WO2018135026A1

WO2018135026A1 - 光源用窓部材

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Publication number: WO2018135026A1
Application number: PCT/JP2017/030164
Authority: WO
Inventors: 雄一郎長峰; 和幸能登
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2017-01-23
Filing date: 2017-08-23
Publication date: 2018-07-26
Anticipated expiration: 2019-07-23
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Abstract

光源用窓部材（１）は、光源から照射光を照射するための光源用窓部材（１）であって、長手方向（Ｙ軸方向）に延在するとともに光源を内部に収容可能な管状側壁部材（１０）と、管状側壁部材（１０）の少なくとも１つの面（１２）に設けられた照射窓領域とを備え、照射窓領域は、人工水晶からなる。

Description

光源用窓部材

　本発明は、光源用窓部材に関する。

　半導体ウェハや基板などの被処理物の表面を洗浄するプロセス等において、被処理物に対して所定の波長を有する照射光（例えば紫外光）を照射することが知られている。例えば、特許文献１には、エキシマ放電ランプを封入する円柱状の容器において、人工水晶又は無色透明な天然水晶からなる透明な円形状の平板の蓋部材を採用することが開示されている。

特開２０１４－１８６８８７号公報

　しかしながら、光源の照射光を照射する光源用窓部材においては、照射光の光透過効率の向上が要求されるところ、特許文献１では窓部材の領域が小さいため、十分な光透過効率を得ることができない場合があった。

　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、光透過効率を向上させることができる光源用窓部材を提供することを目的とする。

　本発明の一側面に係る光源用窓部材は、光源から照射光を照射するための光源用窓部材であって、長手方向に延在するとともに光源を内部に収容可能な管状側壁部材と、管状側壁部材の少なくとも１つの面に設けられた照射窓領域とを備え、照射窓領域は、人工水晶からなる。

　上記態様によれば、照射窓領域が人工水晶からなり、かつ管状側壁部材の長手方向の少なくとも１つの面に設けられているため、広範囲でかつ透過性良く光照射を行うことができる。したがって、光透過率を向上させることができる光源用窓部材を提供することができる。

　本発明によれば、光透過効率を向上させることができる光源用窓部材を提供することができる。

図１は、第１実施形態に係る光源用窓部材の斜視図である。図２は、第１実施形態に係る光源用窓部材の断面図である。図３は、第１実施形態に係る光源用窓部材の板状部材の変形例を説明するための図である。図４は、第１実施形態に係る光源用窓部材の板状部材の変形例を説明するための図である。図５は、第２実施形態に係る光源用窓部材の断面図である。図６は、第３実施形態に係る光源用窓部材の断面図である。図７は、第４実施形態に係る光源用窓部材の断面図である。図８は、第５実施形態に係る光源用窓部材の板状部材を示す図である。図９は、第６実施形態に係る光源用窓部材の板状部材を示す図である。図１０は、第７実施形態に係る光源用窓部材の板状部材を示す図である。

　以下に本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の構成要素は同一又は類似の符号で表している。図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施形態に限定して解するべきではない。

［第１実施形態］
　図１及び図２を参照しつつ、本発明の第１実施形態に係る光源用窓部材について説明する。図１は光源用窓部材の斜視図である。図２は図１の長手方向（Ｙ軸方向）に直交する方向の断面図である。なお、図１及び図２におけるＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、それぞれ互いに直交する。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の関係は後述する他の図面においても同様である。

　図１に示すように、光源用窓部材１は、光源（図示しない。以下同じ。）から照射光を照射するためのものである。光源用窓部材１は、長手方向（Ｙ軸方向）に延在する管状側壁部材１０と、管状側壁部材１０の少なくとも１つの面（図１では板状部材１２）に設けられ、かつ光源からの照射光を照射する照射窓領域とを有する。

　本実施形態において、光源は特に限定されるものではないが、例えばランプ（例えば水銀ランプ）やＬＥＤ等を用いることができる。光源の照射光は、その用途に応じて適宜様々であるが、例えば、紫外光（例えば波長４００ｎｍ以下）や深紫外光（例えば波長１５０ｎｍ以上２００ｎｍ以下）が挙げられる。本実施形態に係る光源用窓部材は、例えば、波長１４０ｎｍ以上４００ｎｍ以下の照射光に適用可能である。光源用窓部材１を用いた照射光の用途は、例えば、電子部品などの接着やレジスト硬化などのキュアリング（光硬化）、半導体などの回路パターン形成のための露光、ワーク表面の物性を変化させる表面改質、又は、ワーク表面に付着した有機物を除去するなどの光洗浄などが挙げられる。

