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KR20030070678A - Method for manufacturing liquid crystal display device - Google Patents

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KR20030070678A
KR20030070678A KR1020020010170A KR20020010170A KR20030070678A KR 20030070678 A KR20030070678 A KR 20030070678A KR 1020020010170 A KR1020020010170 A KR 1020020010170A KR 20020010170 A KR20020010170 A KR 20020010170A KR 20030070678 A KR20030070678 A KR 20030070678A
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liquid crystal
bonded
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이상석
박상호
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 액정 적하 방식의 액정표시장치 제조 방법에 관한 것으로, 제 1 기판과, 실재가 형성된 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정과, 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정과, 상기 실재에 열을 가하여 상기 합착된 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정과, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어진 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device of a liquid crystal dropping method, comprising: loading a first substrate, a second substrate on which a substance is formed into a combiner chamber, bonding the first and second substrates together; And applying the heat to the material to fix the bonded first and second substrates, and unloading the fixed first and second substrates.

Description

액정 표시 장치의 제조 방법{Method for manufacturing liquid crystal display device}Method for manufacturing liquid crystal display device

본 발명은 액정표시장치의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 액정 적하 방식의 액정표시장치 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly, to a method for manufacturing a liquid crystal display device of a liquid crystal dropping method.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, the LCD (Lipuid Crystal Display Device), PDP (Plasma Display Panel), ELD (Electro Luminescent Display), and VFD (Vacuum Fluorescent) Various flat panel display devices such as displays have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as the substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for mobile image display because of its excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. In addition to the use of the present invention, a variety of applications such as a television, a computer monitor, and the like for receiving and displaying broadcast signals have been developed.

이와 같이 액정표시장치가 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시장치가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.As described above, although various technical advances have been made in order for a liquid crystal display device to serve as a screen display device in various fields, the task of improving the image quality as a screen display device is often arranged with the above characteristics and advantages. . Therefore, in order to use a liquid crystal display device in various parts as a general screen display device, the key to development is how much high definition images such as high definition, high brightness, and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness, and low power consumption. It can be said.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 일정 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 유리 기판과, 상기 제 1, 제 2 유리 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.Such a liquid crystal display may be largely divided into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel has a predetermined space and is bonded to the first and second glass substrates. And a liquid crystal layer injected between the first and second glass substrates.

여기서, 상기 제 1 유리 기판 (TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성된다.The first glass substrate (TFT array substrate) may include a plurality of gate lines arranged in one direction at a predetermined interval, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and A plurality of pixel electrodes formed in a matrix form in each pixel region defined by crossing each gate line and data line, and a plurality of thin films that transmit signals of the data line to each pixel electrode by being switched by signals of the gate line Transistors are formed.

그리고 제 2 유리 기판(칼라필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 칼라 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성된다.The second glass substrate (color filter substrate) includes a black matrix layer for blocking light in portions other than the pixel region, an R, G and B color filter layer for expressing color colors, and a common electrode for implementing an image. Is formed.

이와 같은 상기 제 1, 제 2 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 액정 주입구를 갖는 실(seal)재에 의해 합착되어 상기 두 기판사이에 액정이 주입된다.The first and second substrates are bonded to each other by a seal material having a predetermined space by a spacer and having a liquid crystal injection hole, so that the liquid crystal is injected between the two substrates.

이 때, 액정 주입 방법은 상기 실재에 의해 합착된 두 기판 사이를 진공 상태를 유지하여 액정 액에 상기 액정 주입구가 잠기도록 하면 삼투압 현상에 의해 액정이 두 기판 사이에 주입된다. 이와 같이 액정이 주입되면 상기 액정 주입구를 밀봉재로 밀봉하게 된다.At this time, in the liquid crystal injection method, the liquid crystal is injected between the two substrates by osmotic pressure when the liquid crystal injection hole is immersed in the liquid crystal liquid by maintaining the vacuum state between the two substrates bonded by the real material. When the liquid crystal is injected as described above, the liquid crystal injection hole is sealed with a sealing material.

그러나 이와 같은 일반적인 액정 주입식 액정표시장치의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the manufacturing method of such a liquid crystal injection type liquid crystal display device has the following problems.

첫째, 단위 패널로 컷팅한 후, 두 기판 사이를 진공 상태로 유지하여 액정 주입구를 액정액에 담가 액정을 주입하므로 액정 주입에 많은 시간이 소요되므로 생산성이 저하된다.First, after cutting into a unit panel, the liquid crystal injection hole is immersed in the liquid crystal liquid by maintaining the vacuum state between the two substrates, so that the liquid crystal injection takes a lot of time, the productivity is reduced.

둘째, 대면적의 액정표시장치를 제조할 경우, 액정 주입식으로 액정을 주입하면 패널내에 액정이 완전히 주입되지 않아 불량의 원인이 된다.Second, in the case of manufacturing a large-area liquid crystal display device, when the liquid crystal is injected by the liquid crystal injection method, the liquid crystal is not completely injected into the panel, which causes a defect.

셋째, 상기와 같이 공정이 복잡하고 시간이 많이 소요되므로 여러개의 액정 주입 장비가 요구되어 많은 공간을 요구하게 된다.Third, since the process is complicated and time-consuming as described above, several liquid crystal injection equipment is required, which requires a lot of space.

따라서, 최근에는 액정을 적하하는 방법을 이용한 액정표시장치의 제조 방법이 연구되고 있다. 그 중 일본 공개특허공보 2000-147528호에 다음과 같은 액정 적하 방식을 이용한 기술이 개시되어 있다.Therefore, in recent years, the manufacturing method of the liquid crystal display device using the method of dropping a liquid crystal is researched. Among them, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-147528 discloses a technique using the following liquid crystal dropping method.

이와 같은 액정 적하 방식을 이용한 종래의 액정표시장치의 제조 방법을 설명하면 다음과 같다.The manufacturing method of the conventional liquid crystal display device using the liquid crystal dropping method is as follows.

도 1a 내지 1f는 종래의 액정 적하 방식에 따른 액정표시장치의 공정 단면도이다.1A to 1F are cross-sectional views of a liquid crystal display device according to a conventional liquid crystal dropping method.

도 1a와 같이, 박막트랜지스터 어레이가 형성된 제 1 유리 기판(3)에 자외선 경화형 실재(1)를 약 30㎛ 두께로 도포하고, 상기 실재(1) 안쪽(박막트랜지스터 어레이 부분)에 액정(2)을 적하한다. 이 때, 상기 실재(3)는 액정 주입구가 없이 형성된다.As shown in FIG. 1A, an ultraviolet curable material 1 is applied to the first glass substrate 3 on which the thin film transistor array is formed to have a thickness of about 30 μm, and the liquid crystal 2 is disposed inside the material 1 (a thin film transistor array). Dropping At this time, the real material 3 is formed without a liquid crystal injection hole.

상기와 같은 제 1 유리 기판(3)을 수평방향으로 이동 가능한 진공 용기(C)내의 테이블(4)상에 탑재하고, 상기 제 1 유리 기판(3)의 하부 표면 전면을 제 1 흡착기구(5)로 진공 흡착하여 고정시킨다.The first glass substrate 3 as described above is mounted on the table 4 in the vacuum container C that is movable in the horizontal direction, and the entire lower surface of the first glass substrate 3 is mounted on the first adsorption mechanism 5. ) By vacuum adsorption.

도 1b와 같이, 칼라필터 어레이가 형성된 제 2 유리 기판(6)의 하부 표면 전면을 제 2 흡착기구(7)로 진공 흡착하여 고정하고, 진공 용기(C)를 닫아 진공시킨다. 그리고, 상기 제 2 흡착기구(7)를 수직방향으로 하강시켜 상기 제 1 유리 기판(3)과 제 2 유리 기판(6)의 간격을 1mm로 하고, 상기 제 1 유리 기판(3)을 탑재한 상기 테이블(4)을 수평 방향으로 이동시켜 상기 제 1 유리 기판(3)과 제 2 유리 기판(6)의 위치를 맞춘다.As shown in Fig. 1B, the entire lower surface of the second glass substrate 6 on which the color filter array is formed is vacuum-adsorbed and fixed by the second adsorption mechanism 7, and the vacuum vessel C is closed and vacuumed. Then, the second adsorption mechanism 7 is lowered in the vertical direction so that the distance between the first glass substrate 3 and the second glass substrate 6 is 1 mm, and the first glass substrate 3 is mounted. The table 4 is moved in the horizontal direction to align the position of the first glass substrate 3 and the second glass substrate 6.

도 1c와 같이, 상기 제 2 흡착기구(7)를 수직방향으로 하강시켜 상기 제 2 유리 기판(6)과 액정(2) 또는 실재(1)를 접촉시킨다.As shown in FIG. 1C, the second adsorption mechanism 7 is lowered in the vertical direction to bring the second glass substrate 6 into contact with the liquid crystal 2 or the actual material 1.

도 1d와 같이, 상기 제 1 유리 기판(3)을 탑재한 상기 테이블(4)을 수평 방향으로 이동시켜 상기 제 1 유리 기판(3)과 제 2 유리 기판(6)의 위치를 맞춘다.As shown in FIG. 1D, the table 4 on which the first glass substrate 3 is mounted is moved in the horizontal direction to adjust the position of the first glass substrate 3 and the second glass substrate 6.

도 1e와 같이, 상기 제 2 흡착기구(7)를 수직방향으로 하강시켜 제 2 유리 기판(6)을 상기 실재(1)를 통해 제 1 유리 기판(3)에 접합하고, 5㎛까지 가압한다.As shown in FIG. 1E, the second adsorption mechanism 7 is lowered in the vertical direction to bond the second glass substrate 6 to the first glass substrate 3 through the actual material 1, and to press to 5 μm. .

