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KR102387592B1 - Carriage system - Google Patents

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KR102387592B1
KR102387592B1 KR1020220003145A KR20220003145A KR102387592B1 KR 102387592 B1 KR102387592 B1 KR 102387592B1 KR 1020220003145 A KR1020220003145 A KR 1020220003145A KR 20220003145 A KR20220003145 A KR 20220003145A KR 102387592 B1 KR102387592 B1 KR 102387592B1
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이인광
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Abstract

본 발명에 따르면, OHT 레일의 곡선부를 주행할 때, 캐리어 유닛의 무게 중심이 한쪽으로 치우치게 되어 캐리어 유닛이 OHT 레일에서 부상되지 않도록 캐리어 유닛의 상부에 들뜸 방지 부재를 부가함으로써, 곡선 주행시에 OHT 레일에서 캐리어 유닛이 부상되지 않고 주행할 수 있는 방안을 제공할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 곡선부에서의 방향 전환시 가이드를 요구하지 않아, 이송 대차 시스템 설치의 단순화 및 재료비를 절감할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by adding an anti-lift member to the upper part of the carrier unit so that the carrier unit does not float on the OHT rail due to the center of gravity of the carrier unit being biased to one side when the curved part of the OHT rail is driven, the OHT rail during curved driving There is an effect that can provide a way for the carrier unit to travel without being injured.
In addition, since a guide is not required when changing the direction in the curved part, there is an effect of simplifying the installation of the transfer bogie system and reducing material costs.

Description

이송 대차 시스템 {CARRIAGE SYSTEM}transfer bogie system {CARRIAGE SYSTEM}

본 발명은 이송 대차 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 대상물을 이송하는데 사용되는 대상물 이송 장치에서 사용될 수 있는 이송 대차 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a transport trolley system, and more particularly, to a transport trolley system that can be used in an object transport device used to transport an object in a semiconductor manufacturing line.

OHS 또는 OHT(Overhead Hoist Shuttle OR Transport, 천장 대차 시스템)은 이송할 소형 반송 대상물이 많은 대형병원, 반도체 및 평판 디스플레이 생산공장 등에 설치된다. 천장 대차 시스템은 천장에 설치된 레일을 따라 주행하며 대상물을 운반하는 반송대차와, 반송대차의 주행을 안내하기 위한 레일을 갖는 궤도 등을 포함한다.OHS or OHT (Overhead Hoist Shuttle OR Transport) is installed in large hospitals, semiconductor and flat panel display manufacturing plants, where there are many small objects to be transported. The overhead trolley system includes a transport cart that travels along a rail installed on a ceiling and transports an object, and a track having rails for guiding the travel of the transport cart.

일예로, 이러한 천장 대차 시스템이 반도체 또는 디스플레이 평판패널 생산 라인에 설치된 경우, 크린룸 내의 천장공간을 이용해서 주행레일이 설치되는데, 주행레일 상에서 구동되는 반송대차는 반도체 웨이퍼, 기판, 마스크, 글라스, 카세트 등이 적재된 반송 대상물을 반송 포트들 사이에서 운반한다.For example, when such a ceiling bogie system is installed in a semiconductor or display flat panel production line, a running rail is installed using the ceiling space in the clean room. Transport objects loaded with lights are transported between transport ports.

주행레일은 지주 등에 의해 크린 룸의 천장 등으로부터 지지되며, 주행레일 본체와 급전레일로 이루어진다. 반송대차는 주행 구동부를 구비하여 주행레일 본체 내를 주행할 수 있고, 수전부에 의해 급전 레일로부터 신호를 수전하여 통신한다.The running rail is supported from the ceiling of the clean room by poles, etc., and consists of a running rail body and a power supply rail. The transport cart is provided with a traveling driving unit and can travel within the traveling rail body, and receives a signal from the power supply rail by the power receiving unit to communicate.

반송대차가 주행레일의 곡선 구간을 주행할 때, 즉, 직선 구간에서 곡선 구간으로 진입할 때, 직선 구간과 곡선 구간에서 가이드에 의한 조향 휠 변경으로 인하여 분기간 간격이 지연되며, 반송대차의 속도 차이로 인하여 반송대차의 무게 중심이 한쪽으로 쏠리는 현상이 발생할 수 있고, 이에 의해 파티클까지 발생할 수도 있다.When the cart travels on the curved section of the running rail, that is, when entering a curved section from a straight section, the interval between branches is delayed due to the steering wheel change by the guide in the straight section and the curved section, and the speed of the transport bogie Due to the difference, a phenomenon in which the center of gravity of the transport cart is tilted to one side may occur, and thus particles may also be generated.

한국공개특허 제 10-2009-0023139호Korean Patent Publication No. 10-2009-0023139

본 발명의 목적은 곡선부를 주행시에 가이드 없이 원활하게 주행할 수 있는 이송 대차 시스템을 제공하고자 한다.It is an object of the present invention to provide a transfer bogie system capable of smoothly running without a guide when driving a curved part.