　管状側壁部材１０は、光源を内部空間１１に収容可能な形状を有する。これにより、長手方向に延在する形状の光源を内部空間１１に収容するとともに、ワーク表面に対して、長手方向に延在する一体的な領域に照射光を照射することができる。

　管状側壁部材１０は、板状部材１２，１４，１６を有する。図示する例では、板状部材１２，１４，１６の形状はいずれも同一である。具体的には、板状部材１２，１４，１６は、長手方向（Ｙ軸方向）の長さＬ、短手方向（Ｘ軸方向）の幅Ｗ、及び厚さ方向（Ｚ軸方向）の厚さＴがいずれも同一となっている。本実施形態では、板状部材１２，１４，１６が短手方向に相互に接合されて、多角柱状（具体的には三角柱状）の管状側壁部材１０が形成されている。板状部材１２，１４，１６の各接合部１３，１５，１７の接合手段は、例えば、ろう材などの金属接合、ガラス接着、樹脂接着又はシロキサン結合などを適用することができる。

　板状部材１２，１４，１６は例えばいずれも人工水晶からなる。人工水晶は、他の材料（例えば合成石英ガラス）に比べて、広い波長の範囲で高い透過率を有しているため、光源からの照射光を透過する照射窓領域として好適に機能する。図２に示す例では、板状部材１２，１４，１６は、光源側の内面１２ａ，１４ａ，１６ａと、光源とは反対側の外面１２ｂ，１４ｂ，１６ｂとを有し、板状部材１４，１６の各内面１４ａ，１６ａに反射部材１８ａ，１８ｂが設けられている。反射部材１８ａ，１８ｂは、光源の照射光を反射するよう構成され、これにより板状部材１２では、光源からの照射光と、反射部材１８ａ，１８ｂによって反射した照射光とが透過され、より効果的に光照射を行うことができる。

　反射部材１８ａ，１８ｂは、例えば、紫外線散乱粒子として機能するシリカ粒子を含む反射膜である。このような反射膜は例えば化学蒸着法により、板状部材１４，１６の内面１４ａ，１６ａに容易に設けることができる。反射膜にアルミナ粒子などの他の金属を含有させてもよい。反射膜の反射強度は、シリカ粒子の粒子形状やその大きさ、他の金属の含有比率などによって適宜調整することができる。

　本実施形態では、板状部材１２はその全体が照射窓領域となっている。言い換えると、照射窓領域は、板状部材１２の長手方向における両端に至るまで延在し、かつ板状部材１２の短手方向における両端に至るまで延在している。すなわち、照射窓領域は、長手方向の長さＬ及び短手方向の幅Ｗを有する。

　板状部材１２の人工水晶の結晶軸は、図１及び図２のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸と一致している。すなわち、板状部材１２は、人工水晶の結晶軸のＸ軸及びＹ軸に平行な主面を有し、人工水晶の結晶軸のＺ軸に従って照射光を照射する。なお、人工水晶の結晶軸のＸ軸及びＹ軸のうち、Ｘ軸が長手方向であってもよいし、あるいはＹ軸が長手方向であってもよい。

　板状部材１２，１４，１６はいずれも平板である。すなわち、板状部材１２，１４，１６の内面１２ａ，１４ａ，１６ａ及び外面１２ｂ，１４ｂ，１６ｂはいずれも実質的に平面である。

　本実施形態では、板状部材１２，１４，１６がいずれも人工水晶であるため、それぞれをシロキサン結合により接合することができる。すなわち、板状部材１２，１４，１６同士を直接接合することができる。具体的には、板状部材の接合面を鏡面研磨して親水化させ、水晶板のＳｉにＯＨ基を結合させる。そして、水晶板の接合面同士を接触させて仮接合してＯＨ基と結合させ、水晶の転移点温度未満の温度（例えば３００℃）で加熱し、Ｈ₂Ｏを脱水してＳｉ－Ｏ－Ｓｉ（シロキサン）結合とする。こうした接合手段によれば、原子間レベルでの接合を行うことができ、板状部材１２，１４，１６同士を強固に接合することができる。