도 1f와 같이, 상기 진공 용기(C)로부터 상기 접합된 제 1, 제 2 유리기판(3, 6)을 꺼내어 상기 실재(1)에 자외선 조사하여 상기 실재(1)를 경화시켜 액정표시장치를 완성한다.As shown in FIG. 1F, the bonded first and second glass substrates 3 and 6 are removed from the vacuum container C, and the ultraviolet rays are irradiated to the actual substance 1 to cure the actual substance 1 so that a liquid crystal display device is obtained. Complete

상기에서 실재(1)는 액정표시장치의 액티브 영역을 둘러싸는 메인 실재와 더미 실재를 의미한다.In this case, the real material 1 refers to a main material and a dummy material surrounding the active area of the liquid crystal display.

그러나, 이와 같은 종래의 액정 적하 방식의 액정표시장치의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the conventional method of manufacturing the liquid crystal display device of the liquid crystal dropping method has the following problems.

첫째, 동일 기판에 실재를 형성하고 액정을 적하하므로 두 기판을 합착하기 전까지의 공정 시간이 많이 소요된다.First, since the actual material is formed on the same substrate and the liquid crystal is dropped, the process time until joining the two substrates takes a lot.

둘째, 상기 제 1 기판에는 실재가 도포되고 액정이 적하된 반면 상기 제 2 기판에는 어떤 공정도 수행되지 않으므로 제 1 기판과 제 2 기판의 공정 간에 불균형(Unbalance)이 발생되어 생산 라인을 효율적으로 가동하기 곤란하다.Second, since a real material is applied to the first substrate and liquid crystal is dropped, but no process is performed on the second substrate, an unbalance occurs between the processes of the first substrate and the second substrate, thereby efficiently operating the production line. Difficult to do

셋째, 상기 제 1 기판에 실재가 도포되고 액정이 적하되므로 합착하기 전에 세정 장비(USC)에서 실재가 도포된 기판을 세정을 할 수 없게된다. 따라서, 상하 기판을 합착하는 실재를 세척할 수 없어 파티클을 제거하지 못하고, 합착 시 실재 접촉 불량 발생을 야기한다.Third, since the substance is applied to the first substrate and the liquid crystal is dropped, the substrate to which the substance is applied cannot be cleaned by the cleaning equipment USC before bonding. Therefore, it is not possible to wash the material to which the upper and lower substrates are bonded, so that the particles cannot be removed, resulting in the actual contact failure during the bonding.

넷째, 기판 크기가 대형화 함에 따라 합착 후 언로딩 공정 또는 후속 공정을 위해 기판을 이송 시, 기판이 고정되지 않아 틀어짐(misalign)이 발생할 수 있다.Fourth, as the size of the substrate increases, misalignment may occur because the substrate is not fixed when the substrate is transferred for unloading or subsequent processing after bonding.

다섯째, 기판 크기가 대형화 함에 따라, 후속 공정에서 실재를 경화할 때까지 합착 상태를 유지하기 어렵다.Fifth, as the substrate size increases, it is difficult to maintain the bonding state until the actual hardening of the substrate is performed in a subsequent process.

여섯째, 기판의 틀어짐이 발생하면, 기판 사이의 액정에 유동이 발생하여 액정 배향 불량의 원인이 된다.Sixth, when the substrate is distorted, flow occurs in the liquid crystal between the substrates, which causes a liquid crystal alignment defect.

일곱째, 기판의 틀어짐이 발생하면, 상하 기판의 정렬이 틀어져 개구율이 저하될 수 있다.Seventh, when the substrate is misaligned, the alignment of the upper and lower substrates may be misaligned, thereby decreasing the aperture ratio.

여덟 번째, 액정의 배향 불량이 발생하면, 스크래치(scratch) 등의 얼룩과 휘도와 관련된 얼룩이 발생할 수 있다.Eighth, when a misalignment of the liquid crystal occurs, spots such as scratches and spots associated with luminance may occur.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 공정 시간을 단축시키고 효율을 극대화하여 생산성을 향상시킬 수 있는 액정 적하 방식의 액정표시장치 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a liquid crystal display device of a liquid crystal dropping method which can improve the productivity by shortening the process time and maximizing the efficiency.

도 1a 내지 1f는 종래의 액정 적하 방식의 액정표시장치 공정을 도시한 모식적 단면도1A to 1F are schematic cross-sectional views showing a conventional liquid crystal display method of a liquid crystal display device.

도 2a 내지 2f는 본 발명에 따른 액정 적하 방식의 액정표시장치 공정을 도시한 모식적 단면도2a to 2f are schematic cross-sectional views showing a liquid crystal display device process of the liquid crystal dropping method according to the present invention.

도 3는 본 발명에 따른 합착 공정 순서도3 is a bonding process flow chart according to the present invention

도 4는 본 발명 제 1 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도4 is a real layout view for explaining the fixing according to the first embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명 제 2 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도5 is a real layout view illustrating the fixing according to the second embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명 제 3 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도6 is a real layout view for explaining the fixing according to the third embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명 제 4 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도7 is a real layout view illustrating the fixing according to the fourth embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명 제 5 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도8 is a real layout view for explaining the fixing according to the fifth embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명 제 6 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 실재 레이 아웃도9 is a real layout view for explaining the fixing according to the sixth embodiment of the present invention.

도 10은 도 4의 I-I'선상의 상하부 스테이지 및 기판 단면도10 is a cross-sectional view of the upper and lower stages and the substrate on the line II ′ of FIG. 4.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10 : 진공 합착기 챔버11, 13 : 유리 기판10 vacuum vacuum chamber 11, 13 glass substrate

12 : 액정14 : 실재12: liquid crystal 14: real

14a : 메인 실재14b : 더미 실재14a: main entity 14b: dummy entity

15 : 상부 스테이지16 : 하부 스테이지15: upper stage 16: lower stage

17 : 홀18a, 18b : 광(UV) 조사 핀 또는 열 기구17: hole 18a, 18b: light (UV) irradiation pin or heat mechanism

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 제 1 기판과, 실재가 형성된 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정과, 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정과, 상기 실재에 열을 가하여 합착된 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정과, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어짐에 그 특징이 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, including: loading a first substrate, a second substrate on which an actual material is formed into a combiner chamber, and bonding the first and second substrates together. And a step of fixing the first and second substrates bonded to each other by applying heat to the material, and a step of unloading the fixed first and second substrates.

여기서, 상기 실재는 열 경화성 물질로 이루어짐이 바람직하다.Here, the actual material is preferably made of a thermosetting material.

상기 실재에 부분적으로 열을 가하여 고정함이 바람직하다.It is preferable to fix part by applying heat to the said substance.

상기 실재는 열 경화성 물질의 메인 실재와 고정용 실재를 구비하고, 상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 상기 고정용 실재에 열을 가하여 합착된 두 기판을 고정함이 바람직하다.The actual material includes a main material of the thermosetting material and a fixing material, and the fixing of the bonded substrates is preferably performed by applying heat to the fixing material to fix the two bonded substrates.

상기 고정용 실재는 기판의 가장자리에 형성함이 바람직하다.The fixing material is preferably formed at the edge of the substrate.

상기 고정용 실재는 각 패널 사이의 컷팅 부분 및 기판의 가장자리에 형성함이 바람직하다.The fixing material is preferably formed at the cutting portion between each panel and the edge of the substrate.

상기 실재는, 복수개의 패널부에 적하된 액정을 밀봉하기 위한 복수개의 메인 실재와, 상기 복수개의 메인 실재를 보호하기 위한 더미 실재와, 상기 합착된 두 기판을 고정하기 위한 고정용 실재를 열 경화성 실재로 구비하고, 상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 상기 고정용 실재에 열을 가하여 상기 합착된 두 기판을 고정하는 공정을 구비하여 이루어짐이 바람직하다.The actual material is heat curable for a plurality of main materials for sealing the liquid crystal dropped on the plurality of panel parts, a dummy material for protecting the plurality of main materials, and a fixing material for fixing the two bonded substrates. It is preferable that the step of fixing the bonded substrate is provided with a real material, and is provided with a step of fixing the two bonded substrates by applying heat to the fixing material.

상기 실재는, 복수개의 패널부에 적하된 액정을 밀봉하기 위한 복수개의 메인 실재와, 상기 복수개의 메인 실재를 각각 보호하기 위한 복수개의 더미 실재를 열 경화성 실재로 구비하고, 상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 상기 더미 실재에 열을 가하여 상기 합착된 두 기판을 고정하는 공정을 구비하여 이루어짐이 바람직하다.The actual material includes a plurality of main materials for sealing liquid crystals dropped on the plurality of panel portions, and a plurality of dummy materials for protecting the plurality of main materials, respectively, as thermosetting materials, and fix the bonded substrate. It is preferable that the process is carried out by applying a heat to the dummy material, the step of fixing the two bonded substrates.

상기 더미 실재에 부분적으로 열을 가하여 상기 합착된 기판을 고정함이 바람직하다.It is preferable to fix the bonded substrate by partially applying heat to the dummy material.

상기 실재를 압력 경화성 실재로 형성하고 상기 열 대신에 압력을 가하여 상기 합착된 기판을 고정함이 바람직하다.It is preferable to form the substance as a pressure curable substance and to fix the bonded substrate by applying pressure instead of the heat.

상기 실재를 광 및 열 경화성 실재로 형성하고 상기 열 대신에 광 및 열을 가하여 상기 합착된 기판을 고정함이 바람직하다.It is preferable to form the material into a light and heat curable material and to fix the bonded substrate by applying light and heat instead of the heat.

제 2 기판의 컷팅 부분 또는 가장자리 부분에 상기 실재보다 경화성이 우수한 접착제를 별도로 도포하고, 상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 상기 접착제에 의해 합착된 기판을 고정함이 바람직하다.It is preferable to apply the adhesive which is excellent in sclerosis | hardenability rather than the said real thing to the cutting part or the edge part of a 2nd board | substrate, and to fix the said bonded board | substrate, to fix the board | substrate bonded by the said adhesive agent.

상기 고정 공정 시, 열 조건은 50 ∼200℃의 온도로 함이 바람직하다.At the time of the said fixing process, it is preferable to make thermal conditions into the temperature of 50-200 degreeC.

