[go: up one dir, main page]

KR20110008829A - Nonvolatile Memory Device And Its Program Method - Google Patents

Nonvolatile Memory Device And Its Program Method Download PDF

Info

Publication number
KR20110008829A
KR20110008829A KR1020090066362A KR20090066362A KR20110008829A KR 20110008829 A KR20110008829 A KR 20110008829A KR 1020090066362 A KR1020090066362 A KR 1020090066362A KR 20090066362 A KR20090066362 A KR 20090066362A KR 20110008829 A KR20110008829 A KR 20110008829A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
block
voltage
memory
selected memory
memory block
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
KR1020090066362A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101604631B1 (en
Inventor
이승원
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020090066362A priority Critical patent/KR101604631B1/en
Priority to US12/829,623 priority patent/US8441857B2/en
Publication of KR20110008829A publication Critical patent/KR20110008829A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101604631B1 publication Critical patent/KR101604631B1/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/04Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
    • G11C16/0483Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells having several storage transistors connected in series
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/10Programming or data input circuits

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)
  • Non-Volatile Memory (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

여기에 제공되는 불 휘발성 메모리 장치는 웰들에 각각 형성된 복수의 메모리 블록들과; 상기 복수의 메모리 블록들 중 선택된 메모리 블록의 웰을 바이어스하도록 구성된 바이어스 블록과; 그리고 프로그램 동작시 워드 라인 전압들이 상기 선택된 메모리 블록에 인가되기 이전에 상기 선택된 메모리 블록의 도핑 영역들을 정션 전압으로 프리챠지하도록 상기 바이어스 블록을 제어하는 제어 로직 블록을 포함한다.The nonvolatile memory device provided herein includes a plurality of memory blocks each formed in wells; A bias block configured to bias a well of a selected memory block of the plurality of memory blocks; And a control logic block that controls the bias block to precharge doped regions of the selected memory block to the junction voltage before word line voltages are applied to the selected memory block in a program operation.

Description

불 휘발성 메모리 장치 및 그것의 프로그램 방법{NON-VOLATILE MEMORY DEVICE AND PROGRAM METHOD THEREOF}Non-volatile memory device and its program method {NON-VOLATILE MEMORY DEVICE AND PROGRAM METHOD THEREOF}

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 불 휘발성 메모리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a nonvolatile memory device.

불 휘발성 메모리 장치로서, 플래시 메모리 장치는 복수의 메모리 영역들이 한번의 프로그램 동작으로 소거 또는 프로그램되는 일종의 EEPROM이다. 일반적인 EEPROM은 단지 하나의 메모리 영역이 한 번에 소거 또는 프로그램 가능하게 하며, 이는 플래시 메모리 장치를 사용하는 시스템들이 동시에 다른 메모리 영역들에 대해 읽고 쓸 때 보다 빠르고 효과적인 속도로 플래시 메모리 장치가 동작할 수 있음을 의미한다. 플래시 메모리 및 EEPROM의 모든 형태는 데이터를 저장하는 데 사용되는 전하 저장 수단의 열화 또는 전하 저장 수단을 둘러싸고 있는 절연막의 마멸로 인해서 특정 수의 소거 동작들 후에 마멸된다.As a nonvolatile memory device, a flash memory device is a kind of EEPROM in which a plurality of memory areas are erased or programmed in one program operation. A typical EEPROM allows only one memory area to be erased or programmable at a time, which allows the flash memory device to operate at a faster and more efficient speed when systems using the flash memory device read and write to other memory areas at the same time. It means that there is. All forms of flash memory and EEPROM are worn out after a certain number of erase operations due to degradation of the charge storage means used to store the data or wear of the insulating film surrounding the charge storage means.

플래시 메모리 장치는 실리콘 칩에 저장된 정보를 유지하는 데 전원을 필요로 하지 않는 방법으로 실리콘 칩 상에 정보를 저장한다. 이는 만약 칩에 공급되는 전원이 차단되면 전원의 소모없이 정보가 유지됨을 의미한다. 추가로, 플래시 메모 리 장치는 물리적인 충격 저항성 및 빠른 읽기 접근 시간을 제공한다. 이러한 특징들때문에, 플래시 메모리 장치는 배터리에 의해서 전원을 공급받는 장치들의 저장 장치로서 일반적으로 사용되고 있다.Flash memory devices store information on the silicon chip in a manner that does not require a power source to maintain the information stored on the silicon chip. This means that if the power to the chip is interrupted, the information is maintained without consuming power. In addition, flash memory devices provide physical shock resistance and fast read access times. Because of these features, flash memory devices are commonly used as storage devices for devices powered by batteries.

본 발명의 목적은 신뢰성을 향상시킬 수 있는 불 휘발성 메모리 장치 및 그것의 프로그램 방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a nonvolatile memory device and a program method thereof which can improve reliability.

본 발명의 일 특징은 웰들에 각각 형성된 복수의 메모리 블록들과; 상기 복수의 메모리 블록들 중 선택된 메모리 블록의 웰을 바이어스하도록 구성된 바이어스 블록과; 그리고 프로그램 동작시 워드 라인 전압들이 상기 선택된 메모리 블록에 인가되기 이전에 상기 선택된 메모리 블록의 도핑 영역들을 정션 전압으로 프리챠지하도록 상기 바이어스 블록을 제어하는 제어 로직 블록을 포함하는 불 휘발성 메모리 장치를 제공하는 것이다.One feature of the invention is a plurality of memory blocks formed in each well; A bias block configured to bias a well of a selected memory block of the plurality of memory blocks; And a control logic block controlling the bias block to precharge doped regions of the selected memory block to the junction voltage before word line voltages are applied to the selected memory block during a program operation. will be.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 워드 라인 전압들이 상기 선택된 메모리 블록에 인가될 때, 상기 선택된 메모리 블록의 도핑 영역들의 정션 전압들은 상기 워드 라인 전압들에 의해서 승압되며, 상기 승압된 정션 전압들은 상기 선택된 메모리 블록에 속한 스트링들의 채널 전압들에 가해진다.In an exemplary embodiment, when the word line voltages are applied to the selected memory block, junction voltages of doped regions of the selected memory block are boosted by the word line voltages, and the boosted junction voltages are selected by the selected line. Applied to the channel voltages of the strings belonging to the memory block.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 도핑 영역들은 상기 선택된 메모리 블록에 속한 메모리 셀들의 소오스/드레인 영역들이다.In an exemplary embodiment, the doped regions are source / drain regions of memory cells belonging to the selected memory block.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 복수의 메모리 블록들 각각은 제 1 비트 라인들을 포함하며, 상기 복수의 메모리 블록들 각각의 제 1 비트 라인들은 상기 복수의 메모리 블록들에 각각 대응하는 스위치 블록들을 통해 제 2 비트 라인들에 연결되며, 상기 스위치 블록들은 독립된 웰들에 각각 형성된다.In an exemplary embodiment, each of the plurality of memory blocks includes first bit lines, and the first bit lines of each of the plurality of memory blocks are through switch blocks respectively corresponding to the plurality of memory blocks. Connected to the second bit lines, the switch blocks are formed in separate wells, respectively.

본 발명의 다른 특징은 복수의 메모리 블록들을 포함하는 불 휘발성 메모리 장치의 프로그램 방법을 제공하는 것이다. 프로그램 방법은 상기 복수의 메모리 블록들 중 선택된 메모리 블록에 속한 도핑 영역들을 정션 전압으로 프리챠지하고, 프로그램될 데이터에 따라 상기 선택된 메모리 블록의 비트 라인들 각각을 비트 라인 프로그램 전압과 비트 라인 프로그램 금지 전압 중 하나로 구동하고, 상기 선택된 메모리 블록의 워드 라인들을 패스 전압으로 구동하고, 상기 워드 라인들 중 선택된 워드 라인을 프로그램 전압으로 구동하는 것을 포함하며, 상기 복수의 메모리 블록들은 독립된 웰들에 각각 형성된다.Another aspect of the present invention is to provide a program method of a nonvolatile memory device including a plurality of memory blocks. The program method precharges doped regions belonging to a selected memory block among the plurality of memory blocks with a junction voltage, and selects a bit line program voltage and a bit line program prohibition voltage for each of the bit lines of the selected memory block according to data to be programmed. And driving one of the word lines of the selected memory block with a pass voltage, and driving the selected word line of the word lines with a program voltage, wherein the plurality of memory blocks are formed in separate wells, respectively.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 패스 전압 및 상기 프로그램 전압이 상기 선택된 메모리 블록에 인가될 때, 상기 선택된 메모리 블록의 도핑 영역들의 정션 전압들은 상기 패스 전압 및 상기 프로그램 전압에 의해서 승압되며, 상기 승압된 정션 전압들은 상기 선택된 메모리 블록에 속한 스트링들의 채널 전압들에 가해진다.In an exemplary embodiment, when the pass voltage and the program voltage are applied to the selected memory block, the junction voltages of the doped regions of the selected memory block are boosted by the pass voltage and the program voltage and boosted. Junction voltages are applied to channel voltages of strings belonging to the selected memory block.

예시적인 실시예에 있어서, 상기 도핑 영역들은 상기 선택된 메모리 블록에 속한 메모리 셀들의 소오스/드레인 영역들이다.In an exemplary embodiment, the doped regions are source / drain regions of memory cells belonging to the selected memory block.

