씰패턴(미도시)을 형성한 후 상기 제 1 및 제 2 기판(110, 170)을 합착함으로서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(101)를 완성한다.Next, as shown in FIG. 7H, a second substrate 170 made of a transparent insulating material is disposed to face the first substrate 110 so as to encapsulate the organic light emitting diode E. Between the first substrate 110 and the second substrate 170, a face seal (not shown) made of any one of a frit, an organic insulating material, and a polymer material, which is transparent and has an adhesive property, may be formed. The first substrate 110 and the second substrate 170 are bonded to each other in a state of being coated on the entire surface of the 110, or a seal pattern (not shown) along the edge of the first substrate 110 in a vacuum or inert gas atmosphere. ) And then bonding the first and second substrates 110 and 170 to complete the organic light emitting device 101 according to the first embodiment of the present invention.

한편, 상기 제 1 기판(110)의 상기 제 2 전극(158) 위로 무기절연물질 또는 유기절연물질을 증착 또는 도포하거나, 또는 점착층(미도시)을 재개하여 필름(미도시)을 부착함으로써 인캡슐레이션 막(미도시)으로 이용할 경우, 상기 제 2 기판(170)은 생략될 수 있다.
On the other hand, by depositing or coating an inorganic insulating material or an organic insulating material on the second electrode 158 of the first substrate 110, or by re-attaching the adhesive layer (not shown) to attach a film (not shown) When used as a encapsulation film (not shown), the second substrate 170 may be omitted.

도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 표시영역 일부에 대한 단면도이다. 이때, 설명의 편의를 위해 각 화소영역 내에 스위칭 박막트랜지스터가 형성될 영역을 스위칭 영역, 구동 박막트랜지스터가 형성될 영역을 구동영역이라 정의하였으며, 구동 박막트랜지스터는 각 화소영역별로 형성되지만, 도면에 있어서는 하나의 화소영역에 대해서만 나타내었다. 그리고, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 경우, 보조배선의 형성 위치만이 다를 뿐 그 이외의 구성요소는 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자와 동일하므로 차별점이 있는 부분을 위주로 설명하며, 이때, 제 1 실시예와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하였으며, 단지 유기전계 발광소자만을 400 더하여 도면 부호를 부여하였다. 9 is a cross-sectional view of a part of a display area of an organic light emitting diode according to a second exemplary embodiment of the present invention. In this case, for convenience of description, a region in which the switching thin film transistor is to be formed in each pixel region is defined as a switching region and a region in which the driving thin film transistor is to be formed as a driving region, and the driving thin film transistor is formed for each pixel region. Only one pixel area is shown. In the case of the organic light emitting device according to the second embodiment of the present invention, only the formation position of the auxiliary wiring is different, and other components are the same as those of the organic light emitting device according to the first embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and only 400 organic light emitting diodes are added to the same reference numerals.

본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(501)는 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기전계 발광 다이오드(E) 및 표시영역(AA)에 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 제 2 전극(158)과 뱅크 사이에 화소영역(P)에 경계를 따라 격자형태를 이루며 저 저항 특성을 갖는 금속물질로 이루어진 보조배선(168)이 형성된 제 1 기판(110)과, 상기 유기전계 발광 다이오드(E)의 보호 및 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(170)으로 구성되고 있다. 이때, 상기 제 2 기판(170)은 무기절연막 또는(및) 유기절연막 등으로 대체되거나 또는 필름이 부착됨으로써 생략될 수 있다. In the organic light emitting diode 501 according to the second embodiment of the present invention, a driving and switching thin film transistor DTr (not shown), an organic light emitting diode E, and a display area AA of the organic light emitting diode E The first substrate 110 having the auxiliary wiring 168 formed of a metal material having a low resistance characteristic and having a lattice shape along the boundary between the second electrode 158 and the bank of the pixel region P, and the A second substrate 170 for encapsulation and protection of the organic light emitting diode E is formed. In this case, the second substrate 170 may be replaced with an inorganic insulating film and / or an organic insulating film, or may be omitted by attaching a film.

우선, 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)와 유기전계 발광 다이오드(E) 및 보조배선(168)이 구비된 제 1 기판(110)의 구성에 대해 설명한다.First, the configuration of the first substrate 110 including the driving and switching thin film transistor DTr (not shown), the organic light emitting diode E, and the auxiliary line 168 will be described.

