KR19980030956A - Control Method of Semiconductor Process Element - Google Patents
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Abstract
사고발생시 연관되는 공정요소를 판단기준으로 하여 사고발생의 공정요소를 제어할 수 있도록 개선시킨 반도체 공정요소의 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of controlling a semiconductor process element that is improved to control a process element of an accident on the basis of a process criterion associated with an accident.
본 발명은, 각각의 공정요소를 데이터베이스로 구축시켜 상기 공정요소를 관리 및 감시하기 위한 반도체 공정요소의 제어방법에 있어서, 공정수행시 상기 각 공정요소의 관리 및 감시 수행 중 사고가 발생하는 단계, 상기 데이터베이스의 이용으로 상기 사고발생이 일어난 공정요소와 연계되는 공정요소를 판단기준으로 하여 상기 사고발생의 공정요소 제어를 분석 및 판단하는 단계 및 상기 제어판단의 제공으로 상기 사고발생 공정요소를 제어하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.The present invention provides a method of controlling a semiconductor process element for managing and monitoring each process element by constructing each process element in a database, wherein an accident occurs during the process of managing and monitoring each process element, Analyzing and determining process element control of the accident occurrence based on the process element associated with the process element where the accident occurred by using the database and controlling the accident occurrence process element by providing the control panel. Characterized by comprising a step.
따라서, 본 발명에 의하면 사고발생을 최소화시켜 생산성이 향상되는 효과가 있다.Therefore, the present invention has the effect of minimizing the occurrence of accidents to improve productivity.
Description
본 발명은 반도체 공정요소의 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 사고발생시 연관되는 공정요소를 판단기준으로 하여 사고발생의 공정요소를 제어할 수 있도록 개선시킨 반도체 공정요소의 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for controlling a semiconductor process element, and more particularly, to a method for controlling a semiconductor process element improved to control a process element of an accident occurrence based on a process criterion associated with an accident.
일반적으로 반도체 제조라인에는 많은 제조설비들이 구비되고, 이러한 제조설비에서 제공되는 각각의 공정요소를 항상 관리 및 감시하고 있다.In general, a semiconductor manufacturing line is equipped with many manufacturing facilities, and each process element provided by such manufacturing facilities is always managed and monitored.
그리고 반도체 제조는 아무리 사소한 부분이라도 공정수행에 영향을 미치기 때문에 그 관리 및 감시를 소홀히 할 수 없는 것이다.And semiconductor manufacturing cannot neglect its management and monitoring because even the smallest part affects process performance.
그래서 이러한 공정요소를 감시 및 관리하기 위하여 종래에는 각 설비의 센서(Sensor)에서 제공하는 각 공정요소의 정보데이터(Data)를 데이터베이스(Database)로 구축하여 각 공정요소의 상황 및 이상여부 등을 모니터링(Monitoring)하였다.Therefore, in order to monitor and manage such process elements, conventionally, the information data of each process element provided by the sensor of each facility is built into a database to monitor the status and abnormality of each process element. (Monitoring).
그리고 모니터링 수행 중 사고발생시에는 공정수행과는 독립적으로 해당 공정요소를 제공하는 설비를 제어하였다.In the event of an accident during monitoring, the facility that provided the process elements was controlled independently of the process.
그러나 종래에는 사고발생의 상황이 공정에 어떤 영향을 주는지 여부나 어떤 공정요소를 제어하여야 하는지에 대한 분석 및 조치작업은 작업자의 숙련도에 의지하여 수동으로 처리하였다.However, in the related art, analysis and action on how an accident situation affects a process or which process elements should be controlled were manually processed based on the skill of the operator.
즉, 제조공정의 모든 공정요소에 대한 관리 및 감시는 각 공정요소를 제공하는 설비의 모니터링 결과로 이루어졌고, 사고발생시 그 분석 및 조치에 관련된 모든 제어는 작업자가 수동으로 제어하는 것이었다.In other words, the management and monitoring of all process elements of the manufacturing process consisted of the monitoring results of the facilities providing each process element, and in case of an accident, all the control related to the analysis and action was manually controlled by the operator.
또한 작업자의 숙련도에 의존하기 때문에 사고발생의 예방관리가 힘들었다.In addition, the prevention and management of accidents was difficult because it depends on the skill of the worker.
따라서 종래에는 수동으로 제어가 이루어졌기 때문에 많은 시간이 소요되었고, 또한 신속한 조치가 이루어지지 않아 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다.Therefore, in the related art, since manual control was made, it took a lot of time, and there was a problem in that productivity was lowered because a quick action was not taken.
본 발명의 목적은, 사고발생시 신속한 조치 및 사고예방으로 생산성을 향상시키기 위한 반도체 공정요소의 제어방법을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for controlling a semiconductor process element for improving productivity by rapid action and accident prevention in case of an accident.
도1은 본 발명에 따른 반도체 공정요소의 제어방법의 실시예를 나타내는 순서도이다.1 is a flowchart showing an embodiment of a method for controlling a semiconductor process element according to the present invention.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 공정요소의 제어방법은, 각각의 공정요소를 데이터베이스로 구축시켜 상기 공정요소를 관리 및 감시하기 위한 반도체 공정요소의 제어방법에 있어서, 공정수행시 상기 각 공정요소의 관리 및 감시 수행 중 사고가 발생하는 단계, 상기 데이터베이스의 이용으로 상기 사고발생이 일어난 공정요소와 연계되는 공정요소를 판단기준으로 하여 상기 사고발생의 공정요소 제어를 분석 및 판단하는 단계 및 상기 제어판단의 제공으로 상기 사고발생 공정요소를 제어하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.In the method of controlling a semiconductor process element according to the present invention for achieving the above object, in the method of controlling a semiconductor process element for managing and monitoring the process element by constructing each process element in a database, An accident occurs during the management and monitoring of process elements, analyzing and determining the control of the process element of the accident on the basis of the process element associated with the process element where the accident occurred due to the use of the database; It characterized in that it comprises a step of controlling the accident occurrence process element by providing the control panel.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도1은 본 발명에 따른 반도체 공정요소의 제어방법의 실시예를 나타내는 순서도이다.1 is a flowchart showing an embodiment of a method for controlling a semiconductor process element according to the present invention.
