WO1998041366A1 - Robot transporteur - Google Patents

Description

明細書 搬送用ロ ボッ ト 技術分野

本発明 は、 液晶パネルや、 半導体の製造装置、 さ ら に L C D 製造装置等の よ う に 、 1 つ の ト ラ ン ス フ ァ チ ャ ン ノく の周 囲に複数のス テ ー シ ョ ン と な る プ ロ セ ス チャ ン バを 配設し 、 各プロ セス チャ ン バ にて力 []ェ処理 さ れる 液晶パネルやウ ェハ等の 薄板状のヮ ーク を 、 ト ラ ン ス フ ァ チ ャ ン ノく を 経 由 し て 、 こ の ト ラ ン ス フ ァ チャ ン ノく に設けた搬送用 ロ ボ ッ ト にて 、 1 つのプロ セ ス チャ ン バカゝら 他のプロ セス チャ ン バへ搬送する よ う にし たマルチチヤ ン バタ ィ プの製造装置におけ る 搬送 用 ロ ボ ッ ト に 関する も の であ る 。 背景技術

マルチチャ ン バタ イ プの製造装置は図 1 に示すよ う にな っ ていて 、 ト ラ ン ス フ ァ チャ ン ノく 1 の周 囲に 、 複 数の プ ロ セ ス チ ャ ン ノく 力 ら な る プ ロ セ ス チ ャ ン ノく ス テ ーシヨ ン 2 a , 2 b , 2 c , 2 d , 2 e と 、 外部に 対し て ワ ーク を 受け 渡し を 行う ワ ーク 受け渡し ス テ ー ショ ン 3 と が配設さ れて おり 、 ト ラ ン ス フ ァ チャ ン バ 1 内 は常時真空装置にて 真空状態が保たれて おり 、 こ の ト ラ ン ス フ ァ チャ ン ノく 1 内 に 回転可能に 、 力、 っ ノ、ン ド が放射方向 に 出没可能にし た搬送用 ロ ボ ッ ト が 配置 さ れて いる 。 そ し て こ の ト ラ ン ス フ ァ チ ャ ン ノく 1 の 周 壁で 、 かつ各 プ ロ セ ス チ ャ ン バ ス テ ー シ ョ ン 2 a , 2 b ， 2 c , 2 d , 2 e 及びヮ ー ク 受け 渡し ス テ 一 シ ョ ン 3 に対向する 仕切 り 壁 5 に は 各プロ セ ス チ ャ ン ノく ス テ ー シ ョ ン へ の ワ ー ク の 出入 口 と な る ゲ ート 6 が設け て あ る 。 こ の ゲ ート 6 はト ラ ン ス フ ァ チ ャ ン ノく 2 の 内 側 に各ゲ ート 6 に対向 し て設け ら れた 図示し な い 開 閉 扉にて 開 閉さ れる よ う にな つ て レヽる 。

こ の 種の 半導体等の製造装置に用い ら れる 従来の搬 送用 σ ボ ッ ト と し て は 、 同 - - 方 向 作動型 の 搬送用 口 ボ ッ ト A ( 特開平 4 — 3 0 4 4 7 号公報） が知 ら れて おり 、 従来の 技術のも の は 図 3 に示すよ う にな っ て い る 。

ハ ン ド リ ン グ 部の 支持台と し て 、 歯車機構 1 0 を 介 し て 第 1 の駆動モータ 1 1 で 回転する 回転台 1 2 が備 え て あ る 。 こ の 回転台 1 2 に は、 一対の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 A 1 , A 2が 並べて 設け ら れて い る 。 各 ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 A A 2 は 、 そ れぞれ 同 一機構と な つ て い て 、 一組と な る 第 1 の平行リ ン ク 機構 1 3 と 第 2 の 平行リ ン ク 機構 1 4 が 連結 さ れて お り 、 先端側 に ワ ーク を 保持する 搬送台 1 5 ， 1 5 が備え て あ る 。 両 ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 A l ， A 2と で は 、 各搬送台 1 5 ,

1 5 の高さ 位置に差が あ る よ う にな っ て レ、る 。

第 1 の 平行リ ン ク 機構 1 3 は、 一対の長いリ ン ク 1 3 a , 1 3 b が 回転台 1 2 に 回転可能に 支持さ れ、 各 ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 A l， A 2 の そ れぞれの 一方の リ ン ク 1 3 a の 回転 中 心と な る 駆動軸 1 6 a ， 1 6 b は、 回転台 1 2 の 下方に 取り 付け ら れた 第 2 · 第 3 の駆動 モ一タ 1 7 a , 1 7 b に連結さ れて レ、 る 。 リ ン ク 1 3 a , 1 3 b の 先端に第 2 の 平行リ ン ク 機構 1 4 の 一対 の リ ン ク 1 4 a , 1 4 b が そ れぞれ回転 自 在に連結さ れて おり 、 こ の 一対の リ ン ク 1 4 a , 1 4 b の 先端に 各搬送台 1 5 , 1 5 が 回転 自 在に連結さ れて いる 。

