KR20010023152A - 처리할 물품상의 전기적 접촉점상의 금속층의 두께를균일화하기 위한 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전기도금 플랜트에서 수평의 이송 평면으로 유도된 처리해야할 물품 (7) 의 전해 처리 중에 컨덕터 호일 및 인쇄회로기판과 같이 처리해야할 물품상의 전기 접촉점상의 금속층 두께를 균일하게 하기 위한 장치에 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 장치는 이송 평면에 대해 반대편으로 위치된 카운터 전극 (2, 3), 처리해야할 물품 (7) 과 접촉하도록 연속적으로 순환하는 이송 수단 (5) 에 체결되어 있는 클램프 (4) 를 갖는다. 클램프 (4) 는 전기 전도성인 하부 (14) 와 상부 (13) 를 갖고, 서로에 대해 이동가능하고 또한 처리해야할 물품 (7) 을 위한 1이상의 접촉점 (6) 을 갖는 금속으로 이루어진 표면을 갖는다. 또한, 1이상의 전류원이 제공되어, 카운터 전극과 처ㅇ리해야할 물품 사이에 전류의 흐름을 발생시킨다.

전해 금속화 중에, 접촉 클램프 (4) 의 파이어릿 캐쏘드 작용을 방지하기 위하여, 카운터전극(2, 3) 과 클램프 (4) 사이에는 전기장을 위한 상부 및 하부 실드 (15, 16) 가 위치되고, 이 실드는 이송 평면에서 안내되어 처리해야할 물품이 클램프부와 접촉하지 않도록 이송 평면에 근접하게 뻗어있다.

Description

처리할 물품상의 전기적 접촉점상의 금속층의 두께를 균일화하기 위한 장치 및 방법{DEVICE AND METHOD FOR EVENING OUT THE THICKNESS OF METAL LAYERS ON ELECTRICAL CONTACT POINTS ON ITEMS TO BE TREATED}

금속 도금용 전기분해 플랜트에서, 처리될 평평한 물품은 클립 또는 클램프에 의해 한쪽 측면 또는 양쪽 측면에서 일반적으로 파지된다. 클립 또는 클램프는 플랜트를 통해 처리되어야 할 물품을 이송하도록 사용됨과 동시에 전기적 접촉을 제공하는데, 즉 전기도금 전류를 물품에 가한다. 예를 들어, 처리되어지는 물품은 인쇄회로기판, 특히 복층 회로이며, 이러한 물품은 8mm의 두께를 갖는다. 상기의 두께를 갖는 인쇄회로기판과 0.1mm미만의 두께를 갖는 호일이 연속적인 전기도금 플랜트에서 제조될 수 있다.

전기도금 플랜트에 있어서의 또 다른 필요조건은 금속층의 두께 분포의 균일화와 정확성에 있다. 전기도금 금속층은 기술적 또는 경제적 이유로 인해 처리되어지는 할 물품의 에지 영역에서 균일한 두께로 되어 있어야 한다. 사전에 결정된 표준층 두께로부터의 명확한 편차가 발생하는 에지 영역은 가능하면 좁아야 한다. 예를 들어, 정밀한 컨덕터 기술에 있어서, 처리되어지는 물품의 가용 범위의 상대적 층 두께 공차는 10%미만을 필요로 한다. 전기도금 중에 클립 또는 클램프가 제공되어 처리되어지는 물품상의 지점 부근에서 조차, 층두께의 균일한 균일한 분포가 달성될 수 없다. 따라서, 이러한 접촉점 부근의 영역은 에지 영역으로 간주한다.

독일특허 36 24 481 C2호에는 수평의 연속적인 전기도금 플랜트에서 클램프가 소개되어 있다. 이러한 종류의 다수의 클램프는 서로에게서 리볼빙 컨베이어 벨트까지 간격을 두고 체결되어 있다. 이러한 클램프들이 전기도금 플랜트에서 작동할 때, 처리되어지는 물품은 그 측면 에지에서 클램프에 의해 파지된다. 이러한 목적을 위하여, 2개의 스트랩이 서로를 향해 흔들리게 되고, 처리되어지는 물품의 에지는 클램프의 압력 스프링의 도움으로 클램프에 의해 조여져 유지된다. 또 다른 실시예에서, 서로에 대해 수직한 스트랩의 변위가 클램프를 개구할 수 있도록 제안되어 있다. 이 경우에 접촉 압력이 텐션 스프링에 의해 가해진다. 전기도금 플랜트로부터의 출구에서, 클램프는 경시진 스톱면에 의해 다시 개구된다. 따라서, 인쇄회로기판은 다시 방출되고, 운반 롤러에 의해 더욱 더 운반된다.

처리해야할 물품의 전기도금 중에, 클램프의 금속 스트랩은 또한 동시에 도금된다. 따라서, 이러한 스트랩은 클램프 부근에 놓인 처리되어야 할 물품의 펴면에 대해 파이어릿 캐쏘드 (pirate cathode) 로 작용한다. 이러한 영역에서 발생하는 작은 층두께로 인해, 그에 상응하게 넓은 에지 스트립이 사용될 수 있다. 이러한 비가용 폭은 F대략 60mm로 알려져 있다. 층두께가 변동하는 것을 막기 위하여, 전술한 특허에는 스트랩에 가소성 물질 덮개가 제공되는 것이 소개되어 있다. 처리해야할 물품에 접촉을 제공하는 단부만이 도금디되지 않은 상태로 남아있다. 상기 공보에는 플랜트에서의 클램프의 복귀 운행 동안 이러한 점들이 다시 도금제거실에서 전기분해되어 도금제거 되는 것이 기술되어 있다.