상기 제 1 기판(110) 상에는 서로 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 게이트 및 데이터 배선(미도시, 130)과, 이들 두 배선(미도시, 130) 중 어느 하나의 배선과 나란하게 연장하며 전원배선(미도시)이 형성되고 있다.On the first substrate 110, the gate and data lines (not shown) 130 which cross each other and define the pixel region P and extend in parallel with any one of these two lines (not shown) 130. Power wiring (not shown) is being formed.

그리고 각 화소영역(P) 내부에는 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)가 구비되고 있다. 이때 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)의 구조에 대해서는 제 1 실시예 및 이의 변형예들을 통해 설명하였으므로 생략한다.Each pixel region P is provided with a driving and switching thin film transistor DTr (not shown). In this case, the structure of the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) has been described through the first embodiment and modifications thereof, and thus will be omitted.

또한, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시) 위로는 상기 제 1 기판(110) 전면에 대응하여 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)을 노출시키는 드레인 콘택홀(143)이 구비된 보호층(140)이 형성되어 있다. In addition, a drain contact hole 143 exposing the drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr is disposed on the driving and switching thin film transistor DTr (not shown) to correspond to the entire surface of the first substrate 110. The provided protective layer 140 is formed.

그리고 상기 드레인 콘택홀(143)을 구비한 보호층(140) 위로는 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 상기 드레인 콘택홀(143)을 통해 접촉되며, 각 화소영역(P) 별로 상부층(147b)은 애노드 전극의 역할을 하며, 하부층(147a)은 반사판의 역할을 하는 이중층 구조의 제 1 전극(147)이 형성되어 있다. The drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr and the drain contact hole 143 are in contact with each other over the passivation layer 140 including the drain contact hole 143. In other words, the upper layer 147b serves as an anode electrode, and the lower layer 147a has a first electrode 147 having a double layer structure serving as a reflecting plate.

다음, 상기 이중층 구조를 갖는 제 1 전극(147) 위로 각 화소영역(P)의 경계에는 각 화소영역(P)을 둘러싸는 형태로 상기 제 1 전극(147)의 테두리와 중첩하도록 상기 제 1 전극(150)의 중앙부를 노출시키며 뱅크(150)가 형성되어 있다. Next, the first electrode 147 is formed on the boundary of each pixel region P on the first electrode 147 having the double layer structure so as to overlap the edge of the first electrode 147 in the form of enclosing each pixel region P. The bank 150 is formed while exposing the central portion of the 150.

한편, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(501)에 있어서 가장 특징적인 구성으로서 상기 뱅크(150) 상부에는 이와 직접 접촉하며 저저항 도전성 물질로 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu) 중 어느 하나 또는 둘 이상의 물질로 이루어진 보조배선(168)이 형성되고 있는 것이 특징이다. 이러한 보조배선(168)은 상기 뱅크(150)에 대응해서만이 선택적으로 형성됨으로서 표시영역에 있어서 격자형태를 이루는 것이 특징이다. On the other hand, in the organic light emitting device 501 according to the second embodiment of the present invention as the most characteristic configuration, the upper portion of the bank 150 is in direct contact with the aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd) as a low resistance conductive material ), An auxiliary wiring 168 made of any one or two or more of silver (Ag), gold (Au), and copper (Cu) is formed. The auxiliary line 168 is selectively formed only in correspondence with the bank 150 to form a grid in the display area.

제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도의 101)의 경우, 상기 보조배선(도 2의 168)은 제 2 전극(도 2의 158)의 상부에 형성되었지만, 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(501)의 경우, 상기 제 2 전극(158)이 형성되기 이전에 우선적으로 먼저 상기 뱅크(150)에 대응하여 형성되었기 때문에 상기 제 2 전극(158) 하부에 위치하는 것이 특징이다.In the case of the organic light emitting device (101 of FIG. 1) according to the first embodiment, the auxiliary wiring (168 of FIG. 2) is formed on the second electrode (158 of FIG. 2), but the organic field according to the second embodiment. In the case of the light emitting device 501, since the first electrode 158 is first formed corresponding to the bank 150 before the second electrode 158 is formed, the light emitting device 501 is positioned below the second electrode 158.

이때, 이러한 보조배선(168)은 뱅크(150) 하부에 위치하는 게이트 배선(미도시) 또는(및) 데이터 배선(130)의 폭과 같거나 또는 이 보다 더 큰 폭을 가지며, 그 두께는 상기 게이트 배선(미도시) 또는 데이터 배선(130)과 동일한 수준 즉 1000Å 내지 4000Å가 되고 있다.In this case, the auxiliary line 168 has a width equal to or greater than the width of the gate line (and / or) and / or the data line 130 under the bank 150, and the thickness thereof is equal to or greater than the width of the auxiliary line 168. It is at the same level as that of the gate wiring (not shown) or the data wiring 130, that is, 1000 kV to 4000 kV.