　以上のとおり、本実施形態によれば、照射窓領域が人工水晶からなり、かつ管状側壁部材１０の長手方向の少なくとも１つの面に設けられているため、広範囲でかつ透過性良く光照射を行うことができる。したがって、光透過率を向上させることができる光源用窓部材を提供することができる。

　なお、本実施形態に係る光源用窓部材と光源とを備えた照射装置を構成することができる。本実施形態に係る照射装置は、光源が紫外光を照射する紫外光装置（例えば深紫外光装置）であってもよい。

　（変形例）
　図３及び図４は本実施形態の変形例を示す図である。図３及び図４では、照射窓領域を有する板状部材の構成が、図１及び図２と異なっている。以下に示す変形例は、図１及び図２の板状部材１２に代えて適用することができる。

　図３に示す変形例では、照射窓領域２３は、板状部材２２の長手方向における両端に至るまで延在し、かつ板状部材２２の短手方向における端部から距離を空けている。すなわち、照射窓領域２３の短手方向の幅Ｗ１とし、板状部材２２の短手方向の幅Ｗとしたとき、Ｗ１＜Ｗの関係を有している。そして、照射窓領域２３の短手方向の一方側及び他方側にはそれぞれ領域２４，２５が設けられている。言い換えれば、照射窓領域２３は、領域２４と領域２５との間に設けられている。

　本変形例では、少なくとも照射窓領域２３が人工水晶からなる。本変形例においても、照射窓領域２３を管状側壁部材の長手方向に延在して設けることができるため、光透過率を向上させることができる。

　なお、図３では、照射窓領域２３は、板状部材２２における短手方向の一方側及び他方側の両端部から距離を空けているが、板状部材２２における短手方向のいずれか１つの端部のみから距離を空けていてもよい。

　図４に示す変形例では、照射窓領域３３は、板状部材３２の短手方向における両端に至るまで延在し、かつ板状部材３２の長手方向における端部から距離を空けている。すなわち、照射窓領域３３の長手方向の長さＬ１とし、板状部材３２の長手方向の長さＬとしたとき、Ｌ１＜Ｌの関係を有している。この場合、例えば、Ｌ１＜０．５×Ｌの関係を有していることが好ましい。また、板状部材３２の短手方向の幅Ｗとしたとき、Ｌ１＞Ｗの関係を有していることが好ましい。そして、照射窓領域３３の長手方向の一方側及び他方側にはそれぞれ領域３４，３５が設けられている。言い換えれば、照射窓領域３３は、領域３４と３５との間に設けられている。

　本変形例では、少なくとも照射窓領域３３が人工水晶からなる。本変形例においても、照射窓領域３３を管状側壁部材の長手方向に延在して設けることができるため、光透過率を向上させることができる。

　なお、図４では、照射窓領域３３は、板状部材３２における長手方向の一方側及び他方側の両端部から距離を空けているが、板状部材３２における長手方向のいずれか１つの端部のみから距離を空けていてもよい。

　上記実施形態では、板状部材１４，１６に反射部材１８ａ，１８ｂを設ける例を説明したが、変形例として反射部材を設けなくてもよい。この場合、板状部材１２，１４，１６を人工水晶で形成することにより、管状側壁部材１０の全ての面を照射窓領域とすることができる。

　また、上記実施形態では、板状部材１２，１４，１６が人工水晶からなる例を説明したが、照射窓領域を有する板状部材１２を除く、板状部材１４，１６の少なくとも１つを石英ガラス又は金属などの人工水晶とは異なる材質により構成してもよい。この場合、板状部材１４，１６は光源の光を実質的に透過しない又は反射する材質を用いてもよい。

［第２実施形態］
　図５を参照しつつ、本発明の第２実施形態に係る光源用窓部材について説明する。図５は光源用窓部材の断面図である。以下の説明では、第１実施形態と異なる点について説明する（第３実施形態以降の他の実施形態についても同様である。）。

　図５に示すように、本実施形態の光源用窓部材４は、第１実施形態とは管状側壁部材の形状が異なっている。光源用窓部材４は、管状側壁部材４０と、管状側壁部材４０の少なくとも１つの面（図５では板状部材４２）に設けられ、かつ光源からの照射光を照射する照射窓領域とを有する。管状側壁部材４０は、長手方向に延在する形状の光源を内部空間４１に収容可能である。

