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KR101944718B1 - Insert structure and cassette for loading substrate with the same - Google Patents

Insert structure and cassette for loading substrate with the same Download PDF

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KR101944718B1
KR101944718B1 KR1020180078354A KR20180078354A KR101944718B1 KR 101944718 B1 KR101944718 B1 KR 101944718B1 KR 1020180078354 A KR1020180078354 A KR 1020180078354A KR 20180078354 A KR20180078354 A KR 20180078354A KR 101944718 B1 KR101944718 B1 KR 101944718B1
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fastening
support bar
insert
reinforcing member
substrate
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조병일
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(주)상아프론테크
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Abstract

인서트 구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트가 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 인서트 구조체는 기판 적재용 카세트의 리어 프레임에 결합되어 기판을 지지하는 서포트 바에 결합하는 인서트 구조체로서, 서포트 바의 중공부와 연결된 개구부에 삽입되는 삽입부; 삽입부의 일측에 형성되어 리어 프레임에 체결시키는 체결부; 및 삽입부와 체결부의 결합 부위에서 삽입부에 일부가 매립되는 보강부재;를 포함한다. An insert structure and a cassette for loading a substrate having the insert structure are provided. An insert structure according to an embodiment of the present invention is an insert structure that is coupled to a support bar that is coupled to a rear frame of a cassette for mounting a substrate and supports the substrate, the insert structure comprising: an insert inserted into an opening connected to a hollow portion of the support bar; A fastening part formed at one side of the insertion part and fastened to the rear frame; And a reinforcing member partially embedded in the insertion portion at a connection portion between the insertion portion and the fastening portion.

Description

인서트 구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트{Insert structure and cassette for loading substrate with the same} [0001] Insert structure and cassette for loading the same [0002]

본 발명은 기판 적재 카세트의 서포트 바를 지지하기 위한 인서트 구조체에 관한 것이다. The present invention relates to an insert structure for supporting a support bar of a substrate loading cassette.

일반적으로 액정표시장치의 액정 패널의 제조 공정 중 개별 공정 사이에 기판을 이송하기 위해 일시적으로 저장할 수 있는 수단으로서 카세트(Cassette)가 주로 사용된다. 이러한 카세트는 다수의 기판이 각각 낱장으로 적재되어 한꺼번에 이를 이송할 수 있다. 여기서, 카세트에는 다수의 서포트 바가 높이방향으로 부설되어 다수의 기판이 상호 이격된 형태로 적재될 수 있도록 한다.In general, a cassette is mainly used as a means capable of temporarily storing a substrate for transferring the substrate between individual processes in a manufacturing process of a liquid crystal panel of a liquid crystal display device. Such a cassette is capable of transporting a plurality of substrates one at a time by stacking them in a single sheet. Here, in the cassette, a plurality of support bars are laid in a height direction so that a plurality of substrates can be stacked in a spaced apart form.

이러한 서포트 바는 인서트 구조체를 통하여 리어 프레임에 결합된다. 여기서, 인서트 구조체는 일측이 서포트 바의 중공부에 삽입 결합되고 타측이 리어 프레임에 결합된다. Such a support bar is coupled to the rear frame through the insert structure. Here, the insert structure has one side inserted into the hollow portion of the support bar and the other side joined to the rear frame.

이때, 서포트 바는 일측이 인서트 구조체를 통하여 카세트의 리어 프레임에 결합되지만, 타측은 지지되지 않은 상태로 카세트의 내측으로 길이 방향으로 배치된다. 여기서, 서포트 바의 길이가 길기 때문에 리어 프레임과의 체결 부위에 큰 하중이 걸린다. 이와 같이 서포트 바에 걸리는 하중은 인서트 구조체로 전달된다. 따라서 이와 같은 하중에 의해 인서트 구조체에서 서포트 바에 삽입되는 부분과 리어 프레임에 결합되는 부분 사이에서 절단 또는 파손을 야기할 수 있다. At this time, the support bar is arranged in the longitudinal direction inside the cassette, one side of which is coupled to the rear frame of the cassette through the insert structure, while the other side is not supported. Here, since the length of the support bar is long, a large load is applied to the fastening portion with the rear frame. Thus, the load applied to the support bar is transmitted to the insert structure. Therefore, such a load may cause cutting or breakage between a portion inserted into the support bar and a portion joined to the rear frame in the insert structure.

따라서 인서트 구조체의 강도를 보강할 수 있도록 카세트의 개선이 요구되고 있다. Therefore, improvement of the cassette is required to reinforce the strength of the insert structure.

KR 10-1300688 B1KR 10-1300688 B1

상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시예는 서포트 바와 리어 프레임 사이의 체결 부위의 강도를 보강할 수 있는 인서트 구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트를 제공하고자 한다.In order to solve the problems of the prior art as described above, an embodiment of the present invention is to provide an insert structure capable of reinforcing the strength of a fastening portion between a support bar and a rear frame, and a cassette for loading a substrate having the insert structure.

위와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판 적재용 카세트의 리어 프레임에 결합되어 기판을 지지하는 서포트 바에 결합하는 인서트 구조체로서, 상기 서포트 바의 중공부와 연결된 개구부에 삽입되는 삽입부; 상기 삽입부의 일측에 형성되어 상기 리어 프레임에 체결시키는 체결부; 및 상기 삽입부와 상기 체결부의 결합 부위에서 상기 삽입부에 일부가 매립되는 보강부재;를 포함하는 인서트 구조체가 제공된다. According to an aspect of the present invention, there is provided an insert structure coupled to a support bar for supporting a substrate, the insert structure being coupled to a rear frame of a cassette for mounting a substrate, part; A fastening part formed at one side of the insertion part and fastened to the rear frame; And a reinforcing member partially embedded in the insertion portion at a coupling portion between the insertion portion and the coupling portion.

일 실시예에서, 상기 삽입부는 알루미늄으로 이루어진 삽입부 몸체; 상기 삽입부 몸체의 양측에 일정 간격 및 일정 깊이로 형성되는 홈부; 상기 삽입부 몸체의 일측 양단에 형성되는 단차부; 및 상기 단차부에 적어도 하나의 위치에 형성되는 관통구;를 포함할 수 있다.In one embodiment, the insert comprises an insert body made of aluminum; A groove formed at both sides of the insert body at a predetermined interval and at a predetermined depth; A stepped portion formed at one end of the insert body; And a through hole formed in the step portion at at least one position.

일 실시예에서, 상기 보강부재는 스테인리스(SUS) 합금으로 이루어지고 봉 형상을 가질 수 있다. In one embodiment, the reinforcing member is made of stainless steel (SUS) alloy and may have a rod shape.

일 실시예에서, 상기 보강부재는 상기 인서트 사출에 의해 상기 삽입부와 일체로 형성될 수 있다.In one embodiment, the reinforcing member may be integrally formed with the insert by the insert injection.

일 실시예에서, 상기 보강부재는 일측이 상기 삽입부에 매립되고 타측이 상기 체결부 측으로 돌출 형성될 수 있다.In one embodiment, the reinforcing member may be embedded in one side of the reinforcing member and the other side of the reinforcing member may protrude from the side of the coupling member.

일 실시예에서, 상기 삽입부 측에 배치되는 상기 보강부재의 길이는 상기 체결부 측에 배치되는 상기 보강부재의 길이보다 크거나 같을 수 있다. In one embodiment, the length of the reinforcing member disposed on the insertion portion side may be greater than or equal to the length of the reinforcing member disposed on the side of the fastening portion.

