TW200301817A - A surface conduction examination method and a subtrate examination device - Google Patents

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200301817 玖、發明說明 (發明說明應敘明：發明所屬之技術領域、先前技術、內容、實施方式及圖式簡單說明） (一） 發明所屬之技術領域： 本發明係關於檢查形成於零件構裝基板上之軟焊部位那 樣之表面成爲曲面形狀之物體之曲面，和零件之引線之傾 斜狀態等之既定之檢查對象物之表面狀態所用之技術。 (二） 先前技術： 本專利申請人以前曾利用軟焊部位之鏡面反射性，藉影 像處理之技巧，開發出自動檢查基板上之軟焊部位之裝置 φ (參照專利文獻1)。 (專利文獻1) 曰本專利公報特公平6 - 1 1 7 3號。 第8圖係示出揭示於上述專利文獻上之基板檢查裝置之 構成及檢查之原理。此檢查裝置係爲藉發出紅（R)、綠（G) 、藍（B)之各色彩光之3個光源8、9、1 0和攝影裝置3以 產生檢查對象之影像者，各光源8、9、1 0，其對基板面之 仰角係設定成依R、G、B之順序減少。另外，攝影裝置3 ® 係配備成從檢查對象之焊錫2之正方位置攝影。 各光源8、9、1 0射出之照射光係在焊錫2之表面行鏡面 反射。這裡在焊錫2之任意位置上，自此位置看到對攝影 裝置3之方向成對稱之方向射出之光經鏡面反射後會被導 向攝影裝置3。因此，依上述之光學系，如第9圖所示， 藉焊錫表面之傾斜，產生R、G、B各色彩分開之二維影像 。若係爲圖示例那樣之球體狀之焊錫時則中央部之平坦面 200301817 係爲紅色之影像領域，基板面附近之陡峭傾斜面係爲藍色 之影像領域，而位在此兩面中間比較緩和之傾斜面（緩傾斜 面）則爲綠色之影像領域，如此分別呈現不同之影像領域， 進而能根據對應這些光源之色彩之分佈狀態以判定焊錫2 之形狀是否良好等。 依上述之原理執行之檢查並不限定於球體狀之焊錫，亦 能適用於凸起（fill e t)形狀之檢查。如1 0圖係爲示出藉前 述光學系觀測基板上之凸起之情形時之分佈狀態與對應之 凸起之傾斜狀態。再者，於此第1 〇圖上，5 0及S 1係分別 示出基板面及接端面（land)之形成範圍。 第1 〇圖之例也是上方之之急傾斜面係爲藍色，中間之緩 傾斜面係爲綠色，接近基板附近之面'係爲紅色那樣，依焊 錫之傾斜角度分割觀測到之反射光。 上述之檢查裝置事先對R、G、B之各個色彩設定既定二 進碼化臨界値（b i n a 1· y c 〇 d e d t h r e s h ο 1 d v a 1 u e )，將前述攝影 裝置3攝得之影像藉這些二進碼化臨界値予以數位化，進 而對每個R、G、B抽出數位圖樣（以下，稱爲「色彩圖樣」） 。另外，有關這些色彩圖樣，係作成事先登錄從良好形狀 之焊錫之影像得出之圖樣，藉比較檢查對象之影像上之各 色彩圖樣之特徵與前述登錄之圖樣之特徵以判別焊錫表面 狀態是否良好。 (三）發明內容·· 近年之零件構裝基板，隨著高密度化，接端面（1 a n d )益 趨小型化，特別是攜帶型電話用基板那樣之小型基板須將 接端面作得小。但是，縮小接端面後接端面之傾斜會變得 200301817 極爲陡峭，進而導致不易抽出R、G、B之各個色彩圖樣。 第1 1圖係示出凸起之傾斜極爲陡峻之情形之觀測例。此 例，接端面之形成範圍S 2因變小之故，凸起整個長度係變 成以對應藍色用之光源1 〇之角度傾斜，而會產生觀測之反 射光之大部份變成只是藍色光之情形。 同樣之問題在觀測零件引線（lead)之傾斜時也會產生％ 例如，利用前述第8圖之光學系以觀測引線之上面之情形 時即使引線浮起，若此浮起所造成之傾斜角度之變化微小 時則包含於藉通常紅色光所偵測之範圍內，因此，不易偵 測到引線之微小浮起之程度。 這樣子，要詳細觀測傾斜面陡峭之對象物之傾斜狀態， 偵測傾斜角度之微小變化之情形時上述之光學系係不容易 應付。 另外，提昇傾斜面之偵測有關之解析度之方法，可考慮 增加光源數，但這種情形會增加成本。 本發明係著眼於上述問題點而創作出者，其目的係在對 基板上之焊錫和引線等既定之檢查對象物之表面狀態進行 檢查時使用與以往相同之光學系，但能提昇傾斜角度之偵 測有關之解析度，能詳細地觀測陡峭之傾斜面之傾斜狀態 ，能以良好精確度偵測檢查對象物之微細傾斜變化，進而 提昇檢查之精確度。 (解決課題所用之方法） 本發明有關之第1表面狀態檢查方法係執行下述步驟： 從在對檢查對象物仰角不同之多數方向各以不同色彩光照 200301817 射之照明狀態下對從前述檢查對象物反射之光進行攝影； 對藉前述攝影得出之影像，在含有檢查對象物之影像之影 像領域內之每個像素，根據各色成份強度之關係執行自對 應於各色彩光之色成份中抽出強度最大之1個色成份之處 理，或執行抽出強度最大之色成份和強度第2大色成份之 處理之兩種處理之一；及利用表示前述影像領域有關色成 份之抽出處理之結果之影像資料之檢查前述檢查對象物之 表面狀態。 φ 這裡所謂之「檢查對象物」係爲例如，將基板上之軟焊 部位和零件之引線那樣具有曲面狀之表面和既定之傾斜角 度之表面（含水平面）作爲「檢查對象」者。從仰角各不相 同之多數方向照射之色彩光能形成例如紅、綠、藍各種色 彩，但不受限於這些色彩，也可使用形成紅和綠之兩種光 源。 「含有檢查對象物之影像之影像領域」係至少能自檢查 對象物之影像之輪廓線分割出之影像領域（亦即，檢查對象 · 物之影像本身）。最好係設定成比檢查對象物之影像大之矩 形狀之領域。 另外，前述影像領域也能設定成含有多數之對象物之影 像領域。再者，也能將影像整體當作I個影像領域予以處 理。 所謂「對應各色彩光之色成份」能想像爲對應自前述多 數方向照射之色彩光之色彩的特徵量。