KR0177400B1 - Redundancy word line checking circuit - Google Patents
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Abstract
본 발명은 메모리 소자의 노말 셀 어레이의 고장 유무와 고장난 노말 셀 어레이를 수리하기 위해 대체하는 리던던시 셀 어레이의 고장 유무를 체크하는 리던던시 워드라인 체크회로에 관한 것으로서, 외부 회로로부터 입력되는 /RAS 신호, /CAS 신호 및 /WE 신호를 선택적으로 논리곱시켜 제1 및 제2워드라인 구동신호를 출력하는 외부제어 논리수단과, 상기 제1워드라인 구동신호를 입력받아 워드라인 구동수단의 출력을 노말 워드라인으로 전송시켜 상기 노말 셀 어레이의 고장 유무를 체크하는 노말 워드라인 선택 수단과, 상기 제1 및 제2워드라인 구동신호를 입력받아 상기 노말 셀 어레이의 고장시 워드라인 구동수단의 출력을 리던던시 워드라인에 전송시켜 리던던시 셀 어레이의 고장 유무를 체크하는 리던던시 워드라인 선택 수단을 포함한다. 따라서, 웨이퍼 상태에서 소자의 노말 메모리 셀 어레이들의 고장 유무를 테스트하여 고장난 노말 메모리 셀 어레이들을 대체하여 수리하는 리던던시 셀 어레이의 고장 유무를 체크하여 고장이 발생되지 않은 리던던시 셀 어레이로 대체하여 수리하므로 소자의 생산 수율을 향상시킬 수 있다.The present invention relates to a redundancy word line check circuit for checking a failure of a normal cell array of a memory device and a failure of a redundant cell array to replace a failed normal cell array. External control logic means for selectively ANDing the / CAS signal and the / WE signal to output the first and second word line driving signals, and receiving the first word line driving signal and outputting the word line driving means as normal words. Normal word line selecting means for checking whether or not the normal cell array is broken by transmitting a line, and receiving the first and second word line driving signals, and outputting the word line driving means when the normal cell array fails. Redundancy word line selection means for transmitting to the line and checking for a failure of the redundant cell array. Therefore, by checking the failure state of the normal memory cell arrays of the device in the wafer state and checking the failure of the redundant cell array replacing and replacing the failed normal memory cell arrays, the device is repaired by replacing it with a redundant cell array that has not failed. Can improve the production yield.
Description
제1도는 본 발명에 따른 워드라인 체크회로도.1 is a word line check circuit diagram in accordance with the present invention.
제2도는 제1도의 동작 파형도.2 is an operational waveform diagram of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10 : 외부 제어 논리 수단 20 : 노말 워드라인 선택 수단10: external control logic means 20: normal word line selection means
30 : 리던던시 워드라인 선택 수단 40 : 워드라인 체크회로30: redundancy word line selection means 40: word line check circuit
I1∼I9 : 제1∼제9인버터 N1∼N3 : 제1∼제3낸드게이트I1 to I9: First to ninth inverters N1 to N3: First to third NAND gates
T1,T2 : 제1 및 제2전송게이트T1, T2: first and second transmission gates
본 발명은 메모리 소자의 고장(fail) 유무를 체크(check)하기 위한 워드라인(wordline) 체크 회로에 관한 것으로서, 특히, 노말 워드라인(normal wordline) 뿐만 아니라 고장난 노말 워드라인을 대체하여 수리(repair)하기 위한 리던던시 워드라인(redundancy wordline)의 고장(fail) 유무를 체크(check)할 수 있는 리던던시 워드라인 체크 회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a wordline check circuit for checking the failure of a memory device. In particular, the present invention relates to a repair of a normal wordline as well as a failed normal wordline. The present invention relates to a redundancy word line check circuit capable of checking whether or not a redundancy word line fails.
반도체소자, 특히, DRAM 등의 메모리소자를 제조할 때 완벽한 공정을 수행하기란 매우 어려워 단위 메모리 요소인 노말 셀(normal cell)들이 고장나 메모리소자를 못쓰게 되는 문제가 있었다.When manufacturing a semiconductor device, in particular, a memory device such as DRAM, it is very difficult to perform a perfect process, and there is a problem that normal cells, which are unit memory elements, fail and fail to use the memory device.
