WO2018163983A1 - 表示基板及び表示装置 - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a display substrate and a display device.
- Patent Document 1 Conventionally, as an example of a touch screen panel integrated display device in which a touch screen panel is an in-cell type and is built in a display panel, one described in Patent Document 1 below is known.
- a plurality of data lines are formed along a first direction
- a plurality of gate lines are formed along a second direction, and are grouped into a plurality of electrode groups.
- the touch drive signal or a signal corresponding to the touch drive signal is applied to the entire gate line or the gate lines. It applied to the part.
- a signal line to which a touch drive signal for touch detection is supplied is arranged on an upper layer side of a data line to which a data voltage for image display is supplied.
- a metal film disposed on the upper layer side of the first protective layer is disposed on the upper layer side of the first protective layer.
- a liquid crystal display device having a liquid crystal layer such as this touch screen panel integrated display device, generally has an alignment film for aligning liquid crystal molecules. Since this alignment film has high fluidity at the time of film formation, a groove for regulating the film formation range may be provided in an insulating film such as the first protective layer. When such a groove is provided in the first protective layer described in Patent Document 1 described above, the flatness of the signal line made of the metal film disposed on the upper layer side is impaired and disconnection occurs. There is a fear.
- the present invention has been completed based on the above circumstances, and an object thereof is to regulate the film forming range of the alignment film while maintaining the flatness of the wiring.
- the display substrate of the present invention includes a substrate divided into a display region capable of displaying an image and a non-display region arranged on the outer peripheral side so as to surround the display region, and the display region and the non-display region of the substrate A first insulating film disposed in a straddling manner, a metal film disposed in a manner straddling the display region and the non-display region on the upper layer side of the first insulating film, and an upper layer side of the metal film And a second insulating film that is disposed across the display area and the non-display area and has a thickness smaller than that of the first insulating film, and at least the display on the upper layer side of the second insulating film.
- An alignment film disposed in a region, the metal film, and a wiring extending across the display region and the non-display region; and a wiring disposed in the non-display region and extending across the wiring And the film-forming range of the alignment film provided so as to partially dent the second insulating film. And a film formation range restricting concave portion for regulating.
- the material of the alignment film having fluidity is supplied to the display region of the substrate, and the material flows so as to spread on the upper layer side of the second insulating film provided on the substrate. By doing so, an alignment film is formed at least in the display region.
- the film formation range is regulated by the film-formation area regulating concave portion arranged in the non-display area, and thus the alignment film material is in the non-display area. It is possible to avoid spreading outside the film formation range regulating concave portion. Since the film formation range restriction concave portion extends across the wiring, the film formation range of the alignment film is preferably restricted regardless of the presence or absence of the wiring in the extending direction of the film formation range restriction concave portion. Can do.
- the wiring extending across the display area and the non-display area of the substrate is made of a metal film disposed on the upper layer side of the first insulating film having a film thickness larger than that of the second insulating film. Flatness is guaranteed.
- the film-forming range regulating concave portion is provided in a form in which the second insulating film disposed on the upper layer side of the metal film is partially recessed, even if the wiring area extends across the wiring, Affecting the flatness of the plate is avoided. Since the flatness of the wiring is ensured as described above, the wiring is less likely to be uneven as compared to the case where the film-forming range regulation concave portion is provided in the first insulating film so as to cross the wiring.
- the second insulating film provided with the film formation range restriction concave portion has a smaller film thickness than the first insulating film, the processing accuracy is high, and the position of the film formation range restriction concave portion thus finished, The shape and range are likely to be appropriate.
- the film-forming range regulating concave portion is not provided in the first insulating film having a relatively large film thickness, it is suitable for securing moisture resistance.
- the second insulating film includes a lower-layer-side second insulating film that is relatively disposed on the lower layer side, and an upper-layer-side second insulating film that is relatively disposed on the upper-layer side.
- the range restricting concave portion is provided in such a manner that at least the upper-layer side second insulating film is partially recessed.
- the film-forming range-regulating concave is temporarily set to the lower layer.
- the film-forming range by the film-forming range regulating concave portion Since the regulation function acts more directly on the alignment film, the deposition range of the alignment film can be more suitably regulated.
- the film formation range restriction concave portion is formed by partially forming the lower layer side film formation range restriction concave portion provided so as to partially dent the lower layer side second insulation film and the upper layer side second insulation film. And an upper-layer-side film forming range regulating concave portion provided in a concave shape.
- the depth of the lower layer-side film formation range restriction concave portion provided in the lower layer-side second insulating film is compared with the case where the film-formation region restriction concave portion includes only the upper layer-side film formation range restriction concave portion. Accordingly, the depth of the film formation range restriction concave portion is increased, so that the function of regulating the film formation range of the alignment film is higher.
- the lower-layer-side film formation range restriction concave portion is provided so as to penetrate the lower-layer-side second insulating film, and does not overlap with the wiring in the first insulating film and is on the lower-layer side
- a portion that overlaps the film formation range restriction concave portion is provided with a second film formation range restriction concave portion that extends in parallel with the film formation range restriction concave portion and restricts the film formation range of the alignment film. It has been.
- the lower-layer-side film-forming range regulating concave portion that penetrates the lower-layer-side second insulating film is provided, for example, by etching a formation scheduled portion in the lower-layer-side second insulating film.
- a portion of the first insulating film that does not overlap with the wiring and overlaps with the lower-layer-side film formation range restriction concave portion is overetched when the lower-layer-side second insulating film is etched, thereby forming the film-forming range restriction concave shape.
- a second film formation range restriction concave portion extending in parallel with the portion is provided. The function of regulating the film formation range of the alignment film by adding the depth of the second film formation range restriction concave part to the depth of the lower layer side film formation range restriction concave part and the upper layer side film formation range restriction concave part Is higher.
- the lower layer side film formation range restriction concave part and the upper layer side film formation range restriction concave part are provided so as to penetrate the lower layer side second insulation film and the upper layer side second insulation film, respectively.
- a wiring protection unit In this way, the lower layer-side film formation range restriction concave portion and the upper layer-side film formation range restriction concave portion are provided so as to penetrate the lower layer side second insulating film and the upper layer side second insulating film, respectively.
- the depth of the film formation range restriction concave portion can be made larger, and thus the alignment film The function of regulating the film forming range becomes higher.
- the first wiring protection part made of the first transparent electrode film and the second wiring protection part made of the second transparent electrode film are arranged so as to overlap the wiring, and the lower layer side film formation range regulation concave shape Since the wiring is connected to the wiring through the concave portion and the upper layer side film formation range regulating concave portion, the wiring can be protected and the resistance of the wiring can be reduced.
- the film formation range restriction concave portion is selectively provided so as to partially dent the upper-layer side second insulating film. In this way, it is possible to avoid the formation range regulation concave portion in the first insulating film and the lower-layer-side second insulating film, so that the moisture-proof performance is excellent. In addition, since the wiring is covered with the lower-layer-side second insulating film that is not provided with the film formation range regulation concave portion, it is also suitable for protecting the wiring.
- a first transparent electrode film disposed between the lower layer side second insulating film and the upper layer side second insulating film, and an upper layer side of the upper layer side second insulating film.
- a second overlapping portion that is arranged so as to overlap the film formation range regulating concave portion.
- the 1st superposition part which consists of the 1st transparent electrode film, the 2nd superposition part which consists of the 2nd transparent electrode film in the film-forming range regulation concave part provided in the upper layer side 2nd insulating film, are arranged so as to overlap each other, so that a step is formed on the surface of the display substrate on which the alignment film is formed by the thickness of the first overlapping portion and the second overlapping portion.
- the alignment film material that spreads from the display area to the non-display area needs to overcome the above-described step at the stage before reaching the film formation range regulation concave portion.
- the function of regulating the film formation range of the film becomes higher.
- the position detection wiring which is a wiring, is less likely to cause disconnection due to the film formation range regulating concave portion, and therefore has high certainty of exhibiting the position detection function.
- a display device of the present invention includes the above-described display substrate, and a counter substrate arranged in an opposing manner so as to have an internal space between the display substrate. . According to the display device having such a configuration, since the wiring is difficult to be disconnected due to the film formation range regulation concave portion, it is difficult to cause malfunction.
- the film forming range includes a seal portion that is interposed between the display substrate and the counter substrate, is disposed in the non-display area so as to surround the internal space, and seals the internal space.
- the restriction concave portion overlaps with the seal portion and is disposed at a position closer to the inner space than the outer peripheral end portion of the seal portion.
- the metal film disposed on the upper layer side of the first insulating film constitutes the wiring, but the film-forming range regulating concave portion is provided on the second insulating film disposed on the upper layer side than the metal film.
- the deposition range of the alignment film can be regulated while maintaining the flatness of the wiring.
- Sectional drawing which shows schematically the liquid crystal panel which concerns on Embodiment 1 of this invention
- the top view which shows the plane arrangement
- the top view which shows the pixel arrangement of the array substrate which comprises a liquid crystal panel AA line sectional view of FIG. Sectional drawing which shows the connection location of touch wiring and touch lead-out wiring on the array substrate
- the top view which shows the film-forming range control recessed part and touch wiring which are arranged between a display area and a driver among array substrates BB sectional view of FIG. CC sectional view of FIG. DD sectional view of FIG.
- the top view which shows the film-forming range control recessed part and touch wiring which are distribute
- FIGS. 1 A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
- a liquid crystal panel (display device, display device with a position input function) 10 having a touch panel function (position input function) in addition to the display function is illustrated.
- a part of each drawing shows an X axis, a Y axis, and a Z axis, and each axis direction is drawn to be a direction shown in each drawing.
- FIGS. 1, 4 and 7 to 9 are used as a reference, and the upper side of the figure is the front side and the lower side of the figure is the back side.
- the liquid crystal panel 10 displays an image using illumination light emitted from a backlight device (illumination device) (not shown). As shown in FIG. 1, the liquid crystal panel 10 is provided between a pair of glass substrates 10a and 10b that are substantially transparent and have excellent translucency, and plate surfaces that face each other in the substrates 10a and 10b.
- the front side (front side) is the CF substrate (counter substrate) 10a
- the back side (back side) is the array substrate (display substrate, active matrix substrate) 10b.
- Each of the CF substrate 10a and the array substrate 10b is formed by laminating various films on the inner surface side of the glass substrate (substrate) 10GS.
- the seal portion 10d is made of, for example, a photocurable resin material such as an ultraviolet curable resin material, and has a substantially frame shape extending along the outer peripheral end of the CF substrate 10a (see FIG. 2).
- a polarizing plate (not shown) is attached to each of the outer surfaces of the substrates 10a and 10b. Further, in FIG. 2, the formation range of the seal portion 10d is illustrated by a two-dot chain line.
- the central portion of the screen surrounded by the seal portion 10d is used as a display area (range surrounded by a one-dot chain line in FIG. 2) AA.
- a frame-shaped outer peripheral side portion surrounding the display area AA on the screen is a non-display area NAA in which no image is displayed.
- the array substrate 10b constituting the liquid crystal panel 10 is larger than the CF substrate 10a, and a part of the array substrate 10b protrudes laterally with respect to the CF substrate 10a.
- a driver (driving circuit unit) 11 and a flexible substrate (signal transmission unit) 12 are mounted as components for supplying various signals related to the display function and the touch panel function.
- the driver 11 is composed of an LSI chip having a drive circuit inside, and is COG (Chip On Glass) with respect to the protruding portion (position closer to the display area AA than the flexible substrate 12) which is the non-display area NAA of the array substrate 10b. It is mounted for processing various signals transmitted by the flexible substrate 12.
- the flexible substrate 12 has a structure in which a large number of wiring patterns (not shown) are formed on a base material made of a synthetic resin material (for example, polyimide resin) having insulating properties and flexibility, and one end side of the flexible substrate 12 is an array.
- the other end side of the board 10b is connected to the protruding part (end position where the driver 11 is sandwiched between the display area AA) and a control board (signal supply source) not shown.
- Various signals supplied from the control board are transmitted to the liquid crystal panel 10 via the flexible board 12 and output to the display area AA through the processing by the driver 11 in the non-display area NAA.
- TFTs thin film transistors, switching elements
- pixel electrodes 10g On the inner surface side (the liquid crystal layer 10c side, the surface facing the CF substrate 10a) of the display area AA of the array substrate 10b, as shown in FIG. 3, there are a large number of TFTs (thin film transistors, switching elements) 10f and pixel electrodes 10g.
- the TFTs 10f and the pixel electrodes 10g are provided in a matrix (matrix) side by side along the X-axis direction and the Y-axis direction.
- (Signal wiring, data wiring) 10j is disposed so as to surround it.
- the gate wiring 10i extends substantially straight along the X-axis direction, while the source wiring 10j extends substantially along the Y-axis direction, and a part of the gate wiring 10i extends along the X-axis direction and the Y-axis. It has an obliquely extending portion 10j1 extending along an oblique direction with respect to the axial direction.
- the gate wiring 10i and the source wiring 10j are connected to the gate electrode 10f1 and the source electrode 10f2 of the TFT 10f, respectively, and the pixel electrode 10g is connected to the drain electrode 10f3 of the TFT 10f.
- the TFT 10f is driven based on various signals respectively supplied to the gate wiring 10i and the source wiring 10j, and the supply of the potential to the pixel electrode 10g is controlled in accordance with the driving.
- the pixel electrode 10g has a substantially parallelogram shape with a vertically long plane shape, and the source wiring 10j extends in the long side direction (Y-axis direction) between the pixel electrode 10g in the short side direction (X-axis direction). ),
- the gate wiring 10i is interposed between the adjacent pixel electrodes 10g.
- the long side of the pixel electrode 10g is parallel to the obliquely extending portion 10j1 of the source wiring 10j.
- the common electrode 10h overlaps with all the pixel electrodes 10g, and the upper side of the pixel electrode 10g (closer to the liquid crystal layer 10c). Side).
- the common electrode 10h is supplied with a substantially constant reference potential at all times, extends over substantially the entire display area AA, and has a vertically elongated pixel overlapping opening in a portion overlapping each pixel electrode 10g.
- a plurality (two in FIG. 2) of openings 10h1 (pixel overlapping slits and alignment control slits) are formed.
- the pixel overlapping opening 10h1 extends along the obliquely extending portion 10j1 (the long side of the pixel electrode 10g) of the source wiring 10j.
- a potential difference is generated as the pixel electrode 10g is charged between the overlapping pixel electrode 10g and the common electrode 10h, an array substrate is formed between the opening edge of the pixel overlapping opening 10h1 and the pixel electrode 10g.
- a fringe electric field an oblique electric field
- the liquid crystal molecules contained in the liquid crystal layer 10c are utilized using the fringe electric field.
- the orientation state of can be controlled. That is, the operation mode of the liquid crystal panel 10 according to the present embodiment is set to the FFS (Fringe Field Switching) mode.
- three color filters 10k exhibiting red (R), green (G), and blue (B) are provided.
- As the color filter 10k a plurality of color filters having different colors are repeatedly arranged along the gate wiring 10i (X-axis direction), and they extend along the source wiring 10j (generally in the Y-axis direction). They are arranged in stripes. These color filters 10k are arranged so as to overlap each pixel electrode 10g on the array substrate 10b side in a plan view.
- the color filters 10k adjacent to each other in the X-axis direction and exhibiting different colors are arranged so that the boundary (color boundary) overlaps with the source wiring 10j and the light shielding part 10l described below.
- the R, G, B color filters 10k arranged along the X-axis direction, and the three pixel electrodes 10g facing the color filters 10k respectively constitute a three-color pixel portion PX.
- display pixels capable of color display with a predetermined gradation are configured by the pixel portions PX of three colors R, G, and B adjacent along the X-axis direction.
- the arrangement pitch in the X-axis direction in the pixel unit PX is, for example, about several tens of ⁇ m.
- a light shielding portion (inter-pixel light shielding portion, black matrix) 10l for shielding light is formed.
- the light shielding portion 101 has a substantially lattice shape so as to partition between adjacent pixel portions PX (pixel electrodes 10g), and overlaps with most of the pixel electrodes 10g on the array substrate 10b side in a plan view.
- a large number of pixel openings 10l1 are arranged in a matrix along the X-axis direction and the Y-axis direction in the plate surface of the CF substrate 10a.
- the pixel opening 10l1 has a substantially parallelogram shape following the outer shape of the pixel electrode 10g, and its short side dimension is larger than the short side dimension of the pixel electrode 10g, whereas the long side dimension is the pixel. It is slightly smaller than the long side dimension of the electrode 10g.
- the pixel opening 10l1 can transmit light, so that display on the pixel portion PX is possible.