일 실시예에서, 상기 삽입부 측에 배치되는 상기 보강부재의 길이와 상기 체결부 측에 배치되는 상기 보강부재의 길이의 비는 1~1.2 : 1일 수 있다. In one embodiment, the ratio of the length of the reinforcing member disposed on the insertion portion side to the length of the reinforcing member disposed on the coupling portion side may be 1 to 1.2: 1.

일 실시예에서, 상기 보강부재는 그 단면적이 상기 홈부에서 상기 삽입부 몸체의 단면적보다 클 수 있다. In one embodiment, the reinforcing member may have a cross-sectional area greater than a cross-sectional area of the insert body in the groove.

일 실시예에서, 상기 보강부재는 상기 체결부에 가장 인접한 홈부에서 외부로 노출될 수 있다.In one embodiment, the reinforcing member may be exposed to the outside in the groove portion closest to the fastening portion.

일 실시예에서, 상기 체결부는 상기 삽입부의 종방향 단면적보다 넓은 단면적을 갖는 제1면; 상기 리어 프레임에 결합되는 제2면; 상기 제2면으로부터 상기 제1면 측으로 수평 연장되는 연장부; 및 상기 연장부로부터 상기 제1면으로 경사지게 형성되는 경사면을 포함하고, 상기 제2면은 하측으로 개방된 "ㄷ"자 형상으로 이루어질 수 있다. In one embodiment, the fastening portion has a first side having a cross-sectional area wider than the longitudinal cross-sectional area of the insert; A second side coupled to the rear frame; An extension extending horizontally from the second surface to the first surface side; And an inclined surface inclined from the extended portion to the first surface, and the second surface may have a " C "shape opened to the lower side.

일 실시예에서, 상기 제2면 및 상기 체결부의 측면은 복수의 체결홈이 각각 형성될 수 있다.In one embodiment, the second surface and the side surface of the fastening portion may be formed with a plurality of fastening grooves, respectively.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 상부 프레임; 하부 프레임; 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 양 측부에 수직방향으로 결합되는 복수의 사이드 프레임; 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 후방측에 수직 방향으로 결합되는 복수의 리어 프레임; 내부에 중공부를 포함하고, 일측에 멤브레인 필터가 구비되며, 상기 리어 프레임에 일측이 결합되되, 타측이 내측으로 연장 형성되어 상기 기판을 지지하는 서포트 바; 및 상기 서포트 바의 상기 중공부에 삽입되어 상기 서포트 바를 상기 리어 프레임에 결합하는 상술한 바와 같은 인서트 구조체;를 포함하는 기판 적재용 카세트가 제공된다. According to another aspect of the present invention, A lower frame; A plurality of side frames vertically coupled to both sides of the upper frame and the lower frame; A plurality of rear frames vertically coupled to the rear side of the upper frame and the lower frame; A support bar having a hollow portion inside and having a membrane filter on one side thereof and one side connected to the rear frame and the other side extending inward to support the substrate; And an insert structure as described above inserted into the hollow portion of the support bar to couple the support bar to the rear frame.

일 실시예에서, 상기 멤브레인 필터는 상기 서포트 바의 체결홀에 삽입되며 제1홀을 갖는 체결부재; 상기 체결부재의 일측에 구비되는 멤브레인판; 및 상기 제1홀과 연통하는 제2홀을 갖고, 상기 멤브레인판을 상기 체결부재에 고정시키는 덮개부;를 포함할 수 있다.In one embodiment, the membrane filter includes a fastening member inserted into the fastening hole of the support bar and having a first hole; A membrane plate provided on one side of the fastening member; And a lid part having a second hole communicating with the first hole and fixing the membrane plate to the fastening member.

본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트는 인서트 구조체보다 강도가 우수한 보강부재가 인서트 구조체에 매립 형성됨으로써, 서포트 바와 리어 프레임 사이의 체결 부위의 강도를 보강할 수 있으므로 서포트 바에 의해 지지되는 기판의 파손을 방지할 수 있다. The insert structure according to an embodiment of the present invention and the cassette for loading a substrate having the insert structure according to an embodiment of the present invention can reinforce the strength of the fastening portion between the support bar and the rear frame by forming a reinforcing member having higher strength than the insert structure in the insert structure It is possible to prevent breakage of the substrate supported by the support bars.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트는 보강부재의 일측이 인서트 구조체의 체결부 측으로 돌출되도록 배치됨으로써, 보강부재에 의해 인서트 구조체에 걸리는 하중을 분산시킬 수 있어 인서트 구조체의 강도를 더욱 보강할 수 있다. In addition, the insert structure and the cassette for loading a substrate having the insert structure according to an embodiment of the present invention are arranged such that one side of the reinforcement member protrudes toward the fastening portion side of the insert structure, so that the load applied to the insert structure can be dispersed by the reinforcement member So that the strength of the insert structure can be further reinforced.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트는 보강부재의 단면적이 인서트 구조체의 홈부에서의 단면적보다 크게 형성됨으로써, 홈부의 형성에 의해 약화된 인서트 구조체의 강도를 보강할 수 있다. The insert structure according to an embodiment of the present invention and the cassette for mounting a substrate having the insert structure may have a cross sectional area larger than a cross sectional area of a groove portion of the insert structure by increasing the strength of the insert structure, Can be reinforced.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 인서트 구조체를 구비한 기판 적재용 카세트를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에서 지지 프레임과 서포트 바와 결합 상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 인서트 구조체와 서포트 바가 결합된 상태를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3에서 팁 부재가 결합된 상태를 도시한 단면도이다.
도 5는 도 3에서 멤브레인 필터가 결합된 상태를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 인서트 구조체를 도시한 사시도이다.
도 7은 도 6의 다른 방향의 사시도이다.
도 8은 도 7의 단면도이다.
도 9는 도 7에서 전면부의 정면도이다.1 is a perspective view showing a cassette for loading a substrate having an insert structure according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a perspective view showing the state where the support frame and the support bar are engaged with each other in Fig. 1. Fig.
3 is a perspective view illustrating a state in which an insert structure and a support bar are combined according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state where the tip member is engaged in FIG. 3;
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a state in which the membrane filter is coupled in FIG.
6 is a perspective view illustrating an insert structure according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view of another direction of Fig.
Fig. 8 is a sectional view of Fig. 7. Fig.
Fig. 9 is a front view of the front part in Fig. 7; Fig.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 인서트 구조체를 보다 상세히 설명하도록 한다. 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 인서트 구조체를 구비한 기판 적재용 카세트를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1에서 지지 프레임과 서포트 바와 결합 상태를 도시한 사시도이다. Hereinafter, an insert structure according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view illustrating a cassette for mounting a substrate having an insert structure according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view illustrating a state in which the support frame and the support bar are engaged with each other in FIG.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트(1)를 설명함에 있어, 본 명세서에서 카세트(1)에 기판이 적재되는 방향(도 1에서 좌측)을 카세트(1)의 전방이라 하고, 그 반대 방향을 후방이라고 규정하여 설명한다.In the description of the cassette 1 for carrying substrates according to the embodiment of the present invention, the direction in which the substrate is loaded on the cassette 1 (left side in FIG. 1) is referred to as the front of the cassette 1, And the opposite direction is defined as rear.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트(1)는 상부 프레임(2), 하부 프레임(3), 사이드 프레임(4), 리어 프레임(5), 보강 프레임(6), 봉부재(7), 및 서포트 바(10)를 포함할 수 있다.1, a cassette 1 for loading substrates according to an embodiment of the present invention includes an upper frame 2, a lower frame 3, a side frame 4, a rear frame 5, a reinforcing frame 6 , A bar member 7, and a support bar 10.

