KR200490376Y1

KR200490376Y1 - Sealing structure used in Substrate disposition apparatus

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Publication number: KR200490376Y1
Application number: KR2020150002764U
Authority: KR
Inventors: 양승용; 권형국; 김현오; 오웅교; 유광수; 이용현
Original assignee: 주성엔지니어링(주)
Priority date: 2015-04-29
Filing date: 2015-04-29
Publication date: 2019-11-06
Anticipated expiration: 2025-04-29
Also published as: KR20160003846U

Abstract

실링구조의 일 실시예는, 제1배관의 일단에 돌출형성되고 원통형으로 구비되는 플랜지; 원통형으로 형성되고, 상기 제1배관과 연통되도록 배치되는 제2배관; 상기 제2배관의 외주면 착탈가능하도록 장착되고, 상기 플랜지와 대면하도록 장착되는 푸시링(push ring); 상기 플랜지와 상기 푸시링 사이에 배치되어 상기 플랜지와 상기 푸시링이 서로 밀착함에 따라 상기 제1배관과 상기 제2배관의 연통부위를 실링하는 실링부재; 및 상기 플랜지와 상기 푸시링을 가압하여 서로 밀착시키는 클램프를 포함할 수 있다.One embodiment of the sealing structure, a flange protruding and provided in one end of the first pipe; A second pipe formed in a cylindrical shape and disposed to communicate with the first pipe; A push ring detachably mounted on an outer circumferential surface of the second pipe and mounted to face the flange; A sealing member disposed between the flange and the push ring to seal a communication portion between the first pipe and the second pipe as the flange and the push ring are in close contact with each other; And it may include a clamp for pressing the flange and the push ring in close contact with each other.

Description

Sealing structure used in Substrate disposition apparatus

실시예는, 용이하게 결합 및 분리가 가능하고, 조립시 파손발생을 현저히 줄일 수 있는 기판처리장치에 사용되는 실링구조에 관한 것이다.Embodiments relate to a sealing structure used in a substrate processing apparatus that can be easily combined and separated, and can significantly reduce the occurrence of breakage during assembly.

이 부분에 기술된 내용은 단순히 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.The content described in this section merely provides background information on the embodiments and does not constitute a prior art.

일반적으로 반도체 메모리 소자, 액정표시장치, 유기발광장치 등은 기판상에 복수회의 반도체 공정을 실시하여 원하는 형상의 구조물을 적층하여 제조한다.In general, a semiconductor memory device, a liquid crystal display, an organic light emitting device and the like are manufactured by stacking a structure having a desired shape by performing a plurality of semiconductor processes on a substrate.

반도체 제조공정은 기판상에 소정의 박막을 증착하는 공정, 박막의 선택된 영역을 노출시키는 포토리소그래피(photolithography) 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하는 식각 공정, 기판에 결정을 성장시키는 공정 등을 포함한다.The semiconductor manufacturing process includes a process of depositing a predetermined thin film on a substrate, a photolithography process of exposing a selected region of the thin film, an etching process of removing the thin film of the selected region, a process of growing a crystal on the substrate, and the like. .

이러한 반도체를 제조하는 기판 처리공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경이 조성된 공정챔버를 포함하는 기판처리장치에서 진행된다.The substrate processing process of manufacturing such a semiconductor is performed in a substrate processing apparatus including a process chamber in which an optimal environment is formed for the process.

기판처리장치에는 기판 처리공정을 진행하기 위한 다수의 하부장치, 부품들이 배치되며, 기판 처리공정에 사용되는 소스물질, 공정가스 기타의 유체를 상기 하부장치 또는 부품들에 보내기 위한 배관들이 구비될 수 있다.The substrate treating apparatus may include a plurality of lower apparatuses and components for carrying out a substrate treating process, and pipes for sending a source material, a process gas, and other fluids used in the substrate treating process to the lower apparatuses or components. have.

이러한 배관들은 서로 연결될 수 있고, 그 연결부위에 생기는 틈새로 유체가 외부로 유출되는 것을 차단하기 위한 실링구조가 형성될 수 있다.Such pipes may be connected to each other, and a sealing structure may be formed to prevent the fluid from flowing out to the gap formed in the connection portion.

일반적으로 실링구조에서는 실링을 위한 여러 장치 또는 부품을 서로 결합시킬 필요가 있다. 이러한 결합기구로 결합강도가 높은 볼트, 나사못 등의 고정부재가 일반적으로 사용된다.In general, the sealing structure needs to combine several devices or components for sealing. As the coupling mechanism, fixing members such as bolts and screws having high coupling strength are generally used.

그러나, 이러한 높은 결합강도를 가지는 고정부재는 결합과정에서 실링구조를 구성하는 장치 또는 부품들이 파손될 우려가 있다. 또한, 실링구조가 장기간 사용될 경우 결합에 사용되는 이러한 고정부재에 의해 실링구조를 구성하는 장치 또는 부품들이 파손될 우려가 있다.However, the fastening member having such a high bonding strength may damage the devices or components constituting the sealing structure during the bonding process. In addition, when the sealing structure is used for a long period of time, there is a fear that the device or parts constituting the sealing structure are damaged by the fixing member used for the coupling.

또한, 실링구조를 구성하는 장치 또는 부품들이 세라믹 등과 같이 경도가 높은 재질로 형성되는 경우, 고정부재를 결합하기 위한 관통구 등을 상기 장치 또는 부품에 형성하기 어려워, 결과적으로 실링구조의 조립 및 분해가 어려워 질 수 있는 문제가 있다.In addition, when the devices or components constituting the sealing structure are formed of a material having high hardness, such as ceramics, it is difficult to form through holes for joining the fixing member to the devices or parts, and as a result, assembly and disassembly of the sealing structure There is a problem that can be difficult.

