WO1997011344A1 - Ensemble table vibrante et procede de commande associe - Google Patents

Description

明 細 害

振勖台およびその制御方法 技術分野

本発明は、加振拭 »装置である振勳台装置、 および、 その制御方法に係り、特に 加振加速度再現性を向上させた振勳台、 および、 その制御方法に関するものである。 背景技術

振勖台は、構造物の振動試験装置であり、 供試体である構造物を設置するための テーブルを加振機により粗動し構造物を加振する装置である。 テーブルは適当な « 受けにより保持されることもある。

振動台の一つの使用分野として構造物の耐震試験がある。 耐震試験の目的は、所 定の加速度波形に対する構造物の応答を評価することであるので、 テーブルにより 所定の加速度波形を精度よく再現することが必要である。 このため所定の加速度波 形を目標俵とし、振勖台に変位 ·加速度などのセンサーを設置してテーブルの運動 状態を計測し、 加振機の制御装置にフィードバックすることにより、加振加速度波 形の高精度化を図っている （例えば、 菅野、 「3次元 6自由度振動台のサーボ機 構」、機械設計、 第 3 5卷第 4号、 1 9 9 1年 4月、 2 5頁〜 2 8頁）。

テーブル上に設置された供試体が比較的軽量である場合には、 これらの方法で高 精度な加振波形が得られるが、 供轼体の重量が大きい場合には、加振されることに より発生しテーブルに加わる荷重が大きく、所定の加振加速度波形力 られない場 合がある。 特に、供試体の固有振動数付近の振動数の加振においては、供試体から の反力がテーブルの運動を制限するように働くため、加振加速度波形が小さくなる という問題が発生する。

そこで、 平井 ·松崎、 「電気油圧式振動試験機に関する研究（第 3報） 」、 日本 機械学会綸文集、 4 2卷 3 6 1号、 2 7 4 4頁〜 2 7 5 1頁に開示されているよう に、加振機の制御回路に供轼体のモデルを搭載して補 Λすることにより加振加速度 波形を向上する手法が提案されている。 また、特開昭 5 9— 1 9 7 9 0 2号公報に 開示されているように、供試体を搭載した状態において目標加速度波形として比較 的小さい振幅のランダム波を入力し、 実 ISに得られた加振加速度波形との間の伝達 関数を算出し、 実際の加振時にはその逆伝達関数を通した波形を目標加振波形とす ることも行われている。

これらの手法では、 加振中に供試体の動的な特性が変化せず固有振動数 ·減衰な どが一定である場合には効果があり、加速度の再現性は良好なものとなる。 しかし、 供轼体に非線形性がある場合などでは応答振幅などに依存するため、 これらの特性 は加振中に変化する場合もある。 たとえば、 供拭体が損 «するまで加振する場合で は供弒体の麵性が急変し動的な特性が変化する。 また、地 «の液状化を再現するよ うな加振拭 Iでも、液状化が発生することにより供轼体の動的な特性が大きく変化 する。 このような場合には、前 εの手法によっても得られる加速度波形が所定のも のと異なってしまうことがある。

また、 耐震拭驗以外の分野においても、構造物を所定のスぺクトル密度を持った ランダム波形の加速度で加振し 5 ^の評価を行うこと;^必要となる場合がある。 こ のような場合にも耐震轼驗の場合と同様の現象により、所定のスぺクトル密度が得 られない場合がある。 この問題を解决するために前記の手法を含めた ¾々の手法が 行われているが、供轼体の非線形性などの原因により加振精度が低下することもあ る。 発明の開示

本発明は上述の問題点を解决するためになされたもので、 テーブル上の供轼体の 影響によらず、特にその動特性の変化に左右されず、精度の高い加振加速度波形を 得ることのできる振勖台、 および、 その制御方法を提供することを目的としている。 本発明の振勖台では、供轼体を搭載するためのテーブルと、 このテーブルを駆動 する IB動手段と、 テーブルの運動状慂を計 する第 1の計脷手段と、前記第 1の計 測手段の検出镇をフィードハ'ックして目棵值と比較し、 その偏差に基づいて前記駆 動手段を制御する制御装置とを備えた振励台において、第 2の計測手段として前 E テーブルに供拭体から加わる荷重を検出する荷重計測手段と、 この荷重計測手段の 検出俵を前お制御装置にフィードバックするフィードバック手段とを設け、前記儡 差を補正して振勖台を駆勖する。