플라스틱 덮개는 전해조 내부에서 클램프를 동작시킬 수 있도록 되어 있다. 따라서, 전해질을 클램프로부터 떨어지도록 하는 추가의 시일링 벽이 필요치 않다. 이러한 형태의 작동은 하기에 습접촉으로 언급될 것이다. 예를 들어, 클램프의 플라스틱 재료 덮개는 ECTFE로 이루어진다. 이러한 내화학성 플라스틱 재료로 피복하는 플라스틱 재료의 제조는 매우 복잡하고 고가이다.

날카로운 에지 공구 또는 인쇄회로기판에 의해 야기되는 플라스틱 코팅에 대한 기계적 손상은 적절한 플라스틱 재료가 사용될 때에도 방지될 수 없다. 이러한 클램프의 수명은 그 평균이 12개월이다.

전기도금 중에, 클램프는 캐쏘드극화 된다. 많은 클램프의 플라스틱 재료 덮개가 장시간의 사용후에 도금된다. 만약 클램프가 그 복귀 운행 중에 정상적으로 전기분해되어 도금제거 되지 않는다면, 바람직하지 않은 도금이 발생할 수 있다. 하지만, 이에 대한 원인은 알려져 있지 않다. 유기 및/또는 무기 전해질의 천가물과 함께 플라스틱 금속 덮개의 노화가 영향을 주는 것으로 알려져 있다. 이러한 플라스틱 덮개 상에 안전하게 부착되어 있는 금속층은 전해질에서 클램프의 금속 제거된 지점으로부터 외부로, 예를 들어 스트랩 단부의 금속 제거된 단부까지 성장하기 시작한다. 하지만, 특히 이러한 지점은 클램프의 플라스틱 재료 덮개의 손상된 영역이며, 이러한 손상된 영역들은 과중한 업무중의 세정 작업에 의해, 예를 들어 부적절하게 위치되고 매우 날카롭게 모서리가 형성된 인쇄회로기판 또는 덮개의 부적절한 처리로 인해 발생된다.

하기의 공정은 다음과 같이 이루어진다: 플라스틱 물질 덮개와 같이 부분적으로 매우 작게 개구된 손상 영역을 통하여 플라스틱 물질 덮개의 외부 측면상에서 느리게 성장하는 금속층과 클램프의 금속 스트랩 사이에서 얇은 전기 전도상 연결부를 생성하는 전기도금 공정이 시작된다. 연속적인 전기도금 플랜트의 클램프 회수 중에, 전기도금 층이 도금제거된다. 손상된 영역에서의 전기도금 연결이 우선적으로 바람직하게 매우 짧은 시간내에 제거된다. 따라서, 금속 스트랩까지 플라스틱 재료덮개 상에서 성장하는 금속층의 전기 연결은, 이러한 층이 도금이 완전히 제거될 때 조차 손실될 수 있다. 만약 클램프가 전기도금 플랜트의 도금 영역에서 재배치된다면, 나머지 도금공정은 손상된 영역을 통하여 다시 전기적으로 전도되며, 새로운 금속은 금속 스트랩 까지의 전기 연결부를 넘어 손상된 영역 내부에서 전해적으로 증착된다. 따라서, 금속화부가 계속해서 성장한다. 따라서, 반복적인 느린 공정으로 인해, 일정하게 작동되는 플랜트에서, 수주 또는 수개월 후에 클램프를 사용할 수 없게 되는데, 그 이유는 플라스틱 재료 덮개 상에서의 바람직하지 않은 금속화가 처리되어야할 금속화부에 대해 파이어리트 캐쏘드로 작용한다. 따라서, 플라스틱 재료 덮개는 새것으로 교체된다. 이에 따라, 비용이 상승한다. 또한, 제조 손실이 발생한다.

독일특허 32 36 545 C3호에는 수평으로 정렬된 방향에서 회전가능한 운반 수단에 의해 시일되어 그 입구와 출구에 제공된 전해조를 통해 안내되는 개개의 판상 소재를 전기도금하기 위한 장치, 쌍으로 서로 반대편으로 위치되고 서로에 대해 가압된 복수의 캐쏘드화되어, 전해조에서 운송 수단으로 제공되고, 운송로에서 전해조의 한 측면에서 작업 소재의 전기적 접촉을 제공하는 스위치된 접촉 휠이 소개되어 있다. 또한, 전해조로부터 접촉 휠을 완전히 실드하기 위하여, 소재의 통로를 위해 적절히 벌어진 스크린이 제공되어 있으며, 와이핑 장치는 스크린의 개구를 따라 제공되고 스크린의 전방으로 운반되며, 스크린은 전해 유체와 접촉 휠과의 접촉을 방지하기 위하여 소재상에서 미끄러진다.