이러한 문제들을 해결하기 위해 제조 공정시 노말 셀 어레이들과 동일한 크기 및 구조를 갖는 적절한 개수의 여분의 셀 어레이들, 즉, 리던던시 셀 어레이들을 만들어 메모리 소자를 웨이퍼 상태에서 노말 셀 어레이의 고장 유무를 테스트하여 노말 셀 어레이들 중 고장난 셀 어레이를 리던던시 셀 어레이로 대체하여 리페어한다. 상기와 같이 리페어된 메모리소자는 고장난 노말 셀 어레이를 엑세스하는 어드레스가 인가되면 리던던시 회로가 동작하여 대체된 리던던시 셀 어레이가 엑세스되므로 메모리소자는 이상없이 정상 동작하게 된다.In order to solve these problems, an adequate number of redundant cell arrays, that is, redundant cell arrays having the same size and structure as those of normal cell arrays in a manufacturing process, are made to test the failure of the normal cell array in a wafer state. Therefore, the failed cell array among the normal cell arrays is replaced with a redundant cell array to be repaired. As described above, when a repaired memory device receives an address for accessing a failed normal cell array, a redundant circuit operates to access the replaced redundancy cell array, thereby allowing the memory device to operate normally.
그러나, 고장난 노말 메모리 셀 어레이를 대체한 리던던시 셀 어레이도 고장이 발생될 수 있다. 이러한 경우, 상기 메모리소자는 고장난 리던던시 셀 어레이에 의해 고장 상태가 유지되어 정상 동작을 할 수 없는데, 고장난 리던던시 셀 어레이를 다른 정상인 리던던시 셀 어레이로 교체하여 다시 수리할 수 없게 된다. 그러므로, 고장난 노말 메모리 셀 어레이를 수리할 때 고장이 발생되지 않은 정상 리던던시 셀 어레이와 대체하여야 한다.However, redundancy cell arrays that replace failed normal memory cell arrays can also fail. In this case, the memory device is maintained in a fault state by the failed redundancy cell array and cannot operate normally. The memory device cannot be repaired by replacing the failed redundancy cell array with another normal redundancy cell array. Therefore, when repairing a failed normal memory cell array, it should be replaced with a normal redundancy cell array in which a failure has not occurred.
그러나, 종래에는 고장난 노말 메모리 셀 어레이를 수리하기 전에는 리던던시 셀 어레이의 고장 유무를 알수 없어 생산 수율이 낮아지는 문제점이 있었다.However, conventionally, before repairing a failed normal memory cell array, it is not known whether a redundancy cell array is broken and there is a problem in that a production yield is lowered.
따라서, 본 발명의 목적은 고장난 노말 메모리 셀 어레이의 수리 전에 리던던시 셀 어레이의 고장 유무를 체크할 수 있어 소자의 생산 수율을 증가시킬 수 있는 리던던시 워드라인 체크회로를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a redundancy word line check circuit capable of checking the failure of a redundant cell array before repairing a failed normal memory cell array, thereby increasing the production yield of the device.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 메모리 소자의 노말 셀 어레이의 고장 유무와 고장난 노말 셀 어레이를 수리하기 위해 대체하는 리던던시 셀 어레이의 고장 유무를 체크하는 리던던시 워드라인 체크회로는 외부 회로로부터 입력되는 /RAS 신호, /CAS 신호 및 /WE 신호를 선택적으로 논리곱시켜 제1 및 제2워드라인 구동신호를 출력하는 외부제어 논리수단과, 상기 제1워드라인 구동신호를 입력받아 워드라인 구동수단의 출력을 노말 워드라인으로 전송시켜 상기 노말 셀 어레이의 고장 유무를 체크하는 노말 워드라인 선택 수단과, 상기 제1 및 제2워드라인 구동신호를 입력받아 상기 노말 셀 어레이의 고장시 워드라인 구동수단의 출력을 리던던시 워드라인에 전송시켜 리던던시 셀 어레이의 고장 유무를 체크하는 리던던시 워드라인 선택 수단을 포함한다.To achieve the above object, a redundancy word line check circuit for checking a failure of a normal cell array of a memory device according to the present invention and a failure of a redundant cell array for replacing a failed normal cell array is input from an external circuit. An external control logic unit for selectively outputting the / RAS signal, the / CAS signal, and the / WE signal to output first and second word line driving signals, and receiving the first word line driving signal, Normal word line selection means for transmitting an output to a normal word line to check whether the normal cell array has failed, and receiving the first and second word line driving signals to receive a word line driving means in case of failure of the normal cell array. Redundancy word line selection means for sending an output to the redundancy word line to check for any failure of the redundancy cell array. Include.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제1도는 본 발명에 따른 리던던시 워드라인 체크회로도이다.1 is a redundancy word line check circuit diagram in accordance with the present invention.
