RU2169038C2 - Device for treatment of polymer films with heavy ions - Google Patents
Device for treatment of polymer films with heavy ions Download PDFInfo
- Publication number
- RU2169038C2 RU2169038C2 RU99120154A RU99120154A RU2169038C2 RU 2169038 C2 RU2169038 C2 RU 2169038C2 RU 99120154 A RU99120154 A RU 99120154A RU 99120154 A RU99120154 A RU 99120154A RU 2169038 C2 RU2169038 C2 RU 2169038C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- slotted
- vacuum
- channel
- irradiation unit
- Prior art date
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 title claims abstract description 21
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 title claims abstract description 18
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000010416 ion conductor Substances 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 4
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области техники облучения материалов тяжелыми ионами и может быть использовано для облучения материалов на ускорителях тяжелых ионов. The invention relates to the field of heavy ion irradiation of materials and can be used to irradiate materials at heavy ion accelerators.
Аналогом изобретения может служить устройство облучения полимерных пленок, включающее в себя лентопротяжный механизм, с помощью которого облучаемая пленка пересекает поток тяжелых ионов неоднократно [1]. An analogue of the invention can be a device for irradiating polymer films, which includes a tape drive with which the irradiated film crosses the stream of heavy ions repeatedly [1].
В качестве прототипа рассмотрим устройство для облучения полимерных пленок при изготовлении фильтровальных мембран [2]. As a prototype, consider a device for irradiating polymer films in the manufacture of filter membranes [2].
Устройство содержит облучательную камеру с устройством для протяжки ленты, азотные экраны, а внутри камеры по ходу пленки расположены охлаждающие агрегаты контактного типа с линиями подачи жидкого азота и устройства последующего отогрева пленки, а также узлы, регулирующие температуру пленки при облучении, при этом охлаждающий агрегат представляет собой металлический сосуд с полированной плоской или цилиндрической боковой поверхностью, контактирующей с полимерной пленкой, заполненной хладагентом, например жидким азотом или его парами, и расположенный в непосредственной близости к азотным экранам так, что образующая его цилиндрической поверхности направлена параллельно щели, через которую входит пучок ускоренных тяжелых ионов; устройство отогрева пленки представляет собой участок полированной цилиндрической металлической поверхности, контактирующей с полимерной пленкой по всей ее ширине и имеющей вмонтированный в нее подогреватель. The device contains an irradiation chamber with a device for pulling the tape, nitrogen screens, and inside the chamber along the film are contact-type cooling units with liquid nitrogen supply lines and devices for subsequent heating of the film, as well as units that control the temperature of the film during irradiation, while the cooling unit represents a metal vessel with a polished flat or cylindrical side surface in contact with a polymer film filled with a refrigerant, such as liquid nitrogen or its vapor and, and located in close proximity to nitrogen screens so that its cylindrical surface forming is directed parallel to the gap through which a beam of accelerated heavy ions enters; The film heating device is a section of a polished cylindrical metal surface in contact with a polymer film over its entire width and having a heater mounted in it.
Недостатком данного устройства является применение сложной дорогостоящей криогенной техники, и при этом часто качество пленки не удовлетворяет предъявляемым требованиям; также недостатком упомянутых выше устройств 1,2 является значительное натекание газа, обусловленное десорбцией с поверхности пленки в вакуумную систему ускорителя, например циклотрона, в результате чего происходят электрические пробои в камере и ионопроводе в промежутках высокого напряжения: дуантах циклотрона, дефлекторе системы вывода пучка циклотрона, электростатической системы сканирования пучка в процессе облучения пленки потоком тяжелых ионов. Пробои прерывают облучение, и на облучаемом рулоне возникают необлученные или неравномерно облученные участки, что приводит к браку части производимого материала, а в некоторых случаях, когда требуется непрерывная дорожка облученного материала на всем протяжении пленки, намотанной на бобину, бракуется вся бобина. Вместе с тем, увеличение давления в объемах ионопровода и ускорителя, благодаря натеканию газа, уменьшает ток тяжелых ионов, а следовательно, производительность облучательного комплекса. Кроме того, высокое давление в ионопроводе и камере ускорителя нагружает систему откачных средств ускорителя и приводит к необходимости уменьшения периода между их профилактическими ремонтами, т.е. снижает производительность обучательного комплекса. The disadvantage of this device is the use of complex expensive cryogenic equipment, and often the quality of the film does not meet the requirements; also a disadvantage of the above-mentioned
Целью изобретения является устранение указанных недостатков, а именно повышение качества пленки и производительности всего облучательного комплекса за счет подавления натекания десорбированного газа с поверхности облучаемой пленки лентопротяжного механизма. The aim of the invention is to eliminate these disadvantages, namely improving the quality of the film and the performance of the entire irradiation complex by suppressing leakage of desorbed gas from the surface of the irradiated film of the tape drive mechanism.
