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KR102610063B1 - Infrared temperature sensor, circuit board, and device using the sensor - Google Patents

Infrared temperature sensor, circuit board, and device using the sensor Download PDF

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KR102610063B1
KR102610063B1 KR1020177026408A KR20177026408A KR102610063B1 KR 102610063 B1 KR102610063 B1 KR 102610063B1 KR 1020177026408 A KR1020177026408 A KR 1020177026408A KR 20177026408 A KR20177026408 A KR 20177026408A KR 102610063 B1 KR102610063 B1 KR 102610063B1
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South Korea
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temperature sensor
infrared
substrate
infrared temperature
sensor according
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토시유키 노지리
타케시 후세
마사유키 우스이
료 호소미즈
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세미텍 가부시키가이샤
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Abstract

검지 대상물의 측정부를 효과적으로 특정할 수 있고, 소형화가 가능한 표면 실장형의 적외선 온도 센서를 제공한다. 표면 실장형의 적외선 온도 센서로서, 일면측에 개구부를 가지며, 적외선을 안내하도록 형성된 도광부와, 일면측에 차폐벽을 가지며, 적외선을 차폐하도록 형성된 차폐부를 구비한 열전도성을 갖는 본체와, 상기 본체의 타면측에 설치된 기판과, 상기 기판 위에 배치되며, 상기 도광부에 대응하는 위치에 설치된 적외선 검지용 감열 소자와, 상기 기판 위에, 상기 적외선 검지용 감열 소자와 이간되어 배치되며, 상기 차폐부에 대응하는 위치에 설치된 온도 보상용 감열 소자와, 상기 기판 위에 형성되며, 상기 적외선 검지용 감열 소자 및 상기 온도 보상용 감열 소자에 연결된 배선 패턴과, 상기 배선 패턴에 연결됨과 아울러, 상기 기판 위의 단부측에 형성된 실장용 단자를 구비하고 있다. A surface-mounted infrared temperature sensor that can effectively specify the measurement part of a detection object and can be miniaturized is provided. A surface-mounted infrared temperature sensor, comprising: a thermally conductive body having an opening on one side, a light guide portion formed to guide infrared rays, a heat conductive body having a shielding wall on one side, and a shielding portion formed to shield infrared rays; A substrate provided on the other side of the main body, a thermal element for infrared detection disposed on the substrate and installed at a position corresponding to the light guide portion, and disposed on the substrate to be spaced apart from the thermal sensitive element for infrared detection, and the shielding portion. a thermal sensing element for temperature compensation installed at a position corresponding to the temperature compensation element, a wiring pattern formed on the substrate and connected to the thermal sensing element for infrared detection and the thermal compensation element, and connected to the wiring pattern and on the substrate. It is provided with a mounting terminal formed on the end side.

Description

적외선 온도 센서, 회로 기판 및 상기 센서를 이용한 장치Infrared temperature sensor, circuit board, and device using the sensor

본 발명은 검지 대상물로부터의 적외선을 검지하여 검지 대상물의 온도를 측정하는 표면 실장형의 적외선 온도 센서, 이 적외선 온도 센서가 실장된 회로 기판 및 적외선 온도 센서를 이용한 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a surface-mounted infrared temperature sensor that measures the temperature of a detection object by detecting infrared rays from the detection object, a circuit board on which the infrared temperature sensor is mounted, and a device using the infrared temperature sensor.

종래, 예를 들면, 복사기의 정착 장치에 사용되는 가열 정착 롤러 등의 검지 대상물의 온도를 측정하는 온도 센서로서, 검지 대상물로부터의 적외선을 비접촉으로 검지하여 검지 대상물의 온도를 측정하는 적외선 온도 센서가 사용되고 있다. Conventionally, for example, an infrared temperature sensor measures the temperature of a detection object such as a heated fixing roller used in a fixing device of a copy machine, and measures the temperature of the detection object by non-contactly detecting infrared rays from the detection object. It is being used.

이러한 적외선 온도 센서는, 주위 온도의 변화를 보상하기 위해, 적외선 검지용 감열 소자 외에 온도 보상용 감열 소자가 마련되어 있다. 또한, 적외선 온도 센서는, 적외선 검지용 감열 소자 및 온도 보상용 감열 소자에 연결되어 외부로 도출된 리드선을 가지며, 검지 대상물에 대향하여 배치되도록 되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). In order to compensate for changes in ambient temperature, this infrared temperature sensor is provided with a thermal element for temperature compensation in addition to a thermal element for infrared detection. Additionally, the infrared temperature sensor has lead wires connected to the infrared detection thermal element and the thermal compensation element for temperature compensation, and is disposed opposite to the detection object (see, for example, patent document 1).

이 특허 문헌 1에 개시된 적외선 온도 센서는, 표면 실장에 접합한 구조가 아니기 때문에 표면 실장의 요구에 대응할 수 없다는 과제가 있다. The infrared temperature sensor disclosed in Patent Document 1 has a problem in that it cannot meet the requirements for surface mounting because it does not have a structure suitable for surface mounting.

한편, 표면 실장의 요구에 대응하기 위해, 표면 실장형의 적외선 온도 센서가 제안된 바 있다(특허 문헌 2 및 특허 문헌 3 참조). Meanwhile, in order to meet the demand for surface mounting, a surface-mounted infrared temperature sensor has been proposed (see Patent Document 2 and Patent Document 3).

특허 문헌 1 : 일본 특허 공개 2002-156284호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Publication No. 2002-156284 특허 문헌 2 : 일본 특허 공개 2011-13213호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Publication No. 2011-13213 특허 문헌 3 : 일본 특허 공개 2011-102791호 공보Patent Document 3: Japanese Patent Publication No. 2011-102791

그러나, 특허 문헌 2 및 특허 문헌 3에 개시된 적외선 온도 센서에서는 다음과 같은 과제가 발생한다. However, the following problems occur in the infrared temperature sensor disclosed in Patent Document 2 and Patent Document 3.

(1) 검지 대상물의 측정부를 특정하기 위한 광학적 기능(예를 들면, 적외선의 도광부)가 존재하지 않으므로, 실제로는 별도로 집광 렌즈나 반사경 등의 광학적 수단을 부가하지 않으면 사용이 어렵다. (1) Since there is no optical function (for example, an infrared light guide) for specifying the measurement part of the detection object, it is difficult to actually use it without adding a separate optical means such as a condenser lens or reflector.

(2) 하우징(케이스)은 수지로 제작되고, 열전도성이 낮은 재료로 형성되어 있기 때문에, 주위 공기 등의 외란에 의해 하우징의 온도가 균일해지기 어려워, 온도 불균일이 발생하기 쉽다. (2) Since the housing (case) is made of resin and a material with low thermal conductivity, it is difficult for the temperature of the housing to become uniform due to disturbances such as the surrounding air, and temperature unevenness is likely to occur.

(3) 감열 소자에 대향하여 적외선 흡수막이나 적외선 반사막을 사용하기 때문에, 이들은 오염에 대해 기능이 열화되기 쉽고, 신뢰성이 저하된다. (3) Since an infrared absorbing film or an infrared reflecting film is used opposite the thermal element, their function is likely to deteriorate due to contamination, and reliability is reduced.

(4) 실장용 단자를 수지로 제작된 하우징의 외측면으로부터 바닥면 측으로 인출하여 도출시키는 구성으로서, 구성이 복잡해질 가능성이 있다. (4) This is a configuration in which the mounting terminal is pulled out from the outer surface of a housing made of resin to the bottom surface, which may result in a complicated configuration.

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로서, 검지 대상물의 측정부를 효과적으로 특정할 수 있음과 아울러 소형화가 가능한 표면 실장형의 적외선 온도 센서, 이 적외선 온도 센서가 실장된 회로 기판 및 적외선 온도 센서를 이용한 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention was made in view of the above problems, and provides a surface-mounted infrared temperature sensor that can effectively specify the measurement part of the detection object and can be miniaturized, a circuit board on which the infrared temperature sensor is mounted, and a device using the infrared temperature sensor. The purpose is to provide.

청구항 1에 기재된 적외선 온도 센서는, 표면 실장형의 적외선 온도 센서로서, 일면측에 개구부를 가지며, 적외선을 안내하도록 형성된 도광부와, 일면측에 차폐벽을 가지며, 적외선을 차폐하도록 형성된 차폐부를 구비한 열전도성을 갖는 본체와, 상기 본체의 타면측에 설치된 기판과, 상기 기판 위에 배치되며, 상기 도광부에 대응하는 위치에 설치된 적외선 검지용 감열 소자와, 상기 기판 위에 상기 적외선 검지용 감열 소자와 이간되어 배치되며, 상기 차폐부에 대응하는 위치에 설치된 온도 보상용 감열 소자와, 상기 기판 위에 형성되며, 상기 적외선 검지용 감열 소자 및 상기 온도 보상용 감열 소자에 연결된 배선 패턴과, 상기 배선 패턴에 연결됨과 아울러, 상기 기판 위의 단부측에 형성된 실장용 단자를 구비하는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 1 is a surface-mounted infrared temperature sensor, and has an opening on one side, a light guide portion formed to guide infrared rays, and a shielding wall on one side, and a shielding portion formed to shield infrared rays. A main body having high thermal conductivity, a substrate provided on the other side of the main body, a heat sensitive element for infrared detection disposed on the substrate and installed at a position corresponding to the light guide portion, and a heat sensitive element for infrared detection on the substrate. a thermal compensation element arranged to be spaced apart and installed at a position corresponding to the shielding part; a wiring pattern formed on the substrate and connected to the infrared detection thermal element and the temperature compensation thermal element; and the wiring pattern In addition to being connected, it is characterized by having a mounting terminal formed on an end side of the substrate.

본체는 열전도성을 구비하고 있으면 특별히 그 재료가 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 금속 재료나 열전도성의 필러를 함유한 수지를 사용할 수 있다. 또한, 기판에는 플렉시블 배선 기판이나 리지드(rigid, 경질) 배선 기판을 사용할 수 있다. 특정한 형식의 배선 기판에 한정되는 것은 아니다. The material of the main body is not particularly limited as long as it has thermal conductivity. For example, a resin containing a metal material or a thermally conductive filler can be used. Additionally, a flexible wiring board or a rigid wiring board can be used as the board. It is not limited to a specific type of wiring board.

본체에 대한 기판의 설치는 누름 가공, 용착, 납접(블레이징, brazing), 접착이나 점착 등에 의해 수행할 수 있다. 설치 수단이 특별히 한정되는 것은 아니다. Installation of the substrate to the main body can be performed by pressing, welding, brazing, adhesion, or adhesion. The installation means is not particularly limited.

적외선 검지용 감열 소자 및 온도 보상용 감열 소자로는 세라믹스 반도체로 형성된 칩 서미스터가 바람직하게 사용되는데, 이에 한정되지 않으며, 열전대나 측온 저항체 등을 사용할 수 있다. 나아가, 배선 패턴의 패턴 형태는 특별히 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 직선형이나 미앤더(meander, 사행)형 등 설계에 따라 적당히 채용할 수 있다. A chip thermistor made of a ceramic semiconductor is preferably used as the thermal element for infrared detection and temperature compensation, but is not limited to this, and a thermocouple or a resistance thermometer can be used. Furthermore, the pattern shape of the wiring pattern is not particularly limited, and may be appropriately adopted depending on the design, for example, a straight line or a meander type.

또한, 실장용 단자가 형성되는 기판 위의 단부측은 최단부뿐만 아니라, 최단부 주위의 일정한 범위를 포함하는 것을 의미하고 있다.In addition, the end side of the board on which the mounting terminal is formed includes not only the end, but also a certain range around the end.

청구항 2에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 본체의 타면측에 있어서의 내부에는 수용 공간부가 형성되어 있고, 상기 기판은 상기 수용 공간부의 내벽을 따라 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 2 is the infrared temperature sensor according to claim 1, wherein an accommodating space is formed inside the other surface side of the main body, and the substrate is installed along the inner wall of the accommodating space. It is characterized by

청구항 3에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 본체의 타면측은 평면 형상의 평면 형상부로 되어 있고, 상기 기판은 상기 평면 형상부를 따라 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 3 is characterized in that, in the infrared temperature sensor according to claim 1, the other side of the main body is a planar portion, and the substrate is installed along the planar portion.

청구항 4에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 기판은 본체에 누름 가공에 의해 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 4 is the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein the substrate is installed on the main body by pressing.

청구항 5에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 기판은 본체에 용착에 의해 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 5 is the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 3, wherein the substrate is attached to the main body by welding.

청구항 6에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 기판은 본체에 납접(brazing), 접착 또는 점착에 의해 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 6 is characterized in that, in the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 3, the substrate is installed on the main body by brazing, adhesion, or adhesion.

청구항 7에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 기판은 본체에 열용착 가능한 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 7 is characterized in that, in the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 6, the substrate is formed of a material that can be heat-welded to the main body.

청구항 8에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 덮개 부재가 상기 기판과 대향하여 타면측에 배치되는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 8 is the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 7, wherein a cover member is disposed on the other surface facing the substrate.