본 발명의 또 다른 특징은 불 휘발성 메모리 장치와; 그리고 상기 불 휘발성 메모리 장치를 제어하도록 구성된 제어기를 포함하며, 상기 불 휘발성 메모리 장치는 웰들에 각각 형성된 복수의 메모리 블록들과; 상기 복수의 메모리 블록들 중 선택된 메모리 블록의 웰을 바이어스하도록 구성된 바이어스 블록과; 그리고 프로그램 동작시 워드 라인 전압들이 상기 선택된 메모리 블록에 인가되기 이전에 상기 선택된 메모리 블록의 도핑 영역들을 정션 전압으로 프리챠지하도록 상기 바이어스 블록을 제어하는 제어 로직 블록을 포함하는 메모리 시스템을 제공하는 것이다.Another feature of the present invention is a nonvolatile memory device; And a controller configured to control the nonvolatile memory device, the nonvolatile memory device comprising a plurality of memory blocks formed in wells, respectively; A bias block configured to bias a well of a selected memory block of the plurality of memory blocks; And a control logic block for controlling the bias block to precharge the doped regions of the selected memory block to the junction voltage before word line voltages are applied to the selected memory block during a program operation.

본 발명에 의하면, 프로그램 전압과 채널 전압 사이의 전압차를 줄임으로써 프로그램 금지된 메모리 셀에 가해지는 스트레스를 줄이는 것이 가능하다.According to the present invention, it is possible to reduce the stress applied to the program inhibited memory cell by reducing the voltage difference between the program voltage and the channel voltage.

이하, 본 발명의 예시적인 실시예들이 참조 도면들에 의거하여 상세히 설명될 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 불 휘발성 메모리 장치를 개략적으로 보여주는 블록도이고, 도 2는 도 1의 점선(A-A')을 따라 절단된 단면을 개략적으로 보여주는 단면도이다.1 is a block diagram schematically illustrating a nonvolatile memory device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view schematically illustrating a cross section taken along a dotted line A-A 'of FIG. 1.

도 1을 참조하면, 본 발명의 불 휘발성 메모리 장치(1000)는 메모리 셀 어레이(100), 행 디코더 블록(200), 읽기/쓰기 블록(300), 바이어스 블록(400), 입출력 인터페이스 블록(500), 그리고 제어 로직 블록(600)을 포함할 것이다.Referring to FIG. 1, the nonvolatile memory device 1000 of the present invention may include a memory cell array 100, a row decoder block 200, a read / write block 300, a bias block 400, and an input / output interface block 500. And a control logic block 600.

메모리 셀 어레이(100)는 데이터를 저장하며, 행들과 열들로 배열된 메모리 셀들을 포함할 것이다. 메모리 셀들은 복수의 메모리 블록들(BLK0∼BLKn)을 구성할 것이다. 메모리 셀들 각각은 1-비트 데이터 또는 M-비트 데이터(M은 2 또는 그 보다 큰 정수)를 저장할 것이다. 메모리 셀들 각각은 플로팅 게이트 또는 전하 트랩층과 같은 전하 저장층을 갖는 메모리 셀, PRAM 셀, FRAM 셀, 또는 MRAM 셀과 같은 저항 가변 소자를 갖는 메모리 셀, 등으로 구성될 것이다. 하지만, 메모리 셀 구조가 여기에 개시된 것에 국한되지 않음은 잘 이해될 것이다. 메모리 셀 어레이(100)를 구성하는 메모리 블록들(BLK1∼BLKn)은 단일의 웰에 형성되는 것이 아니라 개별적으로 대응하는 웰들에 형성될 것이다. 다시 말해서, 도 2에 도시된 바와 같이, 메모리 블록(BLK1)은 대응하는 독립된 웰에 형성되고, 메모리 블록(BLK2)은 대응하는 독립된 웰에 형성되며, 메모리 블록(BLKn)은 대응하는 독립된 웰에 형성된다. 메모리 블록들(BLK1∼BLKn)이 독립된 웰들에 각각 형성되기 때문에, 메모리 블록들(BLK1∼BLKn)의 웰들의 구동을 독립적으로 제어하는 것이 가능할 것이다.The memory cell array 100 stores data and may include memory cells arranged in rows and columns. The memory cells may constitute a plurality of memory blocks BLK0 to BLKn. Each of the memory cells will store 1-bit data or M-bit data (M is an integer of 2 or greater). Each of the memory cells may be comprised of a memory cell having a charge storage layer such as a floating gate or charge trap layer, a memory cell having a resistive variable element such as a PRAM cell, an FRAM cell, or an MRAM cell, and the like. However, it will be understood that the memory cell structure is not limited to that disclosed herein. The memory blocks BLK1 to BLKn constituting the memory cell array 100 are not formed in a single well but separately formed in corresponding wells. In other words, as shown in FIG. 2, the memory block BLK1 is formed in the corresponding independent well, the memory block BLK2 is formed in the corresponding independent well, and the memory block BLKn is located in the corresponding independent well. Is formed. Since the memory blocks BLK1 to BLKn are formed in independent wells, it may be possible to independently control the driving of the wells of the memory blocks BLK1 to BLKn.

예시적인 실시예에 있어서, 웰들은 P형 웰들일 것이다. 웰들은 반도체 기판에 형성된 N형 웰에 형성될 것이다. 즉, 메모리 셀 어레이(100)는 트리플-웰 구조를 가질 것이다. 하지만, 메모리 셀 어레이(100)의 웰 구조가 여기에 개시된 것에 국한되지 않음은 잘 이해될 것이다.In an exemplary embodiment, the wells will be P type wells. Wells will be formed in an N-type well formed in a semiconductor substrate. That is, the memory cell array 100 will have a triple-well structure. However, it will be appreciated that the well structure of the memory cell array 100 is not limited to that disclosed herein.

계속해서 도 1을 참조하면, 행 선택 블록(200)은 제어 로직 블록(600)의 제어에 응답하여 동작하며, 메모리 셀 어레이(100)의 메모리 블록들(BLK0∼BLKn)을 선택할 것이다. 행 선택 블록(200)은 동작 모드에 따라 선택된 메모리 블록의 행들 즉, 워드 라인들의 구동을 제어할 것이다. 읽기/쓰기 블록(300)은 제어 로직 블록(600)의 제어에 응답하여 동작하며, 메모리 셀 어레이(100)로부터/에 데이터를 읽고/쓰도록 구성될 것이다. 예를 들면, 읽기/쓰기 블록(300)은 읽기/검증 읽기 동작 동안 메모리 셀 어레이(100)로부터 데이터를 읽도록 구성된 감지 증폭 회로로서 동작할 것이다. 읽기/쓰기 블록(300)은 쓰기 동작(또는, 프로그램 동작) 동안 메모리 셀 어레이(100)에 데이터를 쓰도록 구성된 쓰기 구동 회로로서 동작할 것이다. 바이어스 블록(400)은 제어 로직 블록(600)의 제어에 응답하여 동작하며, 각 동작에 필요한 전압들(예를 들면, 워드 라인 전압들, 웰 전압들, 비트 라인 전압들, 등)을 발생할 것이다. 입출력 인터페이스 블록(500)은 제어 로직 블록(600)의 제어에 응답하여 동작하며, 외부(예를 들면, 메모리 제어기/호스트 처리 유니트)와 불 휘발성 메모리 장치(1000)의 구성 요소들 사이에 신호 경로를 제공할 것이다.1, the row select block 200 operates in response to the control of the control logic block 600, and selects the memory blocks BLK0 to BLKn of the memory cell array 100. The row select block 200 may control the driving of the rows, that is, word lines, of the memory block selected according to the operation mode. The read / write block 300 operates under the control of the control logic block 600 and may be configured to read / write data to / from the memory cell array 100. For example, read / write block 300 will operate as a sense amplifier circuit configured to read data from memory cell array 100 during a read / verify read operation. The read / write block 300 may operate as a write driving circuit configured to write data to the memory cell array 100 during a write operation (or a program operation). The bias block 400 operates in response to the control of the control logic block 600 and will generate the voltages required for each operation (eg, word line voltages, well voltages, bit line voltages, etc.). . The input / output interface block 500 operates in response to the control of the control logic block 600, and performs signal paths between an external (eg, memory controller / host processing unit) and components of the nonvolatile memory device 1000. Will provide.

본 발명에 따르면, 제어 로직 블록(600)은 프로그램 동작시 워드 라인 전압들이 선택된 메모리 블록에 인가되기 이전에 선택된 메모리 블록의 도핑 영역들을 정션 전압으로 프리챠지하도록 바이어스 블록(400)을 제어할 것이다.According to the present invention, the control logic block 600 will control the bias block 400 to precharge the doped regions of the selected memory block to the junction voltage before the word line voltages are applied to the selected memory block in the program operation.

