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KR101196721B1 - Paste dispenser and method for controlling the same - Google Patents

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KR101196721B1
KR101196721B1 KR1020090123462A KR20090123462A KR101196721B1 KR 101196721 B1 KR101196721 B1 KR 101196721B1 KR 1020090123462 A KR1020090123462 A KR 1020090123462A KR 20090123462 A KR20090123462 A KR 20090123462A KR 101196721 B1 KR101196721 B1 KR 101196721B1
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김영휘
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 헤드지지대가 지지되는 프레임 또는 기판이 탑재되는 스테이지를 기준으로 헤드지지대가 X축방향으로 평행하게 정렬되었는지를 정확하게 측정할 수 있는 구성 및 방법에 대하여 제시한다.The paste dispenser according to the present invention proposes a configuration and method for accurately measuring whether the head support is aligned in parallel in the X-axis direction with respect to the stage on which the frame or the substrate on which the head support is supported is mounted.

프레임, 스테이지, 헤드지지대 Frame, stage, head support

Description

페이스트 디스펜서 및 그 제어방법 {PASTE DISPENSER AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME}Paste Dispenser and Control Method {PASTE DISPENSER AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME}

본 발명은 기판상에 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a paste dispenser for applying paste onto a substrate and a control method thereof.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display: FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.In general, a flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a television or a monitor employing a CRT. As flat panel displays, Liquid Crystal Display (LCD), Plasma Display Panel (PDP), Field Emission Display (FED), Organic Light Emitting Diodes (OLED), etc. It is used.

이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작 전압이 낮은 장점 등이 있어 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.Among them, the liquid crystal display is a display device in which a desired image is displayed by individually supplying data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix to adjust light transmittance of the liquid crystal cells. Liquid crystal displays are widely used because of their thinness, light weight, low power consumption and low operating voltage. The manufacturing method of the liquid crystal panel generally employed in such a liquid crystal display will be described.

먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판에 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.First, a color filter and a common electrode are formed on an upper substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are formed on the lower substrate corresponding to the upper substrate. Subsequently, after the alignment films are applied to the substrates, the alignment films are rubbed to provide a pre-tilt angle and an orientation direction to the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer to be formed therebetween.

그리고, 기판들 사이의 간격을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.Then, paste is applied to at least one substrate in a predetermined pattern to form a paste pattern so as to maintain a gap between the substrates and to prevent the liquid crystal from leaking to the outside and to seal the substrates. Through the process of forming a liquid crystal layer in the liquid crystal panel is manufactured.

이와 같은 액정패널의 제조에 있어서, 기판상에 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 페이스트 디스펜서(paste dispenser)라는 장비가 이용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 프레임상에 배치되며 기판이 탑재되는 스테이지와, 페이스트가 토출되는 노즐이 장착된 헤드유닛과, 헤드유닛을 지지하는 헤드지지대를 포함하여 구성된다.In the manufacture of such a liquid crystal panel, a device called a paste dispenser is used to form a paste pattern on a substrate. The paste dispenser includes a stage disposed on a frame, on which a substrate is mounted, a head unit equipped with a nozzle through which paste is discharged, and a head support for supporting the head unit.

이러한 페이스트 디스펜서는 각각의 노즐과 기판의 상대위치를 변화시켜가면서 기판 상에 페이스트 패턴을 형성한다. 즉, 페이스트 디스펜서는, 각각의 헤드유닛에 장착된 노즐을 Z축방향으로 상하 이동시켜 노즐의 토출구와 기판 사이의 간격을 일정하게 제어하면서 노즐 및/또는 기판을 X축방향과 Y축방향으로 수평 이동시키고, 노즐로부터 페이스트를 기판 상에 토출시켜 페이스트 패턴을 형성한다.Such a paste dispenser forms a paste pattern on a substrate while varying the relative position of each nozzle and the substrate. That is, the paste dispenser horizontally moves the nozzles and / or the substrate in the X-axis direction and the Y-axis direction while constantly controlling the distance between the nozzle outlet and the substrate by moving the nozzles mounted on each head unit in the Z-axis direction. The paste is ejected from the nozzle onto the substrate to form a paste pattern.

한편, 프레임상에 헤드지지대를 설치하는 과정이나 페이스트 디스펜서를 장시간 동안 사용한 경우에는, 헤드지지대가 프레임상에서 정확하게 정렬되지 못하고 소정의 각도로 틀어지는 문제가 발생할 수 있다.On the other hand, when the head support is installed on the frame or when the paste dispenser is used for a long time, a problem may occur in which the head support is not aligned correctly on the frame and is distorted at a predetermined angle.

이와 같이 헤드지지대가 프레임상에서 정확하게 정렬되지 못하는 경우에는 헤드지지대의 이동이 원활하게 수행되지 못할 뿐만 아니라 헤드유닛의 이동위치가 부정확하게 되므로 기판상에 형성되는 페이스트 패턴에 불량이 발생하는 문제가 있었다.As such, when the head support is not aligned correctly on the frame, not only the movement of the head support is not smoothly performed, but also the position of the head unit is incorrectly moved, thereby causing a problem in the paste pattern formed on the substrate.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 프레임 또는 스테이지에 대하여 헤드지지대가 X축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 정확하게 측정할 수 있는 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법을 제공하는 데에 있다.The present invention is to solve the above problems of the prior art, an object of the present invention is to provide a paste dispenser and a control method for accurately measuring whether the head support is aligned parallel to the X axis with respect to the frame or stage To provide.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 프레임과, 상기 프레임상에 배치되며 기판이 탑재되는 스테이지와, 상기 프레임에 지지되며 상기 스테이지의 상부에서 X축방향으로 연장되는 헤드지지대와, 상기 헤드지지대에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치되며 페이스트를 토출하는 노즐이 구비되는 헤드유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서에 있어서, 상기 프레임 또는 상기 스테이지에 X축방향을 따라 복수로 일렬로 배치되는 기준유닛과, 상기 헤드유닛에 구비되어 상기 기준유닛을 감지하는 감지유닛을 포함하여 구성될 수 있다.The paste dispenser according to the present invention for achieving the above object, a frame, a stage disposed on the frame and the substrate is mounted, a head support supported on the frame and extending in the X-axis direction from the top of the stage; A paste dispenser comprising a head unit installed on the head support to be movable in the X axis direction and having a nozzle for discharging paste, the paste dispenser being disposed in a plurality of lines in the frame or the stage along the X axis direction. It may be configured to include a reference unit and a sensing unit provided in the head unit for detecting the reference unit.

여기에서, 상기 기준유닛은 광을 발광하는 발광부를 포함하여 구성될 수 있으며, 상기 감지유닛은 상기 발광부에서 발광되는 광을 수광하는 수광부를 포함하여 구성될 수 있다.Here, the reference unit may be configured to include a light emitting unit for emitting light, and the detection unit may be configured to include a light receiving unit for receiving the light emitted from the light emitting unit.

