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KR940702773A - 인벌류우트된 미세 부분의 울트라클리이닝(ultracleaning of involuted microparts) - Google Patents

인벌류우트된 미세 부분의 울트라클리이닝(ultracleaning of involuted microparts)

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KR940702773A
KR940702773A KR1019940701055A KR19940701055A KR940702773A KR 940702773 A KR940702773 A KR 940702773A KR 1019940701055 A KR1019940701055 A KR 1019940701055A KR 19940701055 A KR19940701055 A KR 19940701055A KR 940702773 A KR940702773 A KR 940702773A
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KR
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liquid
organic
rinse
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알란 이. 월터
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알란 이. 월터
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Abstract

본 발명은 계면활성제 세척 및 음파 캐비테이션을 한뒤 유기 용매 또는 증기로 건조시킴으로서 복잡한 구조를 갖는 부품을 세척하는 방법에 관한 것이다. 본 발명을 수행하기 위해서는 세척할 대상물을 보유할 밀폐용기(12), 밀폐 용기내에 대상물을 고정하기 위한 수단(14), 처리 유체가 밀폐 용기를 통과하도록 하는 적어도 하나의 포트(22) 및 밀폐 용기에 인접한 음파 발생기(16)을 포함하는 장치가 사용된다. 바람직한 실시 태양에서는 뜨거운 유기 증기를 챔버에 주입시키기 위한 포트(76) 또는 밸브(78) 및 용기를 초고압으로 유지하게 하는 수단을 장치속에 포함하고 있다.
〔선택도〕 제1도

Description

인벌류우트된 미세 부분의 울트라클리이닝(ULTRACLEANING OF INVOLUTED MICROPARTS)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 수성 프로세스에 대한 본 발명 장치의 한 실시 태양을 보여주는 개략 단면도이다,
제2도는 용기에서 유체를 제거하기 위해 배수 밸브를 포함하는 수성 프로세스에 대한 본 발명 장치의 한 실시 태양을 보여주는 개략 단면도이다,
제3도는 화학 약품 저장 탱크와 콘딧, 밸브 및 쓸모 있는 용매들의 재사용에 관련한 수단을 포함하는 비수성 프로세스에 대한 본 발명 장치의 한 실시 태양을 보여주는 개략도이다,
제4도는 용기에 유기 건조 증기를 공급하는 장치의 개략도이다.

Claims (50)