청구항 9에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 8에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 덮개 부재는 내면의 적어도 기판과 대향하는 일부의 면이 적외선 반사면으로 되어 있는 것을 특징으로 한다. In the infrared temperature sensor according to claim 9, the infrared temperature sensor according to claim 8 is characterized in that at least a part of the inner surface of the cover member facing the substrate is an infrared reflecting surface.

청구항 10에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 본체는 금속 재료로 이루어지고, 산화 처리에 의해 산화막이 형성되어 적어도 상기 도광부가 흑체화되어 있는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 10 is the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 9, wherein the main body is made of a metal material, an oxide film is formed by oxidation treatment, and at least the light guide portion is turned into a black body. It is characterized by having

청구항 11에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 차폐부에는 밀폐적인 공간부가 형성되어 있고, 이 공간부과 외부 간의 통기성을 허용하는 통기부가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 11 is the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 10, wherein a sealed space is formed in the shielding portion, and a ventilation portion is provided to allow ventilation between the space and the outside. It is characterized by having

청구항 12에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 도광부와 차폐부는 도광부와 차폐부 간의 경계를 중심으로 하여 대략 대칭의 형태로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 12 is the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 11, wherein the light guide part and the shielding part are formed in a substantially symmetrical form with the boundary between the light guide part and the shielding part as the center. It is characterized by having

청구항 13에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 도광부 및 차폐부의 타면측의 개구를 제외한 본체에 있어서의 구획벽이 기판 위에 연속적 또는 부분적으로 접촉되어 있는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 13 is the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 12, wherein the partition wall in the main body excluding the opening on the other side of the light guide and shield is continuous or partial on the substrate. It is characterized by being in contact with.

청구항 14에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 본체는 상기 개구부가 표면으로부터 돌출되지 않음과 아울러, 적어도 상기 도광부가 흑체화되어 있고, 10W/m·K 이상의 열전도율을 갖는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 14 is the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 13, wherein the opening of the main body does not protrude from the surface, and at least the light guide part is turned into a black body, and the main body has a 10W It is characterized by having a thermal conductivity of /m·K or more.

청구항 15에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 적외선 검지용 감열 소자 및 온도 보상용 감열 소자를 연결하기 위한 상기 배선 패턴은 서로 대략 평행하게 배열되어 설치되어 있는 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 15 is the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 14, wherein the wiring patterns for connecting the infrared detection thermal element and the temperature compensation thermal element are substantially parallel to each other. It is characterized by being arranged and installed.

청구항 16에 기재된 적외선 온도 센서는, 청구항 1 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서에 있어서, 상기 적외선 검지용 감열 소자 및 온도 보상용 감열 소자는 금속 산화물 또는 금속 질화물을 함유하는 세라믹스 반도체로 형성된 서미스터 소자인 것을 특징으로 한다. The infrared temperature sensor according to claim 16 is the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 15, wherein the infrared detection thermal element and the temperature compensation thermal element are made of a ceramic semiconductor containing metal oxide or metal nitride. It is characterized by being a formed thermistor element.

청구항 17에 기재된 회로 기판은, 상기 실장용 단자가 연결되는 연결 소자를 갖는 실장 기판과, 이 실장 기판에 실장된 청구항 1 내지 청구항 16에 기재된 어느 하나의 적외선 온도 센서를 구비하는 것을 특징으로 한다. The circuit board according to claim 17 is characterized by comprising a mounting board having a connection element to which the mounting terminal is connected, and one of the infrared temperature sensors according to claims 1 to 16 mounted on the mounting board.

청구항 18에 기재된 회로 기판은, 청구항 17에 기재된 회로 기판에 있어서, 상기 실장 기판은 캐비티 구조인 것을 특징으로 한다. The circuit board according to claim 18 is the circuit board according to claim 17, wherein the mounting board has a cavity structure.

기판의 재질은 유리 에폭시 기판 등이 일반적으로 사용되는데, 알루미늄, 구리 등의 열전도가 양호한 금속 기판이 바람직하다. The material of the substrate is generally a glass epoxy substrate, but a metal substrate with good heat conduction such as aluminum or copper is preferred.

청구항 19에 기재된 회로 기판은, 청구항 17 또는 청구항 18에 기재된 회로 기판에 있어서, 상기 실장 기판에는 적어도 기판과 대향하는 일부의 면에 적외선 반사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. The circuit board according to claim 19 is the circuit board according to claim 17 or 18, wherein the mounting board has an infrared reflecting surface formed on at least a part of the surface facing the board.

적외선 반사면의 형성은, 기판이 알루미늄 기판인 경우 그 알루미늄 표면을 사용하여도 좋고, 구리 기판인 경우에는 니켈 또는 금 도금 등의 적외선 반사막을 형성하도록 하여도 좋다. 또한, 구리 또는 철재의 인레이(inlay)재에 니켈 또는 금 도금 등의 적외선 반사막을 형성하여 대향하는 면을 적외선 반사면으로서 형성하여도 좋다. For the formation of the infrared reflecting surface, if the substrate is an aluminum substrate, the aluminum surface may be used, or if the substrate is a copper substrate, an infrared reflecting film such as nickel or gold plating may be formed. Additionally, an infrared reflecting film such as nickel or gold plating may be formed on an inlay material of copper or iron, and the opposing surface may be formed as an infrared reflecting surface.

청구항 20에 기재된 적외선 온도 센서를 이용한 장치는, 청구항 1 내지 청구항 16 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다. A device using an infrared temperature sensor according to claim 20 is characterized in that the infrared temperature sensor according to any one of claims 1 to 16 is provided.

적외선 온도 센서는, 예를 들면, 복사기의 정착 장치, 배터리 유닛, 콘덴서, IH 쿠킹 히터, 냉장고의 고내 물품 등의 온도 검지를 위해 각종 장치에 구비되어 적용할 수 있다. 특별히 적용되는 장치가 한정되는 것은 아니다. The infrared temperature sensor can be provided and applied to various devices to detect the temperature of, for example, a fixing device of a copier, a battery unit, a condenser, an IH cooking heater, and items inside a refrigerator. There is no particular limitation to applicable devices.

본 발명에 따르면, 검지 대상물의 측정부를 효과적으로 특정할 수 있음과 아울러 소형화가 가능한 표면 실장형의 적외선 온도 센서, 이 적외선 온도 센서가 실장된 회로 기판 및 적외선 온도 센서를 이용한 장치를 제공할 수 있다. According to the present invention, it is possible to provide a surface-mounted infrared temperature sensor that can effectively specify the measurement part of the detection object and can be miniaturized, a circuit board on which the infrared temperature sensor is mounted, and a device using the infrared temperature sensor.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 적외선 온도 센서를 도시한 사시도이다.
도 2는 상기 적외선 온도 센서를 도시한 평면도이다.
도 3은 상기 적외선 온도 센서를 도시한 후면도이다.
도 4는 도 2 중 A-A선을 따른 단면도이다.
도 5는 도 2 중 B-B선을 따른 단면도이다.
도 6은 도 2 중 C-C선을 따른 단면도이다.
도 7은 도 6 중 X-X선을 따른 본체의 단면도이다.
도 8은 도 8(a)는 본체의 후면측에 덮개 부재를 마련한 것으로서, 도 5에 해당하는 단면도, (b)는 덮개 부재를 도시한 사시도이다(변형예 1).
도 9는 외부와의 통기를 허용하는 통기부를 마련한 것으로서, 도 6에 해당하는 단면도이다(변형예 2).
도 10은 배선 패턴을 도시한 평면도이다(변형예 3).
도 11은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 적외선 온도 센서를 분해하여 도시한 사시도이다.
도 12는 상기 적외선 온도 센서를 분해하여 후면측에서 보아 도시한 사시도이다.
도 13은 상기 적외선 온도 센서를 도시한 평면도이다.
도 14는 상기 적외선 온도 센서를 도시하며, 도 6에 해당하는 단면도이다.
도 15는 도 14 중 X-X선을 따른 본체의 단면도이다.
도 16은 접착 시트를 도시한 평면도이다.
도 17은 상기 적외선 온도 센서의 서로 다른 예를 도시한 단면도이다.
Figure 1 is a perspective view showing an infrared temperature sensor according to a first embodiment of the present invention.
Figure 2 is a plan view showing the infrared temperature sensor.
Figure 3 is a rear view showing the infrared temperature sensor.
Figure 4 is a cross-sectional view taken along line AA in Figure 2.
Figure 5 is a cross-sectional view taken along line BB in Figure 2.
Figure 6 is a cross-sectional view taken along line CC in Figure 2.
Figure 7 is a cross-sectional view of the main body along line XX in Figure 6.
Figure 8 (a) is a cross-sectional view corresponding to Figure 5, showing a cover member provided on the rear side of the main body, and (b) is a perspective view showing the cover member (modification 1).
Figure 9 is a cross-sectional view corresponding to Figure 6, showing a ventilation portion that allows ventilation with the outside (modification example 2).
Figure 10 is a plan view showing a wiring pattern (modification example 3).
Figure 11 is an exploded perspective view of an infrared temperature sensor according to a second embodiment of the present invention.
Figure 12 is a perspective view of the infrared temperature sensor disassembled and viewed from the rear side.
Figure 13 is a plan view showing the infrared temperature sensor.
Figure 14 shows the infrared temperature sensor and is a cross-sectional view corresponding to Figure 6.
Figure 15 is a cross-sectional view of the main body along line XX in Figure 14.
Figure 16 is a plan view showing the adhesive sheet.
Figure 17 is a cross-sectional view showing different examples of the infrared temperature sensor.

이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 적외선 온도 센서에 대해 도 1 내지 도 10을 참조하여 설명하기로 한다. 도 1은 적외선 온도 센서를 도시한 사시도, 도 2는 적외선 온도 센서를 도시한 평면도, 도 3은 적외선 온도 센서를 도시한 후면도이다. 도 4는 도 2 중 A-A선을 따른 단면도, 도 5는 도 2 중 B-B선을 따른 단면도, 도 6은 도 2 중 C-C선을 따른 단면도이다. 또한, 도 7은 도 6 중 X-X선을 따른 본체의 단면도이다. 나아가, 도 8(a), 도 8(b) 내지 도 10은 변형예를 도시하고 있다. 또한, 각 도면에서 동일 또는 해당 부분에는 동일 부호를 붙이고 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, an infrared temperature sensor according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 10. Figure 1 is a perspective view showing an infrared temperature sensor, Figure 2 is a top view showing an infrared temperature sensor, and Figure 3 is a rear view showing an infrared temperature sensor. FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line A-A in FIG. 2, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line B-B in FIG. 2, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line C-C in FIG. 2. Additionally, FIG. 7 is a cross-sectional view of the main body along line X-X in FIG. 6. Furthermore, Figures 8(a), 8(b) to 10 show modified examples. In addition, in each drawing, identical or corresponding parts are given the same reference numerals and overlapping descriptions are omitted.

도 1 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 적외선 온도 센서(1)는, 본체(2)와, 기판(3)과, 이 기판(3) 상에 설치된 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)와, 마찬가지로 기판(3) 상에 형성된 배선 패턴(31) 및 실장용 단자(32)를 구비하고 있다. 적외선 온도 센서(1)는 표면 실장형으로서, 표면 실장에 적합하도록 구성되어 있다. 1 to 7, the infrared temperature sensor 1 includes a main body 2, a substrate 3, a thermal element 4 for infrared detection installed on the substrate 3, and temperature compensation. In addition to the heat sensitive element 5, a wiring pattern 31 and a mounting terminal 32 formed on the substrate 3 are provided. The infrared temperature sensor 1 is a surface mount type and is configured to be suitable for surface mounting.

본체(2)는 열전도성을 갖는 금속 재료, 예를 들면, 철에 의해 대략 직육면체 형상으로 형성되어 있으며, 도광부(21) 및 차폐부(22)와 수용 공간부(23)를 가지고 있다. 본체(2)는 세로 방향의 길이 치수 및 가로 방향의 길이 치수가 8mm 내지 13mm, 높이 치수가 2mm 내지 5mm의 소형화된 크기로 이루어져 있다. The main body 2 is made of a thermally conductive metal material, for example, iron, and is formed into a substantially rectangular parallelepiped shape, and has a light guide portion 21, a shield portion 22, and a receiving space portion 23. The main body 2 has a miniaturized size with a vertical and horizontal length of 8 mm to 13 mm and a height of 2 mm to 5 mm.

또한, 본체(2)는 그 전체가 열처리에 의해 산화되어 흑체화되어 있다. 구체적으로, 본체(2)를 400℃ 내지 1000℃ 정도의 고온에서 열처리함으로써 본체(2)의 표면에 산화막이 형성되고 흑화 처리된다. 이 산화막의 두께 치수는 10μm 이하로 형성하는 것이 바람직하며, 구체적으로는 3μm로 형성되어 있다. 방사율은 0.8 이상이 바람직하며, 상기 흑화 처리에 의해 0.8 내지 0.95의 방사율을 얻을 수 있다. Additionally, the entire body 2 is oxidized through heat treatment to become a black body. Specifically, by heat-treating the main body 2 at a high temperature of about 400°C to 1000°C, an oxide film is formed on the surface of the main body 2 and blackened. The thickness of this oxide film is preferably formed to be 10 μm or less, and specifically, it is formed to be 3 μm. The emissivity is preferably 0.8 or more, and an emissivity of 0.8 to 0.95 can be obtained through the blackening treatment.

