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WO1997033295A3 - Systeme de tubes electroniques et son procede de production - Google Patents

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WO1997033295A3
WO1997033295A3 PCT/DE1997/000427 DE9700427W WO9733295A3 WO 1997033295 A3 WO1997033295 A3 WO 1997033295A3 DE 9700427 W DE9700427 W DE 9700427W WO 9733295 A3 WO9733295 A3 WO 9733295A3
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electrode
tubes
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electronic tube
tube systems
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PCT/DE1997/000427
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Hans W P Koops
Original Assignee
Deutsche Telekom Ag
Hans W P Koops
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    • H01J19/24—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode

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  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Dans les systèmes de tubes électroniques de la technique antérieure, les fréquences limites supérieures et les caractéristiques de bruit sont limitées par des procédés connus de production de tubes électroniques miniaturisés à électrodes multiples, par ex. des diodes, triodes et tubes à électrodes multiples. Les systèmes de tubes électroniques de l'invention comprennent une ou plusieurs cathodes à émission ou à ionisation de champ montées en parallèle, pour des électrons ou des ions, ainsi qu'une électrode de grille avec une ou plusieurs ouvertures annulaires, et une ou plusieurs anodes. Toutes les électrodes sont formées consécutivement ou simultanément par lithographie à rayonnement corpusculaire, avec dépôt indexé, sur une structure de tracés conducteurs de type planar délivrant les tensions. On choisit un écartement des électrodes suffisamment réduit pour qu'en moyenne seule une longueur de trajet libre moyenne des molécules puisse passer à une pression normale entre les émetteurs et l'anode. L'invention peut être utilisée dans de nombreux domaines mais de préférence dans la technique des hautes fréquences.
PCT/DE1997/000427 1996-03-09 1997-03-03 Systeme de tubes electroniques et son procede de production WO1997033295A2 (fr)

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WO1997033295A2 WO1997033295A2 (fr) 1997-09-12
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