上記両平行リ ン ク 機構 1 3 , 1 4 の各リ ン ク 1 3 a , 1 3 b と リ ン ク 1 4 a ， 1 4 b と の連結個所に は、 そ れぞれ同一歯数の 歯車 1 8 a , 1 8 b 力 S 互 レ、 に嚙合さ れて 取り 付け ら れて いる 。 そ し て 一方の歯車 1 8 a が 第 1 の 平行リ ン ク 機構 1 3 の 一方の リ ン ク 1 3 a に 固 定さ れ、 他方の 歯車 1 8 b は、 第 2 の 平行リ ン ク 機構 1 4 の 一 方 の リ ン ク で 、 か つ第 1 の 平行リ ン ク 機構 1 3 の 他方 の リ ン ク 1 3 b に連結し た リ ン ク 1 4 a に 固 定さ れて い る 。 こ の第 2 の 平行リ ン ク 機構 1 4 の リ ン ク 1 4 a , 1 4 b は各歯車 1 8 a , 1 8 b よ り も 先に 延長さ れ、 短い リ ン ク 1 9 にて 回転 自 在に連結さ れて レヽ る

の よ う に構成さ れた搬送用 ロ ボ ッ ト A は、 第 2 · 第 3 の駆動モータ 1 7 a , 1 7 b によ り 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 A l， A 2の 駆動軸 1 6 a , 1 6 b を 回転す る こ と によ り 、 それぞれの 第 1 の 平行リ ン ク 機構 1 3 1 3 が 回転さ れる 。 そ し て こ の 第 1 の 平行リ ン ク 機構 1 3 , 1 3 の 回転によ り 、 歯車 1 8 a , 1 8 b の 嚙合 によ り それぞれの 第 2 の平行リ ン ク 機構 1 4 ， 1 4 が. 各第 1 の 平行リ ン ク 機構 1 3 ， 1 3 の 回転方向と 逆方 向 に 同一回転角 だ け 回転する 。 そ の 結果、 両口 ボ ッ ト リ ン ク 機構 A 1 ， A 2が 互レ、 に 外側 に 向 け て 屈 曲 する と 共に 、 搬送台 1 5 , 1 5 が 平行リ ン ク 機構の短節 に 沿う 方向 に 直線的に平行移動する 。 ま た 、 第 1 の駆動 モ ータ 1 1 を 駆動する こ と によ り 、 回転台 1 2 が 回転 し て 、 搬送用 ロ ボ ッ ト A 全体が 回転さ れる 。

従来技術にあ っ て は、 一対を な す各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 A l , A 2 は そ れぞれ第 2 · 第 3 の 駆動モ ータ 1

7 a , 1 7 b にて 駆動し 、 搬送用 ロ ボ ッ ト A の 全体の 回転は第 1 の駆動モータ 1 1 にて 駆動する よ う にな つ て いる た め 、 上記第 2 · 第 3 の駆動モータ 1 7 a , 1 7 b の 容量は 、 各個 々 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 A 1 , A

2 を 駆動 する に 足 り る だ け の 比 較 的 小 さ く て すむ が、 第 1 の駆動モータ 1 1 は、 こ れら の 第 2 · 第 3 の駆動 モ ータ 1 7 a ， 1 7 b 及び回転台 1 2 等を 含む搬送用 ロ ボ ッ ト A の 全体を 回転駆動し な け ればな ら な いた め, 上記第 2 · 第 3 の駆動モータ 1 7 a , 1 7 b に比較し て 大き な 容量にせざ る を 得な かっ た 。

そ の た め 、 3 個のモータ において 、 第 1 の駆動モー タ 1 1 と 第 2 、 第 3 の駆動モータ 1 7 a ， 1 7 b の 2 種類の駆動モータ を 用いな け ればな ら な い と 共に 、 そ の 一方の 1 個の駆動モ ータ が 、 他方の 2 個の 駆動モ ー タ の それぞれに 比較し て 高価にな り 、 全体と し て コ ス ト 高と な つ て レヽる 問題があ っ た。