　管状側壁部材４０は、４つの板状部材４２，４３，４４，４５を有する。板状部材４２，４３，４４，４５は、長手方向（Ｙ軸方向）を有し、短手方向（Ｘ軸方向）に相互に接合されて、四角柱状の管状側壁部材４０が形成されている。照射窓領域を有する板状部材４２の短手方向の幅Ｗと、板状部材４２に対向する板状部材４５の短手方向の幅Ｗ２は、Ｗ＞Ｗ２の関係を有する。このように図５に示す例では、管状側壁部材４０の長手方向に垂直な方向の断面は台形状となっており、台形の面積が大きい主面を有する板状部材４２が照射窓領域を有している。

　図５に示す例では、板状部材４２，４３，４４，４５はいずれも人工水晶からなる。あるいは、既に説明したとおり、変形例として、照射窓領域を有する板状部材４２を除く、板状部材４３，４４，４５の少なくとも１つを石英ガラス又は金属などの人工水晶とは異なる材質により構成してもよい。

　図５に示す例では、板状部材４２，４３，４４，４５は、光源側の内面４２ａ，４３ａ，４４ａ，４５ａと、光源とは反対側の外面４２ｂ，４３ｂ，４４ｂ，４５ｂとを有し、板状部材４３，４４，４５の各内面４３ａ，４４ａ，４５ａに反射部材４８ａ，４８ｂ，４８ｃが設けられている。これによって、反射部材４８ａ，４８ｂ，４８ｃによって反射した照射光も板状部材４２に透過させることができる。

　なお、板状部材の個数は５以上であってもよく、管状側壁部材は板状部材の個数に応じた多角柱状をなしていてもよい。

［第３実施形態］
　図６を参照しつつ、本発明の第３実施形態に係る光源用窓部材について説明する。図６は光源用窓部材の断面図である。

　図６に示すように、本実施形態の光源用窓部材５は、第１実施形態とは管状側壁部材の形状が異なっている。光源用窓部材５は、管状側壁部材５０と、管状側壁部材５０の少なくとも１つの面（図６では板状部材５２）に設けられ、かつ光源からの照射光を照射する照射窓領域とを有する。管状側壁部材５０は、長手方向に延在する形状の光源を内部空間５１に収容可能である。

　管状側壁部材５０は、円柱状の板状部材５２からなる。また、板状部材５２は人工水晶からなる。

　図６に示す例では、板状部材５２は、光源側の内面５２ａと、光源とは反対側の外面５２ｂとを有する。内面５２ａ及び外面５２ｂはいずれも曲面である。そして、内面５２ａにおける長手方向を軸とする軸周りの一部（図６ではＺ軸正方向側の半円部分）には、反射部材５８が設けられている。これによって、反射部材５８によって反射した照射光も板状部材５２における長手方向を軸とする軸回り他の一部に透過させることができる。

［第４実施形態］
　図７を参照しつつ、本発明の第４実施形態に係る光源用窓部材について説明する。図７は光源用窓部材の断面図である。

　図７に示すように、本実施形態の光源用窓部材６は、第１実施形態とは管状側壁部材の形状が異なっている。光源用窓部材６は、管状側壁部材６０と、管状側壁部材６０の少なくとも１つの面（図７では板状部材６２）に設けられ、かつ光源からの照射光を照射する照射窓領域とを有する。管状側壁部材６０は、長手方向に延在する形状の光源を内部空間６１に収容可能である。

　管状側壁部材６０は、平板の板状部材６２と、曲面板の板状部材６３とを有する。板状部材６２は、平面からなる内面６２ａ及び外面６２ｂを有し、板状部材６３は、曲面からなる内面６３ａ及び外面６３ｂを有する。板状部材６３は、板状部材６２に対向する内面６３ａが凹面となっており、外面６３ｂが凸面となっている。板状部材６２，６３は、長手方向（Ｙ軸方向）を有し、短手方向（Ｘ軸方向）に相互に接合されて、半円柱状の管状側壁部材６０が形成されている。

　図７に示す例では、板状部材６２，６３はいずれも人工水晶からなる。あるいは、既に説明したとおり、変形例として、照射窓領域を有する板状部材６２を除く、板状部材６３を石英ガラス又は金属などの人工水晶とは異なる材質により構成してもよい。

　図７に示す例では、板状部材６３の内面６３ａに反射部材６８が設けられている。これによって、反射部材６８によって反射した照射光も板状部材６２に透過させることができる。