본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 제어방법은, (a) 상기 헤드유닛을 이동시켜 상기 감지유닛을 상기 복수의 기준유닛 중 하나의 기준유닛을 감지하는 위치로 이동시키는 단계와, (b) 상기 헤드유닛을 상기 헤드지지대를 따라 이동시키면 서, 상기 감지유닛이 상기 헤드유닛의 이동방향으로 배치되는 기준유닛을 감지하는지 여부를 측정하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.The control method of the paste dispenser according to the present invention includes the steps of (a) moving the head unit to move the sensing unit to a position for detecting one of the plurality of reference units, and (b) the head unit. It may be configured to include a step of measuring whether the sensing unit detects the reference unit disposed in the moving direction of the head unit while moving along the head support.

여기에서, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 상기 (b) 단계에서, 상기 감지유닛이 상기 헤드유닛의 이동방향으로 배치되는 기준유닛을 감지하지 아니한 경우, 상기 헤드지지대가 연장되는 연장축이 상기 X축에 평행하도록 상기 헤드지지대의 위치를 교정하는 단계를 더 포함하여 구성될 수 있다.Here, the paste dispenser according to the present invention, in the step (b), when the sensing unit does not detect the reference unit disposed in the moving direction of the head unit, the extension shaft extending the head support is X And calibrating the position of the head support to be parallel to the axis.

또한, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 상기 기준유닛은 상기 프레임 또는 상기 스테이지에 표시되는 기준마크를 포함하여 구성될 수 있고, 상기 감지유닛은 상기 프레임 또는 상기 스테이지를 향하여 설치되는 촬상장치를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the paste dispenser according to the present invention, the reference unit may be configured to include a reference mark displayed on the frame or the stage, the detection unit includes an imaging device installed toward the frame or the stage Can be configured.

본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 제어방법은, (a) 상기 헤드유닛을 이동시켜 상기 촬상장치를 상기 촬상장치의 촬상중심이 상기 복수의 기준마크 중 제1기준마크의 중심과 일치되는 위치로 이동시키는 단계와, (b) 상기 헤드유닛을 상기 헤드지지대를 따라 이동시켜 상기 촬상장치를 상기 복수의 기준마크 중 미리 설정된 제2기준마크의 위치로 이동시키고, 상기 미리 설정된 제2기준마크의 위치를 촬상하는 단계와, (c) 상기 촬상장치의 촬상중심과 상기 제2기준마크의 중심이 일치하는지 여부를 측정하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.The control method of the paste dispenser according to the present invention includes (a) moving the head unit to move the imaging device to a position where the imaging center of the imaging device coincides with the center of the first reference mark among the plurality of reference marks. And (b) moving the head unit along the head support to move the image pickup apparatus to a position of a second preset reference mark among the plurality of reference marks, and imaging the position of the second preset reference mark. And (c) measuring whether the imaging center of the imaging apparatus and the center of the second reference mark coincide with each other.

여기에서, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 상기 (c) 단계에서, 상기 촬상장치의 촬상중심과 상기 제2기준마크의 중심이 일치하지 아니한 경우, 상기 헤드지지대가 연장되는 연장축이 상기 X축에 평행하도록 상기 헤드지지대의 위치를 교정하는 단계를 더 포함하여 구성될 수 있다.Here, the paste dispenser according to the present invention, in the step (c), when the center of the image pickup center and the second reference mark of the imaging device does not coincide, the X axis is the extension axis extending the head support And calibrating the position of the head support to be parallel to.

한편, 상기 헤드지지대의 위치를 교정하는 단계는, 상기 촬상장치의 촬상중심과 상기 제2기준마크의 중심 사이의 Y축방향 간격을 측정하는 제1단계와, 상기 제1기준마크로부터 상기 제2기준마크로의 상기 촬상장치의 이동거리와 상기 제1단계에서 측정한 상기 촬상장치의 촬상중심과 상기 제2기준마크의 중심 사이의 Y축방향 간격으로부터 상기 헤드지지대의 연장축과 상기 X축이 이루는 각도를 산출하는 제2단계와, 상기 제2단계에서 산출한 각도를 근거로 상기 헤드지지대의 연장축이 상기 X축에 평행하도록 상기 헤드지지대의 위치를 교정하는 제3단계를 포함하여 구성될 수 있다.On the other hand, the step of calibrating the position of the head support, the first step of measuring the distance in the Y-axis direction between the imaging center of the imaging device and the center of the second reference mark, and the second reference from the first reference mark The X axis and the extension axis of the head support are formed from a distance in the Y axis direction between the moving distance of the imaging device to the reference mark and the imaging center of the imaging device measured in the first step and the center of the second reference mark. A second step of calculating an angle and a third step of correcting the position of the head support such that the extension axis of the head support is parallel to the X axis based on the angle calculated in the second step. have.

본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 프레임과, 상기 프레임상에 배치되며 기판이 탑재되는 스테이지와, 상기 프레임에 지지되며 상기 스테이지의 상부에서 X축방향으로 연장되는 헤드지지대와, 상기 헤드지지대에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치되며 페이스트를 토출하는 노즐이 구비되는 헤드유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서에 있어서, 상기 헤드유닛에 구비되는 기준유닛과, 상기 프레임 또는 상기 스테이지에 X축방향을 따라 복수로 일렬로 배치되어 상기 기준유닛을 감지하는 감지유닛을 포함하여 구성될 수 있다.The paste dispenser according to the present invention includes a frame, a stage disposed on the frame, on which the substrate is mounted, a head support supported on the frame and extending in the X axis direction from the top of the stage, and an X axis on the head support. A paste dispenser comprising a head unit provided to be movable in a direction and having a nozzle for discharging paste, the paste dispenser comprising: a reference unit provided in the head unit and a plurality of lines in the frame or the stage along the X-axis direction It may be configured to include a sensing unit disposed to detect the reference unit.

본 발명에 따른 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법은, 헤드지지대가 지지되는 프레임 또는 기판이 탑재되는 스테이지에 대하여 헤드지지대가 X축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 정확하게 감지할 수 있고, 이를 이용하여 헤드지지대를 X축에 평행하게 정렬시킬 수 있으므로, 기판상에 원하는 패턴으로 페이스트를 정확하게 도포할 수 있는 효과가 있다.The paste dispenser and its control method according to the present invention can accurately detect whether the head support is aligned parallel to the X-axis with respect to the frame on which the head support is supported or the stage on which the substrate is mounted. Since it can be aligned parallel to the X-axis, there is an effect that can accurately apply the paste in a desired pattern on the substrate.