상기 온도에서 10초 이상 열을 가함이 바람직하다.It is preferred to apply heat for at least 10 seconds at this temperature.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 액정이 적하되고 메인 실재가 도포된 제 1 기판과, 열 경화성 물질의 고정용 실재가 도포된 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정과, 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정과, 상기 고정용 실재에 열을 가하여 합착된 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정과, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.In addition, the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the present invention for achieving the above object comprises a first substrate on which a liquid crystal is dropped and the main substance is applied, and a second substrate on which a substance for fixing the thermosetting material is coated. A process of loading into the combiner chamber, a process of bonding the first and second substrates, a process of fixing the bonded first and second substrates by applying heat to the fixing material, and the fixed first, Another feature is that it comprises a process of unloading the second substrate.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 액정이 적하되고 열 경화성 고정용 실재가 형성된 제 1 기판과, 메인 실재가 형성된 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정과, 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정과, 상기 고정용 실재에 열을 가하여 합착된 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정과, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.In addition, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention for achieving the above object, a liquid crystal is dropped, the first substrate on which the thermosetting fixing material is formed, and the second substrate on which the main material is formed is placed in the adapter chamber. A process of loading, bonding the first and second substrates, fixing the bonded first and second substrates by applying heat to the fixing material, and fixing the first and second substrates. Another feature is that the process includes an unloading process.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법은, 액정이 적하되고 메인 실재 및 열 경화성 고정용 실재가 형성된 제 1 기판과, 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정과, 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정과, 상기 고정용 실재에 열을 가하여 합착된 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정과, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.In addition, the manufacturing method of the liquid crystal display device according to the present invention for achieving the above object, the first substrate and the second substrate in which the liquid crystal is dropped, the main material and the heat-curable fixing material is formed, and the second substrate is loaded into the adapter chamber. A step of attaching the first and second substrates, a step of fixing the first and second substrates bonded by applying heat to the fixing material, and the fixed first and second substrates. Another feature is that it comprises a loading process.

상기에서, 상기 고정용 실재를 압력 경화성 물질로 형성하고 상기 고정하는 공정에서 열 대신 압력을 가하여 기판을 고정함이 바람직하다.In the above, the fixing material is formed of a pressure curable material, and in the fixing process, it is preferable to fix the substrate by applying pressure instead of heat.

상기에서, 상기 고정용 실재를 광 및 열 경화성 물질로 형성하고 상기 고정하는 공정에서 열 대신 광 및 열을 가하여 기판을 고정함이 바람직하다.In the above, it is preferable to fix the substrate by applying light and heat instead of heat in the process of forming the fixing material of the light and heat curable material and the fixing.

이와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention having such a feature will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a 내지 2f는 본 발명에 따른 액정표시장치의 공정을 도시한 모식적 단면도이다.2A to 2F are schematic cross-sectional views showing the process of the liquid crystal display device according to the present invention.

도 2a와 같이, 제 1 유리 기판(11)에 액정(12)을 적하하고, 제 2 유리 기판(13)에 실재(14)를 형성한다. 여기서, 상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13) 중 하나의 기판에는 복수개의 패널이 설계되어 각 패널에 박막트랜지스터 어레이가 형성되며, 나머지 기판에는 상기 각 패널에 상응하도록 복수개의 패널이 설계되어 각 패널에 블랙매트릭스층, 칼라 필터층 및 공통전극 등이 구비된 칼라필터 어레이가 형성된다. 설명을 쉽게하기 위하여 박막트랜지스터 어레이가 형성된 기판을 제 1 유리 기판(11)이라 하고, 칼라 필터 어레이가 형성된 기판을 제 2 유리 기판(13)이라 한다.2A, the liquid crystal 12 is dripped at the 1st glass substrate 11, and the real material 14 is formed in the 2nd glass substrate 13. As shown in FIG. Here, a plurality of panels are designed on one of the first and second glass substrates 11 and 13 to form a thin film transistor array on each panel, and on the remaining substrates, a plurality of panels are designed to correspond to each panel. As a result, a color filter array including a black matrix layer, a color filter layer, a common electrode, and the like is formed in each panel. For ease of explanation, the substrate on which the thin film transistor array is formed is called a first glass substrate 11, and the substrate on which a color filter array is formed is called a second glass substrate 13.

여기서, 상기 합착 공정을 보다 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Here, the bonding process is described in more detail as follows.

도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치의 합착 공정 순서도이다.3 is a flowchart illustrating a bonding process of the liquid crystal display according to the present invention.

본 발명에 따른 합착 공정은 크게 합착기 챔버에 두 기판을 로딩하는 공정, 상기 두 기판을 합착하는 공정, 상기 동일 챔버내에서 합착된 기판의 실재를 경화시켜 고정하는 공정; 그리고 상기 합착된 두 기판을 진공 합착기 챔버로부터 언로딩하는 공정으로 구분할 수 있다.The bonding process according to the present invention includes the steps of: loading two substrates into a large chamber, bonding the two substrates, and curing and fixing a substance of the substrate bonded in the same chamber; In addition, the bonded two substrates may be divided into a process of unloading the vacuum combiner chamber.

먼저, 상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 상기 진공 합착기 챔버내로 로딩하기 전에, 상기 실재가 도포된 제 2 유리 기판(13)은 USC(Ultra Sonic Cleaner)에서 세정되어 공정 중에 발생된 파티클을 제거한다. 즉, 제 2 유리 기판(13)은 액정이 적하되지 않고 실재가 도포되어 있으므로 세정이 가능하다.First, before loading the first and second glass substrates 11 and 13 into the vacuum adhering chamber, the second glass substrate 13 coated with the actual material is cleaned in a USC (Ultra Sonic Cleaner) and in process Remove generated particles. That is, since the liquid crystal is not dripped but the actual material is apply | coated to the 2nd glass substrate 13, cleaning is possible.

그리고, 로딩하는 공정은, 도 2b와 같이, 실재(sealant)(14)가 도포된 제 2 유리 기판(13)을 실재(14)가 도포된 부분이 하 방향을 향하도록 하여 진공 합착기 챔버(10)의 상부 스테이지(15)에 진공 흡착법으로 고정시키고(31S), 액정(12)이 적하된 제 1 유리 기판(11)을 진공 합착기 챔버(10)의 하부 스테이지(16)에 진공 흡착법으로 고정시킨다(32S). 이 때, 상기 진공 합착기 챔버(10)는 대기 상태를 유지한다.And the loading process is a vacuum adhering chamber (FIG. 2B), so that the part to which the real material 14 was apply | coated may be directed to the 2nd glass substrate 13 to which the real material 14 was apply | coated as shown in FIG. The first glass substrate 11 on which the liquid crystal 12 is dripped is fixed to the upper stage 15 of the vacuum cleaner chamber 10 by the vacuum suction method (31S). It is fixed (32S). At this time, the vacuum adapter chamber 10 maintains the standby state.

이를 구체적으로 설명하면, 실재(sealant)(14)가 도포된 제 2 유리 기판(13)을 실재(14)가 도포된 부분이 하 방향을 향하도록 로봇(도면에는 도시되지 않음)의 로더(Loader)가 제 2 유리 기판을 취부하여 진공 합착기 챔버(10) 내로 위치시킨다. 이 상태에서 상기 진공 합착기 챔버(10)의 상부 스테이지(15)가 하강하여 상기 제 2 유리 기판(13)을 진공 흡착법으로 고정한 후 상승한다. 이 때, 진공 흡착법 대신에 정전 흡착법으로 고정할 수 있다.Specifically, the loader of the robot (not shown in the drawing) has a second glass substrate 13 coated with a sealant 14 so that the portion coated with the seal 14 faces downward. ) Mounts the second glass substrate and places it into the vacuum adapter chamber 10. In this state, the upper stage 15 of the vacuum adhering chamber 10 descends to fix the second glass substrate 13 by vacuum adsorption, and then rise. At this time, it can be fixed by the electrostatic adsorption method instead of the vacuum adsorption method.

그리고 상기 로봇의 로더는 진공 합착기 챔버(10)를 나가고, 다시 로봇의 로더에 의해 액정(12)이 적하된 제 1 유리 기판(11)을 상기 진공 합착기 챔버(10)내의 하부 스테이지(16) 상측으로 위치시킨다.The loader of the robot exits the vacuum combiner chamber 10, and the lower stage 16 in the vacuum combiner chamber 10 is placed on the first glass substrate 11 having the liquid crystal 12 dropped by the loader of the robot. ) To the top.

상기에서, 박막트랜지스터 어레이가 형성된 상기 제 1 유리 기판(11)에 액정(12)을 적하하고 칼라필터 어레이가 형성된 제 2 유리 기판(13)에 실재를 형성한다고 언급하였으나, 상기 제 1 유리 기판(11)에 실재를 도포하고, 상기 제 2 기판에 액정을 적하할 수 있으며, 상기 두 유리 기판 중 어느 한 유리 기판에 액정도 적하하고 실재도 도포할 수도 있다. 단, 액정이 적하된 기판은 하부 스테이지에 위치시키고, 나머지 기판을 상부 스테이지에 위치시키면 된다.In the above description, although the liquid crystal 12 is dropped on the first glass substrate 11 having the thin film transistor array and the substance is formed on the second glass substrate 13 having the color filter array, the first glass substrate ( 11) a real substance can be applied, and a liquid crystal can be dripped onto the said 2nd board | substrate, and a liquid crystal can also be dripped and the real thing may be apply | coated to either of the two glass substrates. However, the board | substrate with which liquid crystal was dripped may be located in a lower stage, and the remaining board | substrate may be located in an upper stage.

그리고, 기판 리시버(substrate receiver)(도면에는 도시되지 않음)를 상기 상부 스테이지(15)에 고정된 제 2 유리 기판(13)의 바로 하측에 위치시킨다(33S). 이 때, 상기 기판 리시버를 제 2 기판에 위치시키는 방법은 다음과 같다.Subsequently, a substrate receiver (not shown) is positioned immediately below the second glass substrate 13 fixed to the upper stage 15 (33S). At this time, the method of placing the substrate receiver on the second substrate is as follows.