그리고, 상기 뱅크(150)로 둘러싸인 각 화소영역(P)에 있어 상기 제 1 전극(147) 위로는 유기 발광층(155)이 형성되고 있다. The organic emission layer 155 is formed on the first electrode 147 in each pixel region P surrounded by the bank 150.

그리고, 상기 유기 발광층(155)과 상기 보조배선(168)의 상부에는 상기 표시영역 전면에 캐소드 전극의 역할을 하며 투명성을 유지하는 것을 특징으로 하는 상기 제 2 전극(158)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1, 2 전극(147, 158)과 그 사이에 형성된 유기 발광층(155)은 유기전계 발광 다이오드(E)를 이루게 된다.In addition, the second electrode 158 is formed on the organic light emitting layer 155 and the auxiliary line 168 to serve as a cathode on the entire display area and to maintain transparency. In this case, the first and second electrodes 147 and 158 and the organic light emitting layer 155 formed therebetween form an organic light emitting diode (E).

그리고 전술한 구성을 갖는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(501)의 제 1 기판(110)에 대응하여 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(170)이 구비되고 있다. In addition, a second substrate 170 for encapsulation is provided corresponding to the first substrate 110 of the organic light emitting diode 501 according to the second exemplary embodiment having the above-described configuration.

이때, 상기 제 2 기판(170)은 상기 제 2 전극 위로 유기절연막(미도시) 또는 무기절연막(미도시)이 더욱 구비되어 캡핑막을 이룰 수도 있으며, 상기 유기절연막(미도시) 또는 무기절연막(162)은 그 자체로 인캡슐레이션 막(미도시)으로 이용될 수도 있으며, 이 경우 상기 제 2 기판(170)은 생략될 수도 있다. In this case, the second substrate 170 may be further provided with an organic insulating film (not shown) or an inorganic insulating film (not shown) on the second electrode to form a capping film, the organic insulating film (not shown) or inorganic insulating film 162 ) May itself be used as an encapsulation film (not shown), in which case the second substrate 170 may be omitted.

한편, 이러한 구성을 갖는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(501) 또한 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자(도 2의 101)와 동일하게 휘도 불균일을 개선하여 표시품질을 향상시키는 효과를 구현할 수 있음은 자명하다 할 것이다. On the other hand, the organic light emitting device 501 according to the second embodiment of the present invention having such a configuration also improves display quality by improving luminance unevenness in the same manner as the organic light emitting device (101 in FIG. 2) according to the first embodiment. It is obvious that the effect of improving can be realized.

이후에는 전술한 구성을 갖는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(501)의 제조 방법에 대해 간단히 설명한다. 이때, 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(501)의 제조 방법은 제 1 실시예와 대부분이 유사하므로 제 2 실시예와 차별점이 있는 부분을 위주로 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing the organic light emitting diode 501 according to the second embodiment of the present invention having the above-described configuration will be briefly described. In this case, since the method of manufacturing the organic light emitting device 501 according to the second embodiment is mostly similar to the first embodiment, a description will be given focusing on the parts that are different from the second embodiment.

도 10a 내지 도 10e는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 단계별 공정 단면도이다.10A through 10E are cross-sectional views illustrating manufacturing steps of an organic light emitting diode according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도시한 바와같이, 제 1 실시예에 제시된 동일한 방법을 진행하여 제 1 기판(101) 상에 서로 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 게이트 및 데이터 배선(미도시, 130)과, 이들 두 배선 중 어느 하나의 배선(미도시, 130)과 나란하게 연장하며 전원배선(미도시)을 형성하고, 각 화소영역(P) 내부에는 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시)를 형성한다. As shown, the gate and data wirings (not shown) 130 which define the pixel region P crossing each other on the first substrate 101 by going through the same method shown in the first embodiment, and these two wirings Power lines (not shown) extend parallel to any one of the wires (not shown) 130, and driving and switching thin film transistors DTr (not shown) are formed inside each pixel area P.