기판 적재용 카세트(1)는 기판을 반입하여 적재해두고 적재된 기판을 다시 반출하는 과정 동안 기판을 안정적으로 적재해 두고 일련의 생산 과정 동안 기판의 불량을 발생시키는 것을 방지할 수 있다.The cassette 1 for loading a substrate can carry the substrate thereon to prevent the substrate from being stably loaded during the process of reloading the loaded substrate and causing a failure of the substrate during a series of production processes.

상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 판 형상으로 형성될 수 있다. 일례로, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 직사각형 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 수직방향으로 연결하기 위하여 그 양측면에 복수의 사이드 프레임(4)이 결합될 수 있다.The upper frame 2 and the lower frame 3 may each be formed in a plate shape. In one example, the upper frame 2 and the lower frame 3 may be formed in a rectangular shape. At this time, in order to vertically connect the upper frame 2 and the lower frame 3, a plurality of side frames 4 may be coupled to both sides thereof.

복수의 사이드 프레임(4)은 바 형상으로 형성되고, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 횡 방향으로 나란하게 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 복수의 사이드 프레임(4)에는 수직 방향을 따라 일정 간격으로 복수의 봉부재(7)가 설치되어 직사각형 형상인 기판의 주변부를 지지할 수 있다. 이때, 봉부재(7)가 배치되는 간격은 적재하려는 기판의 두께에 따라 변경될 수 있다. The plurality of side frames 4 are formed in a bar shape and can be arranged to be spaced laterally in the lateral direction of the upper frame 2 and the lower frame 3. [ Further, the plurality of the side frames 4 are provided with a plurality of rod members 7 at regular intervals along the vertical direction to support the periphery of the rectangular substrate. At this time, the interval at which the rod members 7 are arranged can be changed according to the thickness of the substrate to be loaded.

봉부재(7)는 봉 형상으로 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3) 사이에 구비될 수 있다. 여기서, 봉부재(7)의 형상에 제한은 없으나 기판의 손상을 방지하기 위해, 기판의 접촉부분을 최소화할 수 있는 형상이 바람직할 것이다.The rod member 7 may be provided between the upper frame 2 and the lower frame 3 in the form of a rod. Here, the shape of the rod member 7 is not limited, but a shape capable of minimizing the contact portion of the substrate is preferable in order to prevent damage to the substrate.

보강 프레임(6)은 사이드 프레임(4), 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)에 결합될 수 있다. 여기서 보강 프레임(6)은 바 형태로 형성될 수 있다. 이러한 보강 프레임(6)은 사이드 프레임(4)과 결합되되 일단이 하부 프레임(3)에 결합되고 타단이 상부 프레임(2)에 결합될 수 있다. 이때, 보강 프레임(6)은 일정 각도의 사선 방향으로 배치될 수 있다. 이에 의해 상부 프레임(2) 및 사이드 프레임(4)의 처짐을 방지할 수 있다.The reinforcing frame 6 may be joined to the side frames 4, the upper frame 2 and the lower frame 3. [ Here, the reinforcing frame 6 may be formed in a bar shape. The reinforcing frame 6 may be coupled to the side frame 4, one end of which is coupled to the lower frame 3, and the other end of which is coupled to the upper frame 2. At this time, the reinforcing frame 6 may be arranged in a diagonal direction at a certain angle. Thus, sagging of the upper frame 2 and the side frame 4 can be prevented.

상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 수직방향으로 연결하고 서포트 바(10)를 설치하기 위하여 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 후방측 모서리에 복수의 리어 프레임(5)이 수직 방향으로 결합될 수 있다.A plurality of rear frames 5 are provided on the rear side edges of the upper frame 2 and the lower frame 3 for connecting the upper frame 2 and the lower frame 3 in the vertical direction and installing the support bar 10 And can be coupled in the vertical direction.

이때, 리어 프레임(5)은 종단면이 H자 형상으로 형성되어 후술할 서포트 바(10)를 수평하게 지지하기 위해 인서트 구조체(100)와 결합될 수 있다. 여기서, 리어 프레임(5)은 그 양측 및 전면부의 길이방향을 따라 체결홈이 일정 간격으로 형성될 수 있다. 상기 체결홈을 통하여 리어 프레임(5)은 인서트 구조체(100)와 체결부재에 의해 결합될 수 있다.At this time, the rear frame 5 is formed in an H-shape in longitudinal section and can be coupled with the insert structure 100 to horizontally support the support bar 10 to be described later. Here, the rear frame 5 may have locking grooves formed at regular intervals along the longitudinal direction of both sides and the front portion thereof. The rear frame 5 can be coupled to the insert structure 100 by the fastening member through the fastening groove.

도 2를 참조하면, 서포트 바(10)는 리어 프레임(5)의 길이방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판을 지지할 수 있다. 이러한 서포트 바(10)는 복수의 봉부재(7) 사이에 배치될 수 있다. 이는 봉부재(7) 만으로 기판의 양단부를 지지하는 경우, 기판의 중앙부가 아래로 처져 기판 적재용 카세트(1)에 기판을 적재 또는 반출하는 로봇 등과 기판이 충돌될 수 있으므로 복수의 서포트 바(10)를 복수의 봉부재(7) 사이에 배치하여 이러한 위험을 방지하기 위함이다. Referring to FIG. 2, the support bars 10 are installed at regular intervals along the longitudinal direction of the rear frame 5 to support the substrate. The support bar 10 may be disposed between the plurality of bar members 7. When supporting both ends of the substrate by only the rod member 7, the central portion of the substrate may be lowered and the substrate may collide with a robot or the like that loads or unloads the substrate to or from the cassette 1 for loading a substrate. Are disposed between the plurality of rod members 7 to prevent such a danger.

이를 위해, 서포트 바(10)는 봉부재(7)와 동일한 높이에 배치될 수 있다. 따라서 서포트 바(10)와 봉부재(7)는 기판이 아래로 휘지 않고 평행하게 적재되도록 기판을 지지할 수 있다.For this purpose, the support bar 10 can be arranged at the same height as the rod member 7. [ Therefore, the support bar 10 and the bar member 7 can support the substrate so that the substrate is stacked in parallel without bending downward.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 인서트 구조체와 서포트 바가 결합된 상태를 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3에서 팁 부재가 결합된 상태를 도시한 단면도이며, 도 5는 도 3에서 멤브레인 필터가 결합된 상태를 도시한 단면도이다.FIG. 3 is a perspective view illustrating a state in which the insert structure and the support bar are coupled to each other according to the embodiment of the present invention. FIG. 4 is a cross- Fig.

본 발명의 실시예에 따른 인서트 구조체(100)는 중공부(12)가 형성된 서포트 바(10) 내부로 삽입되어 결합될 수 있다.The insert structure 100 according to the embodiment of the present invention may be inserted into the support bar 10 formed with the hollow portion 12 and inserted therein.