또한, 본체(2)를 형성하는 재료는 적어도 10W/m·K 이상의 열전도율을 갖는 것이면 특별히 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 수지에 카본, 금속, 세라믹 등의 필러를 함유시킨 재료, 철, 니켈, 크롬, 코발트, 망간, 구리, 티타늄 및 몰리브덴 등의 금속 재료 및 이들 금속을 포함하는 합금, 금속 재료에 흑색 도장을 실시한 재료, 세라믹 등을 사용할 수 있다. 또한, 수지 자신의 방사율은 높으므로 수지의 표면은 흑체화되게 된다. Additionally, the material forming the main body 2 is not particularly limited as long as it has a thermal conductivity of at least 10 W/m·K. For example, materials containing fillers such as carbon, metal, and ceramic in resin, metal materials such as iron, nickel, chromium, cobalt, manganese, copper, titanium, and molybdenum, and alloys containing these metals, and metal materials are black. Painted materials, ceramics, etc. can be used. Additionally, since the emissivity of the resin itself is high, the surface of the resin becomes a black body.

본체(2)에는 도광부(21)와 차폐부(22)가 형성되어 있으며, 도광부(21)는 본체(2)의 일면측(전면측)에 개구부(21a)를 가져 적외선을 안내하도록 형성되어 있다. 차폐부(22)는 일면측(전면측)에 차폐벽(22a)을 가져 적외선을 차폐하도록 형성되어 있다. A light guide part 21 and a shielding part 22 are formed in the main body 2, and the light guide part 21 has an opening 21a on one side (front side) of the main body 2 to guide infrared rays. It is done. The shielding portion 22 has a shielding wall 22a on one side (front side) and is formed to shield infrared rays.

도광부(21)는 개구부(21a)가 전면측으로부터 후면측에 걸쳐 관통하는 통 형상의 관통홀로 하며, 후면측이 개구되어 형성되어 있으며, 그 도광부(21)의 내주면은 이미 설명한 바와 같이 산화되어 흑체화되어 있다. 이 개구부(21a)는 본체(2)의 표면으로부터 돌출되지 않도록 형성되어 있으며, 가로가 길고 귀퉁이가 라운드진 대략 직사각 형상으로서, 장변 방향(긴 방향)의 길이 치수가 3mm 내지 6mm, 구체적으로는 6mm로 형성되어 있고, 단변 방향(짧은 방향)의 길이 치수가 1mm 내지 2.5mm, 구체적으로는 2mm로 형성되어 있다. 따라서, 개구부(21a)의 치수는 1mm 내지 6mm의 범위 내이고, 최대 치수가 6mm 이하로 설정되어 있다. The light guide portion 21 is formed as a cylindrical through hole with an opening portion 21a penetrating from the front side to the back side, and the rear side is open, and the inner peripheral surface of the light guide portion 21 is oxidized as already described. It has become a black body. This opening 21a is formed so as not to protrude from the surface of the main body 2, has a substantially rectangular shape with long horizontal sides and rounded corners, and has a length dimension in the long side direction of 3 mm to 6 mm, specifically 6 mm. It is formed to have a length dimension in the short side direction (short direction) of 1 mm to 2.5 mm, specifically 2 mm. Accordingly, the size of the opening 21a is within the range of 1 mm to 6 mm, and the maximum size is set to 6 mm or less.

또한, 개구부(21a)의 형상은 특별히 한정되는 것은 아니다. 원 형상, 타원 형상이나 다각 형상 등으로 형성하여도 좋다. 검지 대상물의 측정부의 형태 등에 따라 적당히 선정할 수 있다. 또한, 본체(2)를 산화에 의해 흑화 처리하지 않는 경우에는, 도광부(21)의 내주면에 필요에 따라 예를 들면, 흑색 도장이나 알루마이트 처리 등을 실시하여 적외선 흡수층을 형성하도록 하여도 좋다. Additionally, the shape of the opening 21a is not particularly limited. It may be formed in a circular shape, an oval shape, a polygonal shape, etc. It can be appropriately selected depending on the shape of the measurement part of the detection object, etc. In addition, when the main body 2 is not blackened by oxidation, an infrared absorption layer may be formed on the inner peripheral surface of the light guide portion 21 by, for example, black painting or anodizing treatment, as necessary.

차폐부(22)는 도광부(21)에 인접하여 배치되어 있으며, 도광부(21)와 차폐부(22) 간의 경계를 중심축으로 하여 대략 대칭의 형태로 형성되어 있다. 차폐부(22)는 차폐벽(22a)을 전면측에 가져, 후면측으로 도광부(21)와 동일 형상, 즉 개구부(21a)와 동일 형상의 귀퉁이가 라운드진 대략 직사각 형상으로 뻗어나와 공간부(22b)를 형성하고 있다. 이 공간부(22b)는 오목한 형상의 공동으로서, 차폐벽(22a)과 대향하는 후면측은 개구되어 있다. The shielding portion 22 is disposed adjacent to the light guide portion 21 and is formed in a substantially symmetrical form with the boundary between the light guide portion 21 and the shielding portion 22 as the central axis. The shielding portion 22 has a shielding wall 22a on the front side, and extends to the rear side in a substantially rectangular shape with rounded corners of the same shape as the light guide portion 21, that is, the same shape as the opening portion 21a, forming a space portion ( 22b) is formed. This space 22b is a concave cavity, and the rear side facing the shielding wall 22a is open.

즉, 도 7에 대표적으로 도시한 바와 같이, 본체(2)에 있어서, 차폐부(22)에 있어서의 차폐벽(22a)을 포함하지 않는 부위에서의 횡단면 형상이 도광부(21)와 차폐부(22) 간의 경계를 중심축(C)으로 하여 대략 대칭의 형태로 되어 있다. 바꾸어 말하면, 도광부(21)의 개구부(21a)와 차폐부(22)의 차폐벽(22a)의 부분을 제외하면, 도광부(21) 측과 차폐부(22) 측은 대략 동일 형상으로 형성되어 있다. That is, as representatively shown in FIG. 7, in the main body 2, the cross-sectional shape of the portion of the shielding portion 22 that does not include the shielding wall 22a is the shape of the light guide portion 21 and the shielding portion. (22) It is roughly symmetrical with the boundary between the livers as the central axis (C). In other words, except for the opening 21a of the light guide 21 and the shielding wall 22a of the shield 22, the light guide 21 side and the shield 22 side are formed to have approximately the same shape. there is.

이상과 같이 도광부(21) 및 차폐부(22)는 일정한 공간 영역이 주위의 구획벽(24)에 의해 형성되어 있게 된다. 여기서, 편의상, 도광부(21)와 차폐부(22) 간의 경계 부분의 구획벽(24)을 중앙벽(24a), 기타 구획벽(24)의 부분을 주위벽(24b)이라고 한다. As described above, a certain spatial area of the light guide portion 21 and the shielding portion 22 is formed by the surrounding partition wall 24. Here, for convenience, the partition wall 24 at the boundary between the light guide part 21 and the shielding part 22 is called the central wall 24a, and the other part of the partition wall 24 is called the peripheral wall 24b.

수용 공간부(23)는 본체(2)의 내부에 있어서의 후면측에 형성되어 있다. 구체적으로는, 수용 공간부(23)는 대략 직육면체 형상의 오목형으로 형성되고, 도광부(21) 및 차폐부(22)의 후면측의 개구와 연통되도록 되어 있다. The accommodation space 23 is formed on the rear side inside the main body 2. Specifically, the accommodation space 23 is formed in a substantially rectangular concave shape and communicates with the openings on the rear sides of the light guide part 21 and the shielding part 22.

기판(3)은 대략 직사각 형상으로 형성된 적외선을 흡수하는 절연성 필름으로서, 가요성을 갖는 플렉시블 배선 기판(FPC)이다. 기판(3)은 본체(2)의 타면측(후면측)에 설치된다. 상세하게는, 기판(3)은 상기 수용 공간부(23)의 내벽을 따라 구부려져서, 열용착되어 설치된다. 이 경우, 기판(3)을 수용 공간부(23)의 내벽을 따르는 형상으로 포밍 가공하여도 좋다. The substrate 3 is an insulating film that absorbs infrared rays and is formed in a substantially rectangular shape and is a flexible wiring board (FPC). The substrate 3 is installed on the other side (rear side) of the main body 2. In detail, the substrate 3 is bent along the inner wall of the receiving space 23 and installed by heat welding. In this case, the substrate 3 may be formed into a shape along the inner wall of the receiving space 23.

기판(3)에는 절연성 기재의 일표면(도 4 내지 도 6 중 후면측) 위에 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)가 설치되어 있다. 또한, 마찬가지로 일표면 위에는 도체의 배선 패턴(31) 및 이 배선 패턴(31)에 전기적으로 연결됨과 아울러 단부측에 위치하는 실장용 단자(32)가 형성되어 있다. On the substrate 3, a thermal element 4 for infrared detection and a thermal element 5 for temperature compensation are installed on one surface of the insulating substrate (the rear side in FIGS. 4 to 6). Also, similarly, a conductor wiring pattern 31 and a mounting terminal 32 electrically connected to the wiring pattern 31 and located at the end are formed on one surface.

기판(3)에는 폴리이미드, 폴리에틸렌, 액정 폴리머, 불소, 실리콘, 폴리에스테르, 폴리카보네이트, PPS(폴리페닐렌설파이드) 등의 고분자 재료로 이루어지는 수지를 사용할 수 있다. 또한, 이들 수지에 카본 블랙 또는 무기 안료(크롬 옐로, 벵갈라, 티타늄 화이트, 군청 중 1종 이상)를 혼합 분산시켜 대략 전 파장의 적외선을 흡수할 수 있는 재료를 사용하여도 좋다. For the substrate 3, a resin made of a polymer material such as polyimide, polyethylene, liquid crystal polymer, fluorine, silicon, polyester, polycarbonate, and PPS (polyphenylene sulfide) can be used. Additionally, a material that can absorb infrared rays of approximately all wavelengths may be used by mixing and dispersing carbon black or an inorganic pigment (one or more of chrome yellow, Bengala, titanium white, and ultramarine blue) into these resins.

본 실시 형태에서는, 기판(3)을 상기 수용 공간부(23)의 내벽을 따라 구부려서 열용착에 의해 설치하기 때문에, 기판(3)은 열용착이 가능한 폴리이미드, 폴리에틸렌, 액정 폴리머 등의 재료가 사용되고 있다. In this embodiment, since the substrate 3 is bent along the inner wall of the receiving space 23 and installed by heat welding, the substrate 3 is made of a heat weldable material such as polyimide, polyethylene, or liquid crystal polymer. It is being used.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이 배선 패턴(31)은 일단측에 직사각 형상의 전극 단자(31a)를 가지며, 이 전극 단자(31a)로부터 가는 폭의 패턴이 미앤더형으로 뻗어나오고, 타단측의 끝단부에 직사각 형상의 실장용 단자(32), 구체적으로는 납땜(soldering)용 랜드가 형성되어 구성되어 있다. 이와 동일한 패턴의 배선 패턴(31)이 전극 단자(31a)의 상호가 대향하도록 한 쌍 설치되어, 적외선 검지용 감열 소자(4) 또는 온도 보상용 감열 소자(5)가 배치되고 연결되도록 되어 있다. As shown in FIGS. 2 and 3, the wiring pattern 31 has a rectangular electrode terminal 31a on one end, and a narrow pattern extends in a meander shape from this electrode terminal 31a, and has a rectangular electrode terminal 31a on the other end. A rectangular mounting terminal 32, specifically a land for soldering, is formed at the end of the terminal. A pair of wiring patterns 31 of the same pattern are provided so that the electrode terminals 31a face each other, and the thermal sensing element 4 for infrared detection or the thermal sensing element 5 for temperature compensation is arranged and connected.

따라서, 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)를 연결하기 위해, 2쌍의 배선 패턴(31)이 서로 대략 평행하게 배열되어 설치되어 있다. 이 적외선 검지용 감열 소자(4)가 연결되는 배선 패턴(31dt)과 온도 보상용 감열 소자(5)가 연결되는 배선 패턴(31cp)은 동일 패턴의 형태로서, 서로 연결되지 않고, 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5)를 각각 개별적으로 연결하고 있다. Therefore, in order to connect the thermal sensing element 4 for infrared detection and the thermal sensing element 5 for temperature compensation, two pairs of wiring patterns 31 are arranged to be substantially parallel to each other. The wiring pattern 31dt to which the thermal element 4 for infrared detection is connected and the wiring pattern 31cp to which the thermal element 5 for temperature compensation is connected are of the same pattern and are not connected to each other. The element (4) and the thermal element (5) for temperature compensation are individually connected.

또한, 배선 패턴(31) 위에는 폴리이미드필름으로 대표되는 수지 필름, 레지스트 잉크 등으로 이루어지는 절연층인 커버층(33)이 형성되어 있다. 커버층(33)은 배선 패턴(31)을 피복하도록 형성되어 있는데, 전극 단자(31a) 및 실장용 단자(32)는 커버층(33)에 피복되지 않은 노출된 부분으로 되어 있다. Additionally, a cover layer 33, which is an insulating layer made of a resin film represented by polyimide film, resist ink, etc., is formed on the wiring pattern 31. The cover layer 33 is formed to cover the wiring pattern 31, and the electrode terminal 31a and the mounting terminal 32 are exposed portions that are not covered by the cover layer 33.

