KR20250028738A - Micro light emitting device - Google Patents
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Abstract
실시예는, 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층; 및 상기 활성층 상에 배치되는 제2 도전형 반도체층을 포함하고, 상기 활성층은 복수 개의 장벽층과 우물층을 포함하고, 상기 우물층은 에너지 밴드갭이 상기 우물층의 평균 에너지 밴드갭보다 작은 제1 정렬 영역을 포함하는 마이크로 발광소자를 개시한다.The embodiment discloses a micro light-emitting device including a first conductive semiconductor layer; an active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; and a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer, wherein the active layer includes a plurality of barrier layers and well layers, and the well layer includes a first alignment region in which an energy bandgap is smaller than an average energy bandgap of the well layer.
Description
실시예는 마이크로 발광소자에 관한 것이다.The embodiment relates to a micro light-emitting device.
발광 다이오드(Light Emitting Diode: LED)는 전류가 인가되면 광을 방출하는 발광 소자 중 하나이다. 발광 다이오드는 저 전압으로 고효율의 광을 방출할 수 있어 에너지 절감 효과가 뛰어나다. 최근, 발광 다이오드의 휘도 문제가 크게 개선되어, 디스플레이장치의 백라이트 유닛(Backlight Unit), 전광판, 표시기, 가전 제품 등과 같은 각종 기기에 적용되고 있다.Light-emitting diodes (LEDs) are one of the light-emitting elements that emit light when current is applied. Light-emitting diodes can emit high-efficiency light at low voltages, so they have excellent energy-saving effects. Recently, the brightness problem of light-emitting diodes has been greatly improved, and they are being applied to various devices such as backlight units of display devices, electronic boards, indicators, and home appliances.
AlGaInP, AlGaN, AlGaInN, AlGaAs, AlInGaAs, InGaAsP 등의 화합물을 포함하는 발광소자는 조정이 용이한 밴드 갭 에너지를 가지는 등의 많은 장점을 가져서 발광 소자, 수광 소자 및 각종 다이오드 등으로 다양하게 사용될 수 있다.Light-emitting devices containing compounds such as AlGaInP, AlGaN, AlGaInN, AlGaAs, AlInGaAs, and InGaAsP have many advantages such as having easily tunable band gap energy, and can be used in various ways such as light-emitting devices, light-receiving devices, and various diodes.
특히, 반도체의 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 물질을 이용한 발광 다이오드(Light Emitting Diode)나 레이저 다이오드(Laser Diode)와 같은 발광소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 근적외선, 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 색을 구현할 수 있으며, 청색 및 자외선광은 형광 물질을 이용하거나 색을 조합함으로써 효율이 좋은 백색 광선도 구현이 가능하며, 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경 친화성의 장점을 가진다. In particular, light-emitting devices such as light-emitting diodes (LEDs) or laser diodes using semiconductor materials of groups III-V or II-VI can implement various colors such as near-infrared, red, green, blue, and ultraviolet through the development of thin film growth technology and device materials, and blue and ultraviolet light can also implement efficient white light by using fluorescent substances or combining colors, and have the advantages of low power consumption, semi-permanent lifespan, fast response speed, safety, and environmental friendliness compared to existing light sources such as fluorescent lamps and incandescent lamps.
최근에는 가시광을 발출하는 발광 다이오드의 크기를 마이크로 사이즈로 제작하여 고해상도 디스플레이의 픽셀로 사용하는 기술에 대한 연구가 진행되고 있다.Recently, research is being conducted on technology to manufacture light-emitting diodes that emit visible light in micro sizes and use them as pixels in high-resolution displays.
현재까지 개발된 마이크로 발광소자는 측면에서의 누설전류에의한 발광 효율 감소 문제가 있어 상용화를 어렵게 하고 있어, 이 문제를 극복하기 위한 기술 개발에 많은 노력을 기울이고 있다.Micro light-emitting devices developed to date have difficulty in commercialization due to the problem of reduced light-emitting efficiency caused by leakage current from the side, and much effort is being put into developing technology to overcome this problem.
실시예는 발광 효율이 개선된 마이크로 발광소자를 제공할 수 있다.The embodiment can provide a micro light-emitting device with improved light-emitting efficiency.
실시예에서 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되는 것은 아니며, 아래에서 설명하는 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 포함된다고 할 것이다.The problem to be solved in the embodiment is not limited to this, and it can be said that the purpose or effect that can be understood from the solution or embodiment of the problem described below is also included.
본 발명의 일 특징에 따른 마이크로 발광소자는, 제1 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층; 및 상기 활성층 상에 배치되는 제2 도전형 반도체층을 포함하고, 상기 활성층은 복수 개의 장벽층과 우물층을 포함하고,A micro light-emitting device according to one feature of the present invention comprises: a first conductive semiconductor layer; an active layer disposed on the first conductive semiconductor layer; and a second conductive semiconductor layer disposed on the active layer, wherein the active layer comprises a plurality of barrier layers and well layers.
상기 우물층은 에너지 밴드갭이 상기 우물층의 평균 에너지 밴드갭보다 작은 제1 정렬 영역을 포함한다.The above well layer includes a first aligned region in which an energy band gap is smaller than an average energy band gap of the well layer.
상기 제1 도전형 반도체층은 에너지 밴드갭이 상기 제1 도전형 반도체층의 평균 에너지 밴드갭보다 작은 제2 정렬 영역을 포함하고, 상기 제2 도전형 반도체층은 에너지 밴드갭이 상기 제2 도전형 반도체층의 평균 에너지 밴드갭보다 작은 제3 정렬 영역을 포함할 수 있다.The first conductive semiconductor layer may include a second alignment region in which an energy band gap is smaller than an average energy band gap of the first conductive semiconductor layer, and the second conductive semiconductor layer may include a third alignment region in which an energy band gap is smaller than an average energy band gap of the second conductive semiconductor layer.
상기 우물층의 전체 면적 중에서 상기 제1 정렬 영역이 형성된 비율은 상기 제1 도전형 반도체층의 전체 면적에서 상기 제2 정렬 영역이 형성된 비율보다 높을 수 있다.The ratio of the first alignment region formed in the total area of the well layer may be higher than the ratio of the second alignment region formed in the total area of the first conductive semiconductor layer.
상기 우물층의 전체 면적 중에서 상기 제1 정렬 영역이 형성된 비율은 상기 제2 도전형 반도체층의 전체 면적에서 상기 제3 정렬 영역이 형성된 비율보다 높을 수 있다.The ratio of the first alignment region formed in the total area of the well layer may be higher than the ratio of the third alignment region formed in the total area of the second conductive semiconductor layer.
상기 우물층은 AlGaInP를 포함하고 적색 파장대의 광을 방출할 수 있다.The above well layer contains AlGaInP and can emit light in the red wavelength range.
상기 제1 정렬 영역은 AlGa와 In이 [111] 방향으로 서로 교대로 배치될 수 있다.In the above first alignment region, AlGa and In can be alternately arranged in the [111] direction.
상기 우물층의 전체 면적 100% 중에서 상기 제1 정렬 영역이 형성된 면적은 20% 이상일 수 있다. The area where the first alignment region is formed may be 20% or more of the total area of 100% of the above well layer.
상기 제1 도전형 반도체층의 전체 면적 100% 중에서 상기 제2 정렬 영역이 형성된 면적은 20% 미만일 수 있다. The area where the second alignment region is formed may be less than 20% of the total area of 100% of the first challenge type semiconductor layer.
상기 활성층은 상기 제1 도전형 반도체층 및 상기 제2 도전형 반도체층의 성장 온도보다 낮은 온도에서 성장할 수 있다.The above active layer can be grown at a temperature lower than the growth temperatures of the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer.
실시예에 따르면, 마이크로 발광소자의 효율이 개선될 수 있다. 또한, 광 추출 효율이 개선될 수 있다.According to an embodiment, the efficiency of the micro light-emitting device can be improved. In addition, the light extraction efficiency can be improved.
