WO1996014599A9 - - Google Patents

Description

明 柳 書 液 晶 表 示 装 置 技術分野

この発明は、 時計， 電卓， ビデオカメ ラ， その他各種電子機器の 表示器と して広範に使用されているモノ ク ロあるいはカラ一の液晶 表示装置に関する。

特に、 液晶を封入する 2枚の基板の一方に第 1の電極と第 2の電 極を有し、 その第 1 の電極と第 2 の電極と の間に非線形抵抗層と し て第 1 の電極の陽極酸化膜を形成して、 「金属—絶縁膜一金属」 あ るいは 「金属一絶縁膜一透明導電体」 構造の非線形抵抗素子を設け た液晶表示装置の構成に関するものである。 背景技術

近年、 液晶パネルを用いた液晶表示装置の表示容量は、 大容量化 の一途をたどっている。

そして、 単純マ ト リ クス構成の液晶表示装置にマルチプレタ ス駆 動を用いる方式においては、 高時分割化するに従ってコン トラス ト の低下あるいは応答速度の低下が生じる。 このため、 2 0 0本程度 の走査線を有する場合には、 充分なコン トラス トを得ることが難し く なる。

そこで、 このよ うな欠点を除去するために、 それぞれの画素にス ィ ツチング素子を設けるアクティブマ ト リ クス方式の液晶表示パネ ルが採用されている。

このアクティブマ ト リ ク ス方式の液晶表示パネルには、 大別する と、 スイ ッチング素子と して薄膜トランジスタ （Th i n-Fi lm-Trans i s tor :以下 「T F T」 と称す」 を用いる三端子系と、 非線形抵抗素 子を用いる二端子系とがある。 そして、 構造や製造方法が簡単な点 で二端子系の方が便れている。 この二端子系には、 ダイオー ド型やバリスタ型、 あるいは薄膜ダ ィオー ド （Thin-Fi lm- Diode ： 以下 「T F D」 と称す） 型などが開 発されている。

このうち、 T F D型は特に構造が簡単で、 そのうえ製造工程が短 いという特徴を備えている。

さ らに、 液晶表示パネルは髙密度でしかも髙精細化が要求され、 スイ ッチング素子の占有面積を小さ くする必要がある。

その高密度化高精細化の手段と して、 半導体製造技術の微細加工 技術であるフォ ト リ ソグラフィ技術とェツチング技術とがある。 し かしながら、 この半導体製造技術を用いても、 大面精加工が可能で しかも低コス トを実現するのは非常に困難である。

そこで、 大面稜化および低コス ト化に有効なスィ ツチング素子を 有する従来の液晶表示装置の構造を、 その一例を示す液晶表示装 S の平面図である第 4 5図、 その一部を拡大して示す平面図である第 4 6図、 及びその X— X線に沿う断面図である第 4 7図を用いて説 明する。

この液晶表示装置は、 第 4 7図に明示されるよ うに、 それぞれ透 明材料からなる第 1の基板 1 と第 2の基板 1 1 とをスぺーサ 1 7を 介して所定の間隔をもって対向させ、 その間に液晶 1 6を封入して いる。

その第 1 の基板 1上には、 第 1 の電極と して下部電極 2 と信号電 極 4を設け、 その下部電極 2上に非線形抵抗層 3を設ける。 さ らに、 その非線形抵抗層 3上にオーバラッブするよ うに第 2の電極と して 上部電極 6 を設けて、 非線 抵抗素子 9を構成している。 第 2の 電極と しての上部電極 6は、 第 4 6図に示されるよ うに表示電極 7 から延設しており、 一部は表示電極を兼ねている。

この非線形抵抗素子 9 と表示電極 7は、 マ ト リ クス状に設けられ ている。

—方、 第 2の基板 1 1 の第 1 の基板 1 と対向する面には、 第 1 の 基板 1上に設けた各表示電極 7の隙間からの光の漏れを防止するた めに、 第 4 6図に斜線を施して示す領域全体にブラックマ ト リ クス 1 2を設けている。 すなわち、 非表示部に遮光部と してブラックマ ト リクス 1 2を設けている。

さらに、 第 2の基板 1 1には、 対向電極 1 3を第 4 7図に示すよ うに表示電極 7 と対向させて、 ブラックマ ト リクス 1 2 と接触して 短絡しないように層間絶縁膜 1 4を介して帯状に設けている。

なお、 第 4 6図においては、 第 1の基板 1上の第 1の電極である 下部電極 2および信号電極 4 と、 第 2の電極である上部電極 6 と表 示電極 7はいずれも破線で示し、 非線形抵抗層 3は図示を省略し、 第 2の基板 1 1の下面のブラックマ ト リ クス 1 2 と対向電極 1 3は 実線で示している。

そして、 第 1 の基板 1上に設ける下部電極 2は、 非線形抵抗素子 9を設けるために信号電極 4から張り出しており、 この張り出し領 域としての下部電極 2が上部電極 6 とオーバラップして、 非線形抵 抗素子 9を構成している。

また、 第 1 の電極と しての信号電極 4 と第 2 の電極と しての表示 電極 7 とは、 第 4 6図に示すよ うに所定寸法の間隙 dを有している。 表示電極 7は、 液晶 1 6を介して対向電極 1 3 と重なり合うよう に配置することにより、 液晶表示パネルの画素部となる。

ブラックマ ト リ クス 1 2は、 表示電極 7 の形成領域にまで一定量 オーバラップするように設け、 表示電極 7の周辺部の領域からの光 の漏れを防止する役割をもっている。

表示電極 7上のブラ ッ クマ ト リ クス 1 2が形成されていない領域 の液晶 1 6の透過率変化により、 液晶表示装置は所定の画像表示を 行う。

さらに、 第 1の基板 1 と第 2 の基板 1 1の対向面側には、 液晶 1 6の分子を規則的に並べるための処理層と して、 それぞれ配向膜 1 5， 1 5を設けている。

そして、 第 4 5図に示すように、 第 1の基板 1上には M列の信号 電極 4を設け、 第 2の基板 1 1上には N行の対向電極 1 3またはデ ータ電極を設けて、 M列 N行のマ ト リ タスからなる 1点鎖線で示す 表示領域 1 8 を有する液晶表示装置を構成している。

その M列の信号電極 4 と N行の対向電極 1 3またはデータ電極の 交点には、 それぞれ表示電極 7 を有し、 その信号電極 4 と表示電極 7の間には、 非線形抵抗素子 （この例では T F D ) 9を設けている, さ らに、 第 1 の基板 1上には、 M列の信号電極 4 を相互に接続す る陽極酸化用電極 5 を有し、 その陽極酸化用電極 5 と反対め方向に は、 各信号電極 4を外部回路と接続するための接続電極 8を有して いる。

このよ うに、 陽極酸化用電極 5によって各列の信号電極 4 を接続 し、 その信号電極に接続されている各下部電極 2に対して一度に陽 極酸化処理を行って、 その表面に非線形抵抗層 3 (第 4 7図） を形 成するが、 その処理後には各列の信号電極 4 を分離して独立させな ければならない。

そのため、 第 4 5図に示すよ うに、 陽極酸化用電極 5を第 1 の基 板 1 の分離線 （破線で示す） 3 4 よ り外方に長さ Lだけ延設した切 断部分 6 2に設けて、 陽極酸化処理後に分離線 3 4で切断して、 陽 極酸化用電極 5 を切断部分 6 2 と共に第 1 の基板 1 から切り離すよ うにしている。

しかしながら、 このよ うに陽極酸化用電極 5を信号電極 4 と分離 するためには、 この切断部分 6 2 を設ける必要があり、 それは分離 線 3 4に切り込みを入れた後、 作業者が指で折り曲げて切断できる だけの大き さが必要であり、 それだけ材料が無駄になるという問題 がある。

さ らに、 切断部分 6 2を信号電極 4よ り切り離す工程において、 静電気によって非線形抵抗素子 9の特性を劣化させる可能性もある < また、 第 1 の基板 1 の切断されたと ころには各信号電極の端面が 露出するため、 ゴミや水分の吸着によって複数の信号電極間で短絡 が発生する恐れもある。

また、 陽極酸化用電極 5を切断する工程をどの時点で行うかによ つて、 非線形抵抗素子 9の特性劣化や破壊を招く ことがある。

非線形抵抗素子 9を有する基板 1 を液晶表示装置用に加工するェ 程処理である、 液晶を規則正しく配列するための配向処理や、 装置 間の搬送時や検査工程時に、 陽極酸化用電極 5が分離していると、 局所的に発生する静電気を分散できない。

そのために、 非線形抵抗素子 9に過剰な電圧が印加されることに なり 、 非線形抵抗素子 9の劣化や破壊が発生することがある。

さ らに、 液晶表示装置の検査中には、 陽極酸化用電極を相互に接 続していることによ り、 非線形抵抗素子 9の劣化や破壊の発生を防 止することができる。

さ らにまた、 液晶表示装置の検査工程のとき、 相互に接続してい る陽極酸化角電極 5に電圧を印加するだけで各表示電極 7に電圧を 印加できるため、 検査を容易に行う ことができる。

特に、 外部回路を非線形抵抗素子 9を形成する基板 1上に実装す るとき、 たとえば高密度な実装が可能である集積回路を導電性接着 剤を使用して基板上に実装するチップ · オン ' ガラス （C O G ) 実 装法のときには、 実装前に実装用電極上と導電ペース ト間に汚染物 質が混入しないことが要求される。

そのため、 前述のよ うに第 1 の基板に切断部分を設けてそこに陽 極酸化用電極を形成し、 陽極酸化処理後にその切断部分を切断して 各信号電極から切り離す構造では、 材料の無駄になるばかり力、、 上 述のよ うな種々の要求を満たすことができなかった。

そのため、 この発明は、 上記のよ うな各種の工程が終了した後に 陽極酸化用電極の一部をエッチングによって簡単に除去して、 各信 号電極が独立するよ うにした液晶表示装置を提供し、 非線形抵抗素 子の製造工程、 あるいはそれ以後の液晶表示装置化への工程時に発 生する静電気による非線形抵抗素子の劣化や破壊を防止し、 非線形 抵抗素子の欠陥を減ら し、 非線形抵抗素子の特性を安定にすること を第 1 の目的とする。

また、 第 4 6図に示した切断部分のよ うな無駄に廃棄する部分を なく し、 陽極酸化処理に使用した陽極酸化用電極の各信号電極を独 立させた後に残存する部分を有効に利用すること も他の目的とする, さ らに、 前述した従来の非線形抵抗素子を有する液晶表示装置は 信号電極を金厲膜によって形成し、 初期の信号電極と最終の信号電 極の配線幅が同一である。 そのため、 信号電極の一部にエッチング 不良が発生した場合には修正がしにくいという問題があった。

. また、 信号鴛極を陽極酸化用電極の一部と して使用する場合には. 信号電極が断線すると陽極酸化膜を形成できなく なる。 さらに、 陽 極酸化膜を均一に形成するためには、 陽極酸化用電極をできるだけ 幅広く形成しておく必要がある。

さ らにまた、 表示電極と して透明導電性膜を使用する場合には、 透明導電性膜のエッチング不良によ り信号電極と表示電極とが電気 的に短絡 （ショー ト） していても、 表示電極が透明なためその短絡 箇所を容易に検出するこ とができなかった。

なお、 T F T素子に関しても、 ゲー ト電極を陽極酸化用電極と し て利用し、 ゲー ト絶縁膜と してゲー ト電極の陽極酸化膜を用いるよ うにした場合には、 T F D素子の場合と同様に陽極酸化用電極の断 線あるいは、 信号電極 （ゲー ト電極あるいはソース電極） と透明な 表示電極との電気的短絡が発生する恐れがある。

そのため、 この発明は、 信号電極を陽極酸化用電極の一部と して 使用して、 各非線形抵抗素子の非線形抵抗層とする陽極酸化膜を確 実且つ均一に形成できるよ うにすると共に、 その信号電極の一部に エッチング不良が発生した場合にも容易に修正できるよ うにするこ と、 および透明導電性膜の表示電極と信号電極あるいは陽極酸化用 鸳極との電気的短絡が発生した場合に、 その短絡箇所を検出し易く するこ と も目的とする。 発明の開示

この発明は上記の目的を達成するため、 液晶表示装置を次のよ う に構成する。 この発明の対象とする液晶表示装置は、 第 1 の基板と第 2の基板 とを所定の間隔をもって対向させ、 その第 1 の基板上に、 複数の電 極を設け、 その複数の電極が重なり合う領域に、 一方の電極の陽極 酸化膜によ り非線形抵抗層を形成して、 T F D素子あるい T F T素 子等の非線形抵抗素子を設ける。 そして、 その第 1 の基板と第 2の 基板との間に液晶を封入した構造のものである。

そして、 上記非線形抵抗層を形成するために陽極酸化膜を形成す る各電極を、 予め相互に接続して陽極酸化処理を速く均一に行える よ うにする陽極酸化用電極と、 その陽極酸化用電極の一部をマスク する他の電極とを設け、 陽極酸化処理後にその他の電極をマスク と してエッチングによ り陽極酸化用電極の露出部分を除去することに よ り 、 各電極が独立しているものである。

したがって、 マスキング用の特別な被覆を省略するか少なくする ことができ、 陽極酸化処理後の任意の工程で容易に各電極の独立の ためのエッチング処理を行なう こ とができる。

また、 陽極酸化用電極の残った部分を、 接続電極や入力電極 （端 子） 等に有効に利用することができる。

また、 その陽極酸化用電極を表示領域の周囲や表示素子部の周囲 に設けることによ り、 それを遮光部と して利用することができ、 ブ ラック · マ ト リ クスがない液晶表示装置にも見切り を設けることが できる。

さ らに、 その陽極酸化用電極の幅を初期には広く しておく こ とに よ り、 陽極酸化膜の均一性の向上および切断等の防止効果を高める ことができ、 電極の一部に欠陥が生じた場合にも陽極酸化用電極の 幅広部を利用して補修することが可能になる。 図面の簡単な説明

第 1 図はこの発明の第 1 実施例の液晶表示装置の一部を示す平面 図であり、 第 2図は図 1 の A— A線に沿う断面図である。

第 3図はこの発明の第 2実施例の液晶表示装置の一部を示す平面 図であり、 第 4図は図 3の B— B線に沿う断面図である。

第 5図はこの発明の第 3実施例による液晶表示装 gの基板を大型 基板上に複数個配 gする状態を示す平面図である。

第 6図は第 5図に破線で囲んで示す 2個の液晶表示装置用基板の 境界部を拡大して示す平面図である。

第 7図は液晶表示装置を構成した状態で第 6図の C一 C線に沿う 断面図、 第 8図は同じく D— D線に沿う断面図である。

第 9図はこの発明の第 4実施例による液晶表示装 gの第 1の基板 側の一部を示す平面図であり、 第 1 0図は液晶表示装置を構成した 状態で第 9図の E— E線に沿う断面図である。

第 1 1図はこの発明の第 5実施例による液晶表示装置の全体構成 を示す平面図、 第 1 2図は第 1 1図に破線 a， bでそれぞれ囲んだ 部分を拡大して示す平面図である。

第 1 3図は液晶表示装 Sを構成した状態で第 1 2図の F— F線に 沿う断面図、 第 1 4図は同じく第 1 2図の G— G線に沿う断面図で ある。

第 1 5図はこの発明の第 6実施例による液晶表示装置の一部を拡 大して示す平面図であり、 第 1 6図は第 1 5図の H— H線に沿う断 面図である。

第 1 7図はこの発明の第 7実施例による液晶表示装置の一部を拡 大して示す平面図であり、 第 1 8図は第 1 7図の I一 I線に沿う断 面図である。

第 1 9図はこの発明の第 8実施例による液晶表示装置の全体構成 を示す平面図、 第 2 0図は第 1 9図の一部分を拡大して示す平面図、 第 2 1図は第 2 0図の J— J線に沿う断面図である。

第 2 2図はこの発明の第 9実施例による液晶表示装置の一部分を 拡大して示す平面図であり、 第 2 3図は第 2 2の K一 K線に沿う断 面図である。

第 2 4図はこの発明の第 1 0実施例による液晶表示装置の T F D 素子を形成する第 1の基板の一部領域を示す平面図、 第 2 5図は第 2 4図の L一 L線に沿う断面図である。

第 2 6図乃至第 2 9図はこの発明の第 1 0実施例による液晶表示 装篋の平面図とそのァクティブ基板の製造方法を工程順に示す断面 図である。

第 3 0図はこの発明の第 1 1実施例における液晶表示装置の T F D素子を形成する第 1の基板の一部領域を示す平面図であり、 第 3 .1図は第 3 0図の M— M線に沿う断面図である。

第 3 2図乃至第 3 4図はこの発明の第 1 1実施例における液晶表 示装置のァクティブ基板の製造方法を工程順に示す断面図である。 第 3 5図はこの発明の第 1 2実施例における液晶表示装置の T F D素子を形成する第 1の基板の一部領域を示す平面図であり、 第 3 6図は第 3 5図の N— N線に沿う断面図である。

図 3 7図はこの発明の第 1 3実施例における液晶表示装置の T F D素子を形成する第 1の基板の一部領域を示す平面図であり、 第 3 8図は第 3 7図の P— P線に沿う断面図である。

図 3 9図はこの発明の第 1 4実施例による液晶表示装篋の T F T 素子を形成する第 1の基板の一部領域を示す平面図であり、 第 4 0 図は第 3 9図の Q— Q線に沿う断面図である。

第 4 1乃至第 4 4図はこの発明の第 1 4実施例による液晶表示装 直のァクティブ基板の製造方法を工程順に示す断面図である。

第 4 5図は従来の液晶表示装置の一例を示す全体の平面図、 第 4 6図はその一部を拡大して示す平面図、 第 4 7図は第 4 6図におけ る X— X線に沿う断面図である。 発明を実施するための最良の形態

この発明の内容をより詳細に説明するために、 添付の図面を参照 しながらこの発明の実施例を脱明する。

なお、 以下の各実施例の説明に使用する第 1図乃至第 4 4図にお いて、 前述した第 4 5図乃至第 4 7図と対応する部分、 および各実 施例の図においてそれぞれ対応する部分には同一の符号を付してあ 0 る

〔第 1 実施例〕

先ず始めに、 この発明の第 1実施例である液晶表示装置の構成を 第 1図と第 2図に基づいて説明する。

第 1 図は第 1 実施例の液晶表示装置の一部を示す平面図であり、 第 2図は第 1図の A — A線に沿う断面図である。 なお、 第 1図では 第 1 , 第 2の基板自体は図示を省略している。

この液晶表示装置の基本的構成は、 前述した従来例と同様であり , 第 2図に示すよ うに、 それぞれ透明なガラス等の材料からなる第 1 の基板 1 と第 2の基板 1 1 とを図示しないスぺーサを介して所定の 間隔をもって対向させ、 その間に液晶 1 6を封入している。

そして、 その第 1 の基板 1上には、 第 1 の電極と して、 タンタル ( T a ) 膜からなる下部電極 2 と信号電極 4 と陽極酸化用電極 5 と を設けている。 また、 下部電極 2上には、 その下部電極 2 自体の陽 極酸化膜である酸化タンタル （T a 2 0 5 ) 膜からなる非線形抵抗 層 3 を形成している。 その陽極酸化膜は下部電極 2上だけでなく 、 第 1 の電極の全表面、 すなわち信号電極 4および陽極酸化用電極 5 の表面にも形成される。

