JP2006252646A

JP2006252646A - Optical recording / reproducing apparatus, optical head used therefor, and method of manufacturing the same

Info

Publication number: JP2006252646A
Application number: JP2005066467A
Authority: JP
Inventors: Masatoshi Kanamaru; 昌敏金丸; Masaya Horino; 正也堀野; Katsuhiko Kimura; 勝彦木村; Takeshi Shimano; 健島野
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2005-03-10
Filing date: 2005-03-10
Publication date: 2006-09-21

Abstract

【課題】光記録再生装置において、小型、安価で、高精度位置決めを可能として高記録密度化が図れるようにすること。
【解決手段】光記録再生装置５０は、レーザ光線を用いて記録媒体５１に情報を記憶しまたは記録媒体５１の情報を再生するものであり、レーザ光線を絞る微小レンズ６を搭載した光ヘッド５２と、光ヘッド５２を支持したヘッド支持機構５３と、光ヘッド５２を記録媒体５１の径方向に移動するようにヘッド支持機構５３を駆動する駆動装置５４とを備える。光ヘッド５２は、ヘッド支持機構５３に対して支持された周辺基板部１８とこの周辺基板部１８の中央に変位可能に支持されたレンズ搭載基板部１９とからなる基板と、レンズ搭載基板部１９に搭載された微小レンズ６と、レンズ搭載基板部１９を駆動する微動アクチュエータ３３とを備える。
【選択図】図２
In an optical recording / reproducing apparatus, it is possible to achieve high recording density by enabling high-precision positioning with a small size and low cost.
An optical recording / reproducing apparatus 50 stores information on a recording medium 51 using a laser beam or reproduces information on the recording medium 51, and has an optical head 52 equipped with a micro lens 6 for focusing the laser beam. A head support mechanism 53 that supports the optical head 52, and a drive device 54 that drives the head support mechanism 53 so as to move the optical head 52 in the radial direction of the recording medium 51. The optical head 52 includes a substrate composed of a peripheral substrate portion 18 supported by the head support mechanism 53 and a lens mounting substrate portion 19 that is supported at the center of the peripheral substrate portion 18 so as to be displaceable, and a lens mounting substrate portion 19. And a micro-movement actuator 33 that drives the lens mounting substrate section 19.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は、光記録再生装置並びにこれに用いる光ヘッド及びその製造方法に係り、特にレーザ光線を絞る微小レンズを基板に搭載して備える光記録再生装置並びにこれに用いる光ヘッド及びその製造方法に好適なものである。なお、本発明における光記録再生装置は、光記録媒体に情報を記録する光装置、光記録媒体に記録した情報を再生する光装置、記録及び再生の両方を行なう光装置を含むものである。 The present invention relates to an optical recording / reproducing apparatus, an optical head used therefor, and a method for manufacturing the same, and more particularly, to an optical recording / reproducing apparatus including a microlens for focusing a laser beam mounted on a substrate, an optical head used therefor, and a method for manufacturing the same. Is preferred. The optical recording / reproducing apparatus in the present invention includes an optical apparatus that records information on an optical recording medium, an optical apparatus that reproduces information recorded on the optical recording medium, and an optical apparatus that performs both recording and reproduction.

レーザ光線を用いてＣＤ（コンパクトディスク）やＤＶＤ（デジタルビデオディスク）の記録媒体に対して情報を記録したり記録媒体に記録した情報を再生したりする光記録再生装置は、その記憶密度をますます増加することが求められている。 Optical recording and playback devices that record information on CD (compact disc) and DVD (digital video disc) recording media using laser beams and reproduce information recorded on recording media increase the storage density. There is a need to increase.

高記録密度化を図るため、特開２０００−６７４５６号公報（特許文献１）に示された光記録再生装置が案出されている。 In order to increase the recording density, an optical recording / reproducing apparatus disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-67456 (Patent Document 1) has been devised.

この特許文献１の光磁気記録装置は、光ヘッドを構成する基板の一部に微小レンズを一体化して形成した光ヘッドを備えるものである。この光ヘッドは、その基板にシリコンを材料に用い、その基板に低温ドライエッチング法とウエットの等方性エッチング法を用いて半円状凹部を形成し、その半円状凹部に微小レンズを形成した後、その基板の裏面側からシリコンの異方性ウエットエッチング法を用いて斜面が存在する光路溝を形成して微小レンズを露出させたものである。この微小レンズは、半球状であり、レーザ光線を入射する側が半円状に形成され、レーザ光線を放射する側（光記録媒体への対向面側）が平面状に形成されている。 The magneto-optical recording apparatus disclosed in Patent Document 1 includes an optical head in which a microlens is formed integrally with a part of a substrate constituting the optical head. This optical head uses silicon as the substrate, forms a semicircular recess on the substrate using a low temperature dry etching method and a wet isotropic etching method, and forms a micro lens in the semicircular recess After that, an optical path groove having a slope is formed from the back surface side of the substrate by using an anisotropic wet etching method of silicon to expose the minute lens. This microlens is hemispherical, the laser beam incident side is formed in a semicircular shape, and the laser beam emitting side (the surface facing the optical recording medium) is formed in a flat shape.

また、この光記録再生装置は、微小レンズをマイクロミラーと共に光記録媒体の半径方向に移動させる走査系が設けられ、マイクロミラーで反射させたレーザ光線を微小レンズに入射して微小レンズを通して光記録媒体にレーザ光線を照射するようになっている。この走査系は、光ヘッド及びマイクロミラーを搭載したヘッドアームと、このヘッドアームを揺動させるボイスコイルモータとを備えて構成されている。そして、このマイクロミラーにはマイクロアクチュエータが接続されており、高精度で高速の走査を行なう場合には、マイクロミラーの傾きも変化させるようになっている。 In addition, this optical recording / reproducing apparatus is provided with a scanning system that moves the microlens together with the micromirror in the radial direction of the optical recording medium. The laser beam reflected by the micromirror is incident on the microlens and is recorded through the microlens. The medium is irradiated with a laser beam. The scanning system includes a head arm on which an optical head and a micromirror are mounted, and a voice coil motor that swings the head arm. A microactuator is connected to the micromirror, and the inclination of the micromirror is also changed when high-speed scanning is performed with high accuracy.

また、従来の光記録再生装置として、特開２０００−３５３３３４号公報（特許文献２）に示されたものがある。 Further, as a conventional optical recording / reproducing apparatus, there is one disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-353334 (Patent Document 2).

この光記録再生装置は、記録媒体を保持して平面運動させる媒体駆動機構と、光ヘッドと、この光ヘッドを保持するヘッドアームと、光ヘッドを記録媒体の平面運動方向と交差する方向に移動させるようにヘッドアームを駆動するアーム駆動機構とを有している。そして、光ヘッドは、記録媒体の記録膜に近接する位置に配設された固体浸レンズと、固体浸レンズの上側に配設されて光源からの記録再生光を固体浸レンズに集光させる対物レンズとを有して構成されている。さらには、光ヘッドとヘッドアームとの間に微動アクチュエータが設けられている。この微動アクチュエータは、ヘッドアームのサスペンション部と接合される第１基板に設けられた固定ブロックと可動ブロックとを有して構成されている。両ブロックは互いに平行に延びて対向する多数の平行平板を有している。これら平行平板間に電圧を印加することにより静電力を働かせ、固定ブロックに対して可動ブロックを平行平板と直角な方向に微動させて、細かな且つ高精度な移動制御を行なうようにしている。 The optical recording / reproducing apparatus includes a medium driving mechanism that holds a recording medium and moves in a plane, an optical head, a head arm that holds the optical head, and moves the optical head in a direction that intersects the plane movement direction of the recording medium. And an arm driving mechanism for driving the head arm. The optical head includes a solid immersion lens disposed at a position close to the recording film of the recording medium, and an objective disposed above the solid immersion lens for condensing recording / reproducing light from the light source onto the solid immersion lens. And a lens. Furthermore, a fine actuator is provided between the optical head and the head arm. The fine actuator includes a fixed block and a movable block provided on the first substrate joined to the suspension portion of the head arm. Both blocks have a large number of parallel flat plates extending parallel to each other and facing each other. By applying a voltage between these parallel plates, an electrostatic force is applied, and the movable block is finely moved in a direction perpendicular to the parallel plate with respect to the fixed block, so that fine and highly accurate movement control is performed.

特開２０００−６７４５６号公報JP 2000-67456 A 特開２０００−３５３３３４号公報JP 2000-353334 A

上述した特許文献１の光記録再生装置では、光ヘッドの位置決めはボイスコイルモータによってヘッドアーム及び光ヘッドを半径方向に移動制御することにより行なわれるが、これらによる位置決め精度は一般的に高いものではなく、高精度に位置決めすることが困難である。そこで、この特許文献１の光記録再生装置では、マイクロミラーにマイクロアクチュエータを接続し、このマイクロミラーの傾きを制御することにより、高精度で高速の走査を行なうようにしているが、マイクロミラーの傾きを高精度に制御することが難しいという問題があった。 In the optical recording / reproducing apparatus of Patent Document 1 described above, the optical head is positioned by controlling the movement of the head arm and the optical head in the radial direction by a voice coil motor. However, the positioning accuracy by these is generally not high. It is difficult to position with high accuracy. Therefore, in the optical recording / reproducing apparatus of Patent Document 1, a microactuator is connected to the micromirror, and the inclination of the micromirror is controlled to perform high-precision and high-speed scanning. There was a problem that it was difficult to control the tilt with high accuracy.

