WO2003001666A1

WO2003001666A1 - Surface acoustic wave device, method of manufacturing the device, and electronic component using the device and method

Info

Publication number: WO2003001666A1
Application number: PCT/JP2002/006041
Authority: WO
Inventors: Kazuo Ikeda; Kazunori Nishimura; Yasumichi Murase
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-06-21
Filing date: 2002-06-18
Publication date: 2003-01-03
Anticipated expiration: 2003-12-21
Also published as: CN1287516C; EP1414151A4; CN1465132A; EP1414151A1; US7064471B2; US20040012302A1

Description

明細書弾性表面波装置およびその製造方法とこれを用いた電子部品技術分野

本発明は通信機器に用いられる弾性表面波装置およびその製造方法とこれを用いた電子部品に関するものである。

背景技術

従来弾性表面波装置は、圧電性を有する基板上の全面に金属薄膜を形成し、その上にレジストを塗布し、露光、現像後、エッチングすることにより所望のインターデジタノレ電極 (I n t e r D i g i t a l Tr a n s d uc e r) 、グレーティング反射器電極 (Gr a t i n g Re f l e c t o r) 、それらの周囲を囲むダイシングラインおよびこれらを接続する細線など所望の電極パターンを形成し、ダイシングライン上を切断して個片の弹性表面波装置を製造している。この方法では、一旦圧電性を有する基板から切り離された弾性表面波装置は、ィンターデジタル電極やグレーティング反射器電極が電気的に分離されるため、弾性表面波装置に熱や歪みが加わると圧電性を有する基板の持つ焦電効果により電荷が発生し、各電極間の電荷が不均一になると対向するィンターデジタル電極間やグレーティング反射器電極間およびィンターデジタル電極とグレーティング反射器電極の電極間で放電することにより電極が破損したり、弾性表面波装置の特性が劣化したりする。

—方この問題を解決する手段として特開平 1 1一 298289号公報に記載の方法が知られている。すなわち、ダイシングラインの内側にインターデジタル電極やグレーティング反射器電極の周囲を囲む金属薄膜の短絡細線を設け、これらの金属薄膜の短絡細線とインターデジタル電極とを電気的に接続する複数の細線を配設することにより、発生した電荷を電気的に均一化し、静電気放電による破損および電気特性の劣化を防止する構成が用レヽられていた。

し力しながら、従来のようにダイシングラインの内側にインターデジタル電極ゃグレーティング反射器電極の周囲を囲む金属薄膜の短絡細線を設け、これらの金属薄膜の短絡細線とインターデジタル電極とを電気的に接続する複数の細線を配設する構成では、発生する電荷が大きい場合や、電極間距離が狭い場合、接続された電極間が離れている場合や、金属薄膜の短絡細線とインターデジタル電極とを接続した線が細！/、場合や、接続した線がミァンダラインゃ線の一部が他の部分よりも細い場合などには、線間のィンピーダンスが高くなるため、発生した電荷を十分に中和、均一化することができず、電極間で静電気放電が発生し、電極が破損したり電気特性が劣化したりするという課題を有していた。

発明の開示

本発明は上記の課題を解決するものであり、圧電性を有する基板に歪みゃ熱処理によって発生した電荷を効率よく均一化するとともに、個片の弾性表面波装置に分離した後でも電位を均一化し、電極が破損したり電気特性が劣化したりするのを防止する弾性表面波装置およびその製造方法とこれを用いた電子部品を提供することを目的とするものである。

上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。

本発明の請求項 1に記載の発明は、櫛型電極および反射器電極の周囲に互レヽに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極を設けた弾性表面波装置という構成を有しており、これにより熱処理などで発生した電荷を効率よく電気的に均一化できるため、発生した電位の場所による不均一性を低減し静電気放電などによる素子の破壊をなくすことができるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 2に記載の発明は、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極はグランド電極として用いるという構成を有しており、これにより弾性表面波装置を実装した基板などのグランドと接続することにより、より広い面積の電気的に均一化したグランドを得ることができるため、発生した電位の場所による不均一性を低減し静電気放電などによる素子の破壌をなくすこと力 S できるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 3に記載の発明は、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は略均等に配置したという構成を有しており、これにより各部発生する電荷を略等しく電気的に均一化することができるため、発生した電位の場所による不均一性を低減し静電気放電などによる素子の石皮壌をなくすことができるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 4に記載の発明は、櫛型電極に接続して帯状の入力端子引き出し電極と出力端子引き出し電極を設けると共に、入力端子引き出し電極と出力端子引き出し電極に接続して入力端子電極と出力端子電極を設けたという構成を有しており、これにより入力端子引き出し電極、出力端子引き出し電極および入力端子電極、出力端子電極で発生した電荷を均一化することができるため、発生した電位の場所による不均一性を低減し静電気放電などによる素子の破壌をなくすことができるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 5に記載の発明は、帯状の入力端子引き出し電極と出力端子引き出し電極および入力端子電極と出力端子電極は相対向して設け、それらの面積は略等しくしたという構成を有しており、これにより入力端子引き出し電極部および出力端子引き出し電極部で発生した電荷を略等しくし電気的に均一化することができるため、発生した電位の不均一性を低減し静電気放電などによる素子の破壌をなくすことができるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 6に記載の発明は、少なくとも反射器電極の一部と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極を電気的に接続したという構成を有しており、これにより反射器電極に発生した電荷を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極を通して電極全体で均一化できるため、発生した電位の場所による不均一性を低減し静電気放電などによる素子の破壌をなくすことができるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 7に記載の発明は、反射器電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極を、複数の線または帯状の電極で電気的に接続したという構成を有しており、これにより発生した電荷を効率よく均一化できるため、発生した電位の場所による不均一性を低減し静電気放電などによる素子の破壌をなくすことができるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 8に記載の発明は、反射器電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極を電気的に開放状態にしたという構成を有しており、これにより互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の捕助電極が電位の変化による影響を受けにくくなるため、発生した電位の場所による不均一性を低減し静電気放電などによる素子の破壊をなくすことができるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 9に記載の発明は、反射器電極をミアンダラインで構成し、前記反射器電極と櫛型電極を電気的に接続したという構成を有しており、これにより反射器電極と櫛型電極を等電位にすることができるため、発生した電位の場所による不均一性を低減し静電気放電などによる素子の破壊をなくすことができるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 1 0に記載の発明は、圧電性を有する基板上に櫛型電極と、反射器電極と、櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極と、入力端子電極および入力端子引き出し電極と、出力端子電極および出力端子引き出し電極を少なくとも一組設ける工程と、隣接する補助電極の間を切断する工程を含むという方法であり、これにより圧電性を有する基板上に発生した電位を均一にすることができるため、発生した電位の場所による不均一性を低減し静電気放電などによる素子の破壌をなくすことができるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 1 1に記載の発明は、入力端子電極と出力端子電極および複数の前記補助電極は少なくとも最上層の電極を蒸着で形成するという方法であり、これにより外部端子との接続状態を安定化できるという作用効果が得られる。本発明の請求項 1 2に記載の発明は、最上層の電極は柔らかい材質であるという方法であり、これにより外部端子との接続状態を安定化できるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 1 3に記載の発明は、柔らかい材質はアルミェゥムまたはアルミニゥム合金であるという方法であり、これにより外部端子との接続状態を安定化できるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 1 4に記載の発明は、櫛型電極と、反射器電極と、入力端子電極およぴ入力端子引き出し電極と、出力端子電極および出力端子引き出し電極と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は、 1種類または複数種類の金属を重ねたものであるという方法であり、これにより発生した電荷に対する耐電力を向上させることができるという作用効果が得られる。本発明の請求項 1 5に記載の発明は、櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極と、櫛型電極に接続した帯状の入力端子引き出し電極および入力端子電極と出力端子引き出し電極および出力端子電極を設け、電気的に接続すると共にベース部材に配設し、封止した電子部品という構成を有しており、これにより静電気放電などによる素子の損傷を抑制し、また特性劣化の少ない安定した電子部品が得られるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 1 6に記載の発明は、圧電性を有する基板上にダイシングラインと、その内側に櫛型電極と、反射器電極と、櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極と、入、出力端子引き出し電極と入、出力端子電極を設ける工程と、ダイシングライン上を切断する工程を含むという方法であり、これにより圧電性を有する基板上に発生した電位を均一にすると共にダイシングライン位置を容易に確認することができると共に容易に切断できるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 1 7に記載の発明は、少なくとも入、出力端子引き出し電極と入、出力端子電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極のうち一つの電極は、少なくとも最上層の電極を蒸着で形成するという方法であり、これにより外部端子との接続状態を安定化できるとレヽぅ作用効果が得られる。本発明の請求項 1 8に記載の発明は、最上層の電極を軟らかい材質で形成するという方法であり、これにより外部端子との接続状態を安定ィ匕できるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 1 9に記載の発明は、軟らかい材質としてアルミニウムまたはアルミニゥム合金を用いるという方法であり、これにより外部端子との接続状態を安定化できるという作用効果が得られる。