さ らに、 第 2の電極と して、 非線形抵抗層 3上の上部電極 6 と、 その上部電極 6 と接続する表示電極 7 と、 陽極酸化用電極 5の一部 をなす接続電極 8 とを、 酸化インジウム錫 （ I T O ) 膜で設けてい る。

これらの下部電極 2 と非線形抵抗層 3 と上部電極 6 とによって、 T F D構造の非線形抵抗素子 9を構成している。

さ らに、 第 2の電極からなる接続電極 8は、 第 1 の電極からなる 陽極酸化用電極 5の一部を覆い、 陽極酸化処理時には第 1図に仮想 線で示すよ うに、 各行の信号電極 4を相互に接続している陽極酸化 用電極 5のランナー部 5 a を、 陽極酸化処理後にこの接続電極 8に よる分離辺 1 0にて相互に分離し、 それぞれ独立した信号電極 4を 構成する。

この接続電極 8は、 第 2図に示すよ うにこの液晶表示装置を駆動 する ドライ ノく I C 1 0 0 の出力端子 1 0 0 a と接続する電極である さ らに、 第 2の基板 1 1 の内側の面には、 第 1 の基板 1上に設け た各表示電極 7の間隙からの光の漏れを防止するために、 ク ロム ( C r ) 膜からなるブラックマ ト リ クス 1 2を設けている。

なお、 第 1図に示すよ うに、 第 1 の基板 1上の表示電極 7に対向 する第 2の基板 1 1 の領域には、 ブラックマ ト リ クス 1 2は設けな い o

また、 この第 2の基板 1 1 の内側の面には、 表示電極 7 と対向す るよ うに酸化ィ ンジゥム錫膜からなる対向電極 1 3 を設けている。 この対向電極 1 3は、 ブラックマ ト リ クス 1 2 と接触して短絡しな いよ うに、 層間絶縁膜 1 4を介して設ける。

さ らに第 1図に示すよ うに、 第 1 の電極 （信号電極 4 ) と表示電 極 7 とは、 両者が短絡しないよ うに所定寸法の間隙を有する。

表示電極 7は、 第 2図に示すよ うに液晶 1 6 を介して対向電極 1 3 と重なり合う よ うに配置されることによ り、 液晶表示パネルの表 示画素部となる。 この各表示画素部では、 ブラ ックマ ト リ クス 1 2 は開口部 1 2 a を設けている。 そして、 第 1 図に斜線を施して示す ブラ ックマ ト リ クス 1 2 の形成領域が遮光部となる。

上述した表示画素部の液晶 1 6の透過率の変化によ り、 この液晶 表示装置は所定の画像表示を行う。

さ らに、 第 1 の基板 1 と第 2 の基板 1 1 とは、 液晶 1 6 の分子を 規則的に並べるための処理層と して、 それぞれ配向膜 1 5， 1 5を 設けている。

以上説明したこの第 1 実施例の構成によ り 、 第 1 の電極からなる 陽極酸化用電極 5は、 第 2の電極からなる接続電極 8によ り 自己整 合的に分離する構成を有する。

すなわち、 下部電極 2上に非線形抵抗層を形成するための陽極酸 化処理を行う際には、 各行の信号電極 4が陽極酸化用電極 5によつ 2 て相互に接続されている。 そして、 陽極酸化処理後のたとえば液晶 表示バネルの検査後に、 第 2の電極からなる接続電極 8をマスク と してエッチングを行う ことによって、 陽極酸化用電極 5の接続電極 8 に覆われていないランナー部 5 a が除去され、 接続電極 8の分離 辺 1 0にて相互に分離されて、 各行の独立した信号電極 4を構成す る。

. このように、 第 2の電極である接続電極 8をエッチングのマスク と して使用するため、 液晶表示パネルの製造工程中や検査工程中、 あるいは検査後に、 相互に接続されている各信号電極 4を独立した 信号電極に加工するこ とが可能となる。

それによつて、 その各接続電極 8 と独立した信号電極 4を用いて、 各行の非線形抵抗素子 9に外部信号を印加することが可能になる。 また、 非線形抵抗素子 9 を有する第 1 の基板 1に配向膜 1 5を印 刷する工程や、 配向膜 1 5 を利用してその表面を布で擦って配向処 理を行う工程等の静電気の発生を伴う工程では、 各信号電極 4が陽 極酸化用電極 5 によって相互に接続されたままの状態にしておく こ とによ り、 非線形抵抗素子 9の特性劣化を防止することができる。 それによつて、 均一で安定した特性の良好な表示品質を有する液 晶表示装置を得るこ とができる。

〔第 2実施例〕

次に、 この発明の第 2実施例である液晶表示装置の構造を、 第 3 図及び第 4図に基づいて説明する。

第 3図はその第 2実施例の液晶表示装置の一部を示す平面図であ り、 第 4図は第 3図の B— B線に沿う断面図である。 なお、 第 3図 では第 1， 第 2の基板自体は図示を省略している。

この実施例においても、 第 1 の基板 1上には、 タンタル （T a ) 膜からなる第 1 の電極と して、 下部電極 2 と信号電極 4 と陽極酸化 用電極 5を設けている。 そして、 その下部電極 2を含む第 1の電極 の表面には、 その第 1 の電極自体の腸極酸化膜と して酸化タンタル (T a2 O5 ) 膜からなる非線形抵抗層 3を形成する。

さ らに、 第 2の電極と して、 非線形抵抗層 3上にク ロム （C r ) 膜からなる上部電極 6を設けると共に、 陽極酸化用電極の一部をな す第 1の接続電極 2 2を同じクロムで設けている。

これらの下部電極 2と非線形抵抗層 3 と上部電極 6 とによって、 T F Dの構造の非線形抵抗素子 9を構成する。

. 第 1の基板 1上にはさ らに、 第 3の電極と して、 表示電極 7と陽 極酸化用電極 5の一部をなす第 2の接続電極 8 (第 1実施例の接続 電極 8に相当する） とを、 酸化インジウム錫 （ I TO) 膜で設けて いる。 その上部電極 6は、 表示電極 7の一部である接続部 7 aによ つて表示電極 7 と電気的に接続されている。

さ らに、 第 2の電極からなる第 1の接続電極 2 2 と第 3の電極か らなる第 2の接続電極 8 とは、 第 1の電極からなる陽極酸化用電極 5の一部を覆っており、 その陽極酸化用電極 5は、 第 2の接続電極 8の分離辺 1 0で分離されて、 独立する接続端子 2 3， 24， 2 5 , …を構成する。

その接続端子 2 3， 2 4， 2 5 , …は、 それぞれ分離された陽極 酸化用電極 5を介して各行の信号電極 4 と導通しているから、 各接 続端子 2 3 , 2 4， 2 5， …に外部回路 （第 1実施例の場合と同様 に ドライバ I C等） を接続して、 各行の信号電極 4を介してそれぞ れ独立して各非線形抵抗素子 9に電圧を印加し、 各表示電極 7に目 的の表示をさせるこ とができる。

さ らに、 この実施例においては、 各接続端子 2 3， 2 4, 2 5， …と外部回路との接続を、 チップ · オン ' ガラス （C OG) 法を用 いて行なえるよ うに、 第 1の基板 1の端子形成部 1 a上に互いに近 接させて配設している。

なお C OG法とは、 半導体集積回路 （ I C) 上に異方性導電シー ル剤や、 あるいは導電粒子を凸状に形成し、 異方性導電シール剤中 の接着剤を利用して、 半導体集積回路を基板上に実装する方法であ る。 4 この第 2実施例によっても、 下部電極 2上に非線形抵抗層を形成 するための陽極酸化処理を行う際には、 各行の信号電極 4は陽極酸 化用電極 5によつて相互に接続されている。

そして、 陽極酸化処理後のたとえば液晶表示パネルの検査後に、 第 2の電極からなる第 2の接続電極 8をマスク と してエッチングを 行う ことによって、 陽極酸化用電極 5の第 2の接続電極 8に ¾われ ていない各ランナー部 5 a (第 3図に仮想線で示す） が除去され、 第 2の接続電極 8の周囲の各分離辺 1 0にて相互に分離されて、 各 行の信号電極 4をそれぞれ導通する独立した接続端子 2 3， 2 4， 2 5， …を構成する。

したがって、 この第 2実施例によれば、 高密度実装に用いる C O G法を利用する場合においても、 陽極酸化処理のときには、 各信号 電極 4 を陽極酸化用電極 5によって相互に接続し、 その後、 所要の 工程完了後に、 簡単なエッチング処理によって、 各信号電極を独立 したものとすることができる。

そのため、 前述の第 1実施例と同様な効果が得られると共に、 液 晶表示パネルの作成中、 あるいはその検査中又は検査後に、 高密度 実装に必要な、 高密度な電極端子の配置を行う場合においても、 独 立する信号電極の各端子に簡単に加工することが可能になる。

さ らに、 第 1 の電極からなる陽極酸化用電極 5上に、 第 2の電極 からなる第 1 の接続電極 2 2 と第 3の電極からなる第 2の接続電極 8 とを順番に形成しているので、 陽極酸化用電極 5 と第 2の接続電 極 8 との密着力を高めるこ とができる。

〔第 3実施例〕

次に、 この発明の第 3実施例である液晶表示装置について、 第 5 図乃至第 8図に基づいて説明する。

第 5図は、 この第 3実施例による液晶表示装置の基板を大型基板 上に複数個配置する状態を示す平面図である。 第 6図は、 第 5図に 破線で囲んで示す 2個の液晶表示装置用基板の境界部を拡大して示 5 す平面図である。 第 7図は、 第 6図の C一 C線に沿う断面図、 第 8 図は、 同じく D— D線に沿う断面図である。

第 5図の平面図に示すように、 大型の第 1の基板 3 0上に、 複数 個 （この例では 6個） の液晶表示装髭用基板 3 1 , 3 2 , …を有す る。 そして、 この各液晶表示装置用基板 3 1 と 3 2は、 分離線 3 3 , 3 4により分離して使用する構成となっている。

. さらに、 この液晶表示装 g用基板 3 1 るいは 3 2 (前述の各実 施例における第 1 の基板 1に相当する） には、 タンタル （T a ) 膜 からなる第 1の電極と して、 第 6図および第 8図に示すように下部 電極 2 と信号電極 4 と陽極酸化用電極 4 1 とを設ける。

その陽極酸化用電極 4 1は、 第 6図に示すように液晶表示装置用 基板 3 2側に設けられ、 隣接する液晶表示装置用基板 3 1の各信号 電極 4を相互に接続し、 陽極酸化時に信号鸳極 4から各下部電極 2 に電圧を印加する構造を有する。

下部電極 2上には、 下部電極 2 自体を陽極酸化処理して形成する 陽極酸化膜である酸化タンタル （T a 2 05 ) 膜からなる非線形抵 抗層 3を設ける。

さらに、 その非線形抵抗層 3の上に設ける上部電極 6 と、 その上 部電極 6 と接続する表示電極 7 と、 大型基板 3 0上に設けた隣接す る液晶表示装置用基板の第 1 の電極からなる陽極酸化用電極 5の一 部を覆う入力電極 8 ' (前述の各実施例における接続電極 8に相当 する） とを、 酸化インジウム錫 （ I T O ) 膜からなる第 2の電極と して設ける。

これらの下部電極 2と非線形抵抗層 3 と上部電極 6 とによって、 T F D構造の非線形抵抗素子 9を構成する。

図 6に示すよ うに、 第 2の電極からなる入力電極 8 ' は、 隣接す る液晶表示装置用基板 3 2の第 1 の電極からなる陽極酸化用電極 4 1 の一部を覆っているので、 その陽極酸化用電極 4 1は陽極酸化処 理後に、 エッチング処理により入力電極 8 ' と同一な辺で分離され、 第 6図に仮想線で示す部分が除去される。 それによつて、 隣接する 6 液晶表示装置用基板 3 2における独立した入力端子 3 8 , 3 9 , 4 0を、 ドライ ノく I C用の接続端子 2 3， 2 4， 2 5， 2 6 と共に形 成する。

6 0は、 この液晶表示装置用基板 3 1 あるいは 3 2 と第 2の基板 1 1 との間に液晶 1 6 を封入するためのシールであり、 その内部の 液晶表示装置と しての構成は前述の第 1 実施例と同様である。

この第 3実施例の構成によ り 、 液晶表示装置用基板を大型基板上 に複数個配置する場合においても、 陽極酸化処理の際には、 各信号 電極 4を陽極酸化用電極 4 1 によって相互に接続しており、 その後 の液晶表示パネルの検査中あるいは検査後に、 第 2の電極からなる 入力電極 8 ' をマスク と してエッチング処理を行う ことによ り、 陽 極酸化用電極 4 1 と して、 独立した各信号電極 4を得ることができ る。

したがって、 高密度実装に必要な高密度な信号電極の配置を行う ときにおいても、 独立する信号電極に簡単に加工することができる, そして、 大型基板上に複数の液晶表示装置用基板を設ける場合に おいて、 隣接する液晶表示装置の第 1 の電極からなる陽極酸化用電 極 4 1 と第 2の電極からなる入力電極 8 ' を利用して、 各信号電極 4の接続と分離がなされるので、 陽極酸化用電極を除去するための スペースをあま り必要と しないため、 大型基板を有効に使用するこ とが可能になる。

そして、 陽極酸化用電極 4 1 あるいは 5の分離後に残った部分を 隣接する液晶表示装置の入力端子あるいは接続端子と して有効に利 用することができる。

〔第 4実施例〕

次に、 この発明の第 4実施例による液晶表示装置について、 第 9 図および第 1 0図に基づいて説明する。

第 9図は、 この第 4実施例による液晶表示装置の第 1 の基板側の 一部を示す平面図であり 、 第 1 0図は、 液晶表示装置を構成した状 態で第 9図の E— E線に沿う断面図である。

この実施例における第 1 の基板 1上には、 第 1 の電極と して、 タ ンタル （T a ) 膜からなる下部電極 2および信号電極 5 0と、 第 1 の陽極酸化用電極 5 5および第 2の陽極酸化用電極 5 6 とを設けて いる。

さらに、 その下部電極 2上には、 下部電極 2 自体の陽極酸化膜で ある酸化タンタル （T a 2 O 5 ) 膜からなる非線形抵抗層 3 を形成 している。 この陽極酸化膜による非線形抵抗層 3は、 下部電極 2 と 同じ第 1 の電極である信号電極、 および第 1 の陽極酸化用電極 5 5 と第 2の陽極酸化用電極 5 6の表面にもそれぞれ形成される。

また、 第 2の電極と して、 非線形抵抗層 3上に設ける上部電極 6 と、 その上部電極 6 と接続する表示電極 7 とを酸化インジウム （ I T O ) 膜によって設けて、 また、 同じく酸化タンタルによる第 2電 極と して、 シール 6 0 よ り外側の第 1の基板 1上に延びる各信号電 極 5 0 とそれらを相互に第 1 の陽極酸化用電極 5 5の一部を覆う よ うに各接続電極 8 と、 第 2の陽極酸化用電極 5 6の殆どを覆う よ う に周囲電極 5 8 とを設けている。

第 2の陽極酸化用電極 5 6及び周囲電極 5 8は、 接続電極 5 1， 5 2， 5 3 , 5 4の近傍を囲むよ うに配置し、 さらにシール 6 0の 近傍の表示電極 7に近接する周囲電極 5 7 と接続している。

上述の下部電極 2 と非線形抵抗層 3 と上部電極 6 とによって、 T F D構造の非線形抵抗素子 9を構成する。

この非線形抵抗素子 9に対して、 液晶を規則正しく並べたもの配 向膜 1 5あるいは液晶 1 6のイオン成分が影饗し、 非線形抵抗素子 9の特性変化あるいは劣化が生じてしま う ことがある。

この特性変化や劣化を防止するために、 非線形抵抗素子 9上とそ の周辺に透明な絶縁膜 4 8を設けている。

この絶縁膜 4 8は、 各信号電極 5 0の接続電極 5 1 乃至 5 4およ び第 2の陽極酸化用電極 5 6 を連結する第 1 の陽極酸化用電極 5 5 の上部に開口部 4 9を設けている。 8 そして、 液晶表示装置となった状態では、 この絶縁膜 4 8の開口 部に ί!出する第 1 の陽極酸化用電極 5 5の第 9図に仮想線で示す部 分は除去されている。 したがって、 接続電極 5 1〜 5 4， および周 囲鸳極 5 8は、 それぞれ電気的に分離された、 独立の電極を構成し ている。

その他の構成は、 前述した各実施例と同じである。

この第 4の実施例の液晶表示装置の構成においては、 第 1 の電極 からなる陽極酸化用電極 5 5， 5 6上には、 非線形抵抗素子 9の特 性変化あるいは特性劣化を防止するための絶縁膜 4 8を設けている, そして、 その絶縁膜 4 8の開口部 4 9内において、 第 1 の電極か らなる陽極酸化用電極 5 5は、 第 2の電極である一部の辺にて自己 整合して分離された形状を有し、 各信号電極 5 0は独立し、 接続電 極 5 1〜 5 4は第 1 0図に仮想線で示す ドライ ノく I C 1 0 0などの 外部回路と接続する独立した電極端子を構成している。

この実施例においても、 陽極酸化処理を行う ときには、 各信号電 極 5 0は、 第 1 ， 第 2の陽極酸化用電極 5 5， 5 6によって相互に 接続されているので、 前述の各実施例と同様な効果が得られる。

さ らに、 第 2の陽極酸化用電極 5 6を接続電極 5 1 ~ 5 4 の近傍 に配置して、 これに第 1 の陽極酸化用電極 5 5の枝部を介して接続 するこ とによ り 、 各接続電極 5 ：!〜 5 4あるいは信号電極 5 0から 静電気が発生したときに、 周囲にその静電気を分散させることがで さる。

また、 絶縁膜 4 8に開口部 4 9を形成する際のェツチング時に、 その開口部 4 9内の第 1 の陽極酸化用電極 5 5 (第 9図に仮想線で 示している） を除去して、 各信号電極 5 0を独立させる加工を同時 にすることが可能なため、 製造工程の増加は生じない。

なお、 この絶縁膜 4 8に開口部 4 9を形成すると きには、 第 2の 基板 1 1やシール 6 0が組み付けられている。

このことによ り、 静電気が発生しやすい液晶表示パネルの作成後, あるいは液晶表示パネルの検査後、 レーザーにより絶縁膜を一部除 去した領域から信号電極 5 0に電圧を印加するとき、 あるいはチッ プ ' オン ' ガラス法によ り ドライバ I C 1 0 0を実装する直前など に、 絶縁膜 4 8の開口部 4 9を形成するこ とが可能になる。

したがって、 非線形抵抗素子 9を有する第 1 の基板 1 に配向膜 1 5を印刷する工程、 あるいは配向膜 1 5を利用して配向膜 1 5 の表 面を布で擦り配向処理を行う工程などの静電気の発生を伴う工程に おいて、 非線形抵抗素子 9の特性が劣化するのを防止できる。

そのため、 均一で安定した特性の良好な表示品質を有する液晶表 示装置を得ることができる。

〔第 1 乃至第 4実施例の変形例〕

以上説明したこの発明の第 1実施例から第 4実施例においては、 第 1 の電極と してタンタル膜を用いた例について説明したが、 普通 のタンタル膜以外でも、 窒素を含むタンタル膜ゃリ ンを含むタンタ ル膜、 あるいはニオブを含むタ ンタル膜なども、 第 1 の電極と して 使用することができる。