一方、上述した特許文献２の光記録再生装置では、微動アクチュエータにより光ヘッドを微動制御することにより、細かな且つ高精度な移動制御を行なうようにしているが、光ヘッド全体を移動制御する方式であるために、高精度に位置決めすることが難しいと共に、微動アクチュエータに大きな駆動力を必要してコストアップや大型化を招くという問題があった。 On the other hand, in the optical recording / reproducing apparatus of Patent Document 2 described above, fine and high-precision movement control is performed by finely controlling the optical head by a fine actuator. Therefore, it is difficult to position with high accuracy, and there is a problem that a large driving force is required for the fine actuator, resulting in an increase in cost and size.

本発明の目的は、小型、安価で、高精度位置決めを可能として高記録密度化が図れる光記録再生装置並びに光ヘッド及びその製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an optical recording / reproducing apparatus, an optical head, and a method for manufacturing the same, which are small and inexpensive, enable high-precision positioning and achieve high recording density.

前述の目的を達成するための本発明の第１の態様は、レーザ光線を絞る微小レンズを搭載した光ヘッドと、前記光ヘッドを支持したヘッド支持機構と、前記光ヘッドを記録媒体の径方向に移動するように前記ヘッド支持機構を駆動する駆動装置とを備え、前記レーザ光線を用いて前記記録媒体に情報を記憶しまたは前記記録媒体の情報を再生する光記録再生装置において、前記光ヘッドは、前記ヘッド支持機構に対して支持された周辺基板部とこの周辺基板部の中央に変位可能に支持されたレンズ搭載基板部とからなる基板と、前記レンズ搭載基板部に搭載された前記微小レンズと、前記レンズ搭載基板部を駆動する微動アクチュエータとを備えるものである。 The first aspect of the present invention for achieving the above-described object is that an optical head equipped with a microlens for focusing a laser beam, a head support mechanism for supporting the optical head, and the optical head in the radial direction of a recording medium. An optical recording / reproducing apparatus for storing information on the recording medium or reproducing information on the recording medium using the laser beam, and driving the head support mechanism so as to move to Is a substrate composed of a peripheral substrate portion supported with respect to the head support mechanism and a lens mounting substrate portion supported so as to be displaceable at the center of the peripheral substrate portion, and the micromount mounted on the lens mounting substrate portion. The lens includes a lens and a fine actuator that drives the lens mounting substrate.

係る本発明の第１の態様におけるより好ましい具体的構成例は次の通りである。
（１）請求項１に記載の光記録再生装置において、前記基板は、前記レンズ搭載基板部の周囲を取り囲むようにギャップを設けることにより前記周辺基板部の内側に前記レンズ搭載基板部を形成すると共に、前記レンズ搭載基板部を前記周辺基板部に可撓性を有する梁を介して支持したこと。
（２）前記微動アクチュエータとしてコイル及びこれに対向する永久磁石からなる電磁アクチュエータを用いたこと。
（３）前記レンズ搭載基板部に記録媒体側に開口しかつ開口部が内部より若干狭い半球状の凹部を設け、この凹部内に前記微小レンズを半球状に設けたこと。
（４）前記基板は前記レンズ搭載基板部、前記梁及び前記周辺基板部を同一部材で一体に形成したこと。
（５）前記梁は前記レンズ搭載基板部を前記記録媒体の半径方向に変位可能とするミアンダ梁を有すること。
（６）前記梁の記録媒体側に位置して前記ギャップを閉塞する閉塞部材を設けたこと。
（７）前記微小レンズを搭載した基板を第１基板とし、この第１基板に対向する第２基板を備え、前記電磁アクチュエータを構成するコイルまたは永久磁石の何れか一方を前記第１基板に設けると共にその他方を前記第２基板に設けたこと。
（８）前記梁は、前記レンズ搭載基板部を前記記録媒体の半径方向に変位可能とするように、前記レンズ搭載基板部の両側に位置する一対のミアンダ梁と、前記レンズ搭載基板部の両側でかつ前記一対のミアンダ梁に直交する一対の直梁とを有すること。
（９）前記レンズ搭載基板部における前記アミンダ梁間を結ぶ線と前記直梁間を結ぶ線との交差部分に記録媒体側に開口する半球状の凹部を設け、この凹部内に前記微小レンズを半球状に設け、この微小レンズの球面側に位置する前記第１基板及び前記第２基板にレーザ通路を設けたこと。
（１０）前記第１基板をシリコン材料で形成し、前記第２基板を磁性材料で形成したこと。 A more preferable specific configuration example in the first aspect of the present invention is as follows.
(1) In the optical recording / reproducing apparatus according to claim 1, the lens mounting substrate portion is formed inside the peripheral substrate portion by providing a gap so that the substrate surrounds the periphery of the lens mounting substrate portion. In addition, the lens mounting substrate portion is supported on the peripheral substrate portion via a flexible beam.
(2) An electromagnetic actuator comprising a coil and a permanent magnet facing the coil is used as the fine actuator.
(3) A hemispherical concave portion that opens to the recording medium side and is slightly narrower than the inside is provided in the lens mounting substrate portion, and the minute lens is provided in a hemispherical shape in the concave portion.
(4) In the substrate, the lens mounting substrate portion, the beam and the peripheral substrate portion are integrally formed of the same member.
(5) The beam includes a meander beam that allows the lens mounting substrate portion to be displaced in a radial direction of the recording medium.
(6) A closing member that closes the gap is provided on the recording medium side of the beam.
(7) The substrate on which the microlenses are mounted is used as a first substrate, and a second substrate facing the first substrate is provided, and either the coil or the permanent magnet constituting the electromagnetic actuator is provided on the first substrate. In addition, the other side is provided on the second substrate.
(8) The beam includes a pair of meander beams positioned on both sides of the lens mounting substrate unit and both sides of the lens mounting substrate unit so that the lens mounting substrate unit can be displaced in a radial direction of the recording medium. And a pair of straight beams orthogonal to the pair of meander beams.
(9) A hemispherical recess opening on the recording medium side is provided at the intersection of the line connecting the ainder beams and the line connecting the straight beams in the lens mounting substrate, and the microlens is hemispherical in the recess. And a laser path is provided in the first substrate and the second substrate located on the spherical surface side of the minute lens.
(10) The first substrate is formed of a silicon material, and the second substrate is formed of a magnetic material.

また、本発明の第２の態様は、前記レーザ光線を用いて前記記録媒体に情報を記憶しまたは前記記録媒体の情報を再生する光記録再生装置に用いる光ヘッドにおいて、ヘッド支持機構に対して支持される周辺基板部とこの周辺基板部の中央に変位可能に支持されたレンズ搭載基板部とからなる基板と、前記レンズ搭載基板部に搭載された前記微小レンズと、前記レンズ搭載基板部を駆動する微動アクチュエータとを備えるものである。 According to a second aspect of the present invention, there is provided an optical head used in an optical recording / reproducing apparatus for storing information on the recording medium using the laser beam or reproducing information on the recording medium. A substrate composed of a peripheral substrate portion to be supported and a lens mounting substrate portion supported so as to be displaceable in the center of the peripheral substrate portion, the microlens mounted on the lens mounting substrate portion, and the lens mounting substrate portion. And a fine actuator to be driven.

係る本発明の第２の態様におけるより好ましい具体的構成例は次の通りである。 A more preferable specific configuration example in the second aspect of the present invention is as follows.

また、本発明の第３の態様は、前記レーザ光線を用いて前記記録媒体に情報を記憶しまたは前記記録媒体の情報を再生する光記録再生装置に用いる光ヘッドの製造方法において、シリコンウエハからなる基板をドライエッチングすることにより周辺基板部とこの周辺基板部の中央に変位可能に支持されるレンズ搭載基板部とを成形する工程と、前記レンズ搭載基板部に搭載する微小レンズを前記基板に成形する工程と、前記レンズ搭載基板部を駆動する微動アクチュエータの少なくとも一部を前記基板に成形する工程とを有するようにしたことにある。 According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an optical head used in an optical recording / reproducing apparatus for storing information on the recording medium using the laser beam or reproducing information on the recording medium. Forming a peripheral substrate portion and a lens mounting substrate portion that is supported displaceably in the center of the peripheral substrate portion by dry etching the substrate, and forming a micro lens mounted on the lens mounting substrate portion on the substrate. There is a step of forming, and a step of forming at least a part of a fine actuator for driving the lens mounting substrate portion on the substrate.

本発明によれば、小型、安価で、応答性に優れていると共に、高精度位置決めを可能であり、高速及び高記録密度化を図ることが可能な光記録再生装置並びにこれに用いる光ヘッド及びその製造方法を提供することができる。 According to the present invention, an optical recording / reproducing apparatus that is small, inexpensive, excellent in responsiveness, capable of high-precision positioning, and capable of achieving high speed and high recording density, an optical head used therefor, and A manufacturing method thereof can be provided.

以下、本発明の複数の実施例について図を用いて説明する。各実施例の図における同一符号は同一物または相当物を示す。 Hereinafter, a plurality of embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The same reference numerals in the drawings of the respective embodiments indicate the same or equivalent.

まず、本発明の第１実施例について図１から図７を用いて説明する。 First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

本実施例による光記録再生装置５０の全体構成に関して図１を参照しながら説明する。図１は本実施例の光記録再生装置５０のベースカバーを外した状態の斜視図である。 The overall configuration of the optical recording / reproducing apparatus 50 according to this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a perspective view of the optical recording / reproducing apparatus 50 of this embodiment with the base cover removed.