  1. 다음 단계들로 이루어진 인벌류우트된 구성을 갖는 대상물의 표면을 세척하는 방법 : a. 용기 하부에 적어도 하나의 유체 밀봉 포트를 갖는 밀봉이 가능한 밀폐처리된 용기에 세척할 대상물을 넣는 단계; b. 대상물이 잠기도록 용기에 세척 유체를 충전시킴으로써 인벌류우트된 모든 표면에 세척 유체를 접촉시키는 단계; c. 음파 에너지에 의해 용기내 세척 유체를 여기시키는 단계; d. 대상물이 잠기도록 용기에 헹굼 유체를 충전하여 인벌류우트된 모든 표면에 헹굼 유체를 접촉시키는 단계; 및 e. 헹굼 유체를 제거한 후 헹굼 유체 방울이 대상물의 인벌우트된 표면에 남아 있지 않도록 건조 용매로 대상물 표면의 헹굼 유체를 제거하는 단계.
  2. 제1항에 있어서, 상기 음과 에너지는 약 20 내지 약 40khz의 주파수를 갖는 초음파 에너지인 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 음파 에너지는 약 0.8 내지 약 1.5mhz의 주파수를 갖는 메가 음파 에너지인 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 세척 유체 및 헹굼 유체가 수성 유체인 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 수성 세척 유체가 게면활성제를 포함하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 용기를 거쳐 유체를 순환시키는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 건조 용매는 증기 형태이고, 단계(d)는 대상물이 헹굼 유체에서 곧바로 건조 증기 속으로 노출되도록 헹굼 유체를 하부로 배수시키면서 용기의 상부로 건조 증기를 충전시킴으로써 용기의 헹굼 유체를 교체하는 것인 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 교체 단계가 초고압하에서 수행되는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 건조 용매는 액체 형태이고, 단계(e)는 용기로부터 헹굼 유체를 제거하고, 대상물이 건조 용매중에 잠기도록 용기에 건조 용매를 채우고, 잔류하는 방울이 없게하기 위해 건조 용매의 표면 장력을 유지하게 하는 속도로 용매를 용기밖으로 배수시킴으로써 미량의 헹굼 유체 모두를 대상물 표면으로부터 제거하는 것인 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 건조 용매는 일반식 R-O-R′을 갖는 화합물로서 R은 약 2 내지 10개의 탄소원자를 갖고 있는 유기 라디칼로 이루어지며 R′은 2 내지 10개의 탄소 원자 또는 수소를 갖고 있는 유기 라디칼로 이루어진 것인 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 건조 용매는 이소프로필 알코올 또는 아세톤인 방법.
  12. 제1항에 있어서, 단계(e) 이후에 용기의 건조 용매를 퍼즈하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 퍼즈 단계는 용기내에 비활성 기체를 주입하는 것인 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 비활성 기체는 질소 또는 아르곤인 방법.
  15. 제1항에 있어서, 상기 세척 또는 헹굼 유체가 유기 용매인 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 세척 유체가 테르펜인 방법.
  17. 제15항에 있어서, 상기 헹굼 액체가 이소프로필 알코올 또는 아세톤인 방법.
  18. 제15항에 있어서, 상기 유기 용매들을 회수하고 재사용을 위해 저장하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  19. 제1항에 있어서, 단계(b) 이전에 대상물에 예비 세척액을 분무하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  20. 다음 단계들로 이루어진 인벌류우트된 구성을 갖는 대상물의 표면을 세척하는 방법 : a. 용기 하부에 적어도 하나의 유체 밀봉 포트를 갖는 밀봉이 가능한 밀폐처리된 용기에 세척할 대상물을 넣는 단계; b. 대상물이 잠기도록 용기에 수성 세척액을 충전시킴으로써 인벌류우트된 모든 표면에 수성 세척액을 접촉시키는 단계; c. 상기 세척액의 흔적을 없애기 위해 수성 헹굼액중에 대상물을 함침시키는 단계; 및 d. 대상물을 유기 건조 용매에 노출시킴으로써 표면의 헹굼액을 제거하는 단계.
  21. 제20항에 있어서, 상기 세척액에 음파 에너지를 적용하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 음파에너지는 약 0.8 내지 약 1.5mhz의 주파수를 갖는 메가음파 에너지인 방법.
  23. 제22항에 있어서, 상기 음파 에너지는 약 20 내지 약 40khz의 주파수를 갖는 초음파 에너지인 방법.