이후, 상기 구동 및 스위칭 박막트랜지스터(DTr, 미도시) 위로 보호층(140)을 형성하고, 상기 보호층(140) 위로 각 화소영역(P)에 상기 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인 전극(136)과 접촉하며 이중층 구조를 갖는 제 1 전극(147)을 형성한다.Subsequently, a passivation layer 140 is formed on the driving and switching thin film transistor DTr (not shown), and a drain electrode 136 of the driving thin film transistor DTr is formed in each pixel region P on the passivation layer 140. ) And a first electrode 147 having a double layer structure.

그리고, 연속하여 상기 제 1 전극(147) 위로 상기 제 1 전극(147)의 가장자리 부분과 소정폭 중첩하며 각 화소영역(P)의 경계에 1 내지 10㎛ 정도의 높이를 갖는 뱅크(150)를 형성한다. Subsequently, a bank 150 having a height of about 1 to 10 μm is overlapped with the edge portion of the first electrode 147 successively over the first electrode 147 and at the boundary of each pixel region P. Form.

이러한 뱅크(150)를 형성하는 단계까지는 제 1 실시예와 동일하게 진행된다.The steps up to forming the bank 150 proceed in the same manner as in the first embodiment.

다음, 도 10b에 도시한 바와같이, 상기 뱅크(150)가 형성된 상태의 제 1 기판(110)을 롤 코팅 장치(도 8의 401)의 스테이지(410) 상에 안착시키고, 롤 코팅을 진행함으로서 타영역 대비 돌출된 볼록부를 이루는 상기 뱅크(150)에 대응해서만 선택적으로 도전성 잉크패턴(165)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 10B, the first substrate 110 having the bank 150 formed thereon is seated on the stage 410 of the roll coating apparatus 401 of FIG. 8, and roll coating is performed. The conductive ink pattern 165 may be selectively formed only corresponding to the banks 150 forming the convex portions protruding from other regions.

이때, 상기 뱅크(150)는 상기 도전성 잉크 패턴(165)을 이루는 도전성 잉크의 표면에너지보다 큰 값을 갖는 유기물질로 이루어지도록 함으로서 인쇄롤(420)의 블랭킷(415) 표면에 형성된 도전성 잉크층(430)이 상기 제 1 기판(110)상의 상기 뱅크(150) 상부로 원활하게 전사될 수 있도록 하는 것이 바람직하다. In this case, the bank 150 is made of an organic material having a value greater than the surface energy of the conductive ink forming the conductive ink pattern 165, thereby forming a conductive ink layer formed on the surface of the blanket 415 of the printing roll 420 ( It is preferable to allow the 430 to be smoothly transferred onto the bank 150 on the first substrate 110.

이후, 도 10c에 도시한 바와같이,상기 제 1 기판(110)의 상기 뱅크(150) 상에 형성된 도전성 잉크 패턴(미도시)에 대해 열처리를 진행함으로서 경화시켜 보조배선(168)을 이루도록 한다. 이러한 보조배선(168)은 표시영역 내에서 격자형태를 이루는 것이 특징이다. Thereafter, as illustrated in FIG. 10C, heat treatment is performed on the conductive ink pattern (not shown) formed on the bank 150 of the first substrate 110 to form an auxiliary wiring 168. The auxiliary line 168 is characterized by forming a grid in the display area.

이러한 롤 코팅 장치(도 8의 401)를 통해 보조배선(168)을 형성하는 방법은, 제 2 전극(도 2의 158) 상부에 형성되는 것이 아니라 상기 뱅크(150) 상에 형성되는 것만을 달리할 뿐 실질적인 보조배선(168) 자체의 형성방법은 제 1 실시예와 동일하게 진행되며, 이러한 롤 코팅 장치(도 8의 401)를 통해 보조배선(도 2의 168)의 형성 방법은 제 1 실시예를 통해 이미 상세히 설명하였으므로 이하 그 설명을 생략한다.The method of forming the auxiliary wiring 168 through the roll coating apparatus 401 of FIG. 8 is different from that formed on the bank 150 instead of being formed on the second electrode 158 of FIG. 2. However, the method of forming the auxiliary wiring 168 itself is substantially the same as that of the first embodiment, and the method of forming the auxiliary wiring 168 of FIG. 2 is performed through the roll coating apparatus 401 of FIG. 8. Since it has already been described in detail by way of example, a description thereof will be omitted below.