또한, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법은, 헤드지지대가 지지되는 프레임 또는 기판이 탑재되는 스테이지를 기준으로 헤드지지대가 X축방향으로 정렬되었는지를 측정할 수 있으므로, 기판이 스테이지상에 반입되지 아니한 상태에서도 헤드지지대가 X축방향으로 정렬되었는지를 측정할 수 있는 효과가 있다.In addition, the paste dispenser and its control method according to the present invention can measure whether the head support is aligned in the X-axis direction based on the frame on which the head support is supported or the stage on which the substrate is mounted. Even if not, there is an effect that can measure whether the head support is aligned in the X-axis direction.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the paste dispenser and its control method according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1 및 도 2를 참조하여, 기판상에 페이스트 패턴을 형성하기 위한 페이스트 디스펜서에 대하여 설명한다. 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 프레임(10)과, 프레임(10)상에 설치되고 기판(S)이 탑재되는 스테이지(20)와, 스테이지의 양측에 설치되고 Y축방향으로 연장되는 한 쌍의 지지대이동가이드(30)와, 한 쌍의 지지대이동가이드(30)에 양단이 지지되어 스테이지(20)의 상부에 설치되고 X축방향으로 연장되는 헤드지지대(40)와, 헤드지지대(40)에 X축방향으로 이동 가능하게 설치되고 페이스트가 토출되는 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)가 장착되는 헤드유닛(50)과, 페이스트의 도포동작을 제어하는 제어유닛(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.First, with reference to FIG. 1 and FIG. 2, the paste dispenser for forming a paste pattern on a board | substrate is demonstrated. The paste dispenser according to the present invention includes a frame 10, a stage 20 provided on the frame 10 and a substrate S mounted thereon, and a pair of stages provided on both sides of the stage and extending in the Y-axis direction. Both ends are supported by the support movement guide 30 and the pair of support movement guides 30, which are installed on the upper portion of the stage 20 and extend in the X-axis direction, and the head support 40. A head unit 50 installed to be movable in the X-axis direction and equipped with a nozzle 53 for discharging paste and a laser displacement sensor 54, and a control unit (not shown) for controlling the application operation of the paste. Can be configured.

프레임(10)상에는, 스테이지(20)를 X축방향으로 이동시키는 X축이동장치(21) 와 스테이지(20)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축이동장치(22)가 설치될 수 있다. 즉, 프레임(10)상에는 Y축이동장치(22)의 Y축가이드(221)가 설치되며, Y축가이드(221)의 상부에는 X축이동장치(21)의 X축가이드(211)가 설치되고, X축가이드(211)의 상부에는 스테이지(20)가 탑재될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 스테이지(20)는 X축가이드(211)에 안내되어 X축방향으로 이동될 수 있으며 X축가이드(211)가 Y축가이드(221)에 안내되어 이동되는 것에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있다. 한편, 본 발명은 Y축가이드(221)가 프레임(10)의 상부에 설치되고 X축가이드(211)가 Y축가이드(221)의 상부에 탑재되는 구성에 한정되지 아니하며, 프레임(10)의 상부에 X축가이드(211)가 설치되고 X축가이드(211)의 상부에 Y축가이드(221)가 탑재되는 구성이 적용될 수 있다. 물론, X축이동장치(21) 및 X축가이드(211)와, Y축이동장치(22) 및 Y축가이드(221) 중 어느 한 쪽만이 적용되어, 스테이지를 X축방향 및 Y축방향 중 어느 한 쪽 방향으로만 이동시키는 구성이 적용될 수 있다.On the frame 10, an X-axis moving device 21 for moving the stage 20 in the X-axis direction and a Y-axis moving device 22 for moving the stage 20 in the Y-axis direction may be installed. That is, the Y-axis guide 221 of the Y-axis moving device 22 is installed on the frame 10, and the X-axis guide 211 of the X-axis moving device 21 is installed above the Y-axis moving device 22. The stage 20 may be mounted on the X-axis guide 211. By such a configuration, the stage 20 may be guided by the X-axis guide 211 and moved in the X-axis direction, and the X-axis guide 211 is guided and moved by the Y-axis guide 221 to the Y-axis. Can be moved in a direction. On the other hand, the present invention is not limited to the configuration in which the Y-axis guide 221 is installed on the upper portion of the frame 10 and the X-axis guide 211 is mounted on the upper portion of the Y-axis guide 221, the frame 10 of the The X-axis guide 211 is installed on the upper portion and the configuration that the Y-axis guide 221 is mounted on the upper portion of the X-axis guide 211 can be applied. Of course, only one of the X-axis moving device 21 and the X-axis guide 211 and the Y-axis moving device 22 and the Y-axis guide 221 is applied, so that the stage is in the X-axis direction and the Y-axis direction. A configuration that moves only in either direction can be applied.

헤드지지대(40)의 양단에는 지지대이동가이드(30)와 연결되는 지지대이동장치(41)가 설치될 수 있다. 지지대이동가이드(30)와 지지대이동장치(41)의 상호작용에 의하여 헤드지지대(40)가 지지대이동가이드(30)의 길이방향, 즉, Y축방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 헤드유닛(50)은 헤드지지대(40)의 Y축방향으로의 이동에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있다.Both ends of the head support 40 may be installed with a support for moving the support 41 is connected to the support guide movement guide (30). By the interaction of the support movement guide 30 and the support movement device 41, the head support 40 can be moved in the longitudinal direction of the support movement guide 30, that is, the Y-axis direction. Accordingly, the head unit 50 may be moved in the Y-axis direction by the movement of the head support 40 in the Y-axis direction.

헤드지지대(40)에는 X축방향으로 배치되는 헤드이동가이드(42)가 설치될 수 있고, 헤드유닛(50)에는 헤드지지대(40)의 헤드이동가이드(42)와 연결되는 헤드이 동장치(51)가 설치될 수 있다. 헤드이동가이드(42)와 헤드이동장치(51)의 상호작용에 의하여 헤드유닛(50)이 헤드지지대(40)의 길이방향, 즉, X축방향으로 이동될 수 있다.The head support 40 may be provided with a head moving guide 42 disposed in the X-axis direction, and the head unit 50 may include a head moving device 51 connected to the head moving guide 42 of the head support 40. ) Can be installed. By the interaction of the head moving guide 42 and the head moving device 51, the head unit 50 can be moved in the longitudinal direction of the head support 40, that is, the X axis direction.

이와 같이, 헤드유닛(50)은 X축 및 Y축으로 규정되는 XY장비좌표계에 따라 X축방향 및/또는 Y축방향으로 수평 이동될 수 있다.As such, the head unit 50 may be horizontally moved in the X-axis direction and / or Y-axis direction according to the XY equipment coordinate system defined by the X-axis and Y-axis.