본 발명에 따른 리던던시 워드라인 체크회로(40)는 외부 제어 논리 수단(10), 노말 워드라인 선택 수단(20) 및 리던던시 워드라인 선택 수단(30)으로 구성된다.The redundancy word line check circuit 40 according to the present invention is composed of an external control logic means 10, a normal word line selection means 20 and a redundancy word line selection means 30.
상기 외부 제어 논리 수단(10)은 외부로부터 입력되는 /RAS(Row Address Strobe) 신호, /CAS(Column Address Strobe) 신호 및 /WE(Write Enable) 신호를 선택적으로 반전시키는 인버터(I1)(I2)(I3)(I4)와, 상기 /RAS 신호와 /CAS 및 /WE 신호를 인버터(I1)(I2)에 의해 반전시켜 입력시켜 부논리곱하는 제1낸드게이트(N1)과, 상기 제1낸드게이트(N1)의 출력단과 연결되어 제1워드라인 구동신호를 출력하는 인버터(I5)와, 상기 /CAS신호와 /RAS 및 /WE 신호를 인버터(I3)(I4)에 의해 반전시켜 부논리곱하여 제2워드라인 구동신호를 출력하는 제2낸드게이트(N2)로 이루어진다.The external control logic means 10 is an inverter (I1) (I2) for selectively inverting the / RAS (Row Address Strobe) signal, / CAS (Column Address Strobe) signal and / WE (Write Enable) signal input from the outside (I3) (I4), the first NAND gate (N1) and the first NAND gate which inverts and inputs the / RAS signal and the / CAS and / WE signals by being inverted by the inverters I1 and I2. Inverter I5 connected to the output terminal of N1 and outputting a first word line driving signal, and the / CAS signal, / RAS, and / WE signal are inverted and negatively multiplied by inverters I3 and I4. The second NAND gate N2 outputs a two word line driving signal.
상기 노말 워드라인 선택 수단(20)은 상기 제1워드라인 구동신호의 상태가 변환될때까지 현재 상태를 유지시키도록 래치(latch)를 이루는 인버터(I6)(I7)와, 상기 인버터(I6)(I7)의 출력단이 각각의 게이트에 연결되고 소오스 및 드레인이 공통으로 접속된 N 및 P 모스트랜지스터로 형성된 제1전송게이트(T1)로 이루어진다. 상기 제1전송게이트(T1)은 공통으로 접속된 드레인 및 소오스는 워드라인 구동수단(W/D)과 노말 워드라인(NW/L)과 각각 접속되어 N 및 P 모스트랜지스터의 게이트에 각각 인가되는 인버터(I6)(I7)의 출력에 따라 드레인에 접속되는 워드라인 구동수단(W/D)의 출력 신호를 소오스에 전송 또는 차단한다. 즉, 상기 인버터(I5)에서 출력되는 제1워드라인 구동신호가 '로우(low)' 상태이면 상기 인비터(I6)(I7)의 출력이 각각 '하이(high')와 '로우'상태가 되므로 제1전송게이트(T1)는 '온(on)'되어 상기 워드라인 구동수단(W/D)의 출력 신호를 소오스에 전송하여 노말 워드라인(NW/L)을 구동시킨다. 이와 반대로, 상기 제1워드라인 구동신호 '하이'상태이면 제1전송게이트(T1)는 '오프(off)'되어 상기 워드라인 구동수단(W/D)의 출력신호를 소오스에 전송하지 않아 노말 워드라인(NW/L)을 구동시키지 않는다.The normal word line selecting means 20 comprises inverters I6 and I7 which latch to maintain a current state until the state of the first word line driving signal is changed, and the inverter I6 ( An output terminal of I7) is connected to each gate and includes a first transfer gate T1 formed of N and P morph transistors having a source and a drain connected in common. The drain and the source which are commonly connected to the first transfer gate T1 are connected to the word line driving means W / D and the normal word line NW / L, respectively, and applied to the gates of the N and P morph transistors, respectively. The output signal of the word line driving means W / D connected to the drain is transmitted or interrupted to the source in accordance with the output of the inverters I6 and I7. That is, when the first word line driving signal output from the inverter I5 is in a 'low' state, the outputs of the inverters I6 and I7 are respectively 'high' and 'low' states. Therefore, the first transfer gate T1 is 'on' to transmit the output signal of the word line driver W / D to the source to drive the normal word line NW / L. On the contrary, when the first word line driving signal is 'high', the first transfer gate T1 is 'off' so that the output signal of the word line driving means W / D is not transmitted to the source. The word line NW / L is not driven.