나아가, 커버층(33)에는 폴리이미드 필름, 레지스트 잉크에 카본 블랙 또는 무기 안료(크롬 옐로, 벵갈라, 티타늄 화이트, 군청의 1종 이상)를 혼합 분산시켜 대략 전 파장의 적외선을 흡수할 수 있는 재료를 사용하여도 좋다. 커버층(33)에 적외선 흡수 재료를 사용함으로써 수광 에너지가 커져 감도의 향상을 도모할 수 있다. Furthermore, the cover layer 33 is made by mixing and dispersing polyimide film, resist ink, and carbon black or inorganic pigment (one or more types of chrome yellow, Bengala, titanium white, and ultramarine blue) to absorb infrared rays of approximately all wavelengths. You can also use . By using an infrared absorbing material in the cover layer 33, the received light energy can be increased and sensitivity can be improved.

그리고, 이 배선 패턴(31)은 설명 상, 도 2에서는 기판(3)을 투과하여, 도 3에서는 커버층(33)을 투과하여 시각적으로 인식할 수 있는 상태를 선명화하여 도시하고 있다. For the purpose of explanation, the wiring pattern 31 is clearly shown in a state where it can be visually recognized by passing through the substrate 3 in FIG. 2 and through the cover layer 33 in FIG. 3.

이러한 배선 패턴(31)은 압연 구리 호일이나 전해 구리 호일 등에 의해 패터닝되어 형성되어 있으며, 실장용 단자(32)에는 연결 저항을 줄이고, 부식을 방지하기 위해 니켈 도금, 금 도금이나 땜납 도금 등의 도금 처리가 이루어져 있다. This wiring pattern 31 is formed by patterning with rolled copper foil or electrolytic copper foil, and the mounting terminal 32 is plated with nickel plating, gold plating, or solder plating to reduce connection resistance and prevent corrosion. processing is done.

적외선 검지용 감열 소자(4)는 검지 대상물로부터의 적외선을 검지하여, 검지 대상물의 온도를 측정한다. 온도 보상용 감열 소자(5)는 주위 온도를 검지하여 주위 온도를 측정한다. 이들 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)는 적어도 대략 동일한 온도 특성을 갖는 감열 소자로 구성되어 있으며, 배선 패턴(31)의 대향하는 전극 단자(31a) 사이에 연결되고, 상호 이간되어 실장 배치되어 있다. The thermal element 4 for infrared detection detects infrared rays from the detection object and measures the temperature of the detection object. The thermal element 5 for temperature compensation detects the ambient temperature and measures the ambient temperature. These infrared detection thermal elements 4 and temperature compensation thermal elements 5 are composed of thermal elements having at least approximately the same temperature characteristics, and are connected between opposing electrode terminals 31a of the wiring pattern 31. , they are installed and spaced apart from each other.

구체적으로는, 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)는 양 단부에 단자 전극이 형성된 칩 서미스터이다. 이 서미스터로는, NTC형, PTC형, CTR형 등의 서미스터가 있는데, 본 실시 형태에서는, 예를 들면, NTC형 서미스터를 채용하고 있다. Specifically, the thermally sensitive element 4 for infrared detection and the thermally sensitive element 5 for temperature compensation are chip thermistors with terminal electrodes formed at both ends. This thermistor includes thermistors such as NTC type, PTC type, and CTR type, and in this embodiment, for example, the NTC type thermistor is adopted.

특히, 본 실시 형태에서는, 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)로서 Mn, Co, Ni 및 Fe의 금속 산화물 또는 금속 질화물을 함유하는 세라믹스 반도체, 즉, Mn-Co-Ni-Fe계 재료로 형성된 박막 서비스터 소자를 채용하고 있다. 이 세라믹스 반도체는 온도 계수인 B 상수가 높기 때문에, 적외선을 흡수하는 기판(3)의 온도 변화를 감도 있게 검출할 수 있다. In particular, in this embodiment, the infrared detection thermal element 4 and the temperature compensation thermal element 5 are ceramic semiconductors containing metal oxides or metal nitrides of Mn, Co, Ni, and Fe, that is, Mn-Co- A thin film service element made of Ni-Fe based material is adopted. Since this ceramic semiconductor has a high B constant, which is the temperature coefficient, it is possible to sensitively detect temperature changes in the substrate 3 that absorbs infrared rays.

또한, 세라믹스 반도체는 입방정 스피넬상을 주상으로 하는 결정 구조를 가지고 있는 것이 바람직하며, 이 경우, 이방성도 없고, 또한 불순물층이 없으므로, 세라믹스 소결체 내에서 전기 특성의 불균일이 작고, 복수 개의 적외선 온도 센서를 사용할 때 고정밀한 측정이 가능해진다. 나아가, 안정적인 결정 구조 때문에 내환경에 대한 신뢰성도 높다. 그리고, 세라믹스 반도체로는 입방정 스피넬상으로 이루어지는 단상의 결정 구조가 가장 바람직하다. In addition, it is preferable that the ceramic semiconductor has a crystal structure with the cubic spinel phase as the main phase. In this case, there is no anisotropy and there is no impurity layer, so the unevenness of electrical properties within the ceramic sintered body is small, and a plurality of infrared temperature sensors are provided. When using , high-precision measurement becomes possible. Furthermore, because of its stable crystal structure, it has high reliability in environmental resistance. And, as a ceramic semiconductor, a single-phase crystal structure consisting of a cubic spinel phase is most preferable.

또한, 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)가 세라믹스 반도체로 형성된 동일한 웨이퍼로부터 얻은 서미스터 소자, 박막 서미스터 중에서 소정의 허용 오차 내의 저항값으로 선별한 것인 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the thermal sensing element 4 for infrared detection and the thermal sensing element 5 for temperature compensation are selected from among thermistor elements and thin film thermistors obtained from the same wafer formed of a ceramic semiconductor with a resistance value within a predetermined tolerance.

이 경우, 쌍이 될 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)에서 B 상수의 상대 오차가 작아지고, 동시에 온도를 검출하는 양자의 온도차를 높은 정밀도로 검출할 수 있다. 또한, 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)에 대해, B 상수의 선별 작업이나 저항값의 조정 공정이 불필요해져 생산성을 향상시킬 수 있다. In this case, the relative error of the B constant in the pair of infrared detection thermal element 4 and temperature compensation thermal element 5 becomes small, and the temperature difference between both detecting temperatures at the same time can be detected with high precision. In addition, for the infrared detection thermal element 4 and the temperature compensation thermal element 5, the process of selecting the B constant or adjusting the resistance value becomes unnecessary, thereby improving productivity.

그리고, 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)에 사용하는 서미스터 소자의 구성은, 예를 들면, 벌크 서미스터, 적층 서미스터, 후막 서미스터, 박막 서미스터 중 어느 구성이어도 좋다. The thermistor element used in the infrared detection thermal element 4 and the temperature compensation thermal element 5 may have any structure among, for example, a bulk thermistor, a laminated thermistor, a thick film thermistor, or a thin film thermistor.

이상과 같이 구성되는 적외선 온도 센서(1)는 도 6에 대표적으로 도시한 바와 같이, 적외선 검지용 감열 소자(4)는 도광부(21)에 대응하는 위치에 설치되고, 온도 보상용 감열 소자(5)는 차폐부(22)에 대응하는 위치에 설치된다.As the infrared temperature sensor 1 configured as above is representatively shown in FIG. 6, the infrared detection thermal element 4 is installed at a position corresponding to the light guide portion 21, and the thermal compensation element for temperature compensation ( 5) is installed at a position corresponding to the shielding portion 22.

또한, 본체(2)에 있어서의 구획벽(24)으로서의 중앙벽(24a) 및 주위벽(24b)이 기판(3)의 표면 위에 열결합하도록 접촉되어 배치된다. 즉, 도광부(21) 및 차폐부(22)의 후면측의 개구를 제외한 본체(2)에 있어서의 구획벽(24)으로서의 중앙벽(24a) 및 주위벽(24b)이 기판(3)의 표면 위에 접촉되어 배치된다. 구체적으로는, 중앙벽(24a)은 기판(3)의 표면 위에 있어서의 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5) 간의 경계 부분에 대향하여 접촉되고, 주위벽(24b)은 기판(3)의 표면 위에 있어서의 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5)의 주위 부분에 대향하여 접촉된다. 나아가, 기판(3) 위의 단부측에 형성된 실장용 단자(32)는 본체(2)의 둘레벽에 있어서의 후면측 단부에 설치된다.In addition, the central wall 24a and the peripheral wall 24b as the partition wall 24 in the main body 2 are arranged in contact with each other so as to be thermally bonded to the surface of the substrate 3. That is, the central wall 24a and the peripheral wall 24b as the partition wall 24 in the main body 2, excluding the openings on the rear side of the light guide portion 21 and the shielding portion 22, are of the substrate 3. It is placed in contact with the surface. Specifically, the central wall 24a faces and contacts the boundary portion between the thermally sensitive element 4 for infrared detection and the thermally sensitive element 5 for temperature compensation on the surface of the substrate 3, and the peripheral wall 24b is brought into contact with the surrounding portions of the infrared detection thermal element 4 and the temperature compensation thermal element 5 on the surface of the silver substrate 3. Furthermore, the mounting terminal 32 formed on the end side of the substrate 3 is installed at the rear end of the peripheral wall of the main body 2.

그리고, 구획벽(24)에 있어서의 기판(3)의 표면 위의 접촉은, 구획벽(24)이 중앙벽(24a) 및 주위벽(24b)에 걸쳐 기판(3)의 표면 위에 연속적으로 접촉시키도록 하여도 좋고, 부분적으로 접촉, 예를 들면, 단속적으로 접촉시키도록 하여도 좋다. And, the contact of the partition wall 24 with the surface of the substrate 3 means that the partition wall 24 continuously contacts the surface of the substrate 3 across the central wall 24a and the peripheral wall 24b. It may be made to make contact, or it may be made to make partial contact, for example, intermittent contact.

부분적으로 접촉시키는 형태의 경우, 기판(3)의 표면 위에 중앙벽(24a)과, 도광부(21) 및 차폐부(22)의 일측(장변 방향)의 주위벽(24b)을 접촉시키고, 도광부(21) 및 차폐부(22)의 타측(단변 방향)의 주위벽(24b)을 비접촉으로 하는 구성을 채용할 수 있다. 이에 더하여, 도광부(21) 및 차폐부(22)의 타측(단변 방향)의 주위벽(24b)을 비접촉으로 함으로써, 이 비접촉의 부분을 후술하는 통기부(9)의 형성에 바람직하게 이용하는 것이 가능해진다. In the case of a form of partial contact, the central wall 24a and the peripheral wall 24b on one side (long side direction) of the light guide portion 21 and the shield portion 22 are brought into contact on the surface of the substrate 3, and the light guide A configuration in which the peripheral wall 24b on the other side (short side direction) of the portion 21 and the shielding portion 22 is non-contact can be adopted. In addition, by making the peripheral wall 24b on the other side (short side direction) of the light guide portion 21 and the shielding portion 22 non-contact, this non-contact portion is preferably used for forming the ventilation portion 9 described later. It becomes possible.

본 실시 형태의 본체(2)에 있어서, 개구부(21a)는 표면으로부터 돌출되지 않음과 아울러, 적어도 도광부(21)가 흑체화되어 있다. In the main body 2 of this embodiment, the opening 21a does not protrude from the surface, and at least the light guide portion 21 is turned into a black body.

종래에 있어서의 개구부가 표면으로부터 돌출되는 구조의 적외선 온도 센서에서는, 본체의 재료는, 알루미늄, 알루미늄 합금, 아연 합금 등의 열전도율이 96W/m·K 이상인 것이 사용되고 있었다. 이는 돌출부가 있으면 본체에 온도차가 발생해 버리기 때문에 열전도가 나쁜 재료를 사용할 수 없었던 것에 따른다. In a conventional infrared temperature sensor with a structure in which an opening protrudes from the surface, a body material such as aluminum, aluminum alloy, or zinc alloy with a thermal conductivity of 96 W/m·K or higher was used. This is due to the fact that materials with poor heat conduction could not be used because if there were protrusions, a temperature difference would occur in the main body.

복사기 등의 열정착 장치의 경우, 적외선 온도 센서는 열원의 히트 롤러에 대해 5mm 정도의 매우 근거리에 설치된다. 이러한 환경 하에서 개구부가 돌출되는 구조의 적외선 온도 센서에서는 고가의 열전도가 양호한 재료가 아니면 적외선 온도 센서가 정확하게 기능할 수 없다는 문제가 있었다. In the case of heat sealing devices such as copiers, the infrared temperature sensor is installed very close to the heat roller of the heat source, about 5 mm. Under these circumstances, there was a problem that the infrared temperature sensor with a protruding opening could not function accurately unless it was made of an expensive material with good heat conduction.

