KR102587045B1 - Liner transporting apparatus - Google Patents
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Abstract
직선 이송 장치가 개시된다. 직선 이송 장치는, 복수의 리니어 모터가 일정한 간격을 두고 배치된 리니어 모터 컨베이어와, 리니어 모터 캐리어로부터 회수된 캐리어를 자성을 이용하여 이송하기 위한 적어도 하나의 제1 벨트구동부와 적어도 하나의 제2 벨트구동부를 포함하는 벨트 컨베이어와, 복수의 리니어 모터의 자기장에 상호 반응하는 마그네트를 저면에 결합한 캐리어를 포함하고, 적어도 하나의 제1 벨트구동부와 적어도 하나의 제2 벨트구동부는 벨트 건베이어의 길이 방향을 따라 오버랩 구간을 갖도록 교대로 배치될 수 있다.A linear conveying device is disclosed. The linear transport device includes a linear motor conveyor in which a plurality of linear motors are arranged at regular intervals, at least one first belt drive unit and at least one second belt for transporting the carrier recovered from the linear motor carrier using magnetism. It includes a belt conveyor including a driving unit, and a carrier coupled to the bottom surface with magnets that mutually react to the magnetic fields of a plurality of linear motors, and at least one first belt driving unit and at least one second belt driving unit move in the longitudinal direction of the belt gun conveyor. Can be arranged alternately to have an overlap section along.
Description
본 개시는 직선 이송 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피이송체를 적재한 캐리어를 정밀하게 이송시키기 위한 리니어 모터 컨베이어와 피이송체가 적재되지 않은 캐리어를 이송시키기 위한 벨트 컨베이어를 함께 구비하는 직선 이송 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a linear transport device, and more specifically, to a linear transport device including a linear motor conveyor for precisely transporting a carrier loaded with a transfer object and a belt conveyor for transporting a carrier on which a transfer object is not loaded. It's about devices.
일반적으로 리니어 모터(Linear motor)는 직선 구동력을 발생시킬 수 있기 때문에 별도의 기계적인 변환장치를 필요로 하지 않는다. 리니어 모터는 비접촉식 운동 방식으로 직선구동을 하므로 고속 운전, 정속 운전 및 정밀 운전이 가능하다는 장점으로 인해 각종 산업분야에서 널리 사용되고 있다.In general, linear motors do not require a separate mechanical conversion device because they can generate linear driving force. Linear motors are widely used in various industrial fields due to their advantages of enabling high-speed operation, constant-speed operation, and precision operation because they drive in a straight line using a non-contact movement method.
리니어 모터는 리니어 스테이지(linear stage)와 같은 직선 이송 장치에 적용되고 있다. 리니어 스테이지는 제어부에 의해 전기적인 신호를 인가 받아 자력을 발생시키는 리니어 모터가 설치된 캐리어가 영구자석이 설치된 베이스를 따라 직선왕복운동을 할 수 있게 하는 장치다. 리니어 스테이지는 산업현장이나 각종 설비에서 직선왕복운동이 필요한 부분에 널리 사용되고 있다. Linear motors are applied to linear transport devices such as linear stages. A linear stage is a device that allows a carrier equipped with a linear motor that generates magnetic force by receiving an electrical signal from a control unit to perform linear reciprocating movement along a base on which a permanent magnet is installed. Linear stages are widely used in industrial sites and various facilities where linear reciprocating motion is required.
본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치는, 복수의 리니어 모터가 일정한 간격을 두고 배치된 리니어 모터 컨베이어; 상기 리니어 모터 캐리어로부터 회수된 캐리어를 자성을 이용하여 이송하기 위한 적어도 하나의 제1 벨트구동부와 적어도 하나의 제2 벨트구동부를 포함하는 벨트 컨베이어; 및 상기 복수의 리니어 모터의 자기장에 상호 반응하는 마그네트를 저면에 결합한 캐리어;를 포함하고, 상기 적어도 하나의 제1 벨트구동부와 상기 적어도 하나의 제2 벨트구동부는 상기 벨트 건베이어의 길이 방향을 따라 오버랩 구간을 갖도록 교대로 배치될 수 있다.A linear transport device according to an example of the present disclosure includes a linear motor conveyor in which a plurality of linear motors are arranged at regular intervals; a belt conveyor including at least one first belt drive unit and at least one second belt drive unit for transporting the carrier recovered from the linear motor carrier using magnetism; And a carrier in which magnets that mutually react to the magnetic fields of the plurality of linear motors are coupled to the bottom surface, wherein the at least one first belt drive unit and the at least one second belt drive unit are arranged along the longitudinal direction of the belt gun carrier. They can be arranged alternately to have overlap sections.