- the light-shielding part 101 functions to prevent light from passing between adjacent pixel parts PX and to ensure the independence of the gradation of each pixel part PX, and particularly extends along the source wiring 10j.
- the portion prevents color mixture between the pixel portions PX exhibiting different colors.
- the light shielding portion 101 is arranged so as to overlap the gate wiring 10i and the source wiring 10j on the array substrate 10b side in a plan view.
- alignment films 10m and 10n for aligning liquid crystal molecules contained in the liquid crystal layer 10c are formed on the innermost surfaces of both the substrates 10a and 10b that are in contact with the liquid crystal layer 10c.
- Both alignment films 10m and 10n are made of, for example, polyimide, and are formed in a solid shape at least over almost the entire display area AA of each of the substrates 10a and 10b.
- Both alignment films 10m and 10n are light alignment films capable of aligning liquid crystal molecules along the light irradiation direction when irradiated with light of a specific wavelength region (for example, ultraviolet rays).
- a planarizing film may be formed between the alignment film 10m and the color filter 10k.
- the liquid crystal panel 10 has both a display function for displaying an image and a touch panel function (position input function) for detecting a position (input position) input by a user based on the displayed image.
- the touch panel pattern for exhibiting the touch panel function is integrated (in-cell).
- This touch panel pattern is a so-called projected capacitance method, and its detection method is a self-capacitance method.
- the touch panel pattern is provided on the array substrate 10b side of the pair of substrates 10a and 10b, and a plurality of touch electrodes arranged in a matrix within the plate surface of the array substrate 10b. (Position detection electrode) 14 is configured.
- the touch electrode 14 is disposed in the display area AA of the array substrate 10b. Accordingly, the display area AA in the liquid crystal panel 10 substantially coincides with the touch area (position input area) where the input position can be detected, and the non-display area NAA cannot detect the input position (non-position input area). ). Then, when a finger (position input body) (not shown), which is a conductor, is brought close to the surface (display surface) of the liquid crystal panel 10 to input a position based on the image of the display area AA of the liquid crystal panel 10 visually recognized by the user, A capacitance is formed between the finger and the touch electrode 14. Thereby, the capacitance detected by the touch electrode 14 near the finger changes as the finger approaches and differs from the touch electrode 14 far from the finger. Thus, the input position can be detected.
- this touch electrode 14 is comprised by the common electrode 10h provided in the array board
- the common electrode 10h is composed of a plurality of touch electrodes 14 which are partitioned into a substantially lattice shape and divided into a grid pattern in plan view and are electrically independent from each other.
- a plurality of touch electrodes 14 that partition the common electrode 10h are arranged in a matrix along the X-axis direction and the Y-axis direction in the display area AA.
- the touch electrode 14 has a square shape when seen in a plan view, and the dimension of one side is about several mm (for example, about 2 to 5 mm).
- the size of the touch electrode 14 in plan view is much larger than that of the pixel unit PX (pixel electrode 10g), and there are a plurality of (for example, about several tens or several hundreds) in the X axis direction and the Y axis direction. It is arranged in a range straddling each pixel portion PX.
- a plurality of touch wirings (position detection wirings) 15 provided on the array substrate 10 b are selectively connected to the plurality of touch electrodes 14.
- the touch wiring 15 extends substantially along the Y-axis direction in parallel with the source wiring 10j on the array substrate 10b, and a specific touch electrode 14 among the plurality of touch electrodes 14 arranged along the Y-axis direction. Is selectively connected to.
- the touch wiring 15 is connected to a detection circuit (not shown).
- the detection circuit may be provided in the driver 11, but may be provided outside the liquid crystal panel 10 via the flexible substrate 12.
- the touch wiring 15 supplies the reference potential signal related to the display function and the touch signal (position detection signal) related to the touch function to the touch electrode 14 at different timings. Among these, the reference potential signal is transmitted to all the touch wirings 15 at the same timing, so that all the touch electrodes 14 function as the reference potential and function as the common electrode 10h.
- FIG. 2 schematically shows the arrangement of the touch electrodes 14, and the specific number and arrangement of the touch electrodes 14 can be changed as appropriate in addition to the illustration.
- the glass substrate 10GS constituting the array substrate 10b includes, in order from the lower layer side (glass substrate 10GS side), a first metal film (lower layer side metal film, gate metal film) 16, a gate insulating film 17, Semiconductor film 18, second metal film (lower metal film, source metal film) 19, planarizing film (first insulating film, organic insulating film) 20, third metal film (metal film) 21, lower interlayer insulating film (Second insulating film, lower layer side second insulating film) 22, first transparent electrode film 23, upper layer side interlayer insulating film (second insulating film, upper layer side second insulating film) 24, second transparent electrode film (transparent electrode) A film) 25 is laminated.
- the first metal film 16, the second metal film 19, and the third metal film 21 are each formed of a single layer film made of one type of metal material selected from copper, titanium, aluminum, or the like, or a different type of metal material. By being made of a laminated film or an alloy, it has electrical conductivity and light shielding properties, and is arranged so as to straddle the display area AA and the non-display area NAA.
- the first metal film 16 constitutes the gate wiring 10i, the gate electrode 10f1 of the TFT 10f, and the like.
- the second metal film 19 constitutes the source wiring 10j, the source electrode 10f2 and the drain electrode 10f3 of the TFT 10f, a touch lead wiring 28 described later, and the like.
- the third metal film 21 constitutes the touch wiring 15 and the like.
- the gate insulating film 17, the lower interlayer insulating film 22 and the upper interlayer insulating film 24 are each made of an inorganic material such as silicon nitride (SiN x ), silicon oxide (SiO 2 ), and the upper metal films 19, 21.
- the transparent electrode films 23 and 25, the lower metal films 16, 19, 21 and the first transparent electrode film 23 are kept in an insulating state.
- the insulating films 17, 22, and 24 made of an inorganic material are disposed so as to straddle the display area AA and the non-display area NAA.
- Each of the insulating films 17, 22, and 24 made of an inorganic material has a thickness smaller than that of the planarizing film 20 described below, and is preferably about 0.2 ⁇ m to 0.3 ⁇ m, for example. Not so. More specifically, the thickness of the lower interlayer insulating film 22 is smaller than the thickness of the upper interlayer insulating film 24, for example, about 0.2 ⁇ m, whereas the thickness of the upper interlayer insulating film 24 is Is preferably larger than the film thickness of the lower interlayer insulating film 22 and, for example, about 0.3 ⁇ m, but is not necessarily limited thereto.
- the planarizing film 20 is made of an organic material such as an acrylic resin (for example, PMMA) and functions to planarize a step generated on the lower layer side than itself.
- the planarizing film 20 has a larger film thickness than the insulating films 17, 22, and 24 made of the inorganic material described above, and is preferably about 1.5 ⁇ m to 3 ⁇ m, for example, but is not necessarily limited thereto.
- the semiconductor film 18 is made of a thin film using, for example, an oxide semiconductor as a material, and constitutes a channel portion (semiconductor portion) 10f4 connected to the source electrode 10f2 and the drain electrode 10f3 in the TFT 10f.
- the oxide semiconductor included in the semiconductor film 18 may be an amorphous oxide semiconductor, but a crystalline oxide semiconductor having a crystalline portion (polycrystalline oxide semiconductor, microcrystalline oxide semiconductor, c-axis on the layer surface) It may be a crystalline oxide semiconductor or the like oriented substantially vertically, and may be a single layer structure or a laminated structure.
- an oxide semiconductor constituting the semiconductor film 18 for example, an In—Ga—Zn—O-based semiconductor (eg, indium gallium zinc oxide) can be given.
- the first transparent electrode film 23 and the second transparent electrode film 25 are made of a transparent electrode material (for example, ITO (Indium Tin Oxide) or the like), and are disposed so as to straddle the display area AA and the non-display area NAA, respectively.
- the first transparent electrode film 23 constitutes the pixel electrode 10g and the like
- the second transparent electrode film 25 constitutes the common electrode 10h (touch electrode 14) and the like.
- the TFT 10f has a gate electrode 10 f 1 branched from a gate wiring 10 i made of the first metal film 16.
- the gate electrode 10f1 is formed by projecting a portion of the gate wiring 10i that intersects the source wiring 10j toward the pixel electrode 10g to be connected along the Y-axis direction, and has a substantially square shape when viewed in plan. Eggplant.
- the TFT 10f includes a source electrode 10f2 formed of a portion overlapping the gate electrode 10f1 in the source wiring 10j formed of the second metal film 19.
- the source electrode 10f2 is formed of a portion of the source wiring 10j that extends substantially straight along the Y-axis direction.
- the TFT 10f has a drain electrode 10f3 made of the second metal film 19 disposed at a position spaced from the source electrode 10f2.
- the drain electrode 10f3 is substantially L-shaped in plan view, and one end of the drain electrode 10f3 faces the source electrode 10f2 and is connected to the channel portion 10f4, while the other end is connected to the pixel electrode 10g.
- the pixel electrode 10g made of the first transparent electrode film 23 includes a substantially parallelogram-shaped pixel electrode body 10g1 that overlaps the pixel opening 10l1 of the light shielding part 10l, and the pixel electrode body 10g1.
- the contact portion 10g2 protrudes toward the TFT 10f along the Y-axis direction, and the contact portion 10g2 is connected to the drain electrode 10f3.
- the contact portion 10g2 made of the first transparent electrode film 23 and the drain electrode 10f3 made of the second metal film 19 are partially overlapped with each other, and the overlapping portions are interposed between the planarizing film 20 and They are connected to each other through a pixel contact hole 26 formed in the lower interlayer insulating film 22.
- the TFT 10f overlaps with the gate electrode 10f1 through the gate insulating film 17, and has a channel portion 10f4 made of the semiconductor film 18 connected to the source electrode 10f2 and the drain electrode 10f3.
- the channel portion 10f4 extends along the X-axis direction so as to cross the gate electrode 10f1, and has one end connected to the source electrode 10f2 and the other end connected to the drain electrode 10f3.
- the TFT 10f is an “oxide semiconductor TFT (IGZO-TFT)” in which the semiconductor film 18 constituting the channel portion 10f4 is made of an oxide semiconductor having higher electron mobility than an amorphous silicon thin film.
- the downsizing is advantageous for high definition and high aperture ratio, and the off-state characteristics are high and the leakage current is reduced, which is advantageous for low power consumption.
- the oxide semiconductor constituting the semiconductor film 18 has an electron mobility as high as about 20 to 50 times, for example, about 100 times less than that of an amorphous silicon thin film, and the leakage current is extremely small, for example, about 1/100. ing.
- the touch wiring 15 will be described in detail.
- the touch wiring 15 made of the third metal film 21 extends from the second transparent electrode film 25 to be connected as shown in FIGS.
- the touch electrode 14 is connected through a touch electrode contact hole 27 formed in the lower interlayer insulating film 22 and the upper interlayer insulating film 24.
- a portion adjacent to the TFT 10 f (drain electrode 10 f 3) in the X-axis direction is partially widened, and the widened portion 15 a can function as a connection pad for the touch electrode 14.
- the widened portion 15a is formed at each of the portions adjacent to each TFT 10f in the touch wiring 15 extending across the large number of TFTs 10f arranged along the Y-axis direction.
- the touch electrode contact holes 27 are selectively overlapped only with respect to a plurality of the contact holes. In this way, the widened portion 15a is formed for each TFT 10f (for each pixel electrode 10g), so that the parasitic capacitance that can be generated between the touch wiring 15 and each TFT 10f or each pixel electrode 10g is equalized. Can do.
- the touch wiring 15 extends substantially along the Y-axis direction so as to cross all the touch electrodes 14, the touch wiring 15 is selectively selected only for a specific touch electrode 14 by the planar arrangement of the touch electrode contact hole 27. It is connected. Further, the touch wiring 15 is arranged at a position overlapping the source wiring 10j in a plan view.
- the touch wiring 15 is drawn in a substantially fan shape as shown in FIG.
- the lead wire 28 is connected.
- the touch lead wire 28 is drawn in a substantially fan shape in parallel with the touch wire 15, and one end side thereof is connected to the touch wire 15 and the other end side is connected to the driver 11.
- the touch lead wire 28 is made of the second metal film 19, and one end side of the touch lead wire 28 and the lead tip of the touch wire 15 made of the third metal film 21 are overlapped with each other.
- the overlapping portions are connected to each other through a contact hole 29 formed in the planarization film 20 interposed therebetween.
- a terminal portion connected to the driver 11 is provided on the other end side of the touch lead wiring 28.
- the source wiring 10j is connected to the driver 11 via a source lead wiring (not shown), and the source lead wiring is made of the first metal film 16, for example.
- a film formation range restriction concave portion 30 is provided for restricting the film formation range of the alignment film 10n so that the side interlayer insulating film 24 is partially recessed.
- the film-forming range regulating concave portion 30 is provided in parallel with each of the four side portions in the display area AA in which the planar shape is a square, and as a whole follows the outer shape of the display area AA and the seal portion 10d. It has a frame shape (see FIG. 2).
- the film formation range regulating concave portions 30 interposed between the display area AA and the driver 11 are arranged in parallel with each other at intervals in the Y-axis direction. Yes.
- the three film formation range regulating concave portions 30 arranged in the Y-axis direction are all arranged so as to overlap with the seal portion 10d in a plan view. Among these, the arrangement is the farthest from the display area AA, that is, the most.
- the film formation range regulating concave portion 30 at the outer position is disposed in the vicinity of the substantially central position in the width direction of the seal portion 10d.
- the film-forming range regulating concave portion 30 is provided in a shape that penetrates (opens) the lower-layer-side interlayer insulating film 22 and the upper-layer-side interlayer insulating film 24 in the film thickness direction, and has a hole shape.
- the material of the alignment film 10n having fluidity is supplied to the display area AA of the glass substrate 10GS, and the material is used for the array substrate 10b.
- the alignment film 10n is formed at least in almost the entire display area AA. .
- the material of the alignment film 10n is applied to the array substrate 10b by using, for example, an ink jet apparatus, and droplets that are the material of the alignment film 10n are intermittently applied from a nozzle provided in the ink jet apparatus.
- the ink is discharged onto the second transparent electrode film 25 to land on the display area AA.
- the droplets of the material of the alignment film 10n that have landed on the display area AA flow in the form of spreading from the landing position on the surfaces of the upper interlayer insulating film 24 and the second transparent electrode film 25, and at least a part of the droplets flows in the display area AA.
- the non-display area NAA To the non-display area NAA. As shown in FIGS. 7 and 8, the material of the alignment film 10n flows into the film formation range regulating concave portion 30 provided there when it reaches the formation position of the seal portion 10d in the non-display area NAA.
- the film formation range is regulated.
- the material of the alignment film 10n has overcome the film forming range restricting concave portion 30 disposed closest to the display area AA.
- the two film formation range restriction concave portions 30 are still left, it is difficult to cause a situation where the film formation range restriction concave portions 30 disposed at least farthest from the display area AA (outermost position) are overcome.
- the This prevents the material of the alignment film 10n from spreading outside the respective film formation range restriction concave portions 30 in the non-display area NAA. Therefore, the film formation range restriction concave portion 30 at the outermost position in the seal portion 10d.
- the alignment film 10n can be preferably restricted regardless of the presence of the touch wiring 15 in the extending direction (X-axis direction) of the film formation range restriction concave portion 30.
- the alignment film 10n is illustrated by a two-dot chain line, and the film formation range of the alignment film 10n is restricted by the film formation range restriction concave portion 30 at the intermediate position. However, this is not necessarily the case.
- the touch wiring 15 extending across the display area AA and the non-display area NAA of the glass substrate 10GS has a lower-layer-side interlayer insulating film 22 and an upper-layer-side interlayer insulating film. Since it consists of the 3rd metal film 21 distribute
- the film formation range regulating concave portion 30 is provided in such a manner that the lower-layer-side interlayer insulating film 22 and the upper-layer-side interlayer insulating film 24 disposed on the upper layer side of the third metal film 21 are partially recessed in the Y-axis direction.
- the touch wiring 15 has irregularities as compared with the case where the flattening film 20 is provided with the film formation range regulation concave portion so as to cross the touch wiring 15. It becomes difficult to occur and disconnection or the like is unlikely to occur in the touch wiring 15, so that the certainty of exhibiting the position detection function is high.
- the processing accuracy is high, and the finish is thereby completed.
- the formation position (planar arrangement), shape (planar shape and cross-sectional shape) viewed in the plane of the film formation range regulating concave portion 30 and the formation range viewed in the plane are likely to be appropriate as designed.
- the film-forming range regulating concave portion 30 is not provided in the planarizing film 20 having a relatively large film thickness, it is suitable for ensuring moisture resistance (preventing moisture permeation). .