  24. 제20항에 있어서, 단계(d)는 상기 수성액의 방울들을 물방울과 결합하는 뜨거운 알코올 증기에 노출시키고 표면으로부터 증발시켜서 물-알코올 결합물을 제거함으로써 수행되는 방법.
  25. 제20항에 있어서, 상기 건조 용매는 주위 온도에서 물-혼화 가능한 알코올이고, 단계(d)는 상기 알코올과 수성 헹굼액 방울의 상호 용액을 형성시켜서 표면으로부터 그 방울을 제거하는 것인 방법.
  26. 다음 단계들로 이루어진 대상물 표면을 세척하는 방법 : a. 용기 하부에 적어도 하나의 유체 밀봉 포트를 갖는 밀봉이 가능한 밀폐처리된 용기에 세척할 대상물을 넣는 단계; b. 용기에 유기 세척액을 충전하여 대상물을 세척액에 함침시키는 단계; c. 대상물 표면에 유기 액체의 흔적이 남지 않도록 하는 충분한 조건하에서 용기에 건조 용매를 충전시킴으로써 표면으로부터 유기 세척액을 제거하는 단계; 및 d. 대상물 표면을 비활성 기체와 접촉시키는 단계.
  27. 제26항에 있어서, 단계(a)에 있는 세척액에 음파 에너지를 적용하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  28. 제27항에 있어서, 상기 음파 에너지는 약 20 내지 약 40khz의 주파수를 갖는 초음파 에너지인 방법.
  29. 제27항에 있어서, 상기 음파 에너지는 약 0.8 내지 약 1.5mhz의 주파수를 갖는 메가 음파 에너지인 방법.
  30. 제26항에 있어서, 상기 유기 세척액이 테르펜 또는 테르펜 혼합물인 방법.
  31. 제26항에 있어서, 단계(b) 이후에 대상물 표면으로부터 유기 액체의 흔적을 제거하기 위해 세척할 대상물을 헹굼액과 접촉시키는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  32. 제31항에 있어서, 상기 헹굼 액체는 일반식 R-O-R′을 갖고 화합물로서 R은 약 2 내지 10개의 탄소원자를 갖고 있는 유기 치환체이며 R′은 2 내지 10개의 탄소원자 또는 수소원자를 갖고 있는 유기 치환체인 방법.
  33. 제32항에 있어서, 상기 유기 헹굼 액체가 이소프로필 알코올 또는 아세톤인 방법.
  34. 제31항에 있어서, 상기 헹굼 액체는 물인 방법.
  35. 제26항에 있어서, 단계(c)는 뜨거운 유기 용매를 증기 형태로 용기에 주입시키는 것인 방법.
  36. 제35항에 있어서, 상기 유기 증기는 용기로부터 헹굼 액체를 교체하기 위해 주입되는 것인 방법.
  37. 제35항에 있어서, 상기 유기 증기는 이소프로필 알코올 증기인 방법.
  38. 제26항에 있어서, 상기 비활성 기체는 질소 기체인 방법.
  39. 제26항에 있어서, 단계(d) 이후에 용기를 공기로 퍼즈하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  40. 용기 하부에 위치한 제1유체의 밀봉성 포트를 갖는 세척 대상물을 봉입하는 밀봉 가능한 용기; 상기 용기에 대상물을 고정시키는 수단; 포트를 거쳐 밀폐 용기 및 그 안에 위치된 약 1개의 세척 대상물에 세척 액체 및 헹굼 액체를 계속하여 흐르게 하는 수단; 및 세척 액체 또는 헹굼 액체에 대한 유기 용매로서 대상물 표면에 잔여불을 남기지 않는 유기 용매를 밀폐 용기에 주입시키는 수단을 포함하는 밀폐 용기내에 위치한 대상물과 접촉하는 세척 액체 또는 헹굼 액체의 제거 수단으로 이루어진 세척 장치.
  41. 제40항에 있어서, 밀폐 용기내의 세척 액체 또는 헹굼 액체중에 음파를 발생시키는 수단을 추가로 포함하는 장치.
  42. 제40항에 있어서, 밀폐 용기내로 유기 용매 증기 및 기체를 주입하기 위해 용기 상부에 위치한 제2포트 수단을 추가로 포함하는 장치.
  43. 제42항에 있어서, 용기내에 포함된 세척 액체 또는 헹굼 액체를 교체하기 위해 충분한 압력하에서 상기 용기내로 증기를 주입시키는 수단을 추가로 포함하는 장치.
  44. 제40항에 있어서, 밀폐 용기내의 압력을 초고압으로 유지하기 위한 밸브 수단을 추가로 포함하는 장치.
  45. 제40항에 있어서, 유기 용매를 주입하기 위한 수단이 액체 이소프로필 알코올 또는 아세톤을 주입하기 위한 수단인 장치.
  46. 제40항에 있어서, 유기 용매를 주입하는 수단이 이소프로필 알코올 또는 아세톤을 증기 형태로 주입하는 수단인 장치.
  47. 제40항에 있어서, 밀폐 용기내로 분무액을 주입시키는 분무 수단을 추가로 포함하는 장치.
  48. 제40항에 있어서, 용기로부터 유기 용매를 회수하는 수단 및 재사용을 위해 용매를 저장하는 탱크를 추가로 포함하는 장치.
  49. 제40항에 있어서, 테르펜을 통과시키는 수단을 추가로 포함하는 장치.
  50. 제40항에 있어서, 테르펜을 재순환시키기 위한 수단을 추가로 포함하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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