상기 적어도 하나의 제1 벨트 구동부는 상기 캐리어의 마그네트와 반응하는 제1 자성체와 상기 제1 자성체를 감싸는 제1 외피로 이루어진 제1 벨트를 포함할 수 있다.The at least one first belt drive unit may include a first belt composed of a first magnetic material that reacts with the magnet of the carrier and a first outer shell surrounding the first magnetic material.
상기 적어도 하나의 제2 벨트 구동부는 상기 캐리어의 마그네트와 반응하는 제2 자성체와 상기 제2 자성체를 감싸는 제2 외피로 이루어진 제2 벨트를 포함할 수 있다.The at least one second belt drive unit may include a second belt consisting of a second magnetic material that reacts with the magnet of the carrier and a second outer shell surrounding the second magnetic material.
상기 제1 외피 및 상기 제2 외피는 유연성을 가지는 소재로 이루어질 수 있다. 상기 제1 외피 및 상기 제2 외피는 우레탄일 수 있다.The first shell and the second shell may be made of a flexible material. The first shell and the second shell may be urethane.
상기 제1 벨트 구동부와 상기 제2 벨트 구동부는 복수개를 포함할 수 있다. 상기 복수의 제1 벨트 구동부는 상기 벨트 컨베이어의 길이 방향을 따라 인접한 제1 벨트 구동부와 일정한 간격을 두고 1열로 배치될 수 있다. 상기 복수의 제2 벨트 구동부는 상기 벨트 컨베이어의 길이 방향을 따라 인접한 제2 벨트 구동부와 일정한 간격을 두고 1열로 배치될 수 있다.The first belt drive unit and the second belt drive unit may include a plurality of units. The plurality of first belt drive units may be arranged in a row at a constant distance from adjacent first belt drive units along the longitudinal direction of the belt conveyor. The plurality of second belt drive units may be arranged in a row at a constant distance from adjacent second belt drive units along the longitudinal direction of the belt conveyor.
도 1은 본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치를 나타낸 개략 평면도이다.
도 2는 본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치의 리니어 모터 컨베이어를 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 2에 표시된 C-C' 선을 따라 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치의 벨트 컨베이어를 나타낸 평면도이다.
도 5는 도 4에 표시된 D-D' 선을 따라 나타낸 단면도이다1 is a schematic plan view showing a linear transfer device according to an example of the present disclosure.
Figure 2 is a plan view showing a linear motor conveyor of a linear transport device according to an example of the present disclosure.
Figure 3 is a cross-sectional view taken along line CC' shown in Figure 2.
Figure 4 is a plan view showing a belt conveyor of a linear transfer device according to an example of the present disclosure.
Figure 5 is a cross-sectional view taken along line DD' indicated in Figure 4.
이하에서 설명되는 실시예는 본 개시의 이해를 돕기 위하여 예시적으로 나타낸 것이며, 본 개시는 여기서 설명되는 실시예들과 다르게 다양하게 변형되어 실시될 수 있음이 이해되어야 할 것이다. 다만, 이하에서 본 개시를 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 개시의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명 및 구체적인 도시를 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 개시의 이해를 돕기 위하여 실제 축척대로 도시된 것이 아니라 일부 구성요소의 치수가 과장되게 도시될 수 있다.The embodiments described below are shown as examples to aid understanding of the present disclosure, and it should be understood that the present disclosure can be implemented with various modifications different from the embodiments described herein. However, in describing the present disclosure below, if it is determined that detailed descriptions of related known functions or components may unnecessarily obscure the gist of the present disclosure, the detailed descriptions and specific illustrations will be omitted. Additionally, in order to facilitate understanding of the disclosure, the attached drawings are not drawn to scale and the dimensions of some components may be exaggerated.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 개시의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The above terms may be used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, a first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may be referred to as a first component without departing from the scope of the present disclosure.