여기서, 서포트 바(10)는 도 3에 도시된 바와 같이, 그 내부에 중공부(12)가 형성되는데, 이는 원자재를 절감할 수 있고, 대형화 되는 기판의 추세에 맞춰 서포트 바(10)도 길어지는 상황을 고려할 때, 서포트 바(10)의 자체 하중으로 인한 처짐을 최소화하기 위함이다. 이와 같이, 서포트 바(10)가 처지는 경우, 기판의 지지력이 해당 부분에서 감소하여 기판의 처짐이 발생할 수 있고, 나아가 기판의 파손을 초래할 수도 있다. As shown in FIG. 3, the support bar 10 is formed with a hollow portion 12 therein. This can reduce the raw material, and the support bar 10 is also long In order to minimize the deflection of the support bar 10 due to its own load. As described above, when the support bar 10 is sagged, the supporting force of the substrate is reduced at the corresponding portion, and the substrate may be sagged, and further, the substrate may be damaged.

또한, 서포트 바(10)는 단면이 사각형 형상인 사각 기둥 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고, 단면이 원형, 타원형, 다각형 등으로 형성될 수도 있다. 이때, 서포트 바(10)의 단면이 사각형 형상인 경우, 기판과의 면 접촉이 발생될 수 있어 접촉면에 팁 부재(20)가 더 구비될 수 있다. In addition, the support bar 10 may be formed in a rectangular column shape having a rectangular cross section, but the support bar 10 may be formed in a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape, or the like. At this time, when the support bar 10 has a rectangular cross-section, surface contact with the substrate may occur, so that the tip member 20 may be further provided on the contact surface.

여기서, 팁 부재(20)는 기판 적재 시 서포트 바 몸체(10a)에 발생하는 충격을 흡수하고 기판에 발생하는 스크래치를 방지하기 위한 것이다. Here, the tip member 20 absorbs impact generated in the support bar body 10a when the substrate is loaded and prevents scratches on the substrate.

도 4를 참조하면, 팁 부재(20)는 서포트 바 몸체(10a)에 형성되는 삽입홀(13)에 삽입 결합될 수 있다. 이때, 팁 부재(20)는 원기둥의 돌기 형상으로 플라스틱 재질로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 여기서, 팁 부재(20)는 삽입부 몸체(120a)의 관통구(123)에 대응하는 위치에 삽입될 수 있다.Referring to FIG. 4, the tip member 20 may be inserted into the insertion hole 13 formed in the support bar body 10a. At this time, the tip member 20 may be a cylindrical protrusion, but it is not limited thereto. Here, the tip member 20 may be inserted at a position corresponding to the through hole 123 of the insertion body 120a.

일례로, 팁 부재(20)는 후크 타입으로 형성될 수 있다. 즉, 팁 부재(20)는 원형상의 머리부(21)와 머리부(21)로부터 양측으로 형성되는 한 쌍의 돌기부(22)를 포함할 수 있다. 돌기부(22)는 머리부(21)로부터 갈리진 형태로 형성될 수 있다. 이때, 팁 부재(20)는 삽입홀(13)에 끼움 결합될 수 있다. 즉, 팁 부재(20)는 돌기부(22) 사이의 공간으로 돌기부(22)를 압축한 상태로 삽입홀(13)에 삽입될 수 있다. 여기서, 돌기부(22)는 원상태로 복원되어 삽입홀(13)에서 서포트 바 몸체(10a)의 내측에서 걸림 고정될 수 있다.In one example, the tip member 20 may be formed as a hook type. That is, the tip member 20 may include a circular head 21 and a pair of protrusions 22 formed on both sides from the head 21. The protrusion 22 may be formed in a galvanized form from the head 21. At this time, the tip member 20 can be fitted into the insertion hole 13. That is, the tip member 20 can be inserted into the insertion hole 13 while compressing the protruding portion 22 into the space between the protruding portions 22. Here, the protruding portion 22 is restored to its original shape and can be locked in the insertion hole 13 inside the support bar body 10a.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 인서트 구조체(100)는 서포트 바(10)의 일단에 형성된 개구부(11)에 삽입되어 고정될 수 있다. 여기서, 인서트 구조체(100)는 서포트 바(10)의 일단에 형성된 개구부(11)의 크기와 대응되는 단면을 갖도록 형성될 수 있다. 이는 서포트 바(10) 내부에 형성된 중공부(12)를 완전히 밀폐되도록 하기 위함이다. 중공부(12)가 밀폐되지 않는 경우 기판 적재용 카세트(1)의 세척과정 중 중공부(12)로 액체가 유입될 수 있으며, 이는 적재된 기판으로 떨어져 기판의 불량률이 증가 할 수 있기 때문이다.Meanwhile, the insert structure 100 according to an embodiment of the present invention may be inserted into and fixed to the opening 11 formed at one end of the support bar 10. Here, the insert structure 100 may have a cross section corresponding to the size of the opening 11 formed at one end of the support bar 10. This is to ensure that the hollow portion 12 formed in the support bar 10 is completely closed. If the hollow portion 12 is not sealed, liquid may flow into the hollow portion 12 during the cleaning process of the cassette 1 for loading a substrate, which may fall into the loaded substrate and increase the defective rate of the substrate .

여기서, 서포트 바 몸체(10a)는 탄소 섬유 강화플라스틱(carbon fiber reinforced plastic, CFRP), 카본 필름, 유리강화필름, 아라미드 필름 및 금속 박막으로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다. 이때, 탄소 섬유 강화플라스틱(CFRP)이란 비강도(specific strength), 강성(rigidity), 파단강도(rupture strength)가 매우 우수한 것으로 알려진 탄소섬유로 이루어진 직물 또는 시트에 에폭시 수지를 함침시켜 경화시킨 것이다.Here, the support bar body 10a may be formed as a single layer or a multilayer of carbon fiber reinforced plastic (CFRP), a carbon film, a glass reinforced film, an aramid film, and a metal thin film. The carbon fiber reinforced plastic (CFRP) is a fabric or sheet made of carbon fiber, which is known to have excellent specific strength, rigidity and rupture strength, and is cured by impregnating an epoxy resin.

또한 서포트 바(10)는 일측면에 멤브레인 필터(30)가 결합될 수 있다. 이때, 서포트 바 몸체(10a)는 일측면에 멤브레인 필터(30)가 삽입 고정될 수 있도록 체결홀(14)이 형성될 수 있다.In addition, the support bar 10 can be coupled with the membrane filter 30 on one side. At this time, the support bar body 10a may have a fastening hole 14 so that the membrane filter 30 can be inserted and fixed on one side.

도 5를 참조하면, 멤브레인 필터(30)는 체결부재(31), 멤브레인판(32) 및 덮개부(32)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5, the membrane filter 30 may include a fastening member 31, a membrane plate 32, and a lid 32.

체결부재(31)는 서포트 바 몸체(10a)의 체결홀(14)에 삽입 결합될 수 있다. 일례로, 체결부재(31)는 리벳 타입으로 형성될 수 있다. 즉, 체결부재(31)는 머리부분(31b)이 서포트 바 몸체(10a)의 외측에 배치되고, 몸체는 체결홀(14)을 통하여 서포트 바 몸체(10a)의 중공부(12)로 삽입될 수 있다. The fastening member 31 can be inserted into the fastening hole 14 of the support bar body 10a. For example, the fastening member 31 may be formed in a rivet type. That is, the fastening member 31 has the head portion 31b disposed on the outside of the support bar body 10a and the body inserted through the fastening hole 14 into the hollow portion 12 of the support bar body 10a .