따라서, 실시예는, 용이하게 결합 및 분리가 가능하고, 조립시 파손발생을 현저히 줄일 수 있는 기판처리장치에 사용되는 실링구조에 관한 것이다.Accordingly, the embodiment relates to a sealing structure for use in a substrate processing apparatus that can be easily coupled and separated and that can significantly reduce the occurrence of breakage during assembly.

실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 실시예가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Embodiments of the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems not mentioned above may be clearly understood by those skilled in the art to which the embodiments belong.

상기 실링부재는 상기 제2배관의 외주면을 감싸도록 구비되는 것일 수 있다.The sealing member may be provided to surround the outer peripheral surface of the second pipe.

상기 실링부재는 오링(O-ring)으로 형성되는 것일 수 있다.The sealing member may be formed of an O-ring.

상기 플랜지는, 상기 제2배관의 외주면을 따라 형성되고 상기 실링부재가 안착하는 안착홈을 구비하는 것일 수 있다.The flange may be formed along the outer circumferential surface of the second pipe and include a seating groove in which the sealing member is seated.

상기 안착홈에 안착되는 상기 실링부재는 상기 플랜지에 의해 가압되어 상기 제1배관과 상기 제2배관의 연통부위를 실링하는 것일 수 있다.The sealing member seated in the seating groove may be pressurized by the flange to seal the communication portion of the first pipe and the second pipe.

상기 플랜지는 상기 푸시링과 밀착하는 면의 타면 중 적어도 일부가 경사면으로 형성되는 것일 수 있다.The flange may be formed of at least a portion of the other surface of the surface in close contact with the push ring as an inclined surface.

상기 클램프는 상기 플랜지의 상기 경사면을 가압하는 것일 수 있다.The clamp may be to press the inclined surface of the flange.

상기 푸시링은 상기 플랜지와 밀착하는 면의 타면 중 적어도 일부가 곡면으로 형성되는 것일 수 있다.The push ring may be at least a portion of the other surface of the surface in close contact with the flange is formed in a curved surface.

상기 클램프는 상기 푸시링의 상기 곡면을 가압하는 것일 수 있다.The clamp may be to press the curved surface of the push ring.

상기 푸시링은, 상기 플랜지를 가압하는 제1가압부; 및 상기 제1가압부로부터 돌출형성되고, 상기 실링부재를 가압하는 제2가압부를 포함하는 것일 수 있다.The push ring, the first pressing portion for pressing the flange; And a second pressing part protruding from the first pressing part and pressing the sealing member.

상기 실링부재는 상기 제2가압부에 의해 가압되어 상기 제1배관과 상기 제2배관의 연통부위를 실링하는 것일 수 있다.The sealing member may be pressurized by the second pressing unit to seal the communication portion between the first pipe and the second pipe.

상기 플랜지 또는 상기 제2배관은 세라믹(ceramic) 재질로 형성되는 것일 수 있다.The flange or the second pipe may be formed of a ceramic material.

실시예의 실링구조에서는, 클램프를 이용하여 용이하게 결합 및 분리가 가능하므로, 부품의 조립을 용이하게 할 수 있다.In the sealing structure of the embodiment, since the coupling can be easily performed by using the clamp, the assembly of the parts can be facilitated.

또한, 각 부품에 볼트 등의 고정부재를 사용하지 않으므로, 이러한 고정부재에 의한 부품의 변형, 파손을 방지할 수 있다.In addition, since a fixing member such as a bolt is not used for each component, deformation and breakage of the component by the fixing member can be prevented.

또한, 실링부재에 의한 1차적 실링과 플랜지와 푸시링에 의한 2차적 실링이 가능하므로 배관의 연통부위에서 유체의 유출을 효과적으로 차단할 수 있다.In addition, since the primary sealing by the sealing member and the secondary sealing by the flange and the push ring is possible, it is possible to effectively block the outflow of the fluid at the communication portion of the pipe.

도 1은 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 분해 단면도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 단면도이다.
도 4는 도 3의 A부분의 일 실시예를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 3의 A부분의 다른 실시예를 나타낸 도면이다.1 is an exploded perspective view showing a sealing structure according to an embodiment.
2 is an exploded cross-sectional view showing a sealing structure according to an embodiment.
3 is a sectional view showing a sealing structure according to an embodiment.
FIG. 4 is a diagram illustrating an embodiment of part A of FIG. 3.
FIG. 5 is a diagram illustrating another embodiment of part A of FIG. 3.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 실시예를 상세히 설명한다. 실시예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 실시예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 실시예의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다.Hereinafter, exemplary embodiments will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments may be modified in various ways and may have various forms. Specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the embodiments to the specific forms disclosed, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the embodiments. In this process, the size or shape of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description.

"제1", "제2" 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 또한, 실시예의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐이고, 실시예의 범위를 한정하는 것이 아니다.Terms such as "first" and "second" may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. In addition, terms that are specifically defined in consideration of the configuration and operation of the embodiments are only intended to describe the embodiments, and do not limit the scope of the embodiments.

또한, 이하에서 이용되는 "상/상부/위" 및 "하/하부/아래" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서만 이용될 수도 있다.Furthermore, the relational terms such as "upper / top / up" and "bottom / bottom / bottom", etc., used below do not necessarily require or imply any physical or logical relationship or order between such entities or elements, It may be used only to distinguish one entity or element from another entity or element.