본 개시의 실시예들에서 사용되는 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 통상적으로 알려진 의미로 해석될 수 있다.Unless otherwise defined, terms used in the embodiments of the present disclosure may be interpreted as meanings commonly known to those skilled in the art.
본 개시에서 사용한 '선단', '후단', '상부', '하부', '상단', '하단' 등의 용어는 도면을 기준으로 정의한 것이며, 이 용어에 의해 각 구성요소의 형상 및 위치가 제한되는 것은 아니다.Terms such as 'front end', 'rear end', 'top', 'bottom', 'top', and 'bottom' used in this disclosure are defined based on the drawings, and the shape and location of each component are determined by these terms. It is not limited.
본 개시에서 사용한 '동일하다'는 표현은 완전하게 일치하는 것뿐만 아니라, 가공 오차 범위를 감안한 정도의 상이함을 포함한다는 것을 의미한다.The expression 'same' used in the present disclosure means not only complete matching, but also including a degree of difference taking into account the processing error range.
그 밖에도, 본 개시를 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 개시의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그에 대한 상세한 설명은 축약하거나 생략한다.In addition, when describing the present disclosure, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present disclosure, the detailed description thereof is abbreviated or omitted.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치에 대해 설명한다.Hereinafter, a linear transfer device according to an example of the present disclosure will be described with reference to the attached drawings.
도 1은 본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치를 나타낸 개략 평면도이다.1 is a schematic plan view showing a linear transfer device according to an example of the present disclosure.
도 1을 참조하면, 직선 이송 장치(1)는 리니어 모터 컨베이어(10)와, 리니어 모터 컨베이어(10)로부터 캐리어(50, 도 2 참조)를 회수하는 캐리어 회수 컨베이어(20)와, 회수된 캐리어(50)를 캐리어 공급 지점으로 이동하는 벨트 컨베이어(30)와, 벨트 컨베이어(30)에 의해 공급 지점으로 이송된 캐리어(50)를 리니어 모터 컨베이어(10)로 이송하는 캐리어 공급 컨베이어(40)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the
본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치(1)는 리니어 모터 컨베이어(10)는 피이송체가 적재된 상태로 캐리어(50)를 A방향으로 이송할 수 있다.In the
예를 들면, 리니어 모터 컨베이어(10) 주변에는 캐리어(50)에 의해 이송되는 피이송체를 검사하기 위한 비전 카메라 장치가 배치될 수 있다. 이 경우, 피이송체는 반도체 제조 시 사용되는 웨이퍼(wafer)일 수 있다. 리니어 모터 컨베이어(10)는 10㎛ 정도의 높은 위치 정밀도로 캐리어(50)를 이송시킬 수 있어, 피검사체에 대한 검사의 정확도를 높일 수 있다.For example, a vision camera device for inspecting objects transported by the
리니어 모터 컨베이어(10)에서 캐리어 회수 컨베이어(20)로 이송된 캐리어(50)는 캐리어 회수 컨베이어(20)를 따라 벨트 컨베이어(30)로 이송될 수 있다. 이때, 캐리어(50)에 적재된 피이송체는 로봇 팔 등과 같은 픽킹 장치에 의해 캐리어(50)로부터 제거될 수 있다. The
캐리어 회수 컨베이어(20)로부터 피이송체가 적재되지 않은 캐리어(50)를 공급받은 벨트 컨베이어(30)는 B 방향으로 캐리어(50)를 이송할 수 있다. The
캐리어(50)는 벨트 컨베이어(30)에서 캐리어 공급 컨베이어(40)로 이송된 후, 다시 리니어 모터 컨베이어(10)로 공급될 수 있다.The
이와 같이, 직선 이송 장치(1)는 리니어 모터 컨베이어(10), 캐리어 회수 컨베이어(20), 벨트 컨베이어(30) 및 캐리어 공급 컨베이어(40)가 동일 평면 상에 순환 경로를 이루도록 배치될 수 있다. In this way, the
본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치(1)는 전술한 수평 배치 외에 수직 방향으로 배치될 수 있다. 예를 들면, 벨트 컨베이어(30)의 상측에 일정한 간격을 두고 리니어 모터 컨베이어(10)가 배치될 수 있다. 이 경우, 캐리어 회수 컨베이어(20) 및 캐리어 공급 컨베이어(40)는 각각 리니어 모터 컨베이어(10)와 벨트 컨베이어(30)를 연결하도록 수직으로 배치될 수 있다. 캐리어 회수 컨베이어(20) 및 캐리어 공급 컨베이어(40)는 캐리어(50)를 승강시키기 위한 엘리베이터 구조를 포함할 수 있다.The
도 2는 본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치의 리니어 모터 컨베이어를 나타낸 평면도이다. 도 3은 도 2에 표시된 C-C' 선을 따라 나타낸 단면도이다. Figure 2 is a plan view showing a linear motor conveyor of a linear transport device according to an example of the present disclosure. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line C-C' shown in FIG. 2.
