WO2019003267A1 - Component mounting device and component data creation method - Google Patents
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- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
Definitions
- the present invention relates to a component mounting apparatus and a component data creation method.
- the part data creation method is disclosed, for example, in Japanese Patent Laid-Open No. 2006-302949.
- Japanese Patent Laid-Open No. 2006-302949 discloses a method of creating component library data (method of creating component data) for creating component data for recognizing a component in a component mounting apparatus for mounting a component on a substrate.
- the target component is imaged by the component recognition camera, and information including the position and the diameter of the electrode is acquired based on the imaged image.
- the operator confirms the image and inputs the information of the electrode.
- component data creation method component data creation method
- component data can be created automatically, it is difficult to recognize an electrode from a captured image.
- the operator needs to input information. This increases the workload on the operator.
- an erroneous input may occur, so that it may not be possible to create component data with high accuracy. Therefore, it is desired to reduce the work load on the operator and create component data with high accuracy.
- the present invention has been made to solve the problems as described above, and one object of the present invention is to reduce the work load on the operator and to implement component mounting capable of creating component data with high accuracy.
- An apparatus and component data creation method is provided.
- the component mounting apparatus recognizes a component based on an image of the component taken by the mounting head for mounting the component on a substrate, an imaging unit capable of imaging the component, and the imaging unit.
- the control unit is configured to generate component data by causing the imaging unit to image the component a plurality of times under different imaging conditions.
- the control unit is configured to perform control of generating component data by causing the imaging unit to image the component a plurality of times under different imaging conditions.
- the apparatus includes illumination for irradiating the component with light at the time of imaging by the imaging unit, and the control unit changes the irradiation condition of light by illumination and the component is used multiple times by the imaging unit. It is configured to perform imaging control and create component data.
- the component whose appearance changes depending on the light irradiation condition can be imaged under a plurality of light irradiation conditions. Therefore, the number of feature points of the component can be recognized effectively. can do.
- control unit is configured to control the creation of the component data by causing the imaging unit to image the component a plurality of times by changing the irradiation direction of light to the component.
- a component having a feature point whose light reflection direction changes depending on the light irradiation direction can be imaged under a plurality of irradiation conditions in which the light irradiation direction is changed. The number that can be recognized can be increased more effectively.
- the control unit varies the amount of light to be emitted from the illumination to the component and the component is performed a plurality of times by the imaging unit It is configured to perform imaging and control to acquire an amount of light suitable for imaging based on the imaged image.
- the component includes a plurality of bump electrodes
- the control unit irradiates the component with light from below. Control is performed to create component data based on an image obtained by imaging the component and an image obtained by imaging the component by emitting light from the side to the component.
- the outer shape of the part can be easily recognized based on the image captured by irradiating the part with light from below, and the part is irradiated with light from the side, The positions of the plurality of bump electrodes projecting downward can be easily recognized.
- the control unit acquires an outer shape of the component based on an image of the component imaged under the first imaging condition, and a second imaging condition different from the first imaging condition It is comprised so that control which acquires the arrangement
- the component data can be easily accurate with the image captured under the first imaging condition in which the external shape of the component is clearly visible and the image imaged under the second imaging condition in which the electrode of the component is clearly visible. It can be created well.
- control unit is configured to perform control of imaging the component under the second imaging condition after imaging the component under the first imaging condition.
- the position of the electrode can be associated with the reference position based on the outer shape of the part, so that the part data can be created efficiently.
- the control unit acquires the external dimensions of the component including a plurality of three-dimensional electrodes, the arrangement information of the electrodes, and the dimensions of the electrodes based on an image obtained by imaging the component.
- the component data can be obtained based on the imaging result of the imaging unit at the time of mounting the component, and therefore, the measurement error of the outer dimension of the component, the dimension of the electrode, and the arrangement of the electrode is suppressed. be able to.
- a non-defective part is mistakenly determined as a non-defective part and discarded when the part is mounted.
- a measuring instrument such as a vernier caliper
- control unit is configured to perform control to discriminate between the electrode of the component and the noise by using the feature amount of the extracted portion of the image obtained by imaging the component. ing.
- the control unit is configured to perform control to acquire electrode arrangement information of a component including a plurality of electrodes based on an image obtained by imaging the component, Of the electrodes, a portion that does not need to obtain the placement information is configured to be settable. According to this structure, it is possible to omit acquiring the electrode arrangement information of the unnecessary part, so that the component data can be created in a shorter time.
- the display unit is configured to display information
- the control unit is difficult to determine the electrode of the component based on the image obtained by imaging the component when it is difficult to determine It is comprised so that control which displays a part on a display part may be performed. According to this configuration, since the operator can input information of a difficult-to-identify portion, component data can be created with high accuracy.
- a storage unit for storing component data is provided, and the control unit compares the created component data with the component data stored in the storage unit and can be rewritten If there is, it is configured to rewrite the created component data.
- the component data creating method captures a component a plurality of times by the imaging unit under different imaging conditions, and creates component data for recognizing the component based on the image of the component captured by the imaging unit Do.
- the component is imaged a plurality of times by the imaging unit under different imaging conditions, and the component is recognized based on the image of the component imaged by the imaging unit.
- Create part data for even when not all feature points of the part are clearly displayed in the image by one imaging, the feature points of the part are clearly imaged by any of a plurality of images by imaging under a plurality of imaging conditions be able to.
- the number of pieces of information of feature points that can be automatically acquired can be increased, so the number of pieces of information of feature points input by the operator can be reduced. Thereby, the occurrence of erroneous input can be suppressed.
- FIG. 6 is a block diagram showing a control configuration of the component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. It is a schematic diagram for demonstrating a series of mounting operations of the component mounting apparatus by embodiment of this invention. It is a figure for demonstrating the illumination of the component mounting apparatus by embodiment of this invention. It is a figure for demonstrating the image processing in the case of component data creation by embodiment of this invention. It is a figure for demonstrating selection of the bump electrode at the time of component data creation by embodiment of this invention. It is a figure for demonstrating the process of the noise in the case of component data creation by embodiment of this invention.
- the component mounting apparatus 100 takes out a component (semiconductor chip) C from the wafer W that has been diced and mounts it on the mounting surface of the substrate S, and also uses electronic components (so-called package components) supplied by the tape feeder 3a as the substrate S A so-called composite type component mounting apparatus that can be mounted on the mounting surface of
- the component mounting apparatus 100 includes a base 1, a conveyor 2, two chip component supply units 3, two mounting units 4, a wafer holding table 5, and an ejection unit 6.
- a component recognition camera 7, a fixed camera 8, a flux supply unit 9, a wafer storage unit 10, and a control unit 11 are provided.
- the component mounting apparatus 100 further includes a display unit 12 as shown in FIG. Further, the component mounting apparatus 100 includes the illumination 81.
- the illumination 81 includes main illumination 811, coaxial illumination 812, and side illumination 813.
- the mounting unit 4 is an example of the “mounting head” in the claims
- the fixed camera 8 is an example of the “imaging unit” in the claims.
- the conveyor 2 is configured to carry in and out the substrate S to a predetermined mounting operation position. Further, the conveyor 2 includes a pair of conveyor rails extending in the X direction, and a positioning mechanism (not shown) for positioning the substrate S at a predetermined position. Thus, the conveyor 2 transports the substrate S in the X direction, and positions and fixes the substrate S at a predetermined mounting operation position.
- the two chip component supply units 3 are provided at both ends on the front side (Y1 direction side) of the component mounting apparatus 100, respectively.
- tape feeders 3a are arranged side by side along the X direction. Each tape feeder 3a intermittently delivers the carrier tape and supplies the electronic components in the carrier tape to a predetermined component supply position.
- the mounting unit 4 is configured to mount the electronic component and the component C of the wafer W supplied from the chip component supply unit 3 on the substrate S. Specifically, the mounting unit 4 is supported movably in the horizontal direction (XY direction) above the conveyor 2 (substrate S) by the XY moving mechanism.
- the mounting unit 4 has a plurality of (two) suction nozzles 4 a (see FIG. 3) disposed along the X direction.
- the component C is, for example, a wafer level package (WLP) or a wafer level chip size package (WL-CSP).
- the mounting unit 4 is configured to suction the component C taken out of the wafer W by the takeout unit 6 by the suction nozzle 4 a and mount the component C on the substrate S.
- the mounting unit 4 is configured to suction the electronic components supplied by the tape feeder 3a by the suction nozzle 4a and mount the electronic component on the substrate S.
- the wafer holding table 5 is configured to support the wafer W pulled out of the wafer storage unit 10 by a loading and unloading mechanism (not shown) at a predetermined position.
- the takeout unit 6 is configured to take out the component C from the wafer W and deliver it to the mounting unit 4. Further, the takeout unit 6 is moved in the horizontal direction (XY direction) at a position above the wafer holding table 5 by a predetermined driving means.
- the takeout unit 6 also includes four wafer heads 6a (see FIG. 3).
- Wafer head 6a is configured to be rotatable around the X axis and capable of moving (lifting) in the vertical direction. Further, the wafer head 6 a is configured to be able to suction the component C. That is, the take-out unit 6 sucks the component C pushed up by the projection (not shown) with the wafer head 6a and takes it out, flips the component C (flip), and mounts the component 4 (suction It is configured to deliver the part C to the nozzle 4a).
- the component recognition camera 7 is configured to pick up an image of the component C to be taken out prior to taking out the component C from the wafer W. Further, the component recognition camera 7 is provided in the same frame as the extraction unit 6. Further, the component recognition camera 7 is moved in the horizontal direction (XY direction) at a position above the wafer holding table 5 by a predetermined driving means.
- the component recognition camera 7 is provided with illumination (not shown).
- the illumination is configured to emit light during imaging by the component recognition camera 7.
- the illumination has a light source such as an LED (light emitting diode).
- the fixed camera 8 is installed on the base 1 and in the movable area of the mounting unit 4.
- the fixed camera 8 is configured to capture an electronic component (including the component C) suctioned by the suction nozzle 4 a of the mounting unit 4 from the lower side.