도 3은 도 1에 도시된 메모리 블록들 중 하나를 개략적으로 보여주는 회로도이다. 도 3에는 단지 하나의 메모리 블록(BLK1)이 도시되어 있다. 하지만, 메모리 셀 어레이(100)를 구성하는 나머지 메모리 블록들(BLK2∼BLKn) 역시 도 3에 도시된 것과 실질적으로 동일하게 구성될 것이다. 메모리 블록(BLK1)은 비트 라인들(BL1∼BLm)에 각각 대응하는 스트링들(101)을 포함할 것이다. 도 2에서 설명된 바와 같이, 메모리 블록(BLK1) 즉, 스트링들(101)은 독립된 웰에 형성될 것이다. 스트링들(101)은 서로 동일하게 구성될 것이다.FIG. 3 is a circuit diagram schematically illustrating one of the memory blocks shown in FIG. 1. Only one memory block BLK1 is shown in FIG. 3. However, the remaining memory blocks BLK2 to BLKn constituting the memory cell array 100 may also be configured in substantially the same manner as shown in FIG. 3. The memory block BLK1 may include strings 101 corresponding to the bit lines BL1 to BLm, respectively. As illustrated in FIG. 2, the memory block BLK1, that is, the strings 101 may be formed in an independent well. The strings 101 will be configured identically to each other.

각 스트링(101)은 스트링 선택 트랜지스터(SST), 접지 선택 트랜지스 터(GST), 그리고 선택 트랜지스터들(SST, GST) 사이에 직렬 연결된 메모리 셀들(MC1∼MC32)로 구성될 것이다. 스트링들(101)의 스트링 선택 트랜지스터들(SST)은 스트링 선택 라인(SSL)을 통해 공통으로 제어되며, 스트링들(101)의 접지 선택 트랜지스터들(GST)은 접지 선택 라인(GSL)을 통해 공통으로 제어될 것이다. 각 행에 속하는 메모리 셀들은 대응하는 워드 라인을 통해 공통으로 제어될 것이다. 예를 들면, 첫 번째 행에 속하는 메모리 셀들(MC1)은 워드 라인(WL1)을 통해 공통으로 제어되고, 두 번째 행에 속하는 메모리 셀들(MC2)은 워드 라인(WL2)을 통해 공통으로 제어되며, 마지막 행에 속하는 메모리 셀들(MC32)은 워드 라인(WL32)을 통해 공통으로 제어될 것이다.Each string 101 may include a string select transistor SST, a ground select transistor GST, and memory cells MC1 to MC32 connected in series between the select transistors SST and GST. The string select transistors SST of the strings 101 are commonly controlled through the string select line SSL, and the ground select transistors GST of the strings 101 are common through the ground select line GSL. Will be controlled. Memory cells belonging to each row will be controlled in common through corresponding word lines. For example, the memory cells MC1 belonging to the first row are commonly controlled through the word line WL1, and the memory cells MC2 belonging to the second row are commonly controlled through the word line WL2. Memory cells MC32 belonging to the last row may be commonly controlled through the word line WL32.

도 3에는 단지 32개의 워드 라인들(WL1∼WL32)이 메모리 블록(BLK1)에 배열된 예가 도시되어 있지만, 본 발명이 여기에 개시된 것에 국한되지 않음은 잘 이해될 것이다. 예를 들면, 메모리 블록(BLK1)은 16개의 워드 라인들, 64개의 워드 라인들, 또는 128개의 워드 라인들을 포함하도록 구성될 수 있다.Although only an example in which only 32 word lines WL1 to WL32 are arranged in the memory block BLK1 is shown in FIG. 3, it will be understood that the present invention is not limited to the one disclosed herein. For example, the memory block BLK1 may be configured to include 16 word lines, 64 word lines, or 128 word lines.

예시적인 실시예에 있어서, 비트 라인들(BL1∼BLm)은 메모리 블록들(BLK1∼BLKn)에 의해서 공유되도록 배열될 것이다. 비트 라인들(BL1∼BLm)은 읽기/쓰기 블록(300)에 연결될 것이다. 하지만, 비트 라인들(BL1∼BLm)의 배열이 여기에 개시된 것에 국한되지 않음은 잘 이해될 것이다. 예를 들면, 비트 라인들(BL1∼BLm)은 각 메모리 블록 내에 배열되고, 그로벌 비트 라인들을 통해 읽기/쓰기 블록(300)에 연결될 수 있다. 즉, 메모리 셀 어레이(100)는 계층적인 비트 라인 구조를 갖도록 구성될 수 있다.In an exemplary embodiment, the bit lines BL1 to BLm may be arranged to be shared by the memory blocks BLK1 to BLKn. The bit lines BL1 to BLm may be connected to the read / write block 300. However, it will be understood that the arrangement of the bit lines BL1 to BLm is not limited to that disclosed herein. For example, the bit lines BL1 to BLm may be arranged in each memory block and connected to the read / write block 300 through the global bit lines. That is, the memory cell array 100 may be configured to have a hierarchical bit line structure.

도 4는 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 불 휘발성 메모리 장치의 프로그램 방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 5는 본 발명의 프로그램 방법에 따른 셀 정션(cell junction)의 전압 변화를 보여주는 도면이다.4 is a flowchart illustrating a program method of a nonvolatile memory device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a diagram illustrating a voltage change of a cell junction according to the program method of the present invention.

프로그램 동작을 수행하기에 앞서, S100 단계에서, 메모리 셀 어레이(100)에 저장될 데이터는 제어 로직 블록(600)의 제어 하에 입출력 인터페이스 블록(500)을 통해 읽기/쓰기 블록(300)에 로드될 것이다. 데이터의 로딩에 앞서 메모리 블록, 워드 라인, 등을 선택하기 위한 어드레스 정보가 불 휘발성 메모리 장치(1000)에 제공됨은 잘 이해될 것이다. 일단 메모리 셀 어레이(100)에 저장될 데이터가 읽기/쓰기 블록(300)에 로드되면, 행 선택 블록(200)은 제어 로직 블록(600)의 제어하에 어드레스 정보에 응답하여 메모리 블록들(BLK1∼BLKn) 중 하나(예를 들면, BLK1)를 선택할 것이다. 메모리 블록(BLK1)이 선택되면, S120 단계에서, 제어 로직 블록(600)은 주어진 전압(이하, "정션 프리챠지 전압"이라 칭함)이 선택된 메모리 블록(예를 들면, BLK1)의 웰에 공급되도록 바이어스 블록(400)을 제어할 것이다. 이러한 바이어스 조건에 따르면, 웰과 소오스/드레인으로 사용되는 도핑 영역들(102)에 의해서 PN 정션들(또는, 졍션 다이오드들)이 형성되기 때문에, 도 5에 도시된 바와 같이, 웰에 공급된 정션 프리챠지 전압은 셀의 소오스/드레인으로 사용되는 도핑 영역들(102)로 전달될 것이다.Prior to performing the program operation, in operation S100, data to be stored in the memory cell array 100 may be loaded into the read / write block 300 through the input / output interface block 500 under the control of the control logic block 600. will be. It will be appreciated that non-volatile memory device 1000 is provided with address information for selecting memory blocks, word lines, and the like prior to loading of data. Once the data to be stored in the memory cell array 100 is loaded in the read / write block 300, the row select block 200 is in response to the address information under the control of the control logic block 600. BLKn) (for example, BLK1). When the memory block BLK1 is selected, in step S120, the control logic block 600 causes a given voltage (hereinafter referred to as a “junction precharge voltage”) to be supplied to a well of the selected memory block (eg, BLK1). The bias block 400 will be controlled. According to this bias condition, since the PN junctions (or junction diodes) are formed by the doped regions 102 used for the well and the source / drain, the junction supplied to the well as shown in FIG. 5. The precharge voltage will be transferred to the doped regions 102 used as the source / drain of the cell.

예시적인 실시예에 있어서, 도핑 영역들(102)의 전압들은 각 메모리 셀의 소오스/드레인 전압으로서 정션 전압(VJC)이라 칭한다. 선택된 메모리 블록(BLK1)의 웰에 정션 프리챠지 전압이 공급되는 반면에, 비선택된 메모리 블록들(BLK2∼BLKn)의 웰들에는 정션 프리챠지 전압이 공급되지 않는다. 앞서 언급된 바와 같이, 메모리 블록들(BLK1∼BLKn)이 독립된 웰들에 각각 형성되기 때문에, 선택된 메모리 블록(BLK1)의 웰에만 독립적으로 정션 프리챠지 전압을 공급하는 것이 가능하다.In an exemplary embodiment, the voltages of the doped regions 102 are referred to as junction voltages V JC as the source / drain voltages of each memory cell. The junction precharge voltage is supplied to the wells of the selected memory block BLK1, while the junction precharge voltage is not supplied to the wells of the unselected memory blocks BLK2 to BLKn. As mentioned above, since the memory blocks BLK1 to BLKn are formed in independent wells, it is possible to supply the junction precharge voltage only to the wells of the selected memory block BLK1 independently.

S140 단계에서, 웰에 공급된 정션 프리챠지 전압은 제어 로직 블록(160)의 제어에 따라 바이어스 블록(140)을 통해 방전될 것이다. 비록 정션 프리챠지 전압이 웰로부터 방전되더라도, 도핑 영역들(102)의 전압들은 PN 정션들(또는, 정션 다이오드들)이 역 바이어스되기 때문에 유지될 것이다.In operation S140, the junction precharge voltage supplied to the well may be discharged through the bias block 140 under the control of the control logic block 160. Although the junction precharge voltage is discharged from the well, the voltages of the doped regions 102 will remain because the PN junctions (or junction diodes) are reverse biased.