도 2에 도시된 바와 같이, 헤드유닛(50)은, 페이스트가 충진되는 시린지(52)와, 시린지(52)와 연통되며 페이스트가 토출되는 노즐(53)과, 노즐(53)에 인접되게 배치되어 노즐(53)과 기판(S) 사이의 간격을 측정하기 위한 레이저변위센서(54)와, 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축구동부(55)와, 노즐(53) 및 레이저변위센서(54)를 Z축방향으로 이동시키는 Z축구동부(56)를 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIG. 2, the head unit 50 is disposed adjacent to the syringe 52 in which the paste is filled, the nozzle 53 in communication with the syringe 52, and the paste is discharged. Laser displacement sensor 54 for measuring the distance between the nozzle 53 and the substrate S, and a Y-axis driving portion 55 for moving the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 in the Y-axis direction; , Z-axis driving unit 56 for moving the nozzle 53 and the laser displacement sensor 54 in the Z-axis direction can be configured.

레이저변위센서(54)는 레이저를 발광하는 발광부(541)와, 발광부(541)와 소정의 간격으로 이격되며 기판(S)에서 반사된 레이저가 수광되는 수광부(542)로 구성되며, 발광부(541)에서 발광되어 기판(S)의 상면에서 반사된 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어유닛으로 출력하여 기판(S)과 노즐(53) 사이의 간격을 계측하는 역할을 수행한다.The laser displacement sensor 54 is composed of a light emitting unit 541 for emitting a laser, and a light receiving unit 542 spaced apart from the light emitting unit 541 at a predetermined interval and receiving a laser beam reflected from the substrate S. The light emitted from the unit 541 and outputs an electrical signal according to the imaging position of the laser reflected from the upper surface of the substrate (S) to the control unit serves to measure the distance between the substrate (S) and the nozzle (53).

또한, 헤드유닛(50)에는 기판(S)에 도포된 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정하는 단면적센서(57)가 설치될 수 있다. 이와 같은 단면적센서(57)는 기판(S)으로 레이저를 연속적으로 방출하여 페이스트 패턴(P)을 스캔하는 것을 통하여 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정한다. 단면적센서(57)로부터 측정된 페이스트 패 턴(P)의 단면적에 대한 데이터는 페이스트 패턴(P)의 불량여부를 측정하는 데에 이용될 수 있다.In addition, the head unit 50 may be provided with a cross-sectional area sensor 57 for measuring the cross-sectional area of the paste pattern (P) applied to the substrate (S). The cross-sectional area sensor 57 measures the cross-sectional area of the paste pattern P by continuously emitting a laser to the substrate S and scanning the paste pattern P. FIG. Data on the cross-sectional area of the paste pattern P measured from the cross-sectional area sensor 57 may be used to measure whether the paste pattern P is defective.

또한, 헤드유닛(50)에는 노즐(53)과 인접한 부위에 기판(S)을 향하도록 설치되는 촬상장치(58)가 구비될 수 있다. 촬상장치(58)는 헤드유닛(50)의 X축방향으로의 이동 및 Y축방향으로의 이동에 의하여 노즐(53)과 함께 이동하면서 노즐(53)의 현재의 위치를 측정하는 역할을 수행할 수 있다.In addition, the head unit 50 may be provided with an imaging device 58 that is installed to face the substrate (S) in a portion adjacent to the nozzle (53). The imaging device 58 performs a role of measuring the current position of the nozzle 53 while moving together with the nozzle 53 by the movement in the X-axis direction and the Y-axis direction of the head unit 50. Can be.

이하, 도 3 및 도 4를 참조하여, 본 발명의 일실시예로서, 프레임(10) 또는 스테이지(20)에 대하여 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 측정할 수 있는 구성 및 방법에 대하여 설명한다.3 and 4, as an embodiment of the present invention, a structure capable of measuring whether the head support 40 is aligned parallel to the X axis with respect to the frame 10 or the stage 20 is described. And a method will be described.

도 3에 도시된 바와 같이, 프레임(10) 또는 스테이지(20)에는 X축방향을 따라 복수로 일렬로 배치되는 기준유닛(70)이 구비될 수 있으며, 헤드유닛(50)에는 이러한 기준유닛(70)을 감지하는 감지유닛(80)이 구비될 수 있다.As shown in FIG. 3, the frame 10 or the stage 20 may be provided with reference units 70 arranged in a plurality of lines along the X-axis direction, and the head unit 50 may include such reference units ( 70 may be provided with a sensing unit 80 for sensing.

본 발명에서는 기준유닛(70)을 프레임(10) 또는 스테이지(20)를 구비하여 프레임(10) 또는 스테이지(20)를 기준으로 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지를 측정하는 구성 및 방법이 제시된다. 이와 같이, 프레임(10) 또는 스테이지(20)를 기준으로 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지를 측정하는 경우에는 기판(S)을 기준으로 하여 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지를 측정하는 경우에 비하여 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지를 더욱 정확하게 측정할 수 있다. 이는 기판(S)이 스테이지(20)상에 스테이지(20)와 정확하게 정렬되는 상태로 반입되지 않을 가능성이 있으므로, 기판(S)을 기준으로 하는 경우 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지를 측정하는 데에 오차가 발생할 수 있기 때문이다. 또한, 프레임(10) 또는 스테이지(20)를 기준으로 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지를 측정하는 경우에는 기판(S)을 스테이지(20)상에 반입시킬 필요가 없으므로, 기판(S)의 스테이지(20)상으로의 반입여부와 관계없이 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지를 측정할 수 있다.In the present invention, the reference unit 70 is provided with a frame 10 or a stage 20 to measure whether the head support 40 is aligned parallel to the X axis with respect to the frame 10 or the stage 20. And methods are presented. As such, when measuring whether the head support 40 is aligned parallel to the X axis with respect to the frame 10 or the stage 20, the head support 40 is positioned on the X axis based on the substrate S. Compared to the case of measuring parallel alignment, it is possible to more accurately measure whether the head support 40 is aligned parallel to the X axis. This is because the substrate S may not be carried on the stage 20 in a state of being exactly aligned with the stage 20, so that the head support 40 is aligned parallel to the X axis when the substrate S is referred to. This may be due to an error in measuring the accuracy. In addition, when measuring whether the head support 40 is aligned parallel to the X axis with respect to the frame 10 or the stage 20, the substrate S does not need to be carried on the stage 20. Whether or not the head support 40 is aligned parallel to the X axis can be measured regardless of whether or not the (S) is carried on the stage 20.

이와 같이, 본 발명에 따르면, 기준유닛(70)이 프레임(10) 또는 스테이지(20)에 구비되므로, 기판(S)의 반입 및 정렬과정이 없이도 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 감지할 수 있다.As such, according to the present invention, since the reference unit 70 is provided in the frame 10 or the stage 20, the head support 40 is aligned parallel to the X axis without the carrying-in and alignment process of the substrate S. Can be detected.