ま た 、 こ の従来技術のも の で は、 第 2 · 第 3 の駆動 モ ータ 1 7 a , 1 7 b が 、 回転台 1 2 と 共に 図示し な い フ レ ー ム に 対し て 回転さ れる た め 、 こ の 第 2 · 第 3 の 駆動モ ータ 1 7 a ， 1 7 b に フ レ一ム 側から 接続さ れた 動力ケ一ブノレや信号ケ一ブノレ等のケ ーブノレ が 、 上 記回転に伴つ て ねじ れて し ま レ、 、 搬达用 ロ ボ ッ ト を 無 制 限に 回転する こ と でき な い。 こ の 問題を 解決する た め に 、 上 L 2 • 第 3 の駆動モ ータ 1 7 a , 1 7 b に接 k る ケ一ブル の 途 中 にブラ シ接続機構を 介装し て 上記回転部を こ のブラ シ接続機構を 介し て 電気的 に 接続する よ う にし たも の が あ る 力 ^s 、 こ の構成は複雑で あ る と 共に 、 寿命的にも 問題があ る と い う 不具合があ る 。

本発明 は上記のこ と にかん がみな さ れたも の で 、 搬 送用 口 ボ ッ ト の全体を 回転する た め の駆動モータ を 小 さ く 、 例え ば一対の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構を 駆動する た め の リ ン ク 機構駆動用 の駆動モータ の 大き さ と 同一 に で き 、 3 個用 い る 駆動モータ の共通化を 図つ て コ ス ト ダ ウ ン する こ と が でき る よ う にし た搬送用 o ホ ッ 卜 提供する こ と を 目 的と する も の で あ る 。 発明 の 開示 上記 目 的を 達成する た め に 、 本発明 に係る 搬送用 口 ボ ッ ト は 、 駆動側リ ン ク と 従動側リ ン ク と を 平行に構 成し た 第 1 · 第 2 の 平行リ ン ク 機構か ら な り 、 第 2 の 平行リ ン ク 機構の 先端側に搬送台を 備え た ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構を 少な く と も 二組有し 、 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機 構の 各第 1 の 平行リ ン ク 機構の従動側リ ン ク を 、 駆動 軸に 一端を 固着し た 回転用 ア ー ム に連結し 、 ま た 各第 1 の 平行リ ン ク 機構の 駆動側リ ン ク を 駆動軸に 固着し、 ア ーム 回転用 およ び各第 1 平行リ ン ク 機構の駆動側リ ン ク の各駆動軸を 同軸状に配置し 、 こ の 各駆動軸の そ れぞれに駆動モータを連結した構成となっている。

こ の構成に お い て 、 回転用 ア ー ム に連結し た 駆動軸 を 停止し た 状態で 、 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構の そ れぞれ の 第 1 の 平行リ ン ク 機構の駆動側リ ン ク を 固着し た 各 駆動軸を 、 そ れぞれに連結し た駆動モ ータ にて 回転す る こ と によ り 、 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構がそ れぞれ独立 し て 作動し 、 それぞれの第 2 の 平行リ ン ク 機構に備え た搬送台が 直線状に往復動し 、 こ の搬送台 にて 薄板状 の ワ ー ク を 、 例え ばト ラ ン ス フ ァ チ ャ ン バ 力 ら プロ セ ス チ ャ ン ノ《相互に わた っ て 出し 入れする 。

ま た 、 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構の 第 1 の 平行リ ン ク 機 構の駆動側リ ン ク に 固着し た 各駆動軸と 、 各従動側リ ン ク に連結し た 回転用 ア ーム の駆動軸と を 同一方向 へ 同一回転速度で 回転する こ と によ り 、 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構が 一体状にな っ て 同軸状に 回転さ れる 。 従 っ て 、 各 ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構か ら な る 搬送用 口 ボ ッ ト の 全体回転時に は、 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構を 作 動する 各駆動モ ータ と 、 回転用 ア ー ム を 駆動する 駆動 モ ータ と が 協動さ れる こ と にな り 、 搬送用 ロ ボ ッ ト の 全体を 回転する た め に 回転ア ー ム を 回転駆動する た め の 駆動モータ の容量を 搬送用 ロ ボ ッ ト 全体を 1 個の駆 動 モ ー タ に て 回 転さ せる 場合 に 比 較 し て 小型 に で き、 例え ばこ れを 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構を 作動する た め の 各駆動モータ と 同一 にする こ と ができ て 、 各駆動モ ー タ の 共通化が 可能にな り 、 装置の 小型化と 共にコ ス ト ダ ウ ン を 図る こ と が でき る 。 駆動軸に 固着し た 回転用 ア ー ム を 、 複数個一体状に設け 、 各回転用 ア ーム に各 ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構の 各第 1 の 平行リ ン ク 機構の従動 側リ ン ク を 連結し 、 各第 1 の 平行リ ン ク 機構の駆動側 リ ン ク を 回転用 ア ー ム の駆動軸と 同軸状に し た駆動軸 に 固着し た 構成と な っ て おり 、 こ の構成によ れば、 複 数の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構を 、 各回転用 ア ーム の 方向 に 沿っ て 互い に異な る 角 度方向 に作動する こ と ができ る。