本発明の請求項 2 0に記載の発明は、櫛型電極と、反射器電極と、入力端子引き出し電極と、出力端子引き出し電極と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は、 1種類または複数種類の金属を重ねたもので形成するという方法であり、これにより発生した電荷に対する電極の耐電力を向上させることができるという作用効果が得られる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の実施の形態 1における弾性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図である。

図 2は、図 1の弾性表面波装置の電極パターンをウェハ上に複数個形成した構成を示す平面図である。

図 3は、図 1の弾'性表面波装置を用いた電子部品の断面図である。

図 4は、本発明の実施の形態 2における弾性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図である。

図 5は、本明の実施の形態 3における弾性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図である。

図 6は、本発明の実施の形態 4における弾性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図である。

図 7は、図 6の弾性表面波装置の電極パターンをウェハ上に複数個形成した構成を示す平面図である。

図 8は、図 6の弾性表面波装置を用いた電子部品の断面図である。

図 9は、本発明の実施の形態 5における弾性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図である。

図 1 0は、本発明の実施の形態 6における弾性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図である。

図 1 1は、本発明の実施の形態 7における弾性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図である。

図 1 2は、本発明の実施の形態 8における弾性表面波装置の電極パターンの構成を示す平面図である。

発明を実施するための最良の形態

(実施の形態 1 )

以下に本発明の実施の形態 1を用いて、本発明の請求項 1〜 5、 8 , 1 0〜 1 5について説明する。

図 1は、本発明の実施の形態 1における弹性表面波装置 1 0 Aの電極パターンの構成を示す平面図であり、図 2は、図 1の電極パターンをウェハ上に複数個形成した構成を示す平面図である。また、図 3は、弾性表面波装置 1 0 Aをパッケージなどに封止した電子部品 4 0 Aの断面図である。

1は圧電性を有する基板、 2は櫛型電極、 3は反射器電極、 4 aは入力端子引き出し電極、 4 bは入力端子電極、 5 aは出力端子引き出し電極、 5 bは出力端子電極、 6 a， 6 bは互いに電気的に独立し場所により幅が異なる捕助電極、 7 はバンプ、 8は互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助電極 6 a， 6 b の間、 1 8は帯状の電極である。

なお、図 1乃至図 3は、本実施の形態 1の構成を模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示したものではない。

圧電性を有する物質は熱が加わる力 \ または歪みが加わると焦電性により電荷が発生し、場所により電荷に差異が生じると電位差が発生し、静電気放電などを引き起こしデバイスの破壌や電気特性の劣化が起こる。

これを防止するためには、発生した電位差をできるだけ早く、同じ電位にすることが有効である。

本発明では、発生した電位をできるだけ等しくし、弾性表面波装置 1 0 Aの中で電位のバランスを取るためには、弾性表面波装置 1 O Aの回路パターンの中に低ィンピーダンスの部分をできるだけ広く設けることが有効であることを見出したものである。

すなわち本発明の弾性表面波装置 1 O Aの電極パターンは、圧電性を有する基板 1上に櫛型電極 2と、この櫛型電極 2より発生する表面波の伝搬方向に近接して櫛型電極 2の両側に反射器電極 3を配置し、櫛型電極 2および反射器電極 3の周囲を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 で囲んでいる。

ここで、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 bは弾性表面波装置 1 0 Aが実装された基板などの外部回路のダランドに接続されており、個片の弾性表面波装置 1 O Aの中で、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a， 6 bは略均等例えば略点対称や略面対称、略線対称などのように弾性表面波装置 1 0 Aの中で偏りが少なくなるように配置するとともに、櫛型電極 2に接続した帯状の入力端子引き出し電極 4 a、入力端子電極 4 b、帯状の出力端子引き出し電極 5 a、出力端子電極 5 bを設けるとともに、相対向する帯状の入力端子引き出し電極 4 aと出力端子引き出し電極 5 a、入力端子電極 4 bと出力 ¾子電極 5 bの面積を略等しくし、反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の捕助電極 6 a , 6 bを電気的に開放状態にし、櫛型電極 2間は帯状の電極で接続した電極構成にしている。

なお、帯状の入力端子引き出し電極 4 aおよび帯状の出力端子引き出し電極 5 aはそれらに接続して入力端子電極 4 bおよび出力端子電極 5 bを設けた構成になっている。

また、入力端子引き出し電極 4 aと出力端子引き出し電極 5 aおよび入力端子電極 4 bと出力端子電極 5 bは相対向し、それらの面積は略等しくすることにより発生する電荷のバランスをとり易くなるため電位を均一にするのに有効である

1 電極パターン配置の関係で例えばこれらの電極を相対向して設けられない場合は、略線対称、略点対称などの方法によりできるだけ均等に配置することにより相対向した場合と同様の効果が得られる。

互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 bはインピーダンスをできるだけ小さくし、電位を均一にするために回路設計上可能な範囲で電極の幅を広くしたもので、場所によつて幅が異なり、面積的に広がりを持つ点で細線とは明らかに異なるものである。

このように、櫛型電極 2および反射器電極 3の周囲を互ヽに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 bで囲むことにより、細線に比べ線幅が広く、線間、面内のインピーダンスを小さくできるため、圧電性を有する基板 1の焦電性によって発生した電荷が貯まって生じる電位を早く、均一にすることができるとともに、細線に比べより広い領域の電位を均一にすることができ、電位的に安定した弾性表面波装置 1 0 Aを得ることが可能となる。

また、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 b を弾性表面波装置 1 0 Aが実装された基板などの外部回路のダランドに接続し、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 bを弾性表面波装置 1 O Aのグランド電極として用いることにより、より大きい外部回路のグランドと電気的に共通したグランドにすることができるため、電位の変化をより早く、より均一にすることができるため圧電性を有する基板 1の焦電性によつて発生した電荷の影響を小さくすることができる。

弾性表面波装置 1 O Aが電位差を発生する原因は弾性表面波装置 1 O Aに熱が加わったり、歪みが加わることにより圧電性を有する基板 1の持つ焦電性から電荷が発生するものであり、通常の製造状態では局部的に電荷が発生するのではなく、弾性表面波装置 1 0 A全体から電荷が発生する。