さ らに、 この第 1 の電極と しては、 アルミニウム， 銅やあるいは 二ッケルなどの低抵抗材料と、 タンタルあるいはタンタルに不純物 を含む膜との多層膜を用いてもよい。

また、 上記各実施例では、 第 1 の電極 2 と してタ ンタル膜を用い、 非線形抵抗層と して酸化タ ンタル膜を形成する場合について説明し た。 しかしながら、 非線形抵抗層と しては、 酸化タ ンタル膜の上部 に酸化シリ コン膜ゃ窒化シリ コン膜、 あるいは不純物を含む酸化シ リ コンを設け、 酸化タンタル膜と これらの膜との多層膜からなる非 線形抵抗層を用いてもよい。

さ らに、 多層膜からなる非線形抵抗層の酸化タンタル膜上に形成 する被膜は、 プラズマ化学気相成長法 （C V D法） を利用して形成 すると よい。 このことによ り、 酸化タンタル膜に電圧が印加するこ とになり、 耐圧が向上するため非線形抵抗素子の劣化を防止するこ とが可能になる。 また、 多層膜からなる非線形抵抗層を使用することにより、 非線 形抵抗素子の電流一電圧特性の制御が可能になる。 このため、 非線 形抵抗素子への過電流が流れることを抑制し、 液晶表示装置の特性 向上が可能になる。

さらにまた、 前述の第 1実施例から第 4実施例においては、 各画 素に 1個の非線形抵抗素子を備える液晶表示装置の例を示したが、 各面素ごとに複数個の非線形抵抗素子を設けてもよい。

その場合にも、 多層膜からなる非線形抵抗層を使用することによ り、 非線形抵抗素子の電流一電圧特性の制御が可能になる。 それに よって、 非線形抵抗素子に過鴦流が流れることを抑制し、 液晶表示 装置の特性向上を計ることができる。

〔第 5実施例〕

次に、 この発明の第 5実施例による液晶表示装 gについて、 第 1 1図乃至第 1 4図に基づいて説明する。

第 1 1図は、 この第 5実施例による液晶表示装置の全体構成を示 す平面図であり、 判り易くするため、 上下に重なっている第 1， 第 2の両基板側の構成をいずれも実線で示している。

第 1 2図は、 第 1 1図に破線 a， bでそれぞれ囲んだ部分を拡大 して示す平面図である。 伹し、 上側の基板とそれに形成される膜な どは除去して示している。 そして、 破線 aで囲んだ部分を上側に、 破線 bで囲んだ部分を下側に図示している。

第 1 3図は、 液晶表示装置を構成した状態で第 1 2図の F— F線 に沿う断面図、 第 1 4図は同じく第 1 2図の G— G線に沿う断面図 である。

この実施例による液晶表示装篋も、 基本的な構成は前述の各実施 例と共通している。

すなわち、 第 1の基板 1上には、 タンタル （T a ) 膜からなる第 1 の電極と して、 下部鼋棰 2と信号 S極 4 と陽極酸化用電極 5を設 けている。 その下部電極 2 と陽極酸化用電極 5上には、 これらの第 2

1 の電極の陽極酸化膜と して、 酸化タンタル （T a 2 0 5 ) 膜から なる非線形抵抗層 3を形成する。

この実施例ではその陽極酸化用電極 5を、 第 1 1図に斜線を施し て示すよ うに、 表示領域 1 8の周囲を囲むよ うに帯状に形成してい る。 そして、 複数個の第 1 の基板 1 を大きな元基板から作成するた め、 その基板相互の陽極酸化用電極 5の接続を行うために、 相互接 続用電極 6 5を第 1 の基板 1 の端に設けている。

この第 1 の電極からなる陽極酸化用電極 5は、 第 1 1 図と第 1 2 図に示すよ うに、 M行の信号電極 4 と N列の対向電極 1 3からなる マ ト リ クス状の表示領域 1 8の周囲において複数の信号電極 4， 4 , …を相互に接続する構成を有する。

また、 第 2の電極と して、 非線形抵抗層 3上の上部電極 6 と、 そ の上部電極 6 と接続する表示電極 7 とを酸化イ ンジウム錫 （ I T O ) 膜で設けている。

この下部電極 2 と非線形抵抗層 3 と上部電極 6 とによって、 T F D構造の非線形抵抗素子 9を構成している。

さ らに、 第 1 2図において多数の表示電極 7がマ ト リ クス状に列 設された表示領域 1 8を囲むよ うに設けられた陽極酸化用電極 5上 に、 斜線を施して示す周囲電極 5 7 と、 各信号電極 4 と接続して第 1 の基板 1 のシール 6 0 よ り外の端子形成部 1 a に延びる各接続電 極 7 1 〜 7 4 と、 その間に若干の隙間をあけて並ぶ長方形の遮光部 電極 7 5 と、 周囲電極 5 7から各接続電極 7 1〜 7 4 の先端部を囲 むよ うに延びる周囲電極 5 8 も、 第 2の電極と して酸化イ ンジウム 錫 （ I T O ) 膜で形成している。

すなわち、 第 1 2図にお I：、て斜線を施して示した各電極の下側に も全て陽極酸化用電極 5が形成されており、 陽極酸化処理時には、 全ての信号電極 4がその両端で陽極酸化用電極 5によって相互に確 実に接続されている。

そして、 これらの第 2の電極からなる周囲電極 5 7， 5 8、 各接 続電極 7 1〜 7 4， 遮光部電極 7 5は、 陽極酸化用電極 5の一部を Sうマスクの役目をなし、 表示領域 1 8の第 1 2図に Dで示す幅の 面にも別にマスクを施してエッチング処理を行なう こ とによ り、 陽 極酸化用電極 5のそれらのマスクから露出する部分が除去される。 それによつて、 各信号電極 4及びそれに接続する各接続電極 7 1 〜 7 4が、 それぞれ分離され、 独立した電極を構成する。

第 1 3図および第 1 4図においては、 この陽極酸化用電極 5およ び非線形抵抗層 3の除去される部分は仮想線で示している。

その他の構成は、 前述の各実施例と同様であるので、 その説明は 省略する。

この第 5実施例によっても、 非線形抵抗層 3 を形成するための陽 極酸化処理時及びその後の検査工程等においては、 各信号電極 4が 陽極酸化用電極 5によって相互に接続されているので、 前述の各実 施例と同様な効果が,得られる。 しかも、 その接続が信号電極 4の两 端でなされるので、 よ り確実であり、 信号電極の途中で断線が生じ た場合でも、 陽極酸化処理を確実に行なう ことができる。

そして、 任意の工程において、 第 2の電極をマスクに利用して、 エッチング処理を行なう ことによ り、 容易に各信号電極 4及び接続 電極 7 ：! 〜 7 4を分離して独立した電極とすることができる。 その 際、 周囲電極 5 7の両側の辺、 各接続電極 7 1 ~ 7 4の第 1 2図で 左右の辺、 および遮光部電極 7 5の周囲の辺が分離辺となる。

そして、 表示領域 1 8の外周部には、 不透明な陽極酸化用電極 5 が残存して遮光部を形成し、 表示領域 1 8の見切り を構成できる。

このよ うに、 陽極酸化用電極 5を遮光部に利用することによ り、 ブラック · マ ト リ クス 1 2がない液晶表示装置においても、 見切り (表示領域周辺を囲む枠） ができる。

また、 見切り に利用する陽極酸化用電極 5により陽極酸化用電極 の幅を広くすることができ、 陽極酸化膜の均一性が向上する。

〔第 6実施例〕

次に、 この発明の第 6実施例による液晶表示装置について、 第 1

正さ 5図と第 1 6図に基づいて説明する。

この第 6 の実施例においては、 非線形抵抗素子と して T F D構造 の素子を使用し、 各画素部には T F D素子を 2個直列接続する構造 を用い、 T F D素子を N列からなるデータ電極側に設ける場合につ いて説明する。

第 1 5図はその液晶表示装置の一部を拡大して示す平面図であり . 第 6図は第 5図の H— H線に沿う断面図である。

この実施例においては、 第 1 の基板 1上には、 タンタル （T a ) 膜からなる第 1 の電極と して、 島状の下部電極 2 と第 1 のデータ電 極 8 2 と陽極酸化用電極 5 と、 島状の下部電極 2 と第 1 のデータ電 m 8 2 とを接続する配線接続部 7 6 とを設け、 この第 1 の電極上に は、 第 1 の電極の陽極酸化膜と して酸化タンタル （T a 2 O 5 ) 膜 からなる非線形抵抗層 3 を形成する。

この第 1 の電極からなる陽極酸化用電極 5は、 M行の信号電極と N列のデータ電極 8 1， 8 1 からなるマ ト リ クス状の表示領域の周 囲において複数のデータ電極 8 1， 8 1 を相互に接続する構成を有 する。

さ らに、 第 2の電極と して、 島状の下部電極 2上の非線形抵抗層 3上に、 第 2 のデータ電極 8 3に接続するデータ電極用上部電極 8 4 と、 表示電極 7に接続する表示電極用上部電極 8 5 と、 表示電極 7 と第 1 のデータ電極 8 2上の第 2のデータ電極 8 3 とを、 酸化ィ ンジゥム錫 （ I T O ) 膜で設ける。

この島状の下部電極 2 と非線形抵抗層 3 とデータ電極用上部電極 8 4 とによって、 T F D構造の第 1 の非線形抵抗素子 8 6を構成す る。 さ らに、 島状の下部電極 2 と非線形抵抗層 3 と表示電極用上部 電極 8 5 とによって、 T F D構造の第 2の非線形抵抗素子 8 7 を構 成する。

第 2のデータ電極 8 3から、 データ電極用上部電極 8 4， 非線形 抵抗層 3， 下部電極 2， 非線形抵抗層 3， 表示電極用上部電極 8 5 と表示電極 7の順に接続する。 島状の下部電極 2に対し、 第 2のデ ータ電極 8 3 と表示電極 7は対称の T F D素子構成となる。

さ らに、 第 1 の基板 1上には、 第 1 6図に示すよ うに酸化タンタ ル （ T a 2 O 5 ) からなる絶縁膜 4 8を設ける。 この絶縁膜 4 8に は、 第 1 の信号電極 4 と島状の下部電極 2 とを接続する配線接続部 7 6上の周囲に配線接続部分離用開口部 9 1 を有する。 また、 陽極 酸化用電極 5上には、 第 1 5図に示すよ う に複数個の分離用開口部 9 2を有する。

さ らに、 第 2のデータ電極 8 3上には、 外部回路と第 2のデータ 電極 8 3 の接続を行うための接続用開口部 9 3 を有する。

第 1 のデータ電極 8 2 と島状の下部電極 2 とを接続する配線接続 部 7 6上に設けた配線接続部分離用開口部 9 1 においては、 絶縁膜 4 8 と第 1 の電極である下部電極 2が同一の分離辺を有する。

陽極酸化用電極 5上に設ける複数個の分離用開口部 9 2において は、 絶縁膜 4 8 と陽極酸化用電極 5が同一の分離辺 1 0を有する。 表示領域の上下、 左右には、 陽極酸化用電極 5を絶縁膜 4 8 と同 一な分離辺にて分離した遮光部 7 6 を設ける。

したがって、 表示領域の外周部は遮光部 7 6 によ り見切りが構成 される。

さ らに、 第 1 6図に示すよ う に、 第 2の基板 1 1 の内側の面には. 液晶表示装置がカラ一表示を行うために、 赤フ ィルタ 9 5， 青フィ ルタ 9 6 と、 図示しない緑フィルタのカラ一フィルタを設ける。 そ れぞれの表示電極 7の間隙からの光の漏れを防止するために、 カラ 一フィルタを重ね合わせた領域 9 7 を設ける。

さ らに、 第 2の基板 1 1 には、 表示電極 7 と対向するよ うに酸化 イ ンジウム錫膜からなる対向電極 1 3を設ける。

表示電極 7は、 液晶 1 6 を介して対向電極 1 3 と重なり合う よ う に配置することによ り、 液晶表示パネルの表示画素部となる。 そし てこの表示画素部では、 単色のカラ一フィルタ 、 例えば赤フィルタ 9 3 を有する。

そして、 この表示画素部の液晶 1 6の透過率変化によ り 、 液晶表 示装置は所定の画像表示を行う。

さ らに、 第 1 の基板 1 と第 2の基板 1 1 には、 液晶 1 6の分子を 規則的に並べるための処理層と して、 それぞれ配向膜 1 5， 1 5 を 設けている。

この第 6実施例の構成によ り、 第 1 の電極からなる陽極酸化用電 極 5は表示領域の周囲部において絶縁膜 4 8の開口部によ り 自己整 合的に分離する分離辺 1 0を有する。

さ らに、 この実施例に示すよ うに、 複数の T F D素子を接続する 場合には、 非線形抵抗層 3を設けた後に、 陽極酸化用電極 5あるい は第 1 のデータ電極 8 2から島状の下部電極 2を分離する必要があ る。

そのため、 絶縁膜 4 8の開口部を利用して分離する方法、 あるい は絶縁膜なしに分離する必要がある。 この分離工程を有するため、 この実施例の場合には、 特に工程を增やすことなく表示領域の周囲 に陽極酸化用電極 5を利用して遮光部 7 6 を設けることができる。 そのため、 ブラック · マ ト リ クスの代わり にカラーフィノレタを重 ね合わせた部分を見切り に利用した場合に、 見切り部の遮光性が不 十分な場合においても、 陽極酸化用電極 5が残存した遮光部 7 6 を 利用することによ り、 遮光性の十分な見切りができる。

また、 陽極酸化用電極 5 を分離する以前には、 非線形抵抗層 3を 形成する陽極酸化処理の際に周囲から電圧を供給することができる ため、 例えば一部の陽極酸化用電極 5に欠陥が生じても他の部分か ら電圧の供給ができる。

〔第 7実施例〕

次に、 この発明の第 7実施例による液晶表示装置について、 第 1 7図と第 1 8図に基づいて説明する。

この実施例においては、 非線形抵抗素子と して T F T構造の素子 を使用する。

第 1 7図は、 その液晶表示装置の一部を拡大して示す平面図であ り、 第 1 8図は、 その I 一 I線に沿う断面図である。

この第 7実施例における第 1 の基板 1上には、 タ ンタル （T a ) 膜からなる第 1 の電極と して、 信号電極 4に相当するゲ一 ト電極 1 0 1 と陽極酸化用電極 5 とを設け、 第 1の電極上には、 第 1 の電極 の陽極酸化膜と して酸化タンタル （T a 2 O5 ) 膜からなるゲー ト 絶縁膜 1 0 2を設ける。

この第 1 の電極からなる陽極酸化用電極 5は、 第 1 7図に示すよ うに、 M行のゲー ト電極 1 0 1 と N列のソース電極 1 0 5からなる マ ト リ クス状の表示領域の周囲において、 複数のゲー ト電極 1 0 1， 1 0 1 を相互に接続する。 この陽極酸化用電極 5は第 1 7図に斜線 を施して示した周囲電極 5 7及び遮光部電極 7 5の下にも設けられ ている。

ゲー ト絶縁膜 1 0 2上とその周囲には半導体層 1 0 3 と してァモ ルファスシリ コ ン （ a — S i ) 膜を設ける。 さらに、 半導体層 1 0 3上に不純物イオンと してリ ン （ P ) を含む半導体層 1 0 4を設け る。

さらに、 不純物イ オンを含む半導体層 1 0 4上にソース電極 1 0 5 と ドレイ ン電極 1 0 6 を設ける。 ソース電極 1 0 5 と ドレイ ン電 極 1 0 6はモリ ブデン （M o ) にて設ける。 不純物イオンを含む半 導体層 1 0 4はソース電極 1 0 5 と ドレイ ン電極 1 0 6 と半導体 1 0 3の重なり合う部分に設けている。 また、 ソース電極 1 0 5は 外部回路に接続するデータ電極 1 2 1， 1 2 2に接続する。

ドレイ ン電極 1 0 6は透明導電性膜からなる表示電極 7に接続し、 表示画素部となる。

ゲー ト電極 1 0 1 に接続する陽極酸化用電極 5上には、 表示電極 7 と同一膜を設けて有る。 また、 陽極酸化用電極 5の一部は表示電 極 7 と同一膜の辺と同一な分離辺 1 0にて分離し、 遮光部とする。

陽極酸化用電極 5の一部は、 表示電極 7 と同一膜である周囲電極 5 7 と遮光部電極 7 5に覆われており、 表示領域をマスキングして エッチング処理することによ り、 陽極酸化用電極の破線で示す部分 は除去され、 各グー ト電極 1 0 1 を独立させる。 そして、 表示領域 の外周部には、 残った陽極酸化用電極 5によって形成される遮光 部によ り見切りができる。

さらに、 第 2 の基板 1 1 には、 第 1 8図に示すよ うに外部光源 1 1 1 の反射光 1 1 2の光量を低滅するために、 第 2の基板 1 1上に はまず透明導電性膜からなる対向電極 1 3を設ける。 つぎに、 表示 電極 7の周囲からの光の漏れを防止するために、 クロム （C r ) 膜 からなるブラック · マ ト リ クス 1 2 を設ける。 透明導電性膜からな る対向電極 1 3 と第 2の基板 1 1 とクロム膜からなるブラック · マ ト リ クス 1 2の干渉によ り 、 反射光 1 1 2を低減できる。

そして、 この表示面素部の液晶 1 6の透過率変化によ り、 液晶表 示装置は所定の画像表示を行う。

さ らに、 第 1 の基板 1 と第 2 の基板 1 1 とは、 液晶 1 6の分子を 規則的に並べるための処理層と して、 それぞれ配向膜 1 5， 1 5 を 設けている。

そして、 スぺーサ （図示せず） によって、 第 1 の基板 1 と第 2 の 基板 1 1 とを所定の間隙をもって対向させ、 シール 6 0によ り貼り 合わせ、 第 1 の基板 1 と第 2の基板 1 1 との間に液晶 1 6を封入し ている。

この第 7実施例の構成によ り、 第 1 の電極からなる陽極酸化用電 極 5は表示領域の周囲部において表示電極 7 と同一な膜によ り 自己 整合的に分離する分離辺を有する。

また、 表示領域の周囲に分離後に残る陽極酸化用電極 5を利用し 遮光部を設けることができる。

そして、 陽極酸化用電極 5を分離する以前には、 非線形抵抗層を 形成するための陽極酸化処理の際に、 この陽極酸化用電極 5によつ て周囲から各ゲー ト電極 1 0 1 に電圧を供給することができるため、 例えば一部陽極酸化用電極 5に欠陥が生じても他の部分から電圧の 供給ができる。 〔第 8実施例〕

次に、 この発明の第 8実施例による液晶表示装置について、 第 1 9図乃至第 2 1図に基づいて説明する。

この第 8の実施例においては、 非線形抵抗素子と して T F D構造 の素子を利用し、 T F D素子を M列からなる信号電極側に設ける場 合について説明する。

また、 表示電極 7の周囲に設ける遮光部は第 2の陽極酸化用電極 1 2 6の一部を利用し、 第 2の陽極酸化用電極 1 2 6上の第 2の非 線形抵抗層 1 2 8は非線形抵抗素子 9に用いる第 1の非線形抵抗層 3 と膜厚が異なる。