도 2 및 3을 참조하면, 리니어 모터 컨베이어(10)는 소정 길이를 가지며 직선 방향을 따라 배치된 제1 베이스(11)와, 제1 베이스(11)의 상면의 양측에 길이 방향을 따라 배치된 한 쌍의 제1 레일(13)과, 제1 베이스(11)의 상면의 중앙에 일정한 간격을 두고 배치되는 복수의 리니어 모터(15)를 포함할 수 있다.Referring to Figures 2 and 3, the
제1 베이스(11)는 상면의 중앙에 연결 플레이트(12)가 제1 베이스(11)의 길이 방향을 따라 배치될 수 있다. 복수의 리니어 모터(15)는 연결 플레이트(12)를 통해 제1 베이스(11)에 고정될 수 있다.The
연결 플레이트(12)는 복수의 리니어 모터(15)가 캐리어(50)의 저면에 배치된 마그네트(55)와 비접촉될 수 있는 높이로 배치될 수 있도록 적절한 두께를 가질 수 있다.The
캐리어(50)는 피이송체가 적재되는 적재 플레이트(51)와, 적재 플레이트(51)의 저면의 양측에 각각 적재 플레이트(51)의 전후 방향을 따라 간격을 두고 배치된 복수의 LM 가이드(53)와, 적재 플레이트(51)의 저면의 중앙에 배치된 마그네트(55)를 포함할 수 있다.The
캐리어(50)의 복수의 LM 가이드(53)는 한 쌍의 제1 레일(13)을 따라 슬라이딩 가능하게 결합될 수 있다.The plurality of
마그네트(55)는 길이 방향을 따라 선단 및 후단이 서로 상이한 자극이 착자될 수 있다. 마그네트(55)는 브라켓에 의해 적재 플레이트(51)의 저면에 설치될 수 있다. 마그네트(55)는 리니어 모터 컨베이어(10)를 따라 이동 시 리니어 모터(15)와 소정 간격을 두고 비접촉 상태로 이동할 수 있다. The
캐리어(50)는 리니어 모터(15)에서 발생하는 자기력과 캐리어(50)의 마그네트(55)에서 발행하는 자기력 사이의 상호 작용에 의해 발생하는 직선 추력에 의해 리니어 모터 컨베이어(10)를 따라 직선 방향으로 이송할 수 있다.The
이동하는 캐리어(50)에 마그네트(55)가 배치되고 복수의 리니어 모터(15)가 베이스(11)에 고정됨에 따라, 캐리어(50)는 모터 케이블의 간섭없이 레일(13)을 따라 이동할 수 있다. 또한, 캐리어(50)는 복수의 리니어 모터(15)와 비접촉하면서 이동됨에 따라 분진 발생이 최소화될 수 있다. 이에 따라, 본 개시의 일 실시예에 따른 리니어 모터 컨베이어(10)는 클린룸, 진공챔버 등과 같이 특수한 환경에서 피이송체를 이송하는 데 적용할 수 있다.As the
도 4는 본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치의 벨트 컨베이어를 나타낸 평면도이다. 도 5는 도 4에 표시된 D-D' 선을 따라 나타낸 단면도이다. Figure 4 is a plan view showing a belt conveyor of a linear transfer device according to an example of the present disclosure. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line D-D' shown in FIG. 4.