ところで一般的に弾性表面波装置の中で最も面積が広いのはバンプなどと接続される入出力電極部であり、この部分から最も電荷が発生し易い。

なお、図 1と図 2は、弾性表面波装置 1 0 Aの構成を模式的に示したものであり、構成部材の大きさの相対的な関係を示すものではない。従って、櫛型電極 2、反射器電極 3などの機能部を取り囲み、入出力端子電極部を中心とする部位にできるだけ広レ、面積の共通電極部を設けることにより、発生した電荷を効率よく均一化し電位を等しくすることができ、静電気放電などの発生を抑制することができる。

また、静電気放電によるデバイスの損傷を防止する方法としては、例えば隣接する電極間に予め電極間隔の狭い部分を設けておき、ある程度電荷が貯まるとデバイスを損傷させない範囲で部分的に静電気放電させる方法と、静電気の原因になる電位の不均一性自体を抑制する方法がある。

部分的に静電気放電させる方法では電荷が貯まる度に放電を繰り返すことになり安定した状態を得にくいが、電位の不均一性自体を抑制する方法ではできるだけ広い面積の共通電極部を設けることにより圧電性を有する基板 1から発生する電荷が局部的に不均一にならず等電位にすることにより静電気放電の原因を恒久的に除去することができる。

従って、静電気放電を抑制するには、電極間隔を制御して故意に静電気放電を発生させる方法よりも、櫛型電極 2や反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 bにより等電位の部分を広くするためにできるだけ広い面積の共通電極部を設けて静電気放電が起こらないようにすることの方が有効である。

このようなことから互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a， 6 bの分割数は本来少ない方が望ましレ、が、外部端子配置などとの関係で電極を分割しなければならない場合でも、本発明の構成を用いれば発生した電荷を効率よく均一化し静電気放電などの発生を抑制することができる。

また、予め弾性表面波装置 1 O Aの中で、帯状の入力端子引き出し電極 4 aと出力端子引き出し電極 5 a、入力端子電極 4 bと出力端子電極 5 bの面積を略等しくしたり、また互いに電気的に独立し面状で短絡した補助電極 6 a , 6 bを全体にバランス良く均等に配置して設けることにより、局部的に大きな電荷が貯まる場所をなくすことができるため、電位をより均一にすることができる。

このように、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助電極 6 a , 6 b を全体にバランス良く均等に配置して設けたことにより、例えば反射器電極 3が互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助電極 6 a , 6 bと電気的に開放された状態であっても、反射器電極 3に発生する電荷を均一化できるため、局部的な電位の差異を生じることが無く、デバイスの破壊や電気特性の劣化を起こらなくすることができる。

なお、櫛型電極 2および/または反射器電極 3は複数組設けたものであっても、同様の効果を得ることができる。

本発明の弾性表面波装置 1 0 Aは以下のようにして製造する。

L i T a 0₃などからなる圧電性を有する基板 1上に、スパッタリング装置を用いて（図示せず） T iの金属薄膜を形成し、その上に A 1— S c— C u， T i の金属薄膜をスパッタリング装置（図示せず）を用いて重ねて形成する。さらに入力端子引き出し電極 4 aおよび出力端子引き出し電極 5 aの上に蒸着装置（図示せず）を用いて A 1の金属薄膜を形成する。

ここで、スパッタリングで形成する金属薄膜の材質は A 1 - S c - C u , T i 以外に目的に応じてその他の金属又は合金を用いてもかまわないし、また金属薄膜は 1層以上であれば目的に応じて何層積層してもかまわないし、積層する順序は目的に応じて変更してもかまわない。

次に金属薄膜の上にレジストを塗布し、所望のフォトマスクを合わせ、ステツパー装置（図示せず）などを用いて露光する。次に、現像装置（図示せず）を用いて露光された部分のレジストを現像して不要部分のレジストを除去する。さらに、ドライエッチング装置（図示せず）などを用いて金属薄膜に所望の電極パターンを形成する。

次に残ったレジストを除去した後、電極パターン上に再度レジストを塗布し、所望のフォトマスクを合わせ、ステッパー装置（図示せず）などを用いて露光する。次に、現像装置（図示せず）を用いて露光された部分のレジストを現像して不要部分のレジストを除去する。その後、蒸着装置（図示せず）を用いて A 1などの金属薄膜を形成し、入力端子電極 4 bおよび出力端子電極 5 bの上に A 1の蒸着膜を形成し、残ったレジストを除去する。

なお、所望の電極パターンを形成する方法としては、これ以外の方法例えば所望の金属薄膜層を先に形成した後、ドライエッチング装置（図示せず）などを用いて金属薄膜に所望の電極パターンを一度に形成してもかまわない。

次にダイシング装置（図示せず）などを用いてダイシングライン上を切断し、個片の弾性表面波装置 1 0 Aを得る。

なお、本実施の形態 1で用いた電極パターンでは、互いに電気的に独立し場所' により幅が異なる補助電極 6 a， 6 bの幅は、弾性表面波装置 1 0 Aの動作周波数の波長を； Iとした場合; L Z4〜1 0 0 λの範囲の幅を有していたが、幅の大きさはこれら以外の範囲のものでもかまわない。

次にこうして得られた弾性表面波装置 1 O Aを用いて電子部品 4 O Aを組み立てる。図 3は、弾性表面波装置 1 0 Aを用いた電子部品 4 0 Aの断面図である。

9はベース部材、 1 0 Aは弾性表面波装置、 1 1はバンプ、 1 2はパッド、 1

3は引き出し電極、 1 4は端子電極、 1 5は蓋体、 1 6は接着部材である。

弾性表面波装置 1 O Aのパッド 1 2に金などからなるバンプ 1 1を形成する。次に、予め引き出し電極 1 3、端子電極 1 4を設けたベース部材 9に、バンプ 1 1を形成した弾性表面波装置 1 O Aをバンプ 1 1が引き出し電極 1 3と接触するように配設し、超音波などでバンプ 1 1を接合、実装する。

その後、封止装置（図示せず）を用いて、弾性表面波装置 1 O Aを実装したベ一ス部材 9と、予め半田などの接着部材 1 6を担持させた蓋体 1 5を接着部材 1 6側がベース部材 9と対向するように配設して加熱、封止し電子部品 4 0 Aを得る。なお、電子部品 4 O Aの製造にあたっては上述した方法以外に、必要に応じて他の構成例えばワイヤーボンディングなどで実装してもかまわないし、接着部材 1 6として例えば金又は金を含むろう材などを用いてもかまわない。

ところで、バンプボンディングはワイヤーボンディングに比べ接合する電極などとの接触する面積が大きくできるため、接合の信頼性が高くできるが、一方でバンプと接触する部分の電極にバンプボンディングの際に発生する歪みが残ると、電極間で剥離したりして逆に接合の信頼性が低下する場合がある。

本発明では、スパッタリングょりも蒸着によって金属薄膜を形成した場合の方力バンプボンディングの際に発生する歪みや電気腐食および切断時の腐食が起こり難いことを見出した。この理由は、スパッタリングが物理的に金属粒子を積み重ねるだけであるのに対し、蒸着は下地の結晶配向性と同じ配向性の薄膜が形成されるため金属粒子間の結合が強くなるためと考えられる。従って、バンプポンデイングする際に、少なくともバンプと接触する電極の最上層を蒸着で形成することにより、接合による歪みの発生を抑制し、接合の信頼性を高め、異種金属接合に伴う電気腐食を抑制することができる。蒸着で形成する金属薄膜は、柔らかい金属の方がバンプとの接合性が良く、例えばアルミニウムまたはアルミニゥム一銅合金などが望ましい。