이때, 체결부재(31)는 그 중앙부를 관통하여 제1홀(31a)이 형성될 수 있다. 여기서, 제1홀(31a)은 머리부분(31b)까지 연장 형성될 수 있다. 또한, 머리부분(31b)은 중앙에 제1홀(31a)의 직경보다 큰 폭으로 단차부(31c)가 형성될 수 있다. At this time, the first hole 31a may be formed through the central portion of the fastening member 31. Here, the first hole 31a may extend to the head portion 31b. In addition, the head portion 31b may have a stepped portion 31c formed at the center thereof with a width larger than the diameter of the first hole 31a.

여기서, 체결부재(31)의 외주면과 체결홀(14)의 내주면이 열 융착, 초음파 융착, 접착제 중 적어도 하나로 접착되어 물이 서포트 바(10) 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이때, 접착제는 에폭시일 수 있으나 이에 한정되지 않고 우레탄 계열 또는 실리콘 재질로 형성될 수 있다.Here, the outer circumferential surface of the fastening member 31 and the inner circumferential surface of the fastening hole 14 are bonded together by at least one of heat fusion, ultrasonic fusion, and adhesive so that water can be prevented from flowing into the support bar 10. In this case, the adhesive may be epoxy, but not limited thereto, and may be formed of a urethane-based material or a silicon material.

멤브레인판(32)은 체결부재(31)의 일측에 구비될 수 있다. 즉, 멤브레인판(32)은 체결부재(31)와 덮개부(32) 사이에 배치될 수 있다. 여기서, 멤브레인판(32)은 수분의 유입은 차단하고 공기는 통하게 하기 위한 것이다. 일례로, 멤브레인판(32)은 부직포(pp,pet) 층과, 폴리테트라 플루오로에틸렌(PTFE:Polytetrafluoroethylene) 층이 상,하로 합쳐져 이루어질 수 있다. The membrane plate 32 may be provided on one side of the fastening member 31. That is, the membrane plate 32 may be disposed between the fastening member 31 and the lid portion 32. Here, the membrane plate 32 is for blocking the inflow of water and allowing air to pass therethrough. In one example, the membrane plate 32 may be made up of a nonwoven (pp, pet) layer and a polytetrafluoroethylene (PTFE) layer.

덮개부(32)는 멤브레인판(32)을 체결부재(31)에 고정시킬 수 있다. 이러한 덮개부(32)는 체결부재(31)의 머리부분(31b)을 수용하는 수용부(33a)가 형성될 수 있다. 수용부(33a)의 일측에는 체결부재(31)의 단차부(31c)에 대응하는 단차부(33c)가 형성될 수 있다. The lid portion 32 can fix the membrane plate 32 to the fastening member 31. [ The lid portion 32 may be formed with a receiving portion 33a for receiving the head portion 31b of the fastening member 31. [ A stepped portion 33c corresponding to the stepped portion 31c of the fastening member 31 may be formed on one side of the accommodating portion 33a.

또한, 덮개부(32)는 상단부(33b)에 제1홀(31a)과 연통하는 제2홀(33d)을 구비한다. 여기서, 제2홀(33d)은 그물 형태로 형성될 수 있다. 즉, 제2홀(33d)은 상단부(33b)의 일측에서 복수개로 형성될 수 있다. The lid portion 32 also has a second hole 33d communicating with the first hole 31a in the upper end portion 33b. Here, the second hole 33d may be formed in a net shape. That is, the second holes 33d may be formed at a plurality of sides of the upper end 33b.

여기서, 세정 후 건조 과정에서 내부 공기가 팽창된 후 상온에서 식으면서 수축함에 따라 발생하는 서포트 바(10) 내부와 외부의 압력차로 인해서 세정 과정에서 남아있던 물이 서포트 바 내부로 유입될 수 있는데, 서포트 바(10)는 멤브레인 필터(30)를 구비하여 서포트 바(10)의 내부와 외부의 압력차를 완화하여 서포트 바 내부로 물이 유입되는 것을 방지할 수 있다.In this case, the water remaining in the cleaning process may flow into the support bar due to a pressure difference between the inside and the outside of the support bar 10 which is generated as the inside air is expanded in the drying process after cleaning and then shrinks while being cooled at room temperature. The support bar 10 is provided with a membrane filter 30 to relieve a pressure difference between the inside and the outside of the support bar 10 to prevent water from flowing into the support bar.

이와 같이, 멤브레인 필터(30)는 기판 적재용 카세트(1)의 세척과정 중 외부로부터 서포트 바 몸체(10a)의 내측 중공부(12)로 물이 유입되는 것을 방지할 수 있는 동시에 공기의 통로를 제공할 수 있다. As described above, the membrane filter 30 can prevent water from flowing into the inner hollow portion 12 of the support bar body 10a from the outside during the cleaning process of the cassette 1 for loading a substrate, .

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 인서트 구조체를 도시한 사시도이고, 도 7은 도 6의 다른 방향의 사시도이며, 도 8은 도 7의 단면도이고, 도 9는 도 7에서 전면부의 정면도이다.FIG. 6 is a perspective view showing an insert structure according to an embodiment of the present invention, FIG. 7 is a perspective view of another direction of FIG. 6, FIG. 8 is a sectional view of FIG. 7, and FIG. 9 is a front view of a front part of FIG.

도 6 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 인서트 구조체(100)는 체결부(110), 삽입부(120) 및 보강부재(130)를 포함할 수 있다.6 to 9, an insert structure 100 according to an embodiment of the present invention may include a fastening part 110, an insertion part 120, and a reinforcing member 130. [

체결부(110)는 삽입부(120)와 일체로 형성되며 리어 프레임(5)에 결합될 수 있다. 체결부(110)는 체결부 몸체(110a), 후면부(111), 전면부(112), 연장부(113), 및 경사면(114)을 포함할 수 있다.The fastening part 110 may be integrally formed with the insertion part 120 and may be coupled to the rear frame 5. The fastening part 110 may include a fastening part body 110a, a rear part 111, a front part 112, an extension part 113, and a slope 114.

체결부 몸체(110a)는 알루미늄 합금과 같은 비철금속으로 이루어질 수 있다. 여기서, 체결부 몸체(110a)는 그 양측면에 복수의 체결홈(115)이 형성될 수 있다.The fastening body 110a may be made of a non-ferrous metal such as an aluminum alloy. Here, the fastening body 110a may have a plurality of fastening grooves 115 formed on both sides thereof.

후면부(111)는 체결부 몸체(110a)의 일측에서 삽입부(120)에 결합되는 부분으로서, 삽입부(120)의 종방향 단면적보다 넓은 단면적을 가질 수 있다. 도 6 및 도 7을 참조하면, 후면부(111)는 삽입부(120)의 높이 및 폭보다 큰 높이 및 폭으로 형성될 수 있다. The rear portion 111 is a portion that is coupled to the insertion portion 120 at one side of the fastening body 110a and may have a cross-sectional area that is wider than the longitudinal cross-sectional area of the insertion portion 120. [ 6 and 7, the rear portion 111 may be formed to have a height and a width larger than the height and width of the insertion portion 120. [

전면부(112)는 체결부 몸체(110a)의 타측에서 리어 프레임(5)에 결합되는 부분으로서, 하측으로 개방된 "ㄷ"자 형상으로 이루어질 수 있다. 이때, 전면부(112)는 후면부(111)의 높이보다 크게 형성될 수 있다. The front portion 112 may be formed in a shape of a " C "shape opened to the lower side as a portion coupled to the rear frame 5 from the other side of the fastening portion body 110a. At this time, the front portion 112 may be formed larger than the height of the rear portion 111.