먼저, 단계 S2에서 제조설비의 센서에서 제공하는 각 공정요소의 정보데이터를 데이터베이스로 구축하고, 단계 S4에서 공정수행 중 각 공정요소의 상황을 관리 및 감시하는 구성이다.First, in step S2, information data of each process element provided by the sensor of the manufacturing facility is constructed as a database, and in step S4, the state of each process element during the process is managed and monitored.
여기서 공정요소의 상황 및 관리는 주로 모니터를 통하여 이루어진다.The situation and management of the process elements is mainly through monitoring.
그리고 단계 S6에서 사고가 발생되면, 단계 S8에서는 데이터베이스를 이용하여 사고발생 공정요소와 연계되는 공정요소를 판단기준으로 하여 사고발생의 공정요소 제어를 분석 및 판단하는 구성이다.And if an accident occurs in step S6, in step S8 is a configuration for analyzing and determining the control of the process element of the accident by using the database as a criterion of the process element associated with the accident process element.
여기서 사고발생 공정요소의 제어의 분석 및 판단은 각 제조라인에 구비되는 메인호스트(Main Host)를 이용하여 이루어진다.In this case, the analysis and determination of the control of the accident-producing process element is performed using a main host provided in each manufacturing line.
그리고 단계 S10에서는 S8에서의 분석 및 판단을 기준으로 사고발생의 공정요소를 제어하는 구성이다.In step S10, the process element of the occurrence of the accident is controlled based on the analysis and judgment in S8.
여기서 사고발생의 공정요소의 제어는 메인호스트에서 제공되는 정보를 입력받아 제어를 수행할 수 있도록 프로그래밍(Programing)이 입력되는 제어기를 이용하여 각 설비의 공정요소를 제어하면 된다.Here, the control of the process element of the accident occurs by controlling the process element of each facility by using a controller (Programming) is input to perform the control by receiving the information provided from the main host.
그리고 단계 S8에서 사고발생의 공정요소와 연계되는 공정요소가 존재하지 않는 등의 분석 및 판단이 이루지면, 단계 S12에서 그 사고발생상황을 백업화일(Backup File)로 저장하고, 단계 S14에서 에러(Error)처리를 하는 구성이다.When the analysis and determination is made that there is no process element associated with the process element of the accident in step S8, the accident occurrence state is stored as a backup file in step S12, and an error ( Error).
이러한 본 발명의 제어는 독립적이고 수동적으로 이루어지던 공정요소의 제어체계를 각 공정요소와 상호 연계되는 자동공정관리체계로 구축시키는 것이다.The control of the present invention is to build a control system of the process elements that were independently and manually made into an automatic process management system that is interconnected with each process element.
즉, 사고발생의 공정요소와 연계분석을 통하여 신속한 조치를 취할 수 있고, 또한 동일한 사고발생에 대해서는 예측제어를 통하여 사고를 사전에 방지할 수 있다.In other words, it is possible to take prompt measures through linkage analysis with process elements of accident occurrence, and prevent accidents in advance through predictive control for the same accident occurrence.
그러므로 본 발명의 제어는 연관제어체계를 통하여 신속한 조치 및 예측제어로 사고발생을 최소화시킬 수 있다.Therefore, the control of the present invention can minimize the occurrence of accidents through rapid action and predictive control through the associated control system.
따라서, 본 발명에 의하면 사고발생을 최소화시켜 생산성이 향상되는 효과가 있다.Therefore, the present invention has the effect of minimizing the occurrence of accidents to improve productivity.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960050437A KR19980030956A (en) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | Control Method of Semiconductor Process Element |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR1019960050437A KR19980030956A (en) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | Control Method of Semiconductor Process Element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980030956A true KR19980030956A (en) | 1998-07-25 |
Family
ID=66315874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960050437A Withdrawn KR19980030956A (en) | 1996-10-30 | 1996-10-30 | Control Method of Semiconductor Process Element |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR19980030956A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100303321B1 (en) * | 1999-05-20 | 2001-09-26 | 박종섭 | Appratus for controlling abnormal lot in automization system to produce semiconductor and control method using the same |
| KR100538812B1 (en) * | 1999-06-22 | 2005-12-23 | 주식회사 하이닉스반도체 | Method for solving problem when generating queue of auto guide vehicle in diffusion area for manufacturing semiconductor and computer readable medium |
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1996
- 1996-10-30 KR KR1019960050437A patent/KR19980030956A/en not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100303321B1 (en) * | 1999-05-20 | 2001-09-26 | 박종섭 | Appratus for controlling abnormal lot in automization system to produce semiconductor and control method using the same |
| KR100538812B1 (en) * | 1999-06-22 | 2005-12-23 | 주식회사 하이닉스반도체 | Method for solving problem when generating queue of auto guide vehicle in diffusion area for manufacturing semiconductor and computer readable medium |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 19961030 |
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