なお、バンプと接触する電極の最上層に加えてその他の層を蒸着で形成しても同様の効果が得られる。

また、電極を 1種類以上の複数種類の金属例えば A 1， T i， C u , C r , N i又はこれらの合金などを重ねることにより耐電力が高められるため、複数種類の金属を重ねた上に最上層の電極を蒸着で形成することにより、接合歪みの発生を抑制し、耐電力を高めた電極を得ることができる。

なお、本実施の形態 1では互いに電気的に独立し場所により幅が異なる捕助電極 6 a， 6 bは 2つに分割したが分割する数は複数個であればいくらでもかまわない。

またバンプを形成する位置は本実施の形態 1で示した位置以外であってもかまわない。

また、帯状の入力端子引き出し電極 4 aおよび出力端子引き出し電極 5 aは電極の幅が一定であつても、異なるものであってもかまわない。

このようにして得られた弾性表面波装置 1 0 Aの櫛型電極 2は入力端子引き出し電極 4 a、入力端子電極 4 b、出力端子引き出し電極 5 a、出力端子電極 5 b、櫛型電極 2間を接続する帯状の電極 1 8以外には接続していないため、適宜必要な端子を用いて電気的に接続することにより弾性表面波装置 1 0 Aの電気特性を予め測定することができる。すなわち、ウェハ状態で弾性表面波装置 1 0 Aの電気特性を予め測定することにより、弾性表面波装置 1 O Aを個片に切断する前に特性選別し良品のみを後工程で使用することができる。

以上のように本発明によれば、櫛型電極 2および反射器電極 3の周囲を複数の互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助電極 6 a , 6 bで囲み、少なくともバンプと接触する電極の最上層を蒸着で形成することにより、圧電性を有する基板 1の焦電性によって発生した電位をより早く、より簡単に均一化することができるとともに、電極の接合性を高め、異種金属接合に伴う腐食を抑制し、耐電力を高められ、静電気放電などによるデバイスの破壌や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置 1 0 Aを簡単に製造することができるという作用効果が得られる。

(実施の形態 2 )

以下に本発明の実施の形態 2を用いて、本発明の請求項 1〜7、 1 0〜 1 5について説明する。

図 4は、本発明の実施の形態.2における弾性表面波装置 1 0 Bの電極パターンの構成を示す平面図である。図 4において実施の形態 1の図 1で説明したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。なお、図 4は、本実施の形態 2の構成を模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示したものではない。

本実施の形態 2の図 4と実施の形態 1の図 1とで相違する点は、反射器電極 3 と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助電極 6 a , 6 bを複数の帯状の電極 1 7で電気的に接続すると共に、櫛型電極 2を各 3個設け、両端の櫛型電極 2を相互に帯状電極 1 8で接続し、カゝっ互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 bに帯状の電極 2 0で接続したことである。すなわち、実施の形態 1においては、反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 bは電気的に開放された構成になつているが、本実施の形態 2においては、櫛型電極 2と反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a， 6 bを複数の帯状の電極 1 7， 1 8， 2 0で電気的に接続する構成にしたものであり、それ以外は実施の形態 1と同様にして弾性表面波装置 1 0 Bおよび電子部品 4 0 B (図 3 ) を製造した。

図 4において、櫛型電極 2と反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 bを複数の帯状の電極 1 7 , 2 0で電気的に接続するとともに、複数組構成された櫛型電極 2間を帯状の電極 1 8で電気的に接続することにより、櫛型電極 2および反射器電極 3などで発生した電荷を複数の帯状の電極 1 7， 1 8 , 2 0を介して互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の捕助電極 6 a， 6 bを含む広い電極全体で電位を均一化できる。

すなわち、櫛型電極 2と反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 bを複数の帯状の電極 1 7で接続することにより、櫛型電極 2および反射器電極 3を含めたより広レヽ電極を共通電極とすることができるため発生した電荷をより広い面積で均一化し電位を等しくすることができるとともに、幅の広い電極でこれらを接続することにより、電気的に開放された場合に比べィンピーダンスを小さくすることができる。

なお、反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a， 6 bを電気的に接続した効果は電極パターンの設計により異なるが、電位を均一化できる電極を低インピーダンスで接続できるものであれば線状でも、面状でもかまわないし、その本数もいくらであってもかまわないが、望ましくは面状で、接続する本数が多い方がより効果的である。

また、反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a， 6 bを線で電気的に接続する場合は、接続された経路の途中にィンピ一ダンスが高い部分があるのは好ましくないため例えば,線幅は同じかもしくは外周部に行くに従って細くなることが望ましい。

従って、実施の形態 1と比較すると櫛型電極 2と反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a , 6 bを複数の帯状の電極 1 7 , 1 8， 2 0で接続することにより、櫛型電極 2および反射器電極 3を含めたより広い電極を共通電極とすることができるため発生した電荷をより広い面積で均一化し電位を等しくすることができ、発生する電荷による電位の影響をより小さくすることができるため、静電気放電などによるデバイスの破壊や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置 1 0 Bを簡単に製造することができるという作用効果が得られる。

なお、図 4において、 2 1 aはグランド端子引き出し電極、 2 1 bはグランド端子電極を示している。

(実施の形態 3 )

以下に本発明の実施の形態 3を用いて、本発明の請求項 1〜5、 9〜1 5について説明する。

図 5は、本発明の実施の形態 3における弾性表面波装置 1 O Cの電極パターンの構成を示す平面図である。図 5において実施の形態 1の図 1で説明したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。本実施の形態 3の図 5 と実施の形態 1の図 1とで相違する点は、反射器電極 3をミアンダラィンで構成し、反射器電極 3と櫛型電極 2を電気的に接続したことである。なお、図 5は、本実施の形態 3の構成を模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示したものではない。

すなわち、実施の形態 1におレ、ては、櫛型電極 2と反射器電極 3は電気的に開放された構成になっているが、本実施の形態 3においては、櫛型電極 2と反射器電極 3を電気的に接続する構成にしたものであり、それ以外は実施の形態 1と同様にして弾性表面波装置 1 0 Cおよび電子部品 4 0 C (図 3 ) を製造した。図 5において、ミアンダラインで構成した反射器電極 1 9は、電気的に櫛型電極 2と接続され、使用する信号が直流おょぴ低周波数では導通しているが、弾性表面波装置が動作する高周波数帯域ではミアンダラインはィンピーダンスが高くなり、実質的に開放状態と同様になる。

また、一方でミアンダラィンで構成した反射器電極 1 9と櫛型電極 2を電気的に接続することにより共通する電極部分を拡大できるため、圧電性を有する基板 1の焦電性により発生した電荷をより広い電極、より長い電極全体で均一化することができ、各部で発生した電位差を小さくすることができる。

すなわち、ミアンダラインで構成した反射器電極 1 9と櫛型電極 2を電気的に接続することにより、高周波数領域では櫛型電極 2と反射器電極； L 9を実質的に開放状態にし動作上の不具合をなくすとともに、電気的に接続された共通ベースを拡大することにより各部で発生する電位差を小さくし静電気放電などの発生を抑制することができる。

従って、実施の形態 1と比較すると櫛型電極 2および反射器電極 1 9を含めた各部で発生する電位差をより小さくすることができ、静電気放電などによるデバイスの破壊や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置 1 0 Cを簡単に製造することができるという作用効果が得られる。

(実施の形態 4 )

以下に本発明の実施の形態 4を用いて、本宪明の請求項 1 6〜 2 0について説明する。

図 6は、本発明の実施の形態 4における弾性表面波装置 1 0 Dの電極パターンの構成を示す平面図であり、図 7は、図 6の電極パターンをウェハ上に複数個形成した構成を示す平面図である。また、図 8は、弾'性表面波装置 1 0 Dをパッケージなどに封止した電子部品 4 0 Dの断面図である。