도 4 및 5를 참조하면, 벨트 컨베이어(30)는 소정 길이를 가지며 직선 방향을 따라 배치된 제2 베이스(31)와, 제2 베이스(31)의 상면의 양측에 길이 방향을 따라 배치된 한 쌍의 제2 레일(33)과, 제2 베이스(31)의 상면의 중앙에 일정한 간격을 두고 배치되는 복수의 제1 벨트구동부(35) 및 복수의 제2 벨트구동부(37)를 포함할 수 있다.Referring to Figures 4 and 5, the
캐리어(50)의 복수의 LM 가이드(53)는 한 쌍의 제2 레일(33)을 따라 슬라이딩 가능하게 결합될 수 있다.The plurality of LM guides 53 of the
복수의 제1 벨트구동부(35)는 각각, 제1 벨트(351)와, 제1 벨트(351)의 양측에 제1 벨트(351)를 회전시키도록 연결된 제1 풀리(353) 및 제2 풀리(355)와, 제1 풀리(353)와 연결된 제1 연결기어(357)와, 제1 연결기어(357)와 연결된 제1 구동기어(359)와, 제1 구동기어(359)를 회전시키는 제1 구동모터(39)를 포함할 수 있다.The plurality of first
제1 벨트(351)는 자성체와 자성체를 감싸는 외피를 포함할 수 있다. 외피는 예를 들면 제1 벨트(351)의 원활한 회전이 가능하도록 유연성을 가지며 외부 충격으로부터 금속 띠를 보호할 수 있는 우레탄으로 이루어질 수 있다.The
제1 벨트(351)에 포함된 자성체는 띠 형상으로 제1 벨트(351) 전체에 대응하는 길이를 가질 수 있다. 하지만 자성체는 이에 한정되지 않고, 소정 길이를 가지는 다수의 자성체를 포함할 수 있다. 이 경우, 다수의 자성체는 일정한 간격을 두고 일렬로 배치될 수 있다.The magnetic material included in the
제1 벨트(351)에 포함된 자성체는 제1 벨트(351)가 회전 시 벨트 컨베이어(30)로 이송된 캐리어(50)의 마그네트(55)의 자성을 이용하여 캐리어(50)를 벨트 컨베이어(30)를 따라 캐리어 공급 컨베이어(40)로 이송시킬 수 있다.The magnetic material contained in the
제1 벨트구동부(35)의 구동은 다음과 같은 동작에 의해 이루어진다. 먼저, 도 5를 참조하면, 제1 구동모터(39)가 일 방향으로 회전하면, 제1 구동모터(39)의 구동축에 연결된 제1 구동기어(359)는 일 방향으로 회전할 수 있다. 제1 연결기어(357)는 타이밍 벨트(358)를 통해 제1 구동기어(359)로부터 회전력을 전달 받는다. 제1 회전축(363)에 의해 제1 연결기어(357)와 연결된 제1 풀리(353)는 제1 연결기어(357)와 동일한 속도 및 동일한 회전 방향으로 구동한다. 도 4를 참조하면, 제1 벨트(351)는 제1 풀리(353)로부터 회전력을 전달받아 일방향으로 회전한다. 이 경우, 제1 벨트(351)는 제1 및 제2 풀리(353, 355)에 의해 회전 가능하게 지지된다. The first
이와 같이, 제1 벨트구동부(35)가 구동하는 경우, 캐리어 회수 컨베이어(20)로부터 벨트 컨베이어(30)로 이송된 캐리어(50)를 캐리어 공급 컨베이어(40)로 이송시킬 수 있다.In this way, when the first
복수의 제2 벨트구동부(37)는 복수의 제1 벨트구동부(35)와 실질적으로 동일한 구성을 가질 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 벨트구동부(37)는 각각, 제2 벨트(371)와, 제2 벨트(371)의 양측에 제2 벨트(371)를 회전시키도록 연결된 제3 풀리(373) 및 제4 풀리(375)와, 제3 풀리(373)와 연결된 제2 연결기어(377)와, 제2 연결기어(377)와 연결된 제2 구동기어(미도시)와, 제2 구동기어를 회전시키는 제2 구동모터(미도시)를 포함할 수 있다. 이 경우, 제2 연결기어(377)는 타이밍 벨트(미도시)에 의해 제2 구동기어와 연결될 수 있다.The plurality of second
복수의 제1 벨트구동부(35)는 제2 베이스(31)의 길이 방향을 따라 1열로 일정한 간격을 두고 배치될 수 있다. 복수의 제2 벨트구동부(37)는 1열로 복수의 제1 벨트구동부(35)에 일측에 제2 베이스(31)의 길이 방향을 따라 1열로 일정한 간격을 두고 배치될 수 있다.The plurality of first
이 경우, 복수의 제1 벨트구동부(35)와 복수의 제2 벨트구동부(37)는 일정한 길이 오버랩되는 오버랩 구간(P)을 가질 수 있다. 따라서, 복수의 제1 벨트구동부(35)와 복수의 제2 벨트구동부(37)는 오버랩 구간(P)을 가지면서 교대로 배치될 수 있다.In this case, the plurality of first