본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.The various advantageous and beneficial effects of the present invention are not limited to the above-described contents, and will be more easily understood in the course of explaining specific embodiments of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 발광소자의 단면도이다.
도 2는 마이크로 발광소자의 사이즈 변화에 따른 발광 효율 변화를 보여주는 그래프이다.
도 3은 전류 주입시 측면 전류 밀도 및 유효 전류 밀도를 보여주는 시뮬레이션 결과이다.
도 4는 마이크로 발광소자의 사이즈 변화에 따른 측면 누설 전류의 변화를 보여주는 시뮬레이션 결과이다.
도 5는 일반적인 마이크로 발광소자에 전류 주입시 캐리어의 흐름을 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 발광소자의 전류 주입시 캐리어의 흐름을 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 발광소자의 에너지 밴드 다이어그램을 보여주는 도면이다.
도 8은 InGaP 반도체에서 오더링 현상을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 주입된 캐리어들이 우물층의 정열 영역에서 발광에 참여하는 과정을 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 발광소자의 활성층에 형성된 정렬 영역을 보여주는 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 도면이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a micro light-emitting device according to one embodiment of the present invention.
Figure 2 is a graph showing changes in luminous efficiency according to changes in the size of micro light-emitting elements.
Figure 3 shows simulation results showing the lateral current density and effective current density during current injection.
Figure 4 is a simulation result showing the change in lateral leakage current according to the change in the size of the micro light-emitting device.
Figure 5 is a diagram showing the flow of carriers when current is injected into a typical micro light-emitting device.
FIG. 6 is a drawing showing the flow of carriers when current is injected into a micro light-emitting device according to one embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a drawing showing an energy band diagram of a micro light-emitting device according to one embodiment of the present invention.
Figure 8 is a diagram for explaining the ordering phenomenon in an InGaP semiconductor.
Figure 9 is a diagram showing the process in which injected carriers participate in luminescence in the alignment region of the well layer.
FIG. 10 is a drawing showing an alignment region formed in an active layer of a micro light-emitting device according to one embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a drawing of a display device according to one embodiment of the present invention.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. The present invention can have various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated and described in the drawings. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, but should be understood to include all modifications, equivalents, or substitutes included in the spirit and technical scope of the present invention.
제2, 제1 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제2 구성요소는 제1 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제1 구성요소도 제2 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다. Terms including ordinal numbers such as second, first, etc. may be used to describe various components, but the components are not limited by the terms. The terms are only used to distinguish one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the second component may be referred to as the first component, and similarly, the first component may also be referred to as the second component. The term and/or includes any combination of a plurality of related described items or any item among a plurality of related described items.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. When it is said that a component is "connected" or "connected" to another component, it should be understood that it may be directly connected or connected to that other component, but that there may be other components in between. On the other hand, when it is said that a component is "directly connected" or "directly connected" to another component, it should be understood that there are no other components in between.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is only used to describe specific embodiments and is not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly indicates otherwise. In this application, it should be understood that the terms "comprises" or "has" and the like are intended to specify the presence of a feature, number, step, operation, component, part or combination thereof described in the specification, but do not exclude in advance the possibility of the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms defined in commonly used dictionaries, such as those defined in common usage, should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning they have in the context of the relevant art, and will not be interpreted in an idealized or overly formal sense unless expressly defined in this application.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the attached drawings. Regardless of the drawing symbols, identical or corresponding components are given the same reference numerals and redundant descriptions thereof will be omitted.
또한, 본 실시예에 따른 마이크로 발광소자는 마이크로 사이즈 또는 나노 사이즈를 갖는 발광소자일 수 있다. 마이크로 발광소자는 한 변의 사이즈가 1㎛ 내지 100㎛ 일 수 있으나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니다. In addition, the micro light-emitting device according to the present embodiment may be a light-emitting device having a micro size or a nano size. The micro light-emitting device may have a side size of 1 ㎛ to 100 ㎛, but is not necessarily limited thereto.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 발광소자의 단면도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a micro light-emitting device according to one embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 실시예에 따른 마이크로 발광소자는 발광구조물(CS1) 및 전극(71, 72)을 포함할 수 있다. 발광구조물은 제1 도전형 반도체층(30), 활성층(40), 제2 도전형 반도체층(60)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1, a micro light-emitting device according to an embodiment may include a light-emitting structure (CS1) and electrodes (71, 72). The light-emitting structure may include a first conductive semiconductor layer (30), an active layer (40), and a second conductive semiconductor layer (60).
발광구조물은 제1 도전형 반도체층(30), 활성층(40), 제2 도전형 반도체층(60)이 순서대로 적층된 구조일 수 있다. 또한, 발광구조물의 하부에는 기판(10) 및 버퍼층(20)이 형성될 수도 있다.The light-emitting structure may have a structure in which a first conductive semiconductor layer (30), an active layer (40), and a second conductive semiconductor layer (60) are sequentially laminated. In addition, a substrate (10) and a buffer layer (20) may be formed at the bottom of the light-emitting structure.
기판(10)은 반도체 물질 성장에 적합한 물질이나 캐리어 웨이퍼로 형성될 수 있으며, 열 전도성이 뛰어난 물질로 형성될 수 있고, 전도성 기판 또는 절연성 기판을 포함할 수 있다. 예컨대, 사파이어(Al2O3), SiO2, SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, Ga203 중 적어도 하나를 사용할 수 있다.The substrate (10) may be formed of a material suitable for semiconductor material growth or a carrier wafer, may be formed of a material having excellent thermal conductivity, and may include a conductive substrate or an insulating substrate. For example, at least one of sapphire (Al 2 O 3 ), SiO 2 , SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, and Ga 2 0 3 may be used.
버퍼층(20)은 기판(10)과 발광구조물(ES1) 사이에 배치될 수 있다. 기판(10) 상에 발광구조물(ES1)이 배치될 때, 결정성을 악화시키는 전위(dislocation), 멜트 백(melt-back), 크랙(crack), 피트(pit), 표면 모폴로지(surface morphology) 불량 등을 방지할 수 있다. 버퍼층(20)은 InP, InGaAsP, InGaAs, AlInGaAs, GaAs, AlGaAs, GaAsSb,AlGaAsSb, GaAsP, AlGaAsP, GaInP, AlGaInP, InAlGaAsP, InGaAsSb, GaN, AlN, AlGaN, AlGaInN중 적어도 하나일 수 있다.The buffer layer (20) may be arranged between the substrate (10) and the light-emitting structure (ES1). When the light-emitting structure (ES1) is arranged on the substrate (10), dislocations, melt-back, cracks, pits, and surface morphology defects that deteriorate crystallinity may be prevented. The buffer layer (20) may be at least one of InP, InGaAsP, InGaAs, AlInGaAs, GaAs, AlGaAs, GaAsSb, AlGaAsSb, GaAsP, AlGaAsP, GaInP, AlGaInP, InAlGaAsP, InGaAsSb, GaN, AlN, AlGaN, and AlGaInN.
발광구조물(ES1)은 유기금속 화학 증착법(Metal Organic Chemical Vapor Deposition; MOCVD), 화학 증착법(Chemical Vapor Deposition; CVD), 플라즈마 화학 증착법(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition; PECVD), 분자선 성장법(Molecular Beam Epitaxy; MBE), 수소화물 기상 성장법(Hydride Vapor Phase Epitaxy; HVPE), 스퍼터링(Sputtering) 등의 방법을 이용하여 형성할 수 있다.The light-emitting structure (ES1) can be formed using a method such as Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), Chemical Vapor Deposition (CVD), Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), Molecular Beam Epitaxy (MBE), Hydride Vapor Phase Epitaxy (HVPE), or sputtering.