本実施の形態 4の図 6と実施の形態 1の図 1とで相違する点は、弾性表面波装置 1 0 Dにおいてダイシングライン 2 8を圧電性基板 1上に設けたことである。なお、図 6乃至図 8は、本実施の形態 4の構成を模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示したものではない。

圧電性を有する物質は熱が加わるかまたは歪みが加わると焦電性により電荷が発生し、場所により電荷に差異が生じると電位差が発生し、静電気放電などを引き起こしデバイスの破壊や電気特性の劣化が起こる。

本発明では、発生した電位をできるだけ等しくし、弾性表面波装置の中で電位のバランスを取るためには、弾性表面波装置 1 O Dの回路パターンの中に低インピーダンスの部分をできるだけ広く設けることが有効であることを見出したものである。

すなわち本発明の弾性表面波装置 1 O Dの電極パターンは、圧電性を有する基板 1上にダイシングライン 2 8を設け、その内側に櫛型電極 2と、櫛型電極 2より発生する表面波の伝搬方向に近接して櫛型電極 2の両側に反射器電極 3を配置し、櫛型電極 2および反射器電極 3の周囲を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bで囲んで構成されている。

ここで、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bはグランド電極として用いられており、個片の弹性表面波装置 1 0 Dの中で、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bは略均等例えば略点対称や略面対称などのように弾性表面波装置の中で偏りがないように配置するとともに、櫛型電極 2に接続した帯状の入力端子引き出し電極 4 a、出力端子引き出し電極 5 aの面積を略等しくし、入、出力端子引き出し電極 4 a、 5 aに接続して入力端子電極 4 b、出力端子電極 5 bを相対向して設けるとともに入力端子電極 4 bと出力端子電極 5 bの面積を略等しくし、反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを電気的に開放状態にし、櫛型電極 2間を帯状の電極 1 8で接続した電極構成にしている。また、入力端子引き出し電極 4 aと出力端子引き出し電極 5 a及び入力端子電極 4 bと出力端子電極 5 bは相対向し、それらの面積は略等しくすることにより発生する電荷のパランスがとり易くなるため電位を均一にするのに有効である。電極パターン配置の関係で例えばこれらの電極を相対向して設けられない場合は、略線対称、略点対称などの方法によりできるだけ均等に配置することにより相対向した場合に近い効果が得られる。

また、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の捕助電極 6 a、 6 b はインピーダンスをできるだけ小さくし、電位を均一にするために回路設計上可能な範囲で電極の幅を広くしたもので、場所によって幅が異なり、面積的に広がりを持つ点で細線とは明らかに異なるものである。

このように、櫛型電極 2および反射器電極 3の周囲を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bで囲むことにより、細線に比べ線幅が広く、線間、面内のインピーダンスを小さくできるため、圧電性を有する基板 1の焦電性によつて発生した電荷が貯まつて生じる電位を早く均一にすることができるとともに、細線に比べより広い領域の電位を均一にすることが可能となる。

また、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 b を弾性表面波装置 1 0 Dが実装された基板などの外部回路のダランドに接続し、互！/ヽに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを弾性表面波装置 1 0 Dのグランド電極として用いることにより、より大きい外部回路のダランドと電気的に共通したダランドにすることができるため、電位の変化をより早く、より均一にすることができるため圧電性を有する基板 1の焦電性によつて発生した電荷の影響を小さくすることができる。

弾性表面波装置 1 O Dが電位差を発生する原因は、弾性表面波装置 1 O Dに熱が加わったり、歪みが加わることにより圧電性を有する基板 1の持つ焦電性から電荷が発生するものであり、通常の製造状態では局部的に電荷が発生するのではなく、弾性表面波装置 1 0 D全体から電荷が発生する。

ところで一般に弾性表面波装置の中で最も面積が広いのはバンプなどとの接続用入、出力端子電極部であり、この部分から最も大きな電荷が発生する。

なお、図 6と図 7は、弾性表面波装置 1 0 Dの構成を模式的に示したものであり、構成部材の大きさの相対的な関係を示すものではない。

従って、櫛型電極 2、反射器電極 3などの機能部を取り囲み、入、出力端子電極部を中心とする部位にできるだけ広い面積の共通電極部を設けることにより、発生した電荷を効率よく均一化し電位を等しくすることができ、静電気放電などの発生を抑制することができる。

ところで、静電気放電によるデバイスの損傷を防止する方法としては、例えば隣接する電極間に予め電極間隔の狭い部分を設けておき、ある程度電荷が貯まるとデバイスを損傷させない範囲で部分的に静電気放電させる方法と、静電気の原因になる電位の不均一'性自体を抑制する方法がある。

従って、静電気放電を抑制するためには、電極間距離を制御して故意に静電気放電を発生させる方法よりも、櫛型電極 2や反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bにより等電位の部分を広くするためにできるだけ広！/、面積の共通電極部を設けて静電気放電が発生しないようにすることが最も有効である。

このようなことから互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bの分割数は本来少ない方が望ましいが、外部端子配置などとの関係で電極を分割しなければならない場合でも、本発明の構成を用いれば発生した電荷を効率よく均一化し静電気放電などの発生を抑制することができる。

また、予め弾性表面波装置 1 0 Dの中で、帯状の入力端子引き出し電極 4 aと出力端子引き出し電極 5 a、および入力端子電極 4 bと出力端子電極 5 bの面積を略等しくしたり、また互いに電気的に独立し面状で短絡した電極 6 a、 6 bを全体にバランス良く均等に配置して設けることにより、局部的に大きな電荷が貯まる場所をなくすことができるため、電位をより均一にすることができる。

このように、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを全体にバランス良く均等に配置して設けたことにより、例えば反射器電極 3が互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bと電気的に開放された状態であっても、またダイシングライン 2 3と反射器電極 3が電気的に開放された状態であっても、弾性表面波装匱 1 0 Dに発生する電荷を均一化できるため、局部的な電位の差異を生じることが無く、デバイスの破壊ゃ電気特性の劣化を起こらなくすることができる。

また、ダイシングライン 2 8上を切断することにより切断に伴う位置合わせ作業を容易に行うことができるとともに、電気的に短絡したダイシングライン 2 8 を弾性表面波素子 1 O Dの外周部に設けることにより発生した電荷を均一ィヒするのに有効に作用させることができる。

なお、櫛型電極 2および/または反射器電極 3は複数組設けたものであっても同様の効果が得ることができる。

本発明の弾性表面波装置 1 0 Dは以下のようにして製造する。

L i T a〇₃などからなる圧電性を有する基板 1上に、スパッタリング装置を用いて（図示せず） T iの金属薄膜を形成し、その上に A 1 _ S _C— C u、 T i の金属薄膜をスパッタリング装置（図示せず）を用いて重ねて形成する。

ここで、スパッタリングで形成する金属薄膜の材質は A 1— S c _ C u、 T i 以外に目的に応じてその他の金属および合金を用いてもかまわないし、また金属薄膜は 1層以上であれば目的に応じて何層積層してもかまわないし、積層する順序は目的に応じて変更してもかまわない。

次に金属薄膜の上にレジストを塗布し、所望のフォトマスクを合わせ、ステツパー装置（図示せず）などを用いて露光する。

次に、現像装置（図示せず）を用いて露光された部分のレジストを現像して不要部分のレジストを除去する。

さらに、ドライエッチング装置（図示せず）などを用いて金属薄板に所望の電極パターンを形成する。

次に残ったレジストを除去した後、電極パターン上に再度レジストを塗布し、所望のフォトマスクを合わせ、ステッパー装置（図示せず）などを用いて露光する。

次に、現像装置（図示せず）を用いて露光された部分のレジストを現像し、不要部分のレジストを除去する。

その後、蒸着装置（図示せず）を用いて A 1などの金属薄膜を形成し、入力端子電極 4 b及び出力端子電極 5 bの上に A 1の蒸着膜を形成し、残ったレジストを除去する。