첫째, 상기 상부 스테이지를 하강시키거나 상기 기판 리시버를 상승시켜 상기 제 2 유리 기판과 상기 기판 리시버를 근접시킨 다음 상기 제 2 유리 기판(13)을 상기 기판 리시버위에 내려 놓는다.First, the upper stage is lowered or the substrate receiver is raised to bring the second glass substrate and the substrate receiver into close proximity, and then the second glass substrate 13 is lowered on the substrate receiver.

둘째, 상기 상부 스테이지를 1차적으로 일정 거리를 하강하고 상기 기판 리시버를 2차적으로 상승하여 상기 제 2 유리 기판(13)과 기판 리시버를 근접시킨 다음 상기 제 2 유리 기판(13)을 상기 기판 리시버위에 내려 놓는다.Second, the upper stage is first lowered by a predetermined distance and the substrate receiver is secondly raised to bring the second glass substrate 13 and the substrate receiver into close proximity, and then the second glass substrate 13 is moved to the substrate receiver. Put on top.

셋째, 상기 상부 스테이지를 하강하거나, 상기 기판 리시버를 상승하거나, 또는 상기 상부 스테이지를 1차 하강하고 기판 리시버를 2차 상승하여 상기 제 2유리 기판(13)과 상기 기판 리시버가 일정 간격을 갖도록 근접시킨 다음 상부 스테이지가 제 2 유리 기판을 흡착할 수 있다.Third, the upper stage is lowered, the substrate receiver is raised, or the upper stage is first lowered, and the substrate receiver is raised secondly so that the second glass substrate 13 and the substrate receiver have a predetermined distance. The upper stage can then adsorb the second glass substrate.

이 때, 상기 기판 리시버를 상기 제 2 유리 기판(13)의 하측에 위치시키는 이유는, 상기 각 스테이지(15, 16)가 진공 흡착법으로 제 1, 제 2 유리 기판을 흡착하고 있는 상태에서 상기 합착기 챔버(10)를 진공 상태로 만드는 동안 상기 각 스테이지의 진공보다 합착기 챔버내의 진공도가 더 높아지기 때문에 상기 스테이지가 잡고 있는 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)의 흡착력을 잃게되고, 특히 상부 스테이지에 흡착된 제 2 유리 기판이 이탈되어 상기 제 1 유리 기판(11)상에 떨어지는 것을 방지하고자 하는 것이다.At this time, the reason why the substrate receiver is positioned below the second glass substrate 13 is that the stages 15 and 16 adsorb the first and second glass substrates by a vacuum adsorption method. Since the degree of vacuum in the adapter chamber becomes higher than the vacuum of each stage while making the chamber 10 into a vacuum state, the suction force of the first and second glass substrates 11 and 13 held by the stage is lost, in particular The second glass substrate adsorbed on the upper stage is to be prevented from falling off and falling on the first glass substrate 11.

따라서, 상기 합착기 챔버를 진공 상태로 만들기 전에 상부 스테이지에 흡착된 제 2 유리 기판(13)을 상기 기판 리시버에 내려 놓거나, 제 2 유리 기판을 흡착한 상부 스테이지와 상기 기판 리시버를 일정 간격을 두고 위치시켰다가 챔버내를 진공 상태로 만드는 동안 제 2 유리 기판(13)을 상기 상부 스테이지로부터 상기 기판 리시버에 위치되도록 할 수 있다. 또한, 상기 합착기 챔버를 진공 상태로 만들기 시작하면 초기 단계에서 챔버내에 유동이 있어 기판이 움직일 수 있으므로 이를 고정하는 수단을 추가로 구성할 수도 있다.Therefore, before the vacuum chamber is brought into the vacuum state, the second glass substrate 13 adsorbed on the upper stage is placed on the substrate receiver, or the upper stage and the substrate receiver on which the second glass substrate is adsorbed are spaced at a predetermined interval. The second glass substrate 13 may be positioned from the upper stage to the substrate receiver while positioning and vacuuming the chamber. In addition, when the vacuum chamber chamber starts to be vacuumed, there may be additional means for fixing the substrate since the substrate may move due to flow in the chamber at an initial stage.

상기 진공 합착기 챔버(10)를 진공 상태로 한다(34S). 여기서, 진공 합착기 챔버(10)의 진공도는 합착하고자 하는 액정 모드에 따라 차이가 있으나, IPS 모드는 1.0 x 10-3Pa 내지 1Pa 정도로하고, TN 모드는 약 1.1 x 10-3Pa 내지 102Pa로 한다.The vacuum adhering chamber 10 is brought into a vacuum state (34S). Here, the vacuum degree of the vacuum adapter chamber 10 varies depending on the liquid crystal mode to be bonded, but the IPS mode is about 1.0 x 10 -3 Pa to 1Pa, and the TN mode is about 1.1 x 10 -3 Pa to 10 2. Let Pa.

상기에서, 진공 합착기의 챔버(10)를 2단계로 진공할 수 있다. 즉, 상기 상하부 스테이지에 각각 기판을 흡착시키고 챔버의 도어를 닫은 다음, 1차 진공을 시작한다. 그리고, 상기 기판 리시버를 상부 스테이지 하측에 위치시켜 상부 스테이지에 흡착된 기판을 상기 기판 리시버에 내려 놓거나 기판을 흡착한 상태에서 상부 스테이지와 상기 기판 리시버가 일정 간격을 유지한 후, 상기 진공 합착기 챔버를 2차 진공한다. 이 때, 1차 진공시보다 2차 진공시 더 빠르게 진공되며, 1차 진공은 상기 진공 합착기 챔버의 진공도가 상부 스테이지의 진공 흡착력보다 높지 않도록 한다.In the above, the chamber 10 of the vacuum adapter may be vacuumed in two stages. That is, the substrate is adsorbed to the upper and lower stages, the door of the chamber is closed, and the first vacuum is started. The substrate receiver is positioned below the upper stage and the substrate adsorbed on the upper stage is placed on the substrate receiver or the substrate is held at a predetermined interval while the substrate is held at the substrate receiver. Is vacuumed second. At this time, the vacuum is faster at the time of the second vacuum than at the first vacuum, and the primary vacuum ensures that the vacuum degree of the vacuum adhering chamber is not higher than the vacuum suction force of the upper stage.

또한, 진공을 1차, 2차로 구분하지 않고 상기 각 스테이지에 기판을 흡착시키고 챔버의 도어를 닫은 다음, 진공을 시작하여 진공 중에 상기 기판 리시버를 상부 스테이지 하측에 위치시킬 수 있다. 이 때, 상기 기판 리시버가 상부 스테이지 하측에 위치되는 시점은 진공 합착기 챔버의 진공도가 상부 스테이지의 진공 흡착력보다 높아기지 전에 위치되어야한다.In addition, without separating the vacuum into primary and secondary, the substrate may be adsorbed to each stage, the door of the chamber may be closed, and the vacuum may be started to place the substrate receiver under the upper stage during the vacuum. At this time, the time point at which the substrate receiver is positioned below the upper stage should be positioned before the vacuum degree of the vacuum adapter chamber becomes higher than the vacuum suction force of the upper stage.

이와 같이 진공 합착기 챔버의 진공을 2차에 걸쳐 진행하는 이유는, 상기 진공 합착기 챔버가 갑자기 진공되면 챔버내의 기판이 틀어지거나 유동될 가능성이 있기 때문에 이를 방지하기 위한 것이다.The reason why the vacuum of the vacuum adapter chamber is secondly carried out as described above is to prevent the vacuum adapter chamber from suddenly evacuating because the substrate in the chamber may be distorted or flowed.

상기 진공 합착기 챔버(10)가 일정 상태의 진공에 도달하게 되면, 상기 상하부 각 스테이지(15, 16)는 정전 흡착법(ESC; Electric Static Charge)으로 상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 고정시키고(35S), 상기 기판 리시버를 원래의 자리로위치시킨다(36S).When the vacuum adhering chamber 10 reaches the vacuum in a predetermined state, the upper and lower stages 15 and 16 are each of the first and second glass substrates 11 and 13 by an electrostatic charge (ESC) method. ) Is fixed (35S), and the substrate receiver is placed in its original position (36S).

여기서, 정전 흡착법은 스테이지에 형성된 적어도 2개 이상의 평판전극을 구비하여 상기 평판전극에 음/양의 직류 전원을 공급하여 흡착한다. 즉, 각 평판 전극에 양 또는 음의 전압이 인가되면, 상기 스테이지에 음 또는 양의 전하가 유기되고 그들 전하에 의해 유리 기판에 도전층(공통 전극 또는 화소 전극 등 투명 전극이 형성됨)이 형성되어 있으므로 상기 도전층과 스테이지 사이에 발생하는 쿨롱력으로 기판이 흡착된다. 이 때 기판의 도전층이 형성된 면이 상기 스테이지쪽에 위치될 경우는 약 0.1 내지 1KV의 전압을 인가하고, 기판의 도전층이 형성된 면이 상기 스테이지에 대향되는 쪽에 위치될 경우는 3 내지 4KV를 인가한다. 여기서, 상기 상부 스테이지상에 탄성 시트를 형성할 수도 있다.Here, the electrostatic adsorption method includes at least two or more plate electrodes formed on the stage to supply negative / positive DC power to the plate electrodes and to adsorb them. That is, when a positive or negative voltage is applied to each of the flat plate electrodes, a negative or positive charge is induced on the stage and a conductive layer (a transparent electrode such as a common electrode or a pixel electrode is formed) is formed on the glass substrate by those charges. Therefore, the substrate is adsorbed by the Coulomb force generated between the conductive layer and the stage. At this time, a voltage of about 0.1 to 1 KV is applied when the surface on which the conductive layer of the substrate is formed is located on the stage side, and 3 to 4 KV when a surface on which the conductive layer of the substrate is formed is located on the side opposite to the stage. do. Here, an elastic sheet may be formed on the upper stage.