앞서 설명된 단계들(S120, S140)을 통해 선택된 메모리 블록(BLK1)에 속한 메모리 셀들의 도핑 영역들(또는, 소오스/드레인 영역들)은 정션 전압(VJC)으로 프리챠지될 것이다. 여기서, 각 도핑 영역(102)의 정션 전압(VJC)은 정션 프리챠지 전압에 의해서 결정될 것이다. 예를 들면, 정션 프리챠지 전압이 높을수록 정션 전압(VJC)도 높아질 것이다. 이에 반해서, 정션 프리챠지 전압이 낮을수록 정션 전압(VJC) 역시 낮을 것이다.Doped regions (or source / drain regions) of the memory cells belonging to the selected memory block BLK1 through the above-described steps S120 and S140 may be precharged to the junction voltage V JC . Here, the junction voltage V JC of each doped region 102 will be determined by the junction precharge voltage. For example, the higher the junction precharge voltage, the higher the junction voltage V JC will be. In contrast, the lower the junction precharge voltage, the lower the junction voltage V JC will be.

정션 프리챠지 전압이 선택된 메모리 블록의 웰로부터 방전된 후, S160 단계에서, 로드된 데이터에 따라 메모리 셀들이 프로그램될 것이다. 좀 더 구체적으로, 먼저, 선택된 메모리 블록(BLK1)의 웰은 프로그램 동작을 위한 웰 전압으로 바이어스될 것이다. 그 다음에, 비트 라인들(BL1∼BLm)은, 선택된 메모리 블록(BLK1)의 스트링 선택 트랜지스터들(SST)이 턴 온된 상태에서, 로드된 데이터에 따라 읽기/ 쓰기 블록(130)에 의해서 비트 라인 프로그램 전압과 비트 라인 프로그램 금지 전압 중 어느 하나로 각각 구동될 것이다. 여기서, 비트 라인 프로그램 전압은 선택된 메모리 셀이 프로그램될 메모리 셀일 때 선택된 메모리 셀의 스트링에 인가되고, 비트 라인 프로그램 금지 전압은 선택된 메모리 셀이 프로그램 금지될 메모리 셀일 때 선택된 메모리 셀의 스트링에 인가될 것이다.After the junction precharge voltage is discharged from the well of the selected memory block, in step S160, the memory cells will be programmed according to the loaded data. More specifically, first, the well of the selected memory block BLK1 will be biased with the well voltage for the program operation. Next, the bit lines BL1 to BLm are formed by the read / write block 130 according to the loaded data while the string select transistors SST of the selected memory block BLK1 are turned on. Each of the program voltage and the bit line program inhibit voltage will be driven. Here, the bit line program voltage is applied to the string of the selected memory cell when the selected memory cell is the memory cell to be programmed, and the bit line program inhibit voltage is applied to the string of the selected memory cell when the selected memory cell is the memory cell to be program inhibited. .

이러한 바이어스 조건에 의하면, 잘 알려진 바와 같이, 스트링 선택 트랜지스터들(SST) 각각은 비트 라인 전압에 따라 선택적으로 셧 오프될 것이다. 예를 들면, 스트링 선택 트랜지스터(SST)는 비트 라인으로 비트 라인 프로그램 전압이 인가될 때 턴-온되고 비트 라인으로 비트 라인 프로그램 금지 전압이 인가될 때 셧 오프될 것이다. 스트링 선택 트랜지스터(SST)가 셧 오프되는 경우, 셧 오프된 스트링 선택 트랜지스터(SST)를 포함한 스트링(또는, 스트링 채널)은 플로팅될 것이다.With this bias condition, as is well known, each of the string select transistors SST will be selectively shut off according to the bit line voltage. For example, the string select transistor SST may be turned on when the bit line program voltage is applied to the bit line and shut off when the bit line program inhibit voltage is applied to the bit line. When the string select transistor SST is shut off, the string (or string channel) including the shut off string select transistor SST will be floated.

그 다음에, 선택된 메모리 블록(BLK1)의 워드 라인들(WL1∼WL32)은 제어 로직 블록(160)의 제어에 따라 행 디코더 블록(110)에 의해서 패스 전압으로 구동될 것이다. 패스 전압이 워드 라인들(WL1∼WL32)로 공급될 때 선택된 메모리 블록의 메모리 셀들은 턴 온될 것이다. 비트 라인 프로그램 전압을 갖는 비트 라인들과 연결된 스트링들(101)의 경우, 정션 전압들(VJC)은 패스 전압이 워드 라인들(WL1∼WL32)로 공급될 때 비트 라인들로 방전될 것이다. 이에 반해서, 플로팅된 스트링들(101)의 경우, 정션 전압들(VJC)은 패스 전압이 워드 라인들(WL1∼WL32)로 공급될 때 기생 커패시터들(도 5 참조)을 통해 1차적으로 승압될 것이다. 여기서, 패스 전 압으로 인한 승압은 정션 전압(VJC)과 플로팅 게이트(또는 제어 게이트) 사이의 전압차에 의해서 결정될 것이다. 예를 들면, 패스 전압으로 인한 승압은 정션 전압(VJC)과 플로팅 게이트(또는 제어 게이트) 사이의 전압차가 작을 때 작을 것이다. 이에 반해서, 패스 전압으로 인한 승압은 정션 전압(VJC)과 플로팅 게이트(또는 제어 게이트) 사이의 전압차가 클 때 클 것이다.Next, the word lines WL1 to WL32 of the selected memory block BLK1 may be driven with a pass voltage by the row decoder block 110 under the control of the control logic block 160. When the pass voltage is supplied to the word lines WL1 to WL32, the memory cells of the selected memory block will be turned on. In the case of the strings 101 connected with the bit lines having the bit line program voltage, the junction voltages V JC will be discharged to the bit lines when the pass voltage is supplied to the word lines WL1 to WL32. In contrast, in the case of the floated strings 101, the junction voltages V JC are boosted primarily through parasitic capacitors (see FIG. 5) when the pass voltage is supplied to the word lines WL1 to WL32. Will be. Here, the boost due to the pass voltage will be determined by the voltage difference between the junction voltage V JC and the floating gate (or control gate). For example, the boost due to the pass voltage will be small when the voltage difference between the junction voltage V JC and the floating gate (or control gate) is small. In contrast, the boost due to the pass voltage will be large when the voltage difference between the junction voltage V JC and the floating gate (or control gate) is large.

정션 전압들(VJC)의 승압과 더불어, 플로팅된 스트링들의 채널 전압들 역시 높아질 것이다. 플로팅된 스트링들의 채널 전압들은 메모리 셀들이 턴 온되어 있기 때문에 정션 전압들(VJC)의 영향을 받을 것이다. 즉, 정션 전압들(VJC)이 채널 전압들에 부가되며, 그 결과 채널 전압들은 셀프 부스팅에 의해서 결정된 전압 이상으로 높아질 것이다.In addition to boosting the junction voltages V JC , the channel voltages of the floated strings will also be high. The channel voltages of the floated strings will be affected by the junction voltages V JC because the memory cells are turned on. That is, the junction voltages V JC are added to the channel voltages, and as a result the channel voltages will be higher than the voltage determined by self boosting.

선택된 메모리 블록의 워드 라인들(WL1∼WL32)이 패스 전압으로 구동된 후, 선택된 워드 라인으로 프로그램 전압이 공급될 것이다. 이때, 비선택된 워드 라인들은 계속해서 패스 전압으로 바이어스될 것이다. 플로팅된 스트링에 속하고 선택된 워드 라인에 연결된 메모리 셀 즉, 프로그램 금지된 메모리 셀의 채널 전압은 프로그램 전압에 의해서 승압될 것이다. 마찬가지로, 프로그램 전압이 선택된 워드 라인에 인가될 때, 프로그램 금지된 메모리 셀의 정션 전압들(VJC) 역시 기생 커패시터들(도 5 참조)을 통해 2차적으로 승압될 것이다. 승압된 정션 전압들(예를 들면, VJC+α)은 채널 전압에 영향을 미칠 것이다. 즉, 정션 전압들(VJC)이 채널 전압 에 부가되며, 그 결과 채널 전압은 프로그램 전압에 따라 생기는 셀프 부스팅에 의해서 결정된 전압 이상으로 높아질 것이다.After the word lines WL1 to WL32 of the selected memory block are driven with the pass voltage, the program voltage will be supplied to the selected word line. At this time, unselected word lines will continue to be biased with a pass voltage. The channel voltage of the memory cell belonging to the floated string and connected to the selected word line, that is, the program inhibited memory cell, will be boosted by the program voltage. Similarly, when the program voltage is applied to the selected word line, the junction voltages V JC of the program inhibited memory cell will also be boosted secondary through parasitic capacitors (see FIG. 5). The boosted junction voltages (eg, V JC + α) will affect the channel voltage. That is, the junction voltages V JC are added to the channel voltage, and as a result, the channel voltage will be higher than the voltage determined by the self boosting caused by the program voltage.

예시적인 실시예에 있어서, 비록 정션 전압의 승압이 패스 전압에 의해서 영향을 받더라도, 정션 전압의 승압은 프로그램 전압에 의해서 주로 결정될 것이다.In an exemplary embodiment, although the boost of the junction voltage is affected by the pass voltage, the boost of the junction voltage will be determined primarily by the program voltage.

