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KR102723113B1 - Display Device And Method Of Fabricating The Same - Google Patents

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KR102723113B1
KR102723113B1 KR1020190174023A KR20190174023A KR102723113B1 KR 102723113 B1 KR102723113 B1 KR 102723113B1 KR 1020190174023 A KR1020190174023 A KR 1020190174023A KR 20190174023 A KR20190174023 A KR 20190174023A KR 102723113 B1 KR102723113 B1 KR 102723113B1
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light
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forming
display device
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양희정
김영준
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은, 발광영역 및 회로영역을 갖는 적어도 하나의 부화소를 포함하는 기판과; 상기 기판 상부의 상기 회로영역에 배치되는 적어도 하나의 박막트랜지스터와; 상기 적어도 하나의 박막트랜지스터 상부에 배치되는 평탄화층과; 상기 평탄화층 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 배치되는 제1전극과; 상기 평탄화층 상부의 상기 회로영역에 배치되는 차광전극과; 상기 제1전극 및 상기 차광전극 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 배치되는 발광층과; 상기 발광층 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 배치되는 제2전극을 포함하는 표시장치를 제공한다.The present invention provides a display device including a substrate including at least one subpixel having a light-emitting region and a circuit region; at least one thin film transistor arranged in the circuit region on the substrate; a planarization layer arranged on the at least one thin film transistor; a first electrode arranged in the light-emitting region and the circuit region on the planarization layer; a shielding electrode arranged in the circuit region on the planarization layer; an light-emitting layer arranged in the light-emitting region and the circuit region on the first electrode and the light-shielding electrode; and a second electrode arranged in the light-emitting region and the circuit region on the light-emitting layer.

Description

표시장치 및 그 제조방법 {Display Device And Method Of Fabricating The Same}{Display Device And Method Of Fabricating The Same}

본 발명은 표시장치에 관한 것으로, 특히 차광전극에 의하여 빛샘이 최소화 되는 표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a display device, and more particularly, to a display device in which light leakage is minimized by a light-shielding electrode, and a method for manufacturing the same.

최근, 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 액정표시장치(liquid crystal display device: LCD), 플라즈마표시장치(plasma display panel device: PDP), 유기발광다이오드 표시장치(organic light emitting diode display device: OLED), 전계방출표시장치(field emission display device: FED)와 같은 평판표시장치(flat panel display)가 널리 개발되어 다양한 분야에 적용되고 있다. Recently, flat panel displays such as liquid crystal display devices (LCDs), plasma display panel devices (PDPs), organic light emitting diode display devices (OLEDs), and field emission display devices (FEDs) with excellent characteristics such as thinness, weight reduction, and low power consumption have been widely developed and applied in various fields.

평판표시장치 중에서, 유기발광다이오드 표시장치는 발광다이오드의 전자 주입 전극인 음극과 정공 주입 전극인 양극 사이에 형성된 발광층에 전하를 주입하여 전자와 정공의 결합에 의해 여기자가 형성된 후 소멸하면서 빛을 내는 소자이다.Among flat panel displays, an organic light-emitting diode display is a device that emits light when charges are injected into a light-emitting layer formed between the cathode, which is an electron-injecting electrode, and the anode, which is a hole-injecting electrode, and then excitons are formed by the combination of electrons and holes and then annihilated.

이러한 유기발광다이오드 표시장치에서는, 발광층에서 생성된 광이 부화소의 발광영역의 양극을 통하여 외부로 방출되어 영상이 표시되는데, 발광층에서 생성된 광이 영상표시에 기여하지 못하는 부화소의 회로영역의 양극을 통하여 외부로 방출되어 빛샘이 발생하고 영상의 표시품질이 저하되는 문제가 있다. In such organic light-emitting diode displays, light generated in the light-emitting layer is emitted to the outside through the anode of the light-emitting area of a subpixel to display an image. However, there is a problem in that light generated in the light-emitting layer is emitted to the outside through the anode of the circuit area of a subpixel that does not contribute to the image display, causing light leakage and deteriorating the display quality of the image.

본 발명은, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 제시된 것으로, 발광층의 광을 차단하는 차광전극을 각 부화소의 회로영역에 선택적으로 형성함으로써, 회로영역을 통한 빛샘이 최소화 되고 영상의 표시품질이 향상되는 표시장치 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been proposed to solve such problems, and aims to provide a display device and a manufacturing method thereof in which light leakage through a circuit area is minimized and image display quality is improved by selectively forming a light-blocking electrode that blocks light from a light-emitting layer in a circuit area of each subpixel.

그리고, 본 발명은, 발광층의 광을 차단하는 차광전극을 각 부화소의 회로영역에 선택적으로 형성함으로써, 발광층의 광에 의한 회로영역의 다수의 소자의 열화가 최소화 되는 표시장치 및 그 제조방법을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다. Another object of the present invention is to provide a display device and a manufacturing method thereof in which deterioration of a plurality of elements in a circuit area due to light from a light-emitting layer is minimized by selectively forming a light-blocking electrode that blocks light from a light-emitting layer in a circuit area of each subpixel.

위와 같은 과제의 해결을 위해, 본 발명은, 발광영역 및 회로영역을 갖는 적어도 하나의 부화소를 포함하는 기판과; 상기 기판 상부의 상기 회로영역에 배치되는 적어도 하나의 박막트랜지스터와; 상기 적어도 하나의 박막트랜지스터 상부에 배치되는 평탄화층과; 상기 평탄화층 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 배치되는 제1전극과; 상기 평탄화층 상부의 상기 회로영역에 배치되는 차광전극과; 상기 제1전극 및 상기 차광전극 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 배치되는 발광층과; 상기 발광층 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 배치되는 제2전극을 포함하는 표시장치를 제공한다. In order to solve the above problem, the present invention provides a display device including a substrate including at least one subpixel having a light-emitting region and a circuit region; at least one thin film transistor arranged in the circuit region on the substrate; a planarization layer arranged on the at least one thin film transistor; a first electrode arranged in the light-emitting region and the circuit region on the planarization layer; a shielding electrode arranged in the circuit region on the planarization layer; an light-emitting layer arranged in the light-emitting region and the circuit region on the first electrode and the light-shielding electrode; and a second electrode arranged in the light-emitting region and the circuit region on the light-emitting layer.

그리고, 상기 제1전극은 투명도전물질을 포함하고, 상기 차광전극은 불투명 금속물질을 포함할 수 있다.And, the first electrode may include a transparent conductive material, and the light-shielding electrode may include an opaque metal material.

또한, 상기 제1전극은 인듐 틴 옥사이드를 포함하고, 상기 차광전극은 몰리브덴 티타늄을 포함할 수 있다.Additionally, the first electrode may include indium tin oxide, and the light-shielding electrode may include molybdenum titanium.

그리고, 상기 차광전극은 상기 제1전극의 상부 또는 하부에서 상기 제1전극에 접촉될 수 있다.And, the light-shielding electrode can be in contact with the first electrode at the upper or lower portion of the first electrode.

또한, 상기 적어도 하나의 박막트랜지스터는, 상기 기판 상부의 회로영역에 배치되는 반도체층과; 상기 반도체층의 중앙부 상부에 배치되는 게이트절연층과; 상기 게이트절연층 상부에 배치되는 게이트전극과; 상기 반도체층의 양 단부에 연결되는 소스전극 및 드레인전극을 포함할 수 있다.In addition, the at least one thin film transistor may include a semiconductor layer disposed in a circuit area on the upper portion of the substrate; a gate insulating layer disposed on a central portion of the semiconductor layer; a gate electrode disposed on the upper portion of the gate insulating layer; and a source electrode and a drain electrode connected to both ends of the semiconductor layer.

그리고, 상기 표시장치는, 상기 반도체층에 대응되는 기판 상부에 배치되는 차광층과; 상기 차광층과 상기 반도체층 사이에 배치되는 버퍼층과; 상기 반도체층과 상기 소스전극 및 상기 드레인전극 사이에 배치되는 층간절연층과; 상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 상기 평탄화층 사이에 배치되는 보호층을 더 포함할 수 있다.And, the display device may further include a light-shielding layer disposed on an upper portion of a substrate corresponding to the semiconductor layer; a buffer layer disposed between the light-shielding layer and the semiconductor layer; an interlayer insulating layer disposed between the semiconductor layer and the source electrode and the drain electrode; and a protective layer disposed between the source electrode and the drain electrode and the planarization layer.

또한, 상기 표시장치는, 상기 보호층과 상기 평탄화층 사이의 상기 발광영역에 배치되는 컬러필터층을 더 포함할 수 있다.In addition, the display device may further include a color filter layer disposed in the light-emitting area between the protective layer and the flattening layer.

한편, 본 발명은, 기판 상부의 적어도 하나의 부화소의 발광영역 및 회로영역 중 상기 회로영역에 적어도 하나의 박막트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 적어도 하나의 박막트랜지스터 상부에 평탄화층을 형성하는 단계와; 상기 평탄화층 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 제1전극을 형성하는 단계와; 상기 평탄화층 상부의 상기 회로영역에 차광전극을 형성하는 단계와; 상기 제1전극 및 상기 차광전극 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 발광층을 형성하는 단계와; 상기 발광층 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 제2전극을 형성하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법을 제공한다. Meanwhile, the present invention provides a method for manufacturing a display device, including the steps of forming at least one thin film transistor in a circuit region among a light-emitting region and a circuit region of at least one subpixel on an upper portion of a substrate; forming a planarization layer on the at least one thin film transistor; forming a first electrode on the light-emitting region and the circuit region on the planarization layer; forming a light-shielding electrode on the circuit region on the planarization layer; forming a light-emitting layer on the light-emitting region and the circuit region on the first electrode and the light-shielding electrode; and forming a second electrode on the light-emitting region and the circuit region on the light-emitting layer.