- the stationary camera 8 is provided with an illumination 81 as shown in FIGS. 2 and 4.
- the illumination 81 is configured to emit light at the time of imaging by the fixed camera 8.
- the illumination 81 includes a light source such as an LED (light emitting diode).
- the illumination 81 is configured such that the main illumination 811, the coaxial illumination 812, and the side illumination 813 emit light according to the imaging method.
- the main illumination 811 is configured to irradiate light obliquely with respect to the vertical direction (Z direction). Specifically, the main illumination 811 is disposed so as to surround the outside of the coaxial illumination 812. Further, the main illumination 811 is configured to emit light obliquely upward to the upper side.
- the coaxial illumination 812 is configured to emit light coaxially with the optical axis of the fixed camera 8. That is, the coaxial illumination 812 is configured to emit light upward.
- the side illumination 813 is configured to irradiate light to the component C from the side. That is, the side illumination 813 is configured to irradiate light from the side to the component C held by the suction nozzle 4a.
- the illumination 81 can adjust the intensity of the light to be emitted. Specifically, the illumination 81 has its light intensity adjusted by PWM control (pulse width modulation control). Further, the illumination 81 is configured to be able to individually illuminate the main illumination 811, the coaxial illumination 812, and the side illumination 813 so as to emit light. Further, the illumination 81 is configured to be able to emit light by combining the main illumination 811, the coaxial illumination 812, and the side illumination 813. For example, illumination 81 is configured to emit light in combination with main illumination 811 and coaxial illumination 812.
- PWM control pulse width modulation control
- the flux supply unit 9 is provided to transfer (apply) the flux to the bump electrode B of the component C. Specifically, the flux supply unit 9 thins, spreads and supplies the flux thinly on the plate. Then, the component C adsorbed by the suction nozzle 4 a of the mounting unit 4 is brought into contact with the spread and spread flux. Thus, the flux is transferred to the bump electrode B of the component C. The flux is applied to the bump electrode B of the component C so that the wetting of the solder for bonding becomes good.
- the wafer storage unit 10 is configured to be able to store a plurality of diced wafers W.
- Component C of wafer W is, for example, a chip component for flip chip mounting on which a plurality of bump electrodes B are formed. That is, on the mounting surface of the component C, a plurality of three-dimensional electrodes protruding from the mounting surface are provided. In this case, the component C is stuck and held on a film-like wafer sheet so that the bump electrode formation surface (mounting surface) faces upward.
- the control unit 11 is configured to integrally control the operation of each unit of the component mounting apparatus 100.
- the control unit 11 includes the conveyor 2, the chip component supply unit 3, the mounting unit 4, the wafer holding table 5, the takeout unit 6, the component recognition camera 7, the fixed camera 8, the flux supply unit 9 and the wafer storage unit 10. And the like are configured to perform operation control.
- the control unit 11 controls the operation of each unit based on an output signal from a position detection unit such as an encoder incorporated in the drive motor of each unit described above.
- the control unit 11 has a function of performing imaging control and image recognition of various cameras (the component recognition camera 7 and the fixed camera 8).
- the control unit 11 includes a CPU (central processing unit) 111 and a memory 112.
- the memory 112 is an example of the “storage unit” in the claims.
- the display unit 12 is configured to display information. Specifically, information for operating the component mounting apparatus 100 is displayed on the display unit 12. In addition, information indicating the state of the component mounting apparatus 100 is displayed on the display unit 12.
- the component C to be mounted is taken out by the takeout unit 6, and the component C is held by suction on the wafer head 6a of the takeout unit 6.
- Ru The wafer head 6a is rotated to flip the part C, and the part C is placed at a predetermined delivery position.
- the suction nozzle 4a of the mounting unit 4 is lowered to the delivery height position above the delivery position, and the component C is attracted.
- the mounting unit 4 After the component C is sucked, the mounting unit 4 is moved to above the flux supply unit 9. The suction nozzle 4 a of the mounting unit 4 is lowered to the transfer height position, and the flux is transferred (coated) onto the bump electrode formation surface of the component C. Thereafter, the mounting unit 4 is moved so as to pass above the fixed camera 8, and the bump electrode formation surface of the component C sucked by the suction nozzle 4a is imaged. Thereby, the defect determination of the bump electrode formation surface of the component C and the recognition of the suction position deviation are performed.
- the transfer operation and the imaging operation may be reversed in order. That is, when the state before transfer can perform imaging (image recognition) better, the imaging operation is performed first.
- the mounting unit 4 is moved above the substrate S held by the conveyor 2, and the suction nozzle 4a is lowered to a mounting height position above the predetermined mounting position, and the component C is placed on the substrate S (Implemented)
- the mounting unit 4 is moved above the predetermined component removal position of the tape feeder 3a. Then, the suction nozzle 4a is lowered to take out the electronic component. Thereafter, the mounting unit 4 is moved so as to pass above the fixed camera 8, and the lower surface of the electronic component sucked by the suction nozzle 4a is imaged. Then, the mounting unit 4 is moved to the upper side of the substrate S. Thereafter, the suction nozzle 4a is lowered, and the electronic component is mounted (mounted) on the substrate S.
- the component C is individually stored in the carrier tape and supplied from the tape feeder 3a, after the component C is taken out from the tape feeder 3a, transfer and imaging are performed as shown in FIG. The component C is placed (mounted) on the
- control unit 11 is configured to perform control of creating component data for recognizing the component C based on the image of the component C captured by the fixed camera 8.
- control unit 11 is configured to perform control of generating component data by causing the imaging unit to image the component C a plurality of times under different imaging conditions.
- control unit 11 is configured to perform control to create component data by causing the stationary camera 8 to image the component C a plurality of times by changing the irradiation condition of light by the illumination 81.
- control unit 11 is configured to perform control to create component data by causing the stationary camera 8 to image the component C a plurality of times with different irradiation directions of light to the component C.
- the control unit 11 applies the light to the part C from below to pick up the part C, and the part C on the basis of the image obtained by irradiating the light from the side to pick up the part C. It is configured to perform control to create data.
- the control unit 11 emits light by combining the main illumination 811 and the coaxial illumination 812 to generate an image of the component C, and the image of emitting the light from the side illumination 813 to image the component C. , Is configured to create part data.
- control unit 11 acquires the outer shape of the part C based on the image of the part C imaged under the first imaging condition, and based on the image of the part C imaged according to the second imaging condition different from the first imaging condition. Control for acquiring the arrangement information of the electrode of the part C. Under the first imaging condition, the component C is irradiated with light from below and imaged. In addition, in the second imaging condition, light is emitted to the part C from the side and taken.
- control unit 11 is configured to perform control of imaging the component C under the second imaging condition after imaging the component C under the first imaging condition. That is, after acquiring the outer shape of the part C based on the result of imaging under the first imaging condition, the control unit 11 acquires the electrode layout information of the part C based on the result of imaging under the second imaging condition Is configured as.
- the control unit 11 causes the component C to be imaged a plurality of times by the fixed camera 8 by changing the amount of light emitted from the illumination 81 to the component C, and acquires the amount of light suitable for imaging based on the imaged image It is configured to perform control. For example, when the number of bumps and the diameter of the bumps are known or when they can be easily extracted, the illuminance with which the bumps can be easily seen is automatically determined.
- the component C is imaged at a plurality of different illumination levels, and the bumps are extracted based on the acquired image to determine the number of bumps, the diameter of the bumps, and the like. Then, the illumination level at which the measurement result closest to the known value is obtained is acquired as the appropriate illuminance of the part. Bump coordinate data creation and component recognition at the time of actual production are performed using this illuminance.
- the control unit 11 is configured to perform control to acquire the outer dimensions of the part C including a plurality of three-dimensional electrodes, the arrangement information of the electrodes, and the dimensions of the electrodes based on an image obtained by capturing the part C.
- the control unit 11 is configured to perform control to discriminate between the electrode of the part C and the noise by using the feature amount of the extraction portion of the image obtained by capturing the part C.
- expansion / contraction processing is performed on a portion of an image based on a captured image.
- binary analysis after performing binarization processing based on a captured image, expansion / contraction processing is performed on a part of the image. This makes it possible to remove minute noise components. Thereafter, contour tracking is performed to calculate feature amounts.
- the feature amount is, for example, an area, a diameter conversion value in which the area is an equivalent area circle, a peripheral length, a diameter conversion value in which the peripheral length is an equivalent circle peripheral length, an included circle diameter (diameter of circumscribed circle), major axis / minor axis, Roundness (difference between maximum radius and minimum radius), roundness, horizontal-vertical fillet diameter, arithmetic moment, etc. are included. It is possible to automatically remove noise by distortion and size of the shape assuming that the shape of the bump electrode B is circular using the result of calculating the feature amount. For example, if the circle is greatly distorted, it is removed as noise. In this case, the operator can confirm whether the removal should be performed.
- the control unit 11 is configured to perform control to acquire the arrangement information of the electrodes of the part C including the plurality of electrodes based on the image obtained by imaging the part C.
- the component mounting apparatus 100 is configured to be able to set a portion of the plurality of electrodes that does not need to obtain the placement information.
- the bump information acquisition unnecessary portion is set in advance and excluded from the image analysis. For example, the operator selects and eliminates the bump information acquisition unnecessary portion by the mouse operation.
- the bump information acquisition unnecessary portion is a portion unnecessary for the quality determination of the part C. In the example of FIG. 6, the information on the upper left plural bump groups is excluded as unnecessary.
- the control unit 11 is configured to perform control to display a difficult-to-determine part on the display unit 12 when it is difficult to determine the electrode of the part C based on an image obtained by capturing the part C.
- a guide 201 a is attached to the bump electrode B in which the electrodes can be determined.
- a guide 201 b is attached to a portion where the determination of the electrode is difficult.
- the measurement information is overlaid on the part image, and the guide 201b is attached to the location where the distortion is observed in the shape.
- the guides 201a and 201b are displayed in an identifiable manner to the operator.