例如，若爲照射前 述之紅、綠、藍之各色彩光之情形時能將紅、綠、藍之各 -10- 200301817 色信號之強度想像爲色成份。再者，數位影像之各色信號 之強度能以每個像素之灰度表示。 抽出色成份之處理究係只抽出強度成爲最大之1個色成 份，或抽出強度最大之色成份和強度爲第2大之色成份兩 種成份，係能依，例如，位居第1之色成份和第2之色成 份之強度差而決定。換言之，在第1、第2各色成份之間 若有超過既定値以上之強度差時則僅抽出第1位之色成份 ，若兩者之差小於既定値之情形時則抽出第1及第2強度 | 之各色成份。 下面將舉第8圖所示之光學系爲例說明有關本發明之色 成份之抽出處理之原理。另外，以下稱具有當既定光源對 檢查對象物照射光時能使照射光之鏡面反射光射入攝影裝 置那樣之傾斜之傾斜面爲「適合光源之傾斜面」。再者， 中間未配置其它光源之兩個光源（前述第8圖之光源8和9 ，及9和1 0)係稱爲『相鄰光源」，自這些光源射出之光 係稱爲「自相鄰仰角方向射出之光」。另外，自適合這些 · 相鄰光源之一側光源之傾斜面演變到適合另一側光源之傾 斜面間之傾斜面係稱爲「境界位置之傾斜面」。 檢查對象物之傾斜面適合既定之光源的情形時可想像對 應該光源之色成份係遠比其它色成份優勢，因此，藉抽出 強度最大之色成份能得出與由來自前述光源之光相同色彩所 形成之影像。另外，有關位在適合相鄰光源之傾斜面的境 界位置之傾斜面，可想像爲接近對應前述相鄰光源之各色 成份之強度之狀態，因此，藉抽出強度最大之色成份和強 200301817 度第2大之色成份，能得出對應前述相鄰光源之色彩之混 合色所形成之影像。 例如，藉上述第8圖之光學系進行觀測之情形，能分別 以紅、綠、藍各色彩表示適合各光源8、9、1 0之配置方向 之傾斜面。另外，能分別用紅和綠之混合色及綠和藍之混 合色表示對應光源8、9間之境界位置之傾斜面及對應光源 9、1 0間之傾斜面。這樣子，除了藉對應各光源之色彩外 ，另能藉對應相鄰光源之色彩的混合色表示傾斜面，因此 φ ，能根據影像上之各色彩之分佈狀態，比以往更精細地設 定傾斜角度偵測有關之解析度。 因此，藉與以往者相同之光學系，能以具有與配置更多 光源之情形相同之解析度，辨識檢查對象物之表面之傾斜 角度，對陡峭之傾斜面分割出其傾斜角度，進而能偵測微 細之角度變化，提昇偵測之精確度。 另外，若要顯示上述色成份之抽出處理後之影像之情形 時，是能藉1或2之色成份顯示色彩明瞭化之影像。因此 鲁 ，縱使檢查對象物之表面稍有擴散性之情形，但因對應傾 斜角度之既定之色成份被抽出之故，能淸楚地表示檢查對 象物之表面狀態，該表面狀態之適當與否能容易在顯示畫 面上判別。 另外，如第8圖所示，若照射紅、綠、藍各色彩光之情 形時，能以求出各色成份之強度之平均値之步驟和自各色 成份中抽出高於前述平均値之1或2個色成份之步驟以執 行色成份之抽出處理。 -12- 200301817 例如，在前述第8圖之構成之光學系上，適合紅色光源 8之傾斜面的影像，紅色成份係比綠、藍色成份壓倒性地 優勢，因此，高於各色成份之強度之平均値者則僅爲紅色 成份。另外一方面，適合光源8、9之各傾斜面之境界位置 之傾斜面，紅色成份和綠色成份之強度差雖變小，但藍色 成份之強度仍是很小之故，高於各色成份之平均値者係爲 紅、綠之各色成份。是於，對每個像素，算出各色成份之 平均値，除去低於此平均値之色成份，藉此能抽出對應著 $ 眼像素有關之傾斜面之傾斜角度之1或2個色成份。 另外，上述處理，對於前平均値比既定値低之像素（亦即 亮度低之像素），最好將其視爲係對應無法獲得充份反射之 部份而自上述抽出處理之對象排除。 其次，前述檢查對象物之表面狀態的檢查步驟能包括在 執行完色成份之抽出處理之步驟後之前述影像領域上，根 據前述抽出之色成份之種類及組合，將此領域內之各像素 予以分群之步驟和根據屬於各群之像素之分佈狀態以判別 · 前述對象物之表面狀態之適當與否之步驟。 前述分群步驟，能對每個色成份，或對應來自相鄰仰角 方向之光之兩個色成份之每個組合設定群組。這裡，僅抽 出單獨之色成份之像素係被含於以對應該被抽出之色成份 之色彩顯示之傾斜面之影像領域內。另外，抽出兩個色成 份之像素係被含於藉對應該被抽出之色成份之色彩之混合 色顯示之傾斜面之影像領域內。 這樣子，依上述之分群處理能將檢查對象物之表面狀態 200301817 分割成與群組數等份之傾斜面而予以偵測。這裡，傾斜面 之傾斜狀態一旦改變後，色成份之抽出處理結果即產生變 化，分群結果也產生變化，從而，屬於各群組之像素之分 佈狀態也產生變化。 屬於各群組之像素之分佈狀態，能藉，例如，對各個像 素之每個群組貼上不同標籤之貼標籤（label ling)處理，予 以抽出。這種情形，能根據貼標籤之結果，分割對應各群 組之影像領域而予以辨別。 另外，各群組之分佈狀態若變化時屬於各群組之像素之 數也自然會變化，因此也能將各群組之像素數作爲表示屬 於這些群組之像素之分佈狀態之參數（parameter)。 判別前述檢查對象物之表面狀態之適當與否之步驟係藉 貼標籤處理而被抽出之每個群組之特徵量（重心位置、面積 等），或藉比較前述像素數等之參數與既定之基準値，能執 行適當與否之判別。另外，前述基準値最好是事先利用檢 查對象物之模式（m 〇 d e 1)影像等對良好之表面狀態求出其 特徵量和參數並根據此算出之結果所示之値予以設定。 依上述分群處理及判別處理，能根據屬於各群組之像素 之分佈狀態分割偵測適合各光源之傾斜面及其等之境界位 置之傾斜面，因此，能簡單且以良好精確度判別對象物之 表面狀態之適當與否。 另外，本發明有關之第2表面狀態檢查方法包括下述步 驟：對檢查對象物，在從仰角不同之多數方向分別照射不 同色彩光之照明狀態下，攝取來自前述檢查對象物之反射 -14- 200301817 光之影像，對前述攝影得出之影像，就含有檢查對象物之 影像之影像領域內之每個像素，比較對應既定色彩光之色 成份和階段地設定之多數臨界値，及對應前述各像素之有 關比較結果以檢查前述檢查對象物之表面狀態。 