Цель достигается благодаря тому, что в устройстве для облучения полимерных пленок ускоренными тяжелыми ионами, включающем вакуумную камеру с лентопротяжным механизмом, узел облучения, подающую бобину, ведущие ролики, приемную бобину, привод ведущих роликов и бобин, вакуумная камера разделена на два объема вакуумплотной перегородкой, имеющей два щелевых канала, при этом размеры щелевого канала выбирают в зависимости от допустимого натекания десорбированного газа с поверхности в зону облучательного узла, которое выражается формулой:
Q4 = 4•F•P2, см3 Торр/с,
где: Q4 - полное натекание через 4 щели, образованные пленкой и стенками щелевых каналов и проходящей через него полимерной пленкой,
P2 - перепад давления на щелевом канале, Торр,
F - пропускная способность прямоугольного щелевого канала с сечением, образуемым стенкой щелевого канала и пленкой, проходящей на равных расстояниях a от стенок щелевого канала, определяемая формулой:
F=1,65•104•К(1)•a•b, см3/с,
где: K(1) - безразмерный коэффициент уменьшения пропускной способности в зависимости от длины l щелевого канала
К(1)=а/l ln (l/a),
a - высота щели, образованной пленкой и стенкой щелевого канала, см,
b - ширина щелевого канала, см,
l - длина щелевого канала, см.The goal is achieved due to the fact that in the device for irradiating polymer films with accelerated heavy ions, including a vacuum chamber with a tape drive mechanism, an irradiation unit, a supplying reel, driving rollers, a receiving reel, a drive of driving rollers and reels, the vacuum chamber is divided into two volumes by a vacuum tight partition, having two slotted channels, while the dimensions of the slotted channel are selected depending on the allowable leakage of desorbed gas from the surface into the zone of the irradiation unit, which is expressed by the formula:
Q 4 = 4 • F • P 2 , cm 3 Torr / s,
where: Q 4 - full leakage through 4 slots formed by the film and the walls of the slotted channels and the polymer film passing through it,
P 2 - differential pressure on the slotted channel, Torr,
F is the throughput of a rectangular slotted channel with a cross section formed by the wall of the slotted channel and a film passing at equal distances a from the walls of the slotted channel, defined by the formula:
F = 1.65 • 10 4 • K (1) • a • b, cm 3 / s,
where: K (1) is the dimensionless coefficient of throughput reduction depending on the length l of the slotted channel
K (1) = a / l ln (l / a),
a is the height of the slit formed by the film and the wall of the slot channel, cm,
b is the width of the slotted channel, cm
l is the length of the slotted channel, see
Предложенное устройство представлено на фиг. 1, где
1 - ионопровод ускорителя,
2 - пучок ускоренных тяжелых ионов,
3 - вакуумплотная перегородка с проходящими через нее щелевыми каналами, через которые облучаемая пленка с питающей бобины входит в облучательный узел и затем идет на приемную бобину,
4 - стенка вакуумной камеры облучающего устройства,
5 - питающая бобина,
6 - прижимной валик,
7 - ведущий валик,
8,9,15,16 - направляющие валики,
10,11,13 - стенки щелевого канала,
12 - полимерная пленка в щелевом канале,
14 - валик с полимерной пленкой, на которую падает поток ускоренных тяжелых ионов,
17 - приемная бобина,
18,19 - турбомолекулярные высоковакуумные насосы,
20,21 - форвакуумные насосы,
cd - направление движения пленки.The proposed device is presented in FIG. 1 where
1 - ion conductor of the accelerator,
2 - a beam of accelerated heavy ions,
3 - vacuum-tight partition with slit channels passing through it, through which the irradiated film from the supply reel enters the irradiation unit and then goes to the receiving reel,
4 - wall of the vacuum chamber of the irradiating device,
5 - feeding reel,
6 - pressure roller
7 - drive roller,
8,9,15,16 - guide rollers,
10,11,13 - the walls of the slotted channel,
12 is a polymer film in a slotted channel,
14 - roller with a polymer film onto which the stream of accelerated heavy ions falls,
17 - take-up reel,
18.19 - turbomolecular high vacuum pumps,
20.21 - fore-vacuum pumps,
cd is the direction of motion of the film.