도 8 및 도 9를 참조하면, 전면부(112)는 리어 프레임(5)에 결합되는 면이 "ㄷ"자 형상으로 이루어지고, 그 하측은 공간부(117)가 형성될 수 있다. 여기서, 공간부(117)는 체결부 몸체(110a)의 내측으로 일정 깊이로 형성될 수 있다. 즉, 전면부(112)의 "ㄷ"자 형상 부분은 공간부(117)의 측벽 형태로 이루어질 수 있다. Referring to FIGS. 8 and 9, the front surface portion 112 has a surface that is coupled to the rear frame 5 in a "C" shape, and a space portion 117 can be formed at the lower side thereof. Here, the space portion 117 may be formed at a certain depth to the inside of the fastening portion body 110a. That is, the "C" -shaped portion of the front portion 112 can be formed in the shape of a sidewall of the space portion 117.

연장부(113)는 전면부(112)로부터 후면부(111) 측으로 수평 연장될 수 있다. 여기서, 체결부 몸체(110a)는 연장부(113)에 대응하여 그 내측에 복수의 체결홈(116)이 형성될 수 있다. 즉, 연장부(113)는 전면부(112)의 "ㄷ"자 형상의 면으로부터 체결홈(116)의 깊이에 대응하는 길이로 연장 형성될 수 있다.The extension portion 113 may extend horizontally from the front portion 112 toward the rear portion 111 side. Here, the fastening body 110a may have a plurality of fastening grooves 116 formed therein corresponding to the extended portions 113. [ That is, the extending portion 113 can be extended from the " C "-shaped surface of the front portion 112 to a length corresponding to the depth of the coupling groove 116.

경사면(114)은 연장부(113)로부터 후면부(111)로 경사지게 형성될 수 있다. 도 6 및 도 7에서, 경사면(114)은 체결부 몸체(110a)의 상부 및 하부에서 형성될 수 있다. 이에 의해, 체결부(110)와 삽입부(120)의 결합 부위에서 하중을 분산시킬 수 있고 따라서 체결부(110)와 삽입부(120)의 결합 강도를 향상시킬 수 있다. The inclined surface 114 may be inclined from the extended portion 113 to the rear surface 111. 6 and 7, the inclined surface 114 may be formed at the upper and lower portions of the fastening body 110a. Accordingly, the load can be dispersed at the coupling portion between the coupling portion 110 and the insertion portion 120, and thus the coupling strength between the coupling portion 110 and the insertion portion 120 can be improved.

삽입부(120)는 서포트 바(10)의 중공부(12)와 연결된 개구부(11)에 삽입 고정될 수 있다. 삽입부(120)는 삽입부 몸체(120a), 홈부(121), 단차부(122), 및 관통구(123)를 포함할 수 있다. The insertion portion 120 may be inserted and fixed into the opening 11 connected to the hollow portion 12 of the support bar 10. The insertion portion 120 may include an insertion body 120a, a groove 121, a step 122, and a through hole 123. [

삽입부 몸체(120a)는 알루미늄 합금과 같은 비철금속으로 이루어질 수 있다. The insertion body 120a may be made of a non-ferrous metal such as an aluminum alloy.

홈부(121)는 삽입부 몸체(120a)의 양측에 일정 간격 및 일정 깊이로 형성될 수 있다. 여기서, 홈부(121)는 삽입부 몸체(120a)의 살빼기(coring) 역할로서, 인서트 구조체(100)의 사출 성형시 기포의 형성을 방지하기 위한 것이다. The groove 121 may be formed on both sides of the insertion body 120a at a predetermined interval and at a predetermined depth. Here, the groove 121 serves as a coring function of the insert body 120a to prevent the formation of bubbles during the injection molding of the insert structure 100.

단차부(122)는 삽입부 몸체(120a)의 상단측 양단에 형성될 수 있다. 즉, 단차부(122)는 삽입부 몸체(120a)의 상부측 모서리에서 길이 방향으로 형성될 수 있다. 이 단차부에는 인서트 구조체(100)와 서포트 바(10)를 결합하기 위한 에폭시 등과 같은 접착제가 충진될 수 있다. The step portion 122 may be formed at both ends of the upper end side of the insertion body 120a. That is, the step portion 122 may be formed in the longitudinal direction at the upper side edge of the insertion body 120a. An adhesive such as an epoxy for coupling the insert structure 100 and the support bar 10 may be filled in the stepped portion.

보다 구체적으로, 인서트 구조체(100)를 서포트 바(10)의 개구부(11)에 삽입하기 전에 인서트 구조체(100)의 외주면에 접착제가 도포될 수 있다. 여기서, 인서트 구조체(100)가 서포트 바(10)에 삽입되면, 삽입부(120)의 외주면과 서포트 바(10)의 내면, 즉, 중공부(12)의 내주면 사이에 도포된 접착제에 의해 인서트 구조체(100)가 서포트 바(10)에 결합될 수 있다. More specifically, an adhesive may be applied to the outer circumferential surface of the insert structure 100 before inserting the insert structure 100 into the opening 11 of the support bar 10. When the insert structure 100 is inserted into the support bar 10, the adhesive applied between the outer circumferential surface of the insert part 120 and the inner surface of the support bar 10, that is, the inner circumferential surface of the hollow part 12, The structure 100 can be coupled to the support bar 10.

이때, 삽입부(120)의 외주면과 서포트 바(10)의 내면 사이의 접착제는 그 일부가 수평방향으로 밀리고 단차부(122)를 채울 수 있다. 이 단차부(122)는 접착제의 도포시 접착제가 채워질 수 있음은 물론이다. At this time, a part of the adhesive between the outer circumferential surface of the insertion portion 120 and the inner surface of the support bar 10 can be pushed in the horizontal direction and the step portion 122 can be filled. Needless to say, the step 122 can be filled with an adhesive when the adhesive is applied.

이와 같이 단차부(122)에 접착제가 채워짐으로써 인서트 구조체(100)와 서포트 바(10)의 결합력이 더욱 견고하게 되도록 할 수 있다.As a result, the step portion 122 is filled with an adhesive, so that the bonding force between the insert structure 100 and the support bar 10 can be further strengthened.

관통구(123)는 단차부(122)에서 적어도 하나의 위치에 형성될 수 있다. 여기서, 관통구(123)는 팁 부재(20)가 서포트 바(10)에 결합되는 위치에 대응하여 형성될 수 있다. The through-hole 123 may be formed in at least one position in the stepped portion 122. Here, the through-hole 123 may be formed corresponding to the position where the tip member 20 is coupled to the support bar 10.

이에 의해, 삽입부(120)가 서포트 바(10)의 개구부(11)에 삽입되어 결합된 상태에서, 삽입부 몸체(120a)와 결합되는 팁 부재(20)는 삽입부 몸체(120a)와 간섭되지 않도록 서포트 바(10)에 결합될 수 있다. The tip member 20 engaged with the insertion member body 120a can be prevented from interfering with the insertion member body 120a with the insertion portion 120 inserted into the opening 11 of the support bar 10, (Not shown).