例如，依前述第8圖之光學系，即使是能藉相同之色彩 (例如藍）抽出之傾斜面，對應前述色彩之色成份之強度也 會依傾斜角度而變化。因此，若對此色成份設定多數之臨 界値時則能更進一步細分前述傾斜面之角度，進而能執行 更詳細之檢索。另外，即使是偵測引線浮起那樣之角度變 化之情形時，也能偵測到角度微小變化之程度，從而能提 高檢查精確度。 其次，本發明有關之第1基板檢查裝置包括將發射不同 色彩光之多數光源配備在分別對檢查對象基板成不同仰角 方向上而成之照明裝置，用於攝取來自前述基板之反射光 之攝影裝置，在使前述照明裝置之各光源點燈之狀態下取 入前述攝影裝置所產生之影像之影像輸入裝置，對前述影 像輸入裝置取入之輸入影像，就含有檢查對象物之影像之 影像領域內之每個像素，根據各成份之強度的關係選擇執 行對應各光源之色成份中強度最大之1個色成份之抽出處 理，或者強度最大之色成份和強度第2大之色成份之抽出 處理之兩者之一之處理之色成份抽出裝置，利用前述色成 份抽出裝置執行抽出處理後之前述影像領域內之影像資料 以判別前述檢查對象物之表面狀態之適當與否之判別裝置 ，及輸出前述判別裝置所作之判別結果之輸出裝置。 200301817 在前述照明裝置上能設置’例如，每種色彩各具不 徑之環（1. i n g )狀光源。另外’也能藉將多數之L E D那 發光體配列成環狀之發光體群以構成1個光源。更甚者 能將同色之發光體群配列成多段同心圓狀以作成1個光 攝影裝置能藉可產生每個色彩之影像信號之C C D牙 攝影機而構成。影像輸入裝置係組裝在執行檢查用之 處理之電腦內，俾產生作爲處理對象之影像者，包括 放大處理來自前述攝影裝置之影像信號之放大電路和 產生處理用之數位影像之A/D轉換電路。 再者，攝影裝置不限定於產生類比之影像信號裝置 位攝影機也可。這種情形時影像輸入裝置也能作成爲 各別地取入每種色彩之數位影像資料之輸入埠（port) 各色成份抽出裝置、判別裝置分別能由載入有用於 前述之色成份抽出處理之步驟，檢查檢查對象物之表 態之步驟之程式之電腦所構成。另外，電腦之記憶體 了前述程式外，另能貯存處理對象之影像資料和色成 抽出處理後之影像資料。 另外，作爲色成份抽出裝置及判別裝置處理對象之 領域能根據事先從構裝狀態良好之基板和基板之設計 求出之檢查對象物之位置和大小而設定。另外，也可 示攝影裝置所得出之影像，並在顯示畫面上接受指定 各檢查對象物之影像領域並將之貯存於記憶體內。但 含於影像整體內之檢查對象物若係爲〗個，且此檢查 物在影像上顯現相當大時則也能將影像整體作爲處理 同直 樣之 ，也 源。 多色 影像 用於 用於 ，數 用於 〇 執行 面狀 內除 份之 影像 資料 成顯 對應 是， 對象 對象 -1 6- 200301817 之影像領域。 輸出裝置能構成爲用於將前述判別裝置所作之判別結果 輸出至外部裝置之介面電路。另外，也能作成爲顯示前述 判別結果之裝置，或者具有將前述判別結果貯存於既定之 記憶體之資訊記憶裝置，以作爲輸出裝置（後述之第3基板 檢查裝置也是同樣）。 依上述構成之裝置，根據前述第1方法，能對基板上之 焊錫和零件之引線之表面，除了更能微細地偵測其等之傾 | 斜角度外，另能自動判別表面狀態之適當與否。於是，使 用與以往相同之硬體構成能執行更詳細之檢查，進而能不 增加成本，但提供高性能之自動基板檢查裝置。 上述基板檢查裝置之良好形態係前述照明裝置具備分別 發出紅、綠、藍各種色彩光之三類光源。另外，色成份抽 出裝置具備算出對應前述各光源之色成份之強度之平均値 之裝置和抽出高於算出之平均値之1或2個色成份之裝置。 依此構成，能將構成彩色影像之R、G、B之各色信號之 鲁 特徵量作爲對應各光源之色成份，因此，能易於執行色成 份之抽出處理。另外，對每個像素，抽出高於各色成份之 強度之平均値之色成份，藉此，能從與來自該光源之光相 同之色彩抽出適合各光源之配置方向之傾斜面，另能從對 應之2個光源之色彩之混合色抽出這些傾斜面之境界位置 之傾斜面。 另外之良好形態之裝置爲前述判別裝置係構成爲包含在 藉前述色成份抽出裝置所作之處理後之前述影像領域上， 200301817 根據前述抽出之色成份之種類及組合，將此領域內之各像 素予以分群之裝置，並根據屬於各群組之像素之分佈狀態 判別前述檢查對象物之表面狀態之適當與否。如前述那樣 ，根據色成份之種類及組合，將檢查領域內之各像素予以 分群，能分割偵測適合各光源之傾斜面及這些傾斜面之境 界位置之傾斜面。於是，能以超過光源數之解析度自動地 分割，進而能以良好精確度判別傾斜狀態之良好與否。 其次，本發明有關之第2基板檢查裝置除了具備與上述 第1基板檢查裝置相同之照明裝置、攝影裝置、影像輸入 裝置、色成份抽出裝置之外，另具備用於顯示藉前述色成 份抽出裝置抽出之各色成份所形成之影像之顯示裝置，及 接收用於，針對前述顯示裝置顯示之影像，顯示良否之判 斷結果之資料之輸入之輸入裝置。 再者，作爲色成份抽出裝置之處理對象之影像領域可爲 任意地被指定之影像領域，也能將事先設定之影像領域作 爲處理對象。 顯示裝置係由用於顯示影像之監視裝置和控制監視裝置 之顯示控制裝置所構成。另外，顯示控制裝置能由載入顯 示控制用之程式之電腦所構成。輸入裝置能由滑鼠、鍵盤 、操作台（console)等之輸入操作用之機器所構成。再者， 輸入裝置所輸入之資料能輸出到外部裝置等，貯存於既定 之記憶媒體。 上述之第2構成所形成之基板檢查裝置係與使用者一邊 確認顯示之影像，一邊判定檢查對象物之良否，並輸入此 »18- 200301817 判定結果之目視檢查裝置有關。此裝置對檢查對象之基板 藉對應各光源之色彩，及這些色彩之混合物，能顯示傾斜 角度之解析度提昇之影像，因此能藉與以往相同之照明系 ，但更詳細地觀測對象物表面狀態，從而能以高精確度進 行檢查。 