光記録再生装置５０は、レーザ光線を用いて記録媒体５１に情報を記憶しまたは記録媒体５１の情報を再生するものである。本実施例の光記録再生装置５０は、後述する構成により、赤色レーザ光線のみならず、青色レーザ光線を用いた場合でも、高記録密度化を可能としている。 The optical recording / reproducing apparatus 50 stores information on the recording medium 51 using a laser beam or reproduces information on the recording medium 51. The optical recording / reproducing apparatus 50 according to the present embodiment can increase the recording density even when a blue laser beam is used as well as a red laser beam due to the configuration described later.

この光記録再生装置は、情報を記録する記録媒体５１と、この記録媒体５１に対して情報の記録または再生を行なうためにレーザ光線を絞る微小レンズ６を搭載した光ヘッド５２と、先端側に光ヘッド５２を搭載して支持したヘッド支持機構５３と、光ヘッド５２を記録媒体５１の径方向に移動するようにヘッド支持機構５３を駆動する駆動装置５４とを備えて構成されている。なお、光記録再生装置５０は、光学系を備えて構成されているが、図示を省略してある。この光学系は、本発明が適用できるものであればよく、例えば従来例に示す公知の構成のものを用いることができる。 This optical recording / reproducing apparatus includes a recording medium 51 for recording information, an optical head 52 equipped with a micro lens 6 for focusing a laser beam for recording or reproducing information on the recording medium 51, and a tip side. A head support mechanism 53 that mounts and supports the optical head 52 and a drive device 54 that drives the head support mechanism 53 so as to move the optical head 52 in the radial direction of the recording medium 51 are configured. Although the optical recording / reproducing apparatus 50 includes an optical system, the illustration thereof is omitted. This optical system may be any optical system to which the present invention can be applied. For example, a known configuration shown in the conventional example can be used.

記録媒体５１は、両面に情報が記録されるものであり、スピンドルモータ５５によって高速に回転される。スピンドルモータ５５は筐体を構成するベース５６に支持されている。光ヘッド５２は、記録媒体５１が高速回転することによって生ずる浮力により記録媒体５１面上を僅かな隙間を有して浮上した状態で記録または再生するように構成されている。なお、光ヘッド５２に浮力を生じさせる構成については図示を省略してある。 The recording medium 51 has information recorded on both sides and is rotated at high speed by a spindle motor 55. The spindle motor 55 is supported by a base 56 constituting a housing. The optical head 52 is configured to record or reproduce in a state where it floats on the surface of the recording medium 51 with a slight gap due to the buoyancy generated when the recording medium 51 rotates at a high speed. It should be noted that the illustration of the configuration that causes buoyancy in the optical head 52 is omitted.

ヘッド支持機構５３はサスペンション５３ａ及びアーム５３ｂを有して構成されている。サスペンション５３ａは、その先端側に光ヘッド５２を搭載すると共に、その根元側がアーム５３ｂに固定され、光ヘッド５２に所定の荷重を付与するように構成されている。アーム５３ｂは、その先端側にサスペンション５３ａを保持すると共に、ベース５６に固定された軸５７に回転可能に支持されている。アーム５３ｂ及びサスペンション５３ａは細長形状をしており、軸５７からアーム５３ｂ、サスペンション５３ａの順に延びている。 The head support mechanism 53 includes a suspension 53a and an arm 53b. The suspension 53a is configured such that the optical head 52 is mounted on the distal end side thereof, and the base side thereof is fixed to the arm 53b to apply a predetermined load to the optical head 52. The arm 53b holds the suspension 53a on the tip side and is rotatably supported by a shaft 57 fixed to the base 56. The arm 53b and the suspension 53a are elongated, and extend from the shaft 57 in the order of the arm 53b and the suspension 53a.

駆動装置５４は、ボイスコイルモータで構成されており、ヘッド支持機構５３を回転駆動する駆動源である。駆動装置５４によりヘッド支持機構５３を駆動して、記録媒体５１上の任意の半径位置に光ヘッド５２を位置決めし、情報を記録媒体５１に記録または記録媒体５１から再生を行なうように構成されている。 The drive device 54 is constituted by a voice coil motor, and is a drive source that rotationally drives the head support mechanism 53. The head support mechanism 53 is driven by the driving device 54, the optical head 52 is positioned at an arbitrary radial position on the recording medium 51, and information is recorded on the recording medium 51 or reproduced from the recording medium 51. Yes.

次に、光ヘッド５２に関して図２から図４を参照しながら説明する。図２は図１の光記録再生装置５０に用いる光ヘッド５２の切断端面図、図３Ａは図２の第１基板１を表側から見た斜視図、図３Ｂは図２の第１基板１を裏側から見た斜視図、図４は図２の第２基板３を表側から見た斜視図である。図２から図４においては、光ヘッド５２の上方に記録媒体５１が位置される。 Next, the optical head 52 will be described with reference to FIGS. 2 is a cut end view of the optical head 52 used in the optical recording / reproducing apparatus 50 of FIG. 1, FIG. 3A is a perspective view of the first substrate 1 of FIG. 2 viewed from the front side, and FIG. 3B is the first substrate 1 of FIG. FIG. 4 is a perspective view of the second substrate 3 of FIG. 2 viewed from the front side. 2 to 4, the recording medium 51 is positioned above the optical head 52.

光ヘッド５２は、図２に示すように、第１基板１、微小レンズ６、閉塞部材９、第２基板３、微動アクチュエータ３３、固定基板２９、スペーサ２、位置決めピン３０及び配線１４（図３Ａ参照）を備えて構成されている。具体的には、光ヘッド５２は、ヘッド支持機構５３に対して支持された周辺基板部１８とこの周辺基板部１８の中央に変位可能に支持されたレンズ搭載基板部１９とからなる基板１と、レンズ搭載基板部１９に搭載された微小レンズ６と、レンズ搭載基板部１９を駆動する微動アクチュエータ３３とを主要構成要素として備えている。 As shown in FIG. 2, the optical head 52 includes the first substrate 1, the minute lens 6, the closing member 9, the second substrate 3, the fine movement actuator 33, the fixed substrate 29, the spacer 2, the positioning pin 30, and the wiring 14 (FIG. 3A). Reference) is configured. Specifically, the optical head 52 includes a substrate 1 including a peripheral substrate portion 18 supported by a head support mechanism 53 and a lens mounting substrate portion 19 supported so as to be displaceable in the center of the peripheral substrate portion 18. The micro lens 6 mounted on the lens mounting substrate unit 19 and the fine actuator 33 for driving the lens mounting substrate unit 19 are provided as main components.

第１基板１は、全体が矩形平板状に形成され、ヘッド支持機構５３に位置決めピン３０、スペーサ２、第２基板３及び固定基板２９などを介して支持された周辺基板部１８と、この周辺基板部１８の中央に同一部材で略矩形状に形成されて変位可能に支持されたレンズ搭載基板部１９とを備えて構成されている。換言すれば、第１基板１は、レンズ搭載基板部１９の周囲を取り囲むようにギャップ５を設けることにより、周辺基板部１８の内側にレンズ搭載基板部１９を形成しており、これによってレンズ搭載基板部１９は周辺基板部１８の内側に島状に形成されている。ギャップ５はレンズ搭載基板部１９の変位を吸収する機能を有する。なお、ギャップ５は第１基板１の中央部に環状に形成されている。 The first substrate 1 is formed in a rectangular flat plate shape as a whole, and the peripheral substrate portion 18 supported by the head support mechanism 53 via the positioning pins 30, the spacer 2, the second substrate 3, the fixed substrate 29, and the like, A lens mounting substrate portion 19 is formed at the center of the substrate portion 18 and is formed in a substantially rectangular shape by the same member and supported so as to be displaceable. In other words, the first substrate 1 is formed with the lens mounting substrate portion 19 inside the peripheral substrate portion 18 by providing the gap 5 so as to surround the lens mounting substrate portion 19, thereby mounting the lens. The substrate portion 19 is formed in an island shape inside the peripheral substrate portion 18. The gap 5 has a function of absorbing the displacement of the lens mounting substrate portion 19. The gap 5 is formed in a ring shape at the center of the first substrate 1.

レンズ搭載基板部１９は、可撓性を有する梁を介して周辺基板部１８に接続され、この周辺基板部１８によって変位可能に支持されている。梁は、レンズ搭載基板部１９を記録媒体５１の半径方向に変位可能とするように、レンズ搭載基板部１９の両側に位置して設けた一対のミアンダ梁４を備えている。ミアンダ梁４を用いることにより、小さな駆動力でレンズ搭載基板部１９を変位可能とすることができる。本実施例では、レンズ搭載基板部１９を安定的に支持するために、一対のミアンダ梁４に加えて、レンズ搭載基板部１９の両側でかつミアンダ梁４の中間に位置して設けた一対の直梁１２を備えている。一対の梁４を結ぶ線と一対の梁１２を結ぶ線とは直交するように構成されており、その交差部に微小レンズ６が配置されている。 The lens mounting substrate portion 19 is connected to the peripheral substrate portion 18 via a flexible beam, and is supported by the peripheral substrate portion 18 so as to be displaceable. The beam includes a pair of meander beams 4 provided on both sides of the lens mounting substrate 19 so that the lens mounting substrate 19 can be displaced in the radial direction of the recording medium 51. By using the meander beam 4, the lens mounting substrate portion 19 can be displaced with a small driving force. In the present embodiment, in order to stably support the lens mounting board portion 19, in addition to the pair of meander beams 4, a pair of provided on both sides of the lens mounting board portion 19 and in the middle of the meander beams 4. A straight beam 12 is provided. The line connecting the pair of beams 4 and the line connecting the pair of beams 12 are configured to be orthogonal to each other, and the microlens 6 is disposed at the intersection.