このとき、 前記フィードバック手段に、 荷重計測手段の検出值である荷重が フィードバックされる位置からテーブルを駆勖する駆動力が発生されるまでの伝達 関数の逆伝達関数をフィルタを備えてもよい。 一つの好適な態様においては、 テー ブルを K動する駆動手段までの伝達関数を考慮すればよいであろう。

また、 このようなフィル夕は «気回路等のハード的手段として設けることもでき るし、 D S P (Digital Signal Processor)等の数値 手段によっても実現でき る。 このフィルタを数镇演算手段によって設ける場合には、 このフィルタは制御装 置に設けられるということもできる。

また、本発明の振動台においては、荷重計測手段をテーブルと供試体との間に設 けてもよい。

また、本発明の振動台においては、 荷重計測手段を駆勖手段とテーブルとの間に 設けてもよい。

また、 本発明の振動台においては、 前記第 1の計測手段として加速度検出器を備 え、 前 Eロードセルで検出された荷重から前記加速度検出器で検出した加速度に テーブルの質量を乗じた傢を滅箅する処理手段を備えてもよい。

また、 本発明の振動台は、供試体を搭載するためのテーブルと、 このテーブルを 駆動する駆動手段と、 テーブルの運動状 JI8を計測する第 1の計測手段と、 前記第 1 の計測手段の検出肇をフィードバックして目標 tと比較し、 その偏差に基づいて前 記《動手段を制御する制御装置とを備えた振動台において、 前記駆勐手段として油 圧加振機を備え、前記油圧加振機のピストン部分の差圧を検出する手段と、 この差 圧に前 ビストン部分の受圧面積を乗じる処理手段と、前記処理手段の処理結果に 基づ t、て前お偏差を補正する手段とを備えて構成されてもよい。

また、 本発明の振勖台の制御方法は、供轼体を搭載するためのテーブルと、 この テーブルを K動する JB動手段と、 テーブルの運動状懇を計測する第 1の計測手段と、 前記第 1の計澜手段の検出俵をフィードバックして目標値と比較し、 その偏差に基 づいて前 IB駆動手段を制御する制御装置とを備え、 前記テーブルを加振する振動台 の制御方法において、 前記テーブルに供轼体からテーブルに加わる荷重を計測し、 その荷重をフィルター処理し、 この処理結果を目標とする加速度波形から減算処理 し、 この処理結果に基づいて前 動手段を制御する。

このとき、前纪フィルター処理をこのフィルター処理結果と目標とする加速度波 形との減算処理部から前記 IB動手段までの間の伝達関数の逆伝達関数で処理するよ うにしてもよい。

また、 本発明の振勐台は、 基礎の上に軸受けを介して設置され供試体を載せる テーブルと、前お基 の上に固定され前記テーブルを加振する加振機と、 前記テー ブルの加速度を検出する加速度検出恭と、前記テーブル上に設けられ前記供試体を 載せてこの供試体から前 Kテーブルにかかる荷重を検出するロードセルと、 この 口一ドセルで検出された荷重と前記加速度とに基づ t、て前記加振機を制御する制御 装置とを備え、 前記制御装置は、前記荷重を補正する手段と、 この補正した荷重と 目標僚との偏差を求める比較手段と、 この倡差を增轜する手段と、 この增轜された 偏差を前記加振機に入力する手段とを備え、 前記荷重を補正する手段は、 前記比較 手段から前 SS加振 ttまでの間の伝達関数の逆伝達関数により、前記荷重を補正する ようにしてもよい。

また、 本発明の振動台は、 基礎の上に袖受けを介して設置され供轼体を載せる テーブルと、前記基 ¾の上に固定され前記テーブルを加振する油圧加振機と、 前記 テーブルの加速度を検出する加速度検出 «と、 前記油圧加振機のピストン部分の差 圧を検出する手段と、 前お油圧加振機を制御する制御装置とを備え、前記制御装置 は、前記差圧に前記テーブルの質量を乗じて荷重を求める手段と、 前お荷重を補正 する手段と、 この補正した荷重と目樣値との偏差を求める比較手段と、 この偏差を 增幅する手段と、 この增幅された偏差を前記加振機に入力する手段とを備え、 前記 荷重を補正する手段は、前記比較手段から前記加振機までの間の伝達関数の逆伝達 関数により前 荷重を補正する手段であり、 前記制御装置は前記差圧と前記加速度 とに基づ t、て前 12油圧加振機を制御するようにしてもよい。