본 발명의 일 측면에 따른 이송 대차 시스템은, 고정 부재; 상기 고정 부재에 의해 고정되고, 한 쌍의 레일을 포함하며, 곡선 형상의 곡선부와 직선 형상의 직선부가 포함된 궤도를 제공하는 OHT 레일; 상기 OHT 레일을 따라 주행 가능하고, 한 쌍의 상기 레일 상에 접촉되는 양쪽의 주행 휠을 포함하는 주행 모듈; 및 상기 주행 모듈의 하측에 결합되며, 파지 유닛을 승강시키는 동력 부재가 구비되고, 상기 파지 유닛에 의하여 파지된 대상물을 수용하기 위한 내부 공간이 구비된 캐리어 유닛을 포함한다. 그리고, 상기 주행 모듈의 상측에는 상기 주행 모듈과 함께 상기 캐리어 유닛이 상기 곡선부에서 곡선 주행 시 상기 주행 모듈의 상기 주행 휠들의 들뜸을 방지하기 위한 들뜸 방지 부재가 결합되고, 상기 곡선부로부터 상측에는 하부가 상기 곡선부를 따라 곡선 주행을 하는 상기 주행 모듈에 결합된 상기 들뜸 방지 부재의 상부와 슬라이딩 접촉(미끄럼 접촉)되어 상기 주행 휠들의 들뜸을 방지하는 들뜸 방지 레일이 설치된다.A transfer bogie system according to an aspect of the present invention includes a fixing member; an OHT rail fixed by the fixing member, including a pair of rails, and providing a track including a curved curved portion and a straight linear portion; a driving module capable of traveling along the OHT rail and including both driving wheels in contact with a pair of the rails; and a carrier unit coupled to the lower side of the traveling module, provided with a power member for elevating the gripping unit, and having an internal space for accommodating the object gripped by the gripping unit. In addition, a lifting preventing member for preventing lifting of the driving wheels of the driving module when the carrier unit along with the driving module travels on a curved line in the curved part is coupled to the upper side of the driving module, and from the curved part to the upper side An anti-lift rail is installed whose lower part is in sliding contact (slip contact) with the upper part of the anti-lift member coupled to the driving module for curved driving along the curved portion to prevent the driving wheels from floating.

또한, 상기 들뜸 방지 부재는 상부가 상기 들뜸 방지 레일의 하부에 탄성적으로 접촉되는 판 스프링인 것을 특징으로 한다.In addition, the lifting prevention member is characterized in that the upper portion is a leaf spring in elastic contact with the lower portion of the lifting prevention rail.

또는, 상기 들뜸 방지 부재는 상기 들뜸 방지 레일의 하부와 슬라이딩 접촉되는 상부가 휠 형상인 것을 특징으로 한다. 그리고, 상기 들뜸 방지 부재의 하부에는 상기 들뜸 방지 부재에서 휠 형상인 상부를 탄성적으로 지지하는 스프링이 설치된다.Alternatively, the anti-lift member is characterized in that the upper portion in sliding contact with the lower portion of the anti-lift rail has a wheel shape. In addition, a spring is installed at a lower portion of the anti-lift member to elastically support a wheel-shaped upper portion of the anti-lift member.

상기 OHT 레일은, 상기 곡선부에서 한 쌍의 상기 레일 중 내측 레일 상에 위치된 보조 레일을 더 포함하고, 상기 주행 모듈은, 상기 주행 휠들의 외측에 각각 구비된 보조 휠들을 더 포함하며, 상기 보조 휠들은 상기 주행 모듈이 곡선 주행을 하는 때 상기 내측 레일 쪽으로 위치하는 상기 보조 휠이 상기 보조 레일 상에 접촉되며, 상기 보조 휠들의 지름은 상기 주행 휠들에 비하여 작은 것을 특징으로 한다.The OHT rail further includes an auxiliary rail positioned on an inner rail of the pair of rails in the curved portion, and the traveling module further includes auxiliary wheels provided on the outside of the traveling wheels, As for the auxiliary wheels, the auxiliary wheel positioned toward the inner rail is in contact with the auxiliary rail when the driving module performs curved driving, and the auxiliary wheels have a smaller diameter than the traveling wheels.

본 발명에 따르면, 캐리어 유닛이 OHT 레일의 곡선부를 주행할 때, 캐리어 유닛의 무게 중심이 한쪽으로 치우치게 되어 캐리어 유닛이 OHT 레일에서 부상되지 않도록 캐리어 유닛의 상부에 들뜸 방지 부재를 부가함으로써, 곡선 주행시에 OHT 레일에서 캐리어 유닛이 부상되지 않고 주행할 수 있는 방안을 제공할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, when the carrier unit travels on the curved portion of the OHT rail, the center of gravity of the carrier unit is biased to one side so that the carrier unit does not float on the OHT rail by adding an anti-lift member to the upper portion of the carrier unit. There is an effect that can provide a way for the carrier unit to travel without floating on the OHT rail.

또한, 직선 주행에서 곡선 주행으로 방향 전환시 신속하고 매끄럽게 이루어짐으로써, 캐리어의 이송을 신속하게 할 수 있는 효과가 있다. In addition, by quickly and smoothly changing the direction from the straight traveling to the curved traveling, there is an effect that the carrier can be transported quickly.