基板１を構成するレンズ搭載基板部１９、梁４、１２及び周辺基板部１８は同一部材で一体に形成されている。そして、ミアンダ梁４、１２は、可撓性を増すために第１基板１より薄肉で形成され、ギャップ５内の記録媒体側（図２ではギャップ５内の上側）に位置して設けられている。また、ミアンダ梁４、１２の可撓性を増すために、ミアンダ梁４、１２が位置する部分のギャップ５を他の部分のギャップ５よりも幅広に形成し、この幅広のギャップ５にミアンダ梁４、１２を長く形成している。 The lens mounting substrate portion 19, the beams 4 and 12 and the peripheral substrate portion 18 constituting the substrate 1 are integrally formed of the same member. The meander beams 4 and 12 are formed thinner than the first substrate 1 in order to increase flexibility, and are provided on the recording medium side in the gap 5 (upper side in the gap 5 in FIG. 2). Yes. In order to increase the flexibility of the meander beams 4, 12, the gap 5 in the portion where the meander beams 4, 12 are formed wider than the gap 5 in the other portion, and the meander beam is formed in the wide gap 5. 4, 12 are formed long.

記録媒体側から梁４、１４を形成するギャップ部分にゴミや異物などが侵入しないように、梁４、１４の記録媒体側に位置してギャップ５を閉塞する閉塞部材９が設けられている。この閉塞部材９は、合成樹脂材料で形成され、図３Ａに破線で示すように、ギャップ５より若干幅広でギャップ５と同一形状に設けられている。第１基板１の記録媒体側の表面に設けられている。閉塞部材９には、薄膜でパターニングを行なうことが可能な、例えば厚さが数ミクロンから１００ミクロン程度のフィルムレジストを用いると良い。閉塞部材９のその他の材料としては、ＰＤＭＳ（Poly Di Methyl Siloxane）などが好ましく、この他に有機系や無機系の樹脂材料、薄膜シート材料、金属薄膜を用いても良い。 A blocking member 9 that closes the gap 5 is provided on the recording medium side of the beams 4 and 14 so as to prevent dust and foreign matter from entering the gap portions forming the beams 4 and 14 from the recording medium side. The closing member 9 is formed of a synthetic resin material, and is slightly wider than the gap 5 and provided in the same shape as the gap 5 as indicated by a broken line in FIG. 3A. It is provided on the surface of the first substrate 1 on the recording medium side. For the closing member 9, it is preferable to use a film resist that can be patterned with a thin film, for example, having a thickness of about several microns to 100 microns. Other materials for the closing member 9 are preferably PDMS (Poly Di Methyl Siloxane) and the like. In addition, organic or inorganic resin materials, thin film sheet materials, and metal thin films may be used.

レンズ搭載基板部１９の中央部（具体的には、一対の梁４を結ぶ線と一対の梁１２を結ぶ線との交差部）には、記録媒体側に開口する半球状の凹部４１が設けられている。この凹部４１内には、微小レンズ６が半球状に設けられている。微小レンズ６は、半球状のレンズ部６ａと、このレンズ部６ａの周縁部から水平に延びるフランジ部６ｂとから構成されている。レンズ部６ａは、半球状に形成された半球面６ａ１と平坦状に形成された平坦面６ａ２とからなっている。半球面６ａ１はレンズ凹部４１内に配置され、平坦面６ａ２は光ヘッド５２と対向するように配置される。フランジ部６ｂは微小レンズ６が第１基板１から簡単に外れないようにするために設けられている。なお、微小レンズ６はフランジ部６ｂの厚さ分だけレンズ搭載基板部１９の表面より記録媒体側に突出することとなる。 A hemispherical concave portion 41 that opens to the recording medium side is provided at the center of the lens mounting substrate portion 19 (specifically, the intersection of the line connecting the pair of beams 4 and the line connecting the pair of beams 12). It has been. In the recess 41, the microlens 6 is provided in a hemispherical shape. The microlens 6 includes a hemispherical lens portion 6a and a flange portion 6b extending horizontally from the peripheral edge portion of the lens portion 6a. The lens portion 6a includes a hemispherical surface 6a1 formed in a hemispherical shape and a flat surface 6a2 formed in a flat shape. The hemispherical surface 6a1 is disposed in the lens recess 41, and the flat surface 6a2 is disposed so as to face the optical head 52. The flange portion 6b is provided in order to prevent the minute lens 6 from being easily detached from the first substrate 1. Note that the minute lens 6 protrudes from the surface of the lens mounting substrate portion 19 toward the recording medium by the thickness of the flange portion 6b.

レンズ搭載基板部１９には凹部４１に連通する円形孔４２ａを有しており、これにより半球面６ａ１が孔４２ａ内に露出されている。円形孔４２ａはレーザ通路１０を構成する。このレーザ通路１０はレンズ部６ａの大きさよりも小さく形成されている。これは、レンズ部６ａを用いてレーザ光線を絞るために必要な有効範囲内の大きさが得られるならば、レンズ部６ａの外周部のその他の部分はレンズとして機能しないことからレーザ光線を通す必要がないためである。 The lens mounting substrate portion 19 has a circular hole 42a communicating with the concave portion 41, whereby the hemispherical surface 6a1 is exposed in the hole 42a. The circular hole 42 a constitutes the laser passage 10. This laser passage 10 is formed smaller than the size of the lens portion 6a. This is because if the size within the effective range necessary for focusing the laser beam using the lens unit 6a is obtained, the other part of the outer peripheral portion of the lens unit 6a does not function as a lens, so that the laser beam is allowed to pass. This is because there is no need.

第１基板１の反記録媒体面側には、第１基板１と対向するように第２基板３が設けられている。この第２基板３は、第１基板１と略同一の外形を有し、第１基板１との間にスペーサ２を介在することにより第１基板１との間隔を確保している。 A second substrate 3 is provided on the side opposite to the recording medium surface of the first substrate 1 so as to face the first substrate 1. The second substrate 3 has substantially the same outer shape as the first substrate 1, and a space between the first substrate 1 and the first substrate 1 is ensured by interposing a spacer 2.

第１基板１には、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、他の基板３、２９と位置合わせを行なうための位置決め孔１１が対角線上に２箇所形成されている。位置決め孔１１は対角線上に少なくとも２箇所は必要であり、好ましくは２箇所の孔のうちの一方の孔が位置ずれを吸収できるように他の孔より数ミクロン程度大きく形成すると良い。より高精度に位置決めを行なうために位置決め孔１１の数を増加させても良い。また、第２基板３には、図４に示すように、他の基板１、２９と位置合わせを行なうための位置決め孔１４１が対角線上に２箇所形成されている。第２基板３の反第１基板側に配置された第２基板３の位置決め孔１４１は、第１基板１の位置決め孔１１に合致するように設けられる。固定基板２９に固定された位置決めピン３０を第２基板３の位置決め孔１４１と第１基板１の位置決め孔１１とに貫通させることにより、第１基板１と第２基板３と固定基板２９との位置決めが行なわれる。 As shown in FIGS. 3A and 3B, the first substrate 1 is formed with two positioning holes 11 on a diagonal line for alignment with the other substrates 3 and 29. The positioning holes 11 need to be at least two on the diagonal line, and are preferably formed to be larger by several microns than the other holes so that one of the two holes can absorb displacement. In order to perform positioning with higher accuracy, the number of positioning holes 11 may be increased. Further, as shown in FIG. 4, the second substrate 3 is formed with two positioning holes 141 on the diagonal line for alignment with the other substrates 1 and 29. The positioning hole 141 of the second substrate 3 arranged on the side opposite to the first substrate of the second substrate 3 is provided so as to match the positioning hole 11 of the first substrate 1. By passing the positioning pins 30 fixed to the fixed substrate 29 through the positioning holes 141 of the second substrate 3 and the positioning holes 11 of the first substrate 1, the first substrate 1, the second substrate 3, and the fixed substrate 29 are connected. Positioning is performed.

第２基板３及び固定基板２９の中央部には、第１基板１の円形孔４２ａと同軸でかつほぼ同じ大きさの円形孔３ａ及び２９ａが設けられている。これらの円形孔４２ａ、３ａ、２９ａにより、光ヘッド５２におけるレーザ光線が通るレーザ通路１０が形成される。 At the center of the second substrate 3 and the fixed substrate 29, circular holes 3a and 29a that are coaxial with the circular hole 42a of the first substrate 1 and have substantially the same size are provided. These circular holes 42a, 3a, 29a form a laser path 10 through which the laser beam in the optical head 52 passes.

微動アクチュエータ３３としては、コイル８及びこれに対向する永久磁石７からなる電磁アクチュエータが用いられている。コイル８は、図３Ｂに示すように、レンズ搭載基板部１９における微小レンズ６の周囲（レーザ通路１０の周囲）に渦巻き状に延びるように設けられている。コイル８の周囲には、ギャップ５及び位置決め孔１１が形成されている。 As the fine actuator 33, an electromagnetic actuator including the coil 8 and the permanent magnet 7 facing the coil 8 is used. As shown in FIG. 3B, the coil 8 is provided so as to spirally extend around the microlens 6 (around the laser path 10) in the lens mounting substrate portion 19. A gap 5 and a positioning hole 11 are formed around the coil 8.