그리고, 상기 제1전극을 형성하는 단계와 상기 차광전극을 형성하는 단계는, 상기 평탄화층 상부에 투명도전물질층 및 불투명도전물질층을 순차적으로 형성하는 단계와; 투과부, 반투과부 및 차단부를 갖는 노광마스크를 이용하여 상기 투명도전물질층 및 상기 불투명도전물질층을 식각하여 상기 평탄화층 상부에 상기 제1전극 및 상기 차광전극을 순차적으로 형성하는 단계를 포함할 수 있다.And, the step of forming the first electrode and the step of forming the light-shielding electrode may include the step of sequentially forming a transparent conductive material layer and an opaque conductive material layer on the planarization layer; and the step of sequentially forming the first electrode and the light-shielding electrode on the planarization layer by etching the transparent conductive material layer and the opaque conductive material layer using an exposure mask having a transparent portion, a semi-transparent portion, and a blocking portion.

또한, 상기 노광마스크를 이용하여 상기 제1전극 및 상기 차광전극을 형성하는 단계는, 상기 불투명도전물질층 상부에 포토레지스트층을 형성하는 단계와; 상기 노광마스크를 통하여 상기 포토레지스트층을 노광하여 상기 불투명도전물질층 상부에 제1두께의 제1포토레지스트패턴과 상기 제1두께보다 작은 제2두께의 제2포토레지스트패턴을 형성하는 단계와; 상기 제1 및 제2포토레지스트패턴을 식각마스크로 이용하여 상기 불투명도전물질층 및 상기 투명도전물질층을 식각하여 상기 제1전극을 형성하는 단계와; 상기 제2포토레지스트패턴을 제거하는 단계와; 상기 제1포토레지스트패턴을 식각마스크로 이용하여 상기 불투명도전물질층을 식각하여 상기 차광전극을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.In addition, the step of forming the first electrode and the light-shielding electrode using the exposure mask may include the steps of forming a photoresist layer on the opaque conductive material layer; exposing the photoresist layer through the exposure mask to form a first photoresist pattern having a first thickness and a second photoresist pattern having a second thickness smaller than the first thickness on the opaque conductive material layer; the step of etching the opaque conductive material layer and the transparent conductive material layer using the first and second photoresist patterns as an etching mask to form the first electrode; the step of removing the second photoresist pattern; and the step of etching the opaque conductive material layer using the first photoresist pattern as an etching mask to form the light-shielding electrode.

그리고, 상기 노광마스크의 상기 차단부는 상기 회로영역에 대응되고, 상기 노광마스크의 상기 반투과부는 상기 발광영역에 대응되고, 상기 노광마스크의 상기 투과부는 상기 적어도 하나의 부화소의 경계부에 대응될 수 있다.And, the blocking portion of the exposure mask may correspond to the circuit area, the semi-transparent portion of the exposure mask may correspond to the light-emitting area, and the transmissive portion of the exposure mask may correspond to the boundary of the at least one subpixel.

또한, 상기 제1전극을 형성하는 단계와 상기 차광전극을 형성하는 단계는, 상기 평탄화층 상부에 제1마스크공정을 통하여 상기 차광전극을 형성하는 단계와; 상기 차광전극 상부에 제2마스크공정을 통하여 상기 제1전극을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.In addition, the step of forming the first electrode and the step of forming the light-shielding electrode may include a step of forming the light-shielding electrode through a first mask process on the planarization layer; and a step of forming the first electrode through a second mask process on the light-shielding electrode.

그리고, 상기 적어도 하나의 박막트랜지스터를 형성하는 단계는, 상기 기판 상부의 회로영역에 반도체층을 형성하는 단계와; 상기 반도체층의 중앙부 상부에 게이트절연층을 형성하는 단계와; 상기 게이트절연층 상부에 게이트전극을 형성하는 단계와; 상기 반도체층의 양 단부에 연결되는 소스전극 및 드레인전극을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.And, the step of forming at least one thin film transistor may include the steps of forming a semiconductor layer in a circuit area on the upper portion of the substrate; the step of forming a gate insulating layer on the upper portion of the central portion of the semiconductor layer; the step of forming a gate electrode on the upper portion of the gate insulating layer; and the step of forming a source electrode and a drain electrode connected to both ends of the semiconductor layer.

또한, 상기 표시장치의 제조방법은, 상기 반도체층에 대응되는 기판 상부에 차광층을 형성하는 단계와; 상기 차광층과 상기 반도체층 사이에 버퍼층을 형성하는 단계와; 상기 반도체층과 상기 소스전극 및 상기 드레인전극 사이에 층간절연층을 형성하는 단계와; 상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 상기 평탄화층 사이에 보호층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the method for manufacturing the display device may further include a step of forming a light-shielding layer on an upper portion of a substrate corresponding to the semiconductor layer; a step of forming a buffer layer between the light-shielding layer and the semiconductor layer; a step of forming an interlayer insulating layer between the semiconductor layer and the source electrode and the drain electrode; and a step of forming a protective layer between the source electrode and the drain electrode and the planarization layer.

그리고, 상기 표시장치의 제조방법은, 보호층과 상기 평탄화층 사이의 상기 발광영역에 컬러필터층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the method for manufacturing the display device may further include a step of forming a color filter layer in the light-emitting area between the protective layer and the flattening layer.

본 발명은, 발광층의 광을 차단하는 차광전극을 각 부화소의 회로영역에 선택적으로 형성함으로써, 회로영역을 통한 빛샘이 최소화 되고 영상의 표시품질이 향상되는 효과를 갖는다. The present invention has the effect of minimizing light leakage through the circuit area and improving the display quality of the image by selectively forming a light-blocking electrode that blocks light from the light-emitting layer in the circuit area of each subpixel.

그리고, 본 발명은 발광층의 광을 차단하는 차광전극을 각 부화소의 회로영역에 선택적으로 형성함으로써, 발광층의 광에 의한 회로영역의 다수의 소자의 열화가 최소화 되는 효과를 갖는다. In addition, the present invention has the effect of minimizing deterioration of a number of elements in a circuit area due to light from the light-emitting layer by selectively forming a light-blocking electrode that blocks light from the light-emitting layer in the circuit area of each subpixel.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 다수의 부화소를 도시한 평면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 하나의 부화소를 도시한 단면도.
도 3a 내지 도 3g는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제1전극 및 차광전극의 투과율을 도시한 그래프.
FIG. 1 is a plan view illustrating a plurality of subpixels of a display device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating one subpixel of a display device according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 3A to 3G are cross-sectional views illustrating a method for manufacturing a display device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a graph showing the transmittance of the first electrode and the light-shielding electrode of the display device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 표시장치 및 그 제조방법을 설명한다. Hereinafter, a display device and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described with reference to the attached drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 다수의 부화소를 도시한 평면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 하나의 부화소를 도시한 단면도로서, 하부발광(bottom emission)방식 유기발광다이오드 표시장치를 예로 들어 설명한다.FIG. 1 is a plan view illustrating a plurality of subpixels of a display device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating one subpixel of a display device according to an embodiment of the present invention, explaining using a bottom emission type organic light emitting diode display device as an example.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 표시장치(110)는, 기판(120), 스위칭 박막트랜지스터(Tsw), 구동 박막트랜지스터(Tdr), 센싱 박막트랜지스터(Tse), 스토리지 커패시터(Cst), 발광다이오드(Del)를 포함한다.As illustrated in FIGS. 1 and 2, a display device (110) according to an embodiment of the present invention includes a substrate (120), a switching thin film transistor (Tsw), a driving thin film transistor (Tdr), a sensing thin film transistor (Tse), a storage capacitor (Cst), and a light emitting diode (Del).

구체적으로, 기판(120)은 다수의 화소(P)를 포함하고, 각 화소(P)는 제1, 제2, 제3 및 제4부화소(SP1, SP2, SP3, SP4)를 포함하고, 제1, 제2, 제3 및 제4부화소(SP1, SP2, SP3, SP4)는 각각 발광영역(EA)과 회로영역(CA)를 포함한다.Specifically, the substrate (120) includes a plurality of pixels (P), each pixel (P) includes first, second, third, and fourth sub-pixels (SP1, SP2, SP3, SP4), and the first, second, third, and fourth sub-pixels (SP1, SP2, SP3, SP4) each include a light-emitting area (EA) and a circuit area (CA).

예를 들어, 제1, 제2, 제3 및 제4부화소(SP1, SP2, SP3, SP4)는 각각 청, 녹, 적, 백색에 대응되는 광을 방출할 수 있다.For example, the first, second, third, and fourth subpixels (SP1, SP2, SP3, SP4) can emit light corresponding to blue, green, red, and white, respectively.

도 2의 부화소(SP)는 도 1의 제1, 제2, 제3 및 제4부화소(SP1, SP2, SP3, SP4) 중 어느 하나일 수 있다.The subpixel (SP) of FIG. 2 may be any one of the first, second, third, and fourth subpixels (SP1, SP2, SP3, SP4) of FIG. 1.