- the film formation range restriction concave portion 30 (lower layer side film formation range restriction concave portion 30a and upper layer side film formation range restriction concave portion 30b described later) is formed on the lower layer side interlayer insulation film 22 and the upper layer side interlayer insulation film 24, respectively. Since it is provided in a penetrating manner, the film formation range restriction concave portion 30 of the film formation range restriction concave portion 30 is compared to the case where the film formation range restriction concave portion is not penetrated through the lower interlayer insulating film 22 and the upper interlayer insulating film 24. The depth can be maximized, so that the function of regulating the film formation range of the alignment film 10n becomes higher.
- the film formation range regulation concave portion 30 partially forms the upper interlayer insulating film 24 arranged closer to the alignment film 10 n than the lower interlayer insulating film 22 in the Y-axis direction. Since it is provided in a concave shape, if the film formation range restriction concave portion is provided only in the lower layer side interlayer insulating film 22, the upper layer side interlayer insulation is formed between the film formation range restriction concave portion and the alignment film 10n. Compared to the presence of the film 24, the film formation range regulation function by the film formation range regulation concave portion 30 acts more directly on the alignment film 10n, and thus the film formation range of the alignment film 10n is more preferably regulated. can do.
- the film-forming range regulating concave portion 30 is provided in each of the lower-layer-side interlayer insulating film 22 and the upper-layer-side interlayer insulating film 24, and partially dents the lower-layer-side interlayer insulating film 22 in the Y-axis direction.
- a lower layer-side film formation range restriction concave portion 30a provided in a shape
- an upper layer-side film formation range restriction concave portion 30b provided so as to be partially recessed in the Y-axis direction.
- the lower layer side film formation range restriction concave part 30a and the upper layer side film formation range restriction concave part 30b communicate with each other.
- the depth of the lower layer side film formation range restriction concave portion 30a provided in the lower layer side interlayer insulating film 22 is reduced.
- the depth of the film formation range restriction concave portion 30 is increased, and the function of regulating the film formation range of the alignment film 10n becomes higher.
- the touch wiring 15 includes a first wiring made of the first transparent electrode film 23 through a lower-layer-side film formation range regulating concave portion 30 a provided so as to penetrate the lower-layer-side interlayer insulating film 22.
- a protection unit 31 is connected.
- the first wiring protection part 31 is provided in a form overlapping the part of the touch wiring 15 that vertically cuts the three film formation range restriction concave parts 30 over the entire width in a plan view.
- Each lower layer side film formation range restriction concave portion 30a is connected to the touch wiring 15.
- a second wiring protection part 32 made of the second transparent electrode film 25 through an upper layer side film formation range regulating concave part 30b provided so as to penetrate the upper layer side interlayer insulating film 24.
- the second wiring protection unit 32 is superimposed on the first wiring protection unit 31 (the portion of the touch wiring 15 that vertically cuts the three film formation range restriction concave portions 30) as viewed in a plane over the entire width thereof. It is provided and connected to the first wiring protection part 31 for each of the three upper layer side film formation range regulating concave parts 30b.
- the first wiring protection part 31 and the second wiring protection part 32 are connected to the touch wiring 15 through the lower layer side film formation range restriction concave part 30a and the upper layer side film formation range restriction concave part 30b.
- the touch wiring 15 can be protected and the resistance of the touch wiring 15 can be reduced.
- the flattening film 20 is not overlapped with the touch wiring 15 and overlaps with the lower layer side film formation range restriction concave part 30 a, as shown in FIGS. 7 and 9.
- a second film formation range restriction concave portion 33 that extends in parallel and restricts the film formation range of the alignment film 10n is provided.
- the second film formation range restriction concave portions 33 are arranged in parallel with each other at intervals in the Y-axis direction, and each of the second film formation range restriction concave portions 30 of the three film formation range restriction concave portions 30 is viewed in plan view. It is arranged so as to overlap most (a portion excluding a portion overlapping with the touch wiring 15).
- the lower-layer-side film-forming range regulating concave portion 30a penetrating the lower-layer-side interlayer insulating film 22 is provided by, for example, etching a planned formation location in the lower-layer-side interlayer insulating film 22 during manufacture. Specifically, after the lower layer side interlayer insulating film 22 is formed in a solid shape, a photoresist is applied to the surface of the lower layer side interlayer insulating film 22, and the photoresist is exposed and developed, whereby the lower layer side interlayer insulating film 22 is formed. Among them, the formation planned location of the lower layer side film formation range regulation concave portion 30a is exposed.
- a portion of the planarizing film 20 that does not overlap with the touch wiring 15 and overlaps with the lower layer-side film formation range restriction concave portion 30a is parallel to the film formation range restriction concave portion 30.
- a second film formation range regulating concave portion 33 extending in a shape can be provided. According to such a configuration, in the region that does not overlap with the touch wiring 15, the second film formation range is formed at each depth of the lower layer side film formation range restriction concave part 30 a and the upper layer side film formation range restriction concave part 30 b. By adding the depth of the regulation concave portion 33, the function of regulating the film formation range of the alignment film 10n becomes higher.
- the touch wiring 15 made of the third metal film 21 is connected to the touch lead wiring 28 made of the second metal film 19 disposed on the lower layer side as shown in FIGS.
- the planarizing film 20 is connected through a contact hole 29 formed in an opening at a position on the outer side of the seal portion 10d (the side opposite to the internal space 10IS side).
- the second metal film 19 is used for another wiring (for example, the source wiring 10j) on the internal space 10IS side. Therefore, it is suitable for achieving high definition and a narrow frame.
- the third metal film 21 disposed on the upper layer side of the planarization film 20 constitutes the touch wiring 15, but on the upper layer side than the third metal film 21.
- the flatness of the touch wiring 15 is impaired due to the deposition range regulation concave portion 30 by providing the deposition range regulation concave portion 30 in the lower interlayer insulation film 22 and the upper interlayer insulation film 24 arranged.
- the range in which the alignment film 10n is formed can be suitably regulated while avoiding the above.
- the array substrate (display substrate) 10b of the present embodiment is divided into the display area AA capable of displaying an image and the non-display area NAA arranged on the outer peripheral side so as to surround the display area AA.
- a third metal film (metal film) 21 arranged in a manner straddling AA and the non-display area NAA, and in a form straddling the display area AA and the non-display area NAA on the upper layer side of the third metal film 21.
- the touch wiring (wiring) 15 is formed of the alignment film 10n disposed in the area AA and the third metal film 21, and extends across the display area AA and the non-display area NAA, and is disposed in the non-display area NAA.
- the material of the alignment film 10n having fluidity is supplied to the display area AA of the glass substrate 10GS, and the material is a second insulating film provided on the glass substrate 10GS.
- the alignment film 10n is formed at least in the display area AA.
- the film formation range is regulated by the film-formation area regulation concave portion 30 arranged in the non-display area NAA.
- the material can be prevented from spreading outside the film formation range regulating concave portion 30 in the non-display area NAA. Since the film formation range restriction concave portion 30 extends across the touch wiring 15, the alignment film 10 n is formed regardless of the presence of the touch wiring 15 in the extending direction of the film formation range restriction concave portion 30.
- the range can be suitably regulated.
- the touch wiring 15 extending across the display area AA and the non-display area NAA of the glass substrate 10GS has a lower interlayer insulating film 22 and an upper interlayer insulating film 24 having a second insulating film thickness. Since the third metal film 21 is disposed on the upper layer side of the larger planarizing film 20, the flatness of the touch wiring 15 is ensured. On the other hand, the film-forming range regulating concave portion 30 is formed so as to partially dent the lower-layer-side interlayer insulating film 22 and the upper-layer-side interlayer insulating film 24 that are the second insulating films disposed on the upper layer side of the third metal film 21.
- the touch wiring 15 is uneven as compared with the case where the film formation range regulation concave portion 30 is provided in the flattening film 20 so as to cross the touch wiring 15. Is less likely to occur, and the touch wiring 15 is less likely to be disconnected.
- the lower interlayer insulating film 22 and the upper interlayer insulating film 24, which are the second insulating films provided with the film formation range regulating concave portions 30, are smaller in film thickness than the planarizing film 20, the processing accuracy is increased.
- the position, shape, range, and the like of the finished film formation range regulating concave portion 30 are likely to be appropriate.
- the film-forming range regulating concave portion 30 is not provided on the planarizing film 20 having a relatively large film thickness, it is suitable for securing moisture resistance.
- the second insulating film includes a lower-layer-side interlayer insulating film (lower-layer-side second insulating film) 22 disposed relatively on the lower layer side, and an upper-layer-side interlayer insulating film (upper-layer side) disposed relatively on the upper layer side.
- the film-forming range restricting concave portion 30 is provided in such a manner that at least the upper-layer interlayer insulating film 24 is partially recessed. In this case, since the film formation range restriction concave portion is provided in the upper layer side interlayer insulation film 24 which is disposed closer to the alignment film 10n than the lower layer side interlayer insulation film 22, the film formation range restriction concave portion is temporarily provided.
- the film-forming range-regulating concave portion 30 Since the film formation range regulation function acts more directly on the alignment film 10n, the film formation range of the alignment film 10n can be more suitably regulated.
- the lower layer-side film formation range restriction concave portion 30a is provided so as to penetrate the lower layer-side interlayer insulating film 22, and does not overlap with the touch wiring 15 in the planarizing film 20, and the lower layer-side film formation range.
- a second film formation range restriction concave portion 33 that extends in parallel with the film formation range restriction concave portion 30 and restricts the film formation range of the alignment film 10n is provided in a portion overlapping with the restriction concave portion 30a. ing.
- the lower-layer-side film-forming range regulating concave portion 30a that penetrates the lower-layer-side interlayer insulating film 22 is provided, for example, by etching a portion to be formed in the lower-layer-side interlayer insulating film 22.
- a portion of the planarizing film 20 that does not overlap with the touch wiring 15 and overlaps with the lower-layer-side film formation range restriction concave portion 30a is overetched when the lower-layer-side interlayer insulating film 22 is etched, thereby forming a film.
- a second film formation range restriction concave portion 33 extending in parallel with the range restriction concave portion 30 is provided.
- the film formation range of the alignment film 10n is obtained by adding the depth of the second film formation range restriction concave portion 33 to each depth of the lower layer side film formation range restriction concave portion 30a and the upper layer side film formation range restriction concave portion 30b. The function which regulates is higher.
- the lower layer side film formation range restriction concave part 30a and the upper layer side film formation range restriction concave part 30b are provided so as to penetrate the lower layer side interlayer insulation film 22 and the upper layer side interlayer insulation film 24, respectively.
- a first transparent electrode film 23 disposed between the insulating film 22 and the upper interlayer insulating film 24; a second transparent electrode film 25 disposed on the upper layer side of the upper interlayer insulating film 24;
- a first wiring protection unit 31 comprising a first transparent electrode film 23, at least part of which is arranged in a manner overlapping with the touch wiring 15 and connected to the touch wiring 15 through the lower layer-side film formation range regulating concave portion 30a;
- a second electrode which is made of the transparent electrode film 25 and is at least partially overlapped with the touch wiring 15 and the first wiring protection part 31 and connected to the first wiring protection part 31 through the upper film-forming range regulating concave part 30b.
- the lower layer side film formation range restriction concave part 30a and the upper layer side film formation range restriction concave part 30b are provided so as to penetrate the lower layer side interlayer insulation film 22 and the upper layer side interlayer insulation film 24, respectively.
- the depth of the film formation range restriction concave part 30 can be made larger. The function of regulating the film formation range of the alignment film 10n becomes higher.
- the first wiring protection part 31 made of the first transparent electrode film 23 and the second wiring protection part 32 made of the second transparent electrode film 25 are arranged so as to overlap the touch wiring 15, and the lower layer. Since it is connected to the touch wiring 15 through the side film formation range restriction concave portion 30a and the upper layer side film formation range restriction concave portion 30b, the touch wiring 15 can be protected and the resistance of the touch wiring 15 can be reduced. Can do.
- the touch wiring 15 is a touch wiring (position detection wiring) 15 connected to the touch electrode 14. In this way, the touch electrode 14 forms a capacitance with the finger that is a position input body that performs position input, and the finger that is the position input body using the signal supplied by the touch wiring 15. The input position can be detected. Since the touch wiring 15 which is the touch wiring 15 is less likely to be disconnected due to the film formation range regulation concave portion 30, it is highly reliable that the position detection function is exhibited.
- the liquid crystal panel (display device) 10 of the present embodiment includes a CF substrate (counter substrate) 10a disposed in an opposing manner so as to have an internal space 10IS between the array substrate 10b described above and the array substrate 10b. And comprising. According to the liquid crystal panel 10 having such a configuration, the touch wiring 15 is less likely to be disconnected due to the film formation range regulation concave portion 30, and thus is less likely to malfunction.
- a seal portion 10d is provided between the array substrate 10b and the CF substrate 10a, is disposed in the non-display area NAA so as to surround the internal space 10IS, and seals the internal space 10IS.
- the concave portion 30 is arranged at a position that overlaps with the seal portion 10d and is closer to the internal space 10IS than the outer peripheral end portion of the seal portion 10d.
- the second metal film 19 for another wiring or the like on the internal space 10IS side as compared with the case where the contact hole is disposed on the internal space 10IS side with respect to the seal portion 10d.
- This is suitable for achieving finer and narrower frames.
- the third metal film 21 disposed on the upper layer side of the planarizing film 20 constitutes the touch wiring 15, the second insulating film disposed on the upper layer side than the third metal film 21.
- the film formation range regulation concave portion 130 is not provided in the lower interlayer insulating film 122 but is selectively provided only in the upper interlayer insulating film 124. It has been. According to such a configuration, it is possible to avoid the formation range limiting concave portion 130 from being provided in the planarizing film 120 and the lower-layer side interlayer insulating film 122, and therefore, the moisture-proof performance is excellent. Further, the touch wiring 115 made of the third metal film 121 is covered from the upper layer side by the lower interlayer insulating film 122 that is not opened without being provided with the film formation range regulation concave portion 130, so that the touch wiring 115 is protected. It is suitable for aiming at.
- the first overlap portion 34 and the second overlap are formed on the surface of the array substrate 110b on which the alignment film 110n is formed (the surface of the second transparent electrode film 125 and the upper interlayer insulating film 124).
- the level difference is generated at two places by the thickness of the portion 35.
- the film formation range restricting concave portion 130 is selectively provided in such a manner that the upper interlayer insulating film 124 is partially recessed. In this way, it is possible to avoid the formation range regulating concave portion 130 in the planarizing film 120 and the lower interlayer insulating film 122, and thus the moisture proof performance is excellent. Further, since the touch wiring 115 is covered with the lower interlayer insulating film 122 in which the film formation range regulation concave portion 130 is not provided, it is suitable for protecting the touch wiring 115.
- the first transparent electrode film 123 disposed between the lower interlayer insulating film 122 and the upper interlayer insulating film 124, and the second transparent film disposed on the upper layer side of the upper interlayer insulating film 124.
- the first overlapping portion 34 which includes the electrode film 125 and the first transparent electrode film 123, and at least a portion of which overlaps with the film forming range regulating concave portion 130, and the second transparent electrode film 125. Includes a second overlapping portion 35 arranged so as to overlap with the film formation range restriction concave portion 130.
- the film formation range restriction concave portion interposed between the display region and the driver has been configured to extend linearly without interruption along the X-axis direction.
- the film-forming range regulating concave portion may be a divided structure in which the film-shaped concave portion extends linearly along the X-axis direction and is interrupted in the middle.
- the film formation range regulating concave portion does not necessarily extend linearly along the X-axis direction, and the planar shape may meander in a waveform or zigzag shape, for example.
- the touch lead-out wiring is made of the second metal film.
- the touch lead-out wiring is made of the first metal film.
- the pixel electrode is made of the first transparent electrode film and the common electrode is made of the second transparent electrode film.
- the pixel electrode is made to be the second transparent by reversing the stacking relationship. It is also possible to adopt a configuration comprising an electrode film and the common electrode comprising a first transparent electrode film.
- the second film formation range restriction concave portion is provided in the planarization film.
- (6) In the first embodiment described above, the case where the width dimension of the lower layer side film formation range restriction concave part and the upper layer side film formation range restriction concave part are the same is shown. It is also possible to make the width dimension of the upper layer side film formation range regulating concave part different.
- the first wiring protection part and the second wiring protection part are provided in the configuration in which the film formation range regulation concave part is provided in the lower layer side interlayer insulation film and the upper layer side interlayer insulation film. Although the case has been shown, either one or both of the first wiring protection unit and the second wiring protection unit can be omitted.