제1 도전형 반도체층(30)은 Ⅲ-Ⅴ족, Ⅱ-Ⅵ족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1 도전형 반도체층(30)에 제1 도펀트가 도핑될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(30)은 AxByC(1-x-y)DzE(1-z) (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1, 0≤z≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질일 수 있다. 여기에서 A, B, C는 Al, Ga, In 중 하나이며, D, E는 As, P, N, Sb 중 하나일 수 있다. The first conductive semiconductor layer (30) can be implemented with a compound semiconductor of group III-V, group II-VI, etc., and a first dopant can be doped into the first conductive semiconductor layer (30). The first conductive semiconductor layer (30) can be a semiconductor material having a composition formula of A x B y C (1-xy) D z E (1-z) (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1, 0≤z≤1). Here, A, B, and C can be one of Al, Ga, and In, and D and E can be one of As, P, N, and Sb.
예시적으로 제1 도전형 반도체층(30)은 InP, InGaAsP, InGaAs, AlInGaAs, GaAs, AlGaAs, GaAsSb,AlGaAsSb, GaAsP, AlGaAsP, GaInP, AlGaInP, InAlGaAsP, InGaAsSb, GaN, AlN, AlGaN, AlGaInN 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있으나, 이에 한정하지 않는다. 제1 도펀트가 Si, Ge, Sn, Se, Te 등과 같은 n형 도펀트인 경우, 제1 도전형 반도체층(30)은 n형 반도체층일 수 있다. 또한, 제1 도전형 반도체층(30)에는 에너지 밴드갭이 국소적으로 작아지는 정렬 영역(미도시)이 형성될 수 있다.For example, the first conductive semiconductor layer (30) may be formed of one or more of InP, InGaAsP, InGaAs, AlInGaAs, GaAs, AlGaAs, GaAsSb,AlGaAsSb, GaAsP, AlGaAsP, GaInP, AlGaInP, InAlGaAsP, InGaAsSb, GaN, AlN, AlGaN, AlGaInN, but is not limited thereto. When the first dopant is an n-type dopant such as Si, Ge, Sn, Se, Te, or the like, the first conductive semiconductor layer (30) may be an n-type semiconductor layer. In addition, an alignment region (not shown) in which the energy band gap is locally reduced may be formed in the first conductive semiconductor layer (30).
활성층(40)은 제1 도전형 반도체층(30)을 통해서 주입되는 전자(또는 정공)와 제2 도전형 반도체층(60)을 통해서 주입되는 정공(또는 전자)이 만나는 층이다. 활성층(40)은 전자와 정공이 재결합함에 따라 낮은 에너지 준위로 천이하며, 그에 상응하는 파장을 가지는 빛을 생성할 수 있다. The active layer (40) is a layer where electrons (or holes) injected through the first conductive semiconductor layer (30) and holes (or electrons) injected through the second conductive semiconductor layer (60) meet. The active layer (40) transitions to a lower energy level as electrons and holes recombine, and can generate light having a corresponding wavelength.
활성층(40)은 단일 우물 구조, 다중 우물 구조, 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물(Multi Quantum Well; MQW) 구조, 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나의 구조를 가질 수 있으며, 활성층(40)의 구조는 이에 한정하지 않는다. 예시적으로 활성층(40)은 우물층(42)과 장벽층(41)이 교번 배치된 구조일 수 있다.The active layer (40) may have any one of a single well structure, a multi-well structure, a single quantum well structure, a multi-quantum well (MQW) structure, a quantum dot structure, or a quantum wire structure, and the structure of the active layer (40) is not limited thereto. For example, the active layer (40) may have a structure in which well layers (42) and barrier layers (41) are alternately arranged.
활성층(40)은 가시광 파장대의 광을 생성할 수 있다. 예시적으로 활성층(40)은 청색, 녹색, 및 적색 중 어느 하나의 파장대의 광을 출력할 수 있다. 그러나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니고 활성층(40)은 자외선 파장대의 광 또는 적외선 파장대의 광을 생성할 수도 있다.The active layer (40) can generate light in the visible wavelength range. For example, the active layer (40) can output light in any one of the wavelengths of blue, green, and red. However, it is not necessarily limited thereto, and the active layer (40) can also generate light in the ultraviolet wavelength range or light in the infrared wavelength range.
활성층(40)은 InP, InGaAsP, InGaAs, AlInGaAs, GaAs, AlGaAs, GaAsSb,AlGaAsSb, GaAsP, AlGaAsP, GaInP, AlGaInP, InAlGaAsP, InGaAsSb, GaN, AlN, AlGaN, AlGaInN 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있으나, 이에 한정하지 않는다. 또한, 활성층(40)에는 에너지 밴드갭이 국소적으로 작아지는 정렬 영역(미도시)이 형성될 수 있다.The active layer (40) may be formed of one or more of InP, InGaAsP, InGaAs, AlInGaAs, GaAs, AlGaAs, GaAsSb, AlGaAsSb, GaAsP, AlGaAsP, GaInP, AlGaInP, InAlGaAsP, InGaAsSb, GaN, AlN, AlGaN, AlGaInN, but is not limited thereto. In addition, an alignment region (not shown) in which the energy band gap is locally reduced may be formed in the active layer (40).
제2 도전형 반도체층(60)은 활성층(40) 상에 배치될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(60)은 Ⅲ-Ⅴ족, Ⅱ-Ⅵ족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제2 도전형 반도체층(60)에 제2 도펀트가 도핑될 수 있다. 제2 도전형 반도체층(60)은 AxByC(1-x-y)DzE(1-z) (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1, 0≤z≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질로 형성될 수 있다. 여기에서 A, B, C는 Al, Ga, In 중 하나이며, D, E는 As, P, N, Sb 중 하나일 수 있다.The second conductive semiconductor layer (60) may be disposed on the active layer (40). The second conductive semiconductor layer (60) may be implemented with a compound semiconductor of group III-V, group II-VI, etc., and a second dopant may be doped into the second conductive semiconductor layer (60). The second conductive semiconductor layer (60) may be formed of a semiconductor material having a composition formula of A x B y C (1-xy) D z E (1-z) (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1, 0≤z≤1). Here, A, B, and C may be one of Al, Ga, and In, and D and E may be one of As, P, N, and Sb.
예시적으로 제2 도전형 반도체층(60)은 InP, InGaAsP, InGaAs, AlInGaAs, GaAs, AlGaAs, GaAsSb,AlGaAsSb, GaAsP, AlGaAsP, GaInP, AlGaInP, InAlGaAsP, InGaAsSb, GaN, AlN, AlGaN, AlGaInN 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다. 제2 도펀트가 Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등과 같은 p형 도펀트인 경우, 제2 도펀트가 도핑된 제2 도전형 반도체층(60)은 p형 반도체층일 수 있다. 제2 도전형 반도체층(60)에는 에너지 밴드갭이 국소적으로 작아지는 정렬 영역(미도시)이 형성될 수 있다.For example, the second conductive semiconductor layer (60) may be formed of one or more of InP, InGaAsP, InGaAs, AlInGaAs, GaAs, AlGaAs, GaAsSb,AlGaAsSb, GaAsP, AlGaAsP, GaInP, AlGaInP, InAlGaAsP, InGaAsSb, GaN, AlN, AlGaN, AlGaInN. When the second dopant is a p-type dopant such as Mg, Zn, Ca, Sr, Ba, or the like, the second conductive semiconductor layer (60) doped with the second dopant may be a p-type semiconductor layer. An alignment region (not shown) in which the energy band gap is locally reduced may be formed in the second conductive semiconductor layer (60).
제1 전극(71)은 제1 도전형 반도체층(30)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 전극(71)은 기판의 하부에 배치되는 것으로 도시되었으나 반드시 이에 한정하는 것은 아니고, 제1 전극(71)은 식각에 의해 노출된 제1 도전형 반도체층(30) 상에 배치될 수도 있다. The first electrode (71) can be electrically connected to the first conductive semiconductor layer (30). The first electrode (71) is illustrated as being placed on the lower portion of the substrate, but is not necessarily limited thereto, and the first electrode (71) may be placed on the first conductive semiconductor layer (30) exposed by etching.