기판(120) 상부의 각 부화소(SP)의 회로영역(CA)에는 차광층(122) 및 연결패턴(124)이 배치된다.A light-shielding layer (122) and a connection pattern (124) are arranged in the circuit area (CA) of each subpixel (SP) on the upper portion of the substrate (120).

차광층(122)은, 스위칭 박막트랜지스터(Tsw), 구동 박막트랜지스터(Tdr), 센싱 박막트랜지스터(Tse) 각각의 반도체층에 중첩되도록 배치되는데, 기판(120)을 통하여 입사되는 외부광이 반도체층에 조사되어 반도체층이 열화 되는 것을 방지하는 역할을 한다.The light-shielding layer (122) is arranged to overlap the semiconductor layers of each of the switching thin film transistor (Tsw), the driving thin film transistor (Tdr), and the sensing thin film transistor (Tse), and serves to prevent external light incident through the substrate (120) from being irradiated onto the semiconductor layer and causing the semiconductor layer to deteriorate.

연결패턴(124)은, 파워배선(PL)과 파워배선(PL)에 인접하지 않은 부화소(SP)를 연결하는데, 파워배선(PL)의 고전위전압을 파워배선(PL)에 인접하지 않은 부화소(SP)의 구동 박막트랜지스터(Tdr)에 공급하는 역할을 한다.The connection pattern (124) connects the power wiring (PL) and the subpixel (SP) not adjacent to the power wiring (PL), and serves to supply the high potential voltage of the power wiring (PL) to the driving thin film transistor (Tdr) of the subpixel (SP) not adjacent to the power wiring (PL).

예를 들어, 차광층(122) 및 연결패턴(124)은 알루미늄(Al), 몰리브덴 티타늄(MoTi), 구리(Cu)와 같은 금속물질을 포함할 수 있다. For example, the light shielding layer (122) and the connecting pattern (124) may include a metal material such as aluminum (Al), molybdenum titanium (MoTi), or copper (Cu).

차광층(122) 및 연결패턴(124) 상부의 기판(120) 전면에는 버퍼층(126)이 배치된다.A buffer layer (126) is arranged on the front surface of the substrate (120) above the light-shielding layer (122) and the connection pattern (124).

예를 들어, 버퍼층(126)은 하부의 실리콘 나이트라이드(SiNx)의 제1층과 상부의 실리콘 옥사이드(SiOx)의 제2층을 포함할 수 있다.For example, the buffer layer (126) may include a first layer of silicon nitride (SiNx) at the bottom and a second layer of silicon oxide (SiOx) at the top.

차광층(122)에 대응되는 버퍼층(126) 상부에는 반도체층(128)이 배치된다.A semiconductor layer (128) is arranged on top of a buffer layer (126) corresponding to a light-shielding layer (122).

예를 들어, 반도체층(128)은 다결정실리콘(polycrystalline silicon)과 같은 반도체물질 또는 인듐-갈륨-징크 옥사이드(indium-gallium-zinc oxide: IGZO)와 같은 산화물반도체물질을 포함할 수 있다.For example, the semiconductor layer (128) may include a semiconductor material such as polycrystalline silicon or an oxide semiconductor material such as indium-gallium-zinc oxide (IGZO).

반도체층(128)이 산화물반도체물질을 포함할 경우, 게이트절연층(130)의 제1 및 제2콘택홀을 통하여 노출되는 반도체층(128)의 양 단부는 도체화 되어 소스영역 및 드레인영역으로 동작하고, 게이트절연층(130)으로 덮이는 반도체층(128)의 중앙부는 채널영역으로 동작할 수 있다. When the semiconductor layer (128) includes an oxide semiconductor material, both ends of the semiconductor layer (128) exposed through the first and second contact holes of the gate insulating layer (130) are conductive and function as a source region and a drain region, and the central portion of the semiconductor layer (128) covered with the gate insulating layer (130) can function as a channel region.

반도체층(128)의 중앙부 상부에는 게이트절연층(130) 및 게이트전극(132)이 순차적으로 배치되고, 회로영역(CA)의 게이트절연층(130) 상부에는 제1방향(가로방향)을 따라 게이트배선(GL) 및 센싱배선(SL)이 배치된다.A gate insulating layer (130) and a gate electrode (132) are sequentially arranged on the central upper portion of the semiconductor layer (128), and a gate wiring (GL) and a sensing wiring (SL) are arranged along the first direction (horizontal direction) on the gate insulating layer (130) of the circuit area (CA).

예를 들어, 게이트절연층(130)은 실리콘 옥사이드(SiOx) 또는 실리콘 나이트라이드(SiNx)와 같은 무기절연물질을 포함하고, 게이트전극(132), 게이트배선(GL) 및 센싱배선(SL)은 알루미늄(Al), 몰리브덴 티타늄(MoTi), 구리(Cu)와 같은 금속물질을 포함할 수 있다.For example, the gate insulating layer (130) may include an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx), and the gate electrode (132), gate wiring (GL), and sensing wiring (SL) may include a metal material such as aluminum (Al), molybdenum titanium (MoTi), or copper (Cu).

게이트전극(132), 게이트배선(GL) 및 센싱배선(SL) 상부의 기판(120) 전면에는 층간절연층(134)이 배치된다.An interlayer insulating layer (134) is arranged on the entire surface of the substrate (120) above the gate electrode (132), gate wiring (GL), and sensing wiring (SL).

층간절연층(134)은 반도체층(128)의 양 단부를 노출하는 제1 및 제2콘택홀을 갖고, 층간절연층(134) 및 버퍼층(126)은 차광층(122)의 일 단부를 노출하는 제3콘택홀을 가질 수 있다.The interlayer insulating layer (134) may have first and second contact holes exposing both ends of the semiconductor layer (128), and the interlayer insulating layer (134) and the buffer layer (126) may have a third contact hole exposing one end of the light-shielding layer (122).

예를 들어, 층간절연층(134)은 실리콘 옥사이드(SiOx) 또는 실리콘 나이트라이드(SiNx)와 같은 무기절연물질을 포함할 수 있다.For example, the interlayer insulating layer (134) may include an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx).

반도체층(128)의 양 단부에 대응되는 층간절연층(134) 상부에는 소스전극(136) 및 드레인전극(138)이 배치되고, 회로영역(CA)의 층간절연층(134) 상부에는 제1방향과 교차하는 제2방향(세로방향)을 따라 데이터배선(DL), 파워배선(PL) 및 기준배선(RL)이 배치된다.A source electrode (136) and a drain electrode (138) are arranged on the interlayer insulating layer (134) corresponding to both ends of the semiconductor layer (128), and a data wire (DL), a power wire (PL), and a reference wire (RL) are arranged along a second direction (vertical direction) intersecting the first direction on the interlayer insulating layer (134) of the circuit area (CA).

소스전극(136)은 층간절연층(134)의 제1콘택홀을 통하여 반도체층(128)의 일 단부에 연결되고 층간절연층(134) 및 버퍼층(126)의 제3콘택홀을 통하여 차광층(122)의 일 단부에 연결되고, 드레인전극(138)은 층간절연층(134)의 제2콘택홀을 통하여 반도체층(128)의 타 단부에 연결될 수 있다.The source electrode (136) can be connected to one end of the semiconductor layer (128) through the first contact hole of the interlayer insulating layer (134) and to one end of the light-shielding layer (122) through the third contact hole of the interlayer insulating layer (134) and the buffer layer (126), and the drain electrode (138) can be connected to the other end of the semiconductor layer (128) through the second contact hole of the interlayer insulating layer (134).

예를 들어, 소스전극(136), 드레인전극(138), 데이터배선(DL), 파워배선(PL) 및 기준배선(RL)은 알루미늄(Al), 몰리브덴 티타늄(MoTi), 구리(Cu)와 같은 금속물질을 포함할 수 있다.For example, the source electrode (136), drain electrode (138), data wiring (DL), power wiring (PL), and reference wiring (RL) may include a metal material such as aluminum (Al), molybdenum titanium (MoTi), or copper (Cu).

반도체층(128), 게이트전극(132), 소스전극(136) 및 드레인전극(138)은 구동 박막트랜지스터(Tdr)를 구성한다. A semiconductor layer (128), a gate electrode (132), a source electrode (136), and a drain electrode (138) constitute a driving thin film transistor (Tdr).

도시하지는 않았지만, 스위칭 박막트랜지스터(Tsw), 센싱 박막트랜지스터(Tse)는 구동 박막트랜지스터(Tdr)와 동일한 구조를 가질 수 있다.Although not illustrated, the switching thin film transistor (Tsw) and sensing thin film transistor (Tse) may have the same structure as the driving thin film transistor (Tdr).

스위칭 박막트랜지스터(Tsw)의 게이트전극은 게이트배선(GL)에 연결되고, 스위칭 박막트랜지스터(Tsw)의 소스전극은 데이터배선(DL)에 연결되고, 스위칭 박막트랜지스터(Tsw)의 드레인전극은 구동 박막트랜지스터(Tdr)의 게이트전극(132)에 연결된다.The gate electrode of the switching thin film transistor (Tsw) is connected to the gate wiring (GL), the source electrode of the switching thin film transistor (Tsw) is connected to the data wiring (DL), and the drain electrode of the switching thin film transistor (Tsw) is connected to the gate electrode (132) of the driving thin film transistor (Tdr).