- the film formation range restriction concave is selectively provided only in the upper interlayer insulating film. However, the film formation range restriction concave is selected only in the lower interlayer insulation film. It is also possible to provide it.
- Embodiment 2 described above the case where the first overlapping portion made of the first transparent electrode film and the second overlapping portion made of the second transparent electrode film are provided is shown.
- the planarization film is a single layer film made of an organic material.
- the planarization film may be a laminated film of an organic material and an inorganic material.
- the alignment film may be applied using a printing apparatus.
- the material of the alignment film since the material of the alignment film has high fluidity at the time of application, it tends to be required to regulate the film formation range.
- the number of pixel overlapping openings of the common electrode is two is illustrated, but the number of pixel overlapping openings can be appropriately changed to one or three or more. . Further, the specific planar shape of the pixel overlapping opening can be changed as appropriate other than the illustration. Further, the pixel overlapping opening may be provided in the pixel electrode instead of the common electrode.
- the specific configuration of the pixel portion in the display region, the connection structure of the touch wiring with respect to the touch electrode, and the like can be changed as appropriate.
- the material of the semiconductor film constituting the channel portion of the TFT may be amorphous silicon or polysilicon.
- the TFT is preferably a bottom gate type.
- the case where the touch panel pattern is the self-capacitance method is shown, but the touch panel pattern may be a mutual capacitance method.
- the transmissive liquid crystal panel is exemplified.
- the present invention can be applied to a reflective liquid crystal panel or a transflective liquid crystal panel.
- the planar shape of the liquid crystal display device liquid crystal panel or backlight device
- the planar shape of the liquid crystal display device is a horizontally long rectangle, square, or circle.
- Semicircular, oval, elliptical, trapezoidal, etc. the liquid crystal panel is configured such that the liquid crystal layer is sandwiched between the pair of substrates.
- a display panel in which functional organic molecules other than the liquid crystal material are sandwiched between the pair of substrates.
- the present invention is also applicable to.
- 10 Liquid crystal panel (display device), 10a ... CF substrate (counter substrate), 10b, 110b ... Array substrate (display substrate), 10d ... Sealing part, 10n, 110n ... Alignment film, 10GS ... Glass substrate (substrate), 10IS ... internal space, 14 ... touch electrode (position detection electrode), 15, 115 ... touch wiring (wiring, position detection wiring), 16 ... first metal film (lower layer side metal film), 19 ... second metal film (lower layer side) Metal film), 20, 120 ... Planarization film (first insulating film), 21, 121 ... Third metal film (metal film), 22, 122 ... Lower interlayer insulating film (second insulating film, lower layer second) Insulating film), 23, 123 ...
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Abstract
アレイ基板10bは、表示領域AAと非表示領域NAAとに区分されるガラス基板10GSと、平坦化膜20と、平坦化膜20の上層側に配される第3金属膜21と、第3金属膜21の上層側に配されるとともに膜厚が平坦化膜20よりも小さい下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24と、下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24よりも上層側に配される配向膜10nと、第3金属膜21からなり、表示領域AAと非表示領域NAAとに跨る形で延在するタッチ配線15と、非表示領域NAAに配されてタッチ配線15を横切る形で延在し、下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24を部分的に凹ませる形で設けられて配向膜10nの成膜範囲を規制する成膜範囲規制凹状部30と、を備える。
Description
本発明は、表示基板及び表示装置に関する。
従来、タッチスクリーンパネルがインセル型でディスプレイパネルに内蔵されたタッチスクリーンパネル一体型表示装置の一例として下記特許文献1に記載されたものが知られている。特許文献1に記載されたタッチスクリーンパネル一体型表示装置は、複数のデータラインが第1方向に沿って形成され、複数のゲートラインが第2方向に沿って形成され、複数の電極群にグループ化される複数の電極が形成されたパネルと、駆動モードがタッチ駆動モードである場合に、複数の電極の全体又は一部にタッチ駆動信号を印加するタッチ集積回路と、駆動モードがディスプレイ駆動モードである場合に、複数のデータラインにデータ電圧を供給するデータ駆動部と、駆動モードがディスプレイ駆動モードである場合に、複数のゲートラインにスキャン信号を順次に供給するゲート駆動部と、を有し、駆動モードがタッチ駆動モードである場合に、タッチ駆動信号又はタッチ駆動信号に対応する信号を複数のゲートラインの全体又は一部に印加する。
(発明が解決しようとする課題)
上記した特許文献1に記載されたタッチスクリーンパネル一体型表示装置では、タッチ検出に係るタッチ駆動信号が供給される信号ラインは、画像表示に係るデータ電圧が供給されるデータラインの上層側に配される第1保護層のさらに上層側に配された金属膜からなる。その一方、このタッチスクリーンパネル一体型表示装置のように、液晶層を備える液晶表示装置は、一般的に液晶分子を配向させるための配向膜を有している。この配向膜は、成膜時には高い流動性を備えていることから、その成膜範囲を規制するための溝部を第1保護層などの絶縁膜に設ける場合がある。そのような溝部を上記した特許文献1に記載した第1保護層に設けるようにした場合には、その上層側に配された金属膜からなる信号ラインの平坦性が損なわれ、断線などが生じるおそれがある。
上記した特許文献1に記載されたタッチスクリーンパネル一体型表示装置では、タッチ検出に係るタッチ駆動信号が供給される信号ラインは、画像表示に係るデータ電圧が供給されるデータラインの上層側に配される第1保護層のさらに上層側に配された金属膜からなる。その一方、このタッチスクリーンパネル一体型表示装置のように、液晶層を備える液晶表示装置は、一般的に液晶分子を配向させるための配向膜を有している。この配向膜は、成膜時には高い流動性を備えていることから、その成膜範囲を規制するための溝部を第1保護層などの絶縁膜に設ける場合がある。そのような溝部を上記した特許文献1に記載した第1保護層に設けるようにした場合には、その上層側に配された金属膜からなる信号ラインの平坦性が損なわれ、断線などが生じるおそれがある。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、配線の平坦性を保ちつつ配向膜の成膜範囲を規制することを目的とする。
(課題を解決するための手段)
本発明の表示基板は、画像を表示可能な表示領域と前記表示領域を取り囲む形で外周側に配される非表示領域とに区分される基板と、前記基板の前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で配される第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜の上層側にて前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で配される金属膜と、前記金属膜の上層側にて前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で配されるとともに膜厚が前記第1絶縁膜よりも小さい第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜よりも上層側にて少なくとも前記表示領域に配される配向膜と、前記金属膜からなり、前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で延在する配線と、前記非表示領域に配されて前記配線を横切る形で延在し、前記第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で設けられて前記配向膜の成膜範囲を規制する成膜範囲規制凹状部と、を備える。
本発明の表示基板は、画像を表示可能な表示領域と前記表示領域を取り囲む形で外周側に配される非表示領域とに区分される基板と、前記基板の前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で配される第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜の上層側にて前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で配される金属膜と、前記金属膜の上層側にて前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で配されるとともに膜厚が前記第1絶縁膜よりも小さい第2絶縁膜と、前記第2絶縁膜よりも上層側にて少なくとも前記表示領域に配される配向膜と、前記金属膜からなり、前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で延在する配線と、前記非表示領域に配されて前記配線を横切る形で延在し、前記第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で設けられて前記配向膜の成膜範囲を規制する成膜範囲規制凹状部と、を備える。
配向膜の成膜に際しては、流動性を備える配向膜の材料を、基板の表示領域に供給するようにしており、その材料が基板に設けられた第2絶縁膜よりも上層側において広がるよう流動することで、少なくとも表示領域に配向膜が成膜されるようになっている。表示領域に供給された配向膜の材料が非表示領域に達すると、非表示領域に配された成膜範囲規制凹状部によってその成膜範囲が規制され、もって配向膜の材料が非表示領域において成膜範囲規制凹状部よりも外側にまで広がるのが避けられる。この成膜範囲規制凹状部は、配線を横切る形で延在しているので、成膜範囲規制凹状部の延在方向について配線の有無に拘わらず配向膜の成膜範囲を好適に規制することができる。
ここで、基板の表示領域と非表示領域とに跨る形で延在する配線は、膜厚が第2絶縁膜よりも大きな第1絶縁膜の上層側に配された金属膜からなるので、配線の平坦性が担保されている。一方、成膜範囲規制凹状部は、金属膜の上層側に配された第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で設けられているから、配線を横切る形で延在していても、配線の平坦性に影響を与えることが避けられている。以上のように配線の平坦性が担保されることで、仮に第1絶縁膜に配線を横切る形で成膜範囲規制凹状部を設けた場合に比べると、配線に凹凸が生じ難くなって配線に断線などが生じ難いものとなる。しかも、成膜範囲規制凹状部が設けられる第2絶縁膜は、第1絶縁膜よりも膜厚が小さいので、加工精度が高くなっており、それにより仕上がった成膜範囲規制凹状部の位置、形状、範囲などが適切なものとなり易い。また、成膜範囲規制凹状部は、膜厚が相対的に大きな第1絶縁膜に設けられることがないので、防湿性を確保する上で好適となっている。
本発明の表示基板の実施態様として、次の構成が好ましい。
(1)前記第2絶縁膜は、相対的に下層側に配される下層側第2絶縁膜と、相対的に上層側に配される上層側第2絶縁膜と、からなり、前記成膜範囲規制凹状部は、少なくとも上層側第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で設けられている。このようにすれば、下層側第2絶縁膜よりも配向膜に近い配置とされる上層側第2絶縁膜に成膜範囲規制凹状が設けられているから、仮に成膜範囲規制凹状部を下層側第2絶縁膜のみに設けるようにした場合に成膜範囲規制凹状部と配向膜との間に上層側第2絶縁膜が介在するのに比べると、成膜範囲規制凹状部による成膜範囲規制機能が配向膜に対してより直接的に作用するので、配向膜の成膜範囲をより好適に規制することができる。
(1)前記第2絶縁膜は、相対的に下層側に配される下層側第2絶縁膜と、相対的に上層側に配される上層側第2絶縁膜と、からなり、前記成膜範囲規制凹状部は、少なくとも上層側第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で設けられている。このようにすれば、下層側第2絶縁膜よりも配向膜に近い配置とされる上層側第2絶縁膜に成膜範囲規制凹状が設けられているから、仮に成膜範囲規制凹状部を下層側第2絶縁膜のみに設けるようにした場合に成膜範囲規制凹状部と配向膜との間に上層側第2絶縁膜が介在するのに比べると、成膜範囲規制凹状部による成膜範囲規制機能が配向膜に対してより直接的に作用するので、配向膜の成膜範囲をより好適に規制することができる。
(2)前記成膜範囲規制凹状部は、前記下層側第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で設けられる下層側成膜範囲規制凹状部と、前記上層側第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で設けられる上層側成膜範囲規制凹状部と、からなる。このようにすれば、仮に成膜範囲規制凹状部が上層側成膜範囲規制凹状部のみからなる場合に比べると、下層側第2絶縁膜に設けられた下層側成膜範囲規制凹状部の深さの分だけ、成膜範囲規制凹状部の深さが大きくなるので、配向膜の成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。