第 1 9図は、 この発明の第 8の実施例による液晶表示装置の全体 構成を示す平面図である。 第 2 0図は、 第 1 9図の一部分を拡大し て示す平面図であり、 第 2 1図はその J — J線に沿う断面図である < 但し、 第 2 0図及び第 2 1図では上側の第 2の基板及びそれに形成 される膜等、 並びに液晶は図示を省略している。

第 1の基板 1上には、 タンタル （T a ) 膜からなる第 1の電極と して、 下部電極 2 と信号電極 4 と第 1の陽極酸化用電極 5 と第 2の 陽極酸化用電極 1 2 6 と補助電極 1 2 7 と相互接続用電極 6 6を設 け、 下部電極 2 と第 1の陽極酸化用電極 5 と信号電極 4上には、 第 1 の電極の陽極酸化膜と して酸化タ ンタル （T a 2 O5 ) 膜からな る第 1の非線形抵抗層 3を設ける。

また、 第 1 9図に示すよ うに、 複数個の第 1 の基板 1 を大きな元 基板から作成するために、 相互の陽極酸化用電極 5の接続を行うた めに、 相互接続用電極 6 5を第 1の基板 1の端に設ける。

第 2の陽極酸化用電極 1 2 6 と補助電極 1 2 7上には、 第 1 の電 極の陽極酸化膜と して酸化タンタル （T a 2 O5 ) 膜からなる第 2 の非線形抵抗層 1 2 8を設ける。 また、 第 1 9図に示すよ うに、 複 数個の第 1の基板 1 を大きな元基板から作成するために、 相互の第 1， 第 2の陽極酸化用電極 5， 1 2 6の接続を行うために、 相互接 続用電極 6 5， 6 5を第 1の基板 1 の両端に設ける。 第 1 の陽極酸化用電極 5 と第 2の陽極酸化用電極 1 2 6 とは相互 に分離している。 また、 第 2の非線形抵抗層 1 2 8は、 非線形抵抗 素子 9に用いる第 1 の非線形抵抗層 3に比較し膜厚を厚く してある。

この第 1の電極からなる第 1の陽極酸化用電極 5は、 第 1 9図と 第 2 0図に示すように、 M行の信号電極 4 と N列の対向電極 1 3力 > らなるマ ト リクス状の表示領域 1 8の周囲において複数の信号電極 .4を相互に接続する構成を有する。 また、 第 2の陽極酸化用電極 1 2 6は複数の補助電極 1 2 7を接続部 6 6で相互に接続する構成を 有する。 さらに、 第 2の電極と して、 第 1の非線形抵抗層 3上の上 部電極 6 と、 その上部電極 6 と接続する表示電極 7 と、 第 1 の陽極 酸化用電極 5の一部をなす接続電極 8 とを酸化ィンジゥム錫 （ I T O ) 膜にて設ける。

そして、 下部電極 2 と第 1 の非線形抵抗層 3 と上部電極 6 とによ つて、 丁 F D構造の非線形抵抗素子 9を構成する。

さらに、 表示電極 7の一部は第 2の陽極酸化用電極 1 2 6に接続 する補助電極 1 2 7を覆い、 表示電極 7と補助電極 1 2 7により遮 光部を構成する。

また、 第 1の基板 1上と非線形抵抗素子 9 と信号電極 4 と表示電 極 7 と第 1 の陽極酸化用電極 5 と第 2の陽極酸化用電極 1 2 6上と に酸化タンタル膜 （T a 2 O 5 ) からなる絶縁膜 4 8を設ける。

その絶縁膜 4 8には、 第 1の陽極酸化用電極 5 と第 2の陽極酸化 用電極上に分離用開口部 9 2を設ける。 その分離用開口部 9 2 と同 —な分離辺 1 0によ り、 第 1の陽極酸化用電極 5は分離して独立す る信号電極 4を構成し、 第 2の陽極酸化用電極 1 2 6は独立する補 助電極 1 2 7を構成する。

さらに、 表示電極 7の周囲においては、 開口部 4 9を設け、 補助 電極 1 2 7は、 表示電極 7あるいは絶縁膜 4 8の開口部 4 9 と同一 な分離辺 1 0により表示電極 7毎に分離し、 遮光部となる。

接続電極 8上にも開口部 9 3を設けて、 外部回路との接続を可能 にしている。 第 2の基板 1 1側の構成は前述の実施例と同様であり、 表示電極 7の間隙からの光の漏れを防止するためのク ロム （C r ) 膜からな るブラックマ ト リ クス と、 対向電極 1 3 と、 ブラック ， マ ト リ クス と対向電極 1 3 との電気的絶縁性を確保するために層間絶縁膜等を 有する。

この第 1 の基板 1 と第 2の基板 1 1 を一定の間隔で張り合わせ、 液晶を封入して液晶表示装置とする。

この第 8実施例の構成によ り、 第 1の電極からなる第 2の陽極酸 化用電極 1 2 6は、 第 1 の陽極酸化用電極 5から初期よ り独立して いる。 そのため第 2の陽極酸化用電極 1 2 6の影響を第 1 の陽極酸 化用電極 5に与えるこ とがない。 さ らに、 第 2の陽極酸化用電極 1 2 6は、 表示領域の周囲部において、 第 2の電極からなる表示電極 7、 あるいは絶縁膜 4 8 の開口部 4 9 と 自己整合的に分離する分離 辺 1 0を有し、 表示亀極 7毎に独立する遮光部を構成する。

さ らに、 第 2の陽極酸化用電極 1 2 6上に設ける第 2 の非線形抵 抗層 1 2 8 を第 1 の陽極酸化用電極 5によ り下部電極 2上に設ける 第 1 の非線形抵抗層 3 よ り膜厚を厚く し、 絶縁性を高めておく 、 そ のため、 表示電極 7 と補助電極 1 2 7が電気的短絡を起しても、 表 示品質に影響を与えるこ となく 、 歩留ま り良く なる。

〔第 9実施例〕

次に、 この発明の第 9実施例による液晶表示装置について、 第 2 2図及び第 2 3図に基づいて説明する。

第 2 2図はその液晶表示装置の一部分を拡大して示す平面図であ り、 第 2 3図は第 2 2図の K一 K線に沿う断面図である。 これらの 図において、 第 1 5図および第 1 6図と対応する部分には同一符号 を付してある。

この実施例における第 1 の基板 1上には、 タンタル （ T a ) 膜か らなる第 1 の電極と して、 下部電極 2 と、 第 1 のデータ電極 8 1 と 第 1 のデータ電極 8 1 と下部電極 2 を接続する配線接続部 7 6 と、 3 第 1の陽極酸化用電極 5 と、 第 2の陽極酸化用電極 1 2 6 と、 補助 電極 1 2 7 と、 その相互接続用電極 6 6 とを設けている。

下部電極 2 と第 1の陽極酸化用電極 5 と第 1のデータ電極 8 1上 には、 第 1の電極の陽極酸化膜と して酸化タ ンタル （T a 2 05 ) 膜からなる第 1の非線形抵抗層 3を設ける。

また、 第 2の陽極酸化用電極 1 2 6 と補助電極 1 2 7上には、 第 1の電極の陽極酸化膜と して酸化タ ンタル （T a2 O5 ) 膜からな る第 2の非線形抵抗層 1 2 8を設ける。

第 1の陽極酸化用電極 5 と第 2の陽極酸化用電極 1 2 6 とは相互 に分離している。 また、 第 2の非線形抵抗層 1 2 8は、 非線形抵抗 素チ 9に用いる第 1の非線形抵抗層 3に比較し膜厚を厚く してある _t この第 1の電極からなる第 1の陽極酸化用電極 5は、 第 2 2図に 示すよ うに、 N列の第 1のデータ電極 8 1 を表示領域の周囲におい て相互に接続する構成を有する。 また、 第 2の陽極酸化用電極 1 2 6は複数の補助電極 1 2 7を相互に接続する構成を有する。

さ らに、 第 2の電極と して、 第 1のデータ電極 8 1上に第 2のデ ータ電極 8 3を設け、 第 2のデータ電極 8 3に接続し、 下部電極 2 上の第 1の非線形抵抗層 3上にデータ電極用上部電極 8 4を設け、 補助電極 1 2 7の一部と第 1の基板 1上とに表示電極 7を設け、 下 部電極 2上の第 1の非線形抵抗層 3上に、 表示電極 7に接続する表 示電極用上部電極 8 5を、 いずれも酸化インジウム錫 （ I TO) 膜 にて設ける。

また、 第 2のデータ電極 8 3に接続して、 第 1の陽極酸化用電極 5の一部をなす接続電極 8 も、 上記第 2の電極と共に酸化イ ンジゥ ム錫 （ I T O) 膜にて設ける。

この下部電極 2 と第 1の非線形抵抗層 3 とデータ電極用上部電極 8 4 とによって、 T F D構造の第 1の非線形抵抗素子 8 6を構成す る。

さ らに、 この下部電極 2 と第 1の非線形抵抗層 3 と表示電極用上 部電極 8 5 とによって、 T F D構造の第 2の非線形抵抗素子 8 7を 構成する。

そして、 表示電極 7の一部は第 2の陽極酸化用電極 1 2 6 に接続 する補助電極 1 2 7を覆い、 表示滬極 7 と補助電極 1 2 7によ り遮 光部を構成する。

さらにまた、 第 1 の基板 1上と非線形抵抗素子 8 6 , 8 7 と、 第 2のデータ電極 8 3 と、 表示亀極 7 と、 第 1 の陽極酸化用電極 5 と 第 2の陽極酸化用電極 1 2 6の各上面を覆う よ うに、 酸化タンタル 膜 （T a 2 05 ) からなる絶縁膜 4 8を設ける。

その絶縁膜 4 8には、 第 1 の陽極酸化用電極 5 と第 2の陽極酸化 用電極 1 2 6上に分離用開口部 9 2 を設ける。 そして、 その分離用 開口部 9 2 と同一な分離辺 1 0により第 1 の陽極酸化用電極 5は分 離して、 独立する第 1 のデータ電極 8 1 を構成する。 第 2の陽極酸 化用電極 1 2 6 も分離して独立する補助電極 1 2 7を構成する。

さ らに、 表示電極 7の周囲においては開口部 4 9を設け、 補助電 極 1 2 7は、 表示電極 7あるいは絶縁膜 4 8の開口部 4 9 と同一な 分離辺 1 0によ り表示電極 7毎に分離して遮光部となる。

この第 9実施例の構成によ り、 第 1 の電極からなる第 2の陽極酸 化用電極 1 2 6は、 第 1 の陽極酸化用電極 5から初期よ り独立して いる。 そのため第 2の陽極酸化用電極 1 2 6の影響を第 1 の陽極酸 化用電極 5に与えるこ とがない。 さ らに、 第 2の陽極酸化用電極 1 2 6は、 表示領域の周囲部において第 2の電極からなる表示電極 7 あるいは絶縁膜 4 8の開口部 4 9 と 自己整合的に分離する分離辺 1 0を有し、 表示電極 7毎に独立する遮光部を構成する。

さ らに、 第 2の陽極酸化用電極 1 2 6上に設ける第 2の非線形抵 抗層 1 2 8を第 1 の陽極酸化用電極 5によ り下部電極 2上に設ける 第 1 の非線形抵抗層 3 よ り膜厚を厚く し、 絶縁性を高めておく 、 そ のため、 表示電極 7 と表示電極 7の補助電極 1 2 7が電気的短絡を 起しても、 表示品質に影響を与えることなく歩留ま り良く表示電極 7の周囲に遮光部 7 5 を設けることができる。

また、 この発明の第 8の実施例と第 9の実施例においては、 非線 形抵抗素子を有する第 1 の基板を液晶表示装置に利用する際に、 非 線形抵抗素子の機械的劣化を防止するために、 絶縁膜を設ける場合 を示したが、 絶縁膜を設けていない場合においても、 本発明は有効 である。

これらの第 5乃至第 9実施例によれば、 陽極酸化用電極の一部を 遮光部に利用することができる。

また、 複数の非線形抵抗素子を有する場合には、 第 1 の信号電極 と下部電極を分離する際に、 陽極酸化用電極と第 1 の信号電極との 分離と、 陽極酸化用電極と遮光部の分離を同時に行なえる。

保護用絶縁膜を有する場合には、 外部回路との接続を行うための 保護用絶縁膜の開口部を形成する際に、 陽極酸化用電極の分離した い部分に保護用絶縁膜の開口部を設け、 その保護用絶縁膜あるいは 保護用絶縁膜の開口部の形成に利用する レジス トをマスクにして、 エッチング処理を行う ことによ り、 容易に陽極酸化用電極の分離が 可能である。

〔第 1 0実施例〕

次に、 この発明の第 1 0実施例による液晶表示装置について、 第 2 4図と第 2 5図に基づいて説明する。

第 2 4図は、 この発明の第 1 0実施例による液晶表示装置の T F D素子を形成する第 1 の基板の一部領域を示す平面図である。 第 2 5図は、 第 2 4図の L一 L線に沿う断面図である。

まず、 これらの図を参照して、 この実施例における T F D素子の 構成を説明する。

T F D素子を形成するァクティブ基板である第 1 の基板 1上には、 いずれも金属膜と してタ ンタル （ T a ) 膜からなる陽極酸化用電極 5 と下部電極 2 とを設ける。

陽極酸化用電極 5 の幅 W 1 は、 下部電極 2の周辺以外では、 信号 電極 4の幅 W 2 よ り広い。

そして、 この陽極酸化用電極 5は、 一方の端部で陽極酸化用電極 5 a によって複数本が電気的に接続され、 他方の端部を外部回路か ら非線形抵抗素子に信号を印加するための接続電極 8に接統する。 この陽極酸化用電極 5は、 下部電極 2の表面に非線形抵抗層 3を陽 極酸化用処理によ り形成するときの電極と して使用する。

したがって、 信号電極 4 と表示電極 7 との間には幅 W 1の広い陽 棰酸化用電極 5を有する。 陽極酸化用電極 5の一部であるエツチン グ除去部 1 2 1 は、 最終形状では除去される。 すなわち、 この第 2 図は製造工程の途中を示し、 説明を理解し易いよ うにしている。 さ らに、 この下部電極 2の表面には、 この下部電極 2を陽極酸化 処理して形成する酸化タンタル （T a 2 O 5 ) 膜からなる非線形抵 抗層 3 を設ける。

さらに、 陽極酸化用電極 5の一部である重なり部 1 2 2 と、 基板 1上に透明導電膜を設けて表示電極 7 とする。 そして、 この表示電 極 7に接続する上部電極 6を下部電極 2上に設ける。 さ らに、 陽極 酸化用電極 5上にも透明導電性膜を設け接続電極 8 とする。

表示電極 7の一部領域は、 陽極酸化用電極 5の一部領域とオーバ ーラ ップする領域である重なり部 1 2 2 を有する。

そして、 下部電極 2 と非線形抵抗層 3 と上部電極 6 とによ り非線 形抵抗素子 （T F D素子） 9を構成する。

ここで、 上部電極 6 と表示電極 7 とは、 いずれも透明導電膜、 た とえば酸化インジウム錫 （ I T O ) 膜で構成する。

さ らに、 陽極酸化用電極 5の一部からなる信号電極 4 と、 表示電 極 7の下部にある重なり部 1 2 2 との間にあるエッチング除去部 1 2 1 は除去され、 信号電極 4 と透明導電性膜からなる表示電極 7 と は分離する構造となる。

複数の信号電極 4を接続する陽極酸化用電極 5 a も除去され、 各 信号電極 4は独立したものとなる。

さ らに、 表示電極 7間にあるエッチング除去部 1 2 1 も除去され 各表示電極 7 も独立したものとなる。

このため、 陽極酸化用電極 5の幅 W 1 は信号電極 4 と しての幅 W 2 となる。

すなわち、 陽極酸化を行う以前には、 陽極酸化用電極 5 と してそ の電極の輻は W 1であり、 信号電極 4の幅 W 2 よ り幅を広く し、 表 示電極 7の下部まで広げておく。 さらに隣接する表示電極 7の間も 陽極酸化用電極 5によ り連結している。

表示鼋棰 7を設けた後に、 陽極酸化用電極 5のエッチング加工を 行い、 陽極酸化用電極 5の一部であるエッチング除去部 1 2 1 を除 去し、 信号霪極 4の幅を W 2 とする。 さらに、 隣接する表示電極 7 の間に設けたエッチング除去部 1 2 1 も除去し、 孤立した表示電極 7 とする。

この構造を用いることによ り、 陽極酸化用電極 5を陽極酸化時に は幅を広く （W 1 ) し、 短時間に均一な陽極酸化膜 3を形成可能に する。

通常、 表示電極 7が透明導電性膜の場合には、 透明なため表示電 極 7の周囲のエッチング状況を検査することが難しい。

しかし、 本実施例によれば、 表示電極 7の周辺には陽極酸化用電 極 5 と してタンタル膜と酸化タンタル膜があるため、 表示電極 7が 透明導電性膜であっても、 エッチング除去部 1 2 1 のエッチングの 際に透明導電性膜がエッチングマスク となり、 タンタルあるいは酸 化タンタル膜とタンタル膜が残り、 表示電極 7の周辺の透明導電性 膜のエッチング状況を検査しやすく なる。

さ らに、 透明導電性膜がわずかに残る場合には、 エッチング除去 部 1 2 1のエッチング処理の際に、 その透明導電性膜も除去でき、 表示電極 7の周辺のエッチング残膜をきれいに取ることができる。

さらに、 陽極酸化用電極 5の幅 （W 1 ) を広く してあるため、 信 号電極 4の幅 （W 2 ) 內に断線箇所がある場合には、 表示電極 7 と 信号電極 4の間の陽極酸化用電極 5を利用して、 信号電極 4の断線 を防止することができる。

第 2 6図は、 この実施例において信号電極 4に断線箇所 4 dが発 生している状況を示す平面図である。

訂正された用 ¾ ( 91) この図では、 信号電極 4の幅 W 2 より深い （深さ W 3 ) 断線箇所 4 dが発生した場合の例を示してある。 信号電極 4が従来の電極幅 W 2のままでは断線してしま う。 すなわち、 陽極酸化を行う ことが できない。 さ らに、 非線形抵抗素子 9 ( T F D素子） に外部よ り鬣 圧を印加することができない。

しかし、 この実施例では、 陽極酸化用電極 5 を信号電極 4の幅 W .2 よく広く しているため、 陽極酸化を行う ことができる。 さらに、 信号電極 4の周囲に形成する陽極酸化用 ¾極 5の一部を利用して信 号電極 4の断線箇所を迂回されるよ うに形成することによ り、 信号 電極 4は断線しない。

さらに、 表示電極 7の下部にある重なり部 1 2 2の一部を信号鴛 極 4の迂回部と して使用するため、 表示電極 7には一部を削除する 削除部 7 a を設けている。

このよ うに、 腸極酸化用電極 5の幅を広く してあるため、 陽極酸 化膜の均一性の向上と断線による陽極酸化膜の形成できない部分を 防止できるため、 歩留ま りおよび陽極酸化膜の性能を向上できる。 次に、 この第 1 0実施例による液晶表示装握のアクティブ基板の 製造方法を説明する。 第 2 7図から第 2 9図は、 その製造方法をェ 程順に示す第 2 5図と対応する断面図である。

先ず始めに第 2 7図に示すガラスからなるァクティブ基板である 第 1 の基板 1 上の全面に、 金属膜と してタンタル （T a ) 膜を 1 5 0 n mの膜厚でスパッタ リ ング法で形成する。