또한, 본 발명에 따르면, 기준유닛(70) 및 감지유닛(80)의 구성을 다양화할 수 있다. 즉, 기준유닛(70)은 광을 발광하는 발광부로 구성될 수 있고, 감지유닛(80)은 발광부에서 발광되는 광을 수광하는 수광부로 구성될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하여, 기준유닛(70)의 발광부에서 발광되는 광이 감지유닛(80)의 수광부에 수광되는 지를 감지하는 것을 통하여 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지를 측정할 수 있다.In addition, according to the present invention, the configuration of the reference unit 70 and the sensing unit 80 can be diversified. That is, the reference unit 70 may be configured as a light emitting unit for emitting light, and the sensing unit 80 may be configured as a light receiving unit for receiving light emitted from the light emitting unit. By such a configuration, it is possible to measure whether the head support 40 is aligned parallel to the X-axis by detecting whether the light emitted from the light emitting portion of the reference unit 70 is received by the light receiving portion of the sensing unit 80. Can be.

한편, 본 발명은 기준유닛(70)이 프레임(10) 또는 스테이지(20)에 구비되고 감지유닛(80)이 헤드유닛(50)에 구비되는 것에 한정되지 아니하며, 기준유닛(70)이 헤드유닛(50)에 구비되고 감지유닛(80)이 프레임(10) 또는 스테이지(20)에 구비되는 구성이 적용될 수 있다. 즉, 발광부가 헤드유닛(50)에 구비되고 수광부가 프레임(10) 또는 스테이지(20)에 X축방향으로 일렬로 배치되어 발광부에서 발광된 광이 수광부에 수광되는 지를 감지하는 것을 통하여 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지를 측정할 수 있다.On the other hand, the present invention is not limited to the reference unit 70 is provided in the frame 10 or the stage 20 and the sensing unit 80 is provided in the head unit 50, the reference unit 70 is a head unit The configuration provided in the 50 and the sensing unit 80 is provided in the frame 10 or the stage 20 can be applied. That is, the light emitting unit is provided in the head unit 50 and the light receiving unit is arranged in a line in the X-axis direction on the frame 10 or the stage 20 so that the head support unit can detect whether the light emitted from the light emitting unit is received by the light receiving unit. It can be determined whether 40 is aligned parallel to the X axis.

도 3 및 도 4를 참조하여, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 일실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 제어방법에 대하여 설명하면 다음과 같다.Referring to Figures 3 and 4, the control method of the paste dispenser according to an embodiment of the present invention configured as described above is as follows.

헤드지지대(40)를 프레임(10)의 지지대이동가이드(30)상에 설치한 때, 헤드지지대(40)에 구비되는 구성부품을 교환한 때, 페이스트 디스펜서를 장시간 동안 구동한 때에는 프레임(10) 또는 스테이지(20)에 대하여 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 측정하는 과정이 수행될 수 있다. 또한, 이러한 과정은 미리 설정된 시간마다 또는 수시로 수행될 수 있다.When the head support 40 is installed on the support movement guide 30 of the frame 10, when the components included in the head support 40 are replaced, and the paste dispenser is driven for a long time, the frame 10 Alternatively, a process of measuring whether the head support 40 is aligned parallel to the X axis with respect to the stage 20 may be performed. In addition, this process may be performed every predetermined time or from time to time.

헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 측정하기 위하여, 먼저, 헤드유닛(50)을 X축방향 및/또는 Y축방향으로 이동시켜 헤드유닛(50)의 감지유닛(80)을 프레임(10) 또는 스테이지(20)상에 구비되는 복수의 기준유닛(70) 중 하나의 기준유닛(70)을 감지할 수 있는 위치로 이동시킨다(S11).In order to measure whether the head support 40 is aligned parallel to the X axis, first, the head unit 50 is moved in the X axis direction and / or the Y axis direction to detect the sensing unit 80 of the head unit 50. Move the reference unit 70 of one of the plurality of reference units 70 provided on the frame 10 or the stage 20 to a position capable of detecting (S11).

이와 같이, 감지유닛(80)이 복수의 기준유닛(70) 중 하나의 기준유닛(70)을 감지하는 위치에 위치된 상태에서, 헤드유닛(50)을 헤드지지대(40)를 따라 이동시켜 감지유닛(80)을 이동시킨다(S12).As such, in a state where the sensing unit 80 is located at a position for sensing one reference unit 70 of the plurality of reference units 70, the head unit 50 is moved along the head support 40 to detect the sensing unit 80. The unit 80 is moved (S12).

이때, 감지유닛(80)이 X축방향으로 배치되는 적어도 하나의 기준유닛(70)을 감지하는지 여부를 측정한다(S13).At this time, it is measured whether the detection unit 80 detects at least one reference unit 70 disposed in the X-axis direction (S13).

감지유닛(80)이 X축방향으로 배치된 기준유닛(70)을 감지하는 경우에는, 헤드유닛(50)의 이동방향과 기준유닛(70)이 배치되는 방향(X축방향)이 평행한 경우, 즉, 헤드지지대(40)의 연장축(EL)이 X축에 평행한 경우이므로, 헤드지지대(40)가 X 축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 측정하는 동작을 종료한다.When the sensing unit 80 detects the reference unit 70 arranged in the X-axis direction, the moving direction of the head unit 50 and the direction in which the reference unit 70 is disposed (the X-axis direction) are parallel to each other. That is, since the extension shaft EL of the head support 40 is parallel to the X axis, the operation of measuring whether the head support 40 is aligned parallel to the X axis is terminated.

그러나, 감지유닛(80)이 X축방향으로 배치된 기준유닛(70)을 감지하지 못하는 경우에는, 헤드유닛(50)의 이동방향과 기준유닛(70)이 배치되는 방향(X축방향)이 평행하지 않은 경우이므로, 헤드지지대(40)의 연장축(EL)이 X축에 평행하도록 헤드지지대(40)의 위치를 교정하는 과정을 수행할 수 있다(S14).However, when the sensing unit 80 does not detect the reference unit 70 disposed in the X-axis direction, the moving direction of the head unit 50 and the direction in which the reference unit 70 is disposed (the X-axis direction) Since it is not parallel, a process of correcting the position of the head support 40 may be performed such that the extension shaft EL of the head support 40 is parallel to the X axis (S14).

헤드지지대(40)의 교정을 위하여 헤드지지대(40)의 일측단은 고정한 상태에서 헤드지지대(40)의 타측단만을 Y축방향으로 이동시키는 동작이 수행될 수 있으며, 이에 따라 헤드지지대(40)의 연장축(EL)이 X축에 평행하게 되도록 헤드지지대(40)의 위치가 교정될 수 있다. 이를 위하여 제어유닛은 헤드지지대(40)의 양단에 설치되는 지지대이동장치(41)중 하나는 정지시키고 다른 하나만을 동작시키는 제어를 할 수 있다.In order to calibrate the head support 40, one side end of the head support 40 may be moved to move only the other end of the head support 40 in the Y-axis direction in a fixed state. Accordingly, the head support 40 may be performed. The position of the head support 40 can be corrected such that the extension axis EL is parallel to the X axis. To this end, the control unit may control to stop one of the support moving devices 41 installed at both ends of the head support 40 and operate only the other.