리던던시 워드라인 선택 수단(30)은 상기 인버터(I5)에서 출력되는 제1워드라인 구동신호와 제2낸드게이트(N2)에서 출력되는 제2워드라인 구동신호를 부논리곱하는 제3낸드게이트(N3)와, 상기 제2워드라인 구동신호반전시키는 인버터(I8)와, 상기 제3낸드게이트(N3)와 인버터(I8)의 출력이 게이트들에 각각 접속되고 소오스들이 전원단(VDD) 및 접지단(VSS)에 접속되며 드레인들이 공통으로 접속되어 신호를 출력하는 P 모스트랜지스터(PM) 및 N 모스트랜지스터(NM)와, 상기 공통 드레인과 연결된 래치(latch)를 이루는 인버터(I9)(I10)와, 상기 인버터(I9)(I10)의 출력단이 각각의 게이트에 연결되고 소오스 및 드레인이 공통으로 접속된 P 및 N모스트랜지스터로 형성된 제2전송게이트(T2)로 이루어진다. 상기 제2전송게이트(T2)은 공통으로 접속된 드레인 및 소오스는 워드라인 구동수단(W/D)과 리던던시 워드라인(RW/L)과 각각 접속되어 P 및 N 모스트랜지스터의 게이트에 각각 인가되는 인버터(I9)(I10)의 출력에 따라 드레인에 접속되는 워드라인 구동수단(W/D)의 출력 신호를 소오스에 전송 또는 차단한다. 즉, 상기 인버터(I9)(I10)의 출력이 각각 '로우'와 '하이'상태이면 제2전송게이트(T2)는 '온'되어 상기 워드라인 구동수단(W/D)의 출력 신호를 소오스에 전송하여 리던던시 워드라인(RW/L)을 구동시킨다. 이와 반대로, 상기 인버터(I9)(I10)의 출력이 '하이'와 '로우'상태이면 제2전송게이트(T2)는 '오프'되어 상기 워드라인 구동수단(W/D)의 출력신호를 소오스에 전송하지 않아 리던던시 워드라인(RW/L)을 구동시키지 않는다.The redundancy word line selecting means 30 is a third NAND gate N3 that negatively crosses the first word line driving signal output from the inverter I5 and the second word line driving signal output from the second NAND gate N2. ), The inverter I8 for inverting the second word line driving signal, the outputs of the third NAND gate N3 and the inverter I8 are connected to the gates, respectively, and the sources are connected to the power supply terminal V DD and the ground. Inverters I9 and I10 connected to the terminal V SS and forming a latch connected to the P MOS transistor N and the N MOS transistor NM, which drains are commonly connected to output a signal, and the common drain. ) And a second transfer gate T2 formed of P and N MOS transistors having output terminals of the inverters I9 and I10 connected to respective gates, and having a source and a drain connected in common. The drain and the source which are commonly connected to the second transfer gate T2 are connected to the word line driving means W / D and the redundancy word line RW / L, respectively, and applied to the gates of the P and N MOS transistors, respectively. The output signal of the word line driving means W / D connected to the drain is transmitted or interrupted to the source in accordance with the output of the inverters I9 and I10. That is, when the outputs of the inverters I9 and I10 are 'low' and 'high', respectively, the second transfer gate T2 is 'on' to source the output signal of the word line driving means W / D. The redundancy word line (RW / L) is driven by transmitting to the. On the contrary, when the outputs of the inverters I9 and I10 are 'high' and 'low', the second transfer gate T2 is 'off' so that the output signal of the word line driving means W / D is sourced. The redundancy word line (RW / L) is not driven because it is not transmitted to.