その後、 そのタンタル膜上の全面に感光性樹脂 （図示せず） を回 転塗布法によ り形成し、 所定のホ トマスクを用いて露光， 現像処理 を行って感光性樹脂をパターン形成し、 その後このパターニングし た感光性樹脂をェッチングマスクに用いて、 タンタル膜をェッチン グするホ トエッチング処理によ り、 陽極酸化用電極 5 と下部電極 2 と複数の信号電極 4 (陽極酸化用電極） を接続する部分とをパター ン形成する。

ここでタンタル膜のエッチングは、 反応性イオンエッチング （以

訂正された^！^ (規則 9Γ) 下 R I Eと記載する） 装置を用いて行う。

そのエッチング条件は、 エッチングガスと して六弗化硫黄 （S F 6 ) と酸素 （02 ) との混合ガスを用いる。 そして六弗化硫黄の流 量が 1 0 0〜 2 0 Osccm、 酸素流量が 1 0〜 4 0 sccmと し、 圧力が

4 ~ 1 2 X 1 0 -² torrと し、 さ らに使用電力が 0.2〜 0.5 kWZ c m² で行う ₀

. その後、 陽極酸化用電極 5を陽極と し、 陽極酸化液と して、

0.1〜 1.0 w t %のクェン酸水溶液あるいはホウ酸アンモニゥム 水溶液を用いて、 3 0〜 4 0 Vの電圧を印加して、 タンタル膜の陽 極酸化処理を行う。

その結果、 下部電極 2 と陽極酸化用電極 5の側壁と上面の表面に、 酸化タンタル膜 （T a 2 05 ) からなる非線形抵抗層 3が 6 0〜 7

5 n mの膜厚で形成される。

つぎにスパッタ リ ング法を用いて、 透明導鴛性膜と して酸化イン ジゥム錫 （ I T O) 膜を膜厚 1 0 0 n mで全面に形成する。 その後、 その酸化イ ンジウム錫膜上に感光性榭脂 （図示せず） を形成する。 そして、 酸化インジウム錫膜をエッチング処理して、 第 2 8図に 示すように、 表示電極 7 と、 表示電極 7に接続する上部電極 6 と、 図示されない接続電極 8 とを同時にパターン形成する。

この酸化インジウム錫のエッチングは、 酸化第二鉄と塩酸の水溶 液エツチャン トを用いるゥエツ トエッチングによ り行う。 なおこの ときのエッチヤン ト液温は 3 0 〜 4 0でに設定する。

つぎに第 2 9図に示すよ うに、 陽極酸化用電極 5 と表示電極 7の 下部にある重なり部 1 2 2 との間にあるエツチング除去部 1 2 1 を パターン形成するために、 感光性榭脂 1 2 5を形成する。 エツチン グ除去部 1 2 1 は、 感光性樹脂 1 2 5 と酸化イ ンジュゥム錫膜から なる表示電極 7をエッチング用のマスクと し、 R I E装置を使用し ェツチング処理する。

このエッチング条件は、 エッチングガスと して六弗化硫黄 （S F ) と酸素 （O2 ) との混合ガスを用いる。 そして、 六弗化硫黄の

訂 流量が 1 0 0〜 2 0 0 sccm、 酸素流量が 1 0〜 4 0 seemで、 圧力が 4〜： L 2 X 1 0-²torrと し、 使用電力が 0. 2 ~ 0. 5 k W/ c m ² で行う。

上記のエッチング条件では、 酸化インジウム錫をほとんどエッチ ングすることなく、 タンタル膜と非線形抵抗層 3の酸化タンタル膜 だけをエッチングすることができる。

そのため、 陽極酸化用電極 5の一部からなる信号電極 4 と表示電 極 7の重なり部 1 2 2 とを、 エッチング除去部 1 2 1 をエッチング 除去することによ り分離できる。

以上の工程によ り、 第 1 0実施例の第 2 5図に示したように、 陽 極酸化用電極 5は表示電極 7 と分離して信号電極 4 となり、 外部回 路 （図示せず） と接続する接続電極 8 と、 信号電極 4及びそれと接 続する下部電極 2 と、 その下部電極 2上に形成する非線形抵抗層 3 と、 非線形抵抗層 3上に形成する上部電極 6 とを介して、 上部電極 6に接続する表示電極 7に目的の電圧を印加できる。

また、 非線形抵抗素子 （T F D素子） 9は、 下部電極 2 と非線形 抵抗層 3 と上部電極 6によ り形成する。

この実施例においては、 陽極酸化用電極 5 をエッチング処理にて 加工するときに、 感光性樹脂 1 2 5 と表示電極 7 とをエッチング用 マスク と して使用する。 このため、 エッチング除去部 1 2 1 を表示 電極 7の下面領域に整合するよ うな形状に形成することができる。

そのため、 例えば酸化インジュゥム錫膜がェツチング除去部 1 2 1上に薄く あるいは僅かに残る、 いわゆるエッチング不良が発生し た場合においても、 エッチング除去部 1 2 1 のエッチングを行う際 に、 信号電極 4 と表示電極 7の間にあるエッチング不良部の透明導 電性膜を同時に除去できる。

さ らに、 大きな面で酸化インジユウム錕膜がエッチング後に残る 場合にも、 エッチング除去部 1 2 1上に酸化インジユウム錫膜が残 るため、 酸化ィンジゥム錫膜の下部に非線形抵抗層 3である酸化タ ンタルと下部電極 2であるタンタルが残るため、 透明導電性膜のみ に比べショー ト箇所の検査が非常に容易になる。

さ らに、 液晶表示装置と して、 第 1の基板 1 と第 2の基板 （図示 せず） を張り合わせて液晶を封入した後には、 液晶の屈折率あるい は基板 1の厚み、 または配向膜等の屈折率のために、 表示電極 7の 周囲の透明導電性膜のエッチング残膜は検出が難しい。

この場合にも、 タンタル等がエッチング残膜と して残るため、 検 出が極めて容易になる。

〔第 1 1実施例〕

つぎに、 この発明の第 1 1実施例による液晶表示装置について、 第 3 0図および第 3 1図に基づいて説明する。

第 3 0図は、 この第 1 1 実施例における液晶表示装置の T F D素 子を形成する第 1 の基板の一部領域を示す平面図であり、 第 3 1図 は、 第 3 0図の M— M線に沿う断面図である。

これらの図を参照して、 この第 1 1 の実施例における T F D素子 の構成を説明する。

第 1 の基板 1 の上には、 いずれも金属膜と してタンタル （T a ) 膜からなる陽極酸化用電極 5 と、 島状の下部電極 2 と、 陽極酸化用 電極 5 と下部電極 2 とを接続する配線接続部 7 6 (仮想線にて図示） を設ける。

陽極酸化用電極 5の幅は島状の下部電極 2の周辺以外では、 第 1 のデータ電極 8 1 の幅 W 2 よ り広い W 1 となっている。

陽極酸化用電極 5は、 一方の端部を陽極酸化用電極 5 aによって 複数本が相互に接続され、 他方の端部は外部回路から非線形抵抗素 子に信号を印加するための接続電極 8に被覆されている。

この陽極酸化用電極 5は、 下部電極 2の表面に非線形抵抗層 3を 陽極酸化処理によ り形成するときの電極と して使用する。

第 1 のデータ電極 8 1 と表示電極 7 との間には陽極酸化用電極 5 を有する。 陽極酸化用電極 5の一部であるエッチング除去部 1 2 1 は最終構造では除去される。 さ らに、 第 1 のデータ電極 8 1 と島状の下部電極 2に接続する配 線接続部 7 6 も最終構造では除去される。 すなわち、 この第 3 0図 の平面図と第 3 1図の断面図は製造工程の途中を破線にて示し、 説 明を理解しやすいよ うにしている。

さ らに、 この陽極酸化用電極 5 と配線接続部 7 6を介する島状の 下部電極 2の表面には、 このタンタル膜を陽極酸化処理して形成す る酸化タンタル （T a 2 O 5 ) 膜からなる非線形抵抗層 3を設ける, そして、 陽極酸化用電極 5の重なり部 1 2 2上と、 基板 1上に透 明導電性膜を設けて表示電極 7 とする。 さ らに、 この表示電極 7に 接続する表示電極用上部電極 8 5 を下部電極 2上に設ける。 さ らに 陽極酸化用電極 5上に第 2のデータ電極 8 3を設け、 さ らに第 2の データ電極 8 3に接続するデータ電極用上部電極 8 4を設ける。

さ らに、 外部回路から非線形抵抗素子部に信号を印加するための タンタルからなる陽極酸化用電極 5に上に透明導電性膜からなる接 続電極 8 を設ける。 接続電極 8 においては、 陽極酸化用電極 5のタ ンタルは額縁状の形状をしている。 また、 透明導電性膜による接続 電極 8は額縁状のタ ンタルを覆っている。

この形状にすることによ り、 外部回路と接続電極 8 との接続を行 う場合に、 額縁状のタ ンタルによ り透明導電性膜よ り位置を明確に できるため、 合わせ精度が向上する。 さ らに、 額縁状タ ンタルの内 と外に透明導電性膜を設けるこ とによ り 、 外部回路と入力部の接続 状況を透明導電性膜パッ ド部を透して確認できる。

4 特に、 集積回路 （ I C ) と入力部を導電ペース ト等の媒介を利用 し、 接続電極 8上に直に接続する、 いわゆるチップ · オン · ガラス ( C O G ) 法の場合には、 透明導電性膜のみでは合わせ精度が悪い ため、 タンタルを額縁状に設けることによ り合わせ精度が向上する, そして、 島状の下部電極 2 と非線形抵抗層 3 とデータ電極用上部 電極 8 4 とによ り第 1 の非線形抵抗素子 （丁 F D素子） 8 6 を構成 する。 さ らに、 島状の下部電極 2 と非線形抵抗層 3 と表示電極用上 部電極 8 5 とによ り 、 第 2の非線形抵抗素子 （T F D素子） 8 7を 構成する。

ここで、 表示電極用上部電極 8 5 とデータ電極用上部電極 8 4 と 表示電極 7 とは、 いずれも透明導電膜、 たとえば酸化イ ンジウム錫 ( I T O ) 膜で構成する。

さ らに、 陽極酸化用電極 5 と透明導電性膜からなる表示電極 7 と の重なり部 1 2 2 と、 第 2のデータ電極 8 3の下部にあるタンタル からなる第 1 のデータ電極 8 1 を分離する構造である。 そして、 第 1 のデータ電極 8 1 と表示電極 7間にあるエッチング除去部 1 2 1 も除去し、 表示電極 7 と分離する。

このため、 陽極酸化用電極 5の幅 W 1 は第 1 のデータ電極 8 1 と しての幅 W 2 となる。

したがって、 陽極酸化時には陽極酸化用電極 5の幅 W 1 と して第 1 のデータ電極 8 1 の幅 W 2 よ り広く し、 表示電極 7の下部まで広 げておく。 さ らに隣接する表示電極 7の間も陽極酸化用電極 5によ り連結している。

第 2のデータ電極 8 3 と表示電極 7 とを設けた後に、 第 1 のデ一 タ電極 8 1 と島状の下部電極 2 との間を接続する配線接続部 7 6の エッチング加工を行い、 孤立する島状の下部電極 2 を設けると同時 に、 第 1 のデータ電極 8 1 と表示電極 7の間にあるエッチング除去 部 1 2 1 のエッチング加工を行い、 孤立する表示電極 7 と第 1 のデ ―タ電極 8 1 とする。

この構造を用いるこ とによ り、 陽極酸化用電極 5 を陽極酸化時に

訂 幅が W l と広いので、 短時間に均一な陽極酸化膜を形成可能になる, さ らに、 第 2 6図の例と同様に、 陽極酸化用電極の幅を広く して あるため、 第 1 のデータ電極 8 1 の幅 W 2内に断線箇所がある場合 には、 表示電極 7 とデータ電極 8 1 , 8 3の間の陽極酸化用電極 5 を利用して、 第 1 のデータ電極 8 1 の断線を防止することができる, またこの実施例によれば、 第 1 のデータ電極 8 1から島状の下部 ®極 2 を分離する必要があるが、 そのため、 陽極酸化用電極 5から 第 1 のデータ電極 8 1 に加工を行う工程も同時に行う ことができる ため、 工程の付加にはならない。

つぎに、 この第 1 1 実施例による液晶表示装置のアクティブ基板 の製造方法を、 第 3 2図から第 3 4図を用いて説明する。

第 3 2図から第 3 4図は、 この第 1 2実施例における液晶表示装 置のァクティブ基板の製造方法を工程順に示す第 3 1 図に相当する 断面図である。

先ず始めに、 第 3 2図に示すガラスからなるアクティブ基板であ る第 1 の基板 1 上の全面に、 金属膜と してタ ンタル （T a ) 膜を 2 0 0 n mの膜厚でスパッタ リ ング法で形成する。

その後、 タンタル膜上の全面に感光性樹脂 （図示せず） を回転塗 布法によ り形成し、 所定のホ トマスクを用いて露光， 現像処理を行 い、 感光性榭脂をパターン形成する。

その後、 このパターニングした感光性榭脂をエッチングマスクに 用いて、 タンタル膜をェツチングするホ トェツチング処理によ り、 第 1 のデータ電極 8 1 となる部分を含む陽極酸化用電極 5 と、 島状 の下部電極 2 と、 陽極酸化用電極 5 と島状の下部電極 2 とを接続す る配線接続部 7 6 と、 複数の陽極酸化用電極 5 をお互いに接続する よ うにパターン形成する。

ここでタンタル膜のエッチングは、 R I E装置を用いて行う。

そのエッチング条件は、 エッチングガスと して六弗化硫黄 （ S F

6 ) と酸素 （02 ) との混合ガスを用いる。 そして六弗化硫黄の流 量が 1 0 0〜 2 0 0 sccm、 酸素流量が 1 0〜 4 Osccmで、 圧力が 4 - 1 2 X 1 0 -²torrと し、 さ らに使用電カが 0.2〜 0.5 k Wノ c m² で行う。

その後、 陽極酸化用電極 5を陽極と し、 陽極酸化液と して、

0.0 1〜 1.0 w t %のクェン酸水溶液あるいはホウ酸アンモニゥ ム水溶液又は燐酸水溶液を用いて、 1 6〜 2 0 Vの電圧を印加して タンタル膜の陽極酸化処理を行う。

この結果、 下部電極 2 と陽極酸化用電極 5の側壁と上面の表面に 酸化タンタル膜 （T a 2 O5 ) からなる非線形抵抗層 3を 3 0〜 4 0 n mの膜厚で形成する。

つぎに、 スパッタ リ ング法を用いて、 透明導電性膜と して酸化ィ ンジゥム錫 （ I TO) 膜を膜厚 1 5 O n mで全面に形成する。 その 後、 酸化イ ンジウム錫膜上に感光性樹脂 （図示せず） を形成する。 その後、 酸化インジウム錫膜をエッチング処理して、 第 3 3図に 示すよ うに、 表示電極 7 と、 表示電極 7に接続する表示電極用上部 電極 8 5と、 接続電極 8 と、 第 2のデータ電極 8 3 と、 第 2のデ一 タ電極 8 3に接続するデータ電極用上部電極 8 4 とを同時にパター ン形成する。

この酸化インジウム錫のエッチングは、 臭素 （H B r ) の水溶液 エツチャン トを用いるゥエツ トエッチングによ り行う。 このときの エッチヤン ト液温は 2 5 °C〜 3 0 °Cに設定する。

つぎに、 第 3 4図に示すよ うに、 陽極酸化用電極 5 と島状の下部 電極 2 とを接続する配線接続部 7 6を除去し、 孤立する島状の下部 電極 2を形成するために、 感光性樹脂 1 2 5を形成する。 この際陽 極酸化用電極 5の一部であるエッチング除去部 1 2 1 を除去し、 陽 極酸化用電極 5を第 1のデータ電極 8 1 と、 表示電極 7の下部にあ る重なり部 1 2 2 とに分離する。

この陽極酸化用電極 5は、 感光性樹脂 1 2 5 と酸化イ ンジウム錫 膜からなる表示電極 7 と、 第 2のデーター電極 8 3 とをエッチング 用のマスク と して、 R I E装置を使用してエッチング処理する。

このエッチング条件は、 エッチングガスと して六弗化硫黄 （ S F 6 ) と酸素 （02 ) との混合ガスを用いる。 そして六弗化硫黄の流 量が 1 0 0〜 2 0 0 seem, 酸素流量が 1 0〜 4 Osccmで、 圧力が 4 〜 ： I 2 X 1 0-²torrと し、 さ らに使用電力が 0.2〜 0. 5 k Wノ c m ² で行う。

上記のエッチング条件では、 酸化インジウム錫をほとんどエッチ ングするこ となく 、 配線接続部 7 6 とエッチング除去部 1 2 1 のタ ンタル膜と酸化タンタル膜だけをェツチングするこ とができる。 以上の工程によ り、 第 3 1図に示したよ うに、 陽極酸化用電極 5 は、 第 1 のデータ電極 8 1 と、 表示電極 7の下部にある重なり部 1 2 2 とに分離され、 外部回路の信号を以下に示す経路で印加できる < すなわち、 外部回路 （図示せず） と接続する接続電極 8 と、 陽極 酸化用電極 5に接続する第 1 のデータ電極 8 1 と、 第 2のデータ電 極 8 3 と、 第 2のデータ電極 8 3に接続するデータ電極用上部電極 8 4 と、 非線形抵抗層 3 と、 島状の下部電極 2 と、 非線形抵抗層 3 と表示電極用上部電極 8 5 とを介して、 表示電極用上部電極 8 5に 接続する表示電極 7に目的の電圧を印加する。

この実施例においては、 島状の下部電極 2を分離するために、 感 光性樹脂 1 2 5 と表示電極 7 と第 2のデータ電極 8 3をエッチング 用マスク と して使用 してエッチングを行う。 このとき同時に、 陽極 酸化用電極 5の内、 第 1 のデータ電極 8 1 と重なり部 1 2 2 との間 のエッチング除去部 1 2 1 を除去するため、 工程の增加にはならな い ₀

〔第 1 2実施例〕

つぎに、 この発明の第 1 2実施例による液晶表示装置について、 第 3 5図および第 3 6図に基づいて説明する。

第 3 5図は、 この第 1 2実施例における液晶表示装置の T F D素 子を形成する第 1 の基板の一部領域を示す平面図である。 第 3 6図 は、 第 3 5図の N— N線に沿う断面図である。 この実施例では、 第 1 1 実施例の陽極酸化用電極 5 を表示電極 7 の上下左右まで延ばし、 重なり部 1 2 2を表示電極 7 の上下左右に 設ける。

第 1 の基板 1 の上には、 いずれも金属膜と してタンタル （T a ) 膜からなる陽極酸化用電極 5 と、 島状の下部電極 2 と、 陽極酸化用 電極 5 と下部電極 2 とを接続する配線接続部 7 6 (第 3 5図に仮想 線で図示） を設ける。

この陽極酸化用電極 5の幅は、 島状の下部電極 2の周辺以外では 第 1 のデータ電極 8 1 の幅 W 2 よ り広い幅 W 2 を有する。 さ らに、 陽極酸化用電極 5は、 上下左右にお互いに接続している。