На фиг. 2 представлены сечения ионопровода по А-А и щелевого канала по В-В,
22 - ширина сечения щелевого канала, равная b,
23 - высота щелевого канала, равная 2a.In FIG. 2 shows the cross section of the ion guide along A-A and the slotted channel along B-B,
22 - sectional width of the slotted channel equal to b,
23 - the height of the slotted channel equal to 2a.
Пленка 12 делит канал на два канала, высотой а каждый (обычно толщиной пленки можно пренебречь).
Сечение по А-А характерно размером К от нескольких до десятков см; величина H>b, ширины облучаемой пленки. The cross-section along AA is characteristic of size K from several to tens of cm; value H> b, the width of the irradiated film.
На фиг. 3 представлено аксонометрическое изображение щелевого канала с прямоугольным сечением. Здесь 2a - высота щелевого канала, b - ширина щелевого канала, l - длина щелевого канала. In FIG. 3 is a perspective view of a slotted channel with a rectangular section. Here 2a is the height of the slotted channel, b is the width of the slotted channel, l is the length of the slotted channel.
Работа устройства происходит следующим образом (см. фиг. 1.). The operation of the device is as follows (see Fig. 1.).
Облучательная установка заполняется воздухом до атмосферного давления; открываются ее уплотняющие устройства, лентопротяжный механизм заряжается полимерной пленкой требуемой ширины и толщины. При этом устанавливают бобину с пленкой в положение 5 и пропускают пленку через ведущие валики 6,7, направляющие валики 8,9, щелевой канал к валику 14 облучательного узла и от валика 14 через щелевой канал и направляющие валики 15,16 к приемной бобине 17. Затем форвакуумными насосами 20, 21 откачивают камеру облучательного устройства до вакуума, обеспечивающего эффективную работу турбомолекулярных насосов 18, 19. После включения насосов 18, 19, откачки объемов лентопротяжного механизма и облучательного узла до высокого вакуума соединяют ионопровод ускорителя с облучательным узлом, включают лентопротяжный механизм и начинают облучение пленки. При этом источник десорбции газа - открытая, площадью 1 м2, поверхность пленки - практически целиком находится в объеме лентопротяжного механизма, где давление P2 значительно выше, чем давление P1 в объеме облучательного узла, благодаря наличию щелевых каналов, таких, чтобы натекание из объема лентопротяжного механизма в объем облучательного узла было бы незначительным и давало возможность поддерживать с помощью стандартного турбомолекулярного насоса в объеме облучательного узла вакуум ≅10-6 Торр, не влияющий на работу устройств ускорителя и ионопровода с высокой напряженностью электрического поля. Давления Р1 и P2 в процессе облучения пленки имеют характерные значения 10-6 и 10-4 Торр, соответственно при использовании стандартных откачивающих насосов. Поверхность пленки в облучательном узле составляет 2-3% от поверхности пленки в объеме лентопротяжного механизма. Кроме того, пленка попадает в объем облучательного узла в значительной степени обезгаженной. Поэтому давление в объеме облучательного узла значительно ниже, чем в объеме лентопротяжного механизма. Максимальная толщина полимерной пленки, облучаемой тяжелыми ионами в непрерывном режиме для производства трековых мембран и других изделий (обычно 10-20 мкм), но не более 40-50 мкм. Поэтому щелевой зазор канала, связывающего объемы облучательного узла и лентопротяжного механизма, может быть высотой 2a≥50 мкм, например 0,1 