더불어, 곡선부에서의 방향 전환시 가이드를 요구하지 않아, 이송 대차 시스템 설치의 단순화 및 재료비를 절감할 수 있는 효과가 있다. In addition, since a guide is not required when changing the direction in the curved part, there is an effect of simplifying installation of the transport system and reducing material costs.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 들뜸 방지 부재로 휠을 이용하는 경우, 곡선부에 위치한 이송 대차 시스템을 측면에서 바라본 도면이다.
도 2는 들뜸 방지 부재로 휠을 이용하는 경우, 캐리어 유닛이 곡선부를 주행할 때의 모습을 나타낸 도면이다.
도 3은 캐리어 유닛이 직선부를 주행할 때의 모습을 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5는 들뜸 방지 부재로 휠을 이용하는 경우 캐리어 유닛이 곡선부를 주행할 때의 이송 대차 시스템의 사시도이다.
도 6은 들뜸 방지 부재로 탄성 소재를 이용하는 경우, 곡선부에 위치한 이송 대차 시스템을 측면에서 바라본 도면이다.
도 7은 들뜸 방지 부재로 탄성 소재를 이용하는 경우, 곡선부에 위치한 이송대차 시스템의 사시도이다.1 is a view from the side of a transfer bogie system located in a curved portion when a wheel is used as a lifting preventing member.
FIG. 2 is a view showing a state when a carrier unit travels a curved part when a wheel is used as a lifting preventing member; FIG.
3 is a view showing a state when the carrier unit travels on a straight line.
4 and 5 are perspective views of the transfer bogie system when the carrier unit travels a curved portion when a wheel is used as the lifting prevention member.
FIG. 6 is a view of the transfer bogie system located in the curved portion when using an elastic material as the lifting preventing member as viewed from the side.
7 is a perspective view of a transfer cart system located in a curved portion when an elastic material is used as a lifting prevention member.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in several different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly explain the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration will be described using the same reference numerals only in the representative embodiment, and only configurations different from the representative embodiment will be described in other embodiments.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is "connected" to another part, it includes not only the case where it is "directly connected" but also the case where it is "indirectly connected" with another member interposed therebetween. In addition, when a part "includes" a certain component, this means that other components may be further included rather than excluding other components unless otherwise stated.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 들뜸 방지 부재(310)로 휠을 이용하는 경우, 곡선부(120)에 위치한 이송 대차 시스템(1000)을 측면에서 바라본 도면이다. 도 1에 나타난 바와 같이, 이송 대차 시스템(1000)은 고정 부재(400), OHT 레일(100), 주행 모듈(200), 캐리어 유닛(300), 제어부(미도시)를 포함한다. FIG. 1 is a side view of a transfer bogie system 1000 positioned on a curved portion 120 when a wheel is used as the lifting prevention member 310 . 1 , the transfer bogie system 1000 includes a fixing member 400 , an OHT rail 100 , a traveling module 200 , a carrier unit 300 , and a control unit (not shown).

OHT 레일(100) 은 작업 공간에 설치되고, 후술할 주행 모듈(200)이 이동될 수 있게 한다. OHT 레일(100) 은 반도체 제조 라인의 천장에 설치되거나, 천장에 결합된 프레임(미도시)에 설치될 수 있다. OHT 레일(100)은 일례로 두 개의 레일이 서로 일정 거리 이격되게 배치된 것일 수 있다. The OHT rail 100 is installed in the work space, and allows the traveling module 200 to be described later to be moved. The OHT rail 100 may be installed on the ceiling of a semiconductor manufacturing line, or installed on a frame (not shown) coupled to the ceiling. The OHT rail 100 may be, for example, two rails arranged to be spaced apart from each other by a predetermined distance.

이러한 OHT 레일(100)은 직선 및 곡선 등 다양한 형상으로 구성되어 천장의 다양한 영역에 배치될 수 있다. 더욱 상세하게 설명하면, OHT 레일(100)은 일례로 직선부(110)와 곡선부(120)를 포함할 수 있다.The OHT rail 100 may be configured in various shapes, such as straight lines and curved lines, and disposed in various areas of the ceiling. In more detail, the OHT rail 100 may include, for example, a straight part 110 and a curved part 120 .

직선부(110)는 직선 주행 레일(111)을 포함할 수 있다. 직선 주행 레일(111)은 직선 형상으로 이루어져서, 캐리어 유닛(300)이 OHT 레일(100)을 따라서 직선 주행을 할 수 있도록 한다. The straight part 110 may include a straight traveling rail 111 . The linear traveling rail 111 is formed in a linear shape, so that the carrier unit 300 can linearly travel along the OHT rail 100 .

곡선부(120)는 곡선 주행 레일(121)과 보조 레일(122)를 포함할 수 있다.The curved part 120 may include a curved traveling rail 121 and an auxiliary rail 122 .