제2도는 제1도에 도시된 본 발명에 따른 리던던시 워드라인 체크 회로(40)의 동작 파형도이다.2 is an operational waveform diagram of the redundancy word line check circuit 40 according to the present invention shown in FIG.
제2도에 도시된 동작 파형도를 참조하여 본 발명에 따른 리던던시 워드라인 체크 회로(40)의 동작을 설명한다.The operation of the redundancy word line check circuit 40 according to the present invention will be described with reference to the operation waveform diagram shown in FIG.
메모리소자의 외부로부터 상기 리던던시 워드라인 체크회로(40)의 외부 제어 논리수단(10)에 /RAS 신호, /CAS 신호 및 /WE 신호를 입력시킨다. 상기 입력되는 /RAS 신호, /CAS 신호 및 /WE 신호는 선택적으로 반전시키는 인버터(I1)(I2)를 통해 제1낸드게이트(N1)에, 인버터(I3)(I4)를 통해 제2게이트(N2)에 입력된다. 즉, 제1낸드게이트(N1)에 /CAS 신호 및 /WE 신호가 인버터(I1)(I2)에 의해 반전되어 입력되고 /RAS 신호가 직접 입력되며, 제2낸드게이트(N2)에 /RAS 신호 및 /CAS 신호가 인버터(I3)(I4)에 의해 반전되어 입력되고 /WE 신호가 직접 입력된다.The / RAS signal, the / CAS signal and the / WE signal are inputted to the external control logic means 10 of the redundancy word line check circuit 40 from the outside of the memory device. The input / RAS signal, the / CAS signal and the / WE signal are selectively inverted to the first NAND gate N1 through the inverter I1 and I2, and the second gate through the inverter I3 and I4. N2). That is, the / CAS signal and the / WE signal are inputted inverted by the inverter I1 (I2) and the / RAS signal is directly input to the first NAND gate N1, and the / RAS signal is input to the second NAND gate N2. And the / CAS signal is input inverted by the inverters I3 and I4 and the / WE signal is directly input.
상기 /RAS 신호, /CAS 신호 및 /WE 신호는 시간(t1)에서 각각 '로우', '하이' 및 '로우'상태로 입력된다. 상기 신호들은 인버터(I1)(I2), 제1낸드게이트(N1) 및 인버터(I5)를 통하여 노드(12)에 '로우'상태의 제1워드라인 구동신호가 출력되도록 한다. 따라서, 상기 제1전송게이트(T1)를 '온'시켜 워드라인 구동수단(W/D)의 출력신호를 노말 워드라인(NW/L)으로 전송하여 상기 노말 워드라인(NW/L)의 고장 유무를 체크한다. 이때, 상기 노말 워드라인(NW/L)이 고장인 경우 해당하는 어드레스 라인에 연결된 퓨즈(도시되지 않음)를 레이저로 절단하여 동작되지 않게한다.The / RAS signal, the / CAS signal, and the / WE signal are input to the 'low', 'high' and 'low' states at time t1, respectively. The signals cause the first word line driving signal having a 'low' state to be outputted to the node 12 through the inverters I1, I2, the first NAND gate N1, and the inverter I5. Therefore, the first transfer gate T1 is 'on' to transmit the output signal of the word line driving means (W / D) to the normal word line (NW / L), thereby causing the failure of the normal word line (NW / L). Check for presence. In this case, when the normal word line NW / L is broken, a fuse (not shown) connected to a corresponding address line is cut by a laser to prevent operation.
그리고, 상기 인비터(I6)(I7)는 노드(12)를 '로우'상태로 유지시킨다. 이때, 상기 리던던시 워드라인 구동수단(30)의 제3낸드게이트(N3)는 '로우'상태의 노드(12)에 의해 '하이'신호를 출력하여 P 모스트랜지스터(PM)를 '오프'시켜 노드(16)가 '로우'상태가 되도록 한다. 그러므로, 제2전송게이트(T2)가 '오프'되어 워드라인 구동수단(W/D)의 출력이 리던던시 워드라인(RW/L)에 전송되지 않는다.The inverters I6 and I7 maintain the node 12 in a 'low' state. At this time, the third NAND gate N3 of the redundancy word line driving means 30 outputs a 'high' signal by the node 12 in the 'low' state to 'off' the P MOS transistor PM. Let (16) be 'low'. Therefore, the second transfer gate T2 is 'off' so that the output of the word line driving means W / D is not transmitted to the redundancy word line RW / L.