이러한 접촉 휠이 처리해야할 물품상의 금속 전해 증착을 위해 적당하지 않은 것으로 되어 있는데, 그 이유는 휠의 전방측면상에서의 금속 증착을 방지할 수 없기 때문이다. 금속 증착을 통해, 상기 휠의 직경이 점차적으로 커지고, 특히 휠의 전방 측면이 거칠어지므로, 처리해야할 물품의 표면에 손상을 입힌다. 휠로부터 금속을 제거하기 위하여, 휠은 산발적으로 금속을 벗겨 제거해야 한다. 이러한 목적을 위하여, 전체 플랜트는 닫혀져야 한다. 이에 따라, 플랜트의 생산성이 낮아질 뿐만 아니라, 다른 결과적 손상 즉 플랜트가 다시 가동될 때 다은 단계에서의 폐기물의 생성을 야기하는데, 그 이유는 전해조의 증착상태가 다시 안정될 때까지 전해조가 먼저 가동되기 때문이다.

유럽특허 EP 0 254 962 A1호는 건식 접촉을 위해 제공된 접촉 터미널을 소개하고 있다. 이에 따라, 접촉 터미날은 처리해야할 물품에 대해 놓여있는 시일에 의해 전해 용액의 침입으로부터 실드된다. 그럼에도 불구하고, 상기 유럽특허에는 접촉을 제공하지 않도록 된 접촉 터미널의 나머지 부분이 플라스틱 재료로 피복되어 바람직하지 않은 금속 증착으로부터 이 터미널들을 보호할 수 있다. 접촉 터미널 상에서의 바람직하지 않은 증착은 터미널의 복귀운행 중에 화학적 및/또는 기계적 클리닝에 의해 제거된다. 처리해야할 물품에 대한 스프링 압력하에 놓인시일에 의해 캐쏘드 터미널을 시일링함에 따른 단점이 있는데, 그 이유는 ㅣㄴ쇄회로기판이 항상 그 모서리가 날카롭게 된다. 기판을 위치결정하거나 코딩(cording)하는데 필요한 인쇄회로기판의 에지 영역의 구멍은, 예를 들어 또한 날카로운 가장자리를 갖는다. 이러한 형태의 물품은 쓸모가 없다. 또한, 컨덕터 호일이 밀접한 접촉점에 놓인 시일에 의해 수축 및/또는 둘러쌓일 위험이 있다. 다른 한편, 더 두꺼운 보드를 사용하여, 완전한 시일링 불가능한데, 그 이유는 2개의 연속적인 인쇄회로기판 사이의 갭에서, 전해질이 접촉 터미널 및 플랜트의 구조 요소에 도달하기 때문이다. 전해적으로 극화된 비제어 금속화 및 전해질에 의한 운반 수단의 부식은 결과적으로 방지될 수 없다.

본 발명에 잔존하는 문제점은 공지의 장치 및 방법의 단점을 제거하고, 저비용 생산이 가능하도록 하고, 유지가 자유로운 일정한 작동을 가능하게 하는 것이다. 무엇보다도, 처리해야할 물품 상에서 그리고 이러한 물품의 구멍에서 층두께의 균일한 분포는 두꺼운 인쇄회로기판과 컨덕터 호일 모두에서 유지될 수 있어, 플랜트를 재설비할 필요없이 처리해야할 물품의 가장자리 영역에서 이루어질 수 있다.

이러한 문제점은 청구항 제 1 항에 따른 장치와 제 11 항에 따른 방법에 의해 달성된다.

본 발명은 전해처리, 특히 전해 금속화 중에 연속적인 전기도금 플랜트에서의 운반수단의 수평면에서 안내되는 품목의 컨덕터 호일 및 인쇄 회로판과 같은 처리할 물품상의 전기적 접촉점상의 금속층의 두께를 균일화하기 위한 장치 및 방법 에 관한 것이다. 본 발명의 장치는 처리되어야 할 물품이 수평 위치로 안내되는 플랜트에서 특히 적용가능하다.

도 1 은 이송 방향으로 도시되어, 실드와 호일을 파지하는 클램프를 갖는 수평으로 연속적으로 작동하는 전기도금 플랜트를 통한 개략적 상세 단면도.

도 1b 는 두꺼운 인쇄회로기판을 파지하는 클램프의 단면도.

도 2a 는 추가의 스크린을 갖는 클램프를 갖는 플랜트의 도 1a 에 따른 도면.

도 2b 는 추가의 스크린을 갖는 클램프를 갖는 플랜트의 도 1b 에 따른 도면.

도 3 은 클램프 상부에 체결된 스크린의 전방 입면도.

도 4 는 추가의 수평 스크린을 갖는 클램프를 갖는 플랜트의 도 1b 에 따른 도면.

도 5 는 종래 기술에 따른 수평의 연속적인 전기도금 플랜트의 상부 영역을 통한 개략적 단면도.

본 발명에 따른 장치와 방법은 처리해야할 물품의 전해처리 중에 전기 접촉점 상의 금속층의 두께를 균일하게 하는 것이다. 본 발명의 장치는 이송 평면에 대해 반대편으로 위치된 역-전극 및 처리해야할 물품과 접촉하는 클램프를 포함하며, 상기 클램프는 연속적으로 리볼빙하는 이송 수단에 체결된다. 각각의 클램프는 하부와 상부를 갖고, 이들은 전기 전도성이며, 금속으로 이루어지는 표면을 갖고, 서로에 대해 이동되며, 처리해야할 물품을 위한 1이상의 접촉점을 갖는다. 또한, 1이상의 전류원이 제공되어 카운터전극과 클램프 사이에 전류의 흐름을 생성시킨다. 카운터전극과 클램프 사이에는 전기장을 위한 상부 및 하부 실드가 위치되고, 이 전기장은 처리해야할 물품이 이송 평면에 대해 안내되는 이송 평면에 근접해서 뻗어있고, 클램프부는 실드와 접촉하지 않는다.