보강부재(130)는 체결부(110)와 삽입부(120)의 결합 부위에서 삽입부(120)에 매립될 수 있다. 도 8을 참조하면, 보강부재(130)의 일부는 삽입부 몸체(120a)의 결합홈(124)에 매립되고, 다른 일부는 체결부(110) 측으로 돌출 형성될 수 있다.The reinforcing member 130 may be embedded in the insertion portion 120 at a coupling portion between the coupling portion 110 and the insertion portion 120. 8, a portion of the reinforcing member 130 may be embedded in the coupling groove 124 of the insertion body 120a and the other portion may protrude from the coupling portion 110 side.

여기서, 보강부재(130)는 삽입부(120)와 이종 재료로 형성될 수 있다. 일례로, 보강부재(130)는 스테인리스(SUS) 합금으로 이루어지고 봉 형상을 가질 수 있다. 즉, 삽입부(120)는 경량화를 위해 알루미늄으로 이루어지며 중공부(12)를 갖는 반면, 보강부재(130)는 강도 보강을 위해 스테인리스(SUS) 합금으로 이루어지며 그 내부에 채워진 봉형상으로 형성될 수 있다.Here, the reinforcing member 130 may be formed of a different material from the inserting portion 120. For example, the reinforcing member 130 is made of a stainless steel (SUS) alloy and may have a rod shape. That is, the insertion portion 120 is made of aluminum and has a hollow portion 12 for weight reduction. On the other hand, the reinforcing member 130 is made of a stainless steel (SUS) alloy for reinforcing the strength, .

이에 의해, 보강부재(130)는 체결부(110)와 삽입부(120)의 결합 강도를 보강할 수 있고, 결과적으로 서포트 바(10)와 리어 프레임(5) 사이의 체결 부위의 강도를 보강할 수 있다.As a result, the reinforcing member 130 can reinforce the bonding strength between the fastening portion 110 and the insertion portion 120, and as a result, the strength of the fastening portion between the support bar 10 and the rear frame 5 is reinforced can do.

이러한 보강부재(130)는 인서트 사출에 의해 삽입부(120)와 일체로 형성될 수 있다. 이때, 보강부재(130)는 일측이 삽입부(120)에 매립되고, 타측이 체결부(110)의 공간부(117)로 돌출 형성될 수 있다. 여기서, 보강부재(130)는 타측이 공간부(117)를 벗어지지 벗어나지 않도록 배치될 수 있다.The reinforcing member 130 may be integrally formed with the insertion portion 120 by insert injection. One side of the reinforcing member 130 is embedded in the insertion portion 120 and the other side of the reinforcing member 130 is protruded from the space portion 117 of the coupling portion 110. Here, the reinforcing member 130 may be disposed so that the other side thereof does not deviate from the space portion 117.

또한, 보강부재(130)는 삽입부(120) 측에 배치되는 보강부재(130)의 길이가 체결부(110) 측에 배치되는 보강부재(130)의 길이보다 크거나 같을 수 있다. 이때, 삽입부(120) 측에 배치되는 보강부재(130)의 길이는 체결부(110) 측에 배치되는 보강부재(130)의 길이보다 20%를 초과하지 않는 것이 바람직하다. 일례로, 보강부재(130)는 삽입부(120)와 체결부(110)의 경계면을 기준으로 1~1.2 : 1의 비율로 배치될 수 있다. The length of the reinforcing member 130 disposed on the insertion portion 120 side may be greater than or equal to the length of the reinforcing member 130 disposed on the side of the coupling portion 110. [ At this time, it is preferable that the length of the reinforcing member 130 disposed on the side of the insertion portion 120 does not exceed 20% of the length of the reinforcing member 130 disposed on the side of the fastening portion 110. For example, the reinforcing member 130 may be disposed at a ratio of 1 to 1.2: 1 based on the interface between the insertion portion 120 and the fastening portion 110.

여기서, 삽입부(120) 측에 배치되는 보강부재(130)의 길이가 체결부(110) 측에 배치되는 보강부재(130)의 길이보다 작은 경우, 보강부재(130)에 의한 강도 보강 효과가 떨어질 수 있으며, 20%를 초과하여 큰 경우, 보강부재(130)에 의한 추가적인 강도 보강 효과가 나타나지 않으며, 이는 불필요한 재료의 손실로 초래할 수 있다.When the length of the reinforcing member 130 disposed on the insertion portion 120 side is smaller than the length of the reinforcing member 130 disposed on the side of the fastening portion 110, If it is larger than 20%, the additional strength reinforcing effect by the reinforcing member 130 is not exhibited, which may result in unnecessary loss of material.

이에 의해, 보강부재(130)는 서포트 바(10)에 적재되는 기판에 의해 발생하는 하중을 삽입부(120)와 체결부(110)로 분산시킬 수 있다. 따라서 보강부재(130)는 삽입부(120)와 체결부(110)의 결합 강도를 더욱 향상시킬 수 있다. The reinforcing member 130 can disperse the load generated by the substrate loaded on the support bar 10 into the insertion portion 120 and the fastening portion 110. [ Therefore, the reinforcing member 130 can further improve the bonding strength between the insertion portion 120 and the fastening portion 110.

도 7을 참조하면, 보강부재(130)는 홈부(121)에서 삽입부 몸체(120a)의 단면적보다 큰 단면적으로 형성될 수 있다. 즉, 보강부재(130)는 체결부(110)에 가장 인접한 홈부(121)에서 일측이 홈부(121)를 통하여 외부로 노출될 수 있다. 이에 의해, 홈부(121)에 의해 약화된 인서트 구조체(100)의 강도를 보강할 수 있다. Referring to FIG. 7, the reinforcing member 130 may be formed to have a cross-sectional area larger than the cross-sectional area of the insertion portion body 120a in the groove 121. That is, one side of the reinforcing member 130 can be exposed to the outside through the groove 121 in the groove 121 closest to the coupling part 110. Thereby, the strength of the insert structure 100 which is weakened by the groove 121 can be reinforced.

이와 같은 구성에 의해 본 발명에 실시예에 따른 인서트 구조체(100)는 서포트 바와 리어 프레임 사이의 체결 부위의 강도를 보강할 수 있으므로 적재된 기판의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 인서트 구조체(100)는 보강부재에 의해 인서트 구조체의 하중을 분산시킬 수 있어 인서트 구조체의 강도를 더욱 보강할 수 있다. 또한, 인서트 구조체(100)는 홈부의 형성에 의해 약화된 인서트 구조체의 강도를 보강할 수 있다. According to the above-described structure, the insert structure 100 according to the embodiment of the present invention can reinforce the strength of the joint portion between the support bar and the rear frame, thereby preventing breakage of the mounted substrate. In addition, the insert structure 100 can disperse the load of the insert structure by the reinforcing member, so that the strength of the insert structure can be further reinforced. Further, the insert structure 100 can reinforce the strength of the insert structure weakened by the formation of the groove portion.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