A 1の蒸着膜を設ける部分は入、出力端子電極 4 b、 5 b以外に必要に応じて他の部分例えば入、出力端子引き出し電極 4 a、 5 a、枠状で短絡した補助電極

6に設けてもかまわない。

なお、所望の電極パターンを形成する方法としては、これ以外の方法例えば所望の金属薄膜層を先に形成した後、ドライエッチング装置（図示せず）などを用いて金属薄膜に所望の電極パターンを一度に形成してもかまわな!/、。次にダイシング装置（図示せず）などを用いてダイシングライン 2 8上を切断し、個片の弾性表面波装置 1 0 Dを得る。

なお、本実施の形態 1で用いた電極パターンでは、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bの幅は、弾性表面波装置 1 0 Dの動作周波数の波長を λとした場合 λΖ4〜 1 0 0 λの範囲の幅を有していたが、幅の大きさはこれら以外の範囲のものでもかまわない。

次にこうして得られた弾性表面波装置 1 0 Dを用いて、電子部品 4 0 Dが図 8 に示すように組み立てられる。図 3と同様に、図 8の電子部品 4 0 Dは、ベース部材 9、弾性表面波装置 1 0 D、バンプ 1 1、ノッド 1 2、引き出し電極 1 3、端子電極 1 4、蓋体 1 5と接着部材 1 6を備える。

弾性表面波装置 1 0 Dのパッド 1 2に金などからなるバンプ 1 1を形成する。次に、予め引き出し電極 1 3と、端子電極 1 4を設けたベース部材 9に、バンプ 1 1を形成した弾性表面波装置 1 0 Dをバンプ 1 1が引き出し電極 1 3と接触するように配設し、超音波などでバンプ 1 1を接合、実装する。

その後、封止装置（図示せず）を用いて、弾性表面波装置 1 O Dを実装したベ一ス部材 9と、予め半田などの接着部材 1 6を担持させた蓋体 1 5を、接着部材 1 6側がベース部材 9と対向するように配設して加熱、封止し電子部品 4 0 Dを得る。

なお、電子部品 4 0 Dの製造にあたっては上述した方法以外に、必要に応じて他の構成例えばワイヤーボンディングなどで外部端子と接続してもかまわないし、接着部材 1 6として例えば金又は金を含むろう材などを用いてもかまわない。ところで、バンプボンディングはワイヤーボンディングに比べ接合する電極などとの接触する面積が大きくできるため、接合の信頼性が高くできる力一方でバンプと接触する部分の電極にバンプボンディングの際に発生する歪みが残ると、電極間で剥離したりして逆に接合の信頼性が低下する場合がある。

本発明では、スパッタリングょりも蒸着によって金属薄膜を形成した場合の方 1 バンプボンディングの際に発生する歪みや電気腐食および切断時の腐食が起こり難いことを見い出した。

この理由は、スパッタリングが物理的に金属粒子を積み重ねるだけであるのに対し、蒸着は下地の結晶配向性と同じ配向性の薄膜が形成されるため金属粒子間の結合が強くなるためと考えられる。

従って、バンプボンディングする際に少なくともバンプと接触する電極の最上層を蒸着で形成することにより、接合による歪みの発生を抑制し、接合の信頼性を高め、異種金属接合に伴う電気腐食を抑制することができる。

蒸着で形成する金属薄膜は、軟らかい金属の方がバンプとの接合性が良く、例えばアルミニゥムまたはアルミニウム一銅合金などが望まし!/、。

また、電極を 1種類以上の複数種類の金属例えば A 1、 T i、 C u、 C r、 N i又はこれらの合金を重ねることにより耐電力が高められるため、複数種類の金属を重ねた上に最上層の電極を蒸着で形成することにより、接合歪みの発生を抑制し、耐電力を高めた電極を得ることができる。

なお、本実施の形態 4では互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bは 2つに分割したが分割する数は複数個であればいくらでもかまわない。

また、バンプを形成する位置は本実施の形態 4で示した位置以外であつてもかまわない。また、帯状の入力端子引き出し電極 4 aおよび出力端子引き出し電極 5 aは電極の幅が一定であっても、異なるものであってもかまわない。

このようにして得られた弾性表面波装置 1 0 Dのホット端子例えば入、出力端子引き出し電極 4 a、 5 a、入、出力端子電極 4 b、 5 b、帯状の電極 1 8はダイシングラインに接続されていないため互レヽに電気的に独立しており、適宜必要な電極に端子などを当てて電気的接続することにより弾性表面波装置 1 0 Dの電気特性を予め測定することができる。

すなわち、ウェハ状態で弾性表面波装置 1 O Dの電気特性を予め測定することができるため、ウェハを個片に切断する前に特性選別を行うことが可能で、後ェ程では良品のみを用いて電子部品 4 0 Dを &み立てることができる。

以上のように本発明によれば、ダイシングライン 2 8の内側に櫛型電極 2および反射器電極 3の周囲を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の捕助電極 6 a、 6 bで囲み、少なくともバンプと接触する電極の最上層を蒸着で形成することにより、圧電性を有する基板 1の焦電性によつて発生した電位をより早く、より簡単に均一化することができるとともに、電極の接合性を高め、異種金属接合に伴う腐食を抑制し、耐電力を高められ、静電気放電などによるデバイスの破壊や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置 1 0 Dを簡単に製造することができる。 '

(実施の形態 5 )

図 9は、本発明の実施の形態 5における弾性表面波装置 1 0 Eの電極パターンの構成を示す平面図である。

図 9において実施の形態 4の図 6で説明したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。なお、図 9は、本実施の形態 5の構成を模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示したものではない。本実施の形態 5の図 9と実施の形態 4の図 6とで相違する点は、反射器電極 3 と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを電気的に開放すると共に、櫛型電極 2を 3個設け、両端の櫛型電極 2を帯状の電極

1 8で相互に接続し、かつ互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを複数の帯状の電極 2 0で電気的に接続したことである。すなわち、実施の形態 4においては、櫛型電極 2と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bは電気的に開放された構成になっている力本実施の形態 5においては、櫛型電極 2を 3個設け、両端の櫛型電極 2 と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを複数の帯状の電極 2 0で電気的に接続すると共に、両端の櫛型電極 2を帯状の電極 1 8で相互に接続する構成にしたものであり、それ以外は実施の形態 4と同様にして弾性表面波装置 1 O Eおよび電子部品 4 0 E (図 8 ) を製造した。

図 9において、櫛型電極 2と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の捕助電極 6 a、 6 bを複数の帯状の電極 2 0で電気的に接続するとともに、複数組配設された櫛型電極間を帯状の電極 1 8で電気的に接続することにより、櫛型電極 2などで発生した電荷を帯状の電極 2 0を介して互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを含むより広い電極全体で電位を均一化することができる。

すなわち、両端の櫛型電極 2と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを帯状の電極 2 0で接続することにより、より広い電極を共通電極とすることができるため発生した電荷を櫛型電極 2を含むより広い面積で均一化し電位を等しくすることができるとともに、幅の広い電極で両者を接続することにより、電気的に開放された場合に比べィンピーダンスを小さくすることができるため静電気放電を起りにくくすることができる。