본 실시 형태에서는, 개구부(21a)가 표면으로부터 돌출되지 않고, 돌출부를 갖지 않음으로써, 본체(2)의 열전도율이 10W/m·K 이상에서도 사용 가능하게 되어 있다. 철, 스테인리스, 필러를 함유시킨 열전도성이 양호한 수지 등의 재료가 사용 가능해진다. In this embodiment, the opening 21a does not protrude from the surface and has no protrusion, so that the main body 2 can be used even when the thermal conductivity is 10 W/m·K or higher. Materials such as iron, stainless steel, and resin with good thermal conductivity containing filler can be used.

주로 도 2에 도시한 바와 같이, 적외선 검지용 감열 소자(4)가 연결되는 배선 패턴(31dt)과 온도 보상용 감열 소자(5)가 연결되는 배선 패턴(31cp)은, 대략 평행하게 배열되어 설치되어 있으며, 이 배선 패턴(31dt, 31cp)에 대응하여 도광부(21)와 차폐부(22)가 나란히 설치되도록 되어 있다. 이러한 배치로 함으로써 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5)의 거리가 가까워짐으로써, 온도 보상이 보다 확실해져 정확한 온도 검지가 가능해진다. As mainly shown in FIG. 2, the wiring pattern 31dt to which the infrared detection thermal element 4 is connected and the wiring pattern 31cp to which the temperature compensation thermal element 5 is connected are arranged substantially parallel to each other. The light guide portion 21 and the shield portion 22 are installed side by side in response to the wiring patterns 31dt and 31cp. With this arrangement, the distance between the thermal element 4 for infrared detection and the thermal element 5 for temperature compensation becomes closer, so temperature compensation becomes more reliable and accurate temperature detection becomes possible.

도 4 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 이러한 적외선 온도 센서(1)는 회로 기판(10)으로서의 실장 기판에 실장된다. 실장 기판의 표면측에는, 소정의 배선 패턴이 형성되고, 적외선 온도 센서(1)의 실장용 단자(32)가 연결되는 연결 소자(11)가 형성되어 있다. 따라서, 적외선 온도 센서(1)의 실장용 단자(32)가 실장 기판의 연결 소자(11)에 납땜(soldering) 등에 의해 전기적으로 연결된다. 그리고, 이 연결 수단은 특별한 것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면, 도전성 접착제 등을 사용하여도 좋고, 전기적인 연결이 가능하다면 수단은 따지지 않는 것이다. 4 to 6, this infrared temperature sensor 1 is mounted on a mounting board as the circuit board 10. On the surface side of the mounting board, a predetermined wiring pattern is formed, and a connection element 11 to which the mounting terminal 32 of the infrared temperature sensor 1 is connected is formed. Accordingly, the mounting terminal 32 of the infrared temperature sensor 1 is electrically connected to the connection element 11 of the mounting board by soldering or the like. Incidentally, this connection means is not limited to a special one. For example, a conductive adhesive may be used, and the means does not matter as long as electrical connection is possible.

또한, 실장 기판의 표면측으로서, 기판(3)과 대향하는 면에는 적외선 반사부(12)가 마련되어 있다. 이 적외선 반사부(12)는, 예를 들면, 금속판을 경면 가공하여 반사면으로서 형성한 것으로서, 반사율이 높으며, 80% 이상, 바람직하게는 85% 이상의 반사율로 되어 있다. 따라서, 반사부(12)는 방사율이 낮아 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)에 대한 열적 영향을 억제할 수 있고, 감도의 향상을 도모할 수 있다. Additionally, an infrared reflection portion 12 is provided on the surface of the mounting substrate, which faces the substrate 3. This infrared reflection portion 12 is formed as a reflective surface by, for example, mirror-finishing a metal plate, and has a high reflectance, with a reflectance of 80% or more, preferably 85% or more. Accordingly, the reflector 12 has a low emissivity, so that thermal influence on the infrared detection thermal element 4 and temperature compensation thermal element 5 can be suppressed, and sensitivity can be improved.

그리고, 이 경우, 적어도 기판과 대향하는 일부의 면이 적외선 반사면으로 되어 있으면 소정의 효과를 발휘할 수 있다. In this case, a certain effect can be achieved if at least part of the surface facing the substrate is an infrared reflecting surface.

다음, 상기 적외선 온도 센서(1)의 동작에 대해 설명하기로 한다. 검지 대상물의 표면으로부터 방사된 적외선은, 적외선 온도 센서(1)의 도광부(21)에 있어서의 개구부(21a)로부터 입사되며, 도광부(21)로 안내되어 도광부(21)를 통과하여 기판(3)에 도달한다. 개구부(21a)는 시야를 제한하는 기능을 가지고 있으므로, 검지 대상물의 측정부를 효과적으로 특정할 수 있고 검출 정밀도를 향상시키는 것이 가능해진다. 이 기판(3)에 도달한 적외선은 기판(3)에 흡수되어 열에너지로 변환된다.Next, the operation of the infrared temperature sensor 1 will be described. Infrared rays emitted from the surface of the detection object are incident from the opening 21a of the light guide 21 of the infrared temperature sensor 1, are guided to the light guide 21, and pass through the light guide 21 to the substrate. (3) is reached. Since the opening 21a has a function of limiting the field of view, it is possible to effectively specify the measurement part of the detection object and improve detection accuracy. Infrared rays that reach the substrate 3 are absorbed by the substrate 3 and converted into thermal energy.

변환된 열에너지는 기판(3)을 통하여 바로 아래의 적외선 검지용 감열 소자(4)로 전달되어, 적외선 검지용 감열 소자(4)의 온도를 상승시킨다. 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5)는 적어도 대략 동일한 온도 특성을 갖는 세라믹스 반도체로서, 검지 대상물로부터의 적외선에 의해 적외선 검지용 감열 소자(4)의 저항값이 변화한다. The converted thermal energy is transmitted to the thermally sensitive element 4 for infrared detection directly below through the substrate 3, thereby raising the temperature of the thermally sensitive element 4 for infrared detection. The thermal element 4 for infrared detection and the thermal element 5 for temperature compensation are ceramic semiconductors having at least approximately the same temperature characteristics, and the resistance value of the thermal element 4 for infrared detection changes due to infrared rays from the detection object. .

동시에, 적외선은 차폐부(22)의 차폐벽(22a)에 의해 가려지는데, 검지 대상물로부터의 복사열이나 주위 분위기 온도에 의해 본체(2)의 온도가 상승하기 때문에, 온도 보상용 감열 소자(5)의 저항값도 본체(2)의 온도 상승에 해당하는 저항값의 변화를 받는다. At the same time, infrared rays are blocked by the shielding wall 22a of the shielding portion 22, but since the temperature of the main body 2 rises due to radiant heat from the detection object or the temperature of the surrounding atmosphere, the thermal element 5 for temperature compensation is The resistance value of also undergoes a change in resistance value corresponding to the temperature increase of the main body (2).

이 경우, 본체(2)가 금속 등의 열전도성을 갖는 재료로 형성되어 있으므로, 주위의 온도 변화를 추종하여 적외선 온도 센서(1)의 온도 변화를 전체적으로 균일화할 수 있다. 또한, 도광부(21)와 차폐부(22)는, 도광부(21)와 차폐부(22) 간의 경계를 중심축(C)으로 하여 대략 대칭의 형태로 되어 있으며, 대략 동일 형상으로 형성되어 있다. 나아가, 적외선 검지용 감열 소자(4)가 연결되는 배선 패턴(31dt)과 온도 보상용 감열 소자(5)가 연결되는 배선 패턴(31cp)은 동일 패턴의 형태로 형성되어 있다. In this case, since the main body 2 is formed of a thermally conductive material such as metal, the temperature change of the infrared temperature sensor 1 can be uniformized as a whole by tracking the surrounding temperature change. In addition, the light guide portion 21 and the shielding portion 22 are substantially symmetrical with the boundary between the light guide portion 21 and the shielding portion 22 as the central axis C, and are formed in approximately the same shape. there is. Furthermore, the wiring pattern 31dt to which the infrared detection thermal element 4 is connected and the wiring pattern 31cp to which the temperature compensation thermal element 5 is connected are formed in the same pattern.

나아가 또한, 본체(2)에 있어서의 중앙벽(24a) 및 주위벽(24b)이 기판(3)의 표면 위에 접촉되어 있다. Furthermore, the central wall 24a and the peripheral wall 24b of the main body 2 are in contact with the surface of the substrate 3.

이에, 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5)는 주위의 온도 변화에 대해 동일하도록 변화하며, 추종성이 양호하여 열적 외란에 대한 영향을 억제할 수 있고, 검지 대상물로부터의 적외선에 의한 온도 변화를 정밀하게 검출하는 것이 가능해진다. Accordingly, the thermal element 4 for infrared detection and the thermal element 5 for temperature compensation change equally in response to changes in surrounding temperature, and have good followability, so that the influence of thermal disturbance can be suppressed, and It becomes possible to precisely detect temperature changes caused by infrared rays.

이에 더하여, 배선 패턴(31dt)과 배선 패턴(31cp)은, 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5)를 각각 개별적으로 연결하고 있다. 따라서, 배선 패턴(31dt)과 배선 패턴(31cp) 간의 상호의 열적 영향을 경감시킬 수 있고, 감도를 향상시킬 수 있다. In addition, the wiring pattern 31dt and the wiring pattern 31cp individually connect the heat-sensitive element 4 for infrared detection and the heat-sensitive element 5 for temperature compensation. Accordingly, the mutual thermal influence between the wiring pattern 31dt and the wiring pattern 31cp can be reduced, and sensitivity can be improved.

또한, 적어도 기판(3)의 표면 위에 있어서의 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5) 간의 경계 부분에 대향하여, 본체(2)의 중앙벽(24a)이 접촉되기 때문에, 기판(3)의 열이 중앙벽(24a)으로 전도된다. 이에, 경계 부분의 온도 기울기를 억제할 수 있고, 적외선 검지용 감열 소자(4) 측의 기판(3)의 열이 온도 보상용 감열 소자(5) 측의 기판(3)으로 전도되는 것을 경감시켜 상호의 간섭을 적게 할 수 있다. 따라서, 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5) 사이에서 높은 온도차를 얻는 것이 가능해지고, 감도의 향상을 구현할 수 있다. In addition, because the central wall 24a of the main body 2 is in contact with the boundary between the infrared detection thermal element 4 and the temperature compensation thermal element 5 at least on the surface of the substrate 3. , the heat of the substrate 3 is conducted to the central wall 24a. Accordingly, the temperature gradient at the boundary portion can be suppressed, and the conduction of heat from the substrate 3 on the infrared detection thermal element 4 side to the substrate 3 on the temperature compensation thermal element 5 side is reduced. Mutual interference can be reduced. Accordingly, it becomes possible to obtain a high temperature difference between the thermal element 4 for infrared detection and the thermal element 5 for temperature compensation, and an improvement in sensitivity can be realized.

나아가, 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5) 간의 상호의 열적 및 광학적인 간섭이 억제되므로, 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5)를 근접시켜 배치할 수 있어 전체의 소형화에 기여할 수 있다. Furthermore, since mutual thermal and optical interference between the thermal sensing element 4 for infrared detection and the thermal sensing element 5 for temperature compensation is suppressed, the thermal sensing element 4 for infrared detection and the thermal sensing element 5 for temperature compensation are brought into close proximity. It can be arranged in different ways, contributing to overall miniaturization.

이상과 같이 본 실시 형태에 따르면, 검지 대상물의 측정부를 효과적으로 특정할 수 있음과 아울러 소형화가 가능한 표면 실장형의 적외선 온도 센서, 이 적외선 온도 센서가 실장된 회로 기판을 제공할 수 있다. As described above, according to the present embodiment, it is possible to provide a surface-mounted infrared temperature sensor that can effectively specify the measurement part of the detection object and can be miniaturized, and a circuit board on which the infrared temperature sensor is mounted.

다음, 본 실시 형태의 변형예에 대해 도 8(a), 도 8(b) 내지 도 10을 참조하여 설명하기로 한다. 도 8(a)는 본체의 후면측에 덮개 부재를 마련한 것으로서, 도 5에 해당하는 단면도, 도 8(b)는 덮개 부재를 도시한 사시도이다(변형예 1). 도 9는 기판의 변형을 경감시키기 위한 통기부를 마련한 것으로서, 도 6에 해당하는 단면도이다(변형예 2). 또한, 도 10은 배선 패턴을 도시한 평면도이다(변형예 3). Next, a modification of this embodiment will be described with reference to FIGS. 8(a) and 8(b) to 10. Figure 8(a) is a cross-sectional view corresponding to Figure 5, showing a cover member provided on the rear side of the main body, and Figure 8(b) is a perspective view showing the cover member (modification example 1). Figure 9 is a cross-sectional view corresponding to Figure 6, showing a ventilation portion provided to reduce deformation of the substrate (modification example 2). Additionally, Figure 10 is a plan view showing a wiring pattern (modification example 3).