また、 陽極酸化用電極 5は、 一方の端部をランナー部 5 a によつ て複数本の互いに接続する構成を有し、 他方の端部は外部回路から 非線形抵抗素子に信号を印加するための接続電極 8で被覆されてい る。 この陽極酸化用電極 5は、 下部電極 2 の表面に非線形抵抗層 3 を陽極酸化処理によ り形成するときの電極と して使用する。

この第 3 5図の第 1 のデータ電極 8 1 と表示電極 7 との間、 およ び表示電極 7間にも陽極酸化用電極 5を有する。 陽極酸化用電極 5 の一部であるエッチング除去部 1 2 1 は最終構造では除去される。

さ らに、 第 1 のデータ電極 8 1 と島状の下部電極 2に接続する配 線接続部 7 6 も、 最終構造では除去される。 すなわちこの第 3 5図 の平面図と第 3 6図の断面図は製造工程の途中を仮想線にて示し、 説明を理解しやすいよ う にしている。

さ らに、 この陽極酸化用電極 5 と配線接続部 7 6 を介する島状の 下部電極 2 の表面には、 このタ ンタル膜を陽極酸化処理して形成す る酸化タンタル （T a 2 O 5 ) 膜からなる非線形抵抗層 3を設ける。 そして、 陽極酸化用電極 5の重なり部 1 2 2上と基板 1上に透明 導電性膜を設け、 表示電極 7 とする。 さ らにこの表示電極 7に接続 する表示電極用上部電極 8 5を下部電極 2上に設ける。 また、 陽極 酸化用電極 5上に第 2のデータ電極 8 3 を設け、 さ らに第 2のデ一 タ電極 8 3に接続するデータ電極用上部電極 8 4 を設ける。 さ らに、 外部回路から非線形抵抗素子部に信号を印加するための タンタルからなる陽極酸化用電極 5の上に、 透明導電性膜からなる 接続電極 8を設ける。 この接続電極 8においては、 タ ンタルは額縁 状の形状をしている。 また、 透明導電性膜は額縁状のタンタルを覆 つている。 この形状にすることによ り、 外部回路と接続電極 8 との 接続を行う場合に、 額縁状のタンタルによ り透明導電性膜よ り位置 を明確にできるため、 合わせ精度が向上する。 さらに、 額縁状タン タルの内と外に透明導電性膜を設けることによ り、 外部回路と入力 部の接続状況を透明導電性膜パッ ド部を透して確認できる。

と く に、 集積回路 （ I C ) と入力部を導電ペース ト等の媒介を利 用し、 接続電極 8上に直に接続する、 いわゆるチップ · オン · ガラ ス （ C O G ) 法の場合には、 透明導電性膜のみでは合わせ精度が悪 いため、 タンタルを額縁状に設けることによ り合わせ精度が向上す る。

そして、 島状の下部電極 2 と非線形抵抗層 3 とデータ電極用上部 電極 8 4 とによ り第 1 の非線形抵抗素子 （T F D素子） 8 6を構成 する。 さ らに、 島状の下部電極 2 と非線形抵抗層 3 と表示電極用上 部電極 8 5 とによ り第 2の非線形抵抗素子 （T F D素子） 8 7を構 成する。

こ こで表示電極用上部電極 8 5 とデータ電極用上部電極 8 4 と表 示電極 7 とは、 いずれも透明導電性膜、 たとえば酸化イ ンジウム錫 ( I T O ) 膜で構成する。

さ らに、 陽極酸化用電極 5を、 陽極酸化用電極 5 と透明導電性膜 からなる表示電極 7 との重なり部 1 2 2 と、 第 2のデータ電極 8 3 の下部にあるタ ンタルからなる第 1 のデータ電極 8 1 に分離する構 造である。 また、 第 1 のデータ電極 8 1 と表示電極 7間にあるエツ チング除去部 1 2 1 も除去し、 表示電極 7 と分離する。

このため、 陽極酸化用電極 5 の幅は第 1 のデーター電極 8 1 と し ての幅 W 2 となる。

したがって、 陽極酸化時には陽極酸化用電極 5の幅 W 1 と して第 1 のデータ電極 8 1 の幅 （W 2 ) よ り広く し、 表示電極 7の下部ま で広げておく。 さ らに隣接する表示電極 7の間も陽極酸化用電極 5 によ り連結している。

第 2のデータ電極 8 3 と表示電極 7 とを設けた後に、 第 1 のデ一 タ電極 8 1 と島状の下部電極 2 との間を接続する配線接続部 7 6の エッチング加工を行い、 孤立する島状の下部電極 2を設けると同時 に、 第 1 のデータ電極 8 1 と表示電極 7の間にあるエッチング除去 部 1 2 1 のエッチング加工を行い、 孤立する表示電極 7 と第 1 のデ 一ター電極 8 1 とする。

この構造を用いることによ り、 陽極酸化用電極 5 を陽極酸化時に は幅を広く して且つ上下左右に横断しているため、 短時間に均一な 陽極酸化膜を形成可能となる。

その他の作用効果は第 1 1実施例の場合と同様である。

〔第 1 3実施例〕

つぎに、 この発明の第 1 3の実施例による液晶表示装置について, 第 3 7図と第 3 8図に基づいて説明する。

図 3 7図は、 この第 1 3実施例における液晶表示装置の T F D素 子を形成する第 1 の基板の一部領域を示す平面図であり、 第 3 8図 は、 第 3 7図の P— P線に沿う断面図である。

これらの図を参照して、 この第 1 3実施例における T F D素子の 構成を説明する。

なお、 この実施例は、 第 1 1 実施例に絶縁膜 4 8 を形成し、 絶縁 膜 4 8に開口部 4 9を設け、 開口部 4 9を利用して島状の下部電極 2 と第 1 のデータ電極 8 1 を接続する配線接続部 7 6 をエッチング 除去する。

さ らに、 絶縁膜 4 8の開口部 4 9を第 1 のデータ電極 8 1 あるい は第 2のデータ電極 8 3 と表示電極 7 との間、 あるいは表示電極 7 と表示電極 7の間に設け、 陽極酸化用電極 5の一部すなわちエッチ ング除去部 1 2 1 を除去し、 第 1 のデーター電極 8 1 と表示電極 7 分離する構成からなる。

第 1 の基板 1 の上には、 いずれも金属膜と してタンタル （T a ) 膜からなる陽極酸化用電極 5 と、 島状の下部電極 2 と、 陽極酸化用 電極 5 と下部電極 2 とを接続する配線接続部 7 6 と （仮想線にて図 示） を設ける。

陽極酸化用電極 5の幅 W 1 は島状の下部電極 2の周辺以外では、 第 1データ電極 8 1 の幅 W 1 よ り広い。

陽極酸化用電極 5は、 一方の端部をランナー部 5 a によって複数 本が相互に接続されている。 また、 その陽極酸化用電極 5の他方の 端部は、 外部回路から非線形抵抗素子に信号を印加するための接続 電極 8に被覆されている。

この陽極酸化用電極 5は、 下部電極 2 の表面に非線形抵抗層 3 を 陽極酸化処理により形成するときの電極と して使用する。

この第 3 1図に示す第 1 のデータ電極 8 1 と表示電極 7 との間に は陽極酸化用電極 5を有する。 エッチング除去部 1 2 1 は最終構造 では除去される。

さ らに、 第 1 のデータ電極 8 1 と島状の下部電極 2 に接続する配 線接続部 7 6 も最終構造では除去される。 すなわち、 この第 3 7図 と第 3 8は、 製造工程の途中を仮想線にて示して説明を理解しやす レ、よ うにしている。

さ らに、 この陽極酸化用電極 5 と配線接続部 7 6 を介する島状の 下部電極 2 の表面には、 このタンタル膜を陽極酸化処理して形成す る酸化タンタル （T a 2 O 5 ) 膜からなる非線形抵抗層 3を設ける。 陽極酸化処理を行う場合には、 下部電極 2の上下の 2方向に配線 接続部 7 6 を設けることにより、 例えば片側の配線接続部 7 6が断 線した場合においても、 別の配線接続部 7 6 によ り陽極酸化用電極 5 に接続しているため、 下部電極 2の表面には陽極酸化膜を問題な く形成できる。

さ らに、 陽極酸化用電極 5 の重なり部 1 2 2上と基板 1上に透明 導電性膜を設けて表示電極 7 とする。 そして、 この表示電極 7に接 続する表示電極用上部電極 8 5を下部電極 2上に設ける。 さらに、 陽極酸化用電極 5上に第 2 のデータ電極 8 3を設け、 さ らに、 第 2 のデータ電極 8 3に接続するデータ電極用上部電極 8 4を設ける。 また、 外部回路から非線形抵抗素子部に信号を印加するためのタ ンタルからなる陽極酸化用電極 5上に透明導電性膜からなる接続鴛 極 8を設ける。 この接続電極 8においては、 タンタルは額縁状の形 状をしている。 また、 透明導電性膜は額縁状のタンタルを覆い、 四 角形をしている。 この形状にすることによ り、 外部回路と接続鼋極 8 との接続を行う場合に、 額縁状のタンタルによ り透明導電性膜よ り位置を明確にできるため、 合わせ精度が向上する。

さ らに、 額縁状タンタルの內と外に透明導電性膜を設けることに よ り 、 外部回路と入力部の接続状況を透明導電性膜を透して確認で きる。

そして、 島状の下部電極 2 と非線形抵抗層 3 とデータ電極用上部 電極 8 4 とによ り第 1 の非線形抵抗素子 （T F D素子） 8 6 を構成 する。 さ らに、 島状の下部電極 2 と非線形抵抗層 3 と表示電極用上 部電極 8 5 とによ り第 2の非線形抵抗素子 （T F D素子） 8 7を構 成する。

ここで、 表示電極用上部電極 8 5 とデータ電極用上部電極 8 4 と 表示電極 7 とは、 いずれも透明導電性膜、 たとえば酸化インジウム 錫 （ I T O ) 膜で構成する。

つぎに、 全面に非線形抵抗素子 （T F D ) の液晶表示装置への加 ェを行う場合の外力による劣化あるいは破損の防止と、 第 2のデー タ電極 8 3 と液晶表示装置を構成する対向電極 （図示せず） 間の電 気的短絡の防止と表示電極 7 と対向電極 （図示せず） 間の電気的短 絡の防止のために、 全面に絶縁膜 4 8を設ける。

この絶縁膜 4 8は、 スパッタ リ ング法による酸化タンタル膜 （T a 205) を設ける。

この絶縁膜 4 8に開口部 4 9 と して配線接続部 7 6を除去するた めの配線接続用開口部 9 1 (一点鎖線にて示す） を設ける。 さ らに、 陽極酸化用電極 5 と表示電極 7の重なり部 1 2 2の間のエッチング 除去部 1 2 1上にも、 分離用開口部 9 2を設ける。

さ らに、 接続電極 8においては、 絶縁膜 4 8の接続用開口部 9 3 を透明導電性膜の接続電極 8上に設け、 他の部分には絶縁膜 4 8 を 残してある。

このよ うに、 接続電極 8において、 絶縁膜 4 8を外部回路との接 続電極 8以外の領域に残しておく ことによ り、 絶縁膜 4 8がほとん どの配線上を被覆しているため、 ゴミ等によ り近接する入力部、 配 線同士が電気的短絡を起こすこ とがない。

また、 配線接続部 7 6は、 絶縁膜 4 8 の配線接続用開口部 9 1 と 表示電極 7の辺と同一な辺を有し、 島状の下部電極 2は、 陽極酸化 用電極 5から配線接続用開口部 9 1 と同一辺を有する。 また、 エツ チング除去部 1 2 1 は、 絶縁膜 4 8の分離用開口部 9 2 と表示電極 7の辺と同一な辺を有し、 エッチング除去部 1 2 1 によ り陽極酸化 用電極 5は第 1 のデータ電極 8 1 となり、 独立する表示電極 7の構 成となる。

このため、 陽極酸化用電極 5の幅は第 1 のデータ電極 8 1 と して の幅 W 2 となる。

したがって、 陽極酸化を行う時には、 陽極酸化用電極 5の幅を W 1 と して第 1 のデータ電極 8 1 の幅 W 2 よ り幅を広く しており、 表 示電極 7の下部まで広げておく。 さ らに隣接する表示電極 7の間も 陽極酸化用電極 5によ り連結している。

最後に、 第 2 のデータ電極 8 3 と表示電極 7 とを設け、 さ らに、 絶縁膜 4 8 を設けた後に、 第 1 のデータ電極 8 1 と島状の下部電極 2 との間を接続する配線接続部 7 6のエッチング加工を行い、 孤立 する島状の下部電極 2 を設ける と同時に第 1 のデータ電極 8 1 と表 示電極 7の間にあるエッチング除去部 1 2 1 のエツチング加ェを行 い、 孤立する表示電極 7 と第 1 のデーター電極 8 1 とする。

この構造を用いるこ とによ り 、 陽極酸化用電極を陽極酸化時には 幅を広く し、 短時間に均一な陽極酸化膜を形成可能となる。 5 さらに、 第 2 6図の例と同様に、 陽極酸化用電極の幅 （W 1 ) を 広く してあるため、 第 1 のデータ電極 8 1 の幅 （W 2 ) 内に断線箇 所がある場合には、 表示電極 7 と第 1のデーター極 8 1 め間の陽極 酸化用電極 5 の一部を利用して、 第 1 のデータ電極 8 1 の断線を防 止することができる。

さ らに、 この実施例によれば、 第 1のデータ電極 8 1 から島状の 下部電極 2を分離する必要がある、 さらに、 接続電極 8において絶 縁膜 4 8に開口部を設け、 外部回路との電気的接続を行う必要があ る。 そのため、 絶縁膜 4 8の加工を行う と同時に、 配線接続部 7 6 の除去と、 陽極酸化用電極 5から第 1のデータ一電極 8 1 に加工を 行う工程も同時に行う こ とができるため、 工程の增加には全く なら ない。

また、 絶縁膜 4 8 を第 2のデータ電極 8 3上、 あるいは表示電極 7上に設けることによ り 、 液晶表示装置と して利用する場合に使用 する対向電極との電気的短絡が発生しない。

さ らに、 2つの上部電極を設ける実施例で説明したが、 2つ以上 の上部電極を設けてもよい。

〔第 1 4実施例〕

つぎに、 この発明の第 1 4実施例による液晶表示装置について、 第 3 9図と第 4 0図に基づいて説明する。

この第 1 4実施例は、 T F T素子の構造に関するものである。

図 3 9図は、 この第 1 4実施例による液晶表示装置の T F T素子 を形成する第 1 の基板の一部領域を示す平面図であり、 第 4 0図は、 第 3 9図の Q— Q線に沿う断面図である。

T F T素子を形成するァクティブ基板である第 1 の基板 1 の上に は、 いずれも金属膜と してタンタル （T a ) 膜からなる陽極酸化用 電極 5 と、 陽極酸化用電極 5 の一部からなるゲー ト電極 1 0 1 を設 ける。 また、 陽極酸化用電極 5は、 ゲー ト電極 1 0 1 とエッチング 除去部 1 2 1 と重なり部 1 2 2からなる。 陽極酸化用電極 5の幅はゲー ト電極 1 0 1の周辺以外では幅 W 1 と広い。

この陽極酸化用電極 5は、 一方の端部では図示しない陽極酸化用 電極部によって複数本相互に接続されている構成を有する。 他方の 端部においては、 外部回路から T F T素子に信号を印加するための 接続部 8に被覆されている。 この陽極酸化用電極 5は、 ゲー ト電極 部 1 0 1の表面にゲー ト絶縁膜 1 0 2を陽極酸化処理により形成す るときの電極と して使用する。

この第 3 9図のゲー ト電極 1 0 1 と表示電極 7 との間には陽極酸 化用電極 5の一部を有する。 表示電極 7以外の領域であるェッチン グ除去部 1 2 1は最終構造では除去される。

すなわち、 これらの図では製造工程の途中を仮想線で示し、 説明 を理解しやすいよ うにしている。

さ らに、 この陽極酸化用電極 5 とゲー ト電極 1 0 1の表面には、 このタンタル膜を陽極酸化処理して形成する酸化タンタル （丁 a 2 05 ) 膜からなるゲー ト絶縁膜 1 0 2を設ける。

そ して、 ゲー ト電極 1 0 1の周辺にアモルファスシリ コン （ a — S i ) からなる半導体層 1 0 3を設ける。 さ らに、 半導体層 1 0 3 上に不純物イオンと してリ ン （ P) を含む半導体層 1 0 4を設ける, さ らに、 不純物イオンを含む半導体層 1 0 4上にソース電極 1 0 5 と ドレイ ン電極 1 0 6を設ける。 ソース電極 1 0 5 とデ一ター電 極 1 0 6はモリ ブデン （M o ) にて設ける。 不純物イオンを含む半 導体層 1 0 4はソース電極 1 0 5 と ドレイ ン電極 1 0 6 と半導体層 1 0 3の重なり合う部分に設けている。 また、 ソース電極 1 0 5は 外部回路に接続するデータ電極 8 1に接続する。

データ電極 8 1 とゲ一 ト電極 1 0 1の重なる部分では、 ゲー ト電 極 1 0 1が金属膜 （タ ンタル） 2 と陽極酸化膜 （酸化タンタル） 3 であり、 その上部に半導体層 1 0 3 と不純物ィオンを含む半導体層 1 0 4 と ソース電極 1 0 5の金属膜 （モリ ブデン） を設ける。

このよ う に、 ゲー ト電極 1 0 1の金属膜と ソース電極 1 0 5の金 属膜の間に多層の絶縁膜、 あるいは半導体層 1 0 3を設けることに よ り電気的短絡を防止できる。

さ らに、 陽極酸化用電極 5の重なり部 1 2 2上と基板 1上に表示 電極 7を設ける。

また、 外部回路から非線形抵抗素子に信号を印加するためのタン タルからなる陽極酸化用電極 5上に透明導電性膜からなる接続電極 .8を設ける。 この接続電極 8においては、 タンタルは額縁状の形状 をしている。 また、 透明導電性膜は額縁状のタンタルを覆い、 四角 形をしている。

この形状にすることによ り、 外部回路と接続電極 8 との接続を行 う場合に、 額縁状のタンタルによ り透明導電性膜より位置を明確に できるため、 合わせ精度が向上する。 さ らに、 額縁状タンタルの内 と外に透明導電性膜を設けることによ り、 外部回路と接続電極 8の 接続状況を透明導電性膜を透して確認できる。

ここで表示電極 7 と接続電極 8 とは、 いずれも透明導電性膜、 た とえば酸化インジウム錫 （ I T O ) 膜で構成する。

さ らに、 陽極酸化用電極 5の内、 表示電極 7 とゲー ト電極 1 0 1 の間にあるエッチング除去部 1 2 1 は、 エッチング処理法によりェ ツチング除去し、 陽極酸化用電極 5は、 ゲー ト電極 1 0 1 となり、 表示電極 7の下部にある重なり部 1 2 2 と分離する。

このため、 陽極酸化用電極 5の幅はゲー ト電極 1 0 1 と しての幅 W 2 となる。

したがって、 陽極酸化を行う時には、 陽極酸化用電極 5の幅を W 1 と してゲー ト電極 1 0 1 の幅 （W 2 ) よ り幅を広く し、 表示電極 7の下部まで広げておく。 さらに隣接する表示電極 7の間も陽極酸 化用電極 5によ り連結している。

最後に表示電極 7を設けた後に、 ゲー ト電極 1 0 1 と表示電極 7 の下部にある重なり部 1 2 2に分離する。 さらに、 孤立する表示電 極 7 となる。