さ ら に 、 本発明 に係る 搬送用 ロ ボ ッ ト は、 上記搬送 用 ロ ボ ッ ト におい て 、 一端を 駆動軸に 固着し た複数の 回転用 ア ーム を 、 それぞれの駆動軸を 同軸状にし て 設 け 、 各回転用 ア ーム に各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構の 各第 1 の 平行リ ン ク 機構の従動側リ ン ク を 連結し 、 各第 1 の 平行リ ン ク 機構の駆動側リ ン ク を 各回転用 ア ーム の駆 動軸と 同軸状に し た 駆動軸に 固着し た 構成と な っ て お り 、 こ の構成によ れば、 複数の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構を、 個 々 に 回転する こ と が でき る 。 図面の簡単な説明

図 1 . マ ノレチチャ ン バタ イ プの 製造装置の 一例であ る 半導体製造装置の概略的な 平面図であ る 。

図 2 . ト ラ ン ス フ ァ チ ャ ン ノく を 示 す斜視 図 で あ る。 図 3 . 従 来 の 搬 送用 ロ ボ ッ ト を 示 す斜 視 図 で あ る。 図 4 . 本発 明 の 第 1 の 実施の 形態を 概略的 に 示す平 面図であ る 。

図 5 . 本発 明 におけ る 回転駆動部を 示す断面図 であ る 。

図 6 . 本発 明 におけ る ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構の 要部を 示す断面図であ る 。

図 .7 . 本発 明 に お け る 回転駆動部の 他例を 示す断面 図であ る 。

図 8 . ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構の 平行リ ン ク 相 互の 連結 部の他例を 示す構成説明 図であ る 。

図 9 . 図 8 の IX — K線に 沿う 断面図であ る 。

図 1 0 . 図 8 の X — X 線に 沿う 断面図であ る 。

図 1 1 . 本発 明 の 第 2 の 実施の 形態を 概略的 に示す 平面図であ る 。

図 1 2 . 本発 明 の 第 3 の 実施の 形態を 概略的 に 示す 平面図であ る 。

図 1 3 . 本発 明 の 第 4 の 実施の 形態を 概略的 に 示す 平面図であ る 。 発明 を 実施する た め の 最良の 形態

本発明 の 実施の 形態を 図 4 以下に 基づい て説明 する , 図 4 は本発明 に係る 搬送用 ロ ボ ッ ト の 第 1 の 実施の 形 態を 示す。 こ の搬送用 ロ ボ ッ ト B は一対の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l , B 2 に て 構成 さ れ て い る 。 こ の 各 口 ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 ， B 2 の そ れぞれは 、 一組と な る 第 1 · 第 2 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a , 2 3 a , 2 2 b , 2 3 b が連結し た構成と な っ て おり 、 第 2 の 平行 リ ン ク 機構 2 3 a . 2 3 b の 先端側 に ワ ーク を 保持す る 搬送台 2 4 a , 2 4 b 力 S備え てあ る 。 両口 ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l ， B 2 と で は 、 各搬送台 2 4 a , 2 4 b の 高さ 位置に差があ る よ う にな っ て レヽる 。 両口 ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 , B 2の 作動 中 心部 に は第 1 · 第 2

• 第 3 の駆動軸 2 5 a , 2 5 b ， 2 5 c 力 S 同心状に配 設さ れて レ、る 。 そ し て 図 5 に示すよ う に 、 第 2 · 第 3 の駆動軸 2 5 b , 2 5 c が 中 空にな っ ていて 、 第 1 の 駆動軸 2 5 a が第 2 の 駆動軸 2 5 b 内 に軸受 2 6 a 及 び磁性流体シ ール 2 7 a を 介し て 回転 自 在に嵌合さ れ. 第 2 の駆動軸 2 5 b は第 3 の駆動軸 2 5 c 内 に軸受 2 6 b 及び磁性流体シ ール 2 7 b を 介し て 回転 自 在に嵌 合さ れて いる 。 第 3 の駆動軸 2 5 c は軸受 2 6 c 及び 磁性流体シ ール 2 7 c を 介し て ト ラ ン ス フ ァ チャ ン ノく 2 8 側に 回転 自 在に嵌合支持さ れて いる 。 そ し て 上記 各駆動軸 2 4 a , 2 4 b , 2 5 c のそれぞれに 第 1 . 第 2 · 第 3 の 駆動.モ ー タ 2 9 a , 2 9 b , 2 9 c 力； 個 々 に連結さ れて いる 。

第 1 の駆動軸 2 5 a に は第 1 · 第 2 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 ， B 2の そ れぞれの 第 1 の 平行リ ン ク 機構

2 2 a , 2 2 b の 短節と な る 長さ の 回転用ア ーム 3 0 の 一端部が 固着さ れて いる 。 ま た 第 2 の駆動軸 2 5 b に は第 1 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1の 第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a の駆動側リ ン ク 3 1 a の 一端が 固着さ れ て レヽる 。 ま た 第 3 の 駆動軸 2 5 c に は第 2 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 2の 第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 b の 駆動 リ ン ク 3 1 b の 一端が 固着さ れて いる 。