なお、櫛型電極 2と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを電気的に接続した効果は電極パターンの設計により異なるが、電位を均一化できる電極を低インピーダンスで接続できるものであれば線状でも、面状でもかまわないし、その本数もいくらであってもかまわないが、望ましくは面状で接続する本数が多い方がより効果的である。

また、櫛型電極 2と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを線で電気的に接続する場合は、接続された経路の途中にインピーダンスが高い部分があるのは好ましくないため例えば線幅は同じかもしくは外周部に行くに従って細くなることが望ましい。一般に電極パターンの設計においてはダイシングラインを最も細くすることから、少なくともダイシングラインと同じかそれより太い線で接続することが望ましい。

従って、実施の形態 4と比較すると櫛型電極 2を含めたより広い電極を共通電極とすることができるため、発生した電荷をより広い面積で均一化し電位を等しくすることができ、静電気放電などによるデバイスの破壌や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置 1 0 Eを簡単に製造することができる。

なお、図 9において、 3 1 aはグランド引き出し電極、 3 1 bはグランド電極を示している。

(実施の形態 6 )

図 1 0は、本発明の実施の形態 6における弾性表面波装置 1 0 Fの電極パターンの構成を示す平面図である。図 1 0において実施の形態 4の図 6で説明したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。なお、図 1 0は、本実施の形態 6の構成を模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示したものではない。

本実施の形態 6の図 1 0と実施の形態 4の図 6とで相違する点は、反射器電極 3と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを電気的に開放すると共に、櫛型電極 2を 3個設け、両端の櫛型電極 2を帯状の電極 1 8で相互に接続し、かつ互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを複数の帯状の電極 2 0で電気的に接続するとともに、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bとダイシングライン 2 8を帯状の電極 2 2で電気的に接続したことである。

すなわち、実施の形態 4においては、櫛型電極 2と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bは電気的に開放された構成になっている力本実施の形態 6においては、櫛型電極 2を 3個設け、両端の櫛型電極 2 と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを複数の帯状の電極 2 0で電気的に接続し、両端の櫛型電極 2を帯状の電極 1 8で相互に接続するとともに、ダイシングライン 2 8と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを帯状の電極 2 2により電気的に接続する構成にしたものであり、それ以外は実施の形態 4と同様にして弾性表面波装置 1 0 Fおよび電子部品 4 0 F (図 8 ) を製造した。

図 1 0において、ダイシングライン 2 8と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを帯状の電極 2 2を介して電気的に接続することにより、圧電性を有する基板 1上で発生した電荷を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bおよびダイシングライン 2 8を含む電極全体で均一化し等電位にすることができる。

すなわち、ダイシングライン 2 8と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを帯状の電極 2 2を介して電気的に接続することにより、圧電性を有する基板 1上で発生した電荷をダイシングライン 2 8を含むより広い電極を共通電極とすることができるため、発生した電荷を櫛型電極 2を含むより広い面積で均一化し電位を等しくすることができるとともに、幅の広い電極で両者を接続することにより、電気的に開放された場合に比べィンピーダンスを小さくすることができ静電気放電を起りにくくすることができる。なお、ダイシングライン 2 8と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを電気的に接続した効果は電極パターンの設計により異なる力電位を均一化できる電極を低インピーダンスで接続できるものであれば f泉状でも面状でもかまわないし、その本数もいくらであってもかまわないが、望ましくは面状で接続する本数が多い方がより効果的である。

また、ダイシングライン 2 8と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを線で電気的に接続する場合は、接続された経路の途中にィンピーダンスが高い部分があるのは好ましくないため外周部に行くに従って細くなることが望ましい。

一般に電極パターンの設計においてはダイシングライン 2 8を最も細くすること力ら、少なくともダイシングライン 2 8と同じかそれより太レ、線で接続することが望ましい。

従って、実施の形態 4と比較すると、櫛型電極 2を 3個設け、両端の櫛型電極 2と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bとダイシングライン 2 8を帯状の電極 1 8、 2 0、 2 2で電気的に接続することにより、より広い電極を共通電極とすることができるため、各部で発生した電荷による電位の影響をより小さくすることができ、静電気放電などによるデバイスの破壊や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置 1 0 Fを簡単に製造することができる。

(実施の形態 7 )

図 1 1は、本発明の実施の形態 7における弾性表面波装置 1 0 Gの電極パターンの構成を示す平面図である。図 1 1において実施の形態 4の図 6で説明したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。なお、図 1 1は、本実施の形態 7の構成を模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示したものではない。

本実施の形態 7の図 1 1と実施の形態 4の図 6とで相違する点は、櫛型電極 2 を 3個設け、両端の櫛型電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを帯状の電極 2 0で電気的に接続すると共に、両端の櫛型電極を帯状の電極 1 8で相互に接続し、反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを帯状の電極 1 7により電気的に接続し、櫛型電極 2と反射器電極 3の外周部にダイシングライン 2 8を設け、ダイシングライン 2 8と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bを帯状の電極 2 2により電気的に接続したことである。

すなわち、実施の形態 4においては、櫛型電極 2と反射器電極 3およびダイシングライン 2 8は電気的に開放された構成になっているが、本実施の形態 7においては、ダイシングライン 2 8と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bと、両端の櫛型電極 2と反射器電極 3を帯状の電極 1 7、 1 8、 2 0、 2 2により電気的に接続したものであり、それ以外は実施の形態 4と同様にして弾性表面波装置 1 O Gおよび電子部品 4 O G (図 8 ) を製造した。

図 1 1において、ダイシングライン 2 8と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bと、両端の櫛型電極 2と、反射器電極 3を帯状の電極 1 7、 1 8、 2 0、 2 2を介して電気的に接続することにより、圧電性を有する基板 1上で発生した電荷を両端の櫛型電極 2と、反射器電極 3と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bと、ダイシングライン 2 8を含む電極全体で均一化し等電位にすることができる。

すなわち、ダイシングライン 2 8と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 と、両端の櫛型電極と、反射器電極 3を帯状の電極 1 7、 1 8、 2 0、 2 2を介して電気的に接続することにより、ダイシンダライン 2 8と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bと、両端の櫛型電極と、反射器電極 3を含むより広い電極全体で電荷を均一化し電位差を小さくすることができるとともに、帯状の電極 1 7、 1 8、 2 0、 2 2でそれらを接続することにより電気的に開放された場合に比べ共通化された電極間のィンピーダンスを小さくすることができる。

なお、ダイシングライン 2 8と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 と、両端の櫛型電極と、反射器電極 3を電気的に接続した効果は電極パターンの設計により異なるが、電位を均一化できる電極を低ィンピーダンスで接続できるものであれば線状でも面状でもかまわないし、その本数はいくらであってもかまわないが、望ましくは面状で接続する本数が多い方がより効果的である。

従って、実施の形態 4と比較すると、両端の櫛型電極と、反射器電極 3と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bとダイシンク、' ライン 2 8を電気的に接続することにより、より広い電極を共通電極とすることができるため、各部で発生する電位差をより小さくすることができ、静電気放電などによるデバイスの破壌や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置 1 0 Gを簡単に製造することができる。

(実施の形態 8 )

図 1 2は、本発明の実施の形態 8における弾性表面波装置 1 0 Hの電極パターンの構成を示す平面図である。図 1 2において実施の形態 4の図 6で説明したものと同一のものは同一番号を付与し、詳細な説明は省略する。なお、図 1 2は、本実施の形態 8の構成を模式的に示したものであり、それぞれの寸法の相対的な関係を示したものではない。

本実施の形態 8の図 1 2と実施の形態 4の図 6とで相違する点は、反射器電極をミアンダラィンで構成し、反射器電極と櫛型電極を電気的に接続したことである。 '