곡선 주행 레일(121)은 캐리어 유닛(300)이 OHT 레일(100)을 따라서 곡선 주행할 수 있도록 한다. 곡선 주행 레일(121)의 내측 레일(121A)은 곡률 중심에서부터 곡률 반지름이 짧은 부분을 의미하고, 곡선 주행 레일(121)의 외측 레일(121B)은 곡률 중심에서부터 곡선 곡률 반지름이 긴 부분을 의미한다.The curved traveling rail 121 allows the carrier unit 300 to curve along the OHT rail 100 . The inner rail 121A of the curved running rail 121 means a portion having a short radius of curvature from the center of curvature, and the outer rail 121B of the curved running rail 121 means a portion having a long radius of curvature from the center of curvature. .

보조 레일(122)은 곡선부(120)의 내측 레일(121A) 상에 위치될 수 있다. 예를 들어 보조 레일(122)은 내측 레일(121A)로부터 돌출된 형상일 수 있다. 이에 따라, 곡선 주행시 내측 레일(121A)측에 위치한 보조 휠(212)이 보조 레일(122)과 접촉되어 주행을 함으로써, 주행 모듈(200)이 곡선부(120)를 따라서 안정적으로 주행할 수 있다.The auxiliary rail 122 may be positioned on the inner rail 121A of the curved part 120 . For example, the auxiliary rail 122 may have a shape protruding from the inner rail 121A. Accordingly, during curved driving, the auxiliary wheel 212 located on the inner rail 121A side is in contact with the auxiliary rail 122 and travels, so that the driving module 200 can stably travel along the curved portion 120 . .

고정 부재(400)는 OHT 레일(100)의 곡선부(120)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 고정 부재(400)는 곡선부(120) 부분을 포괄하는 프레임 구조일 수 있다. The fixing member 400 may support the curved portion 120 of the OHT rail 100 . For example, the fixing member 400 may have a frame structure encompassing the curved portion 120 .

고정 부재(400)는 OHT 레일(100)의 곡선부(120)와 결합될 수 있다. 그리고, 고정 부재(400)는 후술할 들뜸 방지 레일(410)을 OHT 레일(100)의 곡선부(120)와 마주보는 위치에 안치시킬 수도 있다. The fixing member 400 may be coupled to the curved portion 120 of the OHT rail 100 . In addition, the fixing member 400 may place the anti-lift rail 410 to be described later at a position facing the curved portion 120 of the OHT rail 100 .

이로써, 캐리어 유닛(300)의 곡선 주행시에 가이드 없이도 곡선 주행이 가능하다.Accordingly, curved travel of the carrier unit 300 is possible without a guide.

또한, 방향 전환시 조향 변경 없이도 곡선 주행이 가능하게 됨에 따라서, 조향 휠의 위치 전환 문제 해결로 인해 분기간 간격을 최소화할 수 있다. 또한, 조향 휠의 위치오차에 따라 조향휠에 충격이 가해져 발생되는 문제도 해결할 수 있다. In addition, since curved driving is possible without steering change when changing direction, the interval between branches can be minimized by solving the problem of changing the position of the steering wheel. Also, it is possible to solve a problem caused by an impact applied to the steering wheel according to a position error of the steering wheel.

주행 모듈(200)은 대상물을 파지하여 작업 공간의 다양한 영역으로 이동시킨다. 더욱 상세하게, 주행 모듈(200)은 대상물을 픽업하고, OHT 레일(100)을 따라서 이송되면서 대상물을 다양한 위치로 이송한다.The driving module 200 grips the object and moves it to various areas of the work space. In more detail, the traveling module 200 picks up the object and transfers the object to various positions while being transported along the OHT rail 100 .

이러한, 주행 모듈(200)은 OHT 레일(100)로부터 전원을 공급받을 수 있다. The driving module 200 may receive power from the OHT rail 100 .

이와 다르게, 주행 모듈(200)은 충전식 배터리 또는 비접촉식 전원 공급부를 포함할 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다. 그 일례로 비접촉식 전원 공급부는 비접촉식 방식으로 전원을 인가받아 구동모터로 전원을 공급하는 역할을 한다. Alternatively, the driving module 200 may include a rechargeable battery or a non-contact power supply, but is not limited thereto. For example, the non-contact power supply unit serves to supply power to the driving motor by receiving power in a non-contact manner.

여기서, 비접촉식 전원 공급부의 일례로, OHT 레일(100)을 따라 길게 마련되는 유도 레일과, 유도 레일과 접촉되지 않은 상태에서 유도 레일에 인접하게 배치되도록 주행 모듈(200)에 마련되고 전자유도법칙에 의해 비접촉 상태에서 일정한 전류를 인가받아 구동모터로 전원을 공급하는 픽업 유닛을 구비한다.Here, as an example of a non-contact power supply, an induction rail provided long along the OHT rail 100, and an induction rail provided in the driving module 200 to be disposed adjacent to the induction rail in a state not in contact with the induction rail, and according to the electromagnetic induction law and a pickup unit for supplying power to the driving motor by receiving a constant current in a non-contact state.