다음, 도 10d에 도시한 바와같이, 상기 뱅크(150) 상에 상기 뱅크(150)와 직접 접촉하며 표시영역에 격자형태로 형성된 상기 보조배선(168)이 구비된 제 1 기판(110)에 대응하여 잉크젯 장치(195) 또는 노즐 코팅장치(미도시)를 이용하여 액상의 유기 발광 물질을 상기 뱅크(150)로 둘러싸인 영역에 대응하여 분사 또는 드롭핑 함으로서 상기 각 화소영역(P) 내의 상기 제 1 전극(150) 상부에 유기 발광 물질층(미도시)을 형성하고, 이를 건조 및 경화시켜 솔벤트를 제거함으로서 각 화소영역(P) 내에 경화된 상태의 유기 발광층(155)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 10D, the bank 150 directly contacts the bank 150 and corresponds to the first substrate 110 having the auxiliary wiring 168 formed in a lattice form in a display area. By spraying or dropping a liquid organic light emitting material corresponding to an area surrounded by the bank 150 by using an inkjet device 195 or a nozzle coating device (not shown). An organic light emitting material layer (not shown) is formed on the electrode 150, and the organic light emitting layer 155 in the cured state is formed in each pixel area P by removing and drying the solvent.

다음, 도 10e에 도시한 바와같이, 상기 보조배선(168) 및 유기 발광층(155)이 형성된 상기 제 1 기판(110)에 대해 일함수 값이 비교적 낮은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 알루미늄마그네슘 합금(AlMg) 중 어느 하나 또는 둘 이상을 혼합하여 진공의 분위기에서 열증착을 진행함으로서 상기 보조배선(168)과 유기 발광층(155) 상부로 상기 표시영역 전면에 10 내지 200Å 정도의 두께를 갖는 제 2 전극(158)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 10E, a metal material having a relatively low work function value for the first substrate 110 on which the auxiliary wiring 168 and the organic light emitting layer 155 are formed, for example, aluminum (Al) and aluminum The auxiliary wiring 168 by admixing any one or two or more of an alloy (AlNd), silver (Ag), magnesium (Mg), gold (Au), aluminum magnesium alloy (AlMg) in a vacuum atmosphere. And a second electrode 158 having a thickness of about 10 to about 200 micrometers on the entire display area above the organic emission layer 155.

이후, 도 10f에 도시한 바와같이, 제 1 실시예에 언급된 동일한 방법을 진행하여 상기 제 2 전극(158)에 형성된 제 1 기판(110)에 대응하여 제 2 기판(170)을 형성하거나, 또는 인캡슐레이션 막을 형성함으로서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자(501)를 완성한다.Thereafter, as shown in FIG. 10F, a second substrate 170 is formed to correspond to the first substrate 110 formed on the second electrode 158 by performing the same method mentioned in the first embodiment. Alternatively, by forming an encapsulation film, the organic light emitting diode 501 according to the second embodiment of the present invention is completed.

이러한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제조 방법에 의해 제조되는 유기전계 발광소자의 경우도 제 1 실시예와 유사하게 뱅크와 중첩하며 동시에 제 2 전극과 접촉하는 형태로 저저항 도전성 물질로 이루어진 보조배선이 구비됨으로서 상기 제 2 전극으로 인가되는 신호전압은 상기 보조배선을 따라 제 2 전극 내부를 이동하게 되므로 제 2 전극 내에서의 위치별 전압강하를 억제하여 휘도 불균일 현상을 방지하는 효과를 갖는다.In the case of the organic light emitting device manufactured by the manufacturing method according to the second embodiment of the present invention, similarly to the first embodiment, an auxiliary material made of a low resistance conductive material in the form of overlapping with the bank and in contact with the second electrode at the same time Since the wiring is provided, the signal voltage applied to the second electrode moves inside the second electrode along the auxiliary wiring, thereby suppressing a voltage unevenness by position in the second electrode.

나아가 이러한 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조방법의 경우, 뱅크를 형성한 후 유기발광층의 형성 전에 롤 코팅 장치를 통해 보조배선을 형성하게 되므로, 유기 발광층과 제 2 전극을 형성 후 보조배선을 형성하는 제 1 실시예 대비 오차에 기인하는 제 2 전극 및 유기 발광층의 손상을 억제하는 효과를 더욱 갖는다.Furthermore, in the method of manufacturing the organic light emitting device according to the second embodiment, since the auxiliary wiring is formed through the roll coating apparatus after forming the bank and before forming the organic light emitting layer, the auxiliary light is formed after forming the organic light emitting layer and the second electrode. It further has an effect of suppressing damage to the second electrode and the organic light emitting layer due to the error compared to the first embodiment for forming the wiring.