另外，本發明有關之第3基板檢查裝置除具備與前述第 1、第2裝置相同之照明裝置、攝影裝置、影像輸入裝置外 ，另具備對影像輸入裝置取入之輸入影像，就含有檢查對 象物之影像之影像領域內之每個像素，比較對應既定光源 之色成份與階段設定之多數臨界値之比較裝置，利用前述 每個像素之相關比較結果以判別前述檢查對象物之表面狀 態之適當與否之判別裝置，及輸出前述判別裝置所作出之 判別結果之輸出裝置。再者，比較裝置、判別裝置最好係 分別由載入有用於執行各該裝置之處理之程式之電腦所構 成。 上述第3基板檢查裝置係與第1基板檢查裝置同樣地爲 自動判別檢查對象物之表面狀態之適當與否。依此構成之 裝置，能將同樣色彩圖樣（p a 11 e r η )上偵測出之傾斜面之傾 斜角度藉多數臨界値予以詳細地分割偵測。因此，即使是 前述第1 1圖所示之陡峭之傾斜凸起（fillet)，和引線之微 小浮起，也有以良好精確度偵測出，從而能提高判別精確 度。而且，硬體構成能與以往同樣地作成，因此，能在不 增加成本下提供高性能之自動基板檢查裝置。 200301817 (四）實施方式： (發明之實施形態） 第1圖係示出本發明之一實施例有關之基板檢查裝置之 構成。 本基板檢查裝置係爲用於對檢查對象之基板進行攝影，

處理攝得之影像以判別前述基板上之軟焊部位等之良否之 裝置，由攝影部3、投光部4、控制處理部4、X軸台部6 、及Y軸台部7所構成。 I 另外，圖中之1 T係爲檢查對象之基板（以下稱爲「被檢 查基板」）。而1 S係爲軟焊狀態或零件之構裝狀態良好之 基準基板，作爲檢查前之教示（t e a c h i n g )用。 前述Y軸台部7具備支撐基板1 S、1 T之輸送帶24，藉 未圖示之馬達使此輸送帶2 4移動，從而使前述基板1 S、 1 Τ沿著Υ軸方向（垂直於第1圖之紙面之方向）移動。前述 X軸台部6則在Υ軸台部7之上方，支撐著攝影部3及投 光部4沿著X軸方向（圖之左右方向）移動。 0 前述投光部4係由不同直徑之三個圓環狀光源8、9、1 0 所構成。這些光源8、9、1 0各發出紅色光、綠色光、藍色 光之各種色彩光，藉在觀測位置之正上方位置對合中心， 使自基板1 S、1 Τ之支撐面看係配備在對應不同仰角之方 向上之位置。 前述攝影部3係爲彩色影像產生用之C C D攝影機，其光 軸係對應各個光源8、9、] 0之中心，且沿著垂直方向決定 位置。藉此，來自屬於觀測對象之基板1 S、1 Τ之反射光 -20- 200301817 則射入攝影部3，轉換成三原色之各個R、G、B之彩色影 像信號後輸入控制處理部5。 控制處理部5係爲以C P U 1 1作控制主體之電腦，其構 成含有影像輸入部1 2、記憶部1 3、攝影控制器1 4、影像 處理部15、XY台部控制器16、檢查部17、教示表（teaching table)18、輸入部19、CRT顯示部20、印表機21、信號傳 收部2 2、及外部記憶體裝置2 3等。 影像輸入部1 2具備對來自攝影部3之R、G、B之各影 像信號執行放大之放大電路，和將這些影像信號轉換成數 位信號用之A/D轉換電路等。記憶體1 3內有設定影像貯 存領域俾貯存每個R、G、B之數位量之濃淡影像資料，和 貯存這些濃淡影像經二進碼化處理後得出之數位影像。 攝影控制器1 4具備連接攝影部3及投光部4到C P U 1 1 之介面等，依來自C P U 1 1之命令調整投光部4之各光源 之光量，執行保持攝影部3之各色彩光輸出之相互平衡等 之控制。 X Y台部控制器1 6含有連接前述X軸台部6及Y軸台部 7到C P U 1 1之介面等，依來自C P U 1 1之指令控制X軸台 部6及Y軸台部7之移動動作。 教示表1 8內貯存有彙集每種基板之檢查領域之設定位 置及大小，抽出在此檢查領域內檢查用之色彩圖樣所需之 二進碼化臨界値，抽出之色彩圖樣之特徵量（色彩圖樣位置 、大小等），後述之每個色群之像素數，及用於判定良否之 基準値等之檢查資訊之判定檔案。這些判定檔案，在檢查 -2 1 - 200301817 前，係由檢查員利用攝取前述基準基板所得之影像進行教 示，在檢查時被c P U 1 1讀出而設定於記憶體1 3等，供給 至影像處理部1 5和檢查部1 7等。 影像處理剖1 5係以像素爲單位藉貯存於記憶體1 3內之 R、G、B之各影像資料，抽出R、G、B之各灰度，及這些 灰度之總和所顯示之亮度。另外，影像處理部1 5係就每個 檢查領域，對軟焊部位執行後述之各色成份之抽出處理和 每個色群之積算處理等，而對軟焊以外之部位則執行R、G 、B之各色彩圖樣之抽出處理，和被抽出之色彩圖樣之特 徵量之算出處理。 檢查部1 7係接收來自前述教示表1 8之.判定基準値等， 就每個檢查對象領域，進行自前述影像處理部1 5求出之每 群之像素數和各色彩圖樣之特徵量與判定基準値之比較， 以判定良好與否，並將判定結果輸出到C P U 1 1。C P U 1 1 綜合每個檢查領域之判定結果以判別被檢查基板1 T是否 良品。此最終之判定結果則被送到C RT顯示部2 0和印表 機，或信號傳收部2 2。 前述輸入部1 9係用於輸入檢查所需之各種條件和檢查 資訊者，由鍵盤和滑鼠等所構成。CRT顯示部20(以下簡 稱爲「顯示部2 0」）接收來自C P U 11之影像資料，檢查結 果，來自前述輸入部]9之輸入資料等，並將其等顯示於畫 面上。另外，印表機2 1接收來自C P U 1 1之檢查結果等並 以既定之格式將這些結果印出。 信號傳收部2 2係用於執行零件構裝機，軟焊裝置等與其 -22- 200301817 它裝置間之資料之授受者，例如，對被判定不良之被檢查 基板1 τ，將其之識別資料和不良之內容傳送到後段之修正 裝置，藉此能快速地修正不良之部位。外部記憶體裝置2 3 係爲用於將資料寫入軟性磁碟、光碟等之記憶媒體之裝置 ，貯存前述檢查結果，及用於自外部取入檢查上必要之程 式和設定資料。 另外，上述之構成，影像處理部1 5及檢查部1 7係由載 入有用於執行上述之各處理所需之程式之專用處理器所形 成。