본 발명에 따른 장치와 방법은 인쇄회로기판과 컨덕터 호일의 전해처리중에 사용되며, 이들은 연속적인 전기도금 플랜트의 수평 이송 평면에서 안내되어 처리된다.

금속층의 두께의 균일화는 처리해야할 물품의 전해 금속화(전기도금) 중에 특히 발생한다. 하지만, 이러한 장치와 방법은 전해 도금제거중에 또는 금속층의 전해 에칭중에 이루어진다. 하기의 설명은 처리해야할 물품의 전해 금속화에 관한 것이다. 하지만, 특히 처리해야할 물품의 도금제거 또는 에칭에 적용된다. 특히, 카운터전극은 이 경우에 캐쏘드로, 처리해야할 물품은 아노드로 전환되는 반면에, 처리해야할 물품의 전기도금인 경우에는, 카운터전극이 아노드로, 처리해야할 물품이 캐쏘드로 전환된다. 대응하게, 카운터전극 및 처리해야할 물품은 플러스 전류원 또는 플러스 전압원에 연결되는데, 예를 들어 카운터전극과 처리해야할 물품 사이에 단극 또는 양극 펄스 전류를 발생시킨다. 이 경우에, 카운터전극은 계속적으로 아노드 및 캐쏘드 전극화되고, 처리해야할 물품은 그 카운터전극이된다.

종래 기술과 반대로, 본 발명에 따른 장치는 비록 클램프가 연속적으로 전해 용액과 접촉해 있더라도(습접촉), 클램프부의 플라스틱 재료 덮개가 완전히 제거될 수 있다. 클램프를 통한 상당히 큰 파이어릿 캐쏘드 효과를 방비하기 위하여, 클램프부 양쪽은 용해 및 비용해를 달성할 수 있는 아노드 (카운터전극) 에 대해 실드될 수 있다. 실드 중의 하나는 전기도금 플랜트의 하부 아노드와 클램프 하부 사이에 위치된다. 다른 실드는 상부 아노드와 클램프 상부 아노드 사이의 공간에 위치된다.

본 발명의 바람직한 실시예는 존속항에 언급되어 있다.

바람직하게는, 실드는 사실상 평평하게 되어 있고, 전기도금 플랜트의이송 수단에 수직하게 또한 처리해야할 물품의 이송 방향에 대해 평행하게 정렬되어 잇다.

바람직하게는, 실드는 플라스틱 재료 또는 세라믹과 같은 전기적으로 비전도성 재료로 이루어진다. 하지만, 이들은, 예를 들어 절연 피복 금속 또는 티타눔등과 같은 표면에 아노드화 패시베이트된 금속을 갖는 절연 코팅 또는 아노드화 패시베이션층 에 제공된 전기 전도 재료로 이루어질 수 있다.

카운터전극의 전기도금을 막기 위하여, 금속은 각각의 상부 및 하부 아노드 포텐셜에 연결될 수 있다. 이러한 목적을 위하여, 전기 전도 재료로 이루어지는 실드 사이의 전기 전도 연결 및 아노드가 제공될 수 있다. 이러한 실드와 아노드 사이의 전기 전도 연결은 안전 이유를 위한 전기 저항을 갖는다. 예를들어, 짧은-회로 전류를 제한하는 리지스터가 삽입될 수 있다.

실드는 연속적으로 작동하는 플랜트의 전기도금 영역의 전체 이송 경로를 따라 뻗어있다. 짧은-회로를 피하기 위하여, 전기 전도 실드는, 클램프와 처리해야할 물품이 간섭받지 않는 일정한 작동 중에 접촉하지 않도록 체결된다. 또한, 일어날 가능성이 있는 임의의 전기도금을 방지하기 위하여, 절연부로부터 형성된 실드는 처리해야할 물품의 표면과 또는 클램프부와 접촉하지 않도록 조절되어야 한다.

전술한 이유로 인해, 실드는 전해 용액 유동에 대해 완전히 시일되지 않는다. 따라서, 클램프 파지부의, 처리해야할 물품의 영역의 금속이 벗겨진 클램부는 약간 전기도금된다. 그럼에도 불구하고, 클램프 파지부의 영역에서의 인쇄회로기판의 층두께의 분포에 대한 이러한 금속 증착의 영향은 작다. 이는 사실상 인쇄회로기판의 매우 좁은 가장자리 스트립이 여전히 기술적으로 사용불가능하다는 것을 의미한다. 저왁한 전기도금 재생산은 연속적으로 작동하는 플랜트를 가능하게 하여, 파지부의 영역에서, 약간 금속화된 클램프부는 완전히 전해적으로 도금제거되어 각각의 복귀 이동 중에 세정된다. 클램프에는 플라스틱 재료 코팅이 제공되지 않기 때문에, 클램프상의 각각의 금속 증착은 도금제거 전류원에 대해 이상적인 전기 전도 연결을 제공한다.

클램프부가 플라스틱 재료로 덮히고, 사용불가능할 때까지 이러한 클램프부상에 증착을 야기하듯이 이러한 연결의 일시적 파괴는 여기서는 발생하지 않는다. 따라서, 연속적인 전기도금 플랜트의 초기에, 완전히 전해적으로 에칭된, 즉 세정된 클램프가 사용될 수 있다.