мм. При ширине b ~ 400 мм и длине 1 ~ 100 мм пропускная способность F щелевого канала с прямоугольным сечением гарантирует поддержание высокого вакуума в облучательном узле и, следовательно, в вакуумной системе ускорителя. В практически важных случаях в рассматриваемом устройстве P2>>P1 и справедливо соотношение F= Q/P2 или Q = F•P2 для одной щели, а для всех четырех щелевых каналов устройства полное натекание Q4 = 4•F•P2 см3 Торр/с.The irradiation unit is filled with air to atmospheric pressure; its sealing devices are opened, the tape drive is charged with a polymer film of the required width and thickness. In this case, the reel with the film is set to position 5 and the film is passed through the drive rollers 6.7, the guide rollers 8.9, the slot channel to the roller 14 of the irradiation unit and from the roller 14 through the slot channel and the guide rollers 15.16 to the take-up reel 17. Then, the fore-vacuum pumps 20, 21 pump the chamber of the irradiating device to a vacuum, which ensures the efficient operation of the turbomolecular pumps 18, 19. After turning on the pumps 18, 19, pumping the volumes of the tape drive and the irradiation unit to a high vacuum, connect the ion conduit exited by irradiation unit include a tape drive and start the irradiation of the film. In this case, the source of gas desorption — an open surface of 1 m 2 , the surface of the film — is almost entirely located in the volume of the tape drive mechanism, where the pressure P 2 is much higher than the pressure P 1 in the volume of the irradiation unit, due to the presence of slot channels such that leakage from volume of the tape drive in the irradiation unit volume would be negligible and made it possible to support by a standard turbo pump in a volume of the irradiation unit ≅10 -6 Torr vacuum, does not affect the operation of devices accelerate To the ion guide and with high electric fields. The pressures P 1 and P 2 during the irradiation of the film have characteristic values of 10 -6 and 10 -4 Torr, respectively, when using standard pumping pumps. The film surface in the irradiation unit is 2-3% of the film surface in the volume of the tape drive mechanism. In addition, the film enters the bulk of the irradiation unit to a large extent degassed. Therefore, the pressure in the volume of the irradiation unit is much lower than in the volume of the tape drive mechanism. The maximum thickness of a polymer film irradiated by heavy ions in a continuous mode for the production of track membranes and other products (usually 10-20 microns), but not more than 40-50 microns. Therefore, the gap gap of the channel connecting the volumes of the irradiation unit and the tape drive mechanism can be 2a≥50 μm high, for example 0.1 mm. With a width of b ~ 400 mm and a length of 1 ~ 100 mm, the throughput F of the slotted channel with a rectangular cross-section guarantees the maintenance of a high vacuum in the irradiation unit and, therefore, in the vacuum system of the accelerator. In practically important cases, in the device under consideration P 2 >> P 1 and the relation F = Q / P 2 or Q = F • P 2 is valid for one slot, and for all four slotted channels of the device, full leakage Q 4 = 4 • F • P 2 cm 3 Torr / s.
F=1,65•104•К(l)•а•b см3/с, для воздуха при температуре 25oC. При этом
К(l)=а/l ln (l/a).F = 1.65 • 10 4 • K (l) • a • b cm 3 / s, for air at a temperature of 25 o C.
K (l) = a / l ln (l / a).