즉, 롤 코팅 장치 특성상 제 1 기판과 롤 간의 접촉이 이루어지며, 이때 제 1 기판에는 물리력이 가해지게 되는데, 제 1 실시예의 경우 이러한 롤 코팅 장치에 의해 가해지는 물리력에 의해 제 2 전극 및 유기 발광층이 손상될 가능성이 발생하지만 제 2 실시예에 따른 제조 방법의 경우, 제 1 전극 상부로 유기 발광층과 제 2 전극이 형성되지 않고 뱅크만이 형성된 상태에 우선적으로 상기 뱅크 상에 보조배선을 형성하게 됨으로서 롤 코팅 시 물리력이 가해진다 하더라도 유기 발광층과 제 2 전극은 전혀 손상될 여지가 없다.That is, due to the characteristics of the roll coating apparatus, contact between the first substrate and the roll is made. In this case, the physical force is applied to the first substrate. In the first embodiment, the second electrode and the organic light emitting layer are applied by the physical force applied by the roll coating apparatus. In the manufacturing method according to the second embodiment, the auxiliary wiring is preferentially formed on the bank in a state where only the bank is formed without the organic light emitting layer and the second electrode formed on the first electrode. As a result, even if a physical force is applied during roll coating, the organic light emitting layer and the second electrode are not damaged at all.

따라서, 제 2 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조 방법이 제 1 실시예에 따른 유기전계 발광소자의 제조방법 대비 유기발광층 및 제 2 전극의 손상 방지 측면에서 더욱 유리하다 할 것이다.
Therefore, the method of manufacturing the organic light emitting device according to the second embodiment will be more advantageous in terms of preventing damage to the organic light emitting layer and the second electrode compared to the method of manufacturing the organic light emitting device according to the first embodiment.

본 발명은 전술한 실시예 및 변형예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다. The present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

101 : 유기전계 발광소자 110 : 제 1 기판
113 : 반도체층 113a : 제 1 영역
113b : 제 2 영역 116 : 게이트 절연막
120 : (구동 박막트랜지스터의)게이트 전극
123 : 층간절연막 125 : 반도체층 콘택홀
133 : (구동 박막트랜지스터의)소스 전극
136 : (구동 박막트랜지스터의)드레인 전극
140 : 보호층 143 : 드레인 콘택홀
147 : 제 1 전극 147a : (제1전극의)하부층
147b : (제1전극의)상부층 150 : 뱅크
155 : 유기 발광층 158 : 제 2 전극
168 : 보조배선 170 : 제 2 기판
180 : 보호필름 DTr : 구동 박막트랜지스터
E: 유기전계 발광 다이오드 P : 화소영역
101 organic light emitting device 110 first substrate
113: semiconductor layer 113a: first region
113b: second region 116: gate insulating film
120: gate electrode (of driving thin film transistor)
123: interlayer insulating film 125: semiconductor layer contact hole
133: source electrode (of the driving thin film transistor)
136: drain electrode (of driving thin film transistor)
140: protective layer 143: drain contact hole
147: First electrode 147a: Lower layer (of the first electrode)
147b: upper layer (of the first electrode) 150: bank
155: organic light emitting layer 158: second electrode
168: auxiliary wiring 170: second substrate
180: protective film DTr: driving thin film transistor
E: organic light emitting diode P: pixel area