제2 전극(72)은 제2 도전형 반도체층(60) 상에 배치되어 제2 도전형 반도체층(60)과 전기적으로 연결될 수 있다.The second electrode (72) is disposed on the second conductive semiconductor layer (60) and can be electrically connected to the second conductive semiconductor layer (60).
제1 전극(71)과 제2 전극(72)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, Ni/AuGe/Au, Ti/Pt/Au AuBe/Au, Cr/Au, Al/Au 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으나, 이러한 재료에 한정되는 않는다. 예시적으로 제1 전극(71)과 제2 전극(72)은 Ni/AuGe/Au, Ti/Pt/Au 일 수 있으나 이에 한정하지 않는다.The first electrode (71) and the second electrode (72) can be formed by including at least one of ITO (indium tin oxide), IZO (indium zinc oxide), IZTO (indium zinc tin oxide), IAZO (indium aluminum zinc oxide), IGZO (indium gallium zinc oxide), IGTO (indium gallium tin oxide), AZO (aluminum zinc oxide), ATO (antimony tin oxide), GZO (gallium zinc oxide), IZON (IZO Nitride), AGZO (Al-Ga ZnO), IGZO (In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, Ni/AuGe/Au, Ti/Pt/Au AuBe/Au, Cr/Au, and Al/Au, but are not limited to these materials. For example, the first electrode (71) and the second electrode (72) may be Ni/AuGe/Au, Ti/Pt/Au, but are not limited thereto.
도 2는 마이크로 발광소자의 사이즈 변화에 따른 발광 효율 변화를 보여주는 그래프이고, 도 3은 전류 주입시 측면 전류 밀도 및 유효 전류 밀도를 보여주는 시뮬레이션 결과이고, 도 4는 마이크로 발광소자의 사이즈 변화에 따른 측면 누설 전류의 변화를 보여주는 시뮬레이션 결과이다.Fig. 2 is a graph showing changes in luminous efficiency according to changes in the size of a micro light-emitting device, Fig. 3 is a simulation result showing lateral current density and effective current density when current is injected, and Fig. 4 is a simulation result showing changes in lateral leakage current according to changes in the size of a micro light-emitting device.
도 2를 참조하면, 한 변의 길이가 262㎛인 마이크로 발광소자의 경우 주입되는 전류밀도가 50A/cm2 이상이 되면 약 5% 발광 효율을 갖는 반면, 한 변의 길이가 32㎛인 마이크로 발광소자의 경우 주입되는 전류밀도가 높아져도 발광 효율이 약 2% 정도인 것을 알 수 있다. 즉, 마이크로 발광소자의 사이즈가 작아질수록 발광효율은 감소하는 것을 알 수 있다.Referring to Fig. 2, in the case of a micro light-emitting device with a side length of 262 μm, the luminous efficiency is approximately 5% when the injected current density is 50 A/cm 2 or higher, whereas in the case of a micro light-emitting device with a side length of 32 μm, the luminous efficiency is approximately 2% even when the injected current density increases. In other words, it can be seen that the luminous efficiency decreases as the size of the micro light-emitting device decreases.
도 3 및 도 4의 시뮬레이션 결과는 [표 1]에 정리한 반도체 적층 구조를 기초로 시뮬레이션한 결과이다. 이러한 반도체 적층 구조는 적색 발광소자일 수 있으나 청색 발광소자 및 녹색 발광소자도 동일한 결과를 가질 수 있다.The simulation results of Figs. 3 and 4 are simulation results based on the semiconductor stack structure summarized in [Table 1]. This semiconductor stack structure can be a red light-emitting element, but blue light-emitting elements and green light-emitting elements can also have the same results.
도 3을 참조하면, 한 변의 길이가 30㎛인 마이크로 발광소자에 전류를 주입하였을 때 마이크로 발광소자의 측면으로 누설되는 전류(이하 측면 누설 전류라 함)와 마이크로 발광소자의 내부에 주입되어 발광에 참여하는 전류(이하 유효 주입 전류라 함)가 존재하는 것을 알 수 있다. 측면 누설 전류와 유효 주입 전류의 합은 마이크로 발광소자에 인가된 전류의 총량일 수 있다. Referring to Fig. 3, when current is injected into a micro light-emitting element having a side length of 30 μm, it can be seen that there is a current leaking to the side of the micro light-emitting element (hereinafter referred to as a side leakage current) and a current injected into the interior of the micro light-emitting element and participating in light emission (hereinafter referred to as an effective injection current). The sum of the side leakage current and the effective injection current may be the total amount of current applied to the micro light-emitting element.
측면 누설 전류란 인가된 전류가 마이크로 발광소자의 내부로 주입되지 않고 마이크로 발광소자의 측면을 따라 흐르게 되어 발광에 참여하지 않는 전류일 수 있다. 따라서, 인가된 전류 중 상당부분이 누설되기 때문에 마이크로 발광소자의 사이즈가 작아질수록 발광효율이 감소할 수 있다.The lateral leakage current may be a current in which the applied current is not injected into the interior of the micro light-emitting device but flows along the side of the micro light-emitting device and thus does not participate in light emission. Accordingly, since a significant portion of the applied current leaks out, the light emission efficiency may decrease as the size of the micro light-emitting device decreases.
도 4를 참조하면, 마이크로 발광소자의 사이즈가 작아질수록 인가된 전류 중 측면 누설 전류의 비율이 높아짐을 알 수 있다. 마이크로 발광소자의 사이즈가 200㎛인 경우 측면 누설 전류의 비율은 약 10% 정도에 불과하나 마이크로 발광소자의 사이즈가 100㎛인 경우 측면 누설 전류의 비율은 약 20%로 2배 가까이 증가하는 것을 알 수 있다.Referring to Fig. 4, it can be seen that as the size of the micro light-emitting device decreases, the ratio of the lateral leakage current among the applied current increases. When the size of the micro light-emitting device is 200 μm, the ratio of the lateral leakage current is only about 10%, but when the size of the micro light-emitting device is 100 μm, the ratio of the lateral leakage current increases by nearly two times to about 20%.
더욱이 마이크로 발광소자의 사이즈가 50㎛인 경우 측면 누설 전류의 비율은 약 35%로 증가하고, 마이크로 발광소자의 사이즈가 20㎛인 경우 측면 누설 전류의 비율은 약 85%로 급격히 증가하는 것을 알 수 있다.Furthermore, when the size of the micro light-emitting device is 50 μm, the ratio of the lateral leakage current increases to approximately 35%, and when the size of the micro light-emitting device is 20 μm, the ratio of the lateral leakage current increases rapidly to approximately 85%.
표시장치의 해상도를 높이기 위해서는 마이크로 발광소자의 사이즈는 더 작아질 필요가 있다. 마이크로 발광소자를 고해상도 디스플레이의 픽셀 광원으로 사용하기 위해서는 마이크로 발광소자의 사이즈가 50㎛ 이하로 제작하는 것이 유리할 수 있다. 따라서, 마이크로 발광소자의 크기가 작아짐에 따라 발광효율이 저하되는 것을 방지하는 것이 매우 중요하다.In order to increase the resolution of the display device, the size of the micro light-emitting element needs to be reduced. In order to use the micro light-emitting element as a pixel light source of a high-resolution display, it may be advantageous to manufacture the micro light-emitting element with a size of 50㎛ or less. Therefore, it is very important to prevent the luminous efficiency from decreasing as the size of the micro light-emitting element decreases.
실시예에서는 전술한 바와 같이 마이크로 발광소자의 내부에 광학층을 형성하여 측면 누설 전류를 줄임으로써 마이크로 발광소자의 발광 효율을 효과적으로 개선할 수 있다.In the embodiment, as described above, the light emitting efficiency of the micro light emitting device can be effectively improved by forming an optical layer inside the micro light emitting device to reduce the lateral leakage current.