구동 박막트랜지스터(Tdr)의 소스전극(136)은 발광다이오드(Del)의 제1전극(150)에 연결되고, 구동 박막트랜지스터(Tdr)의 드레인전극(138)은 파워배선(PL)에 연결된다.The source electrode (136) of the driving thin film transistor (Tdr) is connected to the first electrode (150) of the light emitting diode (Del), and the drain electrode (138) of the driving thin film transistor (Tdr) is connected to the power wiring (PL).

센싱 박막트랜지스터(Tse)의 게이트전극은 센싱배선(SL)에 연결되고, 센싱 박막트랜지스터(Tse)의 소스전극은 발광다이오드(Del)의 제1전극(150)에 연결되고, 센싱 박막트랜지스터(Tse)의 드레인전극은 기준배선(RL)에 연결된다.The gate electrode of the sensing thin film transistor (Tse) is connected to the sensing wiring (SL), the source electrode of the sensing thin film transistor (Tse) is connected to the first electrode (150) of the light emitting diode (Del), and the drain electrode of the sensing thin film transistor (Tse) is connected to the reference wiring (RL).

스위칭 박막트랜지스터(Tsw), 구동 박막트랜지스터(Tdr), 센싱 박막트랜지스터(Tse) 상부의 기판(120) 전면에는 보호층(140)이 배치된다.A protective layer (140) is arranged on the entire surface of the substrate (120) above the switching thin film transistor (Tsw), the driving thin film transistor (Tdr), and the sensing thin film transistor (Tse).

예를 들어, 보호층(140)은 실리콘 옥사이드(SiOx) 또는 실리콘 나이트라이드(SiNx)와 같은 무기절연물질을 포함할 수 있다.For example, the protective layer (140) may include an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx).

보호층(140) 상부의 발광영역(EA)에는 컬러필터층(142)이 배치된다.A color filter layer (142) is arranged in the light-emitting area (EA) on the upper side of the protective layer (140).

컬러필터층(142)은 발광층(154)의 광 중에서 특정 파장의 성분은 투과시키고 나머지 파장의 성분은 흡수할 수 있다.The color filter layer (142) can transmit components of a specific wavelength among the light of the light emitting layer (154) and absorb components of the remaining wavelengths.

예를 들어, 제1, 제2 및 제3부화소(SP1, SP2, SP3)의 발광영역(EA)의 보호층(140) 상부에는 각각 청, 녹 및 적 컬러필터층이 배치되고, 제4부화소(SP4)의 발광영역(EA)의 보호층(140) 상부에는 컬러필터층이 생략될 수 있다.For example, blue, green and red color filter layers may be arranged on the upper portion of the protective layer (140) of the light-emitting area (EA) of the first, second and third sub-pixels (SP1, SP2, SP3), respectively, and the color filter layer may be omitted on the upper portion of the protective layer (140) of the light-emitting area (EA) of the fourth sub-pixel (SP4).

컬러필터층(142)과 보호층(140) 상부의 기판(120) 전면에는 평탄화층(144)이 배치된다.A flattening layer (144) is placed on the entire surface of the substrate (120) above the color filter layer (142) and the protective layer (140).

평탄화층(144)은 컬러필터층(142), 스위칭 박막트랜지스터(Tsw), 구동 박막트랜지스터(Tdr), 센싱 박막트랜지스터(Tse)를 갖는 기판(120)의 표면을 평탄화 하는 역할을 한다. The planarization layer (144) serves to planarize the surface of the substrate (120) having the color filter layer (142), the switching thin film transistor (Tsw), the driving thin film transistor (Tdr), and the sensing thin film transistor (Tse).

예를 들어, 평탄화층(144)은 포토아크릴(photoacryl)과 같은 유기절연물질을 포함할 수 있다.For example, the planarization layer (144) may include an organic insulating material such as photoacryl.

평탄화층(144) 및 보호층(140)은 소스전극(136)을 노출하는 제4콘택홀을 갖는다. The planarization layer (144) and the protective layer (140) have a fourth contact hole exposing the source electrode (136).

평탄화층(144) 상부의 각 부화소(SP)의 발광영역(EA) 및 회로영역(CA)에는 제1전극(150)이 배치된다. A first electrode (150) is placed in the light-emitting area (EA) and circuit area (CA) of each subpixel (SP) on the upper side of the flattening layer (144).

제1전극(150)은, 발광층(154)에 홀(hole)을 공급하는 양극(anode) 일 수 있으며, 제4콘택홀을 통하여 소스전극(136)에 연결된다. The first electrode (150) may be an anode that supplies holes to the light-emitting layer (154) and is connected to the source electrode (136) through the fourth contact hole.

예를 들어, 제1전극(150)은 상대적으로 큰 일함수를 갖는 인듐 징크 옥사이드(indium zinc oxide: ITO)를 포함할 수 있다.For example, the first electrode (150) may include indium zinc oxide (ITO) having a relatively large work function.

제1전극(150) 상부의 각 부화소(SP)의 회로영역(CA)에는 차광전극(152)이 배치된다.A light-shielding electrode (152) is placed in the circuit area (CA) of each subpixel (SP) above the first electrode (150).

차광전극(152)은 발광층(154)에서 생성된 광을 흡수하여 기판(120)으로 전달되지 않도록 하는 역할을 한다. The light-shielding electrode (152) absorbs light generated in the light-emitting layer (154) and prevents it from being transmitted to the substrate (120).

예를 들어, 차광전극(152)은 몰리브덴 티타늄(MoTi)을 포함할 수 있다. For example, the light-shielding electrode (152) may include molybdenum titanium (MoTi).

도 2의 실시예에서는 차광전극(152)이 제1전극(150) 상부의 회로영역(CA)에 배치되는 것을 예로 들었으나, 다른 실시에에서는 차광전극(152)이 제1전극(150) 하부의 회로영역(CA)에 배치될 수도 있다. In the embodiment of Fig. 2, the light-shielding electrode (152) is placed in the circuit area (CA) above the first electrode (150), but in other embodiments, the light-shielding electrode (152) may be placed in the circuit area (CA) below the first electrode (150).

제1전극(150) 및 차광전극(152) 상부의 기판(120) 전면에는 발광층(154)이 배치된다. A light-emitting layer (154) is arranged on the entire surface of the substrate (120) above the first electrode (150) and the light-shielding electrode (152).

발광층(154)은 홀주입층(hole injecting layer), 홀전달층(hole transporting layer), 발광물질층(emitting material layer), 전자전달층(electron transporting layer), 전자주입층(electron injecting layer)을 포함할 수 있다. The emitting layer (154) may include a hole injecting layer, a hole transporting layer, an emitting material layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer.

발광층(154) 상부의 기판(120) 전면에는 제2전극(156)이 배치된다.A second electrode (156) is placed on the entire surface of the substrate (120) above the light-emitting layer (154).

제2전극(156)은 발광층(154)에 전자(electron)을 공급하는 음극(cathode) 일 수 있다. The second electrode (156) may be a cathode that supplies electrons to the light-emitting layer (154).

예를 들어, 제2전극(156)은 상대적으로 작은 일함수를 갖는 알루미늄(Al) 또는 마그네슘은(MgAg)을 포함할 수 있다.For example, the second electrode (156) may include aluminum (Al) or magnesium silver (MgAg) having a relatively small work function.

제1전극(150), 발광층(154) 및 제2전극(156)은 발광다이오드(Del)를 구성한다.The first electrode (150), the light-emitting layer (154), and the second electrode (156) constitute a light-emitting diode (Del).

도시하지는 않았지만, 제2전극(170) 상부의 기판(120) 전면에는 인캡(encapsulation)층이 배치되어 외부의 수분 또는 산소의 침투를 방지할 수 있다.Although not shown, an encapsulation layer is placed on the entire surface of the substrate (120) above the second electrode (170) to prevent the penetration of external moisture or oxygen.

이러한 표시장치(110)에서는, 제1전극(150)의 일부를 노출하는 뱅크층 없이 제1전극(150)을 평탄화층(144) 상부에 직접 배치함으로써, 각 부화소(SP)의 발광영역(EA)을 최대화 할 수 있으며, 그 결과 휘도를 향상시킬 수 있다.In this display device (110), by directly arranging the first electrode (150) on top of the planarization layer (144) without a bank layer exposing a portion of the first electrode (150), the light-emitting area (EA) of each subpixel (SP) can be maximized, thereby improving brightness.

그리고, 광을 흡수하여 차단하는 차광전극(152)을 각 부화소(SP)의 회로영역(CA)에 선택적으로 배치함으로써, 회로영역(CA)의 발광층(154)에서 생성되는 광이 투명한 제1전극(150), 평탄화층(144), 보호층(140), 층간절연층(134), 기판(120)을 통과하여 외부로 방출되는 빛샘(LL)을 최소화 할 수 있으며, 그 결과 영상의 표시품질을 향상시킬 수 있다.And, by selectively arranging a light-blocking electrode (152) that absorbs and blocks light in the circuit area (CA) of each subpixel (SP), light leakage (LL) emitted to the outside by light generated in the light-emitting layer (154) of the circuit area (CA) passing through the transparent first electrode (150), the planarization layer (144), the protective layer (140), the interlayer insulating layer (134), and the substrate (120) can be minimized, and as a result, the display quality of the image can be improved.