但是，並非一定要設置專用之處理器，也可在執行主 (main)控制之CPU 1 1內賦與影像處理部1 5及檢查部1 7之 功肯b 。 本實施例之基板檢查裝置在檢查軟焊部位時係將焊錫面 之傾斜角度比以往分割得更微細而予以偵測，從而執行精 確度高之檢查。 第2圖係爲對用前述第1圖之光學系得出之影像，將焊 錫面之傾斜角度之變化所產生之紅（R)、綠（G)、藍（B)之各 色成份之灰度變化之狀態以模式表示之圖。再者，這裡所 示之傾斜角度係爲焊錫面對水平方向之角度，焊錫面愈接 近水.平，其値則愈小。 依第1圖之光學系，紅色成份在接近平坦之角度範圍A 1 係比其它之色成份優勢，隨著傾斜角度愈大，此優勢則愈小 。相反地，藍色成份係隨著傾斜角度愈大而增加優勢，在 表示陡峻之焊錫面之角度範圍A 3，其優勢則勝於其它色成 份。綠色成份是在對應前述角度範圍A 1和A 3之間緩和傾 -23- 200301817 斜面（緩傾斜面）之角度範圍A 2上變成優勢，另外，在其它 之角度範圍內，焊錫面之角度係愈接近角度範圍A 2愈增 大。 另外，從角度範圍A 1演變到A 2之間之角度範圍a 1，增 加之綠色成份慢慢接近減少之紅色成份，甚至倒反兩者之 大小關係，然後兩者之差益加擴大。從角度範圍A 2演變 到A 3之間之角度範圍a2，也是相似地，產生增加之藍色 成份慢慢趨近減少之綠色成份，甚至倒反兩者之大小關係 然後擴大兩者之差之現象。 φ 本實施例係根據上述之特性，對檢查領域內之各像素， 分別抽出最大色成份，或者最大色成份和第2最大色成份 之兩個色成份，藉此，分割對應前述5個角度範圍A 1、A2 、A 3、a 1、a 2之焊錫面並予以抽出。 上述之色成份之抽出處理係以色成份之平均値爲基準而 執行。如前述第2圖所示，適合各光源8、9、1 0之角度範 圍Al、A2、A3，對應各自光源8、9、10之單獨之色成份 具有比其它之兩個色成份高之優勢。這種情形，求出三種 色成份之平均値後藉具優勢之一個色成份能拉高平均値，® 因此前述平均値係位在具優勢之色成份和其它兩個居劣勢 之色成份之間。 另外一方面，對應境界位置之傾斜面之角度範圍a 1、a2 ，最大之色成份和次大之色成份之差變小，且此兩個色成 份與其它剩餘之色成份之間具有大的差異，因此三個色成 份之平均値係位在第2大之色成份與剩餘之劣勢之色成份 之間。 第3圖係示出色成份之抽出處理之具體例。 -24- 200301817 第3 ( 1 )圖係示出對前述第2圖之角度範圍a 1內之一個像 素之處理。圖示之例，紅及綠之各色成份之灰度大，因此 ，灰度變得比各灰度之平均値Αν小者只有藍色成份。這 種情形，係維持紅及綠之各色成份之灰度，但藍色成份之 灰度則變成爲零。 第3 ( 2 )圖係示出對前述第2圖之角度範圍a 1內之一個像 素之處理。此圖示之例，紅色成份之灰度比其它兩個高， 另外，綠、藍之各色成份之灰度之差變小，因此，維持高 於平均値A v者只有紅色成份。這種情形，僅維持紅色成 ® 份之灰度，綠、藍各色成份之灰度則變爲零。 有關其它角度範圍，也是與上述者相同，角度範圍A 2 及角度範圍A 3係分別維持綠色成份之灰度及藍色成份之 灰度，分別剩餘之其它兩個色成份之灰度係變爲零。另外 ，角度範圍a2係維持綠及藍之各色成份之灰度，而紅色成 份之灰度則變爲零。 藉這種處理，對應角度範圍Al、A2、A3之各個傾斜面 φ 係分別轉換爲紅、綠、藍之單色之濃淡影像。另外，對應 角度範圍a 1之傾斜面及角度範圍a 2之傾斜面係分別轉換 爲紅和綠之混合色之濃淡影像，及綠和藍之混合色之濃淡 影像。 第4圖係有關基板上之凸起，示出執行上述之色成份之 抽出處理後在影像上顯現之色彩分佈對應凸起之傾斜狀態 之模式圖。圖示例之凸起之傾斜角度係從對應前述第2圖 之角度範圍A 3慢慢變小到接觸基板面之位置後變爲平坦 -25- 200301817 那樣變化，因此，沿著此傾斜角度逐漸變小之方向，依序 出現藍（B )，藍和綠之混合色（圖中所示之B G )，綠（G)，綠 和紅之混合色（圖中所示之GR)，紅（R)之各色彩領域。另 外，混合色B G、G R之色彩領域係依構成混合色之兩種色 成份之強度之比率而改變色調。 這樣子，依上述之色成份之抽出處理，藉抽出之色成份 之種類及組合，能將構成焊錫面之影像之各個像素分成上 述5種色彩領域之群組（以下，將對應這些色彩領域之5種 群組簡稱爲「色群」）。 依上述之5種色群能以屬於各色群之像素之數表示在影 像上前述5種色彩之出現頻率。如上述之第4圖所示，5 種之色彩係爲表示對應焊錫面之傾斜角度之分佈狀態，因 此若焊錫面之傾斜狀態變化而改變各色彩之分佈狀態時當 然，各色彩之出現頻率也產生變化。亦即，前述每個色群 之像素數能視爲表示影像上之5種色彩之分佈狀態之參數 ，因此，能以此像素數判斷焊錫面之傾斜狀態之良否。 因此，本實施例之基板檢查裝置係針對被檢查基板1 T 上之軟焊部位，藉前述第3圖所示之方法，對被設定之檢 查領域內之各像素，除了分別抽出單獨或兩個色成份外， 另根據被抽出之色成份之種類及組合，將各像素分類成前 述5種色群，然後對每一色群求出含於各群內之像素之數 。接著，藉比較每個色群之像素數與判定基準値，以判定 軟焊部位之良否。 下面，將依序說明執行檢查所需之教示，及檢查上之詳 -26- 200301817 細步驟。 第5圖係示出進行教示（t e a c h i η g )時之步驟。另外，本第 5圖及以下之說明，各處理之步驟係以「S T」表示。 進行教示時，首先檢查員操作輸入部1 9，將作爲教示對 象之基板名和基板大小等登錄後，將前述基準基板1 S安放 在Y軸台部7上，然後在前述投光部4之照明下開始攝影 (S T 1 )。藉此處理，將R、G、B之各影像信號取入影像輸 入部1 2，接著施予數位轉換處理後將處理對象之彩色濃淡 影像資料寫入前述記憶體1 3。另外，也將輸入之彩色影像 顯示於前述顯示部2 0上。 檢查員將攝影部3及投光部4定位於既定之被檢查部位 後進行攝影，對攝得之影像利用滑鼠等指定檢查領域。