도 5는 일반적인 마이크로 발광소자에 전류 주입시 캐리어의 흐름을 보여주는 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 발광소자에 전류 주입시 캐리어의 흐름을 보여주는 도면이다. FIG. 5 is a drawing showing the flow of carriers when current is injected into a general micro light-emitting device, and FIG. 6 is a drawing showing the flow of carriers when current is injected into a micro light-emitting device according to one embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 주입된 캐리어 들은 발광영역(RR, Radiative Recombination)과 비발광 영역(NRR, Non-Radiative Recombination)으로 분포될 수 있다. 마이크로 발광소자는 전압 인가시 캐리어(전자 또는 정공)의 일부가 발광소자의 측면을 따라 비발광 영역(NRR)으로 이동함으로써 발광에 참여하지 않을 수 있다. 발광소자의 크기가 작아질수록 측면을 따라 이동하는 캐리어의 밀도는 높아질 수 있다. 따라서, 발광소자의 크기가 작아질수록 측면 누설 전류가 증가하고 발광 효율이 감소하는 문제가 있다.Referring to FIG. 5, the injected carriers can be distributed into a radiative recombination (RR) region and a non-radiative recombination (NRR) region. In the micro light-emitting device, when voltage is applied, some of the carriers (electrons or holes) may move along the side of the light-emitting device to the non-radiative recombination region (NRR), thereby not participating in light emission. As the size of the light-emitting device decreases, the density of carriers moving along the side may increase. Therefore, as the size of the light-emitting device decreases, there is a problem that the side leakage current increases and the light emission efficiency decreases.
이에 반해 도 6을 참조하면, 실시예에 따른 마이크로 발광소자는 전압 인가시 캐리어(전자 또는 정공)가 발광소자의 측면을 따라 이동하는 현상이 줄어들었음을 알 수 있다. 따라서, 실시예에 따르면 대부분의 캐리어가 유효 발광영역(RR)에서 발광에 참여하여 발광 효율이 개선될 수 있다.In contrast, referring to FIG. 6, it can be seen that in the micro light-emitting device according to the embodiment, the phenomenon in which carriers (electrons or holes) move along the side of the light-emitting device when voltage is applied is reduced. Therefore, according to the embodiment, most of the carriers participate in light emission in the effective light-emitting region (RR), so that the light emission efficiency can be improved.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 발광소자의 양자우물구조 활성층의 에너지 밴드 다이어그램을 보여주는 도면이다. 도 8은 InGaP 반도체에서 오더링 현상을 설명하기 위한 도면이다. 도 9는 주입된 캐리어들이 우물층의 정열 영역에서 발광에 참여하는 과정을 보여주는 도면이다. 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 발광소자의 활성층에 형성된 정렬 영역을 보여주는 도면이다.FIG. 7 is a diagram showing an energy band diagram of a quantum well structure active layer of a micro light-emitting device according to an embodiment of the present invention. FIG. 8 is a diagram for explaining an ordering phenomenon in an InGaP semiconductor. FIG. 9 is a diagram showing a process in which injected carriers participate in light emission in an alignment region of a well layer. FIG. 10 is a diagram showing an alignment region formed in an active layer of a micro light-emitting device according to an embodiment of the present invention.
도 7을 참조하면, 활성층(40)은 복수 개의 장벽층(41)과 우물층(42)으로 구성되고 우물층(42)은 에너지 밴드갭이 우물층(42)의 평균 에너지 밴드갭보다 작은 제1 정렬 영역(ORA11)을 포함할 수 있다. 장벽층(41) 역시 에너지 밴드갭이 장벽층(41)의 평균 에너지 밴드갭보다 작은 정렬 영역(ORA12)을 포함할 수 있다. 따라서, 활성층 전체 영역에 정렬 영역(ORA1)이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 7, the active layer (40) is composed of a plurality of barrier layers (41) and well layers (42), and the well layers (42) may include a first alignment region (ORA11) whose energy band gap is smaller than the average energy band gap of the well layers (42). The barrier layer (41) may also include an alignment region (ORA12) whose energy band gap is smaller than the average energy band gap of the barrier layer (41). Accordingly, the alignment region (ORA1) may be formed in the entire area of the active layer.
일반적인 장벽층과 우물층은 발광 구조물의 두께 방향으로 에너지 밴드갭이 일정하게 유지되나, 실시예에 따른 활성층(40)은 복수 개의 정렬 영역(ORA11, ORA12)이 형성되어 에너지 밴드갭이 작아지는 구간을 포함한다.In general, the energy band gap is maintained constant in the thickness direction of the light-emitting structure in the barrier layer and well layer, but the active layer (40) according to the embodiment includes a section in which the energy band gap is reduced by forming a plurality of aligned regions (ORA11, ORA12).
정렬 영역은 에너지 밴드갭이 해당 층의 평균 에너지 밴드갭보다 10% 이상 더 작은 영역으로 정의할 수 있다. 예시적으로 제1 정렬 영역(ORA11)은 우물층(42)의 평균 에너지 밴드갭보다 에너지 밴드갭이 10% 이상 더 작은 영역일 수 있고, 제2 정렬 영역(ORA2)은 제1 도전형 반도체층의 평균 에너지 밴드갭보다 에너지 밴드갭이 10% 이상 더 작은 영역일 수 있다.The alignment region can be defined as a region in which the energy band gap is 10% or more smaller than the average energy band gap of the corresponding layer. For example, the first alignment region (ORA11) can be a region in which the energy band gap is 10% or more smaller than the average energy band gap of the well layer (42), and the second alignment region (ORA2) can be a region in which the energy band gap is 10% or more smaller than the average energy band gap of the first conductive semiconductor layer.
우물층(42)의 전체 면적 100% 중에서 제1 정렬 영역(ORA11)이 형성된 면적은 20% 내지 50%일 수 있다. 면적은 20% 이상으로 형성되어야 에너지 레벨이 낮은 영역이 충분히 형성되어 측면으로 이동하려는 캐리어를 발광에 참여시킬 수 있다. 또한, 면적이 50%를 초과하는 경우 발광파장이 너무 장파장화 되어 양자우물 두께 감소로만 파장을 조절하기 어렵고, 박막의 물성이 저하되는 문제가 있다.The area where the first alignment region (ORA11) is formed among 100% of the total area of the well layer (42) may be 20% to 50%. The area must be formed at 20% or more so that a region with a low energy level is sufficiently formed to allow carriers attempting to move laterally to participate in light emission. In addition, if the area exceeds 50%, the light emission wavelength becomes too long, making it difficult to control the wavelength only by reducing the quantum well thickness, and there is a problem that the properties of the thin film deteriorate.
제1 도전형 반도체층(30)은 에너지 밴드갭이 제1 도전형 반도체층(30)의 평균 에너지 밴드갭보다 작은 제2 정렬 영역(ORA2)을 포함하고, 제2 도전형 반도체층(60)은 에너지 밴드갭이 제2 도전형 반도체층(60)의 평균 에너지 밴드갭보다 작은 제3 정렬 영역(ORA3)을 포함할 수 있다. The first conductive semiconductor layer (30) may include a second alignment region (ORA2) whose energy band gap is smaller than the average energy band gap of the first conductive semiconductor layer (30), and the second conductive semiconductor layer (60) may include a third alignment region (ORA3) whose energy band gap is smaller than the average energy band gap of the second conductive semiconductor layer (60).
제1 도전형 반도체층(30)의 전체 면적 100% 중에서 제2 정렬 영역(ORA2)이 형성된 면적은 20% 미만일 수 있다. 일반적으로 디스플레이 장치는 적용되는 발광 소자들의 구동 온도환경이 50℃~60℃까지 상승할 수 있다. 이에 따라 50~60℃에서도 마이크로 발광소자의 효율이 유지되어야 한다. 제2 정렬 영역(ORA2)의 면적이 20% 이상인 경우 클래드층의 많는 부분에서 캐리어들이 트랩(trap)에 잡혀 캐리어 손실이 증가하여 캐리어 주입 효율이 감소하여 광효율이 감소하게 될 수 있다. 또한, 평균 에너지 밴드갭이 줄어 들어 마이크로 발광소자의 고온에서의 광효율이 저하될 수 있는 문제가 있다. The area where the second alignment region (ORA2) is formed among the total area of 100% of the first challenge-type semiconductor layer (30) may be less than 20%. In general, the operating temperature environment of the light-emitting elements applied to the display device may increase to 50°C to 60°C. Accordingly, the efficiency of the micro light-emitting element should be maintained even at 50 to 60°C. If the area of the second alignment region (ORA2) is 20% or more, carriers may be trapped in a large portion of the clad layer, increasing carrier loss and reducing carrier injection efficiency, which may reduce light efficiency. In addition, there is a problem that the average energy band gap may be reduced, which may lower the light efficiency of the micro light-emitting element at high temperatures.