- the guides 201a and 201b are displayed in different colors, shapes, display methods (such as blinking display), and the like.
- the bump diameter and distortion are determined by the distribution based on the statistics of a plurality of extraction points. The operator performs bump / noise determination separately on the portion shown with the guide 201b.
- the state of the setting candidate is overlaid on the component image and attached to the size display 202a, 202b or 202c to indicate it to the operator.
- the operator compares the size displays 202a to 202c with the extracted portion on the image to select and determine the bump diameter. If the diameter of the design value does not match the diameter on the image, component data is created according to the diameter on the image. That is, when the component C is mounted, component data is created so as to fit the image that is actually captured.
- the part where the part C is likely to be reflected and the part where it is difficult to be reflected are different.
- the image on the part C is imaged when the image is captured by the main illumination 811 and the coaxial illumination 812 of FIG. Reflected.
- the side illumination 813 of (D) the mark on the part C is not reflected. That is, it switches to a lighting condition that makes it easy to distinguish between a portion to be viewed and a portion not to be viewed, and acquires a plurality of component images.
- imaging is performed using the main illumination 811 and the coaxial illumination 812 where the outline part is most visible. Further, when it is desired to acquire the position of the bump, imaging is performed using the side illumination 813 in which the bump can be seen without reflection of the outer shape, the mark, the pattern, and the like. That is, since the bumps are arranged to protrude with respect to the mounting surface of the component C, it is possible to clearly pick up an image even when light is applied from the side.
- the plurality of bumps are recognized in groups. For example, groups that are all necessary electrodes, grounding electrodes, etc. may be divided into groups that may have a predetermined number or more, coupling reinforcing electrodes, etc., and groups that are not particularly needed.
- the control unit 11 changes the recognition number and the missing number threshold value for each group, recognizes bumps, and creates component data.
- the created component data is stored in the memory 112.
- the control unit 11 is configured to compare the created component data with the component data stored in the memory 112, and rewrite the created component data if the data can be rewritten. That is, redundant storage of component data in the memory 112 is suppressed.
- Parts data creation process With reference to FIG. 10, component data creation processing by the control unit 11 of the component mounting apparatus 100 will be described based on a flowchart.
- step S1 of FIG. 10 the first imaging by the fixed camera 8 is performed. Specifically, the component C sucked by the suction nozzle 4 a is positioned above the fixed camera 8, and imaging of the component C is performed. In step S2, the suction shift angle, the external dimensions of the part, and the part center position are calculated.
- step S3 the calculation result is displayed on the display unit 12. Based on the display on the display unit 12, the operator makes fine adjustments to the result as needed.
- step S4 the part C is rotated by the shift angle. Specifically, the suction nozzle 4a is rotated in the opposite direction by the amount of the angle deviation.
- step S5 the second imaging by the fixed camera 8 is performed. At this time, the component C is imaged under an imaging condition different from that of the first imaging.
- step S6 bumps are extracted from the captured image. Specifically, the bump position and the bump diameter are extracted from the image.
- step S7 the extracted bumps are displayed on the display unit 12. Based on the display on the display unit 12, the operator makes fine adjustments to the result as needed. Specifically, the operator performs an operation of deleting a bump not required for production check, an erroneously created bump, and a portion where noise can not be determined. In addition, an appropriate bump diameter selection operation is performed by the operator. In step S8, it is determined whether there is a change in bump diameter. If there is a change, the process proceeds to step S9. If there is no change, the process proceeds to step S10.
- step S9 the bumps are extracted again.
- bump diameter data is again created according to the selected bump diameter.
- step S10 existing similar data is confirmed. That is, it is checked whether there is data similar to the created component data on the database.
- step S11 it is determined whether there is similar data. If similar data is present, the process proceeds to step S12. If similar data is not present, the process proceeds to step S14.
- step S12 it is determined whether there is a data replacement instruction. That is, it is determined whether or not there is an instruction by the operator to replace and store new data with respect to similar data. If there is a replacement instruction, the data is replaced in step S13, and the process proceeds to step S14. If there is no replacement instruction, the process proceeds to step S14.
- step S14 bump group setting is accepted. Thereafter, the component data creation process is ended.
- control unit 11 is configured to perform control of generating component data by causing the fixed camera 8 to image the component C a plurality of times under different imaging conditions.
- the feature points of the part C are made clearer by any of the plurality of images by imaging under a plurality of imaging conditions. It can be imaged.
- the number of pieces of information of feature points that can be automatically acquired can be increased, so the number of pieces of information of feature points input by the operator can be reduced.
- the occurrence of erroneous input can be suppressed.
- control unit 11 performs control to create component data by causing the component C to be imaged a plurality of times by the fixed camera 8 with different irradiation conditions of light by the illumination 81.
- the control unit 11 performs control to create component data by causing the component C to be imaged a plurality of times by the fixed camera 8 with different irradiation conditions of light by the illumination 81.
- the control unit 11 controls the production of the component data by causing the component C to be imaged a plurality of times by the fixed camera 8 while making the irradiation direction of light to the component C different.
- the component C having a feature point whose light reflection direction changes depending on the light irradiation direction can be imaged under a plurality of irradiation conditions in which the light irradiation direction is changed, so that the feature point of the component C is recognized.
- the number of things that can be done can be increased more effectively.
- the control unit 11 causes the component C to be imaged a plurality of times by the fixed camera 8 with different amounts of light emitted from the illumination 81 to the component C. Control to obtain an amount of light suitable for imaging. As a result, the amount of light at the time of photographing to recognize the component C can be optimized, so that the recognition accuracy of the component C at the time of component mounting on the substrate S can be improved.
- the control unit 11 irradiates the component C with light from below to image the component C and the component C with light from the side. It is configured to perform control to create component data based on an image obtained by capturing the component C.
- the outer shape of the part C can be easily recognized based on the image captured by irradiating the part C with light from below, and the lower part of the part C is irradiated with light from the side.
- the positions of the plurality of bump electrodes B protruding to the top can be easily recognized.
- control unit 11 acquires the outer shape of the part C based on the image of the part C captured under the first imaging condition, and the second imaging different from the first imaging condition It is configured to perform control to acquire the arrangement information of the electrode of the part C based on the image of the part C captured according to the condition.
- component data is easily and accurately created from an image captured under the first imaging condition in which the external shape of the component C is clearly visible and an image captured under the second imaging condition in which the electrode of the component C is clearly visible. can do.
- the control unit 11 is configured to perform control of imaging the component C under the second imaging condition.
- the positions of the electrodes can be associated with the reference position based on the outer shape of the part C and thus acquired, so that the part data can be created efficiently.
- the controller 11 controls the external dimensions of the part C including the plurality of three-dimensional electrodes, the arrangement information of the electrodes, and the dimensions of the electrodes based on the image obtained by imaging the part C. Configure to perform control to acquire.
- component data can be acquired based on the imaging result of fixed camera 8 at the time of mounting component C, it is possible to suppress the measurement error of the external dimension of component C, the dimension of the electrode, and the arrangement of the electrodes. Can.
- a measuring instrument such as a vernier caliper
- control unit 11 is configured to perform control to determine the electrode of the part C and noise using the feature amount of the extracted portion of the image obtained by capturing the part C. Do. As a result, it is possible to suppress the mixing of noise into component data. Further, since the mixing of noise can be suppressed, the checking operation can be performed in a short time even when the operator needs to check.
- control unit 11 is configured to perform control to acquire the electrode arrangement information of the component C including the plurality of electrodes based on the image obtained by imaging the component C.
- the electrodes of the above a portion which does not need to obtain the arrangement information is configured to be settable. As a result, it is possible to omit acquisition of arrangement information of electrodes of unnecessary portions, so that component data can be created in a shorter time.
- the control unit 11 displays the part that is difficult to determine on the display unit 12 Configure to perform control.
- the operator can input information on difficult-to-identify portions, component data can be created with high accuracy.
- control unit 11 compares the created component data with the component data stored in the memory 112, and rewrites the created component data when it can be rewritten. Configure to Thus, duplication of component data can be suppressed, and data management can be easily performed.
- the present invention is not limited to this.
- the present invention may be applied to a component mounting apparatus which mounts a component supplied by a tape or tray on a substrate.
- the lead component may be imaged to create component data of the lead component as component data.
- components when component data is created, an example of a configuration in which components are imaged under two different imaging conditions is shown, but the present invention is not limited to this.
- components may be imaged according to three or more different imaging conditions, and component data may be created based on the respective imaging results.
- the present invention is not limited to this.
- the imaging of the component may be performed with different conditions such as the imaging position and the imaging direction.
- component data may be created using known data in addition to an image obtained by capturing a component.
- the processing of the control unit has been described using a flow-driven flow that sequentially performs processing along the processing flow, but the present invention is not limited to this.
- the processing of the control unit may be performed by event-driven (event-driven) processing that executes processing in units of events.
- the operation may be completely event driven, or the combination of event driving and flow driving may be performed.
- Mounting unit (mounting head) 8 Fixed Camera (Imaging Unit) 11 control unit 12 display unit 81 lighting 112 memory (storage unit) 12 bump electrode C component S substrate
Landscapes
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Abstract
L'invention concerne un dispositif de montage de composant (100) qui comprend : une tête de montage (4) pour monter un composant (C) sur un substrat (S) ; une unité d'imagerie (8) qui peut imager un composant ; et une unité de commande (11) qui crée des données de composant qui sont destinées à reconnaître le composant, les données étant créées sur la base de l'image du composant qui a été imagé par l'unité d'imagerie. L'unité de commande est configurée de façon à effectuer une commande dans laquelle des données de composant sont créées en amenant l'unité d'imagerie à imager le composant plusieurs fois dans différentes conditions d'imagerie.A component mounting device (100) includes: a mounting head (4) for mounting a component (C) on a substrate (S); an imaging unit (8) which can image a component; and a control unit (11) which creates component data for recognizing the component, the data being created on the basis of the image of the component that has been imaged by the imaging unit. The controller is configured to perform a command in which component data is created by causing the imaging unit to image the component multiple times under different imaging conditions.