도 1은 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 분해 사시도이다. 도 2는 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 분해 단면도이다. 실시예의 실링구조는, 플랜지(100), 제2배관(200), 푸시링(push ring)(300), 실링부재(400) 및 클램프(500)를 포함할 수 있다.1 is an exploded perspective view showing a sealing structure according to an embodiment. 2 is an exploded cross-sectional view showing a sealing structure according to an embodiment. The sealing structure of the embodiment may include a flange 100, a second pipe 200, a push ring 300, a sealing member 400, and a clamp 500.

플랜지(100)는 제1배관(10)의 일단에 돌출형성되고 원통형으로 구비될 수 있다. 이때, 상기 플랜지(100)는 제1배관(10)의 일단에 일체로 형성될 수 있다. 한편, 상기 제1배관(10)은 기판처리장치에 구비되고, 예를 들어, 제2배관(200)으로부터 유입되는 유체를 가열하거나 냉각하는 블록형 장치의 일부로 구비될 수도 있다.The flange 100 may protrude on one end of the first pipe 10 and be provided in a cylindrical shape. In this case, the flange 100 may be integrally formed at one end of the first pipe 10. On the other hand, the first pipe 10 is provided in the substrate processing apparatus, for example, may be provided as part of a block-type device for heating or cooling the fluid flowing from the second pipe (200).

상기 플랜지(100)는 실링구조가 결합하는 경우, 상기 푸시링(300)과 대면하도록 구비될 수 있고, 또한 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)은 서로 대면하는 부위가 서로 밀착될 수 있다.When the sealing structure is coupled, the flange 100 may be provided to face the push ring 300, and the flange 100 and the push ring 300 may be in close contact with each other. have.

이러한 플랜지(100)와 푸시링(300)이 밀착하는 구조로 인해, 적어도 플랜지(100)와 푸시링(300)이 서로 대면하여 밀착하는 부위에서는 일정정도 제1배관(10)과 제2배관(200)을 통과하는 유체의 외부유출을 방지하는 실링의 역할을 할 수 있다.Due to the structure in which the flange 100 and the push ring 300 is in close contact, at least a portion of the flange 100 and the push ring 300 to face each other close to the first pipe 10 and the second pipe ( It may serve as a sealing to prevent the outflow of the fluid passing through the 200).

구체적으로, 실링부재(400)가 결합된 경우, 상기 플랜지(100)는 상기 제1배관(10)으로부터 상기 제2방향의 길이방향으로 돌출되는 제1돌출부위와 상기 제1돌출부위로부터 절곡되는 제2돌출부위로 구비될 수 있다.Specifically, when the sealing member 400 is coupled, the flange 100 is the first protrusion projecting in the longitudinal direction of the second direction from the first pipe 10 and the first bent from the first protrusion 2 may be provided as a protrusion.

상기 제1돌출부위 및 상기 제1돌출부위는 전체로 보아 원통형으로 형성될 수 있다. 상기 원통형의 제1돌출부위 내주에는 상기 제2배관(200)이 단부가 삽입되어 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)은 서로 연통될 수 있다.The first protrusion and the first protrusion may be formed in a cylindrical shape as a whole. An end portion of the second pipe 200 may be inserted into an inner circumference of the first protruding portion so that the first pipe 10 and the second pipe 200 may communicate with each other.

상기 제2돌출부위의 일면은 상기 제2배관(200)의 길이방향과 수직하게 형성될 수 있고, 상기 일면은 상기 푸시링(300)의 일면과 대면하여 클램프(500)에 의해 서로 밀착될 수 있다.One surface of the second protrusion may be formed perpendicular to the longitudinal direction of the second pipe 200, and one surface may be in close contact with each other by the clamp 500 to face one surface of the push ring 300. have.

한편, 상기 제2돌출부위에는 경사면(100a)이 형성될 수 있다. 상기 경사면(100a)은 상기 플랜지(100)의 상기 푸시링(300)과 밀착하는 상기 일면의 타면 중 적어도 일부에 형성될 수 있다.Meanwhile, an inclined surface 100a may be formed on the second protrusion. The inclined surface 100a may be formed on at least a portion of the other surface of the one surface in close contact with the push ring 300 of the flange 100.

상기 경사면(100a)은 클램프(500)에 의해 가압되고, 경사면(100a)이 가압됨에 따라 제1돌출부위를 구비하는 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)은 서로 밀착할 수 있다.The inclined surface 100a is pressed by the clamp 500, and as the inclined surface 100a is pressed, the flange 100 and the push ring 300 having the first protruding portion may be in close contact with each other.

상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)이 서로 밀착함에 따라 상기 실링부재(400)는 가압되어 상기 제2배관(200)의 외주면에 밀착함으로써 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.As the flange 100 and the push ring 300 are in close contact with each other, the sealing member 400 is pressed to closely contact the outer circumferential surface of the second pipe 200 so that the first pipe 10 and the second pipe are closed. The communication portion of 200 can be sealed.

한편, 상기 플랜지(100)에는 안착홈(110)이 형성될 수 있다. 상기 안착홈(110)은 상기 제2배관(200)의 외주면을 따라 형성되고 상기 실링부재(400)가 안착하는 부위이다.Meanwhile, a seating groove 110 may be formed in the flange 100. The seating groove 110 is formed along the outer circumferential surface of the second pipe 200 and is a portion on which the sealing member 400 is seated.