ま た 、 上記 回 転用 ア ー ム 3 0 の 先 端部 に は 、 両 口 ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 , B 2 の第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a , 2 2 b の そ れぞれの従動側リ ン ク 3 2 a ， 3

2 b の 一端が 回転 自 在に連結さ れて いる 。

各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l , B 2の 第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a , 2 2 b の それぞれのリ ン ク 3 1 a , 3

2 a , 3 1 b , 3 2 b の 先端部 力 S 短節 リ ン ク 3 3 a ,

3 3 b に支軸 3 4 , 3 5 を 介し て 回転 自 在に連結さ れ て レヽ る 。 ま た 、 こ の 各支軸 3 4 , 3 5 に は 各 ロ ボ ット リ ン ク 機構 B l , B 2 の 第 2 の 平行リ ン ク 機構 2 3 a ,

2 3 b の 駆動側 及 び従動側 の リ ン ク 3 6 a , 3 7 a ,

3 6 b , 3 7 b がそ れぞれ回転 自 在に連結さ れて いる。

ま た 上記両支持軸 3 4 , 3 5 に は 同一歯数で互い に 嚙合する 歯車 3 8 ； 3 9 が そ れぞれ回転 自 在に 支持さ れて おり 、 一方の 歯車 3 8 は第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a , 2 2 b の駆動側リ ン ク 3 1 a , 3 1 b に 固着さ れて おり 、 他方の 歯車 3 9 が 第 2 の 平行リ ン ク 機構 2 3 a , 2 3 b の駆動側リ ン ク 3 6 a , 3 6 b に 固着さ れて レヽる 。

上記構成において 、 第 2 の駆動モ ータ 2 9 b を 回転 駆動し て 第 2 の駆動軸 2 5 b を 回転する と 、 第 1 の 口 ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 の 第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a の駆動側リ ン ク 3 l a が 回動さ れる 。 こ の と き 、 一方 の歯車 3 8 がこ の駆動側リ ン ク 3 1 a と 一体状にこ の リ ン ク 3 1 a の 回転方向 に 回転し 、 こ れに 嚙合し て い る 他方の歯車 3 9 は 同一回転角だけ 逆方向 に 回転する c 従っ て こ の他方の歯車 3 9 に 固着さ れて いる 第 2 の 平 行リ ン ク 機構 2 3 a の 駆動側 リ ン ク 3 6 a が 回 動 し、 第 2 の 平行リ ン ク 機構 2 3 a は第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a の 回転に連動し て 同一方向へ回転し 、 第 2 の 平 行リ ン ク 機構 2 3 a の 先端に連結さ れた搬送台 2 4 a は第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a の 短節 と な る 回 転用 ア ーム 3 0 の方向 に 沿っ て 平行移動さ れる 。 そ し て こ れに よ り 搬送台 2 4 a , 2 4 b に載置し た ワ ー ク Wを ト ラ ン ス フ ァ チ ャ ン ノく 2 8 力 ら プ ロ セ ス チ ャ ン バ 内 へ 搬送し た り 、 そ の 逆の 動作が行われる 。

同様に 、 第 3 の 駆動モータ 2 9 c を 駆動し て 、 第 3 の駆動軸 2 5 c を 回転する こ と によ り 第 2 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 2が 上記し た 第 1 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構

B 1と 同様に 作動さ れ、 第 2 の 搬送台 2 4 b が 上記回 転用 ア ー ム 3 0 の方向 に 沿っ て 平行移動さ れる 。 こ の 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l , B 2 の 搬送台 2 4 a , 2

4 b の ス ト 口 一 ク は ト ラ ン ス フ ァ チ ャ ン バ 2 8 内 力ゝ ら、 こ れに 隣接し た 各プロ セス チャ ン ノく 内 にワ ーク を 出し 入れする に足り る だ け のス ト ロ ーク と な っ て レ、る 。

次に第 1 の駆動モータ 2 9 a を 駆動し て 第 1 の駆動 軸 2 5 a を 回転する こ と によ り 回転用 ア ーム 3 0 が 回 転し て搬.送用 ロ ボ ッ ト B 全体が 回転さ れる 。 こ の と き、 両口 ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l ， B 2 は 回転用 ア ー ム 3 0 に対し て 相対的な 姿勢を 保持する 必要があ る の で 、 第 2 · 第 3 の駆動モータ 2 9 b , 2 9 c も 同時に駆動し て 第 2 · 第 3 の駆動軸 2 5 b ， 2 5 c を 、 上記第 1 の 駆動軸 2 5 a と 同一方向 へ同一の 回転角 に亘つ て 回転 さ せる 。