또한, 클램프부를 위한 플라스틱 재료 덮개를 제거함으로써 비용이 절감될 수 있고, 클램프의 수명을 연장시키는 효과가 있다. 도금이 벗겨진 클램프는 비용절감적이며, 또한 그 수명이 그 수명이 비제한적이다.

클램프의 하부 절반에는 항상 이송 평면에서 안내되는 인쇄회로기판의 하부 측면의 일정 레벨에 있는 그의 접촉점이 위치된다. 이러한 이류로 인해, 하부 실드는 인쇄회로기판의 하부 측면까지 매우 정확하게 유도된다. 인쇄회로기판의 하부 측면으로부터 대략 1mm의 클램프 하부로부터의 실현가능한 간격을 사용하여, 클램프 하부 위치에서의 전기장의 완전한 실딩이 실현될 수 있다.

인쇄회로기판의 상이한 두께는 변위가능하도록 구성된 클램프 상부에 의해 보상된다. 따라서, 상부 실드는 인쇄회로기판의 제거될 때까지 위치되고, 가장 두꺼운 인쇄회로기판이 이송되어, 인쇄회로기판의 상부와 실드 사이의 간격은 대략 1mm가 된다. 이는 8mm의 최대 인쇄회로기판의 두께를 사용하여, 제로 레벨(인쇄회로기판의 하부 측면의 레벨)에서의 상부 실드의 간격은 9mm가 되어야 한다. 이러한 비교적 큰 간격으로 인해, 예를 들어,0.1mm의 두께를 갖는 호일의 공정중에, 금속이 상당한 범위까지 클램프 상부상에 위치된다. 이와 연결된 클램프 상부의 더욱 큰 파이어릿 캐쏘드의 결과로서 컨덕터 호일의 상응하게 더욱 큰 가장자리 영역이 사용될 수 있다. 인쇄회로기판의 두께가 증가하면서, 인쇄회로기판의 사용불가능한 가장자리 영역은 증가된 실딩의 결과로서 증가한다. 전기도금 플랜트에서, 두께 차이가 작거나 오직 단일 두께를 갖는 컨덕터 호일 또는 인쇄회로기판이 생산될 수 있어, 상부 실드가 처리해야할 물품의 두껭 대해 매우 정확하게 조절될 수 있다. 실제로, 이러한 단일-생산이 지배적으로 발생한다. 처리해야할 물품의 사용불가능한 에지 영역은 이러한 경우에 최소이다.

다른 한편으로, 전기도금 플랜트에서, 에를 들어 8mm의 두께에 이르는 복층 회로, 인쇄회로기판, 호일이 생산되고, 만약 호일과 보드의 가용 영역이 최대로 가능한 한계까지 이른다면, 각각의 도금이 벗겨진 클램프 상부에는 이와 이동하는 스크린이 장착되고, 크램프의 상부에 체결된다. 이 스크린은 클램프 상부에 대해 평행하게 정렬되고, 이송 평면에 대해 매우 근접하게 위치하며, 여기서 인쇄회로기판 또는 컨덕터 호일이 안내되어, 스크린은 이송 평면에 안내된 처리해야할 물품 및 접촉점과 접촉하지 않는다.

스크린은, 예를 들어 세라믹 또는 플라스틱 재료와 같은 전기 비전도성 재료로 이루어진다. 이는 클램프 접촉점으로부터 약간 큰 간격에 있는 클램프 상부에 체결된다. 체결점에서, 상부 실드에 의해 어떠한 전기장도 없다. 따라서, 플라스틱 재료상에서의 금속층의 증착이 불가능하다. 스크린은 체결점 아래로부터 접촉점까지 캐틸레버 형태로 뻗어있다. 클램프 상부에 체결됨으로써, 이를 사용하여 클램프 상부의 개폐 운동을 실행할 수 있다. 스크린과 치라해야할 물품의 상부 측면 사이의 간격은 하부 실드와 처리해야할 물품의 하부 측면 사이와 동일한 방법으로 설정된다. 따라서, 스크린은 처리해야할 물품의 측면과 접촉하지 않을 뿐만 아니라, 클램프의 접촉점과 접촉하지 않는다.

스크린의 폭(전기도금 플랜트의 처리해야할 물품의 이송 방향으로 도시된 스크린의 측정치)은 하나의 클램프와 인접한 클램프 사이의 간격에 해당한다. 시일을 향상시키기 위하여, 인접한 클램프의 스크린은 또한 상호 중첩한다. 또한, 스크린과 상부 아노드 배스킷 사이에는 충돌을 방지하기 위하여 제공된 간격을 갖는 전술한 정지 실드가 위치된다. 추가의 스크린을 사용하여, 처리해야할 물품의 기술적으로 사용불가능한 가장자리 스트립은 클램프 영역에서 12mm까지 축소된다. 이러한 스트립 폭은 물품의 두께에 따라 좌우되고, 그 크기가 항상 동일하다.

또한, 스크린과 상부 실드에는 사실상 수평으로 정렬된 추가의 상부 스크린이 설치되고, 하부 실드에는 사실상 수평으로 정렬된 하부 스크린이 설치된다. 이에 따라, 처리해야할 물품의 가장자리 영역에서의 층 두께의 분포를 균일하게 할 수 있는데, 그 이유는 전기 플럭스 라인이 전기 전도 물체의 가장자리 영역에 기본적으로 집중하고, 여기서 큰 금속층 두께를 야기시킨다. 처리해야할 물품상의 금속층 두께에 효율적인 영향을 제공하기 위하여, 개구가 또한 수평으로 정렬된 스크린에 제공된다.