すなわち、実施の形態 4においては、櫛型電極 2と反射器電極 3は電気的に開放された構成になっているが、本実施の形態 8におレ、ては、櫛型電極 2とミアンダラインで構成した反射器電極 1 9を電気的に接続すると共に、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bの外周部にダイシンダライン 2 8を設けた構成にしたものであり、それ以外は実施の形態 4と同様にして弾性表面波装置 1 O Hおよび電子部品 4 O H (図 8 ) を製造した。

図 1 2において、ミァンダラインで構成した反射器電極 1 9は、電気的に櫛型電極 2と接続され、使用する信号が直流おょぴ低周波数では導通しているが、弾性表面波装置が動作する高周波数帯域ではミアンダラインはィンピーダンスが高くなり、実質的に開放状態と同様になる。

すなわち、ミアンダラインで構成した反射器電極 1 9と櫛型電極 2を電気的に接続することにより、動作周波数では実質的に開放状態にし動作上の不具合をなくすとともに、電気的に接続された共通電極部分を拡大することにより圧電性を有する基板 1で発生した電荷を反射器電極 1 9と櫛型電極 2を含む電極全体で均一化し等電位にすることができる。

なお、必要に応じて互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極 6 a、 6 bとダイシングライン 2 8を、少なくとも 1本以上の線または帯状の電極で電気的に接続することにより発生した電位を均一にするための共通電極をさらに広げてもかまわない。

従って、実施の形態 4と比較するとミアンダラィンで構成した反射器電極 1 9 と櫛型電極 2を電気的に接続することにより、動作周波数では実質的に開放状態にし動作上の不具合をなくすとともに、電気的に接続された共通電極部分を拡大することにより圧電性を有する基板 1で発生した電荷を反射器電極 1 9と櫛型電極 2を含む電極全体で均一化し等電位にすることができるため、各部で発生する電位差をより小さくすることができ、静電気放電などによるデバイスの破壌や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置 1 0 Hを簡単に製造することができる。以上のように本発明の実施の形態 1乃至 3によれば、櫛型電極および反射器電極の周囲を複数の互いに電気的に独立し場所により幅が異なる補助電極で囲むことにより、個片に切断した後でも圧電性を有する基板の焦電性によって発生した電位をより早く、より簡単に均一化することができるとともに、静電気放電などによるデバイスの破壊や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置を簡単に製造することができる。

又、本発明の実施の形態 4乃至 8によれば、ダイシングラインの内側に櫛型電極および反射器電極の周囲を互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極で囲むことにより、個片に切断した後でも圧電性を有する基板の焦電性によって発生した電位をより早く、より簡単に均一化することができるため、静電気放電などによるデバイスの破壌や、特性劣化のない優れた弾性表面波装置を簡単に製造することができる。

Claims

請求の範囲

1 . 圧電性を有する基板上に櫛型電極と、この櫛型電極より発生する表面波の伝搬方向に近接して反射器電極を配置してなる弾性表面波装置において、前記櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極を設けた弾性表面波装置。

2. 互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の捕助電極はダランド電極として用いる請求項 1に記載の弾性表面波装置。

3 . 互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は略均等に配置した請求項 1に記載の弾性表面波装置。

4. 櫛型電極に接続して帯状の入力端子引き出し電極と出力端子引き出し電極を設けると共に、入力端子引き出し電極と出力端子引き出し電極に接続して入力端子電極と出力端子電極を設けた請求項 1に記載の弾性表面波装置。

5 · 帯状の入力端子引き出し電極と出力端子引き出し電極および入力端子電極と出力端子電極は相対向して設け、それらの面積は略等しくした請求項 4に記載の

6. 少なくとも反射器電極の一部と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極を電気的に接続した請求項 1に記載の弾性表面波装置。

7. 反射器電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の捕助電極を、複数の線または帯状の電極で電気的に接続した請求項 6に記載の弾性表面波装置。

8 · 反射器電極と互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の捕助電極を電気的に開放状態にした請求項 1に記載の弾性表面波装置。

9 . 反射器電極をミアンダラインで構成し、この反射器電極と櫛型電極を電気的に接続した請求項 1に記載の弾性表面波装置。

1 0 . 圧電性を有する基板上に金属薄膜を被着し、この金属薄膜をエッチングして所定の電極パターンを複数組形成した後切断し、個片の弾性表面波装置を得る製造方法において、前記圧電性を有する基板上に櫛型電極と、反射器電極と、櫛型電極および反射器電極の周囲に互ヽに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極と、入力端子電極および入力端子引き出し電極と、出力端子電極および出力端子引き出し電極を少なくとも一組設ける工程と、隣接する前記補助電極の間を切断する工程を含む弾性表面波装置の製造方法。

1 1 . 圧電性を有する基板上に金属薄膜を被着し、この金属薄膜をエッチングして所定の櫛型電極と、反射器電極と、入力端子電極および入力端子引き出し電極と、出力端子電極おょぴ出力端子引き出し電極と、前記櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の捕助電極を形成した後、隣接する前記補助電極の間を切断する弾性表面波装置の製造方法において、入力端子電極と出力端子電極および複数の前記補助電極は少なくとも最上層の電極を蒸着で形成する弾性表面波装置の製造方法。

1 2 . 最上層の電極は柔らかい材質である請求項 1 1に記載の弾性表面波装置の製造方法。

1 3 . 柔らかい材質はアルミユウムまたはアルミニウム合金である請求項 1 2に記載の弾性表面波装置の製造方法。

1 4 . 櫛型電極と、反射器電極と、入力端子電極および入力端子引き出し電極と、出力端子電極おょぴ出力端子引き出し電極と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は、 1種類または複数種類の金属を重ねたものである請求項 1 1に記載の弾性表面波装置の製造方法。

1 5 . 圧電性を有する基板上に櫛型電極と、前記櫛型電極より発生する表面波の伝搬方向に近接して反射器電極を配置してなる弾性表面波装置において、前記櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極と、前記櫛型電極に接続した帯状の入力端子引き出し電極および入力端子電極と出力端子引き出し電極および出力端子電極を設けて電気的に接続すると共にベース部材に配設し、封止した電子部品。

1 6 . 圧電性を有する基板上に金属薄膜を被着し、この金属薄膜をエッチングして所定の電極パターンを複数組形成した後切断し、個片の弾性表面波装置を得る製造方法において、前記圧電性を有する基板上にダイシングラインと、その内側に櫛型電極と、反射器電極と、前記櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極と、入、出力端子引き出し電極と入、出力端子電極を設ける工程と、ダイシングライン上を切断する工程を含む弾性表面波装置の製造方法。

1 7 . 圧電性を有する基板上に金属薄膜を被着し、この金属薄膜をエッチングして所定のダイシングラインと櫛型電極と、反射器電極と、入、出力端子引き出し電極と、入、出力端子電極と、前記櫛型電極および反射器電極の周囲に互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極を形成した後、ダイシングライン上を切断する弾性表面波装置の製造方法において、少なくとも入、出力端子引き出し電極と入、出力端子電極と互、に電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極のうち一つの電極は、少なくとも最上層の電極を蒸着で形成する弹性表面波装置の製造方法。

1 8 . 最上層の電極を軟らかい材質で形成する請求項 1 7に記載の弾性表面波装置の製造方法。

1 9 . 軟らかい材質としてアルミニウムまたはアルミニウム合金を用いる請求項 1 8に記載の弾†生表面波装置の製造方法。

2 0 . 櫛型電極と、反射器電極と、入力端子引き出し電極と、出力端子引き出し電極と、互いに電気的に独立し場所により幅が異なる複数の補助電極は、 1種類または複数種類の金属を重ねたもので形成する請求項 1 7に記載の弾性表面波装置の製造方法。