(3)前記下層側成膜範囲規制凹状部は、前記下層側第2絶縁膜を貫通する形で設けられており、前記第1絶縁膜のうち、前記配線とは非重畳となり且つ前記下層側成膜範囲規制凹状部と重畳する部分には、前記成膜範囲規制凹状部に並行する形で延在して前記配向膜の成膜範囲を規制する第2の成膜範囲規制凹状部が設けられている。下層側第2絶縁膜を貫通する下層側成膜範囲規制凹状部は、例えば下層側第2絶縁膜における形成予定箇所をエッチングすることで設けられる。第1絶縁膜のうち、配線とは非重畳となり且つ下層側成膜範囲規制凹状部と重畳する部分は、下層側第2絶縁膜をエッチングする際にオーバーエッチされ、それにより成膜範囲規制凹状部に並行する形で延在する第2の成膜範囲規制凹状部が設けられる。下層側成膜範囲規制凹状部及び上層側成膜範囲規制凹状部の各深さに第2の成膜範囲規制凹状部の深さが加えられることで、配向膜の成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。
(4)前記下層側成膜範囲規制凹状部及び前記上層側成膜範囲規制凹状部は、前記下層側第2絶縁膜及び前記上層側第2絶縁膜をそれぞれ貫通する形で設けられており、前記下層側第2絶縁膜と前記上層側第2絶縁膜との間に介在する形で配される第1透明電極膜と、前記上層側第2絶縁膜の上層側に配される第2透明電極膜と、前記第1透明電極膜からなり少なくとも一部が前記配線と重畳する形で配されて前記下層側成膜範囲規制凹状部を通して前記配線に接続される第1配線保護部と、前記第2透明電極膜からなり少なくとも一部が前記配線及び前記第1配線保護部と重畳する形で配されて前記上層側成膜範囲規制凹状部を通して前記第1配線保護部に接続される第2配線保護部と、を備える。このようにすれば、下層側成膜範囲規制凹状部及び上層側成膜範囲規制凹状部が下層側第2絶縁膜及び上層側第2絶縁膜をそれぞれ貫通する形で設けられることで、仮に下層側成膜範囲規制凹状部及び上層側成膜範囲規制凹状部が非貫通とされる場合に比べると、成膜範囲規制凹状部の深さをより大きなものとすることができ、もって配向膜の成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。このような構成においても、第1透明電極膜からなる第1配線保護部と第2透明電極膜からなる第2配線保護部とが配線と重畳する形で配され且つ下層側成膜範囲規制凹状部及び上層側成膜範囲規制凹状部を通して配線に接続されているので、配線の保護を図ることができるとともに配線の低抵抗化を図ることができる。
(5)前記成膜範囲規制凹状部は、前記上層側第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で選択的に設けられる。このようにすれば、第1絶縁膜と下層側第2絶縁膜とに成膜範囲規制凹状部が設けられることが避けられているから、防湿性能に優れる。また、配線は、成膜範囲規制凹状部が設けられない下層側第2絶縁膜によって覆われるので、配線の保護を図る上でも好適とされる。
(6)前記下層側第2絶縁膜と前記上層側第2絶縁膜との間に介在する形で配される第1透明電極膜と、前記上層側第2絶縁膜の上層側に配される第2透明電極膜と、前記第1透明電極膜からなり少なくとも一部が前記成膜範囲規制凹状部と重畳する形で配される第1重畳部と、前記第2透明電極膜からなり少なくとも一部が前記成膜範囲規制凹状部と重畳する形で配される第2重畳部と、を備える。このようにすれば、上層側第2絶縁膜に設けられた成膜範囲規制凹状部には、第1透明電極膜からなる第1重畳部と、第2透明電極膜からなる第2重畳部と、がそれぞれ重畳する形で配されているから、当該表示基板における配向膜が成膜される表面には、第1重畳部及び第2重畳部の膜厚分だけ段差が生じることになる。これにより、配向膜の成膜に際しては、表示領域から非表示領域へ向けて広がる配向膜の材料は、成膜範囲規制凹状部に至る手前の段階で上記した段差を乗り越える必要が生じるから、配向膜の成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。
(7)前記下層側第2絶縁膜と前記上層側第2絶縁膜との間に介在する形で配される第1透明電極膜と、前記上層側第2絶縁膜の上層側に配される第2透明電極膜と、前記第1透明電極膜または前記第2透明電極膜からなり、位置入力を行う位置入力体との間で静電容量を形成し、前記位置入力体による入力位置を検出する位置検出電極と、を備えており、前記配線は、前記位置検出電極に接続される位置検出配線とされる。このようにすれば、位置検出電極は、位置入力を行う位置入力体との間で静電容量を形成し、位置検出配線によって供給される信号を利用して位置入力体による入力位置を検出することができる。配線である位置検出配線は、成膜範囲規制凹状部に起因して断線などが生じ難くなっているので、位置検出機能を発揮する確実性が高いものとされる。
次に、上記課題を解決するために、本発明の表示装置は、上記記載の表示基板と、前記表示基板との間に内部空間を有する形で対向状に配される対向基板と、を備える。このような構成の表示装置によれば、配線が成膜範囲規制凹状部に起因して断線などし難くなっているから、機能不全に陥り難くなる。
本発明の表示装置の実施態様として、次の構成が好ましい。
(1)前記表示基板と前記対向基板との間に介在し、前記内部空間を取り囲む形で前記非表示領域に配されて前記内部空間を封止するシール部を備えており、前記成膜範囲規制凹状部は、前記シール部と重畳するとともに前記シール部の外周端部よりも前記内部空間寄りとなる位置に配されている。このような構成の成膜範囲規制凹状部によって配向膜の成膜範囲が規制されることで、配向膜が少なくともシール部の外周端部には達することが避けられる。これにより、基板に対するシール部の固着強度が十分に保たれ、両基板が剥離などし難くなる。
(1)前記表示基板と前記対向基板との間に介在し、前記内部空間を取り囲む形で前記非表示領域に配されて前記内部空間を封止するシール部を備えており、前記成膜範囲規制凹状部は、前記シール部と重畳するとともに前記シール部の外周端部よりも前記内部空間寄りとなる位置に配されている。このような構成の成膜範囲規制凹状部によって配向膜の成膜範囲が規制されることで、配向膜が少なくともシール部の外周端部には達することが避けられる。これにより、基板に対するシール部の固着強度が十分に保たれ、両基板が剥離などし難くなる。
(2)前記第1絶縁膜よりも下層側に配される下層側金属膜と、前記非表示領域において前記シール部に対して前記内部空間側とは反対側に配されて前記下層側金属膜からなり一部が前記配線と重畳する引き出し配線と、を備えており、前記第1絶縁膜のうち、前記配線と前記引き出し配線との重畳箇所には、コンタクトホールが開口形成されている。このようにすれば、配線は、下層側金属膜からなる引き出し配線に対して第1絶縁膜に開口形成されたコンタクトホールを通して接続されている。これにより、仮にコンタクトホールをシール部に対して内部空間側に配置した場合に比べると、内部空間側において下層側金属膜を別の配線などに用いることが可能となるので、高精細化や狭額縁化などを図る上で好適となる。これに伴い、第1絶縁膜の上層側に配される金属膜が配線を構成することになるものの、その金属膜よりも上層側に配される第2絶縁膜に成膜範囲規制凹状部を設けることで、成膜範囲規制凹状部に起因して配線の平坦性が損なわれるのを回避しつつ、配向膜の成膜範囲を好適に規制することができる。
(発明の効果)
本発明によれば、配線の平坦性を保ちつつ配向膜の成膜範囲を規制することができる。
本発明によれば、配線の平坦性を保ちつつ配向膜の成膜範囲を規制することができる。
<実施形態1>
本発明の実施形態1を図1から図9によって説明する。本実施形態では、表示機能に加えてタッチパネル機能(位置入力機能)を備えた液晶パネル(表示装置、位置入力機能付き表示装置)10について例示する。なお、各図面の一部にはX軸、Y軸及びZ軸を示しており、各軸方向が各図面で示した方向となるように描かれている。また、上下方向については、図1,図4,図7から図9を基準とし、且つ同図上側を表側とするとともに同図下側を裏側とする。
本発明の実施形態1を図1から図9によって説明する。本実施形態では、表示機能に加えてタッチパネル機能(位置入力機能)を備えた液晶パネル(表示装置、位置入力機能付き表示装置)10について例示する。なお、各図面の一部にはX軸、Y軸及びZ軸を示しており、各軸方向が各図面で示した方向となるように描かれている。また、上下方向については、図1,図4,図7から図9を基準とし、且つ同図上側を表側とするとともに同図下側を裏側とする。
液晶パネル10は、図示しないバックライト装置(照明装置)から照射される照明光を利用して画像を表示するものである。液晶パネル10は、図1に示すように、ほぼ透明で優れた透光性を有するガラス製の一対の基板10a,10bと、両基板10a,10bにおいて互いに対向する板面の間に有される内部空間10ISに配されて電界印加に伴って光学特性が変化する物質である液晶分子を含む液晶層10cと、内部空間10IS(液晶層10c)を取り囲む形で一対の基板10a,10b間に介在して内部空間10IS及び液晶層10cをシールするシール部10dと、を少なくとも備える。液晶パネル10を構成する一対の基板10a,10bのうち表側(正面側)がCF基板(対向基板)10aとされ、裏側(背面側)がアレイ基板(表示基板、アクティブマトリクス基板)10bとされる。CF基板10a及びアレイ基板10bは、いずれもガラス基板(基板)10GSの内面側に各種の膜が積層形成されてなるものとされる。シール部10dは、例えば紫外線硬化性樹脂材料などの光硬化性樹脂材料からなり、CF基板10aの外周端部に沿って延在する略枠状をなしている(図2を参照)。なお、両基板10a,10bの外面側には、それぞれ図示しない偏光板が貼り付けられている。また、図2には、シール部10dの形成範囲を二点鎖線により図示している。
液晶パネル10は、図2に示すように、シール部10dによって取り囲まれた画面の中央側部分が、画像が表示される表示領域(図2において一点鎖線により囲った範囲)AAとされるのに対し、画面における表示領域AAを取り囲む額縁状の外周側部分が、画像が表示されない非表示領域NAAとされる。液晶パネル10を構成するアレイ基板10bは、CF基板10aよりも大型となっていてその一部がCF基板10aに対して側方に突き出しており、その突き出し部分(非表示領域NAA)には、表示機能やタッチパネル機能に係る各種信号を供給するための部品としてドライバ(駆動回路部)11及びフレキシブル基板(信号伝送部)12が実装されている。ドライバ11は、内部に駆動回路を有するLSIチップからなり、アレイ基板10bの非表示領域NAAである上記突き出し部分(フレキシブル基板12よりも表示領域AA寄りの位置)に対してCOG(Chip On Glass)実装されており、フレキシブル基板12によって伝送される各種信号を処理するためのものである。フレキシブル基板12は、絶縁性及び可撓性を有する合成樹脂材料(例えばポリイミド系樹脂等)からなる基材上に多数本の配線パターン(図示せず)を形成した構成とされ、その一端側がアレイ基板10bの上記突き出し部分(表示領域AAとの間にドライバ11を挟んだ端位置)に、他端側が図示しないコントロール基板(信号供給源)に、それぞれ接続されている。コントロール基板から供給される各種信号は、フレキシブル基板12を介して液晶パネル10に伝送され、非表示領域NAAにおいてドライバ11による処理を経て表示領域AAへ向けて出力される。
アレイ基板10bの表示領域AAにおける内面側(液晶層10c側、CF基板10aとの対向面側)には、図3に示すように、TFT(薄膜トランジスタ、スイッチング素子)10f及び画素電極10gが多数個ずつX軸方向及びY軸方向に沿って並んでマトリクス状(行列状)に設けられるとともに、これらTFT10f及び画素電極10gの周りには、略格子状をなすゲート配線(走査配線)10i及びソース配線(信号配線、データ配線)10jが取り囲むようにして配設されている。ゲート配線10iは、X軸方向に沿ってほぼ真っ直ぐに延在しているのに対し、ソース配線10jは、概ねY軸方向に沿って延在しており、その一部にX軸方向及びY軸方向に対する斜め方向に沿って延在する斜め延在部10j1を有している。ゲート配線10iとソース配線10jとがそれぞれTFT10fのゲート電極10f1とソース電極10f2とに接続され、画素電極10gがTFT10fのドレイン電極10f3に接続されている。そして、TFT10fは、ゲート配線10i及びソース配線10jにそれぞれ供給される各種信号に基づいて駆動され、その駆動に伴って画素電極10gへの電位の供給が制御されるようになっている。画素電極10gは、平面形状が縦長の略平行四辺形とされており、その短辺方向(X軸方向)について隣り合う画素電極10gとの間にソース配線10jが、長辺方向(Y軸方向)について隣り合う画素電極10gとの間にゲート配線10iが、それぞれ介在している。画素電極10gは、その長辺がソース配線10jの斜め延在部10j1に並行している。
アレイ基板10bの表示領域AAにおける内面側には、図3及び図4に示すように、全ての画素電極10gと重畳する形で共通電極10hが画素電極10gよりも上層側(液晶層10cに近い側)に形成されている。共通電極10hは、常にほぼ一定の基準電位が供給されるものであり、表示領域AAのほぼ全域にわたって延在しており、各画素電極10gと重畳する部分には、縦長形状の画素重畳開口部(画素重畳スリット、配向制御スリット)10h1が複数(図2では2本)ずつ開口形成されている。画素重畳開口部10h1は、ソース配線10jの斜め延在部10j1(画素電極10gの長辺)に沿って延在している。互いに重畳する画素電極10gと共通電極10hとの間に画素電極10gが充電されるのに伴って電位差が生じると、画素重畳開口部10h1の開口縁と画素電極10gとの間には、アレイ基板10bの板面に沿う成分に加えて、アレイ基板10bの板面に対する法線方向の成分を含むフリンジ電界(斜め電界)が生じるので、そのフリンジ電界を利用して液晶層10cに含まれる液晶分子の配向状態を制御することができる。つまり、本実施形態に係る液晶パネル10は、動作モードがFFS(Fringe Field Switching)モードとされている。
CF基板10aの内面側における表示領域AAには、図4に示すように、赤色(R),緑色(G),青色(B)を呈する3色のカラーフィルタ10kが設けられている。カラーフィルタ10kは、互いに異なる色を呈するものがゲート配線10i(X軸方向)に沿って繰り返し多数並ぶとともに、それらがソース配線10j(概ねY軸方向)に沿って延在することで、全体としてストライプ状に配列されている。これらのカラーフィルタ10kは、アレイ基板10b側の各画素電極10gと平面に視て重畳する配置とされている。X軸方向について隣り合って互いに異なる色を呈するカラーフィルタ10kは、その境界(色境界)がソース配線10j及び次述する遮光部10lと重畳する配置とされる。この液晶パネル10においては、X軸方向に沿って並ぶR,G,Bのカラーフィルタ10kと、各カラーフィルタ10kと対向する3つの画素電極10gと、が3色の画素部PXをそれぞれ構成している。そして、この液晶パネル10においては、X軸方向に沿って隣り合うR,G,Bの3色の画素部PXによって所定の階調のカラー表示を可能な表示画素が構成されている。画素部PXにおけるX軸方向についての配列ピッチは、例えば数十μm程度とされる。
CF基板10aの内面側における表示領域AAには、図3及び図4に示すように、光を遮る遮光部(画素間遮光部、ブラックマトリクス)10lが形成されている。遮光部10lは、隣り合う画素部PX(画素電極10g)の間を仕切るよう平面形状が略格子状をなしており、平面に視てアレイ基板10b側の画素電極10gの大部分と重畳する位置に画素開口部10l1を有している。画素開口部10l1は、CF基板10aの板面内においてX軸方向及びY軸方向に沿って多数個ずつマトリクス状に並んで配されている。画素開口部10l1は、平面形状が画素電極10gの外形に倣って略平行四辺形とされており、その短辺寸法が画素電極10gの短辺寸法よりも大きいのに対し、長辺寸法が画素電極10gの長辺寸法よりも僅かに小さい。画素開口部10l1は、光を透過することが可能とされており、それにより画素部PXでの表示が可能となっている。遮光部10lは、隣り合う画素部PXの間を光が行き交うのを防いで各画素部PXの階調の独立性を担保するのに機能しており、特にソース配線10jに沿って延在する部分は、異なる色を呈する画素部PX間の混色を防いでいる。遮光部10lは、アレイ基板10b側のゲート配線10i及びソース配線10jと平面に視て重畳する配置とされる。
そして、両基板10a,10bのうち液晶層10cに接する最内面には、図4に示すように、液晶層10cに含まれる液晶分子を配向させるための配向膜10m,10nがそれぞれ形成されている。両配向膜10m,10nは、それぞれ例えばポリイミドからなるものとされており、少なくとも各基板10a,10bにおける表示領域AAのほぼ全域にわたってベタ状に形成されている。両配向膜10m,10nは、特定の波長領域の光(例えば紫外線など)が照射されることで、その光の照射方向に沿って液晶分子を配向させることが可能な光配向膜とされる。また、CF基板10aにおいては、配向膜10mとカラーフィルタ10kとの間に平坦化膜が介在する形で形成されていてもよい。
本実施形態に係る液晶パネル10は、画像を表示する表示機能と、表示される画像に基づいて使用者が入力する位置(入力位置)を検出するタッチパネル機能(位置入力機能)と、を併有しており、このうちのタッチパネル機能を発揮するためのタッチパネルパターンを一体化(インセル化)している。このタッチパネルパターンは、いわゆる投影型静電容量方式とされており、その検出方式が自己容量方式とされる。タッチパネルパターンは、図2に示すように、一対の基板10a,10bのうちのアレイ基板10b側に設けられており、アレイ基板10bの板面内にマトリクス状に並んで配される複数のタッチ電極(位置検出電極)14から構成されている。タッチ電極14は、アレイ基板10bの表示領域AAに配されている。従って、液晶パネル10における表示領域AAは、入力位置を検出可能なタッチ領域(位置入力領域)とほぼ一致しており、非表示領域NAAが入力位置を検出不能な非タッチ領域(非位置入力領域)とほぼ一致していることになる。そして、使用者が視認する液晶パネル10の表示領域AAの画像に基づいて位置入力をしようとして液晶パネル10の表面(表示面)に導電体である図示しない指(位置入力体)を近づけると、その指とタッチ電極14との間で静電容量が形成されることになる。これにより、指の近くにあるタッチ電極14にて検出される静電容量には指が近づくのに伴って変化が生じ、指から遠くにあるタッチ電極14とは異なるものとなるので、それに基づいて入力位置を検出することが可能となる。