Description
この発明は、部品実装装置および部品データ作成方法に関する。 The present invention relates to a component mounting apparatus and a component data creation method.
従来、部品データ作成方法が知られている。部品データ作成方法は、たとえば、特開2006-302949号公報に開示されている。 Conventionally, a part data creation method is known. The part data creation method is disclosed, for example, in Japanese Patent Laid-Open No. 2006-302949.
上記特開2006-302949号公報には、部品を基板に実装する部品実装装置における部品を認識するための部品データを作成する部品ライブラリデータの作成方法(部品データ作成方法)が開示されている。この部品ライブラリデータの作成方法では、対象の部品を部品認識カメラにより撮像し、撮像した画像に基づいて、電極の位置および径を含む情報を取得している。また、撮像した画像により電極を認識することが困難である場合は、オペレータが画像を確認して電極の情報を入力している。 Japanese Patent Laid-Open No. 2006-302949 discloses a method of creating component library data (method of creating component data) for creating component data for recognizing a component in a component mounting apparatus for mounting a component on a substrate. In the component library data creation method, the target component is imaged by the component recognition camera, and information including the position and the diameter of the electrode is acquired based on the imaged image. In addition, when it is difficult to recognize the electrode by the captured image, the operator confirms the image and inputs the information of the electrode.
上記特開2006-302949号公報の部品ライブラリデータの作成方法(部品データ作成方法)では、部品データを自動で作成することができるものの、撮像した画像から電極を認識することが困難である場合は、オペレータが情報を入力する必要がある。このため、オペレータの作業負担が増大する。また、手動により情報を入力する場合、誤入力が発生するおそれもあるため、精度よく部品データを作成できない場合もある。そこで、オペレータの作業負担を軽減するとともに、精度よく部品データを作成することが望まれている。 In the component library data creation method (component data creation method) described in JP-A-2006-302949, although component data can be created automatically, it is difficult to recognize an electrode from a captured image. , The operator needs to input information. This increases the workload on the operator. In addition, in the case of inputting information manually, there is also a possibility that an erroneous input may occur, so that it may not be possible to create component data with high accuracy. Therefore, it is desired to reduce the work load on the operator and create component data with high accuracy.
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の1つの目的は、オペレータの作業負担を軽減するとともに、精度よく部品データを作成することが可能な部品実装装置および部品データ作成方法を提供することである。 The present invention has been made to solve the problems as described above, and one object of the present invention is to reduce the work load on the operator and to implement component mounting capable of creating component data with high accuracy. An apparatus and component data creation method is provided.
この発明の第1の局面による部品実装装置は、基板に対して部品を実装する実装ヘッドと、部品を撮像可能な撮像部と、撮像部により撮像した部品の画像に基づいて、部品を認識するための部品データを作成する制御部とを備え、制御部は、部品を異なる撮影条件により撮像部により複数回撮像させて、部品データを作成する制御を行うように構成されている。 The component mounting apparatus according to the first aspect of the present invention recognizes a component based on an image of the component taken by the mounting head for mounting the component on a substrate, an imaging unit capable of imaging the component, and the imaging unit. The control unit is configured to generate component data by causing the imaging unit to image the component a plurality of times under different imaging conditions.
この発明の第1の局面による部品実装装置では、上記のように、制御部を、部品を異なる撮影条件により撮像部により複数回撮像させて、部品データを作成する制御を行うように構成する。これにより、1回の撮像により部品の全ての特徴点が画像に鮮明に映らない場合でも、複数の撮像条件により撮像することにより、部品の特徴点を複数の画像のいずれかにより鮮明に撮像することができる。これにより、自動で取得することが可能な特徴点の情報数を多くすることができるので、オペレータにより入力する特徴点の情報数を減少させることができる。これにより、誤入力の発生を抑制することができる。その結果、オペレータの作業負担を軽減するとともに、精度よく部品データを作成することができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect of the present invention, as described above, the control unit is configured to perform control of generating component data by causing the imaging unit to image the component a plurality of times under different imaging conditions. As a result, even when not all feature points of the part are clearly displayed in the image by one imaging, the feature points of the part are clearly imaged by any of a plurality of images by imaging under a plurality of imaging conditions be able to. As a result, the number of pieces of information of feature points that can be automatically acquired can be increased, so the number of pieces of information of feature points input by the operator can be reduced. Thereby, the occurrence of erroneous input can be suppressed. As a result, it is possible to reduce the work load on the operator and to create component data with high accuracy.
上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、撮像部による撮像時に部品に光を照射する照明を備え、制御部は、照明による光の照射条件を異ならせて部品を撮像部により複数回撮像させて、部品データを作成する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、光の照射条件により見え方が変化する部品を、複数の光の照射条件により撮像することができるので、部品の特徴点を認識することができる数を効果的に多くすることができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the apparatus includes illumination for irradiating the component with light at the time of imaging by the imaging unit, and the control unit changes the irradiation condition of light by illumination and the component is used multiple times by the imaging unit. It is configured to perform imaging control and create component data. According to this structure, the component whose appearance changes depending on the light irradiation condition can be imaged under a plurality of light irradiation conditions. Therefore, the number of feature points of the component can be recognized effectively. can do.
この場合、好ましくは、制御部は、部品に対する光の照射方向を異ならせて部品を撮像部により複数回撮像させて、部品データを作成する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、光の照射方向により光の反射方向が変化する特徴点を有する部品を、光の照射方向を変えた複数の照射条件により撮像することができるので、部品の特徴点を認識することができる数をより効果的に多くすることができる。 In this case, preferably, the control unit is configured to control the creation of the component data by causing the imaging unit to image the component a plurality of times by changing the irradiation direction of light to the component. According to this structure, a component having a feature point whose light reflection direction changes depending on the light irradiation direction can be imaged under a plurality of irradiation conditions in which the light irradiation direction is changed. The number that can be recognized can be increased more effectively.
上記照明による光の照射条件を異ならせて部品を撮像部により複数回撮像する構成において、好ましくは、制御部は、照明から部品に照射する光の量を異ならせて部品を撮像部により複数回撮像させて、撮像した画像に基づいて、撮像時に適した光の量を取得する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、部品を認識するために撮影する際の光の量を最適化することができるので、基板への部品実装時における部品の認識精度を向上させることができる。 In the configuration in which the component is imaged a plurality of times by the imaging unit under different light irradiation conditions by the illumination, preferably, the control unit varies the amount of light to be emitted from the illumination to the component and the component is performed a plurality of times by the imaging unit It is configured to perform imaging and control to acquire an amount of light suitable for imaging based on the imaged image. With this configuration, it is possible to optimize the amount of light at the time of photographing to recognize the component, and therefore, it is possible to improve the recognition accuracy of the component when the component is mounted on the substrate.
上記照明による光の照射条件を異ならせて部品を撮像部により複数回撮像する構成において、好ましくは、部品は、複数のバンプ電極を含み、制御部は、部品に対して下方から光を照射して部品を撮像した画像と、部品に対して側方から光を照射して部品を撮像した画像とに基づいて、部品データを作成する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、部品に下方から光を照射して撮像した画像に基づいて、部品の外形を容易に認識することができるとともに、部品に側方から光を照射した画像に基づいて、下方に突出する複数のバンプ電極の位置を容易に認識することができる。 In the configuration in which the component is imaged a plurality of times by the imaging unit under different light irradiation conditions by the illumination, preferably, the component includes a plurality of bump electrodes, and the control unit irradiates the component with light from below. Control is performed to create component data based on an image obtained by imaging the component and an image obtained by imaging the component by emitting light from the side to the component. According to this structure, the outer shape of the part can be easily recognized based on the image captured by irradiating the part with light from below, and the part is irradiated with light from the side, The positions of the plurality of bump electrodes projecting downward can be easily recognized.
上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、第1撮像条件により撮像した部品の画像に基づいて、部品の外形を取得し、第1撮像条件とは異なる第2撮像条件により撮像した部品の画像に基づいて、部品の電極の配置情報を取得する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、部品の外形が鮮明に映りやすい第1撮像条件により撮像した画像と、部品の電極が鮮明に映りやすい第2撮像条件により撮像した画像とにより、部品データを容易に精度よく作成することができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the control unit acquires an outer shape of the component based on an image of the component imaged under the first imaging condition, and a second imaging condition different from the first imaging condition It is comprised so that control which acquires the arrangement | positioning information of the electrode of components may be performed based on the image of components imaged by this. With such a configuration, the component data can be easily accurate with the image captured under the first imaging condition in which the external shape of the component is clearly visible and the image imaged under the second imaging condition in which the electrode of the component is clearly visible. It can be created well.
この場合、好ましくは、制御部は、第1撮像条件により部品を撮像した後、第2撮像条件により部品を撮像する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、部品の外形を取得した後、部品の外形に基づく基準位置に対して電極の位置を関連付けて取得することができるので、効率よく部品データを作成することができる。 In this case, preferably, the control unit is configured to perform control of imaging the component under the second imaging condition after imaging the component under the first imaging condition. According to this structure, after acquiring the outer shape of the part, the position of the electrode can be associated with the reference position based on the outer shape of the part, so that the part data can be created efficiently.
上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、複数の立体的な電極を含む部品の外形寸法、電極の配置情報、電極の寸法を、部品を撮像した画像に基づいて取得する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、部品を実装する際の撮像部の撮像結果に基づいて、部品データを取得することができるので、部品の外形寸法、電極の寸法、電極の配置の計測ミスを抑制することができる。これにより、部品の実装時に良品の部品を誤って不良品と判定して廃棄するのを抑制することができる。また、ノギスなどの計測器具を用いてオペレータが手動で測定する必要がないので、部品データ作成時間が増加するのを抑制することができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the control unit acquires the external dimensions of the component including a plurality of three-dimensional electrodes, the arrangement information of the electrodes, and the dimensions of the electrodes based on an image obtained by imaging the component. Are configured to perform control. According to this structure, the component data can be obtained based on the imaging result of the imaging unit at the time of mounting the component, and therefore, the measurement error of the outer dimension of the component, the dimension of the electrode, and the arrangement of the electrode is suppressed. be able to. As a result, it is possible to suppress that a non-defective part is mistakenly determined as a non-defective part and discarded when the part is mounted. Moreover, since it is not necessary for the operator to perform manual measurement using a measuring instrument such as a vernier caliper, it is possible to suppress an increase in the part data creation time.