Claims (15)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 다수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 제 1 전극을 형성하는 단계와;
상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 제 1 높이를 가지며 상기 각 화소영역을 둘러싸는 형태의 뱅크를 형성하는 단계와;
상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와;
상기 유기 발광층 상부로 제 1 두께를 가지며 상기 표시영역 전면에 끊김없이 형성되며 상기 뱅크에 대응하는 부분이 돌출된 구성을 이루는 제 2 전극을 형성하는 단계와;
상기 제 2 전극 위로 제 2 두께를 가지며 상기 뱅크로 인해 돌출된 부분에 대응하여 선택적으로 보조배선을 형성하는 단계
를 포함하며,
상기 제 2 전극 위로 제 2 두께를 가지며 상기 뱅크로 인해 돌출된 부분에 대응하여 선택적으로 보조배선을 형성하는 단계는,
스테이지와 표면에 블랭킷이 구비된 인쇄롤과 상기 인쇄롤에 도전성 잉크를 공급하는 잉크 공급 슬릿으로 구성된 롤 코팅 장치의 상기 스테이지 상에 상기 제 2 전극이 형성된 기판을 안착시키는 단계와;
상기 블랭킷 전면에 액체 상태의 도전성 잉크를 코팅하여 도전성 잉크층을 형성하는 단계와;
상기 스테이지를 일 방향으로 진행시킴과 동시에, 전면에 액체 상태의 도전성 잉크층이 형성된 상기 블랭킷을 상기 스테이지의 진행속도에 맞추어 일 방향으로 회전시켜, 상기 도전성 잉크층과 상기 제 2 전극의 돌출된 부분과 직접 접촉하도록 함으로서, 상기 도전성 잉크층을 상기 제 2 기판의 모든 돌출된 부분으로 전사시키는 단계와;
상기 제 2 전극 위로 전사된 도전성 잉크 패턴을 열 처리하여 경화시킴으로서 상기 보조배선을 형성하는 단계를 포함하며,
상기 보조배선의 평면적은 상기 뱅크의 평면적과 동일하게 형성되는 유기전계 발광소자의 제조 방법.
Forming a first electrode for each pixel region on a first substrate on which a display region having a plurality of pixel regions is defined;
Forming a bank in the display area, the bank overlapping an edge of the first electrode and having a first height and surrounding the pixel area;
Forming an organic emission layer on each of the first electrodes surrounded by the banks;
Forming a second electrode having a first thickness on the organic light emitting layer, the second electrode being formed on the entire surface of the display area without any break, and having a portion protruding from the bank;
Selectively forming an auxiliary line corresponding to a portion having a second thickness over the second electrode and protruding from the bank;
Including;
Selectively forming an auxiliary line corresponding to a portion having a second thickness over the second electrode and protruding from the bank,
Mounting a substrate on which the second electrode is formed on the stage of a roll coating apparatus comprising a stage and a printing roll having a blanket on the surface and an ink supply slit for supplying conductive ink to the printing roll;
Coating a conductive ink in a liquid state on the entire surface of the blanket to form a conductive ink layer;
The stage is advanced in one direction, and the blanket in which the conductive ink layer in the liquid state is formed on the entire surface thereof is rotated in one direction according to the traveling speed of the stage to protrude the conductive ink layer and the second electrode. Transferring the conductive ink layer to all the protruding portions of the second substrate by direct contact with the substrate;
Forming the auxiliary wiring by heat treating and curing the conductive ink pattern transferred onto the second electrode,
The planar area of the auxiliary line is formed to be the same as the planar area of the bank.
삭제delete 다수의 화소영역을 갖는 표시영역이 정의된 제 1 기판 상에 상기 각 화소영역 별로 제 1 전극을 형성하는 단계와;
상기 표시영역에 상기 각 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며 제 1 높이를 가지며 상기 각 화소영역을 둘러싸는 형태의 뱅크를 형성하는 단계와;
상기 뱅크로 둘러싸인 상기 각 제 1 전극 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계와;
상기 유기 발광층 상부로 제 1 두께를 가지며 상기 표시영역 전면에 끊김없이 제 2 전극을 형성하는 단계
를 포함하며, 상기 유기 발광층을 형성하기 전에 상기 뱅크에 대해서만 선택적으로 이의 상부로 제 2 두께를 갖는 보조배선을 형성하는 단계를 더 진행하며,
상기 뱅크에 대해서만 선택적으로 이의 상부로 제 2 두께를 갖는 보조배선을 형성하는 단계는,
스테이지와 표면에 블랭킷이 구비된 인쇄롤과 상기 인쇄롤에 도전성 잉크를 공급하는 잉크 공급 슬릿으로 구성된 롤 코팅 장치의 상기 스테이지 상에 상기 뱅크가 형성된 기판을 안착시키는 단계와;
상기 블랭킷 전면에 액체 상태의 도전성 잉크를 코팅하여 도전성 잉크층을 형성하는 단계와;
상기 스테이지를 일 방향으로 진행시킴과 동시에, 전면에 액체 상태의 도전성 잉크층이 형성된 상기 블랭킷을 상기 스테이지의 진행속도에 맞추어 일 방향으로 회전시켜, 상기 도전성 잉크층과 상기 뱅크의 상면이 직접 접촉하도록 함으로서 상기 도전성 잉크층을 상기 제 2 기판의 모든 상기 뱅크 상면으로 전사시키는 단계와;
상기 뱅크의 상면으로 전사된 도전성 잉크 패턴을 열 처리하여 경화시킴으로서 상기 보조배선을 형성하는 단계를 포함하며,
상기 제 2 전극은 상기 보조배선의 상면 및 상기 보조배선의 측면을 모두 덮어 접촉되는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
Forming a first electrode for each pixel region on a first substrate on which a display region having a plurality of pixel regions is defined;
Forming a bank in the display area, the bank overlapping an edge of the first electrode and having a first height and surrounding the pixel area;