또한, 광을 흡수하여 차단하는 차광전극(152)을 각 부화소(SP)의 회로영역(CA)에 선택적으로 배치함으로써, 회로영역(CA)의 발광층(154)에서 생성되는 광이 투명한 제1전극(150), 평탄화층(144), 보호층(140), 층간절연층(134)을 통과하여 반도체층(128)에 조사되는 것을 최소화 할 수 있으며, 그 결과 회로영역(CA)의 스위칭 박막트랜지스터(Tsw), 구동 박막트랜지스터(Tdr), 센싱 박막트랜지스터(Tse)의 열화를 방지할 수 있다.In addition, by selectively arranging a light-blocking electrode (152) that absorbs and blocks light in the circuit area (CA) of each subpixel (SP), it is possible to minimize light generated in the light-emitting layer (154) of the circuit area (CA) from passing through the transparent first electrode (150), the planarization layer (144), the protective layer (140), and the interlayer insulating layer (134) and being irradiated onto the semiconductor layer (128), and as a result, deterioration of the switching thin film transistor (Tsw), the driving thin film transistor (Tdr), and the sensing thin film transistor (Tse) of the circuit area (CA) can be prevented.

이러한 표시장치의 제조방법을 도면을 참조하여 설명한다.The method for manufacturing such a display device is described with reference to the drawings.

도 3a 내지 도 3g는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 단면도로서, 도 1 및 도 2를 함께 참조하여 설명한다.FIGS. 3A to 3G are cross-sectional views for explaining a method for manufacturing a display device according to an embodiment of the present invention, and are explained with reference to FIGS. 1 and 2 together.

도 3a에 도시한 바와 같이, 금속물질의 증착공정 및 노광식각(photolithographic)공정을 통하여, 기판(120) 상부의 각 부화소(SP)의 회로영역(CA)에 차광층(122) 및 연결패턴(124)을 형성한다. As illustrated in Fig. 3a, a light-shielding layer (122) and a connection pattern (124) are formed in the circuit area (CA) of each subpixel (SP) on the upper portion of the substrate (120) through a deposition process of a metal material and a photolithographic process.

예를 들어, 차광층(122) 및 연결패턴(124)은 알루미늄(Al), 몰리브덴 티타늄(MoTi), 구리(Cu)와 같은 금속물질을 포함할 수 있다. For example, the light shielding layer (122) and the connecting pattern (124) may include a metal material such as aluminum (Al), molybdenum titanium (MoTi), or copper (Cu).

이후, 절연물질의 증착공정을 통하여, 차광층(122) 및 연결패턴(124) 상부의 기판(120) 전면에 버퍼층(126)을 형성한다.Thereafter, through a deposition process of an insulating material, a buffer layer (126) is formed on the entire surface of the substrate (120) above the light-shielding layer (122) and the connection pattern (124).

예를 들어, 버퍼층(126)은 하부의 실리콘 나이트라이드(SiNx)의 제1층과 상부의 실리콘 옥사이드(SiOx)의 제2층을 포함할 수 있다.For example, the buffer layer (126) may include a first layer of silicon nitride (SiNx) at the bottom and a second layer of silicon oxide (SiOx) at the top.

이후, 반도체물질의 증착공정 및 노광식각공정을 통하여, 차광층(122)에 대응되는 버퍼층(126) 상부에 반도체층(128)을 형성한다.Thereafter, through a semiconductor material deposition process and an exposure etching process, a semiconductor layer (128) is formed on top of a buffer layer (126) corresponding to a light-shielding layer (122).

예를 들어, 반도체층(128)은 다결정실리콘(polycrystalline silicon)과 같은 반도체물질 또는 인듐-갈륨-징크 옥사이드(indium-gallium-zinc oxide: IGZO)와 같은 산화물반도체물질을 포함할 수 있다.For example, the semiconductor layer (128) may include a semiconductor material such as polycrystalline silicon or an oxide semiconductor material such as indium-gallium-zinc oxide (IGZO).

이후, 절연물질의 증착공정 및 노광식각공정을 통하여, 반도체층(128) 상부의 기판(120) 전면에 게이트절연층(130)을 형성한다.Thereafter, through a deposition process of an insulating material and an exposure etching process, a gate insulating layer (130) is formed on the entire surface of the substrate (120) over the semiconductor layer (128).

예를 들어, 게이트절연층(130)은 실리콘 옥사이드(SiOx) 또는 실리콘 나이트라이드(SiNx)와 같은 무기절연물질을 포함할 수 있다.For example, the gate insulating layer (130) may include an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx).

절연물질의 증착공정 및 노광식각공정 후, 게이트절연층(130)에 대한 열처리공정을 진행할 수 있다.After the deposition process and exposure etching process of the insulating material, a heat treatment process can be performed on the gate insulating layer (130).

이후, 금속물질의 증착공정 및 노광식각공정을 통하여, 게이트절연층(130) 상부에 게이트전극(132)을 형성하고, 회로영역(CA)의 게이트절연층(130) 상부에 제1방향(가로방향)을 따라 게이트배선(GL) 및 센싱밴선(SL)을 형성한다.Thereafter, through a metal material deposition process and an exposure etching process, a gate electrode (132) is formed on top of the gate insulating layer (130), and a gate wiring (GL) and a sensing band line (SL) are formed along the first direction (horizontal direction) on top of the gate insulating layer (130) in the circuit area (CA).

예를 들어, 게이트전극(132), 게이트배선(GL) 및 센싱배선(SL)은 알루미늄(Al), 몰리브덴 티타늄(MoTi), 구리(Cu)와 같은 금속물질을 포함할 수 있다.For example, the gate electrode (132), gate wiring (GL), and sensing wiring (SL) may include a metal material such as aluminum (Al), molybdenum titanium (MoTi), or copper (Cu).

게이트전극(132)을 형성하여 반도체층(128)의 양 단부를 노출한 후, 플라즈마처리공정을 수행하여 노출된 반도체층(128)의 양 단부를 도체화 할 수 있다.After forming a gate electrode (132) to expose both ends of the semiconductor layer (128), a plasma treatment process can be performed to make both ends of the exposed semiconductor layer (128) conductive.

이후, 절연물질의 증착공정을 통하여, 게이트전극(132), 게이트배선(GL) 및 센싱배선(SL) 상부의 기판(120) 전면에 층간절연층(140)을 형성한다.Thereafter, through a deposition process of an insulating material, an interlayer insulating layer (140) is formed on the entire surface of the substrate (120) above the gate electrode (132), gate wiring (GL), and sensing wiring (SL).

예를 들어, 층간절연층(134)은 실리콘 옥사이드(SiOx) 또는 실리콘 나이트라이드(SiNx)와 같은 무기절연물질을 포함할 수 있다.For example, the interlayer insulating layer (134) may include an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx).

층간절연층(134)은 반도체층(128)의 양 단부를 노출하는 제1 및 제2콘택홀을 갖고, 층간절연층(134) 및 버퍼층(126)은 차광층(122)의 일 단부를 노출하는 제3콘택홀을 가질 수 있다.The interlayer insulating layer (134) may have first and second contact holes exposing both ends of the semiconductor layer (128), and the interlayer insulating layer (134) and the buffer layer (126) may have a third contact hole exposing one end of the light-shielding layer (122).

이후, 금속물질의 증착공정 및 노광식각공정을 통하여, 반도체층(128)의 양 단부에 대응되는 층간절연층(134) 상부에 소스전극(136) 및 드레인전극(138)을 형성하고, 회로영역(CA)의 층간절연층(134) 상부에 제1방향과 교차하는 제2방향(세로방향)을 따라 데이터배선(DL), 파워배선(PL) 및 기준배선(RL)을 형성한다.Thereafter, through a deposition process of a metal material and an exposure etching process, a source electrode (136) and a drain electrode (138) are formed on the interlayer insulating layer (134) corresponding to both ends of the semiconductor layer (128), and a data wire (DL), a power wire (PL), and a reference wire (RL) are formed along a second direction (vertical direction) intersecting the first direction on the interlayer insulating layer (134) of the circuit area (CA).

이후, 절연물질의 증착공정을 통하여, 소스전극(134), 드레인전극(138), 데이터배선(DL), 파워배선(PL) 및 기준배선(RL) 상부의 기판 전면에 보호층(140)을 형성한다. Thereafter, through a deposition process of an insulating material, a protective layer (140) is formed on the entire surface of the substrate above the source electrode (134), the drain electrode (138), the data wiring (DL), the power wiring (PL), and the reference wiring (RL).

예를 들어, 보호층(140)은 실리콘 옥사이드(SiOx) 또는 실리콘 나이트라이드(SiNx)와 같은 무기절연물질을 포함할 수 있다.For example, the protective layer (140) may include an inorganic insulating material such as silicon oxide (SiOx) or silicon nitride (SiNx).

이후, 컬러필터물질의 도포공정 및 노광현상공정을 통하여, 보호층(140) 상부의 발광영역(EA)에 컬러필터층(142)을 형성한다.Thereafter, through a process of applying a color filter material and an exposure development process, a color filter layer (142) is formed in the light-emitting area (EA) on the upper side of the protective layer (140).

이후, 절연물질의 도포공정 및 노광현상공정을 통하여, 컬러필터층(142) 및 보호층(140) 상부의 기판(120) 전면에 평탄화층(144)을 형성한다.Thereafter, through a process of applying an insulating material and an exposure development process, a flattening layer (144) is formed on the entire surface of the substrate (120) above the color filter layer (142) and the protective layer (140).