도 2c 및 2d와 같이, 이와 같이 두 유리 기판(11, 13)이 정전 흡착법으로 각 스테이지(15, 16)에 로딩된 상태에서 상기 상부 스테이지(15)를 하강하여 상기 제 1 유리 기판(11)과 제 2 유리 기판(13)을 합착하기 위하여 가압한다(37S). 이 때, 가압하는 방법은 상부 스테이지(15) 또는 하부 스테이지(16)를 수직 방향으로 이동시켜 두 기판을 가압하며, 이 때 스테이지의 이동 속도 및 압력을 가변하여 가압한다. 즉, 제 1 유리 기판(11)의 액정(12)과 제 유리 2 기판(13)이 접촉되는 시점 또는 제 1 유리 기판(11)과 제 2 유리 기판(13)의 실재(14)가 접촉되는 시점까지는 일정 속도 또는 일정 압력으로 스테이지를 이동시키고, 접촉되는 시점부터 원하는 최종 압력까지는 점점 단계별로 압력을 상승시킨다(도 2d 참조).As shown in FIGS. 2C and 2D, the first glass substrate 11 is lowered by lowering the upper stage 15 while the two glass substrates 11 and 13 are loaded on the stages 15 and 16 by electrostatic adsorption. And pressurization (37S) to bond the 2nd glass substrate 13 together. At this time, in the pressing method, the upper stage 15 or the lower stage 16 is moved in the vertical direction to press the two substrates, and at this time, the moving speed and the pressure of the stage are varied and pressed. That is, when the liquid crystal 12 of the 1st glass substrate 11 and the 2nd glass substrate 13 contact, or the real material 14 of the 1st glass substrate 11 and the 2nd glass substrate 13 is contacted, The stage is moved at a constant speed or constant pressure up to a point in time, and the pressure is gradually increased step by step from the point of contact to the desired final pressure (see FIG. 2D).

이 때, 상부 스테이지는 하나의 축에 의해 기판을 가압하나, 여러개의 축을설치하여 각 축마다 별로의 로드 셀(load cell; 압력을 측정하는 장치)이 장착되어 각 축마다 독립적으로 가압하도록 설치할 수 있다. 따라서, 상기 하부 스테이지와 상부 스테이지가 수평이 맞지 않아 실재가 균일하게 합착되지 않을 경우에는 해당 부분의 축을 상대적으로 더 높은 압력으로 가압하거나 더 낮은 압력으로 가압하여 실재가 균일하게 합착될 수 있도록 한다.At this time, the upper stage pressurizes the substrate by one axis, but by installing several axes, a separate load cell (device for measuring pressure) can be installed to press each axis independently. have. Therefore, when the lower stage and the upper stage are not horizontally aligned and the materials are not uniformly bonded, the shafts of the corresponding portions may be pressed at a relatively higher pressure or at a lower pressure so that the materials may be uniformly bonded.

가압하여 상기 두 기판을 합착한 다음, 도 2e와 같이, 상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 합착하는 실재에 광(UV)을 조사하거나, 상기 실재에 열을 전달하여 상기 실재를 경화시켜 상기 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 고정한다(38S). 여기서, 상기 고정 공정은, 기판이 대형화(1000mm ×1200mm)되고 액정 적하 후 두 기판을 합착하기 때문에, 합착 후 다음 공정을 진행하거나 이동 시 합착된 두 기판이 틀어져 오 정렬이 발생될 가능성이 높다. 따라서, 합착 후 다음 공정을 진행하거나 이동 시 합착된 두 기판의 오 정렬이 발생됨을 방지하고 합착된 상태를 유지시키기 위하여 고정하는 것이다.After pressing and bonding the two substrates, as shown in FIG. 2E, light (UV) is irradiated to a material to which the first and second glass substrates 11 and 13 are bonded, or heat is transferred to the material. Hardening to fix the first and second glass substrates 11 and 13 (38S). Here, in the fixing process, since the substrate is enlarged (1000 mm x 1200 mm) and the two substrates are bonded after the dropping of the liquid crystal, the two substrates joined together may be misaligned during the next process or movement after the bonding. Therefore, the fixing is performed to prevent misalignment of the two bonded substrates during the next process or movement after bonding and to maintain the bonded state.

여기서, 상기 고정 방법을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Here, the fixing method will be described in more detail as follows.

먼저, 상기 고정 방법은, 상기 합착 챔버내에서 이루어지며, 이 때 합착기 챔버는 진공 또는 대기 상태를 유지한다. 그리고 합착 공정이 이루어진 다음 고정 공정을 진행함이 바람직하나 공정 시간을 단축하기 위하여 합착 공정이 완료되기 전에 진행될 수도 있다. 그리고, 공정을 단순화시키기 위하여 고정용 실재를 메인 실재와 동일한 재료를 이용하는 것이 바람직하나, 고정 효율을 향상시키기 위하여 메인 실재와 다른 재료를 이용할 수 있다. 상기 고정용 실재로는 광(UV) 경화성 수지, 열 경화성 수지, 광(UV) 및 열 경화성 수지, 압력 경화성 수지, 또는 접착력이 높은 재료를 사용할 수 있다. 여기서, 광 경화성 수지는 광(UV) 경화성 수지를 포함하며, 광(UV) 경화성 수지를 사용할 경우, 광(UV) 조사 조건은 50∼500mW의 광(UV)을 5∼40초 동안 조사한다. 바람직하게는 200mW의 광(UV)을 약 14초 조사한다. 그리고, 열 경화성 수지를 사용할 경우, 고정용 실재의 물질에 따라 가변될 수 있으나 50 내지 200℃의 온도를 약 10초 이상 가한다. 따라서, 합착된 기판 고정 방법은 광, 열, 광 및 열, 또는 압력 등을 이용하여 고정할 수 있다. 상기 고정용 실재를 형성하는 위치는 메인 실재와 동일한 기판에 형성하거나 다른 기판에 형성할 수 있다.First, the fixing method is performed in the coalescing chamber, wherein the coalescing chamber is maintained in a vacuum or standby state. In addition, it is preferable to proceed with the fixing process after the bonding process is made, but may be performed before the bonding process is completed in order to shorten the process time. And, in order to simplify the process, it is preferable to use the same material as the main material as the fixing material, but a material different from the main material may be used to improve the fixing efficiency. As the fixing material, a light (UV) curable resin, a thermosetting resin, a light (UV) and a thermosetting resin, a pressure curable resin, or a material having high adhesive strength may be used. Here, the photocurable resin includes a light (UV) curable resin, and when the light (UV) curable resin is used, the light (UV) irradiation condition irradiates 50 to 500 mW of light (UV) for 5 to 40 seconds. Preferably, 200 mW of light (UV) is irradiated for about 14 seconds. And, in the case of using a thermosetting resin, but may vary depending on the material of the fixing material, a temperature of 50 to 200 ℃ is added to about 10 seconds or more. Therefore, the bonded substrate fixing method can be fixed using light, heat, light and heat, or pressure. The position for forming the fixing material may be formed on the same substrate as the main material or on a different substrate.

도 4는 본 발명에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 아웃도이고, 도 10은 도 4의 I-I'선상의 상/하부 스테이지 및 기판 단면도이다.4 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to the present invention, and FIG. 10 is a cross-sectional view of the upper and lower stages and the substrate on the line II ′ of FIG. 4.

본 발명 제 1 실시예의 합착된 기판 고정 방법은, 상술한 바와 같은 실재(14) 도포 공정 시, 상기 실재로 광(UV) 경화성 수지, 열 경화성 수지, 광(UV) 및 열 경화성 수지, 또는 압력 경화성 수지를 이용하여, 도 4와 같이, 각 패널부의 주변에 두 기판을 합착함은 물론 두 기판 사이의 액정을 밀봉하는 복수개의 메인 실재(14a)와, 합착 및 가압 공정시 내부 각 메인 실재(14a)를 보호하기 위하여 복수개의 패널부를 감싸도록 형성되는 더미 실재(14b)와, 상기 더미 실재(14b) 외곽부(기판의 가장자리 부분)에 일정 간격을 두고 형성되는 복수개의 고정용 실재(14c)를 상기 제 2 유리 기판(13)에 형성한다. 상기 더미 실재(14b)는 상기 메인 실재(14a)를 보호하기 위한 것이고 상기 고정용 실재(14c)는 단지 두 기판을 예비 고정하기 위한 것이므로 컷팅 공정 시 제거되는 것이다.The bonded substrate fixing method according to the first embodiment of the present invention is a light (UV) curable resin, a heat curable resin, a light (UV) and a heat curable resin, or a pressure during the application of the material 14 as described above. Using the curable resin, as shown in FIG. 4, the plurality of main materials 14a for bonding the two substrates to the periphery of each panel unit as well as for sealing the liquid crystal between the two substrates, and for each inner main material during the bonding and pressing process ( The dummy material 14b formed to surround the plurality of panel parts to protect 14a), and the plurality of fixing material 14c formed at regular intervals on the outer portion (edge portion of the substrate) of the dummy material 14b. Is formed on the second glass substrate 13. The dummy material 14b is for protecting the main material 14a and the fixing material 14c is only for preliminary fixing of two substrates, and thus is removed during the cutting process.

이와 같이 상기 고정용 실재(14c)를 형성하고 상기 두 기판을 합착한 다음, 그 상태에서 상기 고정용 실재(14c)에 광(UV)을 조사하여 상기 고정용 실재(14c)를 경화시키거나 상기 고정용 실재(14c)에 열을 가하여 상기 고정용 실재(14c)를 경화시켜 상기 합착된 두 기판을 고정한다. 즉, 상기 고정용 실재(14c)를 광(UV) 경화성 수지로 형성한 경우는 상기 고정용 실재(14c)에 광(UV)을 조사하여 고정하고, 상기 고정용 실재(14c)가 열 경화성 수지로 형성될 경우는 상기 고정용 실재(14c)에 열을 가하여 고정용 실재(14c)를 경화시킨다.As described above, the fixing material 14c is formed and the two substrates are bonded to each other, and then, in that state, the fixing material 14c is irradiated with light (UV) to cure the fixing material 14c or the Heat is applied to the fixing material 14c to cure the fixing material 14c to fix the two bonded substrates. That is, when the fixing material 14c is formed of a light (UV) curable resin, the fixing material 14c is irradiated with light (UV) to fix it, and the fixing material 14c is a thermosetting resin. In the case of forming, the fixing material 14c is hardened by applying heat to the fixing material 14c.