한편, 이상과 같이 헤드지지대(40)의 위치를 교정하는 과정을 수행한 후, 헤드지지대(40)가 X축방향으로 평행하게 정렬되었는지 여부를 다시 측정할 것인가를 판단하는 과정이 수행될 수 있다(S15).On the other hand, after performing the process of correcting the position of the head support 40 as described above, a process of determining whether to measure again whether the head support 40 is aligned in parallel in the X-axis direction may be performed. (S15).

이하, 도 5 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예로서, 프레임(10) 또는 스테이지(20)에 대하여 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 측정할 수 있는 구성 및 방법에 대하여 설명한다.5 to 7, as another embodiment of the present invention, a configuration capable of measuring whether the head support 40 is aligned parallel to the X axis with respect to the frame 10 or the stage 20 is described. And a method will be described.

도 5에 도시된 바와 같이, 프레임(10) 또는 스테이지(20)에는 X축방향을 따라 복수로 일렬로 배치되는 기준유닛(70)이 구비될 수 있으며, 헤드유닛(50)에는 이러한 기준유닛(70)을 감지하는 감지유닛(80)이 구비될 수 있다.As shown in FIG. 5, the frame 10 or the stage 20 may be provided with reference units 70 arranged in a plurality of lines along the X-axis direction, and the head unit 50 may include such reference units ( 70 may be provided with a sensing unit 80 for sensing.

기준유닛(70)은 프레임(10) 또는 스테이지(20)에 표시되는 기준마크(71)로 구성될 수 있고, 감지유닛(80)은 헤드유닛(50)에 구비되는 촬상장치(58)가 될 수 있다.The reference unit 70 may be composed of a reference mark 71 displayed on the frame 10 or the stage 20, and the sensing unit 80 may be an imaging device 58 provided in the head unit 50. Can be.

기준마크(71)는 프레임(10) 또는 스테이지(20)의 상면에 X축방향으로 일렬로 복수로 표시될 수 있다. 기준마크(71)는 소정의 직경을 가지는 점형상으로 형성될 수 있으며, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 십자형상으로 형성될 수 있다.A plurality of reference marks 71 may be displayed on the upper surface of the frame 10 or the stage 20 in a line in the X-axis direction. The reference mark 71 may be formed in a point shape having a predetermined diameter, and may be formed in a cross shape, as shown in FIGS. 5 and 6.

도 6 및 도 7을 참조하여, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 다른 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 제어방법에 대하여 설명하면 다음과 같다.6 and 7, a control method of a paste dispenser according to another embodiment of the present invention configured as described above will be described below.

헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 감지하기 위하여, 먼저, 헤드유닛(50)을 X축방향 및/또는 Y축방향으로 이동시켜 촬상장치(58)를 촬상장치(58)의 촬상중심(CC)이 복수의 기준마크(71) 중 제1기준마크(711)의 중심과 일치되는 위치로 이동시킨다(S21).In order to detect whether the head support 40 is aligned parallel to the X axis, first, the head unit 50 is moved in the X axis direction and / or Y axis direction to move the imaging device 58 to the imaging device 58. The imaging center CC moves to a position coinciding with the center of the first reference mark 711 of the plurality of reference marks 71 (S21).

그리고, 헤드유닛(50)을 헤드지지대(40)를 따라 이동시켜, 촬상장치(58)를 복수의 기준마크(71) 중 미리 설정된 제2기준마크(712)의 위치를 향하여 소정의 거리(DX)로 이동시킨다(S22).Then, the head unit 50 is moved along the head support 40 to move the imaging device 58 toward a predetermined position of the second reference mark 712 among the plurality of reference marks 71. In step S22).

이때, 촬상장치(58)가 이동되는 X축방향 거리(DX)는, 헤드지지대(40)가 X축에 평행한 경우, 촬상장치(58)를 제1기준마크(711)에서 제2기준마크(712)로 이동시켰을 때, 촬상장치(58)의 촬상중심(CC)이 제2기준마크(712)의 중심(MC)와 일치되는 X축방향 거리(DX)이다.At this time, when the head support 40 is parallel to the X axis, the X axis direction distance DX in which the imaging device 58 is moved is determined by moving the imaging device 58 from the first reference mark 711 to the second reference mark. When moving to 712, the imaging center CC of the imaging device 58 is the X-axis direction distance DX which coincides with the center MC of the second reference mark 712. FIG.

이와 같이, 촬상장치(58)를 제2기준마크(712)를 향하여 소정의 거리(DX)로 이동시킨 상태에서 촬상장치(58)로 제2기준마크(712)의 위치를 촬상한다(S23).In this manner, the image capturing device 58 captures the position of the second reference mark 712 with the image capturing device 58 while the imaging device 58 is moved toward the second reference mark 712 by a predetermined distance DX (S23). .

따라서, 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬된 경우라면, 촬상장치(58)를 제1기준마크(711)로부터 제2기준마크(712)로 이동시킨 경우, 촬상장치(58)의 촬상중심(CC)과 제2기준마크(712)의 중심(MC)이 일치된다. 그러나, 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되지 않은 경우에는, 촬상장치(58)를 제1기준마크(711)로부터 제2기준마크(712)로 이동시킨 경우, 도 6에 도시된 바와 같이, 촬상장치(58)의 촬상중심(CC)과 제2기준마크(712)의 중심(MC)이 일치되지 않게 된다.Therefore, if the head support 40 is aligned parallel to the X-axis, when the imaging device 58 is moved from the first reference mark 711 to the second reference mark 712, the imaging device 58 The imaging center CC and the center MC of the second reference mark 712 coincide with each other. However, when the head support 40 is not aligned parallel to the X axis, when the imaging device 58 is moved from the first reference mark 711 to the second reference mark 712, the head support 40 shown in FIG. As described above, the imaging center CC of the imaging device 58 and the center MC of the second reference mark 712 do not coincide.

따라서, 제어유닛은 제2기준마크(712)의 위치가 촬상된 이미지로부터 제2기준마크(712)의 중심(MC)과 촬상장치(58)의 촬상중심(CC)의 위치를 측정하여, 촬상장치(58)의 촬상중심(CC)과 제2기준마크(712)의 중심(MC)이 서로 일치하는지 여부를 측정한다(S24).Therefore, the control unit measures the position of the center MC of the second reference mark 712 and the imaging center CC of the imaging device 58 from the image of the position where the position of the second reference mark 712 is picked up, and thus the imaging. It is measured whether the imaging center CC of the device 58 and the center MC of the second reference mark 712 coincide with each other (S24).

이때, 촬상장치(58)의 촬상중심(CC)이 제2기준마크(712)의 중심(MC)과 일치하는 경우에는, 헤드지지대(40)의 연장축(EL)이 X축에 평행한 경우이므로, 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 감지하는 동작을 종료한다.At this time, when the imaging center CC of the imaging device 58 coincides with the center MC of the second reference mark 712, the extension axis EL of the head support 40 is parallel to the X axis. Therefore, the operation of detecting whether the head support 40 is aligned parallel to the X axis ends.