이에, 유도 레일에 고주파 교류전원이 인가되면 전자유도법칙에 의해 유도 레일에 인접된 픽업 유닛으로 기전력이 생성될 수 있으며, 이러한 기전력은 구동모터의 동작을 위한 동력원으로 사용될 수 있다.Accordingly, when a high-frequency AC power is applied to the induction rail, an electromotive force may be generated in the pickup unit adjacent to the induction rail according to the electromagnetic induction law, and this electromotive force may be used as a power source for operation of the driving motor.

실시예로서 비접촉식 전원 공급부는 파지 유닛으로부터의 전압(기전력)을 인가받는 레귤레이터(REGULATOR)와, 레귤레이터와 연결되며 구동모터로 전압을 분배하는 분배회로를 구비한 파워 서플라이(POWER SUPPLY)를 더 구비할 수 있다.As an embodiment, the non-contact power supply may further include a regulator (REGULATOR) receiving a voltage (electromotive force) from the gripping unit, and a power supply (POWER SUPPLY) connected to the regulator and having a distribution circuit for distributing the voltage to the driving motor. can

이러한 구조에 의해 예컨대, 유도 레일과 인접된 파지 유닛으로부터의 전압(기전력)을 인가받는 레귤레이터가 DC 300V의 전압을 파워 서플라이로 인가하면, 파워 서플라이의 분배회로는 이 전압을 예컨대, DC 12V, DC 24V, DC 48V 등으로 분배하여 구동모터로 제공할 수 있다. With this structure, for example, when a regulator receiving a voltage (electromotive force) from a gripping unit adjacent to the induction rail applies a voltage of DC 300V to the power supply, the power supply distribution circuit converts this voltage to, for example, DC 12V, DC It can be provided as a driving motor by distributing it to 24V, DC 48V, etc.

만약, 파워 서플라이에 분배회로를 일체로 마련하고, 레귤레이터로부터의 전압을 파워 서플라이가 인가받도록 구현하는 경우, 구현이 간단할 뿐만 아니라 유지보수가 용이하고, 제어가 상대적으로 쉬워지며, 특히 비접촉 방식에 의한 전원을 안정적으로 또한 안전하게 공급할 수 있는 이점이 있다.If the distribution circuit is integrally provided in the power supply and implemented so that the voltage from the regulator is applied to the power supply, implementation is simple, maintenance is easy, and control is relatively easy, especially in a non-contact method. There is an advantage that power can be supplied stably and safely.

제어부(미도시)는 주행 모듈(200)의 이동을 제어한다. 제어부는 주행 모듈(200)을 OHT 레일(100)의 특정 위치까지 이송시킬 수 있다. 그리고, 제어부는 주행 모듈(200)이 대상물을 픽업하도록 할 수 있다. 제어부는 이송 대차 시스템(1000)의 전반적인 동작을 제어하는 것일 수 있다.The controller (not shown) controls the movement of the driving module 200 . The controller may transfer the traveling module 200 to a specific position of the OHT rail 100 . And, the control unit may cause the driving module 200 to pick up the object. The controller may control the overall operation of the transfer bogie system 1000 .

캐리어 유닛(300)은 주행 모듈(200)에 결합된다. 캐리어 유닛(300)은 파지 유닛에 의해 대상물을 수용하는 내부 공간을 포함한다. 캐리어 유닛(300)은 동력 부재(미도시)를 포함할 수 있다. 동력 부재는 파지 유닛이 캐리어 유닛(300)에 대해 승강되도록 할 수 있다.The carrier unit 300 is coupled to the driving module 200 . The carrier unit 300 includes an interior space for accommodating the object by the holding unit. The carrier unit 300 may include a power member (not shown). The power member may cause the gripping unit to be raised and lowered relative to the carrier unit 300 .

파지 유닛은 캐리어 유닛(300)에 승강 가능하게 결합되고, 대상물을 파지한다.The holding unit is coupled to the carrier unit 300 to be elevating and holds the object.

이러한 파지 유닛에 의해 이송되는 대상물은 웨이퍼 캐리어(FOUP: Front Opening Unified Pod)일 수 있다. 웨이퍼 캐리어는 복수의 웨이퍼를 수납할 수 있다. 복수의 웨이퍼는 웨이퍼 캐리어의 내부에 상하방향으로 나란하게 적층되어 수납될 수 있다.The object transported by such a holding unit may be a wafer carrier (FOUP: Front Opening Unified Pod). The wafer carrier can accommodate a plurality of wafers. The plurality of wafers may be stacked and accommodated in a vertical direction in the inside of the wafer carrier.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 대차 시스템(1000)에 포함된 주행 모듈(200)은 주행 휠 유닛(210) 및 들뜸 방지 부재(310)를 포함한다.Meanwhile, the driving module 200 included in the transport bogie system 1000 according to an embodiment of the present invention includes a driving wheel unit 210 and an anti-lift member 310 .