Пример реализации. Величина десорбции D с открытой поверхности полимерной пленки площадью S=1 м2 в объеме лентопротяжного механизма при температуре 25oC не превышает 100 см3 Торр/с. Таким образом, с поверхности пленки лентопротяжного механизма поступает 106 см3/с газа и давление в его вакуумном объеме P2=10-4 Торр поддерживает стандартный турбомолекулярный насос. Однако в объеме облучательного узла, соединенного ионопроводом с объемом ускорителя, давление должно быть ≅10-6 Торр. Такое давление мог бы поддержать насос производительностью 107 см3/л, но его входной патрубок слишком велик и для него не хватило бы места для его стыковки у торцов вакуумной камеры облучательной установки.Implementation example. The value of desorption D from the open surface of the polymer film with an area of S = 1 m 2 in the volume of the tape drive mechanism at a temperature of 25 o C does not exceed 100 cm 3 Torr / s. Thus, 10 6 cm 3 / s of gas flows from the surface of the film of the tape drive mechanism and the pressure in its vacuum volume P 2 = 10 -4 Torr supports a standard turbomolecular pump. However, in the volume of the irradiation unit connected by the ion conductor to the volume of the accelerator, the pressure should be ≅10 -6 Torr. Such a pressure could be supported by a pump with a productivity of 10 7 cm 3 / l, but its inlet pipe is too large and there would not be enough space for it to dock at the ends of the vacuum chamber of the irradiation unit.
Если разделить камеру перегородкой, включающей в себя щелевые каналы, на два объема - объем облучательного узла и объем лентопротяжного механизма, и использовать для откачки объемом два турбомолекулярных насоса производительностью 106 см3/л в интервале давлений от 10-4 до в 10-7 Торр, подсоединенные раздельно к каждому объему, то натекание из объема лентопротяжного механизма в объем облучательного узла может быть незначительным и в объеме облучательного узла будет поддерживаться давление 10-6- 10-7 Торр. Величина натекания определятся размерами щелевых каналов. Ширину щели b можно считать равной ширине облучаемой пленки, например 40 см. Высоту щели a возьмем равной 2a = 1 мм. При этом через нее свободно проходит пленка толщиной 40 мкм. Длину щелевого канала примем равной 10 см. Тогда натекание Q4 из объема лентопротяжного механизма в объем облучательного узла при P2=10-4 Торр через четыре щели, образованные стенками щелевых каналов и облучаемой полимерной пленкой, определится размерами щелевых каналов. Если использовать щелевой канал с прямоугольным сечением, то его ширину b можно принять равной ширине облучаемой пленки b=40 см, а характерная высота щели a, образованная стенкой щелевого канала и полимерной пленкой может быть принята равной 0,05 см, в такую щель проходит любой сорт облучаемой пленки, так как рулоны с пленкой толщиной > 40 мкм не облучают тяжелыми ионами. При этих условиях натекание Q из лентопротяжного механизма в объем облучательного устройства через одну щель определится как Q =F•P2 = 874,5•10-4 см3 Торр/с, стенки щелевых каналов и проходящая через них пленка всего образуют четыре канала. Таким образом, полное натекание Q4 из объема лентопротяжного механизма в объем облучательного узла оказывается весьма малым, равным Q4 = 3 500•10-4 см3 Торр/с, что, следовательно, свидетельствует о подавлении натекания газа, десорбированного с поверхности пленки лентопротяжного механизма в высоковакуумный объем ионопровода и ускорителя.If you divide the chamber with a partition that includes slotted channels into two volumes — the volume of the irradiation unit and the volume of the tape drive mechanism, and use two turbo-molecular pumps with a capacity of 10 6 cm 3 / l for pumping in the pressure range from 10 -4 to 10 -7 Torr connected separately to each volume, then the leakage from the volume of the tape drive into the volume of the irradiation unit may be insignificant and the pressure of 10 -6 - 10 -7 Torr will be maintained in the volume of the irradiation unit. The amount of leakage is determined by the size of the slotted channels. The width of the gap b can be considered equal to the width of the irradiated film, for example 40 cm. We take the height of the gap a equal to 2a = 1 mm. In this case, a film 40 microns thick freely passes through it. We take the length of the slot channel equal to 10 cm. Then, the leakage of Q 4 from the volume of the tape drive mechanism into the volume of the irradiation unit at P 2 = 10 -4 Torr through four slots formed by the walls of the slot channels and the irradiated polymer film will be determined by the size of the slot channels. If you use a slotted channel with a rectangular cross section, then its width b can be taken equal to the width of the irradiated film b = 40 cm, and the characteristic height of the slit a, formed by the wall of the slotted channel and the polymer film, can be taken equal to 0.05 cm, any grade of the irradiated film, since rolls with a film> 40 μm thick are not irradiated with heavy ions. Under these conditions, the leakage of Q from the tape drive into the volume of the irradiation device through one slot is defined as Q = F • P 2 = 874.5 • 10 -4 cm 3 Torr / s, the walls of the slot channels and the film passing through them form four channels in total. Thus, the total leakage of Q 4 from the volume of the tape drive mechanism into the volume of the irradiation unit is very small, equal to Q 4 = 3,500 • 10 -4 cm 3 Torr / s, which, therefore, indicates the suppression of leakage of gas desorbed from the surface of the tape film mechanism into the high-vacuum volume of the ion guide and accelerator.