여기서, 도 10과 같이, 상기 상부 스테이지(15) 또는/그리고 하부 스테이지(16)에는 광(UV)을 조사하거나 또는 열을 가할 수 있는 복수개의 홀(hole)(17)이 형성되어 있다. 따라서, 합착전 각 기판은 각 스테이지에 정렬된 후 흡착되었으므로 상기 고정용 실재(14c)와 상기 홀(17)이 정렬되어 있다고 볼 수 있다. 따라서, 상기 홀(17)이 형성된 상부 스테이지 또는/그리고 하부 스테이지쪽에서 상기 홀(17)을 통해 상기 고정용 실재(14c)에 광(UV)을 조사하거나 열을 가하면, 상기 고정용 실재(14c)가 경화되므로 합착된 두 기판이 고정된다. 이 때, 광(UV) 조사는 광(UV)을 조사하는 광(UV) 조사 핀(Pin)(18a, 18b)이 합착기 챔버의 상측에서 하강하거나 합착기 챔버의 하측에서 상승하여 광(UV)을 고정용 실재(14c)에 조사하고 광(UV) 조사 조건은 50∼500mW의 광(UV)을 5∼40초 동안 조사한다. 바람직하게는 200mW의 광(UV)을 약 14초 조사한다. 그리고, 열로 경화시킬 경우는, 열 기구(18a, 18b)가 합착기 챔버의 상측에서 하강하거나 합착기 챔버의 하측에서상승하여 상기 홀(17)를 통과하여 상기 고정용 실재(14c)가 도포된 부분의 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)에 접촉되어 상기 고정용 실재(14c)에 열을 가한다. 열을 가하는 조건은 상기 고정용 실재의 물질에 따라 가변될 수 있으나 50 내지 200℃의 온도를 약 10초 이상 가하면 고정용 실재(14c)만 선택적으로 경화시킬 수 있다. 또한, 광(UV) 조사 및 열을 병행하여 고정시킬 수 있다.Here, as shown in FIG. 10, the upper stage 15 and / or the lower stage 16 are provided with a plurality of holes 17 for irradiating light or applying heat. Therefore, it is considered that the fixing material 14c and the hole 17 are aligned because each substrate is adsorbed after being aligned at each stage before bonding. Therefore, when the light (UV) is irradiated or heat is applied to the fixing material 14c through the hole 17 from the upper stage or / and lower stage where the hole 17 is formed, the fixing material 14c Is cured so that the two bonded substrates are fixed. At this time, the light (UV) irradiation is performed by the light (UV) irradiation pins (18a, 18b) for irradiating the light (UV) is lowered on the upper side of the adapter chamber or raised below the adapter chamber. ) Is irradiated to the fixing substance 14c, and light (UV) irradiation conditions irradiate 50 to 500 mW of light (UV) for 5 to 40 seconds. Preferably, 200 mW of light (UV) is irradiated for about 14 seconds. In the case of curing with heat, the heat mechanisms 18a and 18b descend from the upper side of the combiner chamber or rise from the lower side of the combiner chamber to pass through the hole 17 to which the fixing member 14c is applied. It contacts the 1st, 2nd glass substrate 11, 13 of a part, and heats the said fixing material 14c. The conditions for applying heat may vary depending on the material of the fixing material, but if the temperature of 50 to 200 ° C. is added for about 10 seconds or more, only the fixing material 14c may be selectively cured. In addition, light (UV) irradiation and heat can be fixed in parallel.

물론, 제 2 유리 기판에 메인 실재(14a), 더미 실재(14b) 및 고정용 실재(14c)를 형성할 수 있으나, 경우에 따라서, 더미 실재(14b) 또는 고정용 실재(14c)는 제 1 유리 기판(11)에 형성할 수 있으며, 고정용 실재(14c)는 메인 실재(14a)와 다른 물질로 형성할 수 있다. 즉, 제 1 기판(11)에 메인 실재(14a)를 형성하고 제 2 기판(13)에 고정용 실재(14c) 또는 더미 실재(14b)를 형성하거나, 제 2 기판(13)에 메인 실재(14a)를 형성하고 제 1 기판(11)에 고정용 실재(14c) 또는 더미 실재(14b)를 형성할 수 있으며, 메인 실재(14a), 더미 실재(14b) 및 고정용 실재(14c)모두를 제 1 기판(11)에 형성할 수 있다.Of course, the main material 14a, the dummy material 14b, and the fixing material 14c may be formed on the second glass substrate, but in some cases, the dummy material 14b or the fixing material 14c may be the first. It can be formed in the glass substrate 11, and the fixing material 14c can be formed from a material different from the main material 14a. In other words, the main material 14a is formed on the first substrate 11 and the fixing material 14c or the dummy material 14b is formed on the second substrate 13, or the main material 14 is formed on the second substrate 13. 14a) and the fixing material 14c or the dummy material 14b may be formed on the first substrate 11, and both the main material 14a, the dummy material 14b and the fixing material 14c may be formed. It may be formed on the first substrate 11.

도 5는 본 발명 제 2 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 아웃도이다.5 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to the second embodiment of the present invention.

본 발명 제 2 실시예의 합착된 기판 고정 방법은, 실재(광(UV) 경화성 수지, 열 경화성 수지, 광(UV) 및 열 경화성 수지, 압력 경화성 수지 등)를, 도 5와 같이, 모든 패널부를 감싸도록 제 2 기판의 가장자리에 두 기판을 합착함은 물론 두 기판 사이의 액정을 밀봉하는 메인 실재(14a)와, 합착 공정시 내부 메인 실재(14a)를 보호하기 위하여 복수개의 패널부를 감싸도록 형성되는 더미 실재(14b)를 형성하고, 상기 더미 실재(14b)에 부분적으로 광(UV)을 조사하거나 열을 가하여 두 기판을 고정시킨다.According to the bonded substrate fixing method of the second embodiment of the present invention, all panel parts are made of real (light (UV) curable resin, thermosetting resin, light (UV) and thermosetting resin, pressure curable resin, etc.) as shown in FIG. Bonding the two substrates to the edge of the second substrate as well as surrounding the main material 14a for sealing the liquid crystal between the two substrates, and formed to surround the plurality of panel parts to protect the internal main material 14a during the bonding process The dummy material 14b is formed, and the two substrates are fixed by partially irradiating or applying heat UV to the dummy material 14b.

즉, 도 4와 같은 본 발명 제 1 실시예의 고정 방법에서, 고정용 실재가 도포된 부분에 더미 실재(14b)를 도포하고 상기 더미 실재(14b)에 부분적으로 광(UV)을 조사하거나 열을 가하여 상기 더미 실재(14b)를 부분적으로 고정시킨다. 나머지 광(UV) 조사 조건 및 열을 가한 조건은 본 발명 제 1 실시예에서 설명한 바와 같고, 상기 광(UV) 및 열을 병행하여 고정할 수 있다. 도 5에서, 미 설명 부호(14d)가 상기 광(UV) 조사 및/또는 열을 가한 부분을 나타내고 있다. 여기서, 상기 더미 실재(14b)를 고정용 실재(14c)로 해석하여도 무방하다.That is, in the fixing method of the first embodiment of the present invention as shown in FIG. 4, the dummy material 14b is applied to a portion to which the fixing material is applied, and the dummy material 14b is partially irradiated with light UV or heat. To partially fix the dummy material 14b. The remaining light (UV) irradiation conditions and the conditions to which heat is applied are as described in the first embodiment of the present invention, and the light (UV) and heat can be fixed in parallel. In Fig. 5, reference numeral 14d denotes a portion to which the light (UV) irradiation and / or heat is applied. Here, the dummy real material 14b may be interpreted as the fixed real material 14c.

도 6은 본 발명 제 3 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 아웃도이다.6 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to a third embodiment of the present invention.

본 발명 제 3 실시예의 고정 방법은, 본 발명 제 1 실시예의 고정 방법에 있어서, 더미 실재를 형성하지 않고 메인 실재(14a)와 기판의 가장자리에 형성된 고정용 실재(14c)를 형성하여 상기 고정용 실재(14c)에 광(UV)을 조사하거나 열 또는 압력을 가하여 합착된 두 기판을 고정한 것이다. 나머지 조건들은 상기 제 1 실시예에서 설명한 바와 같다. 여기서, 고정용 실재(14c)를 더미 실재 모양으로 폐쇠되도록 형성하여도 무방하다.In the fixing method of the third embodiment of the present invention, in the fixing method of the first embodiment of the present invention, the fixing material 14c formed on the edge of the main material 14a and the substrate is formed without forming a dummy material. The two bonded substrates are fixed by irradiating light UV or applying heat or pressure to the actual material 14c. The remaining conditions are as described in the first embodiment. Here, the fixing member 14c may be formed so as to be closed in a dummy member shape.

도 7은 본 발명 제 4 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 아웃도이다.7 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to the fourth embodiment of the present invention.