구체적으로, 상기 안착홈(110)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 플랜지(100)의 상기 제2돌출부위의 하부에 상기 플랜지(100)의 일부가 함몰되어 형성되고, 단면으로 보아 곡선 형상, 부채꼴 형상으로 함몰되어 형성될 수 있다.Specifically, the seating groove 110, as shown in Figure 2, is formed by recessing a portion of the flange 100 in the lower portion of the second protrusion of the flange 100, curved in cross section It may be formed by being recessed into a shape and a fan shape.

이때, 상기 안착홈(110)에 안착되는 상기 실링부재(400)는 상기 플랜지(100)에 의해 가압되어 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.In this case, the sealing member 400 seated in the seating groove 110 may be pressed by the flange 100 to seal the communication portion between the first pipe 10 and the second pipe 200. .

구체적으로, 상기 실링부재(400)는 상기 안착홈(110)의 표면, 상기 푸시링(300)의 제1가압부(310) 및 상기 제2배관(200)의 외주면에 의해 가압되고, 가압에 의해 상기 안착홈(110)의 표면, 상기 푸시링(300)의 제1가압부(310) 및 상기 제2배관(200)의 외주면에 밀착하여 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다. 이에 관한 자세한 설명은 도 3, 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다.Specifically, the sealing member 400 is pressed by the surface of the seating groove 110, the outer peripheral surface of the first pressing portion 310 and the second pipe 200 of the push ring 300, By contact with the surface of the seating groove 110, the first pressing portion 310 of the push ring 300 and the outer peripheral surface of the second pipe 200 in close contact with the first pipe 10 and the second pipe ( The communication portion of 200) can be sealed. Detailed description thereof will be described with reference to FIGS. 3, 4, and 5.

제2배관(200)은 원통형으로 형성될 수 있고, 상기 제1배관(10)과 연통되도록 배치될 수 있다. 제2배관(200)에는 유체가 유동할 수 있고, 상기 유체는 상기 제1배관(10)으로부터 상기 제2배관(200)으로 유동하거나, 반대로 상기 제2배관(200)으로부터 상기 제1배관(10)으로 유동할 수도 있다.The second pipe 200 may be formed in a cylindrical shape and may be disposed to communicate with the first pipe 10. Fluid may flow in the second pipe 200, and the fluid may flow from the first pipe 10 to the second pipe 200, or vice versa from the second pipe 200. 10) may flow.

한편, 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)은 세라믹(ceramic) 재질로 형성될 수 있다. 일반적으로 결합강도가 높은 볼트, 나사못 등의 고정부재를 제1배관과 제2배관의 결합기구를 사용할 경우, 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)에는 상기 고정부재가 삽입되는 홈 또는 홀을 복수로 형성할 필요가 있다.Meanwhile, the flange 100 or the second pipe 200 may be formed of a ceramic material. In general, in the case of using a coupling member of a first pipe and a second pipe using a fastening member such as a bolt and a screw having a high coupling strength, a groove or a hole into which the fastening member is inserted into the flange 100 or the second pipe 200. It is necessary to form a plurality.

그러나, 실시예에서 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)를 세라믹 재질로 형성하는 경우, 세라믹의 물성(property)적 특성으로 인해 상기 홈 또는 홀을 형성하기가 어려우며, 형성과정에서 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)이 파손될 우려가 있다.However, in the embodiment, when the flange 100 or the second pipe 200 is formed of a ceramic material, it is difficult to form the groove or hole due to the property of the ceramic (property) properties, the flange in the forming process 100 or the second pipe 200 may be damaged.

또한, 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)에 형성된 홈 또는 홀에 상기 고정부재가 체결되는 경우, 체결된 상기 고정부재에 의해 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)이 파손된 우려가 있다.In addition, when the fixing member is fastened to a groove or hole formed in the flange 100 or the second pipe 200, the flange 100 or the second pipe 200 is damaged by the fastening member. There is concern.

따라서, 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)를 세라믹 재질로 형성하는 경우, 실시예의 실링구조는 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.Therefore, when the flange 100 or the second pipe 200 is formed of a ceramic material, the sealing structure of the embodiment has the effect of preventing damage to the flange 100 or the second pipe 200.

푸시링(300)은 상기 제2배관(200)의 외주면 착탈가능하도록 장착될 수 있고, 상기 플랜지(100)와 대면하도록 장착될 수 있다. 상기 푸시링(300)은 실링구조가 결합하는 경우, 상기 플랜지(100)와 대면하도록 구비될 수 있고, 또한 클램프(500)에 의해 가압되어 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)은 서로 대면하는 부위가 서로 밀착될 수 있다.The push ring 300 may be mounted to be detachable from the outer circumferential surface of the second pipe 200 and may be mounted to face the flange 100. When the sealing structure is coupled, the push ring 300 may be provided to face the flange 100, and may be pressed by the clamp 500 so that the flange 100 and the push ring 300 are mutually connected. Facing parts may be in close contact with each other.

상기한 바와 같이, 이러한 플랜지(100)와 푸시링(300)이 밀착하는 구조로 인해, 적어도 플랜지(100)와 푸시링(300)이 서로 대면하여 밀착하는 부위에서는 일정정도 제1배관(10)과 제2배관(200)을 통과하는 유체의 외부유출을 방지하는 실링의 역할을 할 수 있다.As described above, due to the structure in which the flange 100 and the push ring 300 is in close contact, at least a portion of the flange 100 and the push ring 300 is in close contact with each other, the first pipe 10 to a certain degree And may serve as a sealing to prevent the outflow of the fluid passing through the second pipe 200.