上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、部品を撮像した画像の抽出箇所の特徴量を利用して、部品の電極とノイズとを判別する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、部品データにノイズが混入するのを抑制することができる。また、ノイズの混入を抑制することができるので、オペレータが確認する必要がある場合でも、確認作業を短時間で行うことができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the control unit is configured to perform control to discriminate between the electrode of the component and the noise by using the feature amount of the extracted portion of the image obtained by imaging the component. ing. With this configuration, it is possible to suppress the mixing of noise into component data. Further, since the mixing of noise can be suppressed, the checking operation can be performed in a short time even when the operator needs to check.
上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、部品を撮像した画像に基づいて複数の電極を含む部品の電極の配置情報を取得する制御を行うように構成され、複数の電極のうち、配置情報を取得する必要のない部分が設定可能に構成されている。このように構成すれば、必要のない部分の電極の配置情報を取得することを省略することができるので、より短時間で部品データを作成することができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the control unit is configured to perform control to acquire electrode arrangement information of a component including a plurality of electrodes based on an image obtained by imaging the component, Of the electrodes, a portion that does not need to obtain the placement information is configured to be settable. According to this structure, it is possible to omit acquiring the electrode arrangement information of the unnecessary part, so that the component data can be created in a shorter time.
上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、情報を表示する表示部を備え、制御部は、部品を撮像した画像に基づいて、部品の電極の判別が困難な場合に、判別困難な部分を表示部に表示する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、オペレータにより、判別困難な部分の情報を入力することができるので、精度よく部品データを作成することができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, the display unit is configured to display information, and the control unit is difficult to determine the electrode of the component based on the image obtained by imaging the component when it is difficult to determine It is comprised so that control which displays a part on a display part may be performed. According to this configuration, since the operator can input information of a difficult-to-identify portion, component data can be created with high accuracy.
上記第1の局面による部品実装装置において、好ましくは、部品データを格納する記憶部を備え、制御部は、作成した部品データと、記憶部に記憶された部品データとを比較し、書き換え可能である場合に、作成した部品データに書き換えるように構成されている。このように構成すれば、部品データの重複を抑制することができるので、データ管理を容易に行うことができる。 In the component mounting apparatus according to the first aspect, preferably, a storage unit for storing component data is provided, and the control unit compares the created component data with the component data stored in the storage unit and can be rewritten If there is, it is configured to rewrite the created component data. With this configuration, duplication of component data can be suppressed, and data management can be easily performed.
この発明の第2の局面による部品データ作成方法は、部品を異なる撮影条件により撮像部により複数回撮像し、撮像部により撮像した部品の画像に基づいて、部品を認識するための部品データを作成する。 The component data creating method according to the second aspect of the present invention captures a component a plurality of times by the imaging unit under different imaging conditions, and creates component data for recognizing the component based on the image of the component captured by the imaging unit Do.
この発明の第2の局面による部品データ作成方法では、上記のように、部品を異なる撮影条件により撮像部により複数回撮像し、撮像部により撮像した部品の画像に基づいて、部品を認識するための部品データを作成する。これにより、1回の撮像により部品の全ての特徴点が画像に鮮明に映らない場合でも、複数の撮像条件により撮像することにより、部品の特徴点を複数の画像のいずれかにより鮮明に撮像することができる。これにより、自動で取得することが可能な特徴点の情報数を多くすることができるので、オペレータにより入力する特徴点の情報数を減少させることができる。これにより、誤入力の発生を抑制することができる。その結果、オペレータの作業負担を軽減するとともに、精度よく部品データを作成することができる。 In the component data creating method according to the second aspect of the present invention, as described above, the component is imaged a plurality of times by the imaging unit under different imaging conditions, and the component is recognized based on the image of the component imaged by the imaging unit. Create part data for As a result, even when not all feature points of the part are clearly displayed in the image by one imaging, the feature points of the part are clearly imaged by any of a plurality of images by imaging under a plurality of imaging conditions be able to. As a result, the number of pieces of information of feature points that can be automatically acquired can be increased, so the number of pieces of information of feature points input by the operator can be reduced. Thereby, the occurrence of erroneous input can be suppressed. As a result, it is possible to reduce the work load on the operator and to create component data with high accuracy.
本発明によれば、上記のように、オペレータの作業負担を軽減するとともに、精度よく部品データを作成することができる。 According to the present invention, as described above, it is possible to reduce the work load on the operator and create component data with high accuracy.
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described based on the drawings.
(部品実装装置の構成)
図1~図4を参照して、本発明の一実施形態による部品実装装置100の構造について説明する。
(Configuration of component mounting device)
The structure of a
部品実装装置100は、ダイシングされたウエハWから部品(半導体チップ)Cを取り出して基板Sの実装面上に実装するとともに、テープフィーダ3aにより供給される電子部品(いわゆるパッケージ部品)などを基板Sの実装面上に実装することが可能ないわゆる複合型の部品実装装置である。
The
この部品実装装置100は、図1に示すように、基台1と、コンベア2と、2つのチップ部品供給部3と、2つの実装部4と、ウエハ保持テーブル5と、取出部6と、部品認識カメラ7と、固定カメラ8と、フラックス供給部9と、ウエハ収納部10と、制御部11とを備えている。また、部品実装装置100は、図2に示すように、表示部12を備えている。また、部品実装装置100は、照明81を備えている。照明81は、メイン照明811と、同軸照明812と、サイド照明813とを含んでいる。なお、実装部4は、請求の範囲の「実装ヘッド」の一例であり、固定カメラ8は、請求の範囲の「撮像部」の一例である。
As shown in FIG. 1, the
コンベア2は、所定の実装作業位置に基板Sを搬入および搬出するように構成されている。また、コンベア2は、X方向に延びる一対のコンベアレールと、基板Sを所定位置で位置決めする位置決め機構(図示せず)とを含んでいる。これにより、コンベア2は、基板SをX方向に搬送し、所定の実装作業位置に基板Sを位置決め固定する。
The
2つのチップ部品供給部3は、それぞれ、部品実装装置100の手前側(Y1方向側)の両端に設けられている。チップ部品供給部3には、テープフィーダ3aがX方向に沿って並んで配置されている。各テープフィーダ3aは、キャリアテープを間欠的に送り出し、所定の部品供給位置にキャリアテープ内の電子部品を供給する。
The two chip
実装部4は、チップ部品供給部3から供給される電子部品およびウエハWの部品Cを基板Sに実装するように構成されている。具体的には、実装部4は、XY移動機構により、コンベア2(基板S)の上方を水平方向(XY方向)に移動可能に支持されている。実装部4は、X方向に沿って配置された複数(2つ)の吸着ノズル4a(図3参照)を有している。部品Cは、たとえば、ウエハレベルパッケージ(WLP)や、ウエハレベルチップサイズパッケージ(WL-CSP)などである。
The mounting
また、実装部4は、取出部6によりウエハWから取り出される部品Cを吸着ノズル4aにより吸着して基板S上に実装するように構成されている。また、実装部4は、テープフィーダ3aによって供給される電子部品を吸着ノズル4aにより吸着して基板S上に実装するように構成されている。
The mounting
ウエハ保持テーブル5は、出し入れ機構(図示せず)によりウエハ収納部10から引き出されたウエハWを所定位置で支持するように構成されている。
The wafer holding table 5 is configured to support the wafer W pulled out of the
取出部6は、ウエハWから部品Cを取り出して実装部4に受け渡すように構成されている。また、取出部6は、所定の駆動手段によりウエハ保持テーブル5の上方位置において水平方向(XY方向)に移動される。また、取出部6は、4つのウエハヘッド6a(図3参照)を含んでいる。
The
ウエハヘッド6aは、X軸回りに回転が可能で、かつ上下方向への移動(昇降)が可能に構成されている。また、ウエハヘッド6aは、部品Cを吸着することが可能に構成されている。つまり、取出部6は、突上部(図示せず)により突き上げられた部品Cをウエハヘッド6aにより吸着して取り出し、部品Cを反転(フリップ)させ、所定の受け渡し位置において、実装部4(吸着ノズル4a)に部品Cを受け渡すように構成されている。