본 발명 제 4 실시예의 합착된 기판 고정 방법은, 본 발명 제 3 실시예의 합착된 기판 고정 방법에서, 고정용 실재(14c)를 기판의 주변부(가장자리) 뿐만아니라 상기 패널부들 사이의 컷팅부분에도 일정 간격으로 고정용 실재(14c)를 형성하고 상기 각 고정용 실재(14c)에 광(UV)을 조사하거나 열 또는 압력을 가하여 합착된 두 기판을 고정한 것이다. 나머지 조건들은 상기 제 1 실시예에서 설명한 바와 같다.In the bonded substrate fixing method of the fourth embodiment of the present invention, in the bonded substrate fixing method of the third embodiment of the present invention, the fixing material 14c is not only fixed to the peripheral portions (edges) of the substrate but also to the cutting portions between the panel portions. The fixing substrates 14c are formed at intervals, and the two bonded substrates are fixed by irradiating light (UV) or applying heat or pressure to the fixing members 14c. The remaining conditions are as described in the first embodiment.

도 8은 본 발명 제 5 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 웃도이다.8 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to a fifth embodiment of the present invention.

본 발명 제 5 실시예에 따른 고정 방법은, 도 4와 같은 본 발명 제 1 실시예에서, 상기 더미 실재(14b)를 모든 패널부(메인 실재)를 감싸도록 형성하는 것이 아니라 각 패널부(메인 실재)를 각각 감싸도록 복수개의 더미 실재(14b)를 형성하고 기판의 가장자리에 고정용 실재(14c)를 형성하여 상술한 바와 같이 상기 고정용 실재(14c)에 광(UV)을 조사하거나 열 또는 압력을 가하여 합착된 두 기판을 고정한 것이다. 나머지 조건들은 상기 제 1 실시예에서 설명한 바와 같다.In the fixing method according to the fifth embodiment of the present invention, in the first embodiment of the present invention as shown in FIG. 4, the panel member (main) is not formed so as to surround all the panel parts (main material). A plurality of dummy materials 14b are formed to surround each of the materials, and a fixing material 14c is formed at the edge of the substrate. As described above, the fixing material 14c is irradiated with light (UV) or heat or The two bonded substrates were fixed by applying pressure. The remaining conditions are as described in the first embodiment.

도 9는 본 발명 제 6 실시예에 따른 고정을 설명하기 위한 기판의 레이 아웃도이다.9 is a layout view of a substrate for explaining fixing according to the sixth embodiment of the present invention.

본 발명 제 6 실시예에 따른 고정 방법은, 도 8과 같은 본 발명 제 5 실시예에서, 고정용 실재(14c)를 별도로 형성하지 않고 상기 각 패널부에 형성된 복수개의 더미 실재(14b)에 부분적으로 광(UV)을 조사하거나 열을 가하여 합착된 두 기판을 고정하는 것이다. 나머지 조건들은 상기 제 1 실시예에서 설명한 바와 같다.In the fixing method according to the sixth embodiment of the present invention, in the fifth embodiment of the present invention as shown in FIG. 8, the fixing method is partially formed in the plurality of dummy materials 14b formed in the panel portions without separately forming the fixing material 14c. This is to fix two bonded substrates by irradiating with light or applying heat. The remaining conditions are as described in the first embodiment.

또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 본 발명 제 7 실시예 따른 고정 방법으로, 기판에 별도의 더미 실재 및 고정용 실재를 형성하지 않고 상기 두 기판을 합착하는 메인 실재(광(UV) 경화성 수지,열 경화성 수지 또는 광(UV) 및 열 경화성 수지)에 부분적으로 광(UV)을 조사하거나 열을 가하여 상기 실재를 부분적으로 경화시켜 고정할 수 있다.In addition, although not shown in the drawing, in the fixing method according to the seventh embodiment of the present invention, the main material (light (UV) curable resin, heat) which bonds the two substrates without forming a separate dummy material and a fixing material on the board. The curable resin or light (UV) and heat curable resin) may be partially irradiated with light (UV) or heat to partially harden and fix the present substance.

또한, 도면에는 도시되지 않았지만, 본 발명 제 8 실시예에 따른 고정 방법으로, 상기 제 1, 제 3, 제 4, 제 5 실시예에서 고정용 실재(14c)가 형성되는 부분에 상기 고정용 실재보다 경화성이 우수한 접착제를 도포하여 상기 제 1, 제 2 유리 기판을 합착하면 상기 접착제에 의해 두 기판이 고정되도록 할 수 있다.In addition, although not shown in the drawings, in the fixing method according to the eighth embodiment of the present invention, in the first, third, fourth, and fifth embodiments, the fixing material is formed at a portion where the fixing material 14c is formed. When the adhesive having excellent curability is applied and the first and second glass substrates are bonded to each other, the two substrates may be fixed by the adhesive.

이와 같이, 상기 합착된 두 기판이 고정되면, 다음 공정을 위해 이동할 때 합착된 제 1, 제 2 유리 기판이 어긋나거나 상태가 변형됨을 방지할 수 있다.As such, when the two bonded substrates are fixed, the bonded first and second glass substrates may be prevented from being shifted or deformed when moving for the next process.

상술한 바와 같이, 두 기판이 합착되어 고정이 완료되면, 상기 정전 흡착법으로 흡착함을 정지한 다음(ESC off), 도 2f와 같이, 상기 상부 스테이지(15)를 상승시켜 상부 스테이지(15)를 상기 고정된 두 유리 기판(11, 13)으로부터 분리시킨다.As described above, when the two substrates are bonded and fixed, the adsorption is stopped by the electrostatic adsorption method (ESC off), and then the upper stage 15 is raised by raising the upper stage 15 as shown in FIG. 2F. Separate from the two fixed glass substrates 11 and 13.

그리고, 기판을 언로딩한다(38S). 즉, 상기 상부 스테이지(15)가 상승하고 로봇의 로더를 이용하여 고정된된 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 언로딩하거나, 고정된 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 상부 스테이지(15)가 흡착하여 상승한 후 로봇의 로더가 상기 상부 스테이지(16)로부터 언로딩한다.Then, the substrate is unloaded (38S). That is, the upper stage 15 rises and unloads the fixed first and second glass substrates 11 and 13 using the loader of the robot, or the fixed first and second glass substrates 11 and 13. ), The robot's loader unloads from the upper stage 16 after the upper stage 15 is absorbed and raised.

이 때, 공정 시간을 단축하기 위하여, 다음 합착 공정이 진행될 제 1 유리 기판(11) 또는 제 2 유리 기판(13) 중 하나를 스테이지에 로딩시키고 상기 고정된제 1, 제 2 유리 기판을 언로딩할 수 있다. 즉, 다음에 합착 공정이 진행될 제 2 기판을 로봇의 로더를 이용하여 상기 상부 스테이지(15)에 위치시켜 진공 흡착법으로 상부 스테이지가 제 2 기판을 흡착하도록 한 다음, 상기 하부 스테이지(16) 상의 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하거나, 상기 상부 스테이지(15)가 상기 고정된 제 1, 제 2 유리 기판(11, 13)을 흡착하여 상승하고 로봇의 로더가 다음 합착 공정이 진행될 제 1 유리 기판(11)을 상기 하부 스테이지에 로딩시킨 후 상기 고정된 제 1, 제 2 유리 기판을 언로딩 할 수 있다.At this time, in order to shorten the process time, one of the first glass substrate 11 or the second glass substrate 13 to be subjected to the next bonding process is loaded on the stage and the unloaded fixed first and second glass substrates are unloaded. can do. That is, a second substrate to be bonded next is placed on the upper stage 15 by using a loader of the robot so that the upper stage adsorbs the second substrate by vacuum adsorption, and then fixed on the lower stage 16. The first and second substrates unloaded, or the first stage 15 is lifted by the fixed first and second glass substrates 11 and 13, and the loader of the robot moves to the first bonding process. After the glass substrate 11 is loaded on the lower stage, the fixed first and second glass substrates may be unloaded.

상기에서, 기판을 합착한 후 언로딩하기 전에 상기 고정된 기판의 액정이 실재쪽으로 퍼지도록하는 액정 퍼짐 공정을 추가로 진행할 수 있다. 또는 언로딩 공정을 완료한 후, 액정이 퍼지지 않을 경우에는 액정이 실재쪽으로 골고루 퍼지게 하기 위하여 액정 퍼짐 공정을 추가로 진행할 수도 있다. 이 때, 액정 퍼짐 공정은 10분 이상 실시하며, 액정 퍼짐 공정은 대기 중 또는 진공 중에서도 가능하다.In the above, the liquid crystal spreading process of spreading the liquid crystal of the fixed substrate to the actual side before the unloading after bonding the substrate may be further proceeded. Alternatively, after the unloading process is completed, if the liquid crystal does not spread, the liquid crystal spreading process may be further performed in order to spread the liquid crystal evenly toward the actual surface. At this time, the liquid crystal spreading step is performed for 10 minutes or more, and the liquid crystal spreading step can be performed in air or in vacuum.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.The manufacturing method of the liquid crystal display device according to the present invention as described above has the following effects.

첫째, 제 1 기판에는 액정을 적하하고 제 2 기판에는 실재를 형성하므로 두 기판을 합착하기 전까지의 공정 시간이 단축되어 생산성을 향상시킬 수 있다.First, since a liquid crystal is dropped on the first substrate and a substance is formed on the second substrate, the process time before joining the two substrates is shortened, thereby improving productivity.

둘째, 상기 제 1 기판에는 액정이 적하되고 상기 제 2 기판에는 실재 및 Ag 도트가 도포되므로 제 1 기판과 제 2 기판의 공정이 균형(balance)적으로 진행되므로 생산 라인을 효율적으로 가동할 수 있다.Second, since the liquid crystal is dropped on the first substrate and the real and Ag dots are applied on the second substrate, the process of the first substrate and the second substrate is balanced, so that the production line can be efficiently operated. .

셋째, 상기 제 1 기판에는 액정이 적하되고 제 2 기판에는 실재 및 Ag 도트가 도포되므로 합착하기 바로 직전에 세정 장비(USC)에서 실재가 도포된 기판을 세정을 할 수 있게되므로 실재가 파티클로부터 오염됨을 최대한 방지할 수 있다.Third, since the liquid crystal is dropped on the first substrate and the real and Ag dots are applied on the second substrate, the substrate is coated with the actual material in the cleaning equipment (USC) immediately before the bonding, so that the actual material is contaminated from particles. Can be prevented as much as possible.