本発明によれば、駆動手段からテーブルに加えられる駆勖カは供轼体からテープ ルに加わる荷重を相殺することができるので、供轼体の動的特性の変動等に左右さ れることなく、 加速度または加速度波形を高精度で再現することができる。 図面の簡単な説明

第 1図は本発明の一実施例を示す模式図である。

第 2図は従来の振動台の一構成例を示す図である。

第 3図は従来の振動台の制御状態を示すプロック図である。

第 4図は従来の油圧加振機の模式図である。

第 5図は本発明の一実施例の制御状態を示すプロック図である。

第 6図は本発明の一実施例における荷重信号のフィードバックの一方法の説明図 である。

第 7図は本発明の一実施例における荷重信号のフィ一ドバックの一方法の説明図 である。

第 8図は本発明の一実施例における荷重信号のフィードバックの一方法の説明図 である。

第 9図は本発明の一実施例における荷重計測手段の一構成例である。

第 1 0図は本発明の一実 »例における荷重計測手段の一構成例である。 発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら詳細に説明する。

まず、 第 2図により従来の振動台の一構成例を説明する。 テーブル 1は W受け 5 を介して基 7上に支持されている。 ただし、 輪受け 5は振動台の構成によっては 必ずしも必要とは限らない。 前記テーブル 1は同じく基礎 7に設置されている加振 機 2に連锆されている。 前 ¾テ一ブル 1には加速度計測手段 4が設置されている。 前記加振機は制御装置 3により入力される目標波形を実現するように少なくとも前 記加速度計測手段 4による計測俵をフィードバック信号として制御される。 前記 テーブル 1上には試験対象である供轼体 6が設置されており、供試体上に設置され ている様々なセンサー （図示せず） により、 テーブルにより実現される加速度加振 に対する振動応答が計測される。

この振動台の制御の状態を模式的に示したものが第 3図である。 地震加速度波形 などの目標波形 Xは、 例えば実現すべき加速度に比例する «圧信号の形で加振機の 制御装置 3に入力される。 テーブル 1で実現された加速度 Y (正確には、 テーブル 1上に設置された加速度計測手段 4による計測値）がフィードバックされブロック Bで示される処理が施された後、 Xに適当な処理 Pを施された信号と比較され偏差 信号 Zを算出する。 この偏差信号 Zに適当な処理 Qを施して加振 の K動信号が出 力される。加振 ttではこの信号に基づいてテーブル駆動力 Fを発生させる。 Zと F の伝達関数を Aで表している。 その結果、加速度 Yが実現される。 有効 K量が Mで あるとき、 Fから Yの伝達関数は （1 ZM) である。 このとき、供轼体 6がテープ ノレ 1に搭載されていると、加速度 Yにより供試体が振動し、 テーブルに供試体から 荷重 F' が加わることになる。 加速度 Yと荷重 F' の伝達閼数を Cで表している。 なお、振勖台の場合、 少なくとも加速度侰号がフィードバックされるが、 場合に よっては速度 ·変位などがフィードバックされることもある。 その場合は、 処理 P によって加速度のみならず変位 ·速度の目標信号が出力され、偏差倌号の算出はべ クトルとして行われることになる。 したがって、 P, Bは一入力多出力であり、 Q は多入力一出力の処理である。

無負荷の状想 （供試体が搭載されていない場合） の Xと Yの伝達関数は、 次式で 表される。 Υ = { ( 1 + A Q B /M) -1 A Q P/M} X (1) 制御装置や加振機は、 { } 内が使用範囲でほぼ 1になるように調整して使用される。 ところが、供試体が搭載されている場合には伝達関数は、次式のように変化する。 Υ = { ( 1 + A Q B /M- C ) "I A Q P /M} X (2) 従って、 （1)式の条件のもとで調整された制御装置は、 Cが加わることにより振動 台の動特性が変化し実現加速度の精度が悪化する。 Cが予めわかっている場合は (2)式の { } 内を使用範囲でほぼ 1になるように IS整することで精度を維持するこ とができるが、 Cに非線形性があり振幅依存性があったり、 時間的に変化したりす る場合には調整が困難である。