그러나, 촬상장치(58)의 촬상중심(CC)과 제2기준마크(712)의 중심(MC)이 일치하지 아니한 경우, 헤드지지대(40)의 연장축(EL)이 X축에 평행하도록 헤드지지대(40)의 위치를 교정하는 과정(S25)이 수행될 수 있다.However, when the imaging center CC of the imaging device 58 and the center MC of the second reference mark 712 do not coincide, the head is extended so that the extension axis EL of the head support 40 is parallel to the X axis. A process S25 of correcting the position of the support 40 may be performed.

헤드지지대(40)의 위치를 교정하는 과정(S25)은, 촬상장치(58)의 촬상중심(CC)과 제2기준마크(712))의 중심(MC) 사이의 Y축방향으로의 간격(DY)를 측정하고(S251), 이와 같이 측정한 Y축방향 간격(DY)과 촬상장치(58)가 제1기준마크(711) 로부터 제2기준마크(712)까지 이동한 거리(DX)를 이용하여 헤드지지대(40)의 연장축(EL)과 X축이 이루는 각도(A)를 산출하고(S252), 이와 같이 산출한 각도(A)를 이용하여 헤드지지대(40)의 연장축(EL)이 X축에 평행하도록 헤드지지대(40)의 위치를 조절하는 과정(S253)으로 구성될 수 있다.The step S25 of correcting the position of the head support 40 is performed in the Y-axis direction between the imaging center CC of the imaging device 58 and the center MC of the second reference mark 712. DY) is measured (S251), and the measured Y-axis distance DY and the distance DX moved by the imaging device 58 from the first reference mark 711 to the second reference mark 712 are measured. An angle A formed between the extension axis EL of the head support 40 and the X axis is calculated (S252), and the extension axis EL of the head support 40 is obtained using the calculated angle A. ) May be configured to adjust the position of the head support 40 to be parallel to the X axis (S253).

헤드지지대(40)의 위치를 조절하는 과정(S253)은, 헤드지지대(40)의 일측단은 고정한 상태에서 헤드지지대(40)의 타측단만을 Y축방향으로 이동시키는 동작을 통하여 수행될 수 있는데, 이를 위하여 제어유닛은 헤드지지대(40)의 양단에 설치되는 지지대이동장치(41)중 하나는 정지시키고 다른 하나만을 동작시키는 제어를 할 수 있다.The step S253 of adjusting the position of the head support 40 may be performed by moving only the other end of the head support 40 in the Y-axis direction while one end of the head support 40 is fixed. For this purpose, the control unit may control to stop one of the support moving devices 41 installed at both ends of the head support 40 and operate only the other.

한편, 이상과 같이 헤드지지대(40)의 위치를 교정하는 과정(S25)을 수행한 후, 헤드지지대(40)가 X축방향으로 평행하게 정렬되었는지 여부를 다시 측정할 것인가를 판단하는 과정이 수행될 수 있다(S27).On the other hand, after performing the process of correcting the position of the head support 40 as described above (S25), the process of determining whether to measure again whether the head support 40 is aligned in parallel in the X-axis direction is performed It may be (S27).

상기한 바와 같은 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법은, 헤드지지대(40)가 지지되는 프레임(10) 또는 기판(S)이 탑재되는 스테이지(20)에 대하여 헤드지지대(40)가 X축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 정확하게 측정할 수 있고, 이를 이용하여 헤드지지대(40)를 X축에 평행하게 정렬시킬 수 있으므로, 기판(S)상에 원하는 패턴으로 페이스트를 정확하게 도포할 수 있는 효과가 있다.As described above, the paste dispenser according to the present invention and the control method thereof include an X-axis of the head support 40 relative to the frame 10 on which the head support 40 is supported or the stage 20 on which the substrate S is mounted. It is possible to accurately measure whether or not aligned parallel to the, and by using this to align the head support 40 parallel to the X-axis, the effect of accurately applying the paste in the desired pattern on the substrate (S) have.

또한, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법은, 헤드지지대(40)가 지지되는 프레임(10) 또는 기판(S)이 탑재되는 스테이지(20)를 기준으로 헤드지지대(40)가 X축방향으로 정렬되었는지를 측정할 수 있으므로, 기판(S)이 스테이지 상에 반입되지 아니한 상태에서도 헤드지지대(40)가 X축방향으로 정렬되었는지를 측정할 수 있는 효과가 있다.In addition, in the paste dispenser according to the present invention and a control method thereof, the head support 40 is in the X-axis direction based on the frame 10 on which the head support 40 is supported or the stage 20 on which the substrate S is mounted. Since it is possible to measure whether the alignment is in the X-axis direction, even if the substrate S is not carried on the stage, there is an effect of measuring whether the head support 40 is aligned in the X-axis direction.

본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다.The technical idea described in each embodiment of the present invention may be implemented independently, or may be implemented in combination with each other.

도 1은 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서가 도시된 사시도이다.1 is a perspective view showing a paste dispenser according to the present invention.

도 2는 도 1의 페이스트 디스펜서의 헤드유닛이 도시된 사시도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a head unit of the paste dispenser of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드유닛 및 헤드지지대가 도시된 사시도이다.3 is a perspective view showing the head unit and the head support of the paste dispenser according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 1의 페이스트 디스펜서의 제어방법이 도시된 순서도이다.4 is a flowchart illustrating a control method of the paste dispenser of FIG. 1.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 헤드유닛 및 헤드지지대가 도시된 사시도이다.5 is a perspective view showing the head unit and the head support of the paste dispenser according to another embodiment of the present invention.

도 6은 도 5의 페이스트 디스펜서의 제어방법을 설명하기 위한 개략도이다.FIG. 6 is a schematic diagram for describing a control method of the paste dispenser of FIG. 5.

도 7은 도 5의 페이스트 디스펜서의 제어방법이 도시된 순서도이다.7 is a flowchart illustrating a control method of the paste dispenser of FIG. 5.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ****** Explanation of symbols for main parts of drawing ***

40: 헤드지지대 50: 헤드유닛40: head support 50: head unit

58: 촬상장치 70: 기준유닛58: imaging device 70: reference unit

71: 기준마크 80: 감지유닛71: reference mark 80: detection unit

Claims (9)