この構造を用いることによ り、 陽極酸化用電極を陽極酸化時には

訂正された ( 91 幅を広く し、 短時間に均一な陽極酸化膜を形成可能となる。

さらに、 陽極酸化用電極 5の幅 （W 1 ) を広く してあるため、 ゲ 一ト電極 1 0 1 の幅 （W 2 ) 内に断線箇所がある場合には、 表示電 極 7 とゲー ト電極 1 0 1 の間の陽極酸化用電極 5の一部を利用しゲ 一ト電極 1 0 1 の断線を防止するこ とができる。

ここで、 この第 1 4実施例による液晶表示装置のアクティブ基板 の製造方法を、 第 4 1 乃至第 4 4図を用いて説明する。

第 4 1乃至第 4 4図は、 この第 1 4実施例による液晶表示装置の ァクティブ基板の製造方法を工程順に示す断面図である。

先ず始めに、 第 4 1 図に示すガラスからなるァクティブ基板であ る第 1 の基板 1上の全面に、 金属膜と してタンタル （T a ) 膜を 2 0 0 n mの膜厚でスパッタ リ ング法で形成する。

その後、 タンタル膜上の全面に感光性樹脂 （図示せず） を回転塗 布法により形成し、 所定のホ トマスクを用いて露光， 現像処理を行 い、 感光性榭脂をパターン形成し、 その後このパターニングした感 光性樹脂をエッチングマスクに用いてタンタル膜をェツチングする ホ トエッチング処理によ り、 陽極酸化用電極 5 と、 陽極酸化用電極 5に接続するグー ト電極 1 0 1 とをパターン形成する。

ここでタンタル膜のェツチングは、 R I E装置を用いて行う。 そのエッチング条件は、 エッチングガスと して六弗化硫黄 （ S F 6 ) と酸素 （O2 ) との混合ガスを用いる。 そして六弗化硫黄の流 量が 1 0 0〜 2 0 0 seem, 酸素流量が 1 0〜4 0 sccmで、 圧力が 4 〜 1 2 X 1 O - θΓΓと し、 使用電力が 0. 2〜 0.5 k WZ c m² で 行う。

その後、 陽極酸化用電極 5を陽極と し、 陽極酸化液と して、 0 . 0 1〜 1 . 0 w t %のクェン酸水溶液あるいはホウ酸アンモニゥム 水溶液または燐酸水溶液を用いて、 6 0〜7 0 Vの電圧を印加して、 タンタル膜の陽極酸化処理を行う。

この結果、 ゲー ト電極 1 0 1 と陽極酸化用電極 5 との側壁と上面 の表面に、 酸化タンタル膜 （T a 2 O5 ) からなる絶縁膜 （図示せ ず） を 1 2 0〜 1 3 0 n mの膜厚で形成する。

つぎに、 プラズマ C VD法を用いて、 半導体層 1 0 3 と してァモ ルファスシリ コ ン （ a — S i ) 膜を 7 0 n mで全面に形成する。 そ の後、 プラズマ CVD法を用いて不純物イオンと してリ ン （P) を 含む半導体層 1 04 ( n - a - S i ) を 2 0 n mで全面に形成する < その後、 第 4 2図に示すよ うに、 半導体層 1 0 3， 1 04をエツ チング処理して、 ゲー ト電極 1 0 1上の周囲とデータ電極 8 1の部 分にパターン形成する。

ここでアモルファスシリ コン膜のエッチングは、 R I E装置を用 いて行う。

そのエッチング条件は、 エッチングガスと して四弗化炭素 （C F 4) と酸素 （O2 ) との混合ガスを用いる。 そして四弗化炭素の流 量が 1 0 0〜 2 00 sccm、 酸素流量が 1 0〜 4 0 seemで、 圧力が 4 〜 1 2 X 1 0-²torrと し、 さらに使用電カが 0.2〜 0.5 k WZ c m² で行う。

つぎに第 4 3図に示すよ うに、 スパッタ リ ング法を用いて、 モ リ ブデン膜 （M o ) を膜厚 2 0 0 n mで全面に形成する。 その後、 モ リブデン膜上に感光性榭脂 （図示せず） を形成する。

その後、 モリ ブデン膜をエッチング処理してソース電極 1 0 5 と、 ドレイ ン電極 1 0 6 と ソース電極 1 0 5に接続するデータ電極 8 1 とを同時にパターン形成する。

このモリブデン膜のエッチングは、 燐酸 （H₃P O₄) と硝酸（H NO ₃) と酢酸（ ^€ 001 ) のエツチャン トとを用いるゥエツ トエッチングにより行う。 なおこのときのエツチャン ト液温は 2 5 " 〜 2 6でに設定する。

さ らに、 その感光性樹脂をエッチング用のマスク と して不純物ィ オンを含む半導体層 1 04をエッチングする。 エッチングは、 R I E装置を用いて行い、 そのエッチング条件は、 下地の半導体層 1 0 3の劣化が起きない条件とする。

エッチングガスと して四弗化炭素（C F₄) と酸素 （02 ) との混 合ガスを用いる。 そして四弗化炭素流量が 8 0〜 1 2 Osccm, 酸素 流量が 1 0〜 1 5 sccmとで、 圧力が 1 0〜： 1 2 X 1 0 -²torrと し、 さらに使用電力が 0.0 5〜 0. 1 k W/ c m² で行う。

つぎにスパッタ リ ング法を用いて、 透明導電性膜と して酸化イ ン ジゥム錫 （ I T 0) 膜を膜厚 l O O n mで全面に形成する。 その後. 酸化インジウム錫膜上に感光性榭脂 （図示せず） を形成する。

. その後、 酸化インジウム錫膜をエッチング処理して ドレイ ン電極 1 0 6に接続し、 陽極酸化用電極 5の一部である重なり部 1 2 2上 に表示電極 7をパターン形成する。 さらに、 ゲー ト電極 1 0 1 に接 続する陽極酸化用電極 5上に接続電極 8 とデータ電極 8 1 に接続す る入力部 （図示せず） をパターン形成する。

この酸化インジウム錫のエッチングは、 臭素 （H B r ) の水溶液 エツチャン トを用いるゥエツ トエッチングによ り行う。 なおこのと きのエッチヤン ト液温は 2 5で〜 3 0*0に設定する。

つぎに第 4 4図に示すよ うに、 陽極酸化用電極 5の内表示電極 7 の重なり部 1 2 2 とゲー ト電極 1 0 1の間のエッチング除去部 1 2 1、 あるいは表示電極 7 と表示電極 7の間にあるエッチング除去部 1 2 1 をエッチング除去するために、 データー電極 8 1 とゲー ト電 極部 1 0 1の周への覆う感光性樹脂 1 2 5を形成する。

陽極酸化用電極 5の内、 エッチング除去部 1 2 1 は、 感光性樹脂 1 2 5 と酸化インジュ ゥム錫膜からなる表示電極 7から露出してい るため、 感光性樹脂 1 2 5 と表示電極 7をエッチング用のマスク と し、 ェツチング除去部 1 2 1 は R I Ε装置を使用したエッチング処 理によ り除去される。

このエッチング条件は、 エッチングガスと して六弗化硫黄 （ S F

6 ) と酸素 （02 ) との混合ガスを用いる。 そして六弗化硫黄の流 量が 1 0 0〜 2 0 0 sccm、 酸素流量が 1 0〜 4 0 seemで、 圧力が 4 〜 1 2 X 1 0 -²torrと し、 さらに使用電力が 0.2〜 0.5 kWZ c m ² で行う。

上記のエッチング条件では、 酸化インジウム錫をほとんどエッチ

訂正された ングするこ となく 、 タンタル膜 2 とゲー ト絶縁膜 1 0 2である酸化 タンタル膜だけをエッチングするこ とができる。

以上の工程によ り、 この実施例の第 3 9図と第 4 0図に示したよ うに、 陽極酸化用電極 5は、 ゲー ト電極 1 0 1 と、 表示電極 7 の下 部にある重なり部 1 2 2 とに分離するこ とができる。

この製造方法を用いるこ とによ り 、 陽極酸化用電極を陽極酸化時 には幅 （W 1 ) を広く し、 短時間に均一な陽極酸化膜を形成可能と なる。

さ らに、 陽極酸化用電極 5 の幅 W 1 を広く してあるため、 ゲー ト 電極 1 0 1 の幅 W 2内に断線箇所がある場合には、 表示電極 7 とゲ — ト電極 1 0 1 の間の陽極酸化用電極 5の一部を利用してゲー ト電 極 1 0 1 の断線を防止することができる。

〔第 1 0乃至 1 4実施例の変更例〕

以上説明した各実施例においては、 透明導電性膜と しては酸化ィ ンジゥムスズ （ I T O ) を用いた例で説明したが、 酸化インジウム ( I n 2 O 3 ) 、 酸化錫 （ S n O 2 ) 、 酸化亜鉛 （ Z n O ) などの 酸化物を用いてもよい。

また、 陽極酸化用電極 5 の材料と してタ ンタルを用いた例で説明 したが、 アルミニウムあるいは、 タンタルあるレ、は、 アルミニウム に炭素， シリ コ ン， ニオブ， 窒素， あるいはリ ンを含む金属膜を用 いてもよい。

さ らに、 第 1 0実施例乃至第 1 3実施例において、 上部電極と し て表示電極と同一の透明導電性膜を用いた例を説明したが、 上部電 極と表示電極を異なる材質で設けるよ うにしてもよい。

上部電極の材質と して、 ク ロム， チタン， タングステン， チタン シリサイ ド， タ ングステンシリサイ ド， あるいは窒素を含むク ロム 膜も使用するこ とができる。 産業上の利用性

この発明は、 各種電子機器に多用されている液晶表示装篋、 特に 微細化加工が可能でコス ト低減に有効な T F Dあるいは T F T等の 非線形抵抗素子をスィ ツチング素子に用いた液晶表示装置において 電極の陽極酸化処理による非線形抵抗層の形成を短時間に均一に行 う こ とができ、 その後に破壊が起こるのを防ぎ、 検査も容易にする ことができる。

また、 陽極酸化用電極を使用した後の残存部分を有効に利用して. 外部回路との接続電極などを形成したり、 遮光部と して見切り に利 用したり、 電極に欠陥が生じた場合の補修用に利用したりするこ と ができる。

したがって、 液晶表示装置の製作時の歩留まりの向上、 表示品質 の向上、 汎用性の拡大、 コス ト の低减などを実現することができ、 産業上の利用価値が高いものである。

訂正され

Claims

請 求 の 範 囲

1 . 所定の間隔を もって対向する第 1 の基板および第 2 の基板と 、 その第 1 の基板上に設けた第 1 の電極および第 2 の電極と 、 その 第 1 の電極と第 2 の電極とが重な り合 う領城に設けた非線形抵抗 素子と、 前記第 1 の基板と第 2 の基板と の間に封入 した液晶 と を 備えた液晶表示装置において、

前記第 1 の電極は、 前記非線形抵抗素子を構成する下部電極と、 該非線形抵抗素子に外部信号を印加するための複数の信号電極と 、 前記下部電極を陽極酸化して非線形抵抗層を形成するための陽極 酸化用電極と を有し、 前記複数の信号電極は、 前記下部電極の陽 極酸化処理を行 う と き には、 前記陽極酸化用電極によ り相互に接 続されてお り 、

前記第 2 の電極は、 前記非線形抵抗層上に設ける上部電極と 、 該上部電極に接続される表示電極と 、 前記陽極酸化用電極の一部 を覆 う接続電極と を有し、

前記下部電極と 、 該下部電極の陽極酸化処理によ って形成され た非線形抵抗層 と 、 前記上部電極と によって前記非線形抵抗素子 を構成し、

前記陽極酸化用電極は、 前記陽極酸化処理後に前記接続電極に 覆われない部分が除去され、 それによつて前記各信号電極を分離 し独立させている こ と を特徴とする液晶表示装置。

2 . 所定の間隔を もって対向する第 1 の基板および第 2 の基板と 、 その第 1 の基板上に設けた第 1 の電極および第 2 の電極と 、 その 第 1 の電極と第 2 の電極とが重な り 合 う領域に設けた非線形抵抗 素子と 、 前記第 1 の基板と第 2 の基板と の間に封入した液晶 と を 備えた液晶表示装置において、

前記第 1 の電極は、 前記非線形抵抗素子を構成する下部電極と 、 該非線形抵抗素子に外部信号を印加するための複数の信号電極と 、 前記下部電極を陽極酸化 して非線形抵抗層を形成するための陽極 酸化用電極と を有 し、 前記複数の信号電極は、 前記下部電極の陽 極酸化処理を行う と きには、 前記陽極酸化用電極によ り相互に接 続されてお り 、

前記第 2 の電極と して前記非線形抵抗層上に設ける上部電極を、 第 3 の電極と して該上部鴛極に接続される表示電極を設け、 その 第 2 の電極あるいは第 3 の電極の少なく と も一方が前記陽極酸化 用電極の一部を覆 う接続電極を有し、

前記下部鹭極と 、 該下部電極の陽極酸化処理によって形成され た非線形抵抗層と 、 前記上部電極と によって前記非線形抵抗素子 を構成し、

前記陽極酸化用電極は、 前記陽極酸化処理後に前記第 2 の電極 あるいは第 3 の電極からなる接続電極に覆われない部分が除去さ れ、 それによつて前記各信号電極を分離し独立させている こ と を 特徴とする液晶表示装置。

3 . 所定の間隔を もって対向する第 1 の基板および第 2 の基板と 、 その第 1 の基板上に設けた第 1 の電極および第 2 の電極と 、 その 第 1 の電極と第 2 の電極と が重な り 合 う領域に設けた非線形抵抗 素子と 、 前記第 1 の基板と第 2 の基板と の間に封入した液晶 と を 備えた液晶表示装置において、

前記第 1 の電極は、 前記非線形抵抗素子を構成する下部電極と 、 該非線形抵抗素子に外部信号を印加するための複数の第 1 の信号 電極と 、 前記下部電極を陽極酸化して非線形抵抗層を形成するた めの陽極酸化用電極と を有し、 前記複数の第 1 の信号電極は、 前 記下部電極の陽極酸化処理を行 う と きには、 前記陽極酸化用電極 によ り相互に接続されてお り 、

前記第 2 の電極は、 前記非線形抵抗層上に設ける上部電極と、 該上部電極に接続される表示電極と 、 前記非線形抵抗素子に外部 信号を印加するための第 2 の信号電極と、 該信号電極に外部回路 から電圧を印加する入力電極と を有し、

該入力電極は前記陽極酸化用電極の一部を覆い、 その陽極酸化 用電極は前記入力電極と 同一辺にて分離されている こ と を特徴と する液晶表示装置。

4 . 所定の間隔を もって対向する第 1 の基板および第 2 の基板と 、 その第 1 の基板上に設けた第 1 の電極および第 2 の電極と 、 その 第 1 の電極と第 2 の電極とが重な り合 う領域に設けた非線形抵抗 素子と 、 前記第 1 の基板と第 2 の基板と の間に封入した液晶と を 備えた液晶表示装置において、

前記第 1 の電極は、 前記非線形抵抗素子を構成する下部電極と 、 該非線形抵抗素子に外部信号を印加するための複数の第 1 の信号 電極と 、 前記下部電極を陽極酸化して非線形抵抗層を形成するた めの陽極酸化用電極と を有し、 前記複数の第 1 の信号電極は、 前 記下部電極の陽極酸化処理を行 う と き には、 前記陽極酸化用電極 によ り相互に接続されてお り 、

前記第 2 の電極は、 前記非線形抵抗層上に設ける上部電極と、 該上部電極に接続される表示電極と 、 前記非線形素子に外部信号 を印加するための第 2 の信号電極と、 該信号電極に外部回路から 電圧を印加する入力電極と を有し、

前記非線形抵抗素子あるいは、 前記表示電極上を覆う絶縁膜を 形成し、 該絶縁膜の前記陽極酸化膜上と前記入力電極上に開口部 を設け、 前記陽極酸化用電極が前記開口部と 同一の辺にて分離さ れている こ と を特徴をする液晶表示装置。

5 . 第 1 の基板上に第 1 の電極を有し、 第 1 の電極は第 1 の電極 を陽極酸化するための陽極酸化用電極と非線形抵抗素子を構成す る下部電極と非線形抵抗素子に外部信号を印加するための信号電 極を有し、 信号電極は、 陽極酸化処理を行う と き には、 陽極酸化 用電極によ り 相互に接続 し、 さ らに第 2 の電極と して、 非線形抵 抗層上に設ける上部電極と上部電極に接続する表示電極と 陽極酸 化用電極の一部を覆う接続電極を有し、 下部電極と非線形抵抗層 と上部電極によ り 非線形抵抗素子を構成し、 さ らに陽極酸化用電 極は、 陽極酸化後に、 陽極酸化用電極の一部は、 第 1 の電極から なる独立する信号電極と表示領域の周囲に第 1 の電極と第 1 の電 極の陽極酸化膜である絶縁膜からなる遮光部を有する こ と を特徴 とする液晶表示装置。

6 . 第 1 の基板上に第 1 の電極を有し、 第 1 の電極は第 1 の電極 を！ ¾極酸化するための陽極酸化用電極と非線形抵抗素子を構成す る下部電極と非線形抵抗素子に外部信号を印加するための信号電 極を有し、 信号電極は、 陽極酸化処理を行う と き には、 陽極酸化 用電極によ り 相互に接続し、 さ らに第 2 の電極と して、 非線形抵 抗層上に設ける上部電極と上部電極に接続する表示電極と 陽極酸 化用電極の一部を覆 う接続電極を有し、 下部電極と非線形抵抗層 と上部電極によ り 非線形抵抗素子を構成し、 さ らに陽極酸化用電 極は、 陽極酸化後に、 陽極酸化用電極の一部は、 第 1 の電極から なる独立する信号電極と表示領城の周囲に第 1 の電極と第 1 の電 植の陽極酸化膜である絶縁膜からなる遮光部を有し、 遮光部には 開口部を有する こ と を特徴とする液晶表示装置。

7 . 第 1 の基板上に第 1 の電極を有し、 第 1 の電極は第 1 の電極 を陽極酸化するための陽極酸化用電極と非線形抵抗素子を構成す る下部電極と非線形抵抗素子に外部信号を印加するための信号電 極を有し、 信号電極は、 陽極酸化処理を行 う と き には、 陽極酸化 用電極によ り相互に接続し、 さ らに第 2 の電極と して、 非線形抵 抗層上に設ける上部電極と上部電極に接続する表示電極と 陽極酸 化用電極の一部を覆う接続電極を有し、 下部電極と非線形抵抗層 と上部電極によ り 非線形抵抗素子を構成し、 さ らに陽極酸化用電 極は、 陽極酸化後に、 陽極酸化用電極の一部は、 第 2 の電極から なる接続電極と 同一な辺で分離し、 独立した信号電極と し、 さ ら に、 表示領域の周囲に第 1 の電極と第 1 の電極の陽極酸化膜であ る絶縁膜からなる遮光部と を有する こ と を特徴とする液晶表示装 置。