바람직하게는, 상부 및 하부 클램프부상의 접촉점은 처리해야할 물품에 전기적으로 접촉하기 위하여, 클램프부의 최외각 단부에 위치된다.

본 발명은 하기의 도 1 내지 도 5 를 참조로 더욱 상세하게 설명될 것이다.

종래의 전기도금 플래트가 도 5 에 도시되어 있다. 작업 컨테이너 (1) 내부에는 상부 아노드 배스킷 (2) 과 하부 아노드 배스킷 (3) 이 도시되어 있다. 실제의 6m 길이의 연속적인 전기도금 플랜트는 25개의 상부 아노드 배스킷과 25개의 하부 아노드 배스킷을 구비한다. 이들 배스킷은 처리해야할 물품, 예를 들어 인쇄회로기판의 운반 방향으로 나란히 위치되어 있다. 도 1 의 운반 방향에서, 오직 하나의 상부 아노드 배스킷과 하나의 하부 아노드 배스킷만을 눈으로 확인할 수 있다. 마찬가지로, 도면의 클램프 (4) 도 나란히 놓여 있다. 클램프 사이의 간격은 예를 들어 60mm이다. 클램프 (4) 는 모터로 구동되는 연속적인 리볼빙 컨베이어 벨트 (5) 에 체결되어 있다. 클램프 (4) 는 처리해야할 물품을 클램프 접촉 지점 (6) 에서 파지하고 있다(상세부 Z). 클램프들은 물품들을 전기분해 플랜트를 통해 안내해서 운반한다. 작업 컨테이너 (1) 에는 전해질이 채워져 있다. 전해조의 액체 레벨 (8) 은 상부 아노드 배스킷 (2) 의 위쪽에 위치한다. 도 1 의 우측편에는 전기 도금 영역 (9), 왼쪽편에는 도금제거 영역 (10) 이 위치해 있다. 양쪽 영역에는 동일한 전해질 유체가 있다. 배스킷 (2, 3) 형태의 아노드에는 용해성 아노드 금속이 채워져 있다. 아노드 (2, 3) 와 처리해야할 물품 (7) 은 함께 전기도금 셀을 형성한다. 모든 전극의 포텐셜이 도 5 에 추가적으로 주어져 있다. 슬라이딩 접촉부 (31) 를 통해, 도금 캐쏘드 포텐셜이 슬라이드 레일 (32) 을 통해 클램프 (4) 까지 그리고 여기서부터 처리해야할 물품(7) 까지 가해진다. 추가의 슬라이딩 접촉부 (33) 를 통하여 도금제거 아노드 포텐셜이 도금제거 영역 (9) 에서 도금제거되어야 할 클램프 (4) 에 제공된다.

만약 얇은 호일의 공정 결과로써 더 큰 간격이 발생한다면, 상부 아노드의 전기장의 전기 플럭스 라인들은 상부 실드 (15) 의 하단부와 처리해야할 물품 사이의 갭 (19) 을 통해 연동해서 클램 (4) 의 하부 영역에 도달한다. 이에 따라, 금속이 벗겨진 클램프상의 영역 (21) 의 거리결정 전기도금이 발생한다. 이러한 전기도금을 방지하기 위하여 도 2a 및 2b에 도시된 스크린 (22) 은 클램프 상부 영역 (13) 에 체결된다.

스크린 (22) 은 전기 비전도성 재료로 이루어진다. 이 스크린은 그 하부 영역에서 클램프와 접촉하지 않는다. 이에 따라, 전술한 바와 같이 스크린의 플라스틱 재료가 전기도금되는 것을 방지할 수 있다. 클램프 상부 (13) 의 체결점 (23) 은, 스크린 (22) 의 금속화를 방지하기 위하여 이 체결점으로부터 상부 아노드 바스킷 (2) 까지의 거리를 가능하면 길게 할 수 있다. 체결점 (23) 은 전해조의 아래 또는 위쪽에 놓일 수 있다. 만약 전해조의 아래쪽에 놓여진다면, 아노드로부터 뻗어있는 필드 라인은 상부 실드 (15) 에 의해 체결점 (23) 으로부터 이격된다. 이에 따라 체결점과 스크린이 전해조 (8) 의 액체 레벨 아래에 위치되더라도 전기도금층이 펼침으로 인한 스크린 (22) 상에서의 도금제거된 클램프 상부 (13) 를 방지할 수 있다.

클램프 상부에 부착됨으로써 클램프 상부와 함께 이동하는 스크린에 의해, 스크린과 처리해야할 물품 사이에는 항상 최소 안전 간격이 설정되는데, 이러한 간격은 하부 측면의 간격 (18) 만큼 작다. 따라서, 층 두께의 매우 균일한 분포가 에지 영역에서 처리해야할 물품의 양 측면상에서 달성될 수 있다.