예를 들어, 평탄화층(144)은 포토아크릴(photoacryl)과 같은 유기절연물질을 포함할 수 있다.For example, the planarization layer (144) may include an organic insulating material such as photoacryl.

평탄화층(144) 및 보호층(140)은 소스전극(136)을 노출하는 제4콘택홀을 가질 수 있다. The planarization layer (144) and the protective layer (140) may have a fourth contact hole exposing the source electrode (136).

도 3b에 도시한 바와 같이, 평탄화층(144) 상부에 투명도전물질 및 불투명도전물질을 순차적으로 증착하여 평탄화층(144) 상부에 투명도전물질층(150a) 및 불투명도전물질층(152a)을 순차적으로 형성한다. As shown in Fig. 3b, a transparent conductive material and an opaque conductive material are sequentially deposited on the planarization layer (144) to sequentially form a transparent conductive material layer (150a) and an opaque conductive material layer (152a) on the planarization layer (144).

예를 들어, 투명도전물질층(150a)은 인듐 징크 옥사이드(indium zinc oxide: ITO)를 포함할 수 있고, 불투명도전물질층(152a)은 몰리브덴 티타늄(MoTi)을 포함할 수 있다. For example, the transparent conductive material layer (150a) may include indium zinc oxide (ITO), and the opaque conductive material layer (152a) may include molybdenum titanium (MoTi).

도 3c에 도시한 바와 같이, 불투명도전물질층(152a) 상부에 포토레지스트층을 형성하고, 포토레지스트층 상부에 투과부(TA), 반투과부(HTA) 및 차단부(BA)를 갖는 노광마스크(PM)를 배치하고, 노광마스크(PM)를 통하여 포토레지스트층을 노광한 후 현상하여 제1두께의 제1포토레지스트패턴(PP1)과 제1두께보다 작은 제2두께의 제2포토레지스트패턴(PP2)을 형성한다.As illustrated in FIG. 3c, a photoresist layer is formed on an opaque conductive material layer (152a), an exposure mask (PM) having a transmissive portion (TA), a semi-transmissive portion (HTA), and a blocking portion (BA) is placed on the photoresist layer, and the photoresist layer is exposed through the exposure mask (PM) and then developed to form a first photoresist pattern (PP1) having a first thickness and a second photoresist pattern (PP2) having a second thickness smaller than the first thickness.

노광마스크(PM)의 차단부(BA) 및 반투과부(HTA)는 각각 제1 및 제2포토레지스트패턴(PP1, PP2)에 대응되고, 노광마스크(PM)의 투과부(TA)에 대응되는 부분에서는 포토레지스트층이 완전히 제거된다.The blocking area (BA) and semi-transmissive area (HTA) of the exposure mask (PM) correspond to the first and second photoresist patterns (PP1, PP2), respectively, and the photoresist layer is completely removed in the area corresponding to the transmissive area (TA) of the exposure mask (PM).

여기서, 노광마스크(PM)의 투과부(TA)는 부화소(SP) 사이의 경계부에 대응되고, 노광마스크(PM)의 차단부(BA)는 각 부화소(SP)의 회로영역(CA)에 대응되고, 노광마스크(PM)의 반투과부(HTA)는 각 부화소(SP)의 발광영역(EA)에 대응될 수 있다.Here, the transmissive portion (TA) of the exposure mask (PM) may correspond to a boundary between subpixels (SP), the blocking portion (BA) of the exposure mask (PM) may correspond to a circuit area (CA) of each subpixel (SP), and the semi-transmissive portion (HTA) of the exposure mask (PM) may correspond to an emitting area (EA) of each subpixel (SP).

반투과부(HTA)의 투과율은 차단부(BA)의 투과율보다 크고 투과부(TA)의 투과율보다 작다.The transmittance of the semi-permeable portion (HTA) is greater than that of the blocking portion (BA) and less than that of the transmissive portion (TA).

도 3d에 도시한 바와 같이, 제1 및 제2포토레지스트패턴(PP1, PP2)을 식각 마스크로 이용하여 불투명도전물질층(152a) 및 투명도전물질층(150a)을 식각하여, 불투명도전물질층(152a)을 각 부화소(SP) 별로 분리하고 각 부화소(SP)에 제1전극(150)을 형성한다.As illustrated in FIG. 3d, the opaque conductive material layer (152a) and the transparent conductive material layer (150a) are etched using the first and second photoresist patterns (PP1, PP2) as etching masks, thereby separating the opaque conductive material layer (152a) into each subpixel (SP) and forming a first electrode (150) in each subpixel (SP).

도 3e에 도시한 바와 같이, 제1 및 제2포토레지스트패턴(PP1, PP2)에 대한 애싱(ashing)공정을 통하여 제2포토레지스트패턴(PP2)을 제거하고 제1포토레지스트패턴(PP1)만 잔존 시킨다. As illustrated in FIG. 3e, through an ashing process for the first and second photoresist patterns (PP1, PP2), the second photoresist pattern (PP2) is removed, leaving only the first photoresist pattern (PP1).

이때, 제1포토레지스트패턴(PP1)의 제1두께는 제2포토레지스트패턴(PP2)의 제2두께만큼 감소할 수 있다.At this time, the first thickness of the first photoresist pattern (PP1) can be reduced by the second thickness of the second photoresist pattern (PP2).

도 3f에 도시한 바와 같이, 제1포토레지스트패턴(PP1)을 식각 마스크로 이용하여 불투명도전물질층(152a)을 식각하여 각 부화소(SP)의 회로영역(CA)의 제1전극(150) 상부에 차광전극(152)을 형성한다. As illustrated in FIG. 3f, the opaque conductive material layer (152a) is etched using the first photoresist pattern (PP1) as an etching mask to form a light-shielding electrode (152) on top of the first electrode (150) of the circuit area (CA) of each subpixel (SP).

도시하지는 않았지만, 차광전극(152)이 제1전극(150) 하부에 배치되는 실시예에서는, 불투명도전물질의 증착공정 및 노광식각공정을 통하여 평탄화층(144) 상부에 차광전극(152)을 형성한 후, 투명도전물질의 증착공정 및 노광식각공정을 통하여 차광전극(152) 상부에 제1전극(150)을 형성할 수 있는데, 이 경우 차광전극(152) 및 제1전극(150)은 상이한 노광마스크를 이용하여 형성할 수 있다.Although not illustrated, in an embodiment in which the light-shielding electrode (152) is disposed below the first electrode (150), the light-shielding electrode (152) may be formed on the planarization layer (144) through a deposition process of an opaque conductive material and an exposure etching process, and then the first electrode (150) may be formed on the light-shielding electrode (152) through a deposition process of a transparent conductive material and an exposure etching process. In this case, the light-shielding electrode (152) and the first electrode (150) may be formed using different exposure masks.

도 3g에 도시한 바와 같이, 유기물질의 증착공정을 통하여, 제1전극(150) 및 차광전극(152) 상부의 기판(120) 전면에 발광층(154)을 형성한다.As illustrated in Figure 3g, a light-emitting layer (154) is formed on the entire surface of the substrate (120) above the first electrode (150) and the light-shielding electrode (152) through a deposition process of an organic material.

예를 들어, 발광층(154)은 홀주입층(hole injecting layer), 홀전달층(hole transporting layer), 발광물질층(emitting material layer), 전자전달층(electron transporting layer), 전자주입층(electron injecting layer)을 포함할 수 있다. For example, the emitting layer (154) may include a hole injecting layer, a hole transporting layer, an emitting material layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer.

이후, 금속물질의 증착공정을 통하여, 발광층(154) 상부의 기판(120) 전면에 제2전극(156)을 형성한다.Thereafter, through a metal material deposition process, a second electrode (156) is formed on the entire surface of the substrate (120) above the light-emitting layer (154).

예를 들어, 제2전극(156)은 알루미늄(Al) 또는 마그네슘은(MgAg)을 포함할 수 있다.For example, the second electrode (156) may include aluminum (Al) or magnesium silver (MgAg).

이상과 같이, 본 발명의 실시예에 따른 표시장치(110)에서는, 제1전극(150)의 일부를 노출하는 뱅크층 없이 제1전극(150)을 평탄화층(144) 상부에 직접 배치함으로써, 각 부화소(SP)의 발광영역(EA)을 최대화 할 수 있으며, 그 결과 휘도를 향상시킬 수 있다.As described above, in the display device (110) according to the embodiment of the present invention, by directly arranging the first electrode (150) on top of the planarization layer (144) without a bank layer exposing a portion of the first electrode (150), the light-emitting area (EA) of each subpixel (SP) can be maximized, and as a result, the brightness can be improved.

그리고, 광을 흡수하여 차단하는 차광전극(152)을 각 부화소(SP)의 회로영역(CA)에 선택적으로 배치함으로써, 회로영역(CA)의 발광층(154)에서 생성되는 광이 투명한 제1전극(150), 평탄화층(144), 보호층(140), 층간절연층(134), 기판(120)을 통과하여 외부로 방출되는 빛샘(LL)을 최소화 할 수 있으며, 그 결과 영상의 표시품질을 향상시킬 수 있다.And, by selectively arranging a light-blocking electrode (152) that absorbs and blocks light in the circuit area (CA) of each subpixel (SP), light leakage (LL) emitted to the outside by light generated in the light-emitting layer (154) of the circuit area (CA) passing through the transparent first electrode (150), the planarization layer (144), the protective layer (140), the interlayer insulating layer (134), and the substrate (120) can be minimized, and as a result, the display quality of the image can be improved.