コイル８の両側に接続された２つ配線１４は、貫通孔１５を通してレンズ搭載基板部１９の記録媒体側（表側）に延び、さらには一対の直梁１２を通して周辺基板部１８に延び、周辺基板部１８の角部に位置する電極パット１３に接続されている。電極パッド１３から外部機器（図示せず）へとワイヤボンディングによって配線される。 Two wires 14 connected to both sides of the coil 8 extend to the recording medium side (front side) of the lens mounting substrate portion 19 through the through hole 15, and further to the peripheral substrate portion 18 through the pair of straight beams 12. The electrode pad 13 located at the corner of the portion 18 is connected. Wiring is performed from the electrode pad 13 to an external device (not shown) by wire bonding.

第２基板３には、コイル８に対向しかつ極性が逆向きの２つの永久磁石７ａ、７ｂが設けられている。２つの永久磁石７ａ、７ｂは、レーザ通路１０のアミンダ梁側に位置して対称に設けられている。第２基板３に設置した２個の永久磁石７のうち、例えば一方の永久磁石７ａを上にＮ極、下にＳ極となるように設置し、他方の永久磁石７ｂを上にＳ極、下にＮ極となるように設置しておく。これにより、一方の永久磁石７ａからは上側に磁力線が発生し、他方の永久磁石７ｂからは下側に磁力線が発生する。 The second substrate 3 is provided with two permanent magnets 7a and 7b facing the coil 8 and having opposite polarities. The two permanent magnets 7a and 7b are symmetrically provided on the side of the laser path 10 on the amidor beam. Of the two permanent magnets 7 installed on the second substrate 3, for example, one permanent magnet 7 a is installed with an N pole on the upper side and an S pole on the lower side, and the other permanent magnet 7 b is installed with an S pole on the upper side. Install it to the N pole below. Thereby, magnetic field lines are generated on the upper side from one permanent magnet 7a, and magnetic field lines are generated on the lower side from the other permanent magnet 7b.

第１基板１に設置したコイル８に電流を流すことによって、例えば中央の微小レンズ６を境として図１に示す右半分のコイル８には手前から奥に電流が流れると、左半分には逆に奥から手前に電流が流れることになる。そのため、第２基板３に設置した極性の逆な永久磁石７により、コイル８に流される電流の方向に対応することができ、一方向にレンズ搭載基板部１９を変位させることができる。即ち、アクチュエータとして得られる力は、フレミングの左手の法則から電流が流れた方向に対して垂直方向に働くため、レンズ搭載部４２を変位させることが可能となる。 By passing a current through the coil 8 installed on the first substrate 1, for example, when a current flows from the front to the back of the right half coil 8 shown in FIG. Current flows from the back to the front. For this reason, the permanent magnet 7 having the opposite polarity installed on the second substrate 3 can correspond to the direction of the current flowing through the coil 8, and the lens mounting substrate portion 19 can be displaced in one direction. That is, the force obtained as the actuator acts in a direction perpendicular to the direction of current flow according to Fleming's left-hand rule, so that the lens mounting portion 42 can be displaced.

基板の材質としては、第１基板１には微細な加工が行ないやすいシリコンを用いることが良く、また、第２基板３には永久磁石７の磁力線力が低下しにくい磁性材料を用いることが好ましい。第２基板３の材料として、この他に鉄系の材料を適用することができる。ただし、第２基板３にシリコンを用いてもアクチュエータとして適用することは可能である。永久磁石７の材質には強い磁力を有するネオジー鉄−ボロン磁石が好ましいが、この他にもフェライト磁石など用いることができる。 As the material of the substrate, it is preferable to use silicon that can be finely processed for the first substrate 1, and it is preferable to use a magnetic material for the second substrate 3 that does not easily reduce the magnetic force of the permanent magnet 7. . In addition to this, an iron-based material can be applied as the material of the second substrate 3. However, even if silicon is used for the second substrate 3, it can be applied as an actuator. The material of the permanent magnet 7 is preferably a neodymium iron-boron magnet having a strong magnetic force, but a ferrite magnet or the like can also be used.

なお、本実施例では、第１基板１にコイル８の形成を、第２基板３に永久磁石７を形成しているが、本発明は、これらの構造に限らず、第１基板１に永久磁石７を、第２基板３にコイル８を形成しても良い。 In this embodiment, the coils 8 are formed on the first substrate 1 and the permanent magnets 7 are formed on the second substrate 3. However, the present invention is not limited to these structures, and the first substrate 1 is permanently formed. The magnet 7 and the coil 8 may be formed on the second substrate 3.

次に、微小レンズ６及び微動アクチュエータ３３のコイル８を搭載した第１基板１の具体的な製造方法について図５から図７を参照しながら説明する。図５は図２の第１基板１の製造方法の各工程を示す切断端面図、図６は図５（ｃ）におけるシリコンウエハ１６に凹部４１を形成する詳細工程を示す切断端面図、図７は図６の変形例の工程を示す切断端面図である。なお、第１基板１の材料にはシリコンを適用している。 Next, a specific manufacturing method of the first substrate 1 on which the minute lens 6 and the coil 8 of the fine movement actuator 33 are mounted will be described with reference to FIGS. 5 is a cut end view showing each step of the manufacturing method of the first substrate 1 of FIG. 2, FIG. 6 is a cut end view showing a detailed step of forming the recess 41 in the silicon wafer 16 in FIG. FIG. 7 is a cut end view showing a process of a modified example of FIG. 6. Note that silicon is applied as the material of the first substrate 1.

まず、図５Ａ（ａ）に示すように、（１００）方位のシリコンウエハ１６を準備する。シリコンウエハ１６は、例えば厚さ２００μｍのものが用いられる。 First, as shown in FIG. 5A (a), a silicon wafer 16 having a (100) orientation is prepared. For example, a silicon wafer 16 having a thickness of 200 μm is used.

次いで、ドライエッチングのマスク材として、図５Ａ（ｂ）に示すように、シリコンウエハ１６の両面にアルミニウム薄膜１７をスパッタリング装置もしくは蒸着装置を用いて形成した後、ホトリソプロセスを用いて、シリコンウエハ１６の表面に形成されたアルミニウム薄膜１７にレジスト塗布・パターン露光・現像・アルミニウムのエッチングを両面から行い、シリコンウエハ１６の表面側にレンズ孔のパターン１７ａを形成すると共に、シリコンウエハ１６の裏面側にギャップパターン１７ｂを形成する。ここで、両面のホトリソプロセスの代わりに、片面ごとに行なうホトリソプロセスを用いても良い。 Next, as shown in FIG. 5A (b), an aluminum thin film 17 is formed on both sides of the silicon wafer 16 using a sputtering apparatus or a vapor deposition apparatus as a mask material for dry etching, and then the silicon wafer is used using a photolithography process. The aluminum thin film 17 formed on the surface of 16 is subjected to resist coating, pattern exposure, development, and aluminum etching from both sides to form a lens hole pattern 17a on the surface side of the silicon wafer 16, and the back side of the silicon wafer 16 A gap pattern 17b is formed on the substrate. Here, instead of the double-sided photolithography process, a photolithography process performed for each side may be used.

次いで、図５Ａ（ｃ）に示すように、ドライエッチング法を用いて、シリコンウエハ１６の表面側からシリコンのドライエッチング加工を行い、凹部４１を形成する。この時、図６に示すように、シリコンウエハ１６にマスク材１７を用いて開口部パターン１７ａを形成した後（図６（ａ）参照）、低温ドライエッチング法を用いて円筒上の垂直な穴４１ａを形成し（図６（ｂ）参照）、その後、等方性ウエットエッチングによってレンズ形状の凹部４１を形成する（図６（ｃ）参照）。この場合の凹部４１の上端部２４はほぼ垂直に形成される。 Next, as shown in FIG. 5A (c), dry etching is performed from the surface side of the silicon wafer 16 by using a dry etching method to form the recess 41. At this time, as shown in FIG. 6, after the opening pattern 17a is formed on the silicon wafer 16 using the mask material 17 (see FIG. 6A), a vertical hole on the cylinder is formed using a low temperature dry etching method. 41a is formed (see FIG. 6B), and then a lens-shaped recess 41 is formed by isotropic wet etching (see FIG. 6C). In this case, the upper end 24 of the recess 41 is formed substantially vertically.

なお、図７に示すように、シリコンウエハ１６にマスク材１７を用いて開口部パターン１７ａを形成した後（図７（ａ）参照）、ＩＣＰ―ＲＩＥ装置を用いたドライエッチングを行い、円筒上の垂直な穴２３を深く形成し（図７（ｂ）参照）、その後、等方性ドライエッチングによってレンズ形状の凹部４１を形成してもよい（図７（ｃ）参照）。この場合の凹部４１の上端部２４にはくびれが形成される。凹部４１にくびれが形成されることによって、微小レンズ６の樹脂材料を埋め込んだ場合に表面積を増加させることができるので、微小レンズ６を第１基板１の下面側に位置させた場合でも微小レンズ６が第１基板１より落下することがない。図７に示すように、加工深さを深くし、その後に行なう等方性ドライエッチングと組み合わせることによって、レンズの曲率半径を任意に設定することが可能であると共に、凹部４１の開口部が内部より若干狭い半球状の凹部とすることが可能である。 As shown in FIG. 7, after the opening pattern 17a is formed on the silicon wafer 16 using the mask material 17 (see FIG. 7A), dry etching using an ICP-RIE apparatus is performed, and A vertical hole 23 may be formed deeply (see FIG. 7B), and then a lens-shaped recess 41 may be formed by isotropic dry etching (see FIG. 7C). In this case, a constriction is formed at the upper end 24 of the recess 41. Since the constriction is formed in the concave portion 41, the surface area can be increased when the resin material of the microlens 6 is embedded. Therefore, even when the microlens 6 is positioned on the lower surface side of the first substrate 1, the microlens is formed. 6 does not fall from the first substrate 1. As shown in FIG. 7, it is possible to arbitrarily set the curvature radius of the lens by increasing the processing depth and combining it with isotropic dry etching performed thereafter, and the opening of the recess 41 is formed inside. A slightly narrower hemispherical recess can be formed.