従っ て 、 こ の搬送用 ロ ボ ッ ト B の 全体の 回転時に は. 第 1 · 第 2 · 第 3 の 駆動モータ 2 9 a , 2 9 b , 2 9 c は協動する こ と にな り 、 第 1 の駆動モータ 2 9 a は こ と さ ら に 大型のも の を 必要と せず、 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l , B 2を 駆動する た め の 第 2 · 第 3 の 駆動 モータ 2 9 b , 2 9 c と 同等、 も し く はそ れよ り 小さ い も の で よ い 。

上記両口 ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 , B 2 の 上下方 向 の 位置関係は 図 6 に示すよ う に 、 上下方向 にずれて い て、 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l , B 2 の 搬送台 2 4 a , 2

4 b は 互い に 干渉する こ と な く 往復 動 で き る よ う に な つ て レ、る 。

こ の 種の 搬送用 ロ ボ ッ ト B に あ っ て は 、 ト ラ ン ス フ ァ チャ ン ノく 2 8 内 は低圧 （ 真空） に保た れて いる た め 、 こ の ト ラ ン ス フ ァ ァ チ ャ ン ノく 2 8 と 各駆動モ ータ 2 9 a , 2 9 b , 2 9 c を 収納する 駆動モータ 室 4 0 と は気密状に遮断する 必要があ る 。. こ のた め 、 上記実 施の形態では 、 駆動軸 2 5 a ， 2 5 b , 2 5 c の 軸受 部に磁性流体シ ー ル 2 7 a , 2 7 b , 2 7 c を 介装し て 両空間の 気密を 保持する よ う にし た が 、 駆動モ ータ 室 4 0 と ト ラ ン ス フ ァ チャ ン ノく 2 8 と の 間 に気密状の 隔壁を 設 け 、 各駆動 部材を こ の 隔壁を 隔 て て マ ッ ク ネ ッ ト カ ツ プリ ン グ に て 連結する よ う に し て も よ い ₍ 図 7 はこ の他の 実施の形態を 示すも の で 、 各駆動軸

2 5 a , 2 5 b , 2 5 c の先端部はそ れぞれの 同径の 円 板状ボス 4 1 a , 4 1 b , 4 1 c と な っ て レ、る 。 ま た 、 上記各 円 板状ボス 4 1 a , 4 1 b ， 4 1 c に対向 する 外側にリ ン グ 状ボス 4 2 a , 4 2 b , 4 2 c 力 Sそ れぞれ独立し て 回転 自 在に ト ラ ン ス フ ァ チ ャ ン ノく 2 8 側 に 支持さ れて おり 、 第 1 の リ ン グ 状ボ ス 4 2 a に 回 転用 ア ーム 3 0 が 、 第 2 のリ ン グ 状ボス 4 2 b に第 1 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a の 駆動側リ ン ク 3 1 a が 、 第 3 の リ ン グ 状ボス 4 2 c に 第 2 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 2の 第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 b の駆動側リ ン ク 3 1 b がそれぞれ固着さ れて いる 。 そ し て 上記各対の 円 板状ボス と リ ン ク 状ボ ス と が 隔壁 4 3 を 隔て て それぞれマ グ ネ ッ ト カ ツ プリ ン グ 4 4 a , 4 4 b ， 4 4 c にて 磁気的に連結さ れて レ、る 。 隔壁 4 3 は駆動モータ 室 4 0 側と ト ラ ン ス フ ァ チャ ン ノく 2 8 と い う 気密状に遮断する 構成と な っ て い て 、 こ れに よ り 駆動モータ 室 4 0 と ト ラ ン ス フ ァ チヤ ン ノく 2 8 と が気密状に遮断さ れる 。

ま た 、 上記実施の形態で、 各ロ ボッ ト リ ンク 機構 B 1 ， B 2の 第 1 · 第 2 の 平行リ ン ク 機構相互の 連結に 歯 車 3 8 ， 3 9 を 用 レヽた例を 示し た 力 S 、 こ れは 図 8 カ ら 図 1 0 に示すよ う に 、 2 本のべノレト 4 5 a , 4 5 b を 上記歯車 3 8 , 3 9 に代え て 用レ、 ても よ い。

図 8 力 ら 図 1 0 に おいて 、 一方の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機 構 B 1 に つい て 説明する 。 第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a の駆動側リ ン ク 3 1 a に第 1 プーリ 4 6 が 固着さ れ て おり 、 ま た 第 2 の 平行リ ン ク 機構 2 3 a の 駆動側リ ン ク 3 6 a に 第 2 プ ー リ 4 7 が 固 着 さ れて レ、 て 、 両 プーリ 4 6 , 4 7 に 、 図 9 、 図 1 0 に示すよ う に 、 2 本の ベル ト 4 5 a ， 4 5 b がた すき 掛け さ れ、 そ れぞ れの端部が 各プーリ 4 6 ， 4 7 に 固着し てあ る 。 こ の 構成によ り 、 上記歯車 3 8 , 3 9 と 同様の 作用を 行う 。 な おこ のベルト は 、 8 の字状に巻き 掛け れば 1 本です む。

