KR102296485B1 - 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조 - Google Patents
광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조 Download PDFInfo
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조에서 상부플레이트가 이동한 상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조에서 이동플레이트의 상하 이동 동작을 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조에서 상부스테이지의 하단면을 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조에서 피스톤과 아암의 결합구조를 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조에 의해 상부스테이지와 하부스테이지의 자동정렬이 이루어지는 과정을 보여주는 개략도이다.
110 : 상부스테이지
111 : 상부접속핀
112 : 관통부
120 : 가이드홀
130 : 아암
131 : 관통홀
132 : 부싱
140 : 셔터부
200 : 하부플레이트
210 : 하부스테이지
211 : 하부접속핀
212 : 장착부
220 : 가이드핀
300 : 실린더
310 : 피스톤
320 : 구속링
321 : 무두볼트
330 : 유동스프링
400 : 지지프레임
410 : 고정플레이트
420 : 이동플레이트
421 : 가이드부
422 : 스프링
430 : 가이드레일
440 : 스토퍼
Claims (3)
- 가이드레일이 형성된 지지프레임;
상기 지지프레임의 양측면에 형성되어 피스톤을 전방 또는 후방으로 이동시키는 실린더;
상부접속핀을 포함하는 상부스테이지 및 상기 피스톤에 결합되는 아암이 형성된 상부플레이트; 및
하부접속핀 및 장착부를 포함하는 하부스테이지가 형성되며, 상기 지지프레임의 내측 하단부에 위치한 고정프레임에 형성된 다수개의 가이드부를 따라 상하 이동이 가능하도록 설치된 이동플레이트의 상단에 결합되어 상하 이동하는 하부플레이트;를 포함하며,
상기 피스톤에 결합된 상기 아암의 양단에 구속링에 의해 위치가 고정된 유동스프링이 형성되어 상기 아암이 상기 피스톤 상에서 이동하는 것이 가능하고,
상기 상부플레이트 및 상기 하부플레이트에는 가이드홀 및 가이드핀이 형성되며,
상기 가이드핀이 상기 가이드홀에 인입됨으로써 정렬이 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조.
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 아암의 관통홀에는 수지 재질의 부싱이 형성되며,
상기 구속링은 무두볼트에 의해 상기 피스톤에 고정되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020200021807A KR102296485B1 (ko) | 2020-02-21 | 2020-02-21 | 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020200021807A KR102296485B1 (ko) | 2020-02-21 | 2020-02-21 | 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조 |
Publications (1)
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| KR102296485B1 true KR102296485B1 (ko) | 2021-08-31 |
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ID=77489250
Family Applications (1)
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| KR1020200021807A Active KR102296485B1 (ko) | 2020-02-21 | 2020-02-21 | 광학 검사 장비의 스테이지 자동정렬 구조 |
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| KR (1) | KR102296485B1 (ko) |
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2020
- 2020-02-21 KR KR1020200021807A patent/KR102296485B1/ko active Active
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