また、仮に Cを測定等によって知ることができるとしても、供試体を載せ変える 毎にこのような測定を行い、 さらに制御装置の講整を行うには時間と労力を必要と する。

ブロック A、 B、 P、 Qについて、 油圧加振機を例にとり説明する。 第 4図は油 圧加振機を使用した振動台の一構成例の模式図である。 本図ではフィ一ドバック信 号として加速度のみではなく、 速度、変位を用いた例を示している。 目標加速度信 号が例えば電圧信号の形態で応答モデル回路に入力される。 この回路が Pにあたる。 応答モデル回路からは、 加速度のほかにその速度と変位の 3つの波形が出力され サーボ増幅器に入力される場合もある。 一方、実際のテーブルの少なくとも加速度、 場合によっては、速度、 および、変位は、 それぞれのセンサーによって検出され、 その検出信号もまたサーボ増幅器に入力される。 これらのセンサー類が Bにあたる。 また、 サーボ增幅恭が Qにあたる。 そして、 これらの倌号から |g動信号が出力され サーボ弁に印加される。 サーボ弁には加振機に供給される圧油の流量と方向を制御 しテーブルを目標と実 の運動状想の偏差が小さくなる方向に勖かす。 つまり、 偏 差倌号が常に 0になるようにサーボ弁が勳作する。 サーボ弁に印加される駆動信号 とテーブルに加わる荷重の間の伝達関数が Aである。

以下、本発明の一実 »例を説明する。第 1図は本発明の一実施例の構成図である。 これは第 2図に示した振動台において、加速度を計測する第 1の検出手段に対する 第 2の検出手段として、供轼体 6からテーブル 1に加わる荷重の計測手段 8を設け、 その計《0僚を加振機制御装置 3のフィードバック信号としたものである。 この構成 においては、供試体によりテーブルに加わる荷重を計 «Iし、 この荷重を相殺するよ うにテーブルの駆動手段である加振機で荷重を発生させる信号を加振機の入力信号 に重！!するので、供轼体の動的特性の変動等に左右されることなく、 高精度に加速 度を再現することができる。

第 1図の制御の状況を模式的に示したものが第 5図である。 これは、第 3図のブ ロック図に加えて、供轼体 6からテーブル 1に加わる荷重 F' を計測し制御装置 3 へのフィードバック侰号としブロック Dで表されるフィルタ一処理を施して目標波 形 Xを補正するものである。

このブロック図で表されている本発明の一実施例の振勖台の目標信号 Xと実現加 速度 Yの伝達関数は次式で表される。

Y = [ ( 1 + A Q B /M- { 1 - A Q P D } C ) "1 A Q P/M] X (3) したがって、 Dを D = (A Q P ) "I (4) と設定することにより、 Cによらず、無負荷の状想の伝達関数を得ることができる。 したがって、 Cに非線形性があり振幅依存性があったり、 時闓的に変化したりする 堤合においても、 高精度な加速度再現性が得られる。

言い換えるならば、 テーブルに載せる供試体毎に制御装置の特性を W整すること なく、常に所望の加振状態を得ることができる。 もし、制御装置の特性が無負荷状 態（供試体が無い状態）で ft適に動作するように ¾整されていれば、供試体に関係 なく常に無負荷状態での加振状態を得ることができる。

なお、 Dは厳密にこの条件を满たす必要はなく、 振動台を使用する振動数範囲で この特性を持っていればよい。 例えば、 耐震試験に使用する振動台の場合には D

( 〜 3 0 H zの範囲である。 また、多少の誤差があっても実用的に許容される加速 度再現性が得られればよい。 なお、 第 1図、 および、 第 5図では荷重計測俵は直接フィードバック信号として 加振機の制御装置に入力されている。 し力、し、必ずしもこのような構成をとる必要 はない。 例えば、 第 6図に示したようにフィルタ処理を »した荷重計 «I信号を本来 の目標波形信号から滅算処理をし、 これを制御装置に目標波形として入力すること も可能であり、 前記実 ¾例と同じ効果を得ることができる。 この処理はアナログ回 路により構成することもできるし、 D S Pなどのデジタル回路により実施すること も可能である。

また、 荷重計測信号をフィードバックする位置は上記実施例に限定されるもので はない。 例えば、第 7図に示されるように、 Pの処理を施したあとにフィードバッ クすることも可能である。 この場合、