주행 휠 유닛(210)은 전방 휠 유닛 및 후방 휠 유닛을 포함한다. 또한, 주행 휠 유닛(210)의 일례로 전방 주행용 모터(F), 후방 주행 모터(R) 및 주행 휠(211) 및 보조 휠(212)을 포함할 수 있다. 전방 주행용 모터와 연결된 전방 휠과 후방 주행 모터와 연결되는 후방 휠은 동일한 구조를 갖는다. The traveling wheel unit 210 includes a front wheel unit and a rear wheel unit. In addition, an example of the driving wheel unit 210 may include a forward driving motor F, a rear driving motor R, and a driving wheel 211 and an auxiliary wheel 212 . The front wheel connected to the front driving motor and the rear wheel connected to the rear driving motor have the same structure.

주행 휠 유닛(210)은 일례로 전방 휠 유닛과 후방 휠 유닛을 포함할 수 있다. The driving wheel unit 210 may include, for example, a front wheel unit and a rear wheel unit.

전방 휠 유닛은 내측 레일(121A)을 따라 주행되는 전방 내측 휠과 외측 레일(121B)을 따라 주행되는 전방 외측 휠이 양측에 마련된다.The front wheel unit is provided with a front inner wheel running along the inner rail 121A and a front outer wheel running along the outer rail 121B on both sides.

후방 휠 유닛은 내측 레일(121A)을 따라 주행되는 후방 내측 휠과 외측 레일(121B)을 따라 주행되는 후방 외측 휠이 양측에 마련된다.The rear wheel unit is provided with a rear inner wheel running along the inner rail 121A and a rear outer wheel running along the outer rail 121B on both sides.

이러한 주행 휠 유닛(210)은 전방 주행용 모터(F) 또는 후방 주행 모터(R)가 동작됨에 따라서 주행 휠(211) 및 보조 휠(212) 각각이 회전되면서 주행 모듈(200)이 OHT 레일(100)을 따라서 전진 또는 후진될 수 있다.As the driving wheel unit 210 rotates each of the driving wheel 211 and the auxiliary wheel 212 as the forward driving motor F or the rear driving motor R is operated, the driving module 200 operates on the OHT rail ( 100) can be moved forward or backward.

도 2 및 도 3은 주행 모듈이 OHT 레일을 따라 이동하는 모습을 나타낸 도면이다. 2 and 3 are views showing a state that the driving module moves along the OHT rail.

도 2 및 도 3을 참조하여 보면, 주행 모듈(200)이 OHT 레일(100)의 곡선 주행 레일(121)을 따라 이동되는 경우, 캐리어 유닛(300)은 원심력에 의하여 기울어질 수 있다. 이에 따라, 주행 모듈(200)의 좌측 또는 우측 중 어느 한 부분이 들뜰 수 있다. 이때, 들뜸 방지 부재(310)는 고정 부재(400)에 밀착되고, 주행 모듈(200)의 들뜸이 방지될 수 있다.2 and 3 , when the traveling module 200 is moved along the curved traveling rail 121 of the OHT rail 100 , the carrier unit 300 may be inclined by centrifugal force. Accordingly, any one part of the left or right side of the driving module 200 may be lifted. In this case, the lifting preventing member 310 may be in close contact with the fixing member 400 , and lifting of the driving module 200 may be prevented.

들뜸 방지 부재(310)는 곡선부(120) 주행 시에 캐리어의 무게중심이 한쪽으로 편심되는 것을 방지할 수 있다. 이를 위하여, 들뜸 방지 부재(310)는 외측 레일(121B)에 위치한 부분에 인접하게 위치시키는 것이 바람직할 수 있다.The lifting prevention member 310 may prevent the center of gravity of the carrier from being eccentric to one side when the curved part 120 is driven. To this end, the lifting prevention member 310 may be preferably positioned adjacent to a portion positioned on the outer rail (121B).

다만, 들뜸 방지 부재(310)의 위치를 특정 위치로 한정하지는 않으며, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 대차 시스템(1000)의 설계에 따라 다양하게 변경될 수 있다. However, the position of the lifting prevention member 310 is not limited to a specific position, and may be variously changed according to the design of the transport bogie system 1000 according to an embodiment of the present invention.

한편, 도 4에 나타난 바와 같이, 들뜸 방지 부재(310)는 일예로 휠 형상일 수 있다. 이때, 고정 부재(400)는 들뜸 방지 레일(410)을 포함할 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 4 , the lifting preventing member 310 may have a wheel shape, for example. In this case, the fixing member 400 may include a lifting prevention rail 410 .

들뜸 방지 레일(410)은 곡선부(120)에 인접하게 설치되고, 들뜸 방지 부재(310)가 접촉될 수 있는 위치에 설치될 수 있다. 들뜸 방지 레일(410)은 고정 부재(400)에 밀착되게 위치될 수도 있다. 이와 다르게, 들뜸 방지 레일(410)은 고정 부재(400)와 일체로 이루어진 것도 가능할 수 있다. The anti-lift rail 410 may be installed adjacent to the curved portion 120 and installed at a position where the anti-lift member 310 may come into contact. The anti-lift rail 410 may be positioned in close contact with the fixing member 400 . Alternatively, the anti-lift rail 410 may be formed integrally with the fixing member 400 .

