KR20000027759A - 히팅 챔버의 동작체크회로 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 장비에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 히팅챔버의 동작상태를 체크하기 위한 히팅챔버의 동착체크회로에 관한 것이다. 본 발명은 그의 내부에 히팅소자가 배치되고, 이 히팅소자의 히팅영역은 다수의 히티영역으로 분할되며, 각 히팅영역에는 파워라인을 통해 파워가 인가되고, 히팅소자의 온도를 써모커플을 통해 측정하는 히팅챔버의 동작체크회로에 있어서, 각각의 히팅소자의 히팅영역으로 파워를 공급하기 위한 파워라인의 출력부에 각각 설치된 다수의 전류계와; 상기 전류계의 출력신호에 의해 구동되는 릴레이와; 상기 릴레이에 DC 24V를 공급하기 위한 전압계와; 상기 릴레이로부터 발생된 신호를 입력하여 알람 및 인터록등을 디스플레이 시켜주는 인터록보드와; 상기 인터록보드를 제어하기 위한 콘트롤러를 구비한다.

Description

히팅 챔버의 동작체크회로

본 발명은 반도체 장비에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 히팅챔버의 동작상태를 체크하기 위한 히팅챔버의 동착체크회로에 관한 것이다.

도 1은 종래의 히팅 챔버를 도시한 것이다. 도 1을 참조하면, 종래의 히팅챔버는 그의 내부에 히팅소자(20)가 배치되고, 이 히팅소자(20)의 히팅영역은 제1 내지 제5영역으로 분할된다. 히팅소자(20)의 제1 내지 제5히팅영역에는 교류 208V 의 전압이 인가되는 트랜스포머(TRS1)의 2차측 전압이 각각의 제어소자(Silicon Controlled Rectifier) 및 퓨즈(SCR1, F1) - (SCR5, F5)를 통해 인가되어 히팅되고, 히팅소자의 온도는 써모커플(60)을 통해 측정된다.

상기한 바와같은 종래의 히팅챔버는 트랜스포머(TRS1)를 통해 파워가 전력제어소자인 SCR 및 퓨즈로 된 파워라인(power line)을 통해 히팅소자(20)의 각 히팅영역으로 공급된다.

반도체 제조공정에서, 온도는 프로세스상에서 두께, 균일도, 파티클에 직접적인 영향을 미치는 요소이므로, 온도의 정밀한 콘트롤이 매우 중요하다. 따라서, 정밀하게 온도를 콘트롤하기 위해서 히팅소자(20)의 히팅영역을 여러 영역으로 분할하고, 각 분할된 히팅영역으로 파워를 인가하여 발열체인 히팅소자(20)를 통해 열을 발생하였다.

그러나, 종래의 히팅챔버는 다음과 같은 문제점이 있었다. 첫째로, 히팅소자로의 파워공급에 문제가 있는 경우, 즉, 다수의 분할된 히팅영역중 어느 하나의 영역에 대해 파워라인 즉, SCR 이나 퓨즈에 문제가 발생하였거나, 또는 히팅소자의 노후화 및 단선등의 문제가 발생되었을 경우에는 에러가 검출되지 않는 문제점이 있었다.

온도이상에 대해서는 써모커플이라는 열전대를 사용하여 검출하는데, 히팅챔버내의 히팅소자에는 상기한 바와같이 다수의 분할된 히팅영역으로 파워가 공급되기 때문에 어느 하나의 히팅영역에 대한 파워라인에 문제가 발생하여도 다른 히티영역에는 정상적으로 파워가 인가되므로 써머커플은 어느 정도 온도를 검출할 수 있기 때문에 정학하게 온도이상을 검출할 수 없는 문제점이 있었다. 정확하게 온도이상이 검출되지 않기 때문에 프로세스 진행후에 런(run)상에 문제가 발생된다.

둘째로, 온도 콘트롤에 대한 불량으로 시스템 체크가 요구될 때, 측정기기를 사용하여 불량을 체크하여야 하므로, 이러한 체크에 시간이 많이 소요됨과 아울러 장비가동시간에 대한 문제점이 발생하였다.

본 발명은 상기한 바와같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 히팅소자의 다수의 분할된 히팅영역으로 파워를 공급하기 위한 파워라인에 전류계를 설치하여 파워라인 및 히팅소자의 이상을 용이하게 검출할 수 있는 히팅소자의 동작체크회로를 제공하는 데 그 목적이 있다.

도 1은 종래의 히팅 챔버의 회로도,

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 히팅 챔버의 동작체크회로의 상세도,

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

TRS : 트랜스포머 40 : 파워라인

SCR11-SCR15 : 전력제어소자 F11-F15 : 퓨즈

71, CM11-CM15 : 전류계 60 : 히팅소자

70 : 써모커플 73 : 릴레이

72 : 전원부 74 : 안전 인터록보드

75 : 콘트롤러

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명은 그의 내부에 히팅소자가 배치되고, 이 히팅소자의 히팅영역은 다수의 히티영역으로 분할되며, 각 히팅영역에는 파워라인을 통해 파워가 인가되고, 히팅소자의 온도를 써모커플을 통해 측정하는 히팅챔버의 동작체크회로에 있어서, 각각의 히팅소자의 히팅영역으로 파워를 공급하기 위한 파워라인의 출력부에 각각 설치된 다수의 전류계와; 상기 전류계의 출력신호에 의해 구동되는 릴레이와; 상기 릴레이에 DC 24V를 공급하기 위한 전압계와; 상기 릴레이로부터 발생된 신호를 입력하여 알람 및 인터록등을 디스플레이 시켜주는 인터록보드와; 상기 인터록보드를 제어하기 위한 콘트롤러를 구비하는 히팅챔버의 동작체크회로를 제공하는 것을 특징으로 한다.