앞서의 설명에 따르면, 도핑 영역들(102)을 정션 전압(VJC)으로 설정함으로써/프리챠지함으로써 플로팅된 스트링들에 속하는 메모리 셀들의 채널 전압들을 높이는 것이 가능하다. 특히, 선택된 워드 라인에 연결된 프로그램 금지된 메모리 셀의 경우, 도핑 영역들(102)이 정션 전압(VJC)으로 프리챠지될 때 프로그램 전압과 채널 전압의 전압차는 도핑 영역들(102)이 정션 전압(VJC)으로 프리챠지되지 않을 때 프로그램 전압과 채널 전압의 전압차와 비교하여 볼 때 감소할 것이다. 이는 선택된 워드 라인에 연결된 프로그램 금지된 메모리 셀에 가해지는 스트레스(예를 들면, 프로그램 전압 스트레스)가 감소함을 의미한다. 프로그램 금지된 메모리 셀에 가해지는 스트레스가 감소됨에 따라, 프로그램 금지된 메모리 셀에 원하지 않게 전하가 주입되는 것을 방지할 수 있다. 디자인 룰(또는, 셀 크기)이 감소됨에 따라 프로그램 전압에 의해서 프로그램 금지된 메모리 셀에 원하지 않게 전하가 주입되는 현상은 심각해질 수 있다. 앞서 설명된 프로그램 방법을 통해 프로그램 전압 스트레스를 줄임으로써 메모리 셀들(또는, 불 휘발성 메모리 장치)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.According to the foregoing description, it is possible to increase the channel voltages of the memory cells belonging to the floated strings by setting / precharging the doped regions 102 to the junction voltage V JC . In particular, in the case of a program inhibited memory cell connected to the selected word line, when the doped regions 102 are precharged to the junction voltage V JC , the voltage difference between the program voltage and the channel voltage is determined by the doped regions 102 being the junction voltage. When not precharged to (V JC ) it will decrease compared to the voltage difference between the program voltage and the channel voltage. This means that stress (eg, program voltage stress) on the program inhibited memory cell connected to the selected word line is reduced. As the stress on the program inhibited memory cell is reduced, it is possible to prevent unwanted charges from being injected into the program prohibited memory cell. As design rules (or cell sizes) are reduced, undesired injection of charge into memory cells that are program inhibited by the program voltage may become serious. The above-described program method may improve the reliability of memory cells (or nonvolatile memory devices) by reducing program voltage stress.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 불 휘발성 메모리 장치를 개략적으로 보여주는 블록도이고, 도 7은 도 6의 점선(B-B')을 따라 절단된 단면을 보여주는 개략적으로 보여주는 블록도이다. 도 6을 참조하면, 불 휘발성 메모리 장치(2000)는 메모리 셀 어레이(2100), 행 디코더 블록(2200), 그리고 읽기/쓰기 블록(2300)을 포함할 것이다. 비록 도면에는 도시되지 않았지만, 불 휘발성 메모리 장치(2000)는 도 1에 도시된 바이어스 블록, 입출력 인터페이스 블록, 그리고 제어 로직 블록을 더 포함할 것이다.FIG. 6 is a block diagram schematically illustrating a nonvolatile memory device according to another exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a schematic block diagram illustrating a cross section taken along a dotted line B-B ′ of FIG. 6. Referring to FIG. 6, the nonvolatile memory device 2000 may include a memory cell array 2100, a row decoder block 2200, and a read / write block 2300. Although not shown in the drawings, the nonvolatile memory device 2000 may further include a bias block, an input / output interface block, and a control logic block shown in FIG. 1.

메모리 셀 어레이(2100)는 복수의 메모리 블록들(BLK1∼BLKn)과 복수의 스위치 블록들(SW1∼SWn)을 포함할 것이다. 복수의 메모리 블록들(BLK1∼BLKn)은 복수의 스위치 블록들(SW1∼SWn)에 각각 대응할 것이다. 도 7에서 설명된 바와 같이, 메모리 블록들(BLK1∼BLKn)은 독립된 웰들에 각각 형성될 것이다. 마찬가지로, 도 7에 도시된 바와 같이, 스위치 블록들(SW1∼SWn)은 독립된 웰들에 각각 형성될 것이다. 앞서 설명된 바와 같이, 메모리 블록들 및 스위치 블록들을 위한 웰들은 반도체 기판에 형성된 N형 웰에 형성될 것이다. 메모리 셀 어레이(2100)에는 읽기/쓰기 블록(2300)에 연결된 복수의 그로벌 비트 라인들(GBL1∼GBLm)이 배열될 것이다. 메모리 블록들(BLK1∼BLKn) 각각은 복수의 비트 라인들(이하, 로컬 비트 라인들이라 칭함)을 포함할 것이다. 메모리 블록들(BLK1∼BLKn) 각각의 로컬 비트 라인들은 대응하는 스위치 블록들(SW1∼SWn)을 통해 그로벌 비트 라인들(GBL1∼GBLm)에 연결될 것이다. 예를 들면, 메모리 블록(BLK1)의 로컬 비트 라인들(LBL1e, LBL1o)은 스위치 블록(SW1)을 통해 그로벌 비트 라인(GBL1)에 선택적으로 연결될 것이다. 행 디코더 블록(2200)은 메모리 블록들(BLK1∼BLKn) 및 스위치 블록들(SW1∼SWn)의 선 택 및 구동을 제어할 것이다. 이는 이후 상세히 설명될 것이다.The memory cell array 2100 may include a plurality of memory blocks BLK1 to BLKn and a plurality of switch blocks SW1 to SWn. The plurality of memory blocks BLK1 to BLKn may correspond to the plurality of switch blocks SW1 to SWn, respectively. As illustrated in FIG. 7, memory blocks BLK1 to BLKn may be formed in independent wells, respectively. Similarly, as shown in FIG. 7, the switch blocks SW1 to SWn may be formed in separate wells, respectively. As described above, wells for memory blocks and switch blocks will be formed in an N-type well formed in a semiconductor substrate. In the memory cell array 2100, a plurality of global bit lines GBL1 to GBLm connected to the read / write block 2300 may be arranged. Each of the memory blocks BLK1 to BLKn may include a plurality of bit lines (hereinafter, referred to as local bit lines). Local bit lines of each of the memory blocks BLK1 to BLKn may be connected to the global bit lines GBL1 to GBLm through corresponding switch blocks SW1 to SWn. For example, the local bit lines LBL1e and LBL1o of the memory block BLK1 may be selectively connected to the global bit line GBL1 through the switch block SW1. The row decoder block 2200 may control the selection and driving of the memory blocks BLK1 to BLKn and the switch blocks SW1 to SWn. This will be explained in detail later.

도 8은 도 6에 도시된 메모리 셀 어레이 및 행 디코더 블록의 일부를 보여주는 블록도이다. 도 8에는 단지 하나의 메모리 블록(BLK1) 및 스위치 블록(SW1)이 도시되어 있다. 하지만, 나머지 메모리 블록들(BLK2∼BLKn) 및 나머지 스위치 블록들(SW2∼SWn) 역시 도 8에 도시된 것과 실질적으로 동일하게 구성될 것이다.FIG. 8 is a block diagram illustrating a portion of a memory cell array and a row decoder block illustrated in FIG. 6. In FIG. 8, only one memory block BLK1 and a switch block SW1 are shown. However, the remaining memory blocks BLK2 to BLKn and the remaining switch blocks SW2 to SWn may also be configured in substantially the same manner as shown in FIG. 8.

메모리 블록(BLK1)은 도 3에서 설명된 것과 실질적으로 동일하며, 그것에 대한 설명은 그러므로 생략될 것이다. 메모리 블록(BLK1)은 비트 라인들 즉, 로컬 비트 라인들(LBL1e, LBL1o)∼(LBLxe, LBLxo)을 포함하며, 로컬 비트 라인들(LBL1e, LBL1o)∼(LBLxe, LBLxo)은 쌍으로 구성될 것이다. 스위치 블록(SW1)은 로컬 비트 라인 쌍들에 각각 대응하는 스위치들(2110∼2120)을 포함할 것이다. 스위치(2110)는 2개의 NMOS 트랜지스터들(N1, N2)로 구성될 것이다. NMOS 트랜지스터(N1)는 스위치 제어 신호(SCTRL1)에 응답하여 로컬 비트 라인(LBL1e)을 그로벌 비트 라인(GBL1)에 연결하고, NMOS 트랜지스터(N2)는 스위치 제어 신호(SCTRL2)에 응답하여 로컬 비트 라인(LBL1o)을 그로벌 비트 라인(GBL1)에 연결할 것이다. 즉, 한 쌍의 로컬 비트 라인들(LBL1e, LBL1o) 중 하나가 스위치(2110)를 통해 그로벌 비트 라인(GBL1)에 연결될 것이다. 스위치 제어 신호들(SCTRL1, SCTRL2)은 행 디코더 블록(2200)의 디코딩 및 구동 회로(2220)에 의해서 생성될 것이다.The memory block BLK1 is substantially the same as that described in FIG. 3, and a description thereof will therefore be omitted. The memory block BLK1 includes bit lines, that is, local bit lines LBL1e and LBL1o to LBLxe and LBLxo, and the local bit lines LBL1e and LBL1o to LBLxe and LBLxo are configured in pairs. will be. The switch block SW1 may include switches 2110 to 2120 respectively corresponding to local bit line pairs. The switch 2110 may be composed of two NMOS transistors N1 and N2. The NMOS transistor N1 connects the local bit line LBL1e to the global bit line GBL1 in response to the switch control signal SCTRL1, and the NMOS transistor N2 responds to the switch control signal SCTRL2. Will connect the line LBL1o to the global bit line GBL1. That is, one of the pair of local bit lines LBL1e and LBL1o may be connected to the global bit line GBL1 through the switch 2110. The switch control signals SCTRL1 and SCTRL2 may be generated by the decoding and driving circuit 2220 of the row decoder block 2200.