캐리어 유닛(300)이 곡선 주행하는 경우, 캐리어 유닛(300)이 들뜨더라도 휠 형상의 들뜸 방지 부재(310)이 들뜸 방지 레일(410)에 접촉될 수 있다. 이에 따라, 들뜸 방지 휠(311)은 캐리어 유닛(300)이 무게 중심이 한쪽으로 편심되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 곡선 주행시 발생되는 캐리어 유닛(300)의 무게 중심 변화에 따른 기울어짐을 방지할 수 있다. 들뜸 방지 레일(410)은 들뜸 방지 부재(310)이 자연스럽게 미끄러지도록 할 수 있다.When the carrier unit 300 travels in a curved shape, even if the carrier unit 300 is lifted, the wheel-shaped lifting preventing member 310 may contact the lifting preventing rail 410 . Accordingly, the lifting prevention wheel 311 can prevent the carrier unit 300 from being eccentric to one side of the center of gravity. That is, it is possible to prevent inclination due to a change in the center of gravity of the carrier unit 300 that is generated during curved driving. The anti-lift rail 410 may allow the anti-lift member 310 to slide naturally.

이와 같이 들뜸 방지 부재(310)가 휠 형상인 경우에는 곡선 주행에서 내측 레일(121A)의 보조 휠(212)은 보조 레일(122)과 접촉되고, 외측 레일(121B)의 보조 휠 및 주행 휠은 곡선부(120)과 접촉된다. 또한, 들뜸 방지 부재(310)는 들뜸 방지 레일(410)과 접촉하여 주행한다. 이에 따라, 주행 모듈(200)은 주행 상황에 따라 OHT 레일(100) 또는 들뜸 방지 레일(410)에 선택적으로 접촉하여 주행을 실시한다.As such, when the anti-lift member 310 has a wheel shape, the auxiliary wheel 212 of the inner rail 121A is in contact with the auxiliary rail 122 in curved driving, and the auxiliary wheel and the traveling wheel of the outer rail 121B are It is in contact with the curved part 120 . In addition, the lifting preventing member 310 travels in contact with the lifting preventing rail 410 . Accordingly, the driving module 200 selectively contacts the OHT rail 100 or the anti-lift rail 410 according to the driving situation to perform driving.

한편, 또 다른 변형 예로써, 도 5에 나타난 바와 같이, 들뜸 방지 부재(310)와 캐리어 유닛(300) 사이에 스프링(312)이 설치될 수 있다. 스프링(312)은 탄성 변형가능한 것으로 들뜸 방지 레일(410)과 접촉시에 발생되는 충격을 완화시키고, 주행 모듈(200)이 곡선 주행시 보다 원활하게 곡선 주행을 가능하게 할 수 있다. Meanwhile, as another modified example, as shown in FIG. 5 , a spring 312 may be installed between the lifting prevention member 310 and the carrier unit 300 . The spring 312 is elastically deformable, and may alleviate the shock generated when the anti-lift rail 410 comes into contact with it, and enable the driving module 200 to more smoothly travel in a curved line.

도 6 및 도 7에 나타난 바와 같이, 들뜸 방지 부재(510)는 변형예로 외력에 의해 탄성 변형될 수 있다. 예를 들어, 들뜸 방지 부재(510)는 판 스프링, 코일 스프링일 수 있다. 6 and 7 , the lifting preventing member 510 may be elastically deformed by an external force as a modification. For example, the lifting preventing member 510 may be a leaf spring or a coil spring.

들뜸 방지 부재(510)가 판 스프링인 경우, 판 스프링의 일단은 주행 모듈(200)에 고정 결합될 수 있다. 그리고, 판 스프링의 타단은 주행 모듈(200)로부터 이격되게 위치될 수 있다. 여기서, 판 스프링의 중간 부분은 휘어질 수 있다. 이에 따라, 판 스프링의 전체 형상은 삼각형일 수 있다.When the lifting preventing member 510 is a leaf spring, one end of the leaf spring may be fixedly coupled to the traveling module 200 . In addition, the other end of the leaf spring may be positioned to be spaced apart from the driving module 200 . Here, the middle portion of the leaf spring may be bent. Accordingly, the overall shape of the leaf spring may be triangular.

주행 모듈(200)이 이동되는 과정에서, 들뜸 방지 부재(510)는 고정 부재(400) 또는 들뜸 방지 레일(410)에 접촉될 수 있다. 이와 같이, 들뜸 방지 부재(510)가 판 스프링과 같이 탄성력을 갖는 부재인 경우, 들뜸 방지 부재(510)는 고정 부재(400)에 접촉되는 것만으로도 주행 모듈(200)이 들뜨게 되는 것을 방지할 수 있으므로, 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 모듈(200)은 고정 부재(400)의 일측에 들뜸 방지 레일(410)을 필요로 하지 않을 수도 있다. While the driving module 200 is moving, the lifting preventing member 510 may contact the fixing member 400 or the lifting preventing rail 410 . As such, when the anti-lift member 510 is a member having an elastic force such as a leaf spring, the lifting preventing member 510 prevents the traveling module 200 from being lifted just by contacting the fixing member 400 . Therefore, the traveling module 200 according to an embodiment of the present invention may not require the anti-lift rail 410 on one side of the fixing member 400 .