次いで、図５Ａ（ｃ）に示すように、シリコンウエハ１６の裏面側からシリコンのドライエッチング加工を行い、ミアンダ梁４及び直梁１２の厚さまでエッチング加工を行なうことで、ギャップ５を形成する。 Next, as shown in FIG. 5A (c), dry etching of silicon is performed from the back side of the silicon wafer 16, and etching is performed to the thickness of the meander beam 4 and the straight beam 12, thereby forming the gap 5.

なお、上述したドライエッチング加工装置には誘導結合型のプラズマエッチング［ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）−ＲＩＥ］装置を用いることによりアスペクト比２０程度の垂直な壁を有するエッチング加工を行なえる。 Note that the dry etching processing apparatus described above can perform etching processing having a vertical wall with an aspect ratio of about 20 by using an inductively coupled plasma (ICP) apparatus.

次いで、図５Ａ（ｄ）に示すように、シリコンウエハ１６の全面に熱酸化膜２０を形成する。熱酸化膜２０はコイル８及び配線１４の絶縁材料として適用するものであり、他の方式、例えばＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition)装置やスパッタリング装置を用いてＳｉＮもしくはＳｉＯ２膜の絶縁材料を形成しても良い。 Next, as shown in FIG. 5A (d), a thermal oxide film 20 is formed on the entire surface of the silicon wafer 16. The thermal oxide film 20 is applied as an insulating material for the coil 8 and the wiring 14. Even if an insulating material such as a SiN or SiO2 film is formed using another method, for example, a CVD (Chemical Vapor Deposition) apparatus or a sputtering apparatus. good.

次いで、図５Ａ（ｅ）に示すように、シリコンウエハ１６の裏面側にコイル８を形成する。コイル８は、シリコンウエハ１６の裏面側にコイルパターンを形成し、スパッタリング装置を用いて薄膜金属を形成した後、リフトオフ法を用いて配線部以外を除去することにより形成する。コイル８の下地膜としてはＡｕ、Ｐｔ、ＴｉもしくはＣｒが良い。これはＴｉ及びＣｒは熱酸化膜との密着性を向上させるために必要であり、Ｐｔはこの後のプロセスにおいて温度上昇時にＡｕとＴｉもしくはＣｒが熱的に共晶反応などを起すことを抑制するために用いている。その後、電解めっき法を用いてコイルを厚く形成する。めっき材料としてＣｕやＮｉを用いることができる。 Next, as shown in FIG. 5A (e), the coil 8 is formed on the back side of the silicon wafer 16. The coil 8 is formed by forming a coil pattern on the back surface side of the silicon wafer 16, forming a thin film metal using a sputtering apparatus, and then removing portions other than the wiring portion using a lift-off method. As the base film of the coil 8, Au, Pt, Ti or Cr is preferable. This is because Ti and Cr are necessary to improve the adhesion to the thermal oxide film, and Pt suppresses the eutectic reaction between Au and Ti or Cr when the temperature rises in the subsequent process. Used to do. Thereafter, the coil is formed thick using an electrolytic plating method. Cu or Ni can be used as the plating material.

次いで、図５Ａ（ｆ）に示すようにシリコンウエハ１６の表面側にレジスト２１を形成した後、ホトリソプロセスを用いてミアンダ梁４、直梁１２などのパターン４ａを形成し、図５Ｂ（ｇ）に示すようにこのパターン４ａを熱酸化膜にパターンを転写する。 Next, after forming a resist 21 on the surface side of the silicon wafer 16 as shown in FIG. 5A (f), a pattern 4a such as a meander beam 4 and a straight beam 12 is formed using a photolithography process, and FIG. The pattern 4a is transferred to the thermal oxide film as shown in FIG.

次いで、図５Ｂ（ｈ）に示すように、凹部４１内にレンズ樹脂材料を充填することにより、微小レンズ６を成形する。この時、シリコンウエハ１６に対して別に加工されたシリコンウエハ１６を準備して、２枚のシリコンウエハ１６を高精度に位置決めした後、レンズ樹脂材料を挟み込んで微小レンズ６の成形を両面から行なうことでレンズの両面に異なる形状を転写することができる。 Next, as shown in FIG. 5B (h), the lens resin material is filled in the recess 41 to form the microlens 6. At this time, a silicon wafer 16 processed separately from the silicon wafer 16 is prepared, the two silicon wafers 16 are positioned with high accuracy, and then the lens resin material is sandwiched to form the microlens 6 from both sides. Thus, different shapes can be transferred to both surfaces of the lens.

次いで、図５Ｂ（ｉ）に示すようにミアンダ梁４、直梁１２などの加工をシリコンのドライエッチング法を用いて行なう。この加工によって微小レンズ６を搭載した島状の部分が複数のミアンダ梁４、直梁１２によって支持された構造体（レンズ搭載部１９）となる。 Next, as shown in FIG. 5B (i), the processing of the meander beam 4 and the straight beam 12 is performed using a silicon dry etching method. By this processing, an island-like portion on which the microlenses 6 are mounted becomes a structure (lens mounting portion 19) supported by a plurality of meander beams 4 and straight beams 12.

次いで、図５Ｂ（ｊ）に示すように微小レンズ６の下側に微小レンズ６の半球部６ａが露出するように貫通孔１９ａを形成する。これによってレーザ通路１０が加工される。この時、貫通孔１９ａは、ドライエッチング加工によって形成されるので、垂直に加工することが可能である。そのため、貫通孔１９ａの開口面積を小さくしてコイル８を形成する部分の面積を増加させることができる。 Next, as shown in FIG. 5B (j), a through hole 19a is formed on the lower side of the minute lens 6 so that the hemispherical portion 6a of the minute lens 6 is exposed. As a result, the laser passage 10 is processed. At this time, since the through hole 19a is formed by dry etching, it can be processed vertically. Therefore, the area of the portion where the coil 8 is formed can be increased by reducing the opening area of the through hole 19a.

次いで、図５Ｂ（ｋ）に示すように、ミアンダ梁４、直梁１２などを形成するギャップ部分の上に閉塞部材９をパターニングによって形成することで、第１基板１の構造体が完成する。 Next, as shown in FIG. 5B (k), the structure of the first substrate 1 is completed by forming the closing member 9 by patterning on the gap portion forming the meander beam 4, the straight beam 12, and the like.

本実施例の効果を構成と共に纏めると、次の通りである。 The effects of this embodiment are summarized together with the configuration as follows.

レーザ光線を絞る微小レンズ６を搭載した光ヘッド５２と、光ヘッド５２を支持したヘッド支持機構５３と、光ヘッド５２を記録媒体５１の径方向に移動するようにヘッド支持機構５３を駆動する駆動装置５４とを備え、レーザ光線を用いて記録媒体５１に情報を記憶しまたは記録媒体５１の情報を再生する光記録再生装置５０において、光ヘッド５２は、ヘッド支持機構５３に対して支持された周辺基板部１８とこの周辺基板部１８の中央に変位可能に支持されたレンズ搭載基板部１９とからなる基板と、レンズ搭載基板部１９に搭載された微小レンズ６と、レンズ搭載基板部１９を駆動する微動アクチュエータ３３とを備える構成としているので、小型、安価で、高精度位置決めを可能として高記録密度化が図れる光記録再生装置５０が実現できる。即ち、周辺基板部１８の中央に変位可能にレンズ搭載基板部１９を支持しているので、微動アクチュエータ３３によって駆動される部分を極めて小さくすることができる。これによって、微動アクチュエータ３３を小型で安価なものとすることができると共に、レンズ搭載基板部１９を高精度に変位させて光ヘッド５２の位置決め精度を格段に向上することができ、これに伴って高記録密度化を図ることができる。 An optical head 52 equipped with a micro lens 6 for narrowing a laser beam, a head support mechanism 53 that supports the optical head 52, and a drive that drives the head support mechanism 53 so as to move the optical head 52 in the radial direction of the recording medium 51. The optical head 52 is supported by a head support mechanism 53 in an optical recording / reproducing apparatus 50 that includes a device 54 and stores information on the recording medium 51 using a laser beam or reproduces information on the recording medium 51. A substrate composed of a peripheral substrate portion 18 and a lens mounting substrate portion 19 supported so as to be displaceable in the center of the peripheral substrate portion 18, a micro lens 6 mounted on the lens mounting substrate portion 19, and the lens mounting substrate portion 19. The optical recording / reproducing apparatus 50 is small, inexpensive, capable of high-precision positioning and high recording density because it is configured to include the fine movement actuator 33 to be driven. It can be current. That is, since the lens mounting substrate portion 19 is supported at the center of the peripheral substrate portion 18 so as to be displaceable, the portion driven by the fine actuator 33 can be made extremely small. As a result, the fine actuator 33 can be made small and inexpensive, and the lens mounting substrate portion 19 can be displaced with high accuracy, and the positioning accuracy of the optical head 52 can be remarkably improved. High recording density can be achieved.