행 디코더 블록(2200)은 메모리 블록(BLK1)의 선택 및 구동을 제어하도록 구성된 제 1 디코딩 및 구동 회로(2210)와 스위치 블록(SW1)의 선택 및 구동을 제어하도록 구성된 제 2 디코딩 및 구동 회로(2220)를 포함할 것이다. 특히, 제 2 디코 딩 및 구동 회로(2220)는 메모리 블록(BLK1)을 선택하기 위한 어드레스 정보 및 한 쌍의 비트 라인들 중 하나를 선택하기 위한 어드레스 정보에 응답하여 스위치 제어 신호들(SCTRL1, SCTRL2) 중 하나를 활성화시킬 것이다. 제 2 디코더 및 구동 회로(2200)는 소거 동작시 로컬 비트 라인들과 그로벌 비트 라인들이 전기적으로 분리되도록 스위치 제어 신호들(SCTRL1, SCTRL2)을 비활성화시킬 것이다. 나머지 메모리 블록들(BLK2∼BLKn) 각각은 도 8에 도시된 것과 동일하게 구성된 제 1 및 디코딩 및 구동 회로(2210)를 통해 구동되며, 나머지 스위치 블록들(SW2∼SWn) 각각은 도 8에 도시된 것과 동일하게 구성된 제 2 및 디코딩 및 구동 회로(2220)를 통해 구동될 것이다.The row decoder block 2200 may include a first decoding and driving circuit 2210 configured to control the selection and driving of the memory block BLK1 and a second decoding and driving circuit configured to control the selection and driving of the switch block SW1. 2220). In particular, the second decoding and driving circuit 2220 may switch switch signals SCTRL1 and SCTRL2 in response to address information for selecting a memory block BLK1 and address information for selecting one of a pair of bit lines. ) Will be activated. The second decoder and driver circuit 2200 may deactivate the switch control signals SCTRL1 and SCTRL2 so that the local bit lines and the global bit lines are electrically separated during the erase operation. Each of the remaining memory blocks BLK2 to BLKn is driven through a first and decoding and driving circuit 2210 configured in the same manner as shown in FIG. 8, and each of the remaining switch blocks SW2 to SWn is shown in FIG. 8. Drive through a second and decoding and driving circuit 2220 configured identically to the above.

도 1에서 설명된 것과 마찬가지로, 본 발명의 다른 실시예에 따른 불 휘발성 메모리 장치(2000)는 패스 전압 및 프로그램 전압이 워드 라인들로 공급되기 이전에 선택된 메모리 블록의 도핑 영역들(102)을 정션 전압으로 프리챠지하는/설정하는 동작을 수행할 것이다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 불 휘발성 메모리 장치(2000)는 로컬 비트 라인들이 선택된 메모리 블록에 대응하는 스위치 블록을 통해 그로벌 비트 라인들에 연결된다는 점을 제외하면 도 1에서 설명된 것과 실질적으로 동일하며, 그것에 대해 설명은 그러므로 생략될 것이다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 불 휘발성 메모리 장치(2000)는 도 1에 도시된 것과 실질적으로 동일한 효과를 얻을 수 있다. 즉, 프로그램 전압 스트레스를 줄임으로써 메모리 셀들(또는, 불 휘발성 메모리 장치)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.As described in FIG. 1, the nonvolatile memory device 2000 according to another embodiment of the present invention may junction the doped regions 102 of the selected memory block before the pass voltage and the program voltage are supplied to the word lines. Precharging / setting to voltage will be performed. The nonvolatile memory device 2000 according to another embodiment of the present invention is substantially the same as that described in FIG. 1 except that the local bit lines are connected to the global bit lines through a switch block corresponding to the selected memory block. The same, and a description thereof will therefore be omitted. The nonvolatile memory device 2000 according to another embodiment of the present invention may have substantially the same effect as that shown in FIG. 1. That is, the reliability of memory cells (or nonvolatile memory devices) may be improved by reducing program voltage stress.

스위치 블록을 통해 선택된 메모리 블록의 로컬 비트 라인들을 그로벌 비트 라인들에 연결함으로써 그로벌 비트 라인들의 로딩을 최소화하는 것이 가능하다. 비트 라인 로딩의 최소화는 읽기 속도의 향상을 의미한다. 또한, 비트 라인 로딩을 최소화함으로써 대용량 칩의 설계시 매트 구조의 채용을 배제할 수 있다. 매트 구조는 행 디코더 블록, 읽기/쓰기 블록, 바이어스 블록, 등과 같은 구성 요소들의 추가를 가져온다. 그러므로, 매트 구조의 채용을 배제함으로써 대용량 칩의 설계시 칩 사이즈를 감소시키는 것이 가능하다. 메모리 블록을 독립된 웰에 형성함으로써 프로그램 동작시 ISPP 시간(또는, 프로그램 시간)의 증가를 억제할 수 있다. 이는 선택된 메모리 블록의 독립된 웰만이 프로그램 동작시 웰 전압으로 바이어스되기 때문이다. 또한, 스위치 블록들을 통해 그로벌 비트 라인들 사이의 거리를 넓힘으로써 커플링 커패시턴스의 증가를 최소화할 수 있다.It is possible to minimize the loading of global bit lines by connecting the local bit lines of the selected memory block to the global bit lines through the switch block. Minimizing bit line loading means improved read speed. In addition, by minimizing the bit line loading, it is possible to exclude the adoption of the mat structure when designing a large capacity chip. The matte structure results in the addition of components such as row decoder blocks, read / write blocks, bias blocks, and the like. Therefore, it is possible to reduce the chip size in the design of a large capacity chip by excluding the adoption of the mat structure. By forming the memory blocks in separate wells, an increase in ISPP time (or program time) during program operation can be suppressed. This is because only independent wells of the selected memory block are biased to the well voltage during the program operation. In addition, by increasing the distance between the global bit lines through the switch blocks it is possible to minimize the increase in the coupling capacitance.

프로그램 동작은 F-N 터널링을 발생하기에 적합한 바이어스 조건을 이용하여 수행될 것이다. 예를 들면, F-N 터널링은 웰 전압과 제어 게이트 전압(즉, 워드 라인 전압) 사이의 전압차에 의해서 발생할 것이다. 그러한 전압차는 다양하게 만들어질 수 있다. 예를 들면, 웰에 0V를 그리고 제어 게이트에 대략 15V의 워드 라인 전압(즉, 프로그램 전압)을 인가함으로써 F-N 터널링을 발생하는 것이 가능하다. 이러한 경우, 비트 라인들은 프로그램 데이터에 따라 0V 또는 전원 전압으로 구동될 것이다. 또는, 웰(메모리 블록의 웰과 스위치 블록의 웰을 포함함)에 음의 전압(예를 들면, -5V)를 그리고 제어 게이트에 대략 10V의 워드 라인 전압(즉, 프로그램 전압)을 인가함으로써 F-N 터널링을 발생하는 것이 가능하다. 이러한 경우, 비트 라인들은 프로그램 데이터에 따라 0V 또는 음의 전압(예를 들면, -5V)으로 구 동될 것이다. 본 발명에 따른 프로그램 방법이 여기에 개시된 바이어스 조건들(F-N 터널링을 위한 바이어스 조건)에 국한되지 않음은 잘 이해될 것이다.The program operation will be performed using a bias condition suitable for generating F-N tunneling. For example, F-N tunneling will be caused by the voltage difference between the well voltage and the control gate voltage (ie, word line voltage). Such voltage difference can be made variously. For example, it is possible to generate F-N tunneling by applying a word line voltage (ie, a program voltage) of 0 V to the well and approximately 15 V to the control gate. In this case, the bit lines will be driven to 0V or the supply voltage, depending on the program data. Or FN by applying a negative voltage (e.g., -5V) to the well (including the well of the memory block and the well of the switch block) and a word line voltage of approximately 10V (i.e., program voltage) to the control gate. It is possible to generate tunneling. In this case, the bit lines will be driven to 0V or negative voltage (eg -5V) depending on the program data. It will be appreciated that the program method according to the invention is not limited to the bias conditions disclosed herein (the bias conditions for F-N tunneling).

도 9는 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치를 포함한 메모리 시스템을 개략적으로 보여주는 블록도이고, 도 10은 도 9에 도시된 제어기를 개략적으로 보여주는 블록도이다.FIG. 9 is a block diagram schematically showing a memory system including a nonvolatile memory device according to the present invention, and FIG. 10 is a block diagram schematically showing the controller shown in FIG. 9.