В результате реализации изобретения подавлено натекание газа от открытой поверхности облучаемой тяжелыми ионами пленки, что привело к повышению производительности и улучшению качества облученной пленки. As a result of the invention, gas leakage from the open surface of the film irradiated by heavy ions is suppressed, which has led to an increase in productivity and an improvement in the quality of the irradiated film.
Литература
1. Патент США N 3529157.Literature
1. US patent N 3529157.
2. Патент N 17777582. 2. Patent N 17777582.
Claims (1)
Q4 = 4•F•Р2,
где Q4 - полное натекание через 4 щели, образованные пленкой и стенками щелевых каналов, см3•торр/с;
F - пропускная способность прямоугольного щелевого канала, см3/с, определяемая формулой
F = 1,65•104•K(l)•а•b,
где K(l) - коэффициент уменьшения пропускной способности за счет длины l щелевого канала, величина безразмерная
K(l) = а/l ln (l/a),
а - высота щелей, образуемых полимерной пленкой и стенками щелевого канала, см;
b - ширина щелевого канала, см;
l - длина щелевого канала, см;
Р2 - перепад давления на щелевом канале, торр.A device for irradiating polymer films with heavy ions, including a vacuum chamber with a tape drive mechanism, an irradiation unit, a supply reel, drive rollers, a take-up reel, a drive of drive rollers and reels, characterized in that the vacuum chamber is divided by a vacuum-tight partition into two volumes, one of which includes the irradiation unit, and the other is a tape drive mechanism with supply and receiving bobbins, each of the volumes has a separate fore-vacuum and turbomolecular pumps, the vacuum partition has two slotted one of them serves to pass the polymer film of the feed bobbin from the volume of the tape drive to the irradiation unit, and the other channel to pass the film irradiated by heavy ions into the volume of the tape drive to the take-up bobbin, while the dimensions of the slot channel and allowable leakage of desorbed gas into the volume the irradiation unit are interconnected by the ratio, which is expressed by the formula
Q 4 = 4 • F • P 2 ,
where Q 4 - full leakage through 4 slots formed by the film and the walls of the slotted channels, cm 3 • torr / s;
F is the throughput of a rectangular slotted channel, cm 3 / s, determined by the formula
F = 1.65 • 10 4 • K (l) • a • b,
where K (l) is the coefficient of reduction in throughput due to the length l of the slotted channel, the dimensionless
K (l) = a / l ln (l / a),
a - the height of the slots formed by the polymer film and the walls of the slot channel, cm;
b is the width of the slotted channel, cm;
l is the length of the slotted channel, cm;
P 2 - differential pressure on the slotted channel, torr.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99120154A RU2169038C2 (en) | 1999-09-21 | 1999-09-21 | Device for treatment of polymer films with heavy ions |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99120154A RU2169038C2 (en) | 1999-09-21 | 1999-09-21 | Device for treatment of polymer films with heavy ions |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2169038C2 true RU2169038C2 (en) | 2001-06-20 |
Family
ID=20225156
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU99120154A RU2169038C2 (en) | 1999-09-21 | 1999-09-21 | Device for treatment of polymer films with heavy ions |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2169038C2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2426587C1 (en) * | 2009-12-15 | 2011-08-20 | Закрытое акционерное общество "Холдинговая компания "ТРЕКПОР ТЕХНОЛОДЖИ" | Method of producing track membranes |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4106742A1 (en) * | 1990-03-03 | 1991-09-05 | Zahnradfabrik Friedrichshafen | Combining similarly holed micrometer pored plastic - or metal filter elements when offset to produce microporous structure |