C P U 1 1收到此項指定檢查領域之指令後即進入步驟S T2，讀入 前述檢查領域之設定位置及大小並暫存於記億體1 3內 (ST2) 另外一方面，若前述檢查領域係爲含有軟焊部位之情形 時檢查員則在前述檢查領域之設定操作後接著輸入表示含 有軟焊部位之旨意之識別資訊。藉輸入此識別資訊，在ST3 上若爲「是」（「Y E S」）時以下則依序著眼於被設定於檢查 領域內之像素，執行步驟S T 4〜8之處理。 在S T4上，針對前述檢查領域內之一個像素，算出R、 G、B之各灰度之平均値A v，在其次之S T 5上比較平均値 Αν與臨界値L 0。此臨界値L 0係根據軟焊部位之影像之平 均亮度而被設定，前述平均値Α ν若小於臨界値L 0之情形 -27- 200301817 時S Τ 5則爲「否」（「Ν Ο」）。這種情形時則跳過（s k i p )以 下之S T 6、7、8而結束對著眼的像素之處理。 平均値Αν若大於臨界値L0時ST5則爲「是」，其次之 S Τ 6則將R、G、Β之各灰度中小於前述平均値Α ν之灰度 變爲零。 接著，在s T 7上，根據S T 6處理後之各色成份之灰度決 定著眼像素所屬之色群。這裡，著眼像素，若具有大於〇 之灰度之色成份係爲一種之情形時則將對應該單獨之色成 份所表示色彩（R、G、B之任一種）之色群作爲所屬之群組 _ 。另外，若具有大於〇之灰度之色成份係兩種之情形時則 將對應該兩種色成份之混合色（RG或GB)之色群作爲所屬 之群組。 如此進行，一旦決定著眼像素之所屬群組後即在其次之 S T 8上對目前之値加1以更新決定之色群之像素數。另外 ，初始之像素數係設定爲零。 以下，對檢查領域內之各像素執行相同之處理，藉此能 φ 求出此檢查領域內屬於R、G、B、R G、B G之各色群之像 素數。 俟結束對檢查領域內之全部像素之處理後S T 9即成爲 「是」（「YES」）而進入步驟ST12，根據各個最終得出之 像素數設定判定基準値。再者，此判定基準値最好係爲比 前述最終之像素數僅小一既定之裕度之値（例如相當於最 終之像素數之9 0 %之値等）。 另外一方面，在ST2上，若係爲將檢查領域設定於軟焊 -28- 200301817 部位以外之部位之情形時S Τ 3則爲「否」（「Ν Ο」），接著 ，在S Τ 1 0、S Τ 1 1之各步驟上與以往相同，設定使用R、G 、Β之各色彩圖樣之檢查用資料。在S Τ 1 0上，檢查員藉在 顯示部2 0之影像上指定具有最適濃度之位置等方法，對每 個R、G、Β輸入二進碼化之臨界値（b i n a r y t h r e s h ο 1 d ν a 1 u e ) 。C P U 1 1取入此設定値，並對應前述檢查領域之設定資料 (位置和大小）貯存於前述記憶體1 3。 另外，在S T 1 1上，根據前述設定之二進碼化臨界値， 抽出各色彩圖樣。接著，對這些色彩圖樣算出重心位置、 面積等之特徵量。然後進入S Τ 1 2，根據前述特徵量設定良 否判定用之判定基準値。 以下，同樣地，依序對基板上之檢查部位進行攝影，俟 執行完檢查領域之設定後，若係爲軟焊部位時則將檢查領 域內之像素分類成前述5類之色群求出每群之像素數，若 係爲軟焊部位以外之部位時則抽出R、G、B各色彩圖樣， 求出其等之特徵量。接著，根據求出之像素數和特徵量， 設定有關前述檢查領域良否判定用之判定基準値。然後， 對每個檢查領域，作成將前述判定基準値對應於各該領域 之設定資料之檢查資訊（若是非軟焊部位也含有各色彩圖 樣之二進碼化臨界値），並暫存於記憶體1 3。 俟完成全部被檢查部位有關之設定後S T ] 3係爲「是」 (「YES」），接著，在S Τ 1 4上，對各被檢查部位，藉暫存 於記憶體1 3之檢查資訊作成判定資料檔案，並保存於教示 表1 8內。另外，此判定資料檔案，被指定作爲前述軟焊部 -29- 200301817 位之檢查領域的檢查領域上有被設定識別用之旗號（flag)。 第6圖係示出前述基板檢查裝置上之自動檢查步驟。另 外，此圖係用S T 2 1以下之符號表示各步驟。再者，第6 圖之步驟係對1片之基板所執行者，因此，對各個被檢查 基板係重複地執行這些步驟。 於檢查前，檢查員依基板名等指定被檢查基板1 T之種 類。C P U 1 1響應此項指定從教示表1 8讀出對應前述被檢 查基板1 T之判定資料檔，並設定於記憶體1 3內。在此狀 態下，下達檢查開始指令後即在最初之S T2 1上將被檢查 基板1 T移入Y軸台部7，並開始攝影。 接著，C PU 1 1根據前述判定資料檔內之檢查領域之設定 資料，將攝影部3及投光部4定位於最初之被檢查部位， 產生前述被檢查部位之影像，並在該影像上設定檢查領域 (S T 2 2)。這裡，此檢查領域上若有設定識別用之旗號之情 形時S T 2 3則係爲「是」（「Y E S」）。以下，依序就檢查領 域內之各像素執行與教示時之S T4〜S T 8相同之處理，藉 此，將各像素分類爲5種色群，並計數每群之像素數（S T2 4 〜ST28)。另外，這種情形，對於灰度平均値Αν小於臨界 値L 0之像素也是相似地，跳過S Τ 2 6〜S Τ 2 8之步驟。 俟結束對檢查領域內之全部之像素之處理後S Τ2 9即變 爲「是」（「Y E S」）而進入S Τ 3 2。在S Τ 3 2上，比較針對各 色群得出之像素數與各個前述之判定基準値，藉此判定軟 焊部位之良否。 另外一方面，若係檢查軟焊部位以外之部位之情形時 -30- 200301817 ST23係爲「否」（「NO」），接著，在ST30上，藉前述各 色彩圖樣之二進碼化臨界値，將檢查領域內之濃淡影像予 以二進碼化，藉此抽出R、G、B之色彩圖樣。接著在其次 之S T 3 1上，算出被抽出之各色彩圖樣之特徵量，然後進 入ST32。在ST32上，比較前述被算出之特徵量與前述之 判定基準値，藉以判定被檢查部位之良否。 