部品認識カメラ7は、ウエハWからの部品Cの取り出しに先立ち、取り出し対象となる部品Cを撮像するように構成されている。また、部品認識カメラ7は、取出部6と共通のフレームに設けられている。また、部品認識カメラ7は、所定の駆動手段によりウエハ保持テーブル5の上方位置において水平方向(XY方向)に移動される。部品認識カメラ7には、照明(図示せず)が設けられている。照明は、部品認識カメラ7による撮像の際に発光するように構成されている。照明は、LED(発光ダイオード)などの光源を有している。
The
固定カメラ8は、基台1上であって実装部4の可動領域内に設置されている。固定カメラ8は、実装部4の吸着ノズル4aにより吸着されている電子部品(部品Cを含む)を下側から撮像するように構成されている。固定カメラ8には、図2および図4に示すように、照明81が設けられている。照明81は、固定カメラ8による撮像の際に発光するように構成されている。照明81は、LED(発光ダイオード)などの光源を有している。
The fixed
図4に示すように、照明81は、メイン照明811と、同軸照明812と、サイド照明813とが撮像方法に応じて発光するように構成されている。メイン照明811は、上下方向(Z方向)に対して斜めに光を照射するように構成されている。具体的には、メイン照明811は、同軸照明812の外側を取り囲むように配置されている。また、メイン照明811は、斜め内側の上方に向けて光を照射するように構成されている。同軸照明812は、固定カメラ8の光軸と同軸方向に光を照射するように構成されている。つまり、同軸照明812は、上方向に向けて光を照射するように構成されている。サイド照明813は、部品Cに対して側方から光を照射するように構成されている。つまり、サイド照明813は、吸着ノズル4aに保持された部品Cに対して横から光を照射するように構成されている。
As shown in FIG. 4, the
照明81は、照射する光の強度を調整することが可能である。具体的には、照明81は、PWM制御(パルス幅変調制御)により、光の強度が調整される。また、照明81は、メイン照明811と、同軸照明812と、サイド照明813とを、個別に点灯させて光を照射することが可能に構成されている。また、照明81は、メイン照明811、同軸照明812、サイド照明813を組み合わせて光を照射することが可能に構成されている。たとえば、照明81は、メイン照明811および同軸照明812を組み合わせて光を照射するように構成されている。
The
フラックス供給部9は、部品Cのバンプ電極Bにフラックスを転写(塗布)するために設けられている。具体的には、フラックス供給部9は、プレート上にフラックスを薄く伸ばし広げて供給する。そして、実装部4の吸着ノズル4aに吸着された部品Cが伸び広げられたフラックスに接触される。これにより、部品Cのバンプ電極Bにフラックスが転写される。なお、フラックスは、接合のための半田の濡れが良好になるように部品Cのバンプ電極Bに塗布される。
The
ウエハ収納部10は、ダイシングされた複数枚のウエハWを収容可能に構成されている。ウエハWの部品Cは、たとえば、複数のバンプ電極Bが形成されたフリップチップ実装用のチップ部品である。つまり、部品Cの実装面には、実装面から突出した立体的な電極が複数設けられている。この場合、部品Cは、バンプ電極形成面(実装面)が上方を向くようにフィルム状のウエハシート上に貼り付けられて保持されている。
The
制御部11は、部品実装装置100の各部の動作を統括的に制御するように構成されている。具体的には、制御部11は、コンベア2、チップ部品供給部3、実装部4、ウエハ保持テーブル5、取出部6、部品認識カメラ7、固定カメラ8、フラックス供給部9およびウエハ収納部10などの動作制御を行うように構成されている。制御部11は、上記の各部の駆動モータに内蔵されるエンコーダ等の位置検出手段からの出力信号に基づいて、各部の動作制御を行う。また、制御部11は、各種カメラ(部品認識カメラ7および固定カメラ8)の撮像制御および画像認識を行う機能を有する。図2に示すように、制御部11は、CPU(中央処理ユニット)111と、メモリ112とを含んでいる。なお、メモリ112は、請求の範囲の「記憶部」の一例である。
The
表示部12には、情報が表示されるように構成されている。具体的には、表示部12には、部品実装装置100の操作のための情報が表示される。また、表示部12には、部品実装装置100の状態を示す情報が表示される。
The
(部品実装動作の説明)
次に、図3を参照して、部品実装装置100による電子部品の実装動作について説明する。
(Description of component mounting operation)
Next, with reference to FIG. 3, the mounting operation of the electronic component by the
図3に示すように、ウエハWの部品Cを基板Sに実装する場合、まず、取出部6により実装対象の部品Cが取り出されて、取出部6のウエハヘッド6aに部品Cが吸着保持される。ウエハヘッド6aが回動して部品Cが反転(フリップ)され、部品Cが所定の受け渡し位置に配置される。これに対応して、実装部4の吸着ノズル4aが受け渡し位置の上方で受け渡し高さ位置まで下降されて、部品Cが吸着される。
As shown in FIG. 3, when mounting a component C of the wafer W on the substrate S, first, the component C to be mounted is taken out by the
部品Cが吸着された後、実装部4が、フラックス供給部9の上方に移動される。実装部4の吸着ノズル4aが転写高さ位置まで下降されて、部品Cのバンプ電極形成面にフラックスが転写(塗布)される。その後、実装部4が、固定カメラ8の上方を通過するように移動されて、吸着ノズル4aに吸着された部品Cのバンプ電極形成面が撮像される。これにより、部品Cのバンプ電極形成面の不良判定や、吸着位置ずれの認識が行われる。なお、この転写動作と撮像動作とは、順序が逆になる場合もある。すなわち、転写前の状態の方が良好に撮像(画像認識)を行える場合には、撮像動作が先に実施される。
After the component C is sucked, the mounting
撮像後、コンベア2に保持された基板Sの上方に実装部4が移動され、所定の実装位置の上方で吸着ノズル4aが実装高さ位置まで下降されて、部品Cが基板S上に載置(実装)される。
After imaging, the mounting
また、テープフィーダ3a(図1参照)の供給部品を実装する場合、実装部4がテープフィーダ3aの所定の部品取出位置の上方に移動される。そして、吸着ノズル4aが下降されて電子部品が取り出される。その後、実装部4が、固定カメラ8の上方を通過するように移動されて、吸着ノズル4aに吸着された電子部品の下面が撮像される。そして、実装部4が基板Sの上方に移動される。その後、吸着ノズル4aが下降されて、電子部品が基板S上に載置(実装)される。なお、部品Cがキャリアテープに個別収納されテープフィーダ3aから供給される場合には、テープフィーダ3aから部品Cが取り出された後、図3に示すように転写および撮像が実施され、基板S上に部品Cが載置(実装)される。
In addition, when the supply component of the
ここで、本実施形態では、制御部11は、固定カメラ8により撮像した部品Cの画像に基づいて、部品Cを認識するための部品データを作成する制御を行うように構成されている。また、制御部11は、部品Cを異なる撮影条件により撮像部により複数回撮像させて、部品データを作成する制御を行うように構成されている。
Here, in the present embodiment, the
具体的には、制御部11は、照明81による光の照射条件を異ならせて部品Cを固定カメラ8により複数回撮像させて、部品データを作成する制御を行うように構成されている。詳しくは、制御部11は、部品Cに対する光の照射方向を異ならせて部品Cを固定カメラ8により複数回撮像させて、部品データを作成する制御を行うように構成されている。
Specifically, the
制御部11は、部品Cに対して下方から光を照射して部品Cを撮像した画像と、部品Cに対して側方から光を照射して部品Cを撮像した画像とに基づいて、部品データを作成する制御を行うように構成されている。つまり、制御部11は、メイン照明811および同軸照明812を組み合わせて光を照射して、部品Cを撮像した画像と、サイド照明813から光を照射して部品Cを撮像した画像とに基づいて、部品データを作成するように構成されている。
The
また、制御部11は、第1撮像条件により撮像した部品Cの画像に基づいて、部品Cの外形を取得し、第1撮像条件とは異なる第2撮像条件により撮像した部品Cの画像に基づいて、部品Cの電極の配置情報を取得する制御を行うように構成されている。第1撮像条件では、部品Cに対して下方から光が照射されて撮像される。また、第2撮像条件では、部品Cに対して側方(サイド)から光が照射されて撮像される。
In addition, the
また、制御部11は、第1撮像条件により部品Cを撮像した後、第2撮像条件により部品Cを撮像する制御を行うように構成されている。つまり、制御部11は、第1撮像条件により撮像した結果に基づいて、部品Cの外形を取得した後、第2撮像条件により撮像した結果に基づいて、部品Cの電極の配置情報を取得するように構成されている。
In addition, the
制御部11は、照明81から部品Cに照射する光の量を異ならせて部品Cを固定カメラ8により複数回撮像させて、撮像した画像に基づいて、撮像時に適した光の量を取得する制御を行うように構成されている。たとえば、バンプ数、バンプ径が既知の場合や、容易に抽出できる場合、バンプの見やすい照度を自動で求める。複数の異なる照明レベルにより部品Cを撮像し、取得した画像に基づいて、バンプを抽出し、パンプ数やバンプ径などを求める。そして、既知の値に最も近い計測結果が得られた照明レベルを部品の適正照度として取得する。この照度を用いてバンプ座標データ作成、実生産時の部品認識を行う。
The
制御部11は、複数の立体的な電極を含む部品Cの外形寸法、電極の配置情報、電極の寸法を、部品Cを撮像した画像に基づいて取得する制御を行うように構成されている。また、制御部11は、部品Cを撮像した画像の抽出箇所の特徴量を利用して、部品Cの電極とノイズとを判別する制御を行うように構成されている。
The
具体的には、図5に示すように、グレイスケール解析を行う場合は、撮像画像に基づいて、画像の部分を膨張・収縮処理を行う。また、バイナリ解析を行う場合は、撮像画像に基づいて、二値化処理を行った上で、画像の部分を膨張・収縮処理を行う。これにより、微小ノイズ成分を除去することが可能である。その後、輪郭追跡を行い、特徴量を算出する。特徴量は、たとえば、面積、面積を同等面積円とした直径換算値、周囲長、周囲長を同等円周囲長とした直径換算値、包含円直径(外接円の直径)、長径・短径、真円度(最大半径と最少半径との差)、円形度、水平ー垂直フィレ径、算術的なモーメントなどを含む。特徴量を算出した結果を用いて、バンプ電極Bの形状は円形であるとして、形状の歪みやサイズによりノイズを自動的に除去することが可能である。たとえば、円に対して大きく歪んでいる場合にノイズとして除去する。この場合、オペレータに除去すべきか確認することもできる。また、ボール径が未知の場合でも、歪み量を用いればノイズを除去することが可能である。事前にバンプ電極Bの径(ボール径)を取得している場合、計測方法・特徴量算出結果からノイズを自動判定し除去する。これにより、不要箇所の過剰抽出を抑制することが可能である。 Specifically, as shown in FIG. 5, when performing gray scale analysis, expansion / contraction processing is performed on a portion of an image based on a captured image. In addition, when performing binary analysis, after performing binarization processing based on a captured image, expansion / contraction processing is performed on a part of the image. This makes it possible to remove minute noise components. Thereafter, contour tracking is performed to calculate feature amounts. The feature amount is, for example, an area, a diameter conversion value in which the area is an equivalent area circle, a peripheral length, a diameter conversion value in which the peripheral length is an equivalent circle peripheral length, an included circle diameter (diameter of circumscribed circle), major axis / minor axis, Roundness (difference between maximum radius and minimum radius), roundness, horizontal-vertical fillet diameter, arithmetic moment, etc. are included. It is possible to automatically remove noise by distortion and size of the shape assuming that the shape of the bump electrode B is circular using the result of calculating the feature amount. For example, if the circle is greatly distorted, it is removed as noise. In this case, the operator can confirm whether the removal should be performed. Also, even when the ball diameter is unknown, it is possible to remove noise by using the distortion amount. When the diameter (ball diameter) of the bump electrode B is obtained in advance, noise is automatically determined and removed from the measurement method and feature amount calculation result. Thereby, it is possible to suppress the excessive extraction of the unnecessary part.