そして、このタッチ電極14は、図2に示すように、アレイ基板10bに設けられた共通電極10hにより構成されている。共通電極10hは、略格子状に仕切られることで平面に視て碁盤目状に分割されて相互が電気的に独立した複数のタッチ電極14からなる。共通電極10hを仕切ってなるタッチ電極14は、表示領域AAにおいてX軸方向及びY軸方向に沿って複数ずつがマトリクス状に並んで配されている。タッチ電極14は、平面に視て方形状をなしており、一辺の寸法が数mm(例えば約2~5mm)程度とされている。従って、タッチ電極14は、平面に視た大きさが画素部PX(画素電極10g)よりも遙かに大きくなっており、X軸方向及びY軸方向について複数(例えば数十または数百程度)ずつの画素部PXに跨る範囲に配置されている。複数のタッチ電極14には、アレイ基板10bに設けられた複数のタッチ配線(位置検出配線)15が選択的に接続されている。タッチ配線15は、アレイ基板10bにおいてソース配線10jに並行する形で概ねY軸方向に沿って延在しており、Y軸方向に沿って並ぶ複数のタッチ電極14のうちの特定のタッチ電極14に対して選択的に接続されている。さらにタッチ配線15は、図示しない検出回路と接続されている。検出回路は、ドライバ11に備えられていても構わないが、フレキシブル基板12を介して液晶パネル10の外部に備えられていても構わない。タッチ配線15は、表示機能に係る基準電位信号と、タッチ機能に係るタッチ信号(位置検出信号)と、を異なるタイミングでもってタッチ電極14に供給する。このうちの基準電位信号は、同じタイミングで全てのタッチ配線15に伝送されることで、全てのタッチ電極14が基準電位となって共通電極10hとして機能する。なお、図2は、タッチ電極14の配列を模式的に表したものであり、タッチ電極14の具体的な設置数や配置については図示以外にも適宜に変更可能である。
ここで、アレイ基板10bの内面側に積層形成された各種の膜について説明する。アレイ基板10bを構成するガラス基板10GSには、図4に示すように、下層側(ガラス基板10GS側)から順に第1金属膜(下層側金属膜、ゲート金属膜)16、ゲート絶縁膜17、半導体膜18、第2金属膜(下層側金属膜、ソース金属膜)19、平坦化膜(第1絶縁膜、有機絶縁膜)20、第3金属膜(金属膜)21、下層側層間絶縁膜(第2絶縁膜、下層側第2絶縁膜)22、第1透明電極膜23、上層側層間絶縁膜(第2絶縁膜、上層側第2絶縁膜)24、第2透明電極膜(透明電極膜)25が積層形成されている。
第1金属膜16、第2金属膜19及び第3金属膜21は、それぞれ銅、チタン、アルミニウムなどの中から選択される1種類の金属材料からなる単層膜または異なる種類の金属材料からなる積層膜や合金とされることで導電性及び遮光性を有しており、それぞれ表示領域AAと非表示領域NAAとに跨る形で配される。このうち、第1金属膜16は、ゲート配線10iやTFT10fのゲート電極10f1などを構成する。第2金属膜19は、ソース配線10jやTFT10fのソース電極10f2及びドレイン電極10f3や後述するタッチ引き出し配線28などを構成する。第3金属膜21は、タッチ配線15などを構成する。ゲート絶縁膜17、下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24は、それぞれ窒化ケイ素(SiNx)、酸化ケイ素(SiO2)等の無機材料からなり、上層側の各金属膜19,21や各透明電極膜23,25と下層側の各金属膜16,19,21や第1透明電極膜23とを絶縁状態に保つ。無機材料からなる各絶縁膜17,22,24は、それぞれ表示領域AAと非表示領域NAAとに跨る形で配される。無機材料からなる各絶縁膜17,22,24は、次述する平坦化膜20よりも膜厚が小さなものとされており、例えば0.2μm~0.3μm程度とされるのが好ましいが必ずしもその限りではない。より詳細には、下層側層間絶縁膜22の膜厚は、上層側層間絶縁膜24の膜厚よりも小さくて例えば0.2μm程度とされるのに対し、上層側層間絶縁膜24の膜厚は、下層側層間絶縁膜22の膜厚よりも大きくて例えば0.3μm程度とされるのが好ましいが必ずしもその限りではない。平坦化膜20は、アクリル樹脂(例えばPMMA等)等の有機材料からなり、自身よりも下層側に生じた段差を平坦化するのに機能する。平坦化膜20は、上記した無機材料からなる各絶縁膜17,22,24よりも大きな膜厚を有しており、例えば1.5μm~3μm程度とされるのが好ましいが必ずしもその限りではない。半導体膜18は、材料として例えば酸化物半導体を用いた薄膜からなり、TFT10fにおいてソース電極10f2とドレイン電極10f3とに接続されるチャネル部(半導体部)10f4などを構成する。半導体膜18を構成する酸化物半導体は、アモルファス酸化物半導体であってもよいが、結晶質部分を有する結晶質酸化物半導体(多結晶酸化物半導体、微結晶酸化物半導体、c軸が層面に概ね垂直に配向した結晶質酸化物半導体など)であってもよく、また単層構造であっても積層構造であってもよい。半導体膜18を構成する酸化物半導体としては、例えばIn-Ga-Zn-O系半導体(例えば酸化インジウムガリウム亜鉛)が挙げられる。第1透明電極膜23及び第2透明電極膜25は、透明電極材料(例えばITO(Indium Tin Oxide)等)からなり、それぞれ表示領域AAと非表示領域NAAとに跨る形で配される。このうち、第1透明電極膜23が画素電極10gなどを、第2透明電極膜25が共通電極10h(タッチ電極14)などを、それぞれ構成する。
TFT10f及び画素電極10gの構成について詳しく説明する。TFT10fは、図3及び図4に示すように、第1金属膜16からなるゲート配線10iから分岐してなるゲート電極10f1を有する。ゲート電極10f1は、ゲート配線10iのうち、ソース配線10jと交差する部分を、Y軸方向に沿って接続対象となる画素電極10g側に向けて突出させてなり、平面に視て略方形状をなす。TFT10fは、第2金属膜19からなるソース配線10jのうち、ゲート電極10f1と重畳する部分からなるソース電極10f2を有する。ソース電極10f2は、ソース配線10jのうちY軸方向に沿ってほぼ真っ直ぐに延在する部分からなる。TFT10fは、ソース電極10f2との間に間隔を空けた位置に配されて第2金属膜19からなるドレイン電極10f3を有する。ドレイン電極10f3は、平面に視て略L字型をなしており、その一端側がソース電極10f2と対向状をなしてチャネル部10f4に接続されるのに対し、他端側が画素電極10gに接続される。
第1透明電極膜23からなる画素電極10gは、図3及び図4に示すように、遮光部10lの画素開口部10l1と重畳する略平行四辺形状の画素電極本体10g1と、画素電極本体10g1からY軸方向に沿ってTFT10f側に突出するコンタクト部10g2と、からなり、このうちのコンタクト部10g2がドレイン電極10f3に接続されている。第1透明電極膜23からなるコンタクト部10g2と第2金属膜19からなるドレイン電極10f3とは、一部同士が互いに重畳しており、その重畳箇所同士は、間に介在する平坦化膜20及び下層側層間絶縁膜22に開口形成された画素用コンタクトホール26を通して相互に接続されている。TFT10fは、ゲート絶縁膜17を介してゲート電極10f1と重畳するとともに、ソース電極10f2及びドレイン電極10f3に接続されて半導体膜18からなるチャネル部10f4を有する。チャネル部10f4は、ゲート電極10f1を横切る形でX軸方向に沿って延在し、その一端側がソース電極10f2に、他端側がドレイン電極10f3に、それぞれ接続されている。そして、TFT10fは、ゲート配線10iからゲート電極10f1に供給される走査信号に基づいて駆動されると、ソース配線10jに供給された画像信号に係る電位を、ソース電極10f2からチャネル部10f4を介してドレイン電極10f3へと供給し、それにより画素電極10gを充電する。特に、このTFT10fは、チャネル部10f4を構成する半導体膜18がアモルファスシリコン薄膜などに比べて電子移動度の高い酸化物半導体からなる「酸化物半導体TFT(IGZO-TFT)」とされているので、小型化が図られていて高精細化及び高開口率化に有利であり、またオフ特性が高くてリーク電流が低減されることで低消費電力化にも有利である。半導体膜18を構成する酸化物半導体は、アモルファスシリコン薄膜などに比べると、電子移動度が例えば20倍~50倍程度と高くなっており、またリーク電流が例えば100分の1程度と極めて少なくなっている。
続いて、タッチ配線15について詳しく説明する。第3金属膜21からなるタッチ配線15は、内部空間10IS及び表示領域AA(シール部10dの内側)においては、図3及び図4に示すように、接続対象となる第2透明電極膜25からなるタッチ電極14に対し、下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24に開口形成されたタッチ電極用コンタクトホール27を通して接続されている。タッチ配線15は、X軸方向についてTFT10f(ドレイン電極10f3)と隣り合う箇所が部分的に拡幅されており、その拡幅部15aがタッチ電極14に対する接続パッドとして機能し得る。この拡幅部15aは、Y軸方向に沿って並ぶ多数のTFT10fを横切る形で延在するタッチ配線15のうち、各TFT10fと隣り合う箇所のそれぞれに形成されているが、その一部(単数または複数)に対してのみタッチ電極用コンタクトホール27が選択的に重畳配置される。このように拡幅部15aが各TFT10f毎(各画素電極10g毎)に形成されることで、タッチ配線15と、各TFT10fや各画素電極10gと、の間に生じ得る寄生容量を均等化することができる。タッチ配線15は、全てのタッチ電極14を横切る形で概ねY軸方向に沿って延在しているものの、タッチ電極用コンタクトホール27の平面配置によって特定のタッチ電極14に対してのみ選択的に接続されている。また、タッチ配線15は、ソース配線10jと平面に視て重畳する位置に配されている。
その一方、タッチ配線15は、内部空間10IS外(シール部10dの外側)の非表示領域NAAにおいては、図2に示すように、略扇状に引き回されており、それらの引き出し先端部がタッチ引き出し配線28に接続されている。タッチ引き出し配線28は、タッチ配線15に並行する形で略扇状に引き回されており、その一端側がタッチ配線15に、他端側がドライバ11に、それぞれ接続される。タッチ引き出し配線28は、図5に示すように、第2金属膜19からなり、その一端側と、第3金属膜21からなるタッチ配線15の引き出し先端部と、が互いに重畳していて、その重畳箇所同士は、間に介在する平坦化膜20に開口形成されたコンタクトホール29を通して相互に接続されている。タッチ引き出し配線28の他端側には、ドライバ11に対して接続される端子部が設けられている。なお、ソース配線10jに関してもタッチ配線15と同様に、図示しないソース引き出し配線を介してドライバ11に接続されており、そのソース引き出し配線は例えば第1金属膜16からなる。
さて、アレイ基板10bの非表示領域NAAには、図6から図8に示すように、タッチ配線15を構成する第3金属膜21よりも上層側に配される下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24をそれぞれ部分的に凹ませる形で配向膜10nの成膜範囲を規制するための成膜範囲規制凹状部30が設けられている。成膜範囲規制凹状部30は、平面形状が方形とされる表示領域AAにおける4つの各辺部に並行する形でそれぞれ設けられており、全体としては表示領域AA及びシール部10dの外形に倣う枠状をなしている(図2を参照)。4辺の成膜範囲規制凹状部30のうち、平面に視て表示領域AAとドライバ11との間に介在する成膜範囲規制凹状部30は、表示領域AA及びシール部10dの短辺方向(X軸方向、配線の延在方向と交差(直交)する方向)に沿って直線状に延在しており、途中でタッチ配線15を横切るものとされる。以下では、表示領域AAとドライバ11との間に介在する成膜範囲規制凹状部30に関して詳しく説明する。なお、図6に示す上側が表示領域AA側であり、図6に示す下側がドライバ11側である。また、図6,図8及び図9では、ソース配線10jの図示を省略している。
表示領域AAとドライバ11との間に介在する成膜範囲規制凹状部30は、図6及び図7に示すように、Y軸方向について間隔を空けて3本が互いに並行する形で配されている。Y軸方向について並ぶ3本の成膜範囲規制凹状部30は、全てがシール部10dと平面に視て重畳する形で配されているが、このうち、最も表示領域AAから遠い配置、つまり最外位置の成膜範囲規制凹状部30は、シール部10dにおける幅方向についての略中央位置付近に配されている。従って、Y軸方向について並ぶ3本の成膜範囲規制凹状部30は、全てがシール部10dの外周端部よりも表示領域AA側に配置されている、と言える。そして、成膜範囲規制凹状部30は、下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24をそれぞれ膜厚方向に貫通(開口)する形で設けられていて孔状をなしている。
ところで、アレイ基板10bにおいて配向膜10nを成膜する際には、流動性を備える配向膜10nの材料を、ガラス基板10GSの表示領域AAに供給するようにしており、その材料がアレイ基板10bの最内面(ガラス基板10GSに設けられた上層側層間絶縁膜24よりも上層側)において広がるよう流動することで、少なくとも表示領域AAのほぼ全域に配向膜10nが成膜されるようになっている。具体的には、配向膜10nの材料は、例えばインクジェット装置を用いてアレイ基板10bに塗布されており、塗布に際しては、インクジェット装置に備えられるノズルから配向膜10nの材料である液滴を間欠的に第2透明電極膜25上に吐出し、表示領域AAに着弾させている。表示領域AAに着弾した配向膜10nの材料の液滴は、上層側層間絶縁膜24及び第2透明電極膜25の表面において着弾位置から濡れ広がる形で流動し、少なくともその一部が表示領域AAから非表示領域NAAにまで広がる。配向膜10nの材料は、図7及び図8に示すように、非表示領域NAAにおけるシール部10dの形成予定位置に達すると、そこに設けられた成膜範囲規制凹状部30内に流れ込むことで、その成膜範囲が規制される。成膜範囲規制凹状部30は、3本が間隔を空けて並んで配されているので、仮に配向膜10nの材料が最も表示領域AAに近い配置の成膜範囲規制凹状部30を乗り越えたとしても、まだ2本の成膜範囲規制凹状部30が残されているので、少なくとも表示領域AAから最も遠い配置(最外位置)の成膜範囲規制凹状部30を乗り越える事態が生じ難いものとされる。これにより、配向膜10nの材料が非表示領域NAAにおいて各成膜範囲規制凹状部30よりも外側にまで広がるのが避けられるので、シール部10dのうち最外位置の成膜範囲規制凹状部30よりも外側の部分(外周端部を含む)と配向膜10nとが重畳配置されることが避けられる。従って、配向膜10nによってアレイ基板10bに対するシール部10dの接着強度(固着強度)が低下させられる事態が生じ難くなり、もって両基板10a,10bが剥離するといった事態を回避することができる。そして、この成膜範囲規制凹状部30は、タッチ配線15を横切る形で延在しており、タッチ配線15と重畳する部分とタッチ配線15とは非重畳となる部分とが連なる構成とされているので、成膜範囲規制凹状部30の延在方向(X軸方向)についてタッチ配線15の有無に拘わらず配向膜10nの成膜範囲を好適に規制することができる。なお、図7及び図8では、配向膜10nを二点鎖線により図示しており、中間位置の成膜範囲規制凹状部30により配向膜10nの成膜範囲が規制された状態が例示しているが、必ずしもその限りではない。
ここで、ガラス基板10GSの表示領域AAと非表示領域NAAとに跨る形で延在するタッチ配線15は、図8に示すように、膜厚が下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24のいずれよりも大きな平坦化膜20の上層側に配された第3金属膜21からなるので、タッチ配線15の平坦性が担保されている。一方、成膜範囲規制凹状部30は、第3金属膜21の上層側に配された下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24をそれぞれY軸方向について部分的に凹ませる形で設けられているから、タッチ配線15を横切る形でX軸方向に沿って延在してタッチ配線15と重畳する部分を有していても、タッチ配線15の平坦性に影響を与えることが避けられている。以上のようにタッチ配線15の平坦性が担保されることで、仮に平坦化膜20にタッチ配線15を横切る形で成膜範囲規制凹状部を設けた場合に比べると、タッチ配線15に凹凸が生じ難くなってタッチ配線15に断線などが生じ難いものとなり、もって位置検出機能を発揮する確実性が高いものとされる。しかも、成膜範囲規制凹状部30が設けられる下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24は、平坦化膜20よりも膜厚が小さいので、加工精度が高くなっており、それにより仕上がった成膜範囲規制凹状部30の平面に視た形成位置(平面配置)、形状(平面形状及び断面形状)、平面に視た形成範囲などが設計通りの適切なものとなり易い。また、成膜範囲規制凹状部30は、膜厚が相対的に大きな平坦化膜20に設けられることがないので、防湿性を確保する(水分の透過を防止する)上で好適となっている。さらには、成膜範囲規制凹状部30(後述する下層側成膜範囲規制凹状部30a及び上層側成膜範囲規制凹状部30b)は、下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24をそれぞれ貫通する形で設けられているから、仮に成膜範囲規制凹状部が下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24を非貫通とされる場合に比べると、成膜範囲規制凹状部30の深さを最大限に大きなものとすることができ、もって配向膜10nの成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。
成膜範囲規制凹状部30は、図7及び図8に示すように、下層側層間絶縁膜22よりも配向膜10nに近い配置とされる上層側層間絶縁膜24をY軸方向について部分的に凹ませる形で設けられているから、仮に成膜範囲規制凹状部を下層側層間絶縁膜22のみに設けるようにした場合に成膜範囲規制凹状部と配向膜10nとの間に上層側層間絶縁膜24が介在するのに比べると、成膜範囲規制凹状部30による成膜範囲規制機能が配向膜10nに対してより直接的に作用するので、配向膜10nの成膜範囲をより好適に規制することができる。その上で、成膜範囲規制凹状部30は、下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24のそれぞれに設けられており、下層側層間絶縁膜22をY軸方向について部分的に凹ませる形で設けられる下層側成膜範囲規制凹状部30aと、上層側層間絶縁膜24をY軸方向について部分的に凹ませる形で設けられる上層側成膜範囲規制凹状部30bと、からなる。下層側成膜範囲規制凹状部30aと上層側成膜範囲規制凹状部30bとは、互いに連通している。従って、仮に成膜範囲規制凹状部が上層側成膜範囲規制凹状部のみからなる場合に比べると、下層側層間絶縁膜22に設けられた下層側成膜範囲規制凹状部30aの深さの分だけ、成膜範囲規制凹状部30の深さが大きくなり、もって配向膜10nの成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。