도 9을 참조하면, 메모리 시스템(3000)은 스마트카드, 메모리 카드, 등과 같은 집저 회로 카드일 것이다. 메모리 시스템(3000)은 제어기(3100)와 불 휘발성 메모리 장치(3200)를 포함할 것이다. 불 휘발성 메모리 장치(3200)는 도 1 또는 도 6에 도시된 것과 실질적으로 동일할 것이다. 불 휘발성 메모리 장치(3200)는 본 발명에 따른 프로그램 방법을 이용하여 데이터를 저장할 것이다. 제어기(3100)는, 도 10에 도시된 바와 같이, CPU(3110), ROM(3120), RAM(3130), 그리고 입출력 인터페이스(3140)를 포함할 것이다. 집적 회로 카드(3000)가 적용되는 분야에 따라, 제어기(3100)는 암호화/복호화 기능, 에러 정정 기능, 보안 기능, 등을 수행할 수 있는 구성 요소들을 더 포함할 것이다.Referring to FIG. 9, the memory system 3000 may be a collector circuit card such as a smart card, a memory card, or the like. The memory system 3000 may include a controller 3100 and a nonvolatile memory device 3200. The nonvolatile memory device 3200 may be substantially the same as that shown in FIG. 1 or 6. The nonvolatile memory device 3200 will store data using the program method according to the present invention. The controller 3100 may include a CPU 3110, a ROM 3120, a RAM 3130, and an input / output interface 3140, as shown in FIG. 10. Depending on the field in which the integrated circuit card 3000 is applied, the controller 3100 may further include components capable of performing an encryption / decryption function, an error correction function, a security function, and the like.

도 11은 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치를 포함한 컴퓨팅 시스템을 개략적으로 보여주는 블록도이다.11 is a block diagram schematically illustrating a computing system including a nonvolatile memory device according to the present invention.

도 11을 참조하면, 컴퓨팅 시스템(4000)은 버스(4001)에 전기적으로 연결된 마이크로프로세서(4100), 사용자 인터페이스(4200), 베이스밴드 칩셋(baseband chipset)과 같은 모뎀(4300), 제어기(4400), 그리고 저장 매체(4500)를 포함한다. 저장 매체(4500)는 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치로 구성될 것이다. 저장 매체(4500)에는 마이크로프로세서(4100)에 의해서 처리된/처리될 N-비트 데이터(N은 1 또는 그 보다 큰 정수)가 제어기(4400)를 통해 저장될 것이다. 컴퓨팅 시스템(4000)이 모바일 장치인 경우, 컴퓨팅 시스템의 동작 전압을 공급하기 위한 배터리(4600)가 추가적으로 제공될 것이다. 비록 도면에는 도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 컴퓨팅 시스템에는 응용 칩셋(application chipset), 카메라 이미지 프로세서(Camera Image Processor: CIS), 모바일 디램, 등이 더 제공될 수 있음은 이 분야의 통상적인 지식을 습득한 자들에게 자명하다. 제어기(4400)와 저장 매체(4500)는 메모리 카드, SSD, 등로 구현될 수 있다.Referring to FIG. 11, the computing system 4000 may include a microprocessor 4100, a user interface 4200, a modem 4300 such as a baseband chipset, and a controller 4400 electrically connected to the bus 4001. And a storage medium 4500. The storage medium 4500 will be comprised of a nonvolatile memory device in accordance with the present invention. The storage medium 4500 may store, via the controller 4400, N-bit data (N is an integer greater than or equal to 1) processed / to be processed by the microprocessor 4100. If the computing system 4000 is a mobile device, a battery 4600 for supplying an operating voltage of the computing system will be further provided. Although not shown in the drawings, the computing system according to the present invention may further be provided with an application chipset, a camera image processor (CIS), a mobile DRAM, and the like. Self-explanatory to those who have learned. The controller 4400 and the storage medium 4500 may be embodied as a memory card, an SSD, or the like.

저장 매체 그리고/또는 제어기는 다양한 형태들의 패키지를 이용하여 실장될 수 있다. 예를 들면, 저장 매체 그리고/또는 제어기는 PoP(Package on Package), Ball grid arrays(BGAs), Chip scale packages(CSPs), Plastic Leaded Chip Carrier(PLCC), Plastic Dual In-Line Package(PDIP), Die in Waffle Pack, Die in Wafer Form, Chip On Board(COB), Ceramic Dual In-Line Package(CERDIP), Plastic Metric Quad Flat Pack(MQFP), Thin Quad Flatpack(TQFP), Small Outline(SOIC), Shrink Small Outline Package(SSOP), Thin Small Outline(TSOP), Thin Quad Flatpack(TQFP), System In Package(SIP), Multi Chip Package(MCP), Wafer-level Fabricated Package(WFP), Wafer-Level Processed Stack Package(WSP), 등과 같은 패키지들을 이용하여 실장될 수 있다.Storage media and / or controllers may be mounted using various forms of packages. For example, storage media and / or controllers may include Package on Package (PoP), Ball grid arrays (BGAs), Chip scale packages (CSPs), Plastic Leaded Chip Carrier (PLCC), Plastic Dual In-Line Package (PDIP), Die in Waffle Pack, Die in Wafer Form, Chip On Board (COB), Ceramic Dual In-Line Package (CERDIP), Plastic Metric Quad Flat Pack (MQFP), Thin Quad Flatpack (TQFP), Small Outline (SOIC), Shrink Small Outline Package (SSOP), Thin Small Outline (TSOP), Thin Quad Flatpack (TQFP), System In Package (SIP), Multi Chip Package (MCP), Wafer-level Fabricated Package (WFP), Wafer-Level Processed Stack Package (WSP), and the like can be implemented using packages.

본 발명의 범위 또는 기술적 사상을 벗어나지 않고 본 발명의 구조가 다양하게 수정되거나 변경될 수 있음은 이 분야에 숙련된 자들에게 자명하다. 상술한 내 용을 고려하여 볼 때, 만약 본 발명의 수정 및 변경이 아래의 청구항들 및 동등물의 범주 내에 속한다면, 본 발명이 이 발명의 변경 및 수정을 포함하는 것으로 여겨진다.It will be apparent to those skilled in the art that the structure of the present invention can be variously modified or changed without departing from the scope or spirit of the present invention. In view of the foregoing, it is believed that the present invention includes modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the following claims and their equivalents.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 불 휘발성 메모리 장치를 개략적으로 보여주는 블록도이다.1 is a block diagram schematically illustrating a nonvolatile memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 점선(A-A')을 따라 절단된 단면을 개략적으로 보여주는 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view schematically illustrating a cross section cut along a dotted line A-A 'of FIG. 1.

도 3은 도 1에 도시된 메모리 블록들 중 하나를 개략적으로 보여주는 회로도이다.FIG. 3 is a circuit diagram schematically illustrating one of the memory blocks shown in FIG. 1.

도 4는 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 불 휘발성 메모리 장치의 프로그램 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.4 is a flowchart illustrating a program method of a nonvolatile memory device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 프로그램 방법에 따른 셀 정션(cell junction)의 전압 변화를 보여주는 도면이다.5 is a diagram illustrating a voltage change of a cell junction according to the program method of the present invention.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 불 휘발성 메모리 장치를 개략적으로 보여주는 블록도이다.6 is a block diagram schematically illustrating a nonvolatile memory device according to another embodiment of the present invention.

도 7은 도 6의 점선(B-B')을 따라 절단된 단면을 보여주는 개략적으로 보여주는 블록도이다. FIG. 7 is a schematic block diagram illustrating a cross section taken along a dotted line B-B ′ of FIG. 6.

도 8은 도 6에 도시된 메모리 셀 어레이 및 행 디코더 블록의 일부를 보여주는 블록도이다.FIG. 8 is a block diagram illustrating a portion of a memory cell array and a row decoder block illustrated in FIG. 6.

도 9는 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치를 포함한 메모리 시스템을 개략적으로 보여주는 블록도이다.9 is a block diagram schematically illustrating a memory system including a nonvolatile memory device according to the present invention.

도 10은 도 9에 도시된 제어기를 개략적으로 보여주는 블록도이다.FIG. 10 is a block diagram schematically illustrating the controller shown in FIG. 9.

도 11은 본 발명에 따른 불 휘발성 메모리 장치를 포함한 컴퓨팅 시스템을 개략적으로 보여주는 블록도이다.11 is a block diagram schematically illustrating a computing system including a nonvolatile memory device according to the present invention.

Claims (10)