복수의 제1 벨트구동부(35)와 복수의 제2 벨트구동부(37)는 동일 방향으로 회전하면서 자력을 이용하여 캐리어(50)를 도 5의 B방향으로 연속적으로 이송할 수 있다. 이 경우, 복수의 제1 벨트구동부(35) 및 제2 벨트구동부(37)는 각각 연결된 제1 및 제2 구동모터를 제어하여 회전 구동을 동기화시킬 수 있다.The plurality of first
상기한 바와 같이, 본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치(1)는 복수의 제1 벨트구동부(35)와 복수의 제2 벨트구동부(37)가 교대로 오버랩 구간을 가지면 연속되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 본 개시의 일 예에 따른 직선 이송 장치(1)는 캐리어(50)를 벨트 컨베이어(30)를 통해 원활하게 벨트 공급 컨베이어(40)로 이송할 수 있다. As described above, the
상기에서 본 개시는 예시적인 방법으로 설명되었다. 여기서 사용된 용어들은 설명을 위한 것이며, 한정의 의미로 이해되어서는 안 될 것이다. 상기 내용에 따라 본 개시의 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서 따로 부가 언급하지 않는 한 본 개시는 청구범위의 범주 내에서 자유로이 실시될 수 있을 것이다.The present disclosure has been described above in an exemplary manner. The terms used herein are for descriptive purposes and should not be construed in a limiting sense. Various modifications and variations of the present disclosure are possible in accordance with the above contents. Therefore, unless otherwise stated, the present disclosure may be freely implemented within the scope of the claims.
10: 리니어 모터 컨베이어
15: 리니어 모터
20: 캐리어 회수 컨베이어
30: 벨트 컨베이어
35: 제1 벨트구동부
37: 제2 벨트구동부
40: 캐리어 공급 컨베이어
50: 캐리어
55: 마그네트10: Linear motor conveyor
15: Linear motor
20: Carrier recovery conveyor
30: Belt conveyor
35: First belt drive unit
37: Second belt drive unit
40: Carrier supply conveyor
50: Carrier
55: Magnet
Claims (5)
상기 복수의 리니어 모터의 자기장에 상호 반응하는 마그네트를 저면에 결합한 캐리어;
상기 리니어 모터 컨베이어에 연결되고, 상기 리니어 모터 컨베이어에 의해 이송된 캐리어를 회수하는 캐리어 회수 컨베이어; 및
상기 캐리어 회수 컨베이어로부터 회수된 캐리어를 제공받아 자성을 이용하여 이송하기 위한 적어도 하나의 제1 벨트구동부와 적어도 하나의 제2 벨트구동부를 포함하는 벨트 컨베이어를 포함하고,
상기 적어도 하나의 제1 벨트구동부와 상기 적어도 하나의 제2 벨트구동부는 상기 벨트 컨베이어의 길이 방향을 따라 오버랩 구간을 갖도록 교대로 배치되는, 직선 이송 장치.A linear motor conveyor in which a plurality of linear motors are arranged at regular intervals;
A carrier combining magnets that mutually react to the magnetic fields of the plurality of linear motors on its bottom surface;
a carrier recovery conveyor connected to the linear motor conveyor and recovering the carrier transported by the linear motor conveyor; and
A belt conveyor including at least one first belt drive unit and at least one second belt drive unit for receiving the carrier recovered from the carrier recovery conveyor and transporting it using magnetism,
The at least one first belt drive unit and the at least one second belt drive unit are alternately arranged to have an overlap section along the longitudinal direction of the belt conveyor.