상기 푸시링(300)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1가압부(310) 및 제2가압부(320)를 포함할 수 있다. 상기 제1가압부(310)는 일면이 상기 플랜지(100)의 일면과 대면 및 밀착하고, 상기 클램프(500)에 의해 가압됨에 따라 상기 플랜지(100)를 가압할 수 있다.As shown in FIG. 2, the push ring 300 may include a first pressing unit 310 and a second pressing unit 320. The first pressing part 310 may be in close contact with one surface of the flange 100, and may press the flange 100 as it is pressed by the clamp 500.

상기한 바와 같이 상기 플랜지(100)의 일면과 상기 푸시링(300)의 일면이 클램프(500)에 의해 가압되어 서로 밀착하는 부위가 형성되고, 이러한 밀착부위에서는 일정정도 제1배관(10)과 제2배관(200)을 통과하는 유체의 외부유출을 방지하는 실링의 역할을 할 수 있다.As described above, a portion of one surface of the flange 100 and one surface of the push ring 300 is pressed by the clamp 500 to form a portion in close contact with each other. It may serve as a sealing to prevent the outflow of the fluid passing through the second pipe 200.

상기 제2가압부(320)는 상기 제1가압부(310)로부터 제1배관(10) 방향으로 향하여 돌출형성되고, 상기 실링부재(400)와 대향되는 위치에 구비되어, 실링구조가 결합하는 경우, 상기 실링부재(400)를 제2배관(200)의 길이방향으로 가압할 수 있다.The second pressing unit 320 protrudes from the first pressing unit 310 toward the first pipe 10 and is provided at a position opposite to the sealing member 400, so that the sealing structure is coupled. In this case, the sealing member 400 may pressurize in the longitudinal direction of the second pipe 200.

상기한 바와 같이, 상기 실링부재(400)는 상기 안착홈(110)의 표면, 상기 푸시링(300)의 제1가압부(310) 및 상기 제2배관(200)의 외주면에 의해 가압되어 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.As described above, the sealing member 400 is pressed by the surface of the seating groove 110, the first pressing portion 310 of the push ring 300 and the outer circumferential surface of the second pipe 200. The communication portion of the first pipe 10 and the second pipe 200 may be sealed.

한편, 상기 푸시링(300)에는 곡면(300a)이 형성될 수 있다. 상기 곡면(300a)은 상기 제1가압부(310)에 형성될 수 있고, 상기 푸시링(300)의 상기 플랜지(100)와 밀착하는 상기 제1가압부(310)의 일면의 타면 중 적어도 일부에 형성될 수 있다.Meanwhile, the curved surface 300a may be formed on the push ring 300. The curved surface 300a may be formed in the first pressing part 310, and at least a portion of the other surface of one surface of the first pressing part 310, which is in close contact with the flange 100 of the push ring 300. Can be formed on.

상기 곡면(300a)은, 상기 곡면(300a)과 마찬가지로, 클램프(500)에 의해 가압되고, 곡면(300a)이 가압됨에 따라 제1가압부(310)를 구비하는 상기 푸시링(300)과 상기 플랜지(100)는 서로 밀착할 수 있다. 따라서, 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)이 서로 밀착함에 따라 상기 실링부재(400)는 가압되어 상기 제2배관(200)의 외주면에 밀착함으로써 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.The curved surface 300a, like the curved surface 300a, is pressed by the clamp 500, and the push ring 300 having the first pressing portion 310 as the curved surface 300a is pressed and the The flanges 100 may be in close contact with each other. Therefore, as the flange 100 and the push ring 300 are in close contact with each other, the sealing member 400 is pressed to adhere to the outer circumferential surface of the second pipe 200 so that the first pipe 10 and the first pipe are closed. The communication portion of the two pipes 200 can be sealed.

실링부재(400)는 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300) 사이에 배치될 수 있다. 상기 실링부재(400)는 상기 제2가압부(320)에 의해 가압되어 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.The sealing member 400 may be disposed between the flange 100 and the push ring 300. The sealing member 400 may be pressed by the second pressing unit 320 to seal the communication portion between the first pipe 10 and the second pipe 200.

구체적으로, 상기 실링부재(400)는, 실링구조가 결합하는 경우, 상기 플랜지(100)의 안착홈(110)에 안착하고, 상기 푸시링(300)의 제2가압부(320)에 의해 상기 제2배관(200)의 길이방향으로 가압될 수 있다. 또한, 상기 실링부재(400)는 상기 제2배관(200)의 외주면을 감싸도록 구비될 수 있다.Specifically, the sealing member 400, when the sealing structure is coupled, is seated in the seating groove 110 of the flange 100, by the second pressing portion 320 of the push ring 300 The second pipe 200 may be pressed in the longitudinal direction. In addition, the sealing member 400 may be provided to surround the outer circumferential surface of the second pipe 200.

이러한 구조로 인해, 실링구조가 결합되는 경우, 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)이 서로 밀착함에 따라, 상기 실링부재(400)는 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 효과적으로 실링할 수 있다.Due to this structure, when the sealing structure is coupled, as the flange 100 and the push ring 300 is in close contact with each other, the sealing member 400 is the first pipe 10 and the second pipe ( The communication portion of 200) can be effectively sealed.

한편, 상기 실링부재(400)는 상기 플랜지(100), 푸시링(300) 및 제2배관(200)의 외주면에 의해 가압되어 제1배관(10)과 제2배관(200)의 연통부위를 효과적으로 실링할 수 있도록, 가압력에 의해 그 형상이 다소 변형될 수 있는 재질로 형성될 수 있다.On the other hand, the sealing member 400 is pressed by the outer circumferential surface of the flange 100, the push ring 300 and the second pipe 200 to communicate the communication portion of the first pipe 10 and the second pipe 200. In order to seal effectively, it may be formed of a material that can be somewhat deformed by the pressing force.