　本実施形態に係る光源用窓部材６は、管状側壁部材６０が平板と曲面板との組み合わせによって形成された柱状をなしていてもよい。なお、この場合の管状側壁部材６０の形状は、図７に限定されるものではなく、例えば１つの板状部材６２に代えて、２以上の平板からなる板状部材を適用してもよい。

［第５実施形態］
　図８を参照しつつ、本発明の第５実施形態に係る光源用窓部材について説明する。図８は光源用窓部材の板状部材を示す図である。

　図８に示すように、本実施形態の光源用窓部材は、第１実施形態とは、照射窓領域を有する板状部材の構成が異なっている。本実施形態に係る光源用窓部材の管状側壁部材は、照射窓領域を有する板状部材７２を有し、板状部材７２は凹凸板から構成されている。

　具体的には、板状部材７２は、厚さ方向（Ｚ軸方向）から見た平面視において、長手方向の両端部から離れた第１部分７３と、第１部分７３における長手方向の一方側に隣接した第２部分７４と、第１部分７３における長手方向の他方側に隣接した第３部分７５とを有する。板状部材７２の長手方向（Ｙ軸方向）の長さＬとし、第１部分７３の長手方向（Ｙ軸方向）の長さＬ２としたとき、Ｌ２＜Ｌの関係を有する。第１部分７３の厚さＴ１と、第２部分７４及び第３部分７５の各厚さＴとは、Ｔ１＞Ｔの関係を有する。すなわち、板状部材７２は、厚さ方向（Ｚ軸方向）から見た平面視において、第１部分７３である中央部分が、第２部分７４及び第３部分７５である周縁部分よりも厚い構造を有する。言い換えれば、板状部材７２はメサ構造をなしている。

　本実施形態においても、板状部材７２は人工水晶からなる。人工水晶の水晶板にエッチング加工を施すことにより、このような凹凸板として形成することができる。

　なお、図８に示す例とは別に、第２部分７４及び第３部分７５の厚さ方向（Ｚ軸方向）の厚さＴを、第１部分７３の厚さ方向（Ｚ軸方向）の厚さＴ１よりも厚くしてもよい。すなわち、板状部材７２は、厚さ方向（Ｚ軸方向）から見た平面視において、第１部分７３である中央部分が、第２部分７４及び第３部分７５である周縁部分よりも薄い構造を有してもよい。言い換えれば、板状部材７２は逆メサ構造をなしていてもよい。

　また、図８に示す例では長手方向において板状部材７２の厚さが異なる態様を説明したが、長手方向に厚さが異なる態様に代えて、またはその態様とともに、短手方向に厚さが異なる態様を適用してもよい。

　また、図８に示す例では、板状部材７２の内面及び外面の両面において凹凸形状を有する態様を説明したが、いずれか一方面において凹凸形状を有し、他方面は平面であってもよい。

［第６実施形態］
　図９を参照しつつ、本発明の第６実施形態に係る光源用窓部材について説明する。図９は光源用窓部材の板状部材を示す図である。

　図９に示すように、本実施形態の光源用窓部材は、第１実施形態とは、照射窓領域を有する板状部材の構成が異なっている。本実施形態に係る光源用窓部材の管状側壁部材は、照射窓領域を有する板状部材８２を有し、板状部材８２は曲面板から構成されている。すなわち、板状部材８２の少なくとも１つの主面は実質的に曲面となっている。

　具体的には、板状部材８２は、厚さ方向（Ｚ軸方向）の厚さが長手方向において連続的に変化する形状を有している。この場合、板状部材８２は、光源側の内面８３及び光源とは反対の外面８４がいずれも凸面となっており、厚さ方向（Ｚ軸方向）から見た平面視の中央部分において厚く形成され、周縁部分に近づくにつれて連続的に薄く形成されている。言い換えれば、板状部材８２はコンベックス形状又はべベル形状を有する。

　なお、図９に示す例では、板状部材８２の内面８３及び外面８４において曲面を有する態様を説明したが、いずれか一方面において曲面を有し、他方面は平面であってもよい。

［第７実施形態］
　図１０を参照しつつ、本発明の第７実施形態に係る光源用窓部材について説明する。図１０は光源用窓部材の板状部材を示す図である。

　図１０に示すように、本実施形態の光源用窓部材は、第１実施形態とは、照射窓領域を有する板状部材の構成が異なっている。本実施形態に係る光源用窓部材の管状側壁部材は、照射窓領域を有する板状部材９２を有し、板状部材９２は曲面板から構成されている。すなわち、板状部材９２の少なくとも１つの主面は実質的に曲面となっている。