制御部11は、部品Cを撮像した画像に基づいて複数の電極を含む部品Cの電極の配置情報を取得する制御を行うように構成されている。そして、部品実装装置100は、複数の電極のうち、配置情報を取得する必要のない部分が設定可能に構成されている。具体的には、図6に示すように、バンプ情報取得不要部分を事前に設定して画像解析から除外される。たとえば、オペレータがマウス操作によりバンプ情報取得不要部分を選択して、除外する。バンプ情報取得不要部分は、部品Cの良否判定に不要な部分である。図6の例では、左上の複数のバンプグループの情報が不要として除外されている。
The
制御部11は、部品Cを撮像した画像に基づいて、部品Cの電極の判別が困難な場合に、判別困難な部分を表示部12に表示する制御を行うように構成されている。具体的には、図7に示す例のように、電極の判別ができたバンプ電極Bには、ガイド201aが付される。また、電極の判別が困難な部分には、ガイド201bが付される。たとえば、バンプ径が事前にわからない場合などに、形状に歪みが見られた箇所を部品画像上に計測情報をオーバーレイしてガイド201bを付してオペレータに示す。ガイド201aおよび201bは、オペレータに識別可能に表示される。たとえば、ガイド201aおよび201bは、互いに異なる色、形状、表示方法(点滅表示等)などにより表示される。バンプ径や歪みは、複数の抽出箇所の統計に基づく分布により判定される。オペレータは、ガイド201bが付されて示された箇所を個別にバンプ/ノイズを判定して処理を行う。
The
また、図8に示すように、バンプ径の自動算出が困難である場合に、設定候補の状態を部品画像上にオーバーレイしてサイズ表示202a、202bまたは202cを付してオペレータに示す。オペレータは、サイズ表示202a~202cと、画像上の抽出部分とを比較して、バンプ径を選択して決定する。また、設計値の径と画像上の径とが一致しない場合、画像上の径に合わせて部品データが作成される。つまり、部品Cを実装する際に、実際に撮像される画像に合うように部品データが作成される。
Further, as shown in FIG. 8, when automatic calculation of the bump diameter is difficult, the state of the setting candidate is overlaid on the component image and attached to the
図9に示すように、照明条件を変えることにより、部品Cの映されやすい部分と映されにくい部分とが異なる。図9の(A)のメイン照明811により撮像した場合、(B)の同軸照明812により撮像した場合、(C)のメイン照明811および同軸照明812により撮像した場合は、部品C上のマークが映りこむ。一方(D)のサイド照明813により撮像した場合は、部品C上のマークが映りこまない。つまり、見たい箇所、見たくない箇所が区別しやすい照明条件に切り替え、部品画像を複数枚取得する。具体的には、部品外形から搭載基準/バンプ配置基準となる部品Cの中心位置を取得した場合、外形部分が最も見えるメイン照明811および同軸照明812を用いて撮像する。また、バンプの位置を取得したい場合、外形やマークやパターンなどの映りこみが無くバンプが見えるサイド照明813を用いて撮像する。つまり、バンプは、部品Cの実装面に対して突出して配置されているため、サイドから光を当てた場合でも、鮮明に撮像することが可能である。
As shown in FIG. 9, by changing the illumination condition, the part where the part C is likely to be reflected and the part where it is difficult to be reflected are different. When the image is captured by the
複数のバンプは、グループに分けて認識される。たとえば、全て必要な電極であるグループ、接地用電極などで、所定数以上あればよいグループ、結合補強用電極などで、特に必要ないグループなどに分けられる。制御部11は、グループ毎に認識数、欠落数の閾値を変えて、バンプを認識して部品データを作成する。
The plurality of bumps are recognized in groups. For example, groups that are all necessary electrodes, grounding electrodes, etc. may be divided into groups that may have a predetermined number or more, coupling reinforcing electrodes, etc., and groups that are not particularly needed. The
作成された部品データは、メモリ112に格納される。制御部11は、作成した部品データと、メモリ112に記憶された部品データとを比較し、書き換え可能である場合に、作成した部品データに書き換えるように構成されている。つまり、部品データがメモリ112に重複して記憶されるのが抑制される。
The created component data is stored in the
(部品データ作成処理)
図10を参照して、部品実装装置100の制御部11による部品データ作成処理についてフローチャートに基づいて説明する。
(Parts data creation process)
With reference to FIG. 10, component data creation processing by the
図10のステップS1において、固定カメラ8による1回目の撮像が行われる。具体的には、吸着ノズル4aにより吸着された部品Cが固定カメラ8の上方に位置されて、部品Cの撮像が行われる。ステップS2において、吸着ずれ角度、部品の外形寸法、部品中心位置が算出される。
In step S1 of FIG. 10, the first imaging by the fixed
ステップS3において、算出結果が表示部12に表示される。表示部12の表示に基づいて、必要に応じてオペレータが結果の微調整を行う。ステップS4において、ずれ角度分だけ、部品Cが回動される。具体的には、角度がずれている分だけ、反対方向に吸着ノズル4aが回動される。
In step S3, the calculation result is displayed on the
ステップS5において、固定カメラ8による2回目の撮像が行われる。この際、1回目の撮像とは異なる撮像条件により部品Cが撮像される。ステップS6において、撮像した画像からバンプが抽出される。具体的には、画像からバンプ位置およびバンプ径が抽出される。
In step S5, the second imaging by the fixed
ステップS7において、抽出したバンプが表示部12に表示される。表示部12の表示に基づいて、必要に応じてオペレータが結果の微調整を行う。具体的には、オペレータにより生産時チェック不要バンプ、誤作成バンプ、ノイズ判断不可能な箇所の削除操作が行われる。また、オペレータにより適正なバンプの径選択操作が行われる。ステップS8において、バンプ径の変更が有るか否かが判断される。変更が有れば、ステップS9に進み、変更が無ければ、ステップS10に進む。
In step S7, the extracted bumps are displayed on the
ステップS9において、バンプが再度抽出される。また、選択されたバンプ径によりバンプ径データが再度作成される。その後、ステップS10に進む。ステップS10において、既存類似データが確認される。つまり、作成された部品データと類似のデータがデータベース上に無いかをチェックする。 In step S9, the bumps are extracted again. In addition, bump diameter data is again created according to the selected bump diameter. Thereafter, the process proceeds to step S10. In step S10, existing similar data is confirmed. That is, it is checked whether there is data similar to the created component data on the database.
ステップS11において、類似データが有るか否かが判断される。類似データが有れば、ステップS12に進み、類似データが無ければ、ステップS14に進む。ステップS12において、データ置換指示が有るか否かが判断される。つまり、オペレータにより類似データに対して新しいデータを置換して保存するという指示が有るか否かが判断される。置換指示が有れば、ステップS13によりデータを置換してステップS14に進む。置換指示が無ければ、ステップS14に進む In step S11, it is determined whether there is similar data. If similar data is present, the process proceeds to step S12. If similar data is not present, the process proceeds to step S14. In step S12, it is determined whether there is a data replacement instruction. That is, it is determined whether or not there is an instruction by the operator to replace and store new data with respect to similar data. If there is a replacement instruction, the data is replaced in step S13, and the process proceeds to step S14. If there is no replacement instruction, the process proceeds to step S14.
ステップS14において、バンプのグループ設定を受け付ける。その後、部品データ作成処理が終了される。 In step S14, bump group setting is accepted. Thereafter, the component data creation process is ended.
(実施形態の効果)
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
(Effect of the embodiment)
In the present embodiment, the following effects can be obtained.