Forming an organic emission layer on each of the first electrodes surrounded by the banks;
Forming a second electrode on the organic light emitting layer and having a first thickness on the entire display area.
Further comprising forming auxiliary wirings having a second thickness thereon selectively only for the banks before forming the organic light emitting layer,
Selectively forming an auxiliary wiring having a second thickness thereon only for the bank,
Mounting a substrate on which the bank is formed on the stage of a roll coating apparatus comprising a stage and a printing roll having a blanket on the surface and an ink supply slit for supplying conductive ink to the printing roll;
Coating a conductive ink in a liquid state on the entire surface of the blanket to form a conductive ink layer;
While advancing the stage in one direction, the blanket having the liquid conductive ink layer formed thereon in the front surface is rotated in one direction according to the traveling speed of the stage so that the conductive ink layer and the upper surface of the bank directly contact each other. Transferring the conductive ink layer to all of the bank top surfaces of the second substrate;
Forming the auxiliary wiring by heat treating and curing the conductive ink pattern transferred to the upper surface of the bank,
The second electrode is a method of manufacturing an organic light emitting device, characterized in that the upper surface of the auxiliary wiring and the side surface of the auxiliary wiring is in contact with each other.
제 9 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 보조배선은 상기 표시영역 외측의 비표시영역까지 연장 형성되어 신호전압 인가를 위한 Vss배선과 연결된 구성을 이루는 유기전계 발광소자의 제조방법.
The method according to claim 9 or 11,
And the auxiliary line extends to a non-display area outside the display area and is connected to a Vss wire for applying a signal voltage.
제 9 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 도전성 잉크는 도전성 물질인 알루미늄(Al), 알루미늄합금(AlNd), 구리(Cu), 금(Au), 은(Ag) 중 어느 하나의 물질로 이루어진 수 내지 수십 나노미터의 크기를 갖는 다수의 입자와 솔벤트로 이루어진 유기전계 발광소자의 제조 방법.
The method according to claim 9 or 11,
The conductive ink may be formed of any one of conductive materials such as aluminum (Al), aluminum alloy (AlNd), copper (Cu), gold (Au), and silver (Ag). Method for producing an organic light emitting device consisting of particles and solvents.
제 9 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 제 1 높이는 1 내지 10㎛ 이며, 상기 제 1 두께는 10 내지 200Å이며, 상기 제 2 두께는 1000 내지 4000Å인 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
The method according to claim 9 or 11,
The first height is 1 to 10㎛, the first thickness is 10 to 200Å, the second thickness is 1000 to 4000Å manufacturing method of an organic light emitting device.
제 9 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 제 1 전극을 형성하기 이전에,
상기 제 1 기판 상에 서로 교차하여 상기 화소영역을 정의하는 게이트 및 데이터 배선과, 상기 게이트 배선 또는 데이터 배선이 형성된 동일한 층에 형성된 전원배선과, 상기 각 화소영역에 구비되며, 상기 게이트 배선 및 데이터 배선과 연결된 스위칭 박막트랜지스터와 상기 전원배선 및 상기 스위칭 박막트랜지스터와 연결된 구동 박막트랜지스터와, 상기 표시영역 전면에 상기 스위칭 및 구동 박막트랜지스터를 덮으며 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀을 갖는 보호층을 형성하는 단계를 더욱 진행하며,
상기 제 1 전극은 상기 보호층 위로 상기 각 화소영역 내에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막트랜지스터의 드레인 전극과 접촉하도록 형성하는 것이 특징인 유기전계 발광소자의 제조 방법.
The method according to claim 9 or 11,
Prior to forming the first electrode,
A gate and data wiring crossing the first substrate to define the pixel region, a power wiring formed in the same layer on which the gate wiring or data wiring is formed, and provided in each pixel region, and the gate wiring and data A switching thin film transistor connected to a wiring, a driving thin film transistor connected to the power supply wiring and the switching thin film transistor, a drain contact hole covering the switching and driving thin film transistor over the display area and exposing the drain electrode of the driving thin film transistor. Further proceeding to form a protective layer having,
And the first electrode is formed to contact the drain electrode of the driving thin film transistor through the drain contact hole in each pixel area over the passivation layer.
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