(변형예 1) 도 8(a), 도 8(b)에 도시한 바와 같이 덮개 부재(8)는, 대략 직육면체의 상자 형상으로서, 알루미늄 등의 금속 재료로 만들어져 있다. 이 덮개 부재(8)는 기판(3)과 대향하여 후면측에 배치되어 있다. 덮개 부재(8)의 내면의 적어도 기판(3)과 대향하는 일부의 면은 반사면으로 되어 있어, 예를 들면, 경면 가공되어 반사율이 높으며, 80% 이상, 바람직하게는 85% 이상의 반사율로 되어 있다. 이 덮개 부재(8)는 수용 공간부(23)에 끼워맞추어져 장착된다. 이에, 덮개 부재(8)는 기판(3)을 수용 공간부(23)에 고정하는 기능도 가지고 있다. (Modification 1) As shown in FIGS. 8(a) and 8(b), the cover member 8 has a substantially rectangular box shape and is made of a metal material such as aluminum. This cover member 8 is disposed on the rear side opposite to the substrate 3. At least a portion of the inner surface of the cover member 8 facing the substrate 3 is a reflective surface, for example, is mirror-finished to have a high reflectance, and has a reflectance of 80% or more, preferably 85% or more. there is. This cover member 8 is fitted and mounted in the receiving space 23. Accordingly, the cover member 8 also has a function of fixing the substrate 3 to the receiving space 23.

이와 같이 덮개 부재(8)의 내면은 반사면으로 되어 있으므로, 방사율이 낮아, 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)에 대한 열적 영향을 억제할 수 있고, 감도의 향상을 도모할 수 있다. In this way, since the inner surface of the cover member 8 is a reflective surface, the emissivity is low, and the thermal influence on the infrared detection thermal element 4 and the temperature compensation thermal element 5 can be suppressed, and sensitivity is improved. can be promoted.

그리고, 이미 설명한 바와 같이 도광부(21) 측과 차폐부(22) 측은 대략 동일 형상으로 형성되어 있는데, 덮개 부재(8)에 대해서도 중심축(C)에 대해 대략 동일 형상이 되도록 형성되어 있다. As already explained, the light guide portion 21 side and the shield portion 22 side are formed to have substantially the same shape, and the cover member 8 is also formed to have approximately the same shape with respect to the central axis C.

(변형예 2) 도 9에 도시한 바와 같이 차폐부(22)에 있어서의 공간부(22b)는, 후면측의 개구가 기판(3)에 의해 막혀 밀폐적인 공간부로 되어 있다. 본 예에서는, 공간부(22b)와 외부 간의 통기성을 허용하는 통기부(9)가 마련되어 있다. 구체적으로는, 통기부(9)는 관통홀로서, 특별히 한정되는 것은 아니나, φ0.1mm 내지 φ0.5mm 정도로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 통기부로서 예를 들면, 기판(3)과 본체(2) 사이에 통기틈을 형성하는 경우, 이 틈은 공기가 통과하는 틈이면 되며, 1μm 이상의 틈이 있으면 충분히 공기를 유통시킬 수 있다. 중요한 것은 밀폐 구조로 하지 않는 것이다. (Modification 2) As shown in FIG. 9, the space 22b in the shielding portion 22 has an opening on the rear side blocked by the substrate 3 to form a sealed space. In this example, a ventilation portion 9 is provided to allow ventilation between the space 22b and the outside. Specifically, the ventilation portion 9 is a through hole and is not particularly limited, but is preferably formed to have a size of about ϕ0.1 mm to ϕ0.5 mm. In addition, when a ventilation gap is formed as a ventilation portion, for example, between the substrate 3 and the main body 2, this gap can be any gap through which air passes, and if there is a gap of 1 μm or more, the air can sufficiently circulate. . The important thing is not to use a sealed structure.

따라서, 공간부(22b)에 대응하는 기판(3)의 부분에 φ0.1mm 내지 φ0.5mm 정도의 구멍을 뚫어도 동일한 효과가 얻어진다. Therefore, the same effect can be obtained even if a hole of about ϕ0.1 mm to ϕ0.5 mm is drilled in the portion of the substrate 3 corresponding to the space 22b.

나아가, 도광부(21) 측에도 상기 통기부(9)와 동일한 관통홀(9')을 형성하고, 도광부(21) 측과 차폐부(22) 측을 대략 대칭의 대략 동일 형상으로 형성하는 것이 바람직하다. Furthermore, the same through hole 9' as the ventilation portion 9 is formed on the light guide portion 21 side, and the light guide portion 21 side and the shield portion 22 side are formed to be approximately symmetrical and have approximately the same shape. desirable.

적외선 온도 센서에서는, 적외선 온도 센서의 주위 온도가 높아지면, 밀폐 상태로 된 공간부의 공기가 팽창하여 내압이 상승하고, 기판이 부풀어 변형되는 문제가 발생한다. 또한, 과도하게 공간부의 공기가 팽창하면, 기판의 변형에 의해 기판에 배선된 배선 패턴이 절단되는 등의 불량이 발생하는 경우가 있다. 나아가, 기판이 변형됨으로써, 적외선의 입사량이나 기판으로부터의 방열량이 변화되어, 적외선 온도 센서의 출력이 변동되는 문제도 생긴다. In an infrared temperature sensor, when the ambient temperature of the infrared temperature sensor increases, the air in the sealed space expands, the internal pressure increases, and a problem occurs in which the substrate swells and deforms. Additionally, if the air in the space expands excessively, defects such as wiring patterns on the substrate may be cut due to deformation of the substrate. Furthermore, as the substrate deforms, the incident amount of infrared rays or the amount of heat radiated from the substrate changes, causing the problem that the output of the infrared temperature sensor varies.

본 예에서는, 공간부(22b)의 내압이 상승하는 온도 환경에 있어서도, 통기부(9)에 의해 외부와의 통기성이 확보되고, 내압의 상승을 억제하며, 기판(3)의 변형을 경감시키는 것이 가능해진다. 따라서, 기판(3)의 변형을 경감시키고, 고정밀화를 가능하게 하여 신뢰성을 확보할 수 있는 적외선 온도 센서(1)를 제공할 수 있다. 그리고, 통기부(9)는 관통홀에 한정되지 않으며, 홈 형상의 것이어도 좋다. 통기부(9)는 밀폐적인 공간부와 외부가 연통되도록 형성되어 있으면 되며, 형성 위치, 형상이나 개수 등 특별히 한정되는 것은 아니다. In this example, even in a temperature environment where the internal pressure of the space 22b increases, ventilation with the outside is ensured by the ventilation part 9, an increase in internal pressure is suppressed, and deformation of the substrate 3 is reduced. It becomes possible. Accordingly, it is possible to provide an infrared temperature sensor 1 that reduces deformation of the substrate 3, enables high precision, and ensures reliability. Additionally, the ventilation portion 9 is not limited to a through hole and may be groove-shaped. The ventilation portion 9 may be formed so that the sealed space communicates with the outside, and is not particularly limited in its formation position, shape, or number.

(변형예 3) 도 10에 도시한 바와 같이, 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5)에 각각 개별적으로 배선 패턴(31dt)과 배선 패턴(31cp)이 연결되어 있다. 배선 패턴(31)은 일단측에 직사각 형상의 전극 단자(31a)를 가지며, 이 전극 단자(31a)로부터 가는 폭의 패턴이 적외선 검지용 감열 소자(4)(온도 보상용 감열 소자(5))를 에워싸도록 주위에 미앤더(사행)형으로 형성되고, 나아가, 가는 폭의 패턴이 직사각 형상의 실장용 단자(32)를 향해 미앤더(사행)형으로 뻗어나와 형성되어 있다. (Modification 3) As shown in Fig. 10, a wiring pattern 31dt and a wiring pattern 31cp are individually connected to the thermal sensing element 4 for infrared detection and the thermal sensing element 5 for temperature compensation. The wiring pattern 31 has a rectangular electrode terminal 31a at one end, and a narrow pattern extending from this electrode terminal 31a is a thermal element 4 for infrared detection (thermal element 5 for temperature compensation). It is formed in a meander shape around to surround it, and further, a thin pattern is formed extending in a meander shape toward the rectangular mounting terminal 32.

이러한 구성에 따르면, 배선 패턴(31)의 열전도 경로가 길어지므로, 열이 달아나기가 어려워지고, 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)의 온도가 유지되며, 출력을 크게 할 수 있음과 아울러 감도의 향상을 도모하는 것이 가능해진다. According to this configuration, the heat conduction path of the wiring pattern 31 becomes longer, making it difficult for heat to escape, the temperature of the infrared detection thermal element 4 and the temperature compensation thermal element 5 are maintained, and the output is increased. In addition, it becomes possible to improve sensitivity.

그리고, 위에서는 기판(3)을 본체(2) 측에 있어서의 수용 공간부(23)의 내벽에 열용착하여 장착하여 설치하는 경우에 대해 설명하였으나, 기판(3)을 본체(2)에 누름(press) 가공에 의해 설치하도록 하여도 좋다. 예를 들면, 본체(2)를 기판(3)에 압접하도록 갖다 대어 누르고, 기판(3) 측을 소성 변형시켜 접합하여 설치할 수 있다. 또한, 접착이나 점착에 의해 설치하도록 하여도 좋다. 이 경우, 수용 공간부(23)의 내벽에 접착층이나 점착층, 예를 들면, 접착 시트나 점착 시트를 마련하여, 이들 시트를 개재시켜 기판(3)을 붙여 설치하는 것이 바람직하다. 나아가, 납접(brazing)에 의해 설치하도록 하여도 좋다. In the above, the case where the substrate 3 is heat-welded and mounted on the inner wall of the receiving space 23 on the main body 2 side has been described. However, the substrate 3 is pressed against the main body 2. It may be installed by (press) processing. For example, the main body 2 can be pressed against the substrate 3, plastically deforming the substrate 3 side, and bonded to the substrate 3 for installation. Additionally, it may be installed by adhesion or adhesion. In this case, it is preferable to provide an adhesive layer or an adhesive layer, for example, an adhesive sheet or an adhesive sheet, on the inner wall of the accommodation space 23, and attach the substrate 3 with these sheets interposed therebetween. Furthermore, it may be installed by brazing.

또한, 기판(3)은 플렉시블 배선 기판을 사용하는 경우에 대해 설명하였으나, 리지드 배선 기판을 사용하도록 하여도 좋다. 특정한 형식의 배선 기판에 한정되는 것은 아니다. In addition, although the case where a flexible wiring board is used has been described as the board 3, a rigid wiring board may also be used. It is not limited to a specific type of wiring board.

나아가, 회로 기판(10)으로서의 실장 기판은 표면에 절연층을 갖는 알루미늄이나 구리 등의 금속 기판을 사용하여도 좋다. 이 경우, 실장 기판은 열전도성이 높으므로, 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)는 주위의 온도 변화에 대해 훨씬 추종성이 양호해져, 열적 외란에 대한 영향을 억제할 수 있다. Furthermore, the mounting board as the circuit board 10 may be a metal board such as aluminum or copper having an insulating layer on the surface. In this case, since the mounting substrate has high thermal conductivity, the thermal sensing element 4 for infrared detection and the thermal sensing element 5 for temperature compensation have much better followability to changes in ambient temperature, thereby suppressing the influence of thermal disturbance. You can.

이에 더하여, 실장 기판에 있어서, 적외선 온도 센서(1)를 실장하는 범위에 대응하여, 적어도 그 범위의 일부의 표면을 반사율이 높은 적외선 반사면, 예를 들면, 경면부로서 형성한 것을 사용하여도 좋다. 이 경우, 덮개 부재(8)를 생략하는 것이 가능해져, 경면부에 의해 덮개 부재(8)의 반사면과 동일한 기능을 할 수 있고, 감도의 향상을 도모하는 것이 가능해진다. In addition, in the mounting board, a surface of at least a part of the range in which the infrared temperature sensor 1 is mounted may be formed as an infrared reflective surface with a high reflectivity, for example, a mirror surface. good night. In this case, it becomes possible to omit the cover member 8, and the mirror surface portion can perform the same function as the reflective surface of the cover member 8, making it possible to improve sensitivity.

다음, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 적외선 온도 센서에 대해 도 11 내지 도 16을 참조하여 설명하기로 한다. 도 11은 적외선 온도 센서를 분해하여 도시한 사시도, 도 12는 적외선 온도 센서를 분해하여 후면측에서 보아 도시한 사시도, 도 13은 적외선 온도 센서를 도시한 평면도이다. 도 14는 적외선 온도 센서를 도시하며, 도 6에 해당하는 단면도이고, 도 15는 도 14 중 X-X선을 따른 본체의 단면도이다. 또한, 도 16은 접착 시트를 도시한 평면도이다. 그리고, 제1 실시 형태와 동일 또는 해당 부분에는 동일 부호를 붙이고 중복되는 설명은 생략하기로 한다. Next, the infrared temperature sensor according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 11 to 16. Figure 11 is a perspective view showing the infrared temperature sensor disassembled, Figure 12 is a perspective view showing the infrared temperature sensor disassembled and viewed from the rear side, and Figure 13 is a plan view showing the infrared temperature sensor. FIG. 14 shows an infrared temperature sensor and is a cross-sectional view corresponding to FIG. 6, and FIG. 15 is a cross-sectional view of the main body along line X-X in FIG. 14. Additionally, Figure 16 is a plan view showing the adhesive sheet. In addition, parts that are the same as or correspond to the first embodiment will be given the same reference numerals, and overlapping descriptions will be omitted.