이는 실링부재(400)가 가압력을 받아 변형되면서 제1배관(10)과 제2배관(200)을 유동하는 유체가 유출될 수 있는 틈새를 효과적으로 밀폐할 수 있기 때문이다.This is because the sealing member 400 is deformed by the pressing force, thereby effectively sealing a gap in which the fluid flowing through the first pipe 10 and the second pipe 200 can flow out.

따라서, 상기 실링부재(400)는, 가압력에 의해 형상의 변형이 발생하여 상기 틈새를 효과적으로 밀폐할 수 있는 재질, 예를 들어, 알루미늄, 폴리머(polymer) 등으로 형성될 수 있다.Accordingly, the sealing member 400 may be formed of a material, for example, aluminum, a polymer, or the like, in which deformation of the shape occurs due to a pressing force to effectively seal the gap.

한편, 상기 제1배관(10)과 제2배관(200)을 유동하는 유체가 고온인 경우 또는 상기 제1배관(10) 또는 제2배관(200)이 가열되는 경우, 상기 실링부재(400)는 고온에 견딜 수 있는 재질로 형성될 수도 있다.On the other hand, when the fluid flowing in the first pipe 10 and the second pipe 200 is a high temperature or when the first pipe 10 or the second pipe 200 is heated, the sealing member 400 May be formed of a material that can withstand high temperatures.

또한, 상기 실링부재(400)는 원통형인 제2배관(200)을 감싸도록 배치되므로 이에 적합한 형상의 것이 사용될 수 있다. 따라서, 상기 실링부재(400)는, 예를 들어, 단면이 원형, 타원형 기타 곡선형의 외형을 가지는 오링(O-ring)으로 형성될 수 있다.In addition, the sealing member 400 is disposed so as to surround the cylindrical second pipe 200 can be used to have a shape suitable for this. Therefore, the sealing member 400 may be formed of, for example, an O-ring having a circular, elliptical, or other curved shape in cross section.

클램프(500)는 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)을 가압하여 서로 밀착시키는 역할을 할 수 있다. 상기 클램프(500)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 중공으로 형성되고 양측은 직경방향으로 내측으로 돌출되도록 형성되고, 이러한 한 쌍의 돌출부위는 각각 상기 플랜지(100)와 푸시링(300)을 가압하여 이들을 서로 밀착되도록 할 수 있다.The clamp 500 may serve to press the flange 100 and the push ring 300 to closely contact each other. 1 and 2, the clamp 500 is formed to be hollow and both sides are formed to protrude inward in the radial direction, the pair of protrusions are each the flange 100 and the push ring By pressing the 300 can be brought into close contact with each other.

상기 클램프(500)는 상기 플랜지(100)와 푸시링(300)에 착탈이 용이하게 하기 위해, 예를 들어, 그 직경을 가로질러 잘린 한 쌍으로 구비될 수 있다. 따라서, 클램프(500)의 각 피스들은 플랜지(100)와 푸시링(300)에 각각 결합하여 상기 플랜지(100)와 푸시링(300)을 밀착시킬 수 있다.The clamp 500 may be provided in a pair cut across the diameter, for example, to facilitate attachment and detachment of the flange 100 and the push ring 300. Accordingly, each piece of the clamp 500 may be coupled to the flange 100 and the push ring 300 to bring the flange 100 and the push ring 300 into close contact with each other.

상기 클램프(500)는 플랜지(100)와 푸시링(300)에 결합된 상태를 견고하게 유지하기 위해, 클램프(500)의 각 피스들은 결합기구(미도시)에 의해 서로 결합할 수 있다. 또한, 상기 클램프(500)의 각 피스들 사이의 결합과 분리를 용이하게 하기 위해, 예를 들어, 상기 결합기구는 별도의 기구없이 작업자의 수작업으로 각 피스들을 서로 결합 또는 분리할 수 있는 스크류결합기구(미도시)가 사용될 수 있다.In order to keep the clamp 500 firmly coupled to the flange 100 and the push ring 300, the pieces of the clamp 500 may be coupled to each other by a coupling mechanism (not shown). In addition, in order to facilitate the coupling and separation between the respective pieces of the clamp 500, for example, the coupling mechanism is a screw coupling that can be combined or separated from each other by manual operation of the operator without a separate mechanism An instrument (not shown) can be used.

또한, 상기 클램프(500)는 상기 플랜지(100)와 푸시링(300)을 밀착시키고, 상기 플랜지(100)와 푸시링(300)에 용이하게 결합 및 분리가능한 것이라면 상기한 실시예 이외의 다른 구조를 가진 것들을 사용할 수도 있다.In addition, the clamp 500 is in close contact with the flange 100 and the push ring 300, and if the flange 100 and the push ring 300 can be easily coupled and separated other structures than the above embodiment You can also use things with.