또한, 광을 흡수하여 차단하는 차광전극(152)을 각 부화소(SP)의 회로영역(CA)에 선택적으로 배치함으로써, 회로영역(CA)의 발광층(154)에서 생성되는 광이 투명한 제1전극(150), 평탄화층(144), 보호층(140), 층간절연층(134)을 통과하여 반도체층(128)에 조사되는 것을 최소화 할 수 있으며, 그 결과 회로영역(CA)의 스위칭 박막트랜지스터(Tsw), 구동 박막트랜지스터(Tdr), 센싱 박막트랜지스터(Tse)의 열화를 방지할 수 있다.In addition, by selectively arranging a light-blocking electrode (152) that absorbs and blocks light in the circuit area (CA) of each subpixel (SP), it is possible to minimize light generated in the light-emitting layer (154) of the circuit area (CA) from passing through the transparent first electrode (150), the planarization layer (144), the protective layer (140), and the interlayer insulating layer (134) and being irradiated onto the semiconductor layer (128), and as a result, deterioration of the switching thin film transistor (Tsw), the driving thin film transistor (Tdr), and the sensing thin film transistor (Tse) of the circuit area (CA) can be prevented.

그리고, 투과부(TA), 반투과부(HTA) 및 차단부(BA)를 갖는 노광마스크(PM)를 이용하는 1회의 노광식각공정으로 제1전극(150) 및 차광전극(152)을 형성함으로써, 제조공정을 간소화 하고 제조비용을 절감할 수 있다. In addition, by forming the first electrode (150) and the light-shielding electrode (152) through a single exposure etching process using an exposure mask (PM) having a transmissive portion (TA), a semi-transmissive portion (HTA), and a blocking portion (BA), the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 표시장치의 제1전극 및 차광전극의 투과율을 도시한 그래프로서, 도 1 내지 도 3g를 함께 참조하여 설명한다.FIG. 4 is a graph showing the transmittance of the first electrode and the light-shielding electrode of the display device according to an embodiment of the present invention, which will be described with reference to FIGS. 1 to 3g.

도 4에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 표시장치(110)의 제1전극(150) 및 차광전극(152)은 약 380nm 내지 약 780nm의 파장의 광에 대하여 약 10% 미만의 투과율을 가질 수 있다.As illustrated in FIG. 4, the first electrode (150) and the light-shielding electrode (152) of the display device (110) according to the embodiment of the present invention may have a transmittance of less than about 10% for light having a wavelength of about 380 nm to about 780 nm.

예를 들어, 제1전극(150)은 인듐 틴 옥사이드(ITO)로 이루어지고 약 100nm의 두께를 갖고, 차광전극(152)은 몰리브덴 티타늄(MoTi)으로 이루어지고 약 30nm의 두께를 가질 수 있다. For example, the first electrode (150) may be made of indium tin oxide (ITO) and have a thickness of about 100 nm, and the light-shielding electrode (152) may be made of molybdenum titanium (MoTi) and have a thickness of about 30 nm.

그리고, 제1전극(150) 및 차광전극(152)은, 약 450nm의 파장의 광에 대하여 약 4%의 투과율을 갖고, 약 500nm의 파장의 광에 대하여 약 4.69%의 투과율을 갖고, 약 550nm의 파장의 광에 대하여 약 5%의 투과율을 갖고, 약 650nm의 파장의 광에 대하여 약 6%의 투과율을 가질 수 있다. And, the first electrode (150) and the light-shielding electrode (152) can have a transmittance of about 4% for light having a wavelength of about 450 nm, a transmittance of about 4.69% for light having a wavelength of about 500 nm, a transmittance of about 5% for light having a wavelength of about 550 nm, and a transmittance of about 6% for light having a wavelength of about 650 nm.

즉, 몰리브덴 티타늄(MoTi)의 차광전극(152)은 상대적으로 낮은 투과율을 가지며, 인듐 틴 옥사이드(ITO)의 제1전극(150) 및 몰리브덴 티타늄(MoTi)의 차광전극(152)은 차광역할을 할 수 있다. That is, the light-shielding electrode (152) of molybdenum titanium (MoTi) has a relatively low transmittance, and the first electrode (150) of indium tin oxide (ITO) and the light-shielding electrode (152) of molybdenum titanium (MoTi) can play a light-shielding role.

이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 표시장치(110)에서는, 인듐 틴 옥사이드(ITO)의 제1전극(150)과 몰리브덴 티타늄(MoTi)의 차광전극(152)을 이용하여 발광영역(EA)의 발광층(154)의 광은 외부로 방출하고 회로영역(CA)의 발광층(154)의 광은 차단함으로써, 빛샘(LL)을 최소화 하고 구동소자의 열화를 방지할 수 있다. In this way, in the display device (110) according to the embodiment of the present invention, the light of the light emitting layer (154) of the light emitting area (EA) is emitted to the outside and the light of the light emitting layer (154) of the circuit area (CA) is blocked by using the first electrode (150) of indium tin oxide (ITO) and the light-shielding electrode (152) of molybdenum titanium (MoTi), thereby minimizing light leakage (LL) and preventing deterioration of the driving element.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the present invention has been described above with reference to preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various modifications and changes may be made to the present invention without departing from the technical spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below.

110: 표시장치 120: 기판
122: 차광층 Tdr: 구동 박막트랜지스터
142: 컬러필터층 150: 제1전극
152: 차광전극 154: 발광층
156: 제2전극 Del: 발광다이오드
110: Display device 120: Board
122: Shading layer Tdr: Driving thin film transistor
142: Color filter layer 150: First electrode
152: Shading electrode 154: Light-emitting layer
156: Second electrode Del: Light-emitting diode

Claims (20)