이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.

첨부한 도면 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 히팅챔버의 동작체크회로의 상세도를 도시한 것이다, 도 2를 참조하면, 본 발명의 히팅챔버는 그의 내부에 히팅소자(50)가 배치되고, 이 히팅소자(50)의 히팅영역은 다수의 히티영역, 예를 들면 제1 내지 제5영역으로 분할된다. 히팅소자(50)의 제1 내지 제5히팅영역에는 트랜스포머(TRS1)를 통해 파워가 파워라인을 구성하는 SCR 및 퓨즈(SCR11, F11) - (SCR15, F15)를 통해 각각 인가되고, 히팅소자의 온도는 써모커플(60)을 통해 측정된다.

또한, 본 발명의 히팅챔버의 동작체크회로는 각각의 히팅소자(50)의 히팅영역으로 파워를 공급하기 위한 파워라인에 각각 전류계(71, CM1-CM5)를 설치하고, 전류계(71)의 출력신호에 의해 구동되는 릴레이(73)와 상기 릴레이(73)에 DC 24V를 공급하기 위한 전압계(72)와, 상기 릴레이(73)로부터 발생된 신호를 입력하여 알람 및 인터록 등의 문제발생을 디스플레이 시켜주는 인터록보드(74)와, 상기 인터록보드(74)를 제어하기 위한 콘트롤러(75)를 구비한다.

상기한 바와같은 본 발명의 히팅 챔버의 동작체크회로의 동작을 설명하면 다음과 같다.

트랜스포머(TRS11)를 통해 파워가 전력제어소자인 SCR 및 퓨즈로 구성된 파워라인을 통해 히팅소자(50)의 각 히팅영역으로 공급되고, 파워라인의 출력부에 설치된 전류계(CM1-CM5)에 의해 파워라인의 이상을 체크한다.

즉, SCR 또는 퓨즈에 단선이 발생되는 경우, 또는 히팅소자가 단선되는 경우에 전류계는 0V를 가리키게 되고, 전류계의 신호에 의해 릴레이(73)가 동작을 하고, 이에 따라 릴레이(73)의 출력신호는 안전인터록보드(safty interlock board) (74)로 인가되어 콘트롤러(75)의 콘트롤에 따라 알람 및 인터록등의 문제발생을 디스플레이하게 된다.

본 발명에서는 전류계를 사용자가 모니터링이 필요한 범위, 예를 들면 0V 로 세팅하여 파워라인의 단선을 체크하게 된다. 한편, SCR 의 이상을 체크하고자 하는 경우에느 모니터링 범위를 히팅챔버의 최대전류로 세팅한 다음 최대파워를 공급하여 정확하게 파워가 공급되는지의 여부도 체크할 수 있다. 이때, SCR 에 이상이 발생하는 경우에는 전류계를 통해 최대전류는 측정되지 않는다.

또한, 본 발명에서는 파워공급이 온도 콘트롤에 따라 0부터 최대전압까지 공급이 이루어지므로, 공정스텝에 따라 파워의 공급이 되지 않는 스텝이 존재하게 되는데, 이러한 스텝에서는 전류계의 신호를 무시할 수 있도록 콘트롤러(75)를 통해 콘트롤하여야 한다.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명에 의하면, 히팅소자에 파워를 공급하는 파워라인 및 히팅소자의 상태를 파악하는 것이 가능하므로, 히팅장비에 대한 관리가 이루어질 수 있으며, 이러한 안정된 히팅장비의 관리로 온도의 콘트롤문제를 해결할 수 있어 프로세스상에서 발생하는 막두께, 균일도 및 파티클 불량의 발생을 사전에 방지할 수 있으므로 프로세스상에서의 질을 향상시킬 수 있다. 또한, 온도에 대한 문제발생에 대한 시스템의 체크가 요구되는 경우 발생된 문제를 용이하게 파악하는 것이 가능하므로 장비가동시간에 큰 효과를 가져올 수 있다.

기타, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.

Claims (1)

1. 그의 내부에 히팅소자가 배치되고, 이 히팅소자의 히팅영역은 다수의 히티영역으로 분할되며, 각 히팅영역에는 파워라인을 통해 파워가 인가되고, 히팅소자의 온도를 써모커플을 통해 측정하는 히팅챔버의 동작체크회로에 있어서,

   각각의 히팅소자의 히팅영역으로 파워를 공급하기 위한 파워라인의 출력부에 각각 설치된 다수의 전류계와;

   상기 전류계의 출력신호에 의해 구동되는 릴레이와;

   상기 릴레이에 DC 24V를 공급하기 위한 전압계와;

   상기 릴레이로부터 발생된 신호를 입력하여 알람 및 인터록등을 디스플레이 시켜주는 인터록보드와;

   상기 인터록보드를 제어하기 위한 콘트롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 히팅챔버의 동작체크회로.