　具体的には、板状部材９２は、厚さ方向（Ｚ軸方向）の厚さが長手方向において連続的に変化する形状を有している。この場合、板状部材９２は、光源側の内面９３及び光源とは反対の外面９４がいずれも凹面となっており、厚さ方向（Ｚ軸方向）から見た平面視の中央部分において薄く形成され、周縁部分に近づくにつれて連続的に厚く形成されている。

　なお、図１０に示す例では、板状部材９２の内面９３及び外面９４において曲面を有する態様を説明したが、いずれか一方面において曲面を有し、他方面は平面であってもよい。

　また、図９及び図１０を組み合わせて適用してもよい。すなわち、板状部材のいずれか一方面を凸面に形成し、他方面を凹面に形成してもよい。

　以上のとおり、本発明の各実施形態に係る光源用窓部材は、上述したいずれか１つ又は複数の組み合わせによる以下の構成及び作用効果を有する。

　本実施形態に係る光源用窓部材は、光源から照射光を照射するための光源用窓部材であって、長手方向に延在するとともに光源を内部に収容可能な管状側壁部材と、管状側壁部材の少なくとも１つの面に設けられた照射窓領域とを備え、照射窓領域は、人工水晶からなる。

　これによれば、照射窓領域が人工水晶からなり、かつ管状側壁部材の長手方向の少なくとも１つの面に設けられているため、広範囲でかつ透過性良く光照射を行うことができる。したがって、光透過率を向上させることができる光源用窓部材を提供することができる。

　上記構成において、管状側壁部材は、長手方向に延在する板状部材を有し、照射窓領域は、板状部材に設けられてもよい。

　上記構成において、板状部材は、平板、凹凸板又は曲面板から構成されてもよい。

　上記構成において、照射窓領域は、板状部材の長手方向における一端又は両端に至るまで延在していてもよい。

　上記構成において、照射窓領域は、板状部材の長手方向に直交する短手方向における一端又は両端に至るまで延在していてもよい。

　上記構成において、管状側壁部材は、多角柱状をなしていてもよい。

　上記構成において、管状側壁部材は、円柱状をなしていてもよい。

　上記構成において、管状側壁部材は、人工水晶、石英ガラス及び金属のうち少なくとも１つ以上からなるものであってもよい。

　上記構成において、管状側壁部材の内面に設けられ、光源からの照射光を反射する反射部材をさらに備えていてもよい。

　上記構成において、光源はランプであってもよい。

　なお、以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素及びその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。

　１…光源用窓部材　１０…管状側壁部材　１２，１４，１６…板状部材
　１８ａ，１８ｂ…反射部材　　２２，３２…板状部材　２３，３３…照射窓領域

Claims

　光源から照射光を照射するための光源用窓部材であって、
　長手方向に延在するとともに光源を内部に収容可能な管状側壁部材と、
　前記管状側壁部材の少なくとも１つの面に設けられた照射窓領域と
を備え、
　前記照射窓領域は、人工水晶からなる、光源用窓部材。
　前記管状側壁部材は、前記長手方向に延在する板状部材を有し、
　前記照射窓領域は、前記板状部材に設けられた、請求項１記載の光源用窓部材。
　前記板状部材は、平板、凹凸板又は曲面板から構成された、請求項２記載の光源用窓部材。
　前記照射窓領域は、前記板状部材の前記長手方向における一端又は両端に至るまで延在している、請求項２又は３に記載の光源用窓部材。
　前記照射窓領域は、前記板状部材の前記長手方向に直交する短手方向における一端又は両端に至るまで延在している、請求項２から４のいずれか一項に記載の光源用窓部材。
　前記管状側壁部材は、多角柱状をなしている、請求項１から５のいずれか一項に記載の光源用窓部材。
　前記管状側壁部材は、円柱状をなしている、請求項１から５のいずれか一項に記載の光源用窓部材。
　前記管状側壁部材は、人工水晶、石英ガラス及び金属のうち少なくとも１つ以上からなる、請求項１から７のいずれか一項に記載の光源用窓部材。
　前記管状側壁部材の内面に設けられ、前記光源からの照射光を反射する反射部材をさらに備える、請求項１から８のいずれか一項に記載の光源用窓部材。
　前記光源はランプである、請求項１から９のいずれか一項に記載の光源用窓部材。