제2 도전형 반도체층(60)의 전체 면적 100% 중에서 제3 정렬 영역(ORA3)이 형성된 면적 역시 위와 동일한 이유로 20% 미만일 수 있다.The area where the third alignment region (ORA3) is formed among the total area of 100% of the second challenge type semiconductor layer (60) may also be less than 20% for the same reason as above.
따라서, 실시예는 우물층(42)의 전체 면적 중에서 제1 정렬 영역(ORA11)이 형성된 비율은 제1 도전형 반도체층(30)의 전체 면적에서 제2 정렬 영역(ORA2)이 형성된 비율보다 높다. 이러한 구성에 의하면 우물층(42) 내에서 에너지 밴드갭이 작아지는 영역이 많아져 캐리어가 발광에 참여할 확률이 높아지게 된다.Accordingly, in the embodiment, the ratio of the first alignment region (ORA11) formed in the entire area of the well layer (42) is higher than the ratio of the second alignment region (ORA2) formed in the entire area of the first conductive semiconductor layer (30). According to this configuration, the region where the energy band gap is reduced in the well layer (42) increases, thereby increasing the probability that carriers participate in light emission.
도 8을 참조하면, 오더링 현상에 의한 원자들이 특정 방향으로 자동적으로 발현되는 정렬 영역은 AlGaInP로 구성되는 우물층(42)에서 AlGa 와 In이 [111] 방향으로 서로 교대로 균일하게 배열되어 형성될 수 있다. 정렬되지 않은 GaAs 영역에서는 AlGa 와 In이 [111] 방향으로 서로 교대로 균일하게 배열되지 않는다.Referring to Fig. 8, an alignment region in which atoms are automatically expressed in a specific direction due to an ordering phenomenon can be formed in a well layer (42) composed of AlGaInP in which AlGa and In are uniformly and alternately arranged in the [111] direction. In an unaligned GaAs region, AlGa and In are not uniformly and alternately arranged in the [111] direction.
AlGaInP로 구성되는 우물층에서 Ga 와 In이 [111] 방향으로 서로 교대로 균일하게 정렬되면 결정 격자들은 정사각형(tetragonal) 방향으로 왜곡(distortion)을 겪게 되고 이로 인하여 원래 에너지 밴드의 재규격화가 진행된다. 따라서, 오더링 현상에 의해 정렬된 상태는 에너지 밴드갭이 상대적으로 낮아지게 된다. 실시예에 따르면, 의도적으로 우물층(42) 내에서 정렬 영역을 형성하여 에너지 밴드갭을 낮출 수 있다.In a well layer composed of AlGaInP, when Ga and In are uniformly aligned alternately in the [111] direction, the crystal lattices undergo distortion in the tetragonal direction, which causes renormalization of the original energy band. Therefore, the state aligned by the ordering phenomenon has a relatively low energy band gap. According to an embodiment, the energy band gap can be lowered by intentionally forming an aligned region in the well layer (42).
정렬 영역을 형성하는 방법은 활성층(40) 성장시 성장 온도를 낮춤으로써 달성될 수 있다. 예시적으로 AlGaInP 박막을 MOCVD 법으로 성장할 때 성장 온도를 610℃ 내지 670℃로 낮게 유지한 상태에서, 주입하는 V족 원소의 소스인 PH3의 몰-유량을 III족 원소 소스인 TMAl, TMGa, TMIn의 몰-유량의 합보다 50~400배 많게 유지하면 원자 구조를 재배열시켜 정렬 영역을 형성할 수 있다.The method of forming an alignment region can be achieved by lowering the growth temperature during the growth of the active layer (40). For example, when growing an AlGaInP thin film by the MOCVD method, if the growth temperature is maintained low at 610°C to 670°C and the molar flow rate of PH3, which is the source of the injected group V element, is maintained to be 50 to 400 times higher than the sum of the molar flows of TMAl, TMGa, and TMIn, which are the sources of the group III elements, the atomic structure can be rearranged to form an alignment region.
즉, 상기 온도 조건과 몰 유량 조건을 만족하면, (100) 표면상에서 [111] 방향으로 (AlGa) 원자와 In 원자는 tetrahedron cell의 strain 에너지를 최소화하기 위하여 AlGa원자들은 AlGa원자 위에 자동적으로 위치되고 In 원자는 In 원자 위에 자동적으로 위치되어 에피 성장을 할 수 있다. 따라서, [111] 방향으로 (AlGa) 원자와 In 원자가 교번한 배열로 자동 정렬될 수 있다. That is, when the above temperature conditions and molar flow rate conditions are satisfied, the (AlGa) atoms and In atoms on the (100) surface can automatically be positioned on the AlGa atoms and the In atoms can automatically be positioned on the In atoms in order to minimize the strain energy of the tetrahedron cell in the [111] direction, thereby enabling epitaxial growth. Accordingly, the (AlGa) atoms and In atoms can automatically align in an alternating arrangement in the [111] direction.
제1 도전형 반도체층(30)과 제2 도전형 반도체층(60)은 이보다 높은 약 680℃ 내지 720도℃ 고온 성장시키므로 상대적으로 정렬 영역이 적게 형성될 수 있다. 제1 도전형 반도체층(30)과 제2 도전형 반도체층(60)은 활성층(40)에 비해 에너지 밴드갭이 커야 하므로 상대적으로 고온 성장시키는 것이 필요하다.The first conductive semiconductor layer (30) and the second conductive semiconductor layer (60) are grown at a higher temperature of about 680°C to 720°C, so that relatively smaller alignment regions can be formed. Since the first conductive semiconductor layer (30) and the second conductive semiconductor layer (60) must have a larger energy band gap than the active layer (40), it is necessary to grow them at a relatively higher temperature.
도 9를 참조하면 제1 도전형 반도체층(30)과 제2 도전형 반도체층(60)을 통해 주입된 캐리어들은 활성층(40)의 측면으로 이동하기 전에 상대적으로 밴드갭이 낮은 제1 정렬 영역(ORA11)에서 발광에 참여하게 된다. 즉, 주입된 캐리어 대부분은 측면으로 이동하여 누설 전류로 손실되기 전에 제1 정렬 영역(ORA11)에서 발광에 참여하게 되므로 발광 효율이 개선될 수 있다.Referring to FIG. 9, carriers injected through the first conductive semiconductor layer (30) and the second conductive semiconductor layer (60) participate in light emission in the first alignment region (ORA11) having a relatively low band gap before moving to the side of the active layer (40). That is, since most of the injected carriers participate in light emission in the first alignment region (ORA11) before moving to the side and being lost as leakage current, light emission efficiency can be improved.
실시예에 따르면, 우물층(42)은 AlGaInP를 포함하고 약 620~630nm 대역의 적색 파장대의 광을 방출할 수 있으나 반드시 이에 한정하지 않는다.According to an embodiment, the well layer (42) includes AlGaInP and can emit light in a red wavelength band of about 620 to 630 nm, but is not necessarily limited thereto.
도 10을 참조하면, 제1 정렬 영역(ORA11)은 우물층(42) 내에 부분적으로 형성될 수 있다. 우물층(42)에 형성된 제1 정렬 영역(ORA11)은 TEM(Transmission Electron Microscope: 투과전자현미경) 촬영에 의해 관찰될 수 있다.Referring to Fig. 10, the first alignment area (ORA11) may be partially formed within the well layer (42). The first alignment area (ORA11) formed in the well layer (42) may be observed by TEM (Transmission Electron Microscope) photography.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 도면이다.FIG. 11 is a drawing of a display device according to one embodiment of the present invention.