図 1 1 は 本発 明 の 第 2 の 実施 の 形態を 示すも の で、 こ れを 上記第 1 の 実施の形態と 異な る 点だけ を 説明 す る 。 第 1 の 駆動軸 2 5 a に 2 本の 回転用ア ーム 3 0 a , 3 0 b が所定の 角 度 Θ を 有し て 固着さ れて いる 。 そ し て 一対の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l , Β 2 の そ れぞれ の 第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a , 2 2 b の従動側リ ン ク 3 2 a , 3 2 b カ こ の各回転用 ア ー ム 3 0 a , 3 0 b に連結さ れて いる 。

こ の構成 によ れば、 一対の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 , B 2 は 第 2 · 第 3 の駆動軸 2 5 b , 2 5 c を 回転す る こ と によ り それぞれ作動し て 、 そ れぞれの搬送台 2 4 a , 2 4 b は上記各回転用ア ーム 3 0 a , 3 0 b の 方向 、 すな わち 0 だけ 角 度がずれた 方向 に 沿っ て 往復 動さ れる 。 ま た 各駆動軸 2 5 a ， 2 5 b ， 2 5 c を 一 体状に 同一方向 に 回転する こ と によ り 、 両口 ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l , B 2 が 一体と な っ て 同 一方向 に 回転す る 。

図 1 2 は 本発 明 の 第 3 の 実施 の 形 態を 示すも の で、 こ れを 上記第 1 の 実施の形態と 異な る 点だ け を 説明 す る 。 第 1 の駆動軸 2 5 a に 3 本の 回転用ア ーム 3 0 a , 3 0 b , 3 0 c が 等角 度を あ け て 放射状に 固着し て あ り 、 こ の 各回転用 ア ーム 3 0 a ， 3 0 b , 3 0 c に対 応 し て 第 1 · 第 2 · 第 3 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l，

B 2 , B 3 が 用 い ら れる 。 な おこ の 3 本の 回 転用 ァ 一 ム 3 0 a ， 3 0 b 3 0 c の相互の 角 度は等角度に 限 る も の で はな く 、 相互にあ る 角 度を 有し て レヽればよ い _c そ し て 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l， B 2 , B 3の各第

1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a ， 2 2 b ， 2 2 c の従動リ ン ク 3 2 a , 3 2 b , 3 2 c がこ の各回転用 ア ー ム 3 0 a , 3 0 b , 3 0 c に連結さ れて いる 。 こ の 実施の 形態の駆動軸は 同軸状にし て 4 本設け て あ る 。 そ し て 第 1 の駆動軸 2 5 a に上記各回転用ア ー ム 3 0 a ， 3 O b ， 3 0 c 、 第 2 の駆動軸 2 5 b に第 1 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 の平行リ ン ク 機構 2 2 a の駆動側リ ン ク 3 1 a 力 S 、 第 3 の駆動軸 2 5 c に第 2 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 2 の 平行リ ン ク 機構 2 2 b の駆動側リ ン ク 3 1 b 、 第 4 の駆動軸 2 5 d に第 3 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 3の 第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 c の駆動側 リ ン ク 3 1 c がそ れぞれ固着さ れて いる 。

こ の機構におい て 、 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 , B 2

, B 3の 各第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a ， 2 2 b , 2

2 c の駆動側リ ン ク 3 1 a ， 3 1 b , 3 1 c を 第 2 · 第 3 · 第 4 の 各駆動軸 2 5 b , 2 5 c ， 2 5 d を 個 々 に 回 転する こ と に よ り 、 各 ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 B 2 , B 3 は 、 そ れぞれの 搬送台 2 4 a ， 2 4 b , 2

4 c 力 S 、 各回転ア ーム 3 0 a ， 3 0 b , 3 0 c の 方向 に 沿っ て 往復動さ れる 。 そ し て 各駆動軸 2 5 a , 2 5 b , 2 5 c , 2 5 d を 同一方向 に 回転する こ と によ り 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 , B 2 , B 3がー体状にな つ て 回転さ れる 。 ..