상기 /RAS 신호, /CAS 신호 및 /WE 신호는 시간(t2)에 각각 '하이', '하이' 및 '하이'상태로 입력된다. 그러므로, 상기 노드(12)는 '로우'상태를 유지하여 제1전송게이트(T1)를 '온'시키고 제2전송게이트(T2)를 '오프'시켜 시간(T1) 상태를 유지한다.The / RAS signal, the / CAS signal, and the / WE signal are input to the 'high', 'high' and 'high' states at time t2, respectively. Therefore, the node 12 maintains the state T1 by keeping the state 'low' to turn on the first transmission gate T1 and 'off' the second transmission gate T2.
상기 /RAS 신호, /CAS 신호 및 /WE 신호는 시간(t3)에 각각 '하이', '로우' 및 '로우'상태로 입력된다. 상기 신호들은 인버터(I1)(I2), 제1낸드게이트(N1) 및 인버터(I5)를 통하여 노드(12)에 '하이'상태의 제1워드라인 구동신호가 출력되도록 하며, 인버터(I3)(I4)와 제2낸드게이트(N2)를 통하여 노드(14)에 '하이'상태의 제2워드라인 구동신호가 출력되도록 한다. 그러므로, 제3낸드게이트(N3)와 인버터(K8)는 각각 '로우'신호를 출력하여 P 모스트랜지스터(PM)을 '온'시키고 N 모스트랜지스터(NM)를 '오프'시켜 노드(16)를 '하이'상태가 되도록 한다. 노드(16)의 '하이'상태는 제2전송게이트(T2)를 이루는 P 모스트랜지스터의 게이트에 인버터(I9)를 통해 반전되어 인가되고, N 모스트랜지스터의 게이트에 직접 인가되어 제2전송게이트(T2)를 '온'시켜 워드라인 구동수단(W/D)의 출력을 리던던시 워드라인(RW/W)으로 전송시킨다.The / RAS signal, the / CAS signal, and the / WE signal are input to the 'high', 'low' and 'low' states at time t3, respectively. The signals cause the first word line driving signal of the 'high' state to be outputted to the node 12 through the inverters I1, I2, the first NAND gate N1, and the inverter I5, and the inverter I3. Through the I4 and the second NAND gate N2, the second word line driving signal having a 'high' state is output to the node 14. Therefore, the third NAND gate N3 and the inverter K8 output a 'low' signal to 'turn on' the P MOS transistor PM and 'off' the N MOS transistor NM to turn off the node 16. Make it 'high'. The 'high' state of the node 16 is inverted and applied to the gate of the P MOS transistor constituting the second transfer gate T2 through the inverter I9, and directly applied to the gate of the N MOS transistor so that the second transfer gate ( T2) is turned on to transmit the output of the word line driving means W / D to the redundancy word line RW / W.