また、基板は、レンズ搭載基板部１９の周囲を取り囲むようにギャップ５５を設けることにより周辺基板部１８の内側にレンズ搭載基板部１９を形成すると共に、レンズ搭載基板部１９を周辺基板部１８に可撓性を有する梁を介して支持した構成としているので、簡単な構造で、レンズ搭載基板部１９を安定して変位させることができる。特に、梁はレンズ搭載基板部１９を記録媒体５１の半径方向に変位可能とするミアンダ梁４を有する構成としているので、さらにレンズ搭載基板部１９を高精度にかつ安定して変位させることができる。しかも、梁は、レンズ搭載基板部１９を記録媒体５１の半径方向に変位可能とするように、レンズ搭載基板部１９の両側に位置する一対のミアンダ梁４と、レンズ搭載基板部１９の両側でかつ一対のミアンダ梁４に直交する一対の直梁１２とを有する構成としているので、さらにレンズ搭載基板部１９を高精度にかつ安定して変位させることができる。 In addition, the substrate is formed with the gap 55 so as to surround the lens mounting substrate portion 19, thereby forming the lens mounting substrate portion 19 inside the peripheral substrate portion 18, and the lens mounting substrate portion 19 as the peripheral substrate portion 18. Since it is configured to be supported via a flexible beam, the lens mounting substrate portion 19 can be stably displaced with a simple structure. In particular, since the beam has the meander beam 4 that enables the lens mounting substrate portion 19 to be displaced in the radial direction of the recording medium 51, the lens mounting substrate portion 19 can be displaced with high accuracy and stability. . In addition, the beams are arranged on the both sides of the pair of meander beams 4 positioned on both sides of the lens mounting substrate 19 and the lens mounting substrate 19 so that the lens mounting substrate 19 can be displaced in the radial direction of the recording medium 51. In addition, since the pair of straight beams 12 perpendicular to the pair of meander beams 4 is provided, the lens mounting substrate portion 19 can be displaced with high accuracy and stability.

また、梁の記録媒体側に位置してギャップ５を閉塞する閉塞部材９を設けているので、梁にゴミや異物が付着することを防止でき、安定した梁の変位を確保することができる。 In addition, since the blocking member 9 that closes the gap 5 is provided on the recording medium side of the beam, it is possible to prevent dust and foreign matter from adhering to the beam, and to ensure stable displacement of the beam.

また、微動アクチュエータ３３としてコイル８及びこれに対向する永久磁石７からなる電磁アクチュエータを用いているので、静電式アクチュエータを用いる場合に比較して、微動アクチュエータ３３の小型化を図ることができると共に、レンズ搭載基板部１９を高精度に変位させることができる。特に、電磁アクチュエータを構成するコイル８または永久磁石７の何れか一方を第１基板に設けると共にその他方を第２基板に設ける構成としているので、極めて小型な微動アクチュエータ３３とすることができる。 In addition, since the electromagnetic actuator including the coil 8 and the permanent magnet 7 facing the coil 8 is used as the fine actuator 33, the fine actuator 33 can be downsized as compared with the case where an electrostatic actuator is used. The lens mounting substrate portion 19 can be displaced with high accuracy. Particularly, since either one of the coil 8 or the permanent magnet 7 constituting the electromagnetic actuator is provided on the first substrate and the other is provided on the second substrate, the extremely small fine actuator 33 can be obtained.

また、基板はレンズ搭載基板部１９、梁及び周辺基板部１８を同一部材で一体に形成した構成としているので、格段に安価なものとすることができる。 Further, since the lens mounting substrate portion 19, the beam, and the peripheral substrate portion 18 are integrally formed of the same member, the substrate can be made extremely inexpensive.

次に、本発明の第２〜第４実施例について図８〜図１０を用いて説明する。図８は本発明の第２実施例の光記録再生装置に用いる光ヘッドの切断端面図、図９は本発明の第３実施例の光記録再生装置に用いる光ヘッドの切断端面図、図１０は本発明の第４実施例の光記録再生装置に用いる光ヘッドの切断端面図である。この第２〜第４実施例は、以下に述べる点で第１実施例と相違するものであり、その他の点については第１実施例と基本的には同一である。 Next, second to fourth embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 is a cut end view of the optical head used in the optical recording / reproducing apparatus according to the second embodiment of the present invention. FIG. 9 is a cut end view of the optical head used in the optical recording / reproducing apparatus according to the third embodiment of the present invention. These are cut | disconnected end elevations of the optical head used for the optical recording / reproducing apparatus of 4th Example of this invention. The second to fourth embodiments are different from the first embodiment in the following points, and are basically the same as the first embodiment in other points.

第２実施例では、第１基板１に形成するミアンダ梁４を、基板表面側ではなく、基板裏面側に形成する構造である。この構造では、コイル８に通電を行なうための配線を２層からなる多層配線とすることで、基板表面側に貫通孔で取り出す必要がなく、第１基板１の裏面側に取り出すことができる。さらに、ゴミや異物などの進入を防ぐための閉塞部材９をレンズ周辺に設けられたギャップ５の中に形成することが可能である。 In the second embodiment, the meander beam 4 formed on the first substrate 1 is formed not on the substrate front side but on the substrate back side. In this structure, the wiring for energizing the coil 8 is a multilayer wiring composed of two layers, so that it is not necessary to take out through the through hole on the substrate surface side, and it can be taken out on the back surface side of the first substrate 1. Furthermore, it is possible to form a blocking member 9 for preventing entry of dust and foreign matters in the gap 5 provided around the lens.

第３実施例では、第１実施例に示した２枚の基板１、３を、３枚の基板１、２５、３で構成するようにしたものである。即ち、第３実施例では、第１基板１とその下側に設けた第３基板２５とにより、第１実施例における第１基板１の機能を有するようにしたものである。具体的には、第１実施例におけるコイル８の形成に関する工程を除いて第１基板１を製造し、第３基板２５の裏面側にコイル８を形成して第３基板２５を製造し、第１基板１と第３基板２５とを組み合わせたものである。このような構造を用いることで、各基板１、２５を個別に加工することができることから、低コストで加工を行なうことが可能となる。 In the third embodiment, the two substrates 1 and 3 shown in the first embodiment are constituted by three substrates 1, 25 and 3. That is, in the third embodiment, the first substrate 1 and the third substrate 25 provided below the first substrate 1 have the function of the first substrate 1 in the first embodiment. Specifically, the first substrate 1 is manufactured except for the steps related to the formation of the coil 8 in the first embodiment, the coil 8 is formed on the back surface side of the third substrate 25, and the third substrate 25 is manufactured. The first substrate 1 and the third substrate 25 are combined. By using such a structure, the substrates 1 and 25 can be processed individually, so that processing can be performed at low cost.

第４実施例は、本発明がシリコンのマイクロマシニング加工を用いていることから複雑な構造体の加工が行なえることを利用した例である。この第４実施例では、第１基板１と第２基板３とを高精度に位置決めを行なうために、第１基板１に位置決め用の突起２６を第２基板３に位置決め用の溝２７を形成した構造である。第１基板１に形成する突起２６はシリコンの異方性ウエットエッチング法を用いて形成することができる。第１基板１に形成された突起２６は｛１１１｝結晶面からなる斜面によって形成できる。これは｛１１１｝結晶面が他の結晶面と比較してエッチング速度が遅いためである。例えば｛１１１｝結晶面と｛１００｝結晶面のエッチング速度の比で比較すると１：１００程度のエッチング速度に差ができる。そのため、｛１１１｝結晶面で囲まれた突起２６が形成できる。同様に、第２基板には｛１１１｝結晶面に囲まれた位置決め溝２７を形成することができる。両基板１、３に形成した突起２６及び溝２７は同一の結晶面を適用していることから斜面の角度は（１００）面に対して５４．７°の角度を有しており、高精度に位置決めを行なうことができる。シリコンの異方性エッチング液には水酸化カリウム水溶液を用いることが良い。これ以外にも、水酸化カリウム水溶液にイソプロピルアルコールを数％程度混入したエッチャントもしくはその他のウエットエッチング液、例えば、エチレンジアミンピロカテコール、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、ヒドラジンを用いることができる。 The fourth embodiment is an example utilizing the fact that the present invention uses a silicon micromachining process so that a complicated structure can be processed. In the fourth embodiment, a positioning projection 26 is formed on the first substrate 1 and a positioning groove 27 is formed on the second substrate 3 in order to position the first substrate 1 and the second substrate 3 with high accuracy. This is the structure. The protrusions 26 formed on the first substrate 1 can be formed using a silicon anisotropic wet etching method. The protrusions 26 formed on the first substrate 1 can be formed by slopes made of {111} crystal planes. This is because the {111} crystal plane has a slower etching rate than other crystal planes. For example, when the ratio of the etching rate of {111} crystal plane to {100} crystal plane is compared, a difference in etching rate of about 1: 100 can be made. Therefore, the protrusion 26 surrounded by the {111} crystal plane can be formed. Similarly, a positioning groove 27 surrounded by {111} crystal planes can be formed in the second substrate. Since the protrusions 26 and the grooves 27 formed on both the substrates 1 and 3 use the same crystal plane, the angle of the inclined surface is 54.7 ° with respect to the (100) plane, which is highly accurate. Can be positioned. A potassium hydroxide aqueous solution is preferably used as the silicon anisotropic etching solution. In addition to this, an etchant in which about several percent of isopropyl alcohol is mixed in an aqueous potassium hydroxide solution or other wet etching solutions such as ethylenediamine pyrocatechol, tetramethylammonium hydroxide, and hydrazine can be used.

次に、本発明の第５実施例を図１１を用いて説明する。図１１は本発明の第５実施例の光記録再生装置に用いる光ヘッドの製造方法を説明する図である。 Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a diagram for explaining a method of manufacturing an optical head used in the optical recording / reproducing apparatus in the fifth embodiment of the present invention.