본 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 동일하게, 본체(2)는 열전도성을 갖는 금속 재료에 의해 대략 직육면체 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 본체(2) 전체가 열처리에 의해 산화되어 흑체화되고, 도광부(21) 및 차폐부(22)를 가지고 있는데, 수용 공간부는 형성되어 있지 않다. 따라서, 본체(2)의 타면측(후면측)은 도광부(21) 및 차폐부(22)가 개구된 평면 형상의 평면 형상부로 되어 있다. In this embodiment, similarly to the first embodiment, the main body 2 is formed into a substantially rectangular parallelepiped shape using a metal material having thermal conductivity. Then, the entire body 2 is oxidized through heat treatment to become a black body, and has a light guide portion 21 and a shielding portion 22, but no receiving space portion is formed. Accordingly, the other surface side (rear side) of the main body 2 is a planar portion in which the light guide portion 21 and the shield portion 22 are opened.

또한, 기판(3)은 두께 치수가 0.05mm 내지 0.2mm인 직사각 형상으로 형성된 평판형의 리지드 배선 기판이다. 기판(3)은 본체(2)의 타면측(후면측)의 외형과 대략 동일한 외형을 가지며, 본체(2)의 후면측의 평면 형상부를 따라 설치된다. 구체적으로는, 제1 실시 형태와 동일하게, 기판(3)은 본체(2)의 후면측에 열용착, 납접(brazing), 접착이나 점착 등의 수단에 의해 장착된다. Additionally, the substrate 3 is a flat rigid wiring board formed into a rectangular shape with a thickness of 0.05 mm to 0.2 mm. The substrate 3 has an external shape substantially the same as that of the other surface side (rear side) of the main body 2, and is installed along the planar shape on the rear side of the main body 2. Specifically, as in the first embodiment, the substrate 3 is mounted on the rear side of the main body 2 by means such as heat welding, brazing, adhesion, or adhesion.

도 12에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 기판(3)의 본체(2)의 후면측에 대한 설치는, 접착 시트(34)를 본체(2)의 후면측에 붙이고, 이 접착 시트(34)에 기판(3)을 붙여 수행된다. 즉, 기판(3)은 본체(2)의 후면측과 기판(3) 사이에 접착 시트(34)를 개재시켜 장착된다. 접착 시트(34)는 구체적으로는, 도 16에 도시한 바와 같이 본체(2)의 후면측의 외형과 대략 동일한 외형을 가지며, 중앙부가 도광부(21) 및 차폐부(22)의 후면측의 개구에 대응하여 잘려져 제거되어 있다. 그리고, 접착 시트 대신 점착 시트를 사용하여도 좋다. As shown in FIG. 12, installation of the substrate 3 on the rear side of the main body 2 in this embodiment involves attaching an adhesive sheet 34 to the rear side of the main body 2, and attaching the adhesive sheet 34 to the rear side of the main body 2. This is performed by attaching the substrate (3) to (34). That is, the substrate 3 is mounted with the adhesive sheet 34 interposed between the rear side of the main body 2 and the substrate 3. Specifically, the adhesive sheet 34 has an external shape substantially the same as that of the rear side of the main body 2, as shown in FIG. 16, and the central portion is located on the rear side of the light guide portion 21 and the shielding portion 22. It is cut and removed corresponding to the opening. Also, an adhesive sheet may be used instead of an adhesive sheet.

기판(3)에는 절연성 기재의 일표면 위에 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)가 설치되어 있다. 마찬가지로 일표면 위에는 도체의 배선 패턴(31) 및 이 배선 패턴(31)에 전기적으로 연결됨과 아울러 단부측에 위치하는 실장용 단자(32)가 형성되어 있다. The substrate 3 has a thermal element 4 for infrared detection and a thermal element 5 for temperature compensation installed on one surface of the insulating substrate. Similarly, a conductor wiring pattern 31 and a mounting terminal 32 electrically connected to the wiring pattern 31 and located at the end are formed on one surface.

도 11 내지 도 14에 대표적으로 도시한 바와 같이, 본체(2)에는 수용 공간부가 형성되어 있지 않다. 이에, 본체(2)의 후면측은 평면 형상부로 되어 있어, 이 평면 형상부에 도광부(21) 및 차폐부(22)가 개구되어 나타나게 된다(도 12 참조). 따라서, 평판형의 기판(3)이 상기 본체(2)의 후면측의 평면 형상부에 설치되게 된다. As representatively shown in FIGS. 11 to 14, no receiving space is formed in the main body 2. Accordingly, the rear side of the main body 2 is a planar portion, and the light guide portion 21 and the shielding portion 22 are opened and appear in this planar portion (see Fig. 12). Accordingly, the flat substrate 3 is installed on the planar portion on the rear side of the main body 2.

기판(3)은 평판형의 리지드 배선 기판으로서, 예를 들면, 유리 에폭시 수지, 폴리페닐렌에테르(PPE 수지) 및 실리콘 수지 재료 등으로 이루어지는 절연성 기재와, 이 절연성 기재의 표면에 형성된 도체의 배선 패턴(31)을 구비하고 있다. 또한, 배선 패턴(31) 위에는 절연층인 레지스트층(33)이 적층되어 있다. 나아가, 배선 패턴(31)의 양 단부에는 레지스트층(33)이 적층되어 있지 않으며, 즉 레지스트층(33)에 피복되지 않은 노출된 전극 단자(31a) 및 실장용 단자(32)가 형성되어 있다. 그리고, 전극 단자(31a)는 적외선 검지용 감열 소자(4) 또는 온도 보상용 감열 소자(5)의 단자 전극이 연결되는 일부분만이 레지스트층(33)에 피복되지 않은 노출된 부분으로 되어 있다. The substrate 3 is a flat, rigid wiring board that includes, for example, an insulating base made of glass epoxy resin, polyphenylene ether (PPE resin), and silicone resin material, and conductor wiring formed on the surface of the insulating base. It is provided with a pattern (31). Additionally, a resist layer 33, which is an insulating layer, is laminated on the wiring pattern 31. Furthermore, the resist layer 33 is not laminated on both ends of the wiring pattern 31, that is, the exposed electrode terminal 31a and the mounting terminal 32 that are not covered with the resist layer 33 are formed. . And, of the electrode terminal 31a, only the portion where the terminal electrode of the infrared detection thermal element 4 or the temperature compensation thermal element 5 is connected is an exposed portion that is not covered with the resist layer 33.

배선 패턴(31)은 일단측에 대략 직사각 형상의 전극 단자(31a)를 가지며, 이 전극 단자(31a)로부터 가는 폭의 패턴이 직선형으로 뻗어나오고, 타단측의 끝단부에 직사각 형상의 실장용 단자(32)가 형성되어 구성되어 있다. 이와 동일한 패턴의 배선 패턴(31)이 전극 단자(31a)의 상호가 대향하도록 한 쌍 설치되어, 적외선 검지용 감열 소자(4) 또는 온도 보상용 감열 소자(5)가 배치되어 연결되어 있다. The wiring pattern 31 has a substantially rectangular electrode terminal 31a on one end, a thin pattern extends straight from the electrode terminal 31a, and a rectangular mounting terminal at the other end. (32) is formed and composed. A pair of wiring patterns 31 of the same pattern are installed so that the electrode terminals 31a face each other, and the thermal sensing element 4 for infrared detection or the thermal sensing element 5 for temperature compensation is arranged and connected.

따라서, 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)를 연결하기 위해, 2쌍의 배선 패턴(31)이 대략 평행하게 배열되어 설치되어 있다. 이 적외선 검지용 감열 소자(4)가 연결되는 배선 패턴(31dt)과 온도 보상용 감열 소자(5)가 연결되는 배선 패턴(31cp)은 동일한 패턴의 형태로서, 서로 연결되지 않고, 적외선 검지용 감열 소자(4)와 온도 보상용 감열 소자(5)를 각각 개별적으로 연결하고 있다. Therefore, in order to connect the thermal sensing element 4 for infrared detection and the thermal sensing element 5 for temperature compensation, two pairs of wiring patterns 31 are arranged to be substantially parallel. The wiring pattern 31dt to which the thermal element 4 for infrared detection is connected and the wiring pattern 31cp to which the thermal element 5 for temperature compensation is connected are of the same pattern and are not connected to each other. The element (4) and the thermal element (5) for temperature compensation are individually connected.

그리고, 이 배선 패턴(31)은 설명상, 도 11에서는 절연성 기판을 투과하여, 도 12에서는 레지스트층(33)을 투과하여 시각적으로 인식할 수 있는 상태를 선명화하여 도시하고 있다. For the sake of explanation, this wiring pattern 31 is clearly shown in a state where it can be visually recognized by passing through the insulating substrate in FIG. 11 and through the resist layer 33 in FIG. 12.

도 14에 도시한 바와 같이 적외선 온도 센서(1)는 회로 기판(10)으로서의 실장 기판에 실장된다. 이 실장 기판은 금속 기판으로서, 예를 들면, 알루미늄 재료로 이루어지는 금속으로 제작된 기재(13)에 유리 에폭시 수지, 유리 컴포짓 재료 등으로 이루어지는 절연성 기재(14)가 적층되어 형성되어 있다. 그리고, 절연성 기재(14)에 있어서의 기판(3)과 대향하는 부분에는 구멍이 형성되고, 이 구멍에 의해 금속으로 제작된 기재(13)와의 사이에 캐비티(15)가 형성되어 있다. 나아가, 기판(3)과 대향하는 금속으로 제작된 기재(13)의 표면은 반사면(16)으로서 형성되어 있다. 이 반사면(16)은, 전술한 바와 마찬가지로, 반사율이 높으며, 80% 이상, 바람직하게는 85% 이상의 반사율로 되어 있다. 이와 같이 실장 기판에는, 예를 들면, 도시하지 않으나 캐비티 구조의 구리 인레이 기판이 사용되고 있다. 그리고, 캐비티(15)에 전술한 덮개 부재(8)를 배치하는 것을 방해하는 것이 아니다. As shown in FIG. 14, the infrared temperature sensor 1 is mounted on a mounting board as the circuit board 10. This mounting substrate is a metal substrate, and is formed by laminating an insulating substrate 14 made of glass epoxy resin, glass composite material, etc. on a substrate 13 made of metal, for example, an aluminum material. Then, a hole is formed in the portion of the insulating substrate 14 that faces the substrate 3, and a cavity 15 is formed between the insulating substrate 14 and the substrate 13 made of metal. Furthermore, the surface of the substrate 13 made of metal facing the substrate 3 is formed as a reflective surface 16. As described above, this reflective surface 16 has a high reflectance, and has a reflectance of 80% or more, preferably 85% or more. In this way, for example, a copper inlay substrate with a cavity structure (not shown) is used for the mounting substrate. And, there is no impediment to arranging the above-described cover member 8 in the cavity 15.

나아가, 전술한 제1 실시 형태에 있어서의 (변형예 2)에서 설명한 바와 같이, 차폐부(22)에 있어서의 공간부(22b)는, 후면측의 개구가 기판(3)에 의해 막혀 밀폐적인 공간부로 되어 있는데, 공간부(22b)와 외부 간의 통기성을 허용하는 통기부(9)를 마련하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 도광부(21)와 차폐부(22) 간의 경계 부분의 구획벽(24)에 있어서의 중앙벽(24a)과 기판(3) 사이에 통기부(9)로서 틈이 형성되어 있다. 이 틈은 1μm 이상 있으면 충분히 공기를 유통시킬 수 있다. Furthermore, as explained in (Modification 2) in the above-described first embodiment, the space portion 22b in the shielding portion 22 is sealed with the opening on the rear side blocked by the substrate 3. It is made of a space, and it is desirable to provide a ventilation part 9 that allows ventilation between the space 22b and the outside. Specifically, a gap is formed as a ventilation portion 9 between the center wall 24a and the substrate 3 in the partition wall 24 at the boundary between the light guide portion 21 and the shield portion 22. . If this gap is 1μm or more, air can sufficiently circulate.

또한, 도 17에 도시한 바와 같이 적외선 온도 센서(1)를 실드를 실시한 기판(3)에 실장하도록 하여도 좋다. 본 예의 적외선 온도 센서(1)에서는, 기판(3) 위의 전면측에 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)가 배치되어 있는 것으로서, 적외선 검지용 감열 소자(4)가 도광부(21)에 대응하는 위치에 설치되고, 온도 보상용 감열 소자(5)가 차폐부(22)에 대응하는 위치에 설치되어 있다. Additionally, as shown in FIG. 17, the infrared temperature sensor 1 may be mounted on the shielded substrate 3. In the infrared temperature sensor 1 of this example, a thermal element 4 for infrared detection and a thermal element 5 for temperature compensation are disposed on the front side above the substrate 3, and the thermal element 4 for infrared detection is is installed at a position corresponding to the light guide part 21, and a heat-sensitive element 5 for temperature compensation is installed at a position corresponding to the shielding part 22.

기판(3)은 평판 형상의 리지드 배선 기판으로서, 절연성 기재와, 이 절연성 기재의 표면에 형성된 도체의 배선 패턴(31) 및 이 배선 패턴(31)에 전기적으로 연결됨과 아울러 단부측에 위치하는 실장용 단자(32)를 구비하고 있다. 나아가, 배선 패턴(31) 위에는 절연층인 레지스트 잉크 등의 레지스트층(33)이 적층되어 있다. 그리고, 실장용 단자(32)는 레지스트층(33)에 피복되지 않은 노출된 부분으로 되어 있다. The substrate 3 is a flat rigid wiring board, which is electrically connected to an insulating substrate, a conductor wiring pattern 31 formed on the surface of the insulating substrate, and a mounting plate located at the end side of the wiring pattern 31. It is provided with a terminal 32. Furthermore, a resist layer 33 such as resist ink, which is an insulating layer, is laminated on the wiring pattern 31. Additionally, the mounting terminal 32 is an exposed portion that is not covered with the resist layer 33.