以下，同樣地，根據判定資料檔案內之檢查資訊，依序 對各被檢查部位進行攝影並設定檢查領域後，對軟焊部位 及對軟焊部位以外之部位分別執行利用各色群之像素數之 判定處理及利用三種色彩圖樣之特徵量之判定處理。 俟完成對全部之被檢查部位之判定處理後S T 3 3即變成 「是」（「YES」），接著，在ST34〜ST36上，根據對各被 檢查部位之判定結果，針對被檢查基板1 T，執行良品及不 良品之判定處理。再者，於S T 3 7上，輸出此判定之結果 ，接著則結束對前述之被檢查基板1 T之檢查。 這樣子，本實施例之基板檢查裝置，若係檢查軟焊部位 之情形時對對應各光源8、9、1 0之色彩，及對應相鄰之光 源之兩種混合色總計5種之色彩，分別使用對應之5種之 色群之像素數以判斷各色彩之分佈狀態之良否，因此，能 比以往更微細地分割焊錫面之傾斜角度並予以偵測出，進 而能執行詳細之檢查。 另外，在各色成份之抽出處理上，從構成影像資料之三 個色成份中抽出強度最大之1個色成份，或者最大色成份 和次大之色成份之處理，因係對每個像素執行，故能藉前 200301817 述5種色彩表示影像中之焊錫表面之傾斜狀態。因此，不 用上述之自動焊錫檢查裝置，代之以目視檢查裝置執行前 述色成份之抽出處理，並顯示抽出處理後之影像，這樣子 的實施，能根據前述5種色彩之分佈狀態詳細地認識軟焊 部位之傾斜狀態。 再者，上述實施例係以各色成份之灰度平均値爲基準， 執行色成份之抽出處理，但並不限定於這樣，也可比較第 1位及第2位之各色成份之灰度，若兩者之差大於既定値 時僅抽出第1位色成份，若兩者之差在前述既定値以下時 則抽出到第2位止之色成份。 雖然，前述第2圖，單一之色成份爲優勢之角度範圍A1 、A 2、A 3係以相同大小表示優勢之色成份，但是，實際上 ，縱使在以相同色彩能偵測之角度範圍內，仍會因角度之 不同而產生微小之變化。 例如，前述第1 I圖所示之凸起那樣之陡峭之傾斜面，第 1圖之光學系係偵測出藍色圖樣，但這樣之傾斜面，隨著 從上方演變至下方，藍色成份會逐漸減少。 因此，對單一之色成份爲優勢之檢查對象有關此優勢之 色成份，能設定多數之臨界値。依這樣子之設定，能將藉 以往之一種色彩偵測出之角度範圍更加微細地分割並識別 ，因此，即使是前述陡峭之傾斜面，也能詳細地認識其傾 斜之狀態，進而能執行高精確度之檢查。另外，藉以細微 之間隔設定臨界値，能提昇角度偵測之解析度，因此即使 是微細之角度變化也能以良好精確度偵測。 -32- 200301817 第7圖係示出利用上述之階段設定之多數臨界値以檢查 I C之引線之狀態之情形時之檢查對象之例。 構裝狀態若適正時引線之上面係平坦，因此依前述第1 圖之投光部，影像上之引線係藉紅色圖樣顯示。因此，藉 對紅色成份設定多數之臨界値，能微細地認識引線上面之 傾斜角度。 第7(1)圖及第7(2)圖係分別示出某零件30A之1條引線 3 1 A產生浮起之狀態，及相同之零件3 0 B之相同位置之引 線3 1 B產生微小浮起之狀態。再者，第7 ( 1 )、（ 2 )圖示出之 3 2 A、3 2 B皆爲良好狀態之引線。 在前述投光部4之照明下對這些引線3 1 A、3 2 A、3 1 B、 3 2 B攝影在攝得之影像上比較前述引線3 1 A、3 1 B之紅色 成份，引線3 1 A關聯之紅色成份係小於引線3 1 B關聯之紅 色成份。另外，比較對應第7 ( 2 )圖之不良之引線3 1 B之紅 色成份與對應其它良好之引線3 2 B之紅色成份，顯示出前 者之値係小於後者之値 因此，若對應表示良好引線3 2 A、3 2 B及各不良引線3 1 A 、3 1 B之紅色成份之大小設定三種臨界値時能以良好精確 度偵測這些引線之傾斜之差異。 再者，執行這種檢查時若將紅色以外之各個色彩圖樣對 應於偵測不良引線所需之臨界値時則能藉對應之傾斜之色 彩圖樣表示不良之引線。例如，如第7 ( 1 )圖那樣，引線之 傾斜角度較大之情形時則使顯示綠色圖樣，另如第7 (2 )圖 那樣，引線之傾斜角度微小之情形時則使顯示黃色圖樣， -33- 200301817 如此作的話，能藉這些色彩容易地判別引線之傾斜狀態。 同樣地，前述第1 1圖之例也是，例如，對藍色成份設定3 階段之臨界値，藉這些臨界値偵測出之傾斜面以紅、綠、 藍各色彩圖樣表示，這樣作的話，能顯示與緩和之傾斜面 之情形相同之圖樣。 另外，藉上述之多數臨界値偵測傾斜角度之方法能適用 於第1圖之基板偵測裝置。另外，若將此偵測方法和藉上 述之偵測角度改變顯示顏色之方法同時導入具有與第1圖 相同之光學系之目視檢查裝置時即使是檢查對象之微小傾 斜之變化，也容易以目視辨識，進而能執行高精確度之檢 查。 再者，即便是自動，目視任一種裝置，也可對應被檢查 部位之種類和檢查目的，切換執行藉對應各光源之色彩和 對應其之混合色之5種色彩圖樣所作之檢查，及對單一之 色成份設定多數之臨界値所作之檢查。 (發明之效果） 如上述，本發明係在從不同仰角方向照射多數色彩光之 照明下得出彩色影像，藉自對應各色彩光之色成份中抽出 強度最大之1個色成份之處理，或者抽出強度最大之色成 份和次大之色成份之處理，可從各個不同色彩抽出適合各 色彩光之傾斜面，及位在這些傾斜面之境界位置上之傾斜 面，因此，利用與以往者相同構成之光學系，能提昇傾斜 角度之偵測上有關之解析度。 另外，本發明係針對藉相同色彩偵測出之傾斜角度之範 -34- 200301817 圍，比較構成其色彩之色成份與階段設定之多數臨界値， 因此，利用與以往者相同構成之光學系，能提昇傾斜角度 之偵測上有關之解析度。 於是，本發明能將陡峭之傾斜角度分割偵測，能以良好 精確度偵測表面上之微細角度變化，能利用與以往者相同 之硬體構成提昇檢查對象物之表面狀態有關之檢查精確度。 (五）圖式簡單說明： 第1圖係爲示出本發明之一個實施例有關之基板檢查裝 $ 置之構成之方塊圖。 第2圖係示出焊錫面之傾斜角度和各色成份之灰度之關 係之曲線。 第3 ( 1 )、3 ( 2 )圖係爲示出色成份之抽出處理方法之說明 圖。 