웰들에 각각 형성된 복수의 메모리 블록들과;A plurality of memory blocks each formed in the wells; 상기 복수의 메모리 블록들 중 선택된 메모리 블록의 웰을 바이어스하도록 구성된 바이어스 블록과; 그리고A bias block configured to bias a well of a selected memory block of the plurality of memory blocks; And 프로그램 동작시 워드 라인 전압들이 상기 선택된 메모리 블록에 인가되기 이전에 상기 선택된 메모리 블록의 도핑 영역들을 정션 전압으로 프리챠지하도록 상기 바이어스 블록을 제어하는 제어 로직 블록을 포함하는 불 휘발성 메모리 장치.And a control logic block controlling the bias block to precharge doped regions of the selected memory block to the junction voltage before word line voltages are applied to the selected memory block in a program operation. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 워드 라인 전압들이 상기 선택된 메모리 블록에 인가될 때, 상기 선택된 메모리 블록의 도핑 영역들의 정션 전압들은 상기 워드 라인 전압들에 의해서 승압되며, 상기 승압된 정션 전압들은 상기 선택된 메모리 블록에 속한 스트링들의 채널 전압들에 가해지는 불 휘발성 메모리 장치.When the word line voltages are applied to the selected memory block, junction voltages of doped regions of the selected memory block are boosted by the word line voltages, and the boosted junction voltages are channels of strings belonging to the selected memory block. Nonvolatile memory device applied to voltages. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 도핑 영역들은 상기 선택된 메모리 블록에 속한 메모리 셀들의 소오스/드레인 영역들인 불 휘발성 메모리 장치.And the doped regions are source / drain regions of memory cells belonging to the selected memory block. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 메모리 블록들 각각은 제 1 비트 라인들을 포함하며, 상기 복수의 메모리 블록들 각각의 제 1 비트 라인들은 상기 복수의 메모리 블록들에 각각 대응하는 스위치 블록들을 통해 제 2 비트 라인들에 연결되는 불 휘발성 메모리 장치.Each of the plurality of memory blocks includes first bit lines, and the first bit lines of each of the plurality of memory blocks are connected to second bit lines through switch blocks respectively corresponding to the plurality of memory blocks. Nonvolatile memory device. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 스위치 블록들은 독립된 웰들에 각각 형성되는 불 휘발성 메모리 장치.And the switch blocks are formed in separate wells, respectively. 복수의 메모리 블록들을 포함하는 불 휘발성 메모리 장치의 프로그램 방법에 있어서:In the method of programming a nonvolatile memory device comprising a plurality of memory blocks: 상기 복수의 메모리 블록들 중 선택된 메모리 블록에 속한 도핑 영역들을 정션 전압으로 프리챠지하고,Precharges the doped regions belonging to the selected memory block among the plurality of memory blocks with a junction voltage, 프로그램될 데이터에 따라 상기 선택된 메모리 블록의 비트 라인들 각각을 비트 라인 프로그램 전압과 비트 라인 프로그램 금지 전압 중 하나로 구동하고,Driving each of the bit lines of the selected memory block to one of a bit line program voltage and a bit line program prohibition voltage according to the data to be programmed, 상기 선택된 메모리 블록의 워드 라인들을 패스 전압으로 구동하고,Driving word lines of the selected memory block with a pass voltage, 상기 워드 라인들 중 선택된 워드 라인을 프로그램 전압으로 구동하는 것을 포함하며,Driving a selected one of the word lines to a program voltage; 상기 복수의 메모리 블록들은 독립된 웰들에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 프로그램 방법.And the plurality of memory blocks are formed in independent wells, respectively. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 패스 전압 및 상기 프로그램 전압이 상기 선택된 메모리 블록에 인가될 때, 상기 선택된 메모리 블록의 도핑 영역들의 정션 전압들은 상기 패스 전압 및 상기 프로그램 전압에 의해서 승압되며, 상기 승압된 정션 전압들은 상기 선택된 메모리 블록에 속한 스트링들의 채널 전압들에 가해지는 것을 특징으로 하는 프로그램 방법.When the pass voltage and the program voltage are applied to the selected memory block, the junction voltages of the doped regions of the selected memory block are boosted by the pass voltage and the program voltage, and the boosted junction voltages are boosted by the selected memory block. And the channel voltages of the strings belonging to 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 도핑 영역들은 상기 선택된 메모리 블록에 속한 메모리 셀들의 소오스/드레인 영역들인 것을 특징으로 하는 프로그램 방법.And the doped regions are source / drain regions of memory cells belonging to the selected memory block. 불 휘발성 메모리 장치와; 그리고A nonvolatile memory device; And 상기 불 휘발성 메모리 장치를 제어하도록 구성된 제어기를 포함하며,A controller configured to control the nonvolatile memory device, 상기 불 휘발성 메모리 장치는The nonvolatile memory device 웰들에 각각 형성된 복수의 메모리 블록들과;A plurality of memory blocks each formed in the wells; 상기 복수의 메모리 블록들 중 선택된 메모리 블록의 웰을 바이어스하도록 구성된 바이어스 블록과; 그리고A bias block configured to bias a well of a selected memory block of the plurality of memory blocks; And 프로그램 동작시 워드 라인 전압들이 상기 선택된 메모리 블록에 인가되기 이전에 상기 선택된 메모리 블록의 도핑 영역들을 정션 전압으로 프리챠지하도록 상기 바이어스 블록을 제어하는 제어 로직 블록을 포함하는 메모리 시스템.And a control logic block controlling the bias block to precharge doped regions of the selected memory block to the junction voltage before word line voltages are applied to the selected memory block during a program operation. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 불 휘발성 메모리 장치와 상기 제어기는 집적 회로 카드를 구성하는 메모리 시스템.And the nonvolatile memory device and the controller constitute an integrated circuit card.
KR1020090066362A 2009-07-21 2009-07-21 Non-volatile memory device and program method thereof Expired - Fee Related KR101604631B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090066362A KR101604631B1 (en) 2009-07-21 2009-07-21 Non-volatile memory device and program method thereof
US12/829,623 US8441857B2 (en) 2009-07-21 2010-07-02 Programming a nonvolatile memory device using a bias voltage to a well of a memory block

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090066362A KR101604631B1 (en) 2009-07-21 2009-07-21 Non-volatile memory device and program method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110008829A true KR20110008829A (en) 2011-01-27
KR101604631B1 KR101604631B1 (en) 2016-03-18

Family

ID=43497219

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090066362A Expired - Fee Related KR101604631B1 (en) 2009-07-21 2009-07-21 Non-volatile memory device and program method thereof

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8441857B2 (en)
KR (1) KR101604631B1 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2975813B1 (en) * 2011-05-24 2014-04-11 St Microelectronics Rousset REDUCTION OF THE PROGRAMMING CURRENT OF MEMORY ARRAYS
US9013489B2 (en) * 2011-06-06 2015-04-21 Microsoft Technology Licensing, Llc Generation of avatar reflecting player appearance
US8811102B2 (en) * 2013-01-16 2014-08-19 International Business Machines Corporation Multiple read port memory system with a single port memory cell
TWI514393B (en) * 2013-08-07 2015-12-21 Winbond Electronics Corp Non-volatile memory system and method for biasing non-volatile memory
CN109378028B (en) * 2018-08-22 2020-11-17 长江存储科技有限责任公司 Control method and device for reducing programming interference

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5920506A (en) * 1997-09-26 1999-07-06 Hyundai Electronics America, Inc. Method and apparatus for bulk preprogramming flash memory cells with minimal source and drain currents
JP3920501B2 (en) * 1999-04-02 2007-05-30 株式会社東芝 Nonvolatile semiconductor memory device and data erase control method thereof
JP2004087002A (en) 2002-08-27 2004-03-18 Fujitsu Ltd AC sense type memory circuit
KR100562506B1 (en) * 2003-12-01 2006-03-21 삼성전자주식회사 Flash memory device and its program method
KR100604561B1 (en) 2004-05-11 2006-07-31 에스티마이크로일렉트로닉스 엔.브이. NAND flash memory device and well forming method thereof
JP2006179065A (en) * 2004-12-21 2006-07-06 Toshiba Corp Semiconductor memory device and memory card
JP2007066355A (en) 2005-08-29 2007-03-15 Toshiba Corp Nonvolatile semiconductor memory device
JP5020608B2 (en) 2005-11-23 2012-09-05 三星電子株式会社 Nonvolatile semiconductor memory having low load bit line structure and programming method thereof
KR100742278B1 (en) 2005-11-23 2007-07-24 삼성전자주식회사 NAND flash memory device with increased operating speed and dual program capability

Also Published As

Publication number Publication date
US8441857B2 (en) 2013-05-14
KR101604631B1 (en) 2016-03-18
US20110019476A1 (en) 2011-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101301140B1 (en) Nonvolatile semiconductor memory devices for preventing read disturbance and read method thereof
KR101358752B1 (en) Nonvolatile memory device, memory system having its, and programming method thereof
KR101434401B1 (en) Integrated circuit memory device
KR101642932B1 (en) Local self-boosting method of flash memory device and program method using the same
US9443594B2 (en) Logic embedded nonvolatile memory device
US20050117444A1 (en) Multiple use memory chip
US20090091981A1 (en) Nonvolatile memory device with multiple page regions, and methods of reading and precharging the same
EP2438596B1 (en) Memory erase methods and devices
US9251878B2 (en) Nonvolatile memory device and related wordline driving method
US8259502B2 (en) NAND flash memory
KR101604631B1 (en) Non-volatile memory device and program method thereof
CN109524045B (en) Nonvolatile memory device and method of operating the same
US6465818B1 (en) Semiconductor memory device capable of performing data writing or erasing operation and data reading operation in parallel
JP5329815B2 (en) Flash memory device
KR101458792B1 (en) Flash memory device
WO2006059375A1 (en) Semiconductor device and semiconductor device control method
US7272048B2 (en) Nonvolatile memory device controlling common source line for improving read characteristic
CN111179985B (en) Apparatus and method for initializing channels in a non-volatile memory device
US20040190343A1 (en) Nonvolatile memories with asymmetric transistors, nonvolatile memories with high voltage lines extending in the column direction, and nonvolatile memories with decoding circuits sharing a common area
KR101521993B1 (en) Nonvolatile memory device independent from breakdown voltage
JP2006196700A (en) Nonvolatile semiconductor memory device
US20250246251A1 (en) Memory device including vertical channel structure
KR20100116937A (en) Programming method of nonvolatile memory device

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

D13-X000 Search requested

St.27 status event code: A-1-2-D10-D13-srh-X000

D14-X000 Search report completed

St.27 status event code: A-1-2-D10-D14-srh-X000

R17-X000 Change to representative recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R17-oth-X000

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190228

Year of fee payment: 4

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200228

Year of fee payment: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 6

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 7

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 8

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903

Not in force date: 20240315

Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Not in force date: 20240315