이와 같이, 주행 모듈(200)이 캐리어 유닛(300)의 주행 상태에 따라, 저촉되는 OHT 레일(100)이 상이하게 접촉되어 주행시킬 수 있다. 가이드 없이도 OHT 레일(100)의 곡선 부분을 주행할 수 있으며, 가이드의 ON/OUT에 구별없이 주행이 가능하다. In this way, according to the traveling state of the traveling module 200 of the carrier unit 300 , the OHT rail 100 in conflict may be in contact with each other to travel. It is possible to drive the curved portion of the OHT rail 100 without a guide, and it is possible to drive without distinction between ON/OUT of the guide.

이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although various embodiments of the present invention have been described above, the drawings and the detailed description of the described invention referenced so far are merely exemplary of the present invention, which are only used for the purpose of explaining the present invention and are not intended to limit meaning or claim claims. It is not intended to limit the scope of the invention described in the scope. Therefore, it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims.

1000: 이송 대차 시스템
100: OHT 레일
110: 직선부
111: 직선 주행 레일
120: 곡선부
121: 곡선 주행 레일
121A: 내측 레일
121B: 외측 레일
122: 보조 레일
200: 주행 모듈
210: 주행 휠 유닛
211: 주행 휠
212: 보조 휠
300: 캐리어 유닛
310: 들뜸 방지 부재
312: 스프링
400: 고정 부재
410: 들뜸 방지 레일
510: 들뜸 방지 부재1000: transfer bogie system
100: OHT rail
110: straight part
111: straight running rail
120: curved part
121: curved running rail
121A: inner rail
121B: outer rail
122: auxiliary rail
200: driving module
210: travel wheel unit
211: driving wheel
212: auxiliary wheel
300: carrier unit
310: anti-lift member
312: spring
400: fixing member
410: anti-lift rail
510: anti-lift member

Claims (2)

한 쌍의 레일을 포함하고, 곡선부가 포함된 궤도를 제공하는 OHT 레일과; 상기 OHT 레일을 따라 주행 가능하며, 한 쌍의 상기 레일 상에 접촉되는 양쪽의 주행 휠을 포함하는 주행 모듈과; 상기 주행 모듈의 하측에 결합되고, 파지 유닛을 승강시키는 동력 부재가 구비되며, 상기 파지 유닛에 의하여 파지된 대상물을 수용하기 위한 내부 공간이 구비된 캐리어 유닛을 포함하고,
상기 주행 모듈의 상측에는 상기 곡선부에서 상기 주행 모듈의 상기 주행 휠
들의 들뜸을 방지하기 위한 들뜸 방지 부재가 결합되고, 상기 곡선부로부터 상측에는 하부가 상기 곡선부를 따라 곡선 주행을 하는 상기 주행 모듈에 결합된 상기 들뜸 방지 부재의 상부와 슬라이딩 접촉되어 상기 주행 휠들의 들뜸을 방지하는 들뜸 방지 레일이 설치되며,
상기 들뜸 방지 부재는 상부가 상기 들뜸 방지 레일의 하부에 탄성적으로 접촉되는 판 스프링인 것을 특징으로 하는 이송 대차 시스템.
an OHT rail including a pair of rails and providing a track including a curved portion; a driving module capable of traveling along the OHT rail and including both driving wheels in contact with a pair of the rails; A carrier unit coupled to the lower side of the traveling module, provided with a power member for elevating the gripping unit, and having an internal space for accommodating the object gripped by the gripping unit,
On the upper side of the driving module, the driving wheel of the driving module in the curved portion
A lifting preventing member for preventing the lifting of the wheels is coupled, and the lower part is in sliding contact with the upper part of the lifting preventing member coupled to the driving module that travels in a curve along the curved part to the upper side from the curved part, so that the driving wheels are lifted. An anti-lift rail is installed to prevent
The transfer bogie system, characterized in that the upper portion of the anti-lift member is a leaf spring in elastic contact with the lower portion of the anti-lift rail.
 제1항에 있어서,
상기 OHT 레일은, 상기 곡선부에서 한 쌍의 상기 레일 중 내측 레일 상에 위치된 보조 레일을 더 포함하고,
상기 주행 모듈은, 상기 주행 휠들의 외측에 각각 구비된 보조 휠들을 더 포함하며,
상기 보조 휠들은 상기 주행 모듈이 곡선 주행을 하는 때 상기 내측 레일 쪽으로 위치하는 상기 보조 휠이 상기 보조 레일 상에 접촉되며,
상기 보조 휠들의 지름은 상기 주행 휠들에 비하여 작은 것을 특징으로 하는 이송 대차 시스템.According to claim 1,
The OHT rail further comprises an auxiliary rail positioned on the inner rail of the pair of rails in the curved portion,
The driving module further includes auxiliary wheels provided on the outside of the driving wheels, respectively,
As for the auxiliary wheels, the auxiliary wheel positioned toward the inner rail is in contact with the auxiliary rail when the driving module performs curved driving,
The transport bogie system, characterized in that the diameter of the auxiliary wheels is smaller than that of the driving wheels.
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