프레임과, 상기 프레임상에 배치되며 기판이 탑재되는 스테이지와, 상기 프레임에 지지되며 상기 스테이지의 상부에서 X축방향으로 연장되는 헤드지지대와, 상기 헤드지지대에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치되며 페이스트를 토출하는 노즐이 구비되는 헤드유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서에 있어서,A frame, a stage disposed on the frame, on which the substrate is mounted, a head support supported on the frame and extending in the X-axis direction from the top of the stage, and movable in the X-axis direction on the head support; In a paste dispenser comprising a head unit provided with a nozzle for discharging paste, 상기 프레임 또는 상기 스테이지에 X축방향을 따라 복수로 일렬로 배치되는 기준유닛; 및A reference unit arranged in a plurality of lines in the frame or the stage along the X-axis direction; And 상기 헤드유닛에 구비되어 상기 기준유닛을 감지하는 감지유닛을 포함하고,A sensing unit provided in the head unit to sense the reference unit, 상기 헤드유닛을 상기 헤드지지대를 따라 이동시키면서 상기 감지유닛이 상기 복수의 기준유닛을 감지하는지 여부를 측정하여 상기 헤드지지대가 X축에 평행하게 정렬되었는지 여부를 측정하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.And moving the head unit along the head support to determine whether the sensing unit senses the plurality of reference units to determine whether the head support is aligned parallel to the X axis. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기준유닛은 광을 발광하는 발광부를 포함하고,The reference unit includes a light emitting unit for emitting light, 상기 감지유닛은 상기 발광부에서 발광되는 광을 수광하는 수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.The sensing unit includes a paste dispenser comprising a light receiving unit for receiving light emitted from the light emitting unit. 제1항 또는 제2항에 따른 페이스트 디스펜서를 제어하는 제어방법에 있어서,In the control method for controlling the paste dispenser according to claim 1, (a) 상기 헤드유닛을 이동시켜 상기 감지유닛을 상기 복수의 기준유닛 중 하나의 기준유닛을 감지하는 위치로 이동시키는 단계; 및(a) moving the head unit to move the sensing unit to a position of detecting one reference unit of the plurality of reference units; And (b) 상기 헤드유닛을 상기 헤드지지대를 따라 이동시키면서, 상기 감지유닛 이 상기 헤드유닛의 이동방향으로 배치되는 기준유닛을 감지하는지 여부를 측정하는 단계를 포함하는 페이스트 디스펜서의 제어방법.(b) measuring whether the sensing unit senses a reference unit arranged in the moving direction of the head unit while moving the head unit along the head support. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 (b) 단계에서, 상기 감지유닛이 상기 헤드유닛의 이동방향으로 배치되는 기준유닛을 감지하지 아니한 경우, 상기 헤드지지대가 연장되는 연장축이 상기 X축에 평행하도록 상기 헤드지지대의 위치를 교정하는 단계를 더 포함하는 페이스트 디스펜서의 제어방법.In the step (b), when the sensing unit does not detect the reference unit disposed in the moving direction of the head unit, the position of the head support is corrected so that the extension axis from which the head support extends is parallel to the X axis. The control method of the paste dispenser further comprising the step of. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기준유닛은 상기 프레임 또는 상기 스테이지에 표시되는 기준마크를 포함하고,The reference unit includes a reference mark displayed on the frame or the stage, 상기 감지유닛은 상기 프레임 또는 상기 스테이지를 향하여 설치되는 촬상장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.And the sensing unit includes an imaging device installed toward the frame or the stage. 제5항에 따른 페이스트 디스펜서의 제어방법에 있어서,In the method of controlling the paste dispenser according to claim 5, (a) 상기 헤드유닛을 이동시켜 상기 촬상장치를 상기 촬상장치의 촬상중심이 상기 복수의 기준마크 중 제1기준마크의 중심과 일치되는 위치로 이동시키는 단계;(a) moving the head unit to move the imaging device to a position where an imaging center of the imaging device is coincident with a center of a first reference mark among the plurality of reference marks; (b) 상기 헤드유닛을 상기 헤드지지대를 따라 이동시켜 상기 촬상장치를 상기 복수의 기준마크 중 미리 설정된 제2기준마크의 위치로 이동시키고, 상기 미리 설정된 제2기준마크의 위치를 촬상하는 단계; 및(b) moving the head unit along the head support to move the image pickup apparatus to a position of a second preset reference mark among the plurality of reference marks, and imaging the position of the second preset reference mark; And (c) 상기 촬상장치의 촬상중심과 상기 제2기준마크의 중심이 일치하는지 여부를 측정하는 단계를 포함하는 페이스트 디스펜서의 제어방법.and (c) measuring whether the imaging center of the imaging device and the center of the second reference mark coincide with each other. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 (c) 단계에서, 상기 촬상장치의 촬상중심과 상기 제2기준마크의 중심이 일치하지 아니한 경우, 상기 헤드지지대가 연장되는 연장축이 상기 X축에 평행하도록 상기 헤드지지대의 위치를 교정하는 단계를 더 포함하는 페이스트 디스펜서의 제어방법.In step (c), when the imaging center of the imaging device and the center of the second reference mark do not coincide with each other, the position of the head support is corrected such that an extension axis from which the head support extends is parallel to the X axis. The control method of the paste dispenser further comprising the step. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 헤드지지대의 위치를 교정하는 단계는,Correcting the position of the head support, 상기 촬상장치의 촬상중심과 상기 제2기준마크의 중심 사이의 Y축방향 간격을 측정하는 제1단계;A first step of measuring a distance in the Y axis direction between an imaging center of the imaging device and a center of the second reference mark; 상기 제1기준마크로부터 상기 제2기준마크로의 상기 촬상장치의 이동거리와 상기 제1단계에서 측정한 상기 촬상장치의 촬상중심과 상기 제2기준마크의 중심 사이의 Y축방향 간격으로부터 상기 헤드지지대의 연장축과 상기 X축이 이루는 각도를 산출하는 제2단계; 및The head support from the distance in the Y axis direction between the moving distance of the imaging device from the first reference mark to the second reference mark and the imaging center of the imaging device measured in the first step and the center of the second reference mark; Calculating an angle formed by the extension axis of the X axis and the X axis; And 상기 제2단계에서 산출한 각도를 근거로 상기 헤드지지대의 연장축이 상기 X축에 평행하도록 상기 헤드지지대의 위치를 교정하는 제3단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서의 제어방법.And a third step of correcting the position of the head support so that the extension axis of the head support is parallel to the X axis based on the angle calculated in the second step. 프레임과, 상기 프레임상에 배치되며 기판이 탑재되는 스테이지와, 상기 프레임에 지지되며 상기 스테이지의 상부에서 X축방향으로 연장되는 헤드지지대와, 상기 헤드지지대에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치되며 페이스트를 토출하는 노즐이 구비되는 헤드유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서에 있어서,A frame, a stage disposed on the frame, on which the substrate is mounted, a head support supported on the frame and extending in the X-axis direction from the top of the stage, and movable in the X-axis direction on the head support; In a paste dispenser comprising a head unit provided with a nozzle for discharging paste, 상기 헤드유닛에 구비되는 기준유닛; 및A reference unit provided in the head unit; And 상기 프레임 또는 상기 스테이지에 X축방향을 따라 복수로 일렬로 배치되어 상기 기준유닛을 감지하는 감지유닛을 포함하는 페이스트 디스펜서.And a sensing unit arranged in a plurality of lines in the frame or the stage along the X-axis direction to sense the reference unit.
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