| FR2677271A1 (en) * | 1991-06-04 | 1992-12-11 | Commissariat Energie Atomique | Process for the production of microporous membranes |
| EP0665049A1 (en) * | 1994-01-26 | 1995-08-02 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Microporous membrane made of non-crystalline polymers and method of producing the same |
-
1999
- 1999-09-21 RU RU99120154A patent/RU2169038C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4106742A1 (en) * | 1990-03-03 | 1991-09-05 | Zahnradfabrik Friedrichshafen | Combining similarly holed micrometer pored plastic - or metal filter elements when offset to produce microporous structure |
| FR2677271A1 (en) * | 1991-06-04 | 1992-12-11 | Commissariat Energie Atomique | Process for the production of microporous membranes |
| EP0665049A1 (en) * | 1994-01-26 | 1995-08-02 | Mitsubishi Rayon Co., Ltd. | Microporous membrane made of non-crystalline polymers and method of producing the same |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2426587C1 (en) * | 2009-12-15 | 2011-08-20 | Закрытое акционерное общество "Холдинговая компания "ТРЕКПОР ТЕХНОЛОДЖИ" | Method of producing track membranes |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1109130C (en) | Method and apparatus for depositing carbon-rich coatings on moving substrates | |
| US4331526A (en) | Continuous sputtering apparatus and method | |
| US4278528A (en) | Rectilinear sputtering apparatus and method | |
| AU715719B2 (en) | Discharge methods and electrodes for generating plasmas at one atmosphere of pressure, and materials treated therewith | |
| KR940000384B1 (en) | Plasma processing unit | |
| US20080060933A1 (en) | Device for carrying out a plasma-assisted process | |
| US20230154726A1 (en) | Magnetic housing systems | |
| CN102421938B (en) | Surface wave plasma cvd apparatus and film forming method | |
| US4840702A (en) | Apparatus and method for plasma treating of circuit boards | |
| RU2169038C2 (en) | Device for treatment of polymer films with heavy ions | |
| WO2013059094A1 (en) | Electron beam plasma source with arrayed plasma sources for uniform plasma generation | |
| US20230139431A1 (en) | Tuneable uniformity control utilizing rotational magnetic housing | |
| US20180144910A1 (en) | Method for treating the surface of a moving film, and facility for implementing said method | |
| JP2000514477A (en) | Dry surface treatment process and apparatus for performing such a process | |
| MXPA05003539A (en) | Device for the treatment of a web-type material in a plasma-assisted process. | |
| CN113808775B (en) | Linear accelerator heavy ion microporous membrane irradiation device | |
| US8217345B2 (en) | Interface between differential mobility analyzer and mass spectrometer | |
| CN100427640C (en) | Vacuum coating equipment | |
| JP4772215B2 (en) | Atmospheric pressure plasma processing equipment | |
| US6342139B1 (en) | Sputtering system | |
| DE1571132A1 (en) | Method and device for the production of a polymerized coating | |
| JP2003049276A (en) | Discharge plasma treatment device and treatment method using the same | |
| US20090045168A1 (en) | Surface Treater for Elongated Articles | |
| CN118360572B (en) | Ion beam assisted deposition coating device | |
| CN110139457A (en) | Sub- vacuum low-temperature plasma on-line continuous material handling device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20170922 |