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WO2003038158A3 - Galvanisiereinrichtung und galvanisiersystem zum beschichten von bereits leitfähig ausgebildeten strukturen - Google Patents

Galvanisiereinrichtung und galvanisiersystem zum beschichten von bereits leitfähig ausgebildeten strukturen Download PDF

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WO2003038158A3
WO2003038158A3 PCT/DE2002/003916 DE0203916W WO03038158A3 WO 2003038158 A3 WO2003038158 A3 WO 2003038158A3 DE 0203916 W DE0203916 W DE 0203916W WO 03038158 A3 WO03038158 A3 WO 03038158A3
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Andreas Mueller-Hipper
Ewald Simmerlein-Erlbacher
Andreas Karl
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Infineon Technologies Ag
Andreas Mueller-Hipper
Ewald Simmerlein-Erlbacher
Andreas Karl
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Abstract

Die Erfindung schlägt eine Galvanisiereinrichtung (10) zur galvanischen Abscheidung einer elektrisch leitenden Schicht auf einem Substrat (12) vor, die ein Elektrolytbad (14) aufweist, in dem eine Anodeneinrichtung (30) und zumindest eine Kontaktiereinheit (16) angeordnet ist, wobei jede Kontaktiereinheit (16) eine Mehrzahl an elektrisch leitenden Bereichen (20) aufweist, von denen jeweils zumindest einer kathodisch bzw. anodisch geschalten ist.
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