1 : 기판 적재용 카세트 2 : 상부 프레임
3 : 하부 프레임 4 : 사이드 프레임
5 : 리어 프레임 6 : 보강 프레임
7 : 봉부재 10 : 서포트 바
11 : 개구부 12 : 중공부
13 : 삽입홀 14 : 체결홀
20 : 팁 부재 30 : 멤브레인 필터
31 : 체결부 32 : 멤브레인판
33 : 덮개부 100 : 인서트 구조체
110 : 체결부 110a: 체결부 몸체
111 : 후면부 112 : 전면부
113 : 연장부 114 : 경사면
115,116: 체결홈 117 : 공간부
120 : 삽입부 120a : 삽입부 몸체
121 : 홈부 122 : 단차부
123 : 관통구 124 : 결합홈
130 : 보강부재1: Cassette for loading substrates 2: Upper frame
3: lower frame 4: side frame
5: rear frame 6: reinforcing frame
7: Rod member 10: Support bar
11: opening 12: hollow
13: insertion hole 14: fastening hole
20: tip member 30: membrane filter
31: fastening part 32: membrane plate
33: lid part 100: insert structure
110: fastening part 110a: fastening part body
111: rear portion 112: front portion
113: extension part 114: inclined surface
115, 116: fastening groove 117:
120: insertion part 120a: insertion part body
121: groove portion 122:
123: through hole 124: coupling groove
130: reinforcing member

Claims (13)

기판 적재용 카세트의 리어 프레임에 결합되어 기판을 지지하는 서포트 바에 결합하는 인서트 구조체로서,
상기 서포트 바의 중공부와 연결된 개구부에 삽입되는 삽입부;
상기 삽입부의 일측에 형성되어 상기 리어 프레임에 체결시키는 체결부; 및
상기 삽입부와 상기 체결부의 결합 부위에서 상기 삽입부에 일부가 매립되는 보강부재;를 포함하고,
상기 삽입부는 알루미늄으로 이루어진 삽입부 몸체 및 상기 삽입부 몸체의 양측에 일정 간격 및 일정 깊이로 형성되는 홈부를 포함하고,
상기 체결부는 상기 리어 프레임에 결합되는 면이 하측으로 개방된 "ㄷ"자 형상으로 이루어지고, 상기 면의 하측에 공간부가 형성되며,
상기 보강부재는 일측이 상기 삽입부에 매립되고 타측이 상기 공간부 측으로 돌출 형성되며, 그 단면적이 상기 홈부에서 상기 삽입부 몸체의 단면적보다 크고, 상기 체결부에 가장 인접한 홈부에서 외부로 노출되는 인서트 구조체.An insert structure coupled to a support bar for supporting a substrate, the insert structure being coupled to a rear frame of a cassette for mounting a substrate,
An insertion portion inserted into an opening portion connected to the hollow portion of the support bar;
A fastening part formed at one side of the insertion part and fastened to the rear frame; And
And a reinforcing member partially embedded in the insertion portion at a coupling portion between the insertion portion and the coupling portion,
Wherein the insertion portion includes an insertion body including aluminum and a groove formed at both sides of the insertion body at predetermined intervals and a predetermined depth,
The fastening portion has a " C "shape whose lower surface is coupled to the rear frame, a space portion is formed below the surface,
Wherein the reinforcement member has an insert portion in which one side is embedded in the insert portion and the other side is protruded on the side of the space portion and whose cross sectional area is larger than the cross sectional area of the insert portion body in the groove portion, Structure. 제1항에 있어서,
상기 삽입부는,
상기 삽입부 몸체의 일측 양단에 형성되는 단차부; 및
상기 단차부에 적어도 하나의 위치에 형성되는 관통구;를 더 포함하는 인서트 구조체.The method according to claim 1,
The insertion portion
A stepped portion formed at one end of the insert body; And
And a through hole formed in at least one position in the stepped portion. 제1항에 있어서,
상기 보강부재는 스테인리스(SUS) 합금으로 이루어지고 봉 형상을 갖는 인서트 구조체.The method according to claim 1,
Wherein the reinforcing member is made of a stainless steel (SUS) alloy and has a bar shape. 제1항에 있어서,
상기 보강부재는 인서트 사출에 의해 상기 삽입부와 일체로 형성되는 인서트 구조체.The method according to claim 1,
Wherein the reinforcing member is integrally formed with the insert by injection molding. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 삽입부 측에 배치되는 상기 보강부재의 길이는 상기 체결부 측에 배치되는 상기 보강부재의 길이보다 크거나 같은 인서트 구조체.The method according to claim 1,
The length of the reinforcing member disposed on the side of the insertion portion is greater than or equal to the length of the reinforcing member disposed on the side of the coupling portion. 제6항에 있어서,
상기 삽입부 측에 배치되는 상기 보강부재의 길이와 상기 체결부 측에 배치되는 상기 보강부재의 길이의 비는 1~1.2: 1인 인서트 구조체.The method according to claim 6,
Wherein a ratio of a length of the reinforcing member disposed on the insertion portion side to a length of the reinforcing member disposed on the coupling portion side is 1 to 1.2: 1. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 체결부는,
상기 삽입부의 종방향 단면적보다 넓은 단면적을 갖는 후면부,
상기 리어 프레임에 결합되는 전면부;
상기 전면부로부터 상기 후면부 측으로 수평 연장되는 연장부; 및
상기 연장부로부터 상기 후면부로 경사지게 형성되는 경사면을 포함하는 인서트 구조체.The method according to claim 1,
The fastening portion
A rear portion having a cross-sectional area wider than the longitudinal cross-
A front portion coupled to the rear frame;
An extension extending horizontally from the front portion to the rear portion; And
And an inclined surface formed to be inclined from the extending portion to the rear surface portion. 제10항에 있어서,
상기 전면부 및 상기 체결부의 측면은 복수의 체결홈이 각각 형성되는 인서트 구조체.11. The method of claim 10,
And the side surfaces of the front portion and the fastening portion are formed with a plurality of fastening grooves, respectively. 상부 프레임;
하부 프레임;
상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 양 측부에 수직방향으로 결합되는 복수의 사이드 프레임;
상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 후방측에 수직 방향으로 결합되는 복수의 리어 프레임;
내부에 중공부를 포함하고, 일측에 멤브레인 필터가 구비되며, 상기 리어 프레임에 일측이 결합되되, 타측이 내측으로 연장 형성되어 상기 기판을 지지하는 서포트 바; 및
상기 서포트 바의 상기 중공부에 삽입되어 상기 서포트 바를 상기 리어 프레임에 결합하는 제1항 내지 제4항, 제6항, 제7항, 제10항 및 제11항 중 어느 한 항에 따른 인서트 구조체;를 포함하는 기판 적재용 카세트.An upper frame;
A lower frame;
A plurality of side frames vertically coupled to both sides of the upper frame and the lower frame;
A plurality of rear frames vertically coupled to the rear side of the upper frame and the lower frame;
A support bar having a hollow portion inside and having a membrane filter on one side thereof and one side connected to the rear frame and the other side extending inward to support the substrate; And
The insert structure according to any one of claims 1 to 6, 7, 10 and 11, inserted into the hollow portion of the support bar to couple the support bar to the rear frame And a cassette for loading a substrate. 제12항에 있어서,
상기 멤브레인 필터는,
상기 서포트 바의 체결홀에 삽입되며 제1홀을 갖는 체결부재;
상기 체결부재의 일측에 구비되는 멤브레인판; 및
상기 제1홀과 연통하는 제2홀을 갖고, 상기 멤브레인판을 상기 체결부재에 고정시키는 덮개부;를 포함하는 기판 적재용 카세트.13. The method of claim 12,
The membrane filter comprises:
A fastening member inserted into the fastening hole of the support bar and having a first hole;
A membrane plate provided on one side of the fastening member; And
And a lid part having a second hole communicating with the first hole and fixing the membrane plate to the fastening member.
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