D = (A Q) "I (5) となる。 また、 第 8図に示すように Qの処理を行った後にフィードバックすること も可能である。 この場合は

D = (A) "I (6) となる。 要するに処理 Dは信号がフィードバックされる位 fiから JB動力 Fの間の伝 達関数の逆伝達関数とすればよ t、。

次に、荷重計測手段のいくつかの実施例につ t、て説明する。

第 9図は、供試体 6とテーブル 1の間にロードセル 9を設 ISしたものである。 供 試体 6からテーブル 1に加わる荷重はロードセル 9を経由して伝達されるので所望 の荷重の計測が可能である。 ロードセル 9での計測信号は変換器 1 0により電圧信 号など制御装 ϋで使用可能な信号に変換される。

第 1 0図は、 別の術重計測手段の一実施例である。加振機 2とテーブル 1の間に ロードセル 9を設置したものである。 このロードセル 9には供試体 6からテーブル 1に加わる荷重とテーブル 1の Κ量による Μ性力の合力が計測されるので、 処理装 置 1 1によりテーブル 1の加速度を計測し予めわかっているテーブル質量を乗ずる ことにより憒性カを算出し、 ロードセルの計測値から减算することで所望の荷重を 得る。 なお、 上記の処理はアナログ回路により構成することもできるし、 D S Pな どのデジタル回路により実施することも可能である。 さらに、 処理装置 1 1ではこ れらの処理結果を適当な形に変換し計測信号として出力する。

本実施例によれば、 テーブルに供轼体 6を強固に固定することができ、 従って、 固定部の強度等が試験結果に与える影響が少ない。 つまり、供試体 6がロードセル 上に設置される構造に比べて、 供試体 6の振動試験結果にロードセルの存在が影響 しにくいという特徴がある。 加振機として油圧加振機を使用した場合には、 ビストン部分の差圧に受圧面積を 乗じたものが前お第 1 0図で示した実施例においてロードセル 9で計測される荷重 と同等になる。 従って、以下、 同様の処理を施し荷重計測値とすることも可能であ る。 この場合は、 ロードセル 9を設ける必要がなく、構造を簡略化できる。

なお、 荷重計測手段は、 ここに示した実施例に限定されるものではなく、他の手 段を用いてもかまわない。

以上の実 Λ例では耐震試験に遠用するのを例として説明を述べたが、他の振動轼 驗に邃用する場合にも同様の効果を得ることができる。 例えば、所定のパワースぺ クトルを持つランダム波で供轼体を加振するような振動試 を実 »する場合には、 そのパワースぺクトルを持つ波形を予め用意しておき、 本発明を邃用することによ り忠実に波形を再現することで所期の目的を達成することができる。

また、 上記実施例では、 テーブルの加振方向が水平一方向の場合について説明し た。 また、 テーブルが袖受けによって支持されている構成例を用いて説明した。 ま た、加振機が油圧加振機を例にとって说明した。 しかし、 本発明はここで説明した 実施例に K定されるものではない。すなわち、 テーブルが他の構成をとり、 また、 加振機が油圧加振機以外の加振機、例えば、 鼋磁加振機であっても、 本発明を適用 することができ、 同様の効果がえられる。 この場合、第 5図乃至第 8図における伝 達関数 Aが電磁加振機のものに変更されるので、 これに伴って伝達関数 Dを変更す ればよい。

また、一 ttより多くの自由度を持つ振動台においても適用でき同様の効果が得ら れる。 要するに、本発明の主旨を逸 J!ftしない範囲で様々な形態をとることができる。

Claims

θ 請求の範囲

( 1 )供拭体を搭載するためのテーブルと、 このテーブルを駆動する駆動手段と、 テーブルの道動状據を計測する第 1の計測手段と、 前記第 1の計測手段の検出僮を フィードバックして目標傢と比較し、 その偏差に基づいて前 駆動手段を制御する 制御装置とを備えた振勖台において、

第 2の計測手段として前記テーブルに供轼体から加わる荷重を検出する荷重計測 手段と、 この荷重計測手段の検出俵を前記制御装置にフィ一ドバツクするフィード バック手段とを設け、 前お偏差を補正して振動台を粗動することを特徵とする振動 台。