8 . 第 1 の基板上に第 1 の電極を有し、 第 1 の電極は第 1 の電極 を陽極酸化するための陽極酸化用電極と非線形抵抗素子を構成す る下部電極と非線形抵抗素子に外部信号を印加するための第一の 信号電極と を有し、 第 1 の信号電極は、 陽極酸化処理を行 う と き には、 陽極酸化用電極によ り相互に接続し、 さ らに第 2 の電極と して、 非線形抵抗層上に設ける上部電極と上部電極に接続する表 示電極と第 1 の信号電極上を覆 う第 2 の信号電極と陽極酸化用電 極の一部を覆う接続電極と を有し、 さ らに、 下部電極上には、 2 つの上部電極を有し、 一方の上部電極は、 第 2 の信号電極に接続 し、 他方は表示電極に接続し、 下部電極と非線形抵抗層と上部電 極によ り 非線形抵抗素子を構成し、 さ らに陽極酸化用電極は、 陽 極酸化後に、 陽極酸化用電極の一部は、 第 2 の電極からなる接続 電極と同一な辺で分離し、 独立した第 1 の信号電極と し、 さ らに、 表示領域の周囲に第 1 の電極と第 1 の電極の陽極酸化膜である絶 縁膜からなる遮光部と を有する こ と を特徴とする液晶表示装置。

9 . 第 1 の基板上に第 1 の電極を有し、 第 1 の電極は第 1 の電極 を陽極酸化するための陽極酸化用電極と非線形抵抗素子を構成す る下部電極と非線形抵抗素子に外部信号を印加するための信号電 極を有し、 信号電極は、 陽極酸化処理を行 う と き には、 陽極酸化 用電極によ り 相互に接続し、 さ らに第 2 の電極と して、 非線形抵 抗層上に設ける上部電極と上部電極に接続する表示電極と 陽極酸 化用電極の一部を覆う接続電極を有し、 下部電極と非線形抵抗層 と上部電極によ り 非線形抵抗素子を構成し、 さ らに、 第 1 基板上 には、 絶縁膜を有し、 絶縁膜には、 開口部を有し、 陽極酸化用電 極の一部は、 陽極酸化後に、 絶縁膜の開口部と 同一な辺にて分離 し、 第 1 の電極からなる独立する信号電極と表示領域の周囲に第 1 の電極と第 1 の電極の陽極酸化膜である絶縁膜と保護用絶縁膜 からなる遮光部を有する こ と を特徴とする液晶表示装置。

1 0 . 第 1 の基板上に第 1 の電極を有し、 第 1 の電極は第 1 の電 極を陽極酸化するための陽極酸化用電極と非線形抵抗素子を構成 する下部電極と非線形抵抗素子に外部信号を印加するための第一 の信号電極と を有 し、 第 1 の信号電極は、 陽極酸化処理を行う と きには、 陽極酸化用電極によ り 相互に接続し、 さ らに第 2 の電極 と して、 非線形抵抗層上に設ける上部電極と上部電極に接続する 表示電極と第 1 の信号電極上を覆 う第 2 の信号電極と陽極酸化用 電極の一部を覆う接続電極と を有し、 さ らに、 下部電極上には、 2つの上部電極を有し、 一方の上部電極は、 第 2 の信号電極に接 続し、 他方は表示電極に接続し、 下部電極と非線形抵抗層 と上部 髦極によ り 非線形抵抗素子を構成し、 さ らに、 第 1 の基板上には 絶縁膜を有し、 絶縁膜には開 口部を有し、 陽極酸化用電極は、 陽 極酸化後に、 保護用絶縁膜の開 口部と 同一辺にて分離し、 第 1 の 鴛極からなる独立する第 1 の信号電極と し、 さ らに、 表示領域の 周囲に第 1 の電極と第 1 の電極の陽極酸化膜である絶縁膜からな る遮光部と を有する こ と を特徴とする液晶表示装置。

1 1 . 第 1 の基板上に第 1 の電極を有し、 第 1 の電極は第 1 の電 極を陽極酸化するための陽極酸化用電極と非線形抵抗素子を構成 する下部電極と非線形抵抗素子に外部信号を印加するための信号 電極を有し、 信号電極は、 陽極酸化処理を行 う と き には、 陽極酸 化用電極によ り 相互に接続し、 さ らに第 1 の電極上の陽極酸化膜 をゲー ト絶縁膜と し、 ゲー ト絶縁膜上には、 半導体層を有し、 半 導体層上にソース電極と ド レイ ン電極と を有し、 ド レイ ン電極に 接続する表示電極を有し、 さ らに陽極酸化用電極は、 陽極酸化後 に、 陽極酸化用電極の一部は、 第 1 の電極からなる独立するゲー ト電極と表示領域の周囲に第 1 の電極と第 1 の電極の陽極酸化膜 である絶縁膜からなる遮光部を有する こ と を特徴とする液晶表示 装置。

1 2 . 第 1 の基板上に第 1 の電極を有し、 第 1 の電極は第 1 の電 極を陽極酸化するための陽極酸化用電極と非線形抵抗素子を構成 する下部電極と非線形抵抗素子に外部信号を印加するための信号 電極を有し、 信号電極は、 陽極酸化処理を行 う と きには、 陽極酸 化用電極によ り相互に接続し、 さ らに第 1 の電極上の陽極酸化膜 をゲー ト絶縁膜と し、 ゲー ト絶縁膜上には、 半導体層を有し、 半 導体層上にソース電極と ド レイ ン亀極と を有し、 ド レイ ン電極に 接統する表示電極を有し、 さ らに陽極酸化用電極は、 陽極酸化後 に、 陽極酸化用電極の一部は、 第 1 の電極からなる独立するゲー ト電極と表示領域の周囲に第 1 の電極と第 1 の電極の陽極酸化膜 である絶縁膜からなる遮光部を有し、 前記遮光部上には、 表示電 極と 同一な材質の膜が設けてあ り 、 前記遮光部は、 前記表示電極 と 同一な材質の膜と 同一な辺を有する こ と を特徴とする液晶表示 装置。

1 3 . 第 1 の基板上に第 1 の電極を有し、 第 1 の電極は第 1 の電 極を陽極酸化するための陽極酸化用電極と非線形抵抗素子を構成 する下部電極と非線形抵抗素子に外部信号を印加するための信号 電極を有し、 信号電極は、 陽極酸化処理を行 う と き には、 陽極酸 化用電極によ り 相互に接続し、 さ らに第 1 の電極上の陽極酸化膜 をゲー ト絶縁膜と し、 ゲー ト絶縁膜上には、 半導体層を有し、 半 導体層上に ソース電極と ド レイ ン電極と を有し、 ド レイ ン電極に 接続する表示電極を有し、 さ らに、 第 1 の基板上には絶縁膜を有 し、 絶縁膜には開 口部を有し、 さ らに陽極酸化用電極は、 陽極酸 化後に、 陽極酸化用電極の一部は、 第 1 の電極からなる独立する グー ト電極と表示領域の周囲に第 1 の電極と第 1 の電極の陽極酸 化膜である絶縁膜からなる遮光部を有し、 前記遮光部上には、 絶 縁膜が設けてあ り 、 前記遮光部は、 前記絶縁膜の開 口部と 同一な 辺を有する こ と を特徴とする液晶表示装置。

1 4 . 第 1 の基板上に第 1 の電極を有し、 第 1 の電極は第 1 の電 極を陽極酸化するための第 1 の陽極酸化用電極と第 1 の陽極酸化 用鼋極から独立する第 2 の陽極酸化用電極と第 1 の陽極酸化用電 極に接続する下部電極と非線形抵抗素子に外部信号を印加するた めの第 1 の陽極酸化用電極に接続する信号電極を有し、 信号電極 は、 陽極酸化処理を行 う と きには、 第 1 の陽極酸化用電極によ り 相互に接続し、 さ らに、 補助電極は、 第 2 の陽極酸化用鼋極に接 練し、 さ らに第 2 の電極と して、 非線形抵抗層上に設ける上部電 極と上部電極に接続する表示鴛極と第 1 の陽極酸化用電極と第 2 の陽極酸化用電極の一部を覆う接続電極を有し、 下部電極と非線 形抵抗層と上部電極によ り 非線形抵抗素子を構成し、 さ らに第 1 の陽極酸化用電極と第 2 の陽極酸化用電極の一部は、 陽極酸化後 に、 独立する信号電極と独立刷る補助電極と な り 、 第 2 の陽極酸 化用電極上に設ける非線形抵抗層の膜厚は、 第 1 の陽極酸化用電 棰上に設ける非線形抵抗層の膜厚よ り 厚いこ と を特徴とする液晶 表示装置。

1 5 . 第 1 の基板上と第 1 の陽極酸化用鼋極上の非線形抵抗層上 と第のの陽極酸化用電極上の非線形抵抗層上と信号電極上と補助 鴛極上と表示電極上および、 外部回路と の接続部に絶縁膜を有し、 第 1 の陽極酸化用電極と第 2 の陽極酸化用電極の一部に開 口部を 有し、 第 1 の陽極酸化用電極と第 2 の陽極酸化用電極は、 絶縁膜 の開 口部と 同一辺にて分離する こ と を特徴とする請求項 1 0 に記 載の液晶表示装置。

1 6 . 第 1 の基板上に第 1 の電極を有し、 第 1 の電極は第 1 の電 極を陽極酸化するための第 1 の陽極酸化用電極と第 1 の陽極酸化 用電極から独立する第 2 の陽極酸化用電極と非線形抵抗素子を構 成する下部電極と非線形抵抗素子に外部信号を印加するための第 1 の信号電極と を有し、 第 1 の信号電極は、 陽極酸化処理を行 う と きには、 第 1 の陽極酸化用電極によ り 相互に接続し、 さ らに補 助電極は第 2 の陽極酸化用電極に接続し、 さ らに第 2 の電極と し て、 非線形抵抗層上に設ける上部電極と 、 上部電極に接続する表 示電極と第 1 の信号電極上を覆 う第 2 の信号電極と第 1 の陽極酸 化用電極の一部を稷ぅ接続電極と を有し、 さ らに、 下部電極上に は、 2つの上部電極を有し、 一方の上部電極は、 第 2 の信号電極 に接続し、 他方は表示電極に接続し、 下部電極と非線形抵抗層と 上部電極によ り 非線形抵抗素子を構成し、 第 1 の陽極酸化用電極 は、 陽極酸化後に分離し、 第 1 の電極からなる独立する第 1 の信 号電極と し、 第 2 の陽極酸化用電極は、 陽棰酸化後に分離してな る補助電極と を有 し、 第 2 の陽極酸化用電極上の非線形抵抗層の 膜厚は、 第 1 の陽極酸化用電極上の非線形抵抗層の膜厚よ り厚い こ と を特徴とする液晶表示装置。

1 7 . 第 1 の基板上と第 1 の陽極酸化用電極上の非線形抵抗層上 と第 2 の陽極酸化用電極上の非線形抵抗層上と信号電極上と補助 電極上と表示電極上および、 外部回路と の接続部に絶縁膜を有し、 第 1 の陽極酸化用電極と第 2 の陽極酸化用電極の一部に開 口部を 有し、 第 1 の陽極酸化用電極と第 2 の陽極酸化用電極は、 絶縁膜 の開口部と 同一辺にて分離する こ と を特徴とする液晶表示装置。

1 8 . 基板上にいずれも金属膜からなる陽極酸化用電極と 陽極酸 化用電極に接続し陽極酸化用電極の一部からなる信号電極と信号 電極に接続する下部電極と 陽極酸化用電極の一部からなるエッチ ング除去部と表示電極かにある重な り 部と を有し、 この金属膜か らなる陽極酸化用電極と信号電極と 下部電極と重な り 部上には、 非線形抵抗層を有 し、 さ らに、 下部電極上の非線形抵抗層上には 上部電極を有し、 上部電極は表示電極に接続し、 下部電極と非線 形抵抗層 と上部電極によ り 非線形抵抗素子を構成し、 陽極酸化用 電極の一部が表示電極と重なる重な り 部を有 し、 重な り 部は表示 電極毎に分離している こ と を特徴とする液晶表示装置。

1 9 . 基板上にいずれも金属膜からなる陽極酸化用電極と 陽極酸 化用電極に接続し陽極酸化用電極の一部からなる信号電極と信号 電極に接続する下部電極と陽極酸化用電極の一部からなるエ ッチ ング除去部と表示電極かにある重な り 部と を有し、 この金属膜か らなる陽極酸化用電極と信号電極と下部電極と重な り 部上には、 第 1 の電極の陽極酸化膜からなる非線形抵抗層を有し、 さ らに、 下部電極上の非線形抵抗層上には上部電極を有し、 上部電極は表 示電極に接続し、 下部電極と非線形抵抗層と上部電極によ り 非線 形抵抗素子を構成し、 陽極酸化用電極の一部がが表示電極と重な る重な り 部を有し、 重な り 部は表示電極毎に分離している こ と を 特徴とする液晶表示装置。

2 0 . 基板上にいずれも金属膜からなる信号電極と 島状の下部電 極と信号電極に平行するダミー電極と を有し、 この金属膜表面に 設ける絶縁膜と 、 下部電極上に絶縁膜を介 して設ける 2つの上部 電極と 、 ダミー電極上の重な り 部を覆 う透明導電膜からなる表示 電極と を備え、 上部電極は下部電極と交差し、 この上部電極と絶 縁膜と下部電極から 2つの非線形抵抗素子部を構成 し、 非線形抵 抗素子部を構成する上部電極の一方は信号電極に接続し、 非線形 抵抗素子部を構成する上部電極の他方は表示電極に接続し、 表示 電極の下部にはダミ ー電極の重な り 部を有し、 下部電極と ダミ ー 電極は同一の金属膜と絶縁膜と からなる こ と を特徴とする液晶表 示装置。

2 1 . 基板上にいずれも金属膜からなる初期陽極酸化用電極と 、 島状の下部電極と 、 初期陽極酸化用電極と 島状の下部電極を接続 する接続部と 、 初期陽極酸化用電極に接続するダミ ー電極と を有 し、 この金属膜表面に設ける絶縁膜と 、 下部電極上に絶縁膜を介 して設ける 2つの上部電極と、 ダミ ー電極上の重な り 部を覆う透 明導電膜からなる表示電極と を備え、 上部電極は下部電極と交差 し、 この上部電極と絶縁膜と下部電極から 2 つの非線形抵抗素子 部を構成し、 非線形抵抗素子部を構成する上部電極の一方は、 初 期陽極酸化用電極の一部からなる第 1 の信号電極上に設ける上部 電極と 同一材料からなる第 2 の信号電極に接続し、 非線形抵抗素 子部を構成する上部電極の他方は表示電極に接続し、 表示電極の 下部にはダミ ー電極の重な り 部を有し、 下部電極と ダミ ー電極は 同一の金属膜と絶縁膜と からなる こ と を特徴とする液晶表示装置。

2 2 . 基板上にいずれも金属膜からなる初期陽極酸化用電極と、 島状の下部電極と 、 初期陽極酸化用電極と 島状の下部電極を接続 する接続部と、 初期陽極酸化用電極に接続するダミ ー電極と を有 し、 この島状の下部電極は 2個の異なる接続部によ り 初期陽極酸 化用 «極に接続し、 この金属膜表面に設ける絶縁膜と、 下部電極 上に絶縁膜を介して設ける 2つの上部電極と 、 ダミ ー電極上の重 な り 部を覆 う透明導電膜からなる表示電極と を備え、 上部電極は 下部電極と 交差し、 この上部電極と絶縁膜と 下部電極から 2つの 非線形抵抗素子部を構成し、 非線形抵抗素子部を構成する上部電 極の一方は、 初期陽極酸化用電極の一部からなる第 1 の信号電極 上に設ける上部電極と 同一材料からなる第 2 の信号電極に接続し、 非線形抵抗素子部を構成する上部電極の他方は表示電極に接続し、 表示電極の下部にはダミ 一電極の重な り部を有し、 下部電極と ダ ミー電極は同一の金属膜と絶縁膜とからなる こ と を特徴とする液 晶表示装置。

2 3 . 基板上にいずれも金属膜からなる初期陽極酸化用電極と 、 島状の下部電極と 、 初期陽極酸化用電極と 島状の下部電極を接続 する接続部と 、 初期陽極酸化用電極に接続するダミ ー電極と を有 し、 この金属膜表面に設ける絶縁膜と 、 下部電極上に絶縁膜を介 して設ける 2 つの透明導電性膜からなる上部電極と 、 ダミ ー電極 上の重な り 部を覆 う透明導電膜からなる表示電極と を備え、 上部 電極は下部電極と 交差し、 この上部電極と絶縁膜と 下部電極から 2 つの非線形抵抗素子部を構成し、 非線形抵抗素子部を構成する 上部電極の一方は、 初期陽極酸化用電極の一部からなる第 1 の信 号電極上に設ける透明導電性膜からなる第 2 の信号電極に接続し、 非線形抵抗素子部を構成する上部電極の他方は表示電極に接続し、 表示電極の下部にはダミ ー電極の重な り 部を有し、 下部電極と ダ ミ ー電極は同一の金属膜と絶縁膜とからなる こ と を特徴とする液 晶表示装置。

2 4 . 基板上にいずれも金属膜からなる初期陽極酸化用電極と 、 島状の下部電極と 、 初期陽極酸化用電極と 島状の下部鸳極を接続 する接続部と 、 初期陽極酸化用電極に接続するダミ ー電極と を有 し、 こ の金属膜表面に設ける絶縁膜と 、 下部電極上に絶縁膜を介 して設ける 2つの上部電極と、 ダミ ー電極上の重な り 部を覆 う透 明導電膜からなる表示電極と を備え、 上部電極は下部電極と交差 し、 こ の上部電極と絶縁膜と 下部電極から 2 つの非線形抵抗素子 部を構成し、 非線形抵抗素子部を構成する上部電極の一方は、 初 期陽極酸化用電極の一部からなる第 1 の信号電極上に設ける上部 電極と 同一材料からなる第 2 の信号電極に接続し、 非線形抵抗素 子部を構成する上部電極の他方は表示電極に接続し、 表示電極の 下部にはダミ ー電極の重な り 部を有し、 さ らに、 非線形抵抗素子 部あるいは第 2 の信号電極の周辺には保護用絶縁膜を有し、 第 2 の信号電極と表示電極の間には保護用絶縁膜の開 口部を有し、 下 部電極と ダミ ー電極は同一の金属膜と絶縁膜と からなる こ と を特 徴とする液晶表示装置。

2 5 . 基板上にいずれも金属膜からなる初期陽極酸化用電極と初 期陽極酸化用電極に接続するゲー ト電極部を有し、 初期陽極酸化 用電極は、 ゲー ト電極と ダミ ー電極と に分離してお り 、 前記ゲー ト電極部の周囲にはゲー ト絶縁膜を有し、 グー ト絶縁膜上には、 半導体層を有し、 半導体層上には、 ソース電極と ド レイ ン電極と を有し、 ソース電極は、 データー電極に接続し、 ド レイ ン電極は、 表示電極に接続する構造を有する こ と を特徴とする液晶表示装置。

2 6 . 基板上にいずれも金属膜からなる初期陽極酸化用電極と初 期陽極酸化用電極に接続するゲー ト電極部を有し、 初期陽極酸化 用電極は、 ゲー ト電極と ダミ ー電極と に分離してお り 、 前記ゲー ト電極部の周囲にはゲー ト絶縁膜を有し、 ゲー ト絶縁膜上には、 半導体層を有し、 半導体層上には、 ソ ース電極と ド レイ ン電極と を有し、 ソ ース電極は、 データー電極 に接続し、 ド レイ ン電極 は、 表示電極に接続し、 前記ダミ ー電極は、 表示電極の下部に残 る構造を有する こ と を特徴とする液晶表示装置。