도 11을 참조하면, 실시예로 발광소자를 포함하는 표시장치는 패널 기판(410), 구동 박막 트랜지스터(T2), 평탄화층(430), 공통전극(CE), 화소전극(AE) 및 마이크로 발광소자(10)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 11, a display device including a light-emitting element as an embodiment may include a panel substrate (410), a driving thin film transistor (T2), a planarization layer (430), a common electrode (CE), a pixel electrode (AE), and a micro light-emitting element (10).
구동 박막 트랜지스터(T2)는 게이트 전극(GE), 반도체층(SCL), 오믹 컨택층(OCL), 소스 전극(SE), 및 드레인 전극(DE)을 포함할 수 있다.The driving thin film transistor (T2) may include a gate electrode (GE), a semiconductor layer (SCL), an ohmic contact layer (OCL), a source electrode (SE), and a drain electrode (DE).
구동 박막 트랜지스터(T2)는 구동 소자로, 발광소자와 전기적으로 연결되어 발광소자를 구동할 수 있다.The driving thin film transistor (T2) is a driving element that is electrically connected to the light-emitting element and can drive the light-emitting element.
게이트 전극(GE)은 게이트 라인과 함께 형성될 수 있다. 이러한, 게이트 전극(GE)은 게이트 절연층(440)로 덮일 수 있다.A gate electrode (GE) may be formed together with a gate line. The gate electrode (GE) may be covered with a gate insulating layer (440).
게이트 절연층(440)은 무기 물질로 이루어진 단일층 또는 복수의 층으로 구성될 수 있으며, 실리콘 산화물(SiOx), 실리콘 질화물(SiNx) 등으로 이루어질 수 있다.The gate insulating layer (440) may be composed of a single layer or multiple layers made of an inorganic material, and may be made of silicon oxide (SiOx), silicon nitride (SiNx), or the like.
반도체층(SCL)은 게이트 전극(GE)과 중첩(overlap)되도록 게이트 절연층(440) 상에 미리 설정된 패턴(또는 섬) 형태로 배치될 수 있다. 반도체층(SCL)은 비정질 실리콘(amorphous silicon), 다결정 실리콘(polycrystalline silicon), 산화물(oxide) 및 유기물(organic material) 중 어느 하나로 이루어진 반도체 물질로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The semiconductor layer (SCL) may be arranged in a preset pattern (or island) shape on the gate insulating layer (440) so as to overlap with the gate electrode (GE). The semiconductor layer (SCL) may be composed of a semiconductor material made of any one of amorphous silicon, polycrystalline silicon, oxide, and organic material, but is not limited thereto.
오믹 컨택층(OCL)은 반도체층(SCL) 상에 미리 설정된 패턴(또는 섬) 형태로 배치될 수 있다. 오믹 컨택층(PCL)은 반도체층(SCL)과 소스/드레인 전극(SE, DE) 간의 오믹 컨택을 위한 것일 수 있다.The ohmic contact layer (OCL) can be arranged in a preset pattern (or island) shape on the semiconductor layer (SCL). The ohmic contact layer (PCL) can be for ohmic contact between the semiconductor layer (SCL) and the source/drain electrodes (SE, DE).
소스 전극(SE)은 반도체층(SCL)의 일측과 중첩되도록 오믹 컨택층(OCL)의 타측 상에 형성된다.The source electrode (SE) is formed on the other side of the ohmic contact layer (OCL) so as to overlap with one side of the semiconductor layer (SCL).
드레인 전극(DE)은 반도체층(SCL)의 타측과 중첩되면서 소스 전극(SE)과 이격되도록 오믹 컨택층(OCL)의 타측 상에 형성될 수 있다. 드레인 전극(DE)은 소스 전극(SE)과 함께 형성될 수 있다.The drain electrode (DE) may be formed on the other side of the ohmic contact layer (OCL) so as to overlap with the other side of the semiconductor layer (SCL) and be spaced apart from the source electrode (SE). The drain electrode (DE) may be formed together with the source electrode (SE).
평탄화막은 제2 패널 기판(410) 상에 배치될 수 있다. 평탄화막의 내부에 구동 박막 트랜지스터(T2)가 배치될 수 있다. 일 예에 따른 평탄화막은 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene) 또는 포토 아크릴(photo acryl)과 같은 유기 물질을 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The planarization film may be placed on the second panel substrate (410). A driving thin film transistor (T2) may be placed inside the planarization film. According to an example, the planarization film may include an organic material such as benzocyclobutene or photo acryl, but is not limited thereto.
그루브(450)는 소정의 발광 영역으로, 발광소자가 배치될 수 있다. 여기서, 발광 영역은 디스플레이 장치에서 회로 영역을 제외한 나머지 영역으로 정의될 수 있다.The groove (450) is a predetermined light-emitting area, in which a light-emitting element can be placed. Here, the light-emitting area can be defined as the remaining area excluding the circuit area in the display device.
그루브(450)는 평탄화층(430)에서 오목하게 형성될 수 있다, 다만, 이에 한정되지 않는다.The groove (450) may be formed concavely in the flattening layer (430), but is not limited thereto.
마이크로 발광소자(10)는 그루브(450)에 배치될 수 있다. 마이크로 발광소자(10)의 제1 전극 및 제2 전극은 디스플레이 장치의 회로(미도시됨)와 연결될 수 있다. The micro light-emitting element (10) can be placed in the groove (450). The first electrode and the second electrode of the micro light-emitting element (10) can be connected to a circuit (not shown) of the display device.
마이크로 발광소자(10)의 제2 전극은 화소전극(AE)을 통해 구동 박막 트랜지스터(T2)의 소스 전극(SE)에 전기적으로 연결될 수 있다. 그리고 발광소자의 제1 전극은 공통전극(CE)을 통해 공통 전원 라인(CL)에 연결될 수 있다.The second electrode of the micro light-emitting element (10) can be electrically connected to the source electrode (SE) of the driving thin film transistor (T2) through the pixel electrode (AE). And the first electrode of the light-emitting element can be connected to a common power line (CL) through the common electrode (CE).
화소전극(AE)은 구동 박막 트랜지스터(T2)의 소스 전극(SE)과 발광소자의 제2 전극을 전기적으로 연결할 수 있다.The pixel electrode (AE) can electrically connect the source electrode (SE) of the driving thin film transistor (T2) and the second electrode of the light-emitting element.
공통전극(CE)은 공통 전원 라인(CL)과 발광소자의 제1 전극을 전기적으로 연결할 수 있다.A common electrode (CE) can electrically connect a common power line (CL) and the first electrode of the light-emitting element.
화소전극(AE)과 공통전극(CE)은 각각 투명 도전성 물질을 포함할 수 있다. 투명 도전성 물질은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등의 물질을 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.The pixel electrode (AE) and the common electrode (CE) may each include a transparent conductive material. The transparent conductive material may include, but is not limited to, a material such as ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc Oxide).
본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 장치는 SD(Standard Definition)급 해상도(760×480), HD(High definition)급 해상도(1180×720), FHD(Full HD)급 해상도(1920×1080), UH(Ultra HD)급 해상도(3480×2160), 또는 UHD급 이상의 해상도(예: 4K(K=1000), 8K 등)으로 구현될 수 있다. 이때, 실시 예에 따른 발광소자는 해상도에 맞게 복수로 배열되고 연결될 수 있다.A display device according to an embodiment of the present invention may be implemented with a resolution of SD (Standard Definition) level (760×480), HD (High definition) level (1180×720), FHD (Full HD) level (1920×1080), UH (Ultra HD) level (3480×2160), or a resolution higher than UHD level (e.g., 4K (K=1000), 8K, etc.). In this case, light-emitting elements according to the embodiment may be arranged and connected in multiple numbers according to the resolution.