도 3은 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 단면도이다. 도 4는 도 3의 A부분의 일 실시예를 나타낸 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 제1배관(10)(10') 사이에 제2배관(200)이 연결될 수 있고, 이에 따라, 제1배관(10)과 제2배관(200)의 연통부위도 2개로 형성될 수도 있다. 이에 따라, 플랜지(100), 푸시링(300), 실링부재(400) 및 클램프(500)도 한 쌍으로 구비될 수 있다.3 is a sectional view showing a sealing structure according to an embodiment. FIG. 4 is a diagram illustrating an embodiment of part A of FIG. 3. As shown in FIG. 3, the second pipe 200 may be connected between the pair of first pipes 10 and 10 ′, and thus, the first pipe 10 and the second pipe 200 may be connected. The communicating portion of may also be formed in two. Accordingly, the flange 100, the push ring 300, the sealing member 400 and the clamp 500 may also be provided in pairs.

실링구조가 결합된 경우, 도 4에 도시된 바와 같이, 클램프(500)의 상기 한 쌍의 돌출부위 중 하나는 상기 플랜지(100)의 경사면(100a)을 가압하고, 다른 하나는 상기 푸시링(300)의 곡면(300a)을 가압할 수 있다.When the sealing structure is coupled, as shown in FIG. 4, one of the pair of protrusions of the clamp 500 presses the inclined surface 100a of the flange 100, and the other push ring ( The curved surface 300a of 300 may be pressurized.

클램프(500)에 의해 경사면(100a)과 곡면(300a)이 가압됨에 따라, 플랜지(100)의 상기 제2돌출부위와 푸시링(300)의 상기 제2가압부(320)는 서로 밀착되어, 유체가 상기 실링부재(400)를 통과하여 외부로 유출되는 것을 막아 2차적인 실링을 할 수 있다.As the inclined surface 100a and the curved surface 300a are pressed by the clamp 500, the second protruding portion of the flange 100 and the second pressing portion 320 of the push ring 300 are in close contact with each other, thereby providing a fluid. The secondary sealing can be prevented by passing through the sealing member 400 to prevent the outflow to the outside.

또한, 클램프(500)에 의해 경사면(100a)과 곡면(300a)이 가압됨에 따라, 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)이 이들 사이에 배치되는 실링부재(400)를 가압하여, 상기 제1배관(10)과 제2배관(200)의 연통부위의 빈틈을 통해 유체가 외부로 유출되는 것을 막아 1차적인 실링을 할 수 있다.In addition, as the inclined surface 100a and the curved surface 300a are pressed by the clamp 500, the flange 100 and the push ring 300 are pressed to seal the member 400 disposed therebetween, The primary sealing may be performed by preventing the fluid from flowing out through the gap between the communication portions of the first pipe 10 and the second pipe 200.

이때, 상기 실링부재(400)는 상기 안착홈(110)의 표면, 상기 푸시링(300)의 제1가압부(310) 및 상기 제2배관(200)의 외주면에 의해 가압될 수 있다. 따라서, 실링부재(400)는 가압되어 변형이 발생할 수 있다.In this case, the sealing member 400 may be pressed by the surface of the seating groove 110, the first pressing portion 310 of the push ring 300 and the outer circumferential surface of the second pipe 200. Therefore, the sealing member 400 may be pressed to cause deformation.

상기 실링부재(400)는 이러한 변형으로 인해 상기 안착홈(110)의 표면, 상기 푸시링(300)의 제1가압부(310) 및 상기 제2배관(200)의 외주면 더욱 밀착되어 유체가 외부로 유출될 수 있는 틈새를 효과적으로 차단할 수 있다.The sealing member 400 is in close contact with the outer circumferential surface of the surface of the seating groove 110, the first pressing portion 310 of the push ring 300 and the second pipe 200 due to this deformation, the fluid is external It can effectively block gaps that can leak out.

한편, 상기 제1배관(10)과 제2배관(200)은 세정, 보수 등을 위해 용이하게 착탈가능하게 구비될 수 있다. 이를 위해 상기 푸시링(300)은 상기 제2배관(200)의 외주에 착탈 가능하도록 구비될 수 있다.On the other hand, the first pipe 10 and the second pipe 200 may be easily detachable for cleaning, repair, and the like. To this end, the push ring 300 may be provided to be detachable to the outer circumference of the second pipe (200).

이러한 구조로 인해 상기 푸시링(300)의 내주면과 상기 제2배관(200)의 외주면에, 도 4에 도시된 바와 같이, 이격공간(S)이 형성될 수 있고, 실링부재(400)를 통과한 유체가 상기 이격공간(S)을 통해 외부로 유출될 수도 있다.Due to this structure, as shown in FIG. 4, a space S may be formed on the inner circumferential surface of the push ring 300 and the outer circumferential surface of the second pipe 200, and pass through the sealing member 400. One fluid may flow out through the separation space (S).

이러한, 유체의 외부유출을 차단하기 위해, 예를 들어, 상기 이격공간(S)을 테이프, 필름 등의 형태를 가진 차단재로 매워 3차적인 실링을 할 수도 있다.In order to block the external outflow of the fluid, for example, the separation space S may be filled with a blocking material having a form of a tape, a film, or the like, to perform a third sealing.

한편, 플랜지(100)의 실링부재(400)와 접촉하여 상기 실링부재(400)를 가압하는 면은, 도 4에 도시된 바와 같이 상측방향으로 경사를 형성하는 곡선면으로 형성될 수 있다.On the other hand, the surface in contact with the sealing member 400 of the flange 100 to press the sealing member 400 may be formed as a curved surface to form an inclination in the upward direction as shown in FIG.