또한, 클램프의 도금이 제거되고, 플라스틱 재료 절연이 제공되지 않음ㄹ으로써, 클램프 접촉점의 보다 효과적인 구성이 이루어진다. 도 5 에서 알 수 있는 바와 같이 클램프 접촉점 (6) 의 위쪽의 절연 돌출부 (24) 는 여기서 완전히 제거될 수 있다. 본 발명에 따른 실시예에서, 클램프 접촉점은 클램프의 외부 단부에 놓여 있어(처리해야할 물품 (7) 의 가용 영역을 향한 방향에서), 처리해야할 물품 상에서의 클램프의 실딩 작용은 더욱 최소화된다. 만약 처리해야할 물품 부근의 실드 (15, 16) 및 스크린 (22) 은 이 또한 매우 얇게 이루어진다면 클램프의 비가용 가장자리는 최소화된다. 이는, 특히 패시베이트된 또는 코팅된 금속으로부터 실드를 실형하기에 적절하다.

도 3 에는 전방 입면도로, 인쇄회로기판과 같은 처리해야할 물품 없이, 설치된 스크린 (22) 을 갖는 클램프가 나타내져 있다. 본 도면은 플랜트의 측면을 상세하게 나타내고 있는데, 즉 처리해야할 물품이 좌측에서 우측으로 또는 우측에서 좌측으로 이동하는 것을 나타내고 있다. 처리해야할 어떤 물물도 나타내져 있지 않기 때문에, 클램프 상부와 클램프 하부는 접촉점에서 상호 접촉한다. 스크린은 폭 (35) 을 갖는다. 하부 클램프 접촉점 (6) 은 하부 정지 실드 (16) 에 의해 실드된다. 인접한 클램프상의 2개의 스크린 (22) 사이에는 스크린 갭 (25) 이 형성되어 있다. 이러한 갭은 클램프가 전기도금되는 것을 방지할 수 있도록 가능하면 작아야 한다. 도시되지 않은 실시예에서, 스크린 (22) 은 또한 상호 중첩될 수 있다. 이에 따라, 갭은 닫힌다. 처리해야할 물품의 층두께의 분포는 처리해야할 물품의 좁은 가장자리 영역을 제외하고는 소정의 공차를 유지한다. 필드 라인의 집중은 처리해야할 물품의 가장자리 영역에서 발생한다. 도금제거된 클램프는 실드 또는 스크린과 처리해야할 물품의 표면 사이의 안전 간격을 통하여 오직 매우 약하게 작용하는 파이어릿 캐쏘드를 나타낸다. 이에 따라, 스크린 (22) 과 실드 (15, 16) 근방에서의 처리해야할 물품상의 층두께가 발생한다.

이러한 층두께 발생은 처리해야할 물품과 아노드 사이에서 처리해야할 물품의 영역에 수평으로 삽입되는 스크린에 의해 역작용이 가해진다. 물품의 표면에 근접하게 배치되는 스크린은 특히 효과적이다. 도 4 에는 이러한 형태의 수평 스크린 (26, 27) 이 도시되어 있다. 이들 스크린은 스크린 (22) 에 대해서는 상부에, 그리고 실드 (16) 에 대해서는 바닥부에 체결된다. 스크린 (22) 은 수직방향으로 이동가능한 클램프 상부 (13) 에 체결된다. 따라서, 상부갭이 소형이면서 특히 일정하게 유지되며, 이 갭을 통과해서 전기 플럭스의 라인이 실드 (15) 와 스크린 (22, 26) 의 뒤쪽 공간내로 관통한다. 실드 (16) 또는 스크린 (27) 사이의 간격도 마찬가지이며, 하부 실드 (16) 의 상부 가장자리와 처리해야할 물품의 하부 측면 사이의 하부 간격이 어쨌든 일정하기 때문에, 견고하게 장착된 수평 스크린 (27) 은 처리해야할 물품의 하부 측면으로부터 일정한 간격을 갖는다.

하부 스크린 (27) 은 이송 방향으로 연속적으로 장착될 수 있다. 상부에서, 함께 운행하는 스크린 (22) 은 스크린의 가능한 중첩부를 더한 클램핑 간격에 해당한다. 스크린 (26, 27) 에는 개구 (30) 가 제공되는 것이 바람직하다. 이러한 개구에 의해, 처리해야할 물품 (7) 의 표면 상에서의 층두께의 분포는 금속층 두께가 스크린 (22) 또는 실드 (16) 까지 균일하게 뻗어있다. 스크린 (22) 없는 클램프를 갖는 전기도금 플랜트에서 상부 수평 스크린 (26) 은 상부 실드 (15) 에 체결될 수 있다.

모든 개시된 특성 및 개시된 특성들의 결합은 공지의 사실이 아닌 경우 본 발명의 주요 과제이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1: 작업 컨테이너 2: 상부 아노드 배스킷

3: 상부 아노드 배스킷 4: 클램프

5: 연속적인 컨베이어 벨트 6: 클램프 접촉점

7: 처리해야할 물품 8: 전해액 레벨

9: 전기도금 영역 10: 도금제거 영역

11: 도금제거 캐쏘드 12: 플라스틱 재료 덮개

13: 클램프 상부 14: 클램프 하부

15: 상부 실드 16: 하부 실드

17: 지지 롤러 18: 하부 간격(안전 간격)

19: 상부 간격 20: 처리해야할 물품의 두께

21: 클램프 전기도금 영역 22: 스크린

23: 체결 포인트 24: 절연 돌출부

25: 스크린 갭 26: 상부 수평 스크린

27: 하부 수평 스크린 28: 상부 스크린 간격

29: 하부 스크린 간격 30: 개구.