상기 /RAS 신호, /CAS 신호 및 /WE 신호는 시간(t4)에 각각 '로우', '로우' 및 '로우' 상태로 입력된다. 상기 신호들은 인버터(I1)(I2), 제1낸드게이트(N1) 및 인버터(I5)를 통하여 노드(I2)에 '로우'상태의 제1워드라인 구동신호가 출력되도록 하며, 인버터(I3)(I4)와 제2낸드게이트(N2)를 통하여 노드(I4)에 '하이'상태의 제2워드라인 구동신호가 출력되도록 한다. 상기 노드(I4)의 '로우'상태는 제1전송게이트(T1)를 '온'시키나, 노말 워드라인(NW/L)이 고장으로 인해 해당되는 어드레스 라인에 연결된 퓨즈(도시되지 않음)가 레이저로 절단되어 있으므로 워드라인 구동수단(W/D)의 출력이 노말 워드라인(NW/L)으로 전송되지 않는다. 이때, 노드(I2)의 '로우'상태와 노드(I4)의 '하이'상태는 제3낸드게이트(N3)와 인버터(I8)의 출력을 각각 '하이' 및 '로우'가 되도록하여 P모스트랜지스터(PM)와 N모스트랜지스터(NM)를 모두 '오프시킨다. 그러나, 노드(I6)는 래치를 이루는 인버터(I9)(I10)에 의해 시간(T3)의 상태, 즉, '하이'상태가 되도록 하여 제2전송게이트(T2)를 '온'시키므로 워드라인 구동수단(W/D)의 출력을 리던던시 워드라인(RW/L)으로 전송시킨다.The / RAS signal, the / CAS signal, and the / WE signal are input in the states 'low', 'low' and 'low' at the time t4, respectively. The signals cause the first word line driving signal having a 'low' state to be output to the node I2 through the inverter I1, I2, the first NAND gate N1, and the inverter I5, and the inverter I3. The second word line driving signal having a 'high' state is output to the node I4 through the I4 and the second NAND gate N2. A low state of the node I4 turns on the first transfer gate T1, but a fuse (not shown) connected to a corresponding address line is lasered due to a failure of the normal word line NW / L. Since it is cut by, the output of the word line driving means W / D is not transmitted to the normal word line NW / L. At this time, the 'low' state of the node I2 and the 'high' state of the node I4 set the outputs of the third NAND gate N3 and the inverter I8 to be 'high' and 'low', respectively. The transistor PM and the N MOS transistor NM are both 'off'. However, the node I6 drives the word line by turning on the second transfer gate T2 by bringing the latches of the inverters I9 and I10 into the state of the time T3, that is, the 'high' state. The output of the means W / D is transferred to the redundancy word line RW / L.
그후, 상기 /RAS 신호, /CAS 신호 및 /WE 신호가 시간(t5)에 각각 '하이', '하이' 및 '하이'상태로 입력되면 상기 노드(12)와 노드(14)는 각각 '로우' 및 '하이'상태로 유지된다. 그러므로, 시간(T4)에서와 같이 제2전송게이트(T2)를 통해 워드라인 구동수단(W/D)의 출력을 리던던시 워드라인(RW/L)으로 전송시킨다. 이때, 리던던시 워드라인(RW/L)의 수만큼 최초 설계시 할당된 어드레스를 인가하면 리던던시 워드라인(RW/L)이 구동되어 고장 유무가 체크된다.Thereafter, when the / RAS signal, the / CAS signal, and the / WE signal are input as 'high', 'high' and 'high' states at time t5, respectively, the node 12 and the node 14 are 'low', respectively. And 'high' state. Therefore, as at time T4, the output of the word line driving means W / D is transmitted to the redundancy word line RW / L through the second transfer gate T2. At this time, if the address assigned in the initial design is applied as many as the number of redundancy word lines RW / L, the redundancy word lines RW / L are driven to check whether there is a failure.
그리고, 상기 /RAS 신호, /CAS 신호 및 /WE 신호가 시간(t6)에 각각 '하이', '하이' 및 '하이'상태로 입력되면 상기 리던던시 워드라인 선택수단(40)의 N 모스트랜지스터(NM)가 '온'되어 노드(16)을 '로우'상태가 되도록 한다. 이에, 제2전송게이트(T2)가 '오프'되어 워드라인 구동수단(W/D)의 출력은 리던던시 워드라인(RW/L)으로 전송되는 것이 차단되고 초기 상태로 전환된다.When the / RAS signal, the / CAS signal, and the / WE signal are input in the states 'high', 'high', and 'high' at the time t6, respectively, the N MOS transistors of the redundancy word line selecting means 40 NM) is 'on' causing node 16 to be 'low'. Accordingly, the second transfer gate T2 is 'off' so that the output of the word line driving means W / D is blocked from being transmitted to the redundancy word line RW / L and is switched to the initial state.
따라서 본 발명은 웨이퍼 상태에서 소자의 노말 메모리 셀 어레이들의 고장 유무를 테스트하여 고장이 발생된 노말 메모리 셀 어레이들을 대체하여 수리하는 리던던시 셀 어레이의 고장 유무를 체크할 수 있어 고장이 발생되지 않은 리던던시 셀 어레이로 대체하므로 생산 수율을 향상시킬 수 있는 잇점이 있다.Therefore, the present invention can check the failure of the redundancy cell array that repairs by replacing the defective normal memory cell arrays by testing the failure of the normal memory cell arrays of the device in the wafer state, and thus the redundancy cells having no failure. Replacing with arrays has the advantage of improving production yield.
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