第５実施例では、各基板の組立ては、シリコンウエハ１６上に多数個形成した各基板を、位置合わせマーク３２を用いて高精度に位置決めを行った後、各基板を積層することによってウエハレベルで形成するものである。その後、ダイシングマシンなどを用いてチップ３１に切断することにより、量産性に優れたレンズ搭載型アクチュエータ基板を低コストで製造することができる。なお、ダイシングマシンで加工する場合でもゴミや異物の進入を防止する構造が適用されていることからウエハレベルで組立てを行い、切断加工を行っても問題はない。以上のような加工手段を適用することにより、レンズ及びアクチュエータ機構が搭載された基板をウエハレベルで製造することが可能となることから量産性に優れている。 In the fifth embodiment, each substrate is assembled at a wafer level by positioning a plurality of substrates formed on the silicon wafer 16 with high accuracy using the alignment marks 32 and then stacking the substrates. Is formed. Thereafter, by cutting into chips 31 using a dicing machine or the like, a lens-mounted actuator substrate excellent in mass productivity can be manufactured at low cost. Even when processing with a dicing machine, there is no problem even if the assembly is performed at the wafer level and the cutting process is performed because the structure for preventing the entry of dust and foreign matter is applied. By applying the processing means as described above, it is possible to manufacture a substrate on which a lens and an actuator mechanism are mounted at the wafer level, which is excellent in mass productivity.

本発明の第１実施例の光記録再生装置の斜視図である。1 is a perspective view of an optical recording / reproducing apparatus according to a first embodiment of the present invention. 図１の光記録再生装置に用いる光ヘッドの切断端面図である。FIG. 2 is a cut end view of an optical head used in the optical recording / reproducing apparatus of FIG. 1. 図２の第１基板を表側から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the 1st board | substrate of FIG. 2 from the front side. 図２の第１基板を裏側から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the 1st board | substrate of FIG. 2 from the back side. 図２の第２基板を表側から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the 2nd board | substrate of FIG. 2 from the front side. 図２の第１基板の製造方法の各工程を示す切断端面図である。FIG. 3 is a cut end view showing each step of the manufacturing method of the first substrate of FIG. 2. 図２の第１基板の製造方法の各工程（続き）を示す切断端面図である。FIG. 3 is a cut end view showing each step (continuation) of the method for manufacturing the first substrate of FIG. 2. 図５Ａ（ｃ）におけるシリコンウエハに凹部を形成する詳細工程を示す切断端面図である。FIG. 5C is a cut end view showing a detailed process of forming a recess in the silicon wafer in FIG. 5A (c). 図６の変形例の工程を示す切断端面図である。FIG. 7 is a cut end view showing a process of a modified example of FIG. 6. 本発明の第２実施例の光記録再生装置に用いる光ヘッドの切断端面図である。FIG. 6 is a cut end view of an optical head used in an optical recording / reproducing apparatus according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第３実施例の光記録再生装置に用いる光ヘッドの切断端面図である。FIG. 7 is a cut end view of an optical head used in an optical recording / reproducing apparatus according to a third embodiment of the present invention. 本発明の第４実施例の光記録再生装置に用いる光ヘッドの切断端面図である。FIG. 10 is a cut end view of an optical head used in an optical recording / reproducing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention. 本発明の第５実施例の光記録再生装置に用いる光ヘッドの製造方法を説明する図である。It is a figure explaining the manufacturing method of the optical head used for the optical recording / reproducing apparatus of 5th Example of this invention.

Explanation of symbols

１…第１基板、２…スペーサ、３…第２基板、４…ミアンダ梁、５…ギャップ、６…微小レンズ、６ａ…レンズ部、６ａ１…半球面、６ａ２…平坦面、６ｂ…フランジ部、７、７ａ、７ｂ…永久磁石、８…コイル、９…閉塞部材、１０…レーザ通路、１１…位置決め孔、１２…直梁、１３…電極パッド、１４…配線、１５…貫通孔、１６…シリコンウエハ、１７…アルミニウム薄膜、１８…周辺基板部、１９…レンズ搭載基板部、２０…熱酸化膜、２１…レジスト、２２…マスク材、２５…第３基板、２６…位置決め用の突起、２７…位置決め用の溝、２８…コリメートレンズ、２９…固定基板、３０…位置決めピン、３１…チップ、３２…位置合わせマーク、３３…微動アクチュエータ（電磁アクチュエータ）、４１…凹部、４１ａ…円筒状の垂直穴、５１…記録媒体、５２…光ヘッド、５３…ヘッド支持機構、５３ａ…サスペンション、５３ｂ…アーム、５４…駆動装置、５５…スピンドルモータ、５６…ベース、５７…軸。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... 1st board | substrate, 2 ... Spacer, 3 ... 2nd board | substrate, 4 ... meander beam, 5 ... gap, 6 ... minute lens, 6a ... lens part, 6a1 ... hemispherical surface, 6a2 ... flat surface, 6b ... flange part, 7, 7a, 7b ... permanent magnet, 8 ... coil, 9 ... closing member, 10 ... laser passage, 11 ... positioning hole, 12 ... straight beam, 13 ... electrode pad, 14 ... wiring, 15 ... through hole, 16 ... silicon Wafer, 17 ... aluminum thin film, 18 ... peripheral substrate portion, 19 ... lens mounting substrate portion, 20 ... thermal oxide film, 21 ... resist, 22 ... mask material, 25 ... third substrate, 26 ... positioning projection, 27 ... Groove for positioning, 28 ... collimating lens, 29 ... fixed substrate, 30 ... positioning pin, 31 ... chip, 32 ... alignment mark, 33 ... fine actuator (electromagnetic actuator), 41 ... concave, 41a ... cylindrical Vertical holes in, 51 ... recording medium, 52 ... optical head, 53 ... head supporting mechanism, 53a ... suspension, 53b ... arm, 54 ... drive unit, 55 ... Spindle motor, 56 ... base, 57 ... shaft.

Claims

An optical head equipped with a micro lens for focusing the laser beam, a head support mechanism that supports the optical head, and a drive device that drives the head support mechanism so as to move the optical head in the radial direction of the recording medium. ,
In an optical recording / reproducing apparatus for storing information in the recording medium using the laser beam or reproducing information on the recording medium,
The optical head is
A substrate comprising a peripheral substrate portion supported with respect to the head support mechanism and a lens mounting substrate portion supported in a displaceable manner at the center of the peripheral substrate portion;
The micro lens mounted on the lens mounting substrate portion;
An optical recording / reproducing apparatus comprising: a fine movement actuator for driving the lens mounting substrate portion.

2. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein the substrate forms the lens mounting substrate portion inside the peripheral substrate portion by providing a gap so as to surround the periphery of the lens mounting substrate portion. An optical recording / reproducing apparatus, wherein a lens mounting substrate portion is supported on the peripheral substrate portion via a flexible beam.

2. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein an electromagnetic actuator comprising a coil and a permanent magnet facing the coil is used as the fine actuator.

The optical recording / reproducing apparatus according to claim 1, wherein the lens mounting substrate portion is provided with a hemispherical recess that opens toward the recording medium and the opening is slightly narrower than the inside, and the minute lens is hemispherical in the recess. An optical recording / reproducing apparatus provided.

3. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 2, wherein the substrate is formed by integrally forming the lens mounting substrate portion, the beam, and the peripheral substrate portion with the same member.

3. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 2, wherein the beam includes a meander beam that allows the lens mounting substrate portion to be displaced in a radial direction of the recording medium.

3. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 2, further comprising a closing member that closes the gap and is positioned on a recording medium side of the beam.

4. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 3, wherein a substrate on which the microlenses are mounted is a first substrate, and a second substrate facing the first substrate is provided, and any of a coil or a permanent magnet constituting the electromagnetic actuator is provided. One of these is provided on the first substrate and the other is provided on the second substrate.

7. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 6, wherein the beam is a pair of meander beams positioned on both sides of the lens mounting substrate portion so that the lens mounting substrate portion can be displaced in a radial direction of the recording medium. And a pair of straight beams on both sides of the lens mounting substrate section and perpendicular to the pair of meander beams.

10. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 9, wherein a hemispherical concave portion opened to a recording medium side is provided at an intersection of a line connecting the ainder beams and a line connecting the straight beams in the lens mounting substrate portion, An optical recording / reproducing apparatus, wherein the minute lens is provided in a hemispherical shape in a recess, and a laser path is provided in the first substrate and the second substrate located on the spherical surface side of the minute lens.

9. The optical recording / reproducing apparatus according to claim 8, wherein the first substrate is made of a silicon material, and the second substrate is made of a magnetic material.

In an optical head used in an optical recording / reproducing apparatus for storing information on a recording medium using a laser beam or reproducing information on the recording medium,
A substrate comprising a peripheral substrate portion supported with respect to the head support mechanism and a lens mounting substrate portion supported in a displaceable manner at the center of the peripheral substrate portion;
A microlens mounted on the lens mounting substrate,
An optical head comprising: a fine movement actuator that drives the lens mounting substrate portion.

In a method of manufacturing an optical head for use in an optical recording / reproducing apparatus for storing information on a recording medium using a laser beam or reproducing information on the recording medium,
Forming a peripheral substrate portion and a lens mounting substrate portion supported displaceably in the center of the peripheral substrate portion by dry etching a substrate made of a silicon wafer;
Forming a micro lens to be mounted on the lens mounting substrate portion on the substrate;
And a step of forming at least a part of a fine actuator for driving the lens mounting substrate portion on the substrate.