第4圖係爲示出藉5色之色領域區分傾斜面之狀態之說 明圖。 第5圖係爲示出教示時之步驟之流程圖。 鲁 第6圖係爲示出教示時之步驟之流程圖。 第7 ( 1 )、7 ( 2 )圖係爲示出對相同色彩之偵測範圍，設定 多數臨界値之檢查對象例之說明圖。 第8圖係爲不出以往之基板檢查裝置之光學系之構成之 說明圖。 第9圖係爲示出第8圖之光學系執行認識處理之原理之 說明圖。 第1 0圖係爲示出第8圖之光學系執行認識處理之原理之 -35- 200301817 說明圖。 第1 1圖係爲示出藉第8圖之光學系觀測陡峭之傾斜面之 情形時之結果之說明圖。 要 部 分之代表符 號 說 明 ： 1 S 、 IT 基 板 2 焊 錫 3 攝 影 部 4 投 光 部 5 控 制 處 理 部 8、 9 、1 〇 光 源 11 中 央 處 理 器 12 影 像 輸 入 部 13 記 憶 體 15 影 像 處 理 部 2 0 CRT 顯 示 部 3 0 A 零 件 3 0 B 零 件 3 1 A 不 良 引 線 3 1 B 不 良 引 線 3 2 A 良 好 引 線 3 2 B 良 好 引 線 5 0 基板面

Claims (1)

1. 200301817 . 拾、申請專利範圍 1 . 一種表面狀態檢查方法，其特徵爲執行下述步驟： 在自仰角不同之多數方向對檢查對象物照射各不相同 之色彩光之照明狀態下，對自前述檢查對象物之反射光 進行攝影； 對藉前述攝影得出之影像，就含有檢查對象物之影像 之影像領域內之每個像素，根據各色成份強度之關係選 擇執行自對應各色彩光之色成份中抽出強度最大之1個 $ 色成份之處理，或抽出強度最大之色成份和強度次大之 色成份之處理之兩種處理之一；及 利用顯示前述影像領域有關之色成份之抽出處理結果 之影像資料以檢查前述檢查對象物之表面狀態。 2 .如申請專利範圍第1項之表面狀態檢查方法，其中來自 前述多數方向之色彩光係爲紅、綠、藍之各色彩光，抽 出前述色成份之處理之步驟另包括求出各色成份強度之 平均値之步驟和抽出各色成份中高於前述平均値之1或 鲁 2個色成份之步驟。 3 .如申請專利範圍第1或第2項之表面狀態檢查方法，其 中前述檢查對象物之表面狀態之檢查步驟另包括：在執 行色成份之抽出處理步驟後之前述影像領域內，根據前 述抽出之色成份之種類及組合，將該領域內之各像素分 群之步驟；和根據屬於各群之像素之分佈狀態，判別前 述檢查對象物之表面狀態之適當與否之步驟。 4. 一種表面狀態檢查方法，其特徵爲執行下述步驟： -3 7- 200301817 在自仰角不同之多數方向對檢查對象物照射各不同色 彩光之照明狀態下，對來自前述檢查對象物之反射光進 行攝影； 對藉前述攝影得出之影像，就含有檢查對象物之影像 之影像領域內之每個像素，比較對應既定色彩光之色成 份與階段設定多數臨界値；及 對應前述各像素之相關比較結果以檢查前述檢查對象 物之表面狀態。 5 . —種基板檢查裝置，其特徵爲爲具備： 發射不同色彩光之多數光源配備在對檢查對象之基板 各成不同仰角之方向上而成之照明裝置； 用於對來自前述基板之反射光攝影之攝影裝置； 使前述照明裝置之各光源點燈之狀態下，取入藉前述 攝影裝置產生之影像之影像輸入裝置； 對藉前述影像輸入裝置取入之影像，就含有檢查對象 物之影像之影像領域內之每個像素，根據各色成份強度 之關係選擇執行自對應各光源之色成份中抽出強度最大 之1個色成份之處理，或抽出強度最大之色成份和強度 次大之色成份之處理之兩者處理之一之色成份抽出裝置； 利用前述色成份抽出裝置執行處理後之前述影像領域 內之影像資料，判別前述檢查對象物之表面狀態之適當 與否之判別裝置；及 輸出前述判別裝置所作之判別結果之輸出裝置。 6 .如申請專利範圍第5項之基板檢查裝置，其中前述照明 -3 8- 200301817 裝置具備分別發射紅、綠、藍各色彩光之三種光源， 前述色成份抽出裝置另包含算出對前述各光源之色成 份強度之平均値之裝置和抽出高於算出之平均値之1或 2個色成份之裝置。 7 .如申請專利範圍第5或第6項之基板檢查裝置，其中前 述判別裝置，另包含就前述色成份抽出裝置所作之處理 後之前述影像領域，根據前述抽出之色成份之種類及組 合，將該領域內之各像素分群之裝置，並根據屬於各群 之像素之分佈狀態，判別前述檢查對象物之表面狀態之 適當與否。 8 . —種基板檢查裝置，其特徵爲具備： 將發射不同色彩光之多數光源配備在對檢查對象之基 板各成不同仰角之方向上而成之照明裝置； 用於對來自前述基板之反射光進行攝影之攝影裝置； 使前述照明裝置之各光源點燈之狀態下，取入藉前述 攝影裝置產生之影像之影像輸入裝置； 對被前述影像輸入裝置取入之影像，就含有檢查對象 物之影像之影像領域內之每個像素，根據各色成份強度 之關係選擇執行自對應各光源之色成份中抽出強度最大 之1個色成份之處理，或抽出強度最大之色成份和強度 次大之色成份之處理之兩種處理之一之色成份抽出裝置； 顯示前述色成份抽出裝置抽出之各色成份之影像之顯 示裝置，及 針對藉前述顯示裝置顯示之影像，接收表示良否之判 -39- 200301817 別結果之資料之輸入之輸入裝置。 9 . 一種基板檢查裝置，其特徵爲具備： 將發射不同色彩光之多數光源配備在對檢查對象之基 板各成不同仰角之方向上而成之照明裝置； 用於對來自前述基板之反射光進行攝影之攝影裝置； 使前述照明裝置之各光源點燈之狀態下，取入前述攝 影裝置所產生之影像之影像輸入裝置； 對被前述影像輸入裝置取入之輸入影像，就含有檢查 對象物之影像領域內之每個像素，比較對應既定光源之 色成份與階段設定之多數臨界値之比較裝置； 利用前述各像素相關之比較結果，判別前述檢查對象 物之表面狀態之適當與否之判別裝置；及 輸出前述判別裝置所作之判別結果之輸出裝置。

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