図 1 3 は 本発 明 の 第 4 の 実施 の 形 態 を 示すも の で、 こ れも 上記第 1' の 実施の形態と 異な る 点だ け を 説明す る 。 こ の 実施の形態で は上記第 3 の 実施の形態と 同じ よ う に駆動軸が 同 心状に 4 本設け て あ る 。 そ し て 第 1 の駆動軸 2 5 a に 第 1 の 回転用ア ーム 3 0 a が 、 ま た 第 2 の駆動軸 2 5 b に 第 2 の 回転用 ア ーム 3 0 b が そ れぞれ別 々 に 固着さ れて いる 。 ま た 第 3 の駆動軸 2 5 c に は第 1 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1の 第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a の駆動側リ ン ク 3 1 a が 、 ま た 第 4 の 駆動軸 2 5 d に は第 2 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 2 の 第

1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 b の駆動側リ ン ク 3 1 b が そ れぞれ固着し て あ る 。

一方上記第 1 の 回転用 ア ー ム 3 0 a に第 1 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1の 第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 a の 従 動側リ ン ク 3 2 a が 、 ま た 第 2 の 回転用 ァ 一ム 3 0 b に 第 2 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 2の 第 1 の 平行リ ン ク 機構 2 2 b の 従動側リ ン ク 3 2 b が そ れぞれ回転 自 在 に連結さ れて いる 。 こ の構成におい て 、 第 3 · 第 4 の駆動軸 2 5 c ， 2 5 d を 個 々 に 回転する こ と によ り 第 1 · 第 2 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B l , B 2 が 個 々 に 作動さ れて 、 そ れぞ れの搬送台 2 4 a , 2 4 b がそ れぞれの 回転用 ア ー ム

3 0 a , 3 0 b に 沿う 方向 に往復動さ れる 。 ま た 、 第 1 の駆動軸 2 5 a と 第 3 の駆動軸 2 5 c を 同一方向 に 回転する こ と に よ り 、 一方の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 1 は 、 こ の 第 1 · 第 3 の 駆動軸 2 5 a , 2 5 c のそ れぞ れを 駆動する 2 個 の 駆動モータ の 協動に て 回転作動さ れる 。

ま た 、 第 2 と 第 4 の駆動軸 2 5 b , 2 5 d を 同一方 向 に 回転する こ と によ り 、 第 2 の ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構 B 2 は 、 こ の 第 2 · 第 3 の 駆動軸 2 5 b , 2 5 d の そ れぞれを 駆動する 2 個の駆動モータ の 協動にて 回転さ れる 。

'上記第 2 〜第 4 の 実施の形態を 説明する 各図面はそ れぞれ構成を 概略的 に示すも の で 、 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構の 第 1 と 第 2 の 平行リ ン ク 機構を 連結する 歯車機 構あ る い はベルト 機構を 省略し て 示し た。 ま た 上記第 1 〜第 4 の各実施例 において 、 各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構

B 1 , B 2 , B 3におけ る 搬送台 2 4 a , 2 4 b ， 2 4 c の 向き は特に 決め ら れても の ではな く 、 使用 目 的に よ り 決め る 。

Claims

請求の範囲

1 . 駆動側リ ン ク と 従動側リ ン ク と を 平行に構成し た 2 つ の 第 1 · 第 2 の 平行リ ン ク 機構から な り 、 第 2 の 平行リ ンク 機構の 先端側の短節リ ン ク に搬送台を 備 え た ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構を 少な く と も 2 組有し 、 各口 ボ ッ ト リ ン ク 機構の 各第 1 の 平行リ ン ク 機構の 従動側 リ ン ク を 、 駆動軸に一端を 固着し た 回転用ア ーム に連 結し 、 ま た 各第 1 の 平行リ ン ク 機構の駆動側リ ン ク を 駆動軸に 固着し 、 ア ー ム 回転用 およ び各第 1 の 平行リ ン ク 機構の駆動側リ ン ク の各駆動軸を 同軸状に配置し、 こ の 各駆動軸の そ れぞれに駆動モータ を 連結し た こ と を 特徴と する 搬送用 ロ ボ ッ ト 。

2 . 請求項 1 記載の搬送用 ロ ボ ッ ト において 、 一端 を 駆動軸に 固着し た 回転用ア ーム を 、 複数個一体状に 設け 、 各回転用 ア ー ム に各ロ ボ ッ ト リ ン ク 機構の 各第 1 の 平行リ ン ク 機構の 従動側リ ン ク を 連結し 、 各第 1 の平行リ ン ク 機構の駆動側リ ン ク を 回転用ア ーム の駆 動軸と 同軸状にし た 駆動軸に 固着し た こ と を 特徴と す る 搬送用 ロ ボ ッ ト 。

3 . 請求項 1 記載の搬送用 ロ ボ ッ ト に おい て 、 一端 を 駆動軸に 固着し た複数の 回転用ア ー ム を 、 それぞれ の駆動軸を 同軸状にし て設け 、 各回転用 ア ー ム に各口 ボ ッ ト リ ン ク 機構の 各第 1 の 平行リ ン ク 機構の 従動側 リ ン ク を 連結し 、 各第 1 の平行リ ン ク 機構の駆動側リ ン ク を 各回転用 ア ー ム の駆動軸と 同軸状にし た駆動軸

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