또한, 디스플레이 장치는 대각선 크기가 100인치 이상의 전광판이나 TV일 수 있으며, 픽셀을 발광다이오드(LED)로 구현할 수도 있다. 따라서, 전력 소비가 낮아지며 낮은 유지 비용으로 긴 수명으로 제공될 수 있고, 고휘도의 자발광 디스플레이로 제공될 수 있다.In addition, the display device may be a billboard or TV with a diagonal size of 100 inches or more, and pixels may be implemented with light-emitting diodes (LEDs). Accordingly, power consumption may be reduced, and a long lifespan may be provided with low maintenance costs, and a high-brightness self-luminous display may be provided.
실시 예에 따른 발광소자는 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등의 광학 부재를 더 포함하여 이루어져 백라이트 유닛으로 기능할 수 있다. 또한, 실시 예의 발광소자는 디스플레이 장치, 조명 장치, 지시 장치에 더 적용될 수 있다.The light-emitting element according to the embodiment may further include optical members such as a light guide plate, a prism sheet, and a diffusion sheet, and may function as a backlight unit. In addition, the light-emitting element of the embodiment may be further applied to a display device, a lighting device, and an indicator device.
이 때, 디스플레이 장치는 바텀 커버, 반사판, 발광 모듈, 도광판, 광학 시트, 디스플레이 패널, 화상 신호 출력 회로 및 컬러 필터를 포함할 수 있다. 바텀 커버, 반사판, 발광 모듈, 도광판 및 광학 시트는 백라이트 유닛(Backlight Unit)을 이룰 수 있다.At this time, the display device may include a bottom cover, a reflector, a light-emitting module, a light guide plate, an optical sheet, a display panel, an image signal output circuit, and a color filter. The bottom cover, the reflector, the light-emitting module, the light guide plate, and the optical sheet may form a backlight unit.
반사판은 바텀 커버 상에 배치되고, 발광 모듈은 광을 방출한다. 도광판은 반사판의 전방에 배치되어 발광 모듈에서 발산되는 빛을 전방으로 안내하고, 광학 시트는 프리즘 시트 등을 포함하여 이루어져 도광판의 전방에 배치된다. 디스플레이 패널은 광학 시트 전방에 배치되고, 화상 신호 출력 회로는 디스플레이 패널에 화상 신호를 공급하며, 컬러 필터는 디스플레이 패널의 전방에 배치된다. A reflector is arranged on the bottom cover, and a light-emitting module emits light. A light guide plate is arranged in front of the reflector to guide light emitted from the light-emitting module forward, and an optical sheet, including a prism sheet or the like, is arranged in front of the light guide plate. A display panel is arranged in front of the optical sheet, an image signal output circuit supplies an image signal to the display panel, and a color filter is arranged in front of the display panel.
그리고, 조명 장치는 기판과 실시 예의 발광소자를 포함하는 광원 모듈, 광원 모듈의 열을 발산시키는 방열부 및 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 광원 모듈로 제공하는 전원 제공부를 포함할 수 있다. 더욱이 조명 장치는, 램프, 해드 램프, 또는 가로등 등을 포함할 수 있다.And, the lighting device may include a light source module including a substrate and a light-emitting element of the embodiment, a heat dissipation unit that dissipates heat from the light source module, and a power supply unit that processes or converts an electrical signal provided from the outside and provides it to the light source module. Furthermore, the lighting device may include a lamp, a head lamp, or a streetlight.
또한, 이동 단말의 카메라 플래시는 실시 예의 발광소자를 포함하는 광원 모듈을 포함할 수 있다. Additionally, the camera flash of the mobile terminal may include a light source module including a light emitting element of the embodiment.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the above has been described with reference to examples, these are merely examples and do not limit the present invention. Those skilled in the art will appreciate that various modifications and applications not exemplified above are possible without departing from the essential characteristics of the present invention. For example, each component specifically shown in the examples can be modified and implemented. In addition, differences related to such modifications and applications should be interpreted as being included in the scope of the present invention defined in the appended claims.
Claims (9)
상기 제1 도전형 반도체층 상에 배치되는 활성층; 및
상기 활성층 상에 배치되는 제2 도전형 반도체층을 포함하고,
상기 활성층은 복수 개의 장벽층과 우물층을 포함하고,
상기 우물층은 에너지 밴드갭이 상기 우물층의 평균 에너지 밴드갭보다 작은 제1 정렬 영역을 포함하는, 마이크로 발광소자.
First challenge type semiconductor layer;
An active layer disposed on the first challenge type semiconductor layer; and
A second conductive semiconductor layer is disposed on the active layer,
The above active layer comprises a plurality of barrier layers and well layers,
A micro light-emitting device, wherein the well layer includes a first alignment region having an energy band gap smaller than an average energy band gap of the well layer.
상기 제1 도전형 반도체층은 에너지 밴드갭이 상기 제1 도전형 반도체층의 평균 에너지 밴드갭보다 작은 제2 정렬 영역을 포함하고,
상기 제2 도전형 반도체층은 에너지 밴드갭이 상기 제2 도전형 반도체층의 평균 에너지 밴드갭보다 작은 제3 정렬 영역을 포함하는, 마이크로 발광소자.
In the first paragraph,
The first conductive semiconductor layer includes a second aligned region having an energy band gap smaller than an average energy band gap of the first conductive semiconductor layer,
A micro light-emitting device, wherein the second conductive semiconductor layer includes a third alignment region having an energy band gap smaller than an average energy band gap of the second conductive semiconductor layer.
상기 우물층의 전체 면적 중에서 상기 제1 정렬 영역이 형성된 비율은 상기 제1 도전형 반도체층의 전체 면적에서 상기 제2 정렬 영역이 형성된 비율보다 높은, 마이크로 발광소자.
In the second paragraph,
A micro light-emitting device, wherein the ratio of the first alignment region formed in the total area of the well layer is higher than the ratio of the second alignment region formed in the total area of the first conductive semiconductor layer.
상기 우물층의 전체 면적 중에서 상기 제1 정렬 영역이 형성된 비율은 상기 제2 도전형 반도체층의 전체 면적에서 상기 제3 정렬 영역이 형성된 비율보다 높은, 마이크로 발광소자.
In the third paragraph,
A micro light-emitting device, wherein the ratio of the first alignment region formed in the total area of the well layer is higher than the ratio of the third alignment region formed in the total area of the second conductive semiconductor layer.
상기 우물층은 AlGaInP를 포함하고 적색 파장대의 광을 방출하는, 마이크로 발광소자.
In the first paragraph,
The above well layer is a micro light-emitting device containing AlGaInP and emitting light in the red wavelength range.
상기 제1 정렬 영역은 AlGa와 In이 [111] 방향으로 서로 교대로 배치되는 영역인, 마이크로 발광소자.
In paragraph 5,
The above first alignment region is a micro light-emitting device in which AlGa and In are alternately arranged in the [111] direction.
상기 우물층의 전체 면적 100% 중에서 상기 제1 정렬 영역이 형성된 면적은 20% 이상인, 마이크로 발광소자.
In the second paragraph,
A micro light-emitting element, wherein the area in which the first alignment region is formed is 20% or more of the total area of the well layer of 100%.
상기 제1 도전형 반도체층의 전체 면적 100% 중에서 상기 제2 정렬 영역이 형성된 면적은 20% 미만인, 마이크로 발광소자.
In the second paragraph,
A micro light-emitting device, wherein the area in which the second alignment region is formed is less than 20% of the total area of 100% of the first challenge-type semiconductor layer.
상기 활성층은 상기 제1 도전형 반도체층 및 상기 제2 도전형 반도체층의 성장 온도보다 낮은 온도에서 성장한, 마이크로 발광소자.
In the first paragraph,
A micro light-emitting device, wherein the active layer is grown at a temperature lower than the growth temperatures of the first conductive semiconductor layer and the second conductive semiconductor layer.
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| KR20110070545A (en) * | 2009-12-18 | 2011-06-24 | 삼성엘이디 주식회사 | Nitride semiconductor light emitting device |
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