タッチ配線15には、図8及び図9に示すように、下層側層間絶縁膜22を貫通する形で設けられる下層側成膜範囲規制凹状部30aを通して第1透明電極膜23からなる第1配線保護部31が接続されている。第1配線保護部31は、タッチ配線15のうち、3本の成膜範囲規制凹状部30を縦断する部分に対してその全幅にわたって平面に視て重畳する形で設けられており、3本の下層側成膜範囲規制凹状部30a毎にタッチ配線15に対して接続されている。第1配線保護部31には、上層側層間絶縁膜24を貫通する形で設けられる上層側成膜範囲規制凹状部30bを通して第2透明電極膜25からなる第2配線保護部32が接続されている。第2配線保護部32は、第1配線保護部31(タッチ配線15のうち、3本の成膜範囲規制凹状部30を縦断する部分)に対してその全幅にわたって平面に視て重畳する形で設けられており、3本の上層側成膜範囲規制凹状部30b毎に第1配線保護部31に対して接続されている。このように、タッチ配線15に対して第1配線保護部31及び第2配線保護部32が下層側成膜範囲規制凹状部30a及び上層側成膜範囲規制凹状部30bを通して接続されているので、タッチ配線15の保護を図ることができるとともにタッチ配線15の低抵抗化を図ることができる。
平坦化膜20のうち、タッチ配線15とは非重畳となり且つ下層側成膜範囲規制凹状部30aと重畳する部分には、図7及び図9に示すように、成膜範囲規制凹状部30に並行する形で延在して配向膜10nの成膜範囲を規制する第2の成膜範囲規制凹状部33が設けられている。第2の成膜範囲規制凹状部33は、Y軸方向について間隔を空けて3本が互いに並行する形で配されており、それぞれが平面に視て3本の成膜範囲規制凹状部30の大部分(タッチ配線15と重畳する部分を除いた部分)と重畳する配置とされる。ここで、下層側層間絶縁膜22を貫通する下層側成膜範囲規制凹状部30aは、製造に際しては、例えば下層側層間絶縁膜22における形成予定箇所をエッチングすることで設けられる。詳しくは、下層側層間絶縁膜22をベタ状に成膜した後に、下層側層間絶縁膜22の表面にフォトレジストを塗布し、そのフォトレジストを露光・現像することで、下層側層間絶縁膜22のうち下層側成膜範囲規制凹状部30aの形成予定箇所を露出させる。その後、ドライエッチングまたはウェットエッチングを行うことで、下層側成膜範囲規制凹状部30aのうちのフォトレジストから露出した部分(上記形成予定箇所)をエッチングすることで、下層側成膜範囲規制凹状部30aが形成される。このとき、下層側成膜範囲規制凹状部30aは、下層側層間絶縁膜22を貫通する形態であることから、下層側層間絶縁膜22がオーバーエッチされてその下層側の平坦化膜20まで部分的にエッチングされる。このオーバーエッチを利用することで、平坦化膜20のうち、タッチ配線15とは非重畳となり且つ下層側成膜範囲規制凹状部30aと重畳する部分に、成膜範囲規制凹状部30に並行する形で延在する第2の成膜範囲規制凹状部33を設けることができる。このような構成によれば、タッチ配線15とは非重畳となる領域において、下層側成膜範囲規制凹状部30a及び上層側成膜範囲規制凹状部30bの各深さに第2の成膜範囲規制凹状部33の深さが加えられることで、配向膜10nの成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。
既述した通り、第3金属膜21からなるタッチ配線15は、図2及び図5に示すように、それよりも下層側に配された第2金属膜19からなるタッチ引き出し配線28に対して平坦化膜20のうちのシール部10dの外側(内部空間10IS側とは反対側)となる位置に開口形成されたコンタクトホール29を通して接続されている。これにより、仮にコンタクトホールをシール部10dに対して内部空間10IS側に配置した場合に比べると、内部空間10IS側において第2金属膜19を別の配線(例えばソース配線10j)などに用いることができるので、高精細化や狭額縁化などを図る上で好適となる。これに伴い、本実施形態では、平坦化膜20の上層側に配される第3金属膜21がタッチ配線15を構成することになっているものの、その第3金属膜21よりも上層側に配される下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24に成膜範囲規制凹状部30を設けることで、成膜範囲規制凹状部30に起因してタッチ配線15の平坦性が損なわれるのを回避しつつ、配向膜10nの成膜範囲を好適に規制することができる。
以上説明したように本実施形態のアレイ基板(表示基板)10bは、画像を表示可能な表示領域AAと表示領域AAを取り囲む形で外周側に配される非表示領域NAAとに区分されるガラス基板(基板)10GSと、ガラス基板10GSの表示領域AAと非表示領域NAAとに跨る形で配される平坦化膜(第1絶縁膜)20と、平坦化膜20の上層側にて表示領域AAと非表示領域NAAとに跨る形で配される第3金属膜(金属膜)21と、第3金属膜21の上層側にて表示領域AAと非表示領域NAAとに跨る形で配されるとともに膜厚が平坦化膜20よりも小さい第2絶縁膜である下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24と、第2絶縁膜である下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24よりも上層側にて少なくとも表示領域AAに配される配向膜10nと、第3金属膜21からなり、表示領域AAと非表示領域NAAとに跨る形で延在するタッチ配線(配線)15と、非表示領域NAAに配されてタッチ配線15を横切る形で延在し、第2絶縁膜である下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24を部分的に凹ませる形で設けられて配向膜10nの成膜範囲を規制する成膜範囲規制凹状部30と、を備える。
配向膜10nの成膜に際しては、流動性を備える配向膜10nの材料を、ガラス基板10GSの表示領域AAに供給するようにしており、その材料がガラス基板10GSに設けられた第2絶縁膜である下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24よりも上層側において広がるよう流動することで、少なくとも表示領域AAに配向膜10nが成膜されるようになっている。表示領域AAに供給された配向膜10nの材料が非表示領域NAAに達すると、非表示領域NAAに配された成膜範囲規制凹状部30によってその成膜範囲が規制され、もって配向膜10nの材料が非表示領域NAAにおいて成膜範囲規制凹状部30よりも外側にまで広がるのが避けられる。この成膜範囲規制凹状部30は、タッチ配線15を横切る形で延在しているので、成膜範囲規制凹状部30の延在方向についてタッチ配線15の有無に拘わらず配向膜10nの成膜範囲を好適に規制することができる。
ここで、ガラス基板10GSの表示領域AAと非表示領域NAAとに跨る形で延在するタッチ配線15は、膜厚が第2絶縁膜である下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24よりも大きな平坦化膜20の上層側に配された第3金属膜21からなるので、タッチ配線15の平坦性が担保されている。一方、成膜範囲規制凹状部30は、第3金属膜21の上層側に配された第2絶縁膜である下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24を部分的に凹ませる形で設けられているから、タッチ配線15を横切る形で延在していても、タッチ配線15の平坦性に影響を与えることが避けられている。以上のようにタッチ配線15の平坦性が担保されることで、仮に平坦化膜20にタッチ配線15を横切る形で成膜範囲規制凹状部30を設けた場合に比べると、タッチ配線15に凹凸が生じ難くなってタッチ配線15に断線などが生じ難いものとなる。しかも、成膜範囲規制凹状部30が設けられる第2絶縁膜である下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24は、平坦化膜20よりも膜厚が小さいので、加工精度が高くなっており、それにより仕上がった成膜範囲規制凹状部30の位置、形状、範囲などが適切なものとなり易い。また、成膜範囲規制凹状部30は、膜厚が相対的に大きな平坦化膜20に設けられることがないので、防湿性を確保する上で好適となっている。
また、第2絶縁膜は、相対的に下層側に配される下層側層間絶縁膜(下層側第2絶縁膜)22と、相対的に上層側に配される上層側層間絶縁膜(上層側第2絶縁膜)24と、からなり、成膜範囲規制凹状部30は、少なくとも上層側層間絶縁膜24を部分的に凹ませる形で設けられている。このようにすれば、下層側層間絶縁膜22よりも配向膜10nに近い配置とされる上層側層間絶縁膜24に成膜範囲規制凹状が設けられているから、仮に成膜範囲規制凹状部を下層側層間絶縁膜22のみに設けるようにした場合に成膜範囲規制凹状部と配向膜10nとの間に上層側層間絶縁膜24が介在するのに比べると、成膜範囲規制凹状部30による成膜範囲規制機能が配向膜10nに対してより直接的に作用するので、配向膜10nの成膜範囲をより好適に規制することができる。
また、成膜範囲規制凹状部30は、下層側層間絶縁膜22を部分的に凹ませる形で設けられる下層側成膜範囲規制凹状部30aと、上層側層間絶縁膜24を部分的に凹ませる形で設けられる上層側成膜範囲規制凹状部30bと、からなる。このようにすれば、仮に成膜範囲規制凹状部が上層側成膜範囲規制凹状部のみからなる場合に比べると、下層側層間絶縁膜22に設けられた下層側成膜範囲規制凹状部30aの深さの分だけ、成膜範囲規制凹状部30の深さが大きくなるので、配向膜10nの成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。
また、下層側成膜範囲規制凹状部30aは、下層側層間絶縁膜22を貫通する形で設けられており、平坦化膜20のうち、タッチ配線15とは非重畳となり且つ下層側成膜範囲規制凹状部30aと重畳する部分には、成膜範囲規制凹状部30に並行する形で延在して配向膜10nの成膜範囲を規制する第2の成膜範囲規制凹状部33が設けられている。下層側層間絶縁膜22を貫通する下層側成膜範囲規制凹状部30aは、例えば下層側層間絶縁膜22における形成予定箇所をエッチングすることで設けられる。平坦化膜20のうち、タッチ配線15とは非重畳となり且つ下層側成膜範囲規制凹状部30aと重畳する部分は、下層側層間絶縁膜22をエッチングする際にオーバーエッチされ、それにより成膜範囲規制凹状部30に並行する形で延在する第2の成膜範囲規制凹状部33が設けられる。下層側成膜範囲規制凹状部30a及び上層側成膜範囲規制凹状部30bの各深さに第2の成膜範囲規制凹状部33の深さが加えられることで、配向膜10nの成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。
また、下層側成膜範囲規制凹状部30a及び上層側成膜範囲規制凹状部30bは、下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24をそれぞれ貫通する形で設けられており、下層側層間絶縁膜22と上層側層間絶縁膜24との間に介在する形で配される第1透明電極膜23と、上層側層間絶縁膜24の上層側に配される第2透明電極膜25と、第1透明電極膜23からなり少なくとも一部がタッチ配線15と重畳する形で配されて下層側成膜範囲規制凹状部30aを通してタッチ配線15に接続される第1配線保護部31と、第2透明電極膜25からなり少なくとも一部がタッチ配線15及び第1配線保護部31と重畳する形で配されて上層側成膜範囲規制凹状部30bを通して第1配線保護部31に接続される第2配線保護部32と、を備える。このようにすれば、下層側成膜範囲規制凹状部30a及び上層側成膜範囲規制凹状部30bが下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24をそれぞれ貫通する形で設けられることで、仮に下層側成膜範囲規制凹状部及び上層側成膜範囲規制凹状部が非貫通とされる場合に比べると、成膜範囲規制凹状部30の深さをより大きなものとすることができ、もって配向膜10nの成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。このような構成においても、第1透明電極膜23からなる第1配線保護部31と第2透明電極膜25からなる第2配線保護部32とがタッチ配線15と重畳する形で配され且つ下層側成膜範囲規制凹状部30a及び上層側成膜範囲規制凹状部30bを通してタッチ配線15に接続されているので、タッチ配線15の保護を図ることができるとともにタッチ配線15の低抵抗化を図ることができる。
また、下層側層間絶縁膜22と上層側層間絶縁膜24との間に介在する形で配される第1透明電極膜23と、上層側層間絶縁膜24の上層側に配される第2透明電極膜25と、第1透明電極膜23または第2透明電極膜25からなり、位置入力を行う位置入力体である指との間で静電容量を形成し、位置入力体である指による入力位置を検出するタッチ電極(位置検出電極)14と、を備えており、タッチ配線15は、タッチ電極14に接続されるタッチ配線(位置検出配線)15とされる。このようにすれば、タッチ電極14は、位置入力を行う位置入力体である指との間で静電容量を形成し、タッチ配線15によって供給される信号を利用して位置入力体である指による入力位置を検出することができる。タッチ配線15であるタッチ配線15は、成膜範囲規制凹状部30に起因して断線などが生じ難くなっているので、位置検出機能を発揮する確実性が高いものとされる。
また、本実施形態の液晶パネル(表示装置)10は、上記記載のアレイ基板10bと、アレイ基板10bとの間に内部空間10ISを有する形で対向状に配されるCF基板(対向基板)10aと、を備える。このような構成の液晶パネル10によれば、タッチ配線15が成膜範囲規制凹状部30に起因して断線などし難くなっているから、機能不全に陥り難くなる。
また、アレイ基板10bとCF基板10aとの間に介在し、内部空間10ISを取り囲む形で非表示領域NAAに配されて内部空間10ISを封止するシール部10dを備えており、成膜範囲規制凹状部30は、シール部10dと重畳するとともにシール部10dの外周端部よりも内部空間10IS寄りとなる位置に配されている。このような構成の成膜範囲規制凹状部30によって配向膜10nの成膜範囲が規制されることで、配向膜10nが少なくともシール部10dの外周端部には達することが避けられる。これにより、ガラス基板10GSに対するシール部10dの固着強度が十分に保たれ、両基板が剥離などし難くなる。
また、平坦化膜20よりも下層側に配される第2金属膜(下層側金属膜)19と、非表示領域NAAにおいてシール部10dに対して内部空間10IS側とは反対側に配されて第2金属膜19からなり一部がタッチ配線15と重畳するタッチ引き出し配線(引き出し配線)28と、を備えており、平坦化膜20のうち、タッチ配線15とタッチ引き出し配線28との重畳箇所には、コンタクトホール29が開口形成されている。このようにすれば、タッチ配線15は、第2金属膜19からなるタッチ引き出し配線28に対して平坦化膜20に開口形成されたコンタクトホール29を通して接続されている。これにより、仮にコンタクトホールをシール部10dに対して内部空間10IS側に配置した場合に比べると、内部空間10IS側において第2金属膜19を別の配線などに用いることが可能となるので、高精細化や狭額縁化などを図る上で好適となる。これに伴い、平坦化膜20の上層側に配される第3金属膜21がタッチ配線15を構成することになるものの、その第3金属膜21よりも上層側に配される第2絶縁膜である下層側層間絶縁膜22及び上層側層間絶縁膜24に成膜範囲規制凹状部30を設けることで、成膜範囲規制凹状部30に起因してタッチ配線15の平坦性が損なわれるのを回避しつつ、配向膜10nの成膜範囲を好適に規制することができる。
<実施形態2>
本発明の実施形態2を図10または図11によって説明する。この実施形態2では、成膜範囲規制凹状部130を変更したものを示す。なお、上記した実施形態1と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。
本発明の実施形態2を図10または図11によって説明する。この実施形態2では、成膜範囲規制凹状部130を変更したものを示す。なお、上記した実施形態1と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。
本実施形態に係る成膜範囲規制凹状部130は、図10及び図11に示すように、下層側層間絶縁膜122には設けられることがなく、上層側層間絶縁膜124のみに選択的に設けられている。このような構成によれば、平坦化膜120と下層側層間絶縁膜122とに成膜範囲規制凹状部130が設けられることが避けられるから、防湿性能に優れる。また、第3金属膜121からなるタッチ配線115は、成膜範囲規制凹状部130が設けられずに非開口とされる下層側層間絶縁膜122によって上層側から覆われるので、タッチ配線115の保護を図る上で好適とされる。しかも、Y軸方向について並ぶ3本の成膜範囲規制凹状部130には、第1透明電極膜123からなる第1重畳部34と、第2透明電極膜125からなる第2重畳部35と、がそれぞれ重畳する形で配されている。第1重畳部34及び第2重畳部35は、下層側層間絶縁膜122のうち、3本の成膜範囲規制凹状部130に加えてY軸方向について隣り合う成膜範囲規制凹状部130の間となる部分や最も表示領域AAに近い成膜範囲規制凹状部130に対して表示領域AA側となる部分に対しても平面に視て重畳するような形成範囲を有しており、互いの形成範囲がほぼ一致している。このような構成によれば、アレイ基板110bにおける配向膜110nが成膜される表面(第2透明電極膜125及び上層側層間絶縁膜124の表面)には、第1重畳部34及び第2重畳部35の膜厚分だけ段差が2箇所に生じることになる。これにより、配向膜110nの成膜に際しては、表示領域AAから非表示領域NAAへ向けて広がる配向膜110nの材料は、成膜範囲規制凹状部130に至る手前の段階で上記した2箇所の段差を乗り越える必要が生じるから、配向膜110nの成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。