기판(3)의 후면측에는 실드 링(17)이 마련되어 있고, 기판(3)을 포함하여 실드 링(17)의 외주에 도금이 실시되어 도금부(18)가 형성되어 있다. 이 도금부(18)에 의해 적외선 검지용 감열 소자(4) 및 온도 보상용 감열 소자(5)는 실드된 상태가 된다. A shield ring 17 is provided on the rear side of the substrate 3, and plating is applied to the outer periphery of the shield ring 17, including the substrate 3, to form a plating portion 18. By this plating portion 18, the thermal sensing element 4 for infrared detection and the thermal sensing element 5 for temperature compensation are in a shielded state.

나아가, 도금부(18)는 실장용 단자(32)와 연결되어 있어, 실드 링(17)의 후면측에 도출되어 있으며, 실장용 단자(32)를 도시하지 않은 회로 기판의 연결 소자에 전기적으로 연결할 수 있도록 구성되어 있다. 이 실드 링(17)과 도전성의 본체(2)를 전기적으로 연결함으로써 실드성을 더 향상시킬 수 있다. Furthermore, the plating portion 18 is connected to the mounting terminal 32 and extends to the rear side of the shield ring 17, and is electrically connected to the mounting terminal 32 to a connection element of the circuit board (not shown). It is configured so that it can be connected. By electrically connecting the shield ring 17 and the conductive body 2, the shielding performance can be further improved.

이러한 구성에 따르면, 노이즈의 영향을 억제할 수 있고, 노이즈에 강한 기능을 하는 것이 가능한 적외선 온도 센서(1)를 제공할 수 있다. According to this configuration, it is possible to provide an infrared temperature sensor 1 that can suppress the influence of noise and perform a noise-resistant function.

이상과 같이 본 실시 형태에 따르면, 제1 실시 형태와 동일한 동작을 구현할 수 있고, 검지 대상물의 측정부를 효과적으로 특정할 수 있음과 아울러 소형화가 가능한 표면 실장형의 적외선 온도 센서(1), 이 적외선 온도 센서(1)가 실장된 회로 기판(10)을 제공할 수 있다. 또한, 본체(2)의 구성이 간소화되고, 적외선 온도 센서(1)를 회로 기판(10)에 실장한 경우, 적외선 센서(1)의 돌출 높이 치수를 낮출 수 있는 효과를 이룬다. As described above, according to the present embodiment, a surface-mounted infrared temperature sensor 1 that can implement the same operation as the first embodiment, can effectively specify the measurement part of the detection object, and can be miniaturized, the infrared temperature sensor 1 A circuit board 10 on which a sensor 1 is mounted can be provided. In addition, the configuration of the main body 2 is simplified, and when the infrared temperature sensor 1 is mounted on the circuit board 10, the protruding height dimension of the infrared sensor 1 can be reduced.

그리고, 위에서는 기판(3)은 리지드 배선 기판을 사용하는 경우에 대해 설명하였으나, 플렉시블 배선 기판을 사용하도록 하여도 좋다. 특정한 형식의 배선 기판에 한정되는 것은 아니다. In addition, the case where a rigid wiring board is used as the substrate 3 has been described above, but a flexible wiring board may also be used. It is not limited to a specific type of wiring board.

이상 설명해 온 각 실시 형태에 있어서의 적외선 온도 센서(1)는 복사기의 정착 장치, 배터리 유닛, 콘덴서, IH 쿠킹 히터, 냉장고의 고내 물품 등의 온도 검지를 위해 각종 장치에 구비되어 적용할 수 있다. 특별히 적용되는 장치가 한정되는 것은 아니다. The infrared temperature sensor 1 in each embodiment described above can be provided and applied to various devices for detecting the temperature of items in a refrigerator, a fixing device of a copier, a battery unit, a condenser, an IH cooking heater, and a refrigerator. There is no particular limitation to applicable devices.

그리고, 본 발명은 상기 각 실시 형태의 구성에 한정되지 않으며, 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능하다. 또한, 상기 각 실시 형태는 일례로서 제시한 것으로서, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하지 않았다. Additionally, the present invention is not limited to the configuration of each of the above embodiments, and various modifications are possible without departing from the gist of the invention. Additionally, each of the above embodiments is presented as an example and is not intended to limit the scope of the invention.

예를 들면, 적외선 검지용 감열 소자 및 온도 보상용 감열 소자로는 세라믹스 반도체로 형성된 칩 서미스터가 바람직하게 사용되는데, 이에 한정되지 않으며, 열전대나 측온 저항체 등을 사용할 수 있다. For example, a chip thermistor made of a ceramic semiconductor is preferably used as a thermal element for infrared detection and a thermal element for temperature compensation, but is not limited to this, and a thermocouple or a resistance thermometer can be used.

또한, 배선 패턴의 패턴 형태는 특별히 한정되는 것은 아니며, 직선형이나 미앤더(사행)형 등, 설계에 따라 적당히 채용할 수 있다. Additionally, the pattern shape of the wiring pattern is not particularly limited, and may be appropriately adopted depending on the design, such as a straight type or a meander (meander) type.

1 : 적외선 온도 센서
2 : 본체
3 : 기판
4 : 적외선 검지용 감열 소자
5 : 온도 보상용 감열 소자
8 : 덮개 부재
9 : 통기부
10 : 회로 기판
11 : 연결 소자
12 : 적외선 반사부
15 : 캐비티
21 : 도광부
21a : 개구부
22 : 차폐부
22a : 차폐벽
22b : 공간부
23 : 수용 공간부
24 : 구획벽
31 : 배선 패턴
32 : 실장용 단자
33 : 절연층(커버층, 레지스트층)
34 : 접착 시트
1: Infrared temperature sensor
2: body
3: substrate
4: Thermal element for infrared detection
5: Thermal element for temperature compensation
8: cover member
9: Ventilation part
10: circuit board
11: connection element
12: infrared reflector
15: Cavity
21: light guide
21a: opening
22: shielding part
22a: shielding wall
22b: space part
23: Accommodation space part
24: partition wall
31: wiring pattern
32: Mounting terminal
33: Insulating layer (cover layer, resist layer)
34: Adhesive sheet

Claims (20)

표면 실장형의 적외선 온도 센서로서,
일면측에 개구부를 가지며, 적외선을 안내하도록 형성된 도광부와, 일면측에 차폐벽을 가지며, 적외선을 차폐하도록 형성된 차폐부와, 타면측에 오목형으로 형성된 수용 공간부를 구비한 열전도성을 갖는 본체;와,
상기 본체의 타면측에, 상기 수용 공간부를 구성하는 벽면을 따라 설치된 기판;과,
상기 기판 상에 배치되며, 상기 도광부에 대응하는 위치에 설치된 적외선 검지용 감열 소자;와,
상기 기판 상에 상기 적외선 검지용 감열 소자와 이간되어 배치되며, 상기 차폐부에 대응하는 위치에 설치된 온도 보상용 감열 소자;와,
상기 기판 위에 형성되며, 상기 적외선 검지용 감열 소자 및 상기 온도 보상용 감열 소자에 연결된 배선 패턴; 및
상기 배선 패턴과 일체로 형성되어 상기 배선 패턴에 연결됨과 아울러, 상기 기판 위의 단부측으로서, 상기 수용 공간부의 외측에 설치된 실장용 단자;
를 구비하는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서.
A surface-mounted infrared temperature sensor,
A thermally conductive body having an opening on one side, a light guide formed to guide infrared rays, a shielding wall on one side, a shielding section formed to shield infrared rays, and a concave receiving space on the other side. ;and,
A substrate installed on the other side of the main body along a wall constituting the receiving space;
a thermal element for detecting infrared rays disposed on the substrate and installed at a position corresponding to the light guide;
A thermal sensing element for temperature compensation disposed on the substrate and spaced apart from the thermal sensing element for infrared detection, and installed at a position corresponding to the shielding part;
a wiring pattern formed on the substrate and connected to the infrared detection thermal element and the temperature compensation thermal element; and
a mounting terminal formed integrally with the wiring pattern and connected to the wiring pattern, and installed on an end side of the substrate and outside the receiving space;
An infrared temperature sensor comprising:
삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서, 상기 기판은 본체에 누름 가공에 의해 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서. The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein the substrate is installed on the main body by pressing. 청구항 1에 있어서, 상기 기판은 본체에 용착에 의해 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서. The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein the substrate is installed on the main body by welding. 청구항 1에 있어서, 상기 기판은 본체에 납접, 접착 또는 점착에 의해 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서. The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein the substrate is installed on the main body by soldering, adhesion, or adhesion. 청구항 1에 있어서, 상기 기판은 본체에 열용착 가능한 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서. The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein the substrate is formed of a material that can be heat-welded to the main body. 청구항 1에 있어서, 덮개 부재가 상기 기판과 대향하여 타면측에 배치되는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서. The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein a cover member is disposed on the other side facing the substrate. 청구항 8에 있어서, 상기 덮개 부재는 내면의 적어도 기판과 대향하는 일부의 면이 적외선 반사면으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서. The infrared temperature sensor according to claim 8, wherein at least a portion of the inner surface of the cover member facing the substrate is an infrared reflecting surface. 청구항 1에 있어서, 상기 본체는 금속 재료로 이루어지고, 산화 처리에 의해 산화막이 형성되어 적어도 상기 도광부가 흑체화되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서. The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein the main body is made of a metal material, and an oxide film is formed through oxidation treatment so that at least the light guide portion is turned into a black body. 청구항 1에 있어서, 상기 차폐부에는 밀폐적인 공간부가 형성되어 있고, 이 공간부과 외부 간의 통기성을 허용하는 통기부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서. The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein a sealed space is formed in the shielding part, and a ventilation part is provided to allow ventilation between the space and the outside. 청구항 1에 있어서, 상기 도광부와 차폐부는 도광부와 차폐부 간의 경계를 중심으로 하여 대칭의 형태로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서. The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein the light guide part and the shielding part are formed in a symmetrical form with a boundary between the light guide part and the shielding part as the center. 청구항 1에 있어서, 상기 도광부 및 차폐부의 타면측의 개구를 제외한 본체에 있어서 구획벽이 기판 위에 연속적 또는 부분적으로 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서. The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein a partition wall of the main body excluding the opening on the other side of the light guide portion and the shield portion is continuously or partially in contact with the substrate. 청구항 1에 있어서, 상기 본체는 10W/m·K 이상의 열전도율을 가지며, 상기 개구부가 표면으로부터 돌출되지 않음과 아울러, 적어도 상기 도광부가 흑체화되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서. The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein the main body has a thermal conductivity of 10 W/m·K or more, the opening does not protrude from the surface, and at least the light guide part is a black body. 청구항 1에 있어서, 상기 적외선 검지용 감열 소자 및 온도 보상용 감열 소자를 연결하기 위한 상기 배선 패턴은 서로 대략 평행하게 배열되어 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서.The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein the wiring patterns for connecting the thermal sensing element for infrared detection and the thermal sensing element for temperature compensation are arranged to be substantially parallel to each other. 청구항 1에 있어서, 상기 적외선 검지용 감열 소자 및 온도 보상용 감열 소자는 금속 산화물 또는 금속 질화물을 함유하는 세라믹스 반도체로 형성된 서미스터 소자인 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서.The infrared temperature sensor according to claim 1, wherein the thermal sensing element for infrared detection and the thermal sensing element for temperature compensation are thermistor elements formed of a ceramic semiconductor containing metal oxide or metal nitride. 청구항 1, 청구항 4 내지 청구항 16에 기재된 어느 하나의 적외선 온도 센서; 및
상기 실장용 단자가 연결되는 연결 소자를 갖는 실장 기판;을 구비하고,
상기 적외선 온도 센서는, 이 실장 기판에 실장되는 것을 특징으로 하는 회로 기판.
Any one of the infrared temperature sensors according to claims 1, 4 to 16; and
A mounting board having a connection element to which the mounting terminal is connected,
A circuit board wherein the infrared temperature sensor is mounted on this mounting board.
청구항 17에 있어서, 상기 실장 기판은 캐비티 구조인 것을 특징으로 하는 회로 기판. The circuit board of claim 17, wherein the mounting board has a cavity structure. 청구항 17에 있어서, 상기 실장 기판에 있어서, 적어도 기판과 대향하는 일부의 면에 적외선 반사면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판. The circuit board according to claim 17, wherein, in the mounting board, an infrared reflecting surface is formed on at least a portion of the surface facing the board. 청구항 1, 청구항 4 내지 청구항 16 중 어느 한 항에 기재된 적외선 온도 센서가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 적외선 온도 센서를 이용한 장치. A device using an infrared temperature sensor, characterized in that the infrared temperature sensor according to any one of claims 1, 4 to 16 is provided.
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