31: 캐쏘드성 슬라이딩 접촉부 32: 캐쏘드성 슬라이드 레일

33: 아노드성 슬라이딩 레일 34: 아노드성 슬라이드 레일

35: 스크린(22) 의 폭

Claims (12)

1. a) 이송 평면에 대해 반대편으로 위치된 카운터전극

   b) 처리해야할 물품과 접촉하도록 연속적으로 순환하는 이송 수단에 체결되어 있고,

   ⅰ. 전기 전도성이며,

   ⅱ. 금속으로 이루어진 표면을 갖고,

   ⅲ. 서로에 대해 이동가능하며,

   ⅳ. 처리해야할 물품을 위하여 1이상의 접촉점을 각각 갖는 클램프, 및

   c) 카운터 전극과 클램프 사이에서 전류 유동을 생성하기 위한 1이상의 전류원을 갖는 전기도금 플랜트에서 수평의 이송 평면으로 유도된 처리해야할 물품의 전해 처리 중에 컨덕터 호일 및 인쇄회로기판과 같이 처리해야할 물품상의 전기 접촉점상의 금속층 두께를 균일하게 하기 위한 장치에 있어서,

   카운터전극(2, 3) 과 클램프 (4) 사이에는 전기장을 위한 상부 및 하부 실드 (15, 16) 가 위치되고, 상기 실드는 이송 평면에서 안내되어 처리해야할 물품이 클램프부 (13, 14) 와 접촉하지 않도록 이송 평면에 근접하게 뻗어있는 것을 특징으로 하는 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 실드 (15, 16) 는 거의 평평한 이루어지고, 전기도금 플랜트에서 이송 평면에 대해서는 거의 수직으로, 처리해야할 물품의 이송 방향에 대해서는 거의 수평으로 정렬되는 것을 특징으로 하는 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 실드 (15, 16) 는 전기 전도 재료로 이루어지고, 이 재료는 표면에 절연 코팅 또는 아노드성 페시베이션층을 갖도록 제공되고, 또는 실드 (15, 16) 는 전기 비전도성 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 장치.
4. 제 3 항에 있어서, 전기 전도 연결은 실드 (15, 16) 사이에 제공되고 또한 전기 전도 재료와 카운터 전극 (2, 3) 사이에 제공되는 것을 특징으로 하는 장치.
5. 제 4 항에 있어서, 실드 (15, 16) 와 카운터 전극 (2, 3) 사이의 전기 전도 연결은 전기 저항을 갖는 것을 특징으르 하는 장치.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 클램프 상부 (13) 에는 클램프 상부에 거의 평행하게 정렬되어 있고 또한 이송 평면에 대해 또한 접촉점 (6) 에 대해 거의 평행하게 정렬된 스크린 (22) 이 체결되어, 상기 스크린이 이송 평면에서 안내되는 처리해야할 물품 및 접촉점과 접촉하지 않는 것을 특징으로 하는 장치.
7. 제 6 항에 있어서, 전기도금 플랜트에서 처리해야할 물품의 이송 방향으로 도시된 스크린 (22) 은 클램프의 상호 간격에 대응하는 폭을 갖고, 인접한 스크린이 상호 중첩할 수 있는 정도의 폭으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 스크린 (22) 또는 상부 실드 (15) 에는 추가의 상부 스크린 (26) 이 제공되며, 이 상부 스크린은 거의 수평으로 정렬되어 있으며, 하부 실드 (16) 에는 하부 스크린 (27) 이 체결되어 있으며, 이 하부 스크린은 거의 수평으로 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
9. 제 8 항에 있어서, 처리해야할 물품의 금속층 두께의 분포에 영향을 주며, 개구 (30) 는 수평으로 정렬된 스크린 (26, 27) 에 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
10. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 처리해야할 물품에 전기 접촉을 제공하는 접촉점 (6) 은 클램프부 (13, 14) 의 최외각 단부에 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
11. a) 이송 평면에 대해 반대편으로 위치된 카운터전극

    b) 처리해야할 물품과 접촉하도록 연속적으로 순환하는 이송 수단에 체결되어 있고,

    ⅰ. 전기 전도성이며,

    ⅱ. 금속으로 이루어진 표면을 갖고,

    ⅲ. 서로에 대해 이동가능하며,

    ⅳ. 처리해야할 물품을 위하여 1이상의 접촉점을 각각 갖는 클램프, 및

    c) 카운터 전극과 클램프 사이에서 전류 유동을 생성하기 위한 1이상의 전류원을 갖는 전기도금 플랜트에서 수평의 이송 평면으로 유도된 처리해야할 물품의 전해 처리 중에 컨덕터 호일 및 인쇄회로기판과 같이 처리해야할 물품상의 전기 접촉점상의 금속층 두께를 균일하게 하기 위한 방법에 있어서,

    카운터전극(2, 3) 과 클램프 (4) 사이에는 전기장을 위한 상부 및 하부 실드 (15, 16) 가 위치되고, 상기 실드는 이송 평면에서 안내되어 처리해야할 물품이 클램프부 (13, 14) 와 접촉하지 않도록 이송 평면에 근접하게 뻗어있는 것을 특징으로 하는 방법.
12. 제 11 항에 있어서, 금속층의 두께는 처리해야할 물품의 전해 금속화 주에 균일화되고, 카운터 전극은 아노드로 처리해야할 물품은 캐쏘드로 전환되는 것을 특징으로 하는 방법.