상기 곡선면은 상기 실링부재(400)를 측방향 및 하측방향으로 동시에 가압할 수 있다. 이러한 구조로 인해, 상기 실링부재(400)는 플랜지(100)에 의해 측방향 및 하측방향으로 가압되어, 하측의 제2배관(200)의 표면과 밀착함과 동시에 제2가압부의 단면에 밀착할 수 있다.The curved surface may simultaneously press the sealing member 400 in the lateral direction and the lower direction. Due to this structure, the sealing member 400 is pressed by the flange 100 in the lateral direction and the lower direction, and in close contact with the surface of the lower second pipe 200 and at the same time close to the end face of the second pressing portion. Can be.

따라서, 상기 실링부재(400)는 상기 이격공간(S)를 효과적으로 밀폐하여 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.Therefore, the sealing member 400 may seal the communication space between the first pipe 10 and the second pipe 200 by effectively sealing the separation space (S).

도 5는 도 3의 A부분의 다른 실시예를 나타낸 도면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 도 4의 실시예와 반대로, 곡선면이 푸시링(300)의 제2가압부(320)에 형성될 수도 있다.FIG. 5 is a diagram illustrating another embodiment of part A of FIG. 3. As shown in FIG. 5, in contrast to the embodiment of FIG. 4, a curved surface may be formed in the second pressing part 320 of the push ring 300.

상기 제2가압부(300)에 형성되는 곡선면은 상기 실링부재(400)를 측방향 및 하측방향으로 동시에 가압할 수 있다. 따라서, 상기 실링부재(400)는 푸시링(300)에 의해 측방향 및 하측방향으로 가압되어, 하측의 제2배관(200)의 표면과 밀착함과 동시에 제2가압부의 단면에 밀착할 수 있다.The curved surface formed on the second pressing part 300 may simultaneously press the sealing member 400 in the lateral direction and the lower direction. Accordingly, the sealing member 400 may be pressed in the lateral direction and the downward direction by the push ring 300 to be in close contact with the surface of the lower second pipe 200 and to be in close contact with the end face of the second pressing part. .

따라서, 상기 도4의 실시예와 마찬가지로, 상기 실링부재(400)는 상기 이격공간(S)를 효과적으로 밀폐하여 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.Therefore, similar to the embodiment of FIG. 4, the sealing member 400 may effectively seal the separation space S to seal the communication portion between the first pipe 10 and the second pipe 200. have.

실시예의 실링구조에서는, 클램프(500)를 이용하여 용이하게 결합 및 분리가 가능하므로, 부품의 조립을 용이하게 할 수 있다.In the sealing structure of the embodiment, since the clamp 500 can be easily coupled and separated, the assembly of the parts can be facilitated.

또한, 실링부재(400)에 의한 1차적 실링과 플랜지(100)와 푸시링(300)에 의한 2차적 실링이 가능하므로 배관의 연통부위에서 유체의 유출을 효과적으로 차단할 수 있다.In addition, since the primary sealing by the sealing member 400 and the secondary sealing by the flange 100 and the push ring 300 is possible, it is possible to effectively block the outflow of the fluid at the communication portion of the pipe.

실시예와 관련하여 전술한 바와 같이 몇 가지만을 기술하였지만, 이외에도 다양한 형태의 실시가 가능하다. 앞서 설명한 실시예들의 기술적 내용들은 서로 양립할 수 없는 기술이 아닌 이상은 다양한 형태로 조합될 수 있으며, 이를 통해 새로운 실시형태로 구현될 수도 있다.As described above in connection with the embodiment, only a few are described, but other forms of implementation are possible. The technical contents of the above-described embodiments may be combined in various forms as long as they are not incompatible with each other, and thus may be implemented in a new embodiment.

10, 10': 제1배관
100: 플랜지
100a: 경사면
110: 안착홈
200: 제2배관
300: 푸시링
300a: 곡면
310: 제1가압부
320: 제2가압부
400: 실링부재
500: 클램프
S: 이격공간10, 10 ': first pipe
100: flange
100a: slope
110: seating groove
200: second piping
300: push ring
300a: surface
310: first pressing unit
320: second pressure unit
400: sealing member
500: clamp
S: separation space

Claims

A flange protruding from one end of the first pipe and having a cylindrical shape, the flange having a seating groove formed on an inner lower portion of the protrusion;
A second pipe formed in a cylindrical shape and disposed to communicate with the first pipe;
A push ring having a first pressing portion for pressing the flange and a second pressing portion for pressing the seating groove, the push ring being detachably mounted on an outer circumferential surface of the second pipe to face the flange;
Disposed between the flange and the push ring to surround the outer circumferential surface of the second pipe, the first pipe and the first pipe being inserted into the seating groove by the second pressing part as the flange and the push ring come into close contact with each other; Sealing member for sealing the communication portion of the two pipe; And
Sealing structure comprising a clamp detachably coupled to the coupling portion of the flange and the push ring to press the flange and the push ring in close contact with each other.

The method of claim 1,
The push ring is formed to protrude from the first pressing portion,
The clamp has a hollow structure and a sealing structure having a pair of protrusions protruding radially inwardly on both sides to press the flange and the push ring.

The method of claim 1,
The sealing member is a sealing structure, characterized in that formed by O-ring (O-ring).

delete

The method of claim 1,
The flange is a sealing structure, characterized in that at least part of the other surface of the surface in close contact with the push ring is formed as an inclined surface.

The method of claim 6,
The clamp is a sealing structure, characterized in that for pressing the inclined surface of the flange.

The method of claim 1,
The push ring is a sealing structure, characterized in that at least a part of the other surface of the surface in close contact with the flange is formed in a curved surface.

The method of claim 8,
And the clamp presses the curved surface of the push ring.

delete

The method of claim 1,
The flange or the second pipe sealing structure, characterized in that formed of a ceramic (ceramic) material.