상기 적어도 하나의 제1 벨트 구동부는 상기 캐리어의 마그네트와 반응하는 제1 자성체와 상기 제1 자성체를 감싸는 제1 외피로 이루어진 제1 벨트를 포함하고,
상기 적어도 하나의 제2 벨트 구동부는 상기 캐리어의 마그네트와 반응하는 제2 자성체와 상기 제2 자성체를 감싸는 제2 외피로 이루어진 제2 벨트를 포함하는, 직선 이송 장치.According to paragraph 1,
The at least one first belt drive unit includes a first belt composed of a first magnetic material that reacts with the magnet of the carrier and a first outer shell surrounding the first magnetic material,
The at least one second belt drive unit includes a second belt consisting of a second magnetic material that reacts with the magnet of the carrier and a second outer shell surrounding the second magnetic material.
상기 제1 외피 및 상기 제2 외피는 유연성을 가지는 소재로 이루어진, 직선 이송 장치.According to paragraph 2,
The first shell and the second shell are made of a flexible material.
상기 제1 외피 및 상기 제2 외피는 우레탄으로 이루어진, 직선 이송 장치.According to paragraph 3,
The first shell and the second shell are made of urethane.
상기 제1 벨트 구동부와 상기 제2 벨트 구동부는 복수개를 포함하고,
상기 복수의 제1 벨트 구동부는 상기 벨트 컨베이어의 길이 방향을 따라 인접한 제1 벨트 구동부와 일정한 간격을 두고 1열로 배치되고,
상기 복수의 제2 벨트 구동부는 상기 벨트 컨베이어의 길이 방향을 따라 인접한 제2 벨트 구동부와 일정한 간격을 두고 1열로 배치되는, 직선 이송 장치.According to paragraph 1,
The first belt drive unit and the second belt drive unit include a plurality,
The plurality of first belt drive units are arranged in a row at a constant distance from adjacent first belt drive units along the longitudinal direction of the belt conveyor,
The plurality of second belt drive units are arranged in a row at a constant distance from adjacent second belt drive units along the longitudinal direction of the belt conveyor.
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|---|---|---|---|
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| KR1020220160877A KR102587045B1 (en) | 2022-11-25 | 2022-11-25 | Liner transporting apparatus |
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Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
| KR20070008192A (en) * | 2005-07-13 | 2007-01-17 | 삼성전자주식회사 | Transport system for manufacturing flat panel display |
| JP2012144318A (en) * | 2011-01-11 | 2012-08-02 | Nippon Donetsuki Seisakusho:Kk | Carrying method of foods and its carrying device |
| JP2018123003A (en) * | 2017-01-27 | 2018-08-09 | 村田機械株式会社 | Article conveying device |
| KR20200012336A (en) * | 2018-07-27 | 2020-02-05 | 김종필 | The stay using ultra precision plate for semiconductor industry |
-
2022
- 2022-11-25 KR KR1020220160877A patent/KR102587045B1/en active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20070008192A (en) * | 2005-07-13 | 2007-01-17 | 삼성전자주식회사 | Transport system for manufacturing flat panel display |
| JP2012144318A (en) * | 2011-01-11 | 2012-08-02 | Nippon Donetsuki Seisakusho:Kk | Carrying method of foods and its carrying device |
| JP2018123003A (en) * | 2017-01-27 | 2018-08-09 | 村田機械株式会社 | Article conveying device |
| KR20200012336A (en) * | 2018-07-27 | 2020-02-05 | 김종필 | The stay using ultra precision plate for semiconductor industry |
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