넷째, 상기 기판 리시버를 기판 하측에 위치시키고 합착기 챔버를 진공 상태로 만들기 때문에 상기 상부 스테이지에 흡착된 기판이 추락하여 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있다.Fourth, since the substrate receiver is positioned below the substrate and the adapter chamber is made in a vacuum state, the substrate adsorbed on the upper stage can be prevented from falling and the substrate is damaged.

다섯째, 두 기판이 접촉되는 시점을 인식하여 압력을 가변하면서 두 기판을 합착하므로 적하된 액정이 배향막에 영향을 줄 수 있는 데미지를 최소화할 수 있다.Fifth, since the two substrates are bonded while recognizing the time point at which the two substrates are in contact with each other, the damage that the dropped liquid crystal may affect the alignment layer may be minimized.

여섯째, 상기 상부 스테이지가 각 축마다 독립적으로 가압할 수 있는 다수개의 축에 의해 기판을 가압하므로, 상기 하부 스테이지와 상부 스테이지가 수평이 맞지 않아 실재가 균일하게 합착되지 않을 경우, 해당 부분의 축을 상대적으로 더 높은 압력으로 가압하거나 더 낮은 압력으로 가압하여 실재가 균일하게 합착될 수 있도록 할 수 있다.Sixth, since the upper stage presses the substrate by a plurality of shafts that can press independently on each axis, when the lower stage and the upper stage are not horizontal to each other and the material is not uniformly bonded, It may be pressurized to a higher pressure or to a lower pressure so that the substance can be uniformly bonded.

일곱 번째, 합착기 챔버를 진공할 때 2차에 걸쳐 진공하기 때문에, 챔버가 갑자기 진공됨을 방지할 수 있으므로 갑작스런 진공에 의한 기판의 트러짐 및 유동을 방지할 수 있다.Seventh, since vacuuming the adjoiner chamber over a second time, it is possible to prevent the chamber from suddenly vacuuming, thereby preventing the substrate from breaking and flowing due to a sudden vacuum.

여덟 번째, 상기 두 기판을 합착한 후, 더미 실재 또는 메인 실재를 부분적으로 경화하거나 별도의 접착제를 이용하여 합착된 두 기판을 고정한 다음, 다음 공정을 진행하거나 합착된 기판을 이동하므로 다음 공정 진행 시 또는 이동 시 제1 유리 기판과 제 2 유리 기판이 어긋남(misalign)을 방지할 수 있다.Eighth, after the two substrates are bonded together, the dummy material or the main material is partially cured or the two bonded substrates are fixed by using a separate adhesive, and then the next process or the bonded substrates are moved. Alternatively, the first glass substrate and the second glass substrate may be prevented from being misaligned during the movement.

아홉 번째, 로딩과 언로딩을 동시에 진행하므로 공정 시간을 단축할 수 있다.Ninth, loading and unloading can be done at the same time, reducing the process time.

열 번째, 액정 퍼짐 공정을 실시하므로, 액정표시장치의 공정 시간을 단축할 수 있다.Tenth, since the liquid crystal spreading step is performed, the process time of the liquid crystal display device can be shortened.

Claims (19)

제 1 기판과, 실재가 형성된 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정;Loading the first substrate and the second substrate on which the substance is formed into the combiner chamber; 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정;Bonding the first and second substrates together; 상기 실재에 열을 가하여 합착된 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정; 그리고,Fixing the bonded first and second substrates by applying heat to the material; And, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.And unloading the fixed first and second substrates. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 실재는 열 경화성 물질로 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.The material is a manufacturing method of the liquid crystal display device, characterized in that made of a thermosetting material. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 실재에 부분적으로 열을 가하여 고정함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.A method of manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that the heat is fixed to the real part. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 실재는 열 경화성 물질의 메인 실재와 고정용 실재를 구비하고,The actual material has a main material and a fixing material of the thermosetting material, 상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 상기 고정용 실재에 열을 가하여 합착된 두 기판을 고정함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.The fixing of the bonded substrates includes fixing the two bonded substrates by applying heat to the fixing material. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 고정용 실재는 기판의 가장자리에 형성함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.The fixing material is formed on the edge of the substrate manufacturing method of the liquid crystal display device. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 고정용 실재는 각 패널 사이의 컷팅 부분 및 기판의 가장자리에 형성함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.The fixing material is formed in the cutting portion between each panel and the edge of the substrate manufacturing method of the liquid crystal display device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 실재는, 복수개의 패널부에 적하된 액정을 밀봉하기 위한 복수개의 메인 실재와, 상기 복수개의 메인 실재를 보호하기 위한 더미 실재와, 상기 합착된 두 기판을 고정하기 위한 고정용 실재를 열 경화성 실재로 구비하고, 상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 상기 고정용 실재에 열을 가하여 상기 합착된 두 기판을 고정하는 공정을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.The actual material is heat curable for a plurality of main materials for sealing the liquid crystal dropped on the plurality of panel parts, a dummy material for protecting the plurality of main materials, and a fixing material for fixing the two bonded substrates. And a process of fixing the bonded substrates by applying heat to the fixing substance, wherein the fixing of the bonded substrates is performed. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 실재는, 복수개의 패널부에 적하된 액정을 밀봉하기 위한 복수개의 메인 실재와, 상기 복수개의 메인 실재를 각각 보호하기 위한 복수개의 더미 실재를 열 경화성 실재로 구비하고,The actual material includes a plurality of main materials for sealing liquid crystals dropped on the plurality of panel portions, and a plurality of dummy materials for protecting the plurality of main materials, respectively, as thermosetting materials. 상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 상기 더미 실재에 열을 가하여 상기 합착된 두 기판을 고정하는 공정을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.And fixing the bonded substrates to each other by fixing heat to the dummy material to fix the two bonded substrates. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 더미 실재에 부분적으로 열을 가하여 상기 합착된 기판을 고정함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.And partially applying heat to the dummy material to fix the bonded substrate. 제 2 항, 4 항, 7 항 또는 8 항에 있어서,The method according to claim 2, 4, 7, or 8, 상기 실재를 압력 경화성 실재로 형성하고 상기 열 대신에 압력을 가하여 상기 합착된 기판을 고정함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.And forming the material into a pressure curable material and applying the pressure instead of the heat to fix the bonded substrate. 제 2 항, 4 항, 7 항 또는 8 항에 있어서,The method according to claim 2, 4, 7, or 8, 상기 실재를 광 및 열 경화성 실재로 형성하고 상기 열 대신에 광 및 열을 가하여 상기 합착된 기판을 고정함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.And forming the material into a light and thermosetting material and applying light and heat instead of the heat to fix the bonded substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 제 2 기판의 컷팅 부분 또는 가장자리 부분에 상기 실재보다 경화성이 우수한 접착제를 별도로 도포하고,The adhesive which is more excellent in curability than the said real thing is apply | coated separately to the cutting part or the edge part of a 2nd board | substrate, 상기 합착된 기판을 고정하는 공정은, 상기 접착제에 의해 합착된 기판을 고정함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.The fixing of the bonded substrate, the method of manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that for fixing the bonded substrate by the adhesive. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고정 공정 시, 열 조건은 50 ∼200℃의 온도로 함을 특징으로 하는 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.In the fixing step, the heat condition is a temperature of 50 ~ 200 ℃ characterized in that the manufacturing method of the liquid crystal display device. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 고정 공정 시, 10초 이상 열을 가함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.In the fixing step, the manufacturing method of the liquid crystal display device characterized in that the heat is applied for more than 10 seconds. 액정이 적하되고 메인 실재가 도포된 제 1 기판과, 열 경화성 물질의 고정용 실재가 도포된 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정;Loading a first substrate onto which the liquid crystal is dropped and the main substance is applied, and a second substrate on which the fixing substance for the thermosetting material is applied, into the adapter chamber; 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정;Bonding the first and second substrates together; 상기 고정용 실재에 열을 가하여 합착된 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정; 그리고,Fixing the bonded first and second substrates by applying heat to the fixing material; And, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.And unloading the fixed first and second substrates. 액정이 적하되고 열 경화성 고정용 실재가 형성된 제 1 기판과, 메인 실재가 형성된 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정;Loading a first substrate on which a liquid crystal is dropped and a heat-curable fixing material and a second substrate on which a main material is formed into the combiner chamber; 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정;Bonding the first and second substrates together; 상기 고정용 실재에 열을 가하여 합착된 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정; 그리고,Fixing the bonded first and second substrates by applying heat to the fixing material; And, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.And unloading the fixed first and second substrates. 액정이 적하되고 메인 실재 및 열 경화성 고정용 실재가 형성된 제 1 기판과, 제 2 기판을 합착기 챔버내에 로딩하는 공정;Loading a first substrate and a second substrate on which a liquid crystal is dropped and a main substance and a heat-curable fixing substance are formed, and into a combiner chamber; 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정;Bonding the first and second substrates together; 상기 고정용 실재에 열을 가하여 합착된 제 1, 제 2 기판을 고정하는 공정; 그리고,Fixing the bonded first and second substrates by applying heat to the fixing material; And, 상기 고정된 제 1, 제 2 기판을 언로딩하는 공정을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.And unloading the fixed first and second substrates. 제 15 항, 16 항 또는 17 항에 있어서,The method according to claim 15, 16 or 17, 상기 고정용 실재를 압력 경화성 물질로 형성하고 상기 고정하는 공정에서 열 대신 압력을 가하여 기판을 고정함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.And the substrate is fixed by applying pressure instead of heat in the process of forming the fixing material with a pressure curable material and fixing the material. 제 15 항, 16 항 또는 17 항에 있어서,The method according to claim 15, 16 or 17, 상기 고정용 실재를 광 및 열 경화성 물질로 형성하고 상기 고정하는 공정에서 열 대신 광 및 열을 가하여 기판을 고정함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.And fixing the substrate by applying light and heat instead of heat in the step of forming the fixing material with a light and thermosetting material and fixing the light.
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