以上説明したように本実施形態によれば、成膜範囲規制凹状部130は、上層側層間絶縁膜124を部分的に凹ませる形で選択的に設けられる。このようにすれば、平坦化膜120と下層側層間絶縁膜122とに成膜範囲規制凹状部130が設けられることが避けられているから、防湿性能に優れる。また、タッチ配線115は、成膜範囲規制凹状部130が設けられない下層側層間絶縁膜122によって覆われるので、タッチ配線115の保護を図る上でも好適とされる。
また、下層側層間絶縁膜122と上層側層間絶縁膜124との間に介在する形で配される第1透明電極膜123と、上層側層間絶縁膜124の上層側に配される第2透明電極膜125と、第1透明電極膜123からなり少なくとも一部が成膜範囲規制凹状部130と重畳する形で配される第1重畳部34と、第2透明電極膜125からなり少なくとも一部が成膜範囲規制凹状部130と重畳する形で配される第2重畳部35と、を備える。このようにすれば、上層側層間絶縁膜124に設けられた成膜範囲規制凹状部130には、第1透明電極膜123からなる第1重畳部34と、第2透明電極膜125からなる第2重畳部35と、がそれぞれ重畳する形で配されているから、当該アレイ基板110bにおける配向膜110nが成膜される表面には、第1重畳部34及び第2重畳部35の膜厚分だけ段差が生じることになる。これにより、配向膜110nの成膜に際しては、表示領域AAから非表示領域NAAへ向けて広がる配向膜110nの材料は、成膜範囲規制凹状部130に至る手前の段階で上記した段差を乗り越える必要が生じるから、配向膜110nの成膜範囲を規制する機能がより高いものとなる。
<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記した各実施形態では、成膜範囲規制凹状部が横断する対象となる「配線」の一例としてタッチ電極に接続されるタッチ配線を示したが、それ以外の配線を成膜範囲規制凹状部の横断対象とすることも可能である。例えば、タッチパネルパターンの一部として共通電極を利用しない構成の液晶パネルにおいて、共通電極を非分割構造とし、共通電極に表示用の基準電位を供給するための配線を第3金属膜により構成するとともに成膜範囲規制凹状部の横断対象としてもよい。その場合、液晶パネルにタッチパネル機能を併有させないようにしてもよい。
(2)上記した各実施形態では、表示領域とドライバとの間に介在する成膜範囲規制凹状部は、X軸方向に沿って途中で途切れることなく直線的に延在する構成を示したが、成膜範囲規制凹状部がX軸方向に沿って直線的に延在するものの途中で途切れる分割構造、とされていても構わない。また、成膜範囲規制凹状部は、必ずしもX軸方向に沿って直線的に延在していなくてもよく、平面形状が例えば波形やジグザグ状に蛇行していても構わない。
(3)上記した各実施形態では、タッチ引き出し配線が第2金属膜からなる場合を示したが、タッチ引き出し配線が第1金属膜からなる構成を採ることも可能である。
(4)上記した各実施形態では、画素電極が第1透明電極膜からなり、共通電極が第2透明電極膜からなる場合を示したが、積層関係を逆転させて、画素電極が第2透明電極膜からなり、共通電極が第1透明電極膜からなる構成を採ることも可能である。
(5)上記した実施形態1では、下層側層間絶縁膜及び上層側層間絶縁膜に成膜範囲規制凹状部を設けた構成において、平坦化膜に第2の成膜範囲規制凹状部が設けられた構成を示したが、第2の成膜範囲規制凹状部を省略することも可能である。
(6)上記した実施形態1では、下層側成膜範囲規制凹状部と上層側成膜範囲規制凹状部との幅寸法が同一とされた場合を示したが、下層側成膜範囲規制凹状部と上層側成膜範囲規制凹状部との幅寸法を異ならせることも可能である。
(7)上記した実施形態1では、下層側層間絶縁膜及び上層側層間絶縁膜に成膜範囲規制凹状部を設けた構成において、第1配線保護部及び第2配線保護部を設けるようにした場合を示したが、第1配線保護部及び第2配線保護部のいずれか一方または両方を省略することも可能である。
(8)上記した実施形態2では、上層側層間絶縁膜のみに選択的に成膜範囲規制凹状を設けるようにした場合を示したが、下層側層間絶縁膜のみに成膜範囲規制凹状を選択的に設けることも可能である。
(9)上記した実施形態2では、第1透明電極膜からなる第1重畳部と、第2透明電極膜からなる第2重畳部と、を設けるようにした場合を示したが、第1重畳部及び第2重畳部のうちのいずれか一方または両方を省略することも可能である。
(10)上記した各実施形態では、成膜範囲規制凹状部のY軸方向についての並び数が3つとされた場合を示したが、同並び数は、1つ、2つまたは4つ以上に変更することも可能である。
(11)上記した各実施形態では、平坦化膜が有機材料からなる単層膜とされた場合を示したが、平坦化膜が有機材料と無機材料との積層膜とされても構わない。
(12)上記した各実施形態では、配向膜がインクジェット装置により塗布される場合を例示したが、それ以外にも例えば配向膜が印刷装置を用いて塗布されても構わない。いずれにしても配向膜の材料は、塗布時には高い流動性を有しているので、成膜範囲を規制することが求められる傾向にある。
(13)上記した各実施形態では、共通電極の画素重畳開口部が2本とされる場合を例示したが、画素重畳開口部の設置本数は1本または3本以上に適宜に変更可能である。また、画素重畳開口部の具体的な平面形状についても図示以外に適宜に変更可能である。また、画素重畳開口部は、共通電極ではなく、画素電極に設けられていても構わない。
(14)上記した各実施形態以外にも、表示領域における画素部に係る具体的な構成やタッチ電極に対するタッチ配線の接続構造などは、適宜に変更可能である。
(15)上記した各実施形態では、遮光部がCF基板側に設けられた場合を示したが、遮光部がアレイ基板側に設けられていても構わない。
(16)上記した各実施形態以外にも、TFTのチャネル部を構成する半導体膜の材料は、アモルファスシリコンやポリシリコンなどであっても構わない。半導体膜の材料をポリシリコンとする場合は、TFTをボトムゲート型とするのが好ましい。
(17)上記した各実施形態では、タッチパネルパターンが自己容量方式とされる場合を示したが、タッチパネルパターンが相互容量方式であっても構わない。
(18)上記した各実施形態では、透過型の液晶パネルを例示したが、反射型の液晶パネルや半透過型の液晶パネルであっても本発明は適用可能である。
(19)上記した実施形態では、液晶表示装置(液晶パネルやバックライト装置)の平面形状が縦長の長方形とされる場合を示したが、液晶表示装置の平面形状が横長の長方形、正方形、円形、半円形、長円形、楕円形、台形などであっても構わない。
(20)上記した各実施形態では、一対の基板間に液晶層が挟持された構成とされた液晶パネルについて例示したが、一対の基板間に液晶材料以外の機能性有機分子を挟持した表示パネルについても本発明は適用可能である。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記した各実施形態では、成膜範囲規制凹状部が横断する対象となる「配線」の一例としてタッチ電極に接続されるタッチ配線を示したが、それ以外の配線を成膜範囲規制凹状部の横断対象とすることも可能である。例えば、タッチパネルパターンの一部として共通電極を利用しない構成の液晶パネルにおいて、共通電極を非分割構造とし、共通電極に表示用の基準電位を供給するための配線を第3金属膜により構成するとともに成膜範囲規制凹状部の横断対象としてもよい。その場合、液晶パネルにタッチパネル機能を併有させないようにしてもよい。
(2)上記した各実施形態では、表示領域とドライバとの間に介在する成膜範囲規制凹状部は、X軸方向に沿って途中で途切れることなく直線的に延在する構成を示したが、成膜範囲規制凹状部がX軸方向に沿って直線的に延在するものの途中で途切れる分割構造、とされていても構わない。また、成膜範囲規制凹状部は、必ずしもX軸方向に沿って直線的に延在していなくてもよく、平面形状が例えば波形やジグザグ状に蛇行していても構わない。
(3)上記した各実施形態では、タッチ引き出し配線が第2金属膜からなる場合を示したが、タッチ引き出し配線が第1金属膜からなる構成を採ることも可能である。
(4)上記した各実施形態では、画素電極が第1透明電極膜からなり、共通電極が第2透明電極膜からなる場合を示したが、積層関係を逆転させて、画素電極が第2透明電極膜からなり、共通電極が第1透明電極膜からなる構成を採ることも可能である。
(5)上記した実施形態1では、下層側層間絶縁膜及び上層側層間絶縁膜に成膜範囲規制凹状部を設けた構成において、平坦化膜に第2の成膜範囲規制凹状部が設けられた構成を示したが、第2の成膜範囲規制凹状部を省略することも可能である。
(6)上記した実施形態1では、下層側成膜範囲規制凹状部と上層側成膜範囲規制凹状部との幅寸法が同一とされた場合を示したが、下層側成膜範囲規制凹状部と上層側成膜範囲規制凹状部との幅寸法を異ならせることも可能である。
(7)上記した実施形態1では、下層側層間絶縁膜及び上層側層間絶縁膜に成膜範囲規制凹状部を設けた構成において、第1配線保護部及び第2配線保護部を設けるようにした場合を示したが、第1配線保護部及び第2配線保護部のいずれか一方または両方を省略することも可能である。
(8)上記した実施形態2では、上層側層間絶縁膜のみに選択的に成膜範囲規制凹状を設けるようにした場合を示したが、下層側層間絶縁膜のみに成膜範囲規制凹状を選択的に設けることも可能である。
(9)上記した実施形態2では、第1透明電極膜からなる第1重畳部と、第2透明電極膜からなる第2重畳部と、を設けるようにした場合を示したが、第1重畳部及び第2重畳部のうちのいずれか一方または両方を省略することも可能である。
(10)上記した各実施形態では、成膜範囲規制凹状部のY軸方向についての並び数が3つとされた場合を示したが、同並び数は、1つ、2つまたは4つ以上に変更することも可能である。
(11)上記した各実施形態では、平坦化膜が有機材料からなる単層膜とされた場合を示したが、平坦化膜が有機材料と無機材料との積層膜とされても構わない。
(12)上記した各実施形態では、配向膜がインクジェット装置により塗布される場合を例示したが、それ以外にも例えば配向膜が印刷装置を用いて塗布されても構わない。いずれにしても配向膜の材料は、塗布時には高い流動性を有しているので、成膜範囲を規制することが求められる傾向にある。
(13)上記した各実施形態では、共通電極の画素重畳開口部が2本とされる場合を例示したが、画素重畳開口部の設置本数は1本または3本以上に適宜に変更可能である。また、画素重畳開口部の具体的な平面形状についても図示以外に適宜に変更可能である。また、画素重畳開口部は、共通電極ではなく、画素電極に設けられていても構わない。
(14)上記した各実施形態以外にも、表示領域における画素部に係る具体的な構成やタッチ電極に対するタッチ配線の接続構造などは、適宜に変更可能である。
(15)上記した各実施形態では、遮光部がCF基板側に設けられた場合を示したが、遮光部がアレイ基板側に設けられていても構わない。
(16)上記した各実施形態以外にも、TFTのチャネル部を構成する半導体膜の材料は、アモルファスシリコンやポリシリコンなどであっても構わない。半導体膜の材料をポリシリコンとする場合は、TFTをボトムゲート型とするのが好ましい。
(17)上記した各実施形態では、タッチパネルパターンが自己容量方式とされる場合を示したが、タッチパネルパターンが相互容量方式であっても構わない。
(18)上記した各実施形態では、透過型の液晶パネルを例示したが、反射型の液晶パネルや半透過型の液晶パネルであっても本発明は適用可能である。
(19)上記した実施形態では、液晶表示装置(液晶パネルやバックライト装置)の平面形状が縦長の長方形とされる場合を示したが、液晶表示装置の平面形状が横長の長方形、正方形、円形、半円形、長円形、楕円形、台形などであっても構わない。
(20)上記した各実施形態では、一対の基板間に液晶層が挟持された構成とされた液晶パネルについて例示したが、一対の基板間に液晶材料以外の機能性有機分子を挟持した表示パネルについても本発明は適用可能である。
10…液晶パネル(表示装置)、10a…CF基板(対向基板)、10b,110b…アレイ基板(表示基板)、10d…シール部、10n,110n…配向膜、10GS…ガラス基板(基板)、10IS…内部空間、14…タッチ電極(位置検出電極)、15,115…タッチ配線(配線、位置検出配線)、16…第1金属膜(下層側金属膜)、19…第2金属膜(下層側金属膜)、20,120…平坦化膜(第1絶縁膜)、21,121…第3金属膜(金属膜)、22,122…下層側層間絶縁膜(第2絶縁膜、下層側第2絶縁膜)、23,123…第1透明電極膜、24,124…上層側層間絶縁膜(第2絶縁膜、上層側第2絶縁膜)、25,125…第2透明電極膜、28…タッチ引き出し配線(引き出し配線)、29…コンタクトホール、30,130…成膜範囲規制凹状部、30a…第1成膜範囲規制凹状部、30b…第2成膜範囲規制凹状部、31…第1配線保護部、32…第2配線保護部、33…第2の成膜範囲規制凹状部、34…第1重畳部、35…第2重畳部、AA…表示領域、NAA…非表示領域
Claims (11)
- 画像を表示可能な表示領域と前記表示領域を取り囲む形で外周側に配される非表示領域とに区分される基板と、
前記基板の前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で配される第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜の上層側にて前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で配される金属膜と、
前記金属膜の上層側にて前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で配されるとともに膜厚が前記第1絶縁膜よりも小さい第2絶縁膜と、
前記第2絶縁膜よりも上層側にて少なくとも前記表示領域に配される配向膜と、
前記金属膜からなり、前記表示領域と前記非表示領域とに跨る形で延在する配線と、
前記非表示領域に配されて前記配線を横切る形で延在し、前記第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で設けられて前記配向膜の成膜範囲を規制する成膜範囲規制凹状部と、を備える表示基板。 - 前記第2絶縁膜は、相対的に下層側に配される下層側第2絶縁膜と、相対的に上層側に配される上層側第2絶縁膜と、からなり、
前記成膜範囲規制凹状部は、少なくとも上層側第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で設けられている請求項1記載の表示基板。 - 前記成膜範囲規制凹状部は、前記下層側第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で設けられる下層側成膜範囲規制凹状部と、前記上層側第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で設けられる上層側成膜範囲規制凹状部と、からなる請求項2記載の表示基板。
- 前記下層側成膜範囲規制凹状部は、前記下層側第2絶縁膜を貫通する形で設けられており、
前記第1絶縁膜のうち、前記配線とは非重畳となり且つ前記下層側成膜範囲規制凹状部と重畳する部分には、前記成膜範囲規制凹状部に並行する形で延在して前記配向膜の成膜範囲を規制する第2の成膜範囲規制凹状部が設けられている請求項3記載の表示基板。 - 前記下層側成膜範囲規制凹状部及び前記上層側成膜範囲規制凹状部は、前記下層側第2絶縁膜及び前記上層側第2絶縁膜をそれぞれ貫通する形で設けられており、
前記下層側第2絶縁膜と前記上層側第2絶縁膜との間に介在する形で配される第1透明電極膜と、
前記上層側第2絶縁膜の上層側に配される第2透明電極膜と、
前記第1透明電極膜からなり少なくとも一部が前記配線と重畳する形で配されて前記下層側成膜範囲規制凹状部を通して前記配線に接続される第1配線保護部と、
前記第2透明電極膜からなり少なくとも一部が前記配線及び前記第1配線保護部と重畳する形で配されて前記上層側成膜範囲規制凹状部を通して前記第1配線保護部に接続される第2配線保護部と、を備える請求項3または請求項4記載の表示基板。 - 前記成膜範囲規制凹状部は、前記上層側第2絶縁膜を部分的に凹ませる形で選択的に設けられる請求項2記載の表示基板。
- 前記下層側第2絶縁膜と前記上層側第2絶縁膜との間に介在する形で配される第1透明電極膜と、
前記上層側第2絶縁膜の上層側に配される第2透明電極膜と、
前記第1透明電極膜からなり少なくとも一部が前記成膜範囲規制凹状部と重畳する形で配される第1重畳部と、
前記第2透明電極膜からなり少なくとも一部が前記成膜範囲規制凹状部と重畳する形で配される第2重畳部と、を備える請求項6記載の表示基板。 - 前記下層側第2絶縁膜と前記上層側第2絶縁膜との間に介在する形で配される第1透明電極膜と、
前記上層側第2絶縁膜の上層側に配される第2透明電極膜と、
前記第1透明電極膜または前記第2透明電極膜からなり、位置入力を行う位置入力体との間で静電容量を形成し、前記位置入力体による入力位置を検出する位置検出電極と、を備えており、
前記配線は、前記位置検出電極に接続される位置検出配線とされる請求項2から請求項7のいずれか1項に記載の表示基板。 - 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の表示基板と、前記表示基板との間に内部空間を有する形で対向状に配される対向基板と、を備える表示装置。
- 前記表示基板と前記対向基板との間に介在し、前記内部空間を取り囲む形で前記非表示領域に配されて前記内部空間を封止するシール部を備えており、
前記成膜範囲規制凹状部は、前記シール部と重畳するとともに前記シール部の外周端部よりも前記内部空間寄りとなる位置に配されている請求項9記載の表示装置。 - 前記第1絶縁膜よりも下層側に配される下層側金属膜と、
前記非表示領域において前記シール部に対して前記内部空間側とは反対側に配されて前記下層側金属膜からなり一部が前記配線と重畳する引き出し配線と、を備えており、
前記第1絶縁膜のうち、前記配線と前記引き出し配線との重畳箇所には、コンタクトホールが開口形成されている請求項10記載の表示装置。
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