발광영역 및 회로영역을 갖는 적어도 하나의 부화소를 포함하는 기판과;
상기 기판 상부의 상기 회로영역에 배치되는 적어도 하나의 박막트랜지스터와;
상기 적어도 하나의 박막트랜지스터 상부에 배치되는 평탄화층과;
상기 평탄화층 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 배치되는 제1전극과;
상기 평탄화층 상부의 상기 회로영역에 배치되는 차광전극과;
상기 제1전극 및 상기 차광전극 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 배치되는 발광층과;
상기 발광층 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 배치되는 제2전극
을 포함하고,
상기 차광전극은, 상기 제1전극 및 상기 발광층 사이에 배치되는 표시장치.
A substrate comprising at least one subpixel having a light-emitting region and a circuit region;
At least one thin film transistor arranged in the circuit area on the upper portion of the substrate;
A planarizing layer disposed on at least one thin film transistor;
A first electrode arranged in the light-emitting region and the circuit region on the upper part of the flattening layer;
A light-shielding electrode arranged in the circuit area on the upper part of the flattening layer;
A light-emitting layer arranged in the light-emitting region and the circuit region above the first electrode and the light-shielding electrode;
A second electrode arranged in the light-emitting region and the circuit region on the upper portion of the light-emitting layer
Including,
A display device in which the above-mentioned light-shielding electrode is positioned between the first electrode and the above-mentioned light-emitting layer.
제 1 항에 있어서,
상기 제1전극은 투명도전물질을 포함하고, 상기 차광전극은 불투명 금속물질을 포함하는 표시장치.
In paragraph 1,
A display device wherein the first electrode includes a transparent conductive material and the light-shielding electrode includes an opaque metal material.
제 2 항에 있어서,
상기 제1전극은 인듐 틴 옥사이드를 포함하고, 상기 차광전극은 몰리브덴 티타늄을 포함하는 표시장치.
In the second paragraph,
A display device wherein the first electrode comprises indium tin oxide and the light-shielding electrode comprises molybdenum titanium.
제 1 항에 있어서,
상기 차광전극은 상기 제1전극의 상부 또는 하부에서 상기 제1전극에 접촉되는 표시장치.
In paragraph 1,
A display device in which the above-mentioned light-shielding electrode contacts the first electrode at an upper or lower portion of the first electrode.
제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 박막트랜지스터는,
상기 기판 상부의 회로영역에 배치되는 반도체층과;
상기 반도체층의 중앙부 상부에 배치되는 게이트절연층과;
상기 게이트절연층 상부에 배치되는 게이트전극과;
상기 반도체층의 양 단부에 연결되는 소스전극 및 드레인전극
을 포함하는 표시장치.
In paragraph 1,
At least one of the above thin film transistors,
A semiconductor layer arranged in a circuit area on the upper portion of the above substrate;
A gate insulating layer disposed on the upper central portion of the semiconductor layer;
A gate electrode arranged on the upper portion of the gate insulating layer;
Source electrode and drain electrode connected to both ends of the above semiconductor layer
A display device including:
제 5 항에 있어서,
상기 반도체층에 대응되는 기판 상부에 배치되는 차광층과;
상기 차광층과 상기 반도체층 사이에 배치되는 버퍼층과;
상기 반도체층과 상기 소스전극 및 상기 드레인전극 사이에 배치되는 층간절연층과;
상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 상기 평탄화층 사이에 배치되는 보호층
을 더 포함하는 표시장치.
In paragraph 5,
A light-shielding layer disposed on the upper portion of the substrate corresponding to the semiconductor layer;
A buffer layer disposed between the light-shielding layer and the semiconductor layer;
An interlayer insulating layer disposed between the semiconductor layer and the source electrode and the drain electrode;
A protective layer disposed between the source electrode, the drain electrode, and the planarization layer
A display device further comprising:
제 6 항에 있어서,
상기 보호층과 상기 평탄화층 사이의 상기 발광영역에 배치되는 컬러필터층을 더 포함하는 표시장치.
In paragraph 6,
A display device further comprising a color filter layer disposed in the light-emitting area between the protective layer and the flattening layer.
기판 상부의 적어도 하나의 부화소의 발광영역 및 회로영역 중 상기 회로영역에 적어도 하나의 박막트랜지스터를 형성하는 단계와;
상기 적어도 하나의 박막트랜지스터 상부에 평탄화층을 형성하는 단계와;
상기 평탄화층 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 제1전극을 형성하는 단계와;
상기 평탄화층 상부의 상기 회로영역에 차광전극을 형성하는 단계와;
상기 제1전극 및 상기 차광전극 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 발광층을 형성하는 단계와;
상기 발광층 상부의 상기 발광영역 및 상기 회로영역에 제2전극을 형성하는 단계
를 포함하고,
상기 차광전극은, 상기 제1전극 및 상기 발광층 사이에 배치되는 표시장치의 제조방법.
A step of forming at least one thin film transistor in a circuit region among the light-emitting region and circuit region of at least one subpixel on the upper part of the substrate;
A step of forming a planarization layer on top of at least one thin film transistor;
A step of forming a first electrode in the light-emitting region and the circuit region on the upper part of the flattening layer;
A step of forming a light-shielding electrode in the circuit area on the upper part of the flattening layer;
A step of forming a light-emitting layer in the light-emitting region and the circuit region above the first electrode and the light-shielding electrode;
A step of forming a second electrode in the light-emitting region and the circuit region on the upper portion of the light-emitting layer.
Including,
A method for manufacturing a display device, wherein the above-mentioned light-shielding electrode is placed between the first electrode and the above-mentioned light-emitting layer.
제 8 항에 있어서,
상기 제1전극을 형성하는 단계와 상기 차광전극을 형성하는 단계는,
상기 평탄화층 상부에 투명도전물질층 및 불투명도전물질층을 순차적으로 형성하는 단계와;
투과부, 반투과부 및 차단부를 갖는 노광마스크를 이용하여 상기 투명도전물질층 및 상기 불투명도전물질층을 식각하여 상기 평탄화층 상부에 상기 제1전극 및 상기 차광전극을 순차적으로 형성하는 단계
를 포함하는 표시장치의 제조방법.
In Article 8,
The step of forming the first electrode and the step of forming the light-shielding electrode are,
A step of sequentially forming a transparent conductive material layer and an opaque conductive material layer on top of the above flattening layer;
A step of sequentially forming the first electrode and the light-shielding electrode on top of the planarization layer by etching the transparent conductive material layer and the opaque conductive material layer using an exposure mask having a transparent portion, a semi-transparent portion, and a blocking portion.
A method for manufacturing a display device including:
제 9 항에 있어서,
상기 노광마스크를 이용하여 상기 제1전극 및 상기 차광전극을 형성하는 단계는,
상기 불투명도전물질층 상부에 포토레지스트층을 형성하는 단계와;
상기 노광마스크를 통하여 상기 포토레지스트층을 노광하여 상기 불투명도전물질층 상부에 제1두께의 제1포토레지스트패턴과 상기 제1두께보다 작은 제2두께의 제2포토레지스트패턴을 형성하는 단계와;
상기 제1 및 제2포토레지스트패턴을 식각마스크로 이용하여 상기 불투명도전물질층 및 상기 투명도전물질층을 식각하여 상기 제1전극을 형성하는 단계와;
상기 제2포토레지스트패턴을 제거하는 단계와;
상기 제1포토레지스트패턴을 식각마스크로 이용하여 상기 불투명도전물질층을 식각하여 상기 차광전극을 형성하는 단계
를 포함하는 표시장치의 제조방법.
In Article 9,
The step of forming the first electrode and the light-shielding electrode using the above exposure mask is,
A step of forming a photoresist layer on top of the above opaque conductive material layer;
A step of exposing the photoresist layer through the exposure mask to form a first photoresist pattern having a first thickness and a second photoresist pattern having a second thickness smaller than the first thickness on the upper portion of the opaque conductive material layer;
A step of forming the first electrode by etching the opaque conductive material layer and the transparent conductive material layer using the first and second photoresist patterns as an etching mask;
A step of removing the second photoresist pattern;
A step of forming the light-shielding electrode by etching the opaque conductive material layer using the first photoresist pattern as an etching mask.
A method for manufacturing a display device including:
제 10 항에 있어서,
상기 노광마스크의 상기 차단부는 상기 회로영역에 대응되고, 상기 노광마스크의 상기 반투과부는 상기 발광영역에 대응되고, 상기 노광마스크의 상기 투과부는 상기 적어도 하나의 부화소의 경계부에 대응되는 표시장치의 제조방법.
In Article 10,
A method for manufacturing a display device, wherein the blocking portion of the exposure mask corresponds to the circuit area, the semi-transparent portion of the exposure mask corresponds to the light-emitting area, and the transmissive portion of the exposure mask corresponds to the boundary of at least one subpixel.
제 8 항에 있어서,
상기 제1전극을 형성하는 단계와 상기 차광전극을 형성하는 단계는,
상기 평탄화층 상부에 제1마스크공정을 통하여 상기 차광전극을 형성하는 단계와;
상기 차광전극 상부에 제2마스크공정을 통하여 상기 제1전극을 형성하는 단계
를 포함하는 표시장치의 제조방법.
In Article 8,
The step of forming the first electrode and the step of forming the light-shielding electrode are,
A step of forming the light-shielding electrode through a first mask process on the upper part of the flattening layer;
A step of forming the first electrode through a second mask process on top of the above light-shielding electrode
A method for manufacturing a display device including:
제 8 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 박막트랜지스터를 형성하는 단계는,
상기 기판 상부의 회로영역에 반도체층을 형성하는 단계와;
상기 반도체층의 중앙부 상부에 게이트절연층을 형성하는 단계와;
상기 게이트절연층 상부에 게이트전극을 형성하는 단계와;
상기 반도체층의 양 단부에 연결되는 소스전극 및 드레인전극을 형성하는 단계
를 포함하는 표시장치의 제조방법.
In Article 8,
The step of forming at least one thin film transistor comprises:
A step of forming a semiconductor layer in a circuit area on the upper portion of the substrate;
A step of forming a gate insulating layer on the upper central portion of the semiconductor layer;
A step of forming a gate electrode on top of the gate insulating layer;
A step of forming a source electrode and a drain electrode connected to both ends of the semiconductor layer.
A method for manufacturing a display device including:
제 13 항에 있어서,
상기 반도체층에 대응되는 기판 상부에 차광층을 형성하는 단계와;
상기 차광층과 상기 반도체층 사이에 버퍼층을 형성하는 단계와;
상기 반도체층과 상기 소스전극 및 상기 드레인전극 사이에 층간절연층을 형성하는 단계와;
상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 상기 평탄화층 사이에 보호층을 형성하는 단계
를 더 포함하는 표시장치의 제조방법.
In Article 13,
A step of forming a light-shielding layer on the upper part of the substrate corresponding to the semiconductor layer;
A step of forming a buffer layer between the light-blocking layer and the semiconductor layer;
A step of forming an interlayer insulating layer between the semiconductor layer and the source electrode and the drain electrode;
A step of forming a protective layer between the source electrode, the drain electrode, and the planarization layer
A method for manufacturing a display device further comprising:
제 14 항에 있어서,
상기 보호층과 상기 평탄화층 사이의 상기 발광영역에 컬러필터층을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시장치의 제조방법.
In Article 14,
A method for manufacturing a display device, further comprising the step of forming a color filter layer in the light-emitting area between the protective layer and the flattening layer.
제 1 항에 있어서,
상기 차광전극은, 상기 제1전극 및 상기 발광층 사이에서 상기 제1전극 및 상기 발광층에 전면적으로 접촉되는 표시장치.
In paragraph 1,
A display device in which the above-mentioned light-shielding electrode is in full contact with the first electrode and the light-emitting layer between the first electrode and the light-emitting layer.
제 1 항에 있어서,
상기 발광층은 상기 기판 전면에 대응되도록 배치되는 표시장치.
In paragraph 1,
A display device in which the above light-emitting layer is arranged to correspond to the entire surface of the substrate.
제 6 항에 있어서,
상기 소스전극은 상기 차광층의 일 단부에 연결되는 표시장치.
In paragraph 6,
A display device in which the above source electrode is connected to one end of the above light-shielding layer.
제 7 항에 있어서,
상기 게이트전극에 연결되는 게이트배선을 더 포함하고,
상기 제1전극은 상기 적어도 하나의 박막트랜지스터, 상기 컬러필터층, 상기 게이트배선을 덮도록 배치되는 표시장치.
In paragraph 7,
Further comprising a gate wiring connected to the above gate electrode,
A display device in which the first electrode is arranged to cover at least one thin film transistor, the color filter layer, and the gate wiring.
제 1 항에 있어서,
상기 제1전극은 뱅크층 없이 상기 발광층에 전면적으로 접촉되는 표시장치.
In paragraph 1,
A display device in which the above first electrode makes full contact with the above light-emitting layer without a bank layer.
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