( 2 )蹐求の範囲 （1 ) に記載の振動台において、 前記フィードバック手段に前記 荷重計測手段の検出值がフィードバックされる部位から前お駆動手段までの間の伝 逮関数の逆伝達関数を伝達関数とするフィルタを備えたことを特徴とする振動台。

( 3 )請求の範囲 （1 ) または （2 ) に記載の振勖台において、荷重計測手段は、 テーブルと供轼体との間に設けられたロードセルであることを特徴とする振動台。

( 4 )請求の範囲 （1 ) または （2 ) に記載の振勳台において、荷重計測手段は、 前記 JB動手段とテーブルとの間に設けられたロードセルであることを特徴とする振 動台。

( 5 )請求の範囲 （4 ) に記載の振勳台において、 前記第 1の計測手段として加速 度検出 ¾を備え、前記ロードセルで検出された荷重から前記加速度検出器で検出し た加速度にテーブルの質量を乗じた镲を滅箅する処理手段を備えたことを特徵とす る 口。

( 6 )供試体を搭載するためのテーブルと、 このテーブルを駆勳する駆動手段と、 テーブルの運動状態を計測する第 1の計測手段と、 前記第 1の計測手段の検出値を フィードバックして目標僮と比較し、 その徧差に基づいて前記駆動手段を制御する 制御装置とを備えた振動台において、

前 sa駆動手段として油圧加振機を備え、前記油圧加振機のビス卜ン部分の差圧を 検出する手段と、 この差圧に前記ピストン部分の受圧面積を乗じる処理手段と、 前 記処理手段の処理結果に基づいて前 £偏差を補正する手段とを備えたことを特徴と する振動台。

( 7 )供試体を搭載するためのテーブルと、 このテーブルを租動する駆動手段と、 テーブルの運勖状態を計測する第 1の計測手段と、 前記第 1の計測手段の検出値を フィードハ'ックして目標傪と比較し、 その偏差に基づいて前記駆動手段を制御する 制御装置とを備え、前おテーブルを加振する振勖台の制御方法において、

前 Eテーブルに供轼体からテーブルに加わる荷重を計測し、 その荷重をフィル ター処理し、 この処理結果を目標とする加速度波形から滅鎵処理し、 この処理結果 に基づいて前お JB動手段を制御することを特徴とする振勖台の制御方法。

( 8 )請求の範囲 （7 ) に E裁の振動台の制御方法において、前記フィルター処理 は、 このフィルター処理結果と目標とする加速度波形との 処理から前お 動手 段までの間の伝達関数の逆伝達関数で処理することを特徴とする振勳台の制御方法。

( 9 )基礎の上に軸受けを介して設置され供轼体を載せるテーブルと、 前お基 ¾の 上に固定され前記テーブルを加振する加振機と、前記テーブルの加速度を検出する 加速度検出 »と、 前記テーブル上に設けられ前 IB供試体を載せてこの供轼体から前 記テーブルにかかる荷重を検出するロードセルと、 このロードセルで検出された荷 重と前お加速度とに基づ I、て前お加振機を制御する制御装置とを備え、

前お制御装置は、前記荷重を補正する手段と、 この補正した荷重と目標傢との偏 差を求める比較手段と、 この偏差を增輻する手段と、 この増幅された偏差を前お加 振機に入力する手段とを備え、

前記荷重を補正する手段は、 前お比較手段から前記加振機までの間の伝達関数の 逆伝達関数により、前記荷重を補正する手段であることを特徵とする振動台。

( 1 0 )基 ¾の上に軸受けを介して設置され供試体を載せるテーブルと、 前お基礎 の上に固定され前 £テーブルを加振する油圧加振機と、前記テーブルの加速度を検 出する加速度検出《と、前記油圧加振機のピストン部分の差圧を検出する手段と、 前記油圧加振機を制御する制御装置とを備え、

前記制御装置は、前記差圧に前記テーブルの質量を乗じて荷重を求める手段と、 前記荷重を補正する手段と、 この補正した荷重と目標値との儷差を求める比較手段 と、 この偏差を增輻する手段と、 この增幅された偏差を前記加振機に入力する手段 とを備え、

前記荷重を補正する手段は、 前記比較手段から前記加振 ttまでの間の伝達関数の 逆伝達関数により前お荷重を補正する手段であり、 前纪制御装置は前記差圧と前記 加速度とに基づいて前記油圧加振機を制御することを特微とする振動台。