本実施形態では、上記のように、制御部11を、部品Cを異なる撮影条件により固定カメラ8により複数回撮像させて、部品データを作成する制御を行うように構成する。これにより、1回の撮像により部品Cの全ての特徴点が画像に鮮明に映らない場合でも、複数の撮像条件により撮像することにより、部品Cの特徴点を複数の画像のいずれかにより鮮明に撮像することができる。これにより、自動で取得することが可能な特徴点の情報数を多くすることができるので、オペレータにより入力する特徴点の情報数を減少させることができる。これにより、誤入力の発生を抑制することができる。その結果、オペレータの作業負担を軽減するとともに、精度よく部品データを作成することができる。
In the present embodiment, as described above, the
また、本実施形態では、上記のように、制御部11を、照明81による光の照射条件を異ならせて部品Cを固定カメラ8により複数回撮像させて、部品データを作成する制御を行うように構成する。これにより、光の照射条件により見え方が変化する部品Cを、複数の光の照射条件により撮像することができるので、部品Cの特徴点を認識することができる数を効果的に多くすることができる。
Further, in the present embodiment, as described above, the
また、本実施形態では、上記のように、制御部11を、部品Cに対する光の照射方向を異ならせて部品Cを固定カメラ8により複数回撮像させて、部品データを作成する制御を行うように構成する。これにより、光の照射方向により光の反射方向が変化する特徴点を有する部品Cを、光の照射方向を変えた複数の照射条件により撮像することができるので、部品Cの特徴点を認識することができる数をより効果的に多くすることができる。
Further, in the present embodiment, as described above, the
また、本実施形態では、上記のように、制御部11を、照明81から部品Cに照射する光の量を異ならせて部品Cを固定カメラ8により複数回撮像させて、撮像した画像に基づいて、撮像時に適した光の量を取得する制御を行うように構成する。これにより、部品Cを認識するために撮影する際の光の量を最適化することができるので、基板Sへの部品実装時における部品Cの認識精度を向上させることができる。
Further, in the present embodiment, as described above, based on the captured image, the
また、本実施形態では、上記のように、制御部11を、部品Cに対して下方から光を照射して部品Cを撮像した画像と、部品Cに対して側方から光を照射して部品Cを撮像した画像とに基づいて、部品データを作成する制御を行うように構成する。これにより、部品Cに下方から光を照射して撮像した画像に基づいて、部品Cの外形を容易に認識することができるとともに、部品Cに側方から光を照射した画像に基づいて、下方に突出する複数のバンプ電極Bの位置を容易に認識することができる。
Further, in the present embodiment, as described above, the
また、本実施形態では、上記のように、制御部11を、第1撮像条件により撮像した部品Cの画像に基づいて、部品Cの外形を取得し、第1撮像条件とは異なる第2撮像条件により撮像した部品Cの画像に基づいて、部品Cの電極の配置情報を取得する制御を行うように構成する。これにより、部品Cの外形が鮮明に映りやすい第1撮像条件により撮像した画像と、部品Cの電極が鮮明に映りやすい第2撮像条件により撮像した画像とにより、部品データを容易に精度よく作成することができる。
Further, in the present embodiment, as described above, the
また、本実施形態では、上記のように、制御部11を、第1撮像条件により部品Cを撮像した後、第2撮像条件により部品Cを撮像する制御を行うように構成する。これにより、部品Cの外形を取得した後、部品Cの外形に基づく基準位置に対して電極の位置を関連付けて取得することができるので、効率よく部品データを作成することができる。
Further, in the present embodiment, as described above, after the component C is imaged under the first imaging condition, the
また、本実施形態では、上記のように、制御部11を、複数の立体的な電極を含む部品Cの外形寸法、電極の配置情報、電極の寸法を、部品Cを撮像した画像に基づいて取得する制御を行うように構成する。これにより、部品Cを実装する際の固定カメラ8の撮像結果に基づいて、部品データを取得することができるので、部品Cの外形寸法、電極の寸法、電極の配置の計測ミスを抑制することができる。これにより、部品Cの実装時に良品の部品Cを誤って不良品と判定して廃棄するのを抑制することができる。また、ノギスなどの計測器具を用いてオペレータが手動で測定する必要がないので、部品データ作成時間が増加するのを抑制することができる。
Further, in the present embodiment, as described above, the
また、本実施形態では、上記のように、制御部11を、部品Cを撮像した画像の抽出箇所の特徴量を利用して、部品Cの電極とノイズとを判別する制御を行うように構成する。これにより、部品データにノイズが混入するのを抑制することができる。また、ノイズの混入を抑制することができるので、オペレータが確認する必要がある場合でも、確認作業を短時間で行うことができる。
Further, in the present embodiment, as described above, the
また、本実施形態では、上記のように、制御部11を、部品Cを撮像した画像に基づいて複数の電極を含む部品Cの電極の配置情報を取得する制御を行うように構成され、複数の電極のうち、配置情報を取得する必要のない部分が設定可能に構成する。これにより、必要のない部分の電極の配置情報を取得することを省略することができるので、より短時間で部品データを作成することができる。
Further, in the present embodiment, as described above, the
また、本実施形態では、上記のように、制御部11を、部品Cを撮像した画像に基づいて、部品Cの電極の判別が困難な場合に、判別困難な部分を表示部12に表示する制御を行うように構成する。これにより、オペレータにより、判別困難な部分の情報を入力することができるので、精度よく部品データを作成することができる。
Further, in the present embodiment, as described above, when it is difficult to determine the electrode of the part C based on the image obtained by capturing the part C, the
また、本実施形態では、上記のように、制御部11を、作成した部品データと、メモリ112に記憶された部品データとを比較し、書き換え可能である場合に、作成した部品データに書き換えるように構成する。これにより、部品データの重複を抑制することができるので、データ管理を容易に行うことができる。
Further, in the present embodiment, as described above, the
(変形例)
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
(Modification)
It should be understood that the embodiments disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is indicated not by the above description of the embodiment but by the scope of claims, and further includes all modifications (variations) within the meaning and scope equivalent to the scope of claims.
たとえば、上記実施形態では、チップ部品を基板に実装する部品実装装置に本発明を適用する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、テープやトレイにより供給される部品を基板に実装する部品実装装置に本発明を適用してもよい。たとえば、リード部品を撮像して、部品データとして、リード部品の部品データを作成してもよい。 For example, although the above-mentioned embodiment showed an example of composition which applies the present invention to a component mounting device which mounts chip components on a substrate, the present invention is not limited to this. In the present invention, the present invention may be applied to a component mounting apparatus which mounts a component supplied by a tape or tray on a substrate. For example, the lead component may be imaged to create component data of the lead component as component data.
また、上記実施形態では、部品データを作成する際に、異なる2つの撮像条件により部品を撮像する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、異なる3以上の撮像条件により部品を撮像して各々撮像結果に基づいて部品データを作成してもよい。 Further, in the above embodiment, when component data is created, an example of a configuration in which components are imaged under two different imaging conditions is shown, but the present invention is not limited to this. In the present invention, components may be imaged according to three or more different imaging conditions, and component data may be created based on the respective imaging results.
また、上記実施形態では、部品データを作成する際に、光らせる照明を異ならせて撮像条件を互いに異ならせて部品の撮像を行う構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、撮像する位置や撮像する方向などの条件を異ならせて部品の撮像を行ってもよい。 Furthermore, in the above embodiment, when component data is created, an example of the configuration in which components are imaged by making the illuminations to be different different and imaging conditions different from each other is shown, but the present invention is not limited to this. In the present invention, the imaging of the component may be performed with different conditions such as the imaging position and the imaging direction.
また、上記実施形態では、部品を撮像した画像に基づいて、部品データを作成する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、部品を撮像した画像に加えて、既知のデータを用いて、部品データを作成してもよい。 Moreover, although the example of the structure which produces component data based on the image which imaged components in the said embodiment was shown, this invention is not limited to this. In the present invention, component data may be created using known data in addition to an image obtained by capturing a component.
また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御部の処理を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部の処理を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型(イベントドリブン型)の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。 In the above embodiment, for convenience of explanation, the processing of the control unit has been described using a flow-driven flow that sequentially performs processing along the processing flow, but the present invention is not limited to this. In the present invention, the processing of the control unit may be performed by event-driven (event-driven) processing that executes processing in units of events. In this case, the operation may be completely event driven, or the combination of event driving and flow driving may be performed.
4 実装部(実装ヘッド)
8 固定カメラ(撮像部)
11 制御部
12 表示部
81 照明
112 メモリ(記憶部)
B バンプ電極
C 部品
S 基板
4 Mounting unit (mounting head)
8 Fixed Camera (Imaging Unit)
11
B bump electrode C component S substrate
Claims (13)
部品を撮像可能な撮像部と、
前記撮像部により撮像した部品の画像に基づいて、部品を認識するための部品データを作成する制御部とを備え、
前記制御部は、部品を異なる撮影条件により前記撮像部により複数回撮像させて、前記部品データを作成する制御を行うように構成されている、部品実装装置。 A mounting head for mounting components on a substrate;
An imaging unit capable of imaging parts;
A controller configured to create component data for recognizing a component based on an image of the component captured by the imaging unit;
The component mounting apparatus, wherein the control unit is configured to perform control of generating component data by causing the imaging unit to capture a component a plurality of times under different imaging conditions.
前記制御部は、前記照明による光の照射条件を異ならせて部品を前記撮像部により複数回撮像させて、前記部品データを作成する制御を行うように構成されている、請求項1に記載の部品実装装置。 It has illumination for irradiating light to components at the time of imaging by the imaging unit,
The control unit is configured to perform control to create the component data by causing the imaging unit to image the component a plurality of times by changing the irradiation condition of light by the illumination. Component mounting device.
前記制御部は、部品に対して下方から光を照射して部品を撮像した画像と、部品に対して側方から光を照射して部品を撮像した画像とに基づいて、前記部品データを作成する制御を行うように構成されている、請求項2~4のいずれか1項に記載の部品実装装置。 The component includes a plurality of bump electrodes,
The control unit creates the component data based on an image obtained by imaging the component by irradiating light from below onto the component and an image obtained by emitting light from the side to the component and imaging the component The component mounting apparatus according to any one of claims 2 to 4, which is configured to perform control.
複数の電極のうち、配置情報を取得する必要のない部分が設定可能に構成されている、請求項1~9のいずれか1項に記載の部品実装装置。 The control unit is configured to perform control of acquiring arrangement information of electrodes of a part including a plurality of electrodes based on an image obtained by imaging the part,
The component mounting apparatus according to any one of claims 1 to 9, wherein a part of the plurality of electrodes which does not need to obtain the arrangement information is configured to be settable.
前記制御部は、部品を撮像した画像に基づいて、部品の電極の判別が困難な場合に、判別困難な部分を前記表示部に表示する制御を行うように構成されている、請求項1~10のいずれか1項に記載の部品実装装置。 It has a display unit that displays information,
The control unit is configured to perform control to display a difficult-to-determine portion on the display unit when it is difficult to determine an electrode of a component based on an image obtained by capturing the component. The component mounting apparatus according to any one of 10.
前記制御部は、作成した前記部品データと、前記記憶部に記憶された前記部品データとを比較し、書き換え可能である場合に、作成した前記部品データに書き換えるように構成されている、請求項1~11のいずれか1項に記載の部品実装装置。 A storage unit for storing the component data;
The control unit is configured to compare the created component data with the component data stored in the storage unit, and rewrite the component data to the created component data if it can be rewritten. The component mounting apparatus according to any one of 1 to 11.
前記撮像部により撮像した部品の画像に基づいて、部品を認識するための部品データを作成する、部品データ作成方法。 The part is imaged a plurality of times by the imaging unit under different imaging conditions,
A component data